JPH0659143A - フィルタ付き導波路 - Google Patents
フィルタ付き導波路Info
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- JPH0659143A JPH0659143A JP21126992A JP21126992A JPH0659143A JP H0659143 A JPH0659143 A JP H0659143A JP 21126992 A JP21126992 A JP 21126992A JP 21126992 A JP21126992 A JP 21126992A JP H0659143 A JPH0659143 A JP H0659143A
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- waveguide
- waveguides
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 導波路パラメータ制御の厳しい制約を受ける
ことなく製造することができるフィルタ付き導波路を提
供する。 【構成】 等しい間隔ｐで並行配置された複数本の導波
路１1 〜１5 から成る第１導波路群Ａと、前記第１導波
路群Ａと同じ本数の導波路２1 〜２5 から成り、各導波
路２1 〜２5 は前記第１導波路群Ａの導波路間の間隔と
同じ間隔ｐで並行配置され、かつ前記第１導波路群Ａの
導波路１1 〜１5 と所定の角度θで交差している第２導
波路群Ｂと、前記第１導波路群Ａの導波路１1 〜１5 と
前記第２導波路群Ｂの導波路２1 〜２5 の全交差点３1
〜３5 を結ぶ直線上に刻設されたスリット溝４と、前記
スリット溝４に埋め込まれたフィルタ５とを備えている
フィルタ付き導波路。 【効果】 フィルタの透過率／反射率の比を変えること
により任意の分岐比が得られるので、製造時における導
波路パラメータを厳密に制御しなくてもよくなる。
ことなく製造することができるフィルタ付き導波路を提
供する。 【構成】 等しい間隔ｐで並行配置された複数本の導波
路１1 〜１5 から成る第１導波路群Ａと、前記第１導波
路群Ａと同じ本数の導波路２1 〜２5 から成り、各導波
路２1 〜２5 は前記第１導波路群Ａの導波路間の間隔と
同じ間隔ｐで並行配置され、かつ前記第１導波路群Ａの
導波路１1 〜１5 と所定の角度θで交差している第２導
波路群Ｂと、前記第１導波路群Ａの導波路１1 〜１5 と
前記第２導波路群Ｂの導波路２1 〜２5 の全交差点３1
〜３5 を結ぶ直線上に刻設されたスリット溝４と、前記
スリット溝４に埋め込まれたフィルタ５とを備えている
フィルタ付き導波路。 【効果】 フィルタの透過率／反射率の比を変えること
により任意の分岐比が得られるので、製造時における導
波路パラメータを厳密に制御しなくてもよくなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はフィルタ付き導波路に関
し、更に詳しくは、導波路パラメータを精密に制御しな
くても製造することができるフィルタ付き導波路に関す
る。
し、更に詳しくは、導波路パラメータを精密に制御しな
くても製造することができるフィルタ付き導波路に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】光通信システムにおいて２入力・２出力
の光分波／合波を行なう場合には、例えば図６で示した
ように、図示しない平面基板の上に２本の導波路ｌ1 ，
ｌ2 を近接配置してエバネッセント結合を可能にした方
向性結合器が用いられる。そして、この方向性結合器を
多芯ファイバに接続して用いる場合には、図７で示した
ように、図６で示した方向性結合器を平面基板の上に所
望の個数だけ並設し、その各導波路のそれぞれを多芯フ
ァイバの心線に接続している。
の光分波／合波を行なう場合には、例えば図６で示した
ように、図示しない平面基板の上に２本の導波路ｌ1 ，
ｌ2 を近接配置してエバネッセント結合を可能にした方
向性結合器が用いられる。そして、この方向性結合器を
多芯ファイバに接続して用いる場合には、図７で示した
