CN101630617B - 等离子体显示器面板的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能够以良好的均一性、简单并且低成本地去除保护层表面的变质层的PDP制造方法。该PDP制造方法构成为，包括：(i)准备在基板A上形成电极A、电介质层A和保护层的前面板、以及在基板B上形成电极B、电介质层B、隔壁和荧光体层的背面板的工序，(ii)在基板A或基板B的周边区域涂敷玻璃粉材料，并以夹着玻璃粉材料的方式将前面板与背面板对置配置的工序，(iii)在对前面板以及背面板进行加热的状态下，从前面板以及背面板的横向，向对置配置的前面板与背面板之间吹入气体的工序，以及(iv)使玻璃粉材料熔融，使前面板和背面板密封的工序。

Description

等离子体显示器面板的制造方法

技术领域

本发明涉及等离子体显示器面板的制造方法。更详细而言，是涉及当等离子体显示器面板的制造时去除「在前面板的保护层表面所形成的变质层」的方法。

背景技术

作为用于以大画面显示高质量电视图像的显示器装置，对使用等离子体显示器面板(以下，称为“PDP”)的显示器装置的期待正在提高。

PDP(例如三电极面放电型PDP)，从观看视频影像的人角度来看，具有将成为表面侧的前面板与其里侧的背面板对置配置，且以密封材料密封了它们的周边部的结构。在前面板与背面板之间所形成的放电空间中封装入氖以及氙等的放电气体。前面板具有由形成于玻璃基板上的扫描电极和维持电极形成的显示电极、覆盖这些电极的电介质层和保护层。背面板具有在玻璃基板上与上述显示电极垂直方向上以条状所形成的多个寻址电极、覆盖这些寻址电极的基底电介质层、按照每个寻址电极区划放电空间的隔壁(rib)、和在隔壁的侧面以及基底电介质层上所形成的红色(R)·绿色(G)·蓝色(B)的荧光体层(例如，参照专利文献1)。

显示电极与寻址电极垂直相交，其交叉部构成放电单元。这些放电单元以矩阵状排列，具有红色·绿色·蓝色的荧光体层的三个放电单元构成用于全彩色显示的像素。在这样的PDP中，依次在扫描电极与寻址电极之间、以及扫描电极与维持电极之间施加规定的电压而产生气体放电。然后，通过由该气体放电而产生的紫外线，激发荧光体层，并产生可视光，来实现彩色图像显示。

作为这样的PDP的保护层的成分，一般广泛使用了氧化镁(MgO)。PDP的工作电压依赖于该保护层的二次电子放出系数。因此，为了谋求工作电压的低电压化，提出了将工作函数更小的碱土类金属的氧化物(例 如，氧化钙、氧化锶、氧化钡等)作为保护层成分来使用。然而，这些碱土类金属的氧化物的吸湿性高，在形成保护层后能够吸着周围空气中的水分。由此，保护层的表面区域会变质成水氧化物，存在导致不稳定的放电特性的问题。

为了处理上述问题，提出了在干燥空气中连续进行从保护层形成工序后到密封工序的方法(例如，参照专利文献2)、或在真空中连续进行从保护层形成工序后到密封工序的方法(例如，参照专利文献3)。这样的方法，是试图在保护层形成之后不使保护层吸着水分等杂质。然而，在前者的方法(「在干燥空气中连续进行从保护层形成工序后到密封工序的方法」)中，由于在干燥空气中含有一定量的水分或二氧化碳，所以只要其含有量不够小，则会经过数10分钟～数小时的暴露而形成变质层(例如，在露点-20℃的干燥空气中含有0.1％的水分、在露点-40℃的干燥空气中含有0.013％的水分、在露点-60℃的干燥空气中含有0.0011％「11ppm」的水分)。在PDP的制造工序中，一般地，从保护层形成工序到密封工序有数小时以上的工序贮存，假设即使使用露点极其低的干燥空气(例如露点是-60℃以下的干燥空气)，也不可避免变质层的形成。此外，即使是后者的方法(「在真空中连续进行从保护层形成工序后到密封工序的方法」)，传输系统以及密封装置的结构会极其复杂，并不现实。此外，需要将大的空间总保持为真空，需要很高的成本。

还提出了一边净化吸着杂质的保护层，一边进行密封的方法。该方法试图通过使杂质以气体状态从保护层脱离，最终去除含有杂质的变质层。例如，公开了在前面板或后面板上设置第一玻璃管以及第二玻璃管，通过一边从第一玻璃管对面板内部进行排气，一边从第二玻璃管向面板内部供给干燥气体，使面板内部的残留杂质降低的方法(参照专利文献4)。然而，在此方法中，需要两个玻璃管，所以密封装置的结构极其复杂，不容易实现。假设即使实现了这些，也会由于在与供气玻璃管近的位置和远的位置处，干燥气体的流速或杂质气体浓度产生很大的不同，所以在面板的工作电压中产生面内不均(即，面板的工作电压在面板面内不均一)。作为一个玻璃管，即使是在直到密封前从该玻璃管向面板内供给干燥气体，并且密封后从相同的玻璃管进行排气的情况下，在与供气玻璃管近的位置 和远的位置处，由于在干燥气体的流速或杂质气体浓度上产生很大的不同，所以在面板的工作电压中产生了面内不均。

此外，还提出了通过在加热炉内装入「被对置配置的前面板以及背面板」，密闭加热炉，此后，向加热炉内导入氛围气体并从加热炉排出气体，来进行面板密封的方法(例如，参照专利文献5)。然而，在此方法中，干燥气体的大多数流到面板的外部，气体使用量会变得很大。并且，不仅需要将加热炉作为容器来形成密闭结构，还需要在高温下移动背面板，这样作为装置的结构极其复杂。在高温下移动背面板，有引起“校准偏离”的危险性。

