CN103660551A - 在衬底上印刷图案的方法和设备 - Google Patents

Abstract

本发明包括用于在衬底上印刷图案的方法和设备。所述方法包括：采集具有多个印刷轨迹的衬底表面的图像；以及识别在多个印刷轨迹上的印刷轨迹部分的位置。所述方法进一步包括：通过比较印刷轨迹部分的位置与预定印刷轨迹的位置来决定调整参数；以及基于调整参数执行后续印刷操作。所述设备包括至少一个检查单元和计算机可读介质，所述计算机可读介质包含处理器执行一种用于印刷的方法的指令，所述方法包含：（i）识别印刷轨迹部分的位置；（ii）通过比较印刷轨迹部分的位置与预定印刷轨迹的位置来决定调整参数；以及（iii）基于调整参数执行后续印刷操作。

Description

在衬底上印刷图案的方法和设备

发明背景

技术领域

本发明的实施例涉及用于例如使用硅或氧化铝基在衬底上印刷导电材料的方法和设备，所述方法和设备用以形成光伏（PV）电池或绿带型（green-tapetype）电路。

背景技术

太阳能电池是将太阳光直接转换成为电力的PV装置。在制造商业上可行的太阳能电池以制造PV装置时的一个主要因素在于，通过提高装置产量和增加衬底生产量来降低形成太阳能电池所需的制造成本。用于生产太阳能电池和将太阳能电池配置一个或多个p-n结的方法是公知的。每一p-n结包含在半导体材料之内的两个不同区域，其中一侧被表示为p型区且另一侧被表示为n型区。当太阳能电池的p-n结暴露于太阳光时，太阳光通过PV效应直接转换为电力。太阳能电池产生特定量的电力，并且太阳能电池被制造且布置在太阳能模块中，所述太阳能模块件被确定大小以传递所需量的系统功率。太阳能模块使用特定框架和连接器相连成为面板。太阳能电池通常在硅衬底上形成，所述硅衬底可以是单晶或多晶硅衬底。典型的太阳能电池包括硅衬底或片材，所述硅衬底或片材通常小于约0.3mm且具有在形成在衬底上的p型区的顶部上的n型硅薄层。

通常，标准硅太阳能电池被制造在衬底上，所述衬底包括p型基极区、n型发射极区、以及布置在p型基极区和n型发射极区之间的p-n结区。n型区或n型半导体通过用某些类型的元素（例如，磷（P）、砷（As）或锑（Sb））掺杂半导体来形成，以增加负电荷载流子（即，电子）的数目。类似地，p型区或p型半导体通过将三价原子添加到晶格来形成，从对于硅晶格而言是正常的四个共价键中的一个共价键产生漏电子。因此，掺杂原子可从相邻原子共价键接受电子以完成第四键。掺杂原子接受电子，导致从相邻原子的一个键的一半的损失且引起“空穴”的形成。

当光落到太阳能电池上时，来自入射光子的能量在p-n结区的两侧上产生电子空穴对。电子横跨p-n结向下部能级扩散且空穴在相反方向扩散，从而在发射极上产生负电荷，并且相应的正电荷在基极中积聚。当在发射极和基极之间产生电路且p-n结暴露于某些波长的光时，电流将流动。当照明时，通过半导体产生的电流流过在太阳能电池的前侧（即，光接收侧）和背侧上布置的接触。顶部接触结构通常被配置为宽泛间隔的薄金属线或金属指状件，所述金属线或金属指状件将电流供应到较大汇流条（busbar）。通常不将背接触约束为以多条薄金属线形成，因为背接触未防止入射光撞击太阳能电池。太阳能电池通常以诸如Si₃N₄之类的薄层介电材料覆盖以充当抗反射涂层或ARC，以将来自太阳能电池的顶表面的光反射最小化。

丝网印刷一直被用于电子工业以便在衬底的表面上印刷电子部件设计，诸如电接触或电互连。现代化的太阳能电池制造工艺也使用丝网印刷工艺。在一些应用中，需要在太阳能电池衬底上丝网印刷接触线，诸如指状件。所述指状件与衬底接触且所述指状件能够与一个或多个掺杂区域（例如，n型发射极区）形成欧姆连接。欧姆接触是在半导体装置上已制备以便所述装置的电流-电压（l-V）曲线为线性且对称（即，在半导体装置的掺杂硅的区域和金属接触之间不存在高电阻接口）的区域。低电阻、稳定的接触对太阳能电池的性能以及在太阳能电池制造工艺中形成的电路的可靠性是非常关键的。

例如通过使用图案化扩散阻挡层执行磷扩散步骤，重掺杂区域可使用各种图案化技术而形成在衬底表面上以产生具有较重和较轻掺杂的区域。背侧接触完成太阳能电池所需的电路以通过与衬底的p型基极区形成欧姆接触来产生电流。为了增强与太阳能电池装置的接触，通常将指状件定位于在衬底表面之内形成的重掺杂区域上，以使欧姆接触能够形成。由于形成的重掺杂区域的电气性质，所述重掺杂区域倾向于阻挡或最小化可通过所述区域的光的量，因此需要将所述重掺杂区域的大小最小化，同时还使这些区域足够大以保证指状件可以可靠地对准且形成在所述区域上。

重掺杂区域和指状件的形成可包括沉积多层材料。

由于形成重掺杂区域的层未对准，受重掺杂区域影响的表面区域可能比所需的更宽，且因此阻止了否则对太阳能电池可用的光的通过。

此外，沉积在底层重掺杂区域上的指状件的未对准可导致不良的装置性能和低装置效率。

重掺杂区域和指状件的形成中的未对准可能是由于以下因素：将衬底定位在自动传送装置上的误差、衬底边缘的缺陷、在衬底表面上的重掺杂区域的未知登记和对准、和/或在自动传送装置上的衬底移动。因此，在印刷工艺步骤期间发生误差的情况下，被印刷的多个层的未对准可导致衬底被丢弃。

在这个领域之内，已知借助于如上所述的丝网印刷技术在结晶硅基极上生产太阳能电池，以在太阳能电池的正面和/或背面上获得多层图案。多层图案例如通过双重印刷或者借助于若干连续的印刷步骤来形成。此举可通过在适当支撑件或衬底（例如，具有硅或氧化铝基极的衬底）上通过丝网印刷、激光印刷、墨喷印刷、或者其他类似工艺来进行。使用多层图案使形成例如具有选择性发射极的太阳能电池成为可能。

