DE102006023968A1 - Inspektionsvorrichtung für Flüssigkristallanzeigepaneel - Google Patents

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Abstract

Inspektionsvorrichtung für Flüssigkristallanzeigepaneele, aufweisend eine Wärmekammer (100) zum Erhitzen einer Mehrzahl von LCD-Paneelen (1), die in einer Kassette (10) aufgenommen sind, eine Inspektionseinheit (200), die in der Nähe der Wärmekammer (100) positioniert ist, um die von der Wärmekammer (100) erhitzten LCD-Paneele (1) aufzunehmen und eine Abnormalität jedes LCD-Paneels (1) zu inspizieren, und ein Paneelüberführungsteil (300) zum Entnehmen jedes der LCD-Paneele (1) aus der Kassette (10) und Zuführen jedes der LCD-Paneele (1) zu der Inspektionseinheit (200) und zum Entnehmen jedes der LCD-Paneele (1) aus der Inspektionseinheit (200) und Zuführen jedes der LCD-Paneele (1) zu der Kassette (10) während einer Bewegung zwischen der Kassette (10) und der Inspektionseinheit (200), wobei das Paneelüberführungsteil (300) innerhalb der Wärmekammer (100) ist.

Description

  • Für die Anmeldung wird die Priorität der am 29. Dezember 2005 eingereichten koreanischen Patentanmeldungen Nr. 10-2005-133975 und 10-2005-134591 beansprucht, deren gesamter Inhalt durch Bezugnahme hierin einbezogen ist.
  • Die Erfindung betrifft eine Inspektionsvorrichtung für Flüssigkristallanzeigepaneele (LCD-Paneele), und insbesondere eine Inspektionsvorrichtung für LCD-Paneele, welche Ausrichtungsabweichungen der LCD-Paneele schnell inspizieren kann, wobei die LCD-Paneele bei einer gleichmäßigen Temperatur gehalten werden.
  • Die wachsende Beliebtheit verschiedener tragbarer Elektronikerzeugnisse, wie Handys, PDAs, Notebook-Computer, und dergleichen, erfordert leichte und kompakte Flachbildschirme. Unter den Flachbildschirmen wurden Flüssigkristallanzeigevorrichtungen (LCD-Vorrichtungen), Plasmaanzeigevorrichtungen (PDP-Vorrichtungen), Feldemissionsanzeigevorrichtungen (FED-Vorrichtungen), Vakuumfluoreszenzanzeigevorrichtungen (VFD-Vorrichtungen), und dergleichen aktiv entwickelt, von denen die LCD-Vorrichtungen infolge ihrer Massenfertigungseignung, ihres einfachen Steuerungsmechanismus, ihrer hohen Bildauflösung, und dergleichen die beliebtesten sind.
  • 1 ist ein Schnitt einer herkömmlichen Flüssigkristallanzeigevorrichtung, und 2 ist ein Flussdiagramm zur Erläuterung eines herkömmlichen Verfahrens zur Herstellung einer Flüssigkristallanzeigevorrichtung.
  • Die LCD-Vorrichtung ist eine Vorrichtung, die Informationen an einem Bildschirm unter Verwendung refraktiver Anisotropie anzeigt.
  • Eine herkömmliche LCD-Vorrichtung, die mit dem Bezugszeichen 1 bezeichnet ist, weist ein oberes Substrat 3, ein unteres Substrat 5 und eine Flüssigkristallschicht 7 zwischen dem oberen und dem unteren Substrat 3 und 5 auf, wie in 1 dargestellt ist.
  • Das untere Substrat 5 ist ein Substrat mit einem daran ausgebildeten Array von Steuerungskomponenten. Obwohl in 1 nicht gezeigt, weist das untere Substrat 5 eine Mehrzahl von daran ausgebildeten Pixeln auf, von denen jedes mit einer Steuerungskomponente, wie einem Dünnschichttransistor (TFT), versehen ist. Das obere Substrat 3 ist ein Substrat für Farbfilter und weist darin ausgebildete Farbfilterschichter zur Realisierung der tatsächlichen Farbe auf. Außerdem sind. das obere und das untere Substrat 3 und 5 jeweils mit einer Pixelelektrode und einer gemeinsamen Elektrode versehen und mit einer Ausrichtungsschicht zur Ausrichtung von Flüssigkristallmolekülen in der Flüssigkristallschicht 7 beschichtet.
  • Das obere und das untere Substrat 3 und 5 sind mittels eines Dichtungsmaterials 9 miteinander befestigt. Die Flüssigkristallschicht 7 ist zwischen dem oberen und dem unteren Substrat 3 und 5 derart angeordnet, dass eine Menge von Licht, das durch die Flüssigkristallschicht hindurch übertragen wird, durch Steuerung der Flüssigkristallmoleküle unter Verwendung der an dem unteren Substrat 5 angeordneten Steuerungskomponenten gesteuert wird, um Informationen anzuzeigen.
  • Das Verfahren zur Herstellung der Flüssigkristallanzeigevorrichtung umfasst im Allgemeinen einen Steuerungskomponenten-Anordnungsprozess zum Bilden der Steuerungskomponenten an dem unteren Substrat 5, einen Farbfilterprozess zum Bilden der Farbfilter an dem oberen Substrat 3, und einen Zellenprozess. Das Verfahren zur Herstellung der Flüssigkristallanzeigevorrichtung wird mit Bezug auf 2 ausführlich beschrieben.
  • Zuerst werden in dem Steuerungskomponenten-Anordnungsprozess eine Mehrzahl von Gateleitungen und Datenleitungen angeordnet, um Pixelbereiche an dem unteren Substrat 5 zu definieren, und jeder Pixelbereich wird dann mit einem Dünnfilmtransistor versehen, welcher eine Steuerungskomponente ist, die mit den Gateleitungen und den Datenleitungen verbunden ist (S101). Außerdem wird auch durch den Steuerungskomponenten-Anordnungsprozess eine Pixelelektrode zum Verbinden mit dem Dünnfilmtransistor derart gebildet, dass, wenn ein Signal über den Dünnfilmtransistor an die Pixelelektrode abgegeben wird, die Pixelelektrode die Flüssigkristallschicht steuert.
