CN1489709A - 滤光器组件及其制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明是在光波导的路径中插入安装多层膜滤光器的滤光器组件，该滤光器组件在平面基板的主面上形成精密的V形槽使得光纤突出，在平面基板上安装光纤，在与平面基板的主面的V形槽交差那样形成的滤光器插入槽中插入了多层膜滤光器以后，用上部的两片覆盖层夹住，固定、安装滤光器，而且提供减少输入输出光纤之间的光轴调整，所插入的滤光器的位移少的高精度的安装方法。

Description

滤光器组件及其制造方法
技术领域
本发明涉及组装了各种滤光器的光通信用的滤光器组件及其制造方法。
背景技术
在使用了光纤的光信息通信系统中，由于光纤产生的放射、吸收等光发生衰减。作为把该衰减了的光进行放大的系统使用光纤放大器。光纤放大器由于能够不必把光信号变换为电信号而输出放大，因此在光通信网中成为不可缺少的系统。图8A示出系统结构的一个例子。光纤放大器由光隔离器53，掺杂了铒的光纤51，在激励用的激光束中使用的泵浦激光器54，输出监视用光电二极管52，调整增益的滤光器55构成。泵浦激光器54的波长在单模光纤中使用1.48μm的波长。
掺杂了铒的光纤51如图8B的特性A所示，在放大增益方面具有频率依赖性。因此，需要把具有作为特性A相反特性的特性B的滤光器55插入到光输出放大后的传输路径中，如特性C那样使放大增益平坦。把该滤光器55称为增益平坦化滤光器。通常，滤光器55插入在光纤之间，作为一体化的组件使用。图8C示出该组件的构造。光纤56，准直用以及聚光用的透镜57，增益平坦滤光器58在调整了其光轴以后安装并且密封到金属箱体59中。
在上述那样使用了透镜的以往型的光路连接方法或者滤光器插入方法中，需要透镜自身的尺寸和在聚焦中所必需的光路-透镜间距离。为此不能够把组件总体减小到某种规定以上的程度。
另外，光路的连接必须沿着各个光路非常正确地连接，在使用了透镜的组件中由于在光路的调整方面花费成本和时间，因此生产性差。
作为上述课题的一个解决方法提出特许第3175814号公报。图9A、图9B示出其结构图。这是与在硅基板上制作的埋入型光波导交差那样，形成滤光器插入槽插入多层膜滤光器，并且一体化了的反射型波分复用合分波器的例子。
在硅基板31上的包层材料32上作为波导在一个面形成导行光的通路，形成滤光器插入槽36使得与波导交差。由此，不需要进行输入用波导33以及输出用波导35、34的光轴调整。进而，如果把多层膜滤光器(以下称为滤光器)37的横向宽度记为W，膜厚记为Df，弯曲的曲率半径记为R，滤光器插入槽36的宽度记为Dg，则像满足
R＜W2/8(Dg-Df)的关系那样，设定滤光器插入槽36的宽度Dg，滤光器37的弯曲的曲率半径R。由此，提出能够利用滤光器37的弯曲，可靠地固定在滤光器插入槽36中的构造。即，提出通过埋入型光波导制作光的导行路径，在该导行路径中插入各种滤光器，构成为一体的组件构造。
但是，由于在该方式中，滤光器37必须具有一定以上曲率的弯曲，如果在安装时偏移，则对于滤光器37的入射角的偏移很大。进而，在光的导行路径中使用了埋入型波导的情况下，在滤光器插入槽36中，在波导35、33与多层膜滤光器37之间必然地形成由于弯曲引起的间隙。光通过该间隙从波导35、33扩散、损失。另外，机械地保持具有弯曲的部件并且插入到微小槽中是非常困难的，在制造方面也十分不利。
发明内容
本发明提供制作与在平面基板上存在的光通路交差的滤光器插入槽，在该滤光器插入槽中插入滤光器，粘合在平面基板上地用覆盖层覆盖光通路的光滤光器组件。
附图说明
图1A是示出本发明实施方案1中的滤光器组件的构造的平面图。
