CN1907706A - 丝网与基板位置对准方法及装置 - Google Patents

Abstract

一种能精度很好地进行以记号的摄像为基础的丝网和电路基板的位置对准的丝网与基板位置对准方法及装置。把丝网、电路基板的各记号设置在与它们的板面平行的方向一致的位置，使摄像装置在相同的位置进行摄像。在使位于基准位置的基板保持装置保持第1枚电路基板的状态下使摄像装置对丝网记号、基板记号进行摄像，在基于所获得的位置偏差把电路基板的位置调节到记号中心应该一致的位置的状态下(S3～S8)，再次对记号进行摄像，把电路基板的位置调节到位置偏差消除的位置(S9～S14)。对于第2枚及以后的电路基板，最初在基于前头的记号摄像而调节了的位置对记号进行摄像，位置偏差小，能迅速地精度很好地进行相对于丝网的位置对准。

Description

丝网与基板位置对准方法及装置

技术领域

本发明涉及丝网印刷机上的丝网和电路基板在与它们的板面平行的方向的位置对准，特别是涉及以丝网和电路基板上分别设置的记号的摄像为基础的位置对准的精度提高。

背景技术

在丝网印刷机中，以前，例如下列专利文献1中记载的，使摄像装置对丝网和电路基板上分别设置的丝网记号及基板记号进行摄像，基于该摄像结果由丝网位置调节装置使丝网移动，使丝网和电路基板在与它们的板面平行的方向的位置对准，依此进行。对于专利文献1中记载的丝网印刷机的摄像装置，是使其进入丝网支承台所支承的丝网和基板支承台所支承的电路基板之间，在丝网记号的摄像时，使其移动到丝网记号的正下方，对丝网记号进行摄像，在基板记号的摄像时，使其移动到基板记号的正上方的位置，对基板记号进行摄像。预先设定了丝网记号摄像位置及基板记号摄像位置，使摄像装置依次移动到这些摄像位置，对丝网记号及基板记号进行摄像。这时，如果把丝网记号和基板记号预先设置成在丝网被丝网支承台支承，电路基板被基板支承台支承的状态下，在与它们的板面平行的方向位置一致，摄像装置就能对互相对着的丝网记号和基板记号在相同摄像位置进行摄像，摄像需要的时间就短。

专利文献1：特开2000-238233公报

发明内容

然而，这样对丝网记号及基板记号进行摄像，基于该摄像结果而使丝网和电路基板的位置对准，还是会有位置偏差残留，使印刷精度下降的情况。例如，在丝网位置调节装置是包括电动回转马达、滚珠丝杠及螺母而调节丝网的位置的装置的场合，如果滚珠丝杠有螺距误差，就会产生传送误差，就不能按基于摄像结果所算出的位置调节量来使丝网移动，在丝网和电路基板之间位置偏差就会残留。

本发明是以上述情况为背景而提出的，该课题是获得一种能精度很好地进行以记号的摄像为基础的丝网和电路基板的位置对准的丝网与基板位置对准方法及装置。

上述课题采用以下方法来解决，该方法是针对通过丝网上设置的贯通孔而向电路基板印刷膏状焊料的丝网印刷机，把电路基板搬入丝网下方，使其停止之后，在该电路基板和丝网之间，使可移动到与它们平行的平面内的任意位置的摄像装置进入，使该摄像装置对在该丝网和电路基板上分别设置的作为对准记号的丝网记号及基板记号进行摄像，基于该摄像结果来进行该丝网和电路基板的与上述平面平行的方向的位置对准的方法，该方法设为：基于根据先进行了的摄像的结果而获得的数据，把丝网和电路基板中的任意一方的与上述平面平行的方向的位置调节到丝网记号和基板记号的中心应该一致的位置，使摄像装置移动到可对丝网记号及基板记号两方进行摄像的1个位置，在该状态下，使该摄像装置对丝网记号和基板记号进行摄像，基于该摄像结果来检出该丝网和电路基板的与上述平面平行的方向的位置偏差，把上述任意一方的位置调节到消除该位置偏差的位置。

记号可以采用平面看去的形状为圆形、三角形或四边形等多边形、多个扇形、三角形以顶点彼此接触的形状等各种形状的东西。还有，记号也可以是突部，也可以是孔，或者通过贴纸的粘贴、涂料的印刷、焊料的涂布等而形成的东西，也可以利用原来在电路基板、丝网上设置的突部、孔等电路基板构成部、丝网构成部作为记号。

再有，“根据先进行了的摄像的结果而获得的数据”可以是通过当时被搬入丝网下方而被印刷膏状焊料的电路基板上设置的基板记号及丝网记号的摄像而获得的数据，也可以是通过与当时被搬入丝网下方而被印刷膏状焊料的电路基板相比在之前被印刷了膏状焊料的电路基板的基板记号及丝网记号的摄像而获得的数据。只要是对于为了对丝网记号及基板记号进行摄像而进行的位置调节而言先进行了的丝网记号及基板记号的摄像的结果获得的数据即可。

还有，“丝网记号和基板记号中心应该一致的位置”是指为使两者的中心一致而进行丝网和电路基板中的任意一方的位置的调节，不过，由于用于此的位置调节装置的调节误差等，也是表示两者的中心未必一致的表达。

还有，上述课题采用以下装置来解决，该装置是在通过丝网上设置的贯通孔而向电路基板印刷膏状焊料的丝网印刷机中，把进行该丝网和电路基板在与它们的板面平行的方向的位置对准的装置，该装置包括：(A)可进入被搬入丝网下方而停止了的电路基板和丝网之间，对该丝网和电路基板上分别设置的作为对准记号的丝网记号及基板记号进行摄像的摄像装置，(B)可使该摄像装置移动到与丝网及电路基板的板面平行的平面内的任意位置的摄像装置移动装置，(C)可调节电路基板和丝网中的任意一方的与该一方的板面平行的方向的位置的位置调节装置，以及(D)控制该摄像装置、摄像装置移动装置及位置调节装置的控制装置，并且该控制装置具备：(a)基于根据先进行了的丝网记号及基板记号的摄像的结果而获得的数据，通过对位置调节装置进行控制，把上述任意一方的位置调节到丝网记号和基板记号的中心应该互相一致的位置的第1调节控制部，(b)使摄像装置移动装置把上述摄像装置移动到可对丝网记号及基板记号两方进行摄像的1个位置的移动控制部，(c)使借助于该移动控制部的控制而移动的摄像装置对丝网记号和基板记号进行摄像的摄像控制部，(d)把上述任意一方的位置调节到消除根据该摄像控制部所涉及的控制的结果获得的摄像结果而获得的丝网和电路基板的位置偏差的位置的第2调节控制部。

根据本发明所涉及的方法，为了在记号的摄像之前把丝网和电路基板的位置对准，摄像装置能在相同的摄像位置对互相对着的丝网记号及基板记号进行摄像。并且，根据此摄像的结果而获得的丝网记号和基板记号的偏差小，在进行以消除该位置偏差为目的的位置调节时即使位置调节装置有调节误差，所涉及的丝网记号和基板记号的位置偏差也极小，位置对准精度提高了。因此，例如，在使用电动回转马达作为位置调节装置的驱动源的场合，可以不使用高价的线性编码器，而是使用马达的回转式编码器，廉价地提高位置对准精度。

还有，因为丝网记号和基板记号的位置偏差小，所以能迅速进行以消除位置偏差为目的的位置调节，能缩短印刷周期。如果一并进行以根据先进行了的摄像的结果而获得的数据为基础的丝网和电路基板的位置对准和摄像装置的移动，那么由于进行以摄像为目的的位置调节，以印刷为目的的丝网和电路基板的位置对准所需要的时间就不会长，不会阻碍印刷周期的缩短。

在装置发明中也能获得与方法发明同样的效果。

以下，在本申请中例示几个可作为专利请求的发明(以下有时称为“可请求发明”。可请求发明至少包括作为权利要求书中记载了的发明的“本发明”或者“本申请发明”，不过有的也包括本申请发明的下位概念发明、本申请发明的上位概念或者其他概念的发明。)的方式，对它们进行说明。各方式与权利要求项一样，按项分开，对各项付以序号，根据需要而引用其他项的序号，以此形式来记载。这只是为了使可请求发明的理解容易些，并不意味着构成可请求发明的构成要素的组合仅限于以下各项中记载的东西。即，可请求发明应该参酌各项所附的记载、实施例的记载等来解释，在按照该解释的情况下，在各项的方式中再附加其他构成要素所得的方式以及从各项的方式中删除构成要素所得的方式都可作为可请求发明的一方式。

(1)一种丝网与基板位置对准方法，在通过丝网上设置的贯通孔而向电路基板印刷膏状焊料的丝网印刷机中，把上述电路基板搬入上述丝网下方，使其停止之后，在该电路基板和丝网之间，使可移动到与它们平行的平面内的任意位置的摄像装置进入，使该摄像装置对在该丝网和电路基板上分别设置的作为对准记号的丝网记号及基板记号进行摄像，基于该摄像结果来进行该丝网和电路基板的与上述平面平行的方向的位置对准，其中，

基于根据先进行了的摄像的结果而获得的数据，把上述丝网和上述电路基板中的任意一方的与上述平面平行的方向的位置调节到上述丝网记号和上述基板记号的中心应该一致的位置，使上述摄像装置移动到可对上述丝网记号及基板记号两方进行摄像的1个位置，在该状态下，使该摄像装置对上述丝网记号和上述基板记号进行摄像，基于该摄像结果来检出该丝网和电路基板的与上述平面平行的方向的位置偏差，把上述任意一方的位置调节到消除该位置偏差的位置。

(2)根据(1)项记载的丝网与基板位置对准方法，其中，基于根据上述先进行了的摄像的结果而获得的数据，使上述摄像装置移动到上述丝网记号及上述基板记号的中心和摄像中心应该一致的位置，在该状态下，使该摄像装置对上述丝网记号和上述基板记号进行摄像。

“使摄像装置移动到丝网记号及基板记号的中心和摄像中心应该一致的位置”的表达是指进行以使丝网和基板记号的中心一致，使摄像中心移动到该一致了的位置为目标的控制，不过，例如即使进行位置调节装置所涉及的位置调节，由于位置调节装置的误差等，丝网记号和基板记号的中心也未必互相一致，如果在摄像装置移动装置中产生移动误差，摄像中心与丝网记号及基板记号的中心就未必一致，因而使用该表达。

根据本项中记载的丝网与基板位置对准方法，例如，能使以摄像装置的透镜像差为基础的丝网和电路基板的位置偏差降低。即使使摄像装置移动到预定的对丝网记号和基板记号两方可摄像的位置，在丝网和电路基板的位置有偏差，丝网记号和基板记号的位置偏离摄像中心，并且该偏离方式互相不同的场合，由于透镜像差，基于摄像而获得的摄像中心相对于丝网记号的中心的位置偏差和相对于基板记号的中心的位置偏差以与实际不同的大小被取得，有时不能准确获得丝网记号和基板记号的位置偏差。还有，由于透镜像差，越接近摄像装置的视野(在摄像装置包括摄像机的场合，是摄像机的视野)的端部，记号形状越会产生失真，因此，要对失真了的记号进行图像处理，结果，由于所取得的记号位置产生误差，有时就不能准确获得位置偏差量。相比之下，根据本项中记载的方法，使丝网记号和基板记号的中心对准，再移动摄像装置，使这些中心和摄像中心一致，因而基于摄像而获得的丝网记号和基板记号的位置偏差量小，此外，降低了透镜像差的影响，能精度更好地取得位置偏差量，提高位置对准精度。

(5)至项(10)项的各特征在本项中也能采用。

(3)一种丝网与基板位置对准装置，是在通过丝网上设置的贯通孔而向电路基板印刷膏状焊料的丝网印刷机中进行该丝网和电路基板在与它们的板面平行的方向的位置对准的装置，包括：

