CN1703596A - 流体控制装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种管路间连接机构(50)，由下侧通路块(51)与多个上侧通路块(57)构成，所述下侧通路块(51)分别配置于被连接的各管路(B1、B2、B3)的上层的管路方向相同位置，且形成有管路间连接用通路54；所述上侧通路块(57)具有横向通路(58a)与向下通路(58b)，所述横向通路(58a)跨越被连接的各管路配置于下侧通路块(51)的上侧并在管路正交方向延伸，所述向下通路(58b)从横向通路延伸并连通到下侧通路块(51)的管路间连接用通路(54)。下侧通路块(51)由从上方伸下的螺栓可装拆地结合于下层连接构件，上侧通路块(57)由从上方伸下的螺栓可装拆地结合于下侧通路块(51)。

Description

流体控制装置
技术领域
本发明涉及半导体制造装置中使用的流体控制装置，更详细一点说，是关于在维护检修时可以采取单独从上方取出流体控制装置的方式组装起来的集成化流体控制装置。
在本说明书中，所谓前后、上下，是以图1的右方为前、以图1左方为后，并以该图1(a)的上下为上下，左右则是朝向前方时的左右。该前后、上下仅是权宜之计，如将前后倒过来、或上下变左右等使用也可以。
背景技术
在半导体制造装置中使用的流体控制装置是通过将各种流体控制器配置成多列的同时、使相邻列的流体控制器的流路相互之间在规定位置用流体控制器连接机构连接起来而成的，近年来，在这种流体控制装置中，正在推进不使用管路而将质量流量控制器与开闭阀等连接起来的集成化。例如在日本专利公报特开2002-89798号中公开了这样的流体控制装置：一个管路由配置于上层的多个流体控制器、配置于下层的多个连接构件形成，多条管路并列状配置于基板上，其入口与出口向着同一方向规定的管路流路相互之间以管路间连接机构连接起来。
图13是表示上述特开2002-89798号公报所述的流体控制装置之一例的立体图，该流体控制装置形成为，三个无旁通通路的管路A1、A2、A3和三个有旁通通路的管路B1、B2、B3并列配置于基板1上。各无旁通通路管路A1、A2、A3与各有旁通通路管路B1、B2、B3由多个流体控制器2、3、4、5、6、7和多个连接构件11、12、13、14、15、16、17、40形成，其中，流体控制器包括配于上层的质量流量控制器、开闭阀、通断器等，上述连接构件配于下层并连通流体控制器2、3、4、5、6、7、41。
各无旁通通路管路A1、A2、A3的流体控制器是质量流量控制器2、通过过滤器4设置于质量流量控制器2的入口侧的入口侧开闭阀3、设置于质量流量控制器2的出口侧的出口侧开闭阀5；各有旁通通路管路B1、B2、B3的流量控制器是质量流量控制器2、通过过滤器4设置于质量流量控制器2的入口侧的入口侧通断器6、设置于质量流量控制器2的出口侧的出口侧通断器7。
入口侧通断器6由以下构件形成，构件包括块状本体21、安装于该块状本体21上的两个开闭阀促动器22、23、安装于该本体21上表面上的带有管状连接部的块状连接件24、安装于同一侧面的通路块25。出口侧通断器7由以下构件形成，这些构件包括配置于接近质量流量控制器2一侧的第一块状本体(图示略)、安装于该块状本体上的第一开闭阀促动器27、邻接于第一块状本体26的后侧配置的第二块状本体28、安装于该块状本体28上的2个开闭阀促动器29、30、安装于第一本体26上表面上的带有管状连接部的块状连接件31、安装于第一本体26前表面上的通路块32、安装于第二本体28的上表面上的带有管状连接部的块状连接件33。
在过滤器4下方的块状连接件14与质量流量控制器2连接用管状连接件15之间，配置着使旁通通路分支的管状T型连接件(图示省略)，通过质量流量控制器2的上方的倒U字形的旁通管路35的一端连接于该T形连接件34，其另一端连接于出口侧通断器7的带有管状连接部的块状连接件(图示省略)上。在旁通管路35的中途，设置可将其分割为倒L字部分与I字部分的管状连接件36。
质量流量控制器2与连接件11、12、14，通过倒U字形的托架8、9、19安装于基板1。通过取去其两侧的连接件15、17而可从上方取出质量流量控制器2，同时通过取下从上方拧入的螺栓37而可将过滤器4与各开闭阀3、5从上方取出。
符号40是表示以一个连接件将三个无旁通通路的管路A1、A2、A3相互连接起来的集成块连接器，符号43是表示将三个有旁通通路的管路B1、B2、B3相互间以一个连接件连接起来的集成块连接器，符号41是表示以螺栓37安装于集成块连接器40上的通路封闭块，符号42是表示用于将集成块连接器40、43安装于基板1上的倒U字形托架。无旁通通路管路用集成块连接器40与有旁通通路管路用集成块连接器43由连通管44连接起来，他们共同的出口设在有旁通通路管路集成块连接器43的终端部，在这里设置带有管状连接件46的开闭阀45。
