JP2002216620A - プラズマディスプレイ表示装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 主隔壁と、主隔壁より高さの低い補助隔壁を
有するプラズマディスプレイ表示装置を簡便に、かつ低
コストで製造する方法を提供することを目的とする。 【解決手段】 第２隔壁を遮光体として前面側から露光
することで、高さの異なる井桁状構造を単純なライン構
造のマスクで形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、表示デバイスなど
に用いるプラズマディスプレイパネルの製造方法に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】現在、プラズマディスプレイ、フィール
ドエミッションディスプレイ、エレクトロルミネッセン
スディスプレイなどに代表される厚膜を利用したディス
プレイパネルが数多くあり、一部は市販され、一部は開
発中である。その中で、ＡＣ型のプラズマディスプレイ
パネルは、特に４０インチサイズ以上を実現できる大型
ディスプレイとして期待されている。

【０００３】図２に一般的なＰＤＰの一例を示す。

【０００４】このプラズマディスプレイパネルは、フロ
ントパネル１１０とバックパネル１２０とが対向配置さ
れ、その外周端縁部（図示省略）は、ガス放電用空間を
形成するために、低融点ガラスからなる封着材により封
着されており、両基板間に形成される密閉空間１４０に
は、３００Ｔｏｒｒ〜５００Ｔｏｒｒ（４０〜６６．６
ｋＰａ）程度の圧力で希ガス（ヘリウム及びキセノンの
混合ガス）が封入されて構成されている。

【０００５】フロントパネル１１０は、フロントガラス
板１１１の対向面（バックパネルと対向する側の面）
に、表示電極対１１２ａ、１１２ｂが形成され、それを
覆うように誘電体ガラスからなる誘電体層１１３とＭｇ
Ｏからなる保護層１１４とが形成された構成である。

【０００６】一方、バックパネル１２０は、バックガラ
ス板１２１の対向面（フロントパネルと対向する側の
面）に、アドレス電極１２２がパターン形成され、それ
を覆うようにバック誘電体層１２３が形成され、更にそ
の上に隔壁１２４が形成され、隔壁１２４同士の間には
ＲＧＢの蛍光体層１３１が形成された構成である。

【０００７】隔壁１２４によって区切られた空間部１４
０が発光領域（放電セル）となり、蛍光体層１３１は、
この放電セル毎に塗布されている。また、隔壁１２４と
アドレス電極１２２とは同一方向に形成されており、表
示電極対１１２ａ、１１２ｂはアドレス電極１２２と直
交している。

【０００８】このプラズマディスプレイパネルは、表示
する画像データに基づいてアドレス電極１２２と表示電
極１１２ａとの間にアドレスパルスを印加した後、対を
なす表示電極１１２ａ及び表示電極１１２ｂとの間に維
持パルスを印加することによって、放電セルにおいて選
択的に維持放電を起こす。これにより、維持放電がされ
た放電セルでは、紫外線が発生し、その紫外線で励起さ
れたＲＧＢの各色蛍光体層１３１から可視光が放出され
て、画像が表示される。

【０００９】次に、このようなガス放電パネルの製造方
法について述べる。

【００１０】フロントパネル１１０については、フロン
トガラス板１１１上に表示電極対１１２ａ、１１２ｂを
形成し、それを覆って誘電体ガラスを塗布及び焼成して
誘電体層１１３を形成し、その上にＥＢ蒸着によってＭ
ｇＯを成膜することによって保護層１１４を作製する。

【００１１】バックパネル１２０については、バックガ
ラス板１２１上にアドレス電極１２２を形成し、それを
覆ってバック誘電体層１２３を形成し、その上に隔壁１
２４を形成する。

【００１２】この隔壁１２４は、例えば、バック誘電体
層１２３の表面上に隔壁材料を製膜した後、レジストを
塗布する。そして、このレジスト膜をストライプ状にパ
ターニングしサンドブラストで隔壁材料の不必要な部分
を削り取り、焼成することによって形成することができ
る。

【００１３】そして、隔壁１２４同士の間に、印刷法等
によって蛍光体ペーストを充填し、焼成して蛍光体層１
２４を形成することによって、バックパネル１２０が作
製される。

【００１４】このようにして作製したフロントパネル１
１０とバックパネル１２０を、その周囲に低誘電ガラス
を封着材として塗布した後、重ね合わせて焼成すること
によって封着し、内部を真空引きした後、希ガスを封入
することによって、プラズマディスプレイパネルが作製
される。

