CN1846995A - 印刷装置及印刷方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种对基板印刷糊状焊料等糊剂的印刷装置及印刷方法，上述印刷装置，包括对模版(51)进行清扫的清洁器(8)；安装上述清洁器(8)并相对于模版(51)沿Y轴方向移动的移动单元(75)；安装在上述移动单元(75)上并具有拍摄模版(51)及基板的摄像机的摄像机单元(7)；采用本发明，可抑制成本上升，同时可提高清扫作业的效率。

Description

印刷装置及印刷方法

技术领域

本发明涉及一种对基板印刷糊状焊料等糊剂的印刷装置及印刷方法。

背景技术

以往已知的网印装置，将用于网印的模版(遮片)重叠在载放于印刷台的基板上，通过刮板(squeegee)扩展供给在模版上的糊状焊料等糊剂，然后经形成在模版上的开口部(图案孔)将焊料印刷(涂敷)在基板的规定位置上。

专利文献1(日本专利公开公报特开2004-042333号)的印刷装置，其中为了对基板和模版进行位置调整而对该基板和模版进行拍摄的摄像机，可在基板和模版之间沿水平方向移动，同时对模版进行清扫的清洁器，可在基板和模版之间沿水平方向中的一个方向移动。当对基板进行印刷作业时，上述摄像机和清洁器，隔着印刷作业区域的分别两侧而处于待机状态，当对模版进行清扫时，摄像机移到清洁器一侧并与该清洁器连接，通过摄像机的驱动机构移动清洁器而进行清扫作业。

可是，如专利文献1所示，将清洁器与摄像机连接的结构，需要在清扫开始时将摄像机移到清洁器的待机位置，进行与清洁器的连接操作，而且清扫后清洁器要返回待机位置，并且摄像机要移回到自己的待机位置，因而造成清扫作业的时间较长。

另一方面，若设置对清洁器进行单独驱动的驱动机构将会导致成本上升。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而作，其目的在于提供一种可抑制成本上升、同时可提高清扫作业效率的印刷装置及印刷方法。

本发明的经模版将焊料涂敷在基板上的印刷装置，包括清扫模版(stencil)的清洁器(cleaner)；可安装上述清洁器并相对于模版沿第1方向移动的移动单元；安装在上述移动单元上，用于拍摄模版和基板的至少一方的摄像机。

采用上述印刷装置，由于在移动清洁器的移动单元上设置有摄像机，因此在清扫时无需花费连接摄像机与清洁器的时间，从而可有效率地进行清扫作业。并且，由于移动清洁器的移动单元可作为摄像机的移动机构予以使用，因此不会导致成本上升。

上述印刷装置，可包括使摄像机在上述移动单元上沿着与第1方向交叉的第2方向移动的移动装置。

采用上述印刷装置，由于具有使摄像机沿第2方向移动的移动装置，因此在第1方向上摄像机与清洁器可共用一个移动机构进行移动，同时摄像机可在由第1方向与第2方向所形成的平面内移动来进行拍摄。

上述移动单元，可退避至与位于模版下方的印刷作业区域相隔一定距离的待机位置。

采用上述印刷装置，由于移动单元可退避至待机位置，因此清洁器和摄像机可同时退避至待机位置，或从待机位置进入印刷作业区域。

上述移动单元，其中摄像机的设置位置与清洁器的设置位置相比接近于印刷作业区域。

采用上述印刷装置，由于摄像机的设置位置与清洁器的设置位置相比接近于印刷作业区域，因此当移动单元从待机位置向印刷作业区域移动时，与清洁器相比摄像机可以较短的移动距离到达印刷作业区域，当进行摄像机的拍摄时可有效率地进行拍摄作业。

上述摄像机，通过拍摄模版来确认该模版的清扫状态。

采用上述印刷装置，由于可在移动单元从印刷作业区域返回待机位置的移动过程中，确认被清洁器清扫过的模版的状态，因此可有效地利用移动单元的移动时间。而且，在上述返回待机位置的移动过程中，由于摄像机在移动方向上位于清洁器的后方，因此在上述返回过程中，一方面清洁器可进行清扫，另一方面可通过摄像机确认清扫状态。

上述摄像机，包括拍摄模版的模版拍摄用摄像机和拍摄基板的基板拍摄用摄像机。

采用上述印刷装置，可将移动单元作为清洁器以及模版拍摄用摄像机和基板拍摄用摄像机的驱动机构予以使用。

上述印刷装置，还可包括相互平行地设置在支撑上述基板的印刷台两侧的构架，该两构架之间可架设移动单元，以及分别设置在上述两个构架上，驱动上述移动单元使其两端沿着与上述构架设置方向相同的方向移动的的两个驱动装置。

采用上述印刷装置，除可得到上述效果外，还可使移动单元相对于移动方向不发生倾斜，并可高速移动，在确保摄像机具有较高的位置精度的同时，可缩短拍摄时间。

本发明的另外一种经模版将焊料涂敷在被印刷台支撑的基板上的印刷装置，包括相互平行地设置在印刷台两侧的构架；架设在上述两个构架之间并设置有拍摄模版的模版拍摄用摄像机的移动单元；分别设置在上述两个构架上，驱动上述移动单元使其两端沿着与上述构架设置方向相同的方向移动的两个驱动装置。

采用上述印刷装置，由于移动单元通过分别设置在两构架上的两个驱动装置予以驱动而移动，因此移动单元相对于移动方向不会发生倾斜，并可高速移动，在确保摄像机具有较高的位置精度的同时，可缩短拍摄时间。

上述印刷装置，还可包括使模版拍摄用摄像机在上述移动单元上沿着与上述构架设置方向正交的方向移动的移动装置。

采用上述印刷装置，由于具有使摄像机沿着与构架的设置方向正交的方向移动的移动装置，因此在构架的设置方向上摄像机可与清洁器共用一个移动机构进行移动，同时摄像机可在由构架的设置方向和与其垂直的方向所形成的平面上移动来进行拍摄。

