CZ289688B6

CZ289688B6 - Způsob výroby produktů na bázi ITO-slitin

Info

Publication number: CZ289688B6
Application number: CZ1998587A
Authority: CZ
Inventors: Paul Lippens; Ludo Froyen; Louis Buekenhout
Original assignee: Innovative Sputtering Technology
Priority date: 1995-08-31
Filing date: 1996-08-29
Publication date: 2002-03-13
Also published as: KR100567472B1; KR19990036329A; ES2177798T3; WO1997008358A1; US6123787A; CZ58798A3; BR9610397A; DE69621455T2; JPH11511510A; IL122949A; AU707146B2; EP0871793B1; DK0871793T3; DE69621455D1; IL122949A0; AU6929896A; ATE218169T1; EP0871793A1

Abstract

P°i zp sobu v²roby nepor zn ho produktu se vych z z minoritn ho pod lu c nov ho pr ku a majoritn ho pod lu pr ku oxidu indit ho, p°i em zp sob zahrnuje m sen a mlet c nov ho pr ku a pr ku oxidu indit ho v p° tomnosti reguluj c ho inidla tvo°en ho alkoholem k dosa en rovnom rn distribuce stic c nov ho pr ku po povrchu stic pr ku oxidu indit ho a upevn n stic c nov ho pr ku na povrchu stic pr ku oxidu indit ho, a zhutn n takto vytvo°en pr kov slitiny p°i vysok teplot . Nepor zn produkt na b zi mechanicky vytvo°en pr kov slitiny vyroben² uveden²m zp sobem je vhodn² pro pou it jako ter k p°i nan en ITO-kompozic plazmov²m rozpra ov n m.\

Description

Způsob výroby produktů na bázi ITO-slitin

Oblast techniky

Vynález se týká způsobu výroby produktů na bázi ITO-slitin, a zejména neporézních produktů na bázi slitin oxidu inditého a cínu používaných jako terčíků při nanášení ITO-kompozic plazmovým rozprašováním. ITO-slitinou se rozumí slitiny na bázi cínu a oxidu india. Stejně tak ITOkompozicemi se rozumí kompozice na bázi cínu a oxidu india.

Dosavadní stav techniky

Z oblasti dosavadního stavu techniky, zejména z dokumentu DE 40 37 733 AI je známá výroba ITO-terčíků pro plazmové rozprašování. V tomto dokumentu je uvedeno několik použití foliových podložek pokrytých tenkými vrstvami ITO-produktů pomocí plazmového rozprašování, jakým je např. použití těchto podložek pro dotykové panely. Terčíky jsou vyrobeny lisováním a slinováním směsi jemného prášku In₂O₃ s jemným práškem SnO₂ v kyslíkové atmosféře. Ačkoliv takto vyrobený terčík má vysokou hustotu, má poměrně malou elektrickou vodivost, takže může být pouze použit při nízké hustotě vývinu energie stejnosměrného proudu ve stejnosměrném magnetronovém výboji.

Alternativní způsob výroby ITO-terčíků je popsán v patentovém dokumentu JP 06-002124. Tento způsob zahrnuje stupeň spočívající ve vytvoření směsi prášku oxidu inditého In₂O₃ a prášku oxidu cínatého SnO, stupeň spočívající v tepelné úpravě smíchaných prášků, stupeň spočívající v rozmělňování smíchaných prášků a stupeň spočívající ve zhutnění uvedených prášků.

Podstata vynálezu

Cílem vynálezu je poskytnout neporézní produkt na bázi práškové metalurgické slitiny, který by měl vlastnosti charakteristické pro indium, cín a kyslík a lepší vodivost. Podle vynálezu nevýhoda nízké vodivosti může být překonána v případě, že cín Sn je do prášku oxidu inditého In₂O₃přidán ne ve formě oxidu, nýbrž v jeho kovovém stavu, a že kovová fáze cínu je udržována ve velké míře po celou dobu výroby neporézního produktu. Neporézním produktem na bázi kovové práškové slitiny se v této přihlášce vynálezu rozumí produkt s hustotou alespoň 95 % teoretické hustoty In₂O₃.

