CN1312951A - 具有优异的发光特性的等离子体显示板以及制造这种等离子体显示板的方法和设备 - Google Patents

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Abstract

一种PDP具有优异的发光特性和彩色再现性,这是通过将光的色度坐标y(CIE色别标志)设定为0.08或更低,并且优选设定为0.07或更低、0.06或更低,使得光的色温能设定为7000K或更高,并且优选设定为8000K或更高、9000K或更高或者10000K或更高来实现的。该PDP是由以下方法制造的:其中,加热荧光物质的工艺,例如,荧光物质烘焙工艺、封接材料暂时烘焙工艺、粘结工艺和抽气工艺是在干燥气体气氛中进行的,或者是在干燥气体以低于大气压强的压强循环的气氛中进行的。该PDP也可以由以下方法制造:其中,在前后面板粘结在一起之后开始从面板之间的内部空间中抽出气体的抽气工艺,同时不将面板冷却到室温;或者由以下方法制造:其中,在前后面板暂时烘焙之后,开始粘结面板的工艺,同时不将面板冷却到室温。这就减少了加热所需的时间和能量,从而降低了制造成本。

Description

具有优异的发光特性的等离子体显示板 以及制造这种等离子体显示板的方法和设备
发明领域
本发明涉及一种等离子体显示板，它用作彩色电视接收机等的显示器，并且本发明还涉及制造这种等离子体显示板的方法。
发明背景
近来，作为计算机和电视机中使用的大尺寸的、薄的和重量轻的显示器，等离子体显示板(PDP)已受到了关注，并且对高清晰度PDP的需要也增加了。
图29是显示常规的AC型PDP的剖视图。
在该图中，一个前玻璃基板101被由以下部分顺序组成的叠置结构所覆盖：显示电极102；介电玻璃层103；和电介质保护层104，其中电介质保护层104是由氧化镁(MgO)制成的(例如，可参见日本公开专利申请No.5-342991)。
地址电极106和分隔壁107形成在一个后玻璃基板105上。各种颜色(红、绿和蓝色)的荧光物质层110-112形成在分隔壁107之间的空间中。
前玻璃基板101被放置在后玻璃基板105上的分隔壁107上，以形成空间。放电气体被填充到该空间中，从而形成放电空间109。
在具有这种构造的上述PDP中，当放电空间109中产生放电时，发射出真空紫外线(其波长主要在147nm)。每种颜色的荧光物质层110-112受到所发射的真空紫外线的激发，形成彩色显象。
上述PDP是按以下程序制造的。
通过将银浆料涂敷在前玻璃基板101的表面上并且烘焙所涂敷的银浆料，制成显示电极102。通过将介电玻璃浆料涂敷在这些(显示电极)层的表面上并且烘焙所涂敷的介电玻璃浆料，形成介电玻璃层103。随后，在介电玻璃层103上形成保护层104。
通过将银浆料涂敷在后玻璃基板105的表面上并且烘焙所涂敷的银浆料，制成地址电极106。通过将玻璃浆料按一定间距的条形涂敷在这些(地址电极)层的表面上并且烘焙所涂敷的玻璃浆料，形成分隔壁107。通过将每种颜色的荧光物质浆料涂敷在分隔壁之间的空间中，并且在约500℃烘焙所涂敷的浆料来去除浆料中的树脂和其它组分，由此形成荧光物质层110-112。
在烘焙了荧光物质之后，将封接玻璃料涂敷在后玻璃基板105的外部区域上，随后在约350℃烘焙涂敷的封接玻璃料来去除在所涂敷的封接玻璃料中的树脂和其它组分。(玻璃料暂时烘焙工艺)
随后，将前玻璃基板101和后玻璃基板105放置在一起，使显示电极102垂直于地址电极106，并且电极102面对电极106。然后，通过将基板加热到高于封接玻璃的软化点的温度(约450℃)，使基板粘结在一起。(粘结工艺)
在从基板之间的内部空间(在前后基板之间形成的空间，荧光物质与该空间接触)抽出气体的同时，将粘结起来的显示板加热到约350℃(抽气工艺)。在抽气工艺完成之后，向内部空间供给放电气体达到一定的压强(通常在300乇-500乇范围内)。
按上述方法制造的PDP的一个问题是如何提高亮度和其它发光特性。
为了解决这个问题，已对荧光物质本身进行了改进。不过，需要进一步改进PDP的发光特性。
越来越多的PDP采用上述的制造方法制造。不过，PDP的制造成本明显高于CRT的制造成本。因此，PDP的另一问题是降低制造成本。
降低成本的多种可能的方案之一是减少程序(工时)和在需要加热的几个工艺中消耗的能量。
发明概述
因此，本发明的一个目的是要提供一种PDP，它具有高的发光效率和优异的彩色再现性。本发明的另一个目的是要提供一种PDP制造方法，其中暂时烘焙工艺、粘结工艺和抽气工艺是在较短的工时内以较低的能耗进行的，这样就降低了制造成本。
上述第一个目的是通过将当光从全部单元发射出时光的色温设定为7000K或更高实现的，并且优选将色温设定为8000K或更高、9000K或更高或者10000K或更高。
为了提高白色平衡时的色温，提高从蓝色荧光物质层发射的光的色度是重要的。这可以通过将当光只从蓝色单元发射时或者当真空紫外线照射蓝色单元使蓝色荧光物质激发时光的色度坐标y(CIE色别标志)设定为0.08或更低来实现，并且优选将色度坐标y设定为0.07或更低、0.06或更低。或者，这可以通过将当光只从蓝色单元发射时光谱的峰值波长设定为455nm或更短来实现，并且优选将光谱的峰值波长设定为453nm或更短、451nm或更短。
当从蓝色荧光物质层发射的光的色度改善时，彩色再现性也可以改善。
从蓝色荧光物质层发射的光的色度得到改善的上述PDP是由这样的PDP制造方法制造的：其中，加热荧光物质的工艺(例如，荧光物质烘焙工艺、封接材料暂时烘焙工艺、粘结工艺和抽气工艺)是在干燥气体气氛中进行的，或者是在干燥气体以低于大气压强的压强循环的气氛中进行的。
在根据常规PDP制造方法的制造过程中，本发明的发明人发现：当荧光物质在各工艺中被加热时，蓝色荧光物质会因加热而(性能)变劣，并且这种变劣导致所发射的光的发光强度和色度降低。本发明人提出了上述的本发明的PDP制造方法，并且使得防止蓝色荧光物质因加热而变劣成为可能。
这里，“干燥气体”是指所包含的蒸汽的分压强低于常规分压强的气体。优选使用被干燥处理的空气(干燥空气)。
希望将干燥气体气氛中蒸汽的分压强设定为15乇或更低，并且优选设定为10乇或更低、5乇或更低、1乇或更低、0.1乇或更低。希望将干燥气体的露点温度设定为20℃或更低，并且优选设定为10℃或更低、0℃或更低、-20℃或更低、-40℃或更低。
从蓝色荧光物质层发射的光的色度得到改善的上述PDP也可以由这样的PDP制造方法制造：其中，在前后面板相互面对的侧面之间的空间开放的同时，对前后面板进行暂时烘焙；在干燥气体在面板之间的内部空间中循环的同时，使前后面板粘结；或者，在前后面板相互面对的侧面之间的空间开放的同时进行预加热之后，使前后面板粘结在一起。
本发明的第一个和第二个目的均可以通过以下方法实现：其中，在通过维持粘结温度借助面板之间的封接材料将前面板和后面板粘结在一起之后，开始抽气工艺，同时不将面板从粘结温度冷却到室温，并且从面板之间的内部空间中抽出气体；或者通过以下方法实现：其中，在通过维持暂时粘结温度将前面板和后面板以及其间的封接材料暂时烘焙之后，开始粘结工艺，同时不将面板从暂时粘结温度冷却到室温。
在实际的制造过程中，这些加热工艺中的每一个都是使用一个加热炉进行的。通常，封接材料暂时烘焙工艺、粘结工艺和抽气工艺是分开进行的，并且在这些工艺之间的每一间隔中都将面板冷却到室温。采用这种程序，为了在每个工艺中加热面板需要很长的时间并要消耗大量的能量。相比之下，在本发明中，这些工艺是在不需要将温度降低到室温的情况下进行的。这就减少了加热所需的时间和能量。
附图简述
图1是实施例1的AC型放电PDP的主要部分的剖视图。
图2显示出一种PDP显示设备，它包括图1中所示的PDP和一个连接至PDP的激励电路。
图3显示出实施例1中使用的一种输送带型加热设备。
图4显示出实施例1中使用的封接加热设备的构造。
图5显示出从蓝色荧光物质发射的光的相对发光强度的测量结果，这些结果是当在所含蒸汽的分压强不同的空气中烘焙时测量得到的。
图6显示出从蓝色荧光物质发射的光的色度坐标y的测量结果，这些结果是当在所含蒸汽的分压强不同的空气中烘焙时测量得到的。
图7A-7C显示出从蓝色荧光物质解吸的H2O气中的分子数量的测量结果。
图8-16显示出实施例2的具体例子，这些例子涉及到后玻璃基板的外部区域上气孔的位置以及封接玻璃料涂敷的方式。
图17和18显示出已变劣的发光特性的恢复效果与蒸汽的分压强之间的关系，其中蓝色荧光物质层已变劣并且随后在空气中再次进行了烘焙。
图19显示出在实施例5的粘结工艺中使用的粘结设备的构造。
图20是显示图19中所示的粘结设备的加热炉的内部构造的立体图。
图21A-21C显示出在预加热工艺和粘结工艺中粘结设备的操作。
图22显示出实施例5的试验结果，其中测量了在(加热)时间内从MgO层释放出的蒸汽量。
图23显示出实施例5中的粘结设备的一种变型。
图24A-24C显示出根据实施例5中的粘结设备的另一种变型进行的操作。
图25显示出只从实施例5的PDP的蓝色单元发射的光谱。
图26是CIE色度图，其上显示出实施例5的和比较例的PDP的蓝色附近的彩色再现区域。
图27A、27B和27C显示出在暂时烘焙工艺到抽气工艺过程中使用实施例6的粘结设备进行的操作。
图28显示出在制造实施例6的显示板时在暂时烘焙工艺、粘结工艺和抽气工艺中使用的温度分布。
图29是显示常规的AC型PDP的剖视图。
优选实施方案描述
<实施例1>
图1是本实施例中的AC型放电PDP的主要部分的剖视图。这个图显示出位于PDP的中心的显示区域。
该PDP包括：前面板10，它是由前玻璃基板11、电介质层13和其上形成的保护层14构成的，基板11带有显示电极12(其分为扫描电极12a和维持电极12b)；以及后面板20，它是由后玻璃基板21和其上形成的电介质层23构成的，基板21带有地址电极22。前面板10和后面板20这样设置：显示电极12和地址电极22彼此面对。前面板10和后面板20之间的空间由条形的分隔壁24分成多个放电室30。每个放电室被填充有放电气体。
荧光物质层25形成在后面板20上，使得每个放电室30具有红、绿和蓝中的一种颜色的荧光物质层，并且荧光物质层是按颜色的顺序重复排列的。
在该显示板中，显示电极12和地址电极22分别形成为条形，显示电极12垂直于分隔壁24，地址电极22平行于分隔壁24。在显示电极12和地址电极22的每一交叉处形成一个单元，此单元具有红、绿和蓝中的一种颜色。
地址电极22是由金属(例如银或Cr-Cu-Cr)制成的。为了保持低的显示电极电阻并且保证单元中大的放电面积，希望每个显示电极12由多个总线电极组成，这些总线电极(由银或Cr-Cu-Cr制成)具有小的宽度，它们重叠在一个透明电极上，透明电极具有大的宽度并且由诸如ITO、SnO2和ZnO之类的导电金属氧化物制成。不过，显示电极12可以象地址电极22一样由银制成。
电介质层13是由电介质材料构成的一个层，它覆盖前玻璃基板11的包括显示电极12的一侧的整个表面。电介质层通常是由低熔点铅玻璃制成的，虽然它也可以由低熔点铋玻璃或者低熔点铅玻璃和低熔点铋玻璃的叠层制成。
保护层14是由氧化镁制成的，它是一个覆盖电介质层13的整个表面的薄层。
电介质层23类似于电介质层13，但它还混合有TiO2颗粒，以便该层还起到可见光反射层的作用。
分隔壁24是由玻璃制成的，它形成为在后面板20的电介质层23的表面上突出来。
以下是用于本实施例的荧光物质：
蓝色荧光物质BaMgAl10O17∶Eu
绿色荧光物质Zn2SiO4∶Mn
红色荧光物质Y2O3∶Eu
这些荧光物质的成分与常规的PDP中所用材料的成分是基本相同的。不过，与常规情况相比，本实施例的荧光物质发射出更好色彩的光。这是因为荧光物质由于制造工艺中所加的热量而变劣。这里，发射更好色彩的光意味着：从蓝色单元发射的光的色度坐标y小(即发射的蓝色光的峰值波长短)，并且蓝色附近的色彩再现区域宽。
在典型的常规PDP中，当只有蓝色单元发光时，从蓝色单元发射的光的色度坐标y(CIE色别标志)为0.085或更大(即，发射光的光谱的峰值波长为456nm或更长)，并且在没有彩色校正的情况下，白色平衡时的色温(当从蓝色、红色和绿色单元都发光而形成白色显象时的色温)约为6000K。
作为提高白色平衡时的色温的技术，以下技术是已知的：仅仅将蓝色单元的宽度(分隔壁的间距)设定为大的值，并且蓝色单元的面积设定为比红色或绿色单元大的值。不过，要根据这种技术将色温设定为7000K或更高，蓝色单元的面积应当是红色或绿色单元的面积的1.3倍或更大。
相比之下，在本实施例的PDP中，当只有蓝色单元发光时，从蓝色单元发射的光的色度坐标y为0.08或更小，发射光的光谱的峰值波长为455nm或更短。在这些条件下，在没有彩色校正的情况下，白色平衡时的色温可以提高到7000K或更高。另外，根据制造工艺中的条件，可以进一步减小色度坐标y，或者在没有彩色校正的情况下，将白色平衡时的色温提高到10000K或更高。
如上所述，随着蓝色单元(发射的光)的色度坐标y变小，所发射的蓝光的峰值波长变短。这将在后面的实施例3和5中予以说明。
后面的实施例还将说明：为什么随着蓝色单元(发射的光)的色度坐标y变小，色彩再现区域变大；蓝色单元发射的光的色度坐标y与在没有彩色校正的情况下白色平衡时的色温是怎样的关系。
在本实施例中，假设该PDP用于40英寸的高清晰度TV，那么电介质层13的厚度设定为大约20μm，保护层14的厚度设定为大约0.5μm。另外，分隔壁24的高度设定为0.1mm-0.15mm，分隔壁的间距设定为0.15mm-0.3mm，荧光物质层25的厚度设定为5μm-50μm。放电气体为Ne-Xe气体，其中Xe占50％的体积。充气压强设定为500乇-800乇。
该PDP是按以下过程激励的：如图2中所示，一个显示板驱动激励电路100连接至PDP。通过在要发光单元的显示电极12a和地址电极22之间的区域施加一定的电压，形成地址放电。随后，通过在显示电极12a和12b之间的区域施加一个脉冲电压，形成维持放电。当放电进行时，单元发射出紫外线。所发射的紫外线被荧光物质层25转换为可见光。通过以上过程，当单元发光时，图象就显示在PDP上。
制造PDP的过程
以下是对具有上述构造的PDP的制造过程的说明。
制造前面板
前面板10是这样制造的：在前玻璃基板11上形成显示电极12；用电介质层13覆盖显示电极；随后在电介质层13的表面上形成保护层14。
显示电极12是这样制造的：用丝网印刷方法将银浆料涂敷在前玻璃基板11的表面上，随后烘焙涂敷的银浆料。电介质层13是这样形成的：涂敷铅玻璃材料(例如，70重量％的氧化铅(PbO)、15重量％的氧化硼(B2O3)和15重量％的氧化硅(SiO2))，随后烘焙涂敷的材料。由氧化镁(MgO)构成的保护层14是采用真空汽相淀积等方法形成在电介质层13上的。
制造后面板
后面板20是这样制造的：在后玻璃基板21上形成地址电极22；用电介质层23(可见光反射层)覆盖地址电极；随后在电介质层23的表面上形成分隔壁30。
地址电极22是这样制造的：用丝网印刷方法将银浆料涂敷在后玻璃基板21的表面上，随后烘焙涂敷的银浆料。电介质层23是这样形成的：将含有TiO2颗粒和介电玻璃颗粒的浆料涂敷在地址电极22的表面上，随后烘焙涂敷的浆料。分隔壁30是这样形成的：用丝网印刷方法将包含玻璃颗粒的浆料按一定间距重复地涂敷，随后烘焙涂敷的浆料。
在制成后面板20之后，制备红、绿和蓝色的荧光物质浆料，并且用丝网印刷方法将这些浆料涂敷到分隔壁之间的空间中。荧光物质层25是通过在空气中烘焙涂敷的浆料而形成的，正如后面将描述的。
通过以下过程制备每种颜色的荧光物质浆料。
蓝色荧光物质(BaMgAl10O17∶Eu)是通过以下步骤得到的。首先，按Ba∶Mg∶Al的原子比为1∶1∶10的比例将碳酸钡(BaCO3)、碳酸镁(MgCO3)和氧化铝(α-Al2O3)这些材料配制成混合物。下一步，将一定量的氧化铕(Eu2O3)添加到上述混合物中。随后，将适量的亚麻(flax)(AlF2,BaCl2)与这个混合物在研磨机中混合。将所得到的混合物在1400℃-1650℃的温度下在还原气氛(H2,N2)中烘焙一定的时间周期(例如0.5小时)。
红色荧光物质(Y2O3∶Eu)是通过以下步骤得到的。首先，将一定量的氧化铕(Eu2O3)添加到氢氧化铱(Y2(OH)3)中。随后，将适量的亚麻与这个混合物在研磨机中混合。将所得到的混合物在1200℃-1450℃的温度下在空气中烘焙一定的时间周期(例如1小时)。
绿色荧光物质(Zn2SiO4∶Mn)是通过以下步骤得到的。首先，按Zn∶Si的原子比为2∶1的比例，将氧化锌(ZnO)和氧化硅(SiO2)这些材料配制成混合物。下一步，将一定量的氧化锰(Mn2O3)添加到上述混合物中。随后，将适量的亚麻与这个混合物在研磨机中混合。将所得到的混合物在1200℃-1350℃的温度下在空气中烘焙一定的时间周期(例如0.5小时)。
随后，对于按上述方式制造的每种颜色的荧光物质进行粉碎和筛选，以得到对应于每种颜色的具有特定粒度分布的颗粒。通过将颗粒与粘合剂和溶剂混合，就得到了每种颜色的荧光物质浆料。
荧光物质层25也可以采用除丝网印刷之外的方法形成。例如，荧光物质层可以这样形成：使一个移动的喷嘴喷射荧光物质油墨；或者，制备一张包含荧光物质的光敏树脂薄片，将此薄片附着在后玻璃基板21的包括分隔壁24的那一侧的表面上，进行光刻构图，然后对附着的薄片进行显影去除所附着的薄片的不需要部分。
粘结前面板和后面板，抽真空和填充放电气体
在按上述方式制成的前面板10和后面板20之一或两者上涂敷封接玻璃料，形成封接玻璃层。对封接玻璃层进行暂时烘焙，以从玻璃料中去除树脂和其它成分，这将在后面详细说明。随后，将前面板10和后面板20如此放置在一起：显示电极12和地址电极22相互面对并且相互垂直。然后，对前面板10和后面板20进行加热，以便它们通过软化的封接玻璃层粘结在一起。这将在后面详细说明。
烘焙粘结的面板(在350℃温度下烘焙3小时)，同时从所粘结的面板之间的空间中排出空气，以形成真空。在具有上述成分的放电气体按一定的压强填充到所粘结面板之间的空间中之后，PDP就完成了。
