JP3705202B2 - 連続体シートの印刷方法および印刷装置 - Google Patents
連続体シートの印刷方法および印刷装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3705202B2 JP3705202B2 JP2001390904A JP2001390904A JP3705202B2 JP 3705202 B2 JP3705202 B2 JP 3705202B2 JP 2001390904 A JP2001390904 A JP 2001390904A JP 2001390904 A JP2001390904 A JP 2001390904A JP 3705202 B2 JP3705202 B2 JP 3705202B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- printing
- continuous sheet
- stage
- position recognition
- printed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Screen Printers (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は予め複数の位置合わせマークを設けた連続体シートにスクリーン印刷を行う印刷方法および印刷装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、積層型電子部品用のセラミックグリーンシートを製造する装置として、長尺なキャリアフィルムの上にグリーンセラミック層を形成し、この連続体シートを、連続状態のまま電極膜の印刷工程、乾燥工程、打抜き工程などの複数の工程を順次通過させることで、セラミックグリーンシートを得るようにした装置が知られている(特許第2504277号公報参照)。
【0003】
近年、グリーンセラミック層は10μm以下と非常に薄くなっており、その上に電極膜を印刷すると、電極膜の段差が生じる。このようなグリーンセラミック層を積層すると、電極膜の段差のためにクラックやデラミネーションなどの不具合を生じることがある。そこで、電極膜が印刷されたグリーンセラミック層の上に、グリーンセラミック層と同一材料よりなるセラミック塗料を重ねて印刷し、電極膜の段差を少なくするようにしたものが提案されている。
【0004】
図15,図16はその一例であり、(イ)は電極パターンを印刷した状態、(ロ)はセラミック層を重ねて印刷した状態である。図において、100はキャリアフィルム、101は元のセラミック層、102は電極膜、103は新たに印刷されたセラミック層である。
しかし、後で印刷するセラミック層103と前に印刷された電極膜102との間でパターンずれが生じやすい。例えば、電極膜102とセラミック層103との重なり幅Wは0〜150μm程度であり、パターンずれが発生すると段差が吸収されない。
【0005】
このような印刷工程では、予め電極膜の印刷と同時に位置合わせマークを印刷した連続体シートを印刷ステージに吸引保持し、その印刷開始時に仮印刷を行い、その印刷パターンを撮像カメラで撮像して位置合わせマークに対する印刷パターンのずれ量を画像処理により計測し、その印刷パターンのずれ量に応じて印刷テーブルをX,,Y,θ方向に位置修正し、印刷版に対して連続体シートを位置合わせすることが行われている。
【0006】
しかし、この方法では、印刷開始時のみ位置合わせマークに対する印刷パターンのずれ量に応じて位置合わせを行っているに過ぎないので、何回か印刷しているうちに経時的なパターン変形などにより印刷ずれが生じることがある。また、仮印刷による位置合わせで精度を出さなければならないので、位置合わせに多くの段取り時間を必要とするという欠点がある。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、特開2000−272089号公報には、予め位置認識基準マークを設けた被印刷物を印刷用テーブルに載置し、その被印刷物に対して印刷版により印刷を行うと同時に、印刷位置確認マークを位置認識基準マークの近傍に印刷し、両マークのずれ量を画像処理によって計測し、次の印刷を行う前に、そのずれ量に応じて印刷テーブルをX,Y,θ方向に位置修正するようにした印刷方法が提案されている。
【0008】
しかし、被印刷物であるグリーンシートは小形大容量化のためにますます薄層化してきており、連続体シートの位置合わせのために印刷テーブルをX,Y,θ方向に動かすと、薄層化されたグリーンシートに無理な引張応力が作用し、皺や歪みの原因となる。その結果、シート欠陥を発生させたり、搬送精度を悪化させるという問題がある。
【0009】
そこで、本発明の目的は、連続体シートに無理な引張応力を加えずに高精度に位置合わせできる連続体シートの印刷方法および印刷装置を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明は、透明または半透明のキャリアフィルムの表面にセラミック層が薄膜状に形成され、上記セラミック層の上に予め位置合わせマークM1が設けられた連続体シートにスクリーン印刷を行う印刷方法において、所定の印刷パターンと上記位置合わせマークM1に対応する位置認識マークM2とを持ち、印刷ステージの上方に配置された印刷版を準備する工程と、上記印刷版の位置認識マークM2を、上記印刷ステージに設けられた固定カメラによって画像処理により位置計測する工程と、上記印刷ステージ上に上記連続体シートを吸引保持させる工程と、上記印刷ステージ上に吸引保持された上記連続体シートの上記位置合わせマークM1を、上記固定カメラによって連続体シートの裏側から連続体シートを透過して画像処理により位置計測する工程と、上記位置合わせマークM1と位置認識マークM2とのずれ量(B−A)を求める工程と、上記印刷ステージ上に吸引保持された上記連続体シート上に印刷版によって所定のパターンをスクリーン印刷すると同時に、印刷版の位置認識マークM2を連続体シートにスクリーン印刷する工程と、上記連続体シートを印刷ステージからフィードバックステージへ搬送し、フィードバックステージ上に吸引保持させる工程と、上記フィードバックステージ上で上記連続体シートに印刷された位置認識マークM2’を画像処理により位置計測する工程と、上記位置合わせマークM1と印刷された位置認識マークM2’とのずれ量(B’−A)を求める工程と、求めたずれ量(B−A)と(B’−A)に応じて印刷版の位置をX,Y,θ方向にフィードバック制御する工程と、を有することを特徴とする連続体シートの印刷方法を提供する。