上述移动单元，可退避至与位于模版下方的印刷作业区域相隔一定距离的待机位置。

采用上述印刷装置，由于移动单元可退避至待机位置，因此在进行印刷作业时可避免移动单元与位于印刷作业区域的设备产生的干涉。

上述模版拍摄用摄像机，通过拍摄模版来确认该模版的清扫状态。

采用上述印刷装置，可通过确认清扫状态来确保印刷质量。

上述移动单元，设置有拍摄基板的基板拍摄用摄像机。

采用上述印刷装置，由于移动单元设置有基板拍摄用摄像机，因此可缩短对每块基板进行拍摄的时间。

本发明的经模版将焊料涂敷在基板上的印刷方法，在涂敷上述焊料之前，通过安装在相对于模版沿第1方向移动的移动单元上的清洁器清扫上述模版，同时通过安装在上述移动单元上的摄像机拍摄模版和基板的至少一方。

采用上述印刷方法，在清扫时无需花费连接摄像机与清洁器的时间，从而可有效率地进行清扫作业，此外还能抑制成本的上升。

上述印刷方法中，在位于印刷台的基板的印刷予以完成且该印刷台与模版分离之后，使上述清洁器进行的模版清扫操作，同时相对于该印刷台进行基板的搬出搬入操作。

采用上述印刷方法，除可得到上述效果外，还可在清扫操作中，于印刷台进行下一块基板的印刷准备，从而可在清扫操作后迅速开始下一块基板的印刷操作，以进一步提高生产效率。

本发明的另一种经模版经焊料涂敷在印刷台上的基板的印刷方法，可在位于印刷台的基板的印刷予以完成且该印刷台和模版分离之后，使清洁器相对于模版移动以此进行清扫，同时相对于印刷台进行基板的搬出搬入操作。

采用上述印刷方法，由于可在清洁器对模版的清扫操作中，于印刷台进行下一块基板的印刷准备，从而可在清扫操作后迅速开始下一块基板的印刷操作，因此可提高包括清扫作业在内的整体生产效率。

上述印刷方法中，在进行上述清扫操作的同时，可相对于搬入上述印刷台的基板进行固定在该印刷台的规定位置的固定操作。

采用上述印刷方法，由于与清扫操作同步地进行基板的固定操作，因此在清扫操作后可迅速开始下一块基板的印刷操作，从而可提高包括清扫作业在内的整体生产效率。

上述印刷方法中，在进行上述清扫操作的同时，可对固定在印刷台上的基板进行拍摄。

采用上述印刷方法，由于与清扫操作同步地进行基板拍摄，因此在清扫操作后可迅速开始下一块基板的印刷操作，从而可提高包括清扫操作在内的整体生产效率。

上述印刷方法中，在清扫模版后，可对模版的清扫状态进行确认。

采用上述印刷方法，可通过确认清扫状态来确保印刷质量。

上述印刷方法中，可在清洁器从待机位置向印刷作业区域移动的过程中，通过清洁器对模版进行清扫，在清洁器从印刷作业区域返回待机位置的过程中，通过与清洁器一同移动的摄像机对基板或模版进行拍摄。

采用上述印刷方法，可在清洁器进行清扫后从印刷作业区域位置返回到待机位置的过程中，进行摄像机的拍摄，以此实现作业时间的有效利用。

上述印刷方法中，在上述清洁器从印刷作业区域返回待机位置的过程中，同时进行上述摄像机的拍摄与清洁器对模板的清扫。

采用上述印刷方法，由于清洁器可在移动过程中进行清扫，因此可更确实可靠地对模板进行清扫，同时在清洁器从印刷作业区域返回待机位置的过程中使摄像机进行拍摄，可实现作业时间的有效利用。

上述印刷方法中，在上述清洁器从印刷作业区域返回待机位置的过程中，与清洁器一同移动的模版拍摄用摄像机对模版进行拍摄，与清洁器一同移动的基板拍摄用摄像机对基板进行拍摄。

采用上述印刷方法，可在清洁器从印刷作业区域返回待机位置的过程中对模版与基板进行拍摄，从而实现作业时间的有效利用。

附图说明

图1是本发明的一实施方式所涉及的印刷装置的侧视图。

图2是表示上述印刷装置的主视图。

图3是概略地表示上述印刷装置的俯视图。

图4是表示上述印刷装置的印刷台及其周围的立体图。

图5是表示上述印刷装置的夹具(clamp)单元及其周围的侧视图。

图6是表示上述印刷装置的定位板相对于夹具的位置关系的立体图，其中，图6(a)是定位板处于退避位置时的立体图，图6(b)是定位板处于定位位置的立体图。

图7是概略地表示本实施方式所涉及的印刷装置的各个部位的位置关系的立体图。

图8是表示上述印刷装置的摄像机单元及清洁器单元的立体图。

图9是从斜下方观测上述印刷装置的摄像机单元及清洁器单元的立体图。

图10是表示上述印刷装置的控制系统的方框图。

图11是表示上述印刷装置的基板搬出搬入及清扫的操作顺序的流程图。

图12是用于说明上述印刷装置的操作的侧视图，其中，图12(a)是先行基板在印刷完成时的侧视图，图12(b)是基板下降时的侧视图，图(c)是解除基板夹具时的侧视图，图12(d)是升降台下降时的侧视图。

图13是用于说明上述印刷装置的操作的侧视图，其中，图13(a)是基板搬出搬入时的侧视图，图13(b)表示在进行清扫操作的同时为了固定基板而使定位板处于进入定位位置的状态的侧视图，图13(c)表示在进行清扫操作的同时为了固定基板而使基板处于上升状态的侧视图，图13(d)表示在进行清扫操作的同时为了固定基板而使基板处于被夹持的状态的侧视图。

图14是用于说明上述印刷装置的操作的侧视图，其中，图14(a)表示在进行清扫操作的同时为了固定基板而使定位板处于退避状态的侧视图，图14(b)表示对模版及基板进行拍摄时的侧视图，图14(c)是拍摄完毕时的侧视图，图14(d)是扩展焊料时的侧视图。

具体实施方式

图1是本发明的一实施方式所涉及的网刷装置的侧视图，图2是上述装置的主视图，图3是上述装置的俯视图，图4是上述装置的印刷台10及其周围的立体图。如上述各图所示，上述网印装置的基台2，设置有印刷台10，该印刷台10的两侧，沿X轴方向(搬送路径方向)分别设置有将印刷基板W相对于印刷台10进行搬入和搬出的上游侧搬送带11和下游侧搬送带12。

