JP2015012095A - 位置検出装置、基板製造装置、位置検出方法、及び基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
上記撮像部は、基準面に対向した状態で上記基準面に沿って移動可能であり、上記基準面にあるアライメントマークを撮像する。
上記記憶部には、上記撮像部の位置に応じて、上記撮像部が撮像する画像の倍率が定まるように構成される換算情報が記録されている。
上記制御部は、上記記憶部に記録された上記換算情報を用い、上記撮像部の位置、及び上記画像における上記アライメントマークの位置から、上記基準面における上記アライメントマークの位置を算出する。
この構成により、上記位置検出装置は、画像の倍率の代表値のみが設定された位置検出装置よりも、アライメントマークのより正確な位置を検出することができるようになる。
この構成により、上記位置検出装置は、撮像部が基準面に沿ったどの位置にある場合にも、アライメントマークのより正確な位置を検出することができるようになる。
また、上記制御部は、上記複数の位置のうち、上記撮像部の位置に近接する2つ以上の位置に対応する上記実測値から算出される値を用い、上記アライメントマークの位置を算出してもよい。
これらの構成により、上記位置検出装置は、アライメントマークのより正確な位置を検出することができるようになる。
この構成により、上記位置検出装置は、基板の正確な位置を検出することができるようになる。
上記保持部は、アライメントマークが設けられた主面を有する基板を、上記主面の位置を基準面に合わせて保持する。
上記処理部は、上記保持部に保持された上記基板を処理する。
上記撮像部は、上記基準面に対向した状態で上記基準面に沿って移動可能であり、上記アライメントマークを撮像する。
上記記憶部には、上記撮像部の位置に応じて、上記撮像部が撮像する画像の倍率が定まるように構成される換算情報が記録されている。
上記制御部は、前記記憶部に記録された前記換算情報を用い、前記撮像部の位置、及び前記画像における前記アライメントマークの位置から、前記基準面における前記アライメントマークの位置を算出し、算出された位置に基づいて前記基板の位置を認識した後に、前記処理部の前記基板に対する処理を実行する。
上記位置検出方法は、上記撮像部の位置に応じて、上記撮像部が撮像する画像の倍率を定めることを含む。
上記位置検出方法は、定めた倍率を用い、上記撮像部の位置、及び上記画像における上記アライメントマークの位置から、上記基準面における上記アライメントマークの位置を算出することを含む。
上記基板の製造方法は、上記基準面に対向した状態で上記基準面に沿って移動可能な撮像部によって、上記基準面に配置された上記主面の上記アライメントマークを撮像することを含む。
上記基板の製造方法は、上記撮像部の位置に応じて、上記撮像部が撮像する画像の倍率を定めることを含む。
上記基板の製造方法は、定めた倍率を用い、上記撮像部の位置、及び上記画像における上記アライメントマークの位置から、上記基準面における上記アライメントマークの位置を算出し、算出された位置に基づいて前記基板の位置を認識することを含む。
上記基板の製造方法は、前記基板の位置を認識した後に前記基板に対する処理を実行することを含む。
上記位置検出方法は、上記第1の撮像により得られた第1の画像の倍率、上記第1の撮像の際の上記撮像部の位置、及び上記第1の画像における上記アライメントマークの位置から、上記基準面における上記アライメントマークの第1の位置を算出することを含む。
上記位置検出方法は、上記撮像部によって、上記第1の位置に対して第2の撮像を行なうことを含む。
上記位置検出方法は、上記第2の撮像により得られた第2の画像の倍率、上記第2の撮像における上記撮像部の位置、及び上記第2の画像における上記アライメントマークの位置から、上記基準面における上記アライメントマークの第2の位置を算出することを含む。
図1は、本技術に係るスクリーン印刷装置100を示す斜視図である。図2は、スクリーン印刷装置100に取り付け可能なスクリーン10の一例を示す上面図である。図3A及び図3Bは、スクリーン印刷装置100の部分模式図である。図4は、スクリーン印刷装置100の構成を示すブロック図である。
次に、スクリーン印刷装置100の動作について説明する。ここで、説明されるスクリーン印刷装置100の動作は、制御部1の制御下において実行される。図5及び図6は、スクリーン印刷装置100の基本的な動作を説明するための斜視図である。
スクリーン印刷装置100における基板8の位置検出機能について説明する。