  • Anschließend werden durch den Farbfilterprozess eine gemeinsame Elektrode und Farbfilterschichten von R, G und B zur Darstellung von Farben an dem oberen Substrat 3 gebildet (S104).
  • Nach der Aufbringung von Ausrichtungsschichten auf das obere und das untere Substrat 3 und 5 werden die Ausrichtungsschichten gerieben, um den Flüssigkristallmolekülen in der zwischen dem oberen und dem unteren Substrat 3 und 5 ausgebildeten Flüssigkristallschicht eine Kraft zur Regulierung der Ausrichtung oder eine Kraft zur Sicherung der Oberfläche (das heißt, Vorneigungswinkel und Ausrichtung) zuzuführen (S102, S105).
  • Als nächstes werden, nachdem Abstandshalter zum Beibehalten eines konstanten Zellenabstands an dem unteren Substrat 5 verteilt sind und ein Dichtungsmaterial 9 auf einen Außenumfang des oberen Substrats 3 aufgebracht ist, das obere und das untere Substrat 3 und 5 durch deren Zusammendrücken aneinander befestigt (S103, S106, S107) Das obere und das untere Substrat 3 und 5 werden im Allgemeinen aus einem großen Glassubstrat gebildet. Infolgedessen werden mit den Farbfilterschichten und den TFT als die in jedem Paneelbereich ausgebildete Steuerungskomponente eine Mehrzahl von Paneelbereichen auf einem einzigen großen Glassubstrat gebildet. Daher ist es notwendig, das Glassubstrat zu schneiden und zu bearbeiten (S108). Nachdem die Flüssigkristallschicht durch Injizieren von Flüssigkristallen in jedes bearbeitete Flüssigkristallanzeigepaneel durch eine Flüssigkristallinjektionsöffnung hindurch gebildet ist und die Flüssigkristallinjektionsöffnung abgedichtet ist, wird jedes Flüssigkristallanzeigepaneel inspiziert (S109, S110), wodurch die Herstellung der LCD-Paneele abgeschlossen ist.
  • Die Inspektion der Flüssigkristallanzeigepaneele kann üblicherweise in Sichtinspektion, elektrische Lichtinspektion und Inspektion der Ausrichtungsabweichung eingeteilt werden.
  • Die elektrische Lichtinspektion wird derart durchgeführt, dass durch Anlegen eines Signals an ein vollendetes Flüssigkristallanzeigepaneel bestimmt wird, ob verschiedene elektrische Komponenten normal arbeiten, um die Ergebnisse zu verifizieren. Die Sichtinspektion wird derart durchgeführt, dass durch Inspizieren des Flüssigkristallanzeigepaneels mit dem bloßen Auge einer Bedienperson bestimmt wird, ob das Flüssigkristallanzeigepaneel einen Fehler aufweist. Außerdem wird die Inspektion der Ausrichtungsabweichung derart durchgeführt, dass bestimmt wird, ob Flüssigkristalle in einem unteren Abschnitt des Flüssigkristallanzeigepaneels zusammengetragen oder angesammelt sind, das unter seinem Eigengewicht durchhängt.
  • Die Ausrichtungsabweichung von Flüssigkristallen wird durch eine unerwünschte Erhöhung des Volumens der Flüssigkristallschicht verursacht, was aus der zu hohen Temperatur der Flüssigkristallschicht innerhalb des Flüssigkristallanzeigepaneels bei dessen Herstellung resultiert. Dies bewirkt, dass der Zellenabstand des Flüssigkristallanzeigepaneels die durch den Abstandshalter geschaffene Höhe überschreitet. Dementsprechend bewegen sich die Flüssigkristalle zu dem unteren Abschnitt des Flüssigkristallanzeigepaneels, das sich durchbiegt, wodurch die Zellenabstände ungleichmäßig werden und somit die Qualität der Flüssigkristallanzeigevorrichtung verschlechtert wird.
  • Die Inspektion der Ausrichtungsabweichung wird üblicherweise durch Beobachtung eines Bildes an dem unteren Abschnitt des Flüssigkristallanzeigepaneels mit dem bloßen Auge der Bedienperson durchgeführt, wobei Licht durch das Flüssigkristallanzeigepaneel hindurch übertragen wird. Das heißt, wenn während einer Beobachtung des unteren Abschnitts des Flüssigkristallanzeigepaneels irgendeine Bildabweichung erfasst wird, wird bestimmt, dass eine Ausrichtungsabweichung in dem Flüssigkristallanzeigepaneel vorliegt.
  • Das heißt, die Inspektion der Ausrichtungsabweichung wird in einem Zustand durchgeführt, in dem das vollendete Flüssigkristallanzeigepaneel bei hohen Temperaturen gehalten wird. Zu diesem Zweck wird die Inspektion der Ausrichtungsabweichung durchgeführt, nachdem jedes Flüssigkristallanzeigepaneel in einer Wärmekammer erhitzt ist. Das Erhitzen der Flüssigkristallanzeigepaneele wird für die Inspektionseffizienz üblicherweise in Kassetten durchgeführt. Mit anderen Worten werden, nachdem eine Mehrzahl von Flüssigkristallanzeigepaneelen in einer Kassette aufgenommen sind, die Flüssigkristallanzeigepaneele in einer Wärmekammer auf eine hohe Temperatur erhitzt. Die erhitzten Flüssigkristallanzeigepaneele werden mittels eines zusätzlichen Transportmittels zu einer Inspektionsvorrichtung transportiert und dann der Inspektion unterzogen.
  • Jedoch besteht bei einer solchen herkömmlichen Inspektionsvorrichtung zum Erfassen der Ausrichtungsabweichung der LCD-Paneele ein Problem darin, dass, da die Inspektionsvorrichtung in einem vorbestimmten Abstand von der Wärmekammer weg angeordnet ist, die Flüssigkristallanzeigepaneele der Umgebungsluft ausgesetzt sind und während des Transports zu der Inspektionsvorrichtung nach der Überführung aus der Kassette der Wärmekammer abgekühlt werden, wodurch es unmöglich ist, eine genaue Inspektion durchzuführen.