如上所述，在现有的PDP制造中，存在不能均一性良好、简单并且低成本地去除保护层表面的变质层的问题点。

[专利文献1]JP特开2002-216620号公报

[专利文献2]JP特开2002-231129号公报

[专利文献3]JP特开2000-156160号公报

[专利文献4]JP特开2002-150938号公报

[专利文献5]JP特开2001-35372号公报

发明内容

本发明是鉴于上述问题的发明。即本发明的课题是提供均一性良好、能够简单并且低成本地去除保护层表面的变质层的制造方法。

为了解决上述课题，本发明提供一种等离子体显示器面板的制造方法，包括：

工序(i)准备在基板A上形成电极A、电介质层A和保护层的前面板、以及在基板B上形成电极B、电介质层B、隔壁和荧光体层的背面板；

工序(ii)在基板A或基板B的周边区域涂敷玻璃粉材料，并以夹着玻璃粉材料的方式将前面板与背面板对置配置；

工序(iii)在对前面板以及背面板进行加热的状态下，从前面板以及背面板的横向，向对置配置的前面板与背面板之间吹入气体；以及

工序(iv)使玻璃粉材料熔融，使前面板和背面板密封。特别地，优选前面板以及背面板的主面具有正方形或矩形，并且在所述工序(iii)中，从构成正方形或矩形的一边的「前面板以及背面板的侧部」整体地吹入气体。此外，保护层优选构成为，包含从由氧化镁、氧化钙、氧化锶以及氧化钡构成的组中所选择的至少一种以上的金属氧化物，吹入气体优选是对保护层为惰性的气体，例如从由氮气、稀有气体以及干燥空气构成的组中所选择的至少一种以上的气体。

本发明将从「对置配置的前面板以及背面板的侧部」向它们之间的空间横向地吹入气体作为特征之一。更具体的，将从前面板与背面板重合的部分的侧部，向「对置配置的前面板与背面板之间的空间」吹入气体作为特征之一。

在本说明书中，所谓「从前面板以及背面板的横向吹入气体」，是指相对于前面板与背面板对置的方向实际上垂直的方向，例如实际上意味着从“水平方向”向前面板与背面板的间隙流入气体(参照图1)。此外，在本说明书中，所谓「基板A或基板B的周边区域」，是指位于设置于基板上的各种要素的外侧的周边区域，实际上意味着在一般的PDP制造方法中涂敷密封材料的区域。此外，本说明书中所谓「变质层的去除」，是指从吸着了杂质的保护层去除杂质，或者，使保护层成为水氧化物或碳氧化物的部分恢复成本来的氧化物。

在某一优选方式中，前面板以及背面板的主面为矩形，在工序(iii)中从成为矩形的长边的「前面板以及背面板的侧部」横向地吹入气体。此外，当电极A或电极B的引出线从一个侧部a延长时，优选从位置关系与侧部a呈对置的侧部b吹入气体。

在工序(iii)的「气体的吹入」时，优选将气体供给部件或管嘴配置于「前面板以及背面板的侧部」。特别地，优选使前面板以及背面板的相互对向的面中的一方，与气体供给部件或管嘴接触或贴紧。即，优选在前面板与背面板重合的部分的侧部设置气体供给部件。使用气体供给部件时，优选从设置于气体供给部件的多个供给口并列地吹入气体。

在某一优选方式中，在工序(ii)中，在基板A或基板B的周边区域断续地设置玻璃粉。或者，对所涂敷的玻璃粉材料设置多个槽。由此，使前面板与背面板对置配置时形成基于玻璃粉材料的“通道”，确保所吹入的气体的通气路径。

在工序(iii)的实施时，可同时进行工序(iv)。此时，由于玻璃粉材料的熔融，在周边区域中基板A与基板B之间被堵塞，所以“向前面板与背面板之间的空间的气体的吹入”自动地或自然地停止。

在某一优选方式中，在工序(ii)中，在由前面板、背面板、气体供给部件以及玻璃粉材料所包围的空间的至少一部分，设置金属箔，以使有效地吹入气体。

此外，在本发明的制造方法中，在工序(iv)之后，还包括(v)对前面板与背面板之间的空间的气体进行排气，并在前面板与背面板之间封装入放电气体的工序。特别地，在工序(v)中，经由设置于前面板或背面板的贯通孔进行排气以及封装入。

根据本发明的制造方法，能够以良好的均一性、简单并且低成本地去除保护层表面的变质层，能够得到面板寿命优异的等离子体显示器面板。其详述如以下：

在本发明的制造方法中，由于是在保护层的表面附近以存在气体流动(例如氮气等的惰性气体流动)的状态下被加热，形成变质层的杂质脱离而随着气体流动。所以，形成从保护层表面去除变质层，对保护层进行净化。

特别地，由于从前面板以及背面板的横向整体吹入气体，所以在所吹入的气体流动的面板面内的均一性良好。由此，能够使保护层的清洁度的面内均一性提高，能够实现提高了驱动电压、亮度、色度等面板诸特性的均一性的PDP。即，如在专利文献4中所公开的现有的技术中，在与供气玻璃管近的位置和远的位置处，吹入气体的流速或不纯气体浓度产生很大不同，所以在面板的驱动电压、亮度、色度等中产生面内不均。与「作为一个玻璃管，直到密封前从该玻璃管向面板内供给干燥气体，并在密封后从玻璃管进行排气」的现有技术相同，由于在与供气玻璃管近的位置和远的位置处，干燥气体的流速或不纯气体浓度产生很大不同，所以在面板的驱动电压、亮度、色度等中产生面内不均。此点，在本发明的制造方法中，能够形成大致在面内均一的“吹入气流”，所以可认为保护层的清洁度的面内均一性良好，并能够提高驱动电压、亮度、色度等的面板诸特性 的均一性。此外，在「作为一个玻璃管，直到密封前从该玻璃管向面板内供给干燥气体，并在密封后从玻璃管进行排气」的情况下，需要在玻璃粉(glass frit)材料的软化点以上的温度下减少氮气的吹入量，或者实际上将氮气的吹入量设置为零，以使在干燥气体的供给中两枚基板间的内压不过分上升。即，在此现有的技术中，必须在合适的时刻进行气体流量的变更这点是很麻烦的。此点，在本发明的制造方法中，由于在玻璃粉材料的软化的同时吹入面板内的气体流量实际上在降低，所以有变更气体流量的时机可以很粗略的优点。

