JP2002150938A

JP2002150938A - プラズマディスプレイパネルおよびその製造方法およびその製造装置

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Publication number: JP2002150938A
Application number: JP2001265541A
Authority: JP
Inventors: Masafumi Okawa; 政文大河; Hiroyuki Kado; 博行加道; Yoshiki Sasaki; 良樹佐々木; Kazuya Hasegawa; 和也長谷川; Yoshio Watanabe; 由雄渡辺; Yasuhisa Ishikura; 靖久石倉; Eiichiro Nonaka; 英一郎野中; Utaro Miyagawa; 宇太郎宮川
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2000-09-04
Filing date: 2001-09-03
Publication date: 2002-05-24

Abstract

(57)【要約】【課題】青色劣化がなく、放電安定性の高いプラズマ
ディスプレイパネルを提供する。【解決手段】封着中に、排気装置４に接続された第１
のガラス管５を通して、パネル内のガスを排気すること
により、第２のガラス管８から乾燥ガスを導入する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、文字または画像表
示用のカラーテレビジョン受像機やディスプレイ等に使
用するガス放電発光を利用したプラズマディスプレイパ
ネル（ＰＤＰ）およびその製造方法および製造装置に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】以下では、従来のプラズマディスプレイ
パネルについて図面を参照しながら説明する。

【０００３】図１３は交流型（ＡＣ型）のプラズマディ
スプレイパネルの概略を示す断面図である。図１３にお
いて、４１は前面ガラス基板であり、この前面ガラス基
板４１上に表示電極４２が形成されている。さらに、表
示電極４２は、誘電体ガラス層４３及び酸化マグネシウ
ム（ＭｇＯ）誘電体保護層４４により覆われている。

【０００４】また、４５は背面ガラス基板であり、この
背面ガラス基板４５上には、アドレス電極４６および隔
壁４７、各蛍光体層５０、５１、５２が設けられてお
り、４９が放電ガスを封入する放電空間となっている。
前記蛍光体層はカラー表示のために、赤５０、緑５１、
青５２の３色の蛍光体層が順に配置されている。上記の
各蛍光体層５０、５１、５２は、放電によって発生する
波長の短い真空紫外線（波長１４７ｎｍ）により励起発
光する。

【０００５】各蛍光体層５０、５１、５２を構成する蛍
光体としては、一般的に以下の材料が用いられている。

【０００６】「青色蛍光体」：ＢａＭｇＡｌ₁₀Ｏ₁₇：Ｅｕ「緑色蛍光体」：Ｚｎ₂ＳｉＯ₄：ＭｎまたはＢａＡｌ₁₂
Ｏ₁₉：Ｍｎ「赤色蛍光体」：Ｙ₂Ｏ₃：Ｅｕまたは（Ｙ_xＧｄ_1-x）Ｂ
Ｏ₃：Ｅｕ各色蛍光体は以下のようにして作製できる。

【０００７】青色蛍光体（ＢａＭｇＡｌ₁₀Ｏ₁₇：Ｅｕ）
は、まず炭酸バリウム（ＢａＣＯ₃）、炭酸マグネシウ
ム（ＭｇＣＯ₃）、酸化アルミニウム（Ａｌ₂Ｏ₃）をＢ
ａ、Ｍｇ、Ａｌの原子比が１対１対１０になるように配
合する。次に、この混合物に対して所定量の酸化ユーロ
ピウム（Ｅｕ₂Ｏ₃）を添加する。

【０００８】そして、適量のフラックス（ＡｌＦ₂、Ｂ
ａＣｌ₂）と共にボールミルで混合し、１４００℃〜１
６５０℃で所定時間（例えば、０．５時間）、還元雰囲
気（Ｈ ₂、Ｎ₂中）で焼成して得る。

【０００９】赤色蛍光体（Ｙ₂Ｏ₃：Ｅｕ）は、原料とし
て水酸化イットリウムＹ₂（ＯＨ）₃と硼酸（Ｈ₃ＢＯ₃）
をＹ、Ｂの原子比が１対１になるように配合する。次
に、この混合物に対して所定量の酸化ユーロピウム（Ｅ
ｕ₂Ｏ₃）を添加し、適量のフラックスと共にボールミル
で混合し、空気中１２００℃〜１４５０℃で所定時間
（例えば、１時間）焼成して得る。

【００１０】緑色蛍光体（Ｚｎ₂ＳｉＯ₄：Ｍｎ）は、原
料として酸化亜鉛（ＺｎＯ）、酸化珪素（ＳｉＯ₂）を
Ｚｎ、Ｓｉの原子比が２対１になるように配合する。次
に、この混合物に所定量の酸化マンガン（Ｍｎ₂Ｏ₃）を
添加し、ボールミルで混合後、空気中１２００℃〜１３
５０℃で所定時間（例えば、０．５時間）焼成して得
る。