另外，上述印刷装置，还包括用于夹持印刷基板W的夹具单元3、用于在夹持基板W时与基板上表面卡合以进行定位的定位单元4、设置在印刷台10上方的模版保持单元5以及刮板单元6、用于拍摄基板W及模版51的摄像机单元7、用于清扫模版51的清洁器8，并且如后所述，模版保持单元5的模版51重叠在通过夹具单元3予以夹持的基板W上，在此状态下，通过刮板单元6的刮板61实施网印。

如图1及2所示，基座2上，在水平面内沿着与X轴方向正交的Y轴方向设置有导轨211，同时，该导轨211上安装有可沿Y轴方向自由滑动的Y轴台21。另外，Y轴台21以及基座2之间，设置有滚珠丝杠机构(图示略)，通过该滚珠丝杠机构的驱动，Y轴台21相对于基台2沿Y轴方向移动。

Y轴台21上，沿X轴方向设置有导轨221，同时该轨道221上安装有沿X轴方向自由滑动的X轴台22。另外，在X轴台22及Y轴台21之间设置有滚珠丝杠机构(图示略)，通过该滚珠丝杠机构的驱动，X轴台22可相对于Y轴台21沿X轴方向移动。

X轴台22，设置有经转动单元231围绕铅垂方向(Z轴方向)的轴线自由转动的R轴台23。上述R轴台23，通过未图示的驱动装置的驱动围绕Z轴转动。

R轴台23的四角，安装有沿上下方向(Z轴方向)自由滑动的滑动支柱241，同时在此滑动支柱241的上部，安装有升降台24，通过滑动支柱241的滑动，升降台24可相对于R轴台23沿Z轴方向自由升降。另外，升降台24及R轴台23之间设置有滚珠丝杠机构243，通过该滚珠丝杠机构243的驱动，升降台24相对于R轴台23沿Z轴方向(上下方向)移动。在本实施方式中，升降台24及设置于升降台24上的夹具单元3等构成印刷台10。

升降台24上，沿X轴方向设置有一对主搬送带20。上述主搬送带20，在升降台24处于降下的状态时，其上游侧端部及下游侧端部分别与上述上游侧搬送带11的端部及下游侧搬送带12的端部相对。在上述相对的状态下，主搬送带20与位于其两侧的搬送带11及12之间的间隙，设定为基板W在搬送带之间可顺利移载的间隙，具体而言，可设定为5mm左右的较小尺寸。因此，在本实施方式中，主搬送带20，为避免与两侧的搬送带11及12发生干涉，在升降台24处于降下的状态时，因X轴台22和R轴台23的移动而产生的X轴方向和R轴方向的移动受到限制，同时为防止相对于两侧的搬送带11、12产生位置偏离，因Y轴台21和R轴台23的移动而产生的Y轴方向和R轴方向的移动受到限制。即，主搬送带20，在升降台24处于降下的状态时，因X轴台21、Y轴台22和R轴台23的移动而产生的在水平方向(X轴方向、Y轴方向和R轴方向)上的移动受到限制。

如图1～5所示，设置在升降台24上的夹具单元3，具有在一对主搬送带20的上方沿X轴方向设置的一对带板状夹持片31a、31b。一方的夹持片31a，固定在升降台24的结构件25(参照图5)上，另一方的夹持片31b，相对于升降台24的结构件25沿Y轴方向可自由滑动地予以安装，且相对于上述夹持片31a自由离合。

另外，上述夹持片31b，设置有支架26b，在该支架26b与结构件25之间设置有气缸33。通过上述气缸33的前进驱动(伸张驱动)，上述夹持片31b可沿Y轴方向向离开上述夹持片31a的方向移动，由此夹持片31a、31b分离。另外，通过上述气缸33的后退驱动(收缩驱动)，上述夹持片31b可沿Y轴方向向接近夹持片31a的方向移动，由此夹持片31a、31b闭合。这样，通过一对夹持片31a、31b的离合操作，可对基板W尽心保持或解除保持。

如图3、4所示，两夹持片31a、31b的上表面，设置有多个吸引孔35。上述各吸引孔35，可通过未图示的吸引装置产生负压。在模版51重叠于夹持片31a、31b上的状态下，通过各吸收孔35所产生的负压，使模版51吸附保持在夹持片31a、31b的上表面。

如图5所示，设置在升降台24的定位单元4，具有一对分别对应于两夹持片31a、31b而予以设置的带板状定位板41a、41b。一方的定位板41a，经平行连杆机构42设置在结构件25上，另一方的定位板41b，经平行连杆机构42设置在上述支架26b上。随着平行连杆机构42、42的转动，上述两定位板41a、41b，可始终保持水平姿势，并在图6(a)所示的位于一对夹持片31a、31b两侧的退避位置，和图6(b)所示的与一对夹持片31a、31b按压抵接的定位位置之间，自由地进行变位。另外，上述两定位板41a、41b，位于退避位置时，其上表面与上述一对夹持片31a、31b的上表面处于同一水平面内，位于定位位置时，其下端面的一部分与一对夹持片31a、31b相比向Y轴方向内侧突出。

另外，升降台24以及支架26b，设置有用于驱动两平行连杆机构42的气缸43，通过气缸43的前进驱动(伸张驱动)，一对定位板41a、41b沿Y轴方向向内侧移动而进入定位位置，另外，通过气缸43的后退驱动(收缩驱动)，一对定位板41a、41b予以开放并移动至退避位置。

如图4所示，升降台24的四角，立设有作为定位板支撑用支撑部件的支柱44。在定位板41a位于退避位置(退避状态)时，定位板41a、41b通过支柱44予以支撑，因而可克服后述刮板61在扩展焊料时所产生的印压。

如图4所示，定位板41a、41b，设置有多个吸引孔45。上述各吸引孔45，经吸引管46通过未图示的吸引装置产生负压。如后所述，在模版51重叠于定位板41a、41b的状态下，通过各吸引孔45所产生的负压，模版51被吸附保持在定位板41a、41b的上表面。