进一步而言，在本发明的制造方法中，能够制造不仅在保护层的表面，而且在背面板的隔壁或荧光体层的表面也几乎不吸着水分或二氧化碳等的PDP。即，在所制造的PDP的内部，几乎不包含水分、二氧化碳等成为使保护层表面变质·劣化的主要因素的气体。其结果，可实现一种即使长时间驱动PDP，也防止「由于向放电空间放出H₂O或CO₂等的不纯气体而保护层或荧光体层发生变质」，且放电电压·亮度等的变化很小、面板寿命优异的PDP。此外，所谓「在保护层的表面没有变质层，没有在背面板上的气体吸着」，是指实质上不需要时效(ageing)，或者即使需要也是极短时间即可。

附图说明

图1是示意地表示本发明的概念的剖视图。

图2(a)是示意地表示PDP的概略结构的立体图。

图2(b)是示意地表示PDP前面板的剖视图。

图3是表示所涂敷的玻璃粉材料的配置的俯视图。

图4是示意地表示设置气体供给部件的方式的剖视图(沿着图6的线A-A′截取的剖面图)。

图5是示意地表示设置气体供给部件的方式的分解立体图。

图6是示意地表示气体供给口以及气体流动的俯视图(虚线a表示背面侧的边缘)。

图7是示意地表示设置金属箔的方式的剖面图(沿着图6的线B-B′截取的剖面图)。

图8是表示与本发明的制造方法相关的PDP的制造工序的概略的流程图。

图9是示意地表示气体供给口与气体导入槽的位置偏离的样子的俯视图(虚线a表示背面侧的边缘)。

图10是在实施例中所进行的「放电开始电压的变动幅度的确认试验」的结果(图10(a)是表示现有例的结果，图10(b)是表示本发明的结果)。

图中：1-前面板，2-背面板，10-前面板侧的基板A，11-前面板侧的电极A(显示电极)，12-扫描电极，12a-透明电极，12b-汇流电极，13-维持电极，13a-透明电极，13b-汇流电极，14-黑色条(遮光层)，15-前面板侧的电介质层A，16-保护层，20-背面板侧的基板B，21-背面板侧的电极B(寻址电极)，22-背面板侧的电介质层B，23-隔壁，25-荧光体层，29-贯通孔，30-放电空间，32-放电单元，38-所涂敷的玻璃粉材料，40-气体供给部件，42-气体供给管，43-歧管中空部，44-气体供给部件的供给口，55-锥管，56-玻璃粉环，57-夹头，58-配管，60-金属箔，61-气体导入槽，62-气体排出槽，70-夹子，100-PDP。

具体实施方式

以下，详细地说明本发明的等离子体显示器面板的制造方法。

[等离子体显示器面板的结构]

首先，简单地说明通过经本发明的制造方法最终所得到的等离子体显示器面板。图2(a)通过剖面立体图示意地表示PDP的结构，并且图2(b)示意地表示PDP的前面板的剖视图。

本发明的PDP(100)的结构，如图2(a)所示，由「在基板A(10)上设置了电极A(11)、电介质层A(15)和保护层(16)的前面板(1)」以及「在基板B(20)上设置了电极B(21)、电介质层B(22)、隔壁(23)和荧光体层(25)的背面板(2)」形成。

如图所示，在前面板(1)中，在基板A(10)上设置了电极A(11)，以覆盖电极A(11)方式在基板A(10)上设置了电介质层A(15)，此 外，在电介质层A(15)上设置了保护层(16)。在背面板(2)中，在基板B(20)上设置了电极B(21)，以覆盖电极B(21)的方式在基板B(20)上设置了电介质层B(22)，在电介质层B(22)上设置了隔壁(23)以及荧光体层(25)。前面板(1)与背面板(2)对置配置以使保护层(16)与荧光体层(25)相对向。前面板(1)以及背面板(2)的周边部，通过由例如低熔点粉玻璃材料等形成的密封部件而被气密封(未图示)。在形成于前面板(1)与背面板(2)之间的放电空间(30)中优选以20kPa～80kPa压力封装入放电气体(氦、氖或氙等)。

更具体地说明本发明的PDP(100)。本发明的PDP(100)的前面板(1)，如上所述，具有基板A(10)、电极A(11)、电介质层A(15)以及保护层(16)。基板A(10)是透明且具有绝缘性的基板(厚度例如约1.0mm以上并且约3mm以下)。作为基板A(10)，例如除了可列举以浮法(float process)等所制造的浮法玻璃基板之外，还可列举钠钙玻璃基板或硼酸盐玻璃基板。电极A(11)是在基板A(10)上以条状平行配置的多个电极，例如是由扫描电极(12)以及维持电极(13)构成的显示电极。此时，扫描电极(12)以及维持电极(13)分别由「由氧化铟(InO)或氧化锡(SnO₂)等构成的透明导电膜即透明电极(12a、13a)」以及该透明电极上所形成的「将银作为主要成分的汇流电极(12b、13b)」所构成(参照图2(b))。透明电极(12a、13a)主要作为使在荧光体层产生的可视光透过的电极来发挥功能，另一方面，汇流电极(12b、13b)主要作为用于在透明电极的纵向上赋予导电性的电极来发挥功能。透明电极(12a、13a)的厚度优选约50nm～约500nm。此外，汇流电极(12b、13b)的厚度优选约1μm以上并且约20μm以下。此外，如图2(a)所示，在基板A(10)上黑色条(14)(遮光层)还能够形成为图案。