例如由至少第一层和在第一层的顶部上的第二层形成的多层结构允许通过接触传递的电流增大，但是所述多层结构可使印刷工艺更加复杂。事实上，在这种情况下，必须将多个层以通常在10微米（mm）的范围内的精度彼此正确地对准。如果在自动传送装置上的衬底运动和印刷头的运动未准确地控制，那么所沉积的图案将不正确地形成。因此，在印刷工艺步骤期间发生误差的情况下，多个被印刷层的可能的未对准导致衬底被丢弃。因此，存在对于在每一印刷步骤之后的一个或多个控制步骤的需要，以验证印刷在每一场合上的层相对于下面的层的对准。

一些已知的控制技术要求将被印刷的层定位以使用所述信息进行闭环反作用控制，或者也被称为闭环控制。然而，一旦给定的层已经印刷在先前印刷的层上，知道精确位置就特别困难，因为所有的层重叠。在这方面，一种用于根据图案印刷若干沉积的重叠层的已知方法能够通过检测在衬底上印刷的适当标记的位置来决定对于后续印刷操作的衬底的正确定向和沉积。所述已知方法在衬底表面上形成适当的标记，在一些情况下，所述标记不能通过光学采集装置直接可见。

当然，在硅基极上的衬底通过熔合硅丢弃物来获得，所述衬底还被称为单铸（monocast）衬底，所述衬底在所述衬底的固化时包括具有不同结晶配置的区域，从而给予印刷表面一种颜色，所述颜色是不均匀的且可能与标记的颜色混淆。在这种情况下，如上所述的采集方法可能并不总是有效的。因此，存在完善以下方法的需要：（i）一种将允许印刷层的正确相互对准的在衬底上印刷图案的方法；以及（ii）一种允许在不提供参考标记的情况下检测印刷轨迹位置的方法。

发明内容

本发明的实施例提供用于在衬底上印刷图案的方法和设备，所述方法和设备可用于形成PV电池或绿带型电路。根据一个实施例，在衬底上印刷图案的方法包含：采集具有印刷在衬底上的多个印刷轨迹的衬底的表面区域的图像；以及借助于图像识别在多个印刷轨迹上的印刷轨迹部分相对于衬底的至少一个侧面的位置。所述方法进一步包括：通过比较印刷轨迹部分的位置与预定印刷轨迹的位置来决定调整参数；以及基于调整参数执行后续印刷操作。

在一个实施例中，一种用于印刷衬底的设备包括至少一个检查单元和计算机可读介质，所述至少一个检查单元被配置以采集具有印刷在衬底上的多个印刷轨迹的衬底的表面区域的图像。计算机可读介质包含处理器执行一种用于在衬底上印刷图案的方法的指令，所述方法包含：（i）借助于图像识别多个印刷轨迹的印刷轨迹部分相对于衬底的至少一个侧面的位置；（ii）通过比较印刷轨迹部分的位置与预定印刷轨迹的位置来决定调整参数；以及（iii）基于调整参数执行后续印刷操作。

附图说明

因此，以可详细地理解本发明的上述特征的方式，可参考实施例获得上文简要概述的本发明的更特定描述，所述实施例中的一些实施例图示在附图中。然而，应注意，附图仅图示本发明的典型实施例且因此不将附图视为限制本发明的范围，因为本发明可允许其他等效的实施例。

图1是丝网印刷系统的一个实施例的示意等距视图；

图2是图1的丝网印刷系统的示意俯视图；

图3是丝网印刷系统的一个实施例的示意等距视图；

图4是图3的丝网印刷系统的示意俯视图；

图5是丝网印刷系统的一个实施例的示意等距视图；

图6是图5的丝网印刷系统的示意俯视图；

图7是印刷巢的一个实施例的等距视图；

图8是检查组件的一个实施例的示意等距视图；

图9是衬底的示意图，在所述衬底上以一种图案印刷了印刷轨迹；

图10是参考印刷图案的示意图；

图11是图9和图10之间的比较的示意图；

图12图示图8的变体；

图13是根据另一实施例的衬底的示意图，在所述衬底上以一种图案印刷了印刷轨迹；

图14是衬底的平面示意图，在所述衬底上印刷了印刷轨迹且对所述衬底应用一种在衬底上印刷图案的方法；

图15是根据本文所述的实施例的衬底的一部分的示意图，在所述衬底上以一种图案印刷了印刷轨迹；

图16是根据本文所述的实施例的图15中所示的衬底的一部分的示意图；以及

图17是根据本文所述的进一步实施例的衬底的一部分的示意图，在所述衬底上以一种图案印刷了印刷轨迹。

为了促进理解，在可能的情况下，已使用相同附图标记来指定对诸图共用的相同元件。可以预期，一个实施例的元件和特征可有利地并入其他实施例中而无需进一步叙述。

具体实施方式

本发明的实施例提供了用于在衬底上印刷图案的方法和设备，所述方法和设备可使用丝网印刷系统来应用以按所需图案在太阳能电池的衬底表面上形成金属接触。

在一个实施例中，如图1中所示，丝网印刷系统110包含传入传送机111、旋转致动器组件130、丝网印刷腔室102、以及传出传送机112。传入传送机111可被配置以从诸如输入传送机113（即，路径“A”）之类的输入装置接收衬底250，且将衬底250传递到耦合到旋转致动器组件130的印刷巢131。传出传送机112可被配置以从耦合到旋转致动器组件130的印刷巢131接收被处理的衬底250，且将衬底250传递到诸如退出传送机114（即，路径“E”）之类的衬底移除装置。输入传送机113和退出传送机114可以是作为较大生产线的一部分的自动衬底处理装置。

在一个实施例中，旋转致动器组件130可通过旋转致动器（未图示）和系统控制器101围绕“F”轴旋转且有角度地定位，以使得印刷巢131可在丝网印刷系统110之内有选择地角度定位（即，如图2中所示的路径“D1”和路径“D2”）。旋转致动器组件130也可具有一个或多个支撑部件，以促进对用来在丝网印刷系统110中执行衬底处理顺序的印刷巢131或其他自动装置的控制。