有旁通通路管路B1、B2、B3相互间，其入口侧的通断器6的带有管状连接部的块状连接件24相互间和出口侧通断器7的带有第二管路连接部的块状连接件33相互间分别由作为管路间连接机构的倒U字形连通管47、48连接起来。这些管路间连接机构47、48，使用L形连接件L与T形连接件T，这些连接件L、T与管子P以焊接方式(图中以W表示)连接起来。
如采用上述现有的流体控制装置，对一个管路来说，下层的块状连接件可装拆地安装于基板上，上层的流体控制机器可以跨越下层的块状连接件间可装拆地进行安装，各管路的每个流体控制机器装卸都变得非常容易。但是，由于管路间连接机构是以用管子将连接件间连接并焊接而构成的，因此有着在管路的增设和变更时管路间的分解和安装都非常费事的问题。
本发明的目的就在于，可以从连接管路的流路相互之间的管路间连接机构去除焊接处，由此提供更加容易进行管路的增设、变更的集成化流体控制装置。
发明内容
本发明的流体控制装置，其一个管路由配置于上层的多个流体控制机器和配置下层的多个连接构件形成，其多个管路以使其入口与出口向着相同方向呈并列状配置，规定的管路流路相互之间由管路间连接机构连接起来，其特征在于，管路间连接机构由下侧通路块与上侧通路块构成，所述下侧通路块分别配置于被连接的各管路的上层的管路方向相同位置且形成有具有至少一个向上的开口的管路间连接用通路；所述上侧通路块为一个或多个，其跨过被连接的各管路并配置于下侧通路块的上侧，该上侧通路块具有横向通路与向下通路，所述横向通路在与管路正交的方向上延伸，而向下通路是从横向通路延伸且连通到下侧通路块的管路间连接用通路的向上开口，另外，下侧通路块由从上方伸下的螺栓可装拆地结合于下层连接构件上，上侧通路块由从上方伸下的螺栓可装拆地结合于下侧通路块上。
搭载流体控制器的连接构件做成长方体块状，流体控制器的下部(搭载于连接构件部分)也做成长方体块状。下侧通路块与上侧通路块也都作成为长方体状。下侧通路块其管路方面的宽度做成与构成管路的流体控制器和连接构件的宽度相同，并配置于和流体控制器相同高度的上层。上侧通路块的与其管路正交的方向的长度做成和管路的宽度大致相同，该上侧通路块跨越2个管路以比被连接管路的数量少1个的数量进行安装，另外，该上侧通路块也可以为，与管路正交的方向的长度以可跨过全部多个管路的方式形成，以1个上侧通路块跨越全部管路进行安装。在下侧通路块与上侧通路块之间，也可以夹装用于调整上侧通路块高度的中间块，另外，在邻接下侧通路块的管路方向的位置，也可以配置用于调整上侧通路块的管路方向的位置的中间块。后一种中间块可置换成单向阀。
根据本发明的流体控制装置，由于管路间连接机构由下侧与上侧通路块构成，而且下侧通路块与上侧通路块可以进行装拆，因此，可不用焊接就可构成管路间的连接机构。在增设管路时，可以根据需要从上方取下构成管路连接机构的通路块中需要取下的构件之后，将要增设的管路安装于基板上，在由增设改变了管路连接机构的形式的情况下，使形式改变后的管路间连接机构由增设前使用的通路块和新准备的通路块构成，安装该管路间连接机构即可。在进行管路的变更时也一样，这样，管路的增设与变更可以很容易地进行。
附图说明
图1是表示以本发明的流体控制装置的第一实施例中使用的管路间连接机构的一部分的纵剖视图。
图2是图1的沿II-II线的剖视图。
图3是表示本发明的流体控制装置的第一实施例的要部的俯视图。
图4是图3的沿III-III线的剖视图。
图5是图3的沿V-V线的剖视图。
图6是表示本发明的流体控制装置的第二实施例的要部的俯视图。
图7是图6的沿VII-VII线的剖视图。
图8是图6的沿VIII-VIII线的剖视图。
图9是表示本发明的流体控制装置的第三实施例的要部的俯视图。
图10是图9的沿X-X线的剖视图。
图11是图9的沿XI-XI线的剖视图。
图12是表示本发明的流体控制装置的第四实施例的要部的纵剖视图。
图13是表示现有流体控制装置的立体图。
具体实施方式
下边参照附图说明本发明的实施例。在以下的说明中，除去管路间连接机构之外的流体控制装置的构成，与图13所表示的构成基本相同，对于和图13所示构件具有基本相同作用的构件标注相同的附图标记。
图1-图5表示了本发明的流体控制装置的第一实施例的要部。
图1表示了由块状本体21与安装于该块状本体21上的两个开闭阀促动器22、23构成的入口侧通断器6，在通断器6的本体21的后侧配置了用于管路间连接的下侧通路块51。如图3、图4所示，在通断器6的本体21与下侧通路块51之间，可装拆地安装着例如作为单向阀(详细构成图省略)使用的中间块56。
