JP2003332800A - 電子部品装着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 吸着ノズル毎の真空度に関する複数のデータ
を記憶装置に記憶させ、使用する吸着ノズルに応じた真
空度に関するデータから電子部品吸着の有無を判断する
ようにし、生産タクトを速くして、生産効率の向上を図
ること。 【解決手段】 装着ヘッド７に設けられた複数の吸着ノ
ズル２１のうち使用する吸着ノズル２１の電子部品を吸
着していない状態での真空度を検出する真空センサ４３
と、前記吸着ノズル２１毎の電子部品を吸着していない
状態での前記真空度に関する複数のデータを記憶するＲ
ＡＭを設け、前記真空センサ４３により検出された真空
度と切り替え使用される吸着ノズル２１に応じた前記Ｒ
ＡＭに記憶されたデータとに基づいて電子部品２４吸着
の有無を判断するＣＰＵを設けた。

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【発明の属する技術分野】本発明は、部品供給部から装
着ヘッドに設けられた複数の吸着ノズルのうち任意の吸
着ノズルを使用して真空吸引により電子部品を取出し、
プリント基板に装着する電子部品装着装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】一般に、１装着ヘッドに１個の吸着ノズ
ルしかない電子部品装着装置にあっては、前記吸着ノズ
ルの真空度を検出する真空センサにより電子部品の吸着
の有無を検出する場合に、吸着の有無の判定に参照され
る真空度に関する１つのリファレンス値を記憶装置に格
納している。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】しかし、複数種の電子
部品を部品供給部から吸着して取出すために、真空通路
の径が異なる吸着ノズルの交換を行う必要があるが、１
つのリファレンス値しか格納されていないため、吸着ノ
ズルの交換後、電子部品の吸着取出前に、電子部品を吸
着せずに吸引してそのリファレンス値を更新して前記記
憶装置に格納させる必要があり、生産タクトが遅くな
り、生産効率向上の妨げとなっていた。まして、装着ヘ
ッドに複数の吸着ノズルを設けたものにあっては、尚更
である。 【０００４】そこで本発明は、装着ヘッドに設けられた
複数の吸着ノズルのうち任意の吸着ノズルを使用して真
空吸引により電子部品を取出す電子部品装着装置におい
て、前記吸着ノズル毎の真空度に関する複数のデータを
記憶装置に記憶することにより、使用する吸着ノズルに
応じた吸着の有無の判定に参照される真空度に関するデ
ータから電子部品吸着の有無を判断するようにし、生産
タクトを速くして、生産効率の向上を図ることを目的と
する。 【０００５】 【課題を解決するための手段】このため本発明は、部品
供給部から装着ヘッドに設けられた複数の吸着ノズルの
うち任意の吸着ノズルを使用して真空吸引により電子部
品を取出し、プリント基板に装着する電子部品装着装置
において、前記吸着ノズルの電子部品を吸着していない
状態での真空度を検出する真空センサと、前記吸着ノズ
ル毎の電子部品を吸着していない状態での前記真空度に
関する複数のデータを記憶する記憶装置を設け、前記真
空センサにより検出された真空度と切り替え使用される
吸着ノズルに応じた前記記憶装置に記憶されたデータと
に基づいて電子部品吸着の有無を判断する制御装置を設
けたことを特徴とする。 【０００６】 【発明の実施の形態】図に基づき、本発明の実施の形態
を以下説明する。図１は電子部品装着装置１の平面図
で、該装置１の基台２上には種々の電子部品を夫々部品
取出し部（後述の部品吸着位置１０）に１個ずつ供給す