在一个实施例中，如图1和图2中所示，旋转致动器组件130包括四个印刷巢131或衬底支撑件，所述印刷巢131或衬底支撑件各自适合于在丝网印刷腔室102之内执行的丝网印刷工艺期间支撑衬底250。图2示意地图示旋转致动器组件130的位置，其中：（i）一个印刷巢131被设置在位置“1”以从传入传送机111接收衬底250；（ii）另一印刷巢131被设置在丝网印刷腔室102之内的位置“2”，以便另一衬底250可在所述衬底的表面251上接收丝网印刷图案；（iii）另一印刷巢131被设置在位置“3”以便将被处理的衬底250传递到传出传送机112；以及（iv）另一印刷巢131被设置在位置“4”，所述位置“4”为位置“1”和位置“3”之间的中间阶段。

图3是丝网印刷系统110的另一实施例的等距视图，并且图4是图3的丝网印刷系统110的俯视图，所述丝网印刷系统110也可以结合本发明的实施例使用，以根据太阳能电池衬底250的表面251上的所需图案形成金属接触。

在一个实施例中，图3和图4的丝网印刷系统110包含两个传入传送机111，并且致动器组件130被配置为旋转台或旋转致动器。丝网印刷系统110还包括多个印刷巢131、多个丝网印刷腔室102、两个传出传送机112、以及系统控制器101。传入传送机111以并行处理的定向配置，以便每一传入传送机111可从诸如输入传送机113之类的输入装置接收未处理的衬底250，且将每一未处理的衬底250传递到耦合至致动器组件130的印刷巢131。此外，传出传送机112以平行的定向配置，以便每一传出传送机112可从印刷巢131接收已处理的衬底250，且将每一已处理的衬底250传递到诸如退出传送机114之类的衬底移除装置。

在一个实施例中，在图3和图4中的丝网印刷系统110具有两个印刷巢131（在如图4中所示的位置“1”和“3”中），每一印刷巢131被定位以都将已处理的衬底250传递到传出传送机112且还从传入传送机111接收未处理的衬底250。

因此，在图3和图4的丝网印刷系统110中，衬底的运动通常遵循路径“A”（第4图）。在所述配置中，其他两个印刷巢131（在位置“2”和“4”中）中的每一个被定位在丝网印刷腔室102之下，以便可在位于各个印刷巢131的未处理衬底250上进行丝网印刷。

所述并行处理配置允许在处理系统中的具有最小批量的增加的生产能力。虽然丝网印刷系统110在图3和图4中被示为具有两个丝网印刷腔室102和四个印刷巢131，但是在不偏离本发明的领域的情况下，所述丝网印刷系统110可包括额外的丝网印刷腔室102和/或印刷巢131。

图5是丝网印刷系统110的另一实施例的等距视图，并且图6是丝网印刷系统110的俯视图，所述丝网印刷系统110也可以结合本发明的实施例使用，以在太阳能电池衬底250的表面251上以所需图案形成金属接触。在一个实施例中，图5和图6的丝网印刷系统110包含传入传送机111、致动器单元230、丝网印刷腔室102、传出传送机112、以及系统控制器101，在一个实施例中，所述致动器单元230可被配置为线性移动单元。

传入传送机111可被配置以从诸如输入传送机113（即，图5和图6中的路径“A”）之类的输入装置接收衬底250，且将衬底250传递到在线性移动单元230的进口处耦合的印刷巢131。传出传送机112可被配置以从耦合在线性移动单元230的出口处的印刷巢131接收已处理的衬底250，且将衬底250传递到诸如退出传送机114（即，图5和图6中的路径“E”）之类的衬底移除装置。如上所述，输入传送机113和退出传送机114可以是作为较大生产线的一部分的自动衬底处理装置。

传入传送机111从以下位置输送衬底250：（i）如图6中所示的第一位置“1”，在所述位置中，衬底250被引入丝网印刷腔室102；（ii）在丝网印刷腔室102内部的第二位置“2”；以及（iii）第三位置“3”，在所述位置中，衬底250被从丝网印刷腔室102释放且输送到其他操作站。在双重或多重印刷的情况下，衬底250再次在位置“2”中被引入丝网印刷腔室102以执行第二或进一步印刷步骤，且然后衬底250再次从丝网印刷腔室102释放且传递到位置“3”。重复所述交替运动达期望次数以与待印刷的层数一致，直到最后释放最终产品为止。本领域技术人员将了解，双层或多层印刷的工艺也可以类似的方式在图1至图4中所示的一种配置中执行。

参看图7，印刷巢131通常由传送机组件139组成，所述传送机组件139具有馈线管135、卷线管136、滚子140、以及一个或多个致动器148。致动器148被耦合至馈线管135和/或卷线管136，所述馈线管135和/或卷线管136适于馈送和保持横跨压板138而定位的支撑材料137。压板138通常具有衬底支撑表面，在丝网印刷腔室102中执行的丝网印刷工艺期间，衬底250和支撑材料137定位在所述衬底支撑表面上。在一个实施例中，支撑材料137是多孔材料，所述多孔材料允许布置在支撑材料137一侧上的衬底250通过真空保持在压板138上，所述真空通过传统真空产生装置（例如，真空泵、真空喷射器）施加到支撑材料137的相对侧上。

在一个实施例中，将真空施加于在压板138的衬底支撑表面中形成的真空端口（未图示），以便衬底可被“夹紧”到压板138的衬底支撑表面。在一个实施例中，支撑材料137是对空气可透的多孔材料，所述多孔材料例如由对空气可透的多孔纸组成且具有用于香烟或另一类似材料的类型，诸如执行相同功能的塑料或纺织材料。

在一种配置中，致动器148被耦合至或适合于与馈线管135和卷线管136啮合，以便可在印刷巢131之内精确地控制位于支撑材料137上的衬底250的运动。在一个实施例中，馈线管135和卷线管136各自适合于接收支撑材料137的长度的相对端。在一个实施例中，致动器148各自包含一个或多个驱动轮147以控制横跨压板138的支撑材料137的运动和位置，所述一个或多个驱动轮147耦合至位于馈线管135和/或卷线管136上的支撑材料137的表面或者与所述表面接触。

参看图1至图6，与丝网印刷系统110一起描述的每个丝网印刷腔室102适于在丝网印刷工艺期间在位置“2”中，在位于印刷巢131上的衬底250的表面251上以所需图案沉积材料。

