CN1750987A - 安装电子元件的薄膜载带的传送装置和传送方法 - Google Patents
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Abstract
安装电子元件薄膜载带的传送装置包括在解绕侧对薄膜载带(3)施加张力的解绕侧张力施加装置(21)，和在缠绕侧对薄膜载带(3)施加比解绕侧张力更大的张力的缠绕侧张力施加装置(23)，并因此在驱动齿轮(17)的齿轮凸起(31)在薄膜载带(3)的齿孔(40)中不与传送方向侧的边缘相紧贴的条件下传送薄膜载带。在另一个实施例中，传送驱动部(15)中的压辊(19)设置为这样的状态，即压辊(19)的轴沿传送方向相对于驱动齿轮(17)的轴倾斜预定的角度，因此在薄膜载带(3)与驱动齿轮(17)的驱动辊表面和压辊(19)的压辊表面在一个表面相紧贴的条件下传送薄膜载带。
Description
技术领域
本发明涉及在处理步骤例如检验步骤和其它步骤中，用于在绝缘膜上由导电引线图形连接安装电子元件的薄膜载带(例如TAB(载带自动焊)带、T-BGA(载带球栅阵列)带、CSP(芯片尺寸封装)带、ASIC(专用集成电路)带、COF(载芯片膜)带、2-金属(双侧布线)带、多层布线带等)(以下简称为“安装电子元件薄膜载带)的传送装置，并且也涉及载带的传送方法。
背景技术
在电子工业领域中，用于安装电子元件例如IC(集成电路)、LSI(大规模集成电路)等的印制线路板已被采用。现在，例如以移动电话为代表的电子装置期望其尺寸减小和重量减轻、高功能化、高可靠性、低成本等等。
作为实现电子装置这些特性，例如尺寸减小和重量减轻等的电子元件安装方法，器件是被安装在用于安装电子元件的薄膜载带，例如TAB载带等，上。安装电子元件的薄膜载带是通过以下方式制备的。导电金属箔，例如铜箔等，通过树脂粘合剂，例如环氧树脂等，附着在绝缘膜，例如聚酰亚胺上，光敏树脂涂于导电金属箔的表面上并通过曝光进行暴光从而制备出期望的引线图形，然后，用树脂的曝光部分或非曝光部分作为掩膜材料刻蚀导电金属箔从而形成引线图形，随后进行阻焊剂涂覆、固化和电镀处理。
最近，在如上所述的期望电子装置的小型化和质量轻的同时，电子元件的高密度安装进一步被关注，且用于安装电子元件的薄膜载带引线宽度的窄化和薄膜厚度的薄化已随着这些要求而有所进展。
在这种情况下，通过直接在绝缘膜上形成铜导电层，例如通过铜电镀的步骤，以在绝缘膜上形成薄电镀层来制备双层挠性基板已被开发并用于COF(载芯片膜)载带等等。
如图9所示，在用于安装电子元件的薄膜载带103，例如COF等上，各在其上形成有导电引线图的用于安装电子元件的单元142、142...沿带的纵向形成。在载带宽度方向的两端，用于传送的齿孔140、140、...是沿纵向平行打孔的。载带的宽度通常是35至200mm，齿孔140的边长通常是1.42至1.98mm。
通过生产步骤的安装电子元件的薄膜载带103在检测步骤中，通过鉴别各个安装电子元件的单元142、142...的导电引线图形中的缺陷来进行检测，然后对有缺陷的单元进行打孔或用墨迹和其它方式对有缺陷的单元做标记，然后交付使用。
在此检测步骤中，例如，对有缺陷单元做标记是以这种方式进行的，即在用于安装电子元件的薄膜载带103上提供的各个安装电子元件的单元142、142...被传送通过指定的处理部分(例如，参见JP-A-2001-358180)并且只有有缺陷的单元被从这些单元中挑选出来并作标记。