る部品供給ユニット３が複数並設されている。対向する
ユニット３群の間には、供給コンベア４、位置決め部５
及び排出コンベア６が設けられている。供給コンベア４
は上流より受けたプリント基板Ｐを前記位置決め部５に
搬送し、位置決め部５で図示しない位置決め機構により
位置決めされた基板Ｐ上に電子部品が装着された後、排
出コンベア６に搬送される。 【０００７】図１では後述する装着ヘッド７等が省略し
て記載されているが、前記基板Ｐ及び部品供給ユニット
３の上方には図２（図１のＢ矢視側面図）に示すように
装着ヘッド７及びその駆動機構が設けられており、以下
装着ヘッド７等につき説明する。 【０００８】８はＸ方向に長いビームであり、一対のガ
イド９に沿ってプリント基板Ｐや部品供給ユニット３の
部品吸着位置１０上方をＹ軸リニアモータ２５によりＹ
方向に移動する。吸着位置１０はＸ軸に平行な直線上に
並ぶ。 【０００９】ビーム８には図３（図１のＡ矢視側面図）
に示すようにその長手方向、即ちＸ方向にＸ軸リニアモ
ータ１１によりガイド１２に沿って個別に移動するＸ移
動ユニット１３が２個設けられている（図面では１個の
み図示）。夫々のＸ移動ユニット１３には装着ヘッド７
を上下動させるための上下軸モータ１４が搭載され、該
モータ１４の回転によりヘッドブロック１５が上下動す
る。該ブロック１５には装着ヘッド７が角度補正軸モー
タ１６により鉛直軸周りにベアリング１７を介して回転
可能に取り付けられている。角度補正軸モータ１６が回
転させる軸１８に固定されたホルダ１９（図３では図示
せず）に、装着ヘッド７は図４（概略側面図）に示すよ
うにその水平軸２０と共に回転可能に取り付けられてい
る。 【００１０】したがって、２個の装着ヘッド７は個別に
Ｘ方向に移動可能であり、垂直線回りに回転可能で、か
つ上下動可能となっており、また一緒にＹ方向に移動可
能である。 【００１１】次に、前記装着ヘッド７等について、図
５、図６及び図７に基づき詳述する。該装着ヘッド７
は、水平軸２０と、各吸着ノズル２１が取り付けられる
ノズル取付部２６と、該取付部２６が取り付けられたノ
ズルホルダ２７とから構成される。各装着ヘッド７の外
周には夫々６０度間隔で吸着ノズル２１が放射状に６本
ずつ設けられている。図９に示す６本のノズル２１は基
本的には吸引径（内径）の異なる種類のものであり、大
きさ等が異なる部品種に応じて切り替え選択されて使用
されるが、ノズル２１の本数は各６本に限定されるもの
ではなく、これより少なく又は多く設けてもよい。即
ち、ホルダ１９に設けられたノズル選択用モータ２２の
駆動により装着ヘッド７は回転し、選択されたノズル２
１が下向きとなり電子部品２４を吸着可能となる。 【００１２】更に詳述すれば、各ノズル２１の中間部に
は円板状の反射板２５が固定され、また該ノズル２１は
水平軸２０の案内部内を摺動可能な中空状のノズル取付
部２６に係止部材２３により係止されるも着脱可能に設
けられている。そして、水平軸２０とノズルホルダ２７
との間には両者が離反するように付勢するバネ２８が設
けられている。３１、３２はナットとレールで、両者で
リニアガイドを構成し、前記水平軸２０が回転したとき
に各ノズルホルダ２７に設けられたレール３２が前記水
平軸２０のナット取付部３０に取付けられたナット３１
に案内されるようにして、カム３３のカム面３３Ａに沿
ってカムフォロア３４が案内されながら、カム３３の中
心に対してノズルホルダ２７及びノズル２１が近づいた
り遠ざかったりすることとなる。 【００１３】即ち、後述のロック機構が作動してロック
している状態では、前記ノズル選択用モータ２２が通電
されると、ベアリング２９を介して回転する前記水平軸
２０周囲に設けられたカム３３のカム面３３Ａに沿って
バネ２８によりノズルホルダ２７の側面端部に設けられ
