CN101198815B - 流体控制装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种集成化流体控制装置，其能够从对管线的通路进行连接的管线间连接机构中消除焊接部位，并能够抑制零件数的增加，从而能够更容易地应对管线的增设和改变。对横向相邻的管线进行连接的管线连接机构(50)包括：形成于第一管线的双向连接块状接头(64)上的横向突出部(64b)；形成于第二管线的双向连接块状接头(64)上并能够供横向突出部(64b)嵌入的凹部(64c)；形成于双向块状接头(64)的接头内分支通路(82)；设于第一管线的开关阀(54)的主体(54a)上，且将阀主体内主通路(89)与接头内分支通路(82)的接头主体上表面开口(82a)始终连通的第一阀主体内分支通路(90A)；设于第二管线的开关阀(54)的主体(54a)上，且将阀主体内主通路(89)与接头内分支通路(82)的横向突出部(64b)上表面开口始终连通的第二阀主体内分支通路(90B)。

Description

流体控制装置

技术领域

本发明涉及半导体制造装置中所使用的流体控制装置，更详细地说，涉及组装成在保养检修时能够将流体控制仪器单独取出至上方的集成化流体控制装置。

在本说明书中，关于“前后”、“上下”，以图1至图3的右为“前”、左为“后”，以图3的上下为“上下”，而“左右”是朝向前方而定义的。该“前后”、“上下”是为了方便而采用的说法，有时也会将前后反过来，或将上下当作左右来使用。

背景技术

半导体制造装置中所使用的流体控制装置通过以下方式构成：多列地配置有各种流体控制仪器，并且相邻列的流体控制仪器的通路之间在规定部位通过仪器连接机构连接，但近年来，这种流体控制装置中，不经由管路而进行质量流量控制器及开关阀等的连接的集成化得到了发展。例如，专利文献1中公开了下述流体控制装置：一条管线由配置在上层的多个流体控制仪器和配置在下层的多个接头部件形成，多条管线以入口朝后、出口朝前的方式并列地配置在基板上，规定的管线的通路之间通过管线间连接机构连接。

图10是表示专利文献1中记载的流体控制装置的一个例子的立体图，该流体控制装置是通过并列地配置3个无旁路通路管线A1、A2、A3和3个有旁路通路管线B1、B2、B3而形成的。各无旁路通路管线A1、A2、A3和各有旁路通路管线B1、B2、B3由配置在上层的质量流量控制器、开关阀、阻断开放器等多个流体控制仪器2、3、4、5、6、7、和配置在下层将流体控制仪器2、3、4、5、6、7、41之间连通的多个接头部件11、12、13、14、15、16、17、40形成。

各无旁路通路管线A1、A2、A3的流体控制仪器是质量流量控制器2、隔着过滤器4设于质量流量控制器2的入口侧的入口侧开关阀3、以及设于质量流量控制器2的出口侧的出口侧开关阀5；各有旁路通路管线B1、B2、B3的流体控制仪器是质量流量控制器2、隔着过滤器4设于质量流量控制器2的入口侧的入口侧阻断开放器6、以及设于质量流量控制器2的出口侧的出口侧阻断开放器7。

入口侧阻断开放器6由块状主体21、安装于块状主体21上的两个开关阀促动器22、23、安装于主体21上表面的带管状连接部的块状接头24、以及安装于主体21侧面的通路块25形成。出口侧阻断开放器7由靠近质量流量控制器2侧配置的第一块状主体(未图示)、安装于第一块状主体上的第一开关阀促动器27、与第一块状主体的后侧邻接配置的第二块状主体28、以及安装于第二块状主体28上的两个开关阀促动器29、30等形成。

在流体控制装置中，设有穿过质量流量控制器2的上方的倒U字形的旁路配管35，在旁路配管35的中途设有可将其分割为倒L字形部分和I字形部分的管状接头36。

质量流量控制器2和接头11、12、14经由倒U字形托架8、9、19安装在基板1上。质量流量控制器2通过卸下其两侧的接头15、17而能够被单独地取出至上方，另外，过滤器4和各开关阀3、5通过卸下从上方拧入的螺纹件37而能够分别被单独地取出至上方。

