CN1901780A - 基板清洗装置及基板搬运装置 - Google Patents

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Abstract

提供一种去除异物的效率优异的基板清洗装置。该装置相对于用于使异物飞出的旋转刷(12)，分别在基板搬运方向的上游侧与下游侧，将跨过电路基板(1)的表面整个宽度进行接触的固定刷(13)安装于基板清洗装置(10)的外壳(11)。由此，堵塞电路基板(1)与外壳(11)间的间隙(g)，该间隙(g)用于避免外壳(11)与根据各种尺寸的电路基板(1)进行宽度调窄移动的基板搬运导轨(2)的干涉。

Description

基板清洗装置及基板搬运装置
技术领域
本发明涉及在电路基板的搬运过程中，去除附着于所述电路基板的表面的尘土、灰尘、其它附着物等异物的基板清洗装置及基板搬运装置。
背景技术
电路基板中，一般，在单面或双面上印刷电极端子或电路，在其上进行粘接剂层的印刷、部件安装，进一步通过由焊锡回流实现的电连接而制成产品。在此期间，加工时或搬运途中异物等容易附着到电路基板的表面，这可成为造成产品发生不良情况的因素。为了避免该情况，一般在加工搬运途中的适当的阶段进行从电路基板去除这些异物的处理。
以往，该去除异物是通过向电路基板表面吹风、推动固定刷、推动粘着辊或用布通过手工作业等进行，但未必会获得希望的结果。例如，在吹风中，由于水分或飞散的粘接剂等，异物牢固附着于电路基板的表面时不能去除。而且，在推动固定刷子时，即使可获得去除静电的效果，但异物去除不充分，并且，在推动粘着辊时，在异物重叠的情况下会有一部分残留到电路基板上，而且，使用一定量之后需要进行更换等处理。
现有技术中还公开了下面的技术，即将吹风器、吸气器、旋转刷、搬运辊收纳到利用了波纹管(bellows)等的半圆柱体型的容器内，将此配置于电路基板的两面并从两侧完全覆盖电路基板，在其中进行去除异物(例如，参照特开平2-50822号公报)。但是，这种装置尺寸较大，不易安装到加工装置的前后或电路基板的搬运装置等受限的空间。
为了改善这些状况，在现有技术中也公开有小型且容易安装的电路基板的基板清洗装置。图5A、及图5B表示其概要，图5A表示安装有该基板清洗装置50的基板搬运装置的立体图，图5B表示沿图5A的XZ平面剖开基板清洗装置50的剖面图。在图5A及图5B中，基板清洗装置50包括：外壳51；设置于外壳51内的旋转刷52；旋转驱动旋转刷52的电动机153；和向基板清洗装置50导入负压空气来吸引异物的圆筒状的导管54。导管54经由软管156与设置于外壳51的外部的负压供给源160连接。
电路基板1(图5A中，以实线表示的1a或以虚线表示的1b)被对置配置的一对基板搬运导轨2(2a、2b)夹持来进行搬运。各基板搬运导轨2a、2b具有在中央部分设置有凹部的近似U字状剖面，在该凹部的内侧收纳有未图示的传送带。电路基板1被插入到两个基板搬运导轨2a、2b的U字状剖面的凹部内，并被装载于所述传送带上而向图5A的X方向(在图5B中为基板搬运方向S)搬运。
如以上那样构成的基板清洗装置50动作时，对置于由一对基板搬送导轨2搬运的电路基板1，旋转刷52(参照图5B)向箭头A所示的方向旋转来扫刷电路基板1的表面，由旋转刷52而使附着于电路基板1的表面的异物飞出。在经由软管156与负压供给源160连接的导管54中作用吸引力，如箭头B所示，由负压供给源160的负压空气的作用将通过旋转刷52而飞出并浮游在外壳51内的异物吸引到导管54内，从而去除所述异物。