【0012】
請求項1では、印刷ステージ上に連続体シートを吸引保持させ、印刷版によって連続体シート上に所定のパターンを印刷すると同時に、印刷版の位置認識マークを連続体シートに印刷する。なお、位置認識マークは位置合わせマークとは異なる形状、例えば位置合わせマークを取り囲む形状や一定ピッチずらした位置に印刷すれば、ずれ量の検出が容易になる。
次に、連続体シートを印刷ステージからフィードバックステージへ搬送し、フィードバックステージ上に吸引保持させる。そして、フィードバックステージ上に吸引保持された連続体シートの各位置合わせマークM1と印刷された各位置認識マークM2’とのずれ量を画像処理により求める。印刷版の位置認識マークM2は連続体シートの位置合わせマークM1に対応するものであり、印刷された位置認識マークM2’と位置合わせマークM1とが近傍位置にあるので、両マークを撮像用カメラの同一視野内に捉えることができる。この際、フィードバックステージの上方には印刷版などの障害物が存在しないので、連続体シートの表側から画像処理によるずれ量の計測を行うことができる。そのため、位置合わせマークM1および印刷された位置認識マークM2’の位置を明瞭に認識できる。なお、位置認識マークは位置合わせマークとは異なる形状、例えば位置合わせマークを取り囲む形状や一定ピッチずらした位置に印刷すれば、ずれ量の検出が容易になる。
最後に、求めたずれ量に応じて印刷版の位置をフィードバック制御する。本発明では、印刷ステージを位置調整するのではなく、印刷版を位置調整するので、連続体シートにダメージを与えずに済み、シート欠陥を発生させたり、搬送精度を悪化させることがない。また、フィードバックステージにおいて検出される経時的なずれ量に応じて、印刷版の位置をフィードバック制御するので、印刷版のスクリーンの経時的な変化による印刷ずれを解消できる。
【0013】
請求項2では、請求項1におけるフィードバックステージを省略し、印刷ステージで連続体シートの各位置合わせマークと印刷された各位置認識マークとのずれ量を画像処理により求め、そのずれ量に応じて印刷版の位置をフィードバック制御するものである。
この場合には、フィードバックステージを必要としないので、フィードバックステージにおける撮像用カメラも不要となり、印刷ステージの撮像用カメラで兼用することができる。
この印刷方法は、印刷された各位置認識マークを連続体シートの裏側から撮像できる場合に用いることができる。すなわち、連続体シートが透光性材料で構成され、その上に印刷された位置認識マークが連続体シートに印刷された位置合わせマークと異なるコントラストまたは異なる形状を持つものであればよい。
【0014】
本発明では、スクリーン印刷後のずれ量(B’−A)を求めるだけでなく、スクリーン印刷する前でのずれ量(B−A)も求めている。すなわち、上記印刷版の位置認識マークM2を画像処理により位置計測する工程と、上記印刷ステージ上に吸引保持された上記連続体シートの上記位置合わせマークM1を画像処理により位置計測する工程と、上記位置合わせマークM1と位置認識マークM2とのずれ量(B−A)を求める工程を設けてある。
すなわち、まず印刷ステージの上方に配置された印刷版の複数の位置認識マークM2を画像処理により位置計測する。位置計測用の撮像カメラは、印刷ステージ側に配置されたものがよい。カメラを印刷版と印刷ステージとの間へ出し入れせずに簡単に位置認識マークM2を撮像できるからである。
次に、印刷ステージ上に連続体シートを吸引保持させた後、印刷ステージ上に吸引保持された連続体シートの複数の位置合わせマークM1を画像処理により位置計測する。
次に、印刷版の位置認識マークM2と連続体シートの位置合わせマークM1とのずれ量を求め、このずれ量に応じて印刷版をX,Y,θ方向に位置合わせする。その後で、印刷版によって連続体シート上に所定のパターンと位置認識マークを印刷すればよい。これによって、連続体シートが印刷ステージで吸着保持される度に発生する搬送ばらつきによる印刷ずれを位置認識マークM2と位置合わせマークM1とのずれ量によって検出できる。
この場合も、ずれ調整を印刷版で行うので、連続体シートには無理な応力がかからない。
【0015】
本発明では、印刷版の位置認識マークM2の画像処理による位置計測と、印刷ステージでの位置合わせマークM1の画像処理による位置計測とを、印刷ステージに設けられた固定カメラによって連続体シートの裏側より行う。この場合には、本発明における印刷版の位置認識マークM2を位置計測する撮像カメラと同一のカメラ、すなわち印刷ステージ側に配置されたカメラを用いることができる。このように連続体シートの裏側より画像処理すれば、印刷毎に連続体シートと印刷版との間に撮像用カメラを出し入れする必要がなくなり、画像処理のためのタクトタイムを短縮できる。この場合、位置合わせマークM1を連続体シートの裏面から透過して認識できるように、キャリアフィルムは透明または半透明なものがよい。例えば、連続体シートが透明なキャリアフィルムにセラミック層を塗工したものである場合、膜厚を5μm以下とすれば、セラミック層の上に印刷された位置合わせマークM1を連続体シートの裏面から透過して認識できる。
【0016】
請求項2のように、連続体シートは、透明または半透明のキャリアフィルムの表面にセラミック層が薄膜状に形成され、その上に予め電極パターンと位置合わせマークとが印刷されたものであり、印刷版は、セラミック層の表面にセラミックペーストによって上記電極パターンによる段差を埋めるためのパターンと位置認識マークとを同時にスクリーン印刷するものである場合に適用できる。
このようにセラミック層の上に電極パターンが形成され、その段差を埋めるためにセラミックペーストがさらに印刷される連続体シートに本発明を適用すれば、電極パターンとセラミックパターンとを位置ずれなく印刷できる。
【0017】