图1B是示出本发明实施方案1中的滤光器组件的侧面图。
图1C是示出本发明实施方案1中的滤光器组件的剖面图。
图2A～图2D是示出本发明实施方案1中的滤光器组件的构造中的滤光器插入槽形状的剖面图。
图3A是示出本发明实施方案2的滤光器组件的构造的一个例子的平面图。
图3B是示出本发明实施方案2的滤光器组件的侧面图。
图3C是示出本发明实施方案2的滤光器组件的剖面图。
图4A～图4G是本发明实施方案3的滤光器组件的制造方法的说明图。
图5A～图5G是本发明实施方案4的滤光器组件的制造方法的说明图。
图6A～图6F是本发明实施方案5的滤光器组件的制造方法的说明图。
图7A～图7F是本发明实施方案6的滤光器组件的制造方法的说明图。
图8A是以往例的光放大器系统的结构图。
图8B是以往例的光放大器系统的特性图。
图8C是以往的滤光器组件的剖面图。
图9A是以往的滤光器的安装方法的说明图。
图9B是图9A的主要部分的放大图。
具体实施方式
以下，参照附图说明本发明的实施方案。另外，在构成相同结构的部分中标注相同的标号并且省略详细的说明。
实施方案1
图1A示出本发明实施方案1的2芯滤光器组件的俯视图，图1B示出其侧面图，图1C示出其剖面图。滤光器2插入在滤光器插入槽(以下称为槽)1中用光学粘接剂6粘合，在形成于平面基板5的主面的V形槽10与覆盖层3所形成的空间中设置形成光路的光纤4。
在制作滤光器组件时，光路不一定要与平面基板5一体化，由此拓宽能够应用的组件的通用性。另外，在使用光纤4那样没有与平面基板5构成一体的部件的情况下，为了把光纤4固定在平面基板5上，制作精巧的V形槽10，把其作为固定光纤4时的导向器。如果制作滤光器插入槽1使得与V形槽10交差，则能够不打乱光纤4的光轴而容易地进行滤光器2的插入、连接。进而，由于构造非常简单因此能够使组件的体积小，提高生产性。
滤光器2例如是在玻璃或者聚酰亚胺等树脂基板上叠层了多层SiO2或者Ta2O5等的电介质薄膜而形成的。
覆盖层3和平面基板5例如是玻璃或者硅等。它们最好与该等光纤4的线膨胀系数接近，而在它们的固定中使用树脂类的粘接剂(未图示)的情况下，能够用粘接剂的弹性缓和由于线膨胀系数差引起的应力。另外，在粘接剂中使用光硬化性的材料的情况下最好是透射光的材料。
为了防止来自光纤4的端面的光发散，光粘接剂6使用具有与在光纤4中使用的材料相同折射率的材料。在光纤4中使用石英玻璃类的情况下，光粘接剂6的折射率最好也使用尽可能接近石英玻璃的折射率1.44的材料。
形成用于在平面基板5上安装、固定光纤4的V形槽10。通过把V形槽10的深度和角度加工成预定的值，由覆盖层3和平面基板5夹住光纤4，没有位移地进行安装。另外，V形槽10不仅在平面基板5，还可以形成在覆盖层3上。例如，如果把平面基板5和覆盖层3的V形槽10的顶角记为α，把进行安装的光纤4的半径记为r，把V形槽10的深度记为d，则通过设定
d＝r/sin(α/2)光纤4的中心恰好位于覆盖层3和平面基板5的表面。通常，由于作为玻璃类光纤的光路的包层直径是125μm，因此通过把V形槽10的顶角取为90度，把深度取为大约180μm，通过覆盖层3和平面基板5夹持，能够可靠地固定光纤4。另外，形成在覆盖层3和平面基板5上的V形槽10的深度和角度没有必要一定是相同形状。按照在平面基板5的V形槽10中安装光纤4时的光纤4从平面基板5的主面的突出量以上，设定形成在覆盖层3上的V形槽10的角度和深度。由此，通过覆盖层3和平面基板5可靠地安装、固定光纤。
另外，以对于光纤4具有规定的角度θ形成在平面基板5上所形成的槽1。这是为了防止从光纤4入射的光向滤光器2的反射。虽然依赖于被导行的光的波长，但是例如在用单模光纤导行波长1.48μm的光的情况下，倾角θ最好是5～10度左右。如果倾角θ小于5度，则反射的影响强烈，如果超过10度，则由于折射难以进行光轴设定，同时，在滤光器2的特性方面产生恶劣影响。