电介质层A(15)以覆盖形成于基板A(10)的表面的电极A(11)的方式被设置。该电介质层A(15)是由涂敷以及加热处理主要由玻璃成分以及载色剂(vehicle)成分(＝包含粘合树脂以及有机溶剂的成分)形成的电介质原料糊而得到的玻璃组成构成的膜。在电介质层A(15)上，例如形成由氧化镁构成的保护层(16)(厚度例如约0.5μm以上并且约1.5μm以下)。保护层(16)具有从放电的冲击(更具体而言「基于等离 子体的离子冲击」)保护电介质层A(15)的功能。

本发明的PDP的背面板(2)，如上所述，具有基板B(20)、电极B(21)、电介质层B(22)、隔壁(23)以及荧光体层(25)。基板B(20)优选透明且具有绝缘性的基板(厚度例如大约1.0mm以上并且约3mm以下)，例如，除了可列举以浮法等所制造的浮法玻璃基板之外，还可列举钠钙玻璃基板或硼酸盐玻璃基板。电极B(21)是多个以条状形成于基板B(20)上的将银作为主成分的电极(厚度例如约1μm以上并且约10μm以下)，例如，寻址电极(或者数据电极)。寻址电极主要具有选择性地使各放电单元进行放电的功能。

电介质层B(22)，一般称为基底电介质层，以覆盖形成于基板B(20)的表面的电极B(21)的方式被设置。该电介质层B(22)，是由涂敷以及加热处理主要由玻璃成分以及载色剂成分(＝包含粘合树脂以及有机溶剂的成分)形成的电介质原料糊而得到的玻璃组成构成的膜。电介质层B(22)的厚度，例如约5μm以上并且约50μm以下。在电介质层B(22)上，形成以荧光体材料作为主要成分的荧光体层(25)(厚度例如约为5μm以上并且约20μm以下左右)。荧光体层(25)，主要具有将由放电所放射的紫外线转换成可视光线的功能。该荧光体层(25)，将发出红色、绿色以及蓝色的荧光体层作为结构单位，分别由隔壁(23)隔开。隔壁(23)为了按照每个寻址电极(21)划分放电空间的目的，以平行状或井字状形成于电介质层B(22)上。该隔壁(23)，由包含玻璃成分、载色剂成分以及填充剂(filler)等构成的糊原料所形成。

在本发明的PDP(100)中，以前面板(1)的显示电极(11)与背面板(2)的寻址电极(21)垂直相交的方式，前面板(1)与背面板(2)夹着放电空间(30)对置配置。在这样的PDP(100)中，通过隔壁(23)隔开，寻址电极(21)与显示电极(11)交叉的放电空间(30)作为放电单元(32)发挥功能。换言之，以矩阵状被排列的放电单元构成图像显示区域。因此，通过从外部驱动电路向显示电极(11)选择性地施加视频信号电压而使放电单元放电，通过由该放电产生的紫外线，使各色的荧光体层被激发，而产生红色、绿色以及蓝色的可视光，其结果，实现彩色图像显示。

[PDP的一般制造方法]

接着，针对PDP的一般的制造方法进行简单说明。本发明的PDP原则上可根据一般的PDP制造法得到。在本发明中，只要不作特别说明，各种构成部件的原材料(原料糊)/构成材料等，可以是用于一般的PDP制造法中的常规的材料。

首先，在玻璃基板即基板(A)上，形成由扫描电极(12)和维持电极(13)所构成的显示电极(11)，并且也形成遮光层(14)。扫描电极(12)以及维持电极(13)的各个透明电极(12a、13a)与汇流电极(12b、13b)，可采用曝光·显影的光刻法等进行构图。透明电极(12a、13a)可采用薄膜方法来形成，透明电极(12a、13a)可通过将含银(Ag)材料的糊进行干燥(100～200℃左右)以及烧成(400～600℃左右)来形成。此外，遮光层7也同样，通过采用网格(screen)印刷含有黑色颜料的原料糊的方法或将含有黑色颜料的原料设置于玻璃基板的整面之后进行曝光·显影的光刻法来进行构图，并烧成来形成。接着，以覆盖扫描电极(12)、维持电极(13)以及遮光层(14)的方式，在基板A(10)上，通过润展(diquat)法或者印刷法等涂敷将玻璃成分(由SiO₂、B₂O₃等所形成的材料)和载色剂成分作为主要成分的电介质原料糊来形成电介质糊层。涂敷之后，若放置规定的时间，则所涂敷的电介质糊的表面被调平(levelling)而形成平坦的表面。之后，若烧成电介质糊层则形成电介质层A(15)。形成电介质层A(15)之后，在该电介质层A(15)上形成保护膜(16)。保护层(16)可使用真空蒸镀法、CVD法或溅射法等来形成。