符号40表示以一个接头将3个无旁路通路管线A1、A2、A3彼此连接的歧管块状接头，符号43表示以一个接头将3个有旁路通路管线B1、B2、B3彼此连接的歧管块状接头，符号41表示通过螺纹件37安装在歧管块状接头40上的通路闭锁块，符号42表示用于将歧管块状接头40、43安装在基板1上的倒U字形托架.无旁路通路管线用的歧管块状接头40和有旁路通路管线用的歧管块状接头43通过连通管44连接，他们的共用出口是有旁路通路管线用的歧管块状接头43的终端部，在该终端部设有带管状接头46的开关阀45.

在有旁路通路管线B1、B2、B3之间，其入口侧阻断开放器6的带管状连接部的块状接头24之间以及出口侧阻断开放器7的带第二管状连接部的块状接头33之间分别通过作为管线间连接机构的倒U字形连通配管47、48连接着。这些管线间连接机构47、48使用L型接头L和T型接头T，这些接头L、T与管P通过焊接(图中由W表示)而连接。

根据上述专利文献1的流体控制装置，对于一条管线，其下层的块状接头可拆装地安装在基板上，上层的流体控制仪器可拆装地横跨着安装在下层的块状接头间，从而易于进行各管线的流体控制仪器的拆装。但是，由于管线间连接机构是用管将接头彼此连接并进行焊接而形成的，所以存在着增设和改变管线时，管线间连接的拆装费事的问题。

因此，为了解决这样的问题，在专利文献2中提出了如下的流体控制装置：一条管线由配置在上层的多个流体控制仪器和配置在下层的多个接头部件形成，多条管线以其入口朝后、出口朝前的方式并列地配置，规定的管线的通路之间通过管线间连接机构而连接，其特征在于，管线间连接机构包括：下侧通路块，其分别配置在作为连接对象的各管线的上层的前后方向相同位置，并且在该下侧通路块上形成有管线间连接用通路，该管线间连接用通路具有至少一个向上开口；一个或多个上侧通路块，该上侧通路块以横跨作为连接对象的各管线的方式配置在下侧通路块的上侧并且具有在管线正交方向上延伸的横向通路、和从横向通路延伸并与下侧通路块的管线间连接用通路的向上开口连通的向下通路，下侧通路块通过来自上方的螺纹件可拆装地结合在下层的接头部件上，上侧通路块通过来自上方的螺纹件可拆装地结合在下侧通路块上。

【专利文献1】日本特开2002-89798号公报；

【专利文献2】日本特开2004-183771号公报。

根据上述专利文献2的流体控制装置，虽然具有能够从管线间连接机构中消除焊接部位、能够容易地应对管线的增设和改变的优点，但存在着通路块的种类数量增多的问题，对此进行改进成为了课题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种集成化流体控制装置，以便从对管线的通路之间进行连接的管线间连接机构中消除焊接部位，并抑制零件数量(通路块＝块状接头的种类)的增加，从而能够更容易地应对管线的增设和改变。

本发明的流体控制装置，由多条管线构成，各管线由具有沿前后方向配置的多个接头部件的下层、和具有沿前后方向配置的多个流体控制仪器的上层构成，作为各管线的下层构成要素的前侧及后侧块状接头与横跨这些块状接头而配置的作为上层构成要素的开关阀在横向上并列配置，前侧块状接头内的前后方向通路和后侧块状接头内的前后方向通路通过开关阀的促动器的操作能够被阻断或开放，其特征在于，对横向相邻的第一和第二管线进行连接的管线间连接机构的至少一个构成为具有：形成于第一管线的前侧或后侧块状接头上的横向突出部；形成于第二管线的块状接头上并且能够供上述横向突出部嵌入的凹部；形成于具有横向突出部的块状接头上，且一端在接头主体的上表面开口、另一端在横向突出部的上表面开口的接头内分支通路；设于第一管线的开关阀的主体上，且将阀主体内主通路与接头内分支通路的接头主体上表面开口始终连通的第一阀主体内分支通路；设于第二管线的开关阀主体上，且将阀主体内主通路与接头内分支通路的横向突出部上表面开口始终连通的第二阀主体内分支通路.

