CN104249547B - 位置检测装置、基板制造装置、位置检测方法及基板的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能够根据拍摄部所拍摄的图像中的对准标记的位置，更准确地计算实际的对准标记的位置的技术。位置检测装置具有拍摄部、存储部、控制部。上述拍摄部能够在与基准面相对的状态下沿所述基准面移动，对位于所述基准面上的对准标记进行拍摄。在上述存储部中，记录有换算信息，该换算信息构成为，与所述拍摄部的位置相对应而确定由所述拍摄部拍摄的图像的倍率。上述控制部使用在所述存储部中记录的所述换算信息，根据所述拍摄部的位置以及所述图像中的所述对准标记的位置，对所述基准面中的所述对准标记的位置进行计算。

Description

位置检测装置、基板制造装置、位置检测方法及基板的制造 方法

技术领域

本技术涉及一种使用可移动的拍摄部准确地检测对准标记的位置的技术。

背景技术

当前，向基板上印刷膏状焊料的丝网印刷装置被广泛所知(例如，参照专利文献1)。

在丝网印刷装置中，使用设置有图案孔的丝网，在丝网的上侧配置刮板，在丝网的下侧配置基板。这种丝网印刷装置构成为，如果在供给有膏状焊料的丝网上使刮板滑动，则膏状焊料经由图案孔被印刷在基板上。

已知一种丝网印刷装置，其使用由照相机拍摄丝网以及基板的对准标记而得到的图像，对丝网和基板的相对位置进行调整，以将膏状焊料向基板的准确位置上印刷。

专利文献1：日本特开2013－095051号公报

在利用照相机对丝网以及基板的对准标记进行拍摄的丝网印刷装置中，根据照相机所拍摄的图像中的对准标记的位置，对实际的丝网及基板上的对准标记的位置进行计算。因此，在这种丝网印刷装置中，照相机所拍摄的图像的倍率的设定值有误差的情况下，丝网和基板的相对位置的调整也产生误差。

发明内容

鉴于上述情况，本技术的目的在于，提供一种能够根据拍摄部所拍摄的图像中的对准标记的位置，更准确地计算实际的对准标记的位置的技术。

为了实现上述目的，本技术的一个方式所涉及的位置检测装置具有拍摄部、存储部、控制部。

上述拍摄部能够在与基准面相对的状态下沿所述基准面移动，对位于所述基准面上的对准标记进行拍摄。

在上述存储部中，记录有换算信息，该换算信息构成为，与所述拍摄部的位置相对应而确定由所述拍摄部拍摄的图像的倍率。

上述控制部使用在所述存储部中记录的所述换算信息，根据所述拍摄部的位置以及所述图像中的所述对准标记的位置，对所述基准面中的所述对准标记的位置进行计算。

根据该结构，上述位置检测装置能够使用与拍摄部的位置对应的倍率，根据拍摄部所拍摄的图像中的对准标记的位置，计算基准面中的对准标记的位置。因此，由于抑制由拍摄部的位置引起的图像的倍率误差，所以上述位置检测装置能够更准确地检测出对准标记的位置。

上述换算信息也可以包含由所述拍摄部在多个位置处分别拍摄的图像的倍率的实际测量值。

根据该结构，上述位置检测装置与仅设定有图像的倍率的代表值的位置检测装置相比，能够更准确地检测出对准标记的位置。

所述多个位置沿所述基准面规则地排列。

根据该结构，上述位置检测装置在拍摄部位于沿基准面的任意位置的情况下，都可以更准确地检测出对准标记的位置。

所述控制部也可以使用与在所述多个位置中距所述拍摄部的位置最近的位置对应的所述实际测量值，对所述对准标记的位置进行计算。

另外，所述控制部也可以使用根据下述所述实际测量值计算出的值，对所述对准标记的位置进行计算，该实际测量值与在所述多个位置中接近所述拍摄部的位置的大于或等于2个的位置对应。

根据上述结构，上述位置检测装置能够更准确地检测出对准标记的位置。

上述位置检测装置也可以还具有保持部，该保持部对具有设置 有所述对准标记的主面的基板进行保持，并使所述主面的位置与所述基准面对齐。

根据该结构，上述位置检测装置能够准确地检测出基板的位置。

本技术的一个方式所涉及的基板制造装置具有保持部、处理部、拍摄部、存储部、控制部。

上述保持部对具有设置有对准标记的主面的基板进行保持，并使所述主面的位置与基准面对齐。

上述处理部对被保持在所述保持部上的所述基板进行处理。

上述拍摄部能够在与所述基准面相对的状态下沿所述基准面移动，对所述对准标记进行拍摄。

在上述存储部中，记录有换算信息，该换算信息构成为，与所述拍摄部的位置相对应而确定由所述拍摄部拍摄的图像的倍率。

上述控制部使用所述存储部中记录的所述换算信息，根据所述拍摄部的位置以及所述图像中的所述对准标记的位置，对所述基准面中的所述对准标记的位置进行计算，在基于计算出的位置而识别出所述基板的位置后，使所述处理部执行对所述基板的处理。

根据该结构，上述基板制造装置能够使用与拍摄部的位置对应的倍率，根据拍摄部所拍摄的图像中的对准标记的位置，计算基板的对准标记的位置。因此，抑制由于拍摄部的位置引起的图像的倍率误差，因此，上述位置检测装置能够更准确地调整处理部和基板的相对位置。

本技术的一个方式所涉及的位置检测方法，包含下述步骤，即，利用能够在与基准面相对的状态下沿所述基准面移动的拍摄部，对位于所述基准面上的对准标记进行拍摄。上述位置检测方法包含下述步骤，即，与所述拍摄部的位置相对应而确定由所述拍摄部拍摄的图像的倍率。

上述位置检测方法包含下述步骤，即，使用所确定的倍率，根据所述拍摄部的位置以及所述图像中的所述对准标记的位置，对所述基准面中的所述对准标记的位置进行计算。

根据该结构，在上述位置检测方法中，能够使用与拍摄部的位 置对应的倍率，根据拍摄部所拍摄的图像中的对准标记的位置，计算基准面中的对准标记的位置。因此，抑制由于拍摄部的位置引起的图像的倍率误差，因此，在上述位置检测方法中，能够更准确地检测出对准标记的位置。