ように、図６で示した方向性結合器を平面基板の上に所
望の個数だけ並設し、その各導波路のそれぞれを多芯フ
ァイバの心線に接続している。
【０００３】しかしながら、これらの方向性結合器の場
合、光の分岐比は、形成した導波路の幅や厚み、比屈折
率差などの導波路パラメータに密接に依存するため、あ
る設計波長を用いた時に所望する分岐比を得ようとする
と、上記した導波路パラメータを精密に制御して導波路
を形成することが必要になる。分岐比が使用波長に依存
しない結合器としては、図８で示したように、２個の方
向性結合器Ａ1 ，Ａ3 の間に導波路の光路長を所定量変
化させた位相部Ａ2 を設けたマッハツェンダ干渉計を応
用したものがある。
合、光の分岐比は、形成した導波路の幅や厚み、比屈折
率差などの導波路パラメータに密接に依存するため、あ
る設計波長を用いた時に所望する分岐比を得ようとする
と、上記した導波路パラメータを精密に制御して導波路
を形成することが必要になる。分岐比が使用波長に依存
しない結合器としては、図８で示したように、２個の方
向性結合器Ａ1 ，Ａ3 の間に導波路の光路長を所定量変
化させた位相部Ａ2 を設けたマッハツェンダ干渉計を応
用したものがある。
【０００４】しかし、この干渉計の場合であっても、導
波路パラメータは図６と図７で示した例と同じように精
密に制御されることが必要である。ところで、図６と図
７で示した方向性結合器や図８のマッハツェンダ干渉計
における導波路は通常石英で構成されている。すなわ
ち、例えばＳｉ基板の上に、火炎堆積法によってクラッ
ド，コアになるべき石英微粒子の層を積層したのち全体
を加熱してガラス化し、ついで、そこにドライエッチン
グを施して所定寸法の導波路を形成する。
波路パラメータは図６と図７で示した例と同じように精
密に制御されることが必要である。ところで、図６と図
７で示した方向性結合器や図８のマッハツェンダ干渉計
における導波路は通常石英で構成されている。すなわ
ち、例えばＳｉ基板の上に、火炎堆積法によってクラッ
ド，コアになるべき石英微粒子の層を積層したのち全体
を加熱してガラス化し、ついで、そこにドライエッチン
グを施して所定寸法の導波路を形成する。
【０００５】したがって、これらの製造工程では不可避
的に寸法誤差が生ずることになるが、その誤差を上記し
たような導波路パラメータに要求される精度範囲内にお
さめることは非常に困難であり、そのため製造時の歩留
りは極めて低くなる。
的に寸法誤差が生ずることになるが、その誤差を上記し
たような導波路パラメータに要求される精度範囲内にお
さめることは非常に困難であり、そのため製造時の歩留
りは極めて低くなる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記した問題
を解決し、導波路パラメータとは無関係に所望する分岐
比を得ることができ、したがって製作も容易になるの
で、高い歩留りで製造することができるフィルタ付き導
波路の提供を目的とする。
を解決し、導波路パラメータとは無関係に所望する分岐
比を得ることができ、したがって製作も容易になるの
で、高い歩留りで製造することができるフィルタ付き導
波路の提供を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明においては、等しい間隔で並行配置された複
数本の導波路から成る第１導波路群と、前記第１導波路
群と同じ本数の導波路から成り、各導波路は前記第１導
波路群の導波路間の間隔と同じ間隔で並行配置され、か
つ前記第１導波路群の導波路と所定の角度で交差してい
る第２導波路群と、前記第１導波路群の導波路と前記第
２導波路群の導波路の全交差点を結ぶ直線上に刻設され
たスリット溝と、前記スリット溝に埋め込まれたフィル
タとを備えていることを特徴とするフィルタ付き導波路
が提供される。
に、本発明においては、等しい間隔で並行配置された複
数本の導波路から成る第１導波路群と、前記第１導波路
群と同じ本数の導波路から成り、各導波路は前記第１導
波路群の導波路間の間隔と同じ間隔で並行配置され、か
つ前記第１導波路群の導波路と所定の角度で交差してい
る第２導波路群と、前記第１導波路群の導波路と前記第