たカムフォロア３４が圧接しながら、ノズルホルダ２７
等の装着ヘッド７が回転することとなる。 【００１４】この場合、図５に示すように、ノズル選択
用モータ２２の駆動により切り替え選択された吸着ノズ
ル２１が下向きとなって部品吸着位置１０に来たときに
は、カム面３３Ａの面位置が最下位となり、選択された
吸着ノズル２１はノズル取付部２６の端部に開設された
連通用開口３７が水平軸２０の真空路３６と連通可能と
なるよう下降することとなる。しかもカム３３の切欠部
４２にカムフォロア３４が嵌る状態となり確実に位置が
固定される。 【００１５】従って、開口３７、真空路３６、通路３８
等を介して、該ノズル２１の部品吸着用の真空回路は図
示しない真空源に接続され、その真空回路途中に吸着ノ
ズル２１の真空度を検出する真空センサ４３が設けられ
ている。この真空センサ４３は前記吸着ノズル２１に電
子部品２４を吸着保持すると真空度が高まるので、電子
部品吸着の有無を検出することができる。 【００１６】３９はゴムから成るシール材で、４０はロ
ック機構を構成するエアシリンダで、該シリンダが作動
するとロッド４１がカム３３の開口に突き刺さりノズル
選択用モータ２２が駆動してベアリング２９、３５を介
して水平軸２０が回転してもカム３３は回転せず、ロッ
ド４１が突き刺さってなければ前述の如くバネ２８によ
りカムフォロア３４がカム３３のカム面３３Ａに圧接し
ているので水平軸２０と共にカム３３も回転することと
なる。このため、開口３７、真空路３６、通路３８等を
介して、該ノズル２１の部品吸着用の真空回路は開いて
いる電磁弁４４を介して真空源に接続されたまま、部品
吸着ノズル２１は部品吸着位置１０から部品認識位置ま
での９０度の範囲内は真空吸引の状態であるから、部品
が吸着ノズル２１から落下することは無い。 【００１７】尚、前述の如く、ロック機構をエアシリン
ダ４０で構成したが、これに限らず、電磁ソレノイドや
その他の手段で構成してもよい。 【００１８】また、図３に示すようにＸ移動ユニット１
３には部品位置認識カメラ4５が取付フレーム４６を介
して吊下げられており、その光軸は水平方向を向いてい
る。即ち、部品位置認識カメラ４５はＸ軸移動ユニット
１３毎に設けられ、この移動ユニット１３が移動するこ
とにより装着ヘッド７と共に移動する。前記カメラ４５
は電子部品２４がノズル２１に対してどれだけ位置ずれ
して吸着保持されているかＸＹ方向及び回転角度につ
き、位置認識する。 【００１９】尚、図8及び図9に示すように、各種センサ
を設ける実施例につき説明する。先ず、前記部品位置認
識カメラ４５の取付フレーム４６の両端にアーム４７を
固定し、一対の部品有無検出センサ４８（図９では正面
側のものについては図示を省略しているが、奥側のもの
は図示している。）を該アーム４７に取り付ける。該部
品有無検出センサ４８は一方の投光素子から投ずる光ビ
ームを他方の受光素子が受光するかしないかで電子部品
の有無（ノズル２１に吸着されているか否か）を検出す
るものである。このような光センサを投受光センサと呼
ぶことにする。この光ビームは図９の電子部品２４上の
黒丸の位置を通るもので、部品２４に遮光されて受光素
子が受光しない場合に部品無しを検出する。 【００２０】この検出動作は電子部品２４を部品供給ユ
ニット３から吸着ノズル２１が取出して、装着ヘッド７
の９０度回転により当該ノズル２１が部品位置認識カメ
ラ４５に向かい合って停止したときに、部品位置認識カ
メラ４５による撮像と並行して行われる。部品２４が無
ければ、その後の装着動作は行われない。尚、カメラ４
５の撮像により、部品の有無を検出することも考えられ
るが、画像から部品の有無を判断することは、簡単では