但是，上述的基板清洗装置50中存在几个问题。首先，图5A中，基板搬运导轨2需要搬运诸多规格不同的各种宽度尺寸(宽度方向(Y方向)的长度)的电路基板。在将基板搬运导轨2从由如图5A的实线所示那样搬运宽度宽的电路基板1a的状态、切换到由如图5A的虚线所示那样搬运宽度窄的电路基板1b的状态时，一侧的基板搬运导轨2a需要向对置的另一侧的基板搬运导轨2b如箭头Y所示那样进行宽度调窄移动。例如，基板搬运导轨2为了搬运50mm～250mm的宽度的范围、或50mm～510mm的宽度的范围的电路基板1，每次都要根据电路基板1的宽度尺寸而进行宽度调窄移动。
在电路基板1的宽度尺寸为基板清洗装置50所允许最大宽度(宽度宽的电路基板1a)时，如图5A的实线所示，由于电路基板1存在于基板清洗装置50的整个宽度(Y方向的全长)内，因此没有问题。但是，在清洗如图5A的虚线所示的宽度窄的电路基板1b时，一侧的基板搬运导轨2a如箭头Y所示那样进行宽度调窄移动的结果，移动的距离间的基板清洗装置50的下部开放产生间隙。因此，在该间隙中负压供给源160的负压空气发生泄漏，结果会产生所述异物的吸引力作用不充分的问题。
而且，图5B中，在基板清洗装置50的外壳51的下部与电路基板1的表面之间产生空隙(间隙)g。这是为了在上述的一侧的基板搬运导轨2a进行宽度调窄动作时，外壳51不会干涉到由图5B的两点划线表示的基板搬运导轨2a的上端面58。由于存在该间隙g，一方面，会产生负压的泄漏而对异物的吸引力减弱，另一方面如图5B的箭头C所示，由旋转刷52飞出的所述异物不会被导入到导管54内，而是落到基板清洗装置50的下方，存在会堆积到底板上的问题。
另外，所述异物也会附着于旋转刷52本身，该状态下会再次接触到电路基板1上。而且，如图5B所示，由于外壳51的形状的因素或导管54的配置的因素等，所述异物堆积到外壳51内的角部59，堆积到该角部59的所述异物落下等，由此还会发生再次附着到电路基板1上。由于这种因素，采用图5A及图5B所示的现有技术的基板清洗装置50去除异物的效率未必高，成为引起电路基板1的品质降低的问题的重要因素。
发明内容
本发明的目的在于提供一种异物的去除效率比现有技术更优异的基板清洗装置及基板搬运装置。
本发明通过：采用堵塞基板清洗装置的外壳与电路基板的表面间的间隙的固定刷；采用可有效地从电路基板排除异物的导管及旋转刷；及/或设置当基板搬运导轨进行宽度调窄移动时，堵塞在基板清洗装置的下方空出的间隙的覆盖物，来解决上述的问题，具体包含以下的内容。
即，本发明涉及的一个方式针对一种基板清洗装置，其包括：箱状的外壳，该外壳的与电路基板的表面对置的一面开放，且该外壳沿着垂直于所述搬运方向的所述电路基板的宽度方向延伸，所述电路基板被基板搬运装置的相互对置的一对基板搬运导轨夹持而向基板搬运方向被搬运；旋转刷，其设置于所述外壳内，能够以配置为在所述电路基板的所述宽度方向延伸的轴为中心进行旋转；电动机，其旋转驱动所述旋转刷；导管，其与所述外壳内连通连接，可吸引所述外壳内的空气；和固定刷，其相对于所述旋转刷而分别配置于所述外壳的所述基板搬运方向的上游侧及下游侧，可跨过所述电路基板的所述表面的整个宽度进行接触，其中，在配置于所述上游侧及所述下游侧的所述固定刷的任意一个与所述电路基板的所述表面接触的状态下，通过由所述导管吸引所述外壳内的空气，同时由所述电动机使所述旋转刷旋转，从而可去除在向所述基板搬运方向被搬运的所述电路基板的所述表面附着的异物。
配置于所述上游侧的所述固定刷，按照其端部(下端部)朝向所述基板搬运方向的下游侧的方式倾斜。而且，所述固定刷由导电材料形成，从而通过所述固定刷可去除所述电路基板的静电。
所述旋转刷由在所述宽度方向的中央附近结合(连接)的相互逆卷的两个螺旋状刷形成，并且，所述导管被形成为，一侧的开口端部在所述电路基板的所述宽度方向的所述外壳的中央附近的一个位置与所述外壳内连通连接的漏斗状。