Dalším cílem vynálezu je použití uvedeného produktu jako terčíku při nanášení ITO-kompozic plazmovým rozprašováním, které umožňuje vyloučení nebo silné omezení přidání reakčního kyslíkového plynu do inertního plynu (ve většině případů do argonu). To zjednodušuje podstatně regulaci rozprašovacího procesu. Vynález se tudíž rovněž týká použití výše uvedeného neporézní produktu jako terčíku při způsobu kontinuálního nanášení ITO-kompozic na podložku plazmovým rozprašováním, přičemž uvedený terčík je rozprašován v atmosféře obsahující alespoň 90 % argonu a zbytek plynného kyslíku. Podložka může být tvořena podlouhlým předmětem, jakým je např. drát, vlákno, kord, pás, tyč, trubka nebo profil, nebo řada těchto předmětů v paralelním uspořádání. Podložka může být rovněž tvořena rovinným předmětem, jakým může být fólie, film, pás, tkaná, opletená, pletená nebo netkaná tkanina, deska nebo plech. V závislosti na tvaru podložky, která má být pokryta ITO-kompozicí, terčík může mít rovinný nebo trubicovitý tvar.

Předmětem vynálezu je způsob výroby neporézního produktu na bázi metalurgické práškové slitiny, při kterém se vychází z minoritního podílu cínového prášku a majoritního podílu prášku oxidu inditého, přičemž podstata tohoto způsobu spočívá vtom, že zahrnuje míšení a mletí cínového prášku a prášku oxidu inditého realizované procesem mechanického slévání v přítom

-1 CZ 289688 B6 nosti proces-regulujícího činidla tvořeného alkoholem k dosažení rovnoměrné distribuce částic cínového prášku po povrchu částic prášku oxidu inditého a upevnění částic cínového prášku na povrchu částic prášku oxidu inditého a k získání mechanicky vytvořené práškové slitiny, a zhutnění uvedené mechanicky vytvořené práškové slitiny při vysoké teplotě k vytvoření uvedeného 5 neporézního produktu. Uvedené míšení a mletí má plastický hnětači účinek na uvedené rozdílné prášky. Neporézní mechanicky vytvořená prášková slitina je někdy označována jako ISOT-slitina a stejně tak produkt získaný z této slitiny je označován jako ISOT-produkt.

Výchozí prášky oxidu inditého a cínu mohou mít velikost částic měnící se v širokém rozmezí.

Prášek oxidu inditého je obvyklým způsobem vyroben pražením In(OH)₃ a drcením této sloučeniny na požadovanou velikost částic, přičemž takto vytvořené částice mají spíše nepravidelný tvar a vzhled vločky. Výhodně průměrný objem jednotlivých částic prášku oxidu inditého je větší než průměrný objem jednotlivých částic cínového prášku.

Výhodně uvedené míšení a mletí rozdílných prášků v přítomnosti proces-regulujícího činidla provádí při pokojové teplotě.

Výhodně uvedené míšení a mletí rozdílných prášků v přítomnosti proces-regulujícího činidla provádí v roztíracím zařízení, planetové válcové stolici nebo jiném vysokovýkonném mlecím 20 zařízení.

Výhodně před uvedeným míšením a mletím rozdílných prášků v přítomnosti proces-regulujícího činidla provede konvenční míšení uvedených rozdílných prášků.

Poněvadž prášek oxidu inditého je velmi hydrofílní, snadno přechází na In(OH₃) nebo kompozice, které se svým složením pohybují mezi oběma uvedenými sloučeninami. Během pozdějšího zhutňování práškové slitiny probíhajícího při vysoké teplotě tyto kompozice znovu uvolňují jak vodu H₂O, tak i plynný vodík H₂. Tvorba plynného vodíku může být tímto katalyzována Sn-fází v uvedené směsi. Tento jev brání žádoucímu zhutnění, poněvadž uvedený plyn může zůstat 30 zapouzdřen ve zhutněných práškách, a tím zamezuje tvorbu dostatečně hustého slitinového produktu. Vzhledem k této skutečnosti by se mělo zabránit uvolňování vody nebo vodíku uvnitř prášků nebo vodík nebo voda vázaná kontaminovanými prášky nebo uvolňovaná kontaminovanými prášky by měla být před uvedeným zhutněním odstraněna. Tudíž za účelem odstranění veškeré vody, hydroxidu a vodíku je výhodné před uvedeným zhutněním práškové slitiny při vysoké teplotě provést odplynění. Toto odplynění se provádí v inertním plynu, jakým je např. Ar aN₂, a při teplotě nepatrně vyšší, než je teplota, při které se provádí uvedené zhutnění práškové slitiny. Po odplynění práškové slitiny je prášková slitina ochlazena v ochranné atmosféře, tvořené např. inertním plynem N₂ nebo Ar, a nato uložena do zásobníků vyplněných inertním plynem.