通过以上的工序，形成基板A(10)上规定的结构部件即电极(A)(扫描电极(12)以及维持电极(13))、电介质层A(15)以及保护层(16)，前面板(1)完成。

另一方面，背面板(2)以如下方式形成。首先，在玻璃基板即基板B(20)上，通过采用将含银(Ag)材料的糊进行网格印刷的方法，或全面形成将银作为主要成分的金属膜之后进行曝光·显影的光刻法来构图的方法等形成前驱体层，并对其以希望的温度(例如约400～约600℃)进行烧成，而形成寻址电极(21)。该「寻址电极」可通过在鉻/铜/鉻的三层薄膜上涂敷光抗蚀剂并对其进行光刻以及湿法蚀刻来构图而形成。接 着，在形成寻址电极(21)的基板B(20)上，形成成为基底电介质层的电介质层B(22)。首先，通过润展法等涂敷「将玻璃成分(由SiO₂、B₂O₃等所形成的材料)以及载色剂成分等作为主要成分的电介质原料糊」来形成电介质糊层。之后，可通过烧成该电介质糊层形成电介质层B(22)。接着，形成隔壁(23)。具体而言，通过在电介质层B(22)上涂敷隔壁形成用原料糊而构图成规定的形状，从而形成隔壁材料层，之后，对其进行烧成而形成隔壁(23)。例如，通过润展法或印刷法涂敷低熔点玻璃材料、以载色剂成分以及填充剂等作为主要成分的原料糊，在实施约100℃～200℃的干燥之后，以曝光·显影的光刻法进行构图，接着，通过实施约400℃～600℃的烧成来形成隔壁(23)。此外，隔壁(23)也可通过采用喷砂(sandblast)法、蚀刻法或者成型法等形成。接着，形成荧光体层。在相邻的隔壁(23)间的电介质层B(22)上以及隔壁(23)的侧面涂敷含有荧光体材料的荧光体原料糊，并进行烧成，而形成荧光体层(25)。更具体而言，通过润展法、印刷法、分配(dispense)法或者喷墨法等涂敷以荧光体粉末以及载色剂成分等作为主要成分的原料糊，接着，通过实施约100℃的干燥，而形成荧光体层(25)。

通过以上的工序，在基板B(20)上形成规定的结构部件即电极B、(寻址电极(21))、电介质层B(22)、隔壁(23)以及荧光体层(25)，背面板(2)完成。

如此具有规定的结构部件的前面板(1)与背面板(2)，以显示电极(11)与寻址电极(21)垂直相交的方式对置配置。接着，以玻璃粉密封前面板(1)和背面板(2)的周围，并且在所形成的放电空间(30)中封装入放电气体(氦、氖或者氙等)，从而PDP(100)完成。

[本发明的制造方法]

本发明，即使在上述的PDP的制造工序中，特别是在从前面板以及背面板的形成之后到面板密封为止的制造工序中具有特色。

在本发明的制造方法中，首先实施工序(i)。即，准备在基板A上形成电极A、电介质层A和保护层的前面板，以及在基板B上形成电极B、电介质层B、隔壁和荧光体层的背面板。所述前面板以及背面板的准备，在上述[PDP的一般制造方法]中进行了说明，所以为避免重复省略说明。 此外，保护层虽是典型的氧化镁，但也可以在其中添加微量的元素(硅、铝等)。进一步而言，保护层优选包含从由氧化镁、氧化钙、氧化锶以及氧化钡构成的组中选择的至少一种以上。作为保护层的成分，通过使用氧化钙、氧化锶或者氧化钡等，不仅可实现驱动电压更低的PDP，还可期待基于气体吹入的净化效果变得特别大。此外，即使将工作函数比氧化镁小的碱土类金属的氧化物(即氧化钙、氧化锶、氧化钡等)作为保护层来使用时，也由于本发明的“变质层除去的效果”而能够得到稳定的放电特性。

继工序(i)实施工序(ii)。即，在基板A或基板B的周边区域涂敷玻璃粉材料，并以夹着玻璃粉材料的方式使前面板与背面板对置配置。所涂敷的玻璃粉材料，在后面进行「密封工序(iv)」中为了密封前面板和后面板的周边而发挥功能。玻璃粉材料，优选当粘合前面板与背面板时在重合区域的周围以构成连续的环的方式进行涂敷。所使用的玻璃粉材料，若是一般的PDP的制造中以相同的目的所使用的材料则没有特别的限制，例如，可以是由低熔点玻璃材料(例如氧化铅-氧化硼-氧化硅系、氧化铅-氧化硼-氧化硅-氧化锌系等)形成的玻璃粉材料。此外，也可以是易于涂敷的包含载色剂成分等形成的材料。前面基板或背面基板的周边部所涂敷的玻璃粉材料优选厚度为200～600μm左右，其宽度为3～10mm左右。

此外，对于涂敷的玻璃粉材料也可形成多个槽，以使对在以后的工序(iii)中所吹入的气体可靠地确保通气路径。特别地，如图3所示，在沿着长边所涂敷的玻璃粉材料中，优选设置多个槽(气体导入槽61以及气体排出槽62)。此外，以相同的目的，在基板A或基板B的周边区域也可间断地涂敷玻璃粉材料。此处，如图3所示的「玻璃粉材料不存在区域的长度或槽长度：La」虽可依赖于气体供给部件的供给口的尺寸等，但例如为0.1～5mm左右。

玻璃粉材料的涂敷后，以玻璃粉材料位于基板A与基板B之间的方式，将前面板与背面板相互对置配置(例如参照图4或图7)。若用另一种表现，则为：以保护层与荧光体层以互相对向的方式，将前面板与背面板对置配置，并且，以显示电极与寻址电极垂直相交的方式，实质上将前 面板与背面板进行平行配置。被对置配置的前面板与背面板，优选由夹子70等保持，以使以后不移动(参照图5)。被对置配置的前面板与背面板之间的间隔(即，间隙宽度)，虽然依赖于所涂敷的玻璃粉材料的厚度等，但例如优选100～600μm，更优选300～600μm。总之，在背面板2中虽设置了隔壁23，如图4或图7所示，由于在密封前的状态下玻璃粉材料38的高度比隔壁23的高度高，所以隔壁23的顶部未接触到前面板1。当吹入气体时，优选使前面板以及背面板的彼此对向的面之中的一方接触或贴紧气体供给部件，所以例如如图4所示，优选彼此错开地配置前面板的边缘和背面板的边缘。