进而，还包括覆盖物，其根据所述电路基板的宽度尺寸，覆盖由所述一对基板搬运导轨进行宽度调窄移动产生的、所述外壳的所述被开放的面的间隙。
所述覆盖物，一端固定于在所述基板清洗装置及所述基板搬运装置中的任意一方侧安装的收纳部，能够由可收纳于所述收纳部的遮挡部件构成，所述遮挡部件的另一端安装于所述基板清洗装置及所述基板搬运装置中的任意的另一方侧。
在上述的任一种基板清洗装置中，还包括效应板，其一端安装于所述外壳或所述导管，作为自由端的另一端可与所述旋转刷的所述外周部接触。
所述效应板拂落附着于所述旋转刷的所述异物，并形成为将由所述旋转刷而飞出的所述异物引导向所述导管。
本发明涉及的其它的方式关于一种基板搬运装置，包括：一对基板搬运导轨，其相互对置，可从两侧夹持电路基板的宽度方向；一对传送带，其分别位于所述一对基板搬运导轨内，可沿着所述一对基板搬运导轨向基板搬运方向搬运所述电路基板；和上述的任意一个基板清洗装置，其可去除在向所述基板搬运方向被搬运的所述电路基板的表面附着的异物。
根据本发明，由于相对于所述旋转刷，分别在所述外壳的所述基板搬运方向的上游侧及下游侧，设置有可跨过所述电路基板的所述表面的整个宽度进行接触的固定刷，因此可通过所述固定刷堵塞所述外壳与所述电路基板的表面之间的间隙。从而可大幅度减少所述吸引装置的负压空气的泄漏，因此去除电路基板的异物的效率比现有技术更高。而且，其结果，可提高电路基板的品质，进而可提高使用该电路基板的电子设备的品质。
附图说明
本发明的这些与其它的目的和特征，从下面结合附图的对优选实施方式的相关的记述可明确。在这些附图中，
图1是表示本发明涉及的实施方式的基板清洗装置的侧面剖面图；
图2是表示安装有本发明涉及的其它实施方式的基板清洗装置的基板搬运装置的俯视图；
图3是表示图2所示的基板清洗装置的旋转刷的侧面图；
图4A是表示在安装有本发明涉及的又一实施方式的基板清洗装置的基板搬运装置中，从宽度宽的电路基板的表面去除异物的状态的侧面图；
图4B是表示在安装有本发明涉及的又一实施方式的基板清洗装置的基板搬运装置中，从宽度窄的电路基板的表面去除异物的状态侧面图；
图5A是表示采用现有技术的基板清洗装置与基板搬运装置的概要的立体图；
图5B是表示采用现有技术的基板清洗装置的概要的侧面剖面图。
具体实施方式
参照附图，对本发明的第1实施方式涉及的基板清洗装置进行说明。图1表示沿着电路基板1的基板搬运方向S(XZ平面)切断第1实施方式涉及的基板清洗装置10的剖面图。图1中，基板清洗装置10包括：外壳11；设置于外壳11内的旋转刷12；可旋转驱动旋转刷12的电动机53；分别设置于基板搬运方向S的外壳11的上游侧及下游侧的一对固定刷13(13a、13b)；和与负压供给源60连接、向外壳11内导入负压空气来吸引在外壳11内浮游的异物的导管14。关于导管14在后面的第2实施方式中详述。这里，“导入负压空气”是指，通过导管14吸引外壳11内的空气，以此来降低外壳11内的压力。
外壳11形成为其对置于电路基板1的表面1t的面(下面)开放的容器状(箱状)，并在垂直于图1的纸面的方向(Y方向，或也称作电路基板1的宽度方向)跨过电路基板1的宽度方向而延伸。旋转刷12配置于外壳11内，以在Y方向延伸的轴12a为中心而可旋转。旋转刷12一般使用沿着轴12a卷成螺旋状而安装的刷，通过电动机53的驱动向箭头A所示的方向旋转。两固定刷13a、13b具有柔软性，且分别在外壳11的下部跨过Y方向的几乎整个长度而设置。而且，导管14由向箭头A所示的方向旋转的旋转刷12的外周部12b，在容易吸引从电路基板1的表面1t向图1的右侧飞出的异物的位置，配置有作为一侧的开口端部一例的吸引口14a，并与外壳11连通连接。图1的下方的双重的两点划线表示电路基板1的表面位置，在电路基板1的所述表面位置的上方且在外壳11的下方的两点划线表示基板搬运导轨2的上端面58。