在一个实施例中，丝网印刷腔室102包括多个致动器，例如，致动器102A（例如，步进电动机或伺服电动机），所述致动器与系统控制器101通信。致动器102A用于调整布置在丝网印刷腔室102之内的如图1和图5所示的丝网印刷掩膜102B的相对于被印刷的衬底250的位置和/或角度定向。在一个实施例中，丝网印刷掩膜102B是具有如图2和图5中所示的多个显著特征102C的金属片或金属板，所述特征诸如在金属片或金属板中形成的孔洞、槽、或者其他孔口，以界定在衬底250的表面251上的丝网印刷材料（即，油墨或膏剂）的图案和放置。通常，通过使用致动器102A以及由系统控制器101从如图8所示的检查组件200接收到的信息而在衬底表面上的所需位置中定向丝网印刷掩膜102B，待沉积在衬底250的表面251上的丝网印刷图案以自动的方式对准衬底250。

在一个实施例中，丝网印刷腔室102适于将含金属、含掺杂剂和/或含介电质的材料沉积到太阳能电池衬底上，所述太阳能电池衬底具有在约125mm和156mm之间的宽度以及在约70mm和约156mm之间的长度。

在一个实施例中，丝网印刷腔室102适于在衬底的表面251上沉积含金属的膏剂以在衬底表面上形成金属接触结构。

检查组件200与图1至图6中所示的每个丝网印刷系统110相关联，且检查组件200适合于检查布置在印刷巢131上的衬底250，所需图案借助于丝网印刷在衬底250上印刷。

参看图8，检查组件200适于在印刷前和印刷后识别和检查衬底250，且检查组件200可包含一个或多个照相机121（例如，CCD摄像机）以及电子部件，所述照相机和电子部件能够检查检查结果且将所述检查结果传递到系统控制器101，所述系统控制器101用以分析在印刷巢131上的衬底250的定向和位置。

在一个实施例中，照相机121被定位在衬底250的表面251上，以便照相机121的观察区域122可检查表面251的至少一个部分或区域。如上所述，由照相机121接收到信息用于对准丝网印刷掩膜102B和从而对准随后沉积的材料，且还采集沉积在衬底250上的层的图像。

在一个实施例中，照相机121是InGaAs型照相机，所述照相机具有冷却的CCD阵列以增强检测信号的信噪比。在其他实施例中，期望通过将衬底250的表面251与照相机121之间的区域封闭或屏蔽，来将检查组件200与环境光隔离。

在一个实施例中，检查组件200还包括一个或多个滤光器（未图示），所述滤光器布置在照相机121和衬底250的表面之间。在所述实施例中，滤光器被选择以允许仅某些所需波长传递到照相机121以降低被照相机121接收的不需要能量的量，以提高所检测辐射的信噪比。滤光器可以是可购自例如BarrAssociates公司或购自Andover公司的带通滤光器、窄带滤光器、光学边缘滤光器、陷波滤光器、或宽带滤光器。

系统控制器101促进整个丝网印刷系统110的控制和自动化，且系统控制器101可包括中央处理单元（CPU）（未图示）、存储器（未图示）、以及支持电路（或I/O）（未图示）。CPU可以是在工业设置中使用的用于控制各种腔室工艺和硬件（例如，传送机、光学检查组件、电动机、流体输送硬件等等）且监视系统和腔室工艺（例如，衬底位置、处理时间、检测器信号等等）的任何形式的计算机处理器之一。存储器被连接到CPU，且存储器可以是随时可用存储器中的一个或多个，所述随时可用存储器诸如随机存取存储器（RAM）、只读存储器（ROM）、软盘、硬盘、大容量存储器、或者本地或远程的任何其他形式的数字存储器。软件指令和数据可被编码和存储在存储器之内用于指示CPU。支持电路也可连接到CPU用于以传统的方式支持处理器。支持电路可包括高速缓冲存储器、电源、时钟电路、输入/输出电路、子系统等等。由系统控制器101可读的程序（或计算机指令）决定在衬底上可执行哪些任务。在一些实施例中，程序是由系统控制器101可读的软件。系统控制器101包括代码以产生和存储至少衬底位置信息、各种控制部件的动作顺序、衬底光学检查系统信息、以及任何其他相应组合。

在一个实施例中，本文所述的印刷方法包含由系统控制器101可读的程序（或计算机指令），用于决定借助于丝网印刷系统110的印刷方法的执行。

本发明的实施例提供一种用于在衬底250上印刷图案的方法，在所述方法期间，根据在衬底250的表面251上的图案印刷多个印刷轨迹252，如图9中所示。

印刷轨迹252彼此平行地布置且具有厚度S。在一个实施例中，厚度S在约50mm和约500mm之间，且印刷轨迹252具有彼此分离的一些毫米的间距P。

在一个实施例中，印刷轨迹252是加宽间隔的被配置以将电流供应到太阳能电池衬底250中的集电条的薄金属线或指状件，所述集电条比指状件要宽。在一个实施例中，衬底250具有以直线配置或定向而印刷的多个印刷轨迹252。所述多个印刷轨迹252大体上彼此平行且分别平行于衬底250的两个相对边缘。

在一个实施例中，一种用于在衬底上印刷图案的方法包括：采集衬底250的整个印刷表面251的一部分的至少一个表面区域300的至少一个图像301（图9）。在一个实施例中，图像301例如借助于如上所述的照相机121光学地采集，且图像301包括与由照相机121所观察的区域特征有关的数字信息。在一个实施例中，图像301是表面区域300的照片，在所述表面区域300上沉积印刷轨迹252。在另一实施例中，图像301是含有灰调（shade of gray）的衬底表面的照片或数字图像。

图像301的采集以表面区域300包括印刷在衬底250上的至少一些印刷轨迹252的方式进行，在这种情况下为两个印刷轨迹252。在每一印刷轨迹252存在于图像301中的情况下，有可能识别表面区域300的至少一个印刷部分302。如本文所述的印刷部分302是在图像301中的印刷轨迹252的可识别区段（segment），所述区段延伸达小于图像301的整个轨迹的总长度的长度。

在一个实施例中，印刷部分302相对于在衬底250上印刷了印刷部分302的衬底250的表面251光学地可见，且特别是相对于印刷部分302所属的印刷轨迹252的剩余部分光学地可见。如本文所述的表达“光学地可见”意味着印刷部分302具有可与衬底250的表面251上的那些对比色调区别开的对比色调。

如图9和图11中所示，已考虑了单个印刷部分302，但是在其他实施例中可提供所述单个印刷部分302以识别两个或两个以上印刷部分302来帮助识别印刷轨迹的定向。在其他实施例中，可提供单个印刷部分302以识别图像301，所述图像301作为属于相同印刷轨迹或若干印刷轨迹252的若干印刷部分302的统计组合。