进入被搬入上述丝网的下方而停止了的上述电路基板和上述丝网之间，对在该丝网和电路基板上分别设置的作为对准记号的丝网记号及基板记号可摄像的摄像装置；

可把该摄像装置移动到与上述丝网及电路基板的板面平行的平面内的任意位置的摄像装置移动装置；

可调节上述电路基板和上述丝网中的任意一方的与该一方的板面平行的方向的位置的位置调节装置；以及

控制该摄像装置、摄像装置移动装置及位置调节装置的控制装置，

并且，该控制装置具备：

基于根据先进行了的上述丝网记号及上述基板记号的摄像的结果而获得的数据，通过控制上述位置调节装置，把上述任意一方的位置调节到上述丝网记号和上述基板记号的中心应该互相一致的位置的第1调节控制部；

使上述摄像装置移动装置把上述摄像装置移动到对上述丝网记号及基板记号两方可摄像的1个位置的移动控制部；

使通过该移动控制部的控制而移动了的上述摄像装置对上述丝网记号和上述基板记号进行摄像的摄像控制部；以及

把上述任意一方的位置调节到使根据该摄像控制部所涉及的控制的结果获得的摄像结果而获得的上述丝网和上述电路基板的位置偏差消除的位置的第2调节控制部。

对于本项，(5)项～(9)项的各特征可与(4)项的特征分开采用。

还有，在进行丝网和电路基板的初期的位置对准的场合，初期位置偏差取得部只取得初期基板位置偏差，把该初期基板位置偏差作为根据先进行了的丝网记号及基板记号的摄像的结果而获得的数据，只使第1基板位置调节控制部进行电路基板的位置调节，这样也可以。

(4)根据(3)项记载的丝网与基板位置对准装置，其中，上述移动控制部是基于根据上述先进行了的上述丝网记号及上述基板记号的摄像的结果而获得的数据，使上述摄像装置移动装置把上述摄像装置移动到该摄像装置的摄像中心与上述丝网记号及基板记号的中心应该一致的位置的装置。

根据本项中记载的丝网与基板位置对准装置，例如，能获得(2)项中记载的作用及效果。

(5)根据(4)项记载的丝网与基板位置对准装置，其中，上述位置调节装置包括可调节上述电路基板的位置的基板位置调节装置，上述第1调节控制部及上述第2调节控制部分别包括控制该基板位置调节装置的第1基板位置调节控制部及第2基板位置调节控制部。

本项是使电路基板(严格讲是基板记号)的位置与丝网(严格讲是丝网记号)的位置对准的方式，也可以反过来构成为，使丝网的位置与电路基板的位置对准。不过，如果丝网一旦被固定，其位置几乎不变化(因装置本体的热变形而变化这一点是有的)，电路基板的位置因为每次不同的电路基板由基板搬送装置搬送等，被基板保持装置保持，所以有每次变化的可能性。即使有丝网的位置变化也很小，而且变化的倾向大体上一定，相比之下，电路基板的位置的变化，变化量比丝网的大，而且一般不规则。因此，像本项这样，使电路基板的位置与丝网的位置对准，一般而言，位置对准容易，位置对准精度也高。

另外，本项按次项作成的情况而从属于(4)项，不过，也可以从属于(3)项。也可以与(4)项的特征分开来采用本项的特征。

(6)根据(5)项记载的丝网与基板位置对准装置，其中，上述控制装置包括：

使上述摄像装置移动装置把上述摄像装置移动到预定的位置的初期摄像装置移动控制部；

使移动到该预定的位置的上述摄像装置对上述丝网记号和上述基板记号进行摄像的初期摄像控制部；以及

基于该初期摄像控制部的控制所涉及的摄像结果，取得上述丝网记号和上述基板记号的初期位置，基于该初期位置，取得作为上述基板记号相对于上述丝网记号的位置偏差的初期基板位置偏差和作为上述摄像装置的摄像中心相对于上述丝网记号的位置偏差的初期摄像装置位置偏差的初期位置偏差取得部，

上述第1基板位置调节控制部及上述移动控制部把由上述初期位置偏差取得部取得的初期基板位置偏差及初期摄像装置位置偏差的数据分别作为根据先进行了的上述丝网记号及上述基板记号的摄像的结果而获得的数据，调节电路基板及摄像装置的位置。

“初期”这一用语，在狭义上是像在同种的多个电路基板上连续进行膏状焊料的印刷的场合向第1枚电路基板印刷膏状焊料时一样，在没有根据先进行了的丝网记号及基板记号的摄像的结果而获得的数据的场合使用，不过，在本说明书中在广义上使用。即，在向同种的多个电路基板印刷膏状焊料的途中，印刷作业长时间中断，可以推测，构成丝网印刷机的各种装置产生了状态变化的场合，也像由作业者指示了初期摄像及初期位置偏差取得的执行(因为进行了改变丝网印刷机的状态的操作、维护作业，所以作业者不希望使用此前的数据等理由)的场合、电路基板的制造批次改变了的场合等一样，即使有根据先进行了的丝网记号及基板记号的摄像的结果而获得的数据，也不希望使用它，这种情况也包括在“初期”中。

在本项在记载的方法中，例如，即使没有“根据先进行了的丝网记号及基板记号的摄像的结果而获得的数据”，也能取得它，能进行为了第2调节而进行的摄像之前的丝网记号和电路基板的位置对准，能提高丝网和电路基板位置对准精度。

还有，即使有“根据先进行了的丝网记号及基板记号的摄像的结果而所获得的数据”，在不适于位置对准中使用的场合，也能代替它而在位置调节中使用恰当的数据，能避免不恰当的数据的使用所涉及的位置对准精度的降低。

另外，也可以使本项从属于从属于(3)项的(5)项。在该场合，要把初期位置偏差取得部设为不取得初期摄像装置位置偏差的装置，把移动控制部设为不是基于初期摄像装置位置偏差的数据来调节摄像装置的位置的装置。

(7)根据(5)项或(6)项记载的丝网与基板位置对准装置，其中包括，基于在初期以外的印刷作业中与上述摄像控制部的控制对应而进行了的摄像的结果，取得作为上述基板记号相对于上述丝网记号的位置偏差的作业中基板位置偏差的作业中基板位置偏差取得部，并且，上述第1基板位置调节控制部把由该作业中基板位置偏差取得部取得的作业中基板位置偏差作为上述根据先进行了的摄像的结果而获得的数据，进行上述电路基板的位置的调节。

在本项从属于(5)项的方式中，仅第1、第2基板位置调节控制部所涉及的控制只在作业途中进行，这样，电路基板和丝网的位置对准就能精度很好地进行。在作业初期，进行与以前同样的丝网记号及基板记号的摄像及以消除由此取得的位置偏差为目的的位置调节，因而没有障碍。

在本项从属于(6)项的方式中，在作业初期，丝网和电路基板的位置对准能精度很好地进行，而且在作业途中位置对准也能精度很好地进行。还有，因为不进行摄像装置的位置偏差的取得及以摄像装置位置偏差为基础的摄像装置的移动位置的修正，所以控制变得简单了。

(8)根据(5)项或(6)项记载的丝网与基板位置对准装置，其中包括，基于在初期以外的印刷作业中与上述摄像控制部的控制对应而进行了的摄像的结果，取得作为上述基板记号和上述摄像装置的摄像中心相对于上述丝网记号的位置偏差的作业中基板位置偏差及作业中摄像装置位置偏差的作业中位置偏差取得部，并且，上述第1调节控制部及上述移动控制部把由该作业中位置偏差取得部取得的作业中基板位置偏差及作业中摄像装置位置偏差作为上述根据先进行了的摄像的结果而获得的数据，进行上述电路基板的位置的调节及上述摄像装置的移动。

在本项从属于(5)项的方式中，第1、第2基板位置调节控制部及移动控制部所涉及的控制只在作业途中进行，这样，电路基板和丝网的位置对准就能精度很好地进行。这些控制部所涉及的控制在作业初期不进行，不过，即使是作业初期，也与以前同样，进行丝网记号及基板记号的摄像及以消除由此取得的位置偏差为目的的位置调节，因而没有障碍。

在本项从属于(6)项的方式中，第1、第2基板位置调节控制部及移动控制部所涉及的控制在作业初期及作业途中两方进行，丝网和电路基板的位置对准更能精度很好地进行。

(9)根据(7)项或(8)项记载的丝网与基板位置对准装置，其中，上述第1基板位置调节控制部是在上述作业中基板位置偏差的大小比预先设定的第1阈值大的场合，进行上述电路基板的位置的调节的装置。

例如，在作业中基板位置偏差小的场合，不进行以记号摄像为目的的电路基板的位置调节，这样就在与前面的电路基板有关的记号摄像时相同的位置对基板记号进行摄像。因此，不频繁改变记号摄像时的电路基板的位置，控制变得简单了。还有，如果设为在作业中基板位置偏差的大小为第1阈值及以下的场合，不进行以记号摄像为目的的位置调节，只进行为了印刷而消除电路基板和丝网的位置偏差的位置调节的话，就能把第1阈值作为判断进行记号摄像所涉及的新的作业中基板位置偏差的取得和以印刷为目的的位置对准中的哪一种的判断值来使用，控制装置的把作业中基板位置偏差与第1阈值进行比较的部分就构成了作业中基板位置偏差取得执行判断部乃至印刷用位置对准执行判断部。

(10)根据(8)项记载的丝网与基板位置对准装置，其中，上述移动控制部是在上述作业中摄像装置位置偏差的大小比预先设定的第2阈值大的场合，变更上述摄像装置的移动位置的装置。

(11)根据(1)项至(10)项中任意一项记载的丝网与基板位置对准装置，其中，上述摄像装置包括：

对上述丝网记号和上述基板记号两方进行摄像的记号摄像机；

向该记号摄像机引导形成上述丝网记号的像的光的丝网记号用导光装置，以及

向上述记号摄像机引导形成上述基板记号的像的光的基板记号用导光装置，

并且，该丝网记号用导光装置和基板记号用导光装置构成为，在丝网记号和基板记号的中心一致的场合，使得上述记号摄像机的摄像面上的丝网记号的像和基板记号的像的中心也一致地引导形成各像的光。

在本项记载的摄像装置中，能由1个记号摄像机对丝网记号和基板记号两方进行摄像，与设置2个记号摄像机，使其分别对丝网记号和基板记号进行摄像的场合比较，能简化摄像装置的构成，而且不必应付2个记号摄像机的摄像中心偏差的问题，能廉价地制造丝网与基板位置对准装置。

另外，附带说一句，在丝网记号及摄像装置的位置与基板记号的位置对准的场合也能采用(5)项至(10)项的各特征。不过，在(5)项中，需要把基板位置调节装置变更为丝网位置调节装置，把第1基板位置调节控制部及第2基板位置调节控制部分别变更为第1丝网位置调节控制部及第2丝网调节控制部，(6)项及以下也要照此进行变更。