如以上那样构成的基板清洗装置10动作时，相对于由一对基板搬运导轨2a、2b(参照图2或图5A)而被向基板搬运方向S搬运的电路基板1的表面1t，旋转刷12向箭头A所示的方向旋转扫刷电路基板1的表面1t。通过该扫刷，附着于电路基板1的表面1t的异物从电路基板1的表面1t飞出到导管14的吸引口14a侧(图1的右侧)。在与负压供给源60连接的导管14中作用吸引力，通过旋转刷12从电路基板1的表面1t飞出并浮游在外壳11内的异物，由负压空气的作用如箭头B所示那样被吸引到导管14内，由此从外壳11内去除。
设置于第1实施方式涉及的基板清洗装置10的一对固定刷13a、13b，在去除上述的所述异物的作用效果之外，还发挥如以下那样的追加的作用效果。
首先，从图1可以明确，两固定刷13a、13b堵塞外壳11与电路基板1的表面1t的间隙g，通过与电路基板1一起包围外壳11来防止负压空气的泄漏，从而防止清洗效率(去除异物的效率)的降低。
进而，位于基板搬运方向S的上游侧的固定刷13a使由旋转刷12而从电路基板1的表面1t飞出的异物不落入外壳11与电路基板1之间的间隙(间隙g)，而是留在外壳11的内部，从而如箭头B所示，导入到导管14的内部。因此，对两固定刷13a、13b优选为尽量使用紧密的结构的材料。
然后，在清洗(去除异物)宽度窄的电路基板1b(参照图5A)时，由于两固定刷13a、13b具有柔软性，因此即使任意一侧的基板搬运导轨2a向Y方向进行宽度调窄移动，也不会干涉基板搬运导轨2的宽度调窄移动。由此，即使存在两固定刷13a、13b，根据电路基板1的宽度尺寸(宽度方向的长度)的大小，一侧的基板搬运导轨2a也可移动到宽度方向(Y方向)的任何位置，而且不管电路基板1的宽度尺寸如何，两固定刷13a、13b与电路基板1的表面1t的整个宽度(宽度方向的全长)接触，从而始终有效地堵塞外壳11与电路基板1之间的间隙g。
另外，在该情况下的一对基板搬运导轨2a、2b的宽度调窄移动中，除了任意一方相对于另一方移动的情况之外，还存在双方相对地移动的情况。第1实施方式的各固定刷13a、13b，在这些任意情况下都不会阻碍一对基板搬运导轨2a、2b的运动。
进而，相对于电路基板1的基板搬运方向S安装于上游侧的固定刷13a，如图1的角度θ所示，优选以从垂直于电路基板1的表面1t的方向(Z方向)沿着基板搬运方向S倾斜的角度安装。换而言之，上游侧的固定刷13a按照朝向基板搬运方向S的下游侧以靠近电路基板1的表面1t的方式倾斜，安装于外壳11的基板搬运方向S的上游侧的面的下部。由此，可获得两个效果。
一个效果是：由于该倾斜是沿着旋转刷12的旋转切线方向，因此通过旋转刷12而从电路基板1的表面1t飞出的异物容易沿着负压空气流被顺畅地吸引到导管14内，从而所述异物不会堆积到外壳11内的角落部等。而且，通过所述倾斜，可将负压空气流由旋转刷12顺利地导向导管14，从而所述异物不会从间隙g泄漏而落下。
通过使上游侧的固定刷13a倾斜而获得的其它效果是可使电路基板1的搬运顺利进行。电路基板1装载于在各基板搬运导轨2a、2b的内侧配置的一对传送带71a、71b(参照图2)上，通过驱动与一对传送带71a、71b连接的电动机72而被沿着基板搬送方向S搬运。并且，通过一对传送带71a、71b的搬运而向基板搬送方向S前进的电路基板1搬入到外壳11内时，抵接到固定刷13a。此时，若固定刷13a的阻力强(柔软性弱)，则存在电路基板1的搬运会在固定刷13a的跟前(基板搬送方向S的上游侧)停止的危险。该情况下，用于将电路基板1向基板搬送方向S搬运的推进力，取决于电路基板1的自身的重量、和电路基板1与一对传送带71a、71b之间的摩擦系数对应的摩擦力。
