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Die
vorliegende Erfindung betrifft eine Spannungsversorgungsrauschunterdrückungsschaltung
und ein Spannungsversorgungsrauschunterdrückungsverfahren und insbesondere
eine Spannungsversorgungsrauschunterdrückungsschaltung und ein Spannungsversorgungsrauschunterdrückungsverfahren,
durch die das durch Schalten einer Stromquelle erzeugte Spannungsversorgungsrauschen
reduziert wird.
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Gegenwärtig wird,
weil LSI- (hochintegrierte) Chips immer schneller werden, durch
Spannungsversorgungsrauschen die Spanne für bei der Konstruktion der
Chips zu berücksichtigenden
Verzögerungen vermindert,
wodurch manchmal eine Fehlfunktion einer Analogschaltung verursacht
wird.
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D.h.,
ein Stromfluß,
der jedesmal erzeugt wird, wenn ein Transistor, z.B. ein CMOS- (Complementary
Metal Oxide Semiconductor) Transistor ein- oder ausgeschaltet wird,
verursacht eine Spannungsschwankung in einer Spannungsversorgung. Derartige
Spannungsschwankungen könnten
die Verzögerung
einer Torschaltung in einem logischen Pfad ändern, wodurch die Verzögerung des
Pfades selbst sich in Abhängigkeit
von der Größe der Spannungsschwankung
der Spannungsversorgung ändert.
Beim Schaltungsdesign muß die
Größe dieser Schwankung
berücksichtigt
werden. Wenn die Spannungsschwankung der Spannungsversorgung nicht auf
einen gewünschten
Wert unterdrückt
werden kann, wird jedoch die Spanne für Verzögerungen kleiner, und im schlimmsten
Fall ist kein Fenster für
eine Übertragung
verfügbar.
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In
einer Analogschaltung wird die Spannungsversorgung manchmal zum
Erzeugen eines in der Schaltung verwendeten mittleren Potentials
verwendet. Daher ändert
sich, wenn dieses mittlere Potential sich ändert, auch das Verhalten der Schaltung selbst,
so dass die Schaltung möglicherweise
nicht wie vorgesehen arbeitet.
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Durch
eine Erhöhung
der Geschwindigkeit eines LSI-Chips und eine Verminderung des Spannungswertes
der Spannungsversorgung nimmt die Größe der Stromänderung
tendenziell zu. Wenn die Größe der Stromänderung
zunimmt, nimmt die Größe des Rauschens
(Spannungsschwankung der Spannungsversorgung) ΔV (die dem Produkt aus der induktiven
Komponente L der Spannungsversorgung und der Stromänderung
di/dt proportional ist) ebenfalls zu.
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Herkömmlich wird
hauptsächlich
ein auf dem Chip integrierter Entkopplungskondensator verwendet,
um das Spannungsversorgungsrauschen zu reduzieren. Normalerweise
wird die Kapazität
eines Gate-Bereichs als Entkopplungskondensator verwendet. Um zu
ermöglichen,
dass dieser Entkopplungskondensator mit der Kapazität eines
Gate-Bereichs Rauschen, z.B. Hochfrequenzrauschen, verarbeiten kann,
muss ein Kompromiß zwischen
dem Erfordernis, die Gate-Länge
zu reduzieren und der Verminderung der Kapazitätseffizienz pro Flächeneinheit
gemacht werden.
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Andererseits
führt eine
Erhöhung
der Anzahl von auf dem Chip integrierten Kondensatoren zu einer
größeren Chipgröße und höheren Chipkosten. Daher
besteht Bedarf für
ein kostengünstiges
Verfahren zum effizienten Unterdrücken von Spannungsschwankungen
einer Spannungsversorgung, das vom Verfahren zum Erhöhen der
Anzahl von auf einem Chip integrierten Kondensatoren verschieden ist.
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Ein
Beispiel eines derartigen Rauschunterdrückungsverfahrens ist in der
JP-A-2002-83920 beschrieben. Dieses Dokument betrifft einen Bypass-Kondensator
auf einer gedruckten Schaltung oder einem LSI-Gehäuse. In
diesem Dokument ist, weil die Wirkung eines Kondensators abgeschwächt wird,
wenn ein Bypass-Kondensator einer Spannungsversorgung vom LSI-Chip entfernt angeordnet ist,
eine Serienresonanzschaltung zum Bypass-Kondensator parallel geschaltet,
um die Impedanz für Rauschen
einer spezifischen Frequenz zu vermindern. Durch diese Konfiguration
wird ermöglicht, dass
die einer gesetzten "spezifischen
Frequenz" entsprechende
Rauschkomponente die Serienresonanzschaltung durchlaufen kann, kann
der Bypass-Kondensator näher
am LSI-Chip angeordnet werden, und wird die Spannungsschwankung
der Spannungsversorgung unterdrückt.
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Andere
verwandte Techniken zum Lösen dieses
Problems sind in der JP-A-2003-258612, JP-A-06-138241 und JP-A-07-321470 beschrieben.
