CN1721867B - 用于薄膜晶体管液晶显示器阵列测试的可配置式探测器 - Google Patents
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Abstract
提供用于电子装置测试系统的一改良式探测器。该探测器是″可配置式″的，其含意是适合不同装置配线布置(layout)及基板尺寸。该探测器通常包含：一框；至少一探测器棒，其具有第一末端和第二末端；一框连接机构，用以使该探测器棒能够沿着该框快速地重新配置至该框的选定点；以及沿着该探测器棒设置的数个电接触针，用以在进行测试时使选定电子装置电连接一系统控制器。在一具体例中，该探测器用以测试如在一大面积基板上的薄膜晶体管。通常，该大面积基板是长方形，且该框亦是长方形。该电针可以沿着该探测器棒的轴长度方向移动，且可以选择性地调整来接触该基板上的选定导电区。
Description
技术领域
一般而言，本发明有关用于基板上的电子装置的测试系统。更具体说，本发明是有关一种改良式装置用以在一大面积基板上测试电子装置。
背景技术
主动阵列液晶显示器(LCDs)通常是使用作为诸如电脑和电视显示器、移动电话显示器、个人数字助理(PDAs)、以及许多正成长中的装置。通常，一主动阵列LCD含有由玻璃、聚合物、或其他适合材料所制成的二平板，所述平板能够具有电子装置形成在其上面。所述平板其中之一通常含有一配置在其上面的导电薄膜。另外一平板通常含有连结一电源的一薄膜晶体管阵列(TFTs)。电源施加至各TFT在一TFT与该导电薄膜之间产生一电场。该电场改变该液晶材料的配向，而在该LCD上产生一图案。
为了对在一大面积基板上的薄膜晶体管提供品质管制，最好是进行一液晶显示器或像素(pixels)测试，可使一TFT LCD制造厂商在加工中进行监控及改正所述像素中的缺陷。已知一测试像素的方法为电子束测试，其中一大面积基板上的各像素电极是依顺序地放置在一电极束的下面。一这样的装置是一电子束阵列测试系统，可以购自AKT公司，该公司是Applied Materials公司(located in Santa Clara，California.)的一子公司。
为了进行LCD阵列测试，必须使用一探测器。一典型的探测器包含一框，用以放置具有一个平板显示器或具有多个显示器的大面积基板，电连接一电源来进行调查。在该基板上的该显示器(或多个显示器)的周围具有与个别TFT及对应像素电极电连接的数个导电区。该探测器在对应该基板的该导电区的位置具有数个探针。
在操作中，是在该探测器的该探针与该显示器的导电区之间进行接触。该导电区依次与一组预设定的薄膜晶体管或像素进行电连接。一电流通过所述针输送至导电区。该电流传送至并电激发所述对应的像素。一电子束朝向该像素而有数个二次电子从所述像素放出并被该探测器探出，来依次确认所述像素的可用性，电子束对所述个别像素的可用性通常是依照一简单的″通过″或″不通过″基准来实施，该显示器可能借助某种方法加以修复并可能因为有预设定数目或百分率的像素被判定为″不可用″或″不通过″而被废弃。
以往，各探测器被订制来使用于一特定显示器配线布置(layout)。这意味着各电子装置和基板的配线布置需要一具有相搭配架构的不同探射器来使用于该装置阵列。结果，半导体制造机械设备购买厂商必须亦购买一独特相容的探测器来测试所述所制造的像素。
为一新装置配线布置修改一个别探测器是昂贵的。因此，希望提供一可配置的探测器来搭配一不同基板尺寸以及不同配线布置。亦希望提供一探测器其能够机能性地调整以适合不同的显示器的配线布置或配置。
发明内容
一般而言，本发明是提供一种用于电子装置测试系统的改良式探测器。该探测器对电子装置(例如在基板上的像素)实施测试。该探测器是可配置的，其含意是其可以适合不同的配线布置、不同的显示器配置、以及不同的基板尺寸。在一具体例，该探测器含有一框。该框收容至少一可调整的探测器棒其具有一第一末端和一第二末端。一框连接机构用以将该探测器棒沿着该框的可选择点安装至该框。该探测器沿着该探测器棒亦含有数个探针。该探针接触在该基板上的选定导电区，用以在进行测试时使电子装置电连接系统控制器。