如图1～5所示，升降台24，设置有对应于一对主搬送带20之间的部位，经滑动支柱291可沿上下方向升降自如的载置台29。另外，在上述载置台29与升降台24之间设之有滚珠丝杠机构(图示略)，通过此滚珠丝杠机构的驱动，载置台29相对于升降台24可沿上下方向移动。上述载置台29，可作为载置基板W的载置装置，当其上升时，主搬送带20上的基板W移载到载置台29上并向上方移动，当其下降时，载置台29上的基板W移载到主搬送带20一侧。

图7是概略地表示本实施方式所涉及的印刷装置的各个部位的位置关系的立体图。

模版保持单元5，如图5及图7所示，具有固定设置在印刷台10的左右两侧的模版支撑台52，该模版支撑台52上，以水平张贴状态载置有在焊料涂敷部位具有开口部(图案孔)的模版51。左右的模版支撑台52上，每边分别设置有两个模版夹具53，该模版夹具53通过气缸等驱动装置(省略图示)的驱动，将模版51的框部54按压在模版支撑台52上，从而使模版51固定在模版支撑台52上。

设置在模版保持单元5的上侧的刮板单元6，通过立设于印刷台左右两侧的两个刮板支撑构架63、63予以支撑。左右两个刮板支撑构架63、63的上表面，分别设置有沿Y轴方向延伸的刮板导轨64、64。在该刮板导轨64、64上可沿Y轴方向自由移动的可动横梁65，横跨在印刷台10的上方。上述可动横梁65，安装有刮板保持架62，该刮板保持架62设置有一对可分别自由升降的刮板61，61。

在一方的刮板61处于降下的状态时，使其向Y轴方向的一方移动，可使糊状焊料S在模版51上向Y轴方向的上述一方压延扩展，而在另一方的刮板61处于降下的状态时，使其向Y轴方向的另一方移动，可使糊状焊料S在模版51上向Y轴方向的上述另一方压延而扩展。

图8是表示本实施方式所涉及的印刷装置的摄像机单元及清洁器的立体图，图9是从斜下方观测摄像机单元及清洁器的的立体图。

如图7～9所示，上述刮板支撑构架63、63的下侧，沿Y轴方向延伸且相互平行的下侧导轨74，74设置在印刷台的两侧。通过滑块(slider)741，741支撑在上述下侧导轨74、74上的移动横梁(移动单元)75，架设在左右的刮板支撑构架63，63之间。上述移动横梁75，可沿下侧导轨74、74在Y轴方向上移动，其高度位置设定在处于降下状态的印刷台10与模版51之间。

刮板支撑构架63、63的各自外侧，沿Y轴方向设置有两个滚珠丝杠76、76，该左右的滚珠丝杠76、76，通过滚珠丝杠驱动电机761的驱动而转动，由此可驱动设置有分别与上述滚珠丝杠76，76螺合的螺母的移动横梁75沿Y轴方向移动。在本实施方式中，上述左侧滚珠丝杠76及滚珠丝杠驱动电机761和右侧滚珠丝杠76及滚珠丝杠驱动电机761，构成驱动移动横梁(移动单元)75进行移动的两个驱动装置。

上述移动横梁75，安装有用于拍摄基板W及模版51的摄像机单元7和清洁器8。在本实施方式中，移动横梁75，作为相对于模版51移动的移动单元而发挥其功能，Y轴方向是其移动方向(第1方向)。这样，通过在移动横梁(移动单元)75上设置清洁器8和摄像机单元7，可将移动横梁(移动单元)75作为上述清洁器8和摄像机单元7在Y轴方向上移动的移动机构予以共用。

另外，支撑上述移动横梁75的下侧导轨74、74，设置在从模版51下方的印刷作业区域至其后方的区域内，当对基板W实施涂敷焊料的印刷操作时，摄像机单元7及清洁器8退避至位于印刷作业区域后方的待机位置，以防止摄像机单元7及清洁器8与印刷台10产生干涉。由此，移动横梁(移动单元)75可退避至与位于模版51下方的印刷作业区域A相隔一定距离的待机位置E，从而可使清洁器8和摄像机单元7同时退避至待机位置E，或从待机位置E移向印刷作业区域A。

另外，移动横梁(移动单元)75，如上所述，可退避至位于印刷作业区域后方的待机位置，因而其纵深尺寸受到限制，所以在其移动方向(Y轴方向)上无法采用较大的尺寸。因此，很难充分确保滑块741，相对于引导移动横梁75的移动方向的下侧导轨74，在移动方向上具有较长的长度(当在移动方向采用多个滑块时为各个滑块之间的间隔)。可是，如上所述，在本实施方式中，由于是通过两个驱动装置驱动移动横梁75移动，与仅有一方受到驱动的情况相比，不会有不均等的驱动力传达至移动横梁75。因此，移动横梁(移动单元)75，不会相对于移动方向产生倾斜，即可高速移动。另外，左右两驱动装置的移动速度之差及移动后的移动距离之差，分别被控制在规定值以内，由此对移动横梁(移动单元)75进行驱动。

摄像机单元7，安装在移动横梁(移动单元)75的前方，即与清洁器8相比安装在接近于印刷作业区域的位置。由此，摄像机单元7，其到达印刷作业区域的移动距离短于清洁器8的移动距离，当仅进行摄像机单元7的拍摄时可获得较高的作业效率。

上述摄像机单元7，设置有包括模版拍摄用摄像机711和基板拍摄用摄像机712的摄像机头部(head)71，该摄像机头部71，通过设置于移动横梁75前端的摄像机移动机构77的驱动，可沿X轴方向移动。由此，摄像机头部71，通过摄像机移动机构77的驱动在X轴方向上移动，通过摄像机单元7与清洁器8的移动机构在Y轴方向上移动，从而在XY平面上移动以进行拍摄。