請求項3は請求項2とは逆に、セラミック層の上に先にセラミックペーストで電極段差を埋めるためのパターンを印刷しておき、その後で電極パターンを印刷するものである。
この場合も、先にセラミックペーストでネガパターンと位置合わせマークとを印刷しておき、後で電極ペーストでポジパターンと位置認識マークとを印刷版で印刷すればよい。
【0018】
請求項4のように、フィードバック制御工程におけるフィードバックデータを印刷毎または設定回数毎の演算値で与えるのがよい。
印刷毎にフィードバックデータを与えた場合には、1回の印刷毎のずれを考慮して細密に位置調整が可能である。一方、設定回数毎の演算値でフィードバックデータを与えた場合には、位置ずれの全体的な変化を把握することができるので、例えば経時差を考慮した最適な位置を決定できる。
なお、演算値とは、例えば設定回数における平均値や毎回のずれ量、それらの値に対して0.8〜0.9程度の係数を掛けた値、または統計的に求めた最適値等を示す。
【0019】
【発明の実施の形態】
−第1実施例−
図1は本発明にかかる連続体シートの印刷装置の一例を示す。
ここで使用される連続体シート1は、図2に示されるように、長尺なキャリアフィルムなどの可撓性支持体1aの上に薄層のグリーンセラミック層1bが連続的にシート成形されたものであり、その上には長手方向に一定ピッチ間隔で第1のパターンP1とこのパターンP1に対応する複数の位置合わせマークM1とが印刷等にて予め形成されている。この実施例では、パターンP1とマークM1はNiペーストなどの電極材料で所定厚みに印刷されている。セラミック層1bの厚みが5μm〜0.2μmである場合、連続体シート1自体がほぼ透明であるので、連続体シート1の裏面側から透過してパターンP1、マークM1、さらには後述する印刷版7のマークM2を認識することができる。この実施例の位置合わせマークM1は、図2に示されるように、パターンP1のX軸方向(搬送方向)の両側に形成された透過されない2個の丸形マークであるが、その配置位置や形状、個数などは限定されない。さらに、パターンP1の一部をマークM1として用いることもできる。なお、図2では理解を容易にするため、位置合わせマークM1を拡大して描いてあるが、実際にはパターンP1に比べて十分小形のものである。
【0020】
連続体シート1は巻出ロール2に巻かれた状態にあり、この巻出ロール2から印刷面を上向きにして定尺ずつ巻き出される。巻き出された連続体シート1は、後述する印刷ステージ4、フィードバックステージ9および乾燥炉12を通って巻取ロール3に巻き取られる。巻取ロール3の動きは、制御装置(CPU)20によって制御される。
【0021】
印刷ステージ4は、連続体シート1の裏面を吸着保持する手段を備えており、この位置で連続体シート1を位置決めする。印刷ステージ4には複数のカメラ5とカメラ用照明6とが設けられている。具体的には、図3に示すように、印刷ステージ4に貫通穴4aを設け、貫通穴4aの表面側開口に透明なガラス板13を嵌め込み、貫通穴4aの裏側にカメラ5および照明6を配置すれば、連続体シート1を撓ませずに撮像できる。
本実施例では、撮像のためにガラス板13を用いたが、合成石英やサファイヤ等からなるものを用いてもよい。
【0022】
印刷ステージ4の上方には印刷版7が配置されており、この印刷版7を保持する印刷ヘッド8は、印刷版7をシート搬送方向に沿って仮想された直交二軸であるX,Y方向と、この二軸に垂直なZ軸回りに回転するθ方向とに独立して位置調整可能である。また、印刷ヘッド8はZ方向にも移動可能である。印刷版7はスクリーン印刷版よりなり、図4に示すように、連続体シート1に形成された第1のパターンP1の段差を埋めるための第2のパターンP2と、位置合わせマークM1に対応した複数の位置認識マークM2とが設けられている。位置認識マークM2は、位置合わせマークM1と異なる形状が望ましく、この実施例では図5に示すような位置合わせマークM1を取り囲む4個の四角形マークで構成されているが、図6に示すように位置合わせマークM1と同形で一定ピッチδ離れた位置に形成された丸形マークでもよいし、その他如何なる形状でもよい。また、位置認識マークM2は、連続体シート1を透かして認識できることから、非透過性であることが好ましい。上記印刷ステージ4に配置されているカメラ5は、印刷ステージ4の表面に保持される連続体シート1の位置合わせマークM1と印刷版7の位置認識マークM2とを撮像し、そのデータを画像処理装置21へ送る。連続体シート1がほぼ透明であるから、連続体シート1を透して位置合わせマークM1および位置認識マークM2を明瞭に認識できる。
【0023】
フィードバックステージ9も印刷ステージ4と同様に、連続体シート1の裏面を吸着保持する手段を備えており、この位置で連続体シート1を位置決めする。フィードバックステージ9の下方にはカメラ用照明10が設けられており、上方には複数の撮像用カメラ11が設けられている。これらカメラ11は、連続体シート1の位置合わせマークM1と印刷版7によって印刷された位置認識マークM2’とを連続体シート1の表面側から同一視野内で捉え、その撮像データを画像処理装置21へ送る。なお、このカメラ11も、印刷ステージ4のカメラ5と同様に、フィードバックステージ9の下方に配置してもよい。
【0024】
画像処理装置21は、カメラ5およびカメラ11から送られたデータを処理し、制御装置20に送る。制御装置20は画像処理装置21からのデータに基づいてずれ量などを算出し、ずれ量に応じてドライバ22を介して印刷ヘッド8を駆動させ、印刷版7のX,Y,θ方向の位置を制御する。
【0025】
次に、本発明にかかる印刷装置の動作を図7,図8に従って説明する。
図7は初回の印刷の流れを示す。