  • Außerdem besteht bei der herkömmlichen Vorrichtung zur Inspektion der Ausrichtungsabweichung ein Problem darin, dass, da das Innere der Wärmekammer der Umgebungsluft ausgesetzt ist, während die Flüssigkeitsanzeigepaneele aus der Kassette der Wärmekammer überführt werden, die Umgebungsluft in die Wärmekammer eingeleitet wird, was eine ungleichmäßige Temperatur der Wärmekammer verursacht.
  • Ferner werden, da die herkömmliche Vorrichtung zur Inspektion der Ausrichtungsabweichung kostenaufwendige Mechanismen, wie einen Roboter für den Transport der Flüssigkristallanzeigepaneele von der Wärmekammer zu der Inspektionsvorrichtung erfordert, die Herstellungskosten ständig erhöht, und eine Menge an Zeit ist erforderlich, um die Flüssigkristallanzeigepaneele zu transportieren.
  • Dementsprechend ist die Erfindung auf eine Inspektionsvorrichtung für Flüssigkristallanzeigepaneele gerichtet, bei der die im Stand der Technik auftretenden Probleme und Nachteile im Wesentlichen vermieden werden.
  • Mit der Erfindung wird eine Inspektionsvorrichtung für Flüssigkristallanzeigepaneele geschaffen, welche eine Inspektion der Ausrichtungsabweichung der Flüssigkristallanzeigepaneele durchführen kann, während eine Wärmekammer auf einer gleichmäßigen Temperatur gehalten wird und eine Senkung der Temperatur der durch die Wärmekammer auf eine hohe Temperatur erhitzten Flüssigkristallanzeigepaneele verhindert wird, wodurch die Inspektion der Ausrichtungsabweichung immer genau durchgeführt werden kann, und welche eine Förderbahn zum Zuführen einer Kassette zu der Wärmekammer derart aufweist, dass die Förderbahn in demselben Winkel wie die Kassette angeordnet ist, die in einem vorbestimmten Winkel in der Wärmekammer aufgestellt ist, wodurch die Herstellungskosten der Wärmekammer und der Raum der Wärmekammer reduziert werden.
  • Dies wird gemäß der Erfindung erreicht durch eine Inspektionsvorrichtung für Flüssigkristallanzeigepaneele, aufweisend eine Wärmekammer zum Erhitzen einer Mehrzahl von LCD-Paneelen, die in einer Kassette aufgenommen sind, eine Inspektionseinheit, die in der Nähe der Wärmekammer positioniert ist, um die von der Wärmekammer erhitzten LCD-Paneele aufzunehmen und eine Unregelmäßigkeit jedes LCD-Paneels zu inspizieren, und ein Paneelüberführungsteil zum Entnehmen jedes der LCD-Paneele aus der Kassette und Zuführen jedes der LCD-Paneele zu der Inspektionseinheit und zum Entnehmen jedes der LCD-Paneele aus der Inspektionseinheit und Zuführen jedes der LCD-Paneele zu der Kassette während einer Bewegung zwischen der Kassette und der Inspektionseinheit.
  • Die Inspektionsvorrichtung kann ferner ein Transportteil zum Transportieren der Kassette zu und von der Wärmekammer aufweisen.
  • Das Transportteil kann in einer Schrägstellung positioniert sein, um die Kassette zu und von der Wärmekammer zu transportieren.
  • Das Paneelüberführungsteil kann ein Greifteil, das konstruiert ist, um jedes LCD-Paneel wahlweise zu klemmen, und dessen oberes Ende an einer oberen Außenseite der Wärmekammer freigelegt ist, ein Vor- und Rückschubteil zum Bewegen des Greifteils in Vor- und Rückwärtsrichtung der Wärmekammer, und ein Hubteil aufweisen, dessen eines Ende an dem Vor- und Rückschubteil befestigt ist, und dessen anderes Endes das Greifteil in Auf- und Abwärtsrichtung anhebt oder absenkt.
  • Gleichzeitig kann das Vor- und Rückschubteil eine erste Schiene, die an einer oberen Fläche der Wärmekammer in der Vor- und Rückwärtsrichtung installiert ist, und ein erstes Betätigungsteil aufweisen, dessen eines Ende durch Abstützung an der ersten Schiene in der Vor- und Rückwärtsrichtung bewegbar installiert ist, und dessen anderes Ende an dem Hubteil befestigt ist.
  • Das Hubteil kann eine zweite Schiene, die in der Auf- und Abwärtsrichtung in der Wärmekammer installiert ist, und ein zweites Betätigungsteil aufweisen, dessen eines Ende durch Abstützung an der zweiten Schiene in Auf- und Abwärtsrichtung bewegbar installiert ist, und dessen anderes Ende an dem Greifteil befestigt ist.
  • Die Erfindung wird mit Bezug auf die Zeichnung näher erläutert. In der Zeichnung zeigen:
  • 1 einen Schnitt einer herkömmlichen Flüssigkristallanzeigevorrichtung;
  • 2 ein Flussdiagramm zur Erläuterung eines Verfahrens zur Herstellung der herkömmlichen Flüssigkristallanzeigevorrichtung;
  • 3 eine schematische Seitenansicht der inneren Struktur einer Inspektionsvorrichtung für Flüssigkristallanzeigepaneele gemäß einer Ausführungsform der Erfindung;
  • 4 eine perspektivische Ansicht der Hauptkomponenten der inneren Struktur der Inspektionsvorrichtung für die Flüssigkristallanzeigepaneele gemäß der Ausführungsform der Erfindung;
  • 5 eine perspektivische Ansicht eines Paneelüberführungsteils der Inspektionsvorrichtung für die Flüssigkristallanzeigepaneele gemäß der Ausführungsform der Erfindung;
  • 6 eine Seitenansicht der Hauptkomponenten der Inspektionsvorrichtung für die Flüssigkristallanzeigepaneele gemäß der Ausführungsform der Erfindung, wobei das Flüssigkristallanzeigepaneel durch ein Klemmteil und ein Hubteil der Inspektionsvorrichtung geklemmt wird;
  • 7 eine strukturelle Ansicht eines anderen Transportteils (Förderbahn) einer Inspektionsvorrichtung für die Flüssigkristallanzeigepaneele gemäß der Ausführungsform der Erfindung; und
  • 8A bis 8F schematische Darstellungen einer Reihe von Vorgängen zur Inspektion von Flüssigkristallanzeigepaneelen unter Verwendung der Inspektionsvorrichtung gemäß der Ausführungsform der Erfindung.
