ITUD20090044A1

ITUD20090044A1 - Procedimento e apparecchiatura per la stampa serigrafica di uno schema a strato multiplo

Info

Publication number: ITUD20090044A1
Application number: IT000044A
Authority: IT
Inventors: Andrea Baccini; Marco Galiazzo
Original assignee: Applied Materials Inc
Priority date: 2009-02-23
Filing date: 2009-02-23
Publication date: 2010-08-24
Also published as: EP2398647A1; IT1392992B1; CN102325654A; KR20110126721A; WO2010094344A1; JP2012518555A; TWI462670B; US20120048132A1; TW201041467A

Description

"PROCEDIMENTO E APPARECCHIATURA PER LA STAMPA SERIGRAFICA DI UNO SCHEMA A STRATO MULTIPLO"

STATO DELL'INVENZIONE

CAMPO DI APPLICAZIONE

Forme di realizzazione della presente invenzione si riferiscono generalmente a un sistema e a un processo per la stampa serigrafica di uno schema a strato multiplo su una superficie di un substrato. DESCRIZIONE DELLO STATO DELLA TECNICA

Le celle solari sono dispositivi fotovoltaici (FV) che convertono la luce solare direttamente in energia elettrica. Le celle solari presentano tipicamente una o piÃ¹ giunzioni p-n. Ciascuna giunzione p-n comprende due diverse zone all'interno di un materiale semiconduttore, in cui un lato Ã ̈ identificato come la zona di tipo p e l'altro come la zona di tipo n. Quando la giunzione p-n di una cella solare Ã ̈ esposta alla luce solare dell 'elettricitÃ solare , ha determinato una quantitÃ di sfide serie per la creazione a basso costo di celle solari di alta qualitÃ . Pertanto, uno dei maggiori fattori nel rendere commercialmente percorribile la via delle celle solari risiede nella riduzione dei costi di produzione richiesti per realizzare le celle solari, migliorando la resa del dispositivo e aumentando la capacitÃ produttiva del substrato. La serigrafia Ã ̈ stata a lungo utilizzata nella stampa di disegni su oggetti, quali tessuti o ceramica, ed Ã ̈ utilizzata nell'industria elettronica per stampare modelli di componenti elettriche, quali contatti o interconnessioni elettriche, sulla superficie di un substrato. I procedimenti di fabbricazione di celle solari della tecnica nota impiegano anche procedimenti di serigrafia. In alcune applicazioni, Ã ̈ desiderabile stampare linee di contatto sui substrati delle celle solari che hanno rapporti di forma (cioÃ ̈ il rapporto fra la linea d'altezza e la linea di lunghezza) maggiori di quanto sia possibile ottenere stampando uno schema a singolo strato per aumentare la portata in corrente dei contatti. Per soddisfare questa necessitÃ , si Ã ̈ tentato di effettuare una stampa serigrafica di uno schema a doppio strato per aumentare il rapporto di forma delle linee stampate. Tuttavia, il cattivo allineamento di un secondo strato di uno schema di stampa serigrafica su uno strato esistente dello schema di stampa serigrafica dovuto ad errori nel posizionamento del substrato su un dispositivo di trasferimento automatizzato, i difetti sul bordo del substrato, o lo spostamento del substrato sul dispositivo di trasferimento automatizzato possono portare a bassa prestazione di dispositivo o a bassa efficienza di dispositivo.

Pertanto, vi Ã ̈ la necessitÃ di un'apparecchiatura di stampa serigrafica per la produzione di celle solari, di circuiti elettronici o di altri dispositivi utili che abbiano un miglior procedimento di controllo dell'allineamento di schemi a doppio strato di stampa serigrafica su un substrato all'interno del sistema.

ESPOSIZIONE DEL TROVATO

In una forma di realizzazione della presente invenzione, un procedimento di stampa serigrafica comprende la ricezione di un substrato che ha un primo strato di uno schema stampato su una superficie del substrato, in cui lo schema comprende almeno due tracce di allineamento, la determinazione della posizione effettiva delle almeno due tracce di allineamento rispetto ad almeno un elemento distintivo del substrato, il confronto della posizione effettiva delle almeno due tracce di allineamento con una posizione prevista delle almeno due tracce di allineamento, la determinazione di uno scostamento fra la posizione effettiva e la posizione prevista delle almeno due tracce di allineamento, la regolazione di un dispositivo di stampa serigrafica in modo da tenere conto dello scostamento determinato, e la stampa di un secondo strato dello schema sul primo strato dello schema.

In un'altra forma di realizzazione della presente invenzione, un procedimento di stampa serigrafica comprende la stampa di un primo strato di uno schema su una superficie di un substrato con un dispositivo di stampa serigrafica, in cui lo schema comprende una struttura di linee conduttive sottili ed almeno due tracce di allineamento, lo spostamento del substrato sotto un gruppo di ispezione ottica, l'acquisizione di una immagine ottica del primo strato dello schema, la determinazione della posizione effettiva delle almeno due tracce di allineamento rispetto ad almeno un elemento distintivo del substrato, il confronto della posizione effettiva delle almeno due tracce di allineamento rispetto ad una posizione prevista delle almeno due tracce di allineamento, la determinazione di uno scostamento fra la posizione effettiva e la posizione prevista, la regolazione del dispositivo di stampa serigrafica in modo da tenere conto dello scostamento determinato, e la stampa di un secondo strato dello schema sul primo strato dello schema mediante il dispositivo di stampa serigrafica regolato.

In ancora un'altra forma di realizzazione della presente invenzione, un sistema di stampa serigrafica comprende un attuatore rotante che ha un nido di stampa disposto su di esso e mobile fra una prima posizione, una seconda posizione, e una terza posizione, un convogliatore di alimentazione per caricare un substrato sul nido di stampa nella prima posizione, una camera di stampa serigrafica che ha un dispositivo di stampa serigrafica regolabile disposto al suo interno, la camera di stampa serigrafica posizionata per stampare uno schema sul substrato quando il nido di stampa Ã ̈ nella seconda posizione, in cui lo schema comprende una struttura conduttiva di linee sottili ed almeno due tracce di allineamento, un gruppo di ispezione ottica che ha una telecamera ed una lampada, il gruppo di ispezione ottica posizionato per acquisire immagini ottiche di un primo strato dello schema quando il nido di stampa Ã ̈ nella prima posizione, un convogliatore di evacuazione posizionato per lo scaricamento del substrato quando il nido di stampa Ã ̈ nella terza posizione, e un controllore di sistema comprendente un software configurato per determinare uno scostamento di una posizione effettiva delle tracce di allineamento acquisite nell'immagine ottica del primo strato dello schema rispetto ad una posizione prevista delle tracce di allineamento per regolare il dispositivo di stampa serigrafica per tenere conto dello scostamento determinato prima di stampare un secondo strato dello schema sul primo strato dello schema.