如图1所示，通过将上游侧的固定刷13a按照上游侧的固定刷13a的下端部朝向基板搬运方向S的下游侧的方式倾斜，由此电路基板1容易进入到上游侧的固定刷13a的下侧。并且，若一旦电路基板1位于上游侧的固定刷13a下侧，则通过固定刷13a的朝Z方向的向下的推进力作用，从而电路基板1的下面被按压在一对传送带71a、71b上，结果可确保更强(电路基板1与一对传送带71a、71b之间的)摩擦力，可确保搬运推进力。由此，可产生避免电路基板1在固定刷13a的跟前停止的不良情况的效果，并且可实现通过一对传送带71a、71b来可靠地搬运电路基板1。位于上游侧的固定刷13a的倾斜角度θ为45°＜θ＜90°，优选为约60°。
另外，位于基板搬运方向S的下游侧的另一个的固定刷13b，配置为相对于电路基板1的表面1t几乎垂直，换而言之在Z方向延伸。这是由于通过由已经位于上游侧的固定刷13a带来的朝Z方向的向下的推力、与由旋转刷12带来的朝Z方向的向下的推力，从而一对传送带71a、71b的向基板搬送方向S的搬运推进力可充分地传送到电路基板1，所以即使在电路基板1抵接到位于下游侧的固定刷13b时，也没有在固定刷13b的跟前(基板搬运方向S的上游侧)停止的危险。反之，若使下游侧的固定部件13b向基板搬运方向S倾斜，则会产生气体积存，可能会成为降低清洗效果的原因。但是，可根据需要使其倾斜。
作为设置各固定刷13a、13b的进一步的作用效果，由于各固定刷13a、13b与被搬运的电路基板1接触，因此通过由导电性材料形成各固定刷13a、13b中的至少任意一方，可由固定刷13a及/或13b将积蓄于电路基板1的静电向设备侧(基板清洗装置10侧)除去。作为由导电性材料形成的刷子，已知有例如在刷子中含有铜的粉末的材料，更具体为可使用日本蚕毛染色株式会社的名为thunderon(サンダ一ロン)(注册商标)的商品或toray(東レ)株式会社的名为モノエイト的商品等。通过对电路基板1去除静电，可排除由静电的影响引起的异物附着到电路基板1的表面1t，从而可提高清洗效果。
进而，在第1实施方式中作为选件(option)，设置有从图1所示的导管14的吸引口14a的上侧开始延伸与旋转刷12的外周部12b接触的效应板(effector plate)16。该效应板16具有两个功能。一个功能是：通过与旋转中的旋转刷12的外周部12b接触，拂落积存于旋转刷12自身的异物，发挥提高旋转刷12的扫刷效果的作用。通过效应板16拂落的异物可由在效应板16的下侧配置的导管14的吸引口14a有效地吸引。
效应板16的另外的功能为：负压空气流不会绕进外壳11内的上方而分散，旋转刷12的外周部12b从与电路基板1接触的作用位置向导管14的方向顺畅地引导负压供给源60的负压空气。由此，可防止由旋转刷12而从电路基板1的表面1t飞出的异物卷入外壳11内的上方被再次循环，如箭头B所示，可有效地吸引到导管14内。图1的例中，效应板16与外壳11及导管14安装在一起，但安装到外壳11或导管14的任意一方均可。
根据第1实施方式涉及的基板清洗装置10，由于以安装一对固定刷13a、13b的简单的结构堵塞外壳11与电路基板1的表面1t之间的间隙g，因此基板清洗装置10也可容易地安装到已有的加工装置或搬运装置中。而且，由于将各固定刷13a、13b构成为可接触电路基板1的表面1t的整个宽度，因此可同等应对各种宽度尺寸的电路基板(例如电路基板1a、1b)。