２導波路群の導波路の全交差点を結ぶ直線上に刻設され
たスリット溝と、前記スリット溝に埋め込まれたフィル
タとを備えていることを特徴とするフィルタ付き導波路
が提供される。
【０００８】
【作用】本発明のフィルタ付き導波路においては、第１
導波路群の導波路と第２導波路群の導波路が交差する点
を結んだ直線上に、透過率と反射率の比が所望の値とな
るように製作したフィルタが全交差点を共通する状態で
配置される。したがって、導波路の交差点における分岐
比は、そこに配置されているフィルタの透過率／反射率
の比で規定されるようになる。
導波路群の導波路と第２導波路群の導波路が交差する点
を結んだ直線上に、透過率と反射率の比が所望の値とな
るように製作したフィルタが全交差点を共通する状態で
配置される。したがって、導波路の交差点における分岐
比は、そこに配置されているフィルタの透過率／反射率
の比で規定されるようになる。
【０００９】そして、この透過率／反射率の比は、例え
ばフィルタが誘電体多層膜で構成してある場合、その層
の厚み，層の数，層の材料などのファクタを適宜に選択
することにより、所定の値に設定することができる。し
たがって、本発明のフィルタ付き導波路では、導波路パ
ラメータを精密に制御しなくても、所望する分岐比を有
する多数の光カップラを同時に得ることができるように
なる。
ばフィルタが誘電体多層膜で構成してある場合、その層
の厚み，層の数，層の材料などのファクタを適宜に選択
することにより、所定の値に設定することができる。し
たがって、本発明のフィルタ付き導波路では、導波路パ
ラメータを精密に制御しなくても、所望する分岐比を有
する多数の光カップラを同時に得ることができるように
なる。
【００１０】
【実施例】以下に添付図面に基づいて本発明のフィルタ
付き導波路を詳細に説明する。図１は本発明の導波路パ
ターン例の概略を示す平面図である。図において、Ｓｉ
基板のような平面基板（図示せず）の上に、火炎堆積法
とドライエッチングを組合わせることにより、５本の導
波路１1 ，１2 ，１3 ，１4 ，１5 が形成されて第１導
波路群Ａを構成している。ここで、各導波路１1 ，
１2 ，１3 ，１4 ，１5 は互いに等しい間隔ｐを置いて
並行配置されている。図では導波路の数を５本とした
が、本発明においては、導波路本数はこれに限定される
ものではなく、任意の複数本（ｎ本）であってよい。
付き導波路を詳細に説明する。図１は本発明の導波路パ
ターン例の概略を示す平面図である。図において、Ｓｉ
基板のような平面基板（図示せず）の上に、火炎堆積法
とドライエッチングを組合わせることにより、５本の導
波路１1 ，１2 ，１3 ，１4 ，１5 が形成されて第１導
波路群Ａを構成している。ここで、各導波路１1 ，
１2 ，１3 ，１4 ，１5 は互いに等しい間隔ｐを置いて
並行配置されている。図では導波路の数を５本とした
が、本発明においては、導波路本数はこれに限定される
ものではなく、任意の複数本（ｎ本）であってよい。
【００１１】上記した第１導波路群Ａの各導波路に所定
の角度θで交差して、５本の導波路２1 ，２2 ，２3 ，
２4 ，２5 が同じく図示しない平面基板の上に形成され
て第２導波路群Ｂを構成している。ここで、各導波路２
1 ，２2 ，２3 ，２4 ，２5 は互いに並行配置され、こ
れら各導波路の間隔も、第１導波路群Ａの各導波路間の
間隔ｐと同じ間隔になっている。
の角度θで交差して、５本の導波路２1 ，２2 ，２3 ，
２4 ，２5 が同じく図示しない平面基板の上に形成され
て第２導波路群Ｂを構成している。ここで、各導波路２
1 ，２2 ，２3 ，２4 ，２5 は互いに並行配置され、こ
れら各導波路の間隔も、第１導波路群Ａの各導波路間の
間隔ｐと同じ間隔になっている。
【００１２】したがって、導波路１1 と導波路２1 ，導
波路１2 と導波路２2 ，導波路１3と導波路２3 ，導波
路１4 と導波路２4 ，導波路１5 と導波路２5 はいずれ
も角度θで交差し、各導波路の間では交差点３1 ，
３2 ，３3 ，３4 ，３5 がいずれも同一直線上に載る。
このときの交差角θをあまり小さい角度にすると、例え