BREVE DESCRIZIONE DEI DISEGNI

Al fine di comprendere in dettaglio il modo in cui le sopra esposte caratteristiche della presente invenzione possono essere ottenute, viene inclusa una descrizione piÃ¹ particolareggiata dell'invenzione, sopra riassunta brevemente, con riferimento alle forme di realizzazione della stessa, alcune delle quali sono illustrate negli acclusi disegni. Si deve, tuttavia, notare che i disegni acclusi illustrano solo forme tipiche di realizzazione di questa invenzione e pertanto non devono essere considerate limitative del suo ambito, in quanto l'invenzione puÃ² ammettere altre forme di realizzazione ugualmente efficaci.

La fig. 1A Ã ̈ una vista schematica isometrica di un sistema che puÃ² essere utilizzato assieme a forme di realizzazione della presente invenzione per formare strati multipli di uno schema desiderato.

La figura 1B Ã ̈ una vista in pianta dall'alto schematica del sistema di fig. 1A.

La figura 2A Ã ̈ una vista in pianta di una superficie frontale, o superficie di ricezione luce, di un substrato di cella solare.

La figura 2B Ã ̈ una vista schematica in sezione trasversale di una porzione di un substrato di cella solare che ha un secondo strato correttamente allineato stampato in cima a un primo strato.

La figura 2C Ã ̈ una vista schematica isometrica di un substrato di cella solare che illustra il cattivo allineamento degli strati di stampa serigrafica.

La figura 3A illustra vari esempi di tracce di allineamento da stampare su un substrato secondo una forma di realizzazione della presente invenzione.

Le figure 3B-3D illustrano varie configurazioni di tracce di allineamento su una superficie frontale di un substrato secondo le forme di realizzazione della presente invenzione.

La figura 4A Ã ̈ una vista schematica isometrica di una forma di realizzazione di gruppo attuatore rotante che illustra una configurazione nella quale un gruppo di ispezione Ã ̈ posizionato per ispezionare la superficie frontale del substrato. La figura 4B illustra una forma di realizzazione del gruppo attuatore rotante per controllare l'illuminazione della superficie frontale del substrato.

La figura 5 Ã ̈ una vista schematica isometrica di una forma di realizzazione del gruppo attuatore rotante nel quale il gruppo di ispezione comprende una pluralitÃ di dispositivi di ispezione ottica. La figura 6 Ã ̈ un diagramma schematico di una sequenza operativa per la stampa serigrafica precisa di uno schema a doppio strato sulla superficie frontale del substrato 150 secondo una forma di realizzazione della presente invenzione. La figura 7 Ã ̈ una vista in pianta dall'alto di un sistema che puÃ² essere usato assieme a forme di realizzazione della presente invenzione per formare strati multipli di uno schema desiderato.

DESCRIZIONE DETTAGLIATA

Forme di realizzazione della presente invenzione forniscono un'apparecchiatura e un procedimento di lavorazione di substrati in un sistema di stampa serigrafica che utilizza un processo migliorato di trasferimento, allineamento e stampa serigrafica di un substrato che possono aumentare la prestazione di resa del dispositivo ed il costo di possesso (CdP) di una linea di lavorazione substrato. In una forma di realizzazione il sistema di stampa serigrafica, di qui in poi sistema, Ã ̈ atto a eseguire un processo di stampa serigrafica in una parte di una linea di produzione di celle solari in silicio cristallino in cui un substrato viene realizzato secondo uno schema con un materiale desiderato su due o piÃ¹ strati e viene successivamente lavorato in una o piÃ¹ successive camere di lavorazione. Le successive camere di lavorazione possono essere atte ad effettuare una o piÃ¹ fasi di cottura ed una o piÃ¹ fasi di pulizia. In una forma di realizzazione, il sistema Ã ̈ un modulo disposto all'interno dello strumento Softlineâ„¢ disponibile dalla Baccini S.p.A., che Ã ̈ di proprietÃ della Applied Materials, Ine. di santa Clara, California. Anche se la seguente descrizione tratta principalmente dei processi di stampa serigrafica di uno schema, come una struttura di interconnessione o di contatto, su una superficie di un dispositivo a cella solare questa configurazione non deve essere intesa come limitativa dello scopo dell'invenzione qui descritta.

La figura 1A Ã ̈ una vista isometrica schematica e la figura 1B Ã ̈ una vista schematica in pianta dall'alto che illustra una forma di realizzazione di un sistema di stampa serigrafica, o sistema 100, che puÃ² essere utilizzato assieme alle forme di realizzazione della presente invenzione per formare strati multipli di uno schema desiderato su una superficie di un substrato 150 di cella solare. In una forma di realizzazione, il sistema 100 comprende un convogliatore di ingresso 111, un gruppo attuatore rotante 130, una camera di stampa serigrafica 102, ed un convogliatore di uscita 112. Il convogliatore di ingresso 111 puÃ² essere configurato per ricevere un substrato 150 da un dispositivo di ingresso, come un convogliatore di alimentazione 113, e trasferire il substrato 150 ad un nido di stampa 131 accoppiato al gruppo attuatore rotante 130. Il convogliatore di uscita 112 puÃ² essere configurato per ricevere un substrato 150 lavorato da un nido di stampa 131 accoppiato al gruppo attuatore rotante 130 e trasferire il substrato 150 ad un dispositivo di rimozione substrato, come un convogliatore di evacuazione 114. Il convogliatore di alimentazione 113 e il convogliatore di evacuazione 114 possono essere dispositivi di manipolazione substrato automatizzati che fanno parte di una linea di produzione piÃ¹ grande. Per esempio, il convogliatore di alimentazione 113 e il convogliatore di evacuazione 114 possono far parte dello strumento Softlineâ„¢, del quale il sistema 100 puÃ² essere un modulo.

Come illustrato in figura 1A, il gruppo attuatore rotante 130 puÃ² essere ruotato e posizionato angolarmente attorno ad un asse "B" mediante un attuatore rotante (non illustrato) e un controllore 101 di sistema, in modo tale che i nidi di stampa 131 possano essere selettivamente posizionati angolarmente nel sistema 100. Il gruppo attuatore rotante 130 puÃ² anche avere uno o piÃ¹ componenti di supporto per agevolare il controllo dei nidi di stampa 131 o altri dispositivi automatizzati utilizzati per realizzare una sequenza di lavorazione substrato nel sistema 100.