摄像机移动机构77，包括在移动横梁75的长度方向上沿X轴方向延伸的摄像机导轨771、在该导轨771上可沿X轴方向移动的滑块772、与设置在该滑块772上的螺母(图示省略)螺合的滚珠丝杠773、驱动该滚珠丝杠773转动的驱动电机774。摄像机头部71，安装在滑块772上。通过滚珠丝杠773的转动驱动，该摄像机头71可沿X轴方向移动。在本实施方式中，摄像机移动机构77，作为使摄像机沿着与第1方向正交的第2方向移动的移动装置而发挥功能。上述X轴方向为第2方向。

模版拍摄用摄像机711，由具有照明的CCD摄像机等构成，为拍摄位于摄像机单元7上侧的模版51而面向上方设置。当通过清洁器8对模版51进行清扫时，为确认模版的开口或下表面是否残留有焊料等清扫状态而进行拍摄。另外，当安装新的模版51时，为了和基板W进行位置调整，模版拍摄用摄像机711，拍摄模版51所设置的定位标志，从而可测出该模版51的位置。

基板拍摄用摄像机712，由具有照明的CCD摄像机等构成，为拍摄位于摄像机单元7下侧的基板W而面向下方设置。另外，为了和模版51进行位置调整，基板拍摄用摄像机712，拍摄固定在印刷台10上的基板W所设置的定位标志等，从而可测出该基板W的位置。

清洁器8，安装在移动横梁(移动单元)75的后方，可沿Y轴方向移动。上述清洁器8，设置有升降可能的清洗头部81，该清洗头部81位于上升位置时，可与模版51下表面(印刷面)滑接以进行清扫。

在上述清洗头部81上，带状拭纸从清洁器8内的卷轴依次予以供给。然后，宽度为对应于模版51的X轴方向尺寸的吸嘴，经擦拭纸吸附模版51的下表面，由此可在吸出模版51的下表面及开口部所残留的糊状焊料的同时进行擦拭。此时，也可根据模版51或糊状焊料的种类等，适当地使擦拭纸含有清洗溶剂，以提高清扫效果。

图10是表示本发明的印刷装置的控制系统的方框图。如图10所示，在此装置中，设置有用于控制各驱动部的驱动的控制装置的CPU91，作为输入装置的键盘92、作为显示装置的CRT显示器93、以及存储装置94等。其中，键盘92，用于向印刷装置输入有关印刷处理的各种数据；CRT显示器93，显示各种信息(数据)；存储装置94，存储印刷所必要的各种数据等。

另外，在本实施方式中，作为通过CPU91予以控制的驱动部(作为控制对象的设备)，包括，各搬送带11、12、20的驱动部；各台21、22、23、24、29的驱动部；夹持片31a、31b及定位板41a、41b的驱动部(空气供给装置)；模版夹具53的驱动部；模版拍摄用摄像机711及基板拍摄用摄像机712的驱动部；作为移动横梁(移动单元)75的驱动部的滚珠丝杠驱动电机761；作为摄像机移动机构的驱动部的驱动电机774；清洁器8及刮板61的驱动部等。

在本实施方式的印刷装置中，CPU91响应来自键盘92的指令而运作，根据程序数据等各种数据、摄像机711、712的拍摄结果、以及检测基板位置的各种传感器所输出的信息，对上述各驱动部的驱动进行控制，并自动进行如下的操作。

下面，对上述印刷装置的操作，参照图11所示的流程、以及用于说明图12～14所示的上述印刷装置的操作的侧视图加以说明。

在此，作为上述印刷装置的操作的初期状态，设定为如图12(a)所示的先行基板W处于印刷完成的状态。

当对先行基板W的印刷作业完成后(步骤S10)，如图12(b)所示，在印刷台10，使升降台24稍作下降，于是基板W从模版51脱离(模版脱离)。此时，按照规定要求，Y轴台21、X轴台22及R轴台23，适当地向Y轴、X轴及R轴方向移动，于是基板W的水平位置返回至规定的通常位置。

然后，如图12(c)所示，夹持片31a、31b予以开放，从而解除对基板W的夹持，接着，如图12(d)所示，载置台29下降，基板W从载置台29移载到主搬送带20，与此同时，升降台24也下降，由此主搬送带20可降至对应于上游侧搬送带11及下游侧搬送带12的搬送高度位置(步骤S12)。

这样，当印刷台10降至上述搬送高度位置时，如图13(a)所示，已完成印刷作业的先行基板W，经主搬送带20搬送到下游侧搬送带12，以送往下一工序，与此同时，下一基板W，经上游侧搬送带11搬入到主搬送带20(步骤S14)。

然后，搬入到主搬送带20的上述下一基板W，被固定在印刷台10上的规定位置(步骤S16)。

具体而言，如图13(b)所示，定位单元4的定位板41a、41b，向内侧移动并停止在从上方按压抵接夹持片31a、31b的定位位置，之后如图13(c)所示，载置台29上升。然后，基板W的上表面与定位板41a、41b的下表面抵接后止动，由此基板W的上表面与夹持片31a、31b的上表面位于同一平面内，在此状态下如图13(d)所示，使夹持片31a、31b闭合，由此通过夹持片31a、31b夹持基板W。接着，如图14(a)所示，定位板41a、41b向外侧移动至退避位置，从而该下一基板W在印刷台10上的固定作业完成。此时，定位板41a、41b的上表面及夹持片31a、31b的上表面位于同一平面内，同时夹持片31a、31b的上表面和基板W的上表面位于同一平面内。

当印刷台10降至上述搬送高度位置(上述步骤S12)时，可在进行上述基板的搬出搬入(步骤S14)及下一基板的固定(步骤S16)的同时，进行模版51的清扫(步骤S18)。这样，清洁器所进行的对模版51的清扫操作，基板W相对于印刷台10的搬出搬入操作，基板W的固定操作可同时进行，因此在清扫操作结束后，可迅速地开始对下一基板W的印刷操作，由此可提高包括清扫作业在内的整体生产效率。模版的清扫，可在每板基板或规定数量的基板印刷完毕后予以进行。