Výhodně se odplyní uvedené výchozí prášky a ostatní procesní stupně se provedou v prostředí v podstatě prostého H₂, H₂O a O₂.

Výhodně se odplyní uvedená mechanicky vytvořená prášková slitina.

Výhodně uvedené zhutnění mechanicky vytvořené práškové slitiny se provede izostatickým lisováním za studená kombinované s izostatickým lisováním za tepla. Izostatické lisování za studená je někdy označováno jako ClP-proces a izostatické lisovaní za tepla jako HIP-proces.

Výhodně tlak použitý při uvedeném zhutnění mechanicky vytvořené práškové slitiny je alespoň 50 1 00 MPa.

Dalším předmětem vynálezu je způsob výroby neporézního produktu na bázi metalurgické práškové slitiny ve formě trubkovitého terčíku pro nanášení ITO-kompozic plazmovým rozprašováním, přičemž podstata tohoto způsobu spočívá vtom, že uvedené zhutnění mechanicky

-2CZ 289688 B6 vytvořené práškové slitiny při vysoké teplotě je provedeno postupem zahrnujícím stupeň spočívající v připevnění nosné trubice soustředně uvnitř vnější trubice vytvořené z uhlíkové oceli a pokryté na vnitřní straně vrstvou AI2O3, stupeň spočívající ve svaření nosné trubice s touto vnější trubicí k vytvoření trubicovitého prostoru, stupeň spočívající ve vyčerpání trubicovitého prostoru, stupeň spočívající v naplnění trubicovitého prostoru mechanicky vytvořenou práškovou slitinou, stupeň spočívající ve zhutnění mechanicky vytvořené práškové slitiny při vysoké teplotě a stupeň spočívající ve vyjmutí uvedené vnější trubice.

Dalším předmětem vynálezu je neporézní produkt na bázi mechanicky vytvořené práškové slitiny vyrobený výše uvedeným způsobem, jehož podstata spočívá vtom, že má obsah cínu mezi 3 a 25 hmotnostními procenty a hustotu alespoň 97 %.

Výhodně neporézní produkt má obsah cínu mezi 8 a 15 hmotnostními procenty.

Výhodně neporézní produkt má měrnou hmotnost alespoň 6,8 g/cm³.

Výhodně neporézní produkt má měrný odpor nižší než 1 mQ.cm.

Neporézní produkt může mít libovolný žádoucí tvar. V případě použití neporézního produktu jako terčíku pro nanášení ITO-kompozic plazmovým rozprašováním má neporézní produkt formu desky tvořící rovinný terčík nebo trubice tvořící, např. otočný terčík.

Výhodně uvedená deska nebo trubice je při jednom povrchu pokryta dalším materiálem. Tímto dalším materiálem se rozumí materiál nosné struktury, ke kterému se během uvedeného zhutňování prášková slitina připevní. V případě použití neporézního produktu jako terčíku pro nanášení ITO-kompozic plazmovým rozprašováním se tento další materiál nachází na straně produktu opačné vůči straně produktu určená k rozprašování. Uvedený nosný materiál může být tvořen nerezavějící ocelí potaženou vrstvou niklu a dále vrstvou titanu, která je v kontaktu s neporézním prvkem.

Dalším předmětem vynálezu je použití výše uvedeného neporézního produktu jako terčíku při způsobu nanášení ITO-kompozic plazmovým rozprašováním. V případě, že má být pokryt podlouhlý předmět, potom zařízení k provádění uvedeného způsobu zahrnuje terčík ve formě pevné trubicovité struktury připevněné k vnitřní stěně nosné trubice z dalšího materiálu. Tato tubulámí struktura je upevněna v rozprašovacím zařízení, které dále obsahuje konvenční řadu magnetů, prostředek pro dodávku plynného Ar, prostředek pro dodávku chladicí vody, prostředek pro dodávku elektrické energie, apod. V případě, že má být pokryt předmět podobný desce, potom uvedené zařízení může zahrnovat alespoň jeden terčík ve formě otočné trubicovité struktury upevněné na vnější straně nosné trubice z dalšího materiálu. Tento další materiál je obvykle tvořen kovem a uvedené uspořádání terčíku je obecně známé z dokumentu WO/08438.