  • Mit Bezug auf 3 weist die Inspektionsvorrichtung für Flüssigkristallanzeigepaneele gemäß der Ausführungsform im Allgemeinen eine Wärmekammer 100, eine Inspektionseinheit 200 und ein Paneelüberführungsteil 300 auf. Die jeweiligen Komponenten werden unten ausführlich beschrieben.
  • Mit Bezug auf 3 und 4 nimmt die Wärmekammer 100 eine Kassette 10 mit einer Mehrzahl von darin gestapelten Flüssigkristallanzeigepaneelen (nicht gezeigt) auf. Die Wärmekammer 100 hat eine im Wesentlichen kastenförmige innere Struktur und kann die Kassette 10 an einer Rückseite darin aufnehmen. Die Wärmekammer 100 erhitzt die LCD-Paneele auf eine vorbestimmte Temperatur.
  • Die in 3 gezeigte Wärmekammer 100 weist eine Ausnehmung 110 auf, die an einem unteren Abschnitt einer Vorderseite davon derart ausgebildet ist, dass die Inspektionseinheit 200 in der Ausnehmung 110 platziert ist. Es wird angemerkt, dass auch andere Ausführungsformen ohne einer solchen Ausnehmung in der Wärmekammer in Betracht gezogen werden können.
  • Die Ausnehmung 110 ist in einer oberen Fläche mit einem Paneeleinlass 111 versehen, durch welchen hindurch jedes LCD-Paneel in die Wärmekammer 100 eintritt. Hierbei hat der Paneeleinlass 111 eine solche Größe, dass das LCD-Paneel leicht hindurch treten kann.
  • In den meisten Fällen ist der Paneeleinlass 111 mit einer Tür (nicht gezeigt) versehen, um den Paneeleinlass 111 wahlweise zu öffnen und zu schließen. Die Tür ist für den Zweck des Haltens der Wärmekammer 100 in einem Schließzustand vorgesehen, außer wenn die Wärmekammer 100 geöffnet wird.
  • Die Wärmekammer 100 ist ferner seitlich der Rückseite mit einem Kassetteneinlass 112 versehen, durch welchen hindurch die Kassette 10 zu und von der Wärmekammer 100 transportiert wird. Die Wärmekammer 100 ist ferner an einer unteren Fläche der seitlichen Rückseite mit einem Transportteil 120 versehen, welches die Kassette 10 durch den Kassetteneinlass 112 hindurch zu und von der Wärmekammer 100 transportiert. Natürlich kann der Kassetteneinlass 112 mit einer Tür (nicht gezeigt) versehen sein, um den Kassetteneinlass 112 wahlweise zu öffnen und zu schließen. Hierbei kann die Tür den Kassetteneinlass 112 mit Ausnahme eines Abschnitts, wo das Transportteil 120 installiert ist, schließen.
  • Obwohl das Transportteil 120 verschiedene Strukturen haben kann, wird es in dieser Ausführungsform als ein Förderband beschrieben.
  • Die Wärmekammer 100 kann in einer oberen Fläche einer Vorderseite mit einem Fenster 130 versehen sein, durch welches hindurch eine Bedienperson den Vorgang innerhalb der Wärmekammer 100 beobachten kann.
  • Die Wärmekammer 100 ist mit einer Heizung 150 versehen, um die in der Kassette 10 aufgenommenen LCD-Paneele zu erhitzen. Die Heizung 150 kann in einem Innenraum der Wärmekammer 100 installiert sein. Jedoch kann die Heizung 150 auch in einer Wand der Wärmekammer 100 installiert sein. Natürlich kann, obwohl in der Zeichnung nicht dargestellt, die Heizung 150 unabhängig von der Wärmekammer 100 derart installiert sein, dass Heißluft von der separaten Heizung 150 über einen Luftleitkanal und dergleichen in die Wärmekammer 100 hinein strömt.
  • Die Inspektionseinheit 200 ist eine Komponente zum Aufnehmen jedes durch die Wärmekammer 100 erhitzten LCD-Paneels und zum Inspizieren der Ausrichtungsabweichung des LCD-Paneels. Die Inspektionseinheit 200 ist in der Ausnehmung 110 der Wärmekammer 100 positioniert. Die Inspektionseinheit 200 weist eine Einlassöffnung 210 auf, die dem Paneeleinlass 111 der Wärmekammer 100 derart zugewandt ist, dass das aus der Wärmekammer 100 entnommene LCD-Paneel direkt in die Inspektionseinheit 200 eingesetzt wird.
  • Wie aus 5 und 6 ersichtlich, ist das Paneelüberführungsteil 300 eine Komponente zum Entnehmen jedes LCD-Paneels aus der Kassette 10 in der Wärmekammer 100 und zum Zuführen des LCD-Paneels zu der Inspektionseinheit 200 durch den Paneeleinlass 111 hindurch.
  • Das heißt, das Paneelüberführungsteil 300 weist ein Greifteil 310, ein Vor- und Rückschubteil 320 und ein Hubteil 330 auf, wie in 5 gezeigt ist.
  • Das Greifteil 310 weist einen Körper 311 und eine Mehrzahl von Fingern 312 auf. Der Körper 311 hat ein oberes Ende, das an einer oberen Außenseite der Wärmekammer 100 freigelegt ist. Hierbei ist das entfernte Ende jedes Fingers 312 mit einem Klemmabschnitt 313 versehen, um jedes LCD-Paneel 1 wahlweise zu klemmen. Der Klemmabschnitt 313 kann aus Teflonharz oder anderen ähnlichen Harzwerkstoffen geformt sein, um der Bildung von Kratzern an der Oberfläche des LCD-Paneels 1 standzuhalten.