烘焙荧光物质、暂时烘焙封接玻璃料以及粘结前面板和后面板工艺的详细说明
下面将详细地说明烘焙荧光物质、暂时烘焙封接玻璃料以及粘结前面板和后面板的工艺。
图3显示出一种输送带型加热设备，该设备用于烘焙荧光物质和暂时烘焙玻璃料。
加热设备40包括：一个加热炉41，用于加热基板；一个输送带42，用于在加热炉41中输送基板；以及一个气体导入管43，用于将保护气体(atmospheric gas)导入加热炉41中。加热炉41内部沿加热输送带设置有多个加热器(图中未示出。)
通过调整在入口44和出口45之间沿输送带设置的多个加热器附近的温度，可以采用任意的温度分布对基板进行加热。另外，加热炉可以填充通过气体导入管43注入的保护气体。
干燥空气可以用作保护气体。干燥空气是这样形成的：使空气通过一个气体干燥器(图中未示出)，该干燥器将空气冷却到低温(零下10℃)；使冷却的空气中的蒸汽冷凝。通过这个过程降低了冷却空气中的蒸汽量(分压强)，并且最后得到了干燥空气。
为了烘焙荧光物质，在加热设备40中，在干燥空气中，对其上形成有荧光物质层25的后玻璃基板21进行烘焙(在最高温度520℃下烘焙10分钟)。从以上说明可以理解，通过在干燥气体中烘焙荧光物质，减轻了在烘焙荧光物质的过程中由于加热和环境中的蒸汽造成的变劣。
干燥空气中蒸汽的分压强越低，对于减轻由于加热而造成的荧光物质变劣的效果越好。因此，希望蒸汽的分压强为15乇或更低。当蒸汽的分压强被设定为较低的值，例如10乇或更低、5乇或更低、1乇或更低、0.1乇或更低时，上述效果会变得更显著。
蒸汽的分压强和露点温度之间存在一定的关系。因此，以上说明可以通过用露点温度替代蒸汽的分压强来改写。即，露点温度设定得越低，对于减轻由于加热而造成的荧光物质变劣的效果越好。因此，希望干燥气体的露点温度设定为20℃或更低。当干燥气体的露点温度被设定为较低的值，例如0℃或更低、-20℃或更低、-40℃或更低时，上述效果会变得更显著。
为了暂时烘焙封接玻璃料，在加热设备40中，在干燥空气中，对其上形成有封接玻璃层25的前玻璃基板11或后玻璃基板21进行烘焙(在最高温度350℃下烘焙30分钟)。
就象上述烘焙工艺中那样，在这个暂时烘焙工艺中，希望蒸汽的分压强为15乇或更低。另外，当蒸汽的分压强被设定为较低的值，例如10乇或更低、5乇或更低、1乇或更低、0.1乇或更低时，上述效果会变得更显著。换句话说，希望干燥气体的露点温度设定为20℃或更低，并且更希望此温度设定为更低的值，例如0℃或更低、-20℃或更低、-40℃或更低。
图4显示出封接加热设备的构造。
封接加热设备50包括：一个加热炉51，用于加热基板(在本实施例中为前面板10和后面板20)；一个导管52a，用于将保护气体从加热炉51的外部导入前面板10和后面板20之间的空间；以及导管52b，用于将保护气体从前面板10和后面板20之间的空间引出到加热炉51的外部。导管52a连接至一个气源53，气源53用于供给作为保护气体的干燥空气。导管52b连接至一个真空泵54。为了调整通过导管的气体的流速，导管52a和52b上分别安装有调节阀55a和55b。
采用具有上述构造的封接加热设备50，按下述方式将前面板和后面板粘结在一起。
在围绕显示区域的外围区域中，后面板上设有气孔21a和21b。玻璃管26a和26b分别与气孔21a和21b相连。应当指出的是，在图4中省略了应位于后面板20上的分隔壁和荧光物质。
前面板10和后面板20采用其间的封接玻璃层合适地定位，随后其被放置在加热炉51中。在如此操作时，最好用夹具或类似装置将定位的前面板10和后面板20夹紧，以防偏移。
采用真空泵54，将空气从面板之间的空间中抽出，以在其中形成真空。随后，通过导管52a，按一定的流速将干燥空气输送到此空间中，同时不使用真空泵54。干燥空气从导管52b抽出。这意味着干燥空气流经面板之间的空间。
然后，在干燥空气流经面板之间的空间时，对前面板10和后面板20进行加热(在最高450℃温度下加热30分钟)。在这个过程中，前面板10和后面板20由软化的封接玻璃层15粘结在一起。
在完成粘结之后，堵塞玻璃管26a和26b中的一个，并且将真空泵连接至另一玻璃管。该封接加热设备就用于下一工艺、即抽真空工艺中。在放电气体填充过程中，将一个包含放电气体的气瓶连接至另一玻璃管，并且通过操作排气装置将放电气体填充到面板之间的空间中。
本实施例中展示的方法的效果
本实施例中展示的粘结前面板和后面板的方法具有独特的效果，这将在下面予以说明。
一般情况下，象蒸汽这样的气体是因吸收而滞留在前面板和后面板的表面上的。当加热面板时，吸收的气体就被释放出来。
在常规的方法中，在暂时烘焙工艺后的粘结工艺中，首先将前面板和后面板在室温下放置在一起，然后加热使它们粘结在一起。在粘结工艺中，因吸收而保留在前面板和后面板的表面上的气体被释放出来。虽然在暂时烘焙工艺中一定量的气体被释放出来，但在粘结工艺开始之前当面板在室温下被放置在空气中时，气体重新因吸收而滞留下来，并且这些气体在粘结工艺中释放出来。释放的气体被限制在面板之间的小空间中。通过测量可以得知此时在此空间中的蒸汽的分压强通常为20乇或更高。
当这种情况发生时，由于加热和限制在此空间中的气体(在这些气体中，尤其是保护层14释放出来的蒸汽)的作用，与此空间接触的荧光物质层25趋于变劣。荧光物质层的变劣导致这些层(尤其是蓝色荧光物质层)的发光强度降低。
另一方面，根据本实施例中展示的方法，由于在加热面板时干燥空气流经此空间并且蒸汽从此空间排放到外部，因此这种变劣得以减轻。
在这个粘结工艺中，就象荧光物质烘焙工艺那样，希望蒸汽的分压强为15乇或更低。另外，当蒸汽的分压强设定为更低的值，例如10乇或更低、5乇或更低、1乇或更低、0.1乇或更低时，可以更大程度地减轻荧光物质的变劣。换句话说，希望干燥空气的露点温度设定为20℃或更低，并且更希望此温度设定为更低的值，例如0℃或更低、-20℃或更低、-40℃或更低。
保护气体中蒸汽的分压强的研究
试验表明：通过降低保护气体中蒸汽的分压强，可以防止由于加热导致的蓝色荧光物质的变劣。
图5和6分别显示出蓝色荧光物质(BaMgAl10O17∶Eu)发射的光的相对发光强度和色度坐标y。这些数值是通过多次改变蒸汽的分压强而在空气中对蓝色荧光物质进行烘焙之后测量的。蓝色荧光物质进行烘焙的最高温度为450℃，维持时间为20分钟。
图5中所示的相对发光强度值是当所测量的蓝色荧光物质烘焙之前的发光强度设定为标准值100时的相对值。
为了获得发光强度，首先使用光谱仪测量荧光物质层的发射光谱，之后从所测量的发射光谱计算色度坐标y，然后采用计算的色度坐标y和预先测量的亮度，根据公式(发光强度=亮度/色度坐标y)得到发光强度。
应当指出的是，蓝色荧光物质烘焙之前的色度坐标y为0.052。
从图5和6所示的结果可以发现：当蒸汽的分压强约为0乇时，发光强度不因加热而降低，并且色度没有变化。不过，应当注意的是，随着蒸汽的分压强的增大，蓝色荧光物质的相对发光强度降低，并且蓝色荧光物质的色度坐标y增大。
通常认为：当蓝色荧光物质(BaMgAl10O17∶Eu)被加热时，发光强度降低，并且色度坐标y增大，因为通过加热，激活剂Eu2+离子被氧化并且转换为Eu3+离子(见S.Oshio,T.Matsuoka,S.Tanaka和H.Kobayashi在电化学学会杂志145卷第11期(1988年11月)第3903-3907页发表的文章“氧化引起荧光物质BaMgAl10O17∶Eu2+的亮度降低的机理”)。不过，从上述的蓝色荧光物质的色度坐标y随气氛中蒸汽的分压强变化的事实来考虑，可以认为Eu2+离子没有与保护气体(例如空气)中的氧气直接反应，而是保护气体中的蒸汽加速了与这种变劣相关的反应。
为了进行比较，对应于多种加热温度，测量了蓝色荧光物质(BaMgAl10O17∶Eu)的发光强度的降低和色度坐标y的变化。测量结果呈现出这样的趋势：在300℃-600℃的范围内随着加热温度变高，发光强度的降低增大，并且在任意的加热温度下随着蒸汽的分压强变高，发光强度的降低增大。另一方面，虽然测量结果呈现出随着蒸汽的分压强变高色度坐标y的变化增大的趋势，但测量结果并没有呈现出色度坐标y随加热温度变化的趋势。
另外，测量了每种材料被加热时释放的蒸汽量，这些材料是构成前玻璃基板11、显示电极12、电介质层13、保护层14、后玻璃基板21、地址电极22、电介质层23(可见光反射层)、分隔壁24和荧光物质层25的材料。根据测量结果，其中保护层14的材料MgO释放出的蒸汽量最大。从这些测量结果可以认为：在粘结工艺中因加热产生的荧光物质层25的变劣主要是由保护层14释放的蒸汽引起的。
本实施例的变换方式
在本实施例中，在粘结工艺中，一定量的干燥空气流入面板之间的内部空间中。不过，可以交替地重复以下步骤：从内部空间抽出空气形成真空；注入干燥空气。通过这种操作方式，可以有效地从内部空间中抽出蒸汽，并且可以减轻因加热导致的荧光物质层的变劣。
另外，荧光物质层烘焙工艺、暂时烘焙工艺和粘结工艺不必全都在保护性干燥气体中进行。这些工艺中的一个或两个工艺在保护性干燥气体中进行就可以获得相同的效果。
在本实施例中，在粘结工艺中，作为保护气体的干燥空气流入面板之间的内部空间。不过，通过使不与荧光物质层发生反应并且其蒸汽分压强低的惰性气体例如氮气流入，也可以获得一定的效果。
在本实施例中，在粘结工艺中，通过玻璃管26a将干燥空气加压注入面板10和20之间的内部空间中。不过，采用例如图3中所示的加热设备40，也可以在干燥空气气氛中将面板10和20粘结在一起。在这种情况下，也可以获得一定的效果，因为少量的干燥空气通过气孔21a和21b流入了内部空间。
虽然本实施例中没有描述，但是当其表面上形成有保护层14的前面板10在保护性干燥气体中烘焙时，因吸收而滞留在保护层14的表面上的水量会减少。仅仅具有这种特性，蓝色荧光物质层的变劣就能限制到一定的程度。通过将烘焙前面板10的这种方法与本实施例的制造工艺结合，可以期望进一步增强效果。
根据本实施例的方法制造的PDP具有减少PDP激励过程中的异常放电的效果，因为荧光物质层包含少量的水。
例1
<表1>
表1
显示板构造和发光特性
显示板编号 保护气体中蒸汽的分压强(乇) 显示板亮度(cd/m2) 从显示板上的全部单元发光时的色温(k) 蓝光和绿光的光谱的峰值强度比(蓝/绿) 采用TDS分析在200℃或更高温度下从蓝色荧光物质解吸的H20气中分子的最大数量 蓝色荧光物质晶体的轴长比(c-轴/a-轴)
烘焙荧光物质 暂时烘焙封接玻璃料 粘结面板
12345 12.08.03.00.020.0 12.08.03.00.020.0 12.08.03.00.020.0 495520540550470 71007500840090006300 0.800.881.021.100.76 1.0×10167.9×10155.3×10152.2×10152.6×1016 4.021804.021774.021724.021644.02208
在表1中，显示板1-4为根据本实施例制造的PDP。显示板1-4是这样制造的：在荧光物质层烘焙工艺、玻璃料暂时烘焙工艺和粘结工艺中，流经的干燥空气中的蒸汽分压强不同，蒸汽分压强在0乇-12乇范围内。
显示板5是为了比较而制造的PDP。显示板5是这样制造的：在荧光物质层烘焙工艺、玻璃料暂时烘焙工艺和粘结工艺中，流经的是非干燥空气(蒸汽分压强为20乇)。
在PDP 1-5的每一个中，荧光物质层的厚度为30μm，放电气体Ne(95％)-Xe(5％)按500乇的充气压强填充。
发光特性测试和结果
对于显示板(PDP)1-5中的每一个，作为发光特性，测量了在没有彩色校正情况下白色平衡时的显示板亮度和色温(为产生白色显象而从所有蓝、红和绿色单元发光时的显示板亮度和色温)、以及从蓝色单元发射的光的光谱的峰值强度与从绿色单元发射的光的光谱的峰值强度之比。
表1中示出了这种测试的结果。
将所制造的每个PDP拆开，并且使用氪准分子灯对后面板的蓝色荧光物质层进行真空紫外线(中心波长为146nm)照射。随后，测量光从所有红、绿和蓝色单元发射时的色温以及从蓝色单元发射的光谱和从绿色单元发射的光谱的峰值强度之比率。由于在制造的前面板中没有使用滤色片或类似元件，结果与上述的结果是相同的。
然后，从面板上取出蓝色荧光物质。采用TDS(热解吸)分析法，测量从蓝色荧光物质中解吸的一克H2O气中包含的分子数。另外，通过X射线分析，测量蓝色荧光物质晶体的c轴长度和a轴长度的比率。
上述测量是采用ULVAC日本有限公司制造的红外加热型TDS分析设备按以下方式进行的。
将包含在钽盘中的荧光物质的每个测试样品放置在一个初步抽气的容室中，并且从容室中抽气达到10-4Pa量级的真空度。随后，将测试样品置于测量室中，并且从该室中抽气达到10-7Pa量级的真空度。以扫描方式，按照15秒的测量间隔，测量从荧光物质解吸的H2O分子(质量数为18)的数量，同时，采用红外加热器对测试样品进行加热，按10℃/分钟的加热速率从室温加热到1100℃。图7A、7B和7C显示出分别从显示板2、4和5上取出的蓝色荧光物质的测试结果。
从图中可以看出，从蓝色荧光物质解吸的H2O分子的数量在约100℃-200℃和约400℃-600℃具有峰值。可以这样理解：在约100℃-200℃的峰值归因于物理吸附气体的解吸，而在约400℃-600℃的峰值归因于化学吸附气体的解吸。
表1示出了在200℃或更高温度下解吸的H2O分子数的峰值，即在约400℃-600℃解吸的H2O分子数的峰值，还示出了蓝色荧光物质晶体的c轴长度和a轴长度的比率。
分析
通过分析表1中所示的结果，可以得出：在发光特性方面，本实施例的显示板1-4优于显示板5(比较例)。即，显示板1-4具有较高的显示板亮度和色温。
在显示板1-4中，发光特性按显示板1、2、3、4的顺序提高。
从这个结果可以发现：由于在荧光物质层烘焙工艺、玻璃料暂时烘焙工艺和粘结工艺中蒸汽的分压强较低，因此，发光特性(显示板亮度和色温)变得更好。
上述现象产生的原因可以理解为：当蒸汽的分压强降低时，防止了蓝色荧光物质层(BaMgAl10O17∶Eu)变劣，并且色度坐标y值变小。
在本实施例的面板中，在200℃或更高温度下，从蓝色荧光物质解吸的每克H2O气中包含的分子数最大值为1 × 1016或更小，而蓝色荧光物质晶体的c轴长度和a轴长度之比率为4.0218或更小。相比之下，比较显示板的对应值均大于上述值。
<实施例2>
本实施例的PDP具有与实施例1的PDP相同的构造。
除了后玻璃基板21的外部区域上气孔的位置以及封接玻璃料涂敷的方式不同之外，PDP的制造方法与实施例1也是相同的。在粘结工艺中，荧光物质层因加热引起的变劣比荧光物质层烘焙工艺和玻璃料暂时烘焙工艺中更为恶化，因为在粘结工艺中，当加热时，包括从前面板的保护层、荧光物质层和封接玻璃中产生的蒸汽在内的气体被限制在由分隔壁分隔的每个小的内部空间中。考虑到这种情况，在本实施例中设计为：在粘结工艺中，注入内部空间的干燥空气可以稳定地流经分隔壁之间的空间，并且在分隔壁之间的空间中产生的气体被有效地抽出。这就增强了防止因加热引起荧光物质层变劣的效果。
图8-16示出了多种具体的实施方式，它们涉及到后玻璃基板21的外部区域上气孔的位置以及封接玻璃料涂敷的方式。应当指出的是，虽然实际上后面板20在整个图象显示区域上都设有条状的分隔壁24，但图8-16仅仅在每一侧示出了几条分隔壁24，省略了中心部分的分隔壁。
正如这些图中示出的，框形的封接玻璃区域60(其上形成封接玻璃层15的区域)设置在后玻璃基板21的外部区域上。封接玻璃区域60包括：一对垂直的封接区域61，它们沿最外侧分隔壁24延伸；和一对水平的封接区域62，它们垂直于分隔壁延伸(在分隔壁的宽度方向上)。
当面板粘结在一起时，干燥空气流经分隔壁24之间的间隙65。
下面将参照附图描述这些例子的特征。
如图8-12所示，在封接玻璃区域60内侧的对角位置上形成有气孔21a和21b。当面板粘结在一起时，从气孔21a导入的干燥空气(如图4中所示)流过分隔壁边缘24a和水平封接区域62之间的间隙63a，并且被分流到分隔壁24之间的间隙65中。随后，干燥空气流过间隙65，流过分隔壁边缘24b和水平封接区域62之间的间隙63b，并且从气孔21b中被抽出。
在图8所示的例子中，每个间隙63a和63b的宽度大于垂直封接区域61和相邻分隔壁24之间的间隙64a和64b的宽度(即满足D1、D2＞d1、d2，这里D1、D2、d1和d2分别表示间隙63a、63b、64a和64b的最小宽度)。
采用这种构造，对于通过气孔21a供给的干燥空气而言，气体在分隔壁24之间的间隙65中流动的阻力变得比在间隙64a和64b中小。结果，与间隙64a和64b相比，较多的干燥空气流过间隙63a和63b，从而使得干燥空气稳定地分流到间隙65中，并且使得干燥气体在间隙65中稳定地流动。
按照上述设计，在每个间隙65中产生的气体被有效地抽出，这增强了防止在以后的粘结工艺中荧光物质变劣的效果。
还可以指出的是，间隙63a和63b的最小宽度D1和D2被设定为比间隙64a和64b的最小宽度d1和d2大得越多，例如为两倍或三倍，那么气体在分隔壁24之间的间隙65中流动的阻力变得越小，干燥空气也就越稳定地流过每个间隙65，并且更加增强这种防止在以后的粘结工艺中荧光物质变劣的效果。
在图9所示的例子中，垂直封接区域61的中心部分连接至相邻分隔壁24。因此，在中心处，间隙64a和64b的最小宽度d1和d2均为0。在这种情况下，干燥空气更稳定地流过每个间隙65，因为干燥空气不会流过间隙64a和64b。
在图10-16所示的例子中，在封接玻璃区域60的内侧形成有一个流动阻止壁70，封接玻璃区域60和流动阻止壁70紧密接触。流动阻止壁70包括：一对垂直壁71，它们沿垂直封接区域61延伸；和一对水平壁72，它们沿水平封接区域62延伸。气孔21a和21b在内侧靠近流动阻止壁70。应当指出的是，在图12所示的例子中，只形成了水平壁72。
流动阻止壁70是由与分隔壁24相同的材料制成的，并且具有与分隔壁24相同的形状。因此，它们可以在相同工艺中制造。
在封接玻璃区域60因加热而软化时，流动阻止壁70阻止封接玻璃区域60的封接玻璃流入位于面板中心的显示区域中。