在用于安装电子元件的薄膜载带103的检测步骤中，传统的用来传送的传送装置的结构示意图如图10所示。传送装置101配备用来解绕安装电子元件的薄膜载带103的解绕盘105，用于对从解绕盘105解绕的薄膜载带103执行指定处理例如检测、做标记等的处理部分113，以及缠绕在处理部分113中进行了指定处理的薄膜载带103的缠绕盘107。附图标记109和111表示用来引导薄膜载带103以便在处理部分113中沿水平方向传送薄膜载带103的导引辊，以及附图标记125和127表示用来引导薄膜载带103的导引辊。
在处理部分113的沿传送方向的上游侧，提供了向后张力部分129，而在沿传送方向的下游侧，提供了传送驱动部分115。
如图11所示，传送驱动部分115具有驱动齿轮117和压辊119。驱动齿轮117以驱动辊表面从薄膜载带103的背侧与薄膜载带103的表面相紧贴的方式设置，且在驱动辊表面的两端线性设置的齿轮凸起131、131...与薄膜载带103的齿孔140、140...啮合从而传送薄膜载带103。
压辊119的压辊表面与驱动齿轮117的驱动辊表面紧贴以便支撑薄膜载带103。
后张力部分129由一对辊组成，该对辊以辊表面从上侧到下侧支撑薄膜载带103，且其工作过程如下。载带103被两个辊的表面支撑，且张力通过传送驱动部115的驱动朝着传送薄膜载带的方向相反的方向施加于薄膜载带103上从而整齐和稳定地传送薄膜载带103。
然而，在如上面所描述的传统传送装置中，由于在后张力部分129中张力朝着与传送薄膜载带的方向相反的方向施加于薄膜载带103上，在传送驱动部115中，如图11所示，驱动齿轮117的齿轮凸起131、131...在齿轮凸起与齿孔140、140...沿传送方向侧的端部紧贴的状态下啮合，从而传送薄膜载带103。因此，当啮合的齿轮凸起131随着驱动齿轮117的旋转而脱出齿孔140时，齿轮凸起与齿孔140沿传送方向侧的端部144摩擦从而导致这样的问题，即在啮合脱出时，发出噪音例如嘎吱嘎吱声等而给检测中的操作者带来不适，或导致齿孔140的端部144变形或破裂。
再者，传统传送装置具有下列问题。如图11所示，由于压辊119的轴是设置在垂直于朝着驱动齿轮117的轴的传送方向的方向上，传送以这样的方式进行，即薄膜载带103、驱动齿轮117的驱动辊表面和压辊119的压辊表面接触于一点。由于这个原因，传送变得不稳定从而导致如下问题。例如，当辊颤动时，与齿孔140啮合的齿轮凸起131将抓住并挤入薄膜载带103中而损坏也是用来定位的齿孔140，或可能损坏引线图形。
各个上述的问题在传送，特别是，用于安装电子元件的薄膜载带中具有薄的膜厚和比较弱的强度的COF载带中容易出现。
本发明意在解决上述问题，其目的是提供一种能够稳定传送而不损坏安装电子元件的薄膜载带的安装电子元件薄膜载带传送装置，和传送薄膜载带的方法。
发明内容
依据本发明的安装电子元件薄膜载带的传送装置包括：
解绕安装电子元件薄膜载带的解绕盘；
对从解绕盘解绕下来的薄膜载带进行指定的处理的处理部；
缠绕经处理部处理的薄膜载带的缠绕盘；以及
具备驱动齿轮的传送驱动部，驱动齿轮具有通过与薄膜载带上形成的齿孔进行啮合来传送薄膜载带的多个齿轮凸起，并进一步包括
在解绕侧对薄膜载带施加张力的解绕侧张力施加装置，该装置设置在解绕盘和处理部之间，以及
在缠绕侧对薄膜载带施加张力的缠绕侧张力施加装置，该装置设置在缠绕盘和处理部之间，
其中缠绕侧张力施加装置施加的张力大于解绕侧张力施加装置施加的张力，并因此
在驱动齿轮的齿轮凸起不与薄膜载带齿孔中沿传送方向侧的边缘相紧贴的条件下传送薄膜载带。
利用具有如此结构的传送装置，安装电子元件的薄膜载带能够稳定地传送而不损坏薄膜载带。