最初に、印刷版7の位置認識マークM2をカメラ5によって撮像し、その位置Bを計測する(ステップS1)。位置認識マークM2の位置データは、所定回数の印刷の間継続して使用するので、一旦メモリに格納しておけば、印刷の度に位置検出する必要はない。但し、印刷を繰り返す間にスクリーンの経時的伸びなどが発生するので、所定回数毎に位置検出を行なってメモリを更新するのがよい。次に、第1のパターンP1と位置合わせマークM1とが予め印刷された連続体シート1を、巻出ロール2から印刷面を上向きにして定尺だけ引き出し、印刷ステージ4で吸着保持する(ステップS2)。ここで、カメラ5によって連続体シート1の裏側から位置合わせマークM1を撮像し、その位置Aを計測する(ステップS3)。次に、画像処理によって計測した位置認識マークM2と位置合わせマークM1とのずれ量(B−A)を算出し(ステップS4)、このずれ量(B−A)に応じて印刷版7のX,Y,θ方向の位置補正を行う(ステップS5)。位置補正の後、初回の印刷を行う(ステップS6)。初回の印刷では、連続体シート1が印刷ステージ4で吸着保持される度に発生する位置合わせマークM1の位置ずれ量(B−A)は解消できるが、スクリーンの伸びやシートの伸びなどによるずれ量は解消できない。
【0026】
次に、図8の2回目以降の印刷を実施する。
初回の印刷が終了した連続体シート部分を、フィードバックステージ9へ搬送し、吸着保持する(ステップS10)と同時に、巻出ロール2から新たな連続体シート部分を定尺だけ引き出し、印刷ステージ4で吸着保持する(ステップS11)。印刷ステージ4では、カメラ5によって連続体シート1の裏側から位置合わせマークM1を撮像し、その位置Aを計測する(ステップS12)。そして、予め記憶された位置認識マークM2の位置Bとのずれ量(B−A)を算出する(ステップS13)。一方、フィードバックステージ9では、カメラ11によって連続体シート1の位置合わせマークM1と初回に印刷された位置認識マークM2’とを撮像し(ステップS14)、両マークのずれ量(B’−A)を算出する(ステップS15)。ここで、印刷された位置認識マークM2’の位置B’と、印刷版7の位置認識マークM2の位置Bとは同一ではないことに注目する必要がある。なぜなら、スクリーン印刷の場合、経時的なスクリーンの伸び等によってスクリーン上のマークの位置Bと印刷されたマークの位置B’とがずれるからである。
【0027】
上記のように印刷ステージ4で求めたずれ量(B−A)と、フィードバックステージ9で求めた初回印刷におけるずれ量(B’−A)とを用いて、印刷版7の最適位置を決定する(ステップS16)。最も簡単な決定方法としては、例えば両方のずれ量の和(B−A)+(B’−A)を最終的なずれ量としてもよい。なお、印刷ステージ4で求めたずれ量(B−A)は印刷ステージ4に連続体シート1を保持する際に毎回変化するずれ量であるのに対し、フィードバックステージ9で求めたずれ量(B’−A)は毎回変化するとは限らず、スクリーンの経時的伸びなどによって経時的に変化するずれ量である。そのため、最適位置を決定するに際し、ずれ量(B’−A)は前回データのみを参照してもよいし、設定回数毎の平均値(累積平均)で求めてもよい。
上記のようにして求めた最適位置から、印刷版7をX,Y,θ方向に位置補正し(ステップS17)、2回目の印刷を行う(ステップS18)。
【0028】
このように印刷ステージ4におけるずれ量(B−A)に、フィードバックステージ9で検出したずれ量(B’−A)をフィードバックして印刷版7の最適位置を求めるので、2回目以降の印刷では連続体シート1が印刷ステージ4で吸着保持される度に発生するずれ量(B−A)は勿論、スクリーンの伸び等による経時的なずれ量(B’−A)も解消でき、常に高精度な位置合わせが可能となり、第1のパターンP1と印刷された第2のパターンP2’とのパターンずれをなくすことができる。また、印刷ステージ4を位置補正するのではなく、印刷版7を位置補正するので、連続体シート1に無理な引張応力などが作用せず、グリーンシートに皺や歪みを発生させない。そのため、シート欠陥や搬送精度の悪化を防止できる。
【0029】
図9に具体的なずれ量の補正方法の例を示す。
図に示すように、連続体シート1に予め設けられた第1のパターンP1と、印刷版7によって印刷された第2のパターンP2’とがずれている場合、連続体シート1に予め設けられた位置合わせマークM1の中点O1 のXY座標と中心線L1 の角度、印刷版7の位置認識マークM2または印刷された位置認識マークM2’間の中点O2 のXY座標と中心線L2 の角度を画像処理により求める。そして、各々の中点O1 ,O2 と中心線L1 ,L2 の角度とが一致するように、印刷版7をX,Y,θ方向に補正すればよい。
【0030】
−第2実施例−
スクリーン印刷における印刷歪み量は、パターン毎のばらつきが大きいことが知られている。図10に示すように、位置ずれ検出用のマークM1,M2’がパターンP1,P2’の外周に配置されている場合、マークM1,M2’は位置合わせされていても、その中のパターンP1,P2’が必ずしも位置合わせできているとは限らない。
図10の(a)はマークM1とパターンP1、マークM2’とパターンP2’の相互の位置関係が等しい場合、図10の(b)は相互の位置関係が異なる場合である。
【0031】
そこで、第2実施例では、画像処理により求めたフィードバック補正値(B’−A)と、予め印刷塗膜相互位置を測定し算出したオフセット値との両方の補正値を使用することにより、本来得たいパターンP1,P2’の位置ずれ補正と、経時的その他の要因で発生するずれを合わせて補正するものである。オフセット値を求めるために、例えばフィードバックステージ9の上方に配置されるカメラ11に加えて、オフセット値検出用のカメラ11a(図1参照)を設けるのがよい。
このようにオフセット値を併用して位置ずれ補正を行うと、図10の(c)のようにマークM1,M2’がずれていても、パターンP1,P2’同士を正確に位置合わせすることが可能となる。この場合には、印刷条件の違いや、経時変化にも影響が少ない位置合わせ印刷を行うことが可能となる。
【0032】
図11,図12はオフセット値を用いた印刷方法のフローチャート図である。
初回の印刷(図11)では、ずれ量の算出(ステップS4)の後にオフセット値の加算処理(ステップS7)を追加し、2回目以降の印刷(図12)では、ずれ量の算出(ステップS13)の後にオフセット値の加算処理(ステップS19)を追加したものである。
【0033】
−第3実施例−
第1,第2実施例では、印刷ステージ4で印刷した後、フィードバックステージ9で印刷ずれ量を求めてフィードバックしたが、第3実施例ではフィードバックステージを省略し、印刷ステージ4で印刷ずれ量を求めて次回の印刷にフィードバックしたものである。