正如图8中所示的，在图10所示的例子中，每个间隙63a和63b的宽度大于垂直封接区域61和相邻分隔壁24之间的每个间隙64a和64b的宽度(满足D1、D2＞d1、d2)，因此提供了与图8中所示情况相同的效果。
在图11所示的例子中，在垂直壁71和相邻分隔壁24之间的间隙64a和64b的中心处分别形成有分隔壁73a和73b。就象图9中所示的情况那样，在中心处间隙64a和64b的最小宽度d1和d2均为0。因此，这种情况也提供了与图9中所示情况相同的效果。
在图12所示的例子中，垂直封接区域61的中心部分连接至相邻分隔壁24。就象图9中所示的情况那样，在中心处间隙64a和64b的最小宽度d1和d2均为0。因此，这种情况也提供了与图9中所示情况相同的效果。
在图13所示的例子中，在垂直壁71和相邻分隔壁24之间的间隙64a和64b的中心、而不是在对角位置形成有气孔21a和21b。此外，在间隙64a和64b的边缘处分别形成有分隔壁73a和73b。因此，这种情况提供了与图11中所示情况相同的效果。
在图14所示的例子中，形成有两个作为气体入口的气孔21a和两个作为气体出口的气孔21b，并且在分隔壁24中间形成有一个中心分隔壁27，分隔壁27在两端延伸连接至水平壁72。在其它方面，该面板与图11中所示的面板几乎是相同的。在这种情况下，干燥空气在由中心分隔壁27分隔的每个区域中流动。不过，由于每个间隙63a和63b的宽度大于每个间隙64a和64b的宽度，这种情况也提供了与图11中所示情况相同的效果。另外，在图14所示的例子中，可以分别对应于由中心分隔壁27分隔的每个区域来调整干燥空气的流速。
本实施例的变换方式
在本实施例中，就象在实施例1中那样，希望蒸汽的分压强为15乇或更低(或者，干燥空气的露点温度为20℃或更低)，并且取代干燥空气，使诸如氮气之类的不与荧光物质层反应且其分压强低的惰性气体流过也可以获得相同的效果。
本实施例描述了在后面板上形成分隔壁的情况。不过，可以按相同的方式在前面板上形成分隔壁，并且获得相同的效果。
例2
<表2>
表2
显示板发光特性
显示板编号 显示板亮度(cd/m2) 从显示板上的全部单元发光时的色温(k) 蓝光和绿光的光谱的峰值强度比(蓝/绿) 采用TDS分析在200℃或更高温度下从蓝色荧光物质解吸的H2O气中分子的最大数量 蓝色荧光物质晶体的轴长比(c-轴/a-轴)
678  540500470  840072006300 0.940.830.76 6.3×10158.8×10152.6×1016  4.021754.021774.02208
显示板6是根据本实施例的图10制造的一个PDP，其中，在粘结工艺中流动的干燥空气中，蒸汽的分压强被设定为2乇(干燥空气的露点温度设定为-10)。
显示板7是部分根据本实施例的图15制造的一个PDP，其中，每个间隙63a和63b的宽度小于垂直封接区域61和相邻分隔壁24之间的每个间隙64a和64b的宽度(满足D1、D2＜d1、d2)。在其它方面，该显示板是根据图10制造的。当制造该显示板7时，面板是按照与显示板6相同的条件粘结在一起的。
显示板8是为比较而制造的一个PDP。如图16中所示，显示板8在后面板20上有一个气孔21a。在粘结工艺中，前面板10和后面板20被加热而粘结在一起，当它们安装在一起之后干燥空气不再流动。
除了粘结工艺之外，显示板6-8是在相同条件下制造的。除了气孔和流动阻止壁之外，显示板6-8具有相同的面板构造。在PDP6-8中的每一个中，荧光物质层的厚度为20μm，并且放电气体Ne(95％)-Xe(5％)的填充压强为500乇。
发光特性测试
对于PDP 6-8中的每一个，作为发光特性，测量了在没有彩色校正的情况下白色平衡时的显示板亮度和色温以及从蓝色单元发射的光谱和从绿色单元发射的光谱的峰值强度之比率。
这个测试的结果显示在表2中。
将所制造的每个PDP拆开，并且使用氪准分子灯对后面板的蓝色荧光物质层进行真空紫外线(中心波长为146nm)照射。随后，测量光从所有蓝、红和绿色单元发射时的色温以及从蓝色单元发射的光谱和从绿色单元发射的光谱的峰值强度之比率。结果与上述的结果是相同的。
然后，从面板上取出蓝色荧光物质。采用TDS分析法，测量从蓝色荧光物质中解吸的一克H2O气中包含的分子数。另外，通过X射线分析，测量蓝色荧光物质晶体的c轴长度和a轴长度的比率。结果也显示在表2中。
分析
通过分析表2中所示的结果，可以得出：在三种显示板中，本实施例的显示板6呈现出最好的发光特性。显示板6的发光特性优于显示板7。这可以理解为是基于以下原因：在显示板6的粘结工艺中，干燥空气稳定地流过分隔壁之间的间隙并且所产生的气体被有效地抽出，而在显示板7的粘结工艺中，几乎通过气孔21a导入的全部干燥空气都是在通过间隙63a和63b之后经由气孔21b被排出到外部的；并且在显示板7的情况中，由于只有少量的干燥气体流过分隔壁之间的间隙65，间隙65中产生的气体不能被有效地抽出。
显示板8的发光特性比其它显示板差。这也可以理解为是基于以下原因：间隙65中产生的气体不能被有效地抽出，因为只有少量的干燥气体流过分隔壁之间的间隙65。
本例中的PDP是按照图10制造的。不过，业已确认：按照图10-16制造的PDP呈现出相似的良好发光特性。
<实施例3>
本实施例的PDP具有与实施例1的PDP相同的构造。
除了以下区别之外，PDP的制造方法与实施例1也是相同的：在粘结工艺中，当前面板10和后面板20粘结在一起时，面板被加热，同时，干燥空气是通过将内部空间中的压强调整为低于大气压强而流动的。
在本实施例中，首先，将封接玻璃料施加到前面板10和后面板20之一或两者上。暂时烘焙所施加的封接玻璃料。随后，将前面板10和后面板20装在一起并放置在封接加热设备50的加热炉51中。导管52a和52b分别连接至玻璃管26a和26b。采用真空泵54，通过导管52b从面板之间的空间中抽出空气，使面板之间的内部空间中的压强降低。同时，通过导管52a按一定的流速从气源53将干燥空气输送到内部空间中。这时，调节阀55a和55b被调整为将内部空间的压强保持低于大气压强。
如上所述，在干燥空气以低的压强供给至面板之间的内部空间的同时，在封接温度下(最高温度为450℃)对前面板10和后面板20加热30分钟，封接玻璃层15软化，于是面板10和20由软化的封接玻璃粘结在一起。
粘结的面板被烘焙(在350℃温度下烘焙3小时)，同时从面板之间的内部空间中抽出空气，以形成真空。随后，将上述成分的放电气体按一定的压强填充到此空间中，从而制成了该PDP。
本实施例的效果
在本实施例的粘结工艺中，就象实施例1中那样，在干燥气体流入面板之间的内部空间的同时，面板粘结在一起。因此，如上所述，因与蒸汽接触而导致的荧光物质的变劣得以抑制。
就象实施例1中那样，希望干燥空气中蒸汽的分压强为15乇或更低。当蒸汽的分压强被设定为较低的值，例如10乇或更低、5乇或更低、1乇或更低、0.1乇或更低时，抑制荧光物质的性能变劣的效果变得更加显著。希望干燥气体的露点温度设定为20℃或更低，并且更希望此温度设定为更低的值，例如0℃或更低、-20℃或更低、-40℃或更低。
另外，在本实施例中，由于面板粘结在一起时内部空间的压强被保持低于大气压强，因此，与实施例1相比，内部空间中产生的蒸汽被更有效地抽出到外部。由于将干燥空气供给至内部空间的同时内部空间的压强被保持低于大气压强，因此粘结的面板10和20紧密接触，原因是在粘结工艺中面板之间的内部空间不会膨胀。
内部空间的压强越低，蒸汽的分压强越容易调低。将面板粘结成紧密接触状态是所希望的。因此，希望将面板之间的内部空间的压强设定为500乇或更低，并且最好设定为300乇或更低。
另一方面，当将干燥气体供给至面板之间的内部空间并且其压强很低时，周围气体中氧气的分压强变低。由于这个原因，当在无氧的气氛中加热时，氧化物荧光物质，诸如常用于PDP的BaMgAl10O17∶Eu、Zn2SiO4∶Mn和Y2O3∶Eu会产生缺陷，即氧缺陷。这可能导致发光效率降低。因此，从这个角度讲，希望将内部空间的压强设定为300乇或更高。
本实施例的变换方式
在实施例中，在粘结工艺中，干燥空气作为保护气体供给至面板之间的内部空间。不过，取代干燥空气，使诸如氮气之类的不与荧光物质层反应且其蒸汽分压强低的惰性气体流过，可以获得相同的效果。这里应当指出的是，希望供给包含氧气的保护气体，以便抑制亮度的降低。
在本实施例中，即使在温度太低以致于不能使封接玻璃软化时，内部空间的压强也是低的。不过，在这种情况下，气体可以通过前面板10和后面板20之间的间隙从加热炉51流入内部空间。因此，希望将干燥空气供给或充入加热炉51中。
或者，为了防止气体从加热炉51流入到面板之间的内部空间中，当温度仍然较低并且封接玻璃尚未软化时，可以通过不从内部空间抽出干燥气体来保持内部空间的压强接近大气压强，随后，在温度升高到一定程度或更高之后，可以从内部空间强制抽出干燥气体，以将内部空间的压强降低到低于大气压强。在这种情况下，希望将强制抽出干燥气体的温度设定为封接玻璃开始软化的温度或更高。据此，优选将强制抽出干燥气体的温度设定为300℃或更高，并且更优选设定为350℃或更高，最好设定为400℃或更高。
本实施例描述了这样的情况：在粘结工艺中，在面板10和20被加热的同时以低的压强向内部空间供给干燥空气。不过，烘焙荧光物质的工艺或暂时烘焙封接玻璃料的工艺也可以在以低的压强供给干燥空气的气氛中进行。这可提供相似的效果。
实施例2中描述的面板构造应用于本实施例中可产生进一步的效果。
例3
<表3>
表3．显示板粘结条件和发光特性
显示板编号 干燥气体类型 干燥气体中蒸汽的分压强(乇) 面板之间的空间的压强(乇) 要降低到低于大气压强时的温度(℃) 蓝色光的相对发光强度 蓝色光的色度坐标Y 蓝色光的峰值波长(nm) 白色平衡时的色温(K) 蓝光和绿光的光谱的峰值强度比(蓝/绿) 采用TDS分析在200℃或更高温度下从蓝色荧光物质解吸的H2O气中分子的最大数量 蓝色荧光物质晶体的轴长比(c-轴/a-轴)
11121314151617181920212223 空气空气空气空气空气空气空气空气空气氮气Ne-Xe(％)空气- 1283000000000- 500500500500300100500500500500500大气压强大气压强 370370370370370370室温320420370370-- 108115120125120113121123127105105125100 0.0750.0680.0630.0580.0580.0580.0620.0600.0560.0580.0580.0580.090 455454453451451451452452450451451451458 7100760079008700860085008000820090008400840087005800 0.820.880.910.960.960.950.920.930.980.940.940.960.67 1.0×10167.9×10157.1×10155.9×10155.9×10155.3×10156.4×10156.0×10152.2×10154.8×10154.8×10155.9×10152.6×1016 4.021804.021774.021764.021744.021744.021724.021764.021754.021644.021734.021734.021744.02208
表3显示出对应于各PDP的多种显示板粘结条件，这些PDP包括根据本实施例的PDP和用于比较的PDP。
显示板11-21是根据本实施例制造的PDP。显示板11-21是在不同条件下制造的，这些条件包括：在粘结工艺中流入面板之间内部空间内的干燥气体中蒸汽的分压强；面板之间的内部空间中的压强；内部空间的压强开始降低到低于大气压强时的温度；以及干燥气体的类型。
显示板22是根据实施例1制造的PDP，其中，干燥气体供给至内部空间，但在粘结工艺中不从该空间强制抽出气体。
显示板23是为比较制造的PDP。显示板23是根据常规方法制造的，其中不向面板之间的内部空间供给干燥空气。
在PDP 11-23中的每一个中，荧光物质层的厚度为30μm，放电气体Ne(95％)-Xe(5％)的填充压强为500乇。
发光特性测试
对于PDP 11-23中的每一个，作为发光特性测量了以下特性：所发射的蓝色光的相对发光强度、所发射的蓝色光的色度坐标y、所发射的蓝色光的峰值波长、在没有彩色校正情况下在白色平衡时的色温、以及从蓝色单元发射的光谱与从绿色单元发射的光谱的峰值强度之比率。
在上述特性中，蓝色光的相对发光强度、蓝色光的色度坐标y和在没有彩色校正情况下在白色平衡时的色温是采用与实施例1相同的方法测量的。所发射的蓝色光的峰值波长是这样测量的：仅照射蓝色单元并且测量所发射的蓝色光的光谱。该测试的结果显示在表3中。
应当指出的是，表3中所示的蓝色光的相对发光强度值是当测量的作为比较例的显示板23的发光强度被设定为标准值100时的相对值。
将所制造的每个PDP拆开，并且使用氪准分子灯对后面板的蓝色荧光物质层进行真空紫外线照射。随后，测量蓝色光的色度坐标y、光从全部蓝、红和绿色单元发射时的色温以及从蓝色单元发射的光谱和从绿色单元发射的光谱的峰值强度之比率。结果与上述的结果是相同的。
然后，从面板上取出蓝色荧光物质。采用TDS分析法，测量从蓝色荧光物质中解吸的一克H2O气中包含的分子数。另外，通过X射线分析，测量蓝色荧光物质晶体的c轴长度和a轴长度的比率。结果也显示在表3中。
分析
通过分析表3中所示的结果，可以得出：本实施例的显示板11-21的发光特性优于比较例(显示板23)(表现为具有较高的蓝色光发光强度和较高的白色平衡时的色温)。
对于发光特性，显示板14-22具有相同的值。这表明：如果在内部空间中流动的干燥空气中蒸汽的分压强是相同的，无论内部空间中的压强是等于大气压强还是低于大气压强，得到的效果(发光特性)都是相同的。
不过，在显示板22的样品中，发现部分样品在分隔壁和前面板之间具有间隙。这可理解为是基于以下原因：在粘结工艺中，由于供给的干燥气体导致内部空间稍有膨胀。
通过比较显示板11-14的发光特性，可以注意到：蓝色光的发光强度按显示板11、12、13、14的顺序增大，而所发射的蓝色光的色度坐标y按此顺序减小。这表明：随着干燥空气中蒸汽的分压强的降低，所发射的蓝色光的发光强度增大，而所发射的蓝色光的色度坐标y减小。这可理解为是基于以下原因：通过降低蒸汽的分压强，防止了蓝色荧光物质的变劣。
通过比较显示板14-16的发光特性，可以注意到：对于所发射的蓝色光的色度坐标y而言，这些显示板具有相同的值。这表明：所发射的蓝色光的色度坐标y不受面板之间的内部空间的压强的影响。还可注意到，蓝色光的相对发光强度按显示板14、15、16的顺序降低。这表明：随着保护气体中氧气的分压强降低，并且在荧光物质中产生了缺陷、即氧缺陷，所发射的蓝色光的发光强度降低。
通过比较显示板14、20和21的发光特性，可以注意到：对于所发射的蓝色光的色度坐标y而言，这些显示板具有相同的值。这表明：所发射的蓝色光的色度坐标y不受流入面板之间的内部空间中的干燥气体的类型的影响。还可注意到，显示板20和21的蓝色光的相对发光强度低于显示板14。这表明：在采用不包含氧的氮气或Ne(95％)-Xe(5％)等气体作为干燥气体时，由于在荧光物质中产生了缺陷、即氧缺陷，所发射的蓝色光的发光强度降低。
通过比较显示板14和17-19的发光特性，可以注意到：蓝色光的发光强度按显示板17、18、14、19的顺序增大，而所发射的蓝色光的色度坐标y按此顺序减小。这表明：随着为了使内部空间的压强降至低于大气压强而开始从内部空间抽出气体时的温度被设定为更高的温度，所发射的蓝色光的发光强度增大，而所发射的蓝色光的色度坐标y减小。这可理解为是基于以下原因：将抽气开始温度设定为较高的温度，防止了面板周围的保护气体流入到面板之间的内部空间中。
将注意力集中到表3中所列的每个显示板的所发射蓝色光的色度坐标y和所发射蓝色光的峰值波长之间的关系，可以注意到，随着色度坐标y减小，峰值波长变短。这表明它们之间是成正比例的关系。
<实施例4>
本实施例的PDP具有与实施例1相同的构造。
直到粘结工艺(即，在粘结工艺中，装在一起的前面板10和后面板20被加热，同时不向面板之间的内部空间供给干燥空气)为止，PDP的制造方法与常规方法相同。不过，在抽气工艺中，在气体被抽出而形成真空(抽真空工艺)之前，加热面板，同时干燥气体供给面板之间的内部空间中(下面这个工艺也称作干燥气体工艺)。这可以使蓝色荧光物质层的发光特性恢复到它们通过粘结工艺或以前的工艺变劣之前的水平。
下面将说明本实施例的抽气工艺。
在本实施例的抽气工艺中，采用图4中所示的封接加热设备，并且下面将参照图4进行说明。
预先将玻璃管26a和26b分别连接至后面板20的气孔21a和21b上。将导管52a和52b分别连接至玻璃管26a和26b。使用真空泵54，通过导管52b，从面板之间的内部空间抽出气体，以暂时将内部空间抽真空。随后，在不使用真空泵54的情况下，通过导管52a按一定的流速将干燥空气供给内部空间。这使得干燥空气流经面板10和20之间的内部空间。通过导管52b，干燥空气被排出。
在干燥空气供给内部空间的同时，将面板10和20加热到一定温度。
随后，停止供给干燥空气。此后，使用真空泵54，从面板之间的内部空间抽出空气，同时将温度保持在一定的程度上，以抽出在内部空间中通过吸附滞留的气体。
抽气工艺之后，将放电气体充入各单元中，此后PDP就完成了。
本实施例的效果
本实施例的抽气工艺具有防止在该工艺中荧光物质层变劣的效果。
抽气工艺还具有使荧光物质层(尤其是蓝色荧光物质层)的发光特性恢复到它们通过在先工艺变劣之前的水平。荧光物质层(尤其是蓝色荧光物质层)容易受到在荧光物质层烘焙工艺、暂时烘焙工艺和粘结工艺中加热的影响而变劣。如果在上述工艺中荧光物质层变劣了，本实施例的抽气工艺就可以使它们的发光特性恢复。
上述效果被认为是基于以下原因。