附图说明

图1是概略性地表示具备作为可请求发明的一实施例的丝网与基板位置对准装置的丝网印刷机的主视图，是表示设置了摄像装置的部分的图。

图2是上述丝网印刷机的主视图，是表示设置了停止位置规定装置及基板搬送装置的部分的平面图。

图3是表示上述丝网印刷机的基板保持装置、基板位置调节装置及基板保持装置升降装置的侧视图。

图4是概略性地表示在上述丝网印刷机中被印刷了膏状焊料的电路基板的平面图。

图5是概略性地表示在上述丝网印刷机的印刷中使用的丝网的平面图。

图6是表示上述基板位置调节装置的平面图。

图7是表示上述丝网印刷机的摄像装置移动装置的平面图。

图8是除去上述丝网印刷机的摄像装置的装置本体的一部分来表示的侧视图。

图9是除去装置本体的一部分来表示上述摄像装置的主视图。

图10是概念性地表示控制上述丝网印刷机的控制装置的框图。

图11是表示使构成上述控制装置的主体的计算机的ROM存储的基准位置非复原丝网与基板位置对准例程的一部分的流程图。

图12是表示上述基准位置非复原丝网与基板位置对准例程的其余流程图。

图13是表示使上述计算机的ROM存储的基准位置复原丝网与基板位置对准例程的一部分的流程图。

图14是表示上述基准位置复原丝网与基板位置对准例程的其余流程图。

图15是概念性地表示在上述计算机的RAM中设置的存储器等的图。

图16是说明丝网记号及基板记号的中心及摄像中心的位置偏差的图。

图17是表示作为可请求发明的别的实施例的丝网与基板位置对准装置的丝网位置调节装置的平面图。

图18是表示与图17所示的丝网位置调节装置一起设置而支承丝网的滚珠的主视图。

具体实施方式

以下，参照附图详细地说明可请求发明的实施例。另外，可请求发明，除了下列实施例之外，可以根据上述〔发明内容〕的项中记载的方式，根据本区域技术人员的知识，以进行了各种变更的方式来实施。

图1中图示了包括作为可请求发明的一实施例的丝网与基板位置对准装置的丝网印刷机。本丝网印刷机包括框架10、基板搬送装置12(参照图2)、基板保持装置14、基板位置调节装置16、丝网支承装置18、涂刷装置20、摄像装置22、摄像装置移动装置24及控制装置26(参照图10)等。

基板搬送装置12在本实施例中由皮带输送器构成，如图2所示，包括搬入输送器40、主输送器42及搬出输送器44。该输送器40、42、44分别具备1对无端的输送器皮带46(参照图2及图3)，排成1列而设置，各对输送器皮带46分别借助于皮带绕转装置而绕转，从而对电路基板50在作为其板面的焊料印刷面成为水平的姿势下，在与焊料印刷面平行的方向即水平方向进行搬送。在图3中，输送器皮带46只图示了载置电路基板50的部分。皮带绕转装置例如以由带编码器的伺服马达构成的皮带绕转用马达52(参照图10)为驱动源，基板搬送装置12能在基板搬送方向把电路基板50搬送到任意位置。伺服马达是可准确控制回转角度的电动回转马达，也可以用步进马达代替伺服马达。把与基板搬送方向平行的方向作为X轴方向，把与基板保持装置14所保持的电路基板50的焊料印刷面平行而与基板搬送方向垂直的方向作为Y轴方向。Y轴方向是水平方向。电路基板50在本实施例中以其较长方向与X轴方向平行、作为与较长方向垂直的方向的宽度方向与Y轴方向平行的姿势被搬送。还有，在电路基板50上，如图4所示，多个，例如作为2个对准记号的第1基板记号54及第2基板记号56在对角线上隔开的2处分别被设置。

该基板记号54、56，例如，平面看去形状为圆形，在与电路基板50有关的电路图形的形成时同时被设置，进行了铜镀敷。

基板保持装置14设置在与框架10的主输送器42所涉及的电路基板搬送区域对应的部分，即搬入输送器40和搬出输送器44之间的部分。基板保持装置14与尚未公开的本发明的申请人所涉及的特愿2005-108074的说明书中记载的基板保持装置同样构成，简单进行说明。基板保持装置14在本实施例中如图3所示，包括基板支承装置58及基板夹紧装置60，借助于基板保持装置升降装置62而在与自身保持的电路基板50的焊料印刷面垂直的方向(设为Z轴方向)，本实施例中是铅垂方向升降。基板支承装置58，在本实施例中详细的图示省略，做成包括多个支承销及可拆装地安装支承销的销支承台的装置。支承销也可以作为通过负压来吸附、保持电路基板50的保持销。基板夹紧装置60包括侧面夹紧装置64及基板按压装置66。

基板保持装置升降装置62，如图3所示，包括作为升降部件的升降台70和升降台升降驱动装置72。升降台升降驱动装置72包括作为驱动源的升降台升降用马达74、作为传送丝杠的一种的滚珠丝杠76及螺母78，在作为引导件的导轨80上引导升降台70而使其在上下方向移动到任意位置。该滚珠丝杠76及螺母78构成了作为运动变换机构的传送丝杠机构。

基板保持装置14夹介上述基板位置调节装置16而设置在升降台70之上，X轴方向、Y轴方向的位置及回转位置(绕与Z轴平行的轴线，即铅垂轴线的位置)能调节，基板保持装置14所保持的电路基板50的位置能调节。基板位置调节装置16，如图6所示，包括作为可动部件的移动台84、X轴方向位置调节装置86及一对Y轴方向位置调节装置88。移动台84夹介作为回转支承部件的多个钢珠90(参照图3)，在X轴方向及Y轴方向可移动且绕Z轴线可回转地搭载在升降台70之上。X轴方向位置调节装置86包括移动部件92、作为驱动源的位置调节马达94、包括滚珠丝杠96及在移动部件92上设置的螺母98的传送丝杠机构100，以滚珠丝杠96的轴线成为与X轴方向平行的姿势而设置在升降台70上。另外，在图6中，升降台70被移动台84挡住了。

在移动部件92上，在其上面开了口，设置了在Y轴方向贯通的槽102，在槽102内，绕Z轴线可回转地安装了作为回转卡合部件的辊106，并且与辊106在X轴方向对着而设置了滚珠柱塞108，它与辊106一起构成了引导装置乃至保持装置。滚珠柱塞108具备壳体110、在X轴方向可移动地收纳在壳体110内的作为回转卡合部件的滚珠112、收纳在壳体110内而作为对滚珠112在从壳体110突出的方向赋能的赋能手段的一种的作为弹性部件的弹簧(图示省略)，对滚珠112向辊106赋能。滚珠112与壳体110的开口端卡合，从而防止滚珠112从壳体110中溜出。在移动台84上设置了的作为卡合部的突部120嵌入该辊106和滚珠柱塞108之间，由弹簧夹介滚珠112来赋能，在Y轴方向可移动地夹在滚珠112和辊106之间。突部120的与辊106接触的面是位置调节的基准面，突部120以该基准面对移动台84垂直而精度很好被设置。

一对Y轴方向位置调节装置88分别与X轴方向位置调节装置86同样构成，对起相同的作用的构成要素付以相同标号来表示对应关系，省略说明。这些Y轴方向位置调节装置88在Y轴方向平行且互相反向地设置在升降台70的与Y轴方向平行的一对侧面上，分别设置在移动台84的与Y轴方向平行的一对侧面上的作为卡合部的突部122在X轴方向可移动地夹在Y轴方向位置调节装置88的辊106和滚珠柱塞108的滚珠112之间。突部122也与突部120同样，与该辊106接触的面是基准面，对移动台84垂直而精度很好地被设置。

从而，如果滚珠丝杠96借助于X轴方向位置调节装置86的位置调节马达94而回转，使移动部件92在X轴方向移动，就会使移动台84在X轴方向在正方向或反方向移动。这时，Y轴方向位置调节装置88的辊106及柱塞108的滚珠112一边回转一边容许突部122的X轴方向的移动，移动台84的X轴方向的移动就被引导。还有，如果滚珠丝杠96借助于一对Y轴方向位置调节装置88的各位置调节马达94而回转，使移动部件92移动，就会使移动台84在Y轴方向在正方向或反方向移动。这时，X轴方向位置调节装置86的辊106及滚珠柱塞108的滚珠112一边回转一边容许突部120的Y轴方向的移动。再有，使X轴方向位置调节装置86及一对Y轴方向位置调节装置88同时动作，就会使移动台84绕Z轴线在正方向或反方向回转。突部120、122被辊106和滚珠112夹着，容许与移动台84的回转伴随的绕Z轴线的倾斜。X轴方向位置调节装置86及Y轴方向位置调节装置88也是回转装置乃至回转位置调节装置。移动台84由多个钢珠90支承，顺畅地移动、回转。滚珠112靠弹簧的赋能把突部120、122压紧、夹在辊106上，从而维持借助于X轴方向位置调节装置86及Y轴方向位置调节装置88而移动、回转的移动台84的位置。基板保持装置14设置在移动台84之上，基板位置调节装置16也是基板保持装置移动装置。

上述基板支承装置58、侧面夹紧装置64及基板按压装置66设置在上述移动台84之上。基板按压装置66，如图3所示，包括在Y轴方向可移动地设置的1对基板按压部件140和使这些基板按压部件140分别移动的基板按压部件移动装置142。基板按压部件移动装置142例如以气缸为驱动源。

侧面夹紧装置64包括1对夹紧部件150，借助于侧面夹紧装置升降装置152而升降。侧面夹紧装置升降装置152包括作为升降部件的升降台154及升降台升降驱动装置156。升降台升降驱动装置156包括作为驱动源的升降台升降用马达158、滚珠丝杠160、螺母162及1对凸轮部件164，1对凸轮部件164由导轨166引导而在Y轴方向移动，从而通过凸轮面168和设置在升降台154的下面的作为凸轮随动件的转动体170的斜面的作用，使升降台154被作为引导件的引导杆172引导而相对于移动台84升降。

1对夹紧部件150分别在基板搬送方向平行延伸，具有对电路基板50的焊料印刷面垂直的铅垂的夹紧面180。1对夹紧部件150中的一方做成固定、设置在升降台154上的固定夹紧部件150，另一方做成可动夹紧部件150，借助于夹紧部件移动装置182而在Y轴方向移动。夹紧部件移动装置182具备作为驱动源的夹紧部件移动马达188、滚珠丝杠190、螺母192及缓冲器194，使可动夹紧部件150与固定夹紧部件150接近、分离。

在1对夹紧部件150上，在其互相对着的面上设置了上述夹紧面180，并且在比这些夹紧面180靠下侧，分别设置了上述主输送器42的1对输送器皮带46，主输送器42与基板保持装置14一起，借助于基板保持装置升降装置62而升降。由此使基板保持装置14在下降端位置即进行电路基板50的保持动作的基板保持位置、上升端位置即电路基板50与丝网接触而被印刷膏状焊料的接触位置乃至印刷位置移动。

在升降台154之上设置了上述基板支承装置58及基板支承装置升降装置200，使其与侧面夹紧装置64一起相对于移动台84升降。基板支承装置升降装置200包括作为升降部件的升降台202及升降台升降驱动装置204。升降台升降驱动装置204包括升降台154所保持的升降台升降马达206、滚珠丝杠208及螺母210，使升降台202相对于升降台154升降。

通过可动夹紧部件150的移动，按照电路基板50的尺寸，预先调节一对夹紧部件150间的间隔。在基板搬入时基板保持装置14位于下降端位置，被从搬入输送器40搬入主输送器42中的电路基板50由基板支承装置56从下方支承，并且被一对夹紧部件150夹着，在Y轴方向定位。使基板按压部件140在基板支承装置56、侧面夹紧装置64支承、夹紧电路基板50时按住电路基板50，支承后从夹紧部件150及电路基板50之上退避到侧方。

上述丝网保持装置18，如图1所示，设置在基板保持装置14的上方，在本实施例中做成与基板保持装置14所保持的电路基板50平行即水平地保持丝网220的装置。丝网220在本实施例中做成具有可对大小不相同的多种电路基板50使用的大小的装置，在与电路基板50的焊料印刷部位对应的部分形成了贯通孔223(参照图5)，绷在丝网架222(参照图1)上，以该丝网架222保持在丝网保持装置18上。贯通孔223在作为丝网220的中央部的贯通孔形成区域224上形成。贯通孔形成区域224，例如图5所示，平面看去形状为矩形，具有与电路基板50相同的形状、尺寸。