ば、導波路１1 から交差点３1 に入射した光が、この交
差点で損失したり、または導波路２1 との間でクロスト
ークを生ずることがある。そのため、交差角θとして
は、１０°以上にすることが好ましい。
波路１2 と導波路２2 ，導波路１3と導波路２3 ，導波
路１4 と導波路２4 ，導波路１5 と導波路２5 はいずれ
も角度θで交差し、各導波路の間では交差点３1 ，
３2 ，３3 ，３4 ，３5 がいずれも同一直線上に載る。
このときの交差角θをあまり小さい角度にすると、例え
ば、導波路１1 から交差点３1 に入射した光が、この交
差点で損失したり、または導波路２1 との間でクロスト
ークを生ずることがある。そのため、交差角θとして
は、１０°以上にすることが好ましい。
【００１３】これら交差点を結ぶ線に沿って、所定の幅
と深さをもつ１本のスリット溝４が刻設され、この中に
１枚のフィルタ５が挿入され、このフィルタ５は例えば
光接着剤でフィルタ溝４の中に埋め込まれ固定されてい
る。その状態の１例を、導波路１1 と導波路２1 の交差
点３1 の場合につき、平面図である図２と、図２の III
−III 線に沿う断面図である図３に示す。
と深さをもつ１本のスリット溝４が刻設され、この中に
１枚のフィルタ５が挿入され、このフィルタ５は例えば
光接着剤でフィルタ溝４の中に埋め込まれ固定されてい
る。その状態の１例を、導波路１1 と導波路２1 の交差
点３1 の場合につき、平面図である図２と、図２の III
−III 線に沿う断面図である図３に示す。
【００１４】図３の断面図で示したように、平面基板６
の上には、石英ガラスから成る下部クラッド層７，導波
路１1 （２1 ），上部クラッド層８がこの順序で形成さ
れている。上部クラッド層８の上面から平面基板６に到
るまでには、適宜な幅と深さのスリット溝４が刻設さ
れ、この中にフィルタ５が埋め込まれている。したがっ
て、図２の矢印のように導波路１1 に光を導入すると、
フィルタ５の一方の面５ａが反射面として作用する。
の上には、石英ガラスから成る下部クラッド層７，導波
路１1 （２1 ），上部クラッド層８がこの順序で形成さ
れている。上部クラッド層８の上面から平面基板６に到
るまでには、適宜な幅と深さのスリット溝４が刻設さ
れ、この中にフィルタ５が埋め込まれている。したがっ
て、図２の矢印のように導波路１1 に光を導入すると、
フィルタ５の一方の面５ａが反射面として作用する。
【００１５】このとき、図２で示したように、導波路１
1 と導波路２1 の各軸心の交点ｑよりも、スリット溝４
の幅方向における中心を光の下流側に偏倚させて、フィ
ルタ５の面５ａをこのフィルタ５の正規の反射面として
機能させることが好ましい。フィルタとしては、例え
ば、所定厚みのガラス基板の上に、ＴｉＯ2 とＳｉＯ 2
の薄膜を積層した誘電体多層膜フィルタをあげることが
できる。このフィルタは、薄膜の厚み、積層数などを変
えることにより、透過率／反射率の比を適宜な値に設定
することができる。
1 と導波路２1 の各軸心の交点ｑよりも、スリット溝４
の幅方向における中心を光の下流側に偏倚させて、フィ
ルタ５の面５ａをこのフィルタ５の正規の反射面として
機能させることが好ましい。フィルタとしては、例え
ば、所定厚みのガラス基板の上に、ＴｉＯ2 とＳｉＯ 2
の薄膜を積層した誘電体多層膜フィルタをあげることが
できる。このフィルタは、薄膜の厚み、積層数などを変
えることにより、透過率／反射率の比を適宜な値に設定
することができる。
【００１６】この導波路は次のように機能する。例えば
図２において、第１導波路群Ａの導波路１1 を矢印ｒ1
のように伝搬してきた光は、フィルタ５の面５ａ（反射
面）で第２導波路群Ｂの導波路２1 と交差する。そし
て、点ｑから反射面５ａに立てた垂線に対し、導波路１
1 と導波路２1 とはいずれも等しい角度θ／２で傾いて
いるので、ｒ1 で示した入力光は、フィルタ５の光学特
性である透過率／反射率の比に対応して、一部は反射面
５ａで反射して矢印ｒ2 で示した反射光として導波路２
1 と結合し、残りは矢印ｒ3で示した透過光として導波
路１1 に再結合する。すなわち、交差点３1 において
