JP5263604B2 - 基板異物除去装置 - Google Patents

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Description

本発明は、基板異物除去装置に関し、詳しくは、ケースに収容したロールブラシを基板に接触させる状態で駆動回転し、ブラシで取り除いた塵埃をケース内の空気とともにケース外に排出する装置の改良に関する。
上記のように構成された基板異物除去装置として特許文献1には、下側が開放する筐体の内部に対し基板に接触するロールブラシを配置し、このロールブラシを駆動回転する回転用モータを備えた構成が示されている。更に、この特許文献1では、複数のノズルを有する供給管をロールブラシと平行する姿勢で筐体の内部に備え、供給管のノズルから帯電した空気を供給する構成も示されている。
特許文献1では、異なる実施形態として、筐体の内部の空気を吸引する集塵排出用ノズルを備えた構成や、フレームの洗浄部を上下方向に移動可能に支持した構成が示されている。更に、集塵排出用ノズルを備え、ロールブラシの長さ方向に沿って移動自在に調整スライダを備え、この調整スライダに遮断板を備えることで、吸引によって生ずる気流をロールブラシと基板とが接触する接触部に流通させる構成が記載されている。
特許第4153514号公報 (段落番号〔0012〕〜〔0036〕、図1〜図10)
プリント基板の表面に付着する塵埃等の異物を除去する手段として、駆動回転するロールブラシを基板に接触させ、異物を吸引により空気の流れとともに排出する構成は有効である。
しかしながら、特許文献1に記載されるように、底壁を取り除いた箱状の筐体から吸引によって空気を排出する構成では、ロールブラシでプリント基板の表面から除去した塵埃等の異物が再びプリント基板の表面に落下することも考えられるため、異物を確実に排出できるように強い吸引力を必要とする。
つまり、底壁を取り除いた箱状の筐体では、ロールブラシの周囲の空間が下方に向けて大きく開放する。このような形状であるため、ロールブラシで除去した塵埃を空気の流れによって確実に送り出すことができないこともあり、ロールブラシによって基板から除去した塵埃を再び基板の表面に落下させることも考えられたのである。
そこで、ロールブラシの部位に強い空気の流れを作り出すことも考えられる。しかしながら、強い空気の流れを作り出すためには大型のファンを備え、大容量のモータを必要とする等、大型化に繋がるばかりでなく、エネルギーの消費も大きく改善の余地がある。
本発明の目的は、プリント基板に付着した塵埃等の異物を効率的に除去し得る基板異物除去装置を合理的に構成する点にある。
本発明の特徴は、基板の表面に接触する状態で駆動回転するロールブラシと、このロールブラシを収容するケースと、前記ケースの内部空間の空気をケース外に送り出す排出筒とを備えると共に、前記ケースが、前記ロールブラシの接触側をケースの底部側に露出させる開口を有し、かつ、平面視において前記開口の開口縁が前記ロールブラシの下側に重複するように湾曲成形された湾曲壁を有するシュラウドと、前記ロールブラシの反接触側において前記シュラウドに連結する主壁体とを備えており、前記排出筒が、前記ロールブラシの回転軸芯に沿うスライド方向で位置調節自在に支持され、前記スライド方向での前記基板の幅に連係して前記スライド方向での基板の中央位置に前記排出筒を位置させる位置調節手段を備えている点にある。