本技术的一个方式所涉及的基板的制造方法包含下述步骤，即，配置具有设置有对准标记的主面的基板，使得所述主面的位置与基准面对齐。

上述基板的制造方法包含下述步骤，即，利用能够在与所述基准面相对的状态下沿所述基准面移动的拍摄部，对配置于所述基准面上的所述主面的所述对准标记进行拍摄。

上述基板的制造方法包含下述步骤，即，与所述拍摄部的位置相对应而确定由所述拍摄部拍摄的图像的倍率。

上述基板的制造方法包含下述步骤，即，使用所确定的倍率，根据所述拍摄部的位置以及所述图像中的所述对准标记的位置，对所述基准面中的所述对准标记的位置进行计算，基于计算出的位置，对所述基板的位置进行识别。

上述基板的制造方法包含下述步骤，即，在识别出所述基板的位置后，执行对所述基板的处理。

根据该结构，在上述基板的制造方法中，能够相对于基板的更准确的位置执行处理。

本技术的一个方式所涉及的位置检测方法包含下述步骤，即，利用能够在与基准面相对的状态下沿所述基准面移动的拍摄部，对位于所述基准面上的对准标记进行第1拍摄。

上述位置检测方法包含下述步骤，即，根据通过所述第1拍摄得到的第1图像的倍率、所述第1拍摄时的所述拍摄部的位置、以及所述第1图像中的所述对准标记的位置，对所述基准面中的所述对准标记的第1位置进行计算。上述位置检测方法包含下述步骤，即，利用所述拍摄部，对所述第1位置进行第2拍摄。

上述位置检测方法包含下述步骤，即，根据通过所述第2拍摄得到的第2图像的倍率、所述第2拍摄中的所述拍摄部的位置、以及 所述第2图像中的所述对准标记的位置，对所述基准面中的所述对准标记的第2位置进行计算。

根据该结构，在上述位置检测方法中，能够使用由拍摄部2次拍摄对准标记的图像，准确地计算基准面中的对准标记的位置。因此，在上述位置检测方法中，能够更准确地检测出对准标记的位置。

发明的效果

如上述所示，根据本技术，可以提供一种能够根据拍摄部所拍摄的图像中的对准标记的位置，更准确地计算实际的对准标记的位置的技术。

附图说明

图1是表示本技术的一个实施方式所涉及的丝网印刷装置的斜视图。

图2是能够安装在图1所示的丝网印刷装置上的丝网的俯视图。

图3A是图1所示的丝网印刷装置的局部示意图。

图3B是图1所示的丝网印刷装置的局部示意图。

图4是表示图1所示的丝网印刷装置的结构的框图。

图5是用于说明图1所示的丝网印刷装置的动作的斜视图。

图6是用于说明图1所示的丝网印刷装置的动作的斜视图。

图7是与本技术关联的校准模具的俯视图。

图8是用于说明1个像素的大小的测定方法的示意图。

图9A是表示用于说明1个像素的大小的测定方法的图像的图。

图9B是表示用于说明1个像素的大小的测定方法的图像的图。

图9C是表示用于说明1个像素的大小的测定方法的图像的图。

图10是本技术所涉及的校准模具的俯视图。

图11是表示设置有本技术所涉及的校准模具的状态的示意图。

图12是表示拍摄部所拍摄的图像的一个例子的图。

标号的说明

1…控制部

2…存储部

8…基板

9…对准标记

10…丝网

14…对准标记

62…支撑部(保持部)

80…拍摄部

100…丝网印刷装置

B…基准面

F…校准模具

F1…对准标记

具体实施方式

下面，参照附图，对本技术所涉及的实施方式进行说明。此外，在附图中，适当示出彼此正交的X轴、Y轴以及Z轴。X轴、Y轴以及Z轴在全部附图中是共用的。Z轴向重力方向的上下延伸。

[丝网印刷装置100的整体结构以及各部分的结构]

图1是表示本技术所涉及的丝网印刷装置100的斜视图。图2是表示能够安装在丝网印刷装置100上的丝网10的一个例子的俯视图。图3A及图3B是丝网印刷装置100的局部示意图。图4是表示丝网印刷装置100的结构的框图。

在本说明书中说明的各图中，有时为了更容易观察地表示附图而将丝网印刷装置100所具有的各部分的大小等表示为与实际不同的大小。特别地，在图1中，为了更容易观察地表示附图，将丝网10侧(上侧)和输送部70侧(下侧)之间的距离表示为与实际相比更大(后述的图5也相同)。

这些图所示的丝网印刷装置100是向基板8上印刷膏状焊料的丝网印刷装置100。丝网印刷装置100配置在用于制造电路基板的安装线内，构成安装线的一部分。

在丝网印刷装置100的上游侧，例如，配置向丝网印刷装置100中放入基板8的基板放入装置。另一方面，在丝网印刷装置100的下游侧配置印刷检查装置、安装装置等。

印刷检查装置从丝网印刷装置100接受印刷有膏状焊料的基板8(印刷物)，对膏状焊料的印刷状态进行检查。印刷检查装置将判断为印刷状态良好的基板8，向配置于下游侧的安装装置传递。安装装置从印刷检查装置接受判断为印刷状态良好的基板8，向该基板8上安装电子部件。

如图1的上侧所示，本实施方式所涉及的丝网印刷装置100具有：丝网10；丝网移动机构20，其用于使丝网10移动；刮板部50；以及焊料供给部55(参照图4)，其向丝网10上供给膏状焊料。

如图1的下侧所示，丝网印刷装置100具有：升降基座60；以及升降机构61，其使升降基座60在上下方向上移动。另外，丝网印刷装置100具有：输送部70，其对基板8进行输送；以及作为保持部的支撑部62(参照图3A、图3B、图4)，其从下方对基板8进行保持。

另外，丝网印刷装置100具有：拍摄部80；拍摄部移动机构85，其使拍摄部80移动；清洁部90，其对丝网10的下表面进行清洁；以及清洁部移动机构95，其使清洁部90移动。

如图4所示，丝网印刷装置100还具有控制部1、存储部2、显示部3、输入部4、通信部5等。

如图2所示，丝网10具有：丝网主体11，其具有矩形形状；以及丝网框体12，其沿丝网主体11的四边设置，向丝网主体11施加张力。丝网主体11例如由不锈钢等金属构成。