在贯通孔形成区域224上，如图5所示，设置了多个，例如作为2个对准记号的第1丝网记号226及第2丝网记号228。丝网记号226、228，例如平面看去形状为圆形，在丝网220的记号形成部位实施了半蚀刻之后经涂饰而形成，例如做成黑色。在此场合，丝网220的丝网记号226、228以外的部分做成白色。该第1、第2丝网记号226、228设置在其中心与电路基板50的第1、第2基板记号54、56的中心的位置在作为与电路基板50及丝网220的板面平行的平面的水平面平行的方向应该一致的位置，使基板记号56、58和丝网记号226、228的中心对准，就能使电路基板50和丝网220的位置在与水平面平行的方向对准，使贯通孔223和焊料印刷部位对准。

丝网保持装置18，图示省略了，不过，具备丝网保持位置调节装置，调节丝网220在Y轴方向的保持位置，使得贯通孔形成区域224在Y轴方向的位置与电路基板50一致地保持丝网220。通过向基板保持装置14搬入时的电路基板50的停止位置的设定来对准贯通孔形成区域224相对于电路基板50的X轴方向的位置。

上述涂刷装置20在本实施例中做成开放型，如图1所示，包括1对涂刷头232(图1只图示了1个)、使这些涂刷头232分别升降的涂刷头升降装置234及使一对涂刷头232在与丝网220平行的方向移动的涂刷头移动装置236。涂刷头移动装置236包括移动部件242及移动部件驱动装置244。移动部件驱动装置244包括作为驱动源的涂刷头移动马达246和包括滚珠丝杠及螺母的传送丝杠机构248(参照图10)，使移动部件242由导轨250引导并移动，使移动部件242上搭载了的一对涂刷头232在Y轴方向移动。一对涂刷头升降装置234例如分别以气缸为驱动源，使1对涂刷头232分别升降，使这些涂刷头232分别具有的涂刷器252与丝网220接触、分离。

摄像装置移动装置24，如图7所示，包括X轴方向移动装置270及Y轴方向移动装置272，使摄像装置22移动到与电路基板50及丝网220平行的平面内即水平面内的任意位置。X轴方向移动装置270包括作为可动部件的X轴移动部件276及X轴移动部件移动装置278。X轴移动部件移动装置278包括作为驱动源的X轴移动马达280、包括滚珠丝杠282及螺母284的传送丝杠机构286，使X轴移动部件276由一对导轨288引导并移动到X轴方向的任意位置。Y轴方向移动装置272设置在X轴移动部件276上，包括作为可动部件的Y轴移动部件290及Y轴移动部件移动装置292。Y轴移动部件移动装置292包括作为驱动源的Y轴移动马达294、包括滚珠丝杠296及螺母298的传送丝杠机构300，使Y轴移动部件290由导轨302引导并移动到Y轴方向的任意位置。

上述摄像装置22在本实施例中如图8及图9所示，包括装置本体330、记号摄像机332、丝网记号用照明装置334、丝网记号用导光装置336、基板记号用照明装置338及基板记号用导光装置340。

记号摄像机332在本实施例中由CCD摄像机构成，具有透镜342，水平设置。丝网记号用导光装置336包括半反射镜346、348。丝网记号用照明装置334包括第1照明装置350及第2照明装置352。第1照明装置350以LED(Light Emitting Diode)354为光源，由反射部件356反射LED354发出的光，将其向丝网记号226、228照射。沿着基板360的圆形的开口362的周缘设置了多个LED354。反射部件356在本实施例中具备在短的圆筒的一方有底的形状，其内侧面整体(包括底部363的内侧面)做成白色，做成反射面364。反射面364例如通过涂饰做成白色。LED354嵌合在反射部件356的开口端，LED354发出的光由反射面364反射，通过开口362而照射到上方，对丝网记号226、228从它们周围进行照明。因为反射面364做成白色，所以该表面均匀反射光，并且使光扩散，从而向作为摄像对象物的丝网记号226、228照射无晕斑的光。因此，来自丝网记号226、228的反射光即像形成光也成为均匀而无晕斑的光，获得准确的像。还有，白色的反射面364反射率高，能进行良好照明。第2照明装置352具备光源368，如图9所示，光源368发出的光由半反射镜346反射，通过设置在反射部件356的底部363的中央的开口370(开口362、370互相同心设置，开口362一方大)、基板360的开口362而向丝网记号226、228照射。在本实施例中，光源368由白色的LED构成。光源358设置成朝向与丝网记号226、228不同的方向，不过，光源358发出的光由半反射镜346改变方向，成为平行光，与像形成光平行地向丝网记号226、228照射。光源358是落射光源，借助于第2照明装置352而进行落射照明。

基板记号用导光装置340包括反射镜380、382、384及半反射镜386。还有，基板记号用照明装置338包括与丝网记号用照明装置334的第1、第2照明装置350、352同样构成的第1照明装置390及第2照明装置392，朝下照射光，对基板记号56、58进行照明。另外，摄像装置22内的为了对丝网记号226、228进行摄像的光的长度和为了对基板记号56、58进行摄像的光的长度分别与摄像装置22和丝网记号226、228之间的距离、摄像装置22和基板记号56、58之间的距离对应，设置成使得为了对第1、第2丝网记号226、228进行摄像的光路的长度和为了对第1、第2基板记号56、58进行摄像的光路的长度相同，不散焦地对任一记号进行摄像。还有，半反射镜346、348、386及反射镜384上下设置成1列，反射镜380及半反射镜348和反射镜382、384分别水平设置成1列，在丝网记号和基板记号的中心一致了的场合，来自各记号的反射光通过相同的光路向透镜342入射，丝网记号的像和基板记号的像的中心也会一致。

在Y轴移动部件290上，如图2及图7所示，还保持了停止位置规定装置430，由摄像装置移动装置24使其移动到水平面内的任意位置。摄像装置移动装置24也是停止位置规定装置移动装置，X轴方向移动装置270使停止位置规定装置430在X轴方向，即与基板搬送方向平行的方向移动到任意位置，使其规定电路基板350的停止位置。

停止位置规定装置430在本实施例中如图2概略性地表示的，包括停止位置规定部件432及升降驱动装置434。停止位置规定部件432为较长形状，与电路基板50垂直而在铅垂的方向可升降地保持在Y轴移动部件290上。升降驱动装置434例如由气缸构成，使停止位置规定部件432升降到其接触部乃至移动限制部位于基板搬送平面内，与电路基板50的基板搬送方向的下游侧端接触而阻止电路基板50的搬送的下降位置和从基板搬送面退避，容许电路基板50的搬送的上升位置。停止位置规定部件432借助于Y轴移动部件290的移动，位于与电路基板50的宽度对应而适合停止位置的规定的位置，例如与电路基板50的宽度方向的中央部接触的位置。

上述控制装置26，如图10所示，包括控制部和多个驱动电路454，控制部包括计算机450及输入输出部452。计算机450包括CPU456、ROM458、RAM460及连接它们的总线，输入输出部452在输入侧与图像处理计算机462及输入装置464连接，皮带绕转用马达52等各种作动器及报知装置466夹介驱动电路454而与输入输出部452的输出侧连接。输入装置464例如由键盘、鼠标、触摸屏等构成。报知装置466例如做成通过图像、声音、光等进行报知的装置。作为构成本丝网印刷机的各种装置的驱动源的马达由具备编码器的伺服马达构成，受到伺服控制。还有，ROM458中存储了省略图示的主例程、图11至图14中用流程图表示的丝网与基板位置对准例程、基板保持例程、基板搬送例程、膏状焊料印刷例程等各种程序及数据等，RAM460中如图15概念性地表示的，设置了摄像中心位置偏差存储器等。

其次对动作进行说明。

在本丝网印刷机中，向多个电路基板50的膏状焊料的印刷连续进行。从搬入输送器40向主输送器42的电路基板50的搬入和从主输送器42向搬出输送器44的电路基板50的搬出同时进行。在基板搬入、搬出时使基板保持装置14下降到下降端位置，把电路基板50搬入丝网220下方。然后，使输送器40、42、44同步而一齐动作，与搬入、搬出电路基板50同时并行，使停止位置规定装置430在与基板搬送方向相同的方向移动。停止位置规定部件432位于由搬入输送器40搬入的电路基板50和由主输送器42搬出的电路基板50之间，在本实施例中，X轴移动部件276的移动速度比电路基板50的搬送速度慢，从搬入输送器40搬入主输送器42中的电路基板50在该搬送方向在下游侧端的宽度方向的中央部与停止位置规定部件432接触而限制了移动速度的状态下被搬送，避免碰到从主输送器42搬出到搬出输送器44中的电路基板50。使X轴移动部件276在预先设定了的位置停止，使停止位置规定装置430在停止位置规定位置停止。停止位置规定位置是电路基板50位于基板支承装置58的上方，丝网220的贯通孔形成区域224的正下方，且丝网记号226、228和基板记号56、58的位置应该一致的位置。

电路基板50在搬入后由基板保持装置14保持。它由基板支承装置58从下方支承，并且由侧面夹紧装置64从侧方保持，电路基板50的宽度方向的位置由固定夹紧部件150的夹紧面180规定。另外，使停止位置规定部件432至少在基板保持装置14所涉及的电路基板50的保持完成，摄像装置22开始记号56、58、226、228的摄像之前的期间上升到上升位置。

电路基板50由基板保持装置14保持之后，摄像装置22借助于摄像装置移动装置24而移动，对第1、第2基板记号56、58及第1、第2丝网记号226、228进行摄像。在此状态下基板保持装置14位于下降端位置，摄像装置22从退避区域进入丝网220和保持在基板保持装置14上的电路基板50之间的空间进行摄像。退避区域如图1所示，是从丝网220和保持在基板保持装置14上的电路基板50之间的空间分开而不阻碍基板保持装置14的上升及电路基板50与丝网220的接触的位置。预定在电路基板50保持在基板保持装置14上的状态下，使第1、第2基板记号56、58和第1、第2丝网记号226、228在与水平面平行的方向的位置一致，摄像装置22能在相同位置对互相对着的基板记号和丝网记号进行摄像。关于摄像装置22所涉及的记号的摄像后述。

基于根据摄像装置22所涉及的基板记号56、58及丝网记号226、228的摄像的结果而获得的数据，算出电路基板50和丝网220的位置偏差，由基板位置调节装置16使基板保持装置14移动、回转，使电路基板50移动、回转，从而使电路基板50和丝网220的位置在与水平面平行的方向对准，使在丝网220上形成了的贯通孔223和在电路基板50上设定了的焊料印刷部位的位置对准。关于此丝网220和电路基板50的位置对准后述。

位置对准后，使基板保持装置14上升，使电路基板50与丝网220接触。这时，使摄像装置22及停止位置规定装置430退避到退避区域。然后，使一对涂刷头232的一方下降，使其在涂刷器252与丝网220接触了的状态下移动，使装在丝网220之上的膏状焊料移动而将其压入贯通孔223中，附着、印刷在电路基板50上。印刷后，使基板保持装置14下降，并且使电路基板50从丝网220分离，载置在主输送器42之上，并且解除基板支承装置56及侧面夹紧装置64所涉及的支承及夹紧，将其搬出。

对丝网220和电路基板50的位置对准进行说明。

在本丝网印刷机中，设定了2种位置对准模式，其中1种由作业者用输入装置464来选择、执行。位置对准模式的1种是每次对于1枚电路基板50印刷结束，就使基板保持装置14在与电路基板50及丝网220的板面平行的方向返回基准位置，在该状态该下搬入其次被印刷膏状焊料的电路基板50而进行位置对准的方式，称为基准位置复原位置对准模式。基板保持装置14的基准位置是固定夹紧部件150的夹紧面180的Y轴方向的位置与搬入输送器40及搬出输送器44的各固定夹紧部件的夹紧面一致，并且夹紧面180的较长方向变得与X轴方向平行，且主输送器40在X轴方向位于搬入输送器40和搬出输送器44之间的恰好正中的位置。