この構成によると、ロールブラシはシュラウドの底部側に形成された開口から外部に露出する部位が基板の表面に接触する。また、シュラウドの開口の開口縁が平面視でロールブラシの下側に重複するように湾曲成形された湾曲壁を備えているので、湾曲壁の下側部分で異物を受け止めることが可能となり、ブラシによって基板の表面から掻き取った異物を基板上に落下させる現象を抑制できる。このように湾曲壁が備えられることで開口を小さくすることも可能となり、排出筒に負圧を作用させてケース内の異物を空気の流れとともに吸引排出する場合にも、大型のファン等の吸引装置を備えずとも開口の部位に強い空気の流れを作用させて異物の排出を行える。更に、ロールブラシの軸芯方向での基板の幅の中央位置に排出筒を位置させ、この排出筒を介してケース内の異物を偏りなく排出できる。従って、プリント基板に付着した塵埃等の異物を効率的に除去し得る基板異物除去装置が構成された。
本発明は、前記ケースの内部において前記ロールブラシの外周と前記シュラウドの内壁との間の空間を前記回転軸芯の方向で仕切る仕切壁が、前記スライド方向で移動自在に備えられ、前記位置調節手段による前記排出筒の位置調節時に、この排出筒のスライド方向と同じ方向に前記仕切壁を移動させる連係作動機構が備えられても良い。これによると、排出筒に負圧が作用した場合には、ロールブラシのうち基板に接触する領域の空気を仕切壁により効率的に排出筒に導くことが可能となる。
本発明は、前記主壁体が、前記回転軸芯に沿う方向が長い開口部を有するプレート状に構成され、前記排出筒が、前記開口部と重なり合う位置関係で前記スライド方向に移動自在に支持されるフランジを備え、前記位置調節手段は、前記ケースに対して前記回転軸芯に沿う方向に移動自在に支持された移動フレームと、この移動フレームに連係する状態で前記基板の端面に接触する接触体と、この接触体の移動量を低減して前記排出筒又は前記フランジに伝える操作機構とを備えても良い。これによると、接触体と共に移動フレームが移動した場合には、この移動量より少ない量だけ排出筒が移動することになり、この排出筒を基板の幅の中央にセットすることも可能となる。また、排出筒には主壁体の開口部を覆うフランジが形成されているので、ケース内の異物を開口部と排出筒を介して排出できる。
本発明は、前記連係作動機構が前記移動フレームに対して前記仕切壁を直接的に連結する連結体で構成されても良い。これによると、仕切壁の位置を基板の幅方向での端部位置にセットすることも可能となる。
本発明は、前記ロールブラシの外周に接触する異物除去体を前記ケースの内部に備えても良い。これによると、ロールブラシに異物が強く付着した場合でも、ロールブラシの外周に異物除去体が接触することにより、異物を強制的に除去することも可能となる。
本発明は、前記ロールブラシを形成する繊維の密度が、前記回転軸芯の方向での両端部より、前記回転軸芯の方向での中央部が高くなるように設定されても良い。回転軸芯に沿う方向での中央部に排出筒が配置された場合には、この排出筒から空気を吸引する際に、ロールブラシの中央部に流れる空気の量と比較してロールブラシの両端部に流れる空気量が減少する現象が現れる。これに対して、この構成によると、ロールブラシの両端部分における空気の流れを高めることで回転軸芯に沿う方向でロールブラシの部位を流れる空気量を平均化する。
コンベア装置に備えた基板異物除去装置の側面図である。 回転軸芯に沿う方向視の基板異物除去装置の断面図である。 仕切壁と排出筒との相対的な位置関係の変化を示す基板異物除去装置の断面図である。 基板異物除去装置の分解斜視図である。 広い幅の基板に対応した操作機構の作動形態を示す平面図である。 狭い幅の基板に対応した操作機構の作動形態を示す平面図である。 操作機構の別実施形態による仕切壁と排出筒との相対的な位置関係を示す平面図である。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
〔全体構成〕
図1、図2には、コンベア装置Cで搬送されるプリント基板P(以下、基板Pと略称する)の表面に付着した塵埃等の異物を除去し、ダクトホースBを介して空気とともに吸引し、排出する基板異物除去装置Aが示されている。
〔コンベア装置〕
