JP2002140983A

JP2002140983A - パネル保護基板を使用した表示パネルの製造方法および製造装置

Info

Publication number: JP2002140983A
Application number: JP2000331976A
Authority: JP
Inventors: Masafumi Okawa; 政文大河; Hiroyuki Kado; 博行加道; Kazuya Hasegawa; 和也長谷川
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2000-10-31
Filing date: 2000-10-31
Publication date: 2002-05-17

Abstract

(57)【要約】【課題】枚葉式連続封着装置において基板位置ずれが
無く、さらに青色蛍光体の劣化の少ないパネルを提供す
る。【解決手段】仮固定された封着前パネルの下部にパネ
ル保護板を配置し、パネル保護板および仮固定パネルを
一体として封着炉に投入する。このパネル保護板に設け
られたガス排気系、ガス導入系よりパネル内に乾燥ガス
を流す。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は表示パネル、特にプ
ラズマディスプレイパネルおよびその製造方法に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】以下では、従来のプラズマディスプレイ
パネルについて図面を参照しながら説明する。図１０は
交流型（ＡＣ型）のプラズマディスプレイパネルの概略
を示す断面図である。

【０００３】図１０において、４１は前面ガラス基板で
あり、この前面ガラス基板４１上に表示電極４２が形成
されている。さらに、表示電極４２は、誘電体ガラス層
４３及び酸化マグネシウム（ＭｇＯ）誘電体保護層４４
により覆われている。

【０００４】また、４５は背面ガラス基板であり、この
背面ガラス基板４５上には、アドレス電極４６および隔
壁４７、蛍光体層（５０〜５２）が設けられており、４
９が放電ガスを封入する放電空間となっている。前記蛍
光体層はカラー表示のために、赤５０、緑５１、青５２
の３色の蛍光体層が順に配置されている。上記の各蛍光
体層（５０〜５２）は、放電によって発生する波長の短
い真空紫外線（波長１４７ｎｍ）により励起発光する。

【０００５】蛍光体層５０〜５２を構成する蛍光体とし
ては、一般的に以下の材料が用いられている。

【０００６】「青色蛍光体」：ＢａＭｇＡｌ₁₀Ｏ₁₇：Ｅ
ｕ「緑色蛍光体」：Ｚｎ₂ＳｉＯ₄：ＭｎまたはＢａＡｌ₁₂
Ｏ₁₉：Ｍｎ「赤色蛍光体」：Ｙ₂Ｏ₃：Ｅｕまたは（ＹｘＧｄ１−
ｘ）ＢＯ₃：Ｅｕ各色蛍光体は以下のようにして作製できる。

【０００７】青色蛍光体（ＢａＭｇＡｌ₁₀Ｏ₁₇：Ｅｕ）
は、まず炭酸バリウム（ＢａＣＯ₃）、炭酸マグネシウ
ム（ＭｇＣＯ₃）、酸化アルミニウム（α−Ａｌ₂Ｏ₃）
をＢａ、Ｍｇ、Ａｌの原子比で１対１対１０になるよう
に配合する。次にこの混合物に対して所定量の酸化ユー
ロピウム（Ｅｕ₂Ｏ₃）を添加する。

【０００８】そして、適量のフラックス（ＡｌＦ₂、Ｂ
ａＣｌ₂）と共にボールミルで混合し、１４００℃〜１
６５０℃で所定時間（例えば、０．５時間）、還元雰囲
気（Ｈ ₂、Ｎ₂中）で焼成して得る。

【０００９】赤色蛍光体（Ｙ₂Ｏ₃：Ｅｕ）は、原料とし
て水酸化イットリウムＹ₂(ＯＨ)₃と硼酸（Ｈ₃ＢＯ₃）と
Ｙ、Ｂの原子比１対１になるように配合する。次に、こ
の混合物に対して所定量の酸化ユーロピウム（Ｅｕ
₂Ｏ₃）を添加し、適量のフラックスと共にボールミルで
混合し、空気中１２００℃〜１４５０℃で所定時間（例
えば１時間）焼成して得る。