丝网主体11在中央的区域具有与印刷图案对应的多个图案孔13。另外，在丝网主体11的与基板8相对的部分的角部附近，设置有2个对准标记14。

在本实施方式中，由于在丝网10的下侧配置有拍摄部80，所以对准标记14朝向丝网主体11的下侧设置。此外，在丝网10的上侧配置有拍摄部80的情况下，对准标记14朝向丝网主体11的上侧设 置。在附图所示的例子中，对准标记14的数量为2个，但对准标记14的数量只要是大于或等于2个即可。

丝网10能够相对于丝网印刷装置100更换，并与基板8的种类对应地更换。在本实施方式中，准备与基板8的种类对应的多种丝网10。上述各种丝网10的图案孔13的数量、形状及尺寸不同。另外，有时丝网10整体的尺寸也不同(例如，L尺寸、M尺寸等)。

如图1的上侧所示，利用丝网移动机构20可移动地保持丝网10。丝网移动机构20使丝网10向XYθ方向移动，以使丝网10与基板8对位。

丝网移动机构20具有：2个丝网保持部件21，其对丝网10进行保持；工作台25，其从上方支撑2个丝网保持部件21；以及工作台驱动部30，其用于使工作台25向XYθ方向移动。在图1中，为了容易观察地表示附图，以点划线表示工作台25。

丝网保持部件21例如由金属板等构成，可拆卸地保持丝网10。丝网保持部件21在X轴方向上对称地形成，配置于在X轴方向上从两侧夹入丝网10的位置处。丝网10能够在丝网保持部件21上沿Y轴方向滑动。

丝网保持部件21分别具有：侧板22；下板23，其与侧板22垂直地安装在侧板22下侧的位置；以及上板24，其与侧板22垂直地设置在侧板22上侧的位置。

在图1中省略了图示，但丝网印刷装置100具有夹紧部件，其用于在丝网保持部件21上固定丝网10。夹紧部件从上下方向夹入并夹紧丝网框体12和丝网保持部件21的下板23。夹紧部件具有气缸等机构，能够通过气缸的驱动而自动地夹紧丝网框体12以及丝网保持部件21。

在丝网保持部件21和工作台25之间，设置用于对2个丝网保持部件21之间的距离进行调整的宽度调整机构26。宽度调整机构26包含4个导轨27、与这4个导轨27卡合的4个滑动部件28。4个导轨27沿X轴方向固定在工作台25的下表面侧。4个滑动部件28固定在丝网保持部件21的上板24上，能够由导轨引导而沿X轴方向 移动。

宽度调整机构26具有未图示的滚珠丝杠机构等驱动系统。滑动部件28通过该驱动系统的驱动而沿X轴方向移动。由此，能够自动地调整丝网保持部件21之间的距离。例如，在将当前已安装的丝网10更换为整体尺寸与该丝网10不同的丝网10的情况下，对丝网保持部件21之间的X轴方向的距离进行调整。

工作台25能够从上方支撑丝网保持部件21。在工作台25的中央，设置用于确保刮板部50的配置空间的开口。

刮板部50具有2个刮板机构51，这2个刮板机构51设置为在Y轴方向上对称。另外，刮板部50包含用于使2个刮板机构51一体地沿Y轴方向移动的Y轴移动机构、及用于使刮板机构51向上下方向移动的上下移动机构等。

2个刮板机构51分别在下侧的位置具有刮板52。使刮板52在供给有膏状焊料的丝网10上朝向Y轴方向滑动，经由设置在丝网10上的图案孔13，向配置于丝网10下侧的基板8上印刷膏状焊料。

在2个刮板机构51中，在正使一个刮板机构51在丝网10上滑动时，另一个刮板机构51配置在丝网10的上方。此时，该另一个刮板机构51不与丝网10抵接。在丝网10上滑动的刮板机构51(即，进行印刷的刮板机构51)被交替地切换。

在图1中省略了图示，但使2个刮板机构51向Y轴方向移动的Y轴移动机构，直立设置在工作台25上。因此，与利用工作台驱动部30使工作台25及丝网10向XYθ方向的移动相伴，刮板部50也向XYθ方向移动。

用于使丝网10向XYθ方向移动的作为驱动源的工作台驱动部30，包含：2个Y轴驱动机构31；1个X轴驱动机构32；以及1个联动机构33。上述4个机构31、32、33配置在工作台25的4个角部的下侧附近。

2个Y轴驱动机构31配置在工作台25的4个角部中的前侧2个角部附近。X轴驱动机构32配置在工作台25的4个角部中的左后侧的角部附近。联动机构33配置在工作台25的4个角部中的右后侧 的角部附近。

此外，配置上述4个机构的位置可以适当变更。例如，也可以将2个Y轴驱动机构31配置在后侧，将X轴驱动机构32以及联动机构33配置在前侧。或者，也可以将X轴驱动机构32和联动机构33的位置颠倒。

4个机构31、32、33分别固定在未图示的支柱等上，在固定于支柱上的状态下，从下侧支撑工作台25。Y轴驱动机构31在从下侧支撑工作台25的同时，通过其驱动而使工作台25向Y轴方向移动。X轴驱动机构32在从下侧支撑工作台25的同时，通过其驱动而使工作台25向X轴方向移动。另外，Y轴驱动机构31以及X轴驱动机构32，通过这些驱动机构的联动，能够使工作台25绕Z轴(θ方向)旋转。

此外，联动机构33不具有用于使工作台25移动的驱动源。联动机构33在从下侧支撑工作台25的同时，与通过Y轴驱动机构31以及X轴驱动机构32实现的对工作台25的驱动相联动而动作。

如图1的下侧所示，输送部70包含第1引导部71、第2引导部72、输送带73、以及引导部移动机构75(参照图4)。第1引导部71以及第2引导部72沿X轴方向(输送方向)延伸，沿X轴方向对基板进行引导。输送带73分别设置为，在Y轴方向上与第1引导部71以及第2引导部72相对。

基板8配置在输送带73上，通过输送带73的驱动，在被第1引导部71以及第2引导部72引导的同时，沿X轴方向移动。输送部70通过输送带73的驱动，能够搬入基板8，或将印刷结束后的基板8向其他装置传递。