下面，参照附图对本发明涉及的第2实施方式的基板清洗装置20进行说明。第2实施方式中，希望改善导管及旋转刷，从而实现更进一步提高吸引异物的效果。还如图5A所示，现有技术中的导管54，在外壳51的长度方向排列有两个或多个，设置为从外壳51垂直地延伸。如上所述，这是由于来自电路基板1与外壳51的下端之间的间隙g(参照图5B)的负压空气的泄漏较多，从而考虑设置多个吸引口，以便能够在电路基板1的整个宽度方向内于旋转刷52的附近进行吸引。但是，这种多个导管54的配置，会使负压空气流分散，反而存在减弱吸引力的倾向。而且，导管54直接设置于外壳51上的结果，存在外壳51与导管54的安装角落部分(连接部分)等中容易积存浮游的异物的倾向。
图2表示安装有第2实施方式涉及的基板清洗装置20的基板搬运装置70，是从上方观察跨过一对基板搬运导轨2a、2b配置的基板清洗装置20的俯视图。如图2所示，第2实施方式涉及的导管14形成为漏斗状，其将吸引位置集中于外壳11的Y方向的中央附近的一个位置。软管56连接于导管14，进而连接于负压供给源60。通过将导管14从外壳11形成为漏斗状，从而负压空气流变得顺畅，容易积存异物的所述角落部成为一个位置，异物集中在所述一个位置容易回收。
在所述第1实施方式中说明的图1中，表示第2实施方式涉及的导管14的侧剖面。图1中，第2实施方式的导管14的吸引口14a，连接于外壳11的一侧的Z方向的开口宽度较窄，由此收拢流入的气体，从而产生将负压空气的吸引速度提高该程度的效果。根据本愿发明者们进行的试验，与图5A所示的现有技术中的基板清洗装置50比较的情况下，相对于使用相同吹风机的状态下的现有技术的导管54的负压空气吸引时的气体的流速0.42m/秒，在图1所示的第2实施方式涉及的导管14时为1.57m/秒，从而可知大幅度提高了流速，因而大幅度提高了吸引异物时的吸引力。
第2实施方式涉及的导管14如图1所示那样，与在所述第1实施方式中说明的配置有各固定刷13a、13b的基板清洗装置10组合使用更为有效。即，在现有技术中，由于没有固定刷13a、13b，负压空气的泄漏多，因此考虑在多处设置导管54，从而尽可能在靠近旋转刷52的多个位置吸引异物。对此，在第2实施方式的基板清洗装置20中，通过配置所述第1实施方式所示的固定刷13，来抑制负压空气泄漏，其结构即使将吸引口14a设为一个位置，也可容易地对电路基板1的整个宽度施加吸引力。
下面，图3表示第2实施方式涉及的基板清洗装置20中使用的旋转刷22。图3是对基板清洗装置20从电路基板1的基板搬运方向S的下游侧观察上游侧的侧面图，着色部分表示旋转刷22的刷子部分。如图3所示，第2实施方式中使用的旋转刷22在轴22a的轴方向的近似中央位置22c分成左右两部分，并设两部分的刷子的螺旋方向逆卷。所述螺旋方向构成为：在旋转刷22通过电动机53的驱动而旋转时，螺旋的前进方向分别从左右朝向中央位置22c，在中央位置22c结合(连接)。在旋转刷22的中央位置22c附近，设置导管14的吸引口14a。
如以上那样构成的旋转刷22动作时，附着于电路基板1的表面1t的异物通过该旋转刷22的外周部22b而从电路基板1的表面1t飞出时，在异物产生朝向旋转刷22的轴方向的中央位置22c附近的向量。此时，由于漏斗状的导管14的吸引口14a位于中央位置22c附近，因此通过旋转刷22的旋转而朝向中央位置22c附近的异物，可经过导管14有效地吸引。该吸引效果比使用在所述第1实施方式中所说明的螺旋方向为一个方向的旋转刷12更大。
然后，参照附图，对本发明涉及的第3实施方式的基板清洗装置30进行说明。在现有技术中，清洗宽度窄的电路基板1b时，如上所述，通过一侧的基板搬运导轨2a进行宽度调窄移动，而带来在基板清洗装置的下方产生间隙的问题。在第3实施方式中，将意图解决该问题的技术作为对象。