  • Insbesondere hat der Klemmabschnitt 313 mehrere gebogene Strukturen, von denen eine in 6 dargestellt ist, welche nach vorn oder zurück und dann nach oben gebogen ist, um einen unteren Abschnitt jedes LCD-Paneels 1 zu klemmen. Obwohl in der Zeichnung nicht dargestellt, kann der Klemmabschnitt 313 eine separate Stufe haben, die an einer Innenfläche davon (welche das LCD-Paneel kontaktiert) ausgebildet ist, um zu verhindern, dass sich das durch den Klemmabschnitt 313 geklemmte LCD-Paneel 1 bewegt.
  • Außerdem kann das Greifteil 310 mit einer Hubklemme 314 versehen sein, welche einen oberen Abschnitt des LCD-Paneels 1 klemmt, wie in 5 und 6 gezeigt ist. Die Hubklemme 314 ist derart konfiguriert, dass sie einen oberen Umfang des LCD-Paneels 1 klemmt, während sie wahlweise entlang des Greifteils 310 angehoben oder abgesenkt wird, und dient dazu, eine Bewegung des LCD-Paneels während des Transports des LCD-Paneels 1 zu verhindern. Hierbei kann, obwohl in der Zeichnung nicht dargestellt, die Hubklemme 314 derart konfiguriert sein, dass sie durch einen Antriebsmechanismus, wie einen Schrittmotor, einen Stellmotor, und dergleichen, angehoben oder abgesenkt wird.
  • Das Vor- und Rückschubteil 320 ist derart konfiguriert, dass es den Körper 311 des Greifteils 310 in Vor- und Rückwärtsrichtung der Wärmekammer 100 verschiebt, und weist eine erste Schiene 321 und ein erstes Betätigungsteil 322 auf.
  • Die erste Schiene 321 ist entlang einer gedachten Achse in Vor- und Rückwärtsrichtung an einer oberen Fläche der Wärmekammer 100 installiert, und das erste Betätigungsteil 322 ist mit seinem einen Ende durch Abstützung an der ersten Schiene 321 derart installiert, dass es sich in Vor- und Rückwärtsrichtung bewegt, und das andere Ende ist an einer zweiten Schiene 331 eines Hubteils 330 befestigt, wie unten beschrieben ist. Hierbei wird ein Schrittmotor 323 verwendet, um die Bewegung des ersten Betätigungsteils 322 zu erzeugen. Natürlich kann anstelle des Schrittmotors ein Stellmotor verwendet werden.
  • Das Hubteil 330 ist derart konfiguriert, dass es den Körper 311 des Greifteils 310 in Auf- und Abwärtsrichtung der Wärmekammer 100 bewegt, und weist eine zweite Schiene 331 und ein zweites Betätigungsteil 332 auf.
  • Die zweite Schiene 331 ist in Auf- und Abwärtsrichtung in der Wärmekammer 100 installiert und mit dem ersten Betätigungsteil 322 gekuppelt, welches das Vor- und Rückschubteil 320 bildet. Das heißt, die zweite Schiene 331 bewegt sich zusammen mit dem ersten Betätigungsteil 322 in. Vor- und Rückwärtsrichtung der Wärmekammer 100.
  • Außerdem ist das zweite Betätigungsteil 332 mit seinem einen Ende durch Abstützung an der zweiten Schiene 331 derart installiert, dass es sich in Auf- und Abwärtsrichtung bewegt, und das andere Ende ist an einem oberen Ende des Körpers 311 des Greifteils 310 befestigt. Hierbei wird ein Schrittmotor (nicht dargestellt) als eine Komponente zur Bewegung des zweiten Betätigungsteils 332 verwendet. Natürlich kann anstelle des Schrittmotors ein Stellmotor verwendet werden.
  • Es ist erwünscht, dass die Inspektionseinheit 200 und das Greifteil 310, welche die Inspektionsvorrichtung für die LCD-Paneele gemäß der Ausführungsform der Erfindung bilden, in einem vorbestimmten Winkel schräg oder gekippt derart installiert sind, dass die Kassette 10 der Vorderseite der
  • Wärmekammer 100 zugewandt ist, da die Vorderseite der Kassette 10 zu der Wärmekammer 100 hin abgesenkt ist, wenn sie in diese transportiert wird. Dies ist deshalb, weil die Inspektion durch die Inspektionseinheit 200 durchgeführt wird, in der jedes LCD-Paneel in einem vorbestimmten Winkel θ schräggestellt ist. Mit anderen Worten ist diese Struktur zum Zuführen des LCD-Paneels zu der Inspektionseinheit 200 in dem Winkel θ vorgesehen, welcher für die Inspektion erforderlich ist.
  • Die Kassette 10 kann in sich schräg konfiguriert sein. Alternativ kann, wie in der Zeichnung dargestellt, die Kassette 10 wahlweise mittels einer zusätzlichen Hebevorrichtung 140 schräggestellt werden, welche derart konfiguriert ist, dass sie eine Vorderseite des Transportteils 120 (die rechte Seite in der Zeichnung) anhebt. Außerdem kann, obwohl in der Zeichnung nicht dargestellt, die Kassette 10 wahlweise mittels der Hebevorrichtung 140 schräggestellt werden, welche derart konfiguriert ist, dass sie anstelle des Transportteils 120 direkt die Vorderseite der Kassette 10 anhebt.
  • In diesem Falle werden nicht nur die Kosten für die Herstellung der Hebevorrichtung erhöht, sondern auch der von der Wärmekammer 100 benötigte Raum wird infolge des für die Installation der Hebevorrichtung erforderlichen Raums vergrößert, wodurch die Installationskosten erhöht werden. Gemäß der Erfindung kann das Transportteil 120 selbst schräggestellt sein, damit die Kassette 10 in dem vorbestimmten Winkel θ schräggestellt ist. Eine solche Neigung des Transportteils 120 wird nicht nur innerhalb der Wärmekammer 100 erreicht. Wenn die Kassette 10 mit den darin aufgenommenen vollendeten LCD-Paneelen 1 nicht schräggestellt ist, sondern der Wärmekammer 100 in einem bezüglich des Bodens horizontalen Zustand zugeführt wird, ist es notwendig, die Kassette 10 in den vorbestimmten Winkel θ zu neigen, bevor sie in der Wärmekammer 100 montiert wird, was ein zusätzliches Anheben erfordert. Dementsprechend ist es am günstigsten, dass die Kassette 10 in einem schrägen Zustand mit einem vorbestimmten Winkel θ von einem anfänglichen Transportzustand der Kassette 10 transportiert wird.