本实施方案中，在一条光路中制作槽插入滤光器。因此，简化光路的光轴调整，而且由于不需要使用透镜，因此还简化构造。其结果，使滤光器组件总体小型化。
另外，如果使用把封闭导行光纤4的光的芯子部分扩大一部分的芯子直径扩大光纤，则将进一步降低光纤4与滤光器2的耦合损失。
本实施方案的滤光器组件是形成槽1使得与光路4交差，插入滤光器2的构造。因此光纤4由槽1分断，经过滤光器2在光纤4的端面之间存在槽1的宽度的间隙G。在光纤4的端面中的光点尺寸W相同的情况下，经过了间隙长度G的光纤4的端面之间的功率传输系数Tg如果把多膜滤光器2的折射率记为n，则以
Tg＝〔1+(λ×G/(2×π×n×W2))2〕-1表示。λ表示波长。根据该式可知，透射损失与波长和间隙长度G的增加成比例增加，另外透射损失与光点尺寸的二次方的倒数成比例急剧地减少。
从这一点出发，在槽1的壁面露出的光纤4的端面的光点尺寸越大对于透射损失的降低越有利。作为芯子直径扩大光纤提出各种方式，其代表性的有TEC(Thermally Expanded Core)光纤。该光纤是通过把包层部分的一部分加热，把控制芯子部分的折射率的GeO2等掺杂元素扩散到包层的一部分中，实质上扩大了芯子直径的特殊光纤。通过使用该光纤，加大来自光纤4的端面的光点尺寸。在本发明的滤光器组件中使用芯子直径扩大光纤的情况下，加工、形成槽1使得在光路4中与芯子直径扩大部分的最大部分交差。
槽1的形状能够适用图2A～图2D所示的各种形状。图2A的槽1的底部做成两方槽壁侧浅，在底部中央残留平坦部分，并且具有该底部中央侧加深构成的角度θ1的形状。图2B是从槽1底部开始，一方的槽壁侧到平面基板5的主面具有一定的角度θ2的情况，图2C是从在槽1的一方的槽壁侧的底部形成一部分平坦部分，从平坦部分到另一方的槽壁侧具有一定角度θ3的情况。另外，图2D是把槽1的底部形成为半圆形的情况。
这些槽1例如使用预先把其前端成形为槽形状的金刚石砂轮形成。由于通过把金刚石砂轮的顶端形状复制到槽形状上形成，因此加工后的槽形状极大地依赖金刚石砂轮的成形精度。在砂轮宽度为0.1mm以下的情况下，受能够使用的金刚石粒子直径的制约难以进行加工，但在砂轮宽度超过0.1mm的情况下能够比较容易地进行形状加工。
槽1如图2A～图2D所示那样，对于一方的壁侧面，把另一方的壁侧面的倾斜浅加工成异形。其理由是为了在插入滤光器2以后防止滤光器2的倾斜。另外，在以先安装的覆盖层3的端面为基准面形成槽1的情况下，在加工过程中向把加工用的金刚石砂轮按压在作为基准面的覆盖层3一侧的方向作用力。在为了防止由于这时的金刚石砂轮的蛇行引起的槽1的加工精度恶化方面这样的加工是有效的。
另外，如图2A所示，槽1的底面通过从两方的槽壁到底面带有锥度，防止所插入的滤光器2摇摆，防止以对于光轴不同的角度固定滤光器2。
另外，如图2B所示，通过把槽1的剖面做成V形，在与图2A的槽相同作用的基础上，即使在对于槽1插入了极端薄的滤光器2时，只要插入到深处，就能够牢固地固定。即，拓宽了相对于槽1的滤光器2的厚度允许范围。
另外，如图2C所示，通过把槽1的底面做成半圆形，在与图2A的槽相同作用的基础上，在制作槽1时能够使加工简便。进而，由于底面是曲面，因此对于槽1能够在槽宽度的范围内自由地设定竖立滤光器2的角度。
另外，图2D所示，槽1成为底部从一方的槽壁面到另一方的槽壁面具有锥形面的形状。由此，在与图2A的槽相同作用的基础上，在一方的槽壁面上由于没有切割成锥形，因此能够使滤光器2与该面相吻合进行固定。进而，即使在进行槽加工之前安装光纤4和覆盖层3，但如果是这样形状的槽加工，则在加工时在刀刃碰到覆盖层3后刀刃会退避，能够从覆盖层的端面没有偏移地制作槽1。