图4A是对安装有第3实施方式涉及的基板清洗装置30的基板搬运装置70从电路基板1的基板搬运方向S的下游侧观察上游侧的侧面图。图4A所示的电路基板1a宽度宽，电路基板1a的宽度方向的两端由对置的一对基板搬运导轨2a、2b夹持，从而被沿着垂直于纸面的方向搬运。对这种宽度宽的电路基板1a，在电路基板1a通过基板清洗装置30的下方时，由于位于基板清洗装置30的下方的开放部分在整个宽度内由电路基板1a覆盖，因此不会产生负压空气泄漏的问题。
对此，如图4B所示，若宽度窄的电路基板(例如，具有宽度宽的电路基板1a的一半宽度尺寸的电路基板)1b作为对象，则一侧的基板搬运导轨2a向另一侧的基板搬运导轨2b如Y方向进行宽度调窄移动。因此，电路基板1b只能覆盖位于基板清洗装置30的下方的开放部分的一部分。在第3实施方式中，应对这种状况，设置作为所述开放部分的覆盖物的遮挡板(shutter panel)31覆盖基板清洗装置30的下方的剩余部分(未由电路基板1b覆盖的部分)，从而大幅度地减少负压空气的泄漏。作为遮挡部件一例的遮挡板31，一端固定于宽度调窄的基板搬运导轨2a，另一端固定于作为收纳部的一例的卷曲部32内并被缠绕。卷曲部32例如像卷曲式卷尺那样施加卷曲力来保持遮挡板31。
如图4A所示的宽度宽的电路基板1a作为对象时，遮挡板31几乎全部收纳于卷曲部32内。然后，切换到如图4B所示的宽度窄的电路基板1b时，随着基板搬运导轨2a如箭头Y所示那样移动，一端固定于基板搬运导轨2a的遮挡板31逐渐被拉出，如图4B所示，以帘状覆盖基板清洗装置30的下方的开放部分。
反之，在从图4B所示的状态切换到图4A所示的状态、即从宽度窄的电路基板1b切换到宽度宽的电路基板1a时，基板搬运导轨2a向与箭头Y相反的方向移动，与此相伴，遮挡板31通过卷曲部32的内部的卷曲力而被缠绕。遮挡板31例如是抑制通气性的帆布(canvas cloth)，或可以是如卷曲式卷尺的金属性材料。任一种情况下，上述的卷曲结构一般都是公知的。
第3实施方式涉及的基板清洗装置30例如可通过与所述第2实施方式涉及的基板清洗装置组合使用而获得更优良的效果。即，由于在搬运宽度窄的电路基板1b时在装置的下方产生较宽的间隙，因此若使导管14仅在旋转轴22的中央位置22c附近的一个位置开口，则在该开口端部(吸引口14a)位于所述间隙时，吸引异物的效果可能会减弱。若使用第3实施方式涉及的遮挡板31，即使在不存在电路基板1的位置负压空气也不会泄漏，如第2实施方式所示，即使是在旋转刷22的中央位置22c附近仅使一个位置开口的形式的导管14，也能对各种宽度尺寸的电路基板1施加充分的吸引作用。而且，通过将成为仅一个位置的导管14的吸引口14a的开口面积收拢，从而提高负压空气的流速，进而可获得提高吸引力等效果。
另外，在图4A及图4B所示的例子中，旋转刷22成为如所述第2实施方式所示的螺旋方向在中央分开并相互逆卷的形式，但在第3实施方式中并不局限于此，也可使用如所述第1实施方式说明的螺旋方向为一个方向的旋转刷12。而且，在如图4A及图4B所示的例子中，固定遮挡板31的另一端的卷曲部32配置于基板清洗装置30侧，但也可将卷曲部32配置于基板搬运导轨2侧，将遮挡板31的一端固定到基板清洗装置30一侧。一对基板搬运导轨2a、2b均为相互进行宽度调窄移动的形式的情况下，在这两者上分别配置遮挡板31。
以上，对本发明涉及的各实施方式的基板清洗装置进行了叙述，但各实施方式所示的内容，可分别单独使用，或可通过将这些任意组合使用。通过组合可获得比单独利用的情况更良好的吸引异物的效果，这在上述的例示中也有体现。