在粘结工艺中，当粘结在一起的面板被加热时，在面板之间的内部空间中释放出气体(尤其是蒸汽)。例如，当粘结的面板被放置在空气中时，水通过吸附而滞留在内部空间中。因此，当面板在这种状态下被加热时，在面板之间的空间中就释放出蒸汽。根据本实施例的抽气工艺，这种蒸汽被有效地抽出到外部，因为在抽真空工艺开始之前面板被加热的同时，干燥气体流过内部空间。因此，与只是简单地抽出气体而不供给干燥气体的常规抽气工艺相比，在本实施例的抽气工艺中因加热引起的荧光物质变劣是很微弱的。
还可以这样理解：由于使用干燥气体的抽气工艺使得发生了与因加热引起的变劣相反的反应，因此发光特性得以恢复。
从以上说明可以清楚地看出：本实施例提供了非常好的效果，即，在作为最后的加热工艺的抽气工艺中，蓝色荧光物质的已变劣的发光特性可以恢复。
为了增强蓝色荧光物质的已变劣的发光特性的恢复效果，希望能满足以下条件。
抽气工艺中的峰值温度越高(即：供给干燥气体时对面板进行加热的温度和抽出气体形成真空时的温度越高)，已变劣的发光特性的恢复效果越大。
为了充分地获得这种效果，优选将峰值温度设定为300℃或更高，并且进一步优选设定为更高的温度，例如360℃或更高、380℃或更高以及400℃或更高。不过，温度不应设定为高到使封接玻璃软化流动的温度。
还优选地将供给干燥气体的同时对面板进行加热的温度设定为高于抽真空时的温度。这是因为当温度按相反方式设定时，在抽真空工艺中从面板上释放到内部空间的气体(尤其是蒸汽)减弱了这种效果；而当温度按上述方式设定时，就可以达到这种效果，因为与前一种情况相比，在抽真空工艺中从面板上释放到内部空间中的气体较少。
优选将所供给的干燥气体中蒸汽的分压强设定为尽可能低的值。这是因为随着干燥气体中蒸汽的分压强变低，蓝色荧光物质的已变劣的发光特性的恢复效果增强，虽然与常规的抽真空工艺相比，当蒸汽的分压强为15乇或更低时，这种效果就是很显著的。
以下试验也表明：恢复蓝色荧光物质的已变劣的发光特性是可能的。
图17和18显示出已变劣的发光特性的恢复效果与蒸汽的分压强之间的关系，其中蓝色荧光物质层(BaMgAl10O17∶Eu)已变劣并且随后在空气中再次进行了烘焙。测量方法如下所述。
在蒸汽的分压强为30乇的空气中烘焙蓝色荧光物质(色度坐标y为0.052)(在峰值温度450℃烘焙20分钟)，蓝色荧光物质因加热而变劣。在变劣的蓝色荧光物质中，色度坐标y为0.092，相对发光强度(将烘焙之前测量的蓝色荧光物质的发光强度设定为标准值100时得到的值)为85。
在一定的峰值温度下(350℃和450℃，维持30分钟)，在具有不同蒸汽分压强的空气中再次烘焙变劣的蓝色荧光物质。然后，测量再次烘焙的蓝色荧光物质的相对发光强度和色度坐标y。
图17显示出再次烘焙时空气中的蒸汽分压强与再次烘焙后测量的相对发光强度之间的关系。图18显示出再次烘焙时空气中的蒸汽分压强与再次烘焙后测量的色度坐标y之间的关系。
从图17和18可以注意到：无论再次烘焙温度是350℃还是450℃，当再次烘焙时空气中的蒸汽分压强在0-30乇范围内时，蓝色光的相对发光强度都是高的，而蓝色光的色度坐标y都是小的。这表明：即使在包含大量蒸汽的气氛中烘焙荧光物质并且发光特性变劣，当在蒸汽分压强低的气氛中再次烘焙荧光物质时，发光特性仍可以恢复。即，这些结果表明因加热引起的蓝色荧光物质的变劣是一种可逆的反应。
从图17和18中还可以注意到：随着再次烘焙时空气中蒸汽分压强降低或再次烘焙温度提高，已变劣的发光特性的恢复效果增强。
对应于峰值温度维持的不同周期，进行了相似的测量，尽管这里不对此做详细说明。结果表明：随着峰值温度维持的周期加长，已变劣的发光特性的恢复效果增强。
本实施例的变化方式
在本实施例中，当在抽气工艺中加热面板时，使用了干燥空气。不过，取代干燥空气，也可以使用诸如氮气或氩气等不活泼气体，并且可以获得相同的效果。
在本实施例的抽气工艺中，在开始抽真空之前，在干燥空气供给至面板之间的空间中的同时加热面板。不过，通过将抽真空工艺中的温度设定为高于常规温度(即设定为360℃或更高)，只进行抽真空工艺将可以使荧光物质的发光特性恢复到一定的程度。另外，在这种情况下，抽气温度越高，发光特性恢复效果越好。
但是，本实施例的抽气工艺比上述变换方式具有更好的发光特性恢复效果。这可以被理解为是基于以下原因：在上述变换方式的情况下，在抽真空工艺中，没有将足够多的蒸汽抽出到面板之外，因为面板之间的内部空间很小。
可以预期：当在供给干燥气体的同时加热面板时，实施例2中描述的面板构造用于本实施例将增强抽气的效果。
例4
<表4>
表4
显示板抽真空条件和发光特性(蓝色光)
显示板编号 干燥空气供给期间的加热温度(℃)(维持30分钟) 抽真空期间的加热温度(℃)(维持2小时) 干燥空气中蒸汽的分压强(乇) 蓝色光的相对发光强度 蓝色光的色度坐标Y
21222324252627282930313233 350360390410410350410410410---- 350350350350410410350350350360390410350 2222221280---- 107110118125121105112116128103107110100 0.0620.0610.0560.0530.0560.0650.0700.0670.0520.0850.0810.0760.090
显示板21-29是根据本实施例制造的PDP。显示板21-29是在向内部空间供给干燥气体的同时在加热面板时的不同加热或抽气温度下制造的。在该制造工艺中，在向内部空间供给干燥气体的同时，将一定的加热温度维持30分钟，随后在下面的抽真空工艺中，将一定的抽气温度维持2小时。
显示板30-32是根据本实施例的变换方式制造的PDP。显示板30-32是在没有干燥气体工艺的情况下，在360℃或更高温度下进行抽真空工艺制造的。
显示板33是根据常规方法制造的PDP。显示板33是在没有干燥气体工艺的情况下，在350℃温度下进行2小时的抽真空工艺制造的。
在PDP 21-33中的每一个中，荧光物质层的厚度为30μm，放电气体Ne(95％)-Xe(5％)的填充压强为500乇。
发光特性测试
对于PDP 21-33中的每一个，作为发光特性测量了蓝色光的相对发光强度和蓝色光的色度坐标y。
<测试结果和分析>
该测试的结果显示在表4中。应当指出的是，表4中所示的蓝色光的相对发光强度值是当测量的作为比较例的显示板33的发光强度被设定为标准值100时的相对值。
从表4中可注意到：与显示板33相比，显示板21-28中的每一个都具有较高的发光强度和较小的色度坐标y。这表明：在制造PDP时采用本实施例的抽气工艺改善了PDP的发光特性。
通过比较显示板21-24的发光特性，可以注意到：发光特性按显示板21、22、23和24的顺序提高(发光强度增大，色度坐标y减小)。这表明：干燥气体工艺的加热温度设定得越高，蓝色荧光物质层的发光特性恢复效果越大。
通过比较显示板24-26的发光特性，可以注意到：发光特性按显示板26、25和24的顺序提高。这表明：干燥气体工艺的加热温度设定得比抽真空工艺的抽气温度越高，蓝色荧光物质层的发光特性恢复效果越大。
通过比较显示板24和27-29的发光特性，可以注意到：发光特性按显示板27、28、24和29的顺序提高。这表明：干燥气体工艺的蒸汽分压强设定得越小，蓝色荧光物质层的发光特性恢复效果越大。
与显示板33相比，显示板30-32中的每一个都具有较高的发光强度和较小的色度坐标y。这表明：在制造PDP时采用本实施例变换方式的抽气工艺改善了PDP的发光特性。
与显示板21相比，显示板30-32中的每一个都具有较低的发光特性。这表明：当采用本实施例的干燥气体工艺时，蓝色荧光物质层的发光特性的恢复效果较大。
<实施例5>
本实施例的PDP具有与实施例1相同的构造。
直到暂时烘焙工艺为止，本实施例的PDP制造方法与实施例1相同。不过，在粘结工艺中，在面板的相对侧面之间留有空间的同时预加热面板，随后将被加热的面板放置在一起并且粘结在一起。
在本实施例的PDP中，当光仅从蓝色单元发射时，从蓝色单元发射的光的色度坐标y为0.08或更小，所发射光的光谱的峰值波长为455nm或更短，在没有彩色校正情况下在白色平衡时的色温为7000K或更高。另外，通过将蓝色光的色度坐标y设为0.06或更小，根据制造条件，可以使在没有彩色校正情况下在白色平衡时的色温提高到约11000K。
现在将详细地说明本实施例的粘结工艺。
图19显示出粘结工艺中使用的粘结设备的构造。
粘结设备80包括：一个加热炉81，用于加热前面板10和后面板20；一个供气阀82，用于调节供给至加热炉81的保护气体量；一个放气阀83，用于调节从加热炉81抽出的气体量。
通过加热器(未示出)，可以将加热炉81的内部加热到高温。通过供气阀82，可以将保护气体(例如干燥空气)供给加热炉81，保护气体形成了在其中加热面板的气氛。采用真空泵(未示出)，通过放气阀83，可以将气体从加热炉81中抽出，从而在加热炉81中形成真空。通过供气阀82和放气阀83，可以调节加热炉81中的真空度。
在加热炉81和保护气体供给源中间设有一个干燥器(未示出)。干燥器使保护气体冷却(到负几十度)，以便通过使气体中的水冷凝来去除保护气体中的水。保护气体通过干燥器被送入加热炉81，这样就降低了保护气体中的蒸汽量(蒸汽分压强)。
在加热炉81中形成有一个底座84。在底座84上放置了前面板10和后面板20。在底座84上形成有滑动支柱85，用于使后面板20移动到与自身平行的各个位置。在底座84上方形成有推压机构86，用于向下推压后面板20。
图20是显示加热炉81的内部构造的立体图。
在图19和20中，后表面20是这样放置的：使分隔壁的长度被表示为水平线。
如图19和20中所示，后面板20的长度大于前面板10的长度，后面板20的两侧边缘延伸超过前面板10。应当指出的是，后面板20的延伸部分设有引线，这些引线将地址电极22连接至驱动电路。滑动支柱85和推压机构86设置在后面板20的四个角部，它们之间夹置着后面板20的延伸部分。
四个滑动支柱85从底座84伸出，并且可以通过一个支柱升降机构(未示出)同时上下移动。
四个推压机构86中的每一个包括：一个筒形的支撑件86a，它固定在加热炉81的顶壁上；一个滑动杆86b，它可以在支撑件86a内上下移动；和一个弹簧86c，它向支撑件86a内的滑动杆86b施加向下的压力。通过向滑动杆86b施加压力，后面板20由滑动杆86b向下推压。
图21A-21C显示出在预加热工艺和粘结工艺中粘结设备的操作。
下面将参照图21A-21C描述暂时烘焙工艺、预加热工艺和粘结工艺。
暂时烘焙工艺
将封接玻璃(玻璃料)制成的浆料涂敷在下列区域之一上：前面板10的面对着后面板20一侧的外部区域；后面板20的面对着前面板10一侧的外部区域；以及前面板10和后面板20的相互面对的侧面的外部区域。将带有浆料的面板在约350℃暂时烘焙10-30分钟，以形成封接玻璃层15。在图中可注意到，封接玻璃层15形成在前面板10上。
预加热工艺
首先，在合适定位之后，将前面板10和后面板20放置在一起。随后，将面板放置在底座84上的一个固定位置处。然后将推压机构86设置成推压后面板20(图21A)。
随后，使保护气体(干燥空气)在加热炉81中循环(或者，同时通过放气阀83抽出气体以形成真空)，同时进行以下操作。
使滑动支柱85上升，从而使后面板20移动到与自身平行的一个位置(图21B)。这使得前面板10和后面板20之间的空间加宽，并且使后面板20上的荧光物质层25暴露于加热炉81中的一个大的空间。
在以上状态下对加热炉81进行加热，以使面板释放气体。当达到预定温度(例如400℃)时，预加热工艺结束。
粘结工艺
使滑动支柱85下降，从而将前后面板再次放置在一起。即，后面板20被重新置于其在前面板10上的合适位置(图21C)。
当加热炉81内部已达到高于封接玻璃层15的软化点的特定粘结温度(约450℃)时，维持粘结温度10-20分钟。在这个周期中，前面板10和后面板20的外部区域由软化的封接玻璃粘结在一起。由于在这个粘结周期中，后面板20由推压机构86推向前面板10，因此面板以高的稳定性实现粘结。
在粘结完成之后，推压机构86被解除，粘结的面板被取出。在按上述方式进行粘结工艺之后，进行抽气工艺。
在本实施例中，如图19和20所示，一个气孔21a形成在后面板20的外部区域上。使用连接至一个玻璃管26(玻璃管26安装到气孔21a上)的一个真空泵(未示出)，进行抽气。在抽气工艺之后，通过玻璃管26，向面板之间的内部空间中填充放电气体。在气孔21a被堵塞并且玻璃管26被切掉之后，该PDP就完成了。
本实施例中展示的制造方法的效果
本实施例的制造方法具有以下效果，这些效果是从常规方法不能得到的。
正如实施例1中所描述的，采用常规方法，与面板之间的内部空间接触的荧光物质层25由于加热和被限制在此空间中的气体(这些气体中，尤其是从保护层14释放的蒸汽)的影响，可能导致变劣。荧光物质层的变劣使这些层(尤其是蓝色荧光物质层)的发光强度降低。
根据本实施例中展示的方法，虽然象通过吸附而滞留在前后面板上的蒸汽这样的气体在预加热工艺中被释放出来，但这些气体不会被限制在内部空间中，因为面板之间隔开了大的空间。另外，由于在预加热之后面板立即被加热而粘结在一起，水(蒸汽)等不会在预加热之后通过吸附滞留在面板上。因此，在粘结工艺中只有很少的气体从面板10和20上释放出来，这就防止了荧光物质层25因加热而变劣。
另外，在本实施例中，预加热工艺到粘结工艺是在干燥空气循环的气氛中进行的。因此，不会由于加热和包含在保护气体中的蒸汽导致荧光物质层25变劣。
本实施例的另一优点是：由于预加热工艺和粘结工艺是在同一加热炉81中连续进行的，这些工艺可以快速地进行，消耗能量较少。
再者，通过使用具有上述构造的粘结设备，可以将前面板10和后面板20粘结在经适当调整的位置上。
对预加热温度和将面板放置在一起的定时的分析
可以理解，为了防止荧光物质层25因粘结面板时的加热和从面板上释放的气体(这些气体中，尤其是从保护层14释放的蒸汽)的影响而变劣，希望将面板加热到尽可能高的温度。
为了详细地分析这个问题，进行了以下试验。
在以恒定的加热速度逐渐加热其上形成有MgO层的玻璃基板(作为前面板10)的同时，使用TDS分析设备，随加热时间测量MgO层上释放出来的蒸汽量。
图22显示出试验结果或者直到700℃的每一加热温度下测量出的所释放的蒸汽量。
在图22中，第一峰值出现在约200℃-300℃，第二峰值出现在约450℃-500℃。
从图22中所示的结果估计，当逐渐加热保护层14时，在约200℃-300℃和约450℃-500℃有大量的蒸汽释放出来。
因此，可以理解，为了防止在粘结工艺中加热面板时从保护层14释放出来的蒸汽被限制在内部空间中，在加热面板的同时应当维持面板的分离至少直到温度升高至约200℃、优选升高至约300℃-400℃。
另外，如果在面板分离时将其加热到高于约450℃的温度之后将面板粘结在一起，几乎可以完全防止气体从面板的释放。在这种情况下，还将防止在面板粘结完成后的全部时间内面板发生变化，因为面板粘结在一起时荧光物质几乎没有变劣并且几乎不会有面板上通过吸附滞留的蒸汽在放电过程中逐渐释放的可能。
不过，这个温度超过520℃不是优选的，因为荧光物质层和MgO保护层通常是在约520℃的烘焙温度下形成的。因此，进一步优选的方案是，在面板被加热到约450℃-520℃之后将它们粘结在一起。
另一方面，如果在面板分离时将其加热到超过封接玻璃的软化点的温度，封接玻璃将流动而离开应有的位置。这可能妨碍面板以高的稳定性实现粘结。
从防止荧光物质层因面板释放出来的气体而变劣的观点而言，并且考虑到面板的高稳定性粘结，可以得到以下结论(1)-(3)。
(1)希望前后面板在以下状态之后被放置并粘结在一起，即：在面板相互分离时被加热到所用封接玻璃的软化点之下尽可能高的温度。
相应地，当例如使用软化点约为400℃的常用普通封接玻璃时，为了尽可能地减轻所释放的气体对荧光物质的不良作用同时维持粘结的稳定性，最佳粘结程序是：在使前后面板分离的同时将它们加热到接近400℃，随后将面板放置在一起，并且将它们加热到超过软化点的温度，从而使它们粘结在一起。
(2)这里，使用具有较高软化点的封接玻璃将提高加热温度并增强粘结面板的稳定性。相应地，使用这种高软化点封接玻璃，将前后面板加热到接近软化点，随后将面板放置在一起，并且将它们加热到超过软化点的温度，从而使它们粘结在一起，这将进一步减轻所释放的气体对荧光物质的不良作用，同时维持面板粘结的稳定性。
(3)另一方面，在面板分离时即使面板被加热到超过封接玻璃的软化点的高温，如果其采用以下构造也可以将面板高稳定性地粘结在一起，即：即使软化，形成在前或后面板的外部区域上的封接玻璃层也不会流动离开应处的位置。例如，可以在前或后面板的外部区域上在封接玻璃敷设区和显示区域之间形成一个分隔部分，以防止软化的封接玻璃流出到达显示区域。
相应地，在采用了这种能防止软化的封接玻璃流出到显示区域的构造之后，当前后面板被加热到超过封接玻璃的软化点的高温、并且随后面板被放置在一起并粘结在一起时，可以减轻所释放的气体对荧光物质的不良作用且同时保持面板粘结的稳定性。
在以上情况中，前后面板在高温下直接粘结在一起，而不是首先放置在一起而后进行加热。结果，几乎可以完全防止在面板放置在一起之后从面板上释放出气体。这使得面板能粘结在一起，同时几乎不会有因加热导致的荧光物质的变劣。
对保护气体和压强的分析
希望象空气这样的包含氧的气体被用作粘结工艺中在加热炉81中循环的保护气体。这是因为如实施例1中所述的，当在无氧的气氛中被加热时，通常用于PDP的氧化物荧光物质趋于使发光特性降低。
当作为保护气体的外部空气以常压供给时，可以获得一定程度的效果。不过，为了增强防止荧光物质变劣的效果，希望干燥气体、如干燥空气在加热炉81中循环，或者在加热炉81工作的同时进行抽气形成真空。
希望干燥气体循环的原因是：这样就不用担心荧光物质因加热和保护气体中包含的蒸汽而变劣。另外，希望从加热炉81中抽气形成真空。这是因为加热时从面板10和20释放出的气体(蒸汽等)被有效地抽出到外部。
当干燥气体作为保护气体循环时，气体中包含的蒸汽的分压强越低，越能防止蓝色荧光物质层因加热而变劣(参见图5和6所示的实施例1的试验结果)。为了获得足够的效果，希望将蒸汽的分压强设定为15乇或更低。当蒸汽的分压强设定为更低的值，例如10乇或更低、5乇或更低、1乇或更低、0.1乇或更低时，这种效果变得更显著。