通断器6的前侧开闭阀促动器23做成三通阀，而后侧的开闭阀促动器22做成二通阀。通断器6的本体21由二通阀用与三通阀用的2个块52、53构成。在三通阀用块53上，形成了从前侧孔起向下延伸并向下开口的一根入口通路53a、从后侧孔延伸向左侧开口的第一出口通路53b与从中央孔延伸出并向左开口的第二出口通路53c。在二通阀用块52上形成了连通三通阀用块53的第一出口通路53b与二通阀的前侧孔的入口通路52a、通到三通阀用块53的第二出口通路53c并成向前后贯穿状延伸的旁通通路52b和从二通阀用块53的后侧孔延伸出并向后开口的出口通路52c。
在用于管路间连接的下侧通路块51上，形成了管路间连接用通路54与管路内连接用通路55其中，管路间连接用通路54通到通断器6的二通阀用块52的出口通路52c并向上开口管路内连接用通路55通到入口侧通断器6的二通阀用块52的旁通通路52b并向下开口。管路间连接用通路54，由从通断器6的出口通路52c开口向后延伸的管路方向通路54a与从管路方向通路54a的后端向上方延伸并向上开口的向上通路54b构成。如图2所示，向上通路54b，从后方看为由向左右斜上方分别延伸的2个分支通路形成V字形，具有在与管路正交的方向有着规定间隔的右侧与左侧的向上开口54c、54d。
代替图13的管路间连接机构47、48使用的管路间连接机构50的最佳实施例，如图3-图5所示，由多个(图示为3个)上述下侧通路块51与配置于下侧通路块51的上侧的多个(图示为2个)上侧通路块57构成。下侧通路块51，在被连接的各管路B1、B2、B3上、分别配置于管路方向(前后方向)的相同位置。上侧通路块57由两个块57a、57b结合形成，在其内部形成向下开口的倒U字形的通路58。倒U字形的通路58由在与管路正交的方向上延伸的横向通路58a和从横向通路58a的左右端向下延伸的两个平行状向下通路58b构成。如图5所示，上侧通路块57，横跨两个下侧通路块51配置，其倒U字形通路58连通了右侧的管路B1、B2的下侧通路块51的左侧的向上开口54d和左侧的管路下侧通路块51的右侧向上开口54c。
如图3所示，下侧通路块51由从上方伸下的螺栓37可装拆地结合于连接构件(在图13中以符号11、12等所表示的块状连接件)上，上侧通路块57由从上方伸下的螺栓59可装拆地安装于下侧通路块51上。
图6-图8表示了本发明的流体控制装置第二实施例的要部。在第二实施例中，管路间连接机构60的上侧通路块61与下侧通路块62的构成与第一实施例不同。在以下说明中，对与第一实施例相同构成部分标注相同附图标记，省略其说明。
在该实施例中，连接规定的管路B1、B2、B3的流路之间的管路间连接机构60，由多个(图中为三个)下侧通路块61与配置于该下侧通路块61上侧的1个上侧通路块62构成。
在下侧通路块61的内部，形成了管路间连接通路64和管路内连接用通路65，其中，管路间连接通路64通到通断器6的二通阀用块52的出口通路52c并向上开口，管路内连接用通路65通到入口侧通断器6的二通阀用块52的旁通通路52b并向下开口。管路间连接用通路64由管路方向通路64a和向上通路64b构成，其中，管路方向通路64a从通断器6的出口通路52c开口向后方延伸，向上通路64b从该管路方向通路64a的后端向上延伸并具有向上开口64c。如图7与图8所示，向上通路64b形成为上下方向延伸的I字形。
上侧通路块62仅由1个块形成，在其内部形成向左右方向延伸的横向通路66和向下通路67，该向下通路67从该横向通路66向下方延伸并通到下侧通路块61的管路间连接用通路64的向上通路64b的开口。如图6与图8所示，上侧通路块62跨越全部三个管路B1、B2、B3的下侧通路块61配置，其向下通路67位于各下侧通路块61的向上通路64b的延长线上。横向通路66的左右端在加工通路时开孔加工出的左端开口由封闭构件68所封闭，因而两端都被封闭。
下侧通路块61由从上方伸下的螺栓37可装拆地结合于连接构件(图13中以符号11、12等所表示的块状连接件)，上侧通路块62由从上方伸下的螺栓59可装拆地安装于下侧通路块61上。
图9～图11表示了本发明的流体控制装置的第三实施例的要部。该第三实施例，在管路间连接机构的下侧通路块61与上侧通路块62之间再夹装上另外的块71，这一点是与第二实施例不同的地方。在以下说明中，对与第二实施例相同的构成，给予相同符号、省略其说明。
在该实施例中，连接规定管路B1、B2、B3的流路之间的管路间连接机构70的构成包括：多个下侧通路块61，配置于下侧通路块61的上侧的一个上侧通路块62，夹装于两通路块61、62间的多个(与下侧通路块61相同数量)中间通路块71。