Dalším předmětem vynálezu je použití výše uvedeného neporézní produktu jako terčíku při způsobu kontinuálního nanášení ITO-kompozic na podložku plazmovým rozprašováním, ve kterém terčík je rozprašován v atmosféře obsahující alespoň 90% argonu a zbytek do 100% plynného kyslíku.

-3CZ 289688 B6

Příklady provedení vynálezu

Vynález bude dále popsán pomocí odkazů na příkladná provedení použitelná jako otočné ITOterčíky pro nanášení plazmovým rozprašováním. Z tohoto popisu budou zřejmé další aspekty a výhody vynálezu.

První stupeň způsobu výroby bezpórového produktu na bázi prášku z metalurgické slitiny spočívá ve v podstatě rovnoměrné distribuci minoritního podílu práškového cínu v podílu prášku oxidu inditého. Za účelem získání terčíkového materiálu majícího žádoucí chemické složení pro ovrstvení např. transparentních elektronických vodičů (ITO-povlaky) výchozí prášek musí být zvolen tak, aby měl vysokou čistotu (alespoň 99,9 % a výhodně 99,99 %). Míšení může být provedeno při pokojové teplotě za podmínek měnících se v širokém rozmezí a v zařízení zvolené z početné množiny zařízeních. Toto míšení může být uskutečněno např. v trojrozměrným turbulentním mlecím zařízení řízením používajícím steatitových kulových tělísek (průměr 6 mm, 100 g kulových tělísek na 100 g prášku) za účelem zvýšení účinnosti míšení. Míšení je realizováno při relativně nízké rychlosti turbulátoru (např. přibližně při rychlosti 70 ot/min) a po dobu, např. dvou hodin. Míšení může být také provedeno v dvojrozměrném kulovém mlýnu.

Za účelem získání práškové slitiny je cínový prášek výhodně připevněn na povrchu prášku oxidu inditého např. určitým typem procesu mechanického sléváni. Proces mechanického slévání je známý zejména pro spojení majoritního podílu měkkých prášků s minoritním podílem tvrdých prášků. Tvrdší částice jsou potom mechanicky nalisovány na měkké částice. V případě vynálezu je však situace opačná. Za účelem dosažení v podstatě rovnoměrné distribuce minoritní podíl měkkého cínového prášku je výhodně v podstatě rovnoměrně distribuován na povrch tvrdších částic In₂O₃. Tato distribuce je výhodně provedena při pokojové teplotě v rozstíracím zařízení nebo planetové válcovací stolici s kulovými tělisky z chromové oceli o průměru mezi 4 mm a 7 mm a za přítomnosti alkoholu, např. etanolu, jako činidla pro regulaci procesu. V případě použití roztíracího zařízení uvedené mechanické lití může být provedeno při nepříliš vysoké rychlosti (např. přibližně 150 ot/min) během jedné hodiny ve vzduchové nebo inertní atmosféře. Rovnoměrnost distribuce je obecně zlepšena v případě, že mechanické slévání vroztíracím zařízení je provedeno za použití premixu prášků, např. premixu vytvořeného ve výše uvedeném procesu míšení v turbulentním mlecím zařízení. Avšak toto předmísení může být vynecháno v případě, že mechanické slévání je nepatrně uzpůsobeno.

Z výše uvedených důvodů tepelné odplynění takto odlitého prášku je velmi výhodné. Pouze v případě, že výchozí prášky byly odplyněny a následně smíseny, mechanicky odlity a přivedeny pod ochrannou atmosférou (N₂ nebo Ar) nebo ve vakuu, může být tepelné odplynění vynecháno. Avšak tyto procesy probíhající ve vakuu nebo v inertních plynech nejsou považovány za příliš praktické. Pro účely tepelného odplynění může být vytvořená prášková slitina nanesena na nosič a zahřáta v peci po dobu několika hodin v ochranné atmosféře čistého plynu (N₂ s čistotou 99,99 % nebo Ar s čistotou 99,999 %). Tímto způsobem odplyněná prášková slitina je nato ochlazena na pokojovou teplotu pod ochrannou atmosférou a uskladněna v nádobách opět ve stejném inertním plynu, výhodně v přetlakových nádobách.