In una forma di realizzazione, il gruppo attuatore rotante 130 comprende quattro nidi di stampa 131, o supporti substrato, ciascuno dei quali Ã ̈ atto a supportare un substrato 150 durante il processo di stampa serigrafica realizzato all'interno della camera di stampa serigrafica 102. La figura 1B illustra schematicamente la posizione del gruppo attuatore rotante 130 nella quale un nido di stampa 131 Ã ̈ nella posizione "1" per ricevere un substrato 150 dal convogliatore di alimentazione 113, un altro nido di stampa 131 Ã ̈ in posizione "2" nella camera di stampa serigrafica 102 cosÃ¬ che un altro substrato 150 puÃ² ricevere su una sua superficie uno schema stampato serigraficamente, un altro nido di stampa 131 Ã ̈ in posizione "3" per trasferire un substrato 150 lavorato al convogliatore di uscita 112, e un altro nido di stampa 131 Ã ̈ in posizione "4", che Ã ̈ uno stadio intermedio fra la posizione "1" e la posizione "3".

In una forma di realizzazione, la camera di stampa serigrafica 102 nel sistema 100 utilizza un dispositivo di stampa serigrafica convenzionale della Baccini S.p.A., il quale Ã ̈ atto a depositare materiale in uno schema desiderato sulla superficie del substrato 150 posizionato sul nido di stampa 131 in posizione "2" durante il processo di stampa serigrafica. In una forma di realizzazione, la camera di stampa serigrafica 102 contiene una pluralitÃ di attuatori, per esempio, attuatori 102A (ad esempio motori passo-passo, servo motori) che sono in comunicazione con il controllore 101 di sistema e sono usati per regolare la posizione e/o l'orientamento angolare del dispositivo di stampa serigrafica rispetto al substrato mediante comandi inviati dal controllore 101 di sistema. In una forma di realizzazione, la camera di stampa serigrafica 102 Ã ̈ atta a depositare un materiale a base metallica o a base dielettrica sul substrato 150 di cella solare. In una forma di realizzazione, il substrato 150 di cella solare ha una larghezza fra circa 125 mm e circa 156 mm e una lunghezza fra circa 70 min e circa 156 mm.

In una forma di realizzazione, il sistema 100 comprende un gruppo di ispezione 200 atto ad ispezionare un substrato 150 disposto sul nido di stampa 131 in posizione "1". Il gruppo di ispezione 200 puÃ² comprendere una o piÃ¹ telecamere 121 posizionate per ispezionare un substrato 150 in ingresso, o lavorato, disposto sul nido di stampa 131 in posizione "1". In una forma di realizzazione, il gruppo di ispezione 200 comprende almeno una telecamera 121 (ad esempio una telecamera CCD) ed altri componenti elettronici capaci di ispezionare e comunicare i risultati dell'ispezione al controllore 101 di sistema usato per analizzare l'orientamento e la posizione del substrato 150 sul nido di stampa 131.

Il controllore 101 di sistema agevola il controllo e l'automazione di tutto il sistema 100 e puÃ² comprendere una unitÃ di elaborazione centrale (CPU) (non illustrata), memoria (non illustrata), e circuiti ausiliari (o I/O) (non illustrati). La CPU puÃ² essere un qualsiasi tipo di processore per computer che sono utilizzati nelle regolazioni industriali per controllare differenti processi di camera e dispositivi hardware (come convogliatori, rivelatori, motori, dispositivi di erogazione fluidi) e monitorare il sistema e i processi di camera (come la posizione substrato, i tempi di processo, i rivelatori di segnale ecc...). La memoria Ã ̈ connessa alla CPU, e puÃ² essere una o piÃ¹ fra quelle prontamente disponibili, come una memoria ad accesso casuale (RAM), una memoria a sola lettura (ROM), floppy disc, disco rigido, o qualsiasi altra forma di immagazzinamento digitale, locale o remota. Le istruzioni software e i dati possono essere codificati e memorizzati nella memoria per comandare la CPU. Anche i circuiti ausiliari sono connessi alla CPU per aiutare il processore in maniera convenzionale. I circuiti ausiliari possono includere circuiti cache, circuiti di alimentazione, circuiti di clock, circuiteria di ingresso/uscita, sottosistemi, e similari. Un programma (o istruzioni computer) leggibile dal controllore 101 di sistema determina quali compiti devono essere realizzati su un substrato. Preferibilmente, il programma Ã ̈ leggibile via software dal controllore 101 di sistema, il quale comprende un codice per generare e memorizzare almeno informazioni di posizione del substrato, la sequenza di movimento dei vari componenti controllati, informazioni del sistema di ispezione substrato, e qualsiasi altra corrispondente combinazione. In una forma di realizzazione della presente invenzione, il controllore 101 di sistema comprende un software di riconoscimento schema per risolvere le posizioni delle tracce di allineamento come descritto di seguito con riferimento alle figure 3A-3D.

La figura 2A Ã ̈ una vista in pianta di una superficie frontale 155, o superficie di ricezione luce, di un substrato 150 di cella solare. La corrente elettrica generata dalla giunzione realizzata in una cella solare quando viene illuminata, fluisce attraverso una struttura 156 di contatto frontale disposta sulla superficie frontale 155 del substrato 150 di cella solare e una struttura di retro contatto (non illustrata) disposta sulla superficie posteriore (non illustrata) del substrato 150 di cella solare. La struttura 156 di contatto frontale, come illustrato in figura 2A, puÃ² essere configurata in sottili linee metalliche, o pettini 152, ampiamente distanziate, le quali forniscono corrente a barre collettrici 151 piÃ¹ larghe. Tipicamente, la superficie frontale 155 viene rivestita con uno strato sottile di materiale dielettrico, come il nitruro di silicio (SiN), il quale funge da rivestimento antiriflesso (AntiReflection Coating) per minimizzare la riflessione della luce. La struttura di retro contatto (non illustrata) non Ã ̈ generalmente vincolata alle sottili linee metalliche, poichÃ© la superficie posteriore del substrato 150 di cella solare non Ã ̈ una superficie di ricezione luce