コンベア装置Cは、搬送フレーム1を備えると共に、この搬送フレーム1の上部位置にガイドフレーム2と、規制ガイド3と、一対のチェーンガイド4とを搬送方向に沿う姿勢で備えている。また、搬送フレーム1にはチェーンガイド4で案内される一対の無端チェーン5と、この無端チェーン5に連結する複数の搬送プレート6を備えている。
コンベア装置Cは、一対の無端チェーン5を搬送モータ(図示せず)で循環作動させることにより、無端チェーン5がチェーンガイド4に沿って移動する。これにより、ガイドフレーム2と規制ガイド3の上面に摺接する形態で搬送プレート6を水平方向に移動させ、夫々の搬送プレート6に載置される基板Pの搬送が実現する。
コンベア装置Cは、基板Pの搬送時において基板Pの幅方向(コンベア装置Cの搬送方向と直交する水平方向)での一方の端面を規制ガイド3の規制壁3aに接触させる搬送形態が採用されている。特に、基板Pの幅方向で規制壁3aが配置された方向を規制側と称し、この反対側を突出側と称する。
本発明では、コンベア装置Cとして、チェーンを用いた構成のものを用いる以外に、可撓性のベルトを用いたベルトコンベアや、多数のローラを用いたローラコンベアを用いても良い。
コンベア装置Cの搬送フレーム1に連結した2つのブラケット10に掛け渡す形態で、かつ、上下方向に位置調節自在に主フレーム11が連結されている。この主フレーム11は断面形状がチャンネル状であり基板異物除去装置Aの外面に連結固定される。
〔基板異物除去装置〕
図1〜図4に示すように、基板異物除去装置Aは、電動モータMにより回転軸芯X周りで駆動回転するロールブラシ12をケースAcに収容しており、ケースAcの上部には、ケースAcの内部の空気をダクトホースBによりケース外に送り出す排出筒13を備えている。
回転軸芯Xは、基板Pの幅方向と一致する姿勢に設定されている。排出筒13の内周には螺旋状となる突出片13sを形成しており、この排出筒13に送られる空気を旋回させることにより吸引効率を高めている。
ダクトホースBは、バネ材製でスパイラル状のコイルの外周に柔軟に変形し得る樹脂膜を被覆したもののように容易に変形するものが使用され、このダクトホースBの外端には吸引装置(図示せず)が接続している。
ケースAcは、シュラウド14と、側壁15と、主壁体20とを備えており、このケースAcの上面に対して排出筒13と、カバー22とが備えられる。尚、主フレーム11はシュラウド14の外面に連結固定される。
シュラウド14は、ロールブラシ12の接触側をケース外に露出させる開口14aを底部に有し、かつ、ロールブラシ12の側部から前記開口14aの方向に回り込む形状の湾曲壁を有している。つまり、シュラウド14の湾曲壁はロールブラシ12の下側に周り込む形状に成形され、平面視において開口14aのうち回転軸芯Xに沿う直線状の開口縁がロールブラシ12と重複する位置に配置される。特に、開口14aは回転軸芯Xに沿う開口縁を2つ有するものであるが、本発明では2つの開口縁がともにロールブラシ12の下側に回り込むものであって良く、また、2つの開口縁のうちの一方だけがロールブラシ12の下側に回り込むものであっても良い。
尚、シュラウド14の湾曲壁とは、円弧面に成形されたものだけを指すものではなく、回転軸芯Xに沿う方向視において、シュラウド14の断面が多角形の一部の形状を含むもののように直線的な壁面を多数屈曲させた形状のものも含む。
シュラウド14と側壁15の上方の開放部位の周囲には、この開放部位を取り囲むように外方に張り出すフランジ状の連結壁17が形成されている。
側壁15は、回転軸芯Xに沿う方向でのシュラウド14の両端部に配置され、シュラウド14と一体的に形成される。主壁体20は、ロールブラシ12の反接触側(上側)に配置される。この主壁体20は、シュラウド14と側壁15との開放部位を覆う矩形のプレート状に成形されると共に、中央位置には回転軸芯Xに沿う方向が長い長円状の開口部20aが形成され、この主壁体20の外周と連結壁17とがビス等で連結される。
