CN114249129A - 输送系统、加工系统和物品的制造方法 - Google Patents

输送系统、加工系统和物品的制造方法 Download PDF

Info

Publication number
CN114249129A
CN114249129A CN202111114118.3A CN202111114118A CN114249129A CN 114249129 A CN114249129 A CN 114249129A CN 202111114118 A CN202111114118 A CN 202111114118A CN 114249129 A CN114249129 A CN 114249129A
Authority
CN
China
Prior art keywords
transport vehicle
transport
levitation
axis direction
vehicle
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202111114118.3A
Other languages
English (en)
Inventor
伊藤惠介
山本武
川口岳
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Publication of CN114249129A publication Critical patent/CN114249129A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G54/00—Non-mechanical conveyors not otherwise provided for
    • B65G54/02—Non-mechanical conveyors not otherwise provided for electrostatic, electric, or magnetic
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B60—VEHICLES IN GENERAL
    • B60L—PROPULSION OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; SUPPLYING ELECTRIC POWER FOR AUXILIARY EQUIPMENT OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRODYNAMIC BRAKE SYSTEMS FOR VEHICLES IN GENERAL; MAGNETIC SUSPENSION OR LEVITATION FOR VEHICLES; MONITORING OPERATING VARIABLES OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRIC SAFETY DEVICES FOR ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES
    • B60L13/00—Electric propulsion for monorail vehicles, suspension vehicles or rack railways; Magnetic suspension or levitation for vehicles
    • B60L13/03—Electric propulsion by linear motors
    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E01—CONSTRUCTION OF ROADS, RAILWAYS, OR BRIDGES
    • E01B—PERMANENT WAY; PERMANENT-WAY TOOLS; MACHINES FOR MAKING RAILWAYS OF ALL KINDS
    • E01B25/00—Tracks for special kinds of railways
    • E01B25/30—Tracks for magnetic suspension or levitation vehicles
    • E01B25/305—Rails or supporting constructions