探针亦沿着该探测器棒配置。在一组态，所述探针与所述探测器棒是整体的，其含意是所述探针相对于该棒具有一固定轴位置，在另外一组态，所述探针是分离体并适合以可分离的方式沿着该探测器棒的轴长度安装。在另外一具体例，所述探针是本说明书称为探针头的分离体的一部分，其以可以移动的方式沿着所述棒的轴长度安装在对应的探测器棒上。以这样的方式，可以更调整该探测器棒内探针的位置，用以测试不同显示器尺寸和装置配线布置。在又另外一具体例，多探针是沿着该探测器的长度配置在固定探针头上。操作者可以依照一基板上的所述导电区的位置来选择启动那些探针。
该探测器可以用来测试在一具有多个显示器的大面积基板上的装置。最好是各电子装置是一薄膜晶体管。通常该大面积基板和该框的各个都是长方形。如此，该框界定所述X轴和Y轴。在一组态，该至少一探测器棒是沿着Y方向配置在框上，作为一Y探测器棒。
在一配置，所述探测器棒为Y探测器棒，而该可配置式探测器还包含至少一X探测器棒。该X探测器棒是以与该Y方向垂直的方式安装在沿着该框的该Y轴。该X探测器棒的第一末端是以可释放的方式连接该框，而该X探测器棒的一第二末端是以可释放的方式连接所述至少一Y探测器棒其中之一。如此配置，所述Y探测器棒的各个可以具有一棒连接机构，可以沿着该Y探测器棒快速地重新配置该至少一X探测器棒至该Y探测器棒的选定点。
在一配置，该框具有界定二相对侧边的四个侧边。而且，该框连接机构沿着该框的该四个侧边的一内表面可以界定数个孔，用以分别承接该探测器棒的该第一及第二末端。在一具体例，各探测器棒包含位于各第一和第二末端的一末端盖，各末端盖是设计来安装在该框连接机构的所述选定孔。
从以下对本发明更详细的叙述，上述的简单概述，并且参照具体实施例、在附图中的一些说明，可以更清楚明白上述所叙述的本发明的特征，应注意附图的说明仅是本发明的代表性具体实施例，因此本发明的范围并不限定此等，本发明的范围尚包括其他相等效果的具体实施例。
附图说明
图1是放置在一图示测试台上的一可配置式探测器的一具体实施例的立体图。
图2是一图示测式系统的部分剖面图。
图3是图2测试台的另一视图。
图4是一可配置式探测器的另一具体实施例的示意图。
图5是定位在沿着X方向的一探测器棒的一分解图，在该探测器棒的一末端具有一末端盖。
图6显示从一探测器棒分解开的一末端盖。
图7是图4的该探测器的部分分解图。
图8是在一探测器和该装置测试系统底座之间的该电连接的进一步放大分解图。
图9是一例示探测器棒的底视图。
图10是另一具体实施例的探测器的平面图。
图11是放置在供测试的一大面积基板上的图10的探测器棒的图示。
图12显示该探测器棒和探针头被重新配置来用于不同显示器配线布置。
图13是一探测器的另外一具体实施例的一平面图。
具体实施方式
一般而言，本发明提供用于电子装置测试系统的一改良式探测器。供本揭示的目的，用语″测试系统″是意味着可以使用测试在一基板上的电子装置的测试系统。如此一测试系统可以包含光电检查系统、电子束测试系统、用以检测色彩变化的系统、及其他。在此，该基板通常是长方形并由玻璃、聚合材料、或其他适合供电子装置形成在其上面的材料所制成。用于该电子装置测试系统的该探测器是″可配置式″是意味着其可以适合使用于不同装置配线布置及基材尺寸。
此处所叙述的各种组件能够独立地在水平及垂直平面移动。垂直是定义为与一水平面垂直的移动，而被称为Z方向。水平是定义为与一垂直面垂直的移动，而被称为X或Y方向。该X方向是与一该Y方向垂直的移动，而且，反之而然。在图示中，必要时该X、Y、和Z方向将进一步由图示中含有的方向插图来进行界定，来帮助审阅者了解。
图1是放置在一图示测试台110上的一探测器400的一具体实施例的立体图。该测试台110能够独立地在该X方向、该Y方向、以及该Z方向移动，并且通常被收容在一与周围环境隔离的测试室中。该测试台110的一上表面适合支撑一大面积基板150及该探测器400。在一测试序列中，该测试台110可以在X、Y、和Z方向移动该基板150及该探测器400。