【００１０】緑色蛍光体（Ｚｎ₂ＳｉＯ₄：Ｍｎ）は、原
料として酸化亜鉛（ＺｎＯ）、酸化珪素(ＳｉＯ₂）をＺ
ｎ、Ｓｉの原子比２対１になるように配合する。次にこ
の混合物に所定量の酸化マンガン（Ｍｎ₂Ｏ₃）を添加
し、ボールミルで混合後、空気中１２００℃〜１３５０
℃で所定時間（例えば０．５時間）して得る。

【００１１】上記製法で作製された蛍光体粒子を粉砕後
ふるい分けすることにより、所定の粒径分布を有する蛍
光体材料を得る。

【００１２】以下従来のＰＤＰの製造方法について説明
する。

【００１３】背面ガラス基板上に、銀からなるアドレス
電極を形成し、その上に誘電体ガラスからなる可視光反
射層と、ガラス製の隔壁を所定のピッチで作成する。

【００１４】これらの隔壁に挟まれた各空間内に、赤色
蛍光体、緑色蛍光体、青色蛍光体を含む各色蛍光体ペー
ストをそれぞれ配設することによって蛍光体層を形成
し、形成後５００℃程度で蛍光体層を焼成し、ペースト
内の樹脂成分等を除去する（蛍光体焼成工程）。

【００１５】蛍光体焼成後、背面板の周囲に前面板との
封着用シール材として低融点ガラスペーストを塗布し、
低融点ガラスペースト内の樹脂成分等を除去するために
３５０℃程度で仮焼する（低融点ガラスペースト仮焼工
程）。

【００１６】その後、表示電極、誘電体ガラス層および
保護層を順次形成した前面板と、前記背面板を隔壁を介
して表示電極とアドレス電極が直交するよう対向配置
し、少なくとも一方の基板の外周辺部に低融点ガラス材
料からなるシール層を４５０℃程度で焼成・軟化させて
周囲を密封する（封着工程）。この封着工程の直前にお
いては前面基板と背面基板をそれぞれ所定の位置に配置
された基板位置合わせマークをカメラ等で確認し、位置
合わせした後にそれぞれの基板の相対的な位置がずれな
いよう、クリップ等で仮固定する。このパネル組立体を
バッチ式加熱炉内に配置し、所定のパネル封着温度プロ
ファイルによってパネル封着を行う（バッチ式封着処
理）。または、このパネル組立体を所定の温度に設定さ
れたヒーターが順番に配置されてあるトンネル状の加熱
炉の中を通り抜けていくことにより所定のパネル封着温
度プロファイルによってパネル付着を行うこともできる
（枚葉式連続封着処理）。

【００１７】その後、３５０℃程度まで加熱しながらパ
ネル内を真空ポンプなどで排気し、加えてガス吸着部材
のガス吸着効果の開始によりパネル内を真空状態に保持
し（排気工程）、終了後に放電ガスを所定の圧力だけ導
入する。

【００１８】また、製造工程の短縮を目的として封着工
程から排気工程までを連続して行う製造方法および製造
装置も提案されている。

【００１９】従来プラズマディスプレイパネルの製造方
法においては、前記のように基板加熱を要する工程がい
くつか存在する。

【００２０】しかし、これらの加熱工程において、使用
している蛍光体が熱劣化するという問題があり、特に封
着工程において、青色蛍光体の劣化が大きかった。これ
は青色蛍光体として使用しているＢａＭｇＡｌ₁₀Ｏ₁₇：
Ｅｕが封着工程で熱劣化し、発光強度低下および発光色
度の劣化を起こす原因となっていると考えられている。

【００２１】これを解決するために封着時にパネル内部
に乾燥ガスを導入し、青色劣化を抑える封着方法（特願
平１１−１６８９９５号）が考えられている。

【００２２】

【発明が解決しようとする課題】従来のパネル封着工程
において、その直前に行った基板の相対的な位置合わせ
がずれてしまうという課題がある。この位置ずれが数１
０μｍ程度でパネル表示の際に点灯ムラや輝度ムラなど
製品にとって致命的な欠陥となってしまう。このため仮
クリップの数量、配置、加重などの対策をとる必要があ
るが、それだけでは不十分である。バッチ式加熱炉を使
用したバッチ式封着処理ではその内部に配置されたパネ
ル組立体が移動することがないため比較的位置ずれの心
配はない。しかし、バッチ処理のため、その処理ごとに
加熱炉の昇温と降温を繰り返すことになるため熱効率が
悪く、生産性にも問題がある。また、トンネル状の加熱
炉を使用した枚葉式連続封着処理では設定された温度プ
ロファイルを維持した炉内をパネル組立体が通過すれば
よいため、熱効率が良く、さらにパネル組立体を連続投
入することによって高い生産性を得ることができるが、
トンネル状の炉内をパネル組立体が移動する際に、パネ
ル組立体の受ける振動によって基板の相対的な位置ずれ
が生じる可能性が高いという課題を持っている。