Alternativně prášky oxidu inditého s hrubší granulometrií (tj. s minimální velikostí částic rovnou 20 pm) mohou být nejprve pokryty tenkou vrstvou cínu. V důsledku toho se odplynění stává méně rozhodující, poněvadž ochranná vrstva cínu potlačuje přechod na In(OH)₃. Potom je možné vynechat mechanické slévání.

Konečné zhutnění za účelem převedení odplyněné práškové slitiny na bezpórový slitinový ISOTprodukt s žádoucím tvarem a vodivostí bude v následujícím textu popsán pro případ výroby trubicovitého terčíku pro nanášení ITO-povlaků plazmovým rozprašováním. Nejprve je nosná trubice soustředně umístěna do vnitřku vnější trubice a svařena s touto vnější trubicí. Nosná

-4CZ 289688 B6 trubice může být zhotovena buď z komerčního titanu (dodávaného např. obchodní společností TICO TITANIUM, Farmington Hiils. MI 48335, USA) nebo předem potažené komerční nerezavějící oceli (AISI304). Uvedené potažení spočívá v elektrolytickém pokovování niklem do tloušťky vrstvy 50 až 150 pm s následovaným nanesením vrstvy titanu (tlusté 80 až 200 pm) rozstřikováním plamenem nebo plazmovým rozprašováním. Vrstva niklu může být rovněž deponována rozstřikováním plamenem nebo plazmovým rozprašováním do tloušťky vrstvy 50 až 200 pm. Vnější trubice by měla být z komerční uhlíkové oceli (např. oceli St35 nebo St37 nebo ekvivalentní oceli), která by měla být na vnitřní stěně pokryta vrstvou A1₂O₃ rozprašovací technikou nebo elektrolytickým nanášením hliníku následovaným anodizačním stupněm. Alternativně může být k vnitřnímu povrchu uvedené ocelové trubice připevněna anodizovaná hliníková fólie. Tato fólie je obvykle produkována s tloušťkou 0,4 mm. Avšak anodizační proces pro tuto fólii by měl být uzpůsoben tak, aby vrstva A1₃O₃ neobsahovala organické sloučeniny, což není žádný problém, poněvadž není vůbec žádoucí lesklý vzhled. Koncové části nosné trubice a vnější trubice jsou společně (plynotěsně) svařeny tak, že je vytvořeny trubicovitý vnitřní prostor. Další koncová část je utěsněna vhodným koncovým uzávěrem za účelem vytvoření trubicovitého vnitřního prostoru.

Uvedený prostor je vyčerpán a potom konvenčním způsobem naplněn ISOT-slitinou za účelem následného izostatického lisování při tlaku výhodně alespoň 100 MPa. Za účelem dalšího zlepšení odplyňovacího účinku může být vnější trubice před jejím naplněním práškovou slitinou výhodně zahřáta. Nato je zahájeno izostatické lisování za studená kombinované izostatickým lisováním za tepla, přičemž toto lisování může mít následující charakteristiky. V rámci izostatického lisování za studená je vnitřní a vnější povrch trubicovité struktury vystaven izostatickému tlaku při pokojové teplotě, přičemž tlak je zvýšen až na tlak mezi 100 MPa a 400 MPa a takto zvýšený tlak udržován po dobu dvou hodin. V rámci následného izostatického lisování za teplaje tlak změněn na tlak přibližně 200 MP, zatímco teplota je zvýšena na 500 °C a trubicovitá struktura je ponechána v těchto podmínkách po dobu přibližně čtyř hodin. V průběhu následného regulovaného ochlazování probíhajícího několik hodin jsou tlak a teplota vráceny do původních atmosférických hodnot.

Potom je vnější trubice odstraněna opatrným obrobením provedeným tak, aby byl ponechán trubicovitý ISOT-terčík připevněný na vnější části jeho trubicovitého nosiče. V modifikovaném způsobu je obrobení provedeno tak, aby byla kromě uvedeného terčíku ponechána vrstva vnější trubice o tloušťce 0,5 až 1 mm. Zbývající ocel (s A1/A1₂O₃ nebo A12O₃) je odstraněna chemicky nebo elektrochemicky. Alternativně zbývající část může být rovněž odstraněna stejnosměrným magnetronem s vhodnou řadou magnetů. Celková tloušťka stěny z vrstev nerezavějící oceli/NiTi/ISOT-terčíku je 6 až 25 mm. Tloušťka vrstvy z ISOT terčíku je přibližně 3 až 7 mm.