In una forma di realizzazione, il collocamento delle barre collettrici 151 e dei pettini 152 sulla superficie frontale 155 del substrato 150 dipende dall'allineamento di un dispositivo di stampa serigrafica utilizzato nella camera di stampa serigrafica 102 (figura 1A) con riferimento al posizionamento del substrato 150 sul nido di stampa 131. Il dispositivo di stampa serigrafica Ã ̈ generalmente un foglio o una piastra contenuta nella camera di stampa serigrafica 102 che ha una pluralitÃ di fori, fessure, o altri elementi distintivi realizzati su di esso per definire lo schema e la disposizione dell'inchiostro o della pasta stampati serigraficamente sulla superficie frontale 155 del substrato 150. Tipicamente, l'allineamento degli schemi a stampa serigrafica dei pettini 152 e delle barre collettrici 151 sulla superficie del substrato 150 dipende dall'allineamento del dispositivo di stampa serigrafica ad un bordo del substrato 150. Per esempio, la sistemazione di uno schema stampato serigraficamente a singolo strato delle barre collettrici 151 e dei pettini 152 puÃ² avere una posizione prevista X e una orientazione d'angolo prevista R rispetto ad un bordo 150A e una posizione prevista Y rispetto ad un bordo 150B del substrato 150 come illustrato nella figura 2A. L'errore di posizione del singolo strato dello schema stampato serigraficamente dei pettini 152 e delle barre collettrici 151 sulla superficie frontale 155 del substrato 150 rispetto alla posizione prevista (X, Y) e la orientazione angolare prevista R sulla superficie frontale 155 del substrato 150 puÃ² essere descritta come uno scostamento di posizione (DX, DY) e uno scostamento angolare DR. CosÃ¬, lo scostamento di posizione (DX, DY) Ã ̈ l'errore di collocazione dello schema delle barre collettrici 151 e dei pettini 152 rispetto ai bordi 150A e 150B, e lo scostamento angolare DR Ã ̈ l'errore nell'allineamento angolare dello schema stampato delle barre collettrici 151 e dei pettini 152 rispetto al bordo 150B del substrato 150. Il cattivo allineamento di un singolo strato dello schema stampato serigraficamente delle barre collettrici 151 e dei pettini 152 sulla superficie frontale 155 del substrato 150 puÃ² influenzare la capacitÃ del dispositivo realizzato a funzionare correttamente e cosÃ¬ influenzare la resa del dispositivo del sistema 100. Comunque, la minimizzazione degli errori di posizionamento diventa ancora piÃ¹ critica in applicazioni che hanno strati multipli di schemi a stampa serigrafica stampati uno sopra l'altro.

In un tentativo di incrementare la portata in corrente della struttura 156 di contatto frontale senza ridurre l'efficienza di una cella solare finita, l'altezza delle barre collettrici 151 e dei pettini 152 puÃ² essere aumentata senza incrementare il loro spessore stampando serigraficamente lo schema delle barre collettrici 151 e dei pettini 152 in due o piÃ¹ strati successivi. La figura 2B Ã ̈ una vista schematica laterale sezionata di una porzione del substrato 150 che ha un secondo strato correttamente allineato di barre collettrici 151B e pettini 152B stampato sopra un primo strato di barre collettrici 151A e pettini 152A.

La figura 2C Ã ̈ una vista schematica isometrica del substrato 150 di cella solare che illustra un cattivo allineamento degli strati di stampa serigrafica. Tipicamente l'allineamento dello schema stampato serigraficamente per il secondo strato sul primo strato dipende dall'allineamento del dispositivo di stampa serigrafica rispetto ai bordi 150A, 150B del substrato 150 come illustrato in figura 2A. Tuttavia, un cattivo allineamento del secondo strato rispetto al primo strato puÃ² avvenire a seguito di un cambiamento nel posizionamento del substrato 150 e/o nell'effetto composto delle tolleranze di misura fra la prima operazione di stampa serigrafica e le successive operazioni di stampa serigrafica. In generale, il cattivo allineamento del secondo strato di pettini 152B e di barre collettrici 151B rispetto al primo strato di pettini 152A e di barre collettrici 151A puÃ² essere descritto come un cattivo allineamento di posizione (X2, YJ e come un cattivo allineamento angolare Rj. Il cattivo allineamento di posizione ed angolare del secondo strato dello schema di stampa serigrafica rispetto al primo strato stampato serigraficamente puÃ² ridurre la prestazione del dispositivo e l'efficienza del dispositivo a causa di una maggiore copertura o schermatura della superficie frontale 155 rispetto a quella di uno schema a singolo strato, ciÃ² comportando una riduzione complessiva della resa del dispositivo del sistema 100.

[0030] In un tentativo per migliorare la precisione con la quale il secondo strato stampato serigraficamente viene allineato con il primo strato dello schema stampato serigraficamente, forme di realizzazione dell'invenzione utilizzano uno o piÃ¹ dispositivi di ispezione ottica, il controllore 101 di sistema, ed una o piÃ¹ tracce di allineamento, le quali vengono realizzate sulla superficie frontale 155 del substrato 150 durante la stampa del primo strato dello schema stampato serigraficamente per regolare in maniera automatica l'allineamento di un secondo strato dello schema stampato serigraficamente rispetto al primo strato al primo strato dello schema stampato serigraficamente. In una forma di realizzazione preferenziale, il secondo strato di barre collettrici 151B e pettini 152B viene allineato in maniera automatica al primo strato di barre collettrici 151A e pettini 152A mediante l'utilizzo di informazione ricevuta dal controllore 101 di sistema dall'uno o piÃ¹ dispositivi di ispezione ottica e dalla capacitÃ del controllore di sistema di controllare la posizione e l'orientamento del dispositivo di stampa serigrafica in relazione al primo strato delle barre collettrici 151A e pettini 152A. Il dispositivo di stampa serigrafica puÃ² essere accoppiato ad uno o piÃ¹ attuatori 102A atti a posizionare e orientare in maniera automatica il dispositivo di stampa serigrafica in una posizione desiderata all'interno della camera di stampa serigrafica 102. In una forma di realizzazione, il dispositivo di ispezione ottica comprende uno o piÃ¹ componenti contenuti nel gruppo di ispezione ottica 200. In una forma di realizzazione, l'una o piÃ¹ tracce di allineamento, o tracce di riferimento, possono comprendere le tracce di allineamento 160 illustrate nelle figure 3A-3D di seguito descritte. La figura 3A illustra vari esempi di tracce di allineamento 160, per esempio tracce di allineamento 160A-160D, che possono essere realizzate sulla superficie frontale 155 del substrato 150 durante un processo di stampa serigrafica del primo strato di barre collettrici 151A e pettini 152A e usate dal gruppo di ispezione ottica 200 per trovare lo scostamento di posizione (DX, DY) e lo scostamento angolare DR del primo strato di barre collettrici 151A e pettini 152A stampate serigraficamente sulla superficie frontale 155 del substrato 150. In una forma di realizzazione, le tracce di allineamento 160 sono stampate in aree inutilizzate della superficie frontale 155 del substrato 150 per evitare che le tracce di allineamento 160 influenzino le prestazioni del dispositivo a cella solare finito. In una forma di realizzazione preferenziale, le tracce di allineamento 160 possono avere una forma circolare 160 (cioÃ ̈ la traccia di allineamento 160A), una forma rettangolare (cioÃ ̈ la traccia di allineamento 160B), una forma incrociata (cioÃ ̈ la traccia di allineamento 160C), o una forma alfanumerica (cioÃ ̈ la traccia di allineamento 160D). Ãˆ generalmente desiderabile scegliere una forma della traccia di allineamento 160 che permetta al software di riconoscimento schema trovato nel controllore 101 di sistema di risolvere l'effettiva posizione delle tracce di allineamento 160, e cosÃ¬ l'effettiva posizione del primo strato dello schema stampato serigraficamente delle barre collettrici 151A e dei pettini 152A, sulla superficie frontale 155 del substrato 150 dall'immagine vista dal gruppo di ispezione 200. Il controllore 101 di sistema puÃ² quindi risolvere lo scostamento di posizione (DX, DY) dalla posizione prevista (X, Y) e lo scostamento angolare DR dall'orientamento angolare R previsto e regolare il dispositivo di stampa serigrafica per minimizzare il cattivo allineamento di posizione (XlfYJ e un cattivo allineamento angolare Rjdurante la stampa del secondo strato di barre collettrici 151B e pettini 152B.