在输送部70上设置停止机构，该停止机构用于使在X轴方向上输送的基板8，在对应于每个基板8的种类而确定的基准位置处停止。基板8的基准位置例如设定在输送部70的中央部附近。作为停止机构，例如可以举出以机械方式使基板8的移动停止的机构、利用传感器检测基板8的位置的机构。

以机械方式使基板8的移动停止的停止机构，例如由止动器构 成。该止动器构成为，从第1引导部71以及第2引导部72向Y轴方向凸出，能够在限制基板8移动的限制位置和容许基板8移动的释放位置之间移动。

通过利用传感器检测基板8的位置而使基板8停止的停止机构，例如具有用于检测基板8的光传感器(不具有止动器)。该停止机构利用光传感器对搬入的基板8的位置进行检测，对输送带73的驱动进行控制，以使基板8在基准位置处停止。

图3A及图3B是表示位于基准位置的基板8、输送部70、以及拍摄部80的示意图。

如图3A及图3B所示，输送部70能够使第2引导部72向Y轴方向移动，第1引导部71构成为被固定而不向Y轴方向移动。由此，能够对引导部71、72之间的距离进行变更，例如，如图3B所示，能够应对与基板8相比Y轴方向的宽度更宽的基板8a。

此外，图3A所示的状态下的基板8的对准标记9的位置和图3B所示的状态下的基板8a的对准标记9a的位置大幅不同。如上述所示，随着基板的种类不同，对准标记配置在不同的位置处。在丝网印刷装置100中，与用户输入的关于基板的信息相对应，由控制部对位于基准位置的基板的对准标记的位置进行识别。

此外，输送部70只要以下述方式构成即可，第1引导部71和第2引导部72中的至少一个引导部能够在Y轴方向上移动，以对引导部71、72之间的距离进行变更。即，输送部70也可以构成为，第1引导部和第2引导部这两者都能够在Y轴方向上移动，也可以构成为仅能够使第1引导部在Y轴方向上移动。

在基准位置处，配置从下侧保持基板8的支撑部62。支撑部62从下侧支撑通过输送带73的驱动而输送至基准位置的基板8。支撑部62将基板8从输送带73抬起，使基板8的上表面和基准面B一致。在该状态下，从Y轴方向的两侧利用引导部71、72夹紧基板8。由此，对基板8进行定位。

在丝网印刷装置100中，基准面B与基板8的种类无关而设定在固定的位置处。因此，在丝网印刷装置100中，与基板8的厚度信 息相对应，对利用支撑部62抬起基板8的高度进行变更，使基板8的上表面与基准面B一致。例如，如图3B所示，如果是与基板8相比厚度更厚的基板8a，则将利用支撑部62抬起的高度设为比基板8低。

如图1的下侧所示，在升降基座60上，设置使拍摄部80向XY方向移动的拍摄部移动机构85。拍摄部移动机构85具有：2根导轨86，它们沿X轴方向配置在升降基座60上；滑动部件87，其分别可滑动地设置在2根导轨86上；以及驱动系统，其用于使滑动部件87向X轴方向驱动。

拍摄部移动机构85具有支撑框架88，该支撑框架88以跨越输送部70上方的方式架设在2个滑动部件87上。支撑框架88支撑拍摄部80，能够使拍摄部80向Y轴方向移动，在内部具有用于使拍摄部80向Y轴方向驱动的驱动系统。

拍摄部80能够在与丝网10相比位于下侧的区域且与基板8相比位于上侧的区域中沿XY方向移动。拍摄部80具有照相机，该照相机能够对设置在丝网10的下表面上的对准标记14和设置在基板8的上表面上的对准标记9进行拍摄。

拍摄部80的照相机具有能够对丝网10的对准标记14和基板8的对准标记9这两者进行拍摄的结构。照相机可以采用下述结构，即，例如，能够使用半反射镜等光学部件，将位于上方的丝网的像和位于下方的基板的像同时放入一个视野内。

如果该结构的照相机向丝网和基板中的一个进行照明，则能够对该一个进行拍摄。更详细地说，在向丝网进行照明而不向基板进行照明的情况下，该照相机能够对丝网进行拍摄。相反地，在不向丝网进行照明而向基板进行照明的情况下，能够对基板进行拍摄。

在升降基座60上设置：清洁部90；以及清洁部移动机构95，其使清洁部90向X轴方向移动。清洁部移动机构95具有：与拍摄部移动机构85共同使用的2根导轨86；滑动部件97，其分别可滑动地设置在2根导轨86上；以及驱动系统，其用于使滑动部件97向X轴方向驱动。

另外，清洁部移动机构95具有支撑框架98，该支撑框架98以跨越输送部70上方的方式架设在2个滑动部件97上。支撑框架98从下侧支撑清洁部90。

清洁部90具有：送出辊91，其将清洁纸93送出；以及卷绕辊92，其卷绕清洁纸93。

图4所示的控制部1例如由CPU(Central Processing Unit)等构成，对丝网印刷装置100的各部分统一地进行控制。

存储部2包含作为控制部1的作业用区域使用的非易失性存储器、以及存储有控制部1的处理所需的各种数据及程序的非易失性存储器。上述各种程序也可以从光盘、半导体存储器等可移动性的记录介质读入。

显示部3例如由液晶显示器等构成。输入部4由键盘、鼠标、触摸屏等构成，对来自操作人员的各种指示进行输入。通信部5向印刷检查装置或安装装置等其他装置发送信息，并从其他装置接收信息。

[丝网印刷装置100的动作]

下面，对丝网印刷装置100的动作进行说明。在这里，说明的丝网印刷装置100的动作是在控制部1的控制下执行的。图5及图6是用于说明丝网印刷装置100的基本动作的斜视图。

首先，如图5所示，通过输送部70的输送带73的驱动，将基板8输送至基准位置。此时，拍摄部80利用拍摄部移动机构85后退至升降基座60的右端位置(待机位置)并待机。另外，清洁部90利用清洁部移动机构95后退至升降基座60的左端位置(待机位置)并待机。

然后，使支撑部62向上方移动，利用支撑部62从下侧支撑基板8。然后，利用支撑部62将基板8抬起，以使基板8的上表面与基准面B一致。在该状态下，使引导部72向引导部71侧移动，由引导部71、72夹紧基板8。

