JPWO2016170573A1 - 粘性流体供給装置および部品実装装置 - Google Patents

粘性流体供給装置および部品実装装置 Download PDF

Info

Publication number
JPWO2016170573A1
JPWO2016170573A1 JP2017513843A JP2017513843A JPWO2016170573A1 JP WO2016170573 A1 JPWO2016170573 A1 JP WO2016170573A1 JP 2017513843 A JP2017513843 A JP 2017513843A JP 2017513843 A JP2017513843 A JP 2017513843A JP WO2016170573 A1 JPWO2016170573 A1 JP WO2016170573A1
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
squeegee
unit
viscous fluid
light
plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2017513843A
Other languages
English (en)
Other versions
JP6450455B2 (ja
Inventor
寺田 和広
和広 寺田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yamaha Motor Co Ltd
Original Assignee
Yamaha Motor Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yamaha Motor Co Ltd filed Critical Yamaha Motor Co Ltd
Publication of JPWO2016170573A1 publication Critical patent/JPWO2016170573A1/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6450455B2 publication Critical patent/JP6450455B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05CAPPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C11/00Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
    • B05C11/02Apparatus for spreading or distributing liquids or other fluent materials already applied to a surface ; Controlling means therefor; Control of the thickness of a coating by spreading or distributing liquids or other fluent materials already applied to the coated surface
    • B05C11/023Apparatus for spreading or distributing liquids or other fluent materials already applied to a surface
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/34Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
    • H05K3/3457Solder materials or compositions; Methods of application thereof
    • H05K3/3478Applying solder preforms; Transferring prefabricated solder patterns
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05CAPPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C11/00Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
    • B05C11/02Apparatus for spreading or distributing liquids or other fluent materials already applied to a surface ; Controlling means therefor; Control of the thickness of a coating by spreading or distributing liquids or other fluent materials already applied to the coated surface
    • B05C11/04Apparatus for spreading or distributing liquids or other fluent materials already applied to a surface ; Controlling means therefor; Control of the thickness of a coating by spreading or distributing liquids or other fluent materials already applied to the coated surface with blades
    • B05C11/041Apparatus for spreading or distributing liquids or other fluent materials already applied to a surface ; Controlling means therefor; Control of the thickness of a coating by spreading or distributing liquids or other fluent materials already applied to the coated surface with blades characterised by means for positioning, loading, or deforming the blades
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05CAPPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C11/00Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
    • B05C11/02Apparatus for spreading or distributing liquids or other fluent materials already applied to a surface ; Controlling means therefor; Control of the thickness of a coating by spreading or distributing liquids or other fluent materials already applied to the coated surface
    • B05C11/04Apparatus for spreading or distributing liquids or other fluent materials already applied to a surface ; Controlling means therefor; Control of the thickness of a coating by spreading or distributing liquids or other fluent materials already applied to the coated surface with blades
    • B05C11/044Apparatus for spreading or distributing liquids or other fluent materials already applied to a surface ; Controlling means therefor; Control of the thickness of a coating by spreading or distributing liquids or other fluent materials already applied to the coated surface with blades characterised by means for holding the blades
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/01Tools for processing; Objects used during processing
    • H05K2203/0104Tools for processing; Objects used during processing for patterning or coating
    • H05K2203/0139Blade or squeegee, e.g. for screen printing or filling of holes
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/34Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
    • H05K3/3457Solder materials or compositions; Methods of application thereof
    • H05K3/3485Applying solder paste, slurry or powder
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/34Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
    • H05K3/3489Composition of fluxes; Methods of application thereof; Other methods of activating the contact surfaces

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)

Abstract

この粘性流体供給装置(1)は、粘性流体が伸び広げられるプレート(2)と、プレート上の粘性流体をならすように摺動するスキージ(3)と、スキージが設置されるスキージ保持部(5)と、スキージの設置の有無を検出するスキージ検出部(8)とを備える。