在实施方案1中，光纤是2芯的情况，而对于一条光路也可以制作滤光器组件。反之，对于多条光路交差的点或者并排配置多条光路的点，可以在光路中交差那样设置滤光器插入槽，在槽中插入滤光器。如果这样做，则对于多条光路能够共同具有滤光器的效果，能够制作更多功能的滤光器组件。
实施方案2
图3A示出实施方案2的滤光器组件的俯视图，图3B示出侧面图，图3C示出剖面图。实施方案2与实施方案1的不同之点是在图1A中为了防止由滤光器插入槽1引起的散射、反射而附加微小角θ，但是在图3A中不设置该微小角θ。代替该角度，在图3B的侧面图中在槽1中设置微小角θ。因此，为了防止加工精度恶化，槽构造最好是图2B或者图2C那样的构造。除此以外，具有与实施方案1相同的构造，具有相同的效果。对于因设置了2条以上的光路而能制作多功能的滤光器组件这一点也相同。
实施方案3
以下，叙述制作滤光器组件的构造的方法。图4A～图4G是顺序示出制作本发明的滤光器组件的顺序的剖面图。
作为第1工序，在平面基板5上只按照所需要的条数精巧地制作用于在图4A所示的平面基板5上如图4B所示那样固定形成光路的光纤4的V形槽10。接着作为第2工序，制作对于滤光器2的厚度充分宽的滤光器插入槽1使得与该精巧的V形槽10交差。这时，如实施方案1或者实施方案2所示，槽1形成为对于光路从直角偏移微小角度θ。具体地讲虽然是5～10度左右，但是根据所使用的光波长而改变。通过在以所需要的任意的角度制作的槽1的壁面上使滤光器2相吻合，能够以所设计的任意角度固定滤光器2。槽1制作由图2A～图2D所示的构造中最佳的形状。
槽1的加工例如通过以立方晶氮化硼或者金刚石作为磨料，使用成形为槽形状的砂轮研磨加工形成，或者使用喷射等粉末加工。在平面基板5的材料中使用了硅的情况下，也可以使用湿法刻蚀或者干法刻蚀。在把槽1的剖面形状加工成异形的情况下，由于成形砂轮的形状的自由度高因此是有利的。
作为第3工序，如图4C所示，在V形槽10中设置光纤4。这时，考虑到安装精度，光纤4的安装部分最好是去除了被覆层的包层部分。这时，设定V形槽10的角度以及深度使得光纤4成为与平面基板5的主面相同的高度。另外，通过在光纤4中使用芯子直径扩大光纤，扩大光纤4的端面的光点尺寸，能够降低光纤4之间的透射损失或者耦合损失。这时，设置成光纤4的芯子直径在槽1的部分中成为最大。
接着作为第4工序，如图4D所示，在平面基板5的主面上整个面地涂覆光粘接剂6，进而，如图4E所示在充填了光粘接剂6的槽1中插入滤光器2。这时，设定滤光器2的大小使得所插入的滤光器2的上部一定突出平面基板5的主面。另外，在第2工序中所形成的槽1的内部也充填光粘接剂6。光粘接剂6通过使用与所使用的光纤4的芯子材料的折射率相同的材料，降低光纤之间的耦合损失。另外，在光粘接剂6的硬化方面，有使用紫外线等的光的方法，加热的方法等。在缩短制造时间方面使用光的方法有利。
接着作为第5工序，如图4F所示，使覆盖层3从槽1突出的滤光器2的两侧移动，从两侧夹持固定。这时，通过沿着槽1的侧面安装覆盖层3的一个侧面，沿着槽1的一个侧面安装、固定滤光器2。由此，由于不需要同时把两片覆盖层3对位，因此使滤光器组件的制作简便。另外，当以某个角度固定滤光器2时，如果固定一方的覆盖层则能够容易地调整该角度。进而起到防止用另一方的覆盖层3夹持时滤光器2断裂的作用。所夹持的部分是滤光器2的突出部分，而为了用覆盖层3夹持，滤光器2的突出量在滤光器2的强度方面，希望至少是覆盖层3的厚度的1/2以上。另外，在滤光器2中发生弯曲的情况下突出量加长，通过扩大用覆盖层3夹持的面积校正弯曲。另外，如果滤光器2的形成基板中使用玻璃等则由于弹性系数大，因此在防止由应力产生的断裂方面有效。