中间通路块71具有I字形通路72，该I字形通路72向上开口及向下开口，连通下侧通路块61的向上通路64b和上侧通路块62的向下通路67。这些向上通路64b、I字形通路72与向下通路67，为了减小流路阻力，在上下方向呈直线状排列，由此，下侧通路块61与上侧通路块62的连通部分的通路方向与第二实施例相同，上侧通路块62的位置位于中间通路块71的上方。这样，可使上侧通路块62与开闭阀作动器22、23的高度成同样的高度，这样可以使得上侧通路块62从下侧通路块61的装拆变得更容易。
图12是表示本发明的流体控制装置的第四实施例的要部的图。在第四实施例中，管路间连接机构80与下侧通路块61邻接并具有另外的块81，这一点与第二实施例不同。在以下的说明中，对于与第二实施例相同的构成，给予相同符号，省略其说明。
在该实施例中，连接规定的管路B1、B2、B3的流路之间的管路间连接机构80的构成包括：多个下侧通路块61，配置于该下侧通路块61的上侧的一个上侧通路块62，夹装于下侧通路块61与通断器6之间的多个(与下侧通路块61的数量相同)中间通路块81。
中间通路块81具有向前、向后开口的平行状的上侧与下侧的直线通路82、83。上侧直线通路82直线状连通通断器6的出口通路52c与下侧通路块61的管路方向通路64a，下侧直线通路83连通通断器6的旁通通路52b与下侧通路块61的管路内连接通路65。由此，下侧通路块61与通断器6的连通部分的通路方向与第二实施例相同，上侧通路块62与通断器6的距离加大。这样，可使上侧通路块的配置位置在前后方向任意错动，而且、上侧通路块62可以更容易地相对下侧通路块61进行装拆。
在这种维护检修时可以单独从上方取下流体控制机器地组装起来的集成化流体控制装置中，由连接管路的流路之间的管路间连接机构去除焊接处，由此，可以提供更加容易地进行管路增设、变更的流体控制装置。

Claims (1)

1.一种流体控制装置，其1个管路由配置于上层的多个流体控制器和配置下层的多个连接构件形成，多个管路配置成其入口与出口向着相同方向的并列状，规定的管路流路相互之间由管路间连接机构连接起来，其特征在于，管路间连接机构由下侧通路块与上侧通路块构成，所述下侧通路块分别配置于被连接的各管路的上层的管路方向相同位置且形成有具有至少一个向上开口的管路间连接用通路；所述上侧通路块为一个或多个，跨越被连接的各管路并配置于下侧通路块的上侧，该上侧通路块还有横向通路与向下通路，所述横向通路在与管路正交的方向延伸，而向下通路是从横向通路延伸且连通到下侧通路块的管路间连接用通路的向上开口，另外，下侧通路块由从上边伸下的螺栓可装拆地结合于下层连接构件上，上侧通路块由从上方伸下的螺栓可装拆地结合于下侧通路块上。
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103732972A (zh) * 2012-02-29 2014-04-16 株式会社富士金 清洗管线变更用通路块接头以及流体控制装置
CN106662524A (zh) * 2014-07-29 2017-05-10 国立大学法人德岛大学 在线型浓度计量装置
CN107208821A (zh) * 2015-01-16 2017-09-26 株式会社开滋Sct 阻断阀和原料容器用阻断阀
TWI656292B (zh) * 2016-06-21 2019-04-11 日商富士金股份有限公司 Fluid control device
CN110494686A (zh) * 2017-03-28 2019-11-22 株式会社富士金 接头块和使用该接头块的流体控制装置
CN111065852A (zh) * 2017-08-31 2020-04-24 株式会社富士金 接头块和其制造方法

Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101198815B (zh) * 2005-08-10 2010-05-12 株式会社富士金 流体控制装置
US7575616B2 (en) * 2006-02-10 2009-08-18 Entegris, Inc. Low-profile surface mount filter
JP5096696B2 (ja) * 2006-03-02 2012-12-12 サーパス工業株式会社 流体機器ユニット構造
US8196480B1 (en) * 2006-04-03 2012-06-12 A+ Manufacturing, Llc Modular sample conditioning system