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Gemäß der in
der JP-A-2002-83920 beschriebenen Technik ist es jedoch schwierig,
eine Filterfunktion für
das Spannungsversorgungsrauschen zu konstruieren, so lange die Rauschkomponenten nicht
bekannt sind, die normalerweise schwer vorausbestimmbar sind. Tatsächlich ist
es jedoch, weil ein Rauschsignal viele Frequenzkomponenten enthält, und
die einen LSI-Chip beeinflussenden Frequenzkomponenten des Rauschsignals
von der LSI-Operation abhängig
ist, schwierig, diese bereits in der Konstruktions- oder Designstufe
vorauszubestimmen. Daher besteht ein typisches Problem darin, dass
das Rauschen nicht ausreichend vermindert werden kann. Auch in den
anderen vorstehend erwähnten
Dokumenten wird keine Technik zum Lösen dieses Problems dargestellt.
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Hinsichtlich
der vorstehend erwähnten
und anderer typischer Probleme und Nachteile ist es Aufgabe der
vorliegenden Erfindung eine Spannungsversorgungsrauschunterdrückungsschaltung
und ein Spannungsversorgungsrauschunterdrückungsverfahren bereitzustellen,
durch die Spannungsversorgungsrauschen mit beliebigen Frequenzen
reduziert werden kann. Diese Aufgabe wird durch die Merkmale der
Patentansprüche
gelöst.
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Mit
einer derartigen exemplarischen Struktur und einem derartigen Verfahren
wird erfindungsgemäß eine Resonanz
in der Spannungsversorgung zwangsweise induziert, so dass das Spannungsversorgungsrauschen
bei einer vorgegebenen Resonanzfrequenz in Resonanz tritt, und wird
das Rauschen durch ein Tiefpaßfilter
unterdrückt.
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Die
neuartigen charakteristischen Merkmale der vorliegenden Erfindung
sind in den beigefügten Patentansprüchen dargestellt.
Die Erfindung und weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung werden anhand
der nachstehenden ausführlichen
Beschreibung in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen verdeutlicht;
es zeigen:
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1 ein
Schaltungsdiagramm zum Darstellen eines Beispiels einer Spannungsversorgungseinheit
mit einer erfindungsgemäßen exemplarischen Spannungsversorgungsrauschunterdrückungsschaltung;
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2 einen
Graphen zum Darstellen der Größe des Spannungsversorgungsrauschens,
wenn die erfindungsgemäße exemplarische Spannungsversorgungsrauschunterdrückungsschaltung
zwangsweise in Resonanz gebracht wird;
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3 ein
Diagramm zum Darstellen der Größe des Spannungsversorgungsrauschens,
nachdem das Rauschsignal ein Tiefpaßfilter durchlaufen hat;
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4 ein
Ablaufdiagramm zum Darstellen der Arbeitsweise eines exemplarischen
Rauschunterdrückungsverfahrens,
das in der erfindungsgemäßen Rauschunterdrückungsschaltung
verwendet wird;
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5 einen
Graphen zum Darstellen der Frequenzcharakteristik von Spannungsversorgungsrauschen,
wenn die erfindungsgemäße exemplarische
Spannungsversorgungsrauschunterdrückungsschaltung zwangsweise
in Resonanz gebracht wird;
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6 einen
Graphen zum Darstellen der Frequenzcharakteristik von Spannungsversorgungsrauschen,
nachdem das Rauschsignal nach der Resonanz das Tiefpaßfilter
durchlaufen hat;
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7 ein
Diagramm zum Darstellen eines Beispiels, in dem Resonanzgeneratoren
in einem LSI-Chip zwischen Spannungsversorgungsanschlüssen (VDD)
und Erdungsanschlüssen
(VSS) angeordnet sind;
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8 ein
Konfigurationsbeispiel zum Darstellen eines Beispiels, in dem die
erfindungsgemäße Spannungsversorgungsrauschunterdrückungsschaltung
auf eine Makroschaltung angewendet wird;
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9 ein
Konfigurationsdiagramm zum Darstellen eines Beispiels, in dem die
erfindungsgemäße Spannungsversorgungs rauschunterdrückungsschaltung
auf einen E/A-Puffer angewendet wird;
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10 ein
Konfigurationsdiagramm eines Beispiels, in dem die erfindungsgemäße Spannungsversorgungsrauschunterdrückungsschaltung
in einer gemeinsamen Spannungsversorgung einer Digitalschaltung
und einer Analogschaltung verwendet wird;
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11 ein
Schaltungsdiagramm zum Darstellen eines Beispiels einer herkömmlichen
Spannungsversorgungseinheit;
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12 einen
Graphen zum Darstellen eines Beispiels der Größe des Spannungsversorgungsrauschens
in der in 11 dargestellten herkömmlichen Spannungsversorgungseinheit;
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13 einen
Graphen zum Darstellen der Frequenzcharakteristik von Spannungsversorgungsrauchen
in der herkömmlichen
Spannungsversorgungseinheit;
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14 eine
Querschnittansicht zum Darstellen eines Beispiels, in dem eine Resonanzerzeugungsschaltung
in einem LSI-Chip zwischen dem Spannungsversorgungsanschluss (VDD)
und dem Erdungsanschluss (VSS) angeordnet ist;
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15 ein
Schaltungsdiagramm zum Darstellen eines Beispiels des in der erfindungsgemäßen Spannungsversorgungsrauschunterdrückungsschaltung
angeordneten Tiefpaßfilters;
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16 ein
Schaltungsdiagramm zum Darstellen eines Beispiels der in der erfindungsgemäßen Spannungsversorgungsrauschunterdrückungsschaltung
angeordneten Parallelresonanzschaltung; und
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17 ein
Schaltungsdiagramm zum Darstellen eines Beispiels der in der erfindungsgemäßen Spannungsversorgungsrauschunterdrückungsschaltung
angeordneten Parallelresonanzschaltung.