【００２３】また、蛍光体の熱劣化防止対策としてパネ
ル封着工程時にパネル内部に乾燥ガスを流す工法を実現
するには加熱炉内にてパネルに乾燥ガスを供給する機構
が必要となる。バッチ式の加熱炉ではパネルは移動しな
いために加熱炉内の一部にガス導入系統およびガス排気
系統を設置することは比較的容易であるが、先に述べた
ような熱効率と生産性の問題がある。

【００２４】そこで本願発明はこのような問題に対し
て、トンネル状の加熱炉を使用した枚葉式連続封着処理
を適用したパネル封着工程時に生じる基板の相対的な位
置ずれを小さくし、さらに提案されてある蛍光体の熱劣
化防止工法に対しても有効な製造方法を提供するもので
ある。また、本願発明を適用した工法により、パネル内
の不純ガスの少ない良好な特性を持った表示パネルを提
供することを目的とするものである。

【００２５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の表示パネルの製造方法は基板の相対的な位
置合わせが完了したパネル組立体の下部にパネルの移動
による振動を直接パネルに加えることのないパネル保護
板を配置してトンネル状の連続封着炉に投入することを
特徴としている。さらに、そのパネル保護板がガス排気
系統およびガス導入系統を有することによってパネル封
着時にパネル内部空間に水蒸気を含まない乾燥ガスを導
入し、蛍光体の熱劣化を防止することができることを特
徴としている。

【００２６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態におけ
るプラズマディスプレイパネルの製造方法について説明
する。図１１は、本発明の一実施の形態における交流面
放電型プラズマディスプレイパネルの概略を示す断面図
である。

【００２７】このＰＤＰは、前面ガラス基板２１上に表
示電極２２と誘電体ガラス層２３、保護層（ＭｇＯ）２
４が配された前面板と、背面ガラス基板２５上にアドレ
ス電極２６、隔壁２８および蛍光体層２９が配された背
面板とを張り合わせ、前面板と背面板間に形成される放
電空間３０内に放電ガスが封入された構成となってい
る。

【００２８】蛍光体層を構成する蛍光体材料の組成とし
ては、一般的にＰＤＰの蛍光体層に使用されているもの
を用いることができる。その具体例としては、「青色蛍光体」：ＢａＭｇＡｌ₁₀Ｏ₁₇：Ｅｕ「緑色蛍光体」：Ｚｎ₂ＳｉＯ₄：Ｍｎ「赤色蛍光体」：（Ｙ、Ｇｄ）ＢＯ₃：Ｅｕを挙げることができる。

【００２９】パネル封着工程において使用する加熱炉に
は図１に示すような所定の温度に設定されたヒーターが
各加熱ゾーンごとに順番に配置されたトンネル状の加熱
炉１２を適用する。パネル投入口よりパネル組立体を連
続して投入し、おのおののパネル組立体がトンネル炉を
通過する間に所定の封着温度プロファイルによって加熱
される。加熱炉１２内ではＳＵＳ等で加工されたパネル
搬送用ベルトがパネル組立体を投入口から取出口まで所
定の速度で搬送する。その後、パネル取出口より封着の
完了したパネルが排出されてパネル封着工程が完了す
る。

【００３０】以下、本実施の形態における工程について
説明する。

【００３１】（第１の実施の形態）図２に第１の実施の
形態を実現する封着前パネルおよび装置構成を示す。前
面基板１と背面基板２の間には、封着部材３が設けら
れ、封着用加熱炉に投入される前工程で所定の位置に相
対的に位置合わせされており、クリップ１７等で仮固定
されている。このパネル組立体を位置ずれしないように
パネル保護板１８の上に配置し、パネル保護板１８ごと
加熱炉１２に投入する。加熱炉１２内ではパネル組立体
を搬送するためのベルトが引き込まれており、パネル保
護板とその上に配置されたパネル組立体がトンネル炉内
に引き込まれる。このパネルを加熱炉１２により、図３
の温度プロファイルで封着部材３の軟化温度以上まで加
熱することにより封着した。