最后作为第6工序如图4G所示，从覆盖层3和平面基板5的一侧或两侧照射紫外线等光或加热硬化完成。这样，通过在粘接剂6中使用光硬化性粘接剂或者热硬化性粘接剂，在固定覆盖层3时由于能够不加入机械压力而粘合，因此光纤4的光轴难以偏移。另外，缩短安装了所需要的时间。
实施方案4
图5A～图5G中示出在把光纤4固定在平面基板5以后，在平面基板5上制作滤光器插入槽1，插入滤光器2的顺序。
作为第1工序，如图5A所示，仅按照所需要的条数精巧地制作用于在平面基板5的主面上固定光纤4的V形槽10。这时，设定V形槽10的角度以及深度使得光纤4成为与平面基板5的主面相同的高度。
作为第2工序，如图5B所示，在V形槽10中设置光纤4。另外，通过在光纤4中使用芯子直径扩大光纤，扩大光纤4的端面的光点尺寸，能够降低光纤4之间的透射损失或者耦合损失，是非常有效的。这时，设置成光纤4的芯子直径在要制作槽1的部分中成为最大。
作为第3工序，如图5C所示，制作对于光纤4仅从直角错开微小角θ，对于滤波器2的厚度充分宽的槽1。这种情况下，同时分割光纤4。为了增大切断、分割了的光纤4的端面的表面粗糙度，在用机械加工形成的情况下，所使用的磨料最好尽可能小。在本发明中使用金刚石砂轮，形成槽1。通过在金刚石磨料中选择#3000以上(平均粒径5μm以下)的材料，可以得到几乎接近于镜面的光纤4的端面。
图5D～图5G所示的以下的工序由于与实施方案3相同因此省略。
实施方案5
图6A～图6F中示出把光纤4固定在一个槽端面上，插入了滤光器2以后对接另一方光纤4的顺序。
作为第1工序、如图6A所示，仅按照所需要的条数精巧地制作用于在平面基板5的主面上固定光纤4的V形槽10。这时，设定V形槽10的角度以及深度使得光纤4成为与平面基板5的主面相同的高度。
作为第2工序，如图6B所示，制作对于滤光器2的厚度充分宽的滤光器插入槽1，使得与V形槽10交差。这时，如实施方案1或2所示，对于光路仅从直角错开微小角θ，从图2A～图2D所示的构造中选择最佳的形状制作槽1。
作为第3工序，如图6C所示，在平面基板5的主面上整个面地涂覆光粘接剂6，仅把输入输出的某一方光纤4设置在V形槽10中。
作为第4工序，如图6D所示，在槽1中插入滤光器2。而且，沿着V形槽10滑动插入另一方光纤4。而且设置成接触到滤光器2，使得尽可能减少滤光器2-光纤4之间的间隙。通过这样做，能够大大地减少由于散射、漫反射、折射率的变化引起的光衰减。这时，通过在光纤4中使用芯子直径扩大光纤，扩大光纤4的端面的光点尺寸，在降低光纤4之间的透射损失或者耦合损失方面有效。另外，设置成使得光纤4的芯子直径在槽1的部分中成为最大。
图6E、图6F所示的以后的工序由于与实施方案3相同因此省略。
实施方案6
图7～图7F示出在平面基板5中已经埋入了光路2时的顺序。
如图7A所示，当在玻璃基板5中埋入扩散玻璃波导或者聚合物波导那样的光路20时，不需要制作V形槽10。如图7B所示，制作对于光路仅从直角偏移微小角θ，对于滤光器2的厚度充分宽的槽1。接着如图7C所示，在平面基板5的上表面涂覆粘接剂6，如图7D所示插入滤光器2。这时，尽可能选择该粘接材料6的折射率接近光路20的折射率的材料。在槽1中插入了滤光器2以后，如图7E所示，使配置在平面基板5上的2个覆盖层3移动夹住滤光器2。这时，固定滤光器2的角度成为规定的角度。如图7F所示，以所要求的角度夹住滤光器2，通过光或者热粘合。