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Nachstehend
werden exemplarische Ausführungsformen
der vorliegenden Erfindung unter Bezug auf die beigefügten Zeichnungen
beschrieben. In der folgenden Beschreibung der Ausführungsformen
wird eine erfindungsgemäße Spannungsversorgungsrauschunterdrückungsschaltung
zur Verdeutlichung im Vergleich mit einer herkömmlichen Spannungsversorgungsrauschunterdrückungsschaltung
dargestellt.
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Erste exemplarische
Ausführungsform
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1 zeigt
ein Schaltungsdiagramm zum Darstellen eines Beispiels einer erfindungsgemäßen Spannungsversorgungseinheit
mit einer Spannungsversorgungsrauschunterdrückungsschaltung, und 11 zeigt
ein Schaltungsdiagramm zum Darstellen eines Beispiels einer herkömmlichen Spannungsversorgungseinheit.
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Zunächst wird
ein Beispiel einer herkömmlichen
Spannungsversorgungseinheit beschrieben. Wie in 11 dargestellt
ist, weist das Beispiel einer herkömmlichen Spannungsversorgungseinheit
auf: eine Stromquelle 1, eine Spule 2, einen Widerstand 3,
einen Kondensator 4, einen Kondensator 5, einen Widerstand 6 und
eine Spule 7. Diese Spannungsversorgungseinheit weist ferner
einen VDD-Anschluss (positiven Spannungsausgangsanschluss) 18 und
einen VSS-Anschluss (negativen Spannungsausgangsanschluss) 19 auf.
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Der
Widerstand 3 und die Spule 2 sind zwischen einem
Anschluss 13 der Stromquelle 1 und dem VDD-Anschluss 18 in
Serie geschaltet, und der Widerstand 6 und die Spule 7 sind
zwischen einem Anschluss 14 der Stromquelle 1 und
dem VSS-Anschluss 19 in
Serie geschaltet.
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Außerdem ist
der Kondensator 5 zwischen dem Anschluss 13 und
dem Anschluss 14 der Stromquelle 1 geschaltet,
und der Kondensator 4 ist zwischen dem VDD-Anschluss 18 und
dem VSS-Anschluss 19 geschaltet.
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Ein
Beispiel einer Stromquelle 1 ist ein Transistor (LSI).
Wie in der Figur dargestellt ist, ist der die Stromquelle darstellende
Transistor 1 zwischen dem VDD-Anschluss 18 und
dem VSS-Anschluss 19 geschaltet. Durch diese Anordnung
wird bei jedem Schaltvorgang ein Stromfluß vom VDD-Anschluss 18 zum VSS-Anschluss 19 verursacht,
wodurch ein "Sprung" in der Versorgungsspannung
auftritt. Dieser Sprung der Versorgungsspannung wird zu Spannungsversorgungsrauschen,
durch das eine in 1 nicht dargestellte, mit dem
VDD-Anschluss 18 und dem VSS-Anschluss 19 verbundene
elektronische Schaltung nachteilig beeinflußt wird.
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Um
dieses Spannungsversorgungsrauschen zu reduzieren, ist der Kondensator 5 als
Entkopplungskondensator mit beiden Enden des Transistors 1 verbunden.
D.h., indem die Kapazität
des Kondensators 5 derart festgelegt oder eingestellt wird,
dass die Reaktanz des Kondensators 5 bei einer gewünschten
Frequenz ausreichend abnimmt, durchläuft der größte Teil des Spannungsversorgungsrauschsignals
den Kondensator 5 und wird zur Erde abgeleitet. Dadurch
wird verhindert, daß das
Spannungsversorgungsrauschen über
den VDD-Anschluss 18 und den VSS-Anschluss 19 an
eine externe Einheit ausgegeben wird.
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In 11 werden
beispielsweise folgende Werte vorausgesetzt: Induktivität der Spulen 2 und 7: 30
pH, Widerstandswert der Widerstände 3 und 6:
1 Ω, Kapazität des Kondensators 4:
0,3 pF. Für
die Stromquelle 1 gilt: ΔI
= 10 mA, Tr/Tf (Anstiegszeit/Abfallzeit) = 100 ps und Kapazität des Entkopplungskondensators
(Kondensator 5): 400 pF.
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12 zeigt
einen Graphen zum Darstellen eines Beispiels der Größe des Spannungsversorgungsrauschens,
das in der in 11 dargestellten herkömmlichen
Spannungsversorgungseinheit erzeugt wird. Die vertikale Achse stellt
die Spannung (V) dar, und die vertikale Achse stellt die Zeit (ns)
dar. Die Rauschsignalwellenform (Spannungsschwankung der Spannungsversorgung)
der in 11 dargestellten herkömmlichen
Spannungsversorgungseinheit ist in 12 dargestellt,
wobei der Spitzenwert des Rauschsignals etwa 37 mV beträgt. Dies
ist ein Fall, bei dem der Spannungswert der Spannungsversorgung
1,0 V beträgt.
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Nachstehend
wird unter Bezug auf 1 ein Beispiel einer erfindungsgemäßen Spannungsversorgungseinheit
beschrieben. In der Figur bezeichnen die gleichen Bezugszeichen
wie in 11 die gleichen Strukturelemente,
so dass diese nicht näher beschrieben
werden.