在上述发明中，形成解绕侧张力施加装置和缠绕侧张力施加装置以可以通过其自重在薄膜载带上施加张力。也就是说，它们具有这样的结构，即缠绕侧张力施加装置的自重大于解绕侧张力施加装置的自重，因此能够在驱动齿轮的齿轮凸起不与薄膜载带的齿孔中传送方向侧的边缘相紧贴的条件下传送薄膜载带。
在传送装置具备能够通过自重在薄膜载带上施加张力这种结构的情况下，从稳定传送薄膜载带的角度考虑，优选使用跳动辊作为解绕侧张力施加装置和缠绕侧张力施加装置。
依据本发明的安装电子元件薄膜载带的传送装置包括：
解绕安装电子元件薄膜载带的解绕盘；
对从解绕盘解绕下来的薄膜载带进行指定的处理的处理部；
缠绕经处理部处理的薄膜载带的缠绕盘；以及
具备驱动齿轮的传送驱动部，驱动齿轮具有通过与薄膜载带上形成的齿孔进行啮合来传送薄膜载带的多个齿轮凸起，
其中驱动齿轮具有驱动辊表面，和
传送驱动部配备压辊，其具有能够通过与驱动齿轮的驱动辊表面紧贴来支撑薄膜载带的压辊表面，
压辊设置为这样的状态，即压辊的轴沿传送方向相对于驱动齿轮的轴倾斜预定的角度，因此
在薄膜载带在一个表面上与驱动齿轮的驱动辊表面从驱动齿轮与压辊的接触点在传送方向的上游侧相紧贴，以及
薄膜载带在一个表面上与压辊的压辊表面从驱动齿轮与压辊的接触点沿传送方向的下游侧相紧贴的条件下传送薄膜载带。
利用具有如此结构的传送装置，安装电子元件的薄膜载带能够稳定地传送。
依据本发明的安装电子元件薄膜载带传送装置包括：
解绕安装电子元件薄膜载带的解绕盘；
对从解绕盘解绕下来的薄膜载带进行指定的处理的处理部；
缠绕经处理部处理的薄膜载带的缠绕盘；以及
具备驱动齿轮的传送驱动部，驱动齿轮具有通过与薄膜载带上形成的齿孔进行啮合来传送薄膜载带的多个齿轮凸起，并进一步包括
在解绕侧对薄膜载带施加张力的解绕侧张力施加装置，该装置设置在解绕盘和处理部之间，以及
在缠绕侧对薄膜载带施加张力的缠绕侧张力施加装置，该装置设置在缠绕盘和处理部之间，
其中缠绕侧张力施加装置施加的张力大于解绕侧张力施加装置施加的张力，并因此
在驱动齿轮的齿轮凸起不与薄膜载带齿孔中传送方向侧的边缘相紧贴的条件下传送薄膜载带，进一步
驱动齿轮具有驱动辊表面，且
传送驱动部配备具有能够通过与驱动齿轮的驱动辊表面相紧贴来支撑薄膜载带的压辊表面的压辊，
压辊设置为这样的状态，即压辊的轴沿传送方向相对于驱动齿轮的轴倾斜预定的角度，因此
在薄膜载带在一个表面上与驱动齿轮的驱动辊表面从驱动齿轮与压辊的接触点在传送方向的上游侧相紧贴，以及
薄膜载带在一个表面上与压辊的压辊表面从驱动齿轮与压辊的接触点在传送方向的下游侧相紧贴的条件下传送薄膜载带。
利用具有如此结构的传送装置，安装电子元件的薄膜载带能够非常稳定地传送而不损坏安装电子元件的薄膜载带。
在上述发明中，形成解绕侧张力施加装置和缠绕侧张力施加装置可使其具有这样的结构，即通过其自重在薄膜载带上施加张力。也就是说，它们被形成以便使缠绕侧张力施加装置的自重大于解绕侧张力施加装置的自重，而因此能够在齿轮凸起不与薄膜载带的齿孔中传送方向侧的边缘相紧贴的条件下传送薄膜载带。
在具有通过自重在薄膜载带上施加张力这种结构的安装电子元件薄膜载带的传送装置中，从稳定传送薄膜载带的角度考虑，优选使用跳动辊作为解绕侧张力施加装置和缠绕侧张力施加装置。
依据本发明的传送安装电子元件薄膜载带的方法特征在于利用安装电子元件薄膜载带的传送装置，该装置包括：
解绕安装电子元件薄膜载带的解绕盘；
对从解绕盘解绕下来的薄膜载带进行指定的处理的处理部；
缠绕经处理部处理的薄膜载带的缠绕盘；以及
具备驱动齿轮的传送驱动部，驱动齿轮具有通过与薄膜载带上形成的齿孔进行啮合来传送薄膜载带的多个齿轮凸起，该方法包括下列步骤：
通过设置在解绕盘和处理部之间的解绕侧张力施加装置在解绕侧对薄膜载带施加张力，