【００３２】加熱炉１２内の封着部材３の軟化温度に設
定されたゾーンにおいて前面基板１、背面基板２は封着
部材３の軟化とクリップ１７の押さえ込みによって張り
合わされる。この状態において前面基板１と背面基板２
はわずかに移動に関する自由度を持つ。パネル搬送のた
めに加熱炉１２内の搬送用ベルトはパネル組立体にわず
かながら振動を与えてしまうが、パネル保護板１８によ
りパネル組立体は直接搬送用ベルトに接していないの
で、パネル保護板１８によってその振動が緩和されて両
基板の相対的な位置ずれを防ぐことができる。

【００３３】（第２の実施の形態）図４に第２の実施の
形態を実現する封着前パネルおよび装置構成を示す。パ
ネル保護板１８にはパネル内部のガスを排気することを
目的としたガス排気系統７０およびパネル内部空間に乾
燥ガス等を導入することを目的としたガス導入系統７１
が設置されてある。前面基板１と背面基板２の間には封
着部材３が設けられており、両基板の相対的な位置合わ
せを行った後、、クリップ１７等で仮固定する。このパ
ネル組立体をパネル保護板１８上に配置する。背面基板
２に形成されてある第１のガラス管５はパネル保護板１
８に設置されてあるガス排気系統７０に接続され、同様
に第２のガラス管７はガス導入系統７１に接続されてあ
る。パネル保護板１８に設置されてあるガス排気系統７
０およびガス導入系統７１はパネル封着温度（例えば４
５０℃程度）に耐えうることのできる材料（例えばＳＵ
Ｓなど）からなるフレキシブルチューブ７２、７３など
でパネル保護板１８外部にある排気装置４およびガス導
入装置６とそれぞれ接続されている。パネル保護板上で
先に述べた排気装置４、ガス導入装置６と接続されたパ
ネル組立体はパネル保護板１８ごと加熱炉１２に投入さ
れる。加熱炉１２内ではベルトによってパネル保護板１
８およびその上に配置されたパネル組立体がトンネル炉
内を搬送されて引き込まれていくが、同様にフレキシブ
ルチューブ７２、７３もトンネル炉内に引き込まれてい
くため、パネル組立体は加熱炉１２の外部に設置されて
ある排気装置４およびガス導入装置６と接続された状態
を保持している。パネル内部へのガス導入および排気は
バルブ１０、８の開閉で行われる。

【００３４】このパネルを加熱炉１２により、図５の温
度プロファイルで封着部材３の軟化温度以上まで加熱す
ることにより封着した。

【００３５】加熱炉１２内の封着部材３の軟化温度に設
定されたゾーンにおいて前面基板１、背面基板２は封着
部材３の軟化とクリップ１７の押さえ込みによって張り
合わされ、パネル内部の気密を保持する。ここでバルブ
８を開き、排気装置４によってフレキシブルチューブ７
２、パネル保護板１８上のガス排気系統７０および第１
のガラス管５を通してパネル内の排気を開始、バルブ１
０を開きガス導入装置６によって、フレキシブルチュー
ブ７３、パネル保護板１８上のガス導入系７１および第
２のガラス管７を通してパネル内への乾燥ガス導入を開
始した。

【００３６】この後、パネルは封着ピーク温度を迎え、
冷却工程を経て加熱炉１２のパネル取出口からパネル保
護板１８ごと排出される。加熱炉１２からパネルが取り
出された後、封着完了したパネルをパネル保護板１８か
ら取り外す。

【００３７】このようにして、第１の実施の形態で述べ
たように基板の相対的な位置ずれもなく、蛍光体の熱劣
化の少ないパネルを提供することが可能となる。

【００３８】本実施の形態においてパネル保護板上１８
にガス排気系統７０、フレキシブルチューブ７２、排気
装置４およびガス導入系統７１、フレキシブルチューブ
７２、ガス導入装置６を複数設置されている場合におい
てはパネル内部に導入するガスの流れを複数に制御する
ことが可能となり、面内均一性のより良いパネルを製造
することができる。