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Das
Beispiel der erfindungsgemäßen Spannungsversorgungseinheit
weist auf: eine Stromquelle 1, eine Spule 2, einen
Widerstand 3, einen Kondensator 4, einen Kondensator 5,
einen Widerstand 6, eine Spule 7, ein Tiefpaßfilter 16 und
eine Parallelresonanzschaltung 15. Die Spannung wird ei ner
in 1 nicht dargestellten elektronischen Schaltung über einen
VDD-Anschluss (positiver Spannungsausgangsanschluss) 18 und
einen VSS-Anschluss (negativer Spannungsausgangsanschluss) 19 zugeführt.
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Das
Tiefpaßfilter 16 weist
einen Widerstand 10 und einen Kondensator 11 auf,
und die Parallelresonanzschaltung 15 weist eine Spule 8 und
einen Kondensator 9 auf. Das Tiefpaßfilter 16 und die
Parallelresonanzschaltung 15 bilden eine Spannungsversorgungsrauschunterdrückungsschaltung.
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Wie
in 1 dargestellt ist, sind das Tiefpaßfilter 16 und
die Parallelresonanzschaltung 15 mit der herkömmlichen
Spannungsversorgungseinheit (die die Stromquelle 1, die
Spulen 2 und 7, die Widerstände 3 und 6 und
die Kondensatoren 4 und 5 aufweist) in Serie geschaltet.
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Das
erfindungsgemäße Tiefpaßfilter
ist nicht auf die in 1 dargestellte Konfiguration
eines Tiefpaßfilters 16 beschränkt. Erfindungsgemäß kann ein in 15 dargestelltes
Tiefpaßfilter 16a verwendet werden.
Das Tiefpaßfilter 16a weist
Widerstände 81 und 82,
Kondensatoren 83 und 84 und einen Spannungsfolger 85 auf.
Die Konfiguration des Tiefpaßfilters 16a ermöglicht eine
höhere
Grenzfrequenzgenauigkeit des Tiefpaßfilters 16a als beim
Tiefpaßfilter 16.
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Auch
die erfindungsgemäße Parallelresonanzschaltung
ist nicht auf die in 1 dargestellte Parallelresonanzschaltung
beschränkt.
Stattdessen kann erfindungsgemäß die in 16 dargesteltle
Parallelresonanzschaltung 15a verwendet werden. Die Parallelresonanzschaltung 15a weist
Spulen 91 und 92 und Kondensatoren 93, 94, 95, 96 und 97 auf.
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Außerdem kann
an Stelle der in 1 dargestellten Parallelresonanzschaltung 15 die
in 17 dargestellte Parallelresonanzschaltung 15b verwendet
werden. Die Parallelresonanzschaltung 15b weist eine Spule 8 und
einen regelbaren Kondensator 9a auf. Als regelbarer Kondensator 9a kann
ein Varactor verwendet werden. Durch diese Konfiguration ist die Resonanzfrequenz
der Parallelresonanzschaltung einstellbar.
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Diese
Tiefpaßfilter
und Parallelresonanzschaltungen sind beliebig kombinierbar.
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Nachstehend
wird die Arbeitsweise der erfindungsgemäßen Spannungsversorgungsrauschunterdrückungsschaltung
beschrieben. 2 zeigt einen Graphen zum Darstellen
der Größe des Spannungsversorgungsrauschens,
das erzeugt wird, wenn die exemplarische erfindungsgemäße Spannungsversorgungsrauschunterdrückungsschaltung
zwangsweise in Resonanz gebracht wird, und 3 zeigt
einen Graphen zum Darstellen der Größe des Spannungsversorgungsrauschens,
nachdem das Rauschsignal das Tiefpaßfilter durchlaufen hat.
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Spannungsversorgungsrauschen
weist normalerweise mehrere Frequenzkomponenten auf. Die Resonanzfrequenz
der Parallelresonanzschaltung 15 muss möglichst weitgehend höher sein
als die Taktfrequenz einer elektronischen Schaltung, z.B. einer
Core-Logikschaltung in einem in 7 dargestellten
LSI-Chip, die mit einem VDD- und einem VSS-Anschluss verbunden ist.
Dies ist erforderlich, um zu verhindern, dass die elektronische
Schaltung durch die Parallelresonanzschaltung beeinflußt wird und
dadurch fehlerhaft arbeitet. Normalerweise können Rauschkomponenten höherer Harmonischer
erzeugt werden, deren Frequenz der 2-, 4-, 8-,... fachen Systemtaktfrequenz
entsprechen. Rauschkomponenten mit der bis zu 4-fachen Systemtaktfrequenz haben einen
wesentlichen Einfluß auf
die Spanne des Rauschabstands. Rauschkomponenten der 8-fachen Systemtaktfrequenz
haben dagegen nur einen geringen Einfluß auf die Spanne des Rauschabstands.
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Daher
wird durch die vorliegende Erfindung, wenn die Resonanzfrequenz
der 4-fachen Systemtaktfrequenz entspricht, eine gewisse Wirkung
erzielt, wobei jedoch große
Sorgfalt beim Schaltungsdesign erforderlich ist. Wenn die Resonanzfrequenz der
5- bis 8-fachen Systemtaktfrequenz gleicht, wird durch die vorliegende
Erfindung bei normalem Schaltungsdesign eine ausreichende Wirkung
erzielt. Wenn die Resonanzfrequenz größer ist als die 9-fache Systemtaktfrequenz,
kann durch die vorliegende Erfindung ohne jegliche Berücksichtigung
des Designs eine ausreichende Wirkung erzielt werden.