排出筒13は、筒の軸芯が縦向き姿勢となる姿勢で配置され、下端部には水平姿勢となる板状のフランジ部13aを備えている。このフランジ部13aの端部にはゴム材やスポンジ材で成るシール材21が備えられている。これと同様に、主壁体20の開口部20aの開口縁にはゴム材やスポンジ材で成るシール材21が備えられている。カバー22には排出筒13が貫通する長孔22aが形成されている。この長孔22aも主壁体20の開口部20aと同様に回転軸芯Xに沿う方向が長い長円状に形成される。
一対の側壁15の一方(規制側)の外面に前述した電動モータMを備え、一対の側壁15の他方(突出側)に軸受16を備え、電動モータMの駆動軸と軸受16とに亘ってロールブラシ12の軸部12aの端部が支持されている。
ロールブラシ12の規制側の端部を規制ガイド3の規制壁3aより僅かに外方に張り出す位置に設定しており、基板Pの規制側の端部までロールブラシ12を確実に接触させるように構成している。
ケースAcの内部には、回転軸芯Xと平行姿勢となる一対のガイドロッド23を備え、このガイドロッド23に沿って移動自在にスライド体24を備え、このスライド体24に仕切壁25を備えている。仕切壁25は、ロールブラシ12の外周と前記シュラウド14の内壁との間の空間を前記回転軸芯Xの方向で仕切る機能を有し、ロールブラシ12の外周に沿う形状の凹部25aと、シュラウド14の内壁に沿う湾曲形状の外縁部25bとが形成されている。
ロールブラシ12は軸部12aに対して多数の繊維12bを備えた構造を有し、繊維12bの密度が回転軸芯Xの方向での両端部で粗となり、回転軸芯Xの方向で中央部が密となるように繊維12bの量が設定されている。尚、繊維12bとして導電性樹脂や、金属、カーボンファイバーのように良導体を用いることで静電気が帯電し難いものに構成している。
また、ケースAcの内部には、ロールブラシ12の繊維12bの外周部に接触することで、ロールブラシ12の繊維12bに付着した異物の分離を行うロッド状の異物除去体26を備えている。この異物除去体26は、異物に接触して除去する機能を有するためロッド状である必要性はなく、板状や櫛歯状に構成しても良い。
そして、基板異物除去装置Aを組み立てる際には、ケースAcの外部に電動モータMを備え、ケースAcの内部にロールブラシ12を備え、一対のガイドロッド23に仕切壁25を備え、異物除去体26を備える。そして、フランジ部13aを主壁体20の上面に重ね合わせ、更に、排出筒13を長孔22aに挿通する状態で、このカバー22をフランジ部13aの上面に重ね合わせ、このカバー22の外端を連結壁17に連結する。
これにより、ケースAcのシュラウド14の内部においてロールブラシ12が回転自在に備えられ、仕切壁25が一対のガイドロッド23により回転軸芯Xの方向にスライド移動自在に支持される。更に、排出筒13は回転軸芯Xに沿う方向にスライド移動自在となり、この排出筒13のフランジ部13aと、主壁体20との間に配置されるシール材21により、この部位で外気を吸入する現象が阻止される。
〔位置調節手段〕
この基板異物除去装置Aでは、基板Pの幅に対応して、この幅の中央位置に排出筒13をセットする位置調節手段Dを備えている。この位置調節手段Dは、図1〜図6に示すように、主フレーム11に対し回転軸芯Xに沿う方向(基板Pの幅方向)にスライド移動自在に備えたロッド状の移動フレーム30と、この移動フレーム30の突出側の端部に備えたアーム31と、このアーム31の先端部に備えたプレート状の接触体32と、移動フレーム30を規制側に向けて付勢するコイルバネ33と、移動フレーム30の移動力を排出筒13に伝える操作機構Fとを備えている。