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N15/00—Holding or levitation devices using magnetic attraction or repulsion, not otherwise provided for
    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E01—CONSTRUCTION OF ROADS, RAILWAYS, OR BRIDGES
    • E01B—PERMANENT WAY; PERMANENT-WAY TOOLS; MACHINES FOR MAKING RAILWAYS OF ALL KINDS
    • E01B25/00—Tracks for special kinds of railways
    • E01B25/30—Tracks for magnetic suspension or levitation vehicles
    • E01B25/32—Stators, guide rails or slide rails

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Transportation (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Architecture (AREA)
  • Civil Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
  • Non-Mechanical Conveyors (AREA)

Abstract

本发明涉及输送系统、加工系统和制造物品的方法。输送系统包括：输送路径壳体；第一磁力单元，其设置在输送路径壳体内；输送车，其包括被设置成能够面对第一磁力单元的第二磁力单元、并且能够通过作用于第一磁力单元和第二磁力单元之间的磁力在被悬浮的同时沿着输送路径壳体行进；轨道，输送车着陆于轨道上以便能够行进，轨道设置在输送路径壳体内；和至少一个移动器件，其用于使处于输送车着陆在轨道上的着陆状态下的输送车移动到输送车能够通过磁力悬浮起来的位置。

Description

输送系统、加工系统和物品的制造方法
技术领域
本公开涉及输送系统、加工系统和制造物品的方法。
背景技术
日本专利申请特开No.H10-95533公开了一种磁浮式输送装置，包括其中布置定子和铺设导轨的输送路径、以及安装有与导轨相对的多个磁体单元和与定子相对的次级导体的输送车。在日本专利申请特开No.H10-95533中公开的输送装置中，输送车通过导轨与磁体单元之间的电磁力浮起，并且通过定子与次级导体之间的电磁力行进。日本专利申请特开No.H10-95533公开了经由磁体单元被吸引至导轨的输送车被设置在输送车上的手柄或齿轮机构或缠绕在导轨上的线圈从导轨上拉下来。
发明内容
根据本公开的一个方面，提供了一种输送系统，包括：输送路径壳体；第一磁力单元，其设置在输送路径壳体内；输送车，其包括被设置成能够面对第一磁力单元的第二磁力单元、并且能够通过作用于第一磁力单元和第二磁力单元之间的磁力在被悬浮的同时沿着输送路径壳体行进；轨道，输送车着陆(land)于轨道上以便能够行进，轨道设置在输送路径壳体内；和至少一个移动器件，其用于使处于输送车着陆在轨道上的着陆状态下的输送车移动到输送车能够通过磁力悬浮起来的位置。
各种实施例的进一步特征将根据以下参照附图对示例性实施例的描述而变得明显。
附图说明
图1A和图1B是示出根据第一实施例的输送系统的示意性构造的图。
图2A、图2B、图2C和图2D是示出根据第一实施例的输送系统中作为移动器件的上下机构的具体结构和离陆(takeoff)操作的图。
图3A、图3B、图3C、图3D、图3E、图3F、图3G和图3H是示出根据第二实施例的输送系统中作为移动器件的滑动机构的具体结构和离陆操作的图。
图4A、图4B、图4C和图4D是示出根据第三实施例的输送系统中作为移动器件的斜坡的具体结构和离陆操作的图。
图5A、图5B、图5C和图5D是示出根据第四实施例的输送系统中作为移动器件的升降机构的具体结构和离陆操作的图。
图6是示出根据第五实施例的输送系统的示意性构造的图。
图7A、图7B、图7C、图7D、图7E和图7F是示出根据第五实施例的输送系统中作为移动器件的上下机构的具体结构和离陆操作的图。
图8A、图8B、图8C和图8D是示出根据第六实施例的输送系统中作为移动器件的斜坡的具体结构和离陆操作的图。
具体实施方式