对横向相邻的第一和第二管线进行连接的管线间连接机构例如分别在入口侧和出口侧各设置两个，此时，四个都可以是上述结构，但也可以例如只有出口侧的两个是上述结构。而且，非上述结构的管线间连接机构，例如是横跨于在下层中沿横向排列的多个块状接头而设置的沿横向延伸的过渡配管块，在该过渡配管块上设有经由开关阀的阀主体通路使相邻的块状接头连通的多个横向通路。

下层的上表面和上层的下表面分别共面，因此，各流体控制仪器的下端开口和各接头部件的上端开口位于同一平面内。各流体控制仪器具有形成有下端开口的通路的主体，在接头部件上形成有与流体控制仪器的主体通路的下端开口相通的通路。此外，在流体控制仪器及接头部件上根据需要形成横向或前后方向开口的通路。在通路间的连接部上设有密封部。

增设管线时，相邻的管线间形成比一个管线宽度稍宽(横向突出部那么宽)的空间，在此配置新的管线(已进行了除开关阀以外的部件的预先组装)，接着，将第一管线的块状接头的横向突出部嵌入至第二管线的块状接头的凹部内，并且使各管线之间接近并固定在规定位置，最后再进行组装开关阀的作业即可。进行管线的改变时也一样，这样一来，能够容易地进行管线的增设和改变。

根据本发明的流体控制装置，在没有管线间连接机构的部位，通过具有前后方向的通路而不具有横向通路的前侧单向连接块状接头、具有前后方向的通路而不具有横向通路的后侧单向连接块状接头、以及具有前后方向的通路而不具有横向通路的单向连接阀主体来形成将前后方向(管线方向)通路阻断或开放的流体控制部分；在具有管线间连接机构的部位，通过具有前后方向的主通路和横向分支通路的前侧或后侧双向连接块状接头、具有前后方向的通路而不具有横向通路的后侧或前侧单向连接块状接头、以及具有前后方向的主通路和横向的分支通路的双向连接阀主体来形成将前后方向(管线方向)通路阻断或开放且将横向(管线正交方向)通路阻断或开放的流体控制部分。

双向连接块状接头的轮廓形状，是在单向连接块状接头上形成有横向突出部和/或凹部的形状。单向连接块状接头是长方体状，其基本结构可以由一种方棒料制作。双向连接块状接头是与单向连接块状接头类似的形状，能够削减块状接头制作时的特殊加工量。各块状接头均可以使用三轴的加工机械从单向进行加工。

通过将构成下层的块状接头彼此在紧密接触的状态下用螺纹部件固定在基板上来进行前后方向的定位，由此，无需使用用于位置对准的特殊工具就能够确保与流体控制仪器之间获得适当的密封所需的公差.质量流量控制器横跨相互隔开间隔的块状接头之间而配置，此时，在支承质量流量控制器的块状接头之间夹设有用于设定间隔的垫片.而且，通过横跨前后相邻的接头部件地配置作为上层构成要素的流体控制仪器，并用螺纹部件固定在对应的接头部件上，能够在没有焊接部位的情况下组装确保了密封性的流体控制装置.通过使形成于双向连接块状接头上的横向突出部嵌入到形成于其横向相邻的双向连接块状接头上的凹部中来进行横向的定位.即，双向连接块状接头不仅具有使流体双向流动的功能，而且还具有定位功能.

优选的是，在管线间连接机构的多个双向连接块状接头中，位于管线间连接机构的一端的接头不具有横向突出部和分支通路，其他的接头具有横向突出部和分支通路。即，通过使位于管线间连接机构的一端(与其他管线产生干涉侧的一端)的接头不具有横向突出部和分支通路，能够避免其与其他管线产生干涉，通过摒弃在单向连接块状接头上仅形成有横向突出部的形状的接头，能够降低块状接头的部件数量。

优选的是，多个管线包括惰性气体管线、处理气体管线和吹扫用气体管线，不仅是惰性气体管线和处理气体管线，而且吹扫用气体管线也包括上层和下层。这样，下层也含有吹扫用气体管线，由于是一层，因此下层的接头部件的安装和拆卸变得容易。