接触体32は、基板Pの突出側の端面との接触することで、基板Pの幅に対応した量だけ移動フレーム30を、コイルバネ33の付勢力に抗して移動させる。この接触体32は、基板異物除去装置Aを基準にして基板Pの搬送方向に上流側において基板Pの端面に接触する。
移動フレーム30と仕切壁25とが連結体34によって連結され、接触体32が基板Pの突出側の端面との接触した状態では、仕切壁25が基板Pの突出側の端面の近傍にセットされる。連結体34は連係作動機構Eの一例であり、シュラウド14の側壁に形成したスリット14bを介して仕切壁25と連結している。尚、シュラウド14にはスリット14bが形成されるものの、このスリット14bを覆う位置に移動フレーム30が配置されるため、排出筒13から空気が吸引される場合でも、スリット14bから外気を吸引する現象は抑制される。
特に、移動フレーム30の移動量を仕切壁25に伝えるために連係作動機構Eとしてワイヤを用いることや、リンク機構を用いることも可能である。更に、この連係作動機構Eとして電動モータの駆動力で作動する機構を用いても良い。
操作機構Fは、移動フレーム30の移動量を1/2に低減して排出筒13に伝える機能を有している。つまり、図3(a)に示される位置関係から、図3(b)示される位置関係に変化した場合のように、移動フレーム30と仕切壁25とが距離T1だけ移動した際には、この距離T1の1/2となる距離T2だけ排出筒13を移動させる。このように基板Pの幅(搬送方向と直交する方向の寸法)に関わらず、この基板Pの幅の中央位置に排出筒13をセットするように操作機構Fが機能する。
操作機構Fの具体的な構造として、駆動側ラックギヤ40と、この駆動側ラックギヤ40に咬合する第1ギヤ41と、第1ギヤ41に咬合する第2ギヤ42と、第2ギヤ42と一体回転する第3ギヤ43と、第3ギヤ43が咬合する従動側ラックギヤ44とを備えている。
駆動側ラックギヤ40は、ブラケット39を介して移動フレーム30に連結している。第1ギヤ41は、第1支軸41aによりケースAcのベースプレート46に対して回転自在に支持されている。第2ギヤ42は、第1ギヤ41の2倍の歯数を有しており、この第2ギヤ42と第3ギヤ43とは第2支軸42aによりケースAcのベースプレート46に対して回転自在に支持され、従動側ラックギヤ44は支持体45を介して排出筒13に連結している。
〔作動形態〕
このような構成から、基板Pの表面に付着している塵埃等の異物を除去する場合には、コンベア装置Cで基板Pが搬送される方向の逆方向にロールブラシ12の繊維12bが接触する方向に、このロールブラシ12を駆動回転する。次に、コンベア装置Cで搬送される基板Pがロールブラシ12に接触する位置に到達する以前に、基板Pの突出側の端面に接触体32が接触し、基板Pの幅に対応した量たけ移動フレーム30が移動する。
この移動に従い、仕切壁25が基板Pの突出側の端部の近傍位置まで移動し、この移動と連動して排出筒13が移動フレーム30の1/2だけ移動することで、排出筒13が基板Pの幅の中央位置にセットされる。
具体的な位置関係として、図3(a)に示すように、基板Pの幅がロールブラシ12の長さと略等しい場合には、仕切壁25はロールブラシ12の端部の近傍に位置し、排出筒13の中心位置Yが基板Pの中央位置にセットされる。
また、図3(b)に示すように、基板Pの幅が短くなり、基板Pの幅に連動して仕切壁25が距離T1だけ移動した場合には、排出筒13の中心位置Yが距離T2だけ移動する。尚、距離T2は距離T1の1/2になる。
また、図3(a)に示す状態に対応する移動フレーム30が移動した場合には図5に示すように、接触体32が基板Pの突出側の端部に接触することにより、この基板Pに対応した位置まで移動フレーム30が移動する。この移動により、移動フレーム30に対して連結体34(連係作動機構E)を介して連結する仕切壁25の位置が基板Pの突出側の端部に位置の近傍にセットされる。また、移動フレーム30の移動力を操作機構Fが排出筒13に伝えることにより、この排出筒13の中心位置Yが基板Pの幅方向の中央にセットされる。