通过设置在缠绕盘和处理部之间的缠绕侧张力施加装置在缠绕侧对薄膜载带施加张力，
其中缠绕侧张力施加装置施加的张力大于解绕侧张力施加装置施加的张力，因此
在驱动齿轮的齿轮凸起不与薄膜载带齿孔中传送方向侧的边缘相紧贴的条件下传送薄膜载带。
通过这样的方法，安装电子元件的薄膜载带能够稳定地传送而不损坏薄膜载带。
依据本发明的传送安装电子元件薄膜载带的方法特征在于利用安装电子元件薄膜载带的传送装置，该装置包括：
解绕安装电子元件薄膜载带的解绕盘；
对从解绕盘解绕下来的薄膜载带进行指定的处理的处理部；
缠绕经处理部处理的薄膜载带的缠绕盘；以及
具备驱动齿轮的传送驱动部，驱动齿轮具有通过与薄膜载带上形成的齿孔进行啮合来传送薄膜载带的多个齿轮凸起，
其中驱动齿轮具有驱动辊表面，和
传送驱动部配备压辊，其具有能够通过与驱动齿轮的驱动辊表面紧贴来支撑薄膜载带的压辊表面，
压辊设置为这样的状态，即压辊的轴沿传送方向相对于驱动齿轮的轴倾斜预定的角度，因此
在薄膜载带在一个表面上与驱动齿轮驱动辊的表面从驱动齿轮与压辊的接触点在传送方向的上游侧相紧贴，以及
薄膜载带在一个表面上与压辊的压辊表面从驱动齿轮与压辊的接触点在传送方向的下游侧相紧贴的条件下传送薄膜载带。
通过这种方法，安装电子元件的薄膜载带能够稳定地传送。
依据本发明的传送薄膜载带的方法特征在于利用安装电子元件薄膜载带的传送装置，该装置包括：
解绕安装电子元件薄膜载带的解绕盘；
对从解绕盘解绕下来的薄膜载带进行处理的处理部；
缠绕经处理部处理的薄膜载带的缠绕盘；以及
具备驱动齿轮的传送驱动部，驱动齿轮具有通过与薄膜载带上形成的齿孔进行啮合来传送薄膜载带的多个齿轮凸起，
该方法包括下列步骤：
通过设置在解绕盘和处理部之间的解绕侧张力施加装置在解绕侧对薄膜载带施加张力，
通过设置在缠绕盘和处理部之间的缠绕侧张力施加装置在缠绕侧对薄膜载带施加张力，
其中缠绕侧张力施加装置施加的张力大于解绕侧张力施加装置施加的张力，并因此
在驱动齿轮的齿轮凸起不与薄膜载带齿孔中传送方向侧的边缘相紧贴的条件下传送薄膜载带，进一步
驱动齿轮具有驱动辊表面，且
传送驱动部具备具有能够通过与驱动齿轮的驱动辊表面相紧贴来支撑薄膜载带的压辊表面的压辊，
压辊设置为这样的状态，即压辊的轴沿传送方向相对于驱动齿轮的轴倾斜预定的角度，因此
在薄膜载带在一个表面与驱动齿轮驱动辊的表面从驱动齿轮与压辊的接触点沿传送方向的上游侧相紧贴，以及
薄膜载带在一个表面与压辊的压辊表面从驱动齿轮与压辊的接触点沿传送方向的下游侧相紧贴的条件下传送薄膜载带。
通过这样的方法，安装电子元件的薄膜载带能够非常稳定地传送而不损坏载带。
附图说明
图1为本发明安装电子元件薄膜载带传送装置的一个实施例的示意图；
图2为图1所示实施例的传送驱动部的局部放大图；
图3为本发明安装电子元件薄膜载带传送装置的另一个实施例的示意图；
图4为图3所示实施例的传送驱动部的局部放大图；
图5为本发明安装电子元件薄膜载带传送装置的另一个实施例的示意图；
图6为图5所示实施例的传送驱动部的局部放大图；
图7为本发明的压辊结构的一个实施例的示意图；
图8为本发明的压辊结构的另一个实施例的示意图；
图9为安装电子元件薄膜载带的部分示意图；
图10为传统的安装电子元件薄膜载带的传送装置的示意图；
图11为图10中所示的传送装置中传送驱动部的局部放大图。
具体实施方式
下面参照附图对本发明做详细说明。
图1、3和5分别显示依据本发明的安裴电子元件薄膜载带的传送装置的实施例的结构示意图，图2、4和6分别显示其传送部分的局部放大图。
如图3所示的安装电子元件薄膜载带的传送装置1b具有：