【００１１】上記製法で作製された蛍光体粒子を粉砕後
ふるい分けすることにより、所定の粒径分布を有する蛍
光体材料を得る。

【００１２】以下、従来のＰＤＰの製造方法について説
明する。

【００１３】背面ガラス基板上に、銀からなるアドレス
電極を形成し、その上に誘電体ガラスからなる可視光反
射層と、ガラス製の隔壁を所定のピッチで作成する。

【００１４】これらの隔壁に挟まれた各空間内に、赤色
蛍光体、緑色蛍光体、青色蛍光体を含む各色蛍光体ペー
ストをそれぞれ配設することによって蛍光体層を形成
し、形成後５００℃程度で蛍光体層を焼成し、ペースト
内の樹脂成分等を除去する（蛍光体焼成工程）。

【００１５】蛍光体焼成後、背面板の周囲に前面板との
封着用シール材として低融点ガラスペーストを塗布し、
低融点ガラスペースト内の樹脂成分等を除去するために
３５０℃程度で仮焼する（低融点ガラスペースト仮焼工
程）。

【００１６】その後、表示電極、誘電体ガラス層および
保護層を順次形成した前面板と、前記背面板を隔壁を介
して表示電極とアドレス電極が直交するよう対向配置
し、４５０℃程度で焼成し、低融点ガラスによって、周
囲を密封する（封着工程）。

【００１７】その後、３５０℃程度まで加熱しながらパ
ネル内を排気し（排気工程）、終了後に放電ガスを所定
の圧力だけ導入する。

【００１８】

【発明が解決しようとする課題】従来のプラズマディス
プレイパネルの製造方法においては、前記のように基板
加熱を要する工程がいくつか存在する。

【００１９】しかし、これらの加熱工程において、使用
している蛍光体が熱劣化するという問題があり、特に封
着工程において、青色蛍光体の劣化が大きかった。これ
は青色蛍光体として使用しているＢａＭｇＡｌ₁₀Ｏ₁₇：
Ｅｕが封着工程で熱劣化し、発光強度低下および発光色
度の劣化を起こす原因となっていると考えられている。

【００２０】また、排気工程までにパネル内部に残留す
るＨ₂ＯやＣＯ₂などの不純物ガスが、排気工程で十分に
排気できない場合に、放電特性を劣化させるという問題
があった。

【００２１】これを解決するために、封着時にパネル内
部に乾燥ガスを導入し、青色劣化を抑える封着方法（特
願平１１−１６８９９５号）ならびに排気工程までにパ
ネル内部に残留する不純物ガスを低減する封着排気方法
が考えられている（特願平４−３３８３７号）。

【００２２】しかし、これらの方法ではパネル内部にガ
スを導入するために、封着中にパネル内圧が上昇し、前
面板と背面板間に浮きができ、隣接セル間でクロストー
クが発生するといった問題が生じやすく、これを抑える
ために差動排気等の複雑な操作が必要であった。

【００２３】そこで本願発明は、このような問題に鑑
み、比較的容易な方法で安定して、パネルの製造工程に
必要な封着工程を通しても、蛍光体の熱劣化がほとんど
発生せず、また、排気工程までの工程で不純物ガスを低
減させることにより、比較的高い発光効率で動作し、色
温度が高く、かつ色再現性の良好なプラズマディスプレ
イパネルを提供することを目的とするものである。

【００２４】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法
は、前面板と背面板を張り合わせ、所定の温度まで加熱
し、封着用シール材により、前記前面板と前記背面板を
封着する封着工程を有するプラズマディスプレイパネル
の製造方法であって、封着前に、前記前面板あるいは背
面板に両端が開放された第１および第２のガラス管を設
け、前記第１のガラス管を排気装置に接続し、パネル内
部を排気しながら、所定の温度まで加熱し、封着用シー
ル材により前記前面板と背面板を封着することを特徴と
する。

【００２５】前記構成において、前面板と背面板を封着
用シール材の軟化点以上まで加熱した後に、パネル内部
の排気を開始することが好ましい。

【００２６】また、第２のガラス管近傍の雰囲気を乾燥
ガス雰囲気とすることが好ましい。

【００２７】また、本発明の請求項１０に示されるプラ
ズマディスプレイパネルの製造装置は、前面板と背面板
を張り合わせ、所定の温度まで加熱し、前記前面板と前
記背面板を封着するプラズマディスプレイパネルの製造
装置であって、前記前面板あるいは背面板に設けられた
第１のガラス管を排気装置に接続する手段を有し、前記
前面板あるいは背面板に設けられた第２のガラス管近傍
に、乾燥ガスを導入する手段を有することを特徴とす
る。