【００３９】本実施の形態において加熱炉１２がトンネ
ル炉内部をある程度の乾燥雰囲気に保持する機構を持つ
ならば、図６に示されるようにパネル保護板１８上のガ
ス排気系統７０、フレキシブルチューブ７２および外部
の排気装置４のみで構成される装置によって、パネル内
部を第１のガラス管５から排気し、第２のガラス管７の
開口部よりトンネル炉内の雰囲気ガスをパネル内に吸気
することでも同様の効果が得られる。

【００４０】また、本実施の形態におけるガス導入装置
６がパネル内に放電用ガスを供給することができるなら
ば、図７の温度プロファイルに示されるような加熱炉を
使用することによって、封着後に常温までパネル温度を
降温させることなくパネル内真空排気工程を行う連続処
理にも適用することが可能である。パネル降温後、パネ
ル内に所定の圧力で放電用ガス封入、パネル封止するこ
とでパネルが完成する。

【００４１】当然のことながら、パネル内部空間にガス
を流す時間を設ければ、パネル内部へのガス導入後、パ
ネル内真空排気、放電ガス導入、パネル封止の連続処理
を行うこともできる。

【００４２】（第３の実施の形態）図８に本実施の形態
を示すパネル組立体および装置構成を示す。

【００４３】本実施の形態においては封着部材３の軟化
温度に設定されたゾーンにおいて封着部材３の軟化によ
って気密の保持されたパネル内部空間を加熱炉１２の外
部にある排気装置４によって、フレキシブルチューブ７
２、パネル保護板１８上のガス排気系統７０およびガラ
ス管５を通してパネル内部ガスを排出し、パネル内部の
圧力をパネル外部の圧力よりも小さくすることを特徴と
している。このようにすることで、パネル表面はパネル
内部と外部の圧力差による力によって均一に押圧され、
前面基板１と背面基板２の間隔が均一なパネルを製造す
ることが可能となる。両基板間の間隔が均一化すること
で面内の各表示セル空間が均一になるため、表示均一性
の良好なパネルを得ることができる。

【００４４】また、本実施の形態においては図４に示さ
れるような構成を持つ装置を使用する場合においてもバ
ルブ１０の開閉を制御することによって同様の効果を得
ることが可能であるため、第２の実施の形態で述べた製
造方法においても適用することが可能である。

【００４５】さらに、ＰＤＰの駆動時には、図９に示す
ように、ＰＤＰに各ドライバ及びパネル駆動回路１００
を接続して、点灯させようとするセルの走査電極１０１
ａとアドレス電極１０２間に印加してアドレス放電を行
った後に、表示電極１０１ａ、１０１ｂ間にパルス電圧
を印加して維持放電を行う。そして、当該セルで放電に
伴って紫外線を発光し、蛍光体層で可視光に変換する。
このようにしてセルが点灯することによって、画像が表
示される。

【００４６】なお、以上の実施の形態においては、面放
電型のＰＤＰを例示したが、対向放電型のＰＤＰやＦＥ
Ｄなど、封着するための熱工程が必要な表示パネルすべ
てに適用することができる。

【００４７】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、パネルを
炉内でベルトなどによって搬送する連続加熱炉において
も、搬送による振動で前面基板、背面基板の相対的な位
置ずれを防ぐことができ、同時に従来封着工程で発生し
た蛍光体の発光特性劣化をおさえ、面内均一にすること
が可能となり、その結果、発光強度および発光効率が高
く、色再現域の広い表示パネルが実現できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係わる枚葉式連続封着処
理の可能な加熱炉を示す図