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Beispielsweise
ist es wünschenswert,
den Ausgangsanschlüssen
der Spannungsversorgung ein Tiefpaßfilter und eine Parallelresonanzschaltung hinzuzufügen, die
auf eine Frequenz angestimmt sind, die höher ist als die Rauschfrequenz
(d.h. die vorzugsweise der 5- bis 6-fachen Taktfrequenz entspricht).
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Hinsichtlich
des vorstehend beschriebenen Erfordernisses für die Resonanzfrequenz werden
die Kenngrößen der
Spule und des Kondensators der Parallelresonanzschaltung 15 beispielsweise
folgendermaßen
festgelegt: Induktivität
der Spule 8: 50 pH und Kapazität des Kondensators 9:
50 pF.
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2 zeigt
einen Graphen zum Darstellen der Frequenzkomponenten von Spannungsversorgungsrauschen,
wenn die erfindungsgemäße Rauschunterdrückungsschaltung
zwangsweise in Resonanz gebracht wird, 3 zeigt
einen Graphen zum Darstellen der Frequenzkomponenten des Spannungsversorgungsrauschsignals,
nachdem das Spannungsversorgungsrauschsignal das Tiefpaßfilter
nach der Resonanz durchlaufen hat, und 4 zeigt
ein Ablaufdiagramm zum Darstellen der Arbeitsweise des in der erfindungsgemäßen exemplarischen
Rauschunterdrückungsschaltung
ausgeführten
Rauschunterdrückungsverfahrens.
In den 2 und 3 stellen die vertikale Achse
die Spannung (V) und die horizontale Achse die Zeit (ns) dar.
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Zunächst wird
die mit der Spannungsversorgungseinheit in Serie geschaltete Parallelresonanzschaltung 15 zwangsweise
in Resonanz gebracht, um zu veranlassen, dass die Rauschfrequenzen
der Resonanzfrequenz der Parallelresonanzschaltung 15 gleichen
oder näherungsweise
gleichen (Schritt S1 in 4). Wenn die Werte wie vorstehend
beschrieben festgelegt sind, ergeben sich während der Resonanz die in 2 dargestellten
Frequenzkomponenten des Spannungsversorgungsrauschens der Parallelresonanzschaltung 15.
Gemäß 2 beträgt der Spitzenwert
des Rauschsignals etwa 25 mV und ist damit wesentlich kleiner als
der Spitzenwert des Rauschsi gnals (etwa 37 mV) in der vorstehend
beschriebenen, in 12 dargestellten herkömmlichen Spannungsversorgungseinheit.
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Dann
werden die Spannungsversorgungsrauschsignale, deren Frequenz der
Parallelresonanzfrequenz gleicht oder näherungsweise gleicht, durch
das mit der Parallelresonanzschaltung 15 in Serie geschaltete
Tiefpaßfilter 16 unterdrückt (Schritt S2
in 4). Dann wird, wie in 3 dargestellt
ist, der Spitzenwert des Rauschsignals weiter auf 16 mV reduziert.
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Dadurch
kann die erfindungsgemäße Spannungsversorgungseinheit
das Spannungsversorgungsrauschen bezüglich des Spannungsversorgungsrauschens
der herkömmlichen
Spannungsversorgungseinheit auf die Hälfte oder weniger reduzieren.
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5 zeigt
einen Graphen zum Darstellen der Frequenzcharakteristik von Spannungsversorgungsrauschen,
wenn die erfindungsgemäße Spannungsversorgungsrauschunterdrückungsschaltung
zwangsweise in Resonanz gebracht wird, 6 zeigt
einen Graphen zum Darstellen der Frequenzcharakteristik von Spannungsversorgungsrauschen, nachdem
die Rauschsignale nach der Resonanz das Tiefpaßfilter durchlaufen haben,
und 13 zeigt einen Graphen zum Darstellen der Frequenzcharakteristik
von Spannungsversorgungsrauschen, das durch die herkömmliche
Spannungsversorgungsrauschunterdrückungsschaltung erzeugt wird.
In den 5, 6 und 13 stellen
die vertikale Achse die Amplitude (mag) und die horizontale Achse
die Frequenz (Hz) dar.
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Nachstehend
wird unter Bezug auf die 5, 6 und 13 die
Arbeitsweise der erfindungsgemäßen exemplarischen Spannungsversorgungsrauschunterdrückungsschaltung
ausführlicher
beschrieben.
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13 zeigt
die Frequenzcharakteristik des Spannungsversorgungsrauschens 101 der
herkömmlichen
Spannungsversorgungseinheit. Gemäß dieser
Figur tritt der Spitzenwert des Spannungsversorgungsrauschens am
Mittelpunkt zwischen 100 MHz und 1 GHz auf, wobei der Rauschsignalpegel etwa
0,023 mag beträgt.
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Andererseits
zeigt 5, dass, wenn die erfindungsgemäße Spannungsversorgungsrauschunterdrückungsschaltung
zwangsweise in Resonanz gebracht wird, der Pegel des in 13 dargestellten Spannungsversorgungsrauschens 101 auf
den Pegel des Spannungsversorgungsrauschens 102 reduziert
wird, und außerdem
tritt das neue Spannungsversorgungsrauschen 103 (dessen
Pegel 0,025 mag oder mehr beträgt)
der Resonanzfrequenz bei einer Frequenz (etwa am Mittelpunkt zwischen
1 GHz und 10 GHz) auf, die höher
ist als diejenige des Spannungsversorgungsrauschens 102.