第3実施例における印刷装置のシステム図は省略するが、図1に示す印刷装置からフィードバックステージ9、照明10、カメラ11などを省いたものである。そして、印刷ステージ5に設けられたカメラ5で、印刷された位置認識マークM2’と位置合わせマークM1とのずれ量を画像処理によって計測する。
【0034】
図13,図14は第3実施例における印刷方法のフローチャート図である。
図13に示す初回の印刷では、ステップS1〜ステップS6までの処理は図7と同様である。印刷後、直ちに連続体シート1を搬送せずに、連続体シート1に予め設けられている位置合わせマークM1と印刷された位置認識マークM2’とをカメラ5を用いて画像認識し(ステップS8)、両マークM1,M2’のずれ量(B’−A)を算出する(ステップS9)。算出したずれ量(B’−A)は次回の印刷のためにメモリに格納しておく。
【0035】
図14に示す2回目以降の印刷では、図8と同一の処理には同一符号を付して重複説明を省略する。
ステップS13で位置合わせマークM1と位置認識マークM2とのずれ量(B−A)を算出するとともに、メモリから前回のマークM1,M2’のずれ量(B’−A)を読み出し(ステップS20)、これらずれ量を用いて印刷版7の最適位置を決定する(ステップS16)。この場合も、ずれ量(B’−A)は前回データのみを参照してもよいし、設定回数毎の平均値(累積平均)で求めてもよい。その後、印刷版7を位置補正し(ステップS17)、印刷を行なった後(ステップS18)、直ちに連続体シート1を搬送せずに、連続体シート1の位置合わせマークM1と印刷された位置認識マークM2’とをカメラ5を用いて画像認識し(ステップS21)、両マークM1,M2’のずれ量(B’−A)を算出する(ステップS22)。算出したずれ量(B’−A)で、既にメモリに格納されているずれ量を更新してもよいし、所定回数のデータの累積平均を求めてもよい。
【0036】
第3実施例では、フィードバックステージを省略し、印刷ステージ4のみでずれ量を求めるので、印刷装置を小型化できるという利点がある。但し、印刷後直ちに搬送できず、位置合わせマークM1と印刷された位置認識マークM2’とのずれ量を画像認識により計測しなければならないので、第1実施例に比べて処理速度は若干遅くなる可能性がある。
【0037】
上記実施例では、連続体シートの位置合わせマークM1として、第1のパターンP1と同時に印刷されたものとしたが、これに限るものではなく、例えばインクジェットプリンタで印刷されたマークや、キャリアフィルムのフィルム面を所定の大きさに穿孔したスルーホールであってもよい。したがって、マークM1はパターンP1とは別個に設けられたものでもよい。
本発明の連続体シートとしては、キャリアフィルムの上にセラミック層をシート成形したものに限らず、例えばフィルムプリント基板などの樹脂フィルムであってもよい。
本発明の印刷方法は、第1のパターンが形成された連続体シート上に第2のパターンを印刷するものに限らず、例えば予めビアホールが形成されたシートの上に導電ペーストなどの充填材を充填する場合にも用いることができる。
上記実施例では、印刷ステージにカメラを配置した例を示したが、カメラを印刷毎に印刷ステージと印刷版との間に出し入れしてもよい。
【0038】
また、印刷ステージ4における画像認識時やフィードバックステージ9における画像認識時に、位置合わせ情報と同時に次のような情報を検出し、それに応じて装置を緊急停止させるようにしてもよい。
(1)印刷版の画像処理時に、印刷版の異常検出を行なう。
(2)印刷ステージでの連続体シートの画像処理時に、予め印刷されたパターンP1のにじみ、かすれ、印刷版の異常および搬送異常を検出する。
(3)フィードバックステージでの画像処理時に、印刷版で印刷されたパターンP2’のにじみ、かすれ、印刷版の異常および搬送異常を検出する。
【0039】
上記実施例では、図15,図16に示されるように、キャリアフィルムの表面に形成されたセラミック層の上に、電極パターンと位置合わせマークとが先に印刷され、セラミックペーストによって電極パターンによる段差を埋めるためのパターンと位置認識マークとが後でスクリーン印刷されるものについて説明したが、これとは逆に、セラミック層の上に電極段差を埋めるためのセラミックペーストによるパターンと位置合わせマークとが先に印刷され、所定の電極パターンと位置認識マークとが後で印刷されるものでもよい。
この場合も同様の効果を得ることができる。
【0040】
上記実施例では、連続体シートが印刷テーブルに吸着保持される度に発生するずれ量を測定するために、印刷版の位置認識マークM2を画像認識により計測したが、印刷版のX,Y,θ方向の位置は常に一定であると仮定すれば、画像認識により計測することなく、予め設定された値であってもよい。この場合には、印刷版の位置認識マークM2の画像認識による計測は不要となる。
【0041】
【発明の効果】
以上の説明で明らかなように、請求項1に係る発明によれば、連続体シートを吸着保持する印刷ステージではなく、印刷版を位置調整するので、連続体シートに無理な引張応力を加えずに位置合わせできる。そのため、連続体シートが薄層のセラミック層を形成したものであっても、皺や歪みを発生させず、高精度な印刷が可能となる。
また、フィードバックステージにおいて検出される印刷ずれ量をフィードバックして、印刷版の位置を調整するので、印刷版のスクリーンの経時的な変化による印刷ずれを解消できる。
さらに、印刷ステージにおいて連続体シートを吸着保持する度に発生するずれ量に応じて印刷版を位置調整するので、搬送ずれに基づく印刷ずれを解消できるとともに、印刷ステージではなく印刷版を位置調整するので、連続体シートに無理な引張応力かからない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る印刷装置の一例のシステム図である。
【図2】連続体シートの印刷前の平面図である。
【図3】印刷ステージの一部断面図である。
【図4】印刷版の底面図である。
【図5】位置合わせマークと位置認識マークの一例を示す図である。
【図6】位置合わせマークと位置認識マークの他の例を示す図である。
【図7】本発明の第1実施例における初回の印刷フロー図である。