前侧块状接头内的前后方向通路和后侧块状接头内的前后方向通路从横向观察呈V字形，双向连接块状接头内分支通路从前后方向观察呈V字形。

根据本发明的流体控制装置，由于管线间连接机构的至少一个构成为具有：形成于第一管线的前侧或后侧块状接头上的横向突出部；形成于第二管线的块状接头上并且能够供上述横向突出部嵌入的凹部；形成于具有横向突出部的块状接头上，且一端在接头主体的上表面开口、另一端在横向突出部的上表面开口的接头内分支通路；设于第一管线的开关阀的主体上，且将阀主体内主通路与接头内分支通路的接头主体上表面开口始终连通的第一阀主体内分支通路；设于第二管线的开关阀主体上，且将阀主体内主通路与接头内分支通路的横向突出部上表面开口始终连通的第二阀主体内分支通路，所以能够在不具有焊接部位的情况下构成该管线间连接机构，并且，具有横向突出部和凹部的块状接头通过使横向突出部嵌入至凹部而形成与其他块状接头相同的轮廓形状，所以零件数量的增加得到抑制，并且能够进行灵活的设计，而且维护性也得到了提高。

附图说明

图1是表示本发明的流体控制装置的整体结构的俯视图。

图2是表示本发明的流体控制装置的下层的俯视图。

图3是表示本发明的流体控制装置的一条管线的结构的一个例子的纵剖视图。

图4是表示构成管线间连接机构的双向连接块状接头的立体图。

图5是表示构成管线间连接机构的双向连接块状接头的俯视图。

图6是沿图5的VI-VI线剖切的剖视图。

图7是沿图5的VII-VII线剖切的剖视图。

图8是表示管线间连接机构的通路的俯视图。

图9是本发明的流体控制装置的流程图。

图10是表示以往的流体控制装置的立体图。

(符号说明)

I1、I2、I3、I4、T1、T2、T3、T4、P  管线

2   质量流量控制器

50  管线间连接机构

53  开关阀

53a 单向连接阀主体

54  开关阀

54a  双向连接阀主体

62   前侧单向连接块状接头

63   后侧单向连接块状接头

64   双向连接块状接头

64a  接头主体

64b  横向突出部

64c  凹部

65   单向连接块状接头

81   主通路

82   接头内分支通路

82a  接头主体上表面开口

82b  横向突出部上表面开口

87   前后方向的通路

89   阀主体内主通路

90A  第一阀主体内分支通路

90B  第二阀主体内分支通路

具体实施方式

以下参照附图对本发明的实施方式进行说明。

图1及图2表示本发明的流体控制装置的整体结构。

流体控制装置具有多条管线I1、I2、I3、I4、T1、T2、T3、T4、P，其中包括：I1～I4的惰性气体管线I1、I2、I3、I4；T1～T4的处理气体管线T1、T2、T3、T4；以及一条吹扫用气体管线P。各管线I1、I2、I3、I4、T1、T2、T3、T4、P由具有沿前后方向配置的多个块状接头61、62、63、64、65、66的下层(图2)、和具有沿前后方向配置的多个流体控制仪器2、51、52、53、54、55、56的上层(图1)构成。

在图3中，作为管线结构的一个例子，示出了T4管线T4。该管线T4包括：构成上层的质量流量控制器2；设于质量流量控制器2的入口侧并构成下层的4个入口侧块状接头61、62、62、63；在入口侧块状接头61、62、62、63的前后方向上横跨相邻接头而设置并构成上层的3个流体控制器51、52、53；设于质量流量控制器2的出口侧并构成下层的4个出口侧块状接头64、65、65、66；在出口侧块状接头64、65、65、66的前后方向上横跨相邻接头而设置并构成上层的3个流体控制器54、55、56。

质量流量控制器2横跨4个入口侧块状接头61、62、62、63中最前侧的块状接头63、和4个出口侧块状接头64、65、65、66中最后侧的块状接头64而设置。在支承质量流量控制器2的两个块状接头63、64之间夹设有与接头63、64紧密接触的用于设定间隔的垫片70，由此，支承质量流量控制器2的两个块状接头63、64被定位。其他的块状接头61、62、62、65、65、66之间通过相互紧密接触而定位。

入口侧的流体控制器51、52、53从距离质量流量控制器2远的一侧起，分别是手动阀51、第一开关阀52和第二开关阀53.出口侧的流体控制器54、55、56从距离质量流量控制器2近的一侧起，分别是第一开关阀54、第二开关阀55和第三开关阀56.