上述对模版51的清扫，是使具有摄像机头部71和清洁器8的移动横梁(移动单元)75，进入印刷台10下降后在模版51下方的印刷作业区域A所形成的空间内而予以进行。

具体而言，如图13(a)所示，清洁器8从待机位置E移向印刷作业区域A侧，然后如图13(b)所示，在印刷作业区域A的位于待机位置E一侧(同图右侧)的端部位置(后端位置)A1，使清洗头部81上升与模版51的下表面抵接；然后，如图13(c)所示，在上述状态下，使清洗头部81向印刷作业区域A的另一侧(同图左侧)端部位置(前端位置)A2移动，在此移动过程(往路)中清扫模版51的下表面及开口；之后如图13(d)所示，在清洗头部81到达前端位置A2后即结束往路的清扫操作，接着如图14(a)所示，使清洗头部81暂时降下以解除其与模版51的抵接，之后向清洗头81送出新的擦拭纸以备下一次清扫操作。

如上所述，同时进行的基板的搬出搬入(步骤S14)、下一基板的固定(步骤S16)、在往路中对模版的清扫(步骤S18)结束后，如图14(b)所示，具有摄像机单元7及清洁器8的移动横梁75从印刷作业区域A向待机位置E移动，在此(返路)过程中，对模版51进行清扫，并同时对模版51及基板W进行拍摄(步骤S20)。由此，可有效地利用移动横梁(移动单元)75的移动时间，实现作业时间的有效利用。

虽然在返路过程中，与上述往路过程同样地对模版51进行清扫，不过为确保对模版51及基板W的拍摄精确度，可在拍摄时根据要求，将可能成为振动源的移动横梁75的移动操作及清洁器的驱动操作予以停止。

另外，上述拍摄，可通过移动横梁75在Y轴方向的移动操作与由摄像机移动机构77驱动的摄像机头部71在X轴方向的移动操作的相互组合，并根据要求，在模版51及基板W的整个区域内予以进行。

其中，对模版51的拍摄，可通过模版拍摄用摄像机711进行，以此确认开口中是否有残留焊料及下表面是否有秽物等清扫状态。此时，在移动横梁75上，模版拍摄用摄像机711较清洁器8更位于前侧，即在返路的移动方向上位于清洁器8的后方，因此在返路的移动过程中可确认清洁器8在返路中的清扫状态。

另外，对基板W的拍摄，可通过基板拍摄用摄像机712拍摄形成在基板W的标志等予以进行，以识别基板W的种类以及基板W处于固定在印刷台上的状态时的位置。

当根据模版51的拍摄结果，判断为清扫状态不充分时，清扫操作将重新进行。这样，可确保较高的印刷质量。此时，可使清洁器8在印刷作业区域A的全区域内再次往返以进行清扫，或仅在往路或仅在返路进行清扫，也可仅对被判断为清扫状态不充分的部分进行清扫。

当对模版51及基板W的拍摄完结后，如图14(c)所示，移动横梁75退到待机位置E(步骤S22)，印刷台10为了印刷下一基板而上升到移动横梁75已经退出的印刷作业区域A(步骤S24)中。具体而言，首先，升降台24稍微上升，当主搬送带20向上方高出两侧的搬送带11、12时，根据上述基板的拍摄结果，Y轴台21、X轴台22、R轴台23向Y轴、X轴、R轴方向适当移动，以微调(补正)基板W在水平方向上相对于模版51的位置。

当基板W的位置补正完毕后，如图14(d)所示，升降台24上升，使定位板41a、41b、夹持片31a、31b、基板W的上表面，和模版保持单元5的模版51的下表面相重合而呈重叠状态。然后，使夹持片31a、31b的吸引孔35、定位板41a、41b的吸引孔45产生负压，以吸附模版51，从而使模版51被吸附固定在夹持片31a、31b以及定位板41a、41b上。

之后，降下刮板单元6的一方的刮板61，使之在模版51上沿Y轴方向移动，以此扩展被供给在模版51上的糊状焊料S，该糊状焊料S，经模版51的图案孔被印刷(涂敷)在基板W的规定位置。

在本实施方式中，当进行焊料涂敷时，刮板61、先在模版51的上表面中对应一方的定位板41a以及一侧的夹持片31a的的区域(其中一方的准备区域)进行移动，然后进入模版51的上表面中对应于基板W上方的的区域(印刷区域)进行滑动。这样，在对基板W涂敷糊状焊料S之前，可在准备区域混合糊状焊料S使其粘度降低。由此使糊状焊料S可确实可靠地填充到模版51的图案孔，从而取得对基板W的良好涂敷精度。

另外，在本实施方式，每进行一板基板W的印刷处理后，将交替使用一方或另一方的刮板61。即，一方的刮板61从该方的准备区域向印刷区域滑动以使焊料S涂敷在基板W上的单向移动印刷处理、和另一方的刮板61从模版51的上表面中对应于该方的定位板41b及该侧的夹持片31b的区域(另一方的准备区域)向印刷区域滑动以使焊料S涂敷在基板W上的单向移动印刷处理，在每板基板的印刷处理后交替进行。

如上所述，采用本实施方式的印刷装置，由于在移动清洁器8的移动横梁(移动单元)75上设置了拍摄模版51及基板W的摄像机单元7，因此省去了清扫时连接摄像机单元7与清洁器8的时间，从而可有效率地进行清扫作业。

而且，使清洁器8沿Y轴方向移动的移动横梁(移动单元)75作可为摄像机单元7的移动机构予以使用，因此不会导致成本上升。

特别是在摄像机单元7上设置了模版拍摄用摄像机711和基板拍摄用摄像机712，因此可将移动横梁(移动单元)75作为清洁器8和模版拍摄用摄像机711及基板拍摄用摄像机712的驱动机构予以使用。

另外，在本实施方式中，具有使摄像机头部71沿着与移动横梁(移动单元)75的移动方向(Y轴方向)正交的方向(X轴方向)移动的摄像机移动机构(移动装置)77，因此在Y轴方向上摄像机单元7和清洁器8可共用一个移动机构，同时摄像机头部71可在XY平面内移动来进行拍摄。

特别是摄像机头部71，设置了模版拍摄用摄像机711和基板拍摄用摄像机712，因此摄像机移动机构(移动装置)77可作为模版拍摄用摄像机711和基板拍摄用摄像机712在X轴方向上移动的移动机构而予以共用。