ないため、かかるセンサ４８を用いる。 【００２１】更に、吸着ノズル２１の長さを検出するセ
ンサを、図９の黒丸４９の位置に設ける。このセンサ
も、前述の投受光センサであり、黒丸４９がその光ビー
ムの通る位置となる。このセンサは、間違って長い吸着
ノズル２１が装着ヘッド７に取り付けられた場合に検出
するものであり、長いノズルが取り付けられて光ビーム
が該ノズルに遮られた時に異常（誤取付）であることを
検出して、図示しない報知装置により使用者に報知等が
行われる。この検出動作は部品２４を取出す動作を行う
前に行うものであり、電源投入時やノズルを交換した後
などに行われることになる。 【００２２】このセンサは図示しないが、図８の部品有
無検出センサ４８と同様にカメラ４５を取り付ける取付
フレーム４６からアームを伸ばして取り付けることにな
る。 【００２３】また、吸着ノズル２１の有無を検出するセ
ンサを、図９の黒丸５０の位置に設ける。この位置にあ
るのは、下方を向き電子部品２４を取り出すことができ
る位置にあるノズル２１の有無を検出するためである。
このセンサも投受光センサであり、黒丸５０が光ビーム
の通る位置である。このセンサも図示しないが、図７の
部品有無検出センサ４８と同様にカメラ４５を取り付け
る取付フレーム４６からアームを伸ばして取り付けるこ
とになる。このセンサが検出動作を行うのは、通常の部
品取出し装着動作時ではなく、装着ヘッド７内のノズル
２１を該ヘッド７に無いノズル２１と交換動作を行った
後などである。即ち、交換用ノズル２１は基台２上のノ
ズルストッカ５１（図1参照）に収納されているが、交
換された新しいノズル２１がヘッド７に装着されている
にも拘わらず、本装着装置１が無いと判断して、ノズル
ストッカ５１に装着ヘッド７を下降させる等の動作を再
びすることを防止するために前記センサは使用される。 【００２４】尚、図１３の制御ブロック図に基づき、以
下説明する。本装着装置１の電子部品装着に係る動作を
統括制御する制御部としてのＣＰＵ６１、記憶装置とし
てのＲＡＭ（ランダム・アクセス・メモリ）６２及びＲ
ＯＭ（リ−ド・オンリー・メモリ）６３などから構成さ
れている。前記ＲＡＭ６２には、電子部品の装着順序毎
にプリント基板Ｐ内でのＸ方向、Ｙ方向及び角度位置情
報や、ＦＤＲ番号（各部品供給ユニット３の配置番号）
情報等から成る装着データやプリント基板Ｐに付された
位置決めマークの位置などが格納されている。 【００２５】また、このＲＡＭ６２には、交換用ノズル
も含め各吸着ノズル２１のリファレンス値が格納されて
いる。このリファレンス値は、前記吸着ノズル２１が電
子部品２４を吸着していない状態で電磁弁４４を開いて
真空源に連通させたときの真空センサ４３に検出された
真空度であり、吸引径の大きさにより異なる。図１４に
示すように、ヘッドに装着されている吸着ノズルについ
ては、装着されている位置毎に更に記憶され、例えば図
９における最右方に位置する吸着ノズル２１のリファ
レンス値は−６８．４ｋＰａ（キロパスカル）で、その
右下隣りの吸着ノズル２１のリファレンス値は−７
８．０ｋＰａであり、以下順次は−５７．９ｋＰａ、
は−５７．８ｋＰａ、は−５７．８ｋＰａ、は−
６２．７ｋＰａである。 【００２６】そして、電子部品を吸着した状態での真空
センサ４３の真空度は、概ね−９６ｋＰａとなるため、
電子部品を吸着したか否かの判定では前記リファレンス
値より第１の設定値でありＲＡＭ６２に記憶されている
例えば−６ｋＰａまで真空度が上がったか否かで、ＣＰ
Ｕ６１が判定すればよい。また、図９における〜に
位置する吸着ノズルの何れかにてノズル切り替えが発生
したときには、切り替わった位置のリファレンス値が切
り替え後の吸着ノズルのリファレンス値に切り替ってＲ
ＡＭ６２に記憶され、以後、切り替わったリファレンス