解绕安装电子元件薄膜载带3的解绕盘5；
对从解绕盘5解绕下来的薄膜载带3进行指定的处理的处理部13，例如，故障辨别处理或故障标记处理，以及
缠绕经处理部13处理的薄膜载带3的缠绕盘7。附图标记9和11分别表示用来导引薄膜载带3以便使薄膜载带3在处理部13内被水平传送的导引辊，附图标记25和27也是分别表示导引薄膜载带3的导引辊。本发明中进行处理的薄膜载带3具有的宽度是从35到200mm，且带厚度是从10到125μm，优选为25到75μm。
再有，传送驱动部15设置在沿传送方向的处理部13的下游侧。
传送驱动部15，如图4所示，配备驱动齿轮17和压辊19。驱动齿轮17被设置以使驱动辊表面从下侧与薄膜载带3的表面相紧贴，沿直线设置在驱动辊表面两端的齿轮凸起31、31...与薄膜载带3的齿孔40、40...啮合从而传送薄膜载带3。
压辊19在压辊表面与驱动齿轮17的驱动辊表面相紧贴以便支撑薄膜载带3。
如图7(a)所示，在压辊19中，优选地在辊表面两端环绕设置具有与齿轮凸起31、31...同样宽度的凹槽37。如图7(b)所示，在设置凹槽37的条件下，在驱动齿轮17驱动时，齿轮凸起31在齿轮凸起通过齿孔40进入凹槽37的情况下旋转，并且压辊19在凹槽37的两侧支撑薄膜载带3，因此齿孔40几乎不从齿轮凸起31上脱出来从而能够稳定地传送。作为另一个实施例，如图8所示，压辊可以有这样的结构，即在辊表面的两末端，与齿轮凸起31、31...配合的凹槽37、37...并列设置。
在本发明的实施例中，在解绕盘5和处理部13之间，设置解绕侧跳动辊21以通过自重向薄膜载带3解绕侧施加张力。
进一步，在缠绕盘5和处理部13之间，设置缠绕侧跳动辊23以通过自重向薄膜载带3缠绕侧施加张力。
图3中，解绕侧跳动辊21从上侧在辊表面上紧贴位于解绕盘5和导引辊9之间的薄膜载带3，并施加自重。通过这种应用，解绕侧上的张力，也就是与传送方向相反方向上的张力，施加在位于导引辊9和导引辊11之间的薄膜载带3上。
进一步，缠绕侧跳动辊23从上侧在辊表面上与位于缠绕盘7和导引辊11之间的薄膜载带3紧贴，并施加自重。通过这种应用，缠绕侧上的张力，也就是传送方向上的张力，施加在位于导引辊9和导引辊11之间的薄膜载带3上。
再有，本装置这样组成使得缠绕侧跳动辊23的自身重量大于解绕侧跳动辊21的自重。因此，缠绕侧上，也就是在传送方向上的张力施加在薄膜载带3上，达到各个跳动辊产生的由自重施加的在彼此相反方向上的张力(抗张强度)的平衡。通过这种应用，如图4所示，薄膜载带3在驱动齿轮17的齿轮凸起31、31...与齿孔40、40...的传送方向相反方向侧的端部46相紧贴或不与传送方向侧的端部44相紧贴。
因此，齿孔40是在其传送方向侧有一个间隙的情况下与齿轮凸起31啮合的，从而齿轮凸起31不会在通过驱动齿轮17的旋转脱出啮合时在传送方向上碰到端部44。由于这一原因，薄膜载带3能够被稳定地传送而不损坏薄膜载带3，也就是说，该装置不会导致下面的问题，即在脱啮合时，齿轮凸起31都会在传送方向侧与端部44发生摩擦，或产生嘎吱嘎吱声等噪音，或导致端部44变形或损坏。
在解绕侧跳动辊21和缠绕侧跳动辊23中，通过沿着辊宽度方向的两端形成宽度与薄膜载带3宽度几乎一样的凹槽来提供导引，以使薄膜载带3不致脱出，因此，解绕侧跳动辊21和缠绕侧跳动辊23，实际上，能够对薄膜载带3施加自重而不需要使用适宜的辅助装置。在解绕侧由解绕侧跳动辊21利用自重施加的张力和在缠绕侧由缠绕侧跳动辊23利用自重施加的张力之间的平衡力，其依赖于装置的结构，以重量计优选从20到300g，更优选的从获得本发明效果的角度是从40到80g。