进而，本发明还包含具备基板清洗装置10、20或30的基板搬运装置70(参照图2)。该基板搬运装置70，通过对置的一对基板搬运导轨2a、2b从宽度方向的两侧夹持电路基板1，并将电路基板1的两端部装载到位于呈U字状截面的各基板搬运导轨2a、2b内的各传送带71a、71b，使连接于各传送带71a、71b的电动机72驱动，将电路基板1向基板搬运方向S搬运。基板清洗装置10、20或30，横跨垂直于该电路基板1的基板搬运方向S的方向(Y方向)，一侧的基板搬运导轨2a安装为可向另一侧的基板搬运导轨2b进行宽度调窄移动，以此来去除附着于被搬运的电路基板1的表面1t的异物。
本发明涉及的基板清洗装置及基板搬运装置，可在搬运电路基板并在表面印刷粘性材料，或进行部件安装的电路基板的制造领域广泛使用。
本发明参照附图并结合优选的实施方式进行了充分的记载，对该技术熟练的人们各种变形或修正都比较明显。应该理解为：所述的变形或修正只要不超出基于技术方案的本发明的范围便包含于其中。

Claims (8)

1.一种基板清洗装置，包括：
箱状的外壳，该外壳的与电路基板的表面对置的一面开放，所述电路基板被基板搬运装置的相互对置的一对基板搬运导轨夹持并向基板搬运方向被搬运，该外壳向与所述搬运方向垂直的所述电路基板的宽度方向延伸；
旋转刷，其设置于所述外壳内，能够以配置为在所述电路基板的所述宽度方向延伸的轴为中心进行旋转；
电动机，其旋转驱动所述旋转刷；
导管，其与所述外壳内连通连接，可吸引所述外壳内的空气；和
固定刷，其相对于所述旋转刷而分别配置于所述外壳的所述基板搬运方向的上游侧及下游侧，可跨过所述电路基板的所述表面的整个宽度进行接触，
在配置于所述上游侧及所述下游侧的所述固定刷的任意一个与所述电路基板的所述表面接触的状态下，通过由所述导管吸引所述外壳内的空气，同时由所述电动机使所述旋转刷旋转，从而可去除在向所述基板搬运方向被搬运的所述电路基板的所述表面附着的异物。
2.根据权利要求1所述的基板清洗装置，其中，
配置于所述上游侧的所述固定刷，按照所述固定刷的端部朝向所述基板搬运方向的下游侧的方式倾斜。
3.根据权利要求1所述的基板清洗装置，其中，
所述固定刷由导电材料形成，通过所述固定刷去除所述电路基板的静电。
4.根据权利要求1所述的基板清洗装置，其中，
所述旋转刷由在所述宽度方向的中央附近结合的、相互逆卷的两个螺旋状刷形成，
所述导管被形成为，一侧的开口端部在所述电路基板的所述宽度方向的所述外壳的中央附近的一个位置与外壳内连通连接的漏斗状。
5.根据权利要求1所述的基板清洗装置，其中，
还包括覆盖物，其根据所述电路基板的宽度尺寸，覆盖由所述一对基板搬运导轨进行宽度调窄移动所产生的、所述外壳的所述被开放的面的间隙。
6.根据权利要求5所述的基板清洗装置，其中，
所述覆盖物一端固定于在所述基板清洗装置及所述基板搬运导轨中的任意一方侧安装的收纳部，该覆盖物由可收纳于所述收纳部的遮挡部件构成，
所述遮挡部件的另一端安装于所述基板清洗装置及所述基板搬运导轨中的任意另一方侧。
7.根据权利要求1所述的基板清洗装置，其中，
还包括效应板，其一端安装于所述外壳或所述导管，作为自由端的另一端可与所述旋转刷的外周部接触，
所述效应板拂落附着于所述旋转刷的所述异物，并且形成为将由所述旋转刷而飞出的所述异物向所述导管引导。
8.一种基板搬运装置，包括：
一对基板搬运导轨，其相互对置，可从两侧夹持电路基板的宽度方向；
一对传送带，其分别位于所述一对基板搬运导轨内，可沿着所述一对基板搬运导轨向基板搬运方向搬运所述电路基板；和
权利要求1所述的基板清洗装置，其可去除在向所述基板搬运方向被搬运的所述电路基板的表面附着的异物。
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