还有，另一位置对准模式是不使基板保持装置14返回基准位置，而是为了电路基板50与丝网220的位置对准而使其移动、回转，在进行了印刷的状态下搬入其次被印刷膏状焊料的电路基板50，进行位置对准的方式，称为基准位置非复原位置对准模式。如果为了调节基板位置而使基板保持装置14移动、回转，主输送器42等就会相对于搬入、搬出输送器40、44等在X轴、Y轴方向偏离，绕铅垂轴线倾向，不过，如果该量小的话，电路基板50的接交就能无障碍地进行，不必每次对于1枚电路基板50的印刷供给结束就使基板保持装置14返回基准位置。在基准位置非复原位置对准模式中，原则上不使基板保持装置14复原于基准位置，不过，在本实施例中，在焊料印刷时的基板保持装置14相对于基准位置的位置偏差超过了容许范围的场合及预先设定的条件成立的场合，使其复原于基准位置，进行电路基板50的接交。

首先，基于图11及图12所示的基准位置非复原丝网与电路基板例程来说明在选择了基准位置非复原位置对准模式的场合的丝网220及电路基板50的位置对准。

如果选择基准位置非复原位置对准模式，指示丝网印刷的开始，就执行基准位置非复原丝网与基板位置对准例程，在步骤1(以后简称S1。对于其他步骤也相同。)中进行标志F3是被否置位为1的判断。标志F3在主例程的初期设定等中被复位为0，此处被复位。标志F3的用途后边说明。

因为标志F3被复位为0，所以S1的判断结果成为NO，执行S1’，判断电路基板50是否被搬入到了基板保持装置14上。例如，根据是否使停止位置规定装置430移动到停止位置规定位置并且使主输送器42停止了来进行此判断。在连续被进行膏状焊料的印刷的多枚电路基板50的第1枚被搬入的场合，基板保持装置14位于基准位置，使停止位置规定装置430移动到对于位于基准位置的基板保持装置14，使电路基板50在规定的位置(基板记号56、58和丝网记号226、228的位置应该一致的位置)停止的位置，即基准停止位置规定位置。如果电路基板50在搬送中，S1’的判断结果就成为NO，执行S36，判断设定条件是否成立。对于设定条件后边说明。此处，如果设定条件不成立，S36的判断结果就成为NO，例程的执行结束。

如果电路基板50被搬入到基板保持装置14上，S1’的判断结果就成为YES，执行S2，判断执行的位置对准是不是初期的位置对准。例如，如果被搬入了的电路基板50是第1枚，即连续被进行印刷的同种的多个电路基板50中的第1枚，就对于丝网220和电路基板50进行初期的位置对准。根据标志F1是否被复位为0来判断位置对准是不是初期的。标志F1在主例程的初期设定等中被复位为0，如果被搬入了的电路基板50是第1枚的话就被复位，S2的判断结果成为YES，执行S3，摄像装置22借助于摄像装置移动装置24而移动到第1摄像位置，对第1丝网记号226及第1基板记号56进行摄像。此处，第1摄像位置是摄像中心位于第1丝网记号226的中心的设计上的位置，摄像中心和第1丝网记号226的中心应该一致的位置。丝网保持装置18所涉及的丝网220的保持位置会有误差，摄像装置移动装置24会产生移动误差，即使以摄像中心位于第1丝网记号226的中心的设计上的位置为目标而使摄像装置22移动，摄像中心和第1丝网记号226的中心也未必一致，第1摄像位置是预定了摄像中心和第1丝网记号226的中心的一致的位置。在S3中还在设置在RAM460中的第1摄像位置存储器中存储第1摄像位置，并且存储标志F1被置位为1，进行初期的位置对准这一点。

移动后，执行S4，由摄像装置22对第1丝网记号226及第1基板记号56进行摄像。在电路基板50被搬入，保持在基板保持装置14上的状态下，各2个的第1、第2丝网记号226、228和第1、第2基板记号56、58在X轴、Y轴各方向的位置应该一致。因此，移动到第1摄像位置的摄像装置22能在第1摄像位置对第1丝网记号226和第1基板记号56两方进行摄像。对于第2丝网记号228及基板记号58也同样。

在第1丝网记号226的摄像时，由丝网记号用照明装置334向第1丝网记号226照射光。来自第1丝网记号226的反射光透过半反射镜346，由半反射镜348改变方向而向透镜342入射，由记号摄像机332进行摄像。还有，在第1基板记号56的摄像时，由基板记号用照明装置338向第1基板记号56照射光。来自第1基板记号56的反射光透过半反射镜386，由3个反射镜384、382、380反射，透过半反射镜348向透镜342入射，由记号摄像机332进行摄像。摄像装置22没有快门，不过，在丝网记号226的摄像时，丝网记号用照明装置334照明丝网记号226，基板记号用照明装置338不照明基板记号56，从而只获得丝网记号226的像，在基板记号56的摄像时，基板记号用照明装置338照明基板记号56，丝网记号用照明装置334不照明丝网记号226，从而只获得基板记号56的像。摄像后，执行S5，摄像装置22借助于摄像装置移动装置24而移动到第2摄像位置。此处，第2摄像位置是摄像中心应该位于第2丝网记号228的中心的设计上的位置的位置。还有，在S5中，第2摄像位置被存储在第2摄像位置存储器中。移动后，执行S6，摄像装置22对第2丝网记号228及第2基板记号58进行摄像。

摄像后，执行S7，运算第1、第2基板记号56、58及第1、第2丝网记号226、228的各中心相对于各摄像中心的位置偏差(X、Y两轴方向的位置偏差量和方向)，基于该运算结果，运算摄像中心相对于第1、第2丝网记号226、228的中心的位置偏差，将其存储在第1、第2摄像中心位置偏差存储器中。还有，第1、第2基板记号56、58及第1、第2丝网记号226、228的各中心相对于各摄像中心的位置偏差间接地表示了第1、第2基板记号56、58的各中心相对于第1、第2丝网记号226、228的各中心的位置偏差，基于此位置偏差来运算为了使两记号的中心一致的修正量。搬入、保持电路基板50，使其与丝网220的位置对准(第1、第2丝网记号226、228和第1、第2基板记号56、58的中心互相一致)，使摄像装置22移动到预定了摄像中心与上述两记号的中心一致的位置，不过，由于丝网保持装置18的丝网保持位置误差、基板搬送装置12所涉及的电路基板50的搬送误差、摄像装置移动装置24所涉及的摄像装置22的移动误差等，电路基板50会对丝网220偏离，摄像装置22会对丝网220及电路基板50偏离，如图16概略性地表示的，摄像中心相对于丝网记号的中心的位置偏差及基板记号的中心相对于丝网记号的中心的位置偏差就会产生，因而要取得这些位置偏差，运算为了使第1、第2基板记号56、58的各中心与第1、第2丝网记号226、228的各中心尽可能一致的修正量。各摄像中心相对于上述第1、第2丝网记号226、228的中心的位置偏差是初期摄像装置位置偏差，第1、第2基板记号56、58及第1、第2丝网记号226、228的各中心相对于各摄像中心的位置偏差，或者据此运算获得的(在本实施例中实际上不运算)第1、第2基板记号56、58的各中心相对于第1、第2丝网记号226、228的各中心的位置偏差是初期基板位置偏差。

在电路基板50和丝网220之间，有回转位置偏差(绕Z轴线的位置偏差)及X轴、Y轴方向的各位置偏差，基于各2个的丝网记号226、228及基板记号56、58的各X轴、Y轴方向的位置，使得回转位置偏差消除，并且丝网记号226、228的中心位置的平均位置和基板记号56、58的中心位置的平均位置一致地算出基板位置调节装置16的X轴方向位置调节装置86所涉及的移动台84的移动量及2个Y轴方向位置调节装置88所涉及的移动台84的移动量。例如，基于摄像中心的2个位置坐标，以及第1、第2基板记号56、58的各中心和第1、第2丝网记号226、228的各中心相对于2个摄像中心的位置偏差，算出第1、第2基板记号56、58的各中心和第1、第2丝网记号226、228的中心的位置，算出为了尽可能减小该第1、第2基板记号56、58的各中心和第1、第2丝网记号226、228的各中心的位置偏差所必要的电路基板50的回转角度和X、Y轴方向的位置补正量，并且算出为了实现它们所必要的基板位置调节装置16的X轴方向位置调节装置86所涉及的移动台84的移动量及2个Y轴方向位置调节装置88所涉及的移动台84的移动量。这两移动量是位置偏差修正量，存储在基板位置偏差修正量存储器中。位置调节装置86、88所涉及的移动台84的移动量中包括量及方向。还有，算出由于位置偏差修正而变化的基板保持装置14相对于基准位置的位置(由基板位置调节装置16给予基板保持装置14的回转的角度，通过X轴、Y轴的各方向的移动距离的累积来获得)，将其存储在基板保持装置位置存储器中。

接着执行S8，基于在S7中算出的位置偏差修正量使基板位置调节装置16动作，使得电路基板50相对于丝网220的位置偏差消除地使基板保持装置14移动、回转，调节电路基板50的位置。使X轴方向位置调节装置86及2个Y轴方向位置调节装置88按照在S7中算出的移动量来动作。修正后，执行S9，使摄像装置22移动到基于第1摄像中心位置偏差而被修正了的第1摄像位置。根据以记号摄像为基础的第1摄像位置的修正，使摄像装置22移动到摄像中心应该与丝网记号226及基板记号56的中心一致的位置。还有，被修正了的第1摄像位置替换先前被存储了的第1摄像位置而被存储在第1摄像位置存储器中。移动后，执行S10，摄像装置22对第1丝网记号226及第1基板记号56进行摄像。摄像后，执行S11、S12，基于第2摄像中心位置偏差来正第2摄像位置，使摄像装置22移动到应该与第2丝网记号228及第2基板记号58的中心一致的位置，移动后，对第2丝网记号228及第2基板记号58进行摄像。还有，被修正了的第2摄像位置替换先前被存储了的第2摄像位置而被存储在第2摄像位置存储器中。

摄像后，与S7同样地执行S13，算出第1、第2摄像中心位置偏差、基板位置偏差修正量及基板保持装置14的位置，分别替换在S7中算出的值而将其存储在存储器中。并且，执行S14，基于在S13中算出的基板位置偏差修正量而使基板位置调节装置16动作，使电路基板50移动到相对于丝网220的位置偏差消除的位置。电路基板50的位置修正后，执行S25，由计数器对电路基板50的枚数进行计数。

接着执行S26，判断对于应该连续被印刷的一连串的电路基板50的全部，印刷是否结束了。即判断被搬入了的电路基板50是不是最后的电路基板50。根据计数器的计数值C是否成为预先设定的枚数来进行此判断。如果不是最后的电路基板50，S26的判断结果就成为NO，执行S27，判断基板保持装置14相对于基准位置的位置偏差是否超过了容许范围。

即使基板保持装置14偏离了基准位置，在主输送器42和搬入、搬出输送器40、44之间有偏差，在基板搬送时，即一对夹紧部件150未夹紧电路基板50的状态下，夹紧部件150和电路基板50之间有间隙，容许电路基板50相对于夹紧部件150的倾斜、Y轴方向的位置偏差，也能在主输送器42和搬入、搬出输送器40、44之间进行电路基板50的接交，不过，如果偏差变大，电路基板50的接交就会变得困难。因此，进行S27的判断。在本实施例中用图表来进行此判断。对于X轴方向，即使基板保持装置14的位置偏差变大，电路基板50的接交也能进行，因而判断Y轴方向的位置偏差及回转位置偏差是否超过了容许范围。另外，回转位置偏差也会引起Y轴方向的位置偏差，因而回转位置偏差的绝对值越大，被容许的Y轴方向的位置偏差的绝对值越小。因此，图表是把考虑了符号的回转位置偏差角度的范围分割成多个区域，对各分割区域设定被容许的Y轴方向的位置偏差的范围(考虑了符号)而作成的。另外，S27的判断也可以通过运算来进行。如果基板保持装置14的位置偏差处在容许范围内，S27的判断结果就成为NO，例程的执行结束。