【００２８】また、本発明の請求項１３に示されるプラ
ズマディスプレイパネルの製造装置は、前面板と背面板
を張り合わせ、所定の温度まで加熱し、前記前面板と前
記背面板を封着する封着ステップを行うプラズマディス
プレイパネルの製造装置であって、排気装置および第１
のガラス管を排気装置に接続する手段と、前記前面板あ
るいは背面板に設けられた第２のガラス管近傍に前記乾
燥ガスを導入する手段を搭載した走行カートが複数連な
り、連続に並んだ加熱炉内を通過することによって前記
封着ステップを行うことを特徴とする。

【００２９】また、本発明の請求項１５に示されるプラ
ズマディスプレイパネルの製造方法によれば、前記封着
ステップに続いて、第２のガラス管を封止した後に、封
着された両基板を室温より高い排気温度に保ちながら第
１のガラス管を通して両基板間の内部空間の気体を排気
する排気ステップを備えることを特徴とする。

【００３０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態におけ
るプラズマディスプレイパネルの製造方法について説明
する。図２は、本発明の実施の形態における交流面放電
型プラズマディスプレイパネルの概略を示す断面図であ
る。図２では、セルが１つだけ示されているが、赤、
緑、青の各色を発光するセルが多数配列されてＰＤＰが
構成されている。

【００３１】このＰＤＰは、前面ガラス基板４１上に表
示電極４２と誘電体ガラス層４３、誘電体保護層（Ｍｇ
Ｏ）４４が配された前面板と、背面ガラス基板４５上に
アドレス電極４６、可視光反射層５３、隔壁４７および
蛍光体層４８が配された背面板とを張り合わせ、前面板
と背面板間に形成される放電空間内に放電ガスが封入さ
れた構成となっている。

【００３２】蛍光体層を構成する蛍光体材料の組成とし
ては、一般的にＰＤＰの蛍光体層に使用されているもの
を用いることができる。その具体例としては、「青色蛍光体」：ＢａＭｇＡｌ₁₀Ｏ₁₇：Ｅｕ「緑色蛍光体」：Ｚｎ₂ＳｉＯ₄：Ｍｎ「赤色蛍光体」：（Ｙ_x、Ｇｄ_1-x）ＢＯ₃：Ｅｕを挙げることができる。

【００３３】（実施の形態１）以下、封着時に比較的容
易にパネル浮きが発生せず、各部材（特にＭｇＯ）から
放出される水蒸気を含む不純物ガスの影響を除くための
本実施の形態１における封着工程について説明する。

【００３４】封着前の前面板１および背面板２を張り合
わせたパネルおよび装置構成を図１に示す。前面板１と
背面板２の間には、封着用シール材３が設けられ、背面
板２には排気装置４に接続された第１のガラス管５、お
よび乾燥ガス導入装置６に接続された乾燥ガス導入口７
が近傍に設けられた第２のガラス管８が形成されてい
る。第１および第２のガラス管も封着用シール材３が設
けられ、板バネ（不図示）で固定されている。なお、本
実施の形態では封着用シール材として低融点ガラスを用
いた。

【００３５】このパネルを加熱炉９により、低融点ガラ
スの軟化点温度以上まで加熱することにより封着した。

【００３６】この封着工程において、昇温時に封着用シ
ール材である低融点ガラスの軟化点以上の温度まで加熱
させてから、第１のガラス管５を通して、パネル内の排
気を開始し、それによって第２のガラス管８を通して乾
燥ガスをパネル内に導入した。この工程で、前面板１と
背面板２から放出されるガスが、パネル外部の第２のガ
ラス管８近傍の雰囲気と置換される。この結果、従来の
封着工程のように狭い放電空間に水蒸気が閉じこめられ
ることがなく、封着中の青色蛍光体の劣化を抑えること
が可能となり、残留不純物ガスを低減することができ
る。また、この工程で、前面板と背面板間に浮きが生じ
ず、完成パネルでは隣接セル間でクロストークの発生が
なかった。

【００３７】乾燥ガスの水蒸気分圧としては、水蒸気分
圧が低いほど青色蛍光体の劣化が押さえられるが、従来
の封着工程と比較すると１．３３ｋＰａ（１０Ｔｏｒ
ｒ）付近から顕著な効果が現れた。

【００３８】また、ＰＤＰで多く用いられているＢａＭ
ｇＡｌ₁₀Ｏ₁₇：Ｅｕ、Ｚｎ₂ＳｉＯ₄：Ｍｎや（Ｙ_x、Ｇ
ｄ_1-x）ＢＯ₃：Ｅｕ等の酸化物系の蛍光体は、無酸素の
雰囲気中で加熱すると多少酸素欠陥が形成され発光効率
が低下する場合がある。

【００３９】したがって、本封着過程で用いる乾燥ガス
は、少なくとも酸素が含まれていることが望ましい。

【００４０】また、排気開始温度は、封着ピーク温度か
ら開始すればさらに、封着不良を完全に抑えることがで
きるが、逆に排気量を絞って、温度によって排気量を調
整すれば、フリット軟化点以下の温度から排気を開始し
ても、問題はなかった。