该测试台110支撑互相堆叠的不同的板120、130、140。该第一板120支撑该第二板130和第三板140、以及该大面积基板150。借助Y负载表面122，该第一板120能够沿着一Y方向移动该被支撑的第二板130和第三板140。该第二板130支撑该第三板140，并在X方向移动该第三板140。X负载表面132用以移动该第二板130。该探测器400是由一连接至第二板130的架135所支撑。线性致动器(未图示)连结至该测试台110的某些位置，用以使不同板120、130、140各自沿着负载表面122、132移动。该第三板140支撑该基板150，并设置成可以借助数个Z致动器142在Z方向移动该基板150。在一具体实施例，该第三板140支撑并举起该基板150来与配置在该探测器400的一下表面上的探针接触。一例示性电子束测试系统，其具有在一测试室内的一测试台、和其他组件，详细内容揭示在美国专利第6,833,717号，案名″具有集成基板传送组件的电子束测试系统″2004年12月21日公告，在与本揭示一致的范围以引用的方式并入本文。
图2是具有图1的测试台110的一图示测试系统100的部分剖面图。该测试系统100含有一末端受动器170，适合暂时支撑并帮助该基板150的传送。在操作中，该末端受动器170可以从该测试室延伸进入一邻接室或如一负载室的一系统(未图示)来负载一基板。同样地，其上面负载有一基板的该末端受动器170，可以该测试室延伸进入该负载锁定室将该基板150传送至该负载锁定室。一移动装置，诸如线性致动器、一空气汽缸、一水力汽缸、一磁汽缸、或一步进机或伺服马达，可以连结该末端受动器170来帮助其进行传送。
在传送基板时该末端受动器170与该第三板140合作。在这一方面，该第三板含有连结至该第三板140的一个或多个Z致动器142。一风扇装置148配置在各Z致动器142的附近，用以减少该测试室壳体105内的粒子污染。该Z致动器142可以在Z方向上下移动，并可以借助空气或电子致动。如图2所示，该第三板140是在其下降位置其对应一基板传送位置。
该图示测试系统100亦显示有二个电子束柱200。虽然只显示有二个电子束柱200，但是本发明未限定于此数目。该电子束柱200配置于该测试室壳体105的上表面并且安装在壳体105，该壳体105具有无粒子环境用以测试且其内部装有该探测器400及测试台110。该测试室壳体105可以连结至一个或多个真空泵(未图示)，使该测试系统100内具有适合的压力。
图3是图2的本测试系统100一示意图，显示在一测试位置的该测试台110。该Z致动器142被致动来举起该测试台110而该基板150高于该末端受动器170。应可看出该基板150被举出至与该探测器400接触。更具体说，是在该基板150和位于该探测器400下表面的所述探针(未显示)之间进行接触。在另外测试系统，该探测器降低来接触该基板的底表面，或是该基板与该探测器可以同时移动来推动该探针与该基板的该导电区之间的接触。
图4是一可配置式探测器400的另外一具体实施例的示意图。该探测器400具有一四方形框410其界定X和Y方向。该探测器400亦含有一或多个探测器棒420。如图4所示，在该框410内显有三个分离的探测器棒420；然而可以采用其他数目的探测器棒420。所述探测器棒420的各个是位于沿着该X方向轴的希望坐标，并与该Y方向轴平行。在此方位，该探测器棒420为Y探测器棒。由所述探测器棒420之间所界定的该面积形成测试区域450。
该探测器棒420的位置可以沿着该框410的该X方向轴改变。在这方面，在各自该探测器棒与该框410之间的连接是可释放和可重新配置的。为了提供此特征，具有一框连接机构412用以快速重新配置至少一探测器棒420至该框410的沿着该框410的该X或Y方向轴的一选定座标。在一具体实施例，该框连接机构412是数个贯穿孔其配置于沿着或形成在该框410的内表面。