は、配置したフィルタ５の透過率／反射率の比に応じた
割合の分岐比が実現する。上記した機能は他の交差点３
2 ，３3 ，３4 ，３5 においても同じように実現する。
図２において、第１導波路群Ａの導波路１1 を矢印ｒ1
のように伝搬してきた光は、フィルタ５の面５ａ（反射
面）で第２導波路群Ｂの導波路２1 と交差する。そし
て、点ｑから反射面５ａに立てた垂線に対し、導波路１
1 と導波路２1 とはいずれも等しい角度θ／２で傾いて
いるので、ｒ1 で示した入力光は、フィルタ５の光学特
性である透過率／反射率の比に対応して、一部は反射面
５ａで反射して矢印ｒ2 で示した反射光として導波路２
1 と結合し、残りは矢印ｒ3で示した透過光として導波
路１1 に再結合する。すなわち、交差点３1 において
は、配置したフィルタ５の透過率／反射率の比に応じた
割合の分岐比が実現する。上記した機能は他の交差点３
2 ，３3 ，３4 ，３5 においても同じように実現する。
【００１７】図１〜図３に示した実施例において、平面
基板６として直径７6.２mmφ，厚み１mmのＳｉ基板を用
い、この上に、厚み２５μｍの下部クラッド層７，幅８
μｍ，厚み８μｍの導波路１1 〜１5 ，２1 〜２5 ，厚
み２５μｍの上部クラッド層８を形成した。なお、導波
路とクラッドの比屈折率差を0.３％にした。また導波路
１1 〜１5 ，導波路２1 〜２5 の各導波路間の間隔ｐは
いずれも２５０μｍとし、それぞれの導波路の交差角θ
は３０°とした。
基板６として直径７6.２mmφ，厚み１mmのＳｉ基板を用
い、この上に、厚み２５μｍの下部クラッド層７，幅８
μｍ，厚み８μｍの導波路１1 〜１5 ，２1 〜２5 ，厚
み２５μｍの上部クラッド層８を形成した。なお、導波
路とクラッドの比屈折率差を0.３％にした。また導波路
１1 〜１5 ，導波路２1 〜２5 の各導波路間の間隔ｐは
いずれも２５０μｍとし、それぞれの導波路の交差角θ
は３０°とした。
【００１８】第１導波路群Ａの導波路１1 〜１5 ，第２
導波路群の導波路２1 〜２5 はいずれも、カットオフ波
長が1.２μｍであり、それ以上の波長の光に対してはシ
ングルモード導波路として機能する。ついで、各導波路
の交差点３1 〜３5 を結ぶ直線上に、全体の幅が２０μ
ｍ，深さ３００μｍのスリット溝４をブレードの厚みが
２０μｍのダイシングソーで刻設した。なお、そのスリ
ット溝４は、図２の点ｑと面５ａとの距離を５μｍ、他
の面５ｂとの距離を１５μｍとなるように幅方向の中心
をずらして形成した。
導波路群の導波路２1 〜２5 はいずれも、カットオフ波
長が1.２μｍであり、それ以上の波長の光に対してはシ
ングルモード導波路として機能する。ついで、各導波路
の交差点３1 〜３5 を結ぶ直線上に、全体の幅が２０μ
ｍ，深さ３００μｍのスリット溝４をブレードの厚みが
２０μｍのダイシングソーで刻設した。なお、そのスリ
ット溝４は、図２の点ｑと面５ａとの距離を５μｍ、他
の面５ｂとの距離を１５μｍとなるように幅方向の中心
をずらして形成した。
【００１９】一方、直径２０mm，厚み５mmの石英ガラス
板を用意し、この板の上にＳｉＯ2とＴｉＯ2 の多層薄
膜を成膜し、ついで全体を研磨したのち切断して、縦１
mm，横2.５mm，厚み１８μｍの誘電体多層膜フィルタ５
を製造した。このフィルタ５は、波長1.２〜1.６μｍの
光に対し、入射角が１５°のときに、透過率／反射率の
比が８０／２０になる光学特性を備えている。
板を用意し、この板の上にＳｉＯ2とＴｉＯ2 の多層薄
膜を成膜し、ついで全体を研磨したのち切断して、縦１
mm，横2.５mm，厚み１８μｍの誘電体多層膜フィルタ５
を製造した。このフィルタ５は、波長1.２〜1.６μｍの
光に対し、入射角が１５°のときに、透過率／反射率の
比が８０／２０になる光学特性を備えている。
【００２０】このフィルタ５を前記したスリット溝４の
中に挿入し、エポキシ系接着剤を用いてスリット溝内に
固定し、図１で示したような導波路パターンを構成し
た。このフィルタ付き導波路では、各交差点における分
岐比は配置されているフィルタ５の透過率／反射率の比
になる。そして、その分岐比を除外した交差点における