【００４１】また、加熱炉が、炉内全体の雰囲気を制御
できる構成であれば、乾燥ガス導入口を第２のガラス管
近傍に設けなくても同様の効果が得られる。

【００４２】（実施の形態２）次に、本発明のプラズマ
ディスプレイパネルの製造方法を連続的に処理すること
が可能となる本発明の製造装置について説明する。

【００４３】図３に本発明の実施の形態２に係る連続カ
ート式装置の概略図を示す。本装置は、１ゾーンごとに
温度制御が可能である炉１１が複数個、連続的に連なっ
てなるトンネル状の連続炉１０からなる。各ゾーンの温
度を所望の温度プロファイルを構成するような値に固定
し、パネルを搭載した走行カート１２が連続炉１０の中
を通過することによって、各パネルが所定の温度プロフ
ァイルで処理される。連続炉１０を通過した走行カート
１２は循環ゾーン１４ｂにてカート復路１３に移動す
る。走行カート１２は連続炉１０と並設されてあるカー
ト復路１３を通り、途中で処理済みパネルを降ろし、ま
た、処理前パネルを積載した後、循環ゾーン１４ａから
再度、連続炉に投入されることにより、連続処理を行
う。

【００４４】次に、図４に示される走行カート１２およ
び連続炉１０の断面図を用いて、その構成について詳細
に説明する。連続炉１０は、ヒーター１７によって加熱
された熱風を循環ファン１８により炉内循環することで
炉内を加熱する構成を有する。トンネル状の炉内をパネ
ルを積載した走行カート１２が通過する。カート上部に
設置されたマガジン２５上には前面板１および背面板２
からなるパネル２１が多段に積載されてある。それぞれ
のパネル２１に配置された第１のガラス管５がシールヘ
ッド１９に接続され、カート下段で炉外にある排気装置
４に接続されている。また、第２のガラス管８近傍には
乾燥ガス導入口７が配置されており、カート下段で炉外
にある乾燥ガス導入装置６に接続されている。

【００４５】本装置構成によって、前面板１あるいは背
面板２に形成された封着用シール材である低融点ガラス
の軟化点温度以上まで加熱することにより封着した。

【００４６】この封着工程において、昇温時に封着用シ
ール材である低融点ガラスの軟化点以上の温度まで加熱
させてから、バルブ２４を開いて乾燥ガス導入装置６か
ら乾燥ガス導入口７に乾燥ガスを導入し、第２のガラス
管８近傍を乾燥ガス雰囲気とする。その後、バルブ２３
を開いて排気装置４をシールヘッド１９に接続し、第１
のガラス管５を通して、パネル２１内の排気を開始す
る。シールヘッド１９部では第１のガラス管５はＮＢＲ
ゴム等のＯリング（不指示）等でチャックされており、
気密が保持されている。また、Ｏリングのゴムを冷却す
る目的で水冷用の管が接続されている。それによって第
２のガラス管８を通して乾燥ガスをパネル内に導入し
た。この工程で、前面板１と背面板２から放出されるガ
スが、パネル外部の第２のガラス管８近傍の雰囲気と置
換される。この結果、先に述べた本発明の製造方法を連
続処理可能な炉で実現することが可能となり、バッチ処
理に比べてパネルの処理枚数を格段に増加することがで
きる。

【００４７】また、図５に示されるようなガラス管封止
手段２６ａ、例えばコイル状に巻いた導電線に外部から
電流を流すことによって発熱させる電熱ヒーターのよう
な治具を用いれば、自動で第１のガラス管５を封止する
ことが可能となる。また、次工程である真空排気・ベー
キング工程においては、パネル内部と真空排気装置を接
続するために第２のガラス管８を使用することができ
る。

【００４８】また、図６に示されるように、走行カート
１２がガラス管封止手段２６ｂを有するならば、ガラス
管封止手段２６ｂによって第２のガラス管８を自動で封
止し、図７に示されるような温度プロファイルを用いて
パネル加熱を行うことによって、パネル封着からパネル
内真空排気まで一貫のプロセスを実現することができ
る。

【００４９】封着用シール材の軟化点以上の温度になっ
た後、バルブ２４を開いて乾燥ガス導入装置６から乾燥
ガス導入口７に乾燥ガスを導入し、第２のガラス管８近
傍を乾燥ガス雰囲気とする。その後、バルブ２８、３２
を閉じた状態でバルブ２３を開き、排気装置４をシール
ヘッド１９に接続し、第１のガラス管５を通して、パネ
ル２１内の排気を開始する。それによって第２のガラス
管８を通して乾燥ガスをパネル内に導入した。この工程
で、前面板１と背面板２から放出されるガスが、パネル
２１外部の第２のガラス管８近傍の雰囲気と置換され
る。その後、封着温度を所定の期間保持し、封着用シー
ル材の軟化点以下の温度までパネルを冷却した後、バル
ブ２３を閉じてパネル２１内の排気を停止し、ガラス管
封止手段２６ｂによって第２のガラス管８を封止する。
パネルを室温まで冷却することなく、バルブ３２を開い
て真空排気装置３３に接続し、パネル２１内を１０^-5Ｐ
ａ程度の高真空に排気してパネル排気温度を所定期間保
持する。排気温度保持期間が完了した後、室温までパネ
ル２１を冷却する。その後、バルブ３２を閉じ、バルブ
２８を開いて放電ガス供給装置２７よりパネル２１内に
所定の圧力まで放電ガスを封入し、第１のガラス管５を
封止する。このようにすれば本発明の製造方法を適用
し、かつ連続して真空排気・放電ガス封入という一貫し
たプロセスを提供することが可能となる。