【図8】本発明の第1実施例における2回目以降の印刷フロー図である。
【図9】連続体シートの印刷後の平面図である。
【図10】本発明の第2実施例における印刷パターン図である。
【図11】本発明の第2実施例における初回の印刷フロー図である。
【図12】本発明の第2実施例における2回目以降の印刷フロー図である。
【図13】本発明の第3実施例における初回の印刷フロー図である。
【図14】本発明の第3実施例における2回目以降の印刷フロー図である。
【図15】(イ)は印刷前の連続体シートの平面図、(ロ)は印刷後の連続体シートの平面図である。
【図16】図15のC−C線断面図である。
【符号の説明】
1 連続体シート
4 印刷ステージ
5 カメラ
7 印刷版
9 フィードバックステージ
11 カメラ
20 制御装置(CPU)
21 画像処理装置
Claims (5)
- 透明または半透明のキャリアフィルムの表面にセラミック層が薄膜状に形成され、上記セラミック層の上に予め位置合わせマークM1が設けられた連続体シートにスクリーン印刷を行う印刷方法において、
所定の印刷パターンと上記位置合わせマークM1に対応する位置認識マークM2とを持ち、印刷ステージの上方に配置された印刷版を準備する工程と、
上記印刷版の位置認識マークM2を、上記印刷ステージに設けられた固定カメラによって画像処理により位置計測する工程と、
上記印刷ステージ上に上記連続体シートを吸引保持させる工程と、
上記印刷ステージ上に吸引保持された上記連続体シートの上記位置合わせマークM1を、上記固定カメラによって連続体シートの裏側から連続体シートを透過して画像処理により位置計測する工程と、
上記位置合わせマークM1と位置認識マークM2とのずれ量(B−A)を求める工程と、
上記印刷ステージ上に吸引保持された上記連続体シート上に印刷版によって所定のパターンをスクリーン印刷すると同時に、印刷版の位置認識マークM2を連続体シートにスクリーン印刷する工程と、
上記連続体シートを印刷ステージからフィードバックステージへ搬送し、フィードバックステージ上に吸引保持させる工程と、
上記フィードバックステージ上で上記連続体シートに印刷された位置認識マークM2’を画像処理により位置計測する工程と、
上記位置合わせマークM1と印刷された位置認識マークM2’とのずれ量(B’−A)を求める工程と、
求めたずれ量(B−A)と(B’−A)に応じて印刷版の位置をX,Y,θ方向にフィードバック制御する工程と、を有することを特徴とする連続体シートの印刷方法。 - 上記連続体シートは、透明または半透明のキャリアフィルムの表面にセラミック層が薄膜状に形成され、その上に予め電極パターンと位置合わせマークM1とが印刷されたものであり、
上記印刷版は、セラミック層の表面にセラミックペーストによって上記電極パターンによる段差を埋めるためのパターンと位置認識マークM2’とを同時にスクリーン印刷するものであることを特徴とする請求項1に記載の連続体シートの印刷方法。 - 上記連続体シートは、透明または半透明のキャリアフィルムの表面にセラミック層が薄膜状に形成され、その上に予めセラミックペーストによって所定のパターンと位置合わせマークM1とが印刷されたものであり、
上記印刷版は、セラミック層の表面の上記セラミックペーストによるパターンが印刷されていない領域に電極ペーストによって所定の電極パターンと位置認識マークM2’とを同時にスクリーン印刷するものであることを特徴とする請求項1に記載の連続体シートの印刷方法。 - 上記フィードバック制御工程におけるフィードバックデータを印刷毎または設定回数毎の演算値で与えることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の連続体シートの印刷方法。
- 透明または半透明のキャリアフィルムの表面にセラミック層が薄膜状に形成され、上記セラミック層の上に予め位置合わせマークM1が設けられた連続体シートにスクリーン印刷を行う印刷装置において、
上記連続体シートを吸引保持する印刷ステージと、
上記連続体シートを吸引保持するフィードバックステージと、
上記連続体シートを印刷ステージからフィードバックステージに向かって搬送する搬送手段と、
連続体シートの位置合わせマークM1に対応する位置認識マークM2を持ち、上記印刷ステージ上に吸引保持された連続体シート上に所定のパターンをスクリーン印刷すると同時に、位置認識マークM2をスクリーン印刷する印刷版と、
上記印刷版を保持し、X,Y,θ方向に位置調整可能な印刷ヘッドと、
上記印刷ステージに設けられ、上記印刷版の位置認識マークM2を画像処理により位置計測するとともに、上記印刷ステージ上に吸引保持された連続体シートの位置合わせマークM1を連続体シートの裏側から連続体シートを透過して画像処理により位置計測する固定カメラと、
上記印刷版の位置認識マークM2を画像処理により位置計測する手段と、
上記位置認識マークM2と連続体シートの位置合わせマークM1とのずれ量(B−A)を求める手段と、
上記フィードバックステージ上に吸引保持された連続体シートに印刷された位置認識マークM2’を画像処理により位置計測する手段と、
上記位置合わせマークM1と印刷された位置認識マークM2’とのずれ量(B’−A)を求める手段と、
求めたずれ量(B−A)と(B’−A)に応じて印刷版を保持している印刷ヘッドの位置をX,Y,θ方向にフィードバック制御する手段と、を有することを特徴とする連続体シートの印刷装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001390904A JP3705202B2 (ja) | 2001-12-25 | 2001-12-25 | 連続体シートの印刷方法および印刷装置 |
CN 02159624 CN1257798C (zh) | 2001-12-25 | 2002-12-25 | 连续体薄片的印刷方法及印刷装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001390904A JP3705202B2 (ja) | 2001-12-25 | 2001-12-25 | 連続体シートの印刷方法および印刷装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003191432A JP2003191432A (ja) | 2003-07-08 |