图5是一框连接机构412其定位在该框410的Y方向轴的一探测器棒上的一分解图。在此具体实施例的该探测器棒是一X探测器棒430，其与该框410的X方向轴平行。例示贯穿孔414收容配置在所述探测器棒420的相反末端的末端440而且其形成该框连接机构412的一部分。虽然图中显示贯穿孔414是位于该框410的Y方向轴，该框410亦可以具有位于该框410的X方向轴的贯穿孔414，用以承接所述探测器棒420。
图6是从一探测器棒分解开的一典型末端盖440的立体图。该末端盖440含有一个或更多个连接构件444，用以连接该框410的该框连接机构412。具有一对螺栓作为连接构件444。该末端盖440亦有一槽442，用以收容位于该探测器棒420的肩部431。或者在该末端盖440的该槽442内可以具有一螺栓446。该螺栓446是设置经由穿过一形成在该探测器棒420的下表面的一具有螺纹的孔(未图示)来连接至该探测器棒420。
为了沿着该框410重新配置一探测器棒420，将该螺栓446从该框410的所述孔414退出，随后推进沿着位于该框的不同的孔414中。借助此方法，可以调整所述沿着该框410的X方向轴的所述探测器棒420的位置。这可使该同一探测器400可以依次地使用于不同基板尺寸、以及在大面积基板上的不同装置架构。
或者，所述X探测器棒430可以配置在所述Y探测器棒420之间，反之亦然，或配置在一Y探测器棒420与该框410之间。如此的一配置，将采用一实质上较短的X探测器棒。或者，可以使该框连接机构412适合将一探测器棒420安置在贯穿孔414与该末端盖440之间，该末端盖440可以具有不同槽，用于横向递增地重新安置该棒420。该槽442可以大于该探测器棒的宽度，因此可以使该探测器棒宽松地安装在该槽中。可以使用一固定螺丝或其他固定件来横向地调整该探测器棒并将该探测器棒固定在希望的横向位置。这样可以在沿着该框410的各个的轴来微调该探测器棒420、430的该横向位置。亦可以修改该末端盖440来延伸该框410(具有用于一个或更多个探测器棒的数个槽)的X和Y方向轴的长度。
图7是图1的该探测器400的分解图，其是一测试系统的一部分。该探测器400具有数个电连接块472，是设置来可分离地安置该框410电连接该测试一系统100的一系统控制器(未图示)。所述电连接块472的各个具有数个电连接针其位于该电连接块472下表面。该电连接块472是对准架135上的配对连接终端128，该架135连接第二板130。使所述配对连接终端128吻合所述电连接块472的所述电连接针。所述电连接针是电连接所述探测针其位于该探测器棒420(两者皆未图示)的下表面。使所述配对连接终端128可以含有印刷电路板其连接用于该测试系统100的该系统控制器。该配对连接终端128收容来自该控制器的电信号，并将其等输送至该连接的探测器电连接块472。当该探测器400由该架135支撑而所述探针接触该位于该基板上的所述导电区时，一电信号可以被传送至该基板的所述导电区，来对连接至所述导电区的所述装置来进行充电。该可分离的电连接块472与配对连接终端128的界面，使该探测器400可以被从该测试系统100移开来用于其他操作。显示一电缆管道416连接该测试系统100，用以支撑连接该配对连接终端128的所述细电线或连接电缆。
图8是图7的测试系统100的进一步放大示意图。图中可以更清楚看到在该探器框410与该测试系统100之间的该电连接。可以看到对准该配对连接终端128的电连接块472。而且，可以看到一对准构件461位于该探测器框410的一个角落。对准构件461可以是锥形用以被引导进入配置在该架135内的一设置座位462。操作上，该架135支撑该探测器400而且数个电连接针470连接所述配对连接终端128。