Der Grund, warum der Pegel des Spannungsversorgungsrauschens 102 (etwa
0,010 mag) bezüglich
des Pegels des ursprünglichen
Spannungsversorgungsrauschens 101 wesentlich reduziert
ist, ist, dass die Energie des ursprünglichen Spannungsversorgungsrauschens 101 zum
Spannungsversorgungsrauschen 103 der Resonanzfrequenz verschoben
ist. Andererseits zeigt 6, dass das Spannungsversorgungsrauschen 103 der
Resonanzfrequenz, das das Tiefpaßfilter 16 durchläuft, unterdrückt ist
(auf etwa 0,005 mag), und der Pegel des Spannungsversorgungsrauschens dem
durch das Bezugszeichen 103a dargestellten Pegel entspricht.
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Wie
vorstehend beschrieben wurde, wird ein wesentlicher Rauschunterdrückungseffekt
erzielt, indem veranlaßt
wird, dass die Energie des Spannungsversorgungsrauschens, dessen
Spitzenwert ursprünglich
im Niedrigfrequenzbereich liegt (vergl. 13), durch
Resonanz zu einer Resonanzfrequenz im Hochfrequenzbereich verschoben
(vgl. 5) und dann das Spannungsversorgungsrauschen unter
Verwendung des Tiefpaßfilters
unterdrückt
wird (vgl. 6).
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D.h.,
durch Parallelresonanz, falls diese erzeugt wird, wird die Impedanz
der Spannungsversorgung bei der Resonanzfrequenz wesentlich erhöht. Weil
der Spannungsversorgungsstrom, multipliziert mit der Impedanz der
Spannungsversorgung, die Spannungsschwankung der Spannungsversorgung darstellt,
nimmt die Spannungsschwankung mit zunehmender Impedanz zu.
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D.h.,
wenn eine Parallelresonanz erzeugt wird, nimmt die Impedanz der
Spannungsversorgung bei der Resonanzfre quenz zu, und das Spannungsversorgungsrauschen
bei der Resonanzfrequenz nimmt ebenfalls zu. Wenn diese Parallelresonanz zwangsweise
in der Spannungsversorgung induziert wird, wird die Impedanz bei
anderen Frequenzen relativ reduziert, und die Impedanz bei der Resonanzfrequenz
erhöht.
Dadurch nimmt das Spannungsversorgungsrauschen bei der Resonanzfrequenz
wesentlich zu und wird das Spannungsversorgungsrauschen bei anderen
Frequenzen reduziert.
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Wie
vorstehend beschrieben wurde, hat die erste exemplarische Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung eine Konfiguration, gemäß der die Spannungsversorgungsrauschkomponenten
durch die Parallelresonanz zwangsweise zur Parallelresonanzfrequenz
verschoben und dann durch das Tiefpaßfilter unterdrückt werden.
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Zweite exemplarische
Ausführungsform
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7 zeigt
ein Diagramm zum Darstellen eines Beispiels, in dem Resonanzgeneratoren
in einem LSI-Chip zwischen Spannungsversorgungsanschlüssen (VDD) 18 und
Erdungsanschlüssen
(VSS) 19 angeordnet sind. Wie in der Figur dargestellt
ist, sind die Spannungsversorgungen in einem LSI-Chip gitterförmig angeordnet. Während die
in der vorstehend erwähnten
JP-A-2002-83920 beschriebene Serienresonanzschaltung nicht in eine
derartige Schaltung eingefügt
werden kann, ist die erfindungsgemäße Spannungsversorgungsrauschunterdrückungsschaltung
in eine derartige Schaltung einfügbar.
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7 zeigt
ein Beispiel, in dem die Parallelresonanzschaltungen 15 der
ersten Ausführungsform
in einem LSI-Chip zwischen mehreren Spannungsversorgungsanschlüssen (VDD) 18 und
Erdungsanschlüssen
(VSS) 19 derart angeordnet sind, dass eine Parallelresonanzschaltung
für jeweils
mehrere VDD- und VSS-Anschlüsse
(G) bereitgestellt wird. Obwohl in 7 nicht
dargestellt, ist das Tiefpaßfilter 16 der
ersten Ausführungsform
in der tatsächlichen
Konfiguration mit der Parallelresonanzschaltung in Serie geschaltet.
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14 zeigt
ein Querschnittdiagramm zum Darstellen eines Beispiels, in dem die
Resonanzerzeugungsschaltung in einem LSI-Chip 21 zwischen einem
Spannungsversorgungsanschluss (VDD) 18 und einem Erdungsanschluss
(VSS) 19 angeordnet ist. In einem LSI-Chip 160 sind
ein CMOS 162, ein (dem Tiefpaßfilter 16 in 1 entsprechendes)
Tiefpaßfilter 104 und
eine (der Parallelresonanzschaltung 15 in 1 entsprechende)
Parallelresonanzschaltung 105 auf einem Si-Substrat 161 angeordnet,
und diese Komponenten sind über
ihre benachbarten Teile miteinander verbunden. Der CMOS 162 und
das Tiefpaßfilter 104 sind über eine
(nicht dargestellte) Verdrahtungsmetallschicht verbunden, die zwischen
dem Si-Substrat 161 und den Spannungsversorgungsanschlüssen VDD
und VSS bereitgestellt wird.