【００１５】最近、蛍光体塗布面積を広げることで、蛍
光面を発光させた場合の輝度を高めることを目的とし
て、アドレス電極と平行方向に背面板に形成される主隔
壁と、バス電極と平行方向に背面板に形成される補助隔
壁を設けること、さらに蛍光面の形成が容易となること
を目的として補助隔壁の高さを主隔壁の高さより低くす
ることが提案されている（特開平１０−３２１１４８公
報）。

【００１６】

【発明が解決しようとする課題】高さの異なる主隔壁と
補助隔壁を形成する方法として、転写シートを使用して
形成する方法が提案されている。この方法は、隔壁形状
に対応する凹型の転写シートに隔壁材料を充填し、前記
隔壁材料をガラス基板に転写する方法である。しかし、
本方法は、一度の隔壁形成工程で１枚の転写シートが必
要となるため、製造コストが高くなるという問題があ
る。転写シートの再利用に関しても、転写工程での転写
シートへの隔壁材料の残存付着という問題があり、これ
らの洗浄による除去が必要となるため、工程が煩雑とな
ってしまう。さらに転写シートへの隔壁材料の残存付着
の問題は、転写した隔壁形状不良の原因にもなる。特に
高さが異なる２種類の隔壁という複雑な形状の加工の場
合には、ライン形状の隔壁形成よりいっそう深刻な課題
となる。これらの理由から、転写シート法は、現時点で
は、プラズマディスプレイ表示装置用の隔壁工法とし
て、量産された実績はなく、より簡単に高さの異なる隔
壁を形成する工法が望まれていた。

【００１７】本発明の目的は、上記の課題を鑑み、主隔
壁と、主隔壁より高さの低い補助隔壁を有するプラズマ
ディスプレイ表示装置の簡便に、あるいは低コストで製
造する工法を提供することにある。

【００１８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本願発明は、互いに平行な主隔壁部と前記主隔壁部
より高さが低く主隔壁部と垂直な補助隔壁部を有するプ
ラズマディスプレイ表示装置の製造方法であって、感光
性材料と無機粉末を含有する第１材料を塗工する第１工
程と、黒色材料を含有する第２材料を線状に塗工する第
２工程と、線状形成された第２材料に対して垂直な線状
開口部を有するフォトマスクを通して、第１材料を露
光、現像、焼成する第３工程を含むことを特徴とするプ
ラズマディスプレイ表示装置の製造方法を提供するもの
である。

【００１９】上記発明によれば、黒色材料を含有する第
２材料による遮光と、第２材料に対して垂直に配置され
る線状のフォトマスクを組み合わせることにより、井桁
形状のパターニングが可能であるため、井桁の縦方向と
横方向との精密なアライメントを必要としないことに加
え、第２材料の高さ分が、主隔壁部を形成し、第２材料
が塗工されていない場所は補助隔壁部を形成するため、
高さの異なる隔壁群を容易に製造することが可能とな
る。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。

【００２１】図１は、本発明の隔壁形成方法の一実施形
態を説明するための工程図である。

【００２２】（第１工程：隔壁材料塗工工程）必要に応
じて電極、電極保護層などが形成された基板１１上に、
感光性材料を含む隔壁ペーストを、全面均一に塗布し、
塗工膜１２を形成する。隔壁ペーストとしては、６５〜
８５％のガラス粉末と、紫外線によって硬化する感光性
有機成分を必須成分とし、樹脂、溶剤などの有機成分か
ら構成される。

【００２３】なお、感光性樹脂としては、ノボラック樹
脂、ジアゾニウム樹脂など、第３工程の光照射によって
反応し、現像液に溶解する材料が選ばれる。

【００２４】塗布方法としては、印刷法、ロールコータ
ー法、ブレードコーター法などが用いられ、塗工後の膜
厚は、１００〜３００μｍが好ましい。塗布膜は必要に
応じて乾燥される（図１（ａ））。

【００２５】なお、塗工膜として、必ずしも隔壁ペース
トを利用する必要はなく、たとえばガラス成分と感光性
有機成分を含有したフィルムをラミネート法などによっ
て貼付するなどの方法を用いても構わない。

【００２６】（第２工程：黒色材料塗工工程）第１工程
にて形成された塗工膜１２上に、黒色の第２隔壁ペース
トを線状に塗布し、黒色部２０を形成する。塗布膜厚は
１０〜４０μｍが好ましい。第２隔壁ペーストとして
は、６５〜８５％のガラス粉末と、酸化ルテニウムなど
からなる黒色材料とを必須成分とし、樹脂、溶剤などの
有機成分から構成される。