次に、図3(b)に示すように基板Pの幅が短くなった場合には、図6に示すように、接触体32が基板Pの突出側の端部に接触することにより、この基板Pに対応した位置まで移動フレーム30が移動する。この移動により、移動フレーム30に対して連結体34(連係作動機構E)を介して連結する仕切壁25の位置が基板Pの突出側の端部に位置の近傍にセットされる。また、移動フレーム30の移動力を操作機構Fが排出筒13に伝えることにより、この排出筒13の中心位置Yが基板Pの幅方向の中央にセットされる。
特に、操作機構Fは、移動フレーム30とブラケット39と駆動側ラックギヤ40とが一体的に回転軸芯Xの方向に沿って移動した場合には、駆動側ラックギヤ40に咬合する第1ギヤ41が回転する。そして、この回転力が第2ギヤ42から第3ギヤ43に伝えられ、この第3ギヤ43か咬合する従動側ラックギヤ44を回転軸芯Xの方向に移動させる。このように従動側ラックギヤ44が移動する場合には、その移動量が駆動側ラックギヤ40の移動量の1/2になることから、基板Pの幅に拘わらず、排出筒13の中心位置Yを基板Pの中央にセットすることになる。
この状態において、ロールブラシ12の繊維12bが基板Pの表面に接触することにより、基板Pの表面に付着している塵埃等の異物を除去し、ケースAcの内部に掻き込む。ロールブラシ12によって掻き込まれた異物の多くはケースAcの内部で空気の流れと共に上方に移動する。また、ロールブラシ12の繊維12bに付着した異物は異物除去体26に接触することで繊維12bから分離し、空気の流れと共に上方に送られ、排出筒13から外部に送り出される。
また、シュラウド14の開口14aのうち、仕切壁25より外側(突出側)からの空気の吸引を抑制した状態で、仕切壁25より内側(規制側)の開口14aからの空気を吸引し、この吸引の幅の中央に配置される排出筒13からケースAcの内部の空気の排出が効率的に行われる。特に、ロールブラシ12の繊維12bが端部側において粗であることから、外端部ほど負圧が低く吸引する空気量が低減する不都合を抑制し、全幅で均一な空気量を吸引する。
〔実施の形態の効果〕
このように本発明では、シュラウド14の底部に形成した開口14aからロールブラシ12の一部だけ露出させ、ケースAcの内部に備えた仕切壁25を基板Pの幅と対応する位置にセットし、基板Pの幅の中間位置に排出筒13をセット配置する。これにより、排出筒13に負圧を作用させるファン等の容量を高めることなく、基板Pの表面の異物をロールブラシ12で除去し、空気の流れと共に排出できる。特に、開口14aの開口縁をロールブラシ12の下側に回り込ませているので、開口14aの開口面積を小さくし、この開口14aに強い気流を作用させ、開口14aから異物が零れ落ちる現象を回避できる。
また、排出筒13の位置を基板Pの幅の中央位置にセットするので、空気の流れの偏りを無くし効率的に空気を吸引して送り出すことが可能となる。更に、ロールブラシ12の繊維12bの密度により、基板Pの全幅に対応する領域から平均的に空気を吸入する。排出筒13では内周に螺旋状に形成した突出片13sにより空気を旋回させ空気を効率的に排出する。
〔操作機構の別実施形態〕
操作機構Fは、前述した構成に限るものではなく、例えば、図7に示すように構成しても良い。つまり、排出筒13を基板Pの突出側に付勢するバネ50を備え、ケースAcに第1プーリ51と第2プーリ52とを回転自在に支承し、排出筒13に第3プーリ53を回転自在に支承する。そして、一端をケースAcに連結したケーブル54を第3プーリ53、第2プーリ52、第1プーリ51に巻回し、このケーブル54の終端を連結部材55(連係作動機構Eの一例)により移動フレーム30に連結する。