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Metallschichten 109 (Spannungsversorgungsmetallschicht 107 und
Erdungsmetallschicht 106) und Verdrahtungsmetallschichten
(nicht dargestellt) sind zwischen der Parallelresonanzschaltung 105 und
den Spannungsversorgungsanschlüssen VSS 18 und
VSS 19 angeordnet, und die Schichten und die Spannungsversorgungsanschlüsse sind über Kontaktierungslöcher verbunden.
Ein Ende der Parallelresonanzschaltung 105 ist über das
Kontaktierungsloch 112 und durch die Spannungsversorgungsmetallschichten 107 und 110 mit
dem Spannungsversorgungsanschluss VDD 18 verbunden und über einen
Lötanschluss 150 ein
Kontaktierungsloch 121 und eine Spannungsversorgungsschicht 131 mit einer
Gleichspannungsversorgung 163 verbunden. Die Kontaktierungslöcher 121 und 122,
die Spannungsversorgungsschicht 131 und eine Erdungsschicht 132 sind
in einer gedruckten Schaltung 164 angeordnet. Ähnlicherweise
ist das andere Ende der Parallelresonanzschaltung 105 über ein
Kontaktierungsloch 112a und durch die Erdungsmetallschicht 106,
das Kontaktierungsloch 113 und eine Erdungsmetallschicht 108 mit
dem Spannungsversorgungsanschluss VSS 19 verbunden und über einen
Lötanschluss 151,
das Kontaktierungsloch 122 und die Erdungsschciht 132 mit
der Gleichspannungsversorgung 163 verbunden.
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Gemäß der vorstehend
beschriebenen Konfiguration wird durch die zweite exemplarische
Ausführungsform
die gleiche Wirkung erzielt wie bei der ersten exemplarischen Ausfüh rungsform
(vgl. 3). Der in 1 dargestellte
LSI-Chip 1 mit einer Größe von etwa
100 μm nimmt
nicht viel Platz ein. Weil die Frequenzcharakteristiken auf die
Resonanzfrequenz eingestellt sind, muss die Schaltung nicht für viele
Frequenzen konstruiert werden.
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Dritte exemplarische Ausführungsform
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8 zeigt
ein Konfigurationsdiagramm zum Darstellen eines Beispiels, in dem
die erfindungsgemäße Spannungsversorgungsrauschunterdrückungsschaltung
auf eine Makroschaltung angewendet wird. Eine "Makroschaltung" bezeichnet einen Schaltungsblock mit
einer in einem Chip, z.B. in einem RAM-(Direktzugriffsspeicher) Schaltung oder
in einer SerDes-(Serial-Deserial)
Schaltung, integrierten speziellen Funktion.
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Gemäß 8 sind
eine Parallelresonanzschaltung 32, ein Tiefpaßfilter 33 und
eine Makroschaltung 31 mit einer nicht dargestellten Spannungsversorgung
in Serie geschaltet. Die Parallelresonanzschaltung 32 hat
die gleiche Konfiguration wie die Parallelresonanzschaltung 15 der
ersten exemplarischen Ausführungsform,
und das Tiefpaßfilter 33 hat
die gleiche Konfiguration wie das Tiefpaßfilter 16 der ersten
Ausführungsform.
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Wenn
die Makroschaltung 31 wie in 8 dargestellt
angeordnet ist, wird die Spannungsversorgungsrauschunterdrückungsschaltung
(Parallelresonanzschaltung 32 + Tiefpaßfilter 33) zwischen
die Makroschaltung 31 und eine externe Spannungsversorgung
derart angeordnet, als ob sie eine Reglerschaltung wäre. Durch
diese Konfiguration wird eine rauscharme Spannungsversorgung bereitgestellt,
durch die insbesondere dann ein wesentlicher Vorteil erzielt wird,
wenn die Makroschaltung eine Analogschaltung ist.
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Eine
normale Reglerschaltung benötigt
eine zusätzliche
externe Spannungsversorgung, deren Spannungspegel höher ist
als der Spannungspegel der internen Spannungsversorgung, und außerdem einen
wesentlich größeren Installationsraum.
Die erfindungsgemäße Schaltung
benötigt
dagegen, wenn sie als Alternative zu einer derartigen normalen Reglerschaltung
verwendet wird, nur eine Spannungsversorgung mit einem einzigen
Spannungspegel, so daß der
zusätzliche
Installationsraum auf etwa 1/10 reduziert wird.
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Vierte exemplarische Ausführungsform
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9 zeigt
ein Konfigurationsdiagramm zum Darstellen eines Beispiels, in dem
die erfindungsgemäße Spannungsversorgungsrauschunterdrückungsschaltung
auf einen E/A-Puffer angewendet wird. Gemäß 9 ist eine
Spannungsversorgungsrauschunterdrückungsschaltung 43 zwischen
einem E/A-Puffer 41 und einer E/A-Puffer-Spannungsversorgung 42 geschaltet.
Die Spannungsversorgungsrauschunterdrückungsschaltung 43 weist
eine Parallelresonanzschaltung 51 und ein Tiefpaßfilter 52 auf, die
in Serie geschaltet sind, wobei die Parallelresonanzschaltung 51 die
gleiche Konfiguration hat wie die Parallelresonanzschaltung 15 der
ersten exemplarischen Ausführungsform
und das Tiefpaßfilter 52 die
gleiche Konfiguration hat wie das Tiefpaßfilter 16 der ersten
Ausführungsform.