通过使用精巧的V形槽10光轴不偏移地固定光路，能够容易地进行在光路的连接中最重要也是最困难的光轴调整。另外，通过对于光轴从直角偏移微小角θ制作滤光器插入槽，能够防止由于槽壁面等引起的反射、散射光侵入到光路中。所制作的滤光器插入槽通过对于所插入的滤光器选择最适宜的形状，能够更精巧地进行滤光器-光路之间的连接。如此，能够容易而且非常小地制作滤光器组件，解决难以正确地对准光纤插入滤光器，以及难以小型化的问题。

Claims (20)

1.一种滤光器组件，其特征在于：
具备
光路；
具有光路，并具有与上述光路交差那样形成的滤光器插入槽的平面基板；
插入到上述滤光器插入槽中的滤光器；
覆盖上述光路，并且与上述平面基板粘合的覆盖层。
2.根据权利要求1所述的滤光器组件，其特征在于：
上述光路具有交叉部分，
上述滤光器插入槽与上述交差部分交差。
3.根据权利要求1所述的滤光器组件，其特征在于：
上述光路是光纤。
4.根据权利要求1所述的滤光器组件，其特征在于：
上述光路是芯子直径扩大光纤。
5.根据权利要求4所述的滤光器组件，其特征在于：
与上述滤光器插入槽的壁面相面对的上述光路的端面是上述芯子直径扩大光纤的芯子直径扩大部分。
6.根据权利要求1所述的滤光器组件，其特征在于：
上述滤光器插入槽的底部成为从两方的槽壁面到底面具有锥形面的形状。
7.根据权利要求1所述的滤光器组件，其特征在于：
上述滤光器插入槽的底部取为V形。
8.根据权利要求1所述的滤光器组件，其特征在于：
上述滤光器插入槽的底部取为半圆形。
9.根据权利要求1所述的滤光器组件，其特征在于：
上述滤光器插入槽的底部取为从一方的槽壁面到另一方的槽壁面具有锥形面的形状。
10.根据权利要求1所述的滤光器组件，其特征在于：
沿着上述滤光器插入槽的任一方槽壁面固定上述滤光器。
11.根据权利要求1所述的滤光器组件，其特征在于：
具备多个上述覆盖层，用上述多个覆盖层夹住上述滤光器从上述滤光器插入槽突出的部分。
12.根据权利要求11所述的滤光器组件，其特征在于：
上述滤光器从上述滤光器插入槽突出的部分是上述覆盖层的厚度的1/2或以上。
13.根据权利要求1所述的滤光器组件，其特征在于：
上述光路与上述滤光器构成的角度是5度-10度。
14.根据权利要求13所述的滤光器组件，其特征在于：
在上述平面基板的主面上设有上述光路与上述滤光器构成的角度。
15.根据权利要求13所述的滤光器组件，其特征在于：
在与上述平面基板的主面垂直的方向上设有上述光路与上述滤光器构成的角度。
16.根据权利要求1所述的滤光器组件，其特征在于：
上述平面基板与上述覆盖层的至少某一方具有载置上述光路的V形槽。
17.根据权利要求1所述的滤光器组件，其特征在于：
使用光硬化型粘接剂和热硬化型粘接剂的某一种粘合上述覆盖层与上述平面基板。
18.一种滤光器组件的制造方法，其特征在于：
具备
以与在平面基板上形成的光路交差式地形成滤光器插入槽的步骤；
在上述滤光器插入槽中插入滤光器的步骤；
使配置在上述平面基板上的覆盖层移动，用上述覆盖层支撑上述滤光器从上述滤光器插入槽突出的部分的步骤；
把上述覆盖层粘接在上述平面基板上的步骤。
19.根据权利要求18所述的滤光器组件的制造方法，其特征在于：
还具备
在平面基板上形成V形槽的步骤；
在上述V形槽中形成光路的步骤。
20.一种滤光器组件的制造方法，其特征在于：
具备
在平面基板上形成V形槽的步骤；
以与上述V形槽交差式地形成滤光器插入槽的步骤；
以在上述V形槽中各自的一端在上述滤光器插入槽中相一致地形成光路的步骤；
在上述滤光器插入槽中插入滤光器的步骤；
使配置在上述平面基板上的覆盖层移动，用上述覆盖层支撑上述滤光器从上述滤光器插入槽突出的部分的步骤；
把上述覆盖层粘接在上述平面基板上的步骤。
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