在一个实施例中，识别印刷部分302相对于衬底250的至少一个侧面303的位置。如本文所定义的侧面303是在衬底250上印刷了印刷轨迹252的衬底250的表面251的周边的区段。在图9中所示的实施例中，侧面303大体上平行于已在衬底250上制造的印刷轨迹252的主要纵向延伸而形成。印刷方法的其他实施例相对于衬底250的两个相对边缘评估印刷部分302的位置。如此允许在检测印刷部分302的位置时的更大精度。

由照相机121采集的图像301并不一定要检测侧面303。事实上，在已知照相机121安装在检查组件200中的位置且衬底250位于印刷巢131上的印刷巢131的位置的情况下，有可能相对于侧面303识别图像301的位置。在一个实施例中，印刷方法规定印刷部分302的位置由处理器或系统控制器101评估。

在一个实施例中，印刷部分302的位置评估将图像301分成多个基本单元或像素。在一个实施例中，为了识别印刷部分302的位置，印刷部分302具有一长度以容易地识别印刷部分302的位置，所述长度等于所采集的图像301分成的至少两个基本单元或像素。基本单元可具有在约100mm和约150mm之间的长度。

通过将图像301分成基本单元，图像301的区域可分成代表在表面251上的印刷部分302的单元和不在表面251上的印刷部分302的单元。在一个实施例中，分离包括相对于图像301的其余部分评估印刷部分302的色差或灰调。在一些实施例中，由于衬底的所述区域中的光学特性差异，印刷部分302具有比图像301的其余部分较轻的灰调。

根据一个实施例，相对于衬底250的侧面303决定第一距离D和定向角α识别印刷部分302的位置。在一个实施例中，第一距离D和定向角α相对于印刷部分302的厚度的中线L（图9）评估。在另一实施例中，第一距离D和定向角α相对于印刷部分302的厚度的周边侧评估。一个实施例规定，一旦已识别印刷部分302的位置，就将所述位置与预定印刷轨迹308（图10和图11）的位置进行比较，所述预定印刷轨迹存储在系统控制器101的存储器中。更具体地，预定印刷轨迹308界定印刷部分302且由此所述印刷部分302所属的衬底250的表面251上的整个印刷轨迹252的最佳定位，且因此还界定印刷轨迹252相对于侧面303的位置的最佳定位。在本文的实施例中，预定印刷轨迹属于相对于衬底的预定沉积图案。

根据一个实施例，上述比较考虑预定参考图案307而进行，如图10中所示，所述预定参考图案307包括预定印刷轨迹308。在图10中所示的实施例中，参考图案307还包括与预定印刷轨迹308一起的其他预定印刷轨迹311，再现模型印刷图案，衬底250与模型印刷图案协调。例如，参考图案307可被预加载在系统控制器101的存储器中。

参考图案307具有周边边缘309，如上所述在比较期间，所述周边边缘309完全地与衬底250的各个周边边缘重叠，且特别地，周边边缘309中的一个与侧面303重叠。以所述方式，当使用衬底250的表面251界定时，存在参考图案307的精确且完整重叠。

参考图案307的一个侧面309和衬底250的侧面303重叠以作用为公共参考系统，以便有可能将预定印刷轨迹308与在图像301中识别的印刷部分302直接地进行比较。因此，已知印刷轨迹252的印刷图案且印刷部分302相对于衬底250的侧面303的位置，有可能决定相对于预定印刷轨迹308的印刷部分302所属的印刷轨迹252。

本发明的一些实施例规定，决定印刷部分302所属的印刷轨迹252在考虑如先前所识别的第一距离D和定向角α时发生。此外，印刷轨迹252相对于参考图案307的可能偏差并不足够大，以致混淆一个印刷轨迹252对于相邻一个印刷轨迹252的位置。

在上述比较期间，如果预定印刷轨迹308与印刷轨迹252重叠，即使是部分地重叠，那么考虑所述印刷部分302。在所述情况下，因此有可能评估印刷部分302相对于预定印刷轨迹308的第一偏差。在其他实施例中，第一偏差可包含对未对准“K”以及在印刷部分302和预定印刷轨迹308之间的角度交错θ的检测。

在一些实施例中，在上述比较之后，印刷在衬底250上的所有或至少一些印刷轨迹252的位置基于印刷轨迹部分302的位置评估。在其他实施例中，处理器或系统控制器101也能够发现一种沉积图案，根据所述沉积图案，不属于印刷部分302的其他印刷轨迹252已基于图像301与参考图案307的比较、以及一次未对准K和角度交错θ而印刷。此外，给定丝网印刷掩膜102B的固定几何形状，印刷轨迹252彼此等距地印刷且彼此具有相同定向。

在一些实施例中，基于印刷轨迹部分302的位置评估衬底250上的所有印刷轨迹252或至少一些印刷轨迹252的位置包括外推或重建在衬底250上的印刷轨迹252的整个沉积图案。外推或重建包括根据印刷轨迹部分302的局部位置和根据与参考图案307的比较来导出或估计整个沉积图案。整个沉积图案从印刷轨迹部分302的已知局部数据、基于参考图案307、以及包括在参考图案307中的预定印刷轨迹308推断出。根据所述比较，也有可能决定归因于丝网印刷腔室102用于图案化印刷轨迹的后续沉积的调整参数。

调整参数可以是如先前检测的相同未对准K和角度交错θ，或者调整参数可以是适于基于未对准K和角度交错θ而改变的值，且调整参数可与在丝网印刷腔室和/或丝网印刷系统中的可能的调整设备的配置相关。在一些实施例中，调整参数可用于改变进行后续印刷操作所需的适当印刷参数，以获得后续印刷与已沉积的印刷轨迹252的正确对准。

一些实施例规定，决定印刷参数是基于如上所述的第一偏差定义的。在其他实施例中，规定调整参数允许用于改变丝网印刷掩膜102B的位置，以便将丝网印刷掩膜102B的独特元件102C大体上布置为与已沉积的印刷轨迹252对准。其他实施例规定，调整参数允许用于决定在印刷巢131上复位衬底250的可能动作，以定义印刷轨迹252和丝网印刷掩膜102B的独特元件102C的正确对准。