この構成により、基板Pの幅が短縮し移動フレーム30が移動した場合には、連結部材55を介してケーブル54が引き操作され、この引き操作により第3プーリ53が動滑車と同様に、移動フレーム30の移動距離T1(引き操作量)の1/2となる移動距離T2だけ排出筒13が移動する。
この別実施形態では、操作機構F以外の構成は、先に説明した実施の形態と同様の構成を用いており、基板Pの突出側の端部の近傍位置に仕切壁25がセットされる。これと同時に、この別実施形態の操作機構Fにより排出筒13の中心位置Yが基板Pの幅方向での中央位置にセットされる。
〔基本構成の別実施形態〕
本発明では、ケースAcに複数のロールブラシ12を平行姿勢で備えた構成のものであっても良く。
仕切壁25と排出筒13とを移動させるために夫々を連係する単一の電動モータを備えることや、夫々を独立して駆動する電動モータを備えても良い。この場合、基板Pの端部の位置をセンサで判別する構成となる。
本発明は、リフロー工程の直後のように、プリント基板にパーツを実装するコンベア装置に備えて利用することができる。
12 ロールブラシ
12a 繊維
13 排出筒
13a フランジ
14 シュラウド
14a 開口
20 主壁体
20a 開口部
25 仕切壁
26 異物除去体
30 移動フレーム
32 接触体
34 連結体・連係作動機構
55 連結部材・連係作動機構
Ac ケース
D 位置調節手段
E 連係作動機構
F 操作機構
P プリント基板(基板)
X 回転軸芯

Claims (6)

  1. 基板の表面に接触する状態で駆動回転するロールブラシと、このロールブラシを収容するケースと、前記ケースの内部空間の空気をケース外に送り出す排出筒とを備えると共に、
    前記ケースが、前記ロールブラシの接触側をケースの底部側に露出させる開口を有し、かつ、平面視において前記開口の開口縁が前記ロールブラシの下側に重複するように湾曲成形された湾曲壁を有するシュラウドと、前記ロールブラシの反接触側において前記シュラウドに連結する主壁体とを備えており、
    前記排出筒が、前記ロールブラシの回転軸芯に沿うスライド方向で位置調節自在に支持され、前記スライド方向での前記基板の幅に連係して前記スライド方向での基板の中央位置に前記排出筒を位置させる位置調節手段を備えている基板異物除去装置。
  2. 前記ケースの内部において前記ロールブラシの外周と前記シュラウドの内壁との間の空間を前記回転軸芯の方向で仕切る仕切壁が、前記スライド方向で移動自在に備えられ、前記位置調節手段による前記排出筒の位置調節時に、この排出筒のスライド方向と同じ方向に前記仕切壁を移動させる連係作動機構が備えられている請求項1記載の基板異物除去装置。
  3. 前記主壁体が、前記回転軸芯に沿う方向が長い開口部を有するプレート状に構成され、前記排出筒が、前記開口部と重なり合う位置関係で前記スライド方向に移動自在に支持されるフランジを備え、
    前記位置調節手段は、前記ケースに対して前記回転軸芯に沿う方向に移動自在に支持された移動フレームと、この移動フレームに連係する状態で前記基板の端面に接触する接触体と、この接触体の移動量を低減して前記排出筒又は前記フランジに伝える操作機構とを備えている請求項1又は2記載の基板異物除去装置。
  4. 前記連係作動機構が前記移動フレームに対して前記仕切壁を直接的に連結する連結体で構成されている請求項2記載の基板異物除去装置。
  5. 前記ロールブラシの外周に接触する異物除去体を前記ケースの内部に備えている請求項1〜4のいずれか一項に記載の基板異物除去装置。
  6. 前記ロールブラシを形成する繊維の密度が、前記回転軸芯の方向での両端部より、前記回転軸芯の方向での中央部が高くなるように設定されている請求項1〜5の何れか一項に記載の基板異物除去装置。
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