過剰損失は、１ヶ所の交差点において、反射率で0.８d
B, 透過率で0.３dBであり、全体ではそれぞれ4.０dB，
1.５dBであった。
中に挿入し、エポキシ系接着剤を用いてスリット溝内に
固定し、図１で示したような導波路パターンを構成し
た。このフィルタ付き導波路では、各交差点における分
岐比は配置されているフィルタ５の透過率／反射率の比
になる。そして、その分岐比を除外した交差点における
過剰損失は、１ヶ所の交差点において、反射率で0.８d
B, 透過率で0.３dBであり、全体ではそれぞれ4.０dB，
1.５dBであった。
【００２１】図４は、第１導波路群Ａの導波路本数が８
本，第２導波路群Ｂの導波路本数が８本の場合における
実施例を示す平面パターン図である。また図５は、第１
導波路群Ａの各導波路と第２導波路Ｂの各導波路を直交
配置した場合を示す平面パターン図である。ここで、フ
ィルタ５として、波長1.３μｍの光は１００％透過し、
波長1.５５μｍの光は１００％反射するものを用い、導
波路に関するパラメータは図１の実施例と同じにしたと
ころ、このフィルタ付き導波路は図１の実施例のものと
同様の過剰損失特性を示した。
本，第２導波路群Ｂの導波路本数が８本の場合における
実施例を示す平面パターン図である。また図５は、第１
導波路群Ａの各導波路と第２導波路Ｂの各導波路を直交
配置した場合を示す平面パターン図である。ここで、フ
ィルタ５として、波長1.３μｍの光は１００％透過し、
波長1.５５μｍの光は１００％反射するものを用い、導
波路に関するパラメータは図１の実施例と同じにしたと
ころ、このフィルタ付き導波路は図１の実施例のものと
同様の過剰損失特性を示した。
【００２２】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明の
フィルタ付き導波路は、配置したフィルタの透過率／反
射率の比によって分岐比が規定されるので、製造時にお
いて従来のように導波路パラメータを精密に制御するこ
とを必要としない。また、導波路の本数が多くなって
も、それらの交差点に１枚のフィルタを配置するだけで
よいので、集積化が容易になる。
フィルタ付き導波路は、配置したフィルタの透過率／反
射率の比によって分岐比が規定されるので、製造時にお
いて従来のように導波路パラメータを精密に制御するこ
とを必要としない。また、導波路の本数が多くなって
も、それらの交差点に１枚のフィルタを配置するだけで
よいので、集積化が容易になる。
【図１】本発明の実施例導波路を示す概略平面パターン
図である。
図である。
【図２】図１における交差点３1 近辺を示す拡大平面図
である。
である。
【図３】図２の III−III 線に沿う断面図である。
【図４】本発明の他の実施例を示す概略平面パターン図
である。
である。
【図５】本発明の更に別の実施例を示す概略平面パター
ン図である。
ン図である。
【図６】方向性結合器の導波路パターン図である。
【図７】複数の方向性結合器を並列配置した導波路パタ
ーン図である。
ーン図である。
【図８】マッハツェンダ干渉計を示す導波路パターン図
である。
である。
Ａ 第１導波路群 １1 ，１2 ，１3 ，１4 ，１5 第１導波路群Ａの導波
路 Ｂ 第２導波路群 ２1 ，２2 ，２3 ，２4 ，２5 第２導波路群Ｂの導波
路 Ｃ 第１導波路群Ａと第２導波路群Ｂの交差点 ３1 ，３2 ，３3 ，３4 ，３5 交差点 ４ スリット溝 ５ フィルタ ５ａ フィルタ５の一方の面（反射面） ５ｂ フィルタ５の他方の面 ６ 平面基板 ７ 下部クラッド ８ 上部クラッド
路 Ｂ 第２導波路群 ２1 ，２2 ，２3 ，２4 ，２5 第２導波路群Ｂの導波
路 Ｃ 第１導波路群Ａと第２導波路群Ｂの交差点 ３1 ，３2 ，３3 ，３4 ，３5 交差点 ４ スリット溝 ５ フィルタ ５ａ フィルタ５の一方の面（反射面） ５ｂ フィルタ５の他方の面 ６ 平面基板 ７ 下部クラッド ８ 上部クラッド
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大山 功 東京都千代田区丸の内２丁目６番１号 古 河電気工業株式会社内 (72)発明者 三川 泉 東京都千代田区内幸町一丁目１番６号 日 本電信電話株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】 等しい間隔で並行配置された複数本の導