然后，利用拍摄部移动机构85使拍摄部80向XY方向移动，由照相机对基板8上的对准标记9(大于或等于2个)进行拍摄。拍 摄部80将拍摄到的对准标记9的图像向控制部1发送。如果对基板8的对准标记9的拍摄结束，则利用拍摄部移动机构85使拍摄部80向待机位置(升降基座60右端)移动。

控制部1基于从拍摄部80接收到的基板8的对准标记9的图像，对基板8所配置的XY方向的位置及绕Z轴的基板8的倾斜等进行识别。控制部1在对基板8的位置进行识别后，使工作台驱动部30驱动，使工作台25向XYθ方向移动。由此，使丝网10向XYθ方向移动，相对于基板8进行对位。

控制部1为了使丝网10与基板8对位，控制部1需要对丝网10的位置以及基板的位置进行识别。控制部1在更换丝网10时对丝网10的位置进行检测，在每次输送基板8时对基板8的位置进行检测。对于基板8以及丝网10的位置检测的详细内容，在后面记述。

此外，本实施方式所涉及的丝网印刷装置100具有下述结构，即，利用丝网移动机构20，相对于基板8的位置，对丝网10的位置进行调整。但是，丝网印刷装置100也可以具有下述结构，即，具有基板8的移动机构，利用该移动机构，相对于丝网10的位置对基板8的位置进行调整。

在使丝网10与基板8对位后，利用升降机构61，直至基板8与丝网10的下表面抵接为止，使升降基座60向上方移动。图6示出使升降基座60移动至上方的状态。在图6中，为了容易观察地表示附图，而省略拍摄部80、清洁部90等部件。

如果基板8与丝网10的下表面抵接，则使2个刮板机构51中的一个刮板机构51下降，抵接在丝网10上。下降的刮板机构51是与刮板部50所移动的朝向相对应而预先确定的。此外，不下降的刮板机构51维持不与丝网10抵接的状态。

如果一个刮板机构51抵接在丝网10上，则2个刮板机构51作为一体在Y轴方向上移动。由此，使一个刮板机构51在丝网10上朝向Y轴方向滑动，经由图案孔13，向基板8上印刷膏状焊料。如果刮板部50移动至略微超过丝网10中的形成有图案孔13的区域的部分，则使抵接在基板8上的一个刮板机构51向上方移动，刮板部 50在该状态下待机。

在将膏状焊料向基板8上印刷后，利用升降机构61使升降基座60向下方移动。如果升降基座60向下方移动，则输送部70的第2引导部72(后侧的引导部)向后侧移动规定量，解除基板8的固定状态。然后，使输送部70的输送带73驱动，将完成印刷的基板8向下游侧的印刷检查装置传递。

在对丝网10的下表面进行清洁的情况下，首先，利用清洁部移动机构95使清洁部90向X轴方向移动。然后，对清洁部90的高度进行调整，与清洁部90的向X轴方向的移动相联动，使送出辊91以及卷绕辊92旋转。由此，利用清洁纸93对丝网10的下表面进行清洁。

如果清洁结束，则清洁部90通过清洁部移动机构95而移动至待机位置(升降基座左端)，并在待机位置处待机。

[基板8的位置检测功能]

对丝网印刷装置100中的基板8的位置检测功能进行说明。

在丝网印刷装置100中，为了应对设置于丝网10上的细微的印刷图案，而必须精密地进行基板8和丝网10之间的对位。如上述所示，丝网印刷装置100虽然具有在基板8搬入时使基板8在基准位置处停止的停止机构，但在该状态下，对位不准确。

具体地说，在利用上述的止动器使基板8停止的情况下，有时由于基板8与止动器接触的微小冲击而使基板8的位置从基准位置偏移，或者，有时由于位于基板8端部的毛刺的影响而使基板8的位置不能准确地与基准位置对齐。另外，在利用上述的传感器的停止机构中，有时由于输送带73的动作误差或在基板8停止时施加的惯性力，而使基板8的位置从基准位置偏移。

因此，在丝网印刷装置100中，在对基板8的位置相对于基准位置的偏移进行检测，进行丝网10相对于基板8的对位时，使丝网10移动，以抵消基板8的偏移。基板8的位置是通过基板8的对准标记9的位置而识别的。

在这里，将位于准确的基准位置处的基板8的对准标记9的位 置，简称为“对准标记9的基准位置”。在利用拍摄部80对搬入的基板8的对准标记9进行拍摄时，假设该基板8的对准标记9存在于基准位置处，拍摄部80在对准标记的基准位置处，从上方拍摄实际的基板8的对准标记9。此外，在实际的基板的对准标记准确地位于对准标记的基准位置的情况下，该对准标记位于图像的中心。但是，由于上述原因，通常对准标记从图像的中心略微偏移。对准标记的拍摄位置(对准标记9的基准位置)与基板的种类相对应而成为不同的位置。

为了根据拍摄部80所拍摄的对准标记9的图像而求出对准标记9的位置和基准位置之间的距离，必须把将图像中的距离和实际的基准面B中的距离相关联的图像的倍率，预先作为换算信息而记录。在丝网印刷装置100中，在存储部2中作为相当于图像的倍率的值，而记录有在基准面B上的与图像的1个像素对应的大小(以下简称为“1个像素的大小”)。

在丝网印刷装置100中，对对准标记9的、图像中的对准标记9的位置和基准位置之间的像素数量进行检测，使1个像素的大小乘以该像素数量，从而计算出对准标记9的位置和基准位置之间的距离。

参照图7～9B，对用于求出记录在丝网印刷装置100的存储部2中的1个像素的大小的方法进行说明。

图7是与本实施方式相关联的校准模具f的俯视图。校准模具f是与基板8相同的平板状，在中央部设置有对准标记f1。图8是表示拍摄部80的位置的示意图。图9A～9C是表示拍摄部80所拍摄的图像的图。在图9A～9C中示出了图像的中心C。在图9A～9C中示出了与图像中表示的基板的姿态对应的X轴、Y轴以及Z轴。

此外，图像的中心C与拍摄部80的光轴对应。换言之，拍摄部80的光轴通过图像的中心C所表示的基板8上的位置。即，与图像的中心C对应的基板8上的位置随着拍摄部80的位置而变化。