封接玻璃的涂敷
在粘结工艺中，封接玻璃通常是在面板放置在一起之前仅涂敷在两个面板之一上(一般是只涂敷在后面板上)。
同时，在本实施例中，通过粘结设备80中的推压机构86，后面板20被推向前面板10。在这种情况下，难以给出象夹具那样强的压力。
在这种情况下，当封接玻璃仅涂敷在后面板上时，如果封接玻璃和前面板之间的一致性对于粘结而言不太好的话，面板就有可能不完全粘结。如果封接玻璃层既形成在前面板上又形成在后面板上，这种缺陷就可以防止。这将提高PDP的成品率。
应当指出的是，对于制造PDP过程中的一般粘结工艺而言，封接玻璃层既形成在前面板上又形成在后面板上的上述方法能有效地提高成品率。
本实施例的变换方式
在本实施例中，在加热之前合适定位之后，前面板10和后面板20被放置在一起。随后滑动支柱85上升，使后面板20向上移动并且使面板分离。不过，面板10和20可以通过其它方式相互分离。
例如，图23显示出使后面板20上升的另一种方式。在该图中，前面板10由一个框架87包围，前面板10放入框架87内。框架87可以通过杆88上下移动，杆88固定至框架87并且垂直滑动。采用这种构造，放置在框架87上的后面板20也可以上下移动到与自身平行的各个位置。即，当框架87向上移动时，后面板20与前面板10分离，而当框架87向下移动时，后面板20与前面板10放置在一起。
两种机构之间还有另一区别。在粘结设备80中，后面板20是通过推压机构86被推压至前面板10上的，而在图23所示的例子中，取代推压机构86，在后面板20上放置有一个重块89。在这种变换的方法中，当框架87向下移动到底部时，重块89通过重力将后面板20压在前面板10上。
图24A-24C显示出根据另一种变换的方法在粘结工艺中进行的操作。
在图24A-24C所示的例子中，后面板20与前面板10局部分离，并恢复到初始位置。
在底座84上，如图20中所示的情况那样，对应于后面板20的四个角部，在底座84上形成有四个支柱或者一对支柱85a和一对支柱85b。不过，对应于后面板20一侧(在图24A-24C中的左侧)的支柱85a，在其边缘处支撑后面板20(例如，支柱85a的形成为球形的边缘被插入在面板20上所形成的球形凹坑中)，而对应于后面板20另一侧(在图24A-24C中的右侧)的支柱85b可上下移动。
前面板10和后面板20放置在一起，并且放置在底座84上，如图24A中所示。通过使支柱85b向上移动，后面板20围绕支柱85a的边缘转动，如图24B中所示。这使后面板20和前面板10局部分离。通过使支柱85b向下移动，后面板20反方向旋转并恢复到初始位置，如图24C中所示。即，面板10和20处于与最初调整合适的位置相同的位置。
在图24B所示的状态中，面板10和20在支柱85a的一侧接触。不过，从面板释放出的气体不会被限制在内部空间中，因为面板的另一侧是开放的。
例5
<表5>
表5
显示板编号 将前后面板放置在一起的温度(℃) 粘结面板的峰值温度(℃) 粘结时的气氛 干燥空气中蒸汽的分压 强(乇) 蓝色光的相对发光强度 蓝色光的色度坐标Y 白色平衡时的色温(K) 当由准分子灯照射后面板的荧光物质时蓝色光的色度坐标Y 蓝色光的峰值波长(nm) 当由准分子灯照射后面板的所有颜色的荧光物质时光的色温(K) 蓝光和绿光的光谱的峰值强度比(蓝/绿) 采用TDS分析在200℃或更高温度下从蓝色荧光物质解吸的H2O气中分子的最大数量 蓝色荧光物质晶体的轴长比(c-轴/a-轴)
414243444546474849505152 250350400400400400400450500450450- 450450450450450450450450500480450450 干燥空气干燥空气干燥空气干燥空气干燥空气干燥空气真空干燥空气干燥空气干燥空气干燥空气干燥空气 2212820-22222 107118108112120123120125125126125100 0.0780.0570.0750.0650.0550.0530.0530.0520.0520.0520.0520.090 6700860071007800900098009300106001060011000106005800 0.0750.0540.0730.0630.0540.0520.0520.0510.0510.0510.0510.088 455451459452450449449448448448448458 6700860071007800900098009300106001060011000106005800 0.800.950.820.910.981.091.031.151.151.191.150.67 1.0×10164.0×10157.3×10155.0×10153.4×10152.2×10151.3×10151.9×10151.9×10151.3×10151.9×10152.6×1016 4.021804.021724.021784.021744.021684.021644.021634.021604.021604.021554.021604.02208
显示板41-50是根据本实施例制造的PDP。显示板41-50是在粘结工艺中的不同条件下制造的。即，面板在不同类型的气氛中和不同的压强下被加热，并且它们在不同的温度下按不同的定时被放置在一起。
每个显示板均在350℃温度下被暂时烘焙。
对于显示板41-46、48-50，使用具有不同的蒸汽分压强的干燥气体作为保护气体，蒸汽分压强范围为0-12乇。显示板47被加热的同时抽出气体形成真空。
对于显示板43-47，面板从室温被加热到400℃(低于封接玻璃的软化点)，随后面板被放置在一起。面板被进一步加热到450℃(高于封接玻璃的软化点)，此温度维持10分钟，然后降低到350℃，并且在维持350℃温度的同时抽气。
对于显示板41和42，面板分别是在250℃和350℃的较低温度下粘结的。
对于显示板48，面板被加热到450℃，随后在此温度下被放置在一起。对于显示板49，面板被加热到500℃(峰值温度)，随后在此温度下被放置在一起。
对于显示板50，面板被加热到480℃峰值温度，随后降低到450℃，并且面板在450℃被放置和粘结在一起。
显示板51是根据图24A-24C中所示的实施例5的一种变换方式制造的PDP，其中面板被加热到450℃(峰值温度)，随后在此温度下被放置和粘结在一起。
显示板52是作为比较例的PDP，它是通过在室温下将面板放置在一起，随后通过在大气压强的干燥空气中将它们加热到450℃粘结而制造的。
应当指出的是，在PDP 41-52的每一个中，荧光物质层的厚度为30μm，放电气体Ne(95％)-Xe(5％)按500乇的充气压强填充，这样它们每一个都具有相同的显示板构造。
发光特性测试
对于PDP 41-52中的每一个，作为发光特性测量了以下特性：所发射的蓝色光的相对发光强度、所发射的蓝色光的色度坐标y、所发射的蓝色光的峰值波长、在没有彩色校正情况下在白色平衡时的显示板亮度和色温、以及从蓝色单元发射的光谱与从绿色单元发射的光谱的峰值强度之比率。
将所制造的每个PDP拆开，并且使用氪准分子灯对后面板的蓝色荧光物质层进行真空紫外线(中心波长为146nm)照射。随后，测量蓝色光的色度坐标y。
结果显示在表5中。应当指出的是，表5中所示的蓝色光的相对发光强度值是当测量的作为比较例的显示板52的发光强度被设定为标准值100时的相对值。
另外，将所制造的每个PDP拆开，并且使用氪准分子灯对后面板的蓝色荧光物质层进行真空紫外线照射。随后，测量当光从全部蓝、红和绿色单元发射时的色温以及从蓝色单元发射的光谱和从绿色单元发射的光谱的峰值强度之比率。结果与上述的结果是相同的。
图25显示出只从显示板45、50和52的PDP的蓝色单元发射的光谱。
虽然表5没有示出，但从显示板41-51的红色和绿色单元发射的光的色度坐标x和y大致是相同的：红色(0.636,0.350)，绿色(0.251,0.692)。在作为比较例的PDP中，从蓝色单元发射的光的色度坐标x和y为(0.170,0.090)，所发射的光谱中的峰值波长为458nm。
然后，从面板上取出蓝色荧光物质。采用TDS分析法，测量从蓝色荧光物质中解吸的一克H2O气中包含的分子数。另外，通过X射线分析，测量蓝色荧光物质晶体的c轴长度和a轴长度的比率。结果也显示在表5中。
分析
可以注意到：显示板41-51的发光特性优于显示板52(表现为具有较高的蓝色光发光强度和较小的色度坐标y)。这可理解为是基于以下原因：与根据常规方法的粘结面板的情况相比，在根据本实施例粘结了面板之后在面板之间的内部空间中释放出来的气体量更少。
在显示板52的PDP中，从蓝色单元发射的光的色度坐标y为0.088，并且在没有彩色校正情况下在白色平衡时的色温为5800K。相比之下，在显示板41-51中，这些值分别为0.08或更小和6500K或更大。特别是，可以注意到：在蓝色光的色度坐标y较小的显示板48-51中，实现了约11000K的(在没有彩色校正情况下在白色平衡时的)高色温。
图26是CIE色度图，其上显示出本实施例和比较例的PDP的蓝色附近的彩色再现区域。
在该图中，区域(a)表示以下情况(对应于显示板52)的蓝色附近的彩色再现区域：其中蓝色光的色度坐标y约为0.09(发射的光谱的峰值波长为458nm)；区域(b)表示以下情况(对应于显示板41)的蓝色附近的彩色再现区域：其中蓝色光的色度坐标y约为0.08(发射的光谱的峰值波长为455nm)；区域(c)表示以下情况(对应于显示板50)的蓝色附近的彩色再现区域：其中蓝色光的色度坐标y约为0.052(发射的光谱的峰值波长为448nm)。
从该图中可以注意到：蓝色附近的彩色再现区域按区域(a)、(b)、(c)的顺序扩展。这表明可以这样制造PDP：其中蓝色光的色度坐标y越小(发射的光谱的峰值波长越短)，蓝色附近的彩色再现区域就越宽。
通过比较显示板41、42、45和48(每一个中干燥气体中蒸汽的分压强为2乇)的发光特性，可以注意到：发光特性按显示板41、42、45和48的顺序改善(发光强度增大，而色度坐标y减小)。这表明：粘结前面板10和后面板20时的加热温度设定得越高，PDP的发光特性的改善越大。
这可理解为是基于以下原因：当在面板粘结之前，在面板相互分离的同时被预加热到高温时，在面板粘结之后，在面板之间的内部空间中会释放出更少量的气体，因为从面板释放出的气体被充分地抽出了。
通过比较显示板43-46(它们在粘结工艺中具有相同的温度分布)的发光特性，可以注意到：发光特性按显示板43、44、45和46的顺序改善(色度坐标y按此顺序减小)。这表明：保护气体中蒸汽的分压强越低，PDP的发光特性的改善越大。
通过比较显示板46和47(它们在粘结工艺中具有相同的温度分布)的发光特性，可以注意到：显示板46稍优于显示板47。
这可理解为是基于以下原因：一部分氧从作为氧化物的荧光物质中释放出来并且在显示板47中导致氧缺陷，因为显示板47是在无氧的气氛中被预加热的，而显示板46是在包含氧的保护气体中被预加热的。
可以注意到：显示板48和51的发光特性几乎是相同的。这表明：在面板完全相互分离时预加热面板和在面板局部分离这两种情况之间，PDP的发光特性几乎没有差别。
从表5中可注意到：无论是通过对蓝色荧光物质层进行真空紫外线照射还是通过只从蓝色荧光物质层发射光来测量，色度坐标y的值几乎是相同的。
将注意力集中到表5中所列的每个显示板的所发射蓝色光的色度坐标y和所发射蓝色光的峰值波长之间的关系，可以注意到，随着色度坐标y减小，峰值波长变短。这表明它们之间是成正比例的关系。
<实施例6>
本实施例的PDP具有与实施例1相同的构造。
除了以下区别之外本实施例的PDP制造方法与实施例5相同：在将封接玻璃涂敷到前面板10和后面板20中的至少一个上之后，暂时烘焙工艺、粘结工艺和抽气工艺在粘结设备80的加热炉81中连续地进行。
下面将详细地说明本实施例的暂时烘焙工艺、粘结工艺和抽气工艺。
这些工艺是采用图19和20中所示的粘结设备进行的。不过，在本实施例中，如图27A-27C中所示，一个导管90从外部插入加热炉81中，并且连接至玻璃管26，玻璃管26安装到后面板20的气孔21a上。
图27A、27B和27C显示出在暂时烘焙工艺到抽气工艺过程中使用粘结设备进行的操作。
下面将参照这些图描述暂时烘焙工艺、粘结工艺和抽气工艺。
暂时烘焙工艺
将封接玻璃浆料涂敷在下列区域之一上：前面板10的面对着后面板20的那一侧的外部区域；后面板20的面对着前面板10的那一侧的外部区域；以及前面板10和后面板20的相互面对的侧面的外部区域。在图中可注意到，封接玻璃层15形成在前面板10上。
在合适定位之后，将前面板10和后面板20放置在一起。随后，将面板放置在底座84上的一个固定位置处。然后将推压机构86设置成推压后面板20(图27A)。
随后，使保护气体(干燥空气)在加热炉81中循环(或者，同时通过放气阀83抽出气体以形成真空)，同时进行以下操作。
使滑动支柱85上升，从而使后面板20移动到与自身平行的一个位置(图27B)。这使得前面板10和后面板20之间的空间加宽，并且后面板20上的荧光物质层25暴露于加热炉81中的一个大的空间。
在以上状态下将加热炉81加热到暂时烘焙温度(约350℃)，随后在此温度下对面板暂时加热10-30分钟。
预加热工艺
对面板10和20进一步加热，以使面板释放气体，这些气体是通过吸附滞留在面板上的。当达到预定温度(例如400℃)时，预加热工艺结束。
粘结工艺
使滑动支柱85下降，从而将前后面板再次放置在一起。即，后面板20被重新置于其在前面板10上的合适位置(图27C)。
当加热炉81内部已达到高于封接玻璃层15的软化点的特定粘结温度(约450℃)时，维持粘结温度10-20分钟。在这个周期中，前面板10和后面板20的外部区域由软化的封接玻璃粘结在一起。由于在这个粘结周期中，后面板20由推压机构86推向前面板10，因此面板以高的稳定性实现粘结。
抽气工艺
使加热炉的内部冷却到低于封接玻璃层15的软化点的抽气温度。在此温度下烘焙面板(例如在350℃烘焙1小时)。从粘结的面板之间的内部空间中抽出气体，形成高的真空度(8×10-7乇)。抽气工艺是使用一个真空泵(未示出)进行的，该真空泵连接至导管90。
随后，将面板冷却到室温，同时维持内部空间的真空。通过玻璃管26向内部空间填充放电气体。在气孔21a被堵塞并且玻璃管26被切掉之后，该PDP就完成了。
本实施例中展示的制造方法的效果
本实施例的制造方法具有以下效果，这些效果是从常规方法不能得到的。
通常，暂时烘焙工艺、粘结工艺和抽气工艺是使用一个加热炉分开进行的，在工艺之间的每一间隔中面板被冷却到室温。按照这种方式，需要很长的时间和消耗大量的能量来在每一工艺中加热面板。相反，在本实施例中，这些工艺是在同一加热炉中连续地进行的，而且不需要将温度降低到室温。这减少了加热所需的时间和能量。
在本实施例中，暂时烘焙工艺到粘结工艺快速地进行，并且能量消耗低，因为暂时烘焙工艺和预加热工艺是在将加热炉81加热到粘结工艺所需温度的中间过程中进行的。另外，在本实施例中，粘结工艺到抽气工艺快速地进行，并且能量消耗低，因为抽气工艺是在粘结工艺之后在将面板冷却到室温的中间过程中进行的。
另外，正如将要描述的那样，与常规粘结方法相比，本实施例具有与实施例5相同的效果。
通常，象蒸汽这样的气体会通过吸附滞留在前面板和后面板的表面上。当面板被加热时所吸附的气体就释放出来。
在常规方法中，在暂时烘焙工艺之后的粘结工艺中，前面板和后面板首先在室温下被放置在一起，随后它们被加热而粘结在一起。在粘结工艺中，通过吸附滞留在前面板和后面板的表面上的气体会释放出来。虽然在暂时烘焙工艺中会释放出一定量的气体，但在粘结工艺开始之前，当面板被放置在空气中冷却到室温时，这些气体通过吸附再次滞留下来，并且这些气体在粘结工艺中释放出来。释放的气体被限制在面板之间的小空间中。当这种情况发生时，由于受加热和气体的影响，尤其是受保护层14释放的蒸汽的影响，荧光物质层趋于变劣。荧光物质层的变劣使这些层的发光强度降低。
另一方面，根据本实施例中展示的制造方法，从面板上释放出来的气体不会被限制在内部空间中，因为在粘结工艺中或预加热工艺中，面板之间形成一个宽的间隙。另外，由于在预加热工艺之后的粘结工艺中面板是被连续地加热的，水等不会在预加热工艺之后通过吸附滞留在面板上。因此，在粘结工艺中只有很少的气体从面板上释放出来。这就防止了荧光物质层25因加热而变劣。
另外，当最初将位置调整合适时，采用本实施例的粘结设备80可以将面板粘结于合适的位置。
再者，在本实施例中，预加热工艺到粘结工艺是在干燥气体循环的气氛中进行的。这可防止由于加热和包含在保护气体中的蒸汽导致荧光物质层25变劣。
本实施例的以下优选条件与实施例5中所述的相同：预加热的温度；面板放置在一起的定时；保护气体的类型；压强；以及蒸汽的分压强。
本实施例的变换方式
在本实施例中，暂时烘焙工艺、预加热工艺、粘结工艺和抽气工艺是在相同设备中连续地进行的。不过，当省略预加热工艺时，可以在一定程度上获得相同的效果。另外，如果只是暂时烘焙工艺和粘结工艺在相同设备中连续地进行，或者如果只是粘结工艺和抽气工艺是在相同设备中连续地进行，也可以在一定程度上获得相同的效果。
在本实施例中，在粘结工艺之后，加热炉的内部被冷却到低于封接玻璃的软化点的抽气温度(350℃)，并且在此温度下进行抽气。不过，也可以在象粘结工艺中那样高的温度下进行抽气。在这种情况下，在短的时间内就可充分地抽气。但是，为此应当形成一些构造(例如，图10-16中所示的分隔部件)，以便即使封接玻璃层软化，封接玻璃层也不会流动离开应处的位置。
在本实施例中，在前面板10和后面板20相互分离的同时，进行暂时烘焙工艺和预加热工艺。不过，可以采用实施例3的方法连续地进行暂时烘焙工艺、粘结工艺和抽气工艺，在实施例3的方法中，在合适地定位之后面板被放置在一起，随后面板被加热而粘结，同时内部空间的压强降低并且干燥空气被供给至内部空间。
现在详细地说明上述方法。使用图5中所示的封接加热设备50。首先，封接玻璃被涂敷到前面板10和后面板20之一或两者上，形成封接玻璃层15。将面板10和20合适地定位，随后在不进行暂时烘焙的情况下被放置在一起，并且置于加热炉51中。