继工序(ii)实施工序(iii)。即，在将前面板以及背面板进行加热的状态下，从前面板以及背面板的横向，向对置配置的前面板与背面板之间吹入气体。所谓『从前面板以及背面板的横向，向对置配置的前面板与背面板之间吹入气体』，若用另一种表现，则实质上意味着『从前面板与背面板的侧部，向对置配置的前面板与背面板之间吹入气体』或『从前面板与背面板所重合部分的侧部，向对置配置的前面板与背面板之间吹入气体』的方式。

对置配置的前面板和背面板可通过投入封排炉等的炉膛中而置于加热下。优选在常温下开始吹入气体，并一边吹入气体一边在炉内加热「对置配置的前面板和背面板」。加热温度只要会使「构成保护层表面的变质层的杂质(例如，结合于保护层成分的CO₃ ^2-或OH^-等)」脱离，就没有特别的限制，例如350～450℃左右。

向前面板与背面板之间的空隙部中所吹入的气体，优选对保护层惰性的气体。例如，可列举氮气。此外，也可使用氦、氩、氖或氙等的稀有气体。即，所吹入的气体优选为至少是几乎不包含水蒸气的气体。例如，优选所吹入气体的水分浓度是1ppm以下。这里所说的「气体的水分浓度(ppm)」是将气体的整个体积(0℃1大气压的标准状态)中占有的水分(水蒸气)的体积比例以百万分比率进行表示，指示通过以常规的露点计进行测定所得到的值。由于氮气比较贵，所以若使用干燥空气则可实现成本上效率高的PDP制造法。吹入时的气体流量，虽根据气体供给部件的形状、面板的大小、气体导入槽61以及气体排出槽62的数量及宽度、气 体供给口44的尺寸、所涂敷的玻璃粉材料的厚度以及顶部凹凸的大小等，其最佳值是发生变化的，但大概是在1SLM～100SLM的范围(SLM：以升表示气体的标准状态下1分钟供给的气体的量的单位)。若气体的流量过少，则外部的大气混入，有净化不充分的可能，另一方面，若相反，气体流量过多，则成本上不利。

气体的吹入，优选使用图5中以符号40表示的气体供给部件。气体供给部件40连接于气体供给管42，气体供给管42连接于「具有供气泵等而构成的气体供给装置(未图示)」，所以通过气体供给部件40能够进行气体供给。如图4所示，优选使气体供给部件40与背面板2的主面的周边部Sa接触·贴紧，并与前面板1的侧面部Sb也接触·贴紧。此外，根据需要，可使用夹子部件等把持·固定气体供给部件。由此，能够防止「不吹入前面板与背面板之间的空隙部，而向前面板以及背面板的外侧流出的气体」。作为气体供给部件的材质，为了避免基板的加热时气体供给部件与基板摩擦而引起灰尘或位置偏离，尽量优选使用与玻璃基板热膨胀系数相近的金属。典型的PDP用玻璃基板(即基板A以及基板B)的线膨胀系数是8.3E-6/K(日本电气玻璃制PP-8、30～380℃)，所以优选将具有其一半以上并且2倍以下即4.2E-6～1.7E-5/K的范围的线膨胀系数的材料作为气体供给部件的材料来使用。作为与PDP用的玻璃基板热膨胀系数相近的金属材料，可列举钛(纯钛：8.6E-6/K、钛合金Ti-6Al-4V：8.8E-6/K)以及钴(4.6E-6/K)等。

如图4以及图5所示，气体供给部件40优选具有在其内部作为歧管发挥功能的中空部43以及与中空部43流体连通的多个供给口44。通过使用这样的气体供给部件40，可从多个供给口44并列地吹入气体，所以能从构成正方形或矩形的一边的「前面板以及背面板的侧部」整体地吹入气体。气体供给部件40，优选以中空部43沿着背面板2的长边位于直线形状的方式，与两个基板互相对向的面的一个面(例如，图4中表示的背面板2的内侧面Sa)紧贴。此外，如图5或图6所示，以供给口44的气体吐出侧面向面板的内侧的方式配置气体供给部件40。供给口44优选对准气体导入槽61的位置而设置，如图6表示的「右箭头」，从供给口44所供给的气体，通过玻璃粉38的气体导入槽61流入「前面板与背面板之 间的空间」。此外，流入「前面板与背面板之间的空间」的气体，通过气体排出槽62从两个基板间的空间中被排出。此处，可认为「所涂敷的玻璃粉材料38」的顶部与前面板1接触，玻璃粉38的顶部不是完全的平面，而存在数10～100μm左右的凹凸。因此，如图6所示的「上下箭头」，从位于未设置槽的边的玻璃粉38与前面板1之间的间隙，也能排出气体(此外，连接锥管的气体供给装置以及排气装置不工作，这些装置由阀来隔断)。但是，毕竟设置了气体排出槽62，所以如图6的上下箭头，从未设置槽的地方所排出的气体量会非常少。即，实质上作为整体向一个方向均一地流动，所以实现了均一性更高的变质层去除。

由于优选从“长边侧”吹入气体，所以气体供给部件40，优选对于「构成前面板以及背面板的主面的长边的侧部」被设置。通过从“长边侧”吹入气体，与从“短边侧”吹入气体时相比，能够缩短吹入时在前面板与背面板之间所形成的气体流线，能够均一性更好地去除保护层表面的变质层。此外，在“长边侧”的一方，由于寻址电极的引出线能够延长，所以优选从该引出线未延长的“长边侧”吹入气体。由此，避免电极与气体供给部件接触，能够防止基于电极材料剥落的尘土的产生，或因此产生的电极的断线以及相邻电极间的短路，或面板的点灯不良等。顺带而言，若试图考虑使气体供给部件40紧贴于设置电极的引出线的“长边侧”的情况，则在气体供给部件40与背面板2之间，会产生电极厚度的间隙，所以应该吹入的气体的流量增加。此点，若使气体供给部件40紧贴于引出线未延长的“长边侧”，则可减少气体流量，所以在低成本的点上有利。