图9是一X探测器棒430具体实施例的底视图。该探测器棒430具有数个探针480其连接至该探测器棒的一下表面。虽然显示所述探针480是沿着一X探测器棒430，但是应了解弹簧顶针(pogo pins)亦可以用于一Y探测器棒420。可使所述探针480适合接触位于该基板上的不同导电区，用以传送一电信号至位于该基板上的该电子装置。在初始探测器装配时可以选择性配置所述探针480。所述探针480可以沿着该探测器棒420被施压装入，或是所述探针480与探测器棒420可以是整体的。
所述探针480是借助所述电连接针470和所述配对连接终端128来电连接控制器。当该探测器400推动该基板150(如图3所示)，在该基板150上该探针480与该导电区(未显示)进行电接触。当该导电区连电接该基板150上的所述装置时，该探针480电连接该系统控制器。结果，该控制器可以对一选定像素或显示器的每一画像施加一电压，用以改变如电压等的属性。
在一测试序列，测试该基板150是依次序地使该基板150暴露在来自柱200所放射的至少一电子束。在测试该基板时该测试台110可以在至少一水平方向移动，并且在该测试序列的一部分，可以暂时停止任何移动。
图10是另外一具体实施例的探测器1000的平面图。该探测器1000包含一框410和以可以释放的方式设计安装在该探测器框410内的一或更多支探测器棒1020。该探测器框410界定X和Y方向轴而所述探测器棒1020被视为Y探测器棒1020，虽然可以使用X探测器棒、以及X和Y探测器棒的组合。图10显示一另外探测器的具体实施例，显示有不同的可移动探针头，包含L形探针头1022、T形探针头1024、以及+形探针头1026。该二支外侧探测器棒1020各具有一对L形探针头1022、以及一对T形探针头1024。同时，可以具有一或更多内测探测器棒1020，各内侧探针棒1020具有一对T形探针头1024、以及一对+形探针头1026。该+形探针头1026可以使用于大面积基板中心部位的形成在该基板上四个显示器之间的间隔内。该T形探针头1024可以使用于形成在该基板的该基板边缘的二个显示器之间。该L形探针头1022可以使用在大面积基板的角落。该探针头1022、1024、1026可以配置数个探针1080来搭配位于该基板上的该导电区的位置。所述探针头1022、1024、1026各自可以借助能够分离的方式从该探测器棒1020分离而放置在沿着该探测器棒1020的希望位置。
所述探针头1022、1024、1026各自包含一或更多探针1080其在测试序列中电连接该基板。更具体说，所述探针1080接触位于该大面积基板150的所述导电区152(参照图11)而能够电测试该基板上的所述装置。该探测器棒1020设置来使该不同所述探针头1022、1024、1026的位置可以沿着探测器棒1020的长度调整。其目的用以选择性和精确地将该探针108放置在对应的导电区152，如此可以电连通该探测器1000与该基板150之间。
所述探针头1022、1024、1026可以由铝、氧化铝、或其他非磁性材料而且能够对该探针1080电绝缘。所述探针头1022、1024、1026可以对所述探测器棒1020电绝缘。所述探针头1022、1024、1026可以进而对电子束具有电透明，用以在测试时防止一电荷传送至、或来自该探针头。
在一配置，所述探测器棒1020具有引导机能，使所述探针头1022、1024、1026可以轴向移动。该引导机构可以界定轨道或是一引导槽(如图5的槽432所示)，用以收容所述探针头1022、1024、1026。可以使用一固定机构沿着所述探测器棒1020以可以释放的方式夹住或固定该不同的探针头1022、1024、1026。因此，在预定位置该探针1080位于该导电区152上，所述探针头1022、1024、1026被锁定来固定所述的位置。
本发明未限定将所述探针头1022、1024、1026安装在所述探测器棒1020的方法。所述探针头1022、1024、1026亦可以安装成邻接、低于或是高于等探测器棒1020，而且只要是在试测时所述探针1080可以电接触该导电区152时，可以是任何架构。使用探针头1022、1024、1026，可以对基板以及不同尺寸的显示器区域进行有效率的测试。而且，使用所述外侧探测器棒1020，可以使该框410具选择性地不包含其自己的探针。所述探针头1022、1024、1026和探测器棒1020可以借助手动地或机械地进行调整。