Le figure 3B-3D illustrano differenti configurazioni di tracce di allineamento 160 sulla superficie frontale 155 del substrato 150 che possono essere utilizzate per migliorare la precisione delle misurazioni di scostamento calcolate dal controllore 101 di sistema dalle immagini ricevute mediante il gruppo di ispezione 200. La figura 3B illustra una configurazione in cui due tracce di allineamento 160 sono inserite vicino ad angoli opposti sulla superficie frontale 155 del substrato 150. In questa forma di realizzazione, distribuendo le tracce di allineamento 160 in maniera piÃ¹ separata possibile, l'errore relativo ad un elemento sul substrato 150, come il bordo 150A o 150B, puÃ² essere risolto in maniera piÃ¹ precisa. La figura 3C illustra un'altra configurazione in cui tre tracce di allineamento 160 sono stampate sulla superficie frontale 155 del substrato 150 in prossimitÃ di differenti angoli per agevolare la risoluzione degli scostamenti del primo strato dello schema delle barre collettrici 151A e dei pettini 152A.

La figura 3D illustra un'altra configurazione in cui tre tracce di allineamento 160 sono stampate in posizioni strategiche attraverso la superficie frontale 155 del substrato 150. In questa forma di realizzazione, due delle tracce di allineamento 160 sono posizionate su una linea parallela al bordo 150A, e la terza traccia di allineamento 160 Ã ̈ posizionata a distanza perpendicolare al bordo 150A. In questa forma di realizzazione, il software di riconoscimento schema del controllore 101 di sistema genera linee di riferimento perpendicolari Li e L2per fornire informazione aggiuntiva sulla posizione e sull 'orientamento del primo strato delle barre collettrici 151A e dei pettini 152A relative al substrato 150.

La figura 4A Ã ̈ una vista schematica isometrica di una forma di realizzazione del gruppo attuatore rotante 130 che illustra una configurazione in cui il gruppo di ispezione 200 Ã ̈ disposto per ispezionare la superficie frontale 155 del substrato 150 disposto sul nido di stampa 131. In una forma di realizzazione, una telecamera 121 Ã ̈ posizionata sopra la superficie frontale 155 del substrato 150 in modo che un'area visuale 122 della telecamera 121 puÃ² ispezionare almeno una regione della superficie 155 sul substrato. In una forma di realizzazione, l'area visuale 122 Ã ̈ posizionata in modo da vedere una o piÃ¹ tracce di allineamento 160 ed un elemento distintivo del substrato 150, come il bordo 150A del substrato, per fornire informazione al controllore 101 di sistema sullo scostamento dello schema stampato serigraficamente di un primo strato di barre collettrici 151A e di pettini 152A. In una forma di realizzazione, l'area visuale 122 Ã ̈ posizionata in modo da vedere piÃ¹ elementi distintivi sul substrato 150, come i bordi 150A e 150B ed una o piÃ¹ tracce di allineamento 160 per fornire informazioni di coordinate che riguardano lo scostamento di posizione delle tracce di allineamento 160 dalla posizione ideale e cosÃ¬ lo scostamento di posizione (DX, DY) e lo scostamento angolare DR del primo strato di barre collettrici 151A e di pettini 152A sulla superficie frontale 155 del substrato 150. Pertanto, l'allineamento di ciascun nido di stampa 131 posizionato all'interno del gruppo attuatore rotante 130 e i componenti della camera di stampa serigrafica 102 vengono regolati separatamente, in quanto la posizione di ciascuno dei nidi di stampa 131 varia rispetto al gruppo attuatore rotante 130, al convogliatore di ingresso 111 e alla camera di stampa 102.

La figura 4B illustra una forma di realizzazione del gruppo di ispezione ottica 200 per controllare l'illuminazione della superficie frontale 155 del substrato 150 al fine di migliorare la precisione dell'informazione di posizione ricevuta dalla telecamera 121. In una forma di realizzazione, una lampada 123 puÃ² essere orientata in modo che un'ombra 161 generata dal bloccaggio della luce "D" proiettata dalla lampada 123 vicino alle tracce di allineamento 160 venga minimizzata. In generale, l'ombra 161 puÃ² influire sulle dimensioni misurate delle tracce di allineamento 160, in quanto la luce riflessa E comprende almeno una prima componente Ejriflessa dalla traccia di allineamento 160 ed una seconda componente E2riflessa dalla regione d'ombra 161. L'ombra 161 puÃ² influire sulla capacitÃ della telecamera 121 di distinguere fra la reale larghezza Wjdella traccia di allineamento 160 e la larghezza apparente Wj+W;, della traccia di allineamento 160.

Pertanto, puÃ² essere desiderabile orientare la lampada 123 in maniera piÃ¹ perpendicolare possibile (cioÃ ̈ 90 gradi) rispetto alla superficie frontale 155 del substrato 150 in modo da ridurre la dimensione dell'ombra 161. In una forma di realizzazione, la lampada 123 Ã ̈ orientata secondo un angolo F fra circa 80 gradi e circa 100 gradi. In un'altra forma di realizzazione, la lampada 123 Ã ̈ orientata secondo un angolo F fra circa 85 gradi e circa 95 gradi.[si pregano gli inventori di dare conferma].

In una forma di realizzazione, Ã ̈ anche desiderabile controllare la lunghezza d'onda che viene erogata dalla lampada 123 in modo da agevolare la capacitÃ del sistema di ispezione ottica 200 di risolvere in modo preciso la posizione della traccia di allineamento 160 sulla superficie frontale 155 del substrato 150. In una forma di realizzazione, la lampada 123 utilizza un LED rosso per illuminare la superficie frontale 155 di un substrato 150. Una luce a LED rosso puÃ² essere particolarmente efficace quando il primo strato di barre collettrici 151A e di pettini 152A viene stampato su uno strato di rivestimento antiriflesso (ARC) di nitruro di silicio (SiN) che viene tipicamente realizzato sulla superficie frontale 155 del substrato 150 di cella solare. In una forma di realizzazione, Ã ̈ desiderabile posizionare l'area visuale 122 della telecamera 121 sulla traccia di allineamento 160 stampata su un'area in cui viene realizzato l'ARC sulla superficie frontale 155 del substrato 150.