【００５０】また、図７に示されるプロファイルを実現
するためには、図３に示される連続炉１０を適用すれば
よい。

【００５１】また、図８に示されるように、第１のガラ
ス管５にガラス管封止手段２６ａが配置されているなら
ば、パネル２１内へ放電ガス封入後、自動で第１のガラ
ス管５を封止することが可能となる。

【００５２】（実施の形態３）次に、図９を用いて、本
発明の製造方法をより高い信頼性で実現し、安定した製
造を可能とする製造装置について説明する。先に述べて
きたように、図８に示される走行カートを適用した本発
明では、パネル２１は封着用シール材の軟化点温度以上
でバルブ２３を開き、第１のガラス管５、シールヘッド
１９を通じて排気装置４に接続される。この際、パネル
２１内からは前面板１、背面板２の両基板から放出され
る不純物ガスが排気装置４によってパネル２１外へと排
出される。この不純物ガスは高温時の炉内では配管等に
吸着することなく排出されるが、カート下段の炉外では
配管が室温であるために配管の内壁等に再吸着して、配
管内が汚染されてしまうおそれがある。この配管内壁に
再吸着した不純物ガスは真空排気工程終了後、バルブ３
２を閉じ、バルブ２８を開いて放電ガス供給装置２７か
らパネル内に放電ガスを封入する際に、再度パネル２１
内へと戻ってしまい、パネル内の不純物ガスとなってし
まう。この配管内壁に吸着した不純物ガスを除去するた
めには、配管内を真空または不活性ガスを流しながら、
炉外の配管を１００〜３００℃程度の温度でベーキング
しなければならない。

【００５３】この課題を解決するために、図９に示され
る走行カートは炉内においてシールヘッド１９に接続さ
れる排気用配管３０とガス導入用配管３１の２系統を有
する。封着用シール材の軟化点以上の温度になった後、
バルブ２４を開いて乾燥ガス導入装置６から乾燥ガス導
入口７に乾燥ガスを導入し、第２のガラス管８近傍を乾
燥ガス雰囲気とする。次に、バルブ２３を開き、第１の
ガラス管５、シールヘッド１９から排気用配管３０を通
じて排気装置４に接続される。パネル２１内から放出さ
れる不純物ガスは排気装置４により排出される。その
後、封着温度を所定の期間保持し、封着用シール材の軟
化点以下の温度までパネルを冷却した後、バルブ２３を
閉じてパネル２１内の排気を停止し、ガラス管封止手段
２６ｂによって第２のガラス管８を封止する。パネルを
室温まで冷却することなく、バルブ３２を開いて真空排
気装置３３に接続し、パネル２１内を１０^-5Ｐａ程度の
高真空に排気してパネル排気温度を所定期間保持する。
排気温度保持期間が完了した後、室温までパネル２１を
冷却する。バルブ３２を閉じ、バルブ２８を開いて放電
ガスを封入する際にはガス導入用配管３１を通じてパネ
ル２１内へと放電ガスが封入されるため、パネル内に不
純物ガスが混入することが無く、またガス導入用配管３
１がパネル２１内から放出される不純物ガスによって汚
染されることがない。

【００５４】また、図１０に示されるようなプロファイ
ルを用いて、封着用シール材の軟化点以下においてパネ
ル内に乾燥ガスを導入する場合においても、本発明を適
用することにより、同様の効果を得ることが可能とな
る。図１１に示されるように、まず、バルブ２３、２
４、２８、３２を閉じた状態で、バルブ２９を開き、乾
燥ガス導入装置６から前面板１と背面板２の間の空間に
乾燥ガスを導入する。その後、封着用シール材の軟化点
温度付近で、バルブ２９を閉じてパネル２１内への乾燥
ガス導入を停止する。封着用シール材の軟化点温度以上
でパネル２１の気密シールが完了した後、バルブ２４を
開いて乾燥ガス導入装置６から乾燥ガス導入口７に乾燥
ガスを導入し、第２のガラス管８近傍を乾燥ガス雰囲気
とする。その後、バルブ２３を開き、第１のガラス管
５、シールヘッド１９を通じて排気装置４に接続され
る。この際、パネル２１内からは前面板１、背面板２の
両基板から放出される不純物ガスが排気装置４によって
パネル２１外へと排出される。パネル２１内から放出さ
れた不純物ガスは排気用配管３０を通り、装置外へと放
出される。その後、所定の期間、封着温度を保持し、封
着用シール材の軟化点温度以下まで冷却した後、バルブ
２３を閉じてパネル２１内の排気を停止し、ガラス管封
止手段２６ｂによって第２のガラス管８を封止する。次
に、バルブ３２を開いて真空排気装置３３に接続し、パ
ネル２１内を１０^-5Ｐａ程度の高真空に排気し、パネル
排気温度を所定期間保持する。排気温度保持期間が完了
した後、室温までパネル２１を冷却する。その後、バル
ブ３２を閉じ、バルブ２８を開いて放電ガス供給装置２
７よりパネル２１内に所定の圧力まで放電ガスを封入
し、第１のガラス管５を封止する。