图8示出拍摄部80的光轴通过校准模具f的对准标记f1的状态。在图8所示的状态下，校准模具f的上表面与基准面B一致。图9A示出在图8所示的状态下拍摄对准标记f1而得到的图像。对准标记 f1和图像的中心C一致。

从图9A所示的状态开始，使拍摄部80向图8中的X轴方向前侧移动2mm。图9B是在该状态下拍摄校准模具f的对准标记f1而得到的图像。对准标记f1相对于图像的中心C向X轴方向上侧偏移a个像素。

然后，从图9B所示的状态开始，使拍摄部80向图8中的X轴方向内侧移动4mm。即，从图9A所示的状态开始，使拍摄部80向图8中的X轴方向内侧移动2mm。图9C是在该状态下拍摄校准模具f的对准标记f1而得到的图像。对准标记f1相对于图像的中心C向X轴方向下侧偏移了b个像素。

根据以上结果，1个像素的X轴方向的大小的实际测量值，可以作为与每1个像素对应的照相机的移动量而得到，成为4/(a+b)[mm/像素]。通过相同的方法，还能得到1个像素的Y轴方向的大小的实际测量值。如上述所示，得到在拍摄部80位于图8所示的位置处的情况下的1个像素的大小。此外，在求出1个像素的大小时，使拍摄部80移动的距离可以任意地选择。

也可以将如上述所示得到的1个像素的大小，作为与拍摄部80所拍摄的图像的倍率相当的值的代表值而设定在丝网印刷装置100的存储部2中。但是，在本实施方式中，考虑在拍摄部80的位置与图8所示的位置不同的情况下，1个像素的大小可能产生误差这一点，而准备记录于存储部2中的换算信息。

作为随着拍摄部80的位置的不同而使拍摄部80所拍摄的图像的1个像素的大小产生误差的原因，例如可以举出：拍摄部80移动时的微小的姿态变化(偏转、横摇、颠簸等)、拍摄部80的上下移动。拍摄部80移动时的微小的姿态变化、上下移动，是由于图1所示的滑动部件87及支撑框架88等机械结构组合而产生的，难以排除。另外，有时还随着时间而老化，使滑动部件87及支撑框架88变形。

由于拍摄部80的姿态变化或上下移动，还使拍摄部80和基准面B之间的距离变化。如果拍摄部80和基准面B之间的距离变化，则拍摄部80所拍摄的图像的1个像素的大小也变化。更详细地说， 如果拍摄部80和基准面B之间的距离变近，则1个像素的大小变小。相反地，如果拍摄部80和基准面B之间的距离变远，则1个像素的大小变大。

例如，假定在由于拍摄部的姿态变化而使拍摄部80和基准面B之间的距离产生0.5～1.0mm左右的误差的情况下，1个像素的大小产生0.02μm左右的误差。图像内的对准标记的位置从中心偏移得越大(基板8从基准位置偏移地越大)，检测出的基板8的位置误差越大。

在本实施方式中，为了抑制可能如上述所示产生的1个像素的大小的误差，而使拍摄部80在多个位置处测定1个像素的大小。即，准备以与拍摄部80的位置相对应而确定1个像素的大小的方式构成的换算信息，将该换算信息向存储部2中记录。

图10是用于准备这种换算信息的校准模具F的俯视图。校准模具F是与校准模具f相同的平板状，在其大致整个区域上，对准标记F1以点阵状规则地排列。

校准模具F的X轴方向的尺寸为400mm，Y轴方向的尺寸形成为500mm。将校准模具F的大小设为与能够适用于丝网印刷装置100的基板8的最大的大小相等。

校准模具F例如由不锈钢或玻璃形成。设置于校准模具F上的对准标记F1只要能够被观察即可。对准标记F1例如构成为孔、线或台阶。

在本实施方式中，各对准标记F1作为直径1mm的圆孔而构成。各对准标记F1在X轴方向以及Y轴方向上以相等间隔设置，相邻的对准标记F1的中心的间隔为10mm。校准模具F的4个边附近设为没有设置对准标记F1的边缘。此外，在图10中，为了便于说明，而将对准标记F1放大表示。

图11示出将校准模具F设置于丝网印刷装置100的基准位置处的状态。在图11所示的状态下，校准模具F的上表面与基准面B一致。即，校准模具F的上表面的高度与基板的上表面的高度一致。根据针对图7所示的校准模具f的对准标记f1测定1个像素的大小 的要领，针对校准模具F的所有对准标记F1测定1个像素的大小。由此，在拍摄部80位于拍摄部80的光轴通过各对准标记F1的位置处的情况下，分别得到1个像素的大小。此外，通过使校准模具F的上表面的高度与基板的上表面的高度一致(即，通过使拍摄部80以及基板的距离、和拍摄部80以及模具F的距离一致)，从而能够准确地取得各位置处的1个像素的大小。

将如上述所示得到的与拍摄部80的各位置对应的1个像素的大小，与拍摄部80的位置相关联，作为换算信息而记录在存储部2中。

在本实施方式所涉及的丝网印刷装置100中，在基板8搬入后的状态，例如图3A所示的状态下，拍摄部80在光轴通过与基板8的种类相对应而确定的基板8的对准标记9的基准位置的状态下，对对准标记9进行拍摄。此时，拍摄部30所拍摄的图像的中心C与基板8的对准标记的基准位置对应。

图12是表示拍摄部30所拍摄的图像的一个例子的图。在该图像中，基板8的对准标记9位于相对于图像的中心C，向Y轴方向左侧偏移q像素并向X轴方向下侧偏移p像素的位置。

控制部1使用在存储部2中记录的换算信息，取得与拍摄部30的位置对应的1个像素的大小。如果使1个像素的X轴方向的大小乘以上述的p值，则得到在基准面B中对准标记9相对于基准位置向X轴方向实际偏移的距离。相同地，如果使1个像素的Y轴方向的大小乘以上述的q值，则得到在基准面B中对准标记9相对于基准位置向Y轴方向实际偏移的距离。

如上述所示，如果针对基板8的2个对准标记9，得到相对于基准位置向X轴方向以及Y轴方向偏移的距离，则控制部1能够对基板8的XYθ方向的位置偏移进行识别。控制部1对丝网10的位置进行调整，以抵消该基板8的位置偏移。由此，准确地调整丝网10和基板8的相对位置。