本发明的实施例具有这样的结构，即对于在解绕侧施加张力的解绕侧张力施加装置和在缠绕侧施加张力的缠绕侧张力施加装置，使用跳动辊21和23，并通过其自重对薄膜载带3施加张力。然后，本发明不限于上述的结构。也就是说，可利用跳动辊以外的适当的装置作为以自重给薄膜载带3施加张力的结构。
进一步，本发明不限于通过自重对薄膜载带3施加张力的结构，本发明的效果可以通过这样的结构获得，即缠绕侧张力施加装置施加的张力大于解绕侧张力施加装置施加的张力。例如，可以采用下面的结构。一对上和下辊(缠绕侧张力施加装置)在驱动齿轮17传送方向的下游侧的位置将薄膜载带3夹入中间，薄膜载带3宽度方向上的两个端侧(与齿孔40相邻)与辊表面紧贴从而彼此滑动，薄膜载带3被支撑并借助能够在传送方向上驱动辊的力沿传送方向拉动，因此被施加了张力。进一步，代替该上下辊对，可以采用一对上下平板状部件，薄膜载带3被平板状部件从上边和下边夹入中间并借助压力传送，薄膜载带3被支撑并借助能够驱动平板状部件的力在传送方向上拉动，因此也被施加了张力。
如图5所示的实施例中公开的安装电子元件薄膜载带的传送装置1c特征在于具有如图6所示的传送驱动部15的结构。图5中附图标记29表示后张力部，且后张力部包括提供的一对辊以使辊表面从上和下侧把薄膜载带3夹入中间。薄膜载带3被各个辊表面支撑并被施压，因此与传送方向相反的方向上的张力施加在薄膜载带3上，薄膜载带3通过传送驱动部15的驱动来传送，因此薄膜载带3被稳定和笔直地传送。
如图6所示，在本实施例中，压辊19被设置成这样的状态，即压辊的轴在传送方向上相对驱动齿轮17的轴倾斜特定角度。
通过这种设置，薄膜载带3在从驱动齿轮17和压辊19之间的接触点33沿传送方向的上游侧的表面与驱动齿轮17的驱动辊表面35相紧贴。进一步，薄膜载带3在从驱动齿轮17和压辊19之间的接触点33沿传送方向的下游侧的表面与压辊19的压辊表面36相紧贴。
从上面的描述已经清楚，由于薄膜载带3不是在一点而是在一个面与驱动辊表面35和压辊表面36相接触，因此接触区域是宽的，薄膜载带3能够被稳定地传送。例如，避免也用来定位的齿孔40或引线图形因薄膜载带3被移动，从而与齿孔4)啮合的齿轮凸起31嵌入薄膜载带3而引起的损坏是可能的。
设置压辊19时，压辊19的轴沿传送方向相对驱动齿轮的轴倾斜角度θ。角度θ，依赖于装置的结构，优选地是从5到45度，更优选的从获得本发明效果的角度出发是从15到20度。
如图1所示的本发明实施例中的安装电子元件薄膜载带的传送装置1a配备有跳动辊21和23，与图3和4中所示的实施例相似，且具有的结构是辊19的轴在传送方向上相对驱动齿轮17的轴倾斜特定角度，与图5和6中所示的实施例相似。
依据这种结构，如图2所示，薄膜载带3在驱动齿轮17的齿轮凸起31、31...与齿孔40、40...的传送方向相反的端部46相紧贴的条件下或在不与传送方向侧的端部44相紧贴的条件下，以及在如上所述薄膜载带3与驱动辊表面35和压辊表面36相紧贴的条件下被传送。
因此，由于齿轮凸起31和齿孔40以传送方向侧的间隙啮合，在随着驱动齿轮17的旋转而脱啮合时，齿轮凸起31不与传送方向侧的端部44相接触。进一步，由于薄膜载带3不是在一点而是在一个面与驱动辊表面35和压辊表面36相接触，因此接触区域是宽的，薄膜载带3能够被稳定地传送。例如，避免也是用来定位的齿孔40，或引线图形因挂住与薄膜载带3的齿孔40啮合的齿轮凸起31而被损坏。
在解绕侧由解绕侧跳动辊21利用自重施加的张力和在缠绕侧由缠绕侧跳动辊23利用自重施加的张力之间的平衡力，其依赖于装置的结构，从获得本发明效果的角度出发，以重力计优选是从20到300g。设置压辊19时，压辊19的轴在传送方向上相对驱动齿轮的轴倾斜角度θ。角度θ，依赖于装置的结构，从获得本发明效果的角度出发，优选地是从5到45度。