【００５５】このようにして、排気用配管３０とガス導
入用配管３１が炉外において別系統になっていることに
より、パネル２１内から放出される不純物ガスによって
配管内壁が汚染されることがないため、パネル２１内へ
の乾燥ガス導入および放電ガス封入の際に不純物ガスが
混入することがなく、安定して信頼性の高い生産を行う
ことが可能となる。

【００５６】さらに、ＰＤＰの駆動時には、図１２に示
すように、ＰＤＰに各ドライバ及びパネル駆動回路１０
０を接続して、点灯させようとするセルの走査電極１０
１ａとアドレス電極１０２間に印加してアドレス放電を
行った後に、表示電極１０１ａ、１０１ｂ間にパルス電
圧を印加して維持放電を行う。そして、当該セルで放電
に伴って紫外線を発光し、蛍光体層で可視光に変換す
る。このようにして、セルが点灯することによって、画
像が表示される。

【００５７】

【実施例】本発明の効果を検証するために、前記実施の
形態に基づいてＰＤＰを作製し、従来のＰＤＰと比較し
た。パネルは４２"（インチ）サイズである。以下に、
本発明の具体例を説明する。

【００５８】（実施例１）本実施例のパネルは、シール
材として軟化点３９０℃のガラスフリットを使用し、４
００℃から排気を開始し、排気しながら４５０℃まで加
熱し封着を行った。

【００５９】排気量は３×１０^-4ｍ³／ｍｉｎ（３００
ｓｃｃｍ）とした。また、乾燥ガス導入口からは、５×
１０^-3ｍ³／ｍｉｎ（５０００ｓｃｃｍ）の流量で炉内
に乾燥ガスを導入した。

【００６０】なお、乾燥ガスとしては乾燥空気を用い
た。

【００６１】比較例に係わるＰＤＰは、従来の封着工程
通り、パネル内から排気することなく封着したパネルで
ある。

【００６２】前記各ＰＤＰにおいて、封着工程はピーク
温度４５０℃を１０分保持する温度プロファイルとし
た。また、パネル構成も同じ構成とし、蛍光体膜厚は３
０μｍ、放電ガスはＮｅ（９５％）−Ｘｅ（５％）を６
６．５ｋＰａ（５００Ｔｏｒｒ）で封入した。

【００６３】パネルを点灯させて評価した発光特性とし
ては、青色のみを点灯させたときの発光強度（輝度を色
度座標ｙで割った値）、色度座標ｙ、発光スペクトルの
ピーク波長及び青色、赤色、緑色のすべてを同一電力条
件で点灯した時の白色表示の色温度（色温度補正なし）
を測定した。

【００６４】パネル比較の結果、本実施例のパネルでは
青色発光強度が比較例に比べ３０％増加し、青色色度座
標ｙも、０．０６まで低減した（比較例は０．０９）。
それに伴い、白色色温度も１１０００Ｋまで向上した
（比較例は５８００Ｋ）。さらに、封着時にパネル内不
純物が排除され、パネル内の放電特性の向上や均一性が
向上した。

【００６５】また、実施例では示さなかったが、封着用
装置内に流す乾燥空気の水蒸気分圧に関しては、水蒸気
分圧が下がるに従って発光特性が向上した。

【００６６】なお、以上の実施例においては、面放電型
のＰＤＰを例示したが、対向放電型のＰＤＰなど、封着
するための熱工程が必要なＰＤＰすべてに適用すること
ができる。

【００６７】

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、比較的
容易に安定したプロセスで、従来封着工程で発生した蛍
光体の発光特性劣化を抑えることが可能となり、その結
果、発光強度および発光効率が高く、色再現域の広いプ
ラズマディスプレイパネルが実現できる。

【００６８】また、本発明の製造装置によれば連続的な
処理が可能となり、リードタイムの短縮およびエネルギ
ー効率の向上を図ることができ、生産性を向上させるこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態１に係る封着前の前面板と背
面板を張り合わせたパネルおよび装置構成を示す図