图11是说明放置在一探测框410内的图10的探测器棒1020，而该探测框410是放置在供测试的一大面积基板上150上。显示在该框内有四支分离的探测器棒1020而该基板是被划分成9个平板显示器160其位于该大面积基板上。虽然在该大面积基板150上显示有9个显示器160，然而该基板可以具有任何数目和尺寸的显示器160。另外一大面积基板可以具有4个46时的显示器，而另外一片可以具有2个40时的显示器和6个17时的显示器。经测试和并从该大面积基板切割后，所述显示器可以使用于笔记型电脑萤幕、小或大型平面萤幕电视、移动电话显示器、或其他电子萤幕。测试时所述探针1080接触导电区其连接至该大面积基板150的各显示器160。
图12显示该探测器棒1020、所述探针头1022、1024、1026可以重新配置来用于不同基板尺寸。在此例中，只有探用三支探测器棒1020来用于测试显示器。而且沿着各棒1020只有安装三个探针头1022、1024、1026。该额外的探测器棒1020和探针头1022、1024、1026可以分别放置在区域1021和1023内的一旁，以供以后用来测试其他架构的显示器。
图13是另外一具体实施例的一探测器1300的一平面图。显示在一探测器框410内有四支探测器棒1020并且具有沿着所述探测器棒1020的线性探针头1028。必要所述线性探针头1028亦可以使用L形探针头1022、T形探针头1024、以及+形探针头1026，用以测试显示器。所述探针头1028的位置可以沿着所述棒1020的轴向长度进行调整，或是亦可以加以固定。为了容纳位于该大面积基板上的显示器，在不同轴方向位置具有导电区，可以沿着该探测框410的长度配置多探针1080，或轴向地沿着等棒1020的下表面配置。多探针1080亦可以配置在不同探针头1028上。任一配置，可以选择性地调整或收缩所述探针1080，如此在测试时只有位于所述导电区152上的所述针1080，可以接触该基板150。在此例中，所述探针1080可以手用往下推，或是在该测试室中配置一活塞(未图示)来往下推。
在此，提供本发明的各种具体实施例。例如一具有充分通用尺寸的探测器框410，用以适应任何尺寸的基板，如一剖面积大于1.5平方公尺的基板。当使用者遇到须要电子束测试一基板其具有不同尺寸、或不同配线布置装置、或具有不同显示器尺寸时，该使用者可以调整该探测器棒420、1020或430，而不必购买一全新的探测器。若须要额外的探测器棒时，可以只购买所述探测器棒，费用远低于购买一全新的探测器。或者，探测器棒可以具有可以移动探针头1022、1024、1026。或是，探测器棒1020可以具有一固定或可以移动的线性探针头1028其沿着该探针头长度1028的探针1028可以选择性地被启动，用以接触对应的导电区152。
而且，已叙述一电子装置测试系统100。该电子装置测试系统100是用以测试在一基板上的电子装置，如一大面积基板150。该测试系统100在其各种具体实施例中利用上述的一可配置探测器400。该测试系统100包含该探测器400和该测试台110的两者。在一态样中，该测试系统100更具有一或更多电子束柱而该测试台110是选择性地位于与周围环境隔离的处理室中，该处理室能够在其中维持一希望压力。
亦提供一种用以测试电子装置的方法，该方法包含在一测试系统100中提供一测试台的步骤；在该测试台110上放置一第一板120，该第一板120可以选择地沿着该测试台100的Y方向移动；在该第一板120上放置一第二板130，该第二板130可以选择地沿着该第一板120的X方向移动；放置一预定测试的基板150在该第二板130的上面；以及放置一可配置的探测器400在该基板150的上面，该基板具有导电区和与该导电区电连接的数个电子装置。