Při výchozím množství cínového prášku ve výchozí práškové směsi rovném 17 hmotnostním procentům výše uvedený proces vede k hustotě ISOT-terčíku minimálně 95 %, měrné hmotnosti ISOT materiálu alespoň 6,8 g/cm³ a elektrické vodivosti přibližně 1 mQ.cm. Při výchozím množství cínového prášku ve výchozí směsi rovném 10 hmotnostním procentům výše uvedený proces rezultuje v hustotu ISOT-terčíku přibližně 98 % a měrné hmotnosti přibližně 7 g/cm³. Uvedené izostatické lisování za studena/izostatické lisování za tepla nevede k nadměrné difúzi titanu do ISOT materiálu (nebo cínu do Ti/Ni-mezivrstvy) při jejich stykové ploše. Tato difundovaná mezilehlá vrstva má tloušťku pouze několika mikrometrů. Během izostatického lisování za tepla se niklová vrstva chemicky spojí s AISI 304-nosičem. Během izostatického lisování za tepla je rovněž vytvořeno pevné slitinové spojení mezi vrstvou niklu a vrstvou titanu a mezi titanem a cínem ISOT-kompozice. Tímto způsobem je pro tepelný koeficient roztažnosti generován postupný přechod mezi nerezavějící ocelí (19 pm/mK) - Ni (13,3 pm/mK) - Ti 99 % (8,9 pm/mK) - ISOT (7,2 pm/mK).

-5CZ 289688 B6

V alternativním izostatickým lisování za studena/izostatickým lisováním za tepla může být použit tlak až např. 200 MPa při pokojové teplotě a po době zdržení trvající dvě hodiny je teplota zvýšena až na 500 °C a izostatický tlak při izostatickém lisování za tepla zvýšen až na 400 MPa.

V dalším alternativním provedení je odplyněná prášková slitina v pryžové formě izostatický přitlačena (izostatické lisování za studená) na nosnou trubici z titanu nebo pokrytou vrstvou AISI 304 (jak to bylo popsáno výše) při tlaku přibližně 370 MPa po dobu několika hodin, čímž se dosáhne hustota přibližně 55 %. Po odstranění pryžové formy je aplikována kovová vnější trubice a zhutněná slitina je zavedena do pece pro izostatické lisování za tepla, kde je ohřátá na teplotu 500 °C po dobu 4 hodin. Uvedené izostatické lisování za tepla může být rovněž provedeno, aniž by byla použita vnější trubice, poněvadž prášková slitina je již značně zpevněn během izostatického lisování za studená.

Trubicový terčík s nosnou trubicí z titanu nebo pokrytou vrstvou AISI 304 může být uspořádán jako otáčivá katoda v konvenčním stejnosměrném plazmovém rozprašovacím zařízení pro kontinuální deponování ITO-povlaků na např. transparentní polyesterovou fólii s tloušťkou 23 až 200 pm. Vzhledem k výborné vodivosti terčíkového materiálu rozprašovací proces pomocí stejnosměrného magnetronu může být proveden tak, že se dosáhne vysoké hustoty výkonu, např. 10 až 15 W/cm² na oběžné dráze. To je velkou výhodou, poněvadž je známo, že reakční rozprašování In/Sn-terčíků v argonu s kyslíkem probíhá relativně pomalu (v důsledku horní hranice hustoty výkonu na oběžné dráze rovné 7, OW/cm² určené za účelem zamezení roztavení In/Sn/terčíků) a není jednoduché regulovat tento proces. Tloušťka ITO-vrstvy na foliové podložce může být v rozmezí od 0,02 do 0,20 pm. Před a po deponování ITO-vrstvy mohou být samozřejmě na podložku aplikovány další materiály.