値に基づいて電子部品が吸着されたか否かが判断され
る。このため、従来のように吸着ノズルが切り替わった
ときに、電子部品を吸着せずに吸引してリファレンス値
を求め、更新する動作は不要になり、生産タクトを速く
することができる。 【００２７】そして、ＣＰＵ６１は前記ＲＡＭ６２に記
憶されたデータに基づき、前記ＲＯＭ６３に格納された
プログラムに従い、電子部品装着装置１の部品装着動作
に係る動作を統括制御する。即ち、ＣＰＵ６１は、駆動
回路６０を介して前記Ｘ軸リニアモータ１１、Ｙ軸リニ
アモータ２５、上下軸モータ１４、更に角度補正軸モー
タ１６の駆動を制御する。 【００２８】６４はインターフェース６５を介して前記
ＣＰＵ６１に接続される部品認識処理部で、前記部品位
置認識カメラ４５により撮像して取込まれた画像の認識
処理が該認識処理部６４にて行われ、ＣＰＵ６１に処理
結果が送出される。即ち、ＣＰＵ６１は、部品位置認識
カメラ４５に撮像された画像を認識処理（位置ずれ量の
算出など）するように指示を部品認識処理部６４に出力
すると共に、認識処理結果を認識処理部６４から受取る
ものである。 【００２９】即ち、前記部品認識処理部６４の認識処理
により位置ずれ量が把握されると、その結果がＣＰＵ６
１に送られ、ＣＰＵ６１はビーム８がＹ軸リニアモータ
２５の駆動によりＹ方向に、装着ヘッド７がＸ軸リニア
モータ１１の駆動によりＸ方向に移動させることによ
り、また角度補正軸モータ１６によりθ回転させ、Ｘ，
Ｙ方向及び鉛直軸線回りへの回転角度位置の補正がなさ
れるものである。 【００３０】以上の構成により、以下動作について説明
する。先ず、プリント基板Ｐが図示しないコンベアによ
り上流装置より供給コンベア４を介して位置決め部５に
搬送され、位置決め機構により位置決め固定される。次
に、プリント基板Ｐの装着すべきＸＹ座標位置、鉛直軸
線回りへの回転角度位置及び部品種が指定された装着デ
ータに従い、吸着ノズル２１が装着すべき電子部品２４
を所定の部品供給ユニット３から吸着して取出す。 【００３１】即ち、各装着ヘッド７が装着すべき電子部
品２４を収納する各部品供給ユニット３上方に夫々位置
するよう移動するが、Ｙ方向はＹ軸リニアモータ２５に
よりビーム８が移動し、Ｘ方向はＸ軸リニアモータ１１
の駆動によりガイド１２に沿って２個のＸ移動ユニット
１３が夫々移動する。 【００３２】そして、既に所定の各供給ユニット３は駆
動されて部品吸着位置１０にて部品が取出し可能状態に
あるため、各上下軸モータ１４が駆動して各ヘッドブロ
ック１５が下降しそのノズル２１も下降して吸着し取出
す。この場合、取出すべき電子部品２４に合ったノズル
２１がその先端が下方に向くように、各装着ヘッド７は
各ノズル選択用モータ２２が通電されて、エアシリンダ
４０のロッド４１がカム３３の開口に突き刺さって不動
状態にあるカム３３のカム面３３Ａに沿ってバネ２８に
よりカムフォロア３４が圧接しながら各装着ヘッド７は
回転し、上下軸モータ１４の駆動による部品取出しのた
めに下降する前に、使用すべき各ノズル２１は既に選択
されて下方に向いたまま、カムフォロア３４が切欠部４
２に嵌合して位置が定まった状態にある。このため、図
５に示すように、中空状のノズル取付部２６の上端側部
に開設された開口３７が真空路３６と連通可能となり、
通路３８を介して各装着ヘッド７の当該ノズル２１は真
空源に連通し、部品を真空吸着し各部品供給ユニット３
から夫々取出すこととなる。 【００３３】このとき、使用する吸着ノズル２１が電子
部品を吸着した状態での真空センサ４３の真空度は、概
ね−９６ｋＰａとなるため、電子部品を吸着したか否か
の判定では該当する吸着ノズル２１のリファレンス値よ
り−６ｋＰａまで真空度が上がったか否かで、ＣＰＵ６