Description

本発明は、粘性流体供給装置および部品実装装置に関する。
従来、フラックスや半田ペーストなどの粘性流体を供給する粘性流体供給装置が知られている。このような粘性流体供給装置は、たとえば、米国特許第6293317号に開示されている。
米国特許第6293317号には、粘性流体が伸び広げられるベースプレートと、ベースプレート上の粘性流体をならすように摺動するコンテナ(スキージ)と、コンテナを摺動可能に保持するスライド部とを備える粘性流体供給装置が開示されている。
米国特許第6293317号
しかしながら、米国特許第6293317号のような従来の粘性流体供給装置では、コンテナ(スキージ)がスライド部に保持されていることを検知することができないため、コンテナの設置忘れを防止することが困難であるという問題点がある。コンテナが設置されていない場合に、粘性流体が供給されると、装置内に粘性流体が漏れ出る。
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の1つの目的は、スキージの設置忘れを防止することが可能な粘性流体供給装置および部品実装装置を提供することである。
この発明の第1の局面による粘性流体供給装置は、粘性流体が伸び広げられるプレートと、プレート上の粘性流体をならすように摺動するスキージと、スキージが設置されるスキージ保持部と、スキージの設置の有無を検出するスキージ検出部とを備える。
この発明の第1の局面による粘性流体供給装置では、上記のように、スキージの設置の有無を検出するスキージ検出部を設けることによって、スキージの設置忘れを防止することができる。これにより、スキージが設置されていない状態で粘性流体が補充されることにより、装置内に粘性流体が漏れ出るのを抑制することができる。
上記第1の局面による粘性流体供給装置において、好ましくは、スキージ保持部は、スキージのプレートに対する押圧方向と平行な方向の移動を規制する規制部を含み、スキージ検出部は、スキージが設置され、かつ、規制部によりスキージの移動が規制されていることを検出するように構成されている。このように構成すれば、規制部によるスキージの移動の規制忘れを防止することができるので、規制部のスキージの規制忘れに起因してプレートに対してスキージが離間するのを抑制することができる。
この場合、好ましくは、スキージ検出部は、投光部と受光部とを含み、スキージ保持部は、投光部からの光の受光部への到達を切り替える切替部を含み、切替部は、規制部によるスキージの移動が規制されている規制状態と、規制部によるスキージの移動の規制が解除されている解除状態とに応じて、投光部からの光の受光部への到達を切り替えるように構成されている。このように構成すれば、切替部により投光部からの光を透過、遮断または反射させることにより、スキージが設置され、かつ、規制状態にあることを容易に検出することができる。
上記スキージ保持部が切替部を含む構成において、好ましくは、規制部の規制状態と解除状態とが切り替えられる際に、切替部が移動することにより、投光部からの光の受光部への到達が切り替えられるように構成されている。このように構成すれば、規制部により規制状態と解除状態とを切り替えるのに連動させて切替部を移動させることができるので、規制状態と解除状態とに応じて、投光部からの光の受光部への到達を切替部により容易に切り替えることができる。
この場合、好ましくは、スキージ保持部は、規制部を回動可能に支持する回動支持部をさらに含み、解除状態の場合、規制部が回動支持部に接するとともに、規制状態の場合、規制部が回動支持部から離間するように移動することにより、切替部が移動するように構成されている。このように構成すれば、規制部を回動することにより、規制部によるスキージの移動の規制を容易にオン/オフすることができる。また、規制状態と解除状態とに応じて、規制部の回動支持部に対する距離を変化させることができるので、状態に応じて切替部を容易に移動させることができる。
上記スキージ保持部が規制部を含む構成において、好ましくは、規制部に接続されるとともに、スキージのプレートに対する押圧力を発生させる押圧力発生機構をさらに備え、規制部によるスキージの移動が規制されていることをスキージ検出部により検出した場合に、押圧力発生機構による押圧力が発生されるように構成されている。このように構成すれば、規制部によりスキージの移動を規制した状態で、押圧力を付加することができるので、スキージに押圧力を確実に付与することができる。また、規制部によるスキージの規制をオン/オフする場合に、押圧力発生機構による押圧力を発生させないことにより、規制部を容易に移動させることができるので、スキージの規制を容易にオン/オフすることができる。
上記第1の局面による粘性流体供給装置において、好ましくは、プレートに粘性流体を補充する補充部をさらに備え、スキージ検出部によりスキージが設置されていることを検出しない場合、補充部から粘性流体が補充されないように構成されている。このように構成すれば、スキージが設置されている場合に粘性流体が補充されるので、装置内に粘性流体が漏れ出るのを抑制することができる。
この発明の第2の局面による部品実装装置は、基板に部品を実装する実装部と、部品に粘性流体を供給する粘性流体供給部とを備え、粘性流体供給部は、粘性流体が伸び広げられるプレートと、プレート上の粘性流体をならすように摺動するスキージと、スキージが設置されるスキージ保持部と、スキージの設置の有無を検出するスキージ検出部とを含む。
この発明の第2の局面による部品実装装置では、上記のように、スキージの設置の有無を検出するスキージ検出部を設けることによって、スキージの設置忘れを防止することができる。これにより、スキージが設置されていない状態で粘性流体が補充されることにより、装置内に粘性流体が漏れ出るのを抑制することが可能な粘性流体供給部を備えた部品実装装置を提供することができる。
本発明では、スキージの設置忘れを防止することができる。
本発明の第1実施形態による部品実装装置の概略を示した平面図である。 本発明の第1実施形態による部品実装装置の一連の実装動作を説明するための模式図である。 本発明の第1実施形態によるフラックス供給装置を示した斜視図である。 本発明の第1実施形態によるフラックス供給装置のスキージを示した斜視図である。 本発明の第1実施形態によるフラックス供給装置のスキージの駆動機構を示した斜視図である。 本発明の第1実施形態によるフラックス供給装置のスキージが規制された状態を示した側面図である。 本発明の第1実施形態によるフラックス供給装置のスキージの規制が解除された状態を示した側面図である。 本発明の第1実施形態によるフラックス供給装置のスキージが配置されていない状態を示した側面図である。 本発明の第2実施形態によるフラックス供給装置を示した斜視図である。 本発明の第2実施形態によるフラックス供給装置のスキージを示した斜視図である。 本発明の第2実施形態によるフラックス供給装置のスキージが規制された状態を示した側面図である。 本発明の第2実施形態によるフラックス供給装置のスキージの規制が解除された状態を示した側面図である。
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
[第1実施形態]
(部品実装装置の構成)
図1および図2を参照して、本発明の第1実施形態による部品実装装置100の構造について説明する。
部品実装装置100は、ダイシングされたウエハWからベアチップ(半導体チップ)Cを取り出して基板Sの実装面上に実装するとともに、テープフィーダ13aにより供給される電子部品(いわゆるパッケージ部品)などを基板Sの実装面上に実装することが可能ないわゆる複合型の部品実装装置である。なお、ベアチップCは、本発明の「部品」の一例である。
この部品実装装置100は、図1に示すように、基台10と、制御部11と、コンベア12と、2つのチップ部品供給部13と、2つの実装部14と、ウエハ保持テーブル15と、取出部16と、部品認識カメラ17と、固定カメラ18と、ウエハ収納部19とを備えている。また、部品実装装置100には、フラックス供給装置1が設けられている。なお、フラックス供給装置1は、本発明の「粘性流体供給装置」および「粘性流体供給部」の一例である。
制御部11は、部品実装装置100の各部の動作を統括的に制御するように構成されている。具体的には、制御部11は、コンベア12、チップ部品供給部13、実装部14、ウエハ保持テーブル15、取出部16、部品認識カメラ17、固定カメラ18、ウエハ収納部19およびフラックス供給装置1などの動作制御を行うように構成されている。制御部11は、上記の各部の駆動モータに内蔵されるエンコーダ等の位置検出手段からの出力信号に基づいて、各部の動作制御を行う。また、制御部11は、各種カメラ(部品認識カメラ17および固定カメラ18)の撮像制御および画像認識を行う機能を有する。
コンベア12は、所定の実装作業位置に基板Sを搬入および搬出するように構成されている。また、コンベア12は、X方向に延びる一対のコンベアレールと、基板Sを所定位置で位置決めする位置決め機構(図示せず)とを含んでいる。これにより、コンベア12は、基板SをX方向に搬送し、所定の実装作業位置に基板Sを位置決め固定する。
2つのチップ部品供給部13は、それぞれ、部品実装装置100の手前側(Y1方向側)の両端に設けられている。チップ部品供給部13には、テープフィーダ13aがX方向に沿って並んで配置されている。各テープフィーダ13aは、キャリアテープを間欠的に送り出し、所定の部品供給位置にキャリアテープ内の電子部品を供給する。
実装部14は、チップ部品供給部13から供給される電子部品およびウエハWのベアチップCを基板Sに実装するように構成されている。具体的には、実装部14は、XY移動機構により、コンベア12(基板S)の上方を水平方向(XY方向)に移動可能に支持されている。実装部14は、X方向に沿って配置された複数(2つ)の吸着ノズル14a(図2参照)を有している。
また、実装部14は、取出部16によりウエハWから取り出されるベアチップCを吸着ノズル14aにより吸着して基板S上に実装するように構成されている。また、実装部14は、テープフィーダ13aによって供給される電子部品を吸着ノズル14aにより吸着して基板S上に実装するように構成されている。
ウエハ保持テーブル15は、出し入れ機構(図示せず)によりウエハ収納部19から引き出されたウエハWを所定位置で支持するように構成されている。
取出部16は、ウエハWからベアチップCを取り出して実装部14に受け渡すように構成されている。また、取出部16は、所定の駆動手段によりウエハ保持テーブル15の上方位置において水平方向(XY方向)に移動される。また、取出部16は、4つのウエハヘッド16aを含んでいる。
ウエハヘッド16aは、X軸回りに回転が可能で、かつ上下方向への移動(昇降)が可能に構成されている。また、ウエハヘッド16aは、ベアチップCを吸着することが可能に構成されている。つまり、取出部16は、突上部(図示せず)により突き上げられたベアチップCをウエハヘッド16aにより吸着して取り出し、ベアチップCを反転(フリップ)させ、所定の受け渡し位置において、実装部14(吸着ノズル14a)にベアチップCを受け渡すように構成されている。
部品認識カメラ17は、ウエハWからのベアチップCの取り出しに先立ち、取り出し対象となるベアチップCを撮像するように構成されている。また、部品認識カメラ17は、取出部16と共通のフレームに設けられている。また、部品認識カメラ17は、所定の駆動手段によりウエハ保持テーブル15の上方位置において水平方向(XY方向)に移動される。
固定カメラ18は、基台10上であって実装部14の可動領域内に設置されている。固定カメラ18は、実装部14の吸着ノズル14aにより吸着されている電子部品(ベアチップCを含む)を下側から撮像するように構成されている。
ウエハ収納部19は、ダイシングされた複数枚のウエハWを収容可能に構成されている。ウエハWのベアチップCは、たとえば電極上にバンプが形成されたフリップチップ実装用のベアチップである。この場合、ベアチップCは、バンプ形成面(実装面)が上方を向くようにフィルム状のウエハシート上に貼り付けられて保持されている。
フラックス供給装置1は、ベアチップCのバンプにフラックスを転写(塗布)するために設けられている。具体的には、フラックス供給装置1は、プレート2上にフラックスを薄く伸ばし広げて供給する。そして、実装部14の吸着ノズル14aに吸着されたベアチップCが伸び広げられたフラックスに接触される。これにより、ベアチップCのバンプにフラックスが転写される。なお、フラックスは、接合のための半田の濡れが良好になるようにベアチップCのバンプに塗布される。
(部品実装動作の説明)
次に、図2を参照して、部品実装装置100による電子部品の実装動作について説明する。
図2に示すように、ウエハWのベアチップCを基板Sに実装する場合、まず、取出部16により実装対象のベアチップCが取り出されて、取出部16のウエハヘッド16aにベアチップCが吸着保持される。ウエハヘッド16aが回動してベアチップCが反転(フリップ)され、ベアチップCが所定の受け渡し位置に配置される。これに対応して、実装部14の吸着ノズル14aが受け渡し位置の上方で受け渡し高さ位置まで下降されて、ベアチップCが吸着される。
ベアチップCが吸着された後、実装部14が、フラックス供給装置1の上方に移動される。実装部14の吸着ノズル14aが転写高さ位置まで下降されて、ベアチップCのバンプ形成面にフラックスが転写(塗布)される。その後、実装部14が、固定カメラ18の上方を通過するように移動されて、吸着ノズル14aに吸着されたベアチップCのバンプ形成面が撮像される。これにより、ベアチップCのバンプ形成面の不良判定や、吸着位置ずれの認識が行われる。なお、この転写動作と撮像動作とは、順序が逆になる場合もある。すなわち、転写前の状態の方が良好に撮像(画像認識)を行える場合には、撮像動作が先に実施される。
撮像後、コンベア12に保持された基板Sの上方に実装部14が移動され、所定の実装位置の上方で吸着ノズル14aが実装高さ位置まで下降されて、ベアチップCが基板S上に載置(実装)される。
また、テープフィーダ13a(図1参照)の供給部品を実装する場合、実装部14がテープフィーダ13aの所定の部品取出位置の上方に移動される。そして、吸着ノズル14aが下降されて電子部品が取り出される。その後、実装部14が、固定カメラ18の上方を通過するように移動されて、吸着ノズル14aに吸着された電子部品の下面が撮像される。そして、実装部14が基板Sの上方に移動される。その後、吸着ノズル14aが下降されて、電子部品が基板S上に載置(実装)される。なお、ベアチップCがキャリアテープに個別収納されテープフィーダ13aから供給される場合には、テープフィーダ13aからベアチップCが取り出された後、図2に示すように転写および撮像が実施され、基板S上にベアチップCが載置(実装)される。
(フラックス供給装置の構成)
図3〜図8を参照して、本発明の第1実施形態によるフラックス供給装置1の構造について説明する。
図3に示すように、フラックス供給装置1は、プレート2と、スキージ3と、基台部4と、スキージ保持部5と、フラックス吐出部6と、センサ7と、スキージ検出部8とを備えている。なお、フラックス吐出部6は、本発明の「補充部」の一例である。
プレート2は、凹部21を含んでいる。スキージ3は、図4に示すように、一対のスキージ部31と、一対の壁部32と、一対の板状部33と、一対の摺動方向規制ピン34と、一対の押付部35とを含んでいる。基台部4は、図5に示すように、モータ41と、ベルト42と、プレート位置決め部43とを含んでいる。スキージ保持部5は、図4に示すように、進行方向規制部51と、押圧方向規制部52と、連結部53と、回動支持部54と、プランジャー部55と、エアシリンダ56とを含んでいる。スキージ検出部8は、図3に示すように、投光部8aと、受光部8bとを含んでいる。なお、押圧方向規制部52は、本発明の「規制部」の一例であり、エアシリンダ56は、本発明の「押圧力発生機構」の一例である。
押圧方向規制部52は、図4に示すように、スキージロック部521と、回動支持凹部522と、プランジャー係合穴523および524と、遮断ピン525とを有している。エアシリンダ56には、空気圧発生部561と、レギュレータ562とが接続されている。なお、遮断ピン525は、本発明の「切替部」の一例である。押圧方向規制部52の外側には、上部に作業者の操作部が形成され、断面が略L字状の操作レバーが設けられている。
図3に示すように、プレート2は、フラックスが伸び広げられるように構成されている。プレート2は、スキージ3の摺動方向と平行なA方向に延びるように形成されている。プレート2の凹部21は、所定の深さだけ凹んでいる。これにより、凹部21にフラックスが略均一の高さで伸び広げられる。
図3に示すように、スキージ3は、プレート2上のフラックスをならすように摺動するように構成されている。具体的には、スキージ3は、B方向(B2方向)に押圧されてプレート2に接した状態で、A方向(A1方向およびA2方向)に移動するように構成されている。図4に示すように、スキージ3のスキージ部31は、A1方向およびA2方向に一対設けられている。一対のスキージ部31は、A方向と直交する水平方向の両端に設けられた一対の壁部32により連結されている。つまり、一対のスキージ部31および一対の壁部32は、枠形状に連結されている。スキージ部31は、摺動することにより進行方向(A1方向またはA2方向)のプレート2上のフラックスをならすように構成されている。
板状部33は、一対の壁部32の外側にそれぞれ設けられている。一対の板状部33には、摺動方向規制ピン34および押付部35がそれぞれ設けられている。摺動方向規制ピン34は、板状部33から外側に突出するように設けられている。摺動方向規制ピン34は、スキージ保持部5の進行方向規制部51に当接して、スキージ3に摺動方向(進行方向)の力を伝達するように構成されている。
押付部35は、板状部33から外側に突出するように設けられている。押付部35は、スキージ保持部5の押圧方向規制部52に係合して、スキージ3に押圧方向(B2方向)の力(押圧力)を伝達するように構成されている。
図3に示すように、基台部4は、プレート2が設置されるとともに、スキージ保持部5を介してスキージ3を移動させるように構成されている。具体的には、図5に示すように、基台部4のモータ41によりベルト42が駆動される。ベルト42は、スキージ保持部5に当接して、スキージ保持部5をA方向に移動させる。また、基台部4のプレート位置決め部43によりプレート2が位置決めされて、基台部4にプレート2が設置されるように構成されている。
スキージ保持部5には、スキージ3が設置されるように構成されている。具体的には、スキージ保持部5は、スキージ3を保持するように構成されている。スキージ保持部5は、スキージ3の押圧方向と平行なB方向の移動を規制するとともに、スキージ3の進行方向(摺動方向)と平行なA方向の移動を規制するように構成されている。
スキージ保持部5の進行方向規制部51は、スキージ3の摺動方向と平行なA方向の移動を規制するように構成されている。進行方向規制部51は、A方向と直交する水平方向に対向するように一対設けられている。つまり、進行方向規制部51は、スキージ3を挟み込むように一対設けられている。また、進行方向規制部51は、ベース部5aに固定されている。また、進行方向規制部51は、上方向(B1方向)が開放されたスリット形状を有している。進行方向規制部51のスリット形状には、スキージ3の摺動方向規制ピン34が挟み込まれるように構成されている。そして、摺動方向規制ピン34がA方向において進行方向規制部51に当接することにより、スキージ3(摺動方向規制ピン34)の摺動方向の移動が規制される。これにより、スキージ保持部5がA方向に移動されることにより、スキージ3もA方向に移動(摺動)する。
押圧方向規制部52は、スキージ3のプレート2に対する押圧方向と平行なB方向(B1方向)の移動を規制するように構成されている。押圧方向規制部52は、A方向と直交する水平方向に対向するように一対設けられている。つまり、押圧方向規制部52は、スキージ3を挟み込むように一対設けられている。
また、押圧方向規制部52は、進行方向規制部51とは別個に設けられている。また、押圧方向規制部52の規制が解除された状態で、スキージ3がB方向(B1方向)に移動されて取り外されるように構成されている。また、押圧方向規制部52は、スキージ3に対してA方向(水平方向)に沿って移動して、スキージ3のB方向(上下方向)の移動を規制するように構成されている。具体的には、一対の押圧方向規制部52は、連結部53により互いに連結されている。また、押圧方向規制部52は、回動支持部54により回動可能に支持されている。そして、押圧方向規制部52は、回動支持部54を中心に回動することにより、スキージロック部521がA方向に沿って移動して、スキージ3をロックする(B1方向の移動を規制する)ように構成されている。なお、一対の押圧方向規制部52は、連結部53により連結されているため、一方の押圧方向規制部52をA方向に沿って移動させると、他方の押圧方向規制部52も同じようにA方向に沿って移動する。
押圧方向規制部52のスキージロック部521は、スキージ3の押付部35に係合して、スキージ3のB方向の移動を規制するとともに、スキージ3に押圧力を伝達するように構成されている。スキージロック部521の押付部35と係合する先端部分には、A方向に沿ってB方向の大きさが変化して傾斜する傾斜部521a(図6参照)が形成されている。また、押圧方向規制部52のスキージロック部521は、押付部35に乗り上げて、スキージ3をロックする(B方向の移動を規制する)ように構成されている。
押圧方向規制部52の回動支持凹部522は、回動支持部54に支持されるように、切欠き状に形成されている。押圧方向規制部52は、スキージ3のロックを解除している(B方向の規制を解除している)場合、回動支持凹部522が回動支持部54に接するように構成されている。つまり、押圧方向規制部52によるスキージ3のロックを解除している場合、押圧方向規制部52は、回動支持部54を中心に回動する。一方、スキージ3がロックされている(B方向を規制している)場合、回動支持凹部522が回動支持部54からB方向(B1方向)に離間するように構成されている。
押圧方向規制部52のプランジャ―係合穴523および524は、プランジャー部55に係合して、押圧方向規制部52のA方向に沿った移動(回動)を抑制するように構成されている。つまり、押圧方向規制部52がスキージ3のB方向の移動を規制している場合に、プランジャー部55がプランジャー係合穴523に係合して、押圧方向規制部52のA方向の移動を規制する。また、押圧方向規制部52がスキージ3のB方向の移動の規制を解除している場合に、プランジャー部55がプランジャー係合穴524に係合して、押圧方向規制部52のA方向の移動を規制する。
ここで、第1実施形態では、遮断ピン525は、一対の押圧方向規制部52のうち、一方側に2つ設けられている。遮断ピン525は、連結部53の上側(B1方向側)に所定の間隔を隔てて配置されている。遮断ピン525は、投光部8aからの光(可視光または赤外光)の受光部8bへの到達を切り替えるように構成されている。具体的には、遮断ピン525は、投光部8aから受光部8bへの光(可視光または赤外光)を通過または遮断するように構成されている。つまり、遮断ピン525は、押圧方向規制部52によるスキージ3の移動が規制されている規制状態と、押圧方向規制部52によるスキージ3の移動の規制が解除されている解除状態とに応じて、投光部8aからの光の受光部8bへの到達を切り替えるように構成されている。
具体的には、押圧方向規制部52の規制状態と解除状態とが切り替えられる際に、遮断ピン525が移動することにより、投光部8aからの光の受光部8bへの到達が切り替えられるように構成されている。つまり、解除状態の場合、押圧方向規制部52が回動支持部54に接するとともに、規制状態の場合、押圧方向規制部52が回動支持部54から離間するように移動することにより、遮断ピン525が移動するように構成されている。
図6に示すように、スキージ3が押圧方向規制部52によりロックされている(B方向の移動が規制されている)場合、投光部8aからの光は、遮断ピン525および連結部53の隙間を通過して、受光部8bに到達する。図7に示すように、スキージ3の押圧方向規制部52によるロックが解除されている(B方向の移動の規制が解除されている)場合、投光部8aからの光は、遮断ピン525により遮られ、受光部8bに到達しない。つまり、押圧方向規制部52が回動されることにより、投光部8aの光が遮断ピン525および連結部53の隙間を通過することができなくなる。図8に示すように、スキージ3が設置されていない場合、投光部8aからの光は、遮断ピン525により遮られ、受光部8bに到達しない。つまり、押圧方向規制部52の回動支持凹部522が回動支持部54に接するように配置されることにより、投光部8aの光が遮断ピン525および連結部53の隙間を通過することができなくなる。
エアシリンダ56は、押圧方向規制部52に接続されるとともに、スキージ3のプレート2に対する押圧力を発生させるように構成されている。具体的には、エアシリンダ56は、押圧方向規制部52を連結する連結部53を押圧方向(B2方向)に付勢するように構成されている。エアシリンダ56は、空気圧発生部561による空気圧により駆動してスキージ3の押圧力を発生させるように構成されている。空気圧発生部561により発生させる空気圧は、レギュレータ562を介して所望の圧力に調整される。つまり、レギュレータ562を操作することにより、スキージ3のプレート2に対する押圧力が調整される。たとえば、塗布するフラックスの粘度情報に基づいて、押圧力が調整される。
フラックス吐出部6は、フラックスをプレート2上に供給するように構成されている。具体的には、フラックス吐出部6は、スキージ3のスキージ部31および壁部32により形成された枠内にフラックスを供給するように構成されている。
センサ7は、スキージ3の枠内のフラックスの量を測定するように構成されている。センサ7は、たとえば、超音波センサを含む。
また、第1実施形態では、スキージ検出部8は、スキージ3の設置の有無を検出するように構成されている。具体的には、スキージ検出部8は、スキージ3が設置され、かつ、押圧方向規制部52によりスキージ3の移動が規制されている(ロックされている)ことを検出するように構成されている。つまり、図6に示すように、スキージ3が押圧方向規制部52によりロックされている(B方向の移動が規制されている)場合、受光部8bにより投光部8aの光が検出される。これにより、スキージ3がスキージ保持部5によりロックされている状態が検出される。そして、スキージ3がロックされている(B方向に規制されている)場合に、エアシリンダ56による押圧力が発生されるように構成されている。つまり、受光部8bの検出結果に基づいて、ロックされている状態の場合、エアシリンダ56を駆動させて押圧力が発生される。また、スキージ3のB方向の規制が解除(ロックが解除)されている場合は、エアシリンダ56による押圧力を発生させない。また、スキージ検出部8によりスキージ3が設置されていることを検出しない場合、フラックス吐出部6からフラックスが補充(供給)されない。
また、受光部8bの検出結果に基づいて、受光部8bにより投光部8aの光が検出されない場合、即ちスキージ3が設置されていないか、設置されていてもロックされていない場合には、部品実装装置100が自動運転中にモータ41の駆動によりスキージ3をA方向に移動するタイミングとなってもモータ41を駆動させず、停止したままとなるようにしてもよい。あるいは、部品実装装置100の自動運転が停止しているときに受光部8bにより投光部8aの光が検出されない場合には、部品実装装置100の自動運転を開始するためのスイッチの押下等の操作がされても自動運転が開始されないようにしてもよい。さらに、受光部8bにより投光部8aの光が検出されない場合に、図示しないモニタ等に異常状態である旨の警告表示をしてもよい。
(第1実施形態の効果)
第1実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
第1実施形態では、上記のように、スキージ3の設置の有無を検出するスキージ検出部8を設けることによって、スキージ3の設置忘れを防止することができる。これにより、スキージ3が設置されていない状態でフラックスが補充されることにより、装置内にフラックスが漏れ出るのを抑制することができる。
また、第1実施形態では、スキージ検出部8を、スキージ3が設置され、かつ、押圧方向規制部52によりスキージ3の移動が規制されていることを検出するように構成する。これにより、押圧方向規制部52によるスキージ3の移動の規制忘れを防止することができるので、押圧方向規制部52のスキージ3の規制忘れに起因してプレート2に対してスキージ3が離間するのを抑制することができる。
また、第1実施形態では、遮断ピン525を、押圧方向規制部52によるスキージ3の移動が規制されている規制状態と、押圧方向規制部52によるスキージ3の移動の規制が解除されている解除状態とに応じて、投光部8aからの光の受光部8bへの到達を切り替えるように構成する。これにより、遮断ピン525により投光部8aからの光を透過または遮断させることにより、スキージ3が設置され、かつ、規制状態にあることを容易に検出することができる。
また、第1実施形態では、押圧方向規制部52の規制状態と解除状態とが切り替えられる際に、遮断ピン525が移動することにより、投光部8aからの光の受光部8bへの到達が切り替えられるように構成する。これにより、押圧方向規制部52により規制状態と解除状態とを切り替えるのに連動させて遮断ピン525を移動させることができるので、規制状態と解除状態とに応じて、投光部8aからの光の受光部8bへの到達を遮断ピン525により容易に切り替えることができる。
また、第1実施形態では、解除状態の場合、押圧方向規制部52が回動支持部54に接するとともに、規制状態の場合、押圧方向規制部52が回動支持部54から離間するように移動することにより、遮断ピン525が移動するように構成する。これにより、押圧方向規制部52を回動することにより、押圧方向規制部52によるスキージ3の移動の規制を容易にオン/オフすることができる。また、規制状態と解除状態とに応じて、押圧方向規制部52の回動支持部54に対する距離を変化させることができるので、状態に応じて遮断ピン525を容易に移動させることができる。
また、第1実施形態では、押圧方向規制部52によるスキージ3の移動が規制されていることをスキージ検出部8により検出した場合に、エアシリンダ56による押圧力が発生されるように構成する。これにより、押圧方向規制部52によりスキージ3の移動を規制した状態で、押圧力を付加することができるので、スキージ3に押圧力を確実に付与することができる。また、押圧方向規制部52によるスキージ3の規制をオン/オフする場合に、エアシリンダ56による押圧力を発生させないことにより、押圧方向規制部52を容易に移動させることができるので、スキージ3の規制を容易にオン/オフすることができる。
また、第1実施形態では、スキージ検出部8によりスキージ3が設置されていることを検出しない場合、フラックス吐出部6からフラックスが補充されないように構成する。これにより、スキージ3が設置されている場合にフラックスが補充されるので、装置内にフラックスが漏れ出るのを抑制することができる。
[第2実施形態]
図9〜図12を参照して、本発明の第2実施形態によるフラックス供給装置200について説明する。この第2実施形態では、1つのスキージ検出部8が設けられている構成の上記第1実施形態とは異なり、2つのスキージ検出部241および242が設けられている構成について説明する。
(フラックス供給装置の構成)
図9に示すように、フラックス供給装置200は、プレート210と、スキージ220と、スキージ保持部230と、スキージ検出部241および242とを備えている。なお、フラックス供給装置200は、本発明の「粘性流体供給装置」および「粘性流体供給部」の一例である。
プレート210は、凹部211を含んでいる。スキージ220は、図10に示すように、一対のスキージ部221と、一対の連結部222と、一対の板状部223と、一対の摺動方向規制ピン224と、一対の押付部225とを含んでいる。スキージ保持部230は、進行方向規制部231と、押圧方向規制部232と、バネ233と、当接部234とを含んでいる。スキージ検出部241は、図9に示すように、投光部241aと、受光部241bとを含んでいる。スキージ検出部242は、投光部242aと、受光部242bとを含んでいる。なお、当接部234は、本発明の「切替部」の一例である。
プレート210は、フラックスが伸び広げられるように構成されている。プレート210は、スキージ220の摺動方向と平行なA方向に延びるように形成されている。プレート210の凹部211は、所定の深さだけ凹んでいる。これにより、凹部211にフラックスが略均一の高さで伸び広げられる。また、プレート210は、A方向(A1方向およびA2方向)に移動するように構成されている。
スキージ220は、プレート210上のフラックスをならすように摺動するように構成されている。具体的には、スキージ220がB方向(B2方向)に押圧された状態で、プレート210がA方向(A1方向およびA2方向)に移動するように構成されている。つまり、スキージ220は、プレート210に対してA方向に相対的に移動する。図10に示すように、スキージ220のスキージ部221は、A1方向およびA2方向に一対設けられている。一対のスキージ部221は、A方向と直交する方向の両端に設けられた一対の連結部222により連結されている。また、スキージ部221の両端には、堰部221a(図11参照)が設けられている。これにより、スキージ220を摺動した際にフラックスがスキージ部221の端部から液漏れするのを抑制することが可能である。スキージ部221は、プレート210に対して相対的に移動して摺動することにより相対的な進行方向(A1方向またはA2方向)のプレート210上のフラックスをならすように構成されている。
板状部223は、一対の連結部222の外側にそれぞれ設けられている。一対の板状部223には、摺動方向規制ピン224および押付部225がそれぞれ設けられている。摺動方向規制ピン224は、板状部223から外側に突出するように設けられている。摺動方向規制ピン224は、スキージ保持部230の進行方向規制部231に当接して、スキージ220の摺動方向(進行方向)の移動を規制するように構成されている。
押付部225は、板状部223から外側に突出するように設けられている。押付部225は、スキージ保持部230の押圧方向規制部232に係合して、スキージ220に押圧方向(B2方向)の力(押圧力)を伝達するように構成されている。
スキージ保持部230には、スキージ220が設置されるように構成されている。具体的には、スキージ保持部230は、スキージ220を保持するように構成されている。スキージ保持部230は、スキージ220の押圧方向と平行なB方向の移動を規制するとともに、スキージ220の摺動方向(相対的な進行方向)と平行なA方向の移動を規制するように構成されている。スキージ保持部230は、A方向において所定の位置に固定されている。具体的には、スキージ保持部230は、ベース230aに対して保持部230bがA方向(水平方向)に移動しないように構成されている。一方、保持部230bは、ベース230aに対してB1方向(上方向)には移動するように構成されている。
スキージ保持部230の進行方向規制部231は、スキージ220の摺動方向と平行なA方向の移動を規制するように構成されている。進行方向規制部231は、A方向と直交する水平方向に対向するように一対設けられている。つまり、進行方向規制部231は、スキージ220を挟み込むように一対設けられている。また、進行方向規制部231は、ベース230aに固定されている。また、進行方向規制部231は、上方向(B1方向)が開放されたスリット形状を有している。進行方向規制部231のスリット形状には、スキージ220の摺動方向規制ピン224が挟み込まれるように構成されている。そして、摺動方向規制ピン224がA方向において進行方向規制部231に当接することにより、スキージ220(摺動方向規制ピン224)の摺動方向の移動が規制される。
押圧方向規制部232は、スキージ220のプレート210に対する押圧方向と平行なB方向(B1方向)の移動を規制するように構成されている。押圧方向規制部232は、A方向と直交する水平方向に対向するように一対設けられている。つまり、押圧方向規制部232は、スキージ220を挟み込むように一対設けられている。
また、押圧方向規制部232は、進行方向規制部231とは別個に設けられている。また、押圧方向規制部232の規制が解除された状態で、スキージ220がB方向(B1方向)に移動されて取り外されるように構成されている。また、押圧方向規制部232は、スキージ220に対してA方向(水平方向)に沿って平行移動して、スキージ220のB1方向(上方向)の移動を規制するように構成されている。
押圧方向規制部232の押付部225と係合する先端部分には、A方向に沿ってB方向の大きさが変化して傾斜する傾斜部232aが形成されている。また、押圧方向規制部232は、押付部225に乗り上げて、スキージ220をロックする(B方向の移動を規制する)ように構成されている。つまり、図11に示すように、押圧方向規制部232によりスキージ220がロックされた(B方向の移動を規制された)場合、保持部230b(当接部234)がベース230aから浮き上がる。
バネ233は、押圧方向規制部232に接続されるとともに、スキージ220のプレート210に対する押圧力を発生させるように構成されている。具体的には、バネ233は、押圧方向規制部232に当接する保持部230bを押圧方向(B2方向)に付勢するように構成されている。
ここで、第2実施形態では、当接部234は、ベース230aに当接するように構成されている。また、当接部234は、保持部230bの下部(B2方向側)に設けられている。また、当接部234は、投光部241aからの光(可視光または赤外光)の受光部241bへの到達を切り替えるように構成されている。具体的には、当接部234は、投光部241aから受光部241bへの光(可視光または赤外光)を通過または遮断するように構成されている。つまり、当接部234は、押圧方向規制部232によるスキージ220の移動が規制されている規制状態と、押圧方向規制部232によるスキージ220の移動の規制が解除されている解除状態とに応じて、投光部241aからの光の受光部241bへの到達を切り替えるように構成されている。
具体的には、押圧方向規制部232の規制状態と解除状態とが切り替えられる際に、当接部234が移動することにより、投光部241aからの光の受光部241bへの到達が切り替えられるように構成されている。
図11に示すように、スキージ220が押圧方向規制部232によりロックされている(B方向の移動が規制されている)場合、受光部241bにより投光部241aの光が検出される。つまり、保持部230b(当接部234)がベース230aから浮き上がることにより、投光部241aからの光が、当接部234およびベース230aの隙間を通過して、受光部241bに到達する。これにより、スキージ220がスキージ保持部230によりロックされている状態が検出される。一方、図12に示すように、スキージ220が押圧方向規制部232によりロックされていない(B方向の移動の規制が解除されている)場合、投光部241aの光は受光部241bにより検出されない。つまり、保持部230b(当接部234)がベース230aに当接することにより、投光部241aからの光が、当接部234により遮られ、受光部241bに到達しない。
また、第2実施形態では、スキージ検出部241は、スキージ220の設置の有無を検出するように構成されている。具体的には、スキージ検出部241は、スキージ220が設置され、かつ、押圧方向規制部232によりスキージ220の移動が規制されている(ロックされている)ことを検出するように構成されている。
スキージ検出部242は、スキージ220の設置の有無を検出するように構成されている。具体的には、図9に示すように、スキージ220が設置されている場合、受光部242bにより投光部242aの光が検出されない。つまり、投光部242aからの光が、スキージ220により遮られ、受光部242bに到達しない。一方、スキージ220が設置されていない場合、受光部242bにより投光部242aの光が検出される。つまり、投光部242aからの光が、遮られることなく受光部242bに到達する。
また、スキージ検出部242がスキージ220の設置を検出していない場合、または、受光部242bの検出結果に基づいて、受光部242bにより投光部242aの光が検出されない場合、部品実装装置100が自動運転中にプレート210の移動によりスキージ3を相対的にA方向に移動するタイミングとなっても移動させずに停止したままとなるようにしてもよい。あるいは、部品実装装置100の自動運転が停止しているときに上記のような検出状態が発生した場合であれば、部品実装装置100の自動運転を開始するためのスイッチの押下等の操作がされても自動運転が開始されないようにしてもよい。さらに、上記検出状態の場合に、図示しないモニタ等に異常状態である旨の警告表示をしてもよい。
なお、第2実施形態のその他の構成は、上記第1実施形態と同様である。
(第2実施形態の効果)
第2実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
第2実施形態では、第1実施形態と同様、スキージ220の設置の有無を検出するスキージ検出部241および242を設けることによって、スキージ220の設置忘れを防止することができる。これにより、スキージ220が設置されていない状態でフラックスが補充されることにより、装置内にフラックスが漏れ出るのを抑制することができる。
なお、第2実施形態のその他の効果は、上記第1実施形態と同様である。
(変形例)
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更(変形例)が含まれる。
たとえば、上記第1および第2実施形態では、本発明の粘性流体塗布装置をフラックス塗布装置に適用する例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明の粘性流体塗布装置をフラックス以外の粘性流体を塗布する装置に適用してもよい。たとえば、半田、銀ペーストなどの粘性流体を塗布する装置に本発明の粘性流体塗布装置を適用してもよい。
また、上記第1および第2実施形態では、バンプを有するベアチップをフリップチップ実装する例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、BGA(ボールグリッドアレイ)を有するパッケージ部品をPoP(package on package)実装する場合に本発明を適用してもよい。また、本発明の部品実装装置をフリップチップボンダに適用してもよいし、テープフィーダやトレイから供給される部品を実装する部品実装装置に適用してもよい。
また、上記第1実施形態では、本発明の押圧力発生機構としてエアシリンダを用いる例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、押圧力発生機構として、たとえば、油圧シリンダ、ソレノイド、リニアモータなどを用いてもよい。
また、上記第1実施形態では、押圧力調整機構としてレギュレータを用いる例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、押圧力調整機構として、たとえば、手動バルブ、電磁弁、圧力可変機構、電流制御部、サーボコントローラなどを用いてもよい。
また、上記第1および第2実施形態では、スキージの上方からフラックス(粘性流体)を供給する構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、スキージの下方に位置するプレートに吐出部を設けて粘性流体を供給してもよい。
また、上記第1および第2実施形態では、スキージ検出部は、投光部からの光を受光部により検出して、スキージの有無および規制状態を検出する構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、スキージ検出部は、光以外を用いてスキージの有無および規制状態を検出してもよい。たとえば、スキージ検出部は、音(超音波)や電波を用いてスキージの有無および規制状態を検出してもよい。また、スキージ検出部は、機械スイッチを用いてスキージの有無および規制状態を検出してもよい。また、スキージ検出部は、透過型のセンサを用いてもよいし、反射型のセンサを用いてもよい。
また、上記第1実施形態では、切替部としての遮断ピンを2つ設ける例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、遮断ピンは、1つ設けてもよいし、3つ以上設けてもよい。また、遮断ピン以外の部材により投光部からの光を遮断してもよい。
1、200 フラックス供給装置(粘性流体供給装置、粘性流体供給部)
2、210 プレート
3、220 スキージ
5、230 スキージ保持部
6 フラックス吐出部(補充部)
8、241、242 スキージ検出部
8a、241a、242a 投光部
8b、241b、242b 受光部
14 実装部
52、232 押圧方向規制部(規制部)
54 回動支持部
56 エアシリンダ(押圧力発生機構)
100 部品実装装置
234 当接部(切替部)
525 遮断ピン(切替部)
C ベアチップ(部品)
S 基板

Claims (8)

  1. 粘性流体が伸び広げられるプレートと、
    前記プレート上の粘性流体をならすように摺動するスキージと、
    前記スキージが設置されるスキージ保持部と、
    前記スキージの設置の有無を検出するスキージ検出部とを備える、粘性流体供給装置。
  2. 前記スキージ保持部は、前記スキージの前記プレートに対する押圧方向と平行な方向の移動を規制する規制部を含み、
    前記スキージ検出部は、前記スキージが設置され、かつ、前記規制部により前記スキージの移動が規制されていることを検出するように構成されている、請求項1に記載の粘性流体供給装置。
  3. 前記スキージ検出部は、投光部と受光部とを含み、
    前記スキージ保持部は、前記投光部からの光の前記受光部への到達を切り替える切替部を含み、
    前記切替部は、前記規制部による前記スキージの移動が規制されている規制状態と、前記規制部による前記スキージの移動の規制が解除されている解除状態とに応じて、前記投光部からの光の前記受光部への到達を切り替えるように構成されている、請求項2に記載の粘性流体供給装置。
  4. 前記規制部の規制状態と解除状態とが切り替えられる際に、前記切替部が移動することにより、前記投光部からの光の前記受光部への到達が切り替えられるように構成されている、請求項3に記載の粘性流体供給装置。
  5. 前記スキージ保持部は、前記規制部を回動可能に支持する回動支持部をさらに含み、
    解除状態の場合、前記規制部が前記回動支持部に接するとともに、規制状態の場合、前記規制部が前記回動支持部から離間するように移動することにより、前記切替部が移動するように構成されている、請求項4に記載の粘性流体供給装置。
  6. 前記規制部に接続されるとともに、前記スキージの前記プレートに対する押圧力を発生させる押圧力発生機構をさらに備え、
    前記規制部による前記スキージの移動が規制されていることを前記スキージ検出部により検出した場合に、前記押圧力発生機構による押圧力が発生されるように構成されている、請求項2〜5のいずれか1項に記載の粘性流体供給装置。
  7. 前記プレートに粘性流体を補充する補充部をさらに備え、
    前記スキージ検出部により前記スキージが設置されていることを検出しない場合、前記補充部から粘性流体が補充されないように構成されている、請求項1〜6のいずれか1項に記載の粘性流体供給装置。
  8. 基板に部品を実装する実装部と、
    前記部品に粘性流体を供給する粘性流体供給部とを備え、
    前記粘性流体供給部は、
    粘性流体が伸び広げられるプレートと、
    前記プレート上の粘性流体をならすように摺動するスキージと、
    前記スキージが設置されるスキージ保持部と、
    前記スキージの設置の有無を検出するスキージ検出部とを含む、部品実装装置。
JP2017513843A 2015-04-20 2015-04-20 粘性流体供給装置および部品実装装置 Active JP6450455B2 (ja)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2015/061994 WO2016170573A1 (ja) 2015-04-20 2015-04-20 粘性流体供給装置および部品実装装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2016170573A1 true JPWO2016170573A1 (ja) 2017-11-16
JP6450455B2 JP6450455B2 (ja) 2019-01-09

