JP5369178B2 - Ald反応器の接続部の構成 - Google Patents
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Description
[0015]図1および図2に示す本発明による解決策において、反応ガスおよび窒素のような不活性ガスなどのガスは、1つのフランジ構造10を介して加圧チャンバ1に提供され、さらに反応チャンバ2に提供される。フランジ構造10の上表面は、第1流れ反転素子8の下表面と互いの面が緊密に着座するように形成される。フランジ構造のガス継ぎ手11、12、および第1流れ反転素子8の継ぎ手は、たとえば穿孔部13、14を通って、単一の流れ経路を形成し、共通の延長部、さらに中間素子内のチャネル4〜7を備える。必要であれば、チャネル、継ぎ手、および穿孔部の間の全ての接続部、また、フランジ構造10と第1流れ反転手段8の間の接続部は、上述の部材間でシールすることができる。
[0026]本発明による構成は、反応ガスの供給およびバリアガスの供給を、少ない部材により実行できるようにし、これは洗浄または検査のために簡単な方法で分解できる。本構造は小さくまた対称である。全てのガスは同様に扱うことができ、必要であれば、解決策は必要なときに交換することができる別個の汚染犠牲パイプを用いることができる。通常、詰まる位置は、戻し吸引部に接するところである。
Claims (14)
- 反応器チャンバを有するALD反応器に接続される構成であって、
前記構成は、反応ガスを前記反応チャンバ(2)に供給し、また、反応ガスを吸引するための継ぎ手と、バリアガスを供給するための継ぎ手と、を有し、
反応ガスを供給および吸引するための前記継ぎ手、およびバリアガスを供給するための前記継ぎ手は、中間素子(3)を有し、前記中間素子(3)は、前記中間素子(3)を通って延びる複数の平行チャネル(4−7)を備え、前記中間素子(3)の端部に配置される第1および第2の流れ反転素子(8、9)を有し、前記第1および第2の流れ反転素子(8、9)内に前記チャネル(4−7)が開口し、前記流れ反転素子(8、9)は、チャネル間流れを提供するように、前記チャネルを前記中間素子(3)において結合するように構成される、構成。 - 請求項1に記載の構成であって、前記中間素子(3)に面する前記流れ反転素子(8、9)の表面は溝部(15、24、17)を備え、前記溝部(15、24、17)は、前記中間素子(3)の表面とともに前記チャネルを接続する流れ経路を形成する、構成。
- 請求項1または2に記載の構成であって、前記流れ反転素子(8、9)の両方は、バリアガスを供給するための継ぎ手(13、19)を備える、構成。
- 請求項3に記載の構成であって、前記中間素子(3)の反対に面する前記第2の流れ反転素子(9)の表面は溝部(20)を有し、前記溝部(20)は、前記第2の流れ反転素子(9)の頂部に配置されるカバー素子(21)とともに、前記バリアガスのための流れ経路を形成する、構成。
- 請求項4に記載の構成であって、前記第2の流れ反転素子(9)は第2穿孔部(18)を備え、前記第2穿孔部(18)は、前記中間素子の反対に面する表面における溝部(20)から前記中間素子に面する表面における溝部(17)まで、バリアガス流れ接続部を形成するように構成される、構成。
- 請求項5に記載の構成であって、前記第2穿孔部(18)に、流れチョーキングを提供するように調整素子(22)または縮小部が形成される、構成。
- 請求項1に記載の構成であって、流れチョーキングを提供するように、前記中間素子(3)を通って延びる少なくとも1つのチャネル(5)に調整素子(16)または縮小部が形成される、構成。
- 請求項1に記載の構成であって、前記中間素子(3)の中間部に収集チャネル(7)が設けられ、他のチャネル(4、5、6)が半径方向におよび対称に前記収集チャネル(7)を囲み、それにより、半径方向にみた場合に、各チャネルは、隣接するチャネルおよび前記収集チャネルに流体接続する、構成。
- 請求項1に記載の構成であって、前記中間素子(3)は重い部材から形成され、前記チャネル(4−7)は、前記重い部材を穿孔することにより形成される、構成。
- 請求項1に記載の構成であって、前記中間素子(3)および第1および第2の流れ反転素子(8、9)により形成される物は、1つのフランジ構造(10)によりガス源に固定され、それにより、前記フランジ構造のガス継ぎ手(11、12)および前記第1流れ反転素子の穿孔部(13、14、19)は、前記ガス源から前記中間素子(3)を通って前記反応チャンバ(2)まで単一の流れ経路を形成する、構成。
- 請求項7に記載の構成であって、1つまたは複数の前記チャネル(5)は、共通の充填継ぎ手(23)に流体接続するように、記第2流れ反転素子(9)内の溝部(25)により構成される、構成。
- 請求項10に記載の構成であって、前記フランジ構造(10)に、全体の構成をシールする共通シール構造(27)が備えられる、構成。
- 請求項10に記載の構成であって、前記構成は、反応器の他のリードスルーに統合される、構成。
- 請求項10に記載の構成であって、前記構成は、付随する反応器の加熱器の一部として動作する、構成。
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