本実施形態に係るスクリーン印刷装置100では、スクリーン10についても、撮像部80が各位置にある場合における1画素の大きさが、撮像部80の位置と関連付けられて換算情報として記憶部2に記録されている。基板8とスクリーン10とでは撮像部80に対して上下反対ではあるものの、基板8と同様の要領で、図10に示したキャリブレーション治具Fと同様のキャリブレーション治具を用いて換算情報を用意することが可能である。
本実施形態に係るスクリーン印刷装置100では、基板8の位置を極めて正確に検出するために、撮像部80が基板8のアライメントマーク9を複数回にわたって撮像するモードが設定されている。
(1)
基準面に対向した状態で上記基準面に沿って移動可能であり、上記基準面にあるアライメントマークを撮像する撮像部と、
上記撮像部の位置に応じて、上記撮像部が撮像する画像の倍率が定まるように構成される換算情報が記録された記憶部と、
上記記憶部に記録された上記換算情報を用い、上記撮像部の位置、及び上記画像における上記アライメントマークの位置から、上記基準面における上記アライメントマークの位置を算出する制御部と
を具備する位置検出装置。
(2)
上記(1)に記載の位置検出装置であって、
上記換算情報は、上記撮像部が複数の位置でそれぞれ撮像した画像の倍率の実測値を含む
位置検出装置。
(3)
上記(2)に記載の位置検出装置であって、
上記複数の位置は上記基準面に沿って規則的に配列している
位置検出装置。
(4)
上記(2)又は(3)に記載の位置検出装置であって、
上記制御部は、上記複数の位置のうち、上記撮像部の位置に最も近い位置に対応する上記実測値を用い、上記アライメントマークの位置を算出する
位置検出装置。
(5)
上記(2)又は(3)に記載の位置検出装置であって、
上記制御部は、上記複数の位置のうち、上記撮像部の位置に近接する2つ以上の位置に対応する上記実測値から算出される値を用い、上記アライメントマークの位置を算出する
位置検出装置。
(6)
上記(1)から(5)のいずれか1つに記載の位置検出装置であって、
上記アライメントマークが設けられた主面を有する基板を、上記主面の位置を上記基準面に合わせて保持する保持部を更に具備する
位置検出装置。
(7)
アライメントマークが設けられた主面を有する基板を、前記主面の位置を基準面に合わせて保持する保持部と、
前記保持部に保持された前記基板を処理する処理部と、
前記基準面に対向した状態で前記基準面に沿って移動可能であり、前記アライメントマークを撮像する撮像部と、
前記撮像部の位置に応じて、前記撮像部が撮像する画像の倍率が定まるように構成される換算情報が記録された記憶部と、
前記記憶部に記録された前記換算情報を用い、前記撮像部の位置、及び前記画像における前記アライメントマークの位置から、前記基準面における前記アライメントマークの位置を算出し、算出された位置に基づいて前記基板の位置を認識した後に、前記処理部の前記基板に対する処理を実行する制御部と
を具備する基板製造装置。
(8)
基準面に対向した状態で前記基準面に沿って移動可能な撮像部によって、前記基準面にあるアライメントマークを撮像し、
前記撮像部の位置に応じて、前記撮像部が撮像する画像の倍率を定め、
定めた倍率を用い、前記撮像部の位置、及び前記画像における前記アライメントマークの位置から、前記基準面における前記アライメントマークの位置を算出する
位置検出方法。
(9)
アライメントマークが設けられた主面を有する基板を、前記主面の位置を基準面に合わせて配置し、
前記基準面に対向した状態で前記基準面に沿って移動可能な撮像部によって、前記基準面に配置された前記主面の前記アライメントマークを撮像し、
前記撮像部の位置に応じて、前記撮像部が撮像する画像の倍率を定め、
定めた倍率を用い、前記撮像部の位置、及び前記画像における前記アライメントマークの位置から、前記基準面における前記アライメントマークの位置を算出し、算出された位置に基づいて前記基板の位置を認識し、
前記基板の位置を認識した後に前記基板に対する処理を実行する
基板の製造方法。
(10)
基準面に対向した状態で前記基準面に沿って移動可能な撮像部によって、前記基準面にあるアライメントマークに対して第1の撮像を行ない、
前記第1の撮像により得られた第1の画像の倍率、前記第1の撮像の際の前記撮像部の位置、及び前記第1の画像における前記アライメントマークの位置から、前記基準面における前記アライメントマークの第1の位置を算出し、
前記撮像部によって、前記第1の位置に対して第2の撮像を行ない、