【図２】本発明の実施形態に係る交流面放電型プラズマ
ディスプレイパネルの概略断面図

【図３】本発明の実施形態２に係る連続カート式装置を
示す概略図

【図４】本発明の実施形態２に係る走行カートを示す概
略図（その１）

【図５】本発明の実施形態２に係る走行カートを示す概
略図（その２）

【図６】本発明の実施形態２に係る走行カートを示す概
略図（その３）

【図７】本発明の実施形態２に係る封着・排気工程を示
した図

【図８】本発明の実施形態２に係る走行カートを示す概
略図（その４）

【図９】本発明の実施形態３に係る走行カートを示す概
略図

【図１０】本発明の別の実施形態に係る封着・排気工程
を示した図

【図１１】本発明の別の実施形態に係る走行カートを示
す概略図

【図１２】本発明の実施形態のＰＤＰに駆動回路を接続
したＰＤＰ表示装置を示す図

【図１３】従来の交流面放電型プラズマディスプレイパ
ネルの概略断面図

【符号の説明】

１前面板２背面板３封着用シール材４排気装置５第１のガラス管６乾燥ガス導入装置７乾燥ガス導入口８第２のガラス管９加熱炉１０連続炉１１炉（１ゾーン）１２走行カート１３カート復路１４ａ，１４ｂ循環ゾーン１５レール１６炉体１７ヒーター１８循環ファン１９シールヘッド２０炉壁２１パネル２２クリップ２３，２４，２８，２９，３２バルブ２５マガジン２６ａ，２６ｂガラス管封止手段２７放電ガス供給装置３０排気用配管３１ガス導入用配管３３真空排気装置４１前面ガラス基板４２表示電極４３誘電体ガラス層４４ＭｇＯ誘電体保護層４５背面ガラス基板４６アドレス電極４７隔壁４８蛍光体層４９放電空間５０赤色蛍光体層５１緑色蛍光体層５２青色蛍光体層５３可視光反射層

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者佐々木良樹大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内 (72)発明者長谷川和也大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内 (72)発明者渡辺由雄大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内 (72)発明者石倉靖久大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内 (72)発明者野中英一郎大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内 (72)発明者宮川宇太郎大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内Ｆターム(参考） 5C012 AA09 BC03 BC04