T4管线T4以外的惰性气体管线I1、I2、I3、I4以及处理气体管线T1、T2、T3是与T4管线T4相同的结构或类似的结构，对与T4管线T4相同的结构标注相同的符号并省略各管线I1、I2、I3、I4、T1、T2、T3的说明。吹扫用气体管线P不具有质量流量控制器，其上层由两个开关阀52、54和配置在这两个开关阀之间的闭锁块57构成，下层由支承这些开关阀52、54和闭锁块57的块状接头61、62、65、66、以及经由管72与后侧的块状接头66连接的前后方向通路闭锁用块状接头67构成。

在各管线I1、I2、I3、I4、T1、T2、T3、T4、P中分别设有入口侧管接头71。I1～I4的惰性气体管线I1、I2、I3、I4以及T1～T4的处理气体管线T1、T2、T3、T4在质量流量控制器2的出口侧通过作为本发明主要部分的管线间连接机构50而分别被连接。另外，I3的惰性气体管线I3的出口侧的块状接头65与T4的处理气体管线T4的出口侧的块状接头65经由管73而被连接。而且，I4的惰性气体管线I4的出口侧的块状接头66与T3的处理气体管线T3的出口侧的块状接头66经由管74而被连接。图2中，横跨着T4的处理气体管线T4的出口侧的块状接头66和吹扫用气体管线P的前后方向通路闭锁用块状接头67而配置的是过渡配管块75，吹扫用气体管线P的吹扫气体经由该过渡配管块75而被分配至各管线I1、I2、I3、I4、T1、T2、T3、T4。此外，如图3中的符号76所示，在质量流量控制器2的入口侧，设于块状接头62、63与开关阀主体53a之间的是五通过渡配管块76，在该部分，上层是由过渡配管块76和阀主体形成的两层结构。

在I3的惰性气体管线I3上，设有与T4的处理气体管线T4连接的管73排气用的向上管接头77，在连接I4的惰性气体管线I4和T3的处理气体管线T3的管74上，设有排气用的向前管接头78。此外，在T4的处理气体管线T4的块状接头66的通路出口，设有向上和向前的两个排气用的管接头77、78。

在图9中，通过流向图表示了各管线I1、I2、I3、I4、T1、T2、T3、T4、P中流体的流向以及管线I1、I2、I3、I4、T1、T2、T3、T4、P之间的分支、合流。

管线间连接机构50包括：在多个管线I1～I4或T1～T4的下层中，在前后方向上排列的双向连接块状接头64、64A和单向连接块状接头65、67；横跨这些块状接头64、64A、65、67而配置的开关阀(上层)54。多个双向连接块状接头64、64A除位于端头的一个接头64A外，具有前后方向的主通路81和横向的分支通路82，位于端头的双向连接块状接头64A仅具有前后方向的通路81。作为单向连接块状接头65、67，采用了仅具有前后方向通路87的接头65和前后方向通路闭锁块状接头67。各开关阀54由双向连接阀主体54a以及促动器54b构成，双向连接阀主体54a具有前后方向的主通路88a、88b、和横向的分支通路(未示于图3、参照图8)。

图4至图7示出了双向连接块状接头64的详细结构.双向连接块状接头64由长方体状主体64a、在主体64a的前缘部向左突出的横向突出部64b、以及在主体64a的前缘部右表面被削除了的凹部64c构成，并且该双向连接块状接头64具有：主通路81，该主通路81在主体64a的左右中央沿前后方向延伸，从横向观察呈V字形；分支通路82，该分支通路82从与主通路81的前侧的上表面开口(出口)81a在横向(左方向)稍微错开的位置上的主体侧上表面开口82a延伸到处于横向突出部64b的左端部的突出部侧上表面开口82b，从前后方向观察呈V字形.