【図２】本発明の第１の実施の形態に係わる封着前の前
面板と背面板を張り合わせたパネルおよび装置構成を示
す図

【図３】本発明の第１の実施の形態に係わる封着工程を
示した図

【図４】本発明の第２の実施の形態に係わる封着前の前
面板と背面板を張り合わせたパネルおよび装置構成を示
す図

【図５】本発明の第２の実施の形態に係わる封着工程を
示した図

【図６】本発明の第２の実施の形態における別の封着前
の前面板と背面板を張り合わせたパネルおよび装置構成
を示す図

【図７】本発明の第２の実施の形態における別の封着工
程を示した図

【図８】本発明の第３の実施の形態に係わる封着前の前
面板と背面板を張り合わせたパネルおよび装置構成を示
す図

【図９】本実施の形態のＰＤＰに駆動回路を接続したＰ
ＤＰ表示装置を示す図

【図１０】従来の交流面放電型プラズマディスプレイパ
ネルの概略断面斜視図

【図１１】本発明の一実施の形態における交流面放電型
プラズマディスプレイパネルの概略断面図

【符号の説明】

１前面板２背面板３封着部材４排気装置５第１のガラス管６ガス導入装置７第２のガラス管８，１０バルブ１２加熱炉１６ヒーター１７クリップ１８パネル保護板１９パネル搬送用ベルト７０ガス排気系統７１ガス導入系統７２，７３フレキシブルチューブ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者長谷川和也大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内Ｆターム(参考） 5C012 AA05 AA09 BC03 BC04 5C040 FA01 HA01 HA05 JA23 JA28 JA31 MA10 MA23 5G435 AA04 AA07 AA17 BB06 CC12 EE09 KK02 KK05 KK10

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】対向配置された２枚の基板を外周辺部に
形成された封着部材によって封止するパネル封着工程に
おいて、前記パネルの下部にパネル保護板を配置するこ
とを特徴とする表示パネルの製造方法。
【請求項２】前記パネルの保護板がガス排気系統また
はガス導入系統を有することを特徴とする請求項１に記
載の表示パネルの製造方法。
【請求項３】前記パネルの保護板がガス排気系統およ
びガス導入系統を有することを特徴とする請求項１に記
載の表示パネルの製造方法。
【請求項４】前記パネル保護板が少なくとも２つ以上
のガス排気系統またはガス導入系統を有することを特徴
とする請求項２または３に記載の表示パネルの製造方
法。
【請求項５】前記ガス排気系統または前記ガス導入系
統よりパネル内にガスを流すことを特徴とする請求項２
または４に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項６】前記封着部材が軟化してパネル内の気密
が保持された後に前記ガス排気系統または前記ガス導入
系統よりパネル内にガスを流すことを特徴とする請求項
６に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項７】前記ガス導入系統から前記パネルの内部
空間にガスを導入し、前記排気系統からパネル内部空間
のガスを排気することを特徴とする請求項３または４に
記載の表示パネルの製造方法。
【請求項８】前記封着部材が軟化してパネル内の気密
が保持された後に前記ガス導入系統から前記パネルの内
部空間にガスを導入し、前記排気系統からパネル内部空
間のガスを排気することを特徴とする請求項７に記載の
表示パネルの製造方法。
【請求項９】前記ガスが乾燥ガスであることを特徴と
する請求項５〜８のいずれかに記載の表示パネルの製造
方法。
【請求項１０】前記封着部材が軟化してパネル内の気
密が保持される第１工程と前記ガス排気系統からパネル
内を真空排気する第２工程とパネル内に放電ガスを封入
する第３工程とを有することを特徴とする請求項２〜４
に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項１１】前記封着部材が軟化してパネル内の気
密が保持される第１工程と前記ガス排気系統よりパネル
内部ガスを排気してパネル内部の圧力をパネル外部の圧
力よりも小さくする第２工程とを有することを特徴とす
る請求項２〜４に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項１２】対向配置された２枚の基板を外周辺部
に形成された封着部材によって封止するパネル封着工程
において、前記パネルの下部に配置されることを特徴と
するパネル保護板。
【請求項１３】前記パネルの保護板がガス排気系統ま
たはガス導入系統を有することを特徴とする請求項１２
に記載のパネル保護板。
【請求項１４】前記パネルの保護板がガス排気系統お
よびガス導入系統を有することを特徴とする請求項１２
に記載のパネル保護板。
【請求項１５】前記パネル保護板が少なくとも２つ以
上のガス排気系統またはガス導入系統を有することを特
徴とする請求項１３または１４に記載のパネル保護板。
【請求項１６】請求項１〜１１のいずれかの製造方法
によって製造されることを特徴とする表示パネル。
【請求項１７】前記表示パネルがプラズマディスプレ
イパネルまたはフィールドエミッションディスプレイで
あることを特徴とする請求項１６に記載の表示パネル。
【請求項１８】表示パネルと前記表示パネルを駆動す
る駆動回路とを備えた表示装置であって、前記表示パネ
ルが請求項１７に記載の表示パネルであることを特徴と
する表示装置。