本发明的实施例已如上所述。然而，本发明不限于这些实施例，且实施例能够进行多种修改和变形。依据本发明的传送装置和传送方法能够用于在处理部13对安装电子元件薄膜载带3的检测步骤中缺陷单元检测处理或对缺陷单元的标识处理。进一步，处理部13中的处理可以包括薄膜载带3的生产步骤，例如，曝光、阻焊层处理、电镀处理等等。该传送装置和传送方法也能够用于执行这些处理。
Claims (10)
1、安装电子元件薄膜载带的传送装置，该装置包括：
解绕安装电子元件薄膜载带的解绕盘；
对从解绕盘解绕下来的薄膜载带进行指定的处理的处理部；
缠绕经处理部处理的薄膜载带的缠绕盘；以及
配备具有多个通过与薄膜载带上形成的齿孔进行啮合来传送薄膜载带的齿轮凸起的驱动齿轮的传送驱动部，并进一步包括
在解绕侧对薄膜载带施加张力的解绕侧张力施加装置，该装置设置在解绕盘和处理部之间，以及
在缠绕侧对薄膜载带施加张力的缠绕侧张力施加装置，该装置设置在缠绕盘和处理部之间，
其中缠绕侧张力施加装置施加的张力大于解绕侧张力施加装置施加的张力，并因此
在驱动齿轮的齿轮凸起不与薄膜载带齿孔中传送方向侧的边缘相紧贴的条件下传送薄膜载带。
2、如权利要求1所述的安装电子元件薄膜载带的传送装置，其中形成解绕侧张力施加装置和缠绕侧张力施加装置以使通过其自重在薄膜载带上施加张力，且缠绕侧张力施加装置的自重大于解绕侧张力施加装置的自重，并因此在驱动齿轮的齿轮凸起不与薄膜载带齿孔中传送方向侧的边缘相紧贴的条件下传送薄膜载带。
3、如权利要求2所述的安装电子元件薄膜载带的传送装置，其中解绕侧张力施加装置和缠绕侧张力施加装置各是跳动辊。
4、安装电子元件薄膜载带的传送装置，该装置包括：
解绕安装电子元件薄膜载带的解绕盘；
对从解绕盘解绕下来的薄膜载带进行指定的处理的处理部；
缠绕经处理部处理的薄膜载带的缠绕盘；以及
配备驱动齿轮的传送驱动部，驱动齿轮具有通过与薄膜载带上形成的齿孔进行啮合来传送薄膜载带的多个齿轮凸起，
其中驱动齿轮具备驱动辊表面，和
传送驱动部配备压辊，其具有通过与驱动齿轮的驱动辊表面紧贴来支撑薄膜载带的压辊表面，
压辊设置为这样的状态，即压辊的轴沿传送方向相对于驱动齿轮的轴倾斜预定的角度，因此
在薄膜载带在一个表面上与驱动齿轮的驱动辊表面从驱动齿轮与压辊的接触点沿传送方向的上游侧相紧贴，以及
薄膜载带在一个表面上与压辊的表面从驱动齿轮与压辊的接触点沿传送方向的下游侧相紧贴的条件下传送薄膜载带。
5、安装电子元件薄膜载带的传送装置，该装置包括：
解绕安装电子元件薄膜载带的解绕盘；
对从解绕盘解绕下来的薄膜载带进行指定的处理的处理部；
缠绕经处理部处理的薄膜载带的缠绕盘；以及
具备驱动齿轮的传送驱动部，驱动齿轮具有多个通过与薄膜载带上形成的齿孔进行啮合来传送薄膜载带的齿轮凸起，并进一步包括
在解绕侧对薄膜载带施加张力的解绕侧张力施加装置，该装置设置在解绕盘和处理部之间，以及
在缠绕侧对薄膜载带施加张力的缠绕侧张力施加装置，该装置设置在缠绕盘和处理部之间，
其中缠绕侧张力施加装置施加的张力大于解绕侧张力施加装置施加的张力，并因此
在驱动齿轮的齿轮凸起不与薄膜载带齿孔中沿传送方向侧的边缘相紧贴的条件下传送薄膜载带，且进一步
驱动齿轮具备驱动辊表面，且
传送驱动部具备能够通过与驱动齿轮的驱动辊表面相紧贴来支撑薄膜载带的压辊表面的压辊，
压辊设置为这样的状态，即压辊的轴沿传送方向相对于驱动齿轮的轴倾斜预定的角度，而因此
在薄膜载带在一个表面与驱动齿轮的驱动辊表面从驱动齿轮与压辊的接触点沿传送方向的上游侧相紧贴，以及