US8104516B2 (en) * 2006-06-02 2012-01-31 Ckd Corporation Gas supply unit and gas supply system
JP2007327542A (ja) * 2006-06-07 2007-12-20 Surpass Kogyo Kk 流体機器ユニット構造
US20110041470A1 (en) * 2006-08-25 2011-02-24 Pall Corporation Fluid assemblies comprising a purification element
US7806143B2 (en) * 2007-06-11 2010-10-05 Lam Research Corporation Flexible manifold for integrated gas system gas panels
US20090114295A1 (en) * 2007-11-06 2009-05-07 Ultra Clean Holdings, Inc. Gas-panel assembly
JP4944049B2 (ja) * 2008-01-31 2012-05-30 シーケーディ株式会社 薬液供給装置
US20100282993A1 (en) * 2009-05-11 2010-11-11 Timothy Robert Kerrigan Continuous Flow Bypass Manifold
WO2011101934A1 (ja) * 2010-02-22 2011-08-25 株式会社フジキン 混合ガス供給装置
US10107407B2 (en) * 2010-09-28 2018-10-23 Parker-Hannifin Corporation Modular valve manifold system
JP5785813B2 (ja) * 2011-08-10 2015-09-30 株式会社フジキン 流体制御装置
KR101940325B1 (ko) 2011-10-05 2019-01-18 가부시키가이샤 호리바 에스텍 유체 기구 및 상기 유체 기구를 구성하는 지지 부재 및 유체 제어 시스템
JP6012247B2 (ja) * 2012-04-27 2016-10-25 株式会社フジキン 流体制御装置
JP6147113B2 (ja) * 2013-06-27 2017-06-14 株式会社フジキン 流体制御装置用継手および流体制御装置
JP6175300B2 (ja) * 2013-07-17 2017-08-02 株式会社フジキン 流体制御装置用継手部材および流体制御装置
WO2015064035A1 (ja) * 2013-10-31 2015-05-07 株式会社フジキン 圧力式流量制御装置
JP6186275B2 (ja) * 2013-12-27 2017-08-23 株式会社フジキン 流体制御装置
JP1528532S (zh) * 2014-09-30 2015-07-13
US9639094B2 (en) * 2014-11-12 2017-05-02 Michael D. Palmer Electronic pneumatic pressure controller
JP1539278S (zh) * 2015-03-31 2015-11-30
US11357966B2 (en) 2015-04-23 2022-06-14 B. Braun Medical Inc. Compounding device, system, kit, software, and method
JP2018084255A (ja) * 2016-11-21 2018-05-31 東京エレクトロン株式会社 流体制御装置
KR102295310B1 (ko) * 2017-10-31 2021-08-30 가부시키가이샤 후지킨 밸브장치
JP7372664B2 (ja) 2019-09-30 2023-11-01 株式会社フジキン 継手ブロックアセンブリおよび流体制御装置

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100232112B1 (ko) * 1996-01-05 1999-12-01 아마노 시게루 가스공급유닛
JP3997337B2 (ja) * 1996-11-20 2007-10-24 忠弘 大見 流体制御装置
JP3997338B2 (ja) * 1997-02-14 2007-10-24 忠弘 大見 流体制御装置