  • 7 zeigt eine andere Förderbahn 500, welche die Kassette 10 mit den darin aufgenommenen LCD-Paneelen (die nach der Vollendung des Herstellungsvorgangs vorübergehend gespeichert sind) zu der Wärmekammer 100 transportiert.
  • Wie aus 7 ersichtlich, weist die Förderbahn 500 eine Mehrzahl von Rollen 520 zum Transportieren der Kassette 10 mit den darin aufgenommenen LCD-Paneelen 1 durch Drehung der Rollen, eine an einer Seite, zu welcher die Kassette 10 mit den Rollen 520 geneigt ist, installierte Seitenstütze 530 zum Abstützen der Kassette 10, und eine Führungsrolle 532 auf, die an der Seitenstütze 530 drehbar vorgesehen ist, um die Seite der Kassette 10 zu kontaktieren.
  • Die Seitenstütze 530 ist an der einen Seite unter der Förderbahn 500 mit den Rollen 520 installiert und stellt die Rollen 520 in einem vorbestimmten Winkel θ schräg. Auf diese weise werden die Rollen 520 schräggestellt, und somit wird die Kassette 10 auf den Rollen 520 ebenfalls schräggestellt. Außerdem sind infolge der Neigung der Kassette 10 die LCD-Paneele 1, die an einem in der Kassette 10 ausgebildeten Paneelsicherungsteil befestigt sind, ebenfalls in dem vorbestimmten Winkel θ geneigt.
  • Obwohl die Führungsrolle 532 drehbar ist, wird sie nicht durch ein äußeres Antriebsmittel, wie einen Motor, gedreht, sondern durch Anwendung einer äußeren Kraft daran. Dementsprechend ist eine Drehzahl der Führungsrolle 532 dieselbe wie eine Bewegungsgeschwindigkeit der Kassette 10, wodurch verhindert wird, dass die schräggestellte Kassette 10 von der Reibung mit der Seitenstütze 530 während der Bewegung auf der Förderbahn beeinflusst wird.
  • Eine solche Förderbahn, die wie oben beschrieben aufgebaut ist, erstreckt sich von einer vorhergehenden Bearbeitungsvorrichtung oder einer physikalischen Verteilungsvorrichtung zu der Wärmekammer 100, so dass die Kassette 10 mit den darin aufgenommenen LCD-Paneelen 1 in einem Neigungszustand zu der Wärmekammer 100 transportiert und darin aufgestellt wird.
  • Außerdem kann die Inspektionsvorrichtung für die LCD-Paneele gemäß der Ausführungsform ferner ein Abschlussteil 400 aufweisen, wie in 3 dargestellt ist.
  • Das Abschlussteil 400 ist derart konfiguriert, dass es einen Raum sichert, durch welchen hindurch sich das Greifteil 310 bewegt, und dass es die Öffnung in der oberen Fläche der Wärmekammer 100 abschließt. Das heißt, das Abschlussteil 400 ermöglicht, dass der Innenraum der Wärmekammer 100 in einem geschlossenen Zustand ist, wodurch verhindert wird, dass die Temperatur der Wärmekammer infolge der Freilegung zu der Umgebungsluft variiert.
  • Das Abschlussteil 400 hat die Form eines faltbaren Rollos. Außerdem sind die beiden Enden des Abschlussteils 400 an einer oberen Vorderseite und einer oberen Rückseite der Wärmekammer 100 befestigt, und eine Innenfläche umgibt eine Umfangsfläche des Körpers 311, der das Greifteil 310 bildet.
  • Wenn die jeweiligen Finger 312 des Greifteils 310 derart konfiguriert sind, dass sie an der Außenseite der Wärmekammer 100 freiliegen, kann das Abschlussteil 400 mit einem zusätzlichen Einlass 410 versehen sein, welcher ermöglicht, dass die jeweiligen Finger 312 durch diesen hindurchtreten.
  • Mit Bezug auf 8A bis 8F wird ein Verfahren zur Inspektion der Ausrichtungsabweichung von LCD-Paneelen unter Verwendung der Inspektionsvorrichtung gemäß der Ausführungsform der Erfindung beschrieben.
  • Zuerst wird, wie in 8A gezeigt, die Kassette 10 mit mehreren darin gestapelten LCD-Paneelen 1 mittels des Transportteils 120 in die Wärmekammer 100 transportiert. Zu diesem Zeitpunkt wird die Tür (nicht dargestellt) der Wärmekammer 100 betätigt, um den Kassetteneinlass 112 zu öffnen.
  • Nachdem die Kassette 10 in der Wärmekammer 100 wie oben beschrieben aufgestellt ist, wird der Kassetteneinlass 112 durch Betätigung der Tür geschlossen.
  • Wie in 8B dargestellt, wird die Vorderseite der Kassette 10 durch Betätigung der Hebevorrichtung 140 mehr als deren Rückseite schräggestellt. Zu diesem Zeitpunkt ist der Neigungswinkel der Kassette 10 gleich dem des Paneelüberführungsteils 300 und/oder dem der Inspektionseinheit 200.
  • Wenn das Transportteil 120 als eine Förderbahn 500 gestaltet ist, die in einem vorbestimmten Winkel θ geneigt ist, wie in 7 dargestellt ist, ist der in 8B dargestellte Schritt nicht erforderlich. Mit anderen Worten wird die Kassette 10 mit den mehreren darin gestapelten LCD-Paneelen 1 mittels der in Bezug auf 7 beschriebenen Förderbahn 500, die in dem vorbestimmten Winkel θ geneigt ist, in die Wärmekammer 100 transportiert und darin aufgestellt.
  • Dann wird die Heizung 150 in Betrieb gesetzt, um die Wärmekammer 100 auf eine vorbestimmte Temperatur (zum Beispiel etwa 50-70°C) zu erhitzen.