继工序(iii)实施工序(iv)。即，通过使玻璃粉材料熔融，使前面板和背面板密封。若通过加热使玻璃粉熔融，则前面板与背面板在周边区域气密接合。工序(iv)的加热温度，只要是玻璃粉可熔融的温度则没有特别的限制(即，可以是一般的PDP的制造时所使用的「密封温度」，例如是400℃～500℃左右)。在实施工序(iv)的密封的过程中，可一起进行工序(iii)的气体的吹入。对此进行详述。气体的吹入，在常温下开始。此外，一边吹入气体一边在炉内加热「对置配置的前面板以及背面板」。若超过了玻璃粉的软化点，则玻璃粉软化，渐渐填埋玻璃粉与前面板之间的间隙。此外，由于气体导入槽61以及气体排出槽62形成得十分狭窄(例 如，槽宽度是玻璃粉宽度的一半以下)，所以玻璃粉38软化的同时，也逐渐填埋气体导入槽61以及气体排出槽62。然后，通过在玻璃粉38完全熔融的温度区域内数分钟～10几分钟保持面板后进行冷却，使玻璃粉固化，并密封前面板和背面板。接着，一边以比密封时稍低温(即，维持玻璃粉的固化状态的温度)地保持「被密封的前面板以及背面板」，一边对前面板与背面板之间进行真空排气。若进行以上这样的处理，则在玻璃粉完全熔融的温度区域内，起因于玻璃粉的从气体供给部件40所供给的气体不会进入「前面板与背面板之间的空间」，所以实际上的气体吹入停止，可最小限度地抑制气体的使用量。

此外，在实施了「工序(ii)的对置配置」之后，经由「工序(iii)的气体吹入」后进行「工序(iv)的密封」，意味着校准(alignment)后在玻璃粉的顶部与表面板接触的状态下实施加热。因此，在本发明的制造方法中，不易引起“密封时的校准偏离”，可实现可靠性高的制造方法。

在使前面板和背面板密封后，将前面板与背面板之间进行排气，并在前面板与背面板之间封装入放电气体。作为应该封装入的放电气体，可示例Xe与Ne的混合气体，也可只封装入Xe，也可使He混入。这样的排气以及封装入，优选通过前面板或背面板所设置的贯通孔来进行。图7中，表示设置于背面板的贯通孔29。该「贯通孔」，将对置配置的前面板与背面板之间的气体进行排气，若能够供给放电气体，则任何形状·形态·尺寸均可(例如，圆形的贯通孔的情况，直径尺寸是1～5mm左右)。此外，贯通孔虽需要位于比涂敷玻璃粉材料的区域更内侧，但优选位于不是PDP显示部的前面板或背面板的周边部分，以使不妨碍所完成的PDP的图像显示。贯通孔的形成，例如，准备了前面板或背面板之后，可通过钻加工或激光加工等适当的方法来形成。当在背面板侧设置贯通孔时，优选涂敷荧光体的糊原料而在干燥后设置贯通孔。

针对「贯通孔」进行详述。在贯通孔中，如图1所示，隔着玻璃粉环(frit ring)56设置锥管55。锥管55的端部，连接构成配管58的先端部的夹头57。夹头57中配置了水冷配管·护罩(shield)结构(未图示)，即使在锥管55以及配管58升温至密封温度时，也构成为一体地维持密闭构造。由于配管58连接于气体供给装置以及排气装置(未图示)，所以通 过贯通孔，可将前面板与背面板之间的气体进行排气，或者，可向该空间供给放电气体。

顺带而言，在气体吹入时，应留意贯通孔实际上设置为“关”的状态。更具体而言，锥管55虽是通过玻璃粉环56对准贯通穴29抵按在背面板2上，但「锥管55与玻璃粉环56接触的面」以及「玻璃粉环56与背面板2接触的面」是平滑面，所以几乎没有在这些面上的气体的泄漏。此外，在与锥管55连通的配管58中所设置的阀之中，在关掉与锥管55最近侧的阀的状态下吹入气体，所以经由锥管55的气体的泄漏几乎没有。

在本发明的制造方法中，可实施各种方法以使有效地进行气体的吹入。例如，使用“填充料”以使从气体供给部件所供给的气体尽可能多地导向「前面板与背面板之间的空间」。例如，如图7所示，在气体供给部件40的纵向的端部附近，优选在「以前面板1、背面板2、气体供给部件40以及玻璃粉38包围的空间」的至少一部分设置金属箔60。总之，优选在位于如图6所示的「P区域」的空隙部装入金属箔。通过该金属箔60，可减少吹入时的气体的泄漏。反过来说，若没有该金属箔60，则从气体供给部件40所供给的气体的一部分可不吹入「表面板与背面板之间的空间」而泄漏到外部，因此可认为在对此进行抑制这点上金属箔60有效地发挥了作用。通过将金属箔60作为“填充料”来使用，结果能够抑制使用气体量，能够以更低的成本去除保护层表面的变质层。作为金属箔60，例如，可列举厚度数10μm的铝箔。将以数mm～数cm角切断的铝箔适当地弄圆，塞入「以前面板1、背面板2、气体供给部件40以及玻璃粉38包围的空间」即可。此时，不需要将该空间完全地填满，至少气体的通路变小即可。附带而言，若一边吹入气体一边在炉内加热前面板1以及背面板2，使玻璃粉38熔融来实施密封，则虽然前面板1与背面板2之间的距离(间隙)渐渐变小，但只要是弄圆的铝片，则不是妨碍间隙的变化的程度的强度，其外形自身可配合间隙减少逐渐变形。因此，若是铝片，则几乎没有在面板完成时，间隙从设计值偏离的担心。作为“填充料”，除了跟随上述间隙的变化而容易变形，还要求(a)即使升温到密封温度(400～500℃左右)也难以放出「污染保护层的不纯气体」、(b)即使经过密封温度也不与气体供给部件熔接等。此点，是金属箔满足相关必要条 件的材料。