双向连接块状接头64的凹部64c在不影响主通路81的范围内被尽可能大地削除，横向突出部64b被制成其前端侧的大约一半正好与相邻的双向连接块状接头64的凹部64c嵌合的形状。如图2所示，各管线I1、I2、I3、I4、T1、T2、T3、T4、P的下层彼此隔开一定间隙地配置在横向上，横向突出部64b的突出量-凹部64c的凹入量＝各管线I1、I2、I3、I4、T1、T2、T3、T4、P的下层之间的间隔。

在图4及图5中，83是供将块状接头64安装于基板1上的螺栓穿插的贯通孔，84是供安装流体控制器(开关阀)主体54a的螺栓拧入的有底螺纹孔。此外，85和86是用于检测泄漏的泄漏端口。在块状接头64的上表面开口设有密封部(在除上表面开口以外的部位没有密封部)，块状接头64经由该密封部直接连结在开关阀54的主体54a上。因此，能够通过与由密封部密封的上表面开口相通的泄漏端口85和孤立的泄漏端口86，来检测是否有从密封部产生的泄漏。

另外，虽然省略了图示，但62、65等块状接头是在上述双向连接块状接头64中将分支通路82省略、且为完整的长方体的形状。

如图3所示，在管线间连接机构50中所使用的双向连接阀主体54a内，设有与后侧的块状接头64连通的入口通路88a、以及与前侧的块状接头65连通的出口通路88b。而且，入口通路88a的开口通过促动器54b而被阻断或开放。在其他的手动阀51和各开关阀52、53、55、56的主体上，也设有与所对应的块状接头61、62、63、64、65、66连通的入口通路和出口通路(省略符号)。

图8表示管线间连接机构(用于惰性气体管线I1～I4与用于处理气体管线T1～T4的机构是完全相同的结构)50的通路。

如该图所示，各开关阀54的双向连接阀主体54a的通路88，除具有图3所示的入口通路88a和出口通路88b之外，还具有一端与阀座周围的通路88c连通、另一端与双向连接块状接头64的分支通路82的上表面开口82a、82b连通的一个或者两个分支通路90A、90B。而且，由于入口通路88a的开口通过促动器54b而被阻断、开放，所以入口通路88a、阀座周围的通路88c和出口通路88b都成为通过促动器54b而被阻断、开放的主通路89。另外，图8中，为了容易地与块状接头的通路(用虚线表示)81、82、87和开口(以大圆表示)81a、82a、82b、87a区分开，用实线示意地画出了双向连接阀主体54a的各通路88、88a、88b、88c、89、90A、90B。

第四管线T4的双向连接块状接头64具有横向突出部64b，并且具有前后方向的主通路81和横向的分支通路82。另外，作为第四管线T4的双向连接块状接头64，虽然不需要凹部64c，但为了减少零件数量而使用了具有凹部64c的接头。

第四管线T4的单向连接块状接头65具有在主体的左右中央沿前后方向延伸的、横向观察呈V字形的通路87。

第四管线T4的双向连接阀主体54a的通路88具有：主通路89，该主通路89由入口通路88a、阀座周围的通路88c以及出口通路88b组成；分支通路90A，该分支通路90A从阀座周围的通路88c向左侧延伸并与第四管线T4的双向连接块状接头64的分支通路82的主体侧上表面开口82a连通.主通路89将第四管线T4的双向连接块状接头64的主通路81和第四管线T4的单向连接块状接头65的前后方向通路87以能够阻断或开放的方式连接起来.

第三管线T3的双向连接块状接头64具有供第四管线T4的双向连接块状接头64的横向突出部64b嵌入的凹部64c、和与第四管线T4的双向连接块状接头64的横向突出部64b形状相同的横向突出部64b，并且具有前后方向的主通路81和横向的分支通路82。

第三管线T3的单向连接块状接头65具有在主体的左右中央沿前后方向延伸的、横向观察呈V字形的通路87。

第三管线T3的双向连接阀主体54a的通路88具有：主通路89，该主通路89由入口通路88a、阀座周围的通路88c以及出口通路88b组成；分支通路90B，该分支通路90B从阀座周围的通路88c向右侧延伸并与第四管线T4的双向连接块状接头64的分支通路82的突出部侧开口82b连通；分支通路90A，该分支通路90A从阀座周围的通路88c向左延伸并与第三管线T3的双向连接块状接头64的分支通路82的主体侧开口82a连通。主通路89将第三管线T3的双向连接块状接头64的主通路81和第三管线T3的单向连接块状接头65的前后方向通路87以能够阻断或开放的方式连接起来。