在一个实施例中，如图12中所示，检查单元200分别包含四个照相机121A、121B、121C和121D，所述照相机中的每个照相机被安装在印刷巢131之上以分别采集衬底250的表面251的各个表面区域300A、300B、300C和300D的图像。在所述实施例中，四个照相机121A、121B、121C和121D（图13）被配置以采集布置在衬底250的四个顶部附近的四个表面区域的图像。在四个表面区域300A、300B、300C和300D的每个表面区域中，存在多个印刷轨迹252且对于印刷轨迹252的每个印刷轨迹，所述印刷轨迹252的位置使用如上所述的方法决定。

使用多个表面区域300A、300B、300C和300D在重建已印刷的印刷轨迹252的图案时获得较大的精度。此外，有可能将从若干印刷轨迹252到达的更多信息相关且获得所有其他印刷轨迹252的具有较佳分辨率的重建。如果存在控制单铸型衬底250、或者从硅丢弃物的熔合获得的衬底（还称为单铸硅衬底）的印刷位置的需要，那么此举是尤为有效的。

在一个实施例中，如图14中所示的衬底250从硅丢弃物的熔合来获得。由于以硅由结晶制成的方式的光学和空间差别，衬底250具有带有变化色调的多个表面区域310，所述色调非常接近于所形成和识别的印刷轨迹252的色调。即使图14示意地图示关于表面区域300A的所采集的图像，但是很明显，也可对于表面区域300B、300C和300D采集类似于图14中所示的图像。对于这些类型的衬底250，一些表面区域310具有可与印刷轨迹252的颜色混淆的颜色，且因此一些表面区域310难以通过分析所采集的图像来识别。参考图14，印刷部分302从所采集的图像可见且以实线图示，而非可见部分是以虚线图示。

因此，根据由照相机121A、121B、121C和121D采集的图像，可能无法以合理的确定性识别在衬底250上印刷的所有印刷轨迹252的位置和定向。因此，一旦已在四个表面区域300A、300B、300C和300D中的至少一个表面区域中识别至少一个印刷轨迹252的至少一个印刷部分302，就有可能应用如上所述的方法以决定印刷部分302所属的印刷轨迹、以及未考虑到的其他印刷轨迹252两者的整体形成。

在一些实施例中，印刷轨迹252的位置基于印刷部分302的位置而识别。印刷部分302相对于为印刷轨迹252所共用的衬底250的表面、而不是借助于其他参考元件或标记光学地可见和可识别，在某些情况下所述其他参考元件或标记可能与衬底250的表面混淆。

在一些实施例中，如图15和图17所示，衬底250的表面的不同区域的多个图像301A、301B、301C和301D（即，多个表面区域的图像）可经由举例来说如相对于图12所述的检查单元采集。图15至图17中所示的印刷轨迹252彼此平行地布置且具有厚度S。在一个实施例中，厚度S在约50mm和约500mm之间，且印刷轨迹252具有彼此分离的一些毫米的间距P。

在本文所述的实施例中，印刷轨迹252是加宽间隔的被配置以将电流供应到太阳能电池衬底250中的集电条的薄金属线或指状件，所述集电条比指状件宽。在一个实施例中，衬底250具有以直线配置或定向而印刷的多个印刷轨迹252。所述多个印刷轨迹252大体上彼此平行且分别平行于衬底250的两个相对边缘（例如，参见图15和图16）。在本文的进一步实施例中，多个印刷轨迹可相对于衬底的至少一个侧面边缘以从0°到90°之间的任何角度定位（例如，参见图17）。

印刷轨迹252的位置基于在衬底250的表面251的至少一个图像中的至少一个印刷部分302的位置来识别。代表相同特征的术语“印刷部分”和“印刷轨迹部分”在本文中可交换地使用。如图15中所示，采集多个表面区域301A、301B、301C和301D的各个图像可增加用于重建或外推已印刷的印刷轨迹252的图案的精度和分辨率。

在本文所述的实施例中，可小于图像的整个印刷轨迹的总长度而延伸的印刷部分302的位置可基于离衬底250的至少一个侧面边缘303A、303B的距离来决定。侧面边缘303A和303B可相对于彼此垂直。如图15和图16中所示，在衬底250的侧面边缘303A和印刷轨迹252的印刷部分302之间的距离表示为d1。距离d1可被描述为在衬底的侧面边缘和印刷部分之间的距离，所述距离在印刷轨迹的轴向L上。侧面边缘303A可相对于印刷轨迹252的轴向L垂直。

在衬底250的侧面边缘303B与印刷轨迹252的印刷部分302之间的距离表示为d2。距离d2也可被描述为在衬底的侧面边缘和印刷部分之间的距离，所述距离垂直于印刷轨迹的轴向。侧面边缘303B可相对于印刷轨迹252的轴向L平行。

印刷部分302的位置评估可基于如上所述的所获得的距离d1和/或d2。测量印刷部分302的定向角（α）可增加用于决定印刷轨迹的位置的精度。定向角可被描述为印刷部分相对于衬底的至少一个侧面边缘的角度。根据本文的实施例，也可相对于参考线决定定向角（α），所述参考线垂直于衬底的至少一个侧面边缘。所述参考线可通过系统控制器计算，且所述参考线可用以在其中印刷部分既不平行于也不垂直于衬底的任何侧面边缘的实施例中建立印刷部分的定向角（α）（例如，参见图17）。

在本文的实施例中，决定相对于衬底250的至少一个侧面边缘303A、303B的第一距离d1和/或第二距离d2以及定向角（α）识别印刷部分302的位置。根据一个实施例，可相对于印刷部分302的厚度的中线L评估第一距离d1和/或第二距离d2以及定向角（α）。在另一实施例中，可相对于印刷部分302的厚度的周边侧评估第一距离d1和/或第二距离d2以及定向角（α）。

一个实施例规定，一旦已识别印刷部分的位置，就将所述位置与预定印刷轨迹（例如，参见图10和图11）的位置进行比较，所述预定印刷轨迹存储在系统控制器的存储器中。更具体地，预定印刷轨迹界定印刷部分且由此所述印刷部分所属的衬底的表面上的整个印刷轨迹的最佳定位，且因此还界定印刷轨迹相对于衬底的至少一个侧面边缘的位置的最佳定位。与预定印刷轨迹的比较以如上文相对于图9至图11所述的方式进行。