La figura 5 Ã ̈ una vista isometrica schematica di una forma di realizzazione del gruppo attuatore rotante 130 in cui il gruppo di ispezione 200 comprende una pluralitÃ di dispositivi di ispezione ottica. In una forma di realizzazione, il gruppo di ispezione ottica 200 comprende tre telecamere 121A, 121B e 121C che sono atte ad osservare tre differenti regioni della superficie frontale 155 del substrato 150. In una forma di realizzazione, ciascuna telecamera 121A, 121B e 121C Ã ̈ posizionata per osservare una regione della superficie frontale 155 del substrato 150 che ha contenuta in essa una traccia di allineamento 160. In questa forma di realizzazione, la precisione della misura della collocazione del primo strato di barre collettrici 151A e pettini 152A puÃ² essere migliorata dalla capacitÃ di riduzione della dimensione di ciascuna delle rispettive aree visuali 122a, 122B, 122C e quindi di aumento della risoluzione o del numero di pixels per unitÃ di area, sempre consentendo di mantenere le posizioni delle tracce di allineamento 160 il piÃ¹ possibile distribuite lungo la superficie frontale 155 del substrato 150 in modo da diminuire la quantitÃ di errore d'allineamento. La figura 6 Ã ̈ un diagramma schematico di una sequenza operativa 600 per stampare in maniera precisa uno schema a doppio strato sulla superficie frontale 155 del substrato 150 secondo una forma di realizzazione della presente invenzione. Con riferimento alle figure 6, 1A, e 1B in una operazione di caricamento substrato 602, un primo substrato 150 viene caricato lungo un percorso A sul nido di stampa 131 disposto nella posizione 1 del gruppo attuatore rotante 130. In una operazione opzionale di primo allineamento 603, il gruppo di ispezione ottica 200 puÃ² acquisire immagini della superficie frontale 155 vuota del substrato 150, e basandosi su queste immagini, il controllore 101 di sistema puÃ² configurare il dispositivo di stampa serigrafica all'interno della camera di stampa serigrafica 102 per stampare uno schema sulla superficie frontale 155 del substrato 150. In questa operazione, la posizione dello schema si basa sull'ubicazione di certi elementi distintivi del substrato 150, come i bordi 150A e 150B del substrato 150.

Nell'operazione 604, il gruppo attuatore rotante 130 viene fatto ruotare in modo che il nido di stampa 131 che contiene il substrato 150 caricato viene mosso in verso orario lungo un percorso in posizione "2" all'interno della camera di stampa 102. Nell'operazione 606, un primo strato di uno schema di stampa serigrafica, come barre collettrici 151A, pettini 152A, ed almeno due tracce di allineamento 160, viene stampato sulla superficie frontale 155 del substrato 150. In una forma di realizzazione, le tre o piÃ¹ tracce di allineamento 160 vengono stampate sulla superficie frontale 155 del substrato 150. In una forma di realizzazione, un secondo substrato 150 viene caricato sul nido di stampa 131 disposto in posizione "1". In questa forma di realizzazione, il secondo substrato 150 segue lo stesso percorso del primo substrato 150 caricato dall'inizio alla fine della sequenza operativa.

Nell'operazione 608, il gruppo attuatore rotante 130 viene ruotato in modo tale che il nido di stampa 131 contenente il primo substrato 150 caricato viene mosso in senso orario lungo un percorso B2in posizione "3". In una forma di realizzazione, il nido di stampa 131 contenente il secondo substrato 150 viene mosso nella posizione "2" per stampare su di esso un primo strato dello schema di stampa serigrafica. In una forma di realizzazione, un terzo substrato 150 viene caricato sul nido di stampa 131 disposto in posizione "1". In questa forma di realizzazione, il terzo substrato 150 segue lo stesso percorso del secondo substrato 150 dall'inizio alla fine della sequenza operativa.

Nell'operazione 610, il gruppo attuatore rotante 130 Ã ̈ ruotato in modo che il nido di stampa 131 contenente il primo substrato 150 caricato viene mosso in un verso orario lungo un percorso B3in posizione "4". In una forma di realizzazione, il nido di stampa 131 contenente il secondo substrato 150 viene mosso nella posizione "3". In una forma di realizzazione, il terzo substrato 150 caricato viene mosso nella posizione "2" per stampare su di esso un primo strato dello schema di stampa serigrafica. In una forma di realizzazione, un quarto substrato 150 viene caricato sul nido di stampa 131 disposto nella posizione "1". In questa forma di realizzazione, il quarto substrato 150 segue lo stesso percorso del terzo substrato 150 dall'inizio alla fine della sequenza operativa.

Nell'operazione 612, il gruppo attuatore rotante 130 Ã ̈ ruotato in modo tale che il nido di stampa 131 contenente il primo substrato 150 caricato viene riportato indietro, in verso orario lungo un percorso B4, nella posizione "1".

Nell'operazione 614 viene analizzato l'allineamento del primo strato dello schema di stampa serigrafica. In una forma di realizzazione, il dispositivo di ispezione ottica 200 acquisisce immagini di almeno due tracce di allineamento 160 stampate sulla superficie frontale 155 del primo substrato 150. Le immagini vengono lette dal programma di riconoscimento immagini nel controllore 101 di sistema. Il controllore 101 di sistema determina lo scostamento di posizione (DX, DY) e lo scostamento angolare DR dello schema serigrafato analizzando le almeno due tracce di allineamento 160 e confrontandole con le posizioni (X, Y) e con l'orientamento R previsti. Il controllore 101 di sistema utilizza poi l'informazione ottenuta da questa analisi per regolare la posizione del dispositivo di stampa serigrafica all'interno della camera di stampa serigrafica 102 per la stampa successiva di un secondo strato dello schema di stampa serigrafica, come le barre collettrici 151B e i pettini 152B sul primo strato dello schema di stampa serigrafica.