１が判定し、吸着したものと判定され、更に真空度が第
２の設定値でありＲＡＭ６２に記憶されている−８０ｋ
Ｐａまで上がると次の動作に移る。 【００３４】即ち、各上下軸モータ１４が駆動してヘッ
ドブロック１５及び吸着ノズル２１が上昇し、Ｙ方向は
一対のガイド９に沿ってビーム８が移動し、Ｘ方向はＸ
軸リニアモータ１１の駆動によりガイド１２に沿って各
Ｘ移動ユニット１３が移動することにより、各装着ヘッ
ド７はプリント基板Ｐの上方位置まで移動する。この移
動途中で、図１０に示すように、各ノズル選択用モータ
２２により各装着ヘッド７は９０度回転し、図示しない
光源からの光を反射板２５により反射させ、その透過像
を部品位置認識カメラ４５が撮像し、電子部品２４が該
ノズル２１に対してどれだけ位置ずれして吸着保持され
ているかＸＹ方向及び回転角度につき、位置認識する。 【００３５】尚、位置認識の際に各ノズル選択用モータ
２２により各装着ヘッド７が９０度回転する前に、ロッ
ク機構のエアシリンダ４０のロッド４１がカム３３の開
口から抜けた状態にしているため、該モータ２２が駆動
するとバネ２８によりカムフォロア３４がカム３３に圧
接しているので水平軸２０と共にカム３３も回転するこ
ととなる。このため、真空源（図示せず）に接続するか
しないかの切替えバルブ（図示せず）は各ヘッド７に１
個設けられており、部品吸着をしたノズル２１は開口３
７、真空路３６、通路３８、切替えバルブ等を介して、
真空源に連通して電子部品の吸着状態を維持したまま、
９０度回転することとなる（図１１参照）。 【００３６】また、前記装着ヘッド７の９０度回転によ
りノズル２１が部品位置認識カメラ４５に向かい合って
停止したときに、部品有無検出センサ４８の電子部品の
有無検出（ノズル２１に吸着されているか否か）がカメ
ラ４５による撮像と並行して行われ、部品２４が無けれ
ばその後の装着動作は行われない。このように、真空セ
ンサ４３及び部品有無検出センサ４８で二重に部品吸着
の有無検出を行っているが、真空センサ４３による有無
検出だけでもよい。 【００３７】そして、基板Ｐに部品を装着する前の前述
の装着ヘッド７の移動中に、前述の認識動作とは逆に各
ノズル選択用モータ２２を駆動して９０度分各装着ヘッ
ド７を戻し、前述の認識結果に基づき、その位置ずれ分
だけノズル２１は画像処理手段（図示せず）よりビーム
８がＹ方向に、Ｘ軸リニアモータ１１の駆動によりＸ方
向に移動することにより、また各角度補正軸モータ１６
によりθ回転し、Ｘ，Ｙ方向及び鉛直軸線回りへの回転
角度位置の補正がなされる。 【００３８】そして、この補正後に、一方の上下軸モー
タ１４が駆動してヘッドブロック１５が下降しノズル２
１も下降してプリント基板Ｐ上の所定位置に一方の部品
２４が装着され、次いで前記モータ１４によりヘッドブ
ロック１５が上昇しつつビーム８がＹ方向に補正量も含
めて移動し、同様に他方の上下軸モータ１４が駆動し他
方の装着ヘッド７のノズル２１が下降して他方の部品を
装着する。 【００３９】このようにして、以下装着データに従い、
次々に電子部品が取出されプリント基板Ｐ上に装着され
る。 【００４０】なお、装着ヘッド７に無いノズル２１を使
用する場合には、装着ヘッド７をＸＹ方向に移動して、
基台２上のノズルストッカ５１のノズルの無い場所まで
移動し装着ヘッド７を下降させて、係止部材２３を解除
してノズル取付部２６より使用しないノズル２１を外し
てストッカ５１に置いた後、装着ヘッド７を上昇させる
とともに使用すべきノズル２１上方に移動させ、次いで
下降して新しいノズル２１を装着ヘッド７のノズル取付
部２６に取付けて係止部材２３で固定した後、上昇す
る。 【００４１】このノズル交換後の部品２４を取出し動作