简言之，基于至少一个预定印刷轨迹的参考图案与在所采集图像中的衬底表面协调。参考图案中的衬底的一个侧面与在所采集图像中的衬底的侧面重叠以作用为公共参考系统，以便有可能将预定印刷轨迹与在所采集图像中识别的印刷部分直接地进行比较。在所述比较期间，评估印刷部分相对于预定印刷轨迹的第一偏差，所述第一偏差可包含在印刷部分和预定印刷轨迹之间的未对准“K”和角度交错θ。根据所述比较，也有可能决定归因于丝网印刷腔室用于图案化印刷轨迹的后续沉积的调整参数。

在本文所述的实施例中，单个印刷部分的位置可用以识别在衬底上的多个印刷轨迹的位置。在进一步实施例中，可能提供单个印刷部分以识别在单个印刷轨迹中彼此间隔开的两个或两个以上印刷部分，以更加精确地识别印刷轨迹的位置。在其他实施例中，可提供单个印刷部分以识别印刷轨迹的位置，所述印刷轨迹的位置作为属于相同印刷轨迹或者属于两个或两个以上单独印刷轨迹的若干印刷部分的统计组合。

回到图15和图16，根据本文的实施例，印刷轨迹252或者两个或两个以上印刷轨迹的至少一个印刷部分302的位置可如上所述地决定且用于决定调整参数，所述调整参数可改变进行后续印刷操作所需的适当印刷参数，以获得后续印刷与已沉积的轨迹252的正确对准。因此，有可能将第二（第三或以上）印刷轨迹准确地定位在已沉积的轨迹252的顶部上。通过最小化诸如印刷的多个层的未对准之类的误差，使用上述沉积方法的在第一印刷轨迹的顶部上沉积的至少第二印刷轨迹之间的高度对准来确保高装置性能和效率，且所述高度对准还因为丢弃较少衬底而降低制造成本。

根据一个实施例，用于在衬底上印刷图案的方法包括以下步骤：采集具有印刷在衬底上的多个印刷轨迹的衬底的至少一个表面区域的图像；借助于所采集的图像识别在多个印刷轨迹上的印刷轨迹部分相对于衬底的至少一个侧面的位置，其中衬底的至少一个侧面垂直于印刷轨迹部分的纵轴；通过比较印刷轨迹部分的位置与预定印刷轨迹的位置来决定调整参数；以及基于调整参数执行后续印刷操作。根据本文的实施例，预定印刷轨迹可以是先前沉积的印刷轨迹或者在先前处理的衬底上沉积的印刷轨迹。

根据一个实施例，可根据预定印刷轨迹进行印刷轨迹部分的位置与预定印刷轨迹的位置的上述比较，所述预定印刷轨迹包括以如上文总结和相对于图10所述的类似方式的预定参考图案。

类似于根据图9至图11所述的比较，如果预定印刷轨迹与印刷轨迹重叠，即使是部分地重叠，那么考虑所述印刷部分。在所述情况下，因此有可能评估印刷部分相对于预定印刷轨迹的第一偏差。在其他实施例中，第一偏差可包括对在印刷部分和预定印刷轨迹之间的未对准（K）和角度交错θ的检测。

在本文所述的进一步实施例中，印刷轨迹部分的位置与预定印刷轨迹的位置的上述比较可根据先前沉积的印刷轨迹或者在先前处理的衬底上沉积的印刷轨迹、而不是预定印刷轨迹的图像来进行。然后，可以如相对于图10所述的类似方式进行比较，不同之处在于，预定印刷轨迹将为先前沉积的印刷轨迹或者在先前处理的衬底上沉积的印刷轨迹。如果先前沉积的印刷轨迹或者在先前处理的衬底上沉积的印刷轨迹的图像与所沉积的印刷轨迹重叠，即使是部分地重叠，那么考虑所述印刷部分。在所述情况下，因此有可能评估印刷部分相对于先前沉积的印刷轨迹或者在先前处理的衬底上沉积的印刷轨迹的第一偏差。在其他实施例中，第一偏差可包括对在印刷部分与先前沉积的印刷轨迹或者在先前处理的衬底上沉积的印刷轨迹之间的未对准（K）和角度交错（θ）的检测。

根据这两个比较，有可能决定归因于丝网印刷腔室102（参见图1）用于图案化印刷轨迹的后续沉积的调整参数。

调整参数可以是如先前检测的相同未对准（K）和角度交错（θ）的值，或者调整参数可以是适于基于未对准（K）和角度交错（θ）的值而适当改变的值，且调整参数可与在丝网印刷腔室和/或丝网印刷系统中的可能的调整设备的配置相关。在一些实施例中，调整参数可用于改变进行后续印刷操作所需的适当印刷参数，以获得后续印刷与已沉积的印刷轨迹的正确对准。

一些实施例规定，决定印刷参数是基于如上所述的第一偏差定义的。在其他实施例中，规定调整参数允许用于改变丝网印刷掩膜102B的位置，以便将丝网印刷掩膜102B的独特元件102C大体上布置为与已沉积的印刷轨迹252对准。其他实施例规定，调整参数允许用于决定在印刷巢131上复位衬底250的可能动作，以定义印刷轨迹252和丝网印刷掩膜102B的独特元件102C的正确对准。

根据一个实施例，用于在衬底上印刷图案的方法包括以下步骤：采集在具有印刷在衬底上的多个印刷轨迹的衬底的至少一个表面区域的图像；借助于所采集的图像识别在多个印刷轨迹上的印刷轨迹部分相对于衬底的至少一个侧面的位置，其中识别在多个印刷轨迹上的印刷轨迹部分的位置包括识别在印刷轨迹部分和衬底的至少一个侧面之间的距离，其中衬底的至少一个侧面垂直于（在本文所述的实施例中包括±10°的公差）印刷轨迹部分的纵轴；通过比较印刷轨迹部分的位置与预定印刷轨迹的位置来决定调整参数，其中将印刷轨迹部分的位置与预定印刷轨迹的位置比较，所述预定印刷轨迹与垂直于印刷轨迹部分的纵轴的方向有关；以及基于调整参数执行后续印刷操作。

根据本文的实施例，比较印刷轨迹部分的位置与预定印刷轨迹的位置的步骤包括从以下列表中选择的至少一个要素：在垂直于印刷轨迹部分的纵轴的方向上比较在印刷轨迹部分和预定印刷轨迹之间的距离（即，未对准K）；以及比较在印刷轨迹部分和预定印刷轨迹之间的角度交错（θ）。根据本文所述的实施例，预定印刷轨迹可以是先前沉积的印刷轨迹或者在先前处理的衬底上沉积的印刷轨迹。