JP3705202B2 true JP3705202B2 (ja) | 2005-10-12 |
Family
ID=19188458
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001390904A Expired - Fee Related JP3705202B2 (ja) | 2001-12-25 | 2001-12-25 | 連続体シートの印刷方法および印刷装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3705202B2 (ja) |
CN (1) | CN1257798C (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101181196B1 (ko) | 2010-03-25 | 2012-09-18 | 엘지이노텍 주식회사 | 유연성 필름용 인쇄 장치 |
KR20200078923A (ko) * | 2018-12-24 | 2020-07-02 | 한국기계연구원 | 정밀 얼라인이 가능한 롤투롤 인쇄 유닛 및 이를 이용한 롤투롤 인쇄 방법 |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006075669A1 (ja) * | 2005-01-17 | 2006-07-20 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | スクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法 |
JP4857720B2 (ja) * | 2005-11-11 | 2012-01-18 | パナソニック株式会社 | スクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法 |
KR100745512B1 (ko) | 2006-05-02 | 2007-08-02 | 삼성테크윈 주식회사 | 플렉시블 인쇄회로기판의 인쇄방법 |
JP4356769B2 (ja) | 2007-05-22 | 2009-11-04 | パナソニック株式会社 | スクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法 |
IT1392992B1 (it) * | 2009-02-23 | 2012-04-02 | Applied Materials Inc | Procedimento e apparecchiatura per la stampa serigrafica di uno schema a strato multiplo |
IT1392991B1 (it) * | 2009-02-23 | 2012-04-02 | Applied Materials Inc | Procedimento di stampa serigrafica autoregolantesi |
FR2943947B1 (fr) * | 2009-04-06 | 2011-12-16 | Commissariat Energie Atomique | Procede d'impression par serigraphie d'un conducteur en deux couches superposees |
CN102463735A (zh) * | 2010-11-15 | 2012-05-23 | 福建捷联电子有限公司 | 用于印刷导光板上光学图像的印版及其印刷校正方法 |
JP2011124588A (ja) * | 2011-01-14 | 2011-06-23 | Ngk Insulators Ltd | 圧電/電歪デバイスの製造方法 |
KR101456323B1 (ko) | 2011-05-20 | 2014-11-03 | 주식회사 윌리언스 | 인몰드용 인쇄필름 제조장치 |
JP5793457B2 (ja) * | 2012-03-26 | 2015-10-14 | 株式会社Screenホールディングス | 転写方法および転写装置 |
CN102700237B (zh) * | 2012-05-09 | 2015-08-26 | 华南理工大学 | 一种具有双平台的全自动视觉硅片印刷装置 |
US9216544B2 (en) * | 2012-12-21 | 2015-12-22 | Stratasys, Inc. | Automated additive manufacturing system for printing three-dimensional parts, printing farm thereof, and method of use thereof |
JP2015047715A (ja) * | 2013-08-30 | 2015-03-16 | 株式会社桜井グラフィックシステムズ | スクリーン印刷機の印刷位置調整装置 |
CN104354453B (zh) * | 2014-10-21 | 2017-02-08 | 苏州迈为科技股份有限公司 | 一种太阳能电池片的高效印刷方法及其装置 |
CN106739442B (zh) * | 2017-01-06 | 2019-07-30 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种丝网印刷工艺的对位方法和对位装置 |
CN111204144A (zh) * | 2019-12-23 | 2020-05-29 | 江西沃格光电股份有限公司深圳分公司 | 印刷方法和装置、电子设备、计算机可读存储介质 |
WO2022064625A1 (ja) * | 2020-09-25 | 2022-03-31 | 株式会社Fuji | 演算装置、および演算方法 |
-
2001
- 2001-12-25 JP JP2001390904A patent/JP3705202B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2002