一个导管52a连接到玻璃管26a，玻璃管26a连接到后面板20的气孔21a上。使用一个真空泵(未示出)，通过导管52b，从内部空间抽出气体。同时，通过一个导管52b向内部空间供给干燥空气，导管52b连接到玻璃管26b，玻璃管26b连接到后面板20的气孔21b上。这样，在干燥空气通过内部空间流动的同时，内部空间的压强被降低了。
在面板10和20之间的空间中维持上述状态的情况下，将加热炉51的内部加热到暂时烘焙温度，并且对面板进行暂时烘焙(在350℃烘焙10-30分钟)。
这里，如果在面板放置在一起之后简单地烘焙，那么在暂时烘焙工艺中面板不能被充分地烘焙，因为难以向封接玻璃层供给氧。不过，如果在干燥空气流经面板之间的内部空间的同时烘焙面板，面板则能被充分地烘焙。
使温度升高到比封接玻璃的软化点高的特定粘结温度，并且该粘结温度维持一定的周期(例如，450℃的峰值温度保持30分钟)。在这个周期中，前面板10和后面板20通过软化的封接玻璃粘结在一起。
使加热炉51的内部冷却到低于封接玻璃的软化点的抽气温度。通过维持该抽气温度，从粘结的面板之间的内部空间抽出气体，形成高的真空度。在这个抽气工艺之后，将面板冷却到室温。通过玻璃管26向内部空间填充放电气体。在气孔21a被堵塞并且玻璃管26被切掉之后，该PDP就完成了。
在这个变换的例子中，正如本实施例的方法中那样，暂时烘焙工艺、粘结工艺和抽气工艺是在相同粘结设备中连续地进行的，同时温度不降低到室温。因此，这些工艺也可以快速地进行，并且耗能低。
在这个变换的例子中，如果只是暂时烘焙工艺和粘结工艺在加热炉51中连续地进行，或者如果只是粘结工艺和抽气工艺是在加热炉51中连续地进行，也可以在一定程度上获得相同的效果。
例6
<表6>
表6
显示板编号 暂时烘焙玻璃料的温度(℃) 将前后面板放置在一起的温度(℃) 粘结面板的温度(℃) 抽气的温度(℃) 粘结时的气氛 干燥空气中蒸汽的分压强(乇) 蓝色光的相对发光强度 蓝色光的色度坐标Y 白色平衡时的色 温(K) 蓝光和绿光的光谱的峰值强度比(蓝/绿) 采用TDS分析在200℃或更高温度下从蓝色荧光物质解吸的H2O气中分子的最大数量 蓝色荧光物质晶体的轴长比(c-轴/a-轴)
61626364656667686970 350350350350350350350350350350 250350400400400400400450480- 450450450450450450450450450450 350350350350350350350350350350 干燥空气干燥空气干燥空气干燥空气干燥空气干燥空气真空干燥空气干燥空气空气 2212820-22- 107118108112120123120125126100 0.0780.0570.0750.0650.0550.0530.0530.0520.0520.090 670086007100780090009800930010600110005800 0.800.950.820.910.981.091.031.151.190.67 1.0×10164.0×10157.3×10155.2×10153.4×10152.3×10151.3×10151.9×10151.3×10152.6×1016 4.021804.021724.021784.021744.021684.021654.021554.021604.021554.02208
显示板61-69是根据本实施例制造的PDP。显示板61-69是在粘结工艺中的不同条件下制造的。即，面板在不同类型的气氛中和不同的压强下被加热，并且它们在不同的温度下按不同的定时被放置在一起。
图28显示出在制造显示板63-67时在暂时烘焙工艺、粘结工艺和抽气工艺中使用的温度分布。
对于显示板61-66、68和69，使用具有不同的蒸汽分压强的干燥空气，蒸汽分压强范围为0-12乇。对于显示板70，使用非干燥空气。显示板67被加热的同时抽出气体形成真空。
对于显示板63-67，面板被从室温加热到350℃。通过在该温度下维持10分钟，面板被暂时烘焙。随后，面板被加热到400℃(低于封接玻璃的软化点)，然后面板被放置在一起。面板被进一步加热到450℃(高于封接玻璃的软化点)，此温度维持10分钟，然后降低到350℃，并且在维持350℃温度的同时抽气。
对于显示板61和62，面板分别是在250℃和350℃的较低温度下粘结的。
对于显示板68，面板被加热到450℃，随后在此温度下被放置在一起。对于显示板69，面板被加热到480℃的峰值温度，随后降低到450℃，并且面板在450℃被放置和粘结在一起。
显示板70是作为比较例的PDP，它是根据常规方法制造的，在常规方法中，面板被暂时烘焙、在室温下被放置在一起、在大气压强的空气中被加热到450℃的粘结温度并且在450℃粘结。随后面板被冷却到室温，然后再次在加热炉中被加热到350℃的抽气温度。通过维持在350℃的温度，气体从内部空间中被抽出。
应当指出的是，在PDP 61-70的每一个中，荧光物质层的厚度为30μm，放电气体Ne(95％)-Xe(5％)按500乇的充气压强填充，这样它们每一个都具有相同的显示板构造。
发光特性测试
对于PDP 61-70中的每一个，作为发光特性测量了以下特性：所发射的蓝色光的相对发光强度、所发射的蓝色光的色度坐标y、所发射的蓝色光的峰值波长、在没有彩色校正情况下在白色平衡时的色温、以及从蓝色单元发射的光谱与从绿色单元发射的光谱的峰值强度之比率。
结果显示在表6中。应当指出的是，表6中所示的蓝色光的相对发光强度值是当测量的作为比较例的显示板70的发光强度被设定为标准值100时的相对值。
将所制造的每个PDP拆开，并且使用氪准分子灯对后面板的蓝色荧光物质层进行真空紫外线照射。随后，测量所发射的蓝色光的色度坐标y、当光从全部蓝、红和绿色单元发射时的色温以及从蓝色单元发射的光谱和从绿色单元发射的光谱的峰值强度之比率。结果与上述的结果是相同的。
然后，从面板上取出蓝色荧光物质。采用TDS分析法，测量从蓝色荧光物质中解吸的一克H2O气中包含的分子数。另外，通过X射线分析，测量蓝色荧光物质晶体的c轴长度和a轴长度的比率。结果也显示在表6中。
分析
对于PDP 61-70中的每一个，作为发光特性测量了以下特性：所发射的蓝色光的相对发光强度、所发射的蓝色光的色度坐标y、所发射的蓝色光的峰值波长、以及在没有彩色校正情况下在白色平衡时的色温(当光从蓝、红和绿色单元以相同能量发射而形成白色显象时的色温)。
<测试结果>
这个测试的结果显示在表6中。应当指出的是，表6中所示的蓝色光的相对发光强度值是当测量的作为比较例的显示板70的发光强度被设定为标准值100时的相对值。
从表6中可以注意到：显示板61-69的发光特性优于显示板70(表现为具有较高的蓝色光发光强度和较小的色度坐标y)。这可理解为是基于以下原因：与根据常规方法的粘结面板的情况相比，在根据本实施例粘结面板之后在面板之间的内部空间中释放出来的气体量更少。
在显示板70中，从蓝色单元发射的光的色度坐标y为0.090，并且在没有彩色校正情况下在白色平衡时的色温为5800K。相比之下，在显示板61-69中，这些值分别为0.08或更小和6500K或更大。特别是，可以注意到：在蓝色光的色度坐标y较小的显示板68和69中，实现了约11000K的(在没有彩色校正情况下在白色平衡时的)高色温。
通过比较显示板61、62、65、68和69(每一个中干燥气体中蒸汽的分压强为2乇)的发光特性，可以注意到：发光特性按显示板61、62、65、68、69的顺序改善(发光强度增大，而色度坐标y减小)。这表明：粘结前面板10和后面板20时的加热温度设定得越高，PDP的发光特性的改善越大。
通过比较显示板63-66(它们在粘结工艺中具有相同的温度分布)的发光特性，可以注意到：发光特性按显示板63、64、65和66的顺序改善(色度坐标y按此顺序减小)。这表明：保护气体中蒸汽的分压强越低，PDP的发光特性的改善越大。
通过比较显示板66和67(它们在粘结工艺中具有相同的温度分布)的发光特性，可以注意到：显示板66稍优于显示板67。
这可理解为是基于以下原因：一部分氧气从作为氧化物的荧光物质中释放出来并且在显示板67中导致氧缺陷，因为显示板67是在无氧的气氛中被预加热的，而显示板66是在包含氧的保护气体中被预加热的。
其它
在上述实施例1-6中，描述了制造表面放电型PDP的情况。不过，本发明也可以应用于制造对置放电(opposed-discharge)型PDP的情况。
除了具有上述实施例中展示的成分的荧光物质以外，使用通常用于PDP的荧光物质也可以实现本发明。
一般情况下，正如实施例1-6中那样，封接玻璃是在荧光物质层形成之后涂敷的。不过，这些工艺的顺序可以颠倒。
工业可用性
本发明的PDP和制造PDP的方法可有效地用于制造计算机或TV的显示器，尤其是用于制造大屏幕显示器。

Claims (111)

1．一种PDP制造方法，包括：
荧光物质涂敷步骤，用于将荧光物质涂敷到下列侧面中的至少一个上：前面板的面对着后面板的侧面和后面板的面对着前面板的侧面；以及
加热步骤，用于加热已涂敷了荧光物质的前面板和后面板之一或两者，其中
加热步骤是在所涂敷的荧光物质与干燥气体接触的同时进行的。
2．根据权利要求1的PDP制造方法，其中
加热步骤起到荧光物质烘焙步骤的作用，其中对在荧光物质涂敷步骤中涂敷的荧光物质进行烘焙。
3．一种PDP制造方法，包括：
封接材料暂时烘焙步骤，用于将荧光物质和封接材料涂敷到下列侧面中的至少一个上：前面板的面对着后面板的侧面和后面板的面对着前面板的侧面，并且随后在暂时烘焙温度下，暂时烘焙已涂敷了荧光物质和封接材料的前面板和后面板之一或两者，其中
封接材料暂时烘焙步骤是在所涂敷的荧光物质与干燥气体接触的同时进行的。
4．一种PDP制造方法，包括：
荧光物质涂敷步骤，用于将荧光物质涂敷到下列侧面中的其中一个之上：前面板的面对着后面板的侧面和后面板的面对着前面板的侧面；
封接材料涂敷步骤，用于将封接材料涂敷到前面板和后面板的另一未涂敷有荧光物质的侧面上；以及
封接材料暂时烘焙步骤，用于通过维持封接材料的暂时烘焙温度来暂时烘焙前面板和后面板，其中
封接材料暂时烘焙步骤是在涂敷的荧光物质与干燥气体接触的同时进行的。
5．一种PDP制造方法，包括：
荧光物质层形成步骤，用于在下列侧面中的至少一个上形成荧光物质层：前面板的面对着后面板的侧面和后面板的面对着前面板的侧面；
封接材料层形成步骤，用于在下列侧面中的至少一个上形成封接材料层：前面板的面对着后面板的侧面和后面板的面对着前面板的侧面；以及
粘结步骤，用于在荧光物质层形成步骤和封接材料层形成步骤之后，将前面板和后面板放置在一起以在面板之间形成内部空间，并且通过维持等于或高于封接材料软化温度的粘结温度来粘结前面板和后面板，其中
粘结步骤是在荧光物质层与干燥气体接触的同时进行的。
6．根据权利要求5的PDP制造方法，其中
粘结步骤是在干燥气体在内部空间中循环的同时进行的。
7．根据权利要求5的PDP制造方法，其中
粘结步骤是在以下操作交替进行的同时进行的：向内部空间中填充干燥气体的操作和从内部空间中抽出气体的操作。
8．一种PDP制造方法，包括：
荧光物质层形成步骤，用于在下列侧面中的至少一个上形成荧光物质层：前面板的面对着后面板的侧面和后面板的面对着前面板的侧面；
粘结步骤，用于在荧光物质层形成步骤之后，将前面板和后面板放置在一起以在面板之间形成内部空间，并且粘结前面板和后面板；以及
加热步骤，用于在干燥气体在内部空间中循环的同时，将粘结的前后面板加热到高于室温的温度。
9．一种PDP制造方法，包括：
荧光物质层形成步骤，用于在下列侧面中的至少一个上形成荧光物质层：前面板的面对着后面板的侧面和后面板的面对着前面板的侧面；
粘结步骤，用于在荧光物质层形成步骤之后，将前面板和后面板放置在一起以在面板之间形成内部空间，并且粘结前面板和后面板；以及
抽气步骤，用于在为粘结的面板维持高于室温的抽气温度的同时，从内部空间中抽出气体，其中
抽气步骤是在荧光物质层与干燥气体接触的同时进行的。
10．一种PDP制造方法，包括：
MgO层形成步骤，用于在下列侧面中的至少一个上形成MgO层：前面板的面对着后面板的侧面和后面板的面对着前面板的侧面；
加热步骤，用于加热其上已形成MgO层的前面板和后面板之一或两者，其中
加热步骤是在MgO层与干燥气体接触的同时进行的。
11．一种PDP制造方法，包括：
荧光物质层形成步骤，用于在下列侧面中的至少一个上形成荧光物质层：前面板的面对着后面板的侧面和后面板的面对着前面板的侧面；
MgO层形成步骤，用于在下列侧面中的至少一个上形成MgO层：前面板的面对着后面板的侧面和后面板的面对着前面板的侧面；以及
加热步骤，用于在荧光物质层形成步骤和MgO层形成步骤之后加热前面板和后面板，其中
加热步骤是在MgO层和荧光物质层与干燥气体接触的同时进行的。
12．一种PDP制造方法，包括：
荧光物质层形成步骤，用于在下列侧面中的至少一个上形成荧光物质层：前面板的面对着后面板的侧面和后面板的面对着前面板的侧面；
MgO层形成步骤，用于在下列侧面中的至少一个上形成MgO层：前面板的面对着后面板的侧面和后面板的面对着前面板的侧面；
封接材料层形成步骤，用于在下列侧面中的至少一个上形成封接材料层：前面板的面对着后面板的侧面和后面板的面对着前面板的侧面；以及
粘结步骤，用于在荧光物质层形成步骤、MgO层形成步骤和封接材料层形成步骤之后将前面板和后面板放置在一起以在面板之间形成内部空间，并且通过维持等于或高于封接材料软化温度的粘结温度来粘结前面板和后面板，其中
粘结步骤是在将干燥气体供给至内部空间的同时进行的。
13．根据权利要求6的PDP制造方法，其中
粘结步骤是在干燥气体在内部空间中循环并且将内部空间中的压强维持低于大气压强的粘结压强的同时进行的。
14．根据权利要求13的PDP制造方法，其中
粘结压强为500乇或更低。
15．根据权利要求13的PDP制造方法，其中
粘结压强为300乇或更低。
16．根据权利要求13的PDP制造方法，其中
在荧光物质层处于高于粘结压强的压强的同时，加热前面板和后面板，随后内部空间中的气体压强降低到粘结压强，并且粘结步骤在此条件下开始。
17．根据权利要求16的PDP制造方法，其中
在荧光物质层处于高于粘结压强的压强的同时，将前面板和后面板加热到等于或高于封接材料的软化点的温度，随后内部空间中的气体压强降低到粘结压强，并且粘结步骤在此条件下开始。
18．根据权利要求16的PDP制造方法，其中
在荧光物质层处于高于粘结压强的压强的同时，将前面板和后面板加热到300℃或更高，随后内部空间中的气体压强降低到粘结压强，并且粘结步骤在此条件下开始。
19．根据权利要求16的PDP制造方法，其中
在荧光物质层处于高于粘结压强的压强的同时，将前面板和后面板加热到350℃或更高，随后内部空间中的气体压强降低到粘结压强，并且粘结步骤在此条件下开始。
20．根据权利要求16的PDP制造方法，其中
在荧光物质层处于高于粘结压强的压强的同时，将前面板和后面板加热到400℃或更高，随后内部空间中的气体压强降低到粘结压强，并且粘结步骤在此条件下开始。
21．根据权利要求13的PDP制造方法，其中
在粘结步骤中，从内部空间中强制抽出气体。
22．根据权利要求6的PDP制造方法，其中
在封接材料层形成步骤中，封接材料层以框架形状形成在下列侧面中的至少一个的外部区域上：前面板的面对着后面板的侧面和后面板的面对着前面板的侧面；以及
在粘结步骤之前，多个分隔壁按条状形成在下列侧面之一上：前面板的面对着后面板的侧面和后面板的面对着前面板的侧面，多个分隔壁位于封接材料层内侧，并且在多个分隔壁的边缘和封接材料层的两个内侧侧边之间形成一对第一间隙，其中此对第一间隙的最小宽度大于一对第二间隙的最小宽度，第二间隙处于多个分隔壁中的两个最外侧分隔壁和封接材料层的其它侧边之间，并且
在粘结步骤中，干燥气体从此对第一间隙中的一个间隙流向另一个间隙。
23．根据权利要求6的PDP制造方法，其中
在封接材料层形成步骤中，封接材料层以框架形状形成在下列侧面中的至少一个的外部区域上：前面板的面对着后面板的侧面和后面板的面对着前面板的侧面；以及
在粘结步骤之前，多个第一分隔壁按条状形成在下列侧面之一上：前面板的面对着后面板的侧面和后面板的面对着前面板的侧面，这多个分隔壁位于一个第二分隔壁的内侧，第二分隔壁形成为与封接材料层内侧接触，并且在多个分隔壁的边缘和第二分隔壁的两个内侧侧边之间形成一对第一间隙，其中此对第一间隙的最小宽度大于一对第二间隙的最小宽度，第二间隙处于多个分隔壁中的两个最外侧分隔壁和第二分隔壁的其它侧边之间，并且
在粘结步骤中，干燥气体从此对第一间隙中的一个间隙流向另一个间隙。
24．一种PDP制造方法，包括：
荧光物质层形成步骤，用于在下列侧面中的至少一个上形成荧光物质层：前面板的面对着后面板的侧面和后面板的面对着前面板的侧面；
封接材料层形成步骤，用于在下列侧面中的至少一个上形成封接材料层：前面板的面对着后面板的侧面和后面板的面对着前面板的侧面；
预加热步骤，用于在荧光物质层形成步骤和封接材料层形成步骤之后，在各面板的相互面对的侧面之间的空间开放的同时，加热前面板和后面板；以及
粘结步骤，用于紧接在预加热步骤之后将前面板和后面板放置在一起以在面板之间形成内部空间，并且通过维持等于或高于封接材料的软化点的粘结温度来粘结前面板和后面板。
25．根据权利要求24的PDP制造方法，其中
在预加热步骤中，将前面板和后面板加热到低于封接材料的软化点的温度，并且
在粘结步骤中，将面板放置在一起并且加热到粘结温度，从而将它们粘结在一起。
26．根据权利要求24的PDP制造方法，其中
在预加热步骤中，将前面板和后面板加热到高于粘结温度的温度，并且
将前面板和后面板冷却到粘结温度，随后开始粘结步骤。
27．根据权利要求24的PDP制造方法，其中
预加热步骤是在前面板和后面板处于低于大气压强的压强的同时进行的。
28．根据权利要求24的PDP制造方法，其中
预加热步骤是在前面板和后面板处于干燥气体气氛中的同时进行的。
29．根据权利要求28的PDP制造方法，其中