另外，在本实施方式中，由于具有清洁器8和摄像机单元7的移动横梁(移动单元)75可退避至与位于模版51下方的印刷作业区域相隔一定距离的待机位置E，因此可防止在印刷作业时设置于印刷作业区域的印刷台10与摄像机单元7之间产生干涉。而且，清洁器8和摄像机单元7可同时退避至待机位置E，或从待机位置E进入印刷作业区域A。

另外，本实施方式中，由于在移动横梁(移动单元)75上，摄像机单元7的设置位置与清洁器8的设置位置相比接近于印刷作业区域，因此当仅进行摄像机单元7的拍摄时，摄像机单元7到达印刷区域A的移动距离要短于清洁器8到达印刷区域A的移动距离，从而可有效率地进行拍摄作业。

另外，采用本实施方式的印刷装置，由于清洁器8所进行的对模版51的清扫操作、基板W相对于印刷台10的搬出搬入操作、基板W的固定操作、以及对固定后的基板W的拍摄可同时进行，因此在清扫操作后，可迅速地开始对下一基板W的印刷操作，由此可提高包括清扫作业在内的整体生产效率。

另外，在本实施方式中，由于在清扫模版51后，进行对模版51的清扫状态的确认，并根据其结果再度进行清扫操作，因此可确保较高的印刷质量。

另外，在本实施方式中，由于在清洁器8从待机位置E向印刷作业区域A移动的过程中，对模版51进行清扫，并且在清洁器8从印刷作业区域A返回待机位置E的过程中，使摄像机单元7与清洁器8同时移动，并对基板W及模版51进行拍摄，因此可实现作业时间的有效利用。

另外，在本实施方式中，可在上述返回待机位置的移动过程中进行摄像机单元7的拍摄，由此实现作业时间的有效利用。并且，在返回过程中也可对模版51进行清扫，由此可确实可靠地清扫模版51。

在返回上述待机位置E的过程中，由于模版拍摄用摄像机711在移动方向上位于清洁器8的后方，因此在上述返回过程中，可一边通过清洁器8进行清扫，一边通过模版拍摄用摄像机711确认上述清扫结果。

另外，采用本实施方式的印刷装置，由于移动横梁(移动单元)75，通过分别设置在立设于印刷台10两侧的刮板支撑构架63、63上的左右滚珠丝杠76、76，以及驱动此滚珠丝杠76、76转动的滚珠丝杠驱动电机761，761所构成的两个驱动装置予以驱动，因此移动横梁(移动单元)75，相对于移动方向不会产生倾斜，并可高速移动，从而在确保摄像机单元7具有较高的位置精度的同时，可缩短拍摄时间。

并且，可有效地利用使用上述两个驱动装置进行移动驱动的优点，以有效地防止因清洁器8的重量而使移动横梁75相对于移动方向容易产生倾斜的问题，从而可确保摄像机具有较高的位置精度。

在上述实施方式中，虽然移动单元的移动方向被设定为与基板的搬送方向(X轴方向)正交的方向(Y轴方向)，不过也可以设定为基板的搬送方向等其他方向。

另外，在上述实施方式中，虽然模版拍摄用摄像机711、基板拍摄用摄像机712的双方作为摄像机单元7搭载于移动横梁(移动单元)75，不过也可在移动横梁(移动单元)75上只搭载一方的摄像机。此时，将另一方的摄像机设置为可单独地在XY平面上移动，以拍摄基板W或模版51。另外，也可用搭载于移动横梁(移动单元)75的一个摄像机实施对模版51及基板W的拍摄。此时，摄像机可设置为入射光轴成水平，而且在摄像机的前方设置可围绕入射光轴转动180°且与入射光轴成45°的镜面。这样，通过转动镜面，摄像机可拍摄基板W或拍摄模版51。

另外，在上述实施方式中，虽然将摄像机的移动机构77的摄像机导轨771设置在X轴方向，但也可将其设置在与Y轴方向(第1方向)以规定角度交叉的方向(第2方向)上。

另外，在上述实施方式中，虽然驱动移动单元移动的两个驱动机构是由滚珠丝杠机构构成，但也可不限于此，可采用带式(belt)驱动机构或旋转式驱动轮的移动机构等其他驱动机构。

另外，在上述实施方式中，虽将摄像机和清洁器设置在移动单元上，并使其一同操作，但也可使采用能单独操作的结构。

另外，在上述实施方式中，虽将对模版实施的清扫设定为在清洁器向印刷作业区域移动的过程中及返回待机位置的过程中予以进行，不过也可在清洁器向印刷作业区域移动的过程中仅进行清扫操作，在返回过程中仅进行拍摄。这样，可容易排除清扫作业所引起的振动等，从而可进行高精确度的拍摄。

另外，在上述实施方式中，说明了基板相对于印刷台的搬出搬入操作、模版的清扫操作同时开始，以及在清扫操作中完成基板的搬出搬入操作的例子，不过只要两个操作的至少一部分同时进行即可，任意一方先开始或任意一方先结束也无妨。另外，也可仅使基板从印刷台搬出的操作与清扫操作同时进行。另外，若清扫先结束，对清扫状态的确认可与基板相对于印刷台的搬出搬入操作、或基板的固定操作同时进行。

另外，也可在对基板W的印刷结束后，开始印刷台10的下降操作，并同时开始移动横梁75向印刷作业区域A的移动。这样，既可避免移动横梁75与升降台24之间产生干涉，又可提高包括清扫作业在内的整体生产效率。

另外，也可在对基板W的印刷结束后，使移动横梁75(或未搭载有清洁器的移动横梁)向印刷作业区域A移动，但不进行清扫操作(当移动横梁75搭载有清洁器8时，降下清洗头部81)而仅进行由模版拍摄用摄像机711的对模版51的污垢程度的检查。此时，在模版拍摄用摄像机711的对模版51的拍摄过程中，由于可进行基板W相对于印刷台的搬出搬入操作，因此可提高生产效率。另外，也可根据模版51的污垢程度，在下一基板W的印刷后，不进行模版拍摄用摄像机711对模版51的拍摄，而将移动横梁75移向印刷作业区域A，以进行清洁器8的清扫作业。上述清扫作业中，同时进行基板W相对于印刷台10的搬出搬入操作，由此可提高生产效率。