然而，在日本专利申请特开No.H10-95533中公开的装置中，即使可以将被吸引至导轨的车辆从导轨上拉下来并使其返回至磁浮状态，也很难将已经远离导轨着陆的车辆取下并使其处于磁浮状态。此外，在日本专利申请特开No.H10-95533中公开的输送装置中，由于输送车设置有手柄或齿轮作为使输送车从导轨上分离的机构，因此随着输送车数量的增加，装置的成本也增加。此外，由于输送车的重量增加，因此需要增大用于向输送车施加悬浮力或推力的线圈的尺寸，这增大了装置的成本。此外，由于输送车很大，因此输送路径必须很大，装置的成本也增加。
各种实施例旨在提供一种输送系统，其能够容易地实现被悬浮的输送车的离陆，同时保持装置的成本较低。
[第一实施例]
下面将参照图1A至图2D描述根据第一实施例的输送系统。
首先，将参照图1A和图1B描述根据本实施例的输送系统110的示意性构造。图1A是示出根据本实施例的输送系统110的透视图。
图1B是示出根据本实施例的输送系统110的侧视图。图1B的侧视图是从图1A中所示的X轴方向来看输送系统110的侧视图。注意，在以下说明书和附图中，对于多个相同的部件，当没有特别需要区分多个相同的部件时，只使用相同的参考数字，而如果有必要，则参考数字后面跟有大写或小写字母，或者进一步在字母后面用下标数字来区分多个相同部件中的每个部件。
如图1A和图1B所示，根据本实施例的输送系统110包括用于保持和输送待输送的物体4的输送车100、构成输送车100沿其行进的输送路径的输送路径装置102、以及控制装置12和14。根据本实施例的输送系统110是磁浮输送系统，用于以借助磁力克服重力来悬浮的磁浮状态行进和输送该输送车100。根据本实施例的输送系统110构成包括用于加工由输送车100输送的待输送物体4的加工装置104的加工系统的一部分。加工系统可以通过由加工装置104执行加工来制造物品。
例如，输送系统110将待输送的物体4作为由输送车100保持的工件输送到用于加工待由输送车100输送的物体4的加工装置104。加工装置104没有特别的限制，而是例如可为在作为待输送物体4的基板(例如，玻璃基板)上形成膜的成膜装置，例如蒸汽沉积装置或溅射装置。
在此，定义以下描述中使用的坐标轴和方向。X轴沿输送车100的沿着水平方向的输送方向、即输送车100的行进方向选取，输送车100的输送方向被选取为X轴方向。Z轴沿竖直方向(其为与X轴方向正交的方向)选取，竖直方向被选取为Z轴方向。与X轴方向和Z轴方向正交的方向被定义为Y轴方向。输送车100的输送方向不一定在水平方向上，不过在这种情况下，Y轴方向和Z轴方向可以以输送方向为X轴方向类似地确定。注意，X轴方向、Y轴方向和Z轴方向不一定限于彼此正交的方向，而是可以定义为彼此相交的方向。
输送路径装置102包括输送路径壳体9、轨道1A和1B、着陆输送轨道6A和6B、和定子7。进一步地，输送路径装置102包括后面参照图2A至图2D描述的上下机构30。
输送路径壳体9具有在X轴方向上延伸的矩形管状形状，并且具有在Z轴方向上互相面对的底板和顶板、以及在Y轴方向上互相面对的一对侧板。输送路径壳体9的内部空间是输送车100在其中行进的空间。在输送路径壳体9的内部空间中，上下机构30和处理装置104被布置在预定的位置处。
在输送路径壳体9的顶板的内表面上，安装设置有沿X轴方向延伸的条状轨道1A和1B。该对轨道1A和1B以预定的间隔彼此平行地安装。轨道1A和1B由铁磁材料、特别是软磁材料的磁性材料制成。具体来说，例如，轨道1A和1B可以由用于一般结构的轧制钢(例如SS400)制成。轨道1用作在轨道1和输送车100的线圈阵列2之间施加磁力的磁力单元。
单面线性感应电机的定子7安装设置在输送路径壳体9的顶板的内表面上，以便在轨道1A和轨道1B之间沿X轴方向延伸。定子7具有包括沿X轴方向布置的多个线圈的线圈阵列(未示出)。定子7的多个线圈在输送车100和后面描述的次级导体板8之间产生电磁力，该电磁力是用于沿X轴方向驱动输送车100的推力。
在X轴方向上延伸的着陆输送轨道6A和6B分别被安装设置在输送路径壳体9的一个侧板和另一侧板的内表面上。着陆输送轨道6A是被构造成使处于着陆状态(非磁浮状态)下的输送车100的行进辊3A1、3A2和3A3(稍后描述)行进的轨道。着陆输送轨道6A具有在Y轴方向上朝输送路径壳体9的内部打开的凹形形状，并且具有输送车100的行进辊3A1、3A2和3A3着陆于其上的下表面和从上侧面对下表面的上表面。输送车100的行进辊3A1、3A2和3A3通过重力着陆于着陆输送轨道6A的下表面上。行进辊3A1、3A2和3A3通过作用在轨道1和线圈阵列2之间的磁力着陆于着陆输送轨道6A的上表面。着陆输送轨道6B是被构造成使处于着陆状态(非磁浮状态)的输送车100的行进辊3B1、3B2和3B3(后面描述)行进的轨道。着陆输送轨道6B具有在Y轴方向上朝输送路径壳体9的内部打开的凹形形状，并且具有输送车100的行进辊3B1、3B2和3B3着陆于其上的下表面和从上侧面对下表面的上表面。输送车100的行进辊3B1、3B2和3B3通过重力着陆于着陆输送轨道6B的下表面上。行进辊3B1、3B2和3B3通过作用在轨道1和线圈阵列2之间的磁力着陆于着陆输送轨道6B的上表面。