作为控制部1取得的与拍摄部30的位置对应的1个像素的大小，例如，可以采用在记录于存储部2中的换算信息中，与拍摄部30的位置最近的位置处的1个像素的大小。由于图10所示的校准模具F 的对准标记F1的间隔为10mm，所以在记录于存储部2中的换算信息中，与拍摄部30的位置最近的位置落在相距拍摄部30的位置5mm的范围内。因此，1个像素的大小的误差几乎不会产生。

另外，作为控制部1取得的与拍摄部30的位置对应的1个像素的大小，例如，也可以采用在记录于存储部2中的换算信息中，接近拍摄部30的位置的4个位置处的1个像素的大小的平均值。在此情况下，在记录于存储部2中的换算信息中，接近拍摄部30的位置的4个位置，均落在相距拍摄部30的位置5mm的范围内。因此，1个像素的大小的误差几乎不会产生。

另外，在拍摄部30的位置坐标和1个像素的大小得到相关关系的情况下，记录于存储部2中的换算信息也可以是拍摄部30的位置坐标和1个像素的大小的函数。在此情况下，控制部1可以使用该函数，根据拍摄部30的位置坐标计算1个像素的大小。

[丝网10的位置检测功能]

在本实施方式所涉及的丝网印刷装置100中，对于丝网10，也将拍摄部80位于各位置处的情况下的1个像素的大小与拍摄部80的位置相关联，作为换算信息而记录在存储部2中。虽然基板8和丝网10相对于拍摄部80上下相反，但可以利用与基板8相同的要领，使用与图10所示的校准模具F相同的校准模具，准备换算信息。

校准模具配置为对准标记朝向下侧，校准模具的下表面的Z轴方向的位置与丝网10的下表面的Z轴方向的位置一致。此外，通过使校准模具F的下表面的高度与丝网的下表面的高度一致(即，通过使拍摄部80以及丝网的距离、和拍摄部80以及模具的距离一致)，从而能够准确地取得各位置处的1个像素的大小。

在本实施方式所涉及的丝网印刷装置100中，在更换丝网10时，拍摄部80在光轴通过与丝网10的种类相对应而确定的丝网10的对准标记14的基准位置的状态下，对对准标记14进行拍摄。根据拍摄部80所拍摄的图像，利用与基板8相同的要领，得到对准标记14相对于基准位置的偏移。

如果针对丝网10的2个对准标记14，得到相对于基准位置向X 轴方向以及Y轴方向偏移的距离，则控制部1能够对丝网10的XYθ方向的位置偏移进行识别。控制部1对丝网10的位置进行调整，以抵消该位置偏移。

如上述所示，在本实施方式所涉及的丝网印刷装置100中，通过向存储部2中记录换算信息，从而能够准确地识别基板8的位置以及丝网10的位置。

[其他结构]

在本实施方式所涉及的丝网印刷装置100中，为了非常准确地检测基板8的位置，而采用由拍摄部80对基板8的对准标记9拍摄多次的模式。

在丝网印刷装置100的该模式中，首先，由拍摄部80进行基板8的对准标记9的第1次拍摄。根据通过第1次拍摄得到的图像，如上述所示计算对准标记9相对于基准位置向X轴方向以及Y轴方向偏移的距离。

然后，控制部1使拍摄部80移动，以使得光轴通过根据由拍摄部80的第1次拍摄得到的图像计算出的对准标记9的位置，并利用拍摄部80进行基板8的对准标记9的第2次拍摄。在通过第2次拍摄得到的图像中对准标记9的位置也从中心C偏移的情况下，再次计算对准标记9相对于基准位置向X轴方向以及Y轴方向偏移的距离。

如上述所示，在丝网印刷装置100中，在第2次拍摄后，能够非常准确地识别基板8的对准标记9的位置。相同地，在丝网印刷装置100中，通过将利用拍摄部8拍摄对准标记9的次数设定为大于或等于3次，从而更准确地识别基板8的对准标记9的位置。

此外，在丝网印刷装置100的该模式中，在为了计算对准标记9相对于基准位置的偏移，而不使用本实施方式所涉及的换算信息，与拍摄部80的位置无关而使用图像的倍率的代表值的情况下，也能够在第2次拍摄后，准确地识别基板8的对准标记9的位置。

以上，针对本发明的实施方式进行了说明，但本发明并不仅限定于上述实施方式，当然可以在不脱离本发明主旨的范围内，进行各 种变更。

例如，本实施方式所涉及的位置调整机构，除了丝网印刷装置以外，还适用于基板检查装置及基板安装装置等在基板的制造中使用的装置。在基板检查装置中，通过准确地识别基板的位置，从而能够检查基板内的准确位置。在基板安装装置中，通过准确地识别基板的位置，从而能够在基板内的准确位置上安装部件。

此外，“对基板的处理”包括进行下述针对基板的动作，即，向基板上进行丝网印刷、检查基板、向基板上安装部件等。

另外，在本实施方式所涉及的校准模具中，对准标记以点阵状排列，但只要在校准模具中设置至少2个对准标记，就能够得到本技术的效果。

此外，本技术也可以采用以下的结构。

(1)一种位置检测装置，其具有：

拍摄部，其能够在与基准面相对的状态下沿所述基准面移动，对位于所述基准面上的对准标记进行拍摄；

存储部，其记录有换算信息，该换算信息构成为，与所述拍摄部的位置相对应而确定由所述拍摄部拍摄的图像的倍率；以及

控制部，其使用在所述存储部中记录的所述换算信息，根据所述拍摄部的位置以及所述图像中的所述对准标记的位置，对所述基准面中的所述对准标记的位置进行计算。

(2)根据上述(1)所记载的位置检测装置，所述换算信息包含由所述拍摄部在多个位置处分别拍摄的图像的倍率的实际测量值。

(3)根据上述(2)所记载的位置检测装置，所述多个位置沿所述基准面规则地排列。

(4)根据上述(2)或(3)所记载的位置检测装置，所述控制部使用与在所述多个位置中距所述拍摄部的位置最近的位置对应的所述实际测量值，对所述对准标记的位置进行计算。

(5)根据上述(2)或(3)所记载的位置检测装置，所述控制部使用根据下述所述实际测量值计算出的值，对所述对准标记的位置进行计算，该实际测量值与在所述多个位置中接近所述拍摄部的位 置的大于或等于2个的位置对应。