In una forma di realizzazione, il dispositivo di ispezione ottica 200 acquisisce immagini di tre tracce di allineamento 160 che sono disposte sulla superficie frontale di substrato 155. In una forma di realizzazione, il controllore 101 di sistema identifica la posizione effettiva delle tre tracce di allineamento 160 relative ad una cornice di riferimento teorica. Il controllore 101 di sistema determina successivamente lo scostamento di ciascuna delle tre tracce di allineamento 160 dalla cornice di riferimento teorica e usa un algoritmo di trasferimento coordinate per regolare la posizione del dispositivo di stampa serigrafica all'interno della camera di stampa 102 in una posizione ideale per stampare successivamente il secondo strato delle barre collettrici 151B e i pettini 152B con un allineamento rispetto al primo strato significativamente piÃ¹ preciso. In una forma di realizzazione, il procedimento dei minimi quadrati ordinari (OLS) o un procedimento similare puÃ² essere usato per ottimizzare la posizione ideale del dispositivo di stampa serigrafica per stampare il secondo strato. Ad esempio, lo scostamento di ciascuna traccia di allineamento 160 dalla cornice teorica di riferimento puÃ² essere determinato, e la posizione ideale del dispositivo di stampa serigrafica puÃ² essere ottimizzata secondo una funzione che minimizza la distanza fra la effettiva posizione delle tracce di allineamento 160 e la cornice di riferimento teorica.

Nell'operazione 616, il gruppo attuatore rotante 130 viene ruotato in modo tale che il nido di stampa 131 che contiene il primo substrato 150 caricato viene riportato indietro in senso orario lungo un percorso B5nella posizione "2" all'interno della camera di stampa serigrafica 102. Nell'operazione 618, il secondo strato dello schema di stampa serigrafica, come le barre collettrici 151B e i pettini 152B, viene stampato sul primo strato dello schema di stampa serigrafica, come le barre collettrici 151A e i pettini 152A, usando la posizione di allineamento ottenuta dall'analisi dell'operazione 614. L'informazione della posizione della traccia di allineamento ricevuta dal controllore 101 di sistema durante l'operazione 614 viene cosÃ¬ utilizzata per orientare e posizionare il secondo strato di materiale di stampa serigrafica rispetto alla posizione effettiva delle tracce di allineamento 160 generate durante la formazione del primo strato. Pertanto, l'errore nella deposizione del secondo strato viene ridotto, in quanto la deposizione del secondo strato si basa sulla posizione effettiva del primo strato e non sulla relazione del primo strato con un elemento distintivo del substrato 150, come i bordi 150A e 150B, e del secondo strato con l'elemento distintivo del substrato 150. Un esperto del ramo certamente apprezza il fatto che la deposizione del primo strato rispetto all'elemento distintivo del substrato 150 e poi del secondo strato rispetto all'elemento distintivo del substrato 150 produce approssimativamente un errore doppio in confronto ad un allineamento diretto del secondo strato dello schema di stampa serigrafica rispetto al primo strato dello schema di stampa serigrafica.

Nell'operazione 620, il gruppo attuatore rotante 130 viene ruotato in modo tale che il nido di stampa 131 contenente il primo substrato 150 caricato viene riportato indietro in senso orario lungo un percorso B6nella posizione "3". Nell'operazione 622, il primo substrato 150 caricato avente su di esso uno schema a doppio strato serigrafato viene scaricato dal nido di stampa 131 nella posizione "3". La sequenza operativa 600 continua fino a quando il nido di stampa 131 vuoto Ã ̈ ritornato ancora nella posizione "1" per caricare un altro substrato 150 e in cui l'intera sequenza viene ripetuta.

In una forma di realizzazione, una pluralitÃ di fasi di lavorazione possono essere effettuate fra le operazioni 604 e 614, come l'essiccazione e la stagionatura del primo strato, e cosÃ¬ il substrato 150 non ha bisogno di restare posizionato sullo stesso nido di stampa 131. Ad esempio, il primo strato Ã ̈ disposto sulla superficie del substrato 150 usando un primo sistema 100 (figura 1A) e successivamente il secondo strato viene realizzato sul substrato 150 in un secondo sistema 100. In una configurazione, le operazioni 602-604 vengono realizzate nel primo sistema 100 che ha un primo supporto di substrato (ad esempio il nido di stampa 131), un primo dispositivo di ispezione ottica 200, e un primo controllore 101 di sistema, e le operazioni 614-618 vengono realizzate nel secondo sistema 100 che ha un secondo supporto di substrato (cioÃ ̈ un secondo nido di stampa), un secondo dispositivo di ispezione ottica 200 e un secondo controllore 101 di sistema. In un'altra configurazione, il substrato viene fatto passare per due volte attraverso lo stesso sistema 100.

Sebbene forme di realizzazione della presente invenzione siano raffigurate nelle figure 1A e 1B rispetto ad un sistema 100 avente un singolo ingresso ed una singola uscita, forme di realizzazione dell'invenzione sono ugualmente applicabili ad un sistema 700 che ha doppi ingressi e doppie uscite come illustrato in figura 7.

La figura 7 Ã ̈ una vista in pianta dall'alto di un sistema 700 che puÃ² essere usato assieme a forme di realizzazione della presente invenzione per realizzare strati multipli di uno schema desiderato, come le barre collettrici 151 e i pettini 152, sulla superficie frontale del substrato 150. Come illustrato, il sistema 700 differisce dal sistema 100 illustrato nelle figure 1A e 1B nel fatto che il sistema 700 comprende due convogliatori di ingresso 111 e due convogliatori di uscita 112. Il sistema 700 differisce anche dal sistema 100 nel fatto che il sistema 700 comprende due camere di stampa serigrafica 102. Tuttavia, la sequenza operativa delle forme di realizzazione dell'invenzione riferita al sistema 700 Ã ̈ sostanzialmente la stessa di quella riferita al sistema 100. Ad esempio, la sequenza operativa 600 con riferimento al primo substrato 150 inizialmente caricato in posizione "1" Ã ̈ la stessa come precedentemente descritto con riferimento alla figura 6. Tuttavia, la sequenza operativa 600 puÃ² essere effettuata in maniera contemporanea con il secondo substrato 150 inizialmente caricato nella posizione "3". Inoltre, anche se forme di realizzazione della presente invenzione sono descritte con riferimento ad un procedimento di stampa serigrafica a doppio strato, altre forme di realizzazione dell'invenzione sono ugualmente applicabili al procedimento di stampa serigrafica che ha strati stampati aggiuntivi.

Anche se quanto sopra descritto Ã ̈ diretto a forme di realizzazione del presente trovato, altre ed ulteriori forme di realizzazione del trovato possono essere realizzate senza uscire dal corrispondente ambito di protezione, il quale Ã ̈ determinato dalle seguenti rivendicazioni.