预加热步骤是在前面板和后面板处于干燥气体循环的气氛中的同时进行的。
30．根据权利要求24的PDP制造方法，其中
预加热步骤是在将加热面板时从前面板和后面板释放出来的气体强制抽出到外部的同时进行的。
31．根据权利要求24的PDP制造方法，还包括：
分离步骤，用于将前面板和后面板合适定位，将面板放置在一起，并且通过沿一定的路径移动面板而使前面板和后面板相互分离，分离步骤是在预加热步骤之前进行的，其中
在粘结步骤中，通过在与分离步骤的沿一定路径移动相反的方向上移动面板来将前面板和后面板放置在一起。
32．根据权利要求31的PDP制造方法，其中
在分离步骤和粘结步骤中，前面板和后面板移动到与自身平行的位置。
33．根据权利要求24的PDP制造方法，其中
在预加热步骤中，将前面板和后面板加热到200℃或更高的温度。
34．根据权利要求24的PDP制造方法，其中
在预加热步骤中，将前面板和后面板加热到300℃或更高的温度。
35．根据权利要求24的PDP制造方法，其中
在预加热步骤中，将前面板和后面板加热到300℃-400℃的温度。
36．根据权利要求24的PDP制造方法，其中
在预加热步骤中，将前面板和后面板加热到400℃或更高的温度。
37．根据权利要求24的PDP制造方法，其中
在预加热步骤中，将前面板和后面板加热到450℃-520℃的温度。
38．根据权利要求24的PDP制造方法，其中
在封接材料层形成步骤中，封接材料层形成在下列两个侧面上：前面板的面对着后面板的侧面和后面板的面对着前面板的侧面；并且
在粘结步骤中，通过使面板上形成的封接材料层相互配合来将前面板和后面板放置在一起。
39．一种PDP制造方法，包括：
封接材料层形成步骤，用于在下列两个侧面上形成封接材料层：前面板的面对着后面板的侧面和后面板的面对着前面板的侧面；以及
粘结步骤，用于通过使面板上形成的封接材料层相互配合来粘结前面板和后面板。
40．一种PDP制造方法，包括：
荧光物质层形成步骤，用于在下列侧面中的至少一个上形成荧光物质层：前面板的面对着后面板的侧面和后面板的面对着前面板的侧面；
封接材料涂敷步骤，用于在下列侧面中的至少一个上涂敷封接材料：前面板的面对着后面板的侧面和后面板的面对着前面板的侧面；
粘结步骤，用于在荧光物质层形成步骤和封接材料涂敷步骤之后将前面板和后面板放置在一起以在面板之间形成内部空间，并且通过维持等于或高于封接材料的软化点的粘结温度来粘结前面板和后面板；以及
抽气步骤，用于在为粘结的面板维持高于室温的抽气温度的同时，从内部空间抽出气体，其中
在不需将粘结步骤中粘结的前面板和后面板冷却到室温的情况下，开始抽气步骤。
41．一种PDP制造方法，包括：
荧光物质层形成步骤，用于在下列侧面中的至少一个上形成荧光物质层：前面板的面对着后面板的侧面和后面板的面对着前面板的侧面；
封接材料涂敷步骤，用于在下列侧面中的至少一个上涂敷封接材料：前面板的面对着后面板的侧面和后面板的面对着前面板的侧面；
封接材料暂时烘焙步骤，用于通过维持暂时烘焙温度来暂时烘焙涂敷封接材料的前面板和后面板之一或两者；以及
粘结步骤，用于在荧光物质层形成步骤和封接材料暂时烘焙步骤之后将前面板和后面板放置在一起以在面板之间形成内部空间，并且通过维持等于或高于封接材料的软化点的粘结温度来粘结前面板和后面板，其中
在不需将在封接材料暂时烘焙步骤中已维持其暂时烘焙温度的一个或两个面板冷却到室温的情况下，开始粘结步骤。
42．一种PDP制造方法，包括：
荧光物质层形成步骤，用于在下列侧面中的至少一个上形成荧光物质层：前面板的面对着后面板的侧面和后面板的面对着前面板的侧面；
封接材料涂敷步骤，用于在下列侧面中的至少一个上涂敷封接材料：前面板的面对着后面板的侧面和后面板的面对着前面板的侧面；
封接材料暂时烘焙步骤，用于通过维持暂时烘焙温度来暂时烘焙涂敷封接材料的前面板和后面板之一或两者；
粘结步骤，用于在荧光物质层形成步骤和封接材料暂时烘焙步骤之后，将前面板和后面板放置在一起以在面板之间形成内部空间，并且通过维持等于或高于封接材料的软化点的粘结温度来粘结前面板和后面板；以及
抽气步骤，用于在为粘结的面板维持高于室温的抽气温度的同时，从内部空间抽出气体，其中
在从封接材料暂时烘焙步骤到抽气步骤的全部步骤中，都将前面板和后面板维持在高于室温的温度。
43．根据权利要求41或42的PDP制造方法，其中
在封接材料暂时烘焙步骤中已维持其暂时烘焙温度的一个或两个面板被加热到粘结温度之后，开始粘结步骤。
44．根据权利要求40或42的PDP制造方法，其中
在粘结的前面板和后面板被冷却到抽气温度之后，开始抽气步骤。
45．根据权利要求40或42的PDP制造方法，其中
在粘结的前面板和后面板维持于粘结温度之后，开始抽气步骤。
46．根据权利要求41或42的PDP制造方法，其中
封接材料暂时烘焙步骤是在面板的相互面对的侧面之间的空间开放的同时进行的，并且
该PDP制造方法在封接材料暂时烘焙步骤和粘结步骤之间还包括：
预加热步骤，用于在各面板的相互面对的侧面之间的空间开放的同时，加热前面板和后面板。
47．根据权利要求46的PDP制造方法，其中
在预加热步骤中，将前面板和后面板加热到高于暂时烘焙温度的温度。
48．根据权利要求46的PDP制造方法，其中
在预加热步骤中，将前面板和后面板加热到高于暂时烘焙温度的温度，并且随后
在前面板和后面板冷却到粘结温度之后，开始粘结步骤。
49．根据权利要求46的PDP制造方法，其中
预加热步骤是在低于大气压强的压强下进行的。
50．根据权利要求46的PDP制造方法，其中
预加热步骤是在干燥气体气氛中进行的。
51．根据权利要求40-42之一的PDP制造方法，其中
粘结步骤是在干燥气体在内部空间中循环的同时进行的。
52．根据权利要求41或42的PDP制造方法，其中
在封接材料暂时烘焙步骤中，将前面板和后面板放置在一起以在面板之间形成内部空间，并且封接材料暂时烘焙步骤是在干燥气体在内部空间中循环的同时进行的。
53．一种PDP制造方法，包括：
粘结步骤，用于将前面板和后面板放置在一起以在面板之间形成内部空间，并且通过维持等于或高于封接材料的软化点的粘结温度来粘结前面板和后面板；以及
抽气步骤，用于在为粘结的面板维持高于室温的抽气温度的同时，从内部空间抽出气体，其中
抽气温度为360℃或更高。
54．一种PDP制造方法，包括：
粘结步骤，用于将前面板和后面板放置在一起以在面板之间形成内部空间，并且通过维持等于或高于封接材料的软化点的粘结温度来粘结前面板和后面板；以及
抽气步骤，用于在为粘结的面板维持高于室温的抽气温度的同时，从内部空间抽出气体，其中
抽气温度为380℃或更高。
55．一种PDP制造方法，包括：
粘结步骤，用于将前面板和后面板放置在一起以在面板之间形成内部空间，并且通过维持等于或高于封接材料的软化点的粘结温度来粘结前面板和后面板；以及
抽气步骤，用于在为粘结的面板维持高于室温的抽气温度的同时，从内部空间抽出气体，其中
抽气温度为400℃或更高。
56．一种PDP制造方法，包括：
粘结步骤，用于将前面板和后面板放置在一起以在面板之间形成内部空间，并且通过维持等于或高于封接材料的软化点的粘结温度来粘结前面板和后面板；以及
抽气步骤，用于在为粘结的面板维持高于室温的抽气温度的同时，从内部空间抽出气体，其中
在干燥气体在内部空间中循环的同时，将粘结的前面板和后面板加热到预定的温度，随后开始抽气步骤。
57．根据权利要求56的PDP制造方法，其中
预定温度等于或高于抽气温度。
58．根据权利要求56的PDP制造方法，其中
预定温度和抽气温度中的至少一个为360℃或更高。
59．根据权利要求56的PDP制造方法，其中
预定温度和抽气温度中的至少一个为380℃或更高。
60．根据权利要求56的PDP制造方法，其中
预定温度和抽气温度中的至少一个为400℃或更高。
61．根据权利要求1-23、28、50、51和56中的一个权利要求的PDP制造方法，其中
在使用干燥气体的气氛中，干燥气体中蒸汽的分压强为15乇或更低。
62．根据权利要求1-23、28、50、51和56中的一个权利要求的PDP制造方法，其中
干燥气体的露点温度为20℃或更低。
63．根据权利要求1-23、28、50、51和56中的一个权利要求的PDP制造方法，其中
干燥气体包含氧。
64．根据权利要求1-23、28、50、51和56中的一个权利要求的PDP制造方法，其中
干燥气体为干燥空气。
65．一种PDP，它是根据权利要求1-42和权利要求52-60中的一个权利要求的PDP制造方法制造的。
66．一种PDP，它包括在一对相互平行的面板之间形成的多个单元，这多个单元中包括蓝色单元，在每个蓝色单元中形成有蓝色荧光物质层，这多个单元填充有气体介质，其中
当光只从蓝色单元发射时，从蓝色单元发射的光在CIE色别标志中的色度坐标y为0.08或更小。
67．一种PDP，它包括在一对相互平行的面板之间形成的多个单元，这多个单元中包括蓝色单元，在每个蓝色单元中形成有蓝色荧光物质层，这多个单元填充有气体介质，其中
当光只从蓝色单元发射时，从蓝色单元发射的光在CIE色别标志中的色度坐标y为0.07或更小。
68．一种PDP，它包括在一对相互平行的面板之间形成的多个单元，这多个单元中包括蓝色单元，在每个蓝色单元中形成有蓝色荧光物质层，这多个单元填充有气体介质，其中
当光只从蓝色单元发射时，从蓝色单元发射的光在CIE色别标志中的色度坐标y为0.06或更小。
69．一种PDP，它包括在一对相互平行的面板之间形成的多个单元，这多个单元中包括蓝色单元，在每个蓝色单元中形成有蓝色荧光物质层，这多个单元填充有气体介质，其中
当真空紫外线照射蓝色单元使蓝色单元激发时，从蓝色单元发射的光在CIE色别标志中的色度坐标y为0.08或更小。
70．一种PDP，它包括在一对相互平行的面板之间形成的多个单元，这多个单元中包括蓝色单元，在每个蓝色单元中形成有蓝色荧光物质层，这多个单元填充有气体介质，其中
当真空紫外线照射蓝色单元使蓝色单元激发时，从蓝色单元发射的光在CIE色别标志中的色度坐标y为0.07或更小。
71．一种PDP，它包括在一对相互平行的面板之间形成的多个单元，这多个单元中包括蓝色单元，在每个蓝色单元中形成有蓝色荧光物质层，这多个单元填充有气体介质，其中
当真空紫外线照射蓝色单元使蓝色单元激发时，从蓝色单元发射的光在CIE色别标志中的色度坐标y为0.06或更小。
72．一种PDP，它包括在一对相互平行的面板之间形成的多个单元，这多个单元中包括蓝色单元，在每个蓝色单元中形成有蓝色荧光物质层，这多个单元填充有气体介质，其中
当光只从蓝色单元发射时，从蓝色单元发射的光谱的峰值波长为455nm或更短。
73．一种PDP，它包括在一对相互平行的面板之间形成的多个单元，这多个单元中包括蓝色单元，在每个蓝色单元中形成有蓝色荧光物质层，这多个单元填充有气体介质，其中
当光只从蓝色单元发射时，从蓝色单元发射的光谱的峰值波长为453nm或更短。
74．一种PDP，它包括在一对相互平行的面板之间形成的多个单元，这多个单元中包括蓝色单元，在每个蓝色单元中形成有蓝色荧光物质层，这多个单元填充有气体介质，其中
当光只从蓝色单元发射时，从蓝色单元发射的光谱的峰值波长为451nm或更短。
75．一种PDP，它包括在一对相互平行的面板之间形成的多个单元，这多个单元中包括蓝色单元，在每个蓝色单元中形成有蓝色荧光物质层，这多个单元填充有气体介质，其中
当光从该多个单元的全部单元发射时，所发射的光的色温为7000K或更高。
76．一种PDP，它包括在一对相互平行的面板之间形成的多个单元，该多个单元的每一个都包括荧光物质层并且填充有气体介质，其中
当真空紫外线照射该多个单元的荧光物质层时，从这多个单元发射的光的色温为7000K或更高。
77．一种PDP，它包括在一对相互平行的面板之间形成的多个单元，这多个单元中包括蓝色单元，在每个蓝色单元中形成有蓝色荧光物质层，这多个单元中还包括绿色单元，在每个绿色单元中形成有绿色荧光物质层，这多个单元填充有气体介质，其中
当光在相同条件下从蓝色单元和绿色单元发射时，从蓝色单元发射的光谱的峰值强度与从绿色单元发射的光谱的峰值强度之比率为0.8或更大。
78．一种PDP，它包括在一对相互平行的面板之间形成的多个单元，这多个单元中包括蓝色单元，在每个蓝色单元中形成有蓝色荧光物质层，这多个单元中还包括绿色单元，在每个绿色单元中形成有绿色荧光物质层，这多个单元填充有气体介质，其中
在蓝色单元中的蓝色荧光物质层由真空紫外线激发后从蓝色单元发射的光谱的峰值强度与在绿色单元中的绿色荧光物质层由真空紫外线激发后从绿色单元发射的光谱的峰值强度之比率为0.8或更大。
79．根据权利要求66-78中的一个权利要求的PDP，其中
多个单元的每一个对应于多种颜色之一，并且
对应于一种颜色的单元的总面积最大应当是对应于另一种颜色的单元的总面积的1.3倍或更小。
80．根据权利要求66-78中的一个权利要求的PDP，其中
蓝色荧光物质层是由BaMgAl10O17∶Eu制成的。
81．根据权利要求80的PDP，其中
绿色荧光物质层是由Zn2SiO4制成的。
82．一种PDP，它包括在一对相互平行的面板之间形成的多个单元，这多个单元中包括蓝色单元，在每个蓝色单元中形成有蓝色荧光物质层，这多个单元填充有气体介质，其中
蓝色荧光物质层是由BaMgAl10O17∶Eu制成的，并且
蓝色荧光物质层的晶体中c轴长度与a轴长度之比率为4.0218或更小。
83．一种PDP，它包括在一对相互平行的面板之间形成的多个单元，这多个单元中包括蓝色单元，在每个蓝色单元中形成有蓝色荧光物质层，这多个单元填充有气体介质，其中
蓝色荧光物质层是由BaMgAl10O17∶Eu制成的，并且
当按照TDS分析法测量时，在200℃或更高温度下，从蓝色荧光物质层解吸的H2O中包含的分子数量的最大值为1×1015/克或更少。
84．一种PDP，包括：
一对相互平行的面板；
在此对面板之间形成的多个单元；
多个分隔壁，它们按条状形成在此对面板之间并且分隔多个单元；以及
一个封接材料层，它以框架形状在此对面板的外部区域形成在此对面板之间，并且将此对面板粘结在一起，其中
与流经介于多个分隔壁的两个最外侧分隔壁和封接材料层之间的一对间隙中的每个间隙的气体的流动阻力相比，流经多个分隔壁之间的每个间隙的气体的流动阻力更大。
85．一种PDP，包括：
一对相互平行的面板；
在此对面板之间形成的多个单元；
多个分隔壁，它们按条状形成在此对面板之间并且分隔多个单元；以及
一个封接材料层，它以框架形状在此对面板的外部区域形成在此对面板之间，并且将此对面板粘结在一起，其中
一对第一间隙形成在多个分隔壁的边缘和封接材料层的两个内侧侧边之间，并且
此对第一间隙的最小宽度大于一对第二间隙的最小宽度，该第二间隙处于多个分隔壁中的两个最外侧分隔壁和封接材料层的其它侧边之间。
86．根据权利要求85的PDP，其中
此对第一间隙的最小宽度是此对第二间隙的最小宽度的两倍或更大。
87．根据权利要求85的PDP，其中
此对第一间隙的最小宽度是此对第二间隙的最小宽度的三倍或更大。
88．一种PDP，包括：
一对相互平行的面板；
在此对面板之间形成的多个单元；
多个分隔壁，它们按条状形成在此对面板之间并且分隔多个单元；以及
一个封接材料层，它以框架形状在此对面板的外部区域形成在此对面板之间，并且将此对面板粘结在一起，其中
一对第一间隙形成在多个分隔壁的边缘和封接材料层的两个内侧侧边之间，并且
多个分隔壁中的两个最外侧分隔壁中的每一个都至少部分地与封接材料层接触。
89．一种PDP，包括：
一对相互平行的面板；
在此对面板之间形成的多个单元；
多个第一分隔壁，它们按条状形成在此对面板之间并且分隔多个单元；
一个封接材料层，它以框架形状在此对面板的外部区域形成在此对面板之间，并且将此对面板粘结在一起；以及
一个第二分隔壁，它形成在此对面板之间，并且与封接材料层的内侧接触，其中
一对第一间隙形成在多个第一分隔壁的边缘和第二分隔壁的两个内侧侧边之间，并且
此对第一间隙的最小宽度大于一对第二间隙的最小宽度，第二间隙处于多个分隔壁中的两个最外侧分隔壁和第二分隔壁的其它侧边之间。
90．根据权利要求89的PDP，其中
此对第一间隙的最小宽度是此对第二间隙的最小宽度的两倍或更大。
91．根据权利要求89的PDP，其中
此对第一间隙的最小宽度是此对第二间隙的最小宽度的三倍或更大。
92．一种PDP，包括：
一对相互平行的面板；
在此对面板之间形成的多个单元；
多个第一分隔壁，它们按条状形成在此对面板之间并且分隔多个单元；
一个封接材料层，它以框架形状在此对面板的外部区域形成在此对面板之间，并且将此对面板粘结在一起；以及
一个第二分隔壁，它形成在此对面板之间，并且与封接材料层的内侧接触，其中
一对第一间隙形成在多个第一分隔壁的边缘和第二分隔壁的两个内侧侧边之间，并且
多个第一分隔壁中的两个最外侧分隔壁中的每一个都至少部分地与第二分隔壁接触。
93．一种PDP制造设备，包括：
一个加热炉，用于在其中容纳在其上形成有荧光物质层和MgO层中的至少一个层的面板并且用于加热面板；以及
一个干燥气体供给机构，用于向加热炉中供给干燥气体，以在加热炉中形成干燥气体气氛。
94．根据权利要求93的PDP制造设备，还包括：
一个抽气机构，用于从加热炉中抽出气体，以使加热炉中的压强降低到低于大气压强。
95．一种PDP制造设备，包括：
一个加热炉，用于在其中容纳一个前面板和一个后面板并且加热该前面板和后面板，其中前面板和后面板已被放置在一起并且在下列侧面中的至少一个上形成有荧光物质层：前面板的面对着后面板的侧面和后面板的面对着前面板的侧面；以及
一个干燥气体供给机构，用于向前面板和后面板之间的内部空间中供给干燥气体。
96．根据权利要求95的PDP制造设备，其中
当面板被放置在一起从而在面板之间形成内部空间时，加热炉中容纳前面板和后面板，并且该PDP制造设备还包括：
一个抽气机构，用于从内部空间抽出气体。
97．根据权利要求93-96中的一个权利要求的PDP制造设备，其中
在使用干燥气体的气氛中，由干燥气体供给机构供给的干燥气体中蒸汽的分压强为15乇或更低。
98．根据权利要求93-96中的一个权利要求的PDP制造设备，其中