对于这样相对于丝网220的位置对准了的电路基板50，能精度很好地进行膏状焊料的印刷。在初期，例如第1枚电路基板50的场合，得不到任何电路基板50相对于丝网220的位置偏差数据，不过，在电路基板50的搬入后，通过丝网记号226、228及基板记号56、58的摄像，取得丝网220和电路基板50的位置偏差，在基于该位置偏差而调节了电路基板50的位置的状态下再次对记号226、228、56、58进行摄像而取得位置偏差，基于此来调节位置，因而能精度很好地进行位置对准。而且，对于摄像装置22而言，也是基于摄像数据来取得摄像中心和丝网记号226、228及基板记号56、58的中心的位置偏差，移动到这些中心应该对准的位置(在本实施例中是丝网记号226、228的中心和摄像中心应该一致的位置)，因而更能精度很好地进行位置对准，提高印刷精度。

并且，在向电路基板50的膏状焊料的印刷结束，其次搬入应该被印刷膏状焊料的电路基板50之前，反复执行S1、S1’、S36。如果电路基板50被搬入，S1的判断结果就成为NO，S1’的判断结果成为YES，执行S2。基板保持装置14在向电路基板50的膏状焊料的印刷后，有不返回基准位置的场合和返回的场合，如果此处假定不返回，就在原样位于借助于基板位置调节装置16而移动、回转了的基板位置调节位置、位置偏差修正位置乃至印刷位置的状态下，保持其次应该被搬入而印刷膏状焊料的电路基板50。因此，停止位置规定装置430借助于摄像装置移动装置24而移动到使电路基板50在X轴方向相对于基板保持装置14在与上次被印刷了膏状焊料的电路基板50相同的位置停止的位置。在执行基准位置非复原丝网与基板位置对准例程时，停止位置规定装置430的基板停止位置规定位置原则上基于基板保持装置位置存储器中存储了的基板保持装置14的位置来算出。电路基板50被处于相对于基准位置被调节了的位置的基板保持装置14保持，从而在保持时，相对于丝网220的位置能调节。停止位置规定装置430使电路基板50在由处于被进行了位置调节的状态的基板保持装置14的位置决定的位置即在X轴方向被调节了的位置停止，可以认为恰似停止位置规定装置430设置在基板保持装置14上，基板保持(搬入)时的电路基板50的X轴方向、Y轴方向的位置偏差及回转位置偏差的修正全都通过基板保持装置14的位置调节来进行。

在电路基板50为第2枚以后，即作业途中的电路基板50的场合，标志F1被置位，因而S2的判断结果成为NO，执行S15。在S15中判断标志F4是否被置位为1，不过，此处如果标志F4被复位为0，S15的判断结果就成为NO，执行S16。标志F4的用途后边说明。

在S16中，判断第1、第2摄像中心位置偏差存储器中分别存储的第1、第2摄像中心位置偏差量的至少一方是否比阈值大。在本实施例中，基于摄像中心相对于丝网记号的X、Y两轴方向的位置偏差的量，求得摄像中心和丝网记号中心的距离，判断该距离是否比阈值大。如果第1、第2摄像中心和丝网记号226、228的中心的各距离的至少一方比阈值大，S16的判断结果就成为YES，执行S17，第1、第2摄像位置中的第1、第2摄像中心的位置偏差量比阈值大的摄像位置，与S9、S11的修正同样，基于摄像中心的位置偏差来修正，存储在摄像位置存储器中。如果第1、第2摄像中心的位置偏差量全都是阈值及以下，S16的判断结果就成为NO，跳过S17，执行S18。在摄像中心的位置偏差量小的场合，不修正摄像位置。在本实施例中，第1、第2摄像位置是摄像中心和第1、第2丝网记号226、228的中心应该一致的位置，电路基板50的位置因位置调节而改变，而丝网220的位置在被丝网保持装置18保持之后不动，第1、第2摄像位置偏差存储器中存储了的位置偏差在其次进行记号摄像而重新取得摄像位置偏差之前，能用作摄像中心的位置偏差，能修正第1、第2摄像位置。

在修正摄像位置的场合、不修正的场合都执行S18～S21，使摄像装置22移动到第1摄像位置，对第1丝网记号226及基板记号56进行摄像，移动到第2摄像位置，对第2丝网记号228及基板记号58进行摄像。摄像后，执行S22，与S7同样，基于摄像结果，算出第1、第2摄像中心位置偏差、电路基板50的位置偏差修正量及基板保持装置14的位置，分别将其存储在存储器中。此第1、第2摄像中心位置偏差是作业中摄像装置位置偏差，是第1、第2基板记号56、58及第1、第2丝网记号226、228的各中心相对于各摄像中心的位置偏差，或者根据它们运算获得的第1、第2基板记号56、58的各中心相对于第1、第2丝网记号226、228的各中心的位置偏差是作业中基板位置偏差。“作业中”是在初期以外的场合进行的印刷作业，作业中位置偏差是在初期以外的印刷作业中取得的位置偏差。

然后，执行S23，判断基板位置偏差修正量的绝对值是否比阈值大。基板位置偏差修正量与作为基板记号56、58相对于丝网记号226、228的位置偏差的作业中基板位置偏差对应，该位置偏差要与阈值进行比较。此处是对于X轴、Y轴方向位置调节装置86、88分别设定了的移动台84的移动量的各绝对值分别与阈值进行比较，如果全都是阈值及以下，S23的判断结果就成为NO，执行S24，基于在S22中算出的电路基板50的位置偏差修正量使基板位置调节装置16动作，使基板保持装置14移动，移动到电路基板50相对于丝网220的位置偏差消除的位置。还有，在S24中，标志F2被复位为0。对于标志F2的用途后边说明。然后，执行S25及以下的步骤。

在作业中，在基板保持装置14不返回基准位置，原样位于印刷时位置的状态下搬入、保持电路基板50的场合，把电路基板50定位、保持在与先前被调节了位置而进行了印刷的电路基板50相同的位置，在该状态下进行记号摄像，在初期对通过被位于基准位置的基板保持装置14保持的电路基板50及丝网220的记号摄像而获得的摄像中心位置偏差及基板位置偏差进行修正后还残留的位置偏差、作业中对通过记号摄像而获得的摄像中心位置偏差及基板位置偏差进行修正后还残留的位置偏差被修正了的状态下对丝网记号226、228及基板记号56、58进行摄像。因此，这些记号之间的位置偏差小，而且取得摄像中心相对于丝网记号226、228的位置偏差，使摄像装置22移动到摄像中心与丝网记号226、228及基板记号56、58的中心应该一致的位置进行摄像，因而摄像中心相对于记号的位置偏差也小，能精度很好地取得位置偏差。因此，基板位置偏差修正量的绝对值一般为阈值及以下，基于该基板位置偏差修正量来调节电路基板50位置，电路基板50和丝网记号220的位置就能精度很好地对准。

相比之下，如果基板位置偏差修正量的绝对值有1个比阈值大，S23的判断结果就成为YES，执行S32，判断标志F2是否被置位为1。此处标志F2被复位为0，S32的判断结果成为NO，执行S33，基于在S22中算出的基板位置偏差修正量来调节电路基板50的位置。即，使得电路基板50相对于丝网220的位置偏差消除地使基板保持装置14移动、回转。还有，标志F2被置位为1，存储通过记号摄像而取得的电路基板50相对于丝网220的位置偏差大这一点。

在基板位置调节后，执行S16～S22，对记号56、58、226、228进行摄像，算出、存储位置被调节了的电路基板50和丝网220的位置偏差修正量等。在此场合也是，在摄像中心的位置偏差大的场合，修正摄像位置，使摄像装置22移动到被修正了的摄像位置进行记号摄像。然后，执行S23，进行算出的基板位置偏差修正量的绝对值是否比阈值大的判断。因为在记号摄像之前调节了电路基板50的位置，将其调节到了丝网记号226、228和基板记号56、58的中心应该互相一致的位置，所以在该状态下进行了的记号摄像的结果所获得的基板位置偏差修正量的绝对值仍然比阈值大的场合，可以认为有某种异常发生了。因此，S23、S32的判断结果成为YES，执行S34，由报知装置466发出警报，向作业者报知异常的发生。基于此警报，作业者推测、解除基板位置偏差大的原因。在S34中标志F1、F2还要被复位。相比之下，如果基板位置偏差修正量的绝对值是域值及以下，S23的判断结果就成为NO，执行S24。

这样对丝网记号226、228及基板记号56、58进行摄像，取得位置偏差量，在使得位置偏差消除地使基板保持装置14移动、回转的场合，如果基板保持装置14相对于基准位置的偏差超过了容许范围，S27的判断结果就成为YES，执行S28，标志F3被置位为1，存储位置偏差超过了容许范围这一点。对于1枚电路基板50，每次与丝网220的位置对准结束，就执行S27的判断。

即，在基板保持装置14的位置偏差超过了容许范围的场合，使基板保持装置14返回基准位置，在主输送器42和搬入、搬出输送器40、44之间顺畅地进行电路基板50的接交，不过，在向电路基板50印刷膏状焊料的过程中不能使基板保持装置14返回基准位置。因此，执行S29，判断基板保持装置14向基准位置的返回是否可能。例如，根据是不是向电路基板50的膏状焊料的印刷结束，基板保持装置14下降到了下降端位置来进行此判断。也可以在膏状焊料的印刷结束后，使基板保持装置14下降到下降端位置，与此同时，返回基准位置。

如果使基板保持装置14返回基准位置这一点成为可能的状态，S29的判断结果就成为NO，例程的执行结束。因为标志F3被置位，所以其次进行S1的判断时，该判断结果成为YES，执行S29，可以期待，使基板保持装置14返回基准位置这一点成为可能的状态。

如果基板保持装置14下降到下降端位置，返回基准位置这一点成为可能的状态，S29的判断结果就成为YES，执行S30，由基板位置调节装置16使基板保持装置14返回基准位置。基于基板保持装置位置存储器中存储的基板保持装置14的位置来获得使基板保持装置14返回基准位置时的基板位置调节装置16的动作量。还有，标志F3被复位为0，并且标志F4被置位为1，存储使基板保持装置14返回基准位置这一点。基板搬送装置12设为在基板保持装置14的现位置相对于基准位置的偏差超过了容许范围的场合，在基板保持装置14向基准位置的返回结束之前不被进行电路基板50的搬入、搬出。根据标志F4被置位这一点，可知进行基板保持装置14向基准位置的返回这一点，要确认返回的结束。返回后，使输送器40、42、44动作，搬入、搬出电路基板50。这时，基于标志F4被置位这一点，使停止位置规定装置430移动到基准停止位置规定位置，使电路基板50在由位于基准位置的基板保持装置14保持的位置停止。另外，使基板保持装置14返回基准位置，不过，基板位置偏差修正量存储器及基板保持装置位置存储器的内容则维持原样。并且，因为基板保持装置14返回基准位置，所以电路基板50的接交能顺畅地进行。

如果进行基板保持装置14向基准位置的返回，标志F3被复位为0，则其次进行S1的判断时，该判断结果就成为NO。并且，如果电路基板50被搬入，S1’的判断结果就成为YES，S2的判断结果成为NO，执行S15，判断标志F4是否被置位，不过，该判断结果是YES，执行S35，使保持电路基板50的基板保持装置14移动到将要返回基准位置之前的位置，即基板保持装置位置存储器中存储了的位置。还有，标志F4被复位为0，之后，执行S16及以下的步骤。即使基板保持装置14的位置偏差超过容许范围，例如，如果位置偏差变大这一点是暂时的，突发性地产生的，通过以记号摄像为基础的位置调节，基板保持装置14相对于基准位置的偏差也会变小，不会超过容许范围。