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】前面板と背面板を張り合わせ、所定の温
度まで加熱し、封着用シール材により、前記前面板と前
記背面板を封着する封着工程を有するプラズマディスプ
レイパネルの製造方法であって、封着前に、前記前面板あるいは背面板に両端が開放され
た第１および第２のガラス管を設け、前記第１のガラス
管を排気装置に接続し、パネル内部を排気しながら、所
定の温度まで加熱し、封着用シール材により前記前面板
と背面板を封着することを特徴とするプラズマディスプ
レイパネルの製造方法。
【請求項２】前面板と背面板を封着用シール材の軟化
点以上まで加熱した後に、パネル内部の排気を開始する
ことを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレ
イパネルの製造方法。
【請求項３】前面板と背面板を封着ピーク温度まで加
熱した時に、パネル内部の排気を開始することを特徴と
する請求項１記載のプラズマディスプレイパネルの製造
方法。
【請求項４】前記前面板あるいは背面板に設けられた
第１および第２のガラス管が、封着用シール材により、
前記前面板と背面板の封着時に同時に接着されることを
特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネ
ルの製造方法。
【請求項５】第１および第２のガラス管が固定治具に
より前記前面板あるいは背面板に固定され、封着用シー
ル材により、前記前面板と背面板の封着時に同時に接着
されることを特徴とする請求項４に記載のプラズマディ
スプレイパネルの製造方法。
【請求項６】第２のガラス管近傍の雰囲気を乾燥ガス
雰囲気とすることを特徴とする請求項１に記載のプラズ
マディスプレイパネルの製造方法。
【請求項７】乾燥ガスが、少なくとも酸素を含んでい
ることを特徴とする請求項６に記載のプラズマディスプ
レイパネルの製造方法。
【請求項８】乾燥ガスが、乾燥空気からなることを特
徴とする請求項７に記載のプラズマディスプレイパネル
の製造方法。
【請求項９】乾燥ガスの水蒸気分圧が１．３３ｋＰａ
（１０Ｔｏｒｒ）以下であることを特徴とする請求項６
から８のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネル
の製造方法。
【請求項１０】前面板と背面板を張り合わせ、所定の
温度まで加熱し、前記前面板と前記背面板を封着するプ
ラズマディスプレイパネルの製造装置であって、前記前面板あるいは背面板に設けられた第１のガラス管
を排気装置に接続する手段を有し、前記前面板あるいは
背面板に設けられた第２のガラス管近傍に、乾燥ガスを
導入する手段を有することを特徴とするプラズマディス
プレイパネルの製造装置。
【請求項１１】一対の平行に配されたプレートの間
に、電極および複数色の蛍光体層とが配設され、ガス媒
体が封入されたプラズマディスプレイパネルであって、
請求項１から９のいずれかに記載の製造方法で製造した
ことを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項１２】プラズマディスプレイパネルと前記プ
ラズマディスプレイパネルを駆動する駆動回路とを備え
たプラズマディスプレイパネル表示装置であって、前記プラズマディスプレイパネルが請求項１１に記載の
プラズマディスプレイパネルであることを特徴とするプ
ラズマディスプレイパネル表示装置。
【請求項１３】前記排気装置および前記第１のガラス
管を排気装置に接続する手段と前記乾燥ガスを導入する
手段を有した走行カートおよび前記走行カートが複数連
なって加熱炉内を通過することからなることを特徴とす
る請求項１０に記載のプラズマディスプレイパネルの製
造装置。
【請求項１４】前記走行カートが排気装置および前記
第１のガラス管を排気装置に接続する手段と前記乾燥ガ
スを導入する手段を有しており、前記第１のガラス管を
封止する封止手段を有することを特徴とする請求項１３
に記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置。
【請求項１５】前面板と背面板を張り合わせ、所定の
温度まで加熱し、前記前面板と前記背面板を封着する封
着ステップを有するプラズマディスプレイパネルの製造
方法であって、前記封着ステップが、封着前に前記前面板あるいは背面
板に両端が開放された第１および第２のガラス管を設
け、前記第１のガラス管を排気装置に接続し、パネル内
部を排気しながら、所定の温度まで加熱し、封着用シー
ル材により前記前面板と背面板を封着することにより行
われ、前記封着ステップに続いて、前記第２のガラス管を封止
した後に、封着された両基板を室温より高い排気温度に
保ちながら前記第１のガラス管を通して両基板間の内部
空間の気体を排気する排気ステップを備えることを特徴
とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１６】前記封着ステップにおいて、第２のガ
ラス管近傍の雰囲気を乾燥ガス雰囲気とすることを特徴
とする請求項１５に記載のプラズマディスプレイパネル
の製造方法。
【請求項１７】乾燥ガスが、少なくとも酸素を含んで
いることを特徴とする請求項１６に記載のプラズマディ
スプレイパネルの製造方法。
【請求項１８】乾燥ガスが、乾燥空気からなることを
特徴とする請求項１７に記載のプラズマディスプレイパ
ネルの製造方法。
【請求項１９】乾燥ガスの水蒸気分圧が１３３Ｐａ
（１Ｔｏｒｒ）以下であることを特徴とする請求項１６
から１８のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネ
ルの製造方法。
【請求項２０】前面板と背面板を張り合わせ、所定の
温度まで加熱し、前記前面板と前記背面板を封着するプ
ラズマディスプレイパネルの製造装置であって、前記前面板あるいは背面板に設けられた第１のガラス管
を排気装置に接続する手段を有し、前記前面板あるいは
背面板に設けられた第２のガラス管近傍に、乾燥ガスを
導入する手段と前記第２のガラス管を封止する封止手段
を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネル
の製造装置。
【請求項２１】前記排気装置および前記第１のガラス
管を排気装置に接続する手段と前記乾燥ガスを導入する
手段と前記第２のガラス管を封止する封止手段を有した
走行カートおよび前記走行カートが複数連なって加熱炉
内を通過することからなることを特徴とする請求項２０
に記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置。
【請求項２２】前記走行カートが排気装置および前記
第１のガラス管を排気装置に接続する手段と前記乾燥ガ
スを導入する手段と前記第２のガラス管を封止する封止
手段を有しており、かつ前記第１のガラス管を通して放
電ガスを供給する放電ガス供給装置を有し、第１のガラ
ス管を封止する封止手段を有することを特徴とする請求
項２１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造装
置。
【請求項２３】前面板と背面板を張り合わせ、所定の
温度まで加熱し、前記前面板と前記背面板を封着するプ
ラズマディスプレイパネルの製造装置であって、前記前面板あるいは背面板に設けられた第１のガラス管
を排気装置に接続する配管を有し、かつ前記第１のガラ
ス管と乾燥ガス導入装置とを接続する別の配管を有し、
前記前面板あるいは背面板に設けられた第２のガラス管
近傍に、乾燥ガスを導入する手段を有することを特徴と
するプラズマディスプレイパネルの製造装置。
【請求項２４】一対の平行に配されたプレートの間
に、電極および複数色の蛍光体層とが配設され、ガス媒
体が封入されたプラズマディスプレイパネルであって、
請求項１５から１９のいずれかに記載の製造方法で製造
したことを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項２５】プラズマディスプレイパネルと前記プ
ラズマディスプレイパネルを駆動する駆動回路とを備え
たプラズマディスプレイパネル表示装置であって、前記プラズマディスプレイパネルが請求項２４に記載の
プラズマディスプレイパネルであることを特徴とするプ
ラズマディスプレイパネル表示装置。