作为动子的输送车100包括线圈阵列2A1、2B1、2A2和2B2，行进辊3A1、3B1、3A2、3B2、3A3和3B3，次级导体板8，输送卡盘5A和5B、以及控制装置12。输送车100被构造成在磁浮状态下在输送路径壳体9的内部空间中沿X轴方向行进。
线圈阵列2A1、2B1、2A2和2B2被安装设置在输送车100的上表面上。线圈阵列2A1和2A2以能够在Z轴方向上面对位于输送车100上方的轨道1A的方式沿X轴方向布置。线圈阵列2B1和2B2以能够在Z轴方向上面对位于输送车100上方的轨道1B的方式沿X轴方向布置。每个线圈阵列2A1、2B1、2A2和2B2包括例如布置成沿Y轴方向对齐的两个线圈。包括在每个线圈阵列2A1、2B1、2A2和2B2中的线圈的数量不限于两个，而是可以适当地改变。
线圈阵列2A1、2B1、2A2和2B2由控制装置12以分别控制流经各线圈的电流的方式驱动。当电流流经线圈阵列2A1、2B1、2A2和2B2并产生磁场时，每个线圈阵列2A1、2B1、2A2和2B2通过电磁力而对线圈阵列2A1、2B1、2A2和2B2所面对的轨道1A和1B具有吸引力。安装有待输送物体4的输送车100的磁浮状态是通过线圈阵列2A1、2B1、2A2和2B2对轨道1A和1B的吸引力实现的，输送车100借助该吸引力升高。以这种方式，线圈阵列2用作其中磁力作用于轨道1和线圈阵列2之间的磁力单元。
次级导体板8安装设置在输送车100的上表面上，以便被定位在线圈阵列2A1和2A2的行与线圈阵列2B1和2B2的行之间。次级导体板8被设置成能够面对位于输送车100上方的定子7。输送车100在悬浮时通过由在次级导体板8和定子7之间产生的电磁力所产生的推力而沿X轴方向行进。
行进辊3A1、3A2和3A3以在X轴方向上对齐的方式安装在输送车100的位于着陆输送轨道6A侧的侧表面上，并且被设置成能够着陆于着陆输送轨道6A的下表面上。行进辊3A1、3A2和3A3被构造成在输送车已经着陆于着陆输送轨道6A的下表面上的着陆状态下根据输送车100的行进而沿输送车100的行进方向旋转。行进辊3B1、3B2和3B3以在X轴方向上对齐的方式安装在输送车100的位于着陆输送轨道6B侧的侧表面上，并且被设置成能够着陆于着陆输送轨道6B的下表面上。行进辊3B1、3B2和3B3被构造成在输送车100已经着陆于着陆输送轨道6B的下表面上的着陆状态下根据输送车的行进而沿输送车100的行进方向旋转。注意，行进辊3的数量不限于输送车100的每一侧为三个，而是可以根据输送车100的尺寸、输送车100所需的稳定性等适当地改变。
在输送车100着陆(其中输送车100不处于磁浮状态)时，行进辊3与着陆输送轨道6A和6B的下表面接触。行进辊3还起到了减少相对于输送车100在X轴方向上的摩擦力的作用。因此，输送车100即使在着陆时也能通过作用于定子7与次级导体板8之间的推力而在X轴方向上行进。
输送卡盘5A和5B被安装设置在输送车100的下表面上。输送卡盘5A和5B被构造成保持待输送的物体4。待输送的物体4没有特别限制，而是例如可为要在包括输送系统110的加工系统中加工的工件(例如，基板)。
在输送系统110中，通过流向线圈阵列2A1、2B1、2A2和2B2的电流产生磁场，由此线圈阵列2A1、2B1、2A2和2B2分别对它们各自所面对的轨道1A和1B具有电磁吸引力。输送车100可以通过线圈阵列2A1、2B1、2A2和2B2对轨道1A和1B的吸引力而被悬浮起来。一般来说，由于磁通密度随着磁体和磁性体两点之间的距离增大而减少，因此线圈阵列2A1、2B1、2A2和2B2的吸引力随着与轨道1A和1B的距离增大而减少。
在图1B中，示出了悬浮基准表面21和悬浮输送路径22。悬浮基准表面21表示与线圈阵列2A1、2B1、2A2和2B2的上表面重合的表面，用作悬浮位置的基准。悬浮输送路径22是Z轴方向上的区域，其下限位置位于输送车100的重力与当能够在线圈阵列2A1、2B1、2A2和2B2中流动的最大电流流动时线圈阵列2A1、2B1、2A2和2B2的吸引力平衡的位置。悬浮输送路径22的上限位置是与轨道1A和1B在输送车100侧的表面相重合的表面的位置。图1B示出了在磁浮状态下悬浮输送路径22与输送车100的悬浮基准表面21之间的位置关系。悬浮输送路径22是在悬浮基准表面21被看作是基准时输送车100可以在其中悬浮起来的区域。即，悬浮输送路径22是位于输送车100可以通过作用在轨道1与线圈阵列2之间的磁力悬浮起来的位置处的区域。
如图1B所示，在输送车100处于磁浮状态的情况下，悬浮基准表面21被定位成进入悬浮输送路径22的下限位置的上方。即，如果悬浮基准表面21没有定位在悬浮输送路径22的下限位置或没有高于下限位置，则输送系统110会由于其不能对输送车100产生足够的吸引力而不能使输送车100悬浮起来。因此，为了使输送车100处于磁浮状态，输送车100可以被布置成使得悬浮基准表面21被定位在悬浮输送路径22的下限位置或高于下限位置。
控制装置12控制在线圈阵列2A1、2B1、2A2和2B2中流动的电流。因此，控制装置12在控制关于输送车100在Z轴方向上的浮力的同时控制输送车100在Z轴方向上的悬浮。附接至输送车100的磁性检测头(未示出)与控制装置12相连。磁性检测头读取设置在输送通道外壳9中的磁性标尺(未示出)的值，并将输送车100在Z轴方向上的位置传送给控制装置12。控制装置12根据从磁性检测头传送的输送车100在Z轴方向上的位置而控制在线圈阵列2A1、2B1、2A2和2B2中流动的电流。
另一方面，控制装置14控制流经定子7的线圈的电流。因此，控制装置14在控制关于输送车100在X轴方向上的推力的同时控制输送车100在X轴方向的行进。控制装置14与在输送路径装置102中沿X轴方向成行地布置的多个线性编码器(未示出)相连。每个线性编码器读取输送车100的线性标尺(未示出)，并将输送车100关于每个编码器的相对位置输出至控制装置14。控制装置14具有显示每个线性编码器的X坐标的坐标表。控制装置14根据线性编码器的输出和线性编码器的X坐标来计算输送车100在X轴方向上的位置，并根据该位置控制流向定子7的线圈的电流。注意，可以单独设置能够控制该控制装置12和控制装置14这两者的控制装置。
这样，输送系统110通过控制装置12控制流经线圈阵列2A1、2B1、2A2和2B2的电流，并通过控制装置14控制流经定子7的线圈的电流，由此在使输送车100在Z轴方向上悬浮起来的同时使输送车100沿X轴方向行进并输送该输送车。
例如，在自动化工厂中，磁浮输送系统已被用于快速且安静地输送物体。在磁浮输送系统中，使用磁力作为用于使保持待输送物体的输送车悬浮起来的悬浮力。
在磁浮输送系统中，一般来说，当在输送车的行进过程中按下紧急停止按钮或发生严重故障时，驱动电源被磁浮输送系统的安全装置停止。于是，线圈的用于提升输送车的吸引力消失，输送车沿重力方向着陆于输送路径的下表面上，或者输送车借助输送车的永磁体的吸引力而着陆于输送路径的上表面。为了通过从输送车的着陆状态使输送车再次离陆来执行悬浮控制，从输送车所着陆的下表面手动地向上推起输送车，以及从输送车所着陆的上表面剥离输送车。此外，在输送车被送入磁浮输送系统的输送路径或从磁浮输送系统的输送路径排出时，也会发生与上述相同的操作。
作为用于使输送车返回至磁浮状态的技术，日本专利申请特开No.H10-95533公开了其中被吸引至导轨的输送车被移动到其中吸引力被外力(例如，手柄、齿轮机构或电磁体)减少的位置处的结构。然而，在日本专利申请特开No.H10-95533的结构中，如上所述很难使输送车从输送车所着陆的下表面离陆，同时有由于用于从输送车所着陆的上表面剥离输送车的机构而增大装置成本的可能性。
相比之下，根据本实施例的输送系统110还包括作为用于使输送车100离陆的移动器件的上下机构30。在本实施例中，上下机构30便于要悬浮的输送车100的离陆，同时保持装置的成本较低。
下面，将参照图2A至图2D描述根据本实施例的输送系统110中作为用于使输送车100离陆的移动器件的上下机构30的具体结构和离陆操作。图2A至图2D是分别示出了上下机构30的具体结构和离陆操作的图。图2A至图2D分别是包括上下机构30的输送系统110在沿Y轴方向观察时的侧视图。在图2A至图2D中，为便于理解，省略了着陆输送轨道6。类似地，在图3A和后续附图中也省略了着陆输送轨道6。
如图2A至图2D中所示，输送系统110包括上下机构30。在输送路径装置102的输送路径壳体9中，可以在一个特定的位置处设置一个上下机构30，或者可以在X轴方向上的多个不同位置处设置多个上下机构30。
上下机构30被构造成能够从下方支撑输送车100。上下机构30具有能够支撑输送车100的形状，而不接触设置在输送车100的下表面上的输送卡盘5A和5B以及由输送卡盘5A和5B保持的待输送物体4。
上下机构30包括在Z轴方向上驱动的驱动单元31。驱动单元31设置在输送路径壳体9的底板上，并且具有能够沿Z轴方向提升处于着陆状态的输送车100的扭矩。通过驱动单元31，上下机构30可以在支撑输送车100的同时沿Z轴方向移动输送车100，以提升输送车100。在上下机构30中，驱动单元31在Z轴方向上的驱动范围、Z轴方向上的高度等被调整，以便在提升输送车100时使悬浮基准表面21在Z轴方向上的位置移动到悬浮输送路径22的区域。
上下机构30与控制装置14连接。控制装置14通过驱动单元31控制上下机构30在Z轴方向上的驱动。上下机构30可以连接到独立于控制装置14的控制装置，并且上下机构30的驱动可以通过独立于控制装置14的控制装置来控制。
将参照图2A至图2D描述通过上下机构30使输送车100离陆的操作。用于执行图2A至图2D中所示的一系列操作的上下机构30的控制通过控制装置14执行，但是也可以替代地由单独且独立的控制装置执行。
首先，如图2A所示，处于其中输送车100已经着陆于着陆输送路径20上的着陆状态下的输送车100被放置在处于向上移动之前的状态下的上下机构30上方的位置处。着陆输送路径20是行进辊3的下部地表面的轨道，其由着陆输送轨道6的下表面形成。作为将输送车100放置在上下机构30上方的位置处的方法，例如可以使用通过包括在输送系统110中的控制装置14或其他控制装置的程序来自动行进并放置处于着陆状态的输送车100的方法。类似地，作为放置方法，例如可以使用手动输送和放置输送车100的方法。
接下来，如图2B所示，上下机构30通过驱动单元31在Z轴方向上向上移动，以从下方提升输送车100。因此，输送车100在Z轴方向上向上移动。当输送车100向上移动时，行进辊3与着陆输送路径20分离。
当输送车100通过上下机构30向上移动时，如图2C所示，输送车100的悬浮基准表面21进入悬浮输送路径22。因此，上下机构30将输送车100移动到其中输送车可以借助作用在轨道1和线圈阵列2之间的磁力而悬浮起来的位置。控制装置12使电流流向线圈阵列2以控制作用在输送车100上的悬浮力，从而使悬浮基准表面21已进入悬浮输送路径22的输送车100被置于磁浮状态。控制装置12可以在悬浮基准表面21进入悬浮输送路径22的时间点之后的预定时间点使电流流向线圈阵列2，也可以在悬浮基准表面21进入悬浮输送路径22之前提前使电流流向线圈阵列2。因此，在悬浮基准表面21进入悬浮输送路径22的状态下，输送车100通过接收悬浮力而离陆，并变为磁浮状态。
接下来，如图2D所示，在输送车100离陆后，上下机构30通过驱动单元31沿Z轴方向向下移动，并与输送车100分离。上下机构30向下移动到其中上下机构30不与处于磁浮状态下的包括输送卡盘5和待输送物体4的输送车100接触的位置。因此，上下机构30向下移动，由此输送车100可以在悬浮输送路径22上行进而不接触上下机构30。控制装置14通过向定子7的线圈流入电流来控制作用在输送车100上的推力，从而使处于磁浮状态的输送车100沿着悬浮输送路径22在X轴方向上行进，以输送输送车100。
通过上述操作，输送车100从着陆输送路径20移动到悬浮输送路径22，从而可以实现输送车100的离陆。
如上所述，根据本实施例，输送车100通过设置在输送路径装置102中的具有简单结构的上下机构30离陆。因此，根据本实施例，可以实现要悬浮的输送车100的离陆，同时保持装置的成本较低。
[第二实施例]
将参照图3A至图3H描述根据第二实施例的输送系统110。注意，与上述第一实施例中的部件相同的部件用相同的参考数字标记，并且将省略或简化其描述。
根据本实施例的输送系统110的基本构造与根据第一实施例的基本相同。代替上下机构30的是，根据本实施例的输送系统110包括接收机构51、上升机构52和滑动机构55，作为用于使输送车100离陆的移动器件。输送系统110除了第一实施例的构造外还可以包括接收机构51、上升机构52和滑动机构55。
下面，将参照图3A至图3H描述接收机构51、上升机构52和滑动机构55(它们是根据本实施例的输送系统110中用于使输送车100离陆的移动器件)的具体结构和离陆操作。图3A至图3H分别示出了接收机构51、上升机构52和滑动机构55的具体结构和离陆操作。图3A至图3H分别是包括接收机构51、上升机构52和滑动机构55的输送系统110在沿Y轴方向观察时的侧视图。
如图3A至图3H所示，根据本实施例的输送系统110包括滑动机构55。根据本实施例的输送系统110还包括接收机构51和上升机构52，以便即使在着陆输送路径20和悬浮输送路径22在X轴方向或Z轴方向上分开时也能实现输送车100的离陆。在输送路径装置102中，可以在一个特定位置处设置一组接收机构51、上升机构和滑动机构，也可以在X轴方向上的多个不同位置处设置多组接收机构51、上升机构52和滑动机构55。
接收机构51和滑动机构55设置成在输送路径装置102中沿X轴方向对齐。滑动机构55在Z轴方向上设置在比接收机构51高的位置处。滑动机构55在接收机构51侧的端部与接收机构51在滑动机构55侧的端部重合。上升机构52在输送路径装置102中设置在滑动机构55的端部与接收机构51的端部重合的位置处。在输送路径装置102中，在设置接收机构51、上升机构52和滑动机构55的位置处不设置着陆输送导轨6A和6B。此外，在输送路径装置102中，在设置升降机构52的位置处不设置轨道1A和1B。
接收机构51包括在X轴方向上驱动的驱动单元50。驱动单元50在Z轴方向上的高度被调整以沿着着陆输送路径20驱动。接收机构51被构造成能够在接收位置处接收以着陆状态安装于驱动单元50的上表面上的输送车100。驱动单元50能够在处于着陆状态的输送车100安装于其上表面上的状态下驱动，并且具有能够在X轴方向上移动输送车100的扭矩。驱动单元50允许接收机构51将在接收位置处接收的输送车100沿X轴方向移动到其中输送车100被转移到上升机构52的转移位置。接收机构51包括用于指定和获取驱动单元50在X轴方向上的当前位置的编码器(未示出)。
上升机构52被构造成能够从下方支撑从接收机构51转移的输送车100。上升机构52具有能够在不接触设置在输送车100的下表面上的输送卡盘5A和5B以及由输送卡盘5A和5B保持的待输送物体4的情况下支撑输送车100的形状。
上升机构52包括在Z轴方向上驱动的驱动单元53。驱动单元53设置在输送路径壳体9的底板上，并且具有能够在Z轴方向上提升处于着陆状态的输送车100的扭矩。通过驱动单元53，上升机构52能够在支撑输送车100的同时在Z轴方向上移动，以提升输送车100。
进一步地，在上升机构52中，驱动单元53在Z轴方向上的驱动范围、Z轴方向上的高度等被调整，以便在提升输送车100时使悬浮基准表面21在Z轴方向上的位置移动到与悬浮输送路径22相对应的区域。上升机构52包括用于指定和获取驱动单元53在Z轴方向上的当前位置的编码器(未示出)。
接收机构51以不干扰上升机构52的操作的方式配置有与驱动单元50和滑动机构55重叠的端部部分、和其他部分。滑动机构55也以不干扰上升机构52的操作的方式配置有驱动单元54(稍后描述)、与接收机构51重叠的端部部分、和其他部分。
滑动机构55包括在X轴方向上驱动的驱动单元54。滑动机构55被构造成能够接收处于着陆状态的输送车100，该输送车100被安装在驱动单元54的上表面上的上升机构52提升。滑动机构55可以在保持输送车100在Z轴方向上的位置的同时接收安装在驱动单元54的上表面上的输送车100。驱动单元54可以在处于着陆状态的输送车100安装在其上表面上的状态下驱动，并且具有能够在X轴方向上移动处于着陆状态的输送车100的扭矩。进一步地，在驱动单元54中，调整Z轴方向上的高度、X轴方向上的驱动范围等，以便在输送车100被移动时使悬浮基准表面21在X轴方向上的位置被移动到悬浮输送路径22的区域。滑动机构55包括用于指定和获取驱动单元54在X轴方向上的当前位置的编码器(未示出)。
接收机构51与控制装置14连接。控制装置14控制驱动单元50在X轴方向上的驱动。控制装置14可以获取驱动单元50在X轴方向上的当前位置，并使驱动单元50移动到X轴方向上的预定位置。接收机构51可以连接到独立于该控制装置的控制装置，并且接收机构51的驱动可以通过独立于控制装置14的控制装置来控制。
上升机构52与控制装置14连接。控制装置14通过驱动单元53控制上升机构52在Z轴方向上的驱动。控制装置14可以从上升机构52获取驱动单元53的当前位置，并使驱动单元53移动到Z轴方向上的预定位置。上升机构52可以连接到独立于控制装置14的控制装置，并且上升机构52的驱动可以通过独立于控制装置14的控制装置来控制。
滑动机构55连接到控制装置14。控制装置14控制驱动单元54在X轴方向上的驱动。控制装置14可以从滑动机构55获取驱动单元54的当前位置，并使驱动单元54移动到X轴方向上的预定位置。滑动机构55可以连接到独立于控制装置14的控制装置，并且滑动机构55的驱动可以通过独立于控制装置14的控制装置来控制。
将参照图3A至图3F描述由接收机构51、上升机构52和滑动机构55使输送车100离陆的操作。用于执行图3A至图3F中所示的一系列操作的接收机构51、上升机构52和滑动机构55的控制由控制装置14执行，但是也可以替代地由单独且独立的控制装置执行。
首先，如图3A所示，处于输送车100已经着陆在着陆输送路径20上的着陆状态下的输送车100被放置在接收机构51的接收位置处，以被安装至驱动单元50的上表面上。作为将输送车100放置在接收机构51的接收位置处的方法，例如可以使用通过包括在输送系统110中的控制装置14或其他控制装置的程序使输送车100自动行进并放置处于着陆状态的输送车的方法。类似地，作为放置方法，例如可以使用手动输送和放置输送车100的方法。
当接收机构51在接收位置处接收安装于驱动单元50的上表面上的处于着陆状态的输送车100时，如图3B所示，接收机构51使安装有处于着陆状态的输送车100的驱动单元50在X轴方向上驱动。结果，接收机构51使安装有输送车100的驱动单元50移动到其中输送车100被转移至上升机构52的转移位置。接收机构51在转移位置处使输送车100转移至上升机构52。