对S36的设定条件的成立进行说明。设定条件在本实施例中是丝网印刷不进行设定时间以上这一点，由作业者指示了复位这一点，以及电路基板50的种类相同，不过，制造批次改变了这一点。丝网印刷不进行设定时间以上这一点，例如，根据S1’的判断结果成为NO，执行S36的判断的状态持续设定时间以上这一点可以明白。还有，复位及制造批次的变更由作业者用输入装置464输入。复位，例如，在作业者进行了丝网印刷机的维护作业的场合被输入。

在设定条件成立的场合，S36的判断结果成为YES，执行S37，判断使基板保持装置14返回基准位置这一点是否可能。与S29同样地进行此判断，如果不可能，S37的判断结果就成为NO，例程的执行结束。如果返回是可能的，S37的判断结果就成为YES，执行S38，使基板保持装置14返回基准位置，并且标志F1、F4被复位。在S38中还要对基板位置偏差修正量存储器、基板保持装置位置存储器进行清零。这样，在其次执行S2时，其判断结果成为YES，执行S3～S14，进行丝网220和电路基板50的初期的位置对准。即，即使是向同种的多个电路基板印刷膏状焊料的途中，在印刷作业长时间中断了的场合，也会推测为构成丝网印刷机的各种装置产生了状态变化，还有，在指示了复位等的场合，即使有根据先进行了的记号摄像的结果而获得的数据，也最好不使用它，而是与向第1枚电路基板50印刷膏状焊料时同样地进行初期的丝网220和电路基板50的位置对准。在设定条件成立时，使基板保持装置14返回基准位置，在该状态下搬入电路基板50，因而使停止位置规定装置430移动到基准停止位置规定位置。根据标志F1被复位为0这一点，可知基板保持装置14处于基准位置这一点。

基于图13及图14所示的流程图来说明基准位置复原丝网与基板位置对准。

在此位置对准的场合，每次向1枚电路基板50的膏状焊料的印刷结束，就为了电路基板50的接交而使基板保持装置14返回基准位置。因此构成为，每次电路基板50和丝网220的位置对准结束，就判断使基板保持装置14返回基准位置这一点是否处于可能的状态(S78)，如果成为可能的状态，就使基板保持装置14返回基准位置(S79)，如果其次搬入、保持了电路基板50，就使基板保持装置14移动到最后的(上次的)记号摄像时的位置(S66)。除此以外，与基准位置非复原丝网与基板位置对准同样地进行。

因此，每次为了记号摄像而调节电路基板50的位置，就把基板保持装置14的位置存储在RAM460中设置的记号摄像时基板保持装置位置存储器中，在电路基板50的受取后，由位置调节装置16使基板保持装置14的位置移动到记号摄像时基板保持装置位置存储器中存储了的位置，即最后进行了记号摄像时的位置。还有，除此之外，把印刷时的电路基板50的位置存储在RAM460中设置的印刷时基板保持装置位置存储器中，基于此存储器中存储了的位置，使基板保持装置14返回基准位置。与在基准位置非复原丝网与基板位置对准中算出的基板保持装置位置同样地算出该记号摄像时基板保持装置位置及印刷时基板保持装置位置，将其存储在存储器中。在以记号摄像为目的的电路基板50的位置调节时，通过由基板位置调节装置16给予基板保持装置14的回转角度及在X轴、Y轴的各方向的移动距离的累积来获得记号摄像时基板保持装置位置，在以印刷为目的的电路基板50的位置调节时，通过由基板位置调节装置16给予基板保持装置14的回转角度及在X轴、Y轴的各方向的移动距离的累积来获得印刷时基板保持装置位置。还有，停止位置规定装置430常移动到基准停止位置规定位置，使电路基板50停止。

在基准位置复原丝网与基板位置对准中也是，对于初期的电路基板50，在基板保持装置14位于基准位置的状态下由摄像装置22对记号进行摄像，基于由此获得的数据在调节了的位置再次对记号进行摄像，基于该摄像结果来对准电路基板50相对于丝网220的位置，因而能精度很好地进行位置对准。还有，对于比初期靠后的作业中的电路基板50也是，在把其位置调节到了基于前头的记号摄像所获得的丝网记号226、228和基板记号56、58应该一致的位置的状态下对记号进行摄像，基于由此获得的摄像结果来对准电路基板50相对于丝网220的位置，因而更能精度很好地进行位置对准。

从以上的说明可知，在本实施例中，控制装置26的执行S8、S23、S33、S59、S74、S83的部分构成了第1基板位置调节控制部，执行S9、S11、S16、S18、S20、S60、S62、S66、S67、S69、S71的部分构成了移动控制部，执行S10、S12、S19、S21、S61、S63、S70、S72的部分构成了摄像控制部，执行S13、S24、S64、S75的部分构成了第2基板位置调节控制部，执行S3、S5、S54、S56的部分构成了初期摄像装置移动控制部，执行S4、S6、S55、S57的部分构成了初期摄像控制部，执行S7、S58的部分构成了初期位置偏差取得部。还有，控制装置26的执行S22、73的部分构成了作业中基板位置偏差取得部及作业中摄像装置位置偏差取得部，它们构成了作业中位置偏差取得部。本移动控制部是在作业中摄像装置位置偏差的大小比阈值大的场合变更摄像装置22的移动位置的移动控制部。

根据S23、S74的判断结果成为YES这一点而进行的S33、S83的位置调节是在作业途中基板位置偏差比阈值大的场合进行的第1调节。还有，在基准位置复原丝网与基板位置对准例程的S66中是把电路基板50搬入、保持在基板保持装置14上之后，把基板保持装置14的位置调节到上次进行了记号摄像的位置，不过，此位置是向比搬入了的电路基板50靠前的电路基板50印刷膏状焊料时基于记号摄像而取得的位置偏差被修正了的位置，S66的调节是不进行位置偏差和阈值的比较而调节电路基板50的位置的第1调节。也可以认为，S66的位置调节是作业中基板位置偏差为0，即阈值及以下，位置调节量为0的第1调节。在基准位置非复原丝网与基板位置对准例程中，基板保持装置14以向电路基板50的膏状焊料的印刷进行着的位置来保持电路基板50，不过也可以认为，此位置是基于与前头的电路基板50有关的记号摄像而取得的位置偏差被修正了的位置，基板保持装置14位于印刷时位置这一点是进行了位置调节量为0的第1调节这一点。也可以认为，为了印刷而调节了基板保持装置14的位置的第2调节是以其次被印刷膏状焊料的电路基板50为目的的第1调节。

再有，控制装置26的执行S23、S74的部分构成了丝网与基板位置偏差修正可否判断部乃至异常判断部，执行S34、S84的部分构成了异常报知部，执行S27、78的部分构成了位置偏差容许范围超判断部，执行S30的部分构成了位置偏差大时基板保持装置返回部，执行S66的部分构成了每次基板保持装置返回部，执行S36、S85的部分构成了初期状态复原判断部，执行S38、S87的部分构成了初期状态复原部。

另外，在基准位置复原丝网与基板位置对准模式中，也可以使为了基板的受取而返回基准位置的基板保持装置在电路基板的受取后移动到上次进行了膏状焊料的印刷的印刷时基板保持装置位置。

位置调节装置包括可调节丝网的位置的丝网位置调节装置，第1调节控制部及第2调节控制部分别包括控制丝网位置调节装置的第1丝网位置调节控制部及第2丝网位置调节控制部，这样也可以。图17图18中表示丝网位置调节装置的一个例子。此丝网位置调节装置500设置在丝网保持装置502的丝网支承台504上，包括X轴方向位置调节装置506及Y轴方向位置调节装置508。X轴方向位置调节装置506包括X轴方向位置规定装置510及X轴方向按压装置512，Y轴方向位置调节装置508包括2组Y轴方向位置规定装置514及Y轴方向按压装置516，由位置规定装置规定丝网220的位置，由按压装置按压丝网220(丝网架222)，使其位于规定的位置。丝网位置调节装置500例如与特开2001-301120公报中记载的丝网位置调节装置同样构成，简单进行说明。

X轴方向位置规定装置510以由伺服马达构成的位置规定马达520为驱动源，由包括滚珠丝杠522及螺母(图示省略)的传送丝杠机构把位置规定马达520的回转转换为直线运动，使在滚珠丝杠522的前端部绕铅垂轴线可回转地设置的作为回转卡合部件的辊524与丝网架222接触。与X轴方向平行地设置了X轴方向位置规定装置510，在X轴方向对着X轴方向位置规定装置510而设置了X轴方向按压装置512。X轴方向按压装置512例如具备由气缸构成的按压用缸530，设置得与X轴方向平行。在按压用缸530的活塞杆532的前端部，绕铅垂轴线可回转地设置了作为回转卡合部件的辊534，使其与丝网架222接触。Y轴方向位置规定装置514及Y轴方向按压装置516分别与X轴方向位置规定装置510及X轴方向按压装置512同样构成，对起相同作用的构成要素付以相同标号来表示对应关系，省略说明。另外，2组Y轴位置规定装置514及Y轴方向按压装置516分别设置在X轴方向隔开的位置。

在丝网支承台504上还设置了多组，本实施例中是4组以丝网架222来支承丝网220的作为回转支承装置的滚珠单元540，并且设置了多个，例如4个把丝网架222固定在丝网支承台504上的固定装置542。这些滚珠单元540及固定装置542与特开2001-301120公报中记载的滚珠单元及固定装置同样构成。滚珠单元540，如图18所示，具备可回转地设置在丝网支承台504上的作为回转支承部件的滚珠544，从作为丝网支承台504的上面的丝网支承面546向上方突出而支承丝网架222。

在丝网位置调节装置500中使X轴方向位置规定装置510、Y轴方向位置规定装置514的各辊524位于把丝网220定位于规定的位置的位置，载置在丝网支承台504之上的丝网220由X轴方向按压装置512及Y轴方向按压装置516按压在辊524上，在X轴方向、Y轴方向及绕Z轴线进行定位，并且由固定装置542固定在丝网支承台504上。在丝网记号的摄像时，丝网220可以固定在丝网支承台504上，也可以不固定。

在本丝网印刷机中基板保持装置14的位置是一定的，在电路基板50被搬入、保持在基板保持装置14上之后，使摄像装置22移动，对丝网记号及基板记号进行摄像，而摄像位置是摄像中心与基板记号中心应该一致的位置。然后，基于根据记号摄像的结果而获得的数据，运算为了使丝网记号中心和基板记号中心一致的丝网220的位置的修正量。算出为了尽可能减小两记号的中心的位置偏差所必要的丝网220的回转角度和X、Y轴方向的位置补正量，再算出为了实现它所必要的丝网位置调节装置500的X轴、Y轴方向位置规定装置510、514的各动作量。基于该算出的动作量，使X轴方向位置规定装置510、2组Y轴方向位置规定装置514的辊524移动到对丝网220的位置进行调节的位置，X轴方向按压装置512及Y轴方向按压装置516按压丝网架222，使丝网220移动到由位置规定装置510、514规定的位置，对准丝网220相对于电路基板50的位置。这时，固定装置542所涉及的丝网220的固定被解除，丝网220夹介丝网架222而由滚珠544支承，丝网220能轻快地移动，位置调节能精度很好地进行。丝网220的位置调节，与电路基板50的位置调节同样，为了记号摄像而进行，并且为了印刷而进行，使丝网220和电路基板50在与水平面平行的方向精度很好地进行位置对准。还有，取得摄像装置22的摄像中心相对于第1、第2基板记号的中心的位置偏差，在位置偏差大的场合，修正摄像位置，使摄像装置22移动到摄像中心与基板记号的中心应该一致的位置。位置对准后，把丝网220固定在丝网支承台504上。