【００２７】塗工方法としては、線状の開口部を有した
スクリーン版を用いるスクリーン印刷法、ノズルからイ
ンク塗出しながらノズルと基板を相対的に直線状に掃引
するインクジェット法が最も好ましいが、黒色材料を線
状に塗布できる方法であれば、方法に限定されるもので
はない（図１（ｂ））。

【００２８】また、第２隔壁ペーストに含有される黒色
材料は、第３工程の露光工程にて、露光光を遮蔽するこ
とができれば、黒色に限定されることはなく、たとえ
ば、灰色であってもかまわない。また、黒色材料として
は、酸化ルテニウムが遮光性の高さから最も望ましい
が、これに限定されることはなく、酸化クロムなど、任
意の黒色顔料が選ばれる。

【００２９】（第３工程：露光・現像・焼成工程）第２
工程にて形成された黒色材料が線状に塗工された塗工膜
１４に対し、黒色材料と垂直な線状に開口部を有するフ
ォトマスクを通した露光を行う。露光は、マスク１５を
介して紫外線を所定のエネルギーで所定の時間照射する
ことで行われる。この工程によって、マスクによって遮
光された部分、及び第２材料によって遮光された部分の
塗工膜中に含有する感光性樹脂の化学反応が起こる。

【００３０】引き続き、所定の現像装置を用いて現像を
行い、ライン状の主隔壁部１８と、主隔壁より高さの低
い補助隔壁部１９からなる隔壁群前駆体２０を形成す
る。現像は、感光性材料が反応した露光部分と非露光部
分との現像液に対する溶解度差を用いて行われる。現像
には、現像液をスプレーする方法、現像液中に基板を浸
せきする方法などがあるが、現像方法に限定されるもの
ではない。

【００３１】このようにして得られた隔壁群前駆体２０
は、好ましくは４００℃以上の温度で加熱、焼成を行う
ことで、有機成分を焼失させ、またガラス成分を溶融さ
せ、隔壁群を得ることができる。なお、隔壁群は、隔壁
群前駆体２０と同一形状をとるため、図示を省略してい
る。

【００３２】

【発明の効果】以上述べてきたように、本発明によれ
ば、主隔壁と、主隔壁より高さの低い補助隔壁を有する
プラズマディスプレイ表示装置を、きわめて簡便に、あ
るいは低コストで製造することが可能となり、その効果
はきわめて大きい。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係るプラズマディスプレ
イ表示装置の隔壁形成方法を示す工程図

【図２】従来の交流型のプラズマディスプレイパネルの
要部斜視図

【符号の説明】

１１ 基板 １２ 塗工膜 １５ マスク １８ 主隔壁部 １９ 補助隔壁部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鈴木 茂夫 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 山下 勝義 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 芦田 英樹 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 5C027 AA09 5C040 FA01 GF03 GF19 JA12 MA22 MA26

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 互いに平行な主隔壁部と前記主隔壁部よ
   り高さが低く主隔壁部と垂直な補助隔壁部を有するプラ
   ズマディスプレイ表示装置の製造方法であって、 感光性材料と無機粉末を含有する第１材料を塗工する第
   １工程と、黒色材料を含有する第２材料を線状に塗工す
   る第２工程と、線状形成された第２材料に対して垂直な
   線状開口部を有するフォトマスクを通して、第１材料を
   露光、現像、焼成する第３工程を含むことを特徴とする
   プラズマディスプレイ表示装置の製造方法。
2. 【請求項２】 前記感光性材料が光によって反応し、現
   像液に可溶化する材料を含有することを特徴とする請求
   項１に記載のプラズマディスプレイ表示装置の製造方
   法。
3. 【請求項３】 第２材料の塗工がスクリーン印刷法によ
   ることを特徴とする請求項１または２に記載のプラズマ
   ディスプレイ表示装置の製造方法。
4. 【請求項４】 第２材料の塗工がインクジェット法によ
   ることを特徴とする請求項１または２に記載のプラズマ
   ディスプレイ表示装置の製造方法。
5. 【請求項５】 前記黒色材料が無機顔料であることを特
   徴とする請求項１から４のいずれかに記載のプラズマデ
   ィスプレイ表示装置の製造方法。
6. 【請求項６】 無機顔料が、酸化ルテニウムを含むこと
   を特徴とする請求項５に記載のプラズマディスプレイ表
   示装置の製造方法。