- 2002-12-25 CN CN 02159624 patent/CN1257798C/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101181196B1 (ko) | 2010-03-25 | 2012-09-18 | 엘지이노텍 주식회사 | 유연성 필름용 인쇄 장치 |
KR20200078923A (ko) * | 2018-12-24 | 2020-07-02 | 한국기계연구원 | 정밀 얼라인이 가능한 롤투롤 인쇄 유닛 및 이를 이용한 롤투롤 인쇄 방법 |
KR102182378B1 (ko) * | 2018-12-24 | 2020-11-24 | 한국기계연구원 | 정밀 얼라인이 가능한 롤투롤 인쇄 유닛 및 이를 이용한 롤투롤 인쇄 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1429707A (zh) | 2003-07-16 |
CN1257798C (zh) | 2006-05-31 |
JP2003191432A (ja) | 2003-07-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3705202B2 (ja) | 連続体シートの印刷方法および印刷装置 | |
JP4777682B2 (ja) | スキャン露光装置 | |
KR101136444B1 (ko) | 노광 방법 및 노광 장치 | |
US7739950B2 (en) | Method for manufacturing ceramic electronic component and gravure printing method | |
JP2007310209A (ja) | 露光装置 | |
JP2006259715A (ja) | 描画方法、描画装置、描画システムおよび補正方法 | |
JP2006287062A (ja) | 実装基板製造装置 | |
JP2006292919A (ja) | 露光方法および露光装置 | |
WO2017130746A1 (ja) | 露光装置及び露光方法 | |
JPH0376195A (ja) | 半田印刷装置の位置決め機構 | |
JP2005132017A (ja) | 追刷り印刷の位置合わせ方法及び追刷り印刷装置 | |
JP7144523B2 (ja) | 実装ライン | |
TW201702758A (zh) | 無罩曝光裝置及曝光方法 | |
JP2004136569A (ja) | スクリーン印刷装置のアライメント方法 | |
JP2008307719A (ja) | スクリーン印刷機及び印刷位置補正方法 | |
JP2011073414A (ja) | ロール形態の被印刷物を印刷する印刷機及びこれを用いた印刷方法 | |
JP2000211106A (ja) | スクリ―ン印刷におけるスクリ―ンマスクの位置合わせ方法 | |
JP2003200384A (ja) | ウエブ加工装置 | |
JP4409256B2 (ja) | カラーフィルタ製造装置、及びカラーフィルタ製造方法 | |
JP6685093B2 (ja) | 可撓性基板の伸縮制御システム及び伸縮制御方法 | |
KR102182378B1 (ko) | 정밀 얼라인이 가능한 롤투롤 인쇄 유닛 및 이를 이용한 롤투롤 인쇄 방법 | |
JP6349434B1 (ja) | 印刷方法及び印刷機 | |
JP4921082B2 (ja) | 基板の位置決め方法 | |
JP4126889B2 (ja) | クリーム半田印刷機 | |
JP2004252313A (ja) | 露光装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040910 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041005 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041202 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050301 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050407 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050705 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050718 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3705202 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080805 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090805 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090805 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100805 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100805 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110805 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120805 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120805 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130805 Year of fee payment: 8 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |