JP2007294776A - フラックス転写装置 - Google Patents

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Akio Watanabe
昭夫 渡邉
Hideki Tsuchiya
秀樹 土屋
Toshiaki Wada
俊明 和田
Makio Kameda
真希夫 亀田
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Abstract

【課題】転写時に電子部品を平面板上に置いてきた場合には、平面板とスキージとを相対的に移動させないようにして、スキージと平面板との間に落下した電子部品を挟んでしまうことを防止すること。
【解決手段】フラックスが粘性を有するので、転写時にBGA9を回転ディスク40上に置いてくることもあり、フラックス転写後に、回転ディスク40を回転させてスキージ50によりフラックスをならすと、スキージ50と回転ディスク40との間に落下したBGA9を挟んでしまう。そこで、フラックスの転写後に、真空センサ28からの検出出力に基づいて真空圧が一定値まで高まっているかをCPU60が判定し、高まっていればBGA9の吸着保持状態を維持しているものと判定して回転ディスク40を回転させるように駆動モータ42を制御し、高まっていなければ回転ディスク40上に置いてきたものと判定して回転ディスク40を回転させずに装着運転を停止するように制御する。
【選択図】図5

Description

本発明は、フラックス供給部から平面板に供給されたフラックスを駆動源により前記平面板とスキージとを相対的に移動させることによりスキージによりならし、このフラックスを吸着ノズルに保持された電子部品の突起電極に転写するためのフラックス転写装置に関する。具体的には、フラックス供給部から円盤状の回転ディスクに供給されたフラックスを駆動源により前記回転ディスクを回転させることによりスキージによりならし、このフラックスを吸着ノズルに保持された電子部品の突起電極に転写するためのフラックス転写装置に関する。
フラックス転写装置は、例えば特許文献1などに開示されているが、電子部品の突起電極にフラックスを転写した後に、駆動源により回転ディスクを回転させることによりスキージにより所定厚さとなるようにならしている。このようにすることにより、常時一定厚さのフラックスを転写することができる。
特許第3583319号公報
しかし、フラックスがある程度の粘性を有するものであり、転写時に電子部品の吸着位置がズレたり、ときに電子部品を回転ディスク上に置いてきたりすることが起こる。この場合に、フラックスを転写した後に、回転ディスクを回転させると、スキージと回転ディスクとの間に落下した電子部品を挟んでしまうことがことが起こり、スキージを傷付けてしまって、フラックスを一定の厚さにならすことができない。
そこで本発明は、転写時に電子部品を平面板上に置いてきたりすることが起こった場合には、前記平面板とスキージとを相対的に移動させないようにして、スキージと平面板との間に落下した電子部品を挟んでしまうことを防止することを目的とする。
このため第1の発明は、フラックス供給部から平面板に供給されたフラックスを駆動源により前記平面板とスキージとを相対的に移動させることによりスキージによりならし、このフラックスを吸着ノズルに保持された電子部品の突起電極に転写するためのフラックス転写装置において、前記吸着ノズルに保持された電子部品の突起電極へのフラックス転写後に該吸着ノズルに前記電子部品が保持されているか否かを検出する部品有無検出装置と、この部品有無検出装置が前記電子部品有りを検出した場合に前記平面板とスキージとを相対的に移動させるように前記駆動源を制御する制御装置とを設けたことを特徴とする。
第2の発明は、フラックス供給部から円盤状の回転ディスクに供給されたフラックスを駆動源により前記回転ディスクを回転させることによりスキージによりならし、このフラックスを吸着ノズルに保持された電子部品の突起電極に転写するためのフラックス転写装置において、前記吸着ノズルに保持された電子部品の突起電極へのフラックス転写後に該吸着ノズルに前記電子部品が保持されているか否かを検出する部品有無検出装置と、この部品有無検出装置が前記電子部品有りを検出した場合に前記回転ディスクを回転させるように前記駆動源を制御する制御装置とを設けたことを特徴とする。
第3の発明は、フラックス供給部から円盤状の回転ディスクに供給されたフラックスを駆動源により前記回転ディスクを回転させることによりスキージによりならし、このフラックスを吸着ノズルに保持された電子部品の突起電極に転写するためのフラックス転写装置において、前記吸着ノズルに保持された電子部品の突起電極へのフラックス転写後に該吸着ノズルによる前記電子部品の吸着保持状態を検出するための真空センサと、この真空センサの検出出力に基づいて前記電子部品有りを判定した場合に前記回転ディスクを回転させるように前記駆動源を制御する制御装置とを設けたことを特徴とする。
第4の発明は、フラックス供給部から円盤状の回転ディスクに供給されたフラックスを駆動源により前記回転ディスクを回転させることによりスキージによりならし、このフラックスを吸着ノズルに保持された電子部品の突起電極に転写するためのフラックス転写装置において、前記吸着ノズルに保持された電子部品の突起電極へのフラックス転写後に該吸着ノズルに前記電子部品が保持されているか否かを確認するための部品認識カメラと、この部品認識カメラが撮像した結果に基づき前記電子部品有りを確認した場合に前記回転ディスクを回転させるように前記駆動源を制御する制御装置とを設けたことを特徴とする。
第5の発明は、フラックス供給部から円盤状の回転ディスクに供給されたフラックスを駆動源により前記回転ディスクを回転させることによりスキージによりならし、このフラックスを吸着ノズルに保持された電子部品の突起電極に転写するためのフラックス転写装置において、前記吸着ノズルに保持された電子部品の突起電極へのフラックス転写後に該吸着ノズルに前記電子部品が保持されているか否かを確認するためのラインセンサと、このラインセンサが前記電子部品有りを確認した場合に前記回転ディスクを回転させるように前記駆動源を制御する制御装置とを設けたことを特徴とする。
本発明は、転写時に電子部品を平面板上に置いてきたりすることが起こった場合には、前記平面板とスキージとを相対的に移動させないようにして、スキージと平面板との間に落下した電子部品を挟んでしまうことを防止することができるから、スキージを傷付けてしまうことが防止できる。
以下、添付図面を参照して、本発明の実施形態に係るフラックス転写装置を電子部品装着装置に適用した例について図面を参照しながら説明する。図1は電子部品装着装置の平面図であり、図2はBGA(Ball Grid Array)の平面図であり、図3及び図4は前記電子部品装着装置に搭載されるフラックス転写装置の側面図及び平面図である。
図1において、電子部品装着装置1の基台2上にAビーム3及びBビーム4のY方向への移動を案内する一対のレール5が配置されている。前記Aビーム3及びBビーム4はX方向に長く、この長手方向に沿って装着ヘッド7、8がX軸モータ13、15によりそれぞれ移動可能に配設されている。従って、前記装着ヘッド7、8は、XY方向に移動可能になされている。
また、A側のY軸モータ10により回動されるボールネジ軸11がAビーム3に固定された図示しないナットに螺合しており、このAビーム3はボールネジ軸11の回動によりレール5に沿って移動可能である。Bビーム4は同様な構造のボールネジ軸12がB側のY軸モータ14により回動されることで、レール5に沿って移動する。
更に、前記基台2の図1における上下位置には、それぞれ部品供給台6が形成され、この部品供給台6上には種々の電子部品を供給する部品供給装置16が着脱可能に搭載されている。尚、部品供給装置16には、いわゆるテープ供給方式の部品供給装置や、スティック供給方式の部品供給装置や、トレイ供給方式の部品供給装置等がある。
また、30は前記部品供給台6上に着脱可能に搭載されるフラックス転写装置で、詳しくは後述するが、ある部品供給装置16から供給された突起電極(半田バンプ)を有する電子部品、例えばBGA9(Ball Grid Array)の突起電極9A(図2参照)にフラックスを転写するものである。
そして、前記装着ヘッド7、8は、各部品供給装置16から真空吸着により取り出した電子部品をプリント基板18の所望の位置に搬送して実装するものである。また、前記プリント基板18は、基台2上に設置された搬送コンベア20により搬送され、所定の作業ステージ位置で図示しない固定機構により位置決め固定される。
更に、前記部品供給装置16から装着ヘッド7、8の吸着ノズル24により取り出された電子部品は部品認識カメラ21により、その吸着ノズル24に対する吸着位置ズレ状況、部品落下状況、更には後述するフラックス転写状況等が撮像され、認識処理装置19により認識処理される。17は基板認識カメラで、前記プリント基板18に付された位置決めマーク(図示せず)を撮像し、前記認識処理装置19により認識処理される。
22は真空源(図示せず)及び吸着ノズル24に連通する第1開閉バルブで、23はエアー供給源(図示せず)及び吸着ノズル24に連通する第2開閉バルブである。そして、第1開閉バルブ22を開いて真空源に連通して吸着ノズル24が電子部品を吸着保持し、吸着ノズル24により電子部品をプリント基板18に装着する際に、前記第1開閉バルブ22を閉じると共に第2開閉バルブ23を開いてエアー供給源からのエアーを吹き出し状態として、真空を破壊する。28は真空センサで、前記吸着ノズル24が真空源による真空圧により電子部品を吸着保持する際に、この真空センサ28により真空圧が一定値まで高まっていれば電子部品を吸着保持しているものと判定できる。
以下、前記フラックス転写装置30について説明する。図3及び図4において、フラックス転写装置30の基台31上には、大きく分けてフラックス供給部32と、フラックス貯溜部33とが搭載されている。
前記フラックス供給部32は、前記基台31に支持台34を介して固定されたシリンジ35内にフラックスFを貯蔵し、ネジ36を所定回転させると所定量のフラックスFがホース37及びこれに接続された先端に下方に向けた吐出口を備えた供給パイプ38を通じて、前記フラックス貯溜部33に供給される。
前記フラックス貯溜部33は、基台31に回転可能に設けられ、前記フラックス供給部32から供給されたフラックスFを貯溜してフラックスFが外側に排出(流出)されないようにするための外縁41を備えた円盤状の回転ディスク40を有し、この回転ディスク40の基軸体46は駆動モータ42の出力軸の回動がプーリ43、ベルト44、プーリ45を介して伝えられ、ベアリング47を介して一定方向に回転させられる。前記外縁41は回転ディスク40の平面部よりも高く形成され、フラックスFが回転ディスク40の回転に伴って後述のスキージ50にならされる際に外側に排出(流出)されないようにするために形成される。
また、50は表面をテフロン(登録商標)コーティングした合成樹脂製のスキージで、前記回転ディスク40上に塗布されたフラックスFをならして所定塗布厚に調整するためのもので、対向する垂直片と、該一対の垂直片を連結する対向する一対の水平片とから構成され、一方の垂直片に固定された支持体51に固定されたスライダ52が案内レール53に沿って昇降可能である。
即ち、フラックスをならして所定塗布厚に調整するために、作業者がマイクロゲージ55を目盛を見ながら回動させるとネジ軸56が回動し、前記スライダ52と一体化されたナット体57がスライダ52と共に昇降することとなり、前記スキージ50が昇降することとなる。
なお、前記回転ディスク40上の前記フラックスFを前記スキージ50がならせるように、概ねスキージ50の回転ディスク40の上方に位置する部位は厚く、回転ディスク40の外方に位置する部位は段差が形成されて薄く作製されている。
次に、図5の制御ブロック図に基づいて、以下説明する。60は本装着装置1を統括制御する制御部としてのCPU(セントラル・プロセッシング・ユニット)で、該CPU60にはバスラインを介して、RAM(ランダム・アクセス・メモリ)62及びROM(リ−ド・オンリー・メモリ)63が接続されている。そして、CPU60は前記RAM62に記憶されたデータに基づいて、前記ROM63に格納されたプログラムに従い、電子部品装着装置1の部品装着動作に係る動作を統括制御する。即ち、CPU60は、インターフェース64及び駆動回路65を介して装着ヘッド7、8をX方向に移動させるX軸モータ13、15、前記Aビーム3、Bビーム4をY方向に移動させるY軸モータ10、14、吸着ノズル24を昇降させる上下軸モータ66、吸着ノズル24を回転させるθ軸モータ67、回転ディスク40を回転させる駆動モータ42などの駆動を制御している。
前記RAM62には、部品装着に係る装着データが記憶されており、その装着順序毎(ステップ番号毎)に、プリント基板内でのX座標、Y座標及び角度情報や、各部品供給ユニット3の配置番号情報等が記憶されている。また、前記RAM62には、前記各部品供給装置16の配置番号に対応した各電子部品の種類(部品ID)に関する部品配置データが記憶されている。更には、各電子部品(部品ID)毎に種別、X方向のサイズ、Y方向のサイズ、厚さ方向のサイズ等から構成される部品ライブラリデータも格納されている。
19はインターフェース64を介して前記CPU60に接続される認識処理装置で、部品認識カメラ21により撮像して取込まれた画像の認識処理を行なうと共に基板認識カメラ17により撮像して取込まれた画像の認識処理を行なう。尚、前記部品認識カメラ21や基板認識カメラ17により撮像された画像は表示装置としてのモニタ68に表示される。そして、前記モニタ68には種々のタッチパネルスイッチ69が設けられ、作業者がタッチパネルスイッチ69を操作することにより、電子部品装着に係る種々の設定を行うことができる。
次に、電子部品装着装置1の動作について説明する。先ず、電子部品装着装置1の作業テーブル位置に前記プリント基板18が搬送コンベア20により搬送され、位置決め機構により位置決め固定される。続いて、CPU60がX軸モータ13、15及びY軸モータ10、14を制御することにより、基板認識カメラ17が前記プリント基板18の位置決めマーク上方に来るように前記装着ヘッド7、8を移動させて、前記位置決めマークを撮像し、認識処理装置19が認識処理してプリント基板18の位置を把握する。
次いで、CPU60がX軸モータ13、15及びY軸モータ10、14を制御することにより、前記装着ヘッド7、8が所望の部品供給装置16の電子部品取り出し位置までXY移動して行き、そこで上下軸モータ66を制御することにより吸着ノズル24を下降させて吸着位置まで供給されたBGA9を吸着して取り出す。
続いて、装着ヘッド7、8が再び部品認識カメラ21上方までXY移動して行き、そこで、部品認識カメラ21が吸着ノズル24に吸着保持されたBGA9を撮像し、この撮像された画像を認識処理装置19が認識処理して、その装着ヘッド7、8の吸着ノズル24に対するBGA9の吸着位置ズレ状況、部品落下状況を認識する。
そして、認識異常がない場合には、装着ヘッド7、8は部品認識カメラ21上方から前記フラックス転写装置30のフラックス転写位置TNまで、XY移動して行き、そこでフラックスに吸着ノズル24に吸着保持されたBGA9の突起電極9Aが浸るまで下降させる。このときには、フラックス転写装置30の回転ディスク40上に供給されたフラックスFは既に転写に適した状態に準備されている。即ち、予め、前記フラックス供給部32のシリンジ35内のフラックスはホース37及び供給パイプ38を通じて回転ディスク40上に供給されて、駆動モータ42を駆動させて回転ディスク40を回転させ、所定塗布厚となるようにスキージ50でならされている。
なお、確実に同一のフラックス転写位置TNにて同じ姿勢でフラックスを転写するように、前記吸着ノズル24に対するBGA9の認識処理結果に基づいて吸着位置ズレを補正すべく、CPU60はX軸駆動モータ13、15、Y軸モータ10、14及びθ軸モータ67を補正制御する。このように、いつもフラックス転写位置TNにて同じ姿勢でフラックスを転写するようにしたから、フラックスの転写量も一定で品質が一定となる。更には、装着ヘッド7、8に複数の吸着ノズル24を備えて、この各吸着ノズル24にBGA9を吸着保持して、プリント基板18上に装着する構成にあっては、各吸着ノズル24に吸着保持された各BGA9にフラックスを転写しては駆動モータ42を駆動させて回転ディスク40を回転させて所定塗布厚となるようにスキージ50でならすようにすることによっても、フラックスの転写量も一定で品質が一定となる。
続いて、吸着ノズル24が転写位置TNに下降して、BGA9の突起電極9AにフラックスFを転写した後、吸着ノズル4は上昇し、装着ヘッド7、8が再び部品認識カメラ21上方までXY移動して行き、そこで、部品認識カメラ21が吸着ノズル24に吸着保持されたBGA9を撮像し、この撮像された画像を認識処理装置19が認識処理して、その装着ヘッド7、8の吸着ノズル24に対するBGA9の吸着位置ズレ状況、部品落下状況、そしてフラックス転写状況を認識する。
そして、認識異常がない場合には、CPU60は回転ディスク40を回転させると共に前記装着ヘッド7、8がXY移動し、装着位置まで下降してBGA9の突起電極9Aをプリント基板18上に装着させる。この場合、フラックスを転写した後のBGA9の位置ズレを補正すべく、CPU60はX軸駆動モータ13、15、Y軸モータ10、14及びθ軸モータ67を補正制御する。なお、BGA9をプリント基板18に装着する際には、真空源(図示せず)に連通する第1開閉バルブ22を閉じると共にエアー供給源(図示せず)に連通する第2開閉バルブ23を開いてエアー供給源からのエアーを吹き出し状態として、真空を破壊する。
以下、同様にプリント基板18上に必要な電子部品が装着され、半田をリフローすることで、プリント基板18上に各電子部品が固定される。
なお、フラックスがある程度の粘性を有するものであり、転写時にBGA9を回転ディスク40上に置いてきたりすることが起こる。この場合に、フラックスを転写した後に、回転ディスク40を回転させてスキージ50によりフラックスが一定厚さとなるようにならすと、スキージ50と回転ディスク40との間に落下したBGA9を挟んでしまうことが起こる。そこで、BGA9の突起電極9Aへのフラックスの転写を終え吸着ノズル24が上昇したときに、真空センサ28からの検出出力に基づいて真空圧が一定値まで高まっているかをCPU60が判定し、CPU60は高まっていればBGA9の吸着保持状態を維持しているものと判定して回転ディスク40を回転させるように駆動モータ42を制御し、高まっていなければBGA9の吸着保持状態が解除されて回転ディスク40上にBGA9を置いてきたものと判定して回転ディスク40を回転させずに電子部品装着装置1の装着運転を停止すると共に報知装置29で視覚的に又は聴覚的に報知するように制御する。
なお、真空センサ28の検出出力に基づいて判定した場合、転写の終了後、短時間で判定することができ、この結果、次の転写のための回転ディスク40の回転開始を極力早くすることができる。
以上のように、真空センサ28からの検出出力に基づいて、CPU60がフラックス転写後のBGA9の落下状態を判定するようにしたが、これに限らず、吸着ノズル24に吸着保持されたフラックス転写後のBGA9を部品認識カメラ21が撮像し、この撮像された画像を認識処理装置19が認識処理して、この認識処理結果に基づいて、BGA9が吸着ノズルに吸着保持されているか落下しているかをCPU60が判定するようにしてもよい。
更には、厚さ検出センサとしてのラインセンサ25からの検出出力に基づいて、CPU60がフラックス転写後のBGA9の落下状態を判定するようにしてもよい。即ち、前記ラインセンサ25は水平方向に直進する光ビームを発する投光器26と該光ビームを受光可能であるようにCCD素子が垂直方向の直線上に多数個並設されてなる受光器27とより構成されている。投光器26はLEDの光をレンズで集光して平行に直進する光線を発光するようにしてもよいし、レーザーを用いてこのようにしてもよい。CCD素子は10mm程度の上下幅に1000個程度が並設して受光器27を実現できる。このCCD素子は1個1個が受光量を検出でき、受光量のシキイ値を決めてやることによりON/OFFセンサとして使用できる。そのON/OFF出力によりBGA9により遮光されている部分が厚さとして検出できる。
そして、吸着ノズル24がBGA9を吸着保持した状態で、吸着ノズル24を移動させることによりラインセンサ25の投光器26と受光器27との間に位置せしめ、BGA9の厚さを検出し、CPU60はRAM62に当該厚さデータを格納させ、プリント基板18への装着の際には上下軸モータ66を制御することにより下降量が適切なものとなるが、フラックス転写後のBGA9の厚さを検出した際のラインセンサ25からの検出出力に基づいて、CPU60がフラックス転写後のBGA9の落下状態を判定することができる。
従って、CPU60はBGA9の吸着保持状態を維持しているものと判定すると回転ディスク40を回転させるように駆動モータ42を制御し、BGA9の回転ディスク40上に置いてきたものと判定すると回転ディスク40を回転させずに電子部品装着装置1の装着運転を停止すると共に報知装置29で視覚的に又は聴覚的に報知するように制御する。
以上のように、本発明は、転写時に電子部品を回転ディスク上に置いてきたりすることが起こった場合には、回転ディスクを回転させないようにして、スキージと回転ディスクとの間に落下した電子部品を挟んでしまうことを防止することができるから、スキージを傷付けてしまうことが防止できる。
また、回転ディスクの上に電子部品がある状態で回転した際に、電子部品のためにフラックスが均一にならない、例えばフラックス表面に溝ができたり又は一部が極端に薄くなり、次の電子部品への転写が確実に行なわれないような事態を回避できる。
なお、本発明は回転ディスクとスキージを備えたフラックス転写装置に限定されるものではなく、フラックスが供給される平面を備えた板(平面板)とスキージとが相対的に移動、例えば平行移動するものでも、転写動作後、吸着ノズルに電子部品が無いときには、前記相対的移動を行なわないようにすることによっても、同様な効果が得られる。