第二管线T2的双向连接块状接头64是与第三管线T3的双向连接块状接头64相同的结构，对相同结构标以相同符号。

第二连接管线T2的单向连接块状接头67是不具有通路的用于闭锁前后方向通路的块状接头。

第二管线T2的双向连接阀主体54a的通路88的结构与第三管线T3的双向连接阀主体54a的通路88的结构相同，对相同结构标以相同符号。虽然主通路89能够阻断或开放第二管线T2的双向连接块状接头64的主通路81的出口81a，但经由主通路89流向前方的流体流动，是由于第二管线T2的单向连接块状接头67是闭锁用的接头而被阻断的。

第一管线T1的双向连接块状接头64A具有凹部64c，该凹部64c供第二管线T2的双向连接块状接头64的横向突出部64b嵌入，为了避免与相邻的管线14产生干涉，双向连接块状接头64A上没有设置横向突出部64b。而且，作为通路，只设有在主体64a的左右中央沿前后方向延伸的、横向观察呈V字形的通路81。

这样，管线间连接机构50的多个双向连接块状接头64、64A中的、位于管线间连接机构50的一端(与其他的管线I4干涉一侧的端部)的接头64A没有横向突出部64b和分支通路82，其余的接头具有横向突出部64b和分支通路82。

第一管线T1的单向连接块状接头67是不具有通路的、用于闭锁前后方向通路的块状接头。

第一管线T1的双向连接阀主体54a的通路88具有：主通路89，该主通路89由入口通路88a、阀座周围的通路88c以及出口通路88b组成；分支通路90B，该分支通路90B从阀座周围的通路88c向右延伸并与第二管线T2的双向连接块状接头64的分支通路82的突出部侧开口82b连通。主通路89能够阻断或开放第一管线T1的双向连接块状接头64A的主通路81的出口81a，但经由主通路89流向前方的流体流动，是由于第一管线T1的单向连接块状接头67是闭锁用的接头而被阻断的。

根据上述的管线间连接机构50，第三和第四管线T3、T4的双向连接块状接头64的前后方向的主通路81，经由后侧的块状接头65的前后方向通路87和开关阀54的双向连接阀主体54a的主通路89而被连接，通过前后方向通路81、87、89流向前方的流体流动，通过开关阀54的促动器54b的操作而被适当地阻断或开放.

关于第一和第二管线T1、T2，由于后侧的块状接头67是用于闭锁的，所以即使在开关阀54的促动器54b为打开的情况下，也不会产生流向前方的流体流动。另一方面，第一管线T1和第二管线T2经由分支通路90B、82、90A始终连通，所以无论开关阀54的促动器54是开还是关，都能形成从第一管线T1向第二管线T2的流体流动或与其相反的流体流动。

例如，在第一管线T1的开关阀54为开、第二管线T2的开关阀54为开、第三管线T3的开关阀54为关、第四管线T4的开关阀54为关的情况下，被导入第一管线T1中的流体(处理气体)和被导入第二管线T2中的流体(处理气体)通过管线间连接机构50的所有分支通路90B、82、90A、90B、82、90A、90B、82、90A而从第四管线T4的出口被排出。

这样，通过管线间连接机构50，能够进行前后方向的连接和管线间的连接，从而能够进行处理气体等的分配、混合以及利用吹扫用气体进行的气体吹扫等各种气体控制。而且，由于形成于双向连接块状接头64上的横向突出部64b通过嵌入形成于其横向相邻的双向连接块状接头64、64A的凹部64c中而实现横向定位，所以通过管线间连接机构50的双向连接块状接头64、64A，不仅能够进行流体的分支，而且还能发挥定位功能。

另外，在以管线间连接机构50连接3个以下的管线的情况下，只要减掉第二管线T2和/或第三管线T3即可；在以管线间连接机构50连接5个以上的管线的情况下，只要在第二管线T2和第三管线T3之间增加必要数量的与第二管线T2或第三管线T3相同结构的管线即可。