该探测器400具有一框410，至少一探测器棒420或430其具有：一第一末端和一第二末端；一框连接机构412，其可以迅速重新配置该至少一探测器棒420或430至该框410的沿着该框的一选定座标；以及沿着至少一探测器棒420或430的数个探针480，用以测试时使一选定电子装置电连接一系统控制器。在一态样中，该方法更含有使至少该数个探针480其中的一些，电连接该导电区的步骤。
该方法更含有放置一第三板140在该第二板130上的步骤。在此配置，该基板150是放置在该第三板140的上面。在一具体实施例，该方法更含有举起该第三板140，用以举起该基板150来使该探针480电连接该导电区的步骤。最好是该大面积基板150是平坦的，而各该电子装置是一薄膜晶体管。
该方法的另外一态样，可以沿着一或更多探测器棒1020配置可以轴方向调整的探针头。或者，可以具有探测器棒1020，其具有一固定线性探针头1028，沿着该固定线性探针头1028的探针可以选择性地被启动来接触对应的导电区152。
虽然上述叙述有关本发明的具体实施例，但是在不离开本发明的基本范围内，可以设计本发明的其他和进一步具体实施例。本发明的范围是由以下的本申请权利要求范围决定。
Claims (33)
1.一种用于电子装置的测试系统的可配置式探测器，包含：框；
至少一探测器棒，具有第一末端和第二末端；
框连接机构，用以使该至少一探测器棒能够沿着该框快速地重新配置至该框的选定座标；以及
数个探针，沿着该至少一探测器棒设置，用以在测试时，使大面积基板上的选定的电子装置电连接系统控制器，其中，所述基板包括导电区和数个与大面积基板上的导电区电连接的电子装置，所述探针被选择性地调整，使得在测试时只有位于该至少一探测器棒上的探针与所述基板上选定的导电区接触。
2.如权利要求1所述的可配置式探测器，其特征在于所述电子装置的各个是薄膜晶体管。
3.如权利要求1所述的可配置式探测器，其特征在于所述探针能沿着该至少一探测器棒的轴向长度移动。
4.如权利要求1所述的可配置式探测器，其特征在于所述探针是放置在探针头上，所述探针头是沿着所述至少一探测器棒的长度设置。
5.如权利要求1所述的可配置式探测器，其特征在于该框具有四个侧边，而且该框连接机构是沿着该框的该四个侧边的内表面的数个贯穿孔，用以分别承接该至少一探测器棒的该第一及第二末端。
6.如权利要求5所述的可配置式探测器，其特征在于末端盖在该至少一探测器棒的各第一和第二末端处耦接到所述贯穿孔。
7.如权利要求6所述的可配置式探测器，其特征在于每一个末端盖配置成连接至该探测器棒且具有不同的槽以横向递增地重新安置该探测器棒。
8.如权利要求1所述的可配置式探测器，其特征在于该框是四边形框，界定至少X和Y方向轴；以及
该至少一探测器棒能选择性地配置在平行Y方向轴的该框上，或配置在平行X方向轴的该框上。
9.如权利要求1所述的可配置式探测器，其特征在于该框是四边形框，界定至少X和Y方向轴；以及
该至少一探测器棒是以Y方向轴配置在该框上。
10.如权利要求9所述的可配置式探测器，其特征在于还包含：
定位于X方向轴的至少一探测器棒，该至少一探测器棒具有第一末端和第二末端，所述各定位于X方向轴的探测器棒的第一末端连接该框，而各定位于X方向轴的探测器棒的第二末端连接定位于Y方向轴的至少一探测器棒的其中之一；以及
其中定位在Y方向轴的所述探测器棒的各个还包含：
探测器棒连接机构，能沿着定位在Y方向轴的该探测器棒快速地重新配置定位在X方向轴的该至少一探测器棒至定位在Y方向轴的该探测器棒的选定点。
11.如权利要求1所述的可配置式探测器，其特征在于该至少一探测器棒还包含：
至少二直线形状探针头，沿着对应探测器棒的轴向长度进行调整。
12.一种用于电子装置的测试系统的可配置式探测器，包含：框；
至少一探测器棒，具有第一末端和第二末端；
数个探针，沿着该至少一探测器棒设置，用以在进行测试时使选定电子装置电连接系统控制器；以及