を行う前には、図９の黒丸４９の位置に設けられたセン
サにより、吸着ノズル２１の長さが検出され、間違って
長い吸着ノズル２１が装着ヘッド７に取り付けられた場
合に光ビームが該ノズルに遮られた時に異常（誤取付）
であることを検出して、図示しない報知装置により使用
者に報知等が行われる。 【００４２】そして、交換後に交換されたノズル２１が
下方を向いて電子部品２４を取出すことができる位置に
移動すると、ノズル２１の有無をセンサ（黒丸５０の位
置）が検出する。有りと検出されるので、交換された新
しいノズル２１がヘッド７に装着されているにも拘わら
ず、本装着装置１が無いと判断した場合のノズルストッ
カ５１に装着ヘッド７を下降させる等の動作を再びする
ことが防止される。 【００４３】また同じく、このノズル交換後の電子部品
２４を取出し動作を行う前に下方を向いて電子部品２４
を取出すことができる位置に移動した状態で、電磁弁４
４に通電して、当該交換後の吸着ノズル２１を真空源に
連通させ、真空センサ４３により電子部品を吸着しない
状態で真空度を検出し、当該吸着ノズル２１のリファレ
ンス値をＲＡＭ６２に更新格納する。 【００４４】 【発明の効果】以上本発明によれば、装着ヘッドに設け
られた複数の吸着ノズルのうち任意の吸着ノズルを使用
して真空吸引により電子部品を取出す電子部品装着装置
において、前記吸着ノズル毎の電子部品を吸着していな
い状態での真空度に関する複数のデータを記憶装置に記
憶することにより、使用する吸着ノズルに応じた吸着の
有無の判定に参照される前記真空度に関するデータから
電子部品吸着の有無を判断するようにし、生産タクトを
速くして、生産効率の向上を図ることができる。

【図面の簡単な説明】 【図１】電子部品装着装置の平面図である。 【図２】図１のＢ矢視側面図である。 【図３】図１のＡ矢視側面図で、電子部品の吸着状態を
示す図である。 【図４】装着ヘッド等の概略側面図である。 【図５】ホルダ及び装着ヘッド等の断面図である。 【図６】ノズルの取付け状態を示す断面図である。 【図７】図５カムとカムフォロアを示す図である。 【図８】移動カメラ及び部品有無検出センサを示す図で
ある。 【図９】移動カメラ及び各センサの取付位置を示す図で
ある。 【図１０】図１のＡ矢視側面図で、電子部品の移動認識
状態を示す図である。 【図１１】吸着ノズルの各位置における高さノズルの真
空の状態を示す図である。 【図１２】吸着ノズルの部品取出し時のＹ補正動作を示
す図である。 【図１３】制御ブロック図である。 【図１４】各吸着ノズルのリファレンス値を示す図であ
る。 【符号の説明】 １ 電子部品装着装置 ３ 部品供給ユニット ７ 装着ヘッド ８ ビーム １１ Ｘ軸リニアモータ １３ Ｘ移動ユニット １４ 上下軸モータ １５ ヘッドブロック １６ 角度補正軸モータ ２１ 吸着ノズル ３６ 真空路 ４３ 真空センサ ４４ 電磁弁 ６１ ＣＰＵ ６２ ＲＡＭ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 【請求項１】 部品供給部から装着ヘッドに設けられた
   複数の吸着ノズルのうち任意の吸着ノズルを使用して真
   空吸引により電子部品を取出し、プリント基板に装着す
   る電子部品装着装置において、前記吸着ノズルの電子部
   品を吸着していない状態での真空度を検出する真空セン
   サと、前記吸着ノズル毎の電子部品を吸着していない状
   態での前記真空度に関する複数のデータを記憶する記憶
   装置を設け、前記真空センサにより検出された真空度と
   切り替え使用される吸着ノズルに応じた前記記憶装置に
   記憶されたデータとに基づいて電子部品吸着の有無を判
   断する制御装置を設けたことを特徴とする電子部品装着
   装置。