此外，在设于质量流量控制器2的入口侧的五通过渡配管块76上，形成有管线数量的、与上述管线间连接机构50的双向连接块状接头64的分支通路82相当的通路，不过，可以将质量流量控制器2的入口侧也作为上述管线间连接机构50来取代该过渡配管块76，从而省略过渡配管块76。

(工业实用性)

在具有多个管线并用于半导体制造装置的流体控制装置中，由于能够从将管线通路之间连接起来的管线间连接机构中消除焊接部位，并能够抑制其零件数量的增加，因而能够容易地应对管线的增设和改变。

Claims (9)

1.一种流体控制装置，由多条管线构成，各管线由具有沿前后方向配置的多个接头部件的下层、和具有沿前后方向配置的多个流体控制仪器的上层构成，作为各管线的下层构成要素的前侧及后侧块状接头与横跨这些块状接头而配置的作为上层构成要素的开关阀在横向上并列配置，前侧块状接头内的前后方向通路和后侧块状接头内的前后方向通路通过开关阀的促动器的操作能够被阻断或开放，其特征在于，

对横向相邻的第一和第二管线进行连接的管线间连接机构的至少一个构成为具有：形成于第一管线的前侧或后侧块状接头上的横向突出部；形成于第二管线的块状接头上并且能够供上述横向突出部嵌入的凹部；形成于具有横向突出部的块状接头上，且一端在接头主体的上表面开口、另一端在横向突出部的上表面开口的接头内分支通路；设于第一管线的开关阀的主体上，且将阀主体内主通路与接头内分支通路的接头主体上表面开口始终连通的第一阀主体内分支通路；设于第二管线的开关阀主体上，且将阀主体内主通路与接头内分支通路的横向突出部上表面开口始终连通的第二阀主体内分支通路。

2.如权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，

在没有管线间连接机构的部位，通过具有前后方向的通路而不具有横向通路的前侧单向连接块状接头、具有前后方向的通路而不具有横向通路的后侧单向连接块状接头、以及具有前后方向的通路而不具有横向通路的单向连接阀主体来形成将前后方向通路阻断或开放的流体控制部分；

在具有管线间连接机构的部位，通过具有前后方向的主通路和横向分支通路的前侧或后侧双向连接块状接头、具有前后方向的通路而不具有横向通路的后侧或前侧单向连接块状接头、以及具有前后方向的主通路和横向的分支通路的双向连接阀主体来形成将前后方向通路阻断或开放且将分支通路阻断或开放的流体控制部分。

3.如权利要求2所述的流体控制装置，其特征在于，双向连接块状接头的轮廓形状，是在单向连接块状接头上仅形成有横向突出部而成的形状、仅形成有凹部而成的形状、以及形成有横向突出部和凹部二者而成的形状中的任一种。

4.如权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，多个管线包括惰性气体管线、处理气体管线和吹扫用气体管线，不但惰性气体管线和处理气体管线包括上层和下层，吹扫用气体管线也包括上层和下层。

5.如权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，通过将构成下层的块状接头在紧密接触的状态下用螺纹部件固定在基板上来进行前后方向的定位。

6.如权利要求5所述的流体控制装置，其特征在于，质量流量控制器横跨相互隔开间隔的块状接头之间而配置，在支承质量流量控制器的块状接头之间夹设有用于设定间隔的垫片。

7.如权利要求3所述的流体控制装置，其特征在于，通过使形成于双向连接块状接头上的横向突出部嵌入到形成于其横向相邻的双向连接块状接头上的凹部中来进行横向的定位。

8.如权利要求3所述的流体控制装置，其特征在于，在管线间连接机构的多个双向连接块状接头中，位于管线间连接机构的一端的接头不具有横向突出部和分支通路，其他的接头具有横向突出部和分支通路。

9.如权利要求2所述的流体控制装置，其特征在于，前侧块状接头内的前后方向通路和后侧块状接头内的前后方向通路从横向观察呈V字形，双向连接块状接头内分支通路从前后方向观察呈V字形.

Images