在本文所述的实施例中，识别印刷轨迹部分相对于与印刷轨迹部分的纵轴垂直的衬底的至少一个侧面的距离、以及决定调整参数（例如，角度交错（θ）和未对准（K））可能是尤其有利的，因为此举使得在后续印刷操作中的一个在另一个之上印刷的多个印刷轨迹之间能够更加精确对准。在进一步实施例中，此举也可使得在印刷在两个、三个或更多个不同衬底之上的多个印刷轨迹之间更加精确对准。

实验实例/试验

我们现在将描述申请人已在使用多层印刷图案以形成具有选择性发射极的太阳能电池的印刷衬底250的实验试验中使用的参数。

特别地，实验条件如下：（i）具有约70°倾斜的印刷头；（ii）具有约78个孔口的印刷掩膜，所述孔口具有约80mm的宽度；（iii）用于沉积印刷轨迹252的银基导电膏；以及（iv）以印刷力在位置模式中印刷，即，在印刷期间印刷设备施加在丝网印刷掩膜102B上的约80N的力。

对八个不同衬底进行试验以印刷选择性的发射极。所述衬底经受一种消除可能影响测量的溶剂的工艺。对于每一电池，在具有相同坐标的九个点处对每个衬底250进行测量。所述测量旨在检测沉积在第一轨迹之上的一个印刷轨迹252相对于后续印刷轨迹252的任何移动。

根据使用上述实验条件进行的测量，展示了印刷轨迹的良好对准和重叠。特别地，可以表明，有可能获得相对于选择性发射极的中轴且相对于根据图案沉积的银印刷轨迹的中轴的小于约50mm的移动。使用四个不同印刷巢131确认所述结果。

通常，所检测的最大移动（在一点处，检测到约75mm的最大移动）是由于印刷掩膜和选择性发射极的不完全居中。然而，结果表明，即使在最坏的移动情况下，也有可能以约300mm的宽度在印刷轨迹上获得良好重叠。

虽然前述内容涉及本发明的实施例，但是可在不背离本发明的基本范围的情况下设计本发明的其他和进一步实施例，且本发明的范围是由以上权利要求书所决定。

Claims (15)

1.一种在衬底上印刷图案的方法，所述方法包含：

采集具有印刷在衬底上的多个印刷轨迹的所述衬底的表面区域的图像；

借助于所述图像识别在所述多个印刷轨迹上的印刷轨迹部分相对于所述衬底的至少一个侧面的位置；

通过比较所述印刷轨迹部分的所述位置与预定印刷轨迹的位置来决定调整参数；以及

基于所述调整参数执行后续印刷操作。

2.如权利要求1所述的方法，其中识别所述印刷轨迹部分的所述位置包含：决定所述印刷轨迹部分相对于所述衬底的所述至少一个侧面的第一距离和定向角。

3.如前述权利要求中的任一项所述的方法，其中识别在所述多个印刷轨迹上的印刷轨迹部分的位置包含：识别在相同印刷轨迹上的至少两个印刷轨迹部分的位置；和/或识别在两个不同印刷轨迹上的至少两个印刷轨迹部分的位置。

4.如前述权利要求中的任一项所述的方法，其中所述比较被配置以决定在所述印刷轨迹部分和所述预定印刷轨迹之间的第一偏差，优选地其中比较所述位置被配置以基于所述第一偏差决定印刷参数。

5.如前述权利要求中的任一项所述的方法，其中比较所述位置被配置以基于印刷轨迹部分的所述位置评估所述印刷轨迹的位置。

6.如前述权利要求中的任一项所述的方法，其中比较所述印刷轨迹部分的所述位置与预定印刷轨迹的位置包括：将所述印刷轨迹部分与预定印刷轨迹的位置进行比较，所述预定印刷轨迹关于垂直于所述印刷轨迹部分的纵轴的方向，优选地其中比较所述印刷轨迹部分的所述位置与预定印刷轨迹的位置包括从以下列表中选择的至少一个要素：

在垂直于所述印刷轨迹部分的所述纵轴的方向上，比较在所述印刷轨迹部分和所述预定印刷轨迹之间的距离；以及比较在所述印刷轨迹部分和所述预定印刷轨迹之间的所述角度交错。

7.如前述权利要求中的任一项所述的方法，其中所述预定印刷轨迹是先前沉积的印刷轨迹或者在先前处理的衬底上沉积的印刷轨迹。

8.如前述权利要求中的任一项所述的方法，其中光学地采集所述图像。

9.如前述权利要求中的任一项所述的方法，其中采集所述表面区域的所述图像包括：

采集多个所述表面区域的各个图像，其中所述采集各个图像被配置以决定存在于每个表面区域上的至少一个印刷轨迹部分的位置和定向。

10.如前述权利要求中的任一项所述的方法，其中执行后续印刷操作包含：在已存在于所述衬底上的所述多个印刷轨迹的顶部上沉积印刷轨迹的进一步层。

11.如前述权利要求中的任一项所述的方法，其中所述衬底是单铸硅衬底。

12.如前述权利要求中的任一项所述的方法，其中识别在所述多个印刷轨迹上的印刷轨迹部分相对于所述衬底的至少一个侧面的所述位置包括：识别在所述印刷轨迹部分和所述衬底的所述至少一个侧面之间的距离，其中所述衬底的所述至少一个侧面垂直于所述印刷轨迹部分的所述纵轴。

13.一种用于在衬底上印刷的设备，所述设备包含：

至少一个检查单元，所述至少一个检查单元被配置以采集具有印刷在衬底上的多个印刷轨迹的所述衬底的表面区域的图像；以及

计算机可读介质，所述计算机可读介质包含处理器执行一种用于在所述衬底上印刷图案的方法的指令，所述方法包含：

借助于所述图像识别所述多个印刷轨迹的印刷轨迹部分相对于所述衬底的至少一个侧面的位置；

通过比较所述印刷轨迹部分的所述位置与预定印刷轨迹的位置来决定调整参数；以及

基于所述调整参数执行后续印刷操作。

14.如权利要求13所述的设备，其中所述至少一个检查单元包含至少一个照相机，所述至少一个照相机被配置以采集所述衬底的所述表面区域的所述图像。

15.如权利要求13或14所述的设备，其中用于在所述衬底上印刷所述图案的所述方法是使用所述设备的来自权利要求1至12的任何权利要求。

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