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Eine
Spannungsschwankung in der Spannungsversorgung 42 des E/A-Puffers 41,
falls diese erzeugt wird, erzeugt Jitter (Wellenformverzerrung), bei
einer Signalübertragung.
Weil Datenübertragungsraten
immer höher
werden, nimmt die Übertragungsspanne
ab und sind die Übertragungsentfernung
und die Übertragungsgeschwindigkeit
begrenzt.
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Durch
die Verwendung der erfindungsgemäßen Spannungsversorgungsrauschunterdrückungsschaltung 43 könnten die
Spannungsschwankungen in der Spannungsversorgung reduziert, Jitter
unterdrückt
und die Übertragungsspanne
erhöht
werden.
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Aufgrund
der Konfiguration des E/A-Puffers 41 ist es schwierig,
einen Entkopplungskondensator mit dem E/A-Puffer 41 zu
verbinden. Daher kann die erfindungsgemäße Spannungsversorgungsrauschunterdrückungsschaltung
auf eine derartige Schaltung angewendet werden.
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Fünfte exemplarische Ausführungsform
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Wenn
eine Digitalschaltung und eine Analogschaltung eine gemeinsame Spannungsversorgung verwenden,
wird durch Rauschen im Taktsignal der Digitalschaltung manchmal
eine Störung
in der Analogschaltung verursacht. Daher verwenden die Digitalschaltung
und die Analogschaltung herkömmlicherweise
getrennte Spannungsversorgungen. Durch die fünfte exemplarische Ausführungsform wird
dieses Problem gelöst.
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10 zeigt
ein Konfigurationsdiagramm zum Darstellen eines Beispiels, in dem
die erfindungsgemäße Spannungsversorgungsrauschunterdrückungsschaltung
in der gemeinsamen Spannungsversorgung einer Digitalschaltung und
einer Analogschaltung verwendet wird.
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Gemäß 10 ist
eine Spannungsversorgungsrauschunterdrückungsschaltung 63 zwischen
einer Digitalschaltung 61 und einer Analogschaltung 62 geschaltet.
Die Digitalschaltung 61 und die Analogschaltung 62 sind
mit einer nicht dargestellten gemeinsamen Spannungsversorgung verbunden.
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Die
Spannungsversorgungsrauschunterdrückungsschaltung 63 weist
eine Parallelresonanzschaltung 72 und ein Tiefpaßfilter 71 auf,
die in Serie geschaltet sind, wobei die Parallelresonanzschaltung 32 die
gleiche Konfiguration hat wie die Parallelresonanzschaltung 15 der
ersten exemplarischen Ausführungsform,
und das Tiefpaßfilter 33 die
gleiche Konfiguration hat wie das Tiefpaßfilter 16 der ersten Ausführungsform.
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Ein
Beispiel der Digitalschaltung 61 ist eine Logikschaltung,
und ein Beispiel der Analogschaltung 62 ist eine PLL- (Phasenregelkreis)
Schaltung.
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Durch
Schalten der Spannungsversorgungsrauschunterdrückungsschaltung 63 zwischen
der Digitalschaltung 61 und der Analogschaltung 62 gemäß der vorstehenden
Beschreibung wird verhindert, dass die Analogschaltung 62 durch
Rauschen beeinflußt
wird, das durch ein Taktsignal der Digitalschaltung 61 verursacht
wird. Natürlich
werden sowohl die Digitalschaltung 61 als auch die Analogschaltung 62 durch
das in Verbindung mit der ersten Ausführungsform dargestellte Spannungsversorgungsrauschen nicht
beeinflußt.
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Die
erfindungsgemäße Spannungsversorgungsrauschunterdrückungsschaltung,
die die Spannungsversorgung, die Resonanzschaltung und das Filter
aufweist, kann Spannungsversorgungsrauschen mit beliebigen Frequenzen
reduzieren.
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D.h.,
die erfindungsgemäße Spannungsversorgungsrauschunterdrückungsschaltung
kann die Größe des normalerweise
erzeugten Spannungsversorgungsrauschens wesentlich reduzieren und
die Wirkung einer Spannungsschwankung der Spannungsversorgung auf
die Schaltungen, insbesondere auf rauschempfindliche Schaltungen,
in einem LSI-Baustein unterdrücken.
Dadurch wird eine Verminderung der Verzögerungsspanne vermieden, die
durch eine Schaltungsstörung
und eine Verzögerungsschwankung
erzeugt wird. Außerdem
wird in einem normalen LSI-Chip außer dem Spannungsversorgungsrauschen
auch Substratrauschen erzeugt, das sich über ein Siliziumsubstrat ausbreitet.
Auch wenn dieses Rauschen erzeugt wird, kann dieses Rauschen durch
Erzeugen einer Resonanz mit dem Spannungsversorgungsrauschen kombiniert
werden.
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Obwohl
die vorliegende Erfindung unter Bezug auf erläuternde exemplarische Ausführungsformen
beschrieben worden ist, soll die Beschreibung nicht im einschränkenden
Sinne verstanden werden. Für
Fachleute ist anhand der Beschreibung ersichtlich, dass innerhalb
des durch die beigefügten
Patentansprüche
definierten Schutzumfangs der vorliegenden Erfindung verschiedene
Modifikationen bezüglich
den exemplarischen Ausführungsformen
möglich und
andere oder äquivalente
Ausführungsformen
realisierbar sind.