丝网220可以在每次对于1枚电路基板50印刷膏状焊料时返回基准位置，不过，因为不像基板保持装置14那样进行电路基板50的接交，所以也可以不返回，原样在上次印刷时的位置进行与其次被印刷膏状焊料的电路基板50的位置对准。在本实施例中，控制装置的控制丝网印刷装置500，使其进行第1、第2调节的部分构成了第1、第2丝网位置调节控制部。

另外，在作业途中为了记号摄像而调节电路基板的位置的场合，也可以通过统计处理来算出位置偏差修正量，调节电路基板的位置。例如，对于靠近的设定枚数的电路基板分别求得为以记号摄像为目的的位置调节而获得的多个位置偏差的移动平均(可以是单纯平均也可以是加权平均)，基于获得的位置偏差的平均值，把电路基板和丝网的位置调节到基板记号的中心和丝网记号的中心应该一致的位置。对于摄像装置的移动位置的控制、对于调节丝网的位置的场合也同样。

还有，也可以把丝网及电路基板的各2个的记号的一方设为主要记号，把另一方设为辅助记号，在使主要记号彼此的中心对准了的状态下，利用辅助记号使得回转位置偏差消除地进行丝网和电路基板的位置调节。

再有，停止位置规定装置也可以设置在基板保持装置上。在此场合，在基板保持装置上设置停止位置规定装置移动装置，使停止位置规定装置在基板搬送方向移动，规定电路基板的停止位置。停止位置规定装置只要使电路基板相对于基板保持装置在基板搬送方向常在相同位置停止即可，在基板保持装置原样位于印刷时的位置的状态下搬入电路基板的场合也是，使电路基板相对于基板保持装置在预先决定的位置停止。

还有，使停止位置规定装置与电路基板的搬送一起移动这一点并非不可缺少，也可以在电路基板的搬送之前预先使其移动到停止位置规定位置，使电路基板停止。使此场合，设置停止位置规定装置位置调节装置，使得其X轴、Y轴方向的位置能调节。

再有，如果在初期位置对准时，对于基于初期摄像而被调节了位置的电路基板及丝网进行了记号的摄像，结果取得了基板位置偏差(基板位置偏差修正量)及摄像装置位置偏差，就把这些位置偏差分别与阈值进行比较，如果比阈值大，就再次进行位置调节、记号摄像、位置偏差取得及与阈值的比较，这样也可以。如果位置偏差为阈值及以下，就使电路基板和丝网的位置对准于位置偏差消除的位置，开始印刷。在初期，首先，在电路基板位于基准位置的状态下进行记号摄像，基于该摄像结果来进行以记号摄像为目的的丝网和电路基板的位置对准，因而有时位置偏差大些，通过与阈值进行比较，如果有必要就再进行记号摄像、位置偏差取得，从而更能精度很好地进行初期的位置对准。

还有，也可以设为，由基板搬送装置来调节电路基板相对于丝网在基板搬送方向的位置，宽度方向的位置及回转位置则由侧面夹紧装置来调节。例如，基板搬送方向的位置通过停止位置规定装置的位置的设定来调节。在记号摄像后，在基板搬送方向调节电路基板的位置的场合，使停止位置规定装置移动到对电路基板的位置进行调节的位置，并且使输送器动作，使电路基板移动。也可以把停止位置规定装置设置在基板保持装置上。还有，在电路基板的宽度方向的两侧，分别在宽度方向可移动地且在基板传送方向排列而设置多个夹紧部件，并且由夹紧部件移动装置使其移动，在夹紧的同时使其调节宽度方向位置及回转位置。

再有，在与电路基板及丝网的板面平行的方向，在相同位置设置在输送器间进行电路基板的接交的基板接交区域和在电路基板上进行膏状焊料的印刷的印刷区域这一点并非不可缺少，也可以设置在不同位置。在此场合，电路基板在基板接交区域中被搬入、保持在基板保持装置上之后，基板保持装置借助于基板保持装置移动装置而移动，从而移动到印刷位置。这时，电路基板的位置，如果是作业中，就能在移动的同时，基于根据先进行了的摄像结果而获得的数据，调节到丝网记号和基板记号的中心应该互相一致的位置。在此场合，使电路基板从接交位置移动到成为基准的印刷位置，并且调节相对于基准印刷位置的位置，也可以认为此调节是第1调节，也可以认为从接交位置向调节了的位置的移动是第1调节。

还有，也可以把丝网与基板位置对准装置作为只被进行基准位置复原丝网与基板位置对准例程和基准位置非复原丝网与基板位置对准例程中的任意一方的装置，也可以设为在初期不进行第1调节，而只在作业中进行，也可以设为在初期进行第1调节及第2调节，但在作业中只进行第2调节。

再有，也可以在初期进行以丝网和电路基板的位置调节及摄像装置的位置对准为目的的移动控制，在作业中只进行丝网和电路基板的位置调节，也可以反过来，在初期及作业中的任一场合，都只进行丝网和电路基板的位置调节。还有，也可以在初期或作业中，进行以丝网和电路基板的位置调节及位置对准为目的的摄像装置的移动控制，或者只进行丝网和电路基板的位置调节。

Claims (11)

1.一种丝网与基板位置对准方法，在通过丝网上设置的贯通孔而向电路基板印刷膏状焊料的丝网印刷机中，把所述电路基板搬入所述丝网下方，使其停止之后，在该电路基板和丝网之间，使可移动到与它们平行的平面内的任意位置的摄像装置进入，使该摄像装置对在该丝网和电路基板上分别设置的作为对准记号的丝网记号及基板记号进行摄像，基于该摄像结果来进行该丝网和电路基板的与所述平面平行的方向的位置对准，其中，

基于根据先进行了的摄像的结果而获得的数据，把所述丝网和所述电路基板中的任意一方的与所述平面平行的方向的位置调节到所述丝网记号和所述基板记号的中心应该一致的位置，使所述摄像装置移动到可对所述丝网记号及基板记号两方进行摄像的1个位置，在该状态下，使该摄像装置对所述丝网记号和所述基板记号进行摄像，基于该摄像结果来检出该丝网和电路基板的与所述平面平行的方向的位置偏差，把所述任意一方的位置调节到消除该位置偏差的位置。

2.根据权利要求1所述的丝网与基板位置对准方法，其中，基于根据所述先进行了的摄像的结果而获得的数据，使所述摄像装置移动到所述丝网记号及所述基板记号的中心和摄像中心应该一致的位置，在该状态下，使该摄像装置对所述丝网记号和所述基板记号进行摄像。

3.一种丝网与基板位置对准装置，是在通过丝网上设置的贯通孔而向电路基板印刷膏状焊料的丝网印刷机中进行该丝网和电路基板在与它们的板面平行的方向的位置对准的装置，包括：

进入被搬入所述丝网的下方而停止了的所述电路基板和所述丝网之间，对在该丝网和电路基板上分别设置的作为对准记号的丝网记号及基板记号可摄像的摄像装置；

可把该摄像装置移动到与所述丝网及电路基板的板面平行的平面内的任意位置的摄像装置移动装置；

可调节所述电路基板和所述丝网中的任意一方的与该一方的板面平行的方向的位置的位置调节装置；以及

控制该摄像装置、摄像装置移动装置及位置调节装置的控制装置，

并且，该控制装置具备：

基于根据先进行了的所述丝网记号及所述基板记号的摄像的结果而获得的数据，通过控制所述位置调节装置，把所述任意一方的位置调节到所述丝网记号和所述基板记号的中心应该互相一致的位置的第1调节控制部；

使所述摄像装置移动装置把所述摄像装置移动到对所述丝网记号及基板记号两方可摄像的1个位置的移动控制部；

使通过该移动控制部的控制而移动了的所述摄像装置对所述丝网记号和所述基板记号进行摄像的摄像控制部；以及

把所述任意一方的位置调节到使根据该摄像控制部所涉及的控制的结果获得的摄像结果而获得的所述丝网和所述电路基板的位置偏差消除的位置的第2调节控制部。

4.根据权利要求3所述的丝网与基板位置对准装置，其中，所述移动控制部是基于根据所述先进行了的所述丝网记号及所述基板记号的摄像的结果而获得的数据，使所述摄像装置移动装置把所述摄像装置移动到该摄像装置的摄像中心与所述丝网记号及基板记号的中心应该一致的位置的装置。

5.根据权利要求4所述的丝网与基板位置对准装置，其中，所述位置调节装置包括可调节所述电路基板的位置的基板位置调节装置，所述第1调节控制部及所述第2调节控制部分别包括控制该基板位置调节装置的第1基板位置调节控制部及第2基板位置调节控制部。

6.根据权利要求5所述的丝网与基板位置对准装置，其中，所述控制装置包括：

使所述摄像装置移动装置把所述摄像装置移动到预定的位置的初期摄像装置移动控制部；

使移动到该预定的位置的所述摄像装置对所述丝网记号和所述基板记号进行摄像的初期摄像控制部；以及

基于该初期摄像控制部的控制所涉及的摄像结果，取得所述丝网记号和所述基板记号的初期位置，基于该初期位置，取得作为所述基板记号相对于所述丝网记号的位置偏差的初期基板位置偏差和作为所述摄像装置的摄像中心相对于所述丝网记号的位置偏差的初期摄像装置位置偏差的初期位置偏差取得部，

所述第1基板位置调节控制部及所述移动控制部把由所述初期位置偏差取得部取得的初期基板位置偏差及初期摄像装置位置偏差的数据分别作为根据先进行了的所述丝网记号及所述基板记号的摄像的结果而获得的数据，调节电路基板及摄像装置的位置。

7.根据权利要求5所述的丝网与基板位置对准装置，其中包括，基于在初期以外的印刷作业中与所述摄像控制部的控制对应而进行了的摄像的结果，取得作为所述基板记号相对于所述丝网记号的位置偏差的作业中基板位置偏差的作业中基板位置偏差取得部，并且，所述第1基板位置调节控制部把由该作业中基板位置偏差取得部取得的作业中基板位置偏差作为所述根据先进行了的摄像的结果而获得的数据，进行所述电路基板的位置的调节。

8.根据权利要求5所述的丝网与基板位置对准装置，其中包括，基于在初期以外的印刷作业中与所述摄像控制部的控制对应而进行了的摄像的结果，取得作为所述基板记号和所述摄像装置的摄像中心相对于所述丝网记号的位置偏差的作业中基板位置偏差及作业中摄像装置位置偏差的作业中位置偏差取得部，并且，所述第1调节控制部及所述移动控制部把由该作业中位置偏差取得部取得的作业中基板位置偏差及作业中摄像装置位置偏差作为所述根据先进行了的摄像的结果而获得的数据，进行所述电路基板的位置的调节及所述摄像装置的移动。

9.根据权利要求7所述的丝网与基板位置对准装置，其中，所述第1基板位置调节控制部是在所述作业中基板位置偏差的大小比预先设定的第1阈值大的场合，进行所述电路基板的位置的调节的装置。

10.根据权利要求8所述的丝网与基板位置对准装置，其中，所述移动控制部是在所述作业中摄像装置位置偏差的大小比预先设定的第2阈值大的场合，变更所述摄像装置的移动位置的装置。

11.根据权利要求1至10中任意一项所述的丝网与基板位置对准装置，其中，所述摄像装置包括：

对所述丝网记号和所述基板记号两方进行摄像的记号摄像机；

向该记号摄像机引导形成所述丝网记号的像的光的丝网记号用导光装置，以及

向所述记号摄像机引导形成所述基板记号的像的光的基板记号用导光装置，

并且，该丝网记号用导光装置和基板记号用导光装置构成为，在丝网记号和基板记号的中心一致的场合，使得所述记号摄像机的摄像面上的丝网记号的像和基板记号的像的中心也一致地引导形成各像的光。

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