(6)根据上述(1)至(5)中任一项所记载的位置检测装置，还具有保持部，该保持部对具有设置有所述对准标记的主面的基板进行保持，并使所述主面的位置与所述基准面对齐。

(7)一种基板制造装置，其具有：

保持部，其对具有设置有对准标记的主面的基板进行保持，并使所述主面的位置与基准面对齐；

处理部，其对被保持在所述保持部上的所述基板进行处理；

拍摄部，其能够在与所述基准面相对的状态下沿所述基准面移动，对所述对准标记进行拍摄；

存储部，其记录有换算信息，该换算信息构成为，与所述拍摄部的位置相对应而确定由所述拍摄部拍摄的图像的倍率；以及

控制部，其使用所述存储部中记录的所述换算信息，根据所述拍摄部的位置以及所述图像中的所述对准标记的位置，对所述基准面中的所述对准标记的位置进行计算，在基于计算出的位置而识别出所述基板的位置后，使所述处理部执行对所述基板的处理。

(8)一种位置检测方法，在该方法中，

利用能够在与基准面相对的状态下沿所述基准面移动的拍摄部，对位于所述基准面上的对准标记进行拍摄，

与所述拍摄部的位置相对应而确定由所述拍摄部拍摄的图像的倍率，

使用所确定的倍率，根据所述拍摄部的位置以及所述图像中的所述对准标记的位置，对所述基准面中的所述对准标记的位置进行计算。

(9)一种基板的制造方法，在该方法中，

配置具有设置有对准标记的主面的基板，使得所述主面的位置与基准面对齐，

利用能够在与所述基准面相对的状态下沿所述基准面移动的拍摄部，对配置于所述基准面上的所述主面的所述对准标记进行拍摄，

与所述拍摄部的位置相对应而确定由所述拍摄部拍摄的图像的 倍率，

使用所确定的倍率，根据所述拍摄部的位置以及所述图像中的所述对准标记的位置，对所述基准面中的所述对准标记的位置进行计算，基于计算出的位置，对所述基板的位置进行识别，

在识别出所述基板的位置后，执行对所述基板的处理。

(10)一种位置检测方法，在该方法中，

利用能够在与基准面相对的状态下沿所述基准面移动的拍摄部，对位于所述基准面上的对准标记进行第1拍摄，

根据通过所述第1拍摄得到的第1图像的倍率、所述第1拍摄时的所述拍摄部的位置、以及所述第1图像中的所述对准标记的位置，对所述基准面中的所述对准标记的第1位置进行计算，

利用所述拍摄部，对所述第1位置进行第2拍摄，

根据通过所述第2拍摄得到的第2图像的倍率、所述第2拍摄中的所述拍摄部的位置、以及所述第2图像中的所述对准标记的位置，对所述基准面中的所述对准标记的第2位置进行计算。

Claims (9)

1.一种位置检测装置，其具有：

拍摄部，其能够在与基准面相对的状态下沿所述基准面移动，对位于所述基准面上的对准标记进行拍摄；

存储部，其记录有换算信息，该换算信息构成为，与所述拍摄部的位置相对应而确定由所述拍摄部拍摄的图像的倍率；以及

控制部，其使用在所述存储部中记录的所述换算信息，根据所述拍摄部的位置以及所述图像中的所述对准标记的位置，对所述基准面中的所述对准标记的位置进行计算。

2.根据权利要求1所述的位置检测装置，其中，

所述换算信息包含由所述拍摄部在多个位置处分别拍摄的图像的倍率的实际测量值。

3.根据权利要求2所述的位置检测装置，其中，

所述多个位置沿所述基准面规则地排列。

4.根据权利要求2所述的位置检测装置，其中，

所述控制部使用与在所述多个位置中距所述拍摄部的位置最近的位置对应的所述实际测量值，对所述基准面中的所述对准标记的位置进行计算。

5.根据权利要求2所述的位置检测装置，其中，

所述控制部使用根据与在所述多个位置中接近所述拍摄部的位置的大于或等于2个的位置对应的所述实际测量值计算出的平均值，对所述基准面中的所述对准标记的位置进行计算。

6.根据权利要求1所述的位置检测装置，其中，

还具有保持部，该保持部对具有设置有所述对准标记的主面的基板进行保持，并使所述主面的位置与所述基准面对齐。

7.一种基板制造装置，其具有：

保持部，其对具有设置有对准标记的主面的基板进行保持，并使所述主面的位置与基准面对齐；

处理部，其对被保持在所述保持部上的所述基板进行处理；

拍摄部，其能够在与所述基准面相对的状态下沿所述基准面移动，对所述对准标记进行拍摄；

存储部，其记录有换算信息，该换算信息构成为，与所述拍摄部的位置相对应而确定由所述拍摄部拍摄的图像的倍率；以及

控制部，其使用所述存储部中记录的所述换算信息，根据所述拍摄部的位置以及所述图像中的所述对准标记的位置，对所述基准面中的所述对准标记的位置进行计算，在基于计算出的位置而识别出所述基板的位置后，使所述处理部执行对所述基板的处理。

8.一种位置检测方法，在该方法中，

利用能够在与基准面相对的状态下沿所述基准面移动的拍摄部，对位于所述基准面上的对准标记进行拍摄，

与所述拍摄部的位置相对应而确定由所述拍摄部拍摄的图像的倍率，

使用所确定的倍率，根据所述拍摄部的位置以及所述图像中的所述对准标记的位置，对所述基准面中的所述对准标记的位置进行计算。

9.一种基板的制造方法，在该方法中，

配置具有设置有对准标记的主面的基板，使得所述主面的位置与基准面对齐，

利用能够在与所述基准面相对的状态下沿所述基准面移动的拍摄部，对配置于所述基准面上的所述主面的所述对准标记进行拍摄，

与所述拍摄部的位置相对应而确定由所述拍摄部拍摄的图像的倍率，

使用所确定的倍率，根据所述拍摄部的位置以及所述图像中的所述对准标记的位置，对所述基准面中的所述对准标记的位置进行计算，基于计算出的位置，对所述基板的位置进行识别，

在识别出所述基板的位置后，执行对所述基板的处理。