接着，对本发明的实施方式时序地进行说明。图8表示本发明的PDP制造方法的概略的流程图。如图所示，首先，准备前面板与背面板。接着，在校准装置内进行前面板以及背面板的位置对准之后，通过玻璃粉材料使前面板与背面板对置保持。接着，在「前面板与背面板之间的侧部」安装气体供给部件。此外，配合设置于背面板的贯通穴安装锥管。从保护层的形成至此时，由于保护层被暴露在大气中，所以在保护层的表面形成变质层。接着，经由气体供给部件向「表面板与背面板之间的空间」吹入气体(例如氮气)。然后，一边进行气体的吹入一边在炉内加热表面板以及背面板，使玻璃粉熔融来密封前面板和背面板。接着，一边保持比密封前面板以及背面板时稍低的温度(玻璃粉固化的温度)，一边直到前面板与背面板之间的空间成为真空状态为止经由锥管来进行气体排气。该排气处理结束之后，使前面板与背面板冷却到几乎成为常温。冷却后，向「表面板与背面板之间的空间」导入放电气体，并以规定的压力停止放电气体的导入(封装入)。然后，最终通过切断锥管，完成PDP。

以上，虽然针对本发明的实施方式进行了说明，但只是对典型例进行了例示。因此，本发明并不限于此，可进行各种的改变，对本领域技术人员而言是易于理解的。

在上述的说明中，虽然对与气体导入槽的位置对准来设置气体供给口的方式进行了例示(参照图6)，但并不限于该方式。例如，如图9所示，气体供给口44，也可设置于与气体导入槽偏离的位置上。此时，表面板1、背面板2、气体供给部件40以及玻璃粉材料38所包围的空间能够完成作为第二歧管的功能。

此外，气体的吹入，虽然例示了在常温中开始的情况，但为了进一步减少使用气体量，也可只在对变质层的去除有效的温度区域内进行气体的吹入。

此外，在涂敷玻璃粉后并且在校准之前，可进行玻璃的假烧成。或者，也可在荧光体形成步骤中不经过荧光体层的烧成，与玻璃的假烧成同时一起烧成。

【实施例】

《放电开始电压的变动幅度的确认试验》

为了明确本发明的效果，将放电开始电压的变动幅度(以下，省略为「变动幅度」)的面内分布现有例与本发明进行比较。将某面板的规定位置的放电开始电压作为V_f1来测定，并使面板连续15分钟点亮后，基板温度降低到常温之后再次将同一场所的放电电压作为V_f2来测定，将其差的绝对值|V_f1-V_f2|作为变动幅度来定义。变动幅度是与PDP的余象特性相关的指标，优选在面板面内变动幅度是均一的。图10中表示结果。图10(a)是现有例的结果，图10(b)表示本发明的结果(此外，以相对值表示将面板中央部的变动幅度作为1.00时的各位置的变动幅度)。此处，现有例是作为一个玻璃管，直到密封前从该玻璃管向面板内供给干燥气体，密封后从玻璃管进行排气。如从图10表示的结果所明确的那样，可见若使用本发明的制造方法，则均一性的改善是显著的。

【工业上的利用可能性】

通过本发明的制造方法而最终得到的PDP，由于面板寿命优异，所以除了可适用于作为面向一般家庭的等离子体电视以及工业用等离子体电视外，还能够适用于其他各种显示设备。

Claims (11)

1.一种等离子体显示器面板的制造方法，含有：

工序i，准备在基板A上形成有电极A、电介质层A和保护层的前面板、以及在基板B上形成电极B、电介质层B、隔壁和荧光体层的背面板；

工序ii，在基板A或基板B的周边区域涂敷玻璃粉材料，并以夹着玻璃粉材料的方式将前面板与背面板对置配置；

工序iii，在对前面板以及背面板进行加热的状态下，从前面板以及背面板的横向，向对置配置的前面板与背面板之间吹入气体，其中，所述气体是对保护层为惰性的气体，且是从由氮气、稀有气体以及干燥空气构成的组中所选择的至少一种以上的气体；以及

工序iv，使玻璃粉材料熔融，使前面板和背面板密封。

2.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，

前面板以及背面板的主面为正方形或矩形，并且在所述工序iii中，从构成正方形或矩形的一边的“前面板以及背面板的侧部”整体地吹入气体。

3.根据权利要求2所述的制造方法，其特征在于，

前面板以及背面板的主面为矩形，在所述工序iii中，从成为矩形的长边的所述侧部吹入气体。

4.根据权利要求2所述的制造方法，其特征在于，

在所述侧部配置气体供给部件，并经由气体供给部件吹入气体。

5.根据权利要求4所述的制造方法，其特征在于，

从在气体供给部件中所设置的多个供给口吹入气体。

6.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，

在所述工序ii中，在基板A或基板B的周边区域断续的地涂敷玻璃粉材料。

7.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，

在所述工序iii的实施过程中，也执行所述工序iv。

8.根据权利要求7所述的制造方法，其特征在于，

在所述工序iv中，由于玻璃粉材料的熔融，使得在所述周边区域中基板A与基板B之间被堵塞，由此，向前面板与背面板之间的空间所供给的气体的吹入停止。

9.根据权利要求2所述的制造方法，其特征在于，

电极B的引出线从一个侧部a延长，在所述工序iii中，从位置关系与侧部a呈对置的侧部b横向地吹入气体。

10.根据权利要求4所述的制造方法，其特征在于，

在所述工序ii中，在由前面板、背面板、气体供给部件以及玻璃粉材料所包围的空间的至少一部分，设置金属箔。

11.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，

保护层，包含从由氧化镁、氧化钙、氧化锶以及氧化钡构成的组中所选择的至少一种以上的金属氧化物。

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