以上のように本発明の実施態様について説明したが、上述の説明に基づいて当業者にとって種々の代替例、修正又は変形が可能であり、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で前述の種々の代替例、修正又は変形を包含するものである。
本発明フラックス転写装置が適用される電子部品装着装置の平面図である。 BGAの平面図である。 スキージが上昇した状態のフラックス転写装置の側面図である。 スキージが上昇した状態のフラックス転写装置の平面図である。 制御ブロック図である。
符号の説明
1 電子部品装着装置
9 BGA
9A 突起電極
18 プリント基板
19 認識処理装置
21 部品認識カメラ
24 吸着ノズル
25 ラインセンサ
28 真空センサ
30 フラックス転写装置
40 回転ディスク
42 駆動モータ
50 スキージ

Claims (5)

  1. フラックス供給部から平面板に供給されたフラックスを駆動源により前記平面板とスキージとを相対的に移動させることによりスキージによりならし、このフラックスを吸着ノズルに保持された電子部品の突起電極に転写するためのフラックス転写装置において、前記吸着ノズルに保持された電子部品の突起電極へのフラックス転写後に該吸着ノズルに前記電子部品が保持されているか否かを検出する部品有無検出装置と、この部品有無検出装置が前記電子部品有りを検出した場合に前記平面板とスキージとを相対的に移動させるように前記駆動源を制御する制御装置とを設けたことを特徴とするフラックス転写装置。
  2. フラックス供給部から円盤状の回転ディスクに供給されたフラックスを駆動源により前記回転ディスクを回転させることによりスキージによりならし、このフラックスを吸着ノズルに保持された電子部品の突起電極に転写するためのフラックス転写装置において、前記吸着ノズルに保持された電子部品の突起電極へのフラックス転写後に該吸着ノズルに前記電子部品が保持されているか否かを検出する部品有無検出装置と、この部品有無検出装置が前記電子部品有りを検出した場合に前記回転ディスクを回転させるように前記駆動源を制御する制御装置とを設けたことを特徴とするフラックス転写装置。
  3. フラックス供給部から円盤状の回転ディスクに供給されたフラックスを駆動源により前記回転ディスクを回転させることによりスキージによりならし、このフラックスを吸着ノズルに保持された電子部品の突起電極に転写するためのフラックス転写装置において、前記吸着ノズルに保持された電子部品の突起電極へのフラックス転写後に該吸着ノズルによる前記電子部品の吸着保持状態を検出するための真空センサと、この真空センサの検出出力に基づいて前記電子部品有りを判定した場合に前記回転ディスクを回転させるように前記駆動源を制御する制御装置とを設けたことを特徴とするフラックス転写装置。
  4. フラックス供給部から円盤状の回転ディスクに供給されたフラックスを駆動源により前記回転ディスクを回転させることによりスキージによりならし、このフラックスを吸着ノズルに保持された電子部品の突起電極に転写するためのフラックス転写装置において、前記吸着ノズルに保持された電子部品の突起電極へのフラックス転写後に該吸着ノズルに前記電子部品が保持されているか否かを確認するための部品認識カメラと、この部品認識カメラが撮像した結果に基づき前記電子部品有りを確認した場合に前記回転ディスクを回転させるように前記駆動源を制御する制御装置とを設けたことを特徴とするフラックス転写装置。
  5. フラックス供給部から円盤状の回転ディスクに供給されたフラックスを駆動源により前記回転ディスクを回転させることによりスキージによりならし、このフラックスを吸着ノズルに保持された電子部品の突起電極に転写するためのフラックス転写装置において、前記吸着ノズルに保持された電子部品の突起電極へのフラックス転写後に該吸着ノズルに前記電子部品が保持されているか否かを確認するためのラインセンサと、このラインセンサが前記電子部品有りを確認した場合に前記回転ディスクを回転させるように前記駆動源を制御する制御装置とを設けたことを特徴とするフラックス転写装置。

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2023017620A1 (ja) * 2021-08-13 2023-02-16 株式会社新川 フラックス転写装置、フラックス転写方法及び実装装置

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