另外，也可在对基板W的印刷结束后，将移动横梁75(或未搭载有清洁器的移动横梁)向印刷作业区域A移动，但不进行清扫操作，而是通过基板拍摄用摄像机712拍摄基板W，在进行印刷质量检查时，为了确保拍摄的精度，拍摄在移动横梁75的移动过程中处于停止状态的基板W，并在移动横梁75的返回过程中进行基板W的搬出搬入操作。由此可提高生产效率。此时，根据基于基板W的拍摄结果而得出的印刷质量的检查结果，在下一基板W的印刷后，可不进行基板拍摄用摄像机712的对基板W的拍摄，而将移动横梁75移向印刷作业区域A，以进行清洁器8的清扫作业。在上述清扫作业的同时，进行基板W相对于印刷台10的搬出搬入操作，由此可提高生产效率。另外，在未印刷的基板W搬入后，为了对基板W进行位置调整，可通过基板拍摄用摄像机712进行拍摄。

另外，上述实施方式所涉及的印刷装置，是通过升降支撑基板的印刷台，而使基板与模版重叠，但本发明也可适用通过升降模版，使该模板与印刷台上的基板重叠的模版升降式印刷装置。

另外，上述实施方式所涉及的载置装置，是将基板载置于载置台上的印刷装置，但本发明还可采用由多个销构成的销式载置装置等其他载置装置。

另外，上述实施方式所涉及的清洁器，是采用吸嘴经擦拭纸进行吸附，以此擦拭模版下表面的擦拭式清洁器，但本发明不限于此，也可以采用其他类型的清洁器。

Claims (21)

1.一种经模版将焊料涂敷在基板上的印刷装置，其特征在于包括：

清扫模版的清洁器；

可安装上述清洁器并相对于模版沿第1方向移动的移动单元；

安装在上述移动单元上，用于拍摄模版和基板的至少一方的摄像机。

2.根据权利要求1所述的印刷制置，其特征在于：

包括，使上述摄像机在上述移动单元上沿着与第1方向交叉的第2方向移动的移动装置。

3.根据权利要求1所述的印刷装置，其特征在于：

上述移动单元，可退避至与位于模版下方的印刷作业区域相隔一定距离的待机位置。

4.根据权利要求3所述的印刷装置，其特征在于：

上述移动单元，其中摄像机的设置位置与清洁器的设置位置相比接近于印刷作业区域。

5.根据权利要求4所述的印刷装置。其特征在于：

上述摄像机，通过拍摄模版来确认该模版的清扫状态。

6.根据权利要求1所述的印刷装置，其特征在于：

上述摄像机，包括拍摄模版的模版拍摄用摄像机和拍摄基板的基板拍摄用摄像机。

7.根据权利要求1所述的印刷装置，其特征在于：

还包括，

相互平行地设置在支撑上述基板的印刷台的两侧的构架，该两构架之间可架设上述移动单元；

分别设置在上述两构架上，驱动上述移动单元使其两端沿着与上述构架设置方向相同的方向移动的两个驱动装置。

8.一种经模版将焊料涂敷在被印刷台支撑的基板上的印刷装置，其特征在于包括：

相互平行地设置在印刷台两侧的构架；

架设在上述两构架之间并设置有拍摄模版的模版拍摄用摄像机的移动单元；

分别设置在上述两构架上，驱动上述移动单元使其两端沿着与上述构架设置方向相同的方向移动的两个驱动装置。

9.根据权利要求8所述的印刷装置。其特征在于：

还包括，使模版拍摄用摄像机在上述移动单元上沿着与上述构架的设置方向正交的方向移动的移动装置。

10.根据权利要求8所述的印刷装置。其特征在于：

上述移动单元，可退避至与位于模版下方的印刷作业区域相隔一定距离的待机位置。

11.根据权利要求8所述的印刷装置。其特征在于：

上述模版拍摄用摄像机，通过拍摄模版来确认该模版的清扫状态。

12.根据权利要求8所述的印刷装置。其特征在于：

上述移动单元，设置有拍摄基板的基板拍摄用摄像机。

13.一种经模版将焊料涂敷在基板上的印刷方法，其特征在于：

在涂敷上述焊料之前，通过安装在相对于模版沿第1方向移动的移动单元上的清洁器，清扫上述模版，同时通过安装在上述移动单元上的摄像机，拍摄模版和基板的至少一方。

14.根据权利要求13所述的印刷方法，其特征在于：

在位于印刷台的基板的印刷予以完成且该印刷台和模版分离之后，使上述清洁器进行模版清扫操作，同时相对于该印刷台进行基板的搬出搬入操作。

15.一种经模版将糊剂涂敷在位于印刷台上的基板的印刷方法，其特征在于：

在位于印刷台的基板的印刷予以完成且该印刷台和模版分离之后，使清洁器相对于模版移动以进行清扫，同时相对于该印刷台进行基板的搬出搬入操作。

16.根据权利要求15所述的印刷方法，其特征在于：

在进行上述清扫操作的同时，相对于搬入上述印刷台的基板进行固定在该印刷台的规定位置的固定操作。

17.根据权利要求16所述的印刷方法，其特征在于：

在进行上述清扫操作的同时，对固定在印刷台上的基板进行拍摄。

18.根据权利要求15所述的印刷方法，其特征在于：

在清扫模版后，对模版的清扫状态进行确认。

19.根据权利要求15所述的印刷方法，其特征在于：

在清洁器从待机位置向印刷作业区域移动的过程中，通过清洁器对模版进行清扫，在清洁器从印刷作业区域返回待机位置的过程中，通过与清洁器一同移动的摄像机对基板或模版进行拍摄。

20.根据权利要求19所述的印刷方法，其特征在于：

在上述清洁器从印刷作业区域返回待机位置的过程中，同时进行上述摄像机的拍摄和清洁器对模板的清扫。

21.根据权利要求19所述的印刷方法，其特征在于：

在上述从印刷作业区域返回待机位置的过程中，与清洁器一同移动的模版拍摄用摄像机对模版进行拍摄，与清洁器一同移动的基板拍摄用摄像机对基板进行拍摄。

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