薄膜载带在一个表面与压辊的压辊表面从驱动齿轮与压辊的接触点沿传送方向的下游侧相紧贴的条件下传送薄膜载带。
6、如权利要求5所述的安装电子元件薄膜载带的传送装置，其中形成解绕侧张力施加装置和缠绕侧张力施加装置使通过其自重在薄膜载带上施加张力，且缠绕侧张力施加装置的自重大于解绕侧张力施加装置的自重并因此能够在驱动齿轮的齿轮凸起不与薄膜载带齿孔中传送方向侧的边缘相紧贴的条件下传送薄膜载带。
7、如权利要求6所述的安装电子元件薄膜载带的传送装置，其中解绕侧张力施加装置和缠绕侧张力施加装置各是跳动辊。
8、利用安装电子元件薄膜载带的传送装置传送安装电子元件薄膜载带的方法，该装置包括：
解绕安装电子元件薄膜载带的解绕盘；
对从解绕盘解绕下来的薄膜载带进行指定的处理的处理部；
缠绕经处理部处理的薄膜载带的缠绕盘；以及
具备驱动齿轮的传送驱动部，驱动齿轮具有通过与薄膜载带上形成的齿孔进行啮合来传送薄膜载带的多个齿轮凸起，
该方法包括下列步骤：
通过设置在解绕盘和处理部之间的解绕侧张力施加装置在解绕侧对薄膜载带施加张力，
通过设置在缠绕盘和处理部之间的缠绕侧张力施加装置在缠绕侧对薄膜载带施加张力，
其中缠绕侧张力施加装置施加的张力大于解绕侧张力施加装置施加的张力，而因此
在驱动齿轮的齿轮凸起不与薄膜载带齿孔中沿传送方向侧的边缘相紧贴的条件下传送薄膜载带。
9、利用安装电子元件薄膜载带的传送装置传送安装电子元件薄膜载带的方法，该装置包括：
解绕安装电子元件薄膜载带的解绕盘；
对从解绕盘解绕下来的薄膜载带进行指定的处理的处理部；
缠绕经处理部处理的薄膜载带的缠绕盘；以及
具备驱动齿轮的传送驱动部，驱动齿轮具有通过与薄膜载带上形成的齿孔进行啮合来传送薄膜载带的多个齿轮凸起，
其中驱动齿轮具备驱动辊表面，和
传送驱动部配备压辊，其具有通过能够通过与驱动齿轮的驱动辊表面紧贴来支撑薄膜载带的压辊表面，
压辊设置为这样的状态，即压辊的轴沿传送方向相对于驱动齿轮的轴倾斜预定的角度，因此
在薄膜载带在一个表面上与驱动齿轮的驱动辊表面从驱动齿轮与压辊的接触点在沿传送方向的上游侧相紧贴，以及
薄膜载带在一个表面上与压辊的压辊表面从驱动齿轮与压辊的接触点沿传送方向的下游侧相紧贴的条件下传送薄膜载带。
10、利用安装电子元件薄膜载带的传送装置传送安装电子元件薄膜载带的方法，该装置包括：
解绕安装电子元件薄膜载带的解绕盘；
对从解绕盘解绕下来的薄膜载带进行指定的处理的处理部；
缠绕经处理部处理的薄膜载带的缠绕盘；以及
具备驱动齿轮的传送驱动部，驱动齿轮具有通过与薄膜载带上形成的齿孔进行啮合来传送薄膜载带的多个齿轮凸起，
该方法包括下列步骤：
通过设置在解绕盘和处理部之间的解绕侧张力施加装置在解绕侧对薄膜载带施加张力，
通过设置在缠绕盘和处理部之间的缠绕侧张力施加装置在缠绕侧对薄膜载带施加张力，
其中缠绕侧张力施加装置施加的张力大于解绕侧张力施加装置施加的张力，并因此
在驱动齿轮的齿轮凸起不与薄膜载带齿孔中沿传送方向侧的边缘相紧贴的条件下传送薄膜载带，且进一步
驱动齿轮具备驱动辊表面，且
传送驱动部具备能够通过与驱动齿轮的驱动辊表面相紧贴来支撑薄膜载带的压辊表面的压辊，
压辊设置为这样的状态，即压辊的轴沿传送方向相对于驱动齿轮的轴倾斜预定的角度，因此
在薄膜载带在一个表面上与驱动齿轮的驱动辊表面从驱动齿轮与压辊的接触点沿传送方向的上游侧相紧贴，以及
薄膜载带在一个表面上与压辊的压辊表面从驱动齿轮与压辊的接触点沿传送方向的下游侧相紧贴的条件下传送薄膜载带。
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