US6152175A (en) * 1997-06-06 2000-11-28 Ckd Corporation Process gas supply unit
US6068016A (en) * 1997-09-25 2000-05-30 Applied Materials, Inc Modular fluid flow system with integrated pump-purge
JP4378553B2 (ja) * 1997-10-13 2009-12-09 忠弘 大見 流体制御装置
JP4110304B2 (ja) * 1998-06-30 2008-07-02 株式会社フジキン 流体制御装置および流体制御装置組立て方法
JP3921565B2 (ja) * 1998-07-10 2007-05-30 株式会社フジキン 流体制御装置
JP2000145979A (ja) * 1998-11-16 2000-05-26 Fujikin Inc 下段部材の固定装置およびこれを備えた流体制御装置
US6298881B1 (en) 1999-03-16 2001-10-09 Shigemoto & Annett Ii, Inc. Modular fluid handling assembly and modular fluid handling units with double containment
WO2001016512A1 (en) * 1999-09-01 2001-03-08 Silicon Valley Group, Inc. Layered block fluid delivery system
KR100714755B1 (ko) * 2000-03-10 2007-05-07 동경 엘렉트론 주식회사 유체 제어장치
JP4238453B2 (ja) * 2000-03-10 2009-03-18 株式会社東芝 流体制御装置
JP3482601B2 (ja) * 2000-06-30 2003-12-22 東京エレクトロン株式会社 流体制御装置
JP2002089798A (ja) * 2000-09-11 2002-03-27 Ulvac Japan Ltd 流体制御装置およびこれを用いたガス処理装置
JP2002349797A (ja) * 2001-05-23 2002-12-04 Fujikin Inc 流体制御装置
US6953048B2 (en) * 2001-09-07 2005-10-11 Circle Seal Controls, Inc. Modular surface-mount fluid-flow system
US6874538B2 (en) * 2003-03-26 2005-04-05 Kevin S. Bennett Fluid delivery system
US7004199B1 (en) * 2004-08-04 2006-02-28 Fujikin Incorporated Fluid control apparatus

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103732972A (zh) * 2012-02-29 2014-04-16 株式会社富士金 清洗管线变更用通路块接头以及流体控制装置
CN103732972B (zh) * 2012-02-29 2015-12-30 株式会社富士金 清洗管线变更用通路块接头以及流体控制装置
CN106662524A (zh) * 2014-07-29 2017-05-10 国立大学法人德岛大学 在线型浓度计量装置
CN107208821A (zh) * 2015-01-16 2017-09-26 株式会社开滋Sct 阻断阀和原料容器用阻断阀
CN107208821B (zh) * 2015-01-16 2019-07-02 株式会社开滋Sct 阻断阀和原料容器用阻断阀
TWI656292B (zh) * 2016-06-21 2019-04-11 日商富士金股份有限公司 Fluid control device
CN110494686A (zh) * 2017-03-28 2019-11-22 株式会社富士金 接头块和使用该接头块的流体控制装置
CN111065852A (zh) * 2017-08-31 2020-04-24 株式会社富士金 接头块和其制造方法

Also Published As

Publication number Publication date
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