前記第2の撮像により得られた第2の画像の倍率、前記第2の撮像における前記撮像部の位置、及び前記第2の画像における前記アライメントマークの位置から、前記基準面における前記アライメントマークの第2の位置を算出する
位置検出方法。
2…記憶部
8…基板
9…アライメントマーク
10…スクリーン
14…アライメントマーク
62…バックアップ部(保持部)
80…撮像部
100…スクリーン印刷装置
B…基準面
F…キャリブレーション治具
F1…アライメントマーク
Claims (10)
- 基準面に対向した状態で前記基準面に沿って移動可能であり、前記基準面にあるアライメントマークを撮像する撮像部と、
前記撮像部の位置に応じて、前記撮像部が撮像する画像の倍率が定まるように構成される換算情報が記録された記憶部と、
前記記憶部に記録された前記換算情報を用い、前記撮像部の位置、及び前記画像における前記アライメントマークの位置から、前記基準面における前記アライメントマークの位置を算出する制御部と
を具備する位置検出装置。 - 請求項1に記載の位置検出装置であって、
前記換算情報は、前記撮像部が複数の位置でそれぞれ撮像した画像の倍率の実測値を含む
位置検出装置。 - 請求項2に記載の位置検出装置であって、
前記複数の位置は前記基準面に沿って規則的に配列している
位置検出装置。 - 請求項2に記載の位置検出装置であって、
前記制御部は、前記複数の位置のうち、前記撮像部の位置に最も近い位置に対応する前記実測値を用い、前記基準面における前記アライメントマークの位置を算出する
位置検出装置。 - 請求項2に記載の位置検出装置であって、
前記制御部は、前記複数の位置のうち、前記撮像部の位置に近接する2つ以上の位置に対応する前記実測値から算出される値を用い、前記基準面における前記アライメントマークの位置を算出する
位置検出装置。 - 請求項1に記載の位置検出装置であって、
前記アライメントマークが設けられた主面を有する基板を、前記主面の位置を前記基準面に合わせて保持する保持部を更に具備する
位置検出装置。 - アライメントマークが設けられた主面を有する基板を、前記主面の位置を基準面に合わせて保持する保持部と、
前記保持部に保持された前記基板を処理する処理部と、
前記基準面に対向した状態で前記基準面に沿って移動可能であり、前記アライメントマークを撮像する撮像部と、
前記撮像部の位置に応じて、前記撮像部が撮像する画像の倍率が定まるように構成される換算情報が記録された記憶部と、
前記記憶部に記録された前記換算情報を用い、前記撮像部の位置、及び前記画像における前記アライメントマークの位置から、前記基準面における前記アライメントマークの位置を算出し、算出された位置に基づいて前記基板の位置を認識した後に、前記処理部の前記基板に対する処理を実行する制御部と
を具備する基板製造装置。 - 基準面に対向した状態で前記基準面に沿って移動可能な撮像部によって、前記基準面にあるアライメントマークを撮像し、
前記撮像部の位置に応じて、前記撮像部が撮像する画像の倍率を定め、
定めた倍率を用い、前記撮像部の位置、及び前記画像における前記アライメントマークの位置から、前記基準面における前記アライメントマークの位置を算出する
位置検出方法。 - アライメントマークが設けられた主面を有する基板を、前記主面の位置を基準面に合わせて配置し、
前記基準面に対向した状態で前記基準面に沿って移動可能な撮像部によって、前記基準面に配置された前記主面の前記アライメントマークを撮像し、
前記撮像部の位置に応じて、前記撮像部が撮像する画像の倍率を定め、
定めた倍率を用い、前記撮像部の位置、及び前記画像における前記アライメントマークの位置から、前記基準面における前記アライメントマークの位置を算出し、算出された位置に基づいて前記基板の位置を認識し、
前記基板の位置を認識した後に前記基板に対する処理を実行する
基板の製造方法。 - 基準面に対向した状態で前記基準面に沿って移動可能な撮像部によって、前記基準面にあるアライメントマークに対して第1の撮像を行ない、
前記第1の撮像により得られた第1の画像の倍率、前記第1の撮像の際の前記撮像部の位置、及び前記第1の画像における前記アライメントマークの位置から、前記基準面における前記アライメントマークの第1の位置を算出し、
前記撮像部によって、前記第1の位置に対して第2の撮像を行ない、
前記第2の撮像により得られた第2の画像の倍率、前記第2の撮像における前記撮像部の位置、及び前記第2の画像における前記アライメントマークの位置から、前記基準面における前記アライメントマークの第2の位置を算出する
位置検出方法。
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