框连接机构，用以使该至少一探测器棒能够沿着该框快速地重新配置至该框的选定座标，其中所述电子装置是位于大面积基板上，该至少一探测器棒更包含：
至少二探针头，沿着对应探测器棒的轴向长度进行调整。
13.如权利要求12所述的可配置式探测器，其特征在于该至少二探针头中至少其中之一是十字形状。
14.如权利要求12所述的可配置式探测器，其特征在于该至少二探针头中至少其中之一是T形状。
15.如权利要求12所述的可配置式探测器，其特征在于该至少二探针头中至少其中之一是L形状。
16.如权利要求12所述的可配置式探测器，其特征在于该至少二探针头中至少其中之一是直线形状。
17.如权利要求12所述的可配置式探测器，其特征在于该框具有四个侧边，而且该框连接机构是沿着该框的该四个侧边的内表面的数个贯穿孔，用以分别承接该至少一探测器棒的该第一及第二末端。
18.如权利要求17所述的可配置式探测器，其特征在于末端盖在该至少一探测器棒的各第一和第二末端处耦接到所述贯穿孔。
19.如权利要求18所述的可配置式探测器，其特征在于每一个末端盖配置成连接至该探测器棒且具有不同的槽以横向递增地重新安置该探测器棒。
20.一种用于测试位于大面积基板上的薄膜晶体管的电子装置的测试系统的可配置式探测器，该可配置式探测器包含：
具有四边的框，界定X轴和Y轴；
至少二探测器棒，各具有第一末端和第二末端，并使各自的尺寸能够搭配该X或Y轴的长度；
框连接机构，允许沿着该框的X或Y轴快速地重新配置所述探测器棒的各个至该框的选定点以界定形成在探测器棒之间的测试区域；以及
数个探针，沿着该至少二探测器棒的各个配置，用以在测试时使选定的薄膜晶体管电连接系统控制器。
21.如权利要求20所述的可配置式探测器，其特征在于该至少二探测器棒的各个，还包含：
至少二探针头，该至少二探针头沿着对应探测器棒的轴向长度调整，其中在该至少二探针头的每一个上配置所述数个探针，其中该至少二探针头的至少其中之一是十字形状。
22.如权利要求21所述的可配置式探测器，其特征在于该至少二探针头中至少其中之一是T形状。
23.如权利要求21所述的可配置式探测器，其特征在于该至少二探针头中至少其中之一是L形状。
24.如权利要求21所述的可配置式探测器，其特征在于该至少二探针头中至少其中之一是直线形状。
25.一种测试位于大面积基板上的电子装置的电子装置的测试系统，包含：
测试台；以及
可配置式探测器，该探测器包含：
能相对于该测试台移动的框；
至少一探测器棒，具有第一末端和第二末端；
框连接机构，用以使该至少一探测器棒能够沿着该框快速地重新配置至该框的选定座标；以及
数个探针，沿着该至少一探测器棒设置，用以在进行测试时使选定电子装置电连接系统控制器。
26.如权利要求25所述的电子装置的测试系统，其特征在于所述电子装置的各个是薄膜晶体管。
27.如权利要求25所述的电子装置的测试系统，其特征在于还包含：
一个或更多个电子束柱。
28.一种用于具有系统控制器的电子装置的测试系统的探测器棒，用于测试位于大面积基板上的数个电子装置，该探测器棒包含：
第一末端和第二末端：以及
数个探针，用以在测试时使在大面积基板上的数个电子装置中选定的电子装置电连接该系统控制器，其中该探测器棒是借助框连接机构可移动地安装在四边形框的选定座标上。
29.如权利要求28所述的探测器棒，其特征在于该电子装置是位于大面积基板上的薄膜晶体管。
30.如权利要求29所述的探测器棒，其特征在于该大面积基板还包含：
电连接所述数个电子装置中选定的电子装置的数个导电区。
31.如权利要求30所述的探测器棒，其特征在于所述探针能沿着探测器棒的轴向长度移动。
32.如权利要求30所述的探测器棒，其特征在于所述探针能选择性地调整来接触在该基板上的选定导电区。
33.如权利要求32所述的探测器棒，其特征在于所述探针是放置在探针头上，所述探针头是沿着该探测器棒的长度设置。
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