CN1940723A - 感光性树脂组合物及其层合体 - Google Patents
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P-1 | 组成为甲基丙烯酸甲酯/甲基丙烯酸/丙烯酸正丁酯(质量比为65/25/10)、酸当量为344、重均分子量为12万的共聚物的30质量%(固形物)的MEK溶液 |
P-2 | 组成为甲基丙烯酸/苯乙烯/甲基丙烯酸2-羟乙酯/丙烯酸2-乙基己酯(聚合比为30/40/10/20)、酸当量为287、重均分子量为5万的共聚物的47质量%(固形物)的MEK溶液 |
P-3 | 组成为甲基丙烯酸甲酯/甲基丙烯酸/苯乙烯(聚合比为50/25/25)、酸当量为344、重均分子量为5万的共聚物的35质量%(固形物)的MEK溶液 |
P-4 | 组成为甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸/苯乙烯(聚合比为50/30/20)、酸当量为287、重均分子量为4万7千的共聚物的41%(固形物)的MEK溶液 |
P-5 | 组成为甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸(聚合比为80/20)、酸当量为430、重均分子量为5万5千的共聚物的42%(固形物)的MEK溶液 |
M-1 | 2,2-双{(4-甲基丙烯酰氧基五乙氧基基)环己基}丙烷 |
M-2 | 在双酚A的两端分别加成平均5摩尔环氧乙烷而形成的聚乙二醇的二甲基丙烯酸酯(新中村化学工业(株)制造的BPE-500,制品名) |
M-3 | 在双酚A的两端分别加成平均2摩尔环氧乙烷而形成的聚乙二醇的二甲基丙烯酸酯 |
M-4 | 在双酚A的两端分别加成平均2摩尔环氧丙烷和平均15摩尔环氧乙烷而形成的聚烷撑二醇的二甲基丙烯酸酯 |
M-5 | 在双酚A的两端分别加成平均15摩尔环氧乙烷而形成的聚乙二醇的二甲基丙烯酸酯 |
M-6 | 在季戊四醇上加成平均4摩尔的环氧乙烷而形成的二醇的四丙烯酸酯 |
M-7 | 在加成平均12摩尔的环氧丙烷而形成的聚丙二醇的两端再分别加合平均3摩尔的环氧乙烷所形成的聚烷撑二醇的二甲基丙烯酸酯 |
M-8 | 在三羟甲基丙烷上加成平均3摩尔的环氧乙烷后形成的三丙烯酸酯(新中村化学(株)制造的A-TMPT-3EO,制品名) |
M-9 | 4-壬基苯基七乙二醇二丙二醇丙烯酸酯(日本油脂(株)制造的LS-100A) |
M-10 | 九乙二醇二丙烯酸酯 |
I-1 | 9-苯基吖啶 |
I-2 | 1-苯基-3-(4-叔丁基苯乙烯基)-5-(4-叔丁基苯基)-吡唑啉 |
I-3 | 4,4’-双(二乙氨基)二苯甲酮 |
I-4 | 2-(邻氯苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚体 |
D-1 | 钻石绿 |
D-2 | 隐色结晶紫 |
D-3 | 三溴甲基苯基砜 |
K-1 | ニユ一コ一ル3-85(日本乳化剂制造) |
K-2 | 对甲苯磺酰胺 |
K-3 | 1-(2-二正丁基氨基甲基)-5-羧基苯并三唑和1-(2-二正丁基氨基甲基)-6-羧基苯并三唑的1∶1混合物 |
K-4 | 加合了3摩尔亚硝基苯基羟基胺的铵盐 |
K-5 | 季戊四醇的3,5-二叔丁基-4-羟基苯基丙酸四酯 |
实施例1 | 实施例2 | 实施例3 | 实施例4 | 实施例5 | 实施例6 | 实施例7 | 实施例8 | 实施例9 | 实施例10 | 比较例1 | 比较例2 | 比较例3 | 比较例4 | 比较例5 | ||
感光性树脂组合物(质量份) | P-1 | 100 | 154 | 154 | 154 | 154 | ||||||||||
P-2 | 10 | 10 | 10 | |||||||||||||
P-3 | 100 | 100 | 100 | 100 | 100 | |||||||||||
P-4 | 100 | 100 | 100 | |||||||||||||
P-5 | 110 | 110 | 40 | 40 | 40 | 40 | 40 | 54 | ||||||||
M-1 | 15 | 15 | ||||||||||||||
M-2 | 10 | 10 | 10 | 10 | 5 | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | ||||||
M-3 | 5 | |||||||||||||||
M-4 | 15 | 15 | 10 | 10 | 10 | 10 | 15 | 15 | 15 | 15 | ||||||
M-5 | 10 | |||||||||||||||
M-6 | 25 | 25 | 25 | |||||||||||||
M-7 | 10 | 5 | 15 | 15 | ||||||||||||
M-8 | 10 | 10 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | ||||
M-9 | 5 | 5 | 5 | |||||||||||||
M-10 | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | |||||||||||
I-1 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.2 | |||||
I-2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |||||||||||||
I-3 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | ||||
I-4 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1.5 | 1.5 | 4 | 4 | 4 | 4 | 1 | 4 | 4 | 4 | |
D-1 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | |
D-2 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | |
D-3 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | ||||||||
K-1 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | ||||||||||
K-2 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | ||||
K-3 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | ||||||||
K-4 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | ||||||
K-5 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | |||||||||||
溶剂(质量份) | 甲乙酮 | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 |
解像性评价(单位:μm)(曝光法) | 等级 | ◎30(光掩模) | ◎30(光掩模) | ○35(光掩模) | ◎30(光掩模) | ◎30(光掩模) | ◎30(光掩模) | ◎30(光掩模) | ○35(光掩模) | ○35(直接描绘) | ○35(直接描绘) | △40(光掩模) | △40(光掩模) | △40(光掩模) | △40(光掩模) | ×45(光掩模) |
凝集性评价 | 等级 | ○ | ◎ | ○ | ◎ | ◎ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | △ | × | × | × |
固化膜柔软性评价 | 等级 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ○ | ○ | ◎ | △ | △ | △ | × | × |
盖孔性评价 | 等级 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ◎ | ○ | ○ | ◎ | △ | △ | △ | △ | × |
蚀刻性评价(单位:μm) | 等级 | ○80 | ○80 | ○80 | ○80 | ○80 | ○80 | ○80 | ○80 | ○80 | ○80 | △75 | △75 | △75 | △75 | △75 |
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---|---|---|---|
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- 2006-09-27 CN CN2006101393906A patent/CN1940723B/zh active Active
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