  • Wie in 8C dargestellt, wird, wenn die jeweiligen LCD-Paneele 1, die in der Kassette 10 aufgenommen sind, die vorbestimmte Temperatur in der Wärmekammer 100 durch die Reihe von Vorgängen, wie sie oben beschrieben sind, erreichen, das Paneelüberführungsteil 300 angetrieben.
  • Das heißt, das erste Betätigungsteil 322, welches das Vor- und Rückschubteil 320 bildet, wird betätigt, um zu ermöglichen, dass das Greifteil 310 auf dem Niveau eines LCD-Paneels (nachfolgend als "Zielpaneel" bezeichnet) platziert werden kann, das an einem oberen Abschnitt der Kassette 10 entnommen werden soll, wie in 8C gezeigt ist, und das zweite Betätigungsteil 332 wird betätigt, um die Finger 312 des Greifteils 310 auf eine Stelle abzusenken, wo die jeweiligen Finger 312 das Zielpaneel 1 in der Kassette 10 entnehmen können.
  • Als nächstes wird das erste Betätigungsteil 322 betätigt, um zu ermöglichen, dass die jeweiligen Finger 312 die Rückseite des Zielpaneels 1 abstützen, während der untere Abschnitt des Zielpaneels 1 derart positioniert werden kann, dass er dem Klemmabschnitt 313 zugewandt ist, der an dem entfernten Ende jedes Fingers 312 ausgebildet ist.
  • Außerdem wird in dem obigen Zustand, wenn die jeweiligen Finger 312 des Greifteils 310 durch das zweite Betätigungsteil 332 angehoben werden, das Zielpaneel 1 aus der Kassette 10 in dem Zustand entnommen, in dem der untere Abschnitt des Zielpaneels 1 durch die Klemmabschnitte 313 geklemmt wird und gleichzeitig die Rückseite des Zielpaneels 1 zu den jeweiligen Fingern 312 schräggestellt ist.
  • Nachdem das Zielpaneel 1 entnommen ist, wird das Greifteil 310 auf eine Höhe angehoben, wo das Greifteil 310 nicht mit der Kassette 10 in Eingriff gelangt, und wird dann durch das erste Betätigungsteil 322 an eine Stelle bewegt, die dem Paneeleinlass 111 der Wärmekammer 100 zugewandt ist, wie in 8D dargestellt ist.
  • Dann wird, wie in 8E und 8F dargestellt ist, das Greifteil 310 durch das zweite Betätigungsteil 332 abgesenkt, und somit bewegen sich die jeweiligen Finger 312 und das Zielpaneel 1, das an den Fingern 312 abgelegt ist, durch den Paneeleinlass 111 hindurch zu der Inspektionseinheit 200.
  • Die Inspektionseinheit 200 sichert nur das Zielpaneel 1, und die jeweiligen Finger 312 werden durch aufeinanderfolgende Betätigungen des ersten Betätigungsteils 322 und des zweiten Betätigungsteils 332 durch den Paneeleinlass 111 hindurch zurückgezogen, wobei das Zielpaneel 1 in der Inspektionseinheit 200 bleibt.
  • Dann wird in der Inspektionseinheit 200 die Inspektion für die Ausrichtungsabweichung des Zielpaneels 1 durchgeführt. Anschließend wird, nachdem die Inspektion abgeschlossen ist, das Zielpaneel 1 aus der Inspektionseinheit 200 entnommen und in umgekehrter Reihenfolge der oben beschriebenen Vorgänge wieder in der Kassette 10 abgelegt. Diese Vorgänge werden nacheinander durchgeführt, bis jedes in der Kassette 10 aufgenommene LCD-Paneel 1 vollständig inspiziert ist.
  • Wenn die Inspektion für alle in der Kassette 10 aufgenommenen LCD-Paneele 1 abgeschlossen ist, wird der Kassetteneinlass 112 geöffnet, so dass die Kassette 10 aus der Wärmekammer 100 transportiert werden kann, während eine andere Kassette (mit mehreren LCD-Paneelen als Objekte für die Inspektion der Ausrichtungsabweichung) in die Wärmekammer transportiert werden kann, so dass die Inspektionsvorgänge wieder wie oben beschrieben durchgeführt werden.
  • Wie aus der obigen Beschreibung ersichtlich, ermöglicht die Inspektionsvorrichtung für die LCD-Paneele gemäß der Erfindung, dass der Vorgang der Überführung des LCD-Paneels von der Kassette zu der Inspektionseinheit innerhalb der Wärmekammer im geschlossenen Zustand durchgeführt werden kann.
  • Dementsprechend besteht bei der Inspektionsvorrichtung gemäß der Erfindung eine vorteilhafte Wirkung darin, dass die Veränderung der Temperatur des LCD-Paneels minimiert wird, wodurch es möglich ist, eine genaue Inspektion der Ausrichtungsabweichung der LCD-Paneele durchzuführen.
  • Außerdem besteht bei der Inspektionsvorrichtung gemäß der Erfindung eine andere vorteilhafte Wirkung darin, dass die Veränderung der Temperatur der Wärmekammer minimiert wird.

Claims (20)

  1. Inspektionsvorrichtung für Flüssigkristallanzeigepaneele, aufweisend: eine Wärmekammer (100) zum Erhitzen einer Mehrzahl von LCD-Paneelen (1), die in einer Kassette (10) aufgenommen sind; eine Inspektionseinheit (200), die in der Nähe der Wärmekammer (100) positioniert ist, um die von der Wärmekammer (100) erhitzten LCD-Paneele (1) aufzunehmen und eine Abnormalität jedes LCD-Paneels (1) zu inspizieren; und ein Paneelüberführungsteil (300) zum Entnehmen jedes der LCD-Paneele (1) aus der Kassette (10) und Zuführen jedes der LCD-Paneele (1) zu der Inspektionseinheit (200) und zum Entnehmen jedes der LCD-Paneele (1) aus der Inspektionseinheit (200) und Zuführen jedes der LCD-Paneele (1) zu der Kassette (10) während einer Bewegung zwischen der Kassette (10) und der Inspektionseinheit (200), wobei das Paneelüberführungsteil (300) innerhalb der Wärmekammer (100) ist.