Claims

RIVENDICAZIONI 1. Un procedimento di stampa serigrafica comprendente: ricezione di un substrato che ha un primo strato di uno schema stampato su una superficie del substrato, in cui lo schema comprende almeno due tracce di allineamento; determinazione della posizione effettiva delle almeno due tracce di allineamento rispetto ad almeno un elemento distintivo del substrato; confronto della posizione effettiva delle almeno due tracce di allineamento con una posizione prevista delle almeno due tracce di allineamento; determinazione di uno scostamento fra la posizione effettiva e la posizione prevista delle almeno due tracce di allineamento; regolazione di un dispositivo di stampa serigrafica in modo da tenere conto dello scostamento determinato; e stampa di un secondo strato dello schema sul primo strato dello schema.
2. Procedimento di stampa serigrafica come nella rivendicazione 1, in cui lo schema comprende inoltre linee di materiale conduttivo.
3. Procedimento di stampa serigrafica come nella rivendicazione 2, in cui il substrato Ã ̈ poligonale e ciascuna delle almeno due tracce Ã ̈ stampata in una differente regione angolare.
4. Procedimento di stampa serigrafica come nella rivendicazione 1, in cui la determinazione della posizione effettiva delle tracce di allineamento comprende l'acquisizione di un'immagine ottica delle tracce di allineamento e il riconoscimento di una proprietÃ fisica delle tracce di allineamento sull'immagine ottica.
5. Procedimento di stampa serigrafica come nella rivendicazione 4, in cui la posizione prevista delle tracce di allineamento viene determinata rispetto all 'almeno un elemento distintivo del substrato prima di stampare il primo strato.
6. Procedimento di stampa serigrafica come nella rivendicazione 4, in cui almeno tre tracce di allineamento sono stampate sulla superficie del substrato.
7. Procedimento di stampa serigrafica come nella rivendicazione 6, in cui il confronto della posizione effettiva delle tracce di allineamento comprende la costruzione di una prima linea di riferimento fra due delle tracce di allineamento e la costruzione di una seconda linea di riferimento fra una terza traccia di allineamento e la prima linea di riferimento, in cui la seconda linea di riferimento Ã ̈ perpendicolare alla prima linea di riferimento.
8. Procedimento di stampa serigrafica come nella rivendicazione 6, in cui la determinazione dello scostamento comprende la misura della distanza fra la posizione effettiva e la posizione prevista di ogni traccia di allineamento e il calcolo dello scostamento mediante un algoritmo di trasferimento coordinate.
9. Un procedimento di stampa serigrafica, comprendente: stampa di un primo strato di uno schema su una superficie di un substrato con un dispositivo di stampa serigrafica, in cui lo schema comprende una struttura di linee conduttive sottili ed almeno due tracce di allineamento; spostamento del substrato sotto un gruppo di ispezione ottica; acquisizione di un'immagine ottica del primo strato dello schema; determinazione della posizione effettiva delle almeno due tracce di allineamento rispetto all'almeno un elemento distintivo del substrato; confronto fra la posizione effettiva delle almeno due tracce di allineamento con una posizione prevista delle almeno due tracce di allineamento; determinazione di uno scostamento fra la posizione effettiva e la posizione prevista; regolazione del dispositivo di stampa serigrafica per tenere conto dello scostamento determinato, e stampa di un secondo strato dello schema sul primo strato dello schema mediante il dispositivo di stampa serigrafica regolato.
10. Procedimento di stampa serigrafica come nella rivendicazione 9, comprendente inoltre la determinazione della posizione prevista delle tracce di allineamento rispetto all 'almeno un elemento distintivo del substrato prima di stampare il primo strato.
11. Il procedimento di stampa serigrafica come nella rivendicazione 10, in cui la determinazione della posizione effettiva delle tracce di allineamento comprende l'acquisizione di un'immagine ottica delle tracce di allineamento e il riconoscimento di una proprietÃ fisica delle tracce di allineamento sull'immagine ottica.
12. Procedimento di stampa serigrafica come nella rivendicazione 11, in cui almeno tre tracce di allineamento sono stampate sulla superficie del substrato.
13. Procedimento di stampa serigrafica come nella rivendicazione 12, in cui il confronto della posizione effettiva delle tracce di allineamento comprende la costruzione di una prima linea di riferimento fra due delle tracce di allineamento e la costruzione di una seconda linea di riferimento fra una terza traccia di allineamento e la prima linea di riferimento, in cui la seconda linea di riferimento Ã ̈ perpendicolare alla prima linea di riferimento.
14. Procedimento di stampa serigrafica come nella rivendicazione 11, in cui la determinazione dello scostamento comprende la misurazione della distanza fra la posizione effettiva e la posizione prevista di ciascuna traccia di allineamento ed il calcolo dello scostamento mediante un algoritmo di trasferimento coordinate.
15. Un sistema di stampa serigrafica, comprendente: un attuatore rotante avente disposto su di esso un nido di stampa e mobile fra una prima posizione, una seconda posizione e una terza posizione; un convogliatore di alimentazione posizionato per caricare un substrato sul nido di stampa nella prima posizione; una camera di stampa serigrafica avente un dispositivo di stampa serigrafica regolabile disposto al suo interno, la camera di stampa serigrafica essendo posizionata per stampare uno schema sul substrato quando il nido di stampa Ã ̈ nella seconda posizione, in cui lo schema comprende una struttura conduttiva di linee sottili ed almeno due tracce di allineamento; un gruppo di ispezione ottica avente una telecamera ed una lampada, il gruppo di ispezione ottica essendo posizionato per acquisire immagini ottiche di un primo strato dello schema quando il nido di stampa Ã ̈ nella prima posizione; un convogliatore di evacuazione posizionato per scaricare il substrato quando il nido di stampa Ã ̈ nella terza posizione, e un controllore di sistema comprendente un software configurato per determinare uno scostamento della posizione effettiva delle tracce di allineamento acquisite nell'immagine ottica del primo strato dello schema rispetto ad una posizione prevista delle tracce di allineamento e regolare il dispositivo di stampa serigrafica per tenere conto dello scostamento determinato prima di stampare un secondo strato dello schema sul primo strato dello schema.
16. Sistema di stampa serigrafica come nella rivendicazione 15, in cui il gruppo di ispezione ottica comprende inoltre una pluralitÃ di telecamere, e in cui la lampada Ã ̈ configurata per dirigere un fascio di luce in maniera sostanzialmente normale alla superficie del substrato posizionato sotto il gruppo di ispezione ottica.
17. Sistema di stampa serigrafica come nella rivendicazione 16, in cui il controllore di sistema comprende inoltre un software configurato per individuare la posizione effettiva delle tracce di allineamento con riferimento ad almeno un elemento distintivo del substrato.
18. Sistema di stampa serigrafica come nella rivendicazione 17, in cui lo schema di stampa serigrafica comprende almeno tre tracce di allineamento.
19. Procedimento e apparecchiatura per la stampa serigrafica di uno schema a strato multiplo, sostanzialmente come descritti con riferimento agli annessi disegni.