Claims

PATENTOVÉ NÁROKY

1. Způsob výroby neporézního produktu na bázi metalurgické práškové slitiny, při kterém se vychází z minoritního podílu cínového prášku a majoritního podílu prášku oxidu inditého, vyznačený tím, že zahrnuje míšení a mletí cínového prášku a prášku oxidu inditého realizované procesem mechanického slévání v přítomnosti proces-regulujícího činidla tvořeného alkoholem k dosažení rovnoměrné distribuce částic cínového prášku po povrchu částic prášku oxidu inditého a upevnění částic cínového prášku na povrchu částic prášku oxidu inditého a k získání mechanicky vytvořené práškové slitiny, a zhutnění uvedené mechanicky vytvořené práškové slitiny při vysoké teplotě k vytvoření uvedeného neporézního produktu.
2. Způsob podle nároku 1, vyznačený tím, že průměrný objem jednotlivých částic prášku oxidu inditého je větší než průměrný objem jednotlivých částic cínového prášku.
3. Způsob podle nároku 1, vyznačený tím, že se uvedené míšení a mletí rozdílných prášků v přítomnosti proces-regulujícího činidla provádí při pokojové teplotě.
4. Způsob podle nároku 1, vyznačený tím, že se uvedené míšení a mletí rozdílných prášků v přítomnosti proces-regulujícího činidla provádí vroztíracím zařízení nebo planetové válcové stolici.
5. Způsob podle nároku 1 nebo 4, vyznačený tím, že se před uvedeným míšením a mletím rozdílných prášků v přítomnosti proces-regulujícího činidla provede konvenční míšení uvedených rozdílných prášků.
6. Způsob podle nároku 1, vyznačený tím, že se před uvedeným zhutněním práškové slitiny při vysoké teplotě provede odplynění.

-6CZ 289688 B6
7. Způsob podle nároku 6, vyznačený tím, že se odplyní uvedené výchozí prášky a ostatní procesní stupně se provedou v prostředí v podstatě prostého H₂, H₂O a O₂.
8. Způsob podle nároku 6 nebo 7, vyznačený t í m, že se odplyní uvedená mechanicky vytvořená prášková slitina.
9. Způsob podle nároku 1, vyznačený tím, že se uvedené zhutnění mechanicky vytvořené práškové slitiny provede izostatickým lisováním za studená kombinovaným s izostatickým lisováním za tepla.
10. Způsob podle nároku 9, vyznačený tím, že tlak použitý při uvedeném zhutnění mechanicky vytvořené práškové slitiny je alespoň 100 MPa.
11. Způsob výroby neporézního produktu na bázi metalurgické práškové slitiny ve formě trubicovitého terčíku pro nanášení ITO-kompozic plazmovým rozprašováním podle nároku 1, vyznačený tím, že uvedené zhutnění mechanicky vytvořené práškové slitiny při vysoké teplotě se provádí postupem zahrnujícím stupeň spočívající v připevnění nosné trubice soustředně uvnitř vnější trubice vytvořené z uhlíkové oceli a pokryté na vnitřní straně vrstvou A1₂O₃, stupeň spočívající ve svaření nosné trubice s touto vnější trubicí k vytvoření trubicovitého prostoru, stupeň spočívající ve vyčerpání trubicovitého prostoru, stupeň spočívající v naplnění trubicovitého prostoru mechanicky vytvořenou práškovou slitinou, stupeň spočívající ve zhutnění mechanicky vytvořené práškové slitiny při vysoké teplotě a stupeň spočívající v odstranění uvedené vnější trubice.
12. Neporézní produkt na bázi mechanicky vytvořené práškové slitiny vyrobený způsobem podle nároku 1, vyznačený tím, že má obsah cínu mezi 3 a25 hmotnostními procenty a hustotu alespoň 97 %.
13. Neporézní produkt podle nároku 12, vyznačený tím, že má obsah cínu mezi 8 a 15 hmotnostními procenty.
14. Neporézní produkt podle nároku 12 nebo 13, vyznačený tím, že má měrnou hmotnost alespoň 6,8 g/cm³.
15. Neporézní produkt podle nároku 13 nebo 14, vyznačený tím, že má měrný odpor nižší než 1 mQ.cm.
16. Neporézní produkt podle nároku 12, vyznačený tím, že má formu desky nebo trubice.
17. Neporézní produkt podle nároku 16, vyznačený tím, že uvedená deska nebo trubice je při jednom povrchu pokryta dalším materiálem.
18. Použití neporézního produktu podle nároku 17 jako terčíku při způsobu nanášení ITOkompozic plazmovým rozprašováním.
19. Použití neporézního produktu podle nároku 17 jako terčíku při způsobu kontinuálního nanášení ITO-kompozic na podložku plazmovým rozprašováním, ve kterém terčík je rozprašován v atmosféře obsahující alespoň 90 % argonu a zbytek do 100 % plynného kyslíku.