  2. Inspektionsvorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Wärmekammer (100) eine Ausnehmung (110), die an einem unteren Abschnitt ihrer Vorderseite derart ausgebildet ist, dass die Inspektionseinheit (200) an dem unteren Abschnitt ihrer Vorderseite platziert ist, und einen Paneeleinlass (111) aufweist, der an einer oberen Fläche der Ausnehmung (110) ausgebildet ist, um die LCD-Paneele (1) durch diesen hindurch der Inspektionseinheit (200) zuzuführen.
  3. Inspektionsvorrichtung nach Anspruch 2, wobei der Paneeleinlass (111) mit einer Tür zum wahlweisen Öffnen oder Schließen des Paneeleinlasses (111) versehen ist.
  4. Inspektionsvorrichtung nach Anspruch 2, wobei die Inspektionseinheit (200) eine Einlassöffnung (210) aufweist, die dem Paneeleinlass (111) zugewandt ausgebildet ist.
  5. Inspektionsvorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Wärmekammer (100) an einer seitliche Rückseite mit einem Kassetteneinlass (112) versehen ist, um zu ermöglichen, dass die Kassette (10) durch diesen hindurch in die Wärmekammer (100) hinein und aus dieser heraus transportiert wird.
  6. Inspektionsvorrichtung nach Anspruch 5, wobei der Kassetteneinlass (112) mit einer Tür zum wahlweisen Öffnen oder Schließen des Kassetteneinlasses (112) versehen ist.
  7. Inspektionsvorrichtung nach Anspruch 5, wobei die Wärmekammer (100) ferner an einer unteren Fläche der seitlichen Rückseite mit einem Transportteil (120) versehen ist, um zu ermöglichen, dass die Kassette (10) in die Wärmekammer (100) hinein und aus dieser heraus entlang der unteren Fläche der Rückseite durch den Kassetteneinlass (112) hindurch transportiert wird.
  8. Inspektionsvorrichtung nach Anspruch 7, wobei das Transportteil eine Förderbahn (500) aufweist.
  9. Inspektionsvorrichtung nach Anspruch 7, ferner aufweisend eine Hebevorrichtung (140) zum Anheben der Vorderseite der Kassette (10) derart, dass die Kassette (10) wahlweise schräggestellt werden kann.
  10. Inspektionsvorrichtung nach Anspruch 7, wobei das Transportteil (120) installiert ist, um die Kassette (10) in einer Schrägstellung in die Wärmekammer (100) hinein und aus dieser heraus zu transportieren.
  11. Inspektionsvorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Wärmekammer (100) ein Fenster (130) aufweist, um zu ermöglichen, dass die Inspektionsvorgänge innerhalb der Wärmekammer (100) durch dieses hindurch beobachtet werden können.
  12. Inspektionsvorrichtung nach Anspruch 11, wobei der Fenster (130) an einer oberen Fläche der Vorderseite der Wärmekammer (100) ausgebildet ist.
  13. Inspektionsvorrichtung nach Anspruch 1, wobei das Paneelüberführungsteil (300) ein Greifteil (310), das konfiguriert ist, um jedes LCD-Paneel (1) wahlweise zu klemmen, und dessen oberes Ende an einer oberen Außenseite der Wärmekammer (100) freigelegt ist, ein Vor- und Rückschubteil (320) zum Bewegen des Greifteils (310) zwischen der Kassette (10) und der Inspektionseinheit (200), und ein Hubteil (330) aufweist, dessen eines Ende an dem Vor- und Rückschubteil (320) befestigt ist, und dessen anderes Endes das Greifteil (310) in Auf- und Abwärtsrichtung anhebt oder absenkt.
  14. Inspektionsvorrichtung nach Anspruch 13, wobei das Greifteil (310) einen an seinem unteren entfernten Ende ausgebildeten Klemmabschnitt (313) aufweist, um einen unteren Abschnitt des LCD-Paneels (1) zu klemmen.
  15. Inspektionsvorrichtung nach Anspruch 13, wobei das Vor- und Rückschubteil (320) eine erste Schiene (321), die an einer oberen Fläche der Wärmekammer (100) in der Vor- und Rückwärtsrichtung installiert ist, und ein erstes Betätigungsteil (322) aufweist, dessen eines Ende durch Abstützung an der ersten Schiene (321) in Vor- und Rückwärtsrichtung bewegbar installiert ist, und dessen anderes Ende an dem Hubteil (330) befestigt ist.
  16. Inspektionsvorrichtung nach Anspruch 13, wobei das Hubteil (330) eine zweite Schiene (331), die in der Auf- und Abwärtsrichtung in der Wärmekammer (100) installiert ist, und ein zweites Betätigungsteil (332) aufweist, dessen eines Ende durch Abstützung an der zweiten Schiene (331) in Auf- und Abwärtsrichtung bewegbar installiert ist, und dessen anderes Ende an dem Greifteil (310) befestigt ist.
  17. Inspektionsvorrichtung nach Anspruch 13, wobei die Wärmekammer (100) eine in ihrer oberen Fläche ausgebildete Öffnung zum Bewegen des Greifteils (310) durch diese hindurch und ein Abschlussteil (400) zum Schließen der Öffnung aufweist.
  18. Inspektionsvorrichtung nach Anspruch 17, wobei das Abschlussteil (400) die Form eines faltbaren Rollos hat, mit seinen beiden Enden an einer oberen Vorderseite bzw. einer oberen Rückseite der Wärmekammer (100) befestigt ist, und mit seiner Innenfläche eine Umfangsfläche des Greifteils (310) umgibt.
  19. Inspektionsvorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Kassette (10), die Inspektionseinheit (200) und das Paneelüberführungsteil (300) jeweils in vorbestimmten Winkeln (θ) installiert sind.
  20. Inspektionsvorrichtung nach Anspruch 19, wobei die Kassette (10), die Inspektionseinheit (200) und das Paneelüberführungsteil (300) in demselben Winkel (θ) installiert sind.
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