由干燥气体供给机构供给的干燥气体的露点温度为20℃或更低。
99．一种PDP制造设备，用于：将一个前面板和一个后面板放置在一起，前面板和后面板具有在下列侧面中的至少一个上形成的荧光物质层：前面板的面对着后面板的侧面和后面板的面对着前面板的侧面，并且在前面板和后面板之间形成有封接材料；以及通过加热面板并且使封接材料软化来粘结面板，从而在面板之间形成内部空间，该PDP制造设备还包括：
一个加热机构，用于加热前面板和后面板；
一个移动机构，用于使已放置在一起的前面板和后面板沿一定的路径移动，从而使面板相互分离，并且通过使面板在相反方向上移动来将前面板和后面板放置在一起。
100．根据权利要求99的PDP制造设备，还包括：
一个容室，其中容纳前面板和后面板；和
一个抽气机构，用于从容室中抽出气体。
101．一种PDP制造设备，用于：将一个前面板和一个后面板放置在一起，前面板和后面板具有在下列侧面中的至少一个上形成的荧光物质层：前面板的面对着后面板的侧面和后面板的面对着前面板的侧面，并且在前面板和后面板之间形成有封接材料；以及通过加热面板并且使封接材料软化来粘结面板，该PDP制造设备包括：
一个容室，其中容纳前面板和后面板；
一个抽气机构，用于从容室中抽出气体；和
一个加热机构，用于加热容室中容纳的前面板和后面板。
102．根据权利要求101的PDP制造设备，还包括：
一个干燥气体供给机构，用于向容室中供给干燥气体。
103．一种PDP制造设备，用于：将一个前面板和一个后面板放置在一起，前面板和后面板具有在下列侧面中的至少一个上形成的荧光物质层：前面板的面对着后面板的侧面和后面板的面对着前面板的侧面，并且在前面板和后面板之间形成有封接材料；以及通过加热面板并且使封接材料软化来粘结面板，从而在面板之间形成内部空间，该PDP制造设备包括：
一个抽气机构，用于从内部空间中抽出气体；和
一个加热机构，用于加热前面板和后面板。
104．根据权利要求103的PDP制造设备，还包括：
一个干燥气体供给机构，用于向前面板和后面板之间的内部空间中供给干燥气体。
105．根据权利要求102或104的PDP制造设备，其中
在使用干燥气体的气氛中，由干燥气体供给机构供给的干燥气体中蒸汽的分压强为15乇或更低。
106．根据权利要求102或104的PDP制造设备，其中
由干燥气体供给机构供给的干燥气体的露点温度为20℃或更低。
107．根据权利要求102或104的PDP制造设备，其中
由干燥气体供给机构供给的干燥气体包含氧。
108．根据权利要求102或104的PDP制造设备，其中
由干燥气体供给机构供给的干燥气体为干燥空气。
109．一种PDP显示设备，包括：
根据权利要求1-42、53-60中的一个权利要求的PDP制造方法制造的PDP；和
用于激励PDP的激励电路。
110．一种PDP显示设备，包括：
根据权利要求66-78中的一个权利要求的PDP；和
用于激励PDP的激励电路。
111．一种PDP显示设备，包括：
根据权利要求80的PDP；和
用于激励PDP的激励电路。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101630617B (zh) * 2008-07-18 2011-09-28 松下电器产业株式会社 等离子体显示器面板的制造方法
CN102436994A (zh) * 2011-12-14 2012-05-02 四川虹欧显示器件有限公司 等离子显示屏的封接方法
CN110908152A (zh) * 2019-11-08 2020-03-24 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 基板组立机台及基板组立成盒的方法

Families Citing this family (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6744208B2 (en) * 2000-01-26 2004-06-01 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Discharge light-emitting device and method manufacture thereof
WO2001075926A1 (fr) * 2000-03-31 2001-10-11 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Procede de fabrication d'un ecran a plasma
KR100884152B1 (ko) * 2001-01-17 2009-02-17 파나소닉 주식회사 플라즈마 디스플레이 패널 및 그 제조방법
KR100404191B1 (ko) * 2001-04-04 2003-11-03 엘지전자 주식회사 플라즈마 디스플레이 패널과 그 제조설비 및 제조공정
US7037156B2 (en) 2001-12-25 2006-05-02 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method of manufacturing a plasma display panel with adsorbing an impurity gas
US7592980B2 (en) 2002-06-05 2009-09-22 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device
US20040005769A1 (en) * 2002-07-03 2004-01-08 Cabot Microelectronics Corp. Method and apparatus for endpoint detection
KR100563048B1 (ko) * 2003-09-25 2006-03-24 삼성에스디아이 주식회사 플라즈마 표시장치 조립체
JP5068924B2 (ja) 2004-02-20 2012-11-07 中外炉工業株式会社 ガラスパネル組立体の連続封着処理炉および封着処理方法
JP2005317507A (ja) * 2004-03-30 2005-11-10 Sanyo Electric Co Ltd 有機エレクトロルミネッセンス装置
US20060042316A1 (en) * 2004-08-24 2006-03-02 Canon Kabushiki Kaisha Method of manufacturing hermetically sealed container and image display apparatus
KR100590043B1 (ko) * 2004-09-24 2006-06-14 삼성에스디아이 주식회사 플라즈마 디스플레이 패널
US7830077B2 (en) * 2005-04-07 2010-11-09 Panasonic Corporation Light-emitting device configured to emit light by a creeping discharge of an emitter
KR100637238B1 (ko) * 2005-08-27 2006-10-23 삼성에스디아이 주식회사 플라즈마 디스플레이 패널과, 이의 제조 방법
US8460048B2 (en) * 2007-06-15 2013-06-11 Ulvac, Inc. Method and apparatus for manufacturing plasma display panel
JP2010118153A (ja) * 2008-11-11 2010-05-27 Panasonic Corp プラズマディスプレイパネルの製造方法
JP5090401B2 (ja) * 2009-05-13 2012-12-05 パナソニック株式会社 プラズマディスプレイパネルの製造方法
US8753987B2 (en) * 2010-06-08 2014-06-17 Sumitomo Metal Mining Co., Ltd. Method of manufacturing metal oxide film
JP5947098B2 (ja) 2011-05-13 2016-07-06 株式会社半導体エネルギー研究所 ガラス封止体の作製方法および発光装置の作製方法
KR102038844B1 (ko) 2011-06-16 2019-10-31 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 밀봉체의 제작 방법 및 밀봉체, 그리고 발광 장치의 제작 방법 및 발광 장치
JP6111022B2 (ja) 2011-06-17 2017-04-05 株式会社半導体エネルギー研究所 封止体の作製方法および発光装置の作製方法
WO2013031509A1 (en) 2011-08-26 2013-03-07 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Light-emitting device, electronic device, lighting device, and method for manufacturing the light-emitting device
US9472776B2 (en) 2011-10-14 2016-10-18 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Method for manufacturing sealed structure including welded glass frits
JP2013101923A (ja) 2011-10-21 2013-05-23 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 分散組成物の加熱方法、及びガラスパターンの形成方法
KR102058387B1 (ko) 2011-11-28 2019-12-24 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 유리 패턴 및 그 형성 방법, 밀봉체 및 그 제작 방법, 및 발광 장치
TWI569490B (zh) 2011-11-28 2017-02-01 半導體能源研究所股份有限公司 密封體，發光模組，及製造密封體之方法
KR102001815B1 (ko) 2011-11-29 2019-07-19 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 밀봉체의 제작 방법 및 발광 장치의 제작 방법
CN102748714B (zh) * 2012-06-28 2013-12-11 深圳市华星光电技术有限公司 荧光粉基板的制作方法及用该荧光粉基板的液晶模组
KR20140016170A (ko) 2012-07-30 2014-02-07 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 밀봉체 및 유기 전계 발광 장치
US9362522B2 (en) 2012-10-26 2016-06-07 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Method for bonding substrates, method for manufacturing sealing structure, and method for manufacturing light-emitting device

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3837724A (en) 1971-12-30 1974-09-24 Ibm Gas panel fabrication
US3944868A (en) * 1974-07-30 1976-03-16 Panel Technology, Inc. Segmented gas discharge display panel device
US4018490A (en) 1975-07-07 1977-04-19 International Business Machines Corporation Gas discharge display panel fabrication
JPS60193229A (ja) * 1984-03-15 1985-10-01 Nec Corp プラズマデイスプレイパネルの製造方法
JPH0218834A (ja) * 1988-07-05 1990-01-23 Nec Kansai Ltd 蛍光膜形成方法
JPH0523412A (ja) * 1991-07-23 1993-02-02 Furukawa Electric Co Ltd:The 人工スキー場用滑走マツト
US5330941A (en) * 1991-07-24 1994-07-19 Asahi Glass Company Ltd. Quartz glass substrate for polysilicon thin film transistor liquid crystal display
EP0554172B1 (en) * 1992-01-28 1998-04-29 Fujitsu Limited Color surface discharge type plasma display device
JPH05234512A (ja) * 1992-02-21 1993-09-10 Nec Corp ガス放電表示パネルの製造方法
JP3236665B2 (ja) * 1992-06-05 2001-12-10 富士通株式会社 Ａｃ型プラズマディスプレイパネルのエージング方法
JPH0762339A (ja) 1993-08-30 1995-03-07 Fuji Xerox Co Ltd 蛍光体膜およびその作製方法
JP3476234B2 (ja) 1993-12-16 2003-12-10 富士通株式会社 プラズマディスプレイパネル及び駆動方法
JPH08115673A (ja) 1994-10-17 1996-05-07 Kasei Optonix Co Ltd 真空紫外線励起発光素子
JP3212837B2 (ja) 1995-06-30 2001-09-25 富士通株式会社 プラズマディスプレイパネル及びその製造方法
JP3763028B2 (ja) * 1995-11-15 2006-04-05 化成オプトニクス株式会社 蛍光膜及びその製造方法
JP3554432B2 (ja) 1996-01-11 2004-08-18 中外炉工業株式会社 プラズマディスプレイパネルの製造方法
JP3434416B2 (ja) 1996-07-10 2003-08-11 株式会社日立製作所 プラズマディスプレイパネルの封止構造
KR19980017588A (ko) * 1996-08-31 1998-06-05 엄길용 플라즈마 표시소자의 에이징방법
US5951350A (en) * 1996-09-18 1999-09-14 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Production method of plasma display panel suitable for minute cell structure, the plasma panel, and apparatus for displaying the plasma display panel
JPH10121041A (ja) 1996-10-15 1998-05-12 Mitsubishi Chem Corp 映像表示管
JP3978867B2 (ja) 1997-05-29 2007-09-19 東レ株式会社 プラズマディスプレイ用基板、プラズマディスプレイ、および、その製造方法
JPH11297212A (ja) 1998-04-15 1999-10-29 Hitachi Ltd プラズマディスプレイ
KR100428970B1 (ko) * 1998-12-15 2004-06-16 삼성에스디아이 주식회사 플라즈마 디스플레이 소자의 제조방법 및 장치
US6817917B1 (en) * 1999-05-28 2004-11-16 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Manufacturing method for a plasma display panel with superior luminescence

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101630617B (zh) * 2008-07-18 2011-09-28 松下电器产业株式会社 等离子体显示器面板的制造方法
CN102436994A (zh) * 2011-12-14 2012-05-02 四川虹欧显示器件有限公司 等离子显示屏的封接方法
CN102436994B (zh) * 2011-12-14 2014-12-10 四川虹欧显示器件有限公司 等离子显示屏的封接方法
CN110908152A (zh) * 2019-11-08 2020-03-24 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 基板组立机台及基板组立成盒的方法

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