Family

ID=57144456

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017513843A Active JP6450455B2 (ja) 2015-04-20 2015-04-20 粘性流体供給装置および部品実装装置

Country Status (6)

Country Link
JP (1) JP6450455B2 (ja)
KR (1) KR102000008B1 (ja)
CN (1) CN107530727B (ja)
DE (1) DE112015006471T5 (ja)
TW (1) TWI584883B (ja)
WO (1) WO2016170573A1 (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6806877B2 (ja) * 2017-02-27 2021-01-06 ヤマハ発動機株式会社 部品実装装置
WO2019224930A1 (ja) * 2018-05-23 2019-11-28 ヤマハ発動機株式会社 支持部材配置決定装置、支持部材配置決定方法
CN114953595A (zh) * 2022-05-17 2022-08-30 亳州市裕同印刷包装有限公司 刮刀机构及刮楞设备

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6293317B1 (en) * 1999-04-12 2001-09-25 Esec Trading Sa Method and device for the application of a liquid substance
JP2001302134A (ja) * 2000-04-18 2001-10-31 Mitsubishi Electric Corp エレベーターの保守運転装置
JP2007290288A (ja) * 2006-04-26 2007-11-08 Shibaura Mechatronics Corp ペースト膜の形成装置
JP2013078433A (ja) * 2011-10-03 2013-05-02 Panasonic Corp 監視装置、プログラム
JP2013152061A (ja) * 2012-01-26 2013-08-08 Mitsubishi Electric Corp 加熱調理器
JP2015012095A (ja) * 2013-06-27 2015-01-19 Jukiオートメーションシステムズ株式会社 位置検出装置、基板製造装置、位置検出方法、及び基板の製造方法
WO2016170572A1 (ja) * 2015-04-20 2016-10-27 ヤマハ発動機株式会社 粘性流体供給装置および部品実装装置

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3885348B2 (ja) * 1998-03-31 2007-02-21 ブラザー工業株式会社 印判製造装置
JP5076922B2 (ja) * 2008-01-25 2012-11-21 株式会社日立プラントテクノロジー ハンダボール印刷装置
TW201010862A (en) * 2008-09-03 2010-03-16 Horng Terng Automation Co Ltd Scraper device with auto-sensing function

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6293317B1 (en) * 1999-04-12 2001-09-25 Esec Trading Sa Method and device for the application of a liquid substance
JP2001302134A (ja) * 2000-04-18 2001-10-31 Mitsubishi Electric Corp エレベーターの保守運転装置
JP2007290288A (ja) * 2006-04-26 2007-11-08 Shibaura Mechatronics Corp ペースト膜の形成装置
JP2013078433A (ja) * 2011-10-03 2013-05-02 Panasonic Corp 監視装置、プログラム
JP2013152061A (ja) * 2012-01-26 2013-08-08 Mitsubishi Electric Corp 加熱調理器
JP2015012095A (ja) * 2013-06-27 2015-01-19 Jukiオートメーションシステムズ株式会社 位置検出装置、基板製造装置、位置検出方法、及び基板の製造方法
WO2016170572A1 (ja) * 2015-04-20 2016-10-27 ヤマハ発動機株式会社 粘性流体供給装置および部品実装装置

Also Published As

Publication number Publication date
TW201637727A (zh) 2016-11-01
KR20170125910A (ko) 2017-11-15
CN107530727B (zh) 2019-07-26
CN107530727A (zh) 2018-01-02
DE112015006471T5 (de) 2017-12-28
WO2016170573A1 (ja) 2016-10-27
JP6450455B2 (ja) 2019-01-09
KR102000008B1 (ko) 2019-07-15
TWI584883B (zh) 2017-06-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100921231B1 (ko) 전자부품 탑재장치 및 전자부품 탑재방법
JP6450455B2 (ja) 粘性流体供給装置および部品実装装置
US6641030B1 (en) Method and apparatus for placing solder balls on a substrate
JP6378829B2 (ja) 粘性流体供給装置および部品実装装置
JP6324772B2 (ja) ダイボンダ用ディッピング機構及びフリップチップボンダ
JP2010135574A (ja) 移載装置
KR20190037177A (ko) 소자 실장 장치, 소자 실장 방법 및 소자 실장 기판 제조 방법
JPWO2015087420A1 (ja) 部品実装装置
CN111162024B (zh) 用于安装导电球的设备
TWI699146B (zh) 安裝導電球的方法
WO2019116506A1 (ja) ワーク作業装置
JP6785363B2 (ja) 電子部品装着機及び装着方法
JP6602269B2 (ja) 部品実装装置
JP2016179433A (ja) ペースト塗布装置
JP4174920B2 (ja) 転写ヘッド
JP2015060860A (ja) ダイボンダ用ディッピング機構及びフリップチップボンダ
JP2011187629A (ja) ダイボンド装置及びダインボンディング方法
JP2007103866A (ja) 電子部品の実装装置におけるフラックスの転写装置
JP2007294776A (ja) フラックス転写装置
JP2007294775A (ja) フラックス転写装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20170803

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20180724

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20180914

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20181204

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20181207

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6450455

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250