波路から成る第１導波路群と、前記第１導波路群と同じ
本数の導波路から成り、各導波路は前記第１導波路群の
導波路間の間隔と同じ間隔で並行配置され、かつ前記第
１導波路群の導波路と所定の角度で交差している第２導
波路群と、前記第１導波路群の導波路と前記第２導波路
群の導波路の全交差点を結ぶ直線上に刻設されたスリッ
ト溝と、前記スリット溝に埋め込まれたフィルタとを備
えていることを特徴とするフィルタ付き導波路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21126992A JPH0659143A (ja) | 1992-08-07 | 1992-08-07 | フィルタ付き導波路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21126992A JPH0659143A (ja) | 1992-08-07 | 1992-08-07 | フィルタ付き導波路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0659143A true JPH0659143A (ja) | 1994-03-04 |
Family
ID=16603125
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21126992A Pending JPH0659143A (ja) | 1992-08-07 | 1992-08-07 | フィルタ付き導波路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0659143A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003032032A1 (fr) * | 2001-10-04 | 2003-04-17 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Module filtre optique et procede de fabrication |
| US7457497B2 (en) | 2004-08-05 | 2008-11-25 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Optical multiplexer/demultiplexer and optical communication system |
-
1992
- 1992-08-07 JP JP21126992A patent/JPH0659143A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003032032A1 (fr) * | 2001-10-04 | 2003-04-17 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Module filtre optique et procede de fabrication |
| US7044649B2 (en) | 2001-10-04 | 2006-05-16 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical filter module, and manufacturing method thereof |
| US7457497B2 (en) | 2004-08-05 | 2008-11-25 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Optical multiplexer/demultiplexer and optical communication system |
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