接下来，如图3C所示，上升机构52从接收机构51接收输送车100，并且在从下方支撑输送车100的同时在Z轴方向上向上移动。因此，上升机构52从下方提升输送车100并在Z轴方向上移动输送车100，直到悬浮基准表面21在Z轴方向上的位置移动到对应于悬浮输送路径22的区域。
接下来，如图3D所示，滑动机构55将已经由上升机构52沿Z轴方向向上移动的输送车100安装并接收在驱动单元54的上表面上，同时保持输送车100在Z轴方向上的位置。
接下来，如图3E所示，滑动机构55在X轴方向上驱动安装有输送车100的驱动单元54。因此，滑动机构55将从上升机构52接收的输送车100送至悬浮输送路径22。然后，输送车100的悬浮基准表面21进入悬浮输送路径22。当悬浮基准表面21已经进入悬浮输送路径22时，输送车100变为能够通过悬浮力离陆的状态。因此，滑动机构55使输送车100移动到输送车可以被作用在轨道1与线圈阵列2之间的磁力悬浮起来的位置。
接下来，控制装置12使电流流向线圈阵列2以控制作用在输送车100上的悬浮力，从而使悬浮基准表面21已进入悬浮输送路径22的输送车100进入磁浮状态。然后，如图3F所示，输送车100通过接收悬浮力而离陆，并进入磁浮状态。此后，控制装置14通过向定子7的线圈流入电流来控制作用于输送车100上的推力，从而使处于磁浮状态的输送车100在X轴方向上沿着悬浮输送路径22行进，以输送输送车100。
通过上述操作，输送车100从着陆输送路径20移动到悬浮输送路径22，从而能够实现输送车100的离陆。
如上所述，根据本实施例，输送车100通过设置在输送路径装置102中的各自具有简单结构的接收机构51、上升机构52和滑动机构55而离陆。因此，根据本实施例，可以实现待被悬浮的输送车100的离陆，同时保持装置的成本较低。
如图3G所示，滑动机构55可以安装在输送路径壳体9的顶板的内表面上，轨道1可以安装在驱动单元54上。在这种情况下，当驱动单元54在X轴方向上移动时，轨道1和相关的悬浮输送路径22在X轴方向上移动。驱动单元54可以沿X轴方向朝上升机构52侧移动，以将轨道1和相关的悬浮输送路径22定位在上升机构52的上方。进一步地，驱动单元54可以沿X轴方向朝上升机构52的相反侧移动，并且可以将设置在驱动单元54中的轨道1连接到位于上升机构52的相反侧的其他轨道1上。
当上升机构52在悬浮输送路径22位于上升机构52上方的状态下从下方提升输送车100并在Z轴方向上移动输送车100时，输送车100的悬浮基准表面21进入悬浮输送路径22。当悬浮基准表面21已经进入悬浮输送路径22时，输送车100变为能够通过悬浮力离陆的状态。控制装置12以与上述相同的方式控制作用于输送车100的悬浮力，以使输送车100离陆并使其进入磁浮状态。
当输送车100已经处于磁浮状态时，如图3H所示，滑动机构55使驱动单元54沿X轴方向朝上升机构52的相反侧移动，以将驱动单元54的轨道1连接到其他轨道1。处于磁浮状态的输送车100通过线圈阵列2与驱动单元54的轨道1之间的吸引力而与驱动单元54一起在X轴方向上移动。此后，控制装置14以与上述相同的方式控制作用在输送车100上的推力，使得控制装置14可以使处于磁浮状态的输送车100在X轴方向上沿着悬浮输送路径22行进并转移输送车100。
[第三实施例]
将参照图4A至图4D描述根据第三实施例的输送系统110。注意，与上述第一和第二实施例中的部件相同的部件用相同的参考数字标记并且将省略或简化其描述。
根据本实施例的输送系统110的基本构造与根据第一实施例的基本相同。代替上下机构30的是，根据本实施例的输送系统110包括斜坡60A和60B，作为用于使输送车100离陆的移动器件。输送系统110除了第一实施例的构造或第二实施例的构造外还可以包括斜坡60A和60B。输送系统110除了第一实施例和第二实施例的构造的组合外还可以包括斜坡60A和60B。
下面，将参照图4A至图4D描述斜坡60A和60B的具体结构和离陆操作，这些斜坡是根据本实施例的输送系统110中用于使输送车100离陆的移动器件。图4A至图4D是分别示出了斜坡60A和60B的具体结构和离陆操作的图。图4A至图4D是包括斜坡60A和60B的输送系统110在沿Y轴方向观察时的侧视图。
如图4A至图4D所示，根据本实施例的输送系统110包括设置在输送路径壳体9的侧板的内表面上的着陆输送轨道6的下表面中所设置的斜坡60A和60B。斜坡60A和60B分别类似地设置在着陆输送轨道6A和6B中。相对于在着陆输送轨道6的下表面上朝X轴方向的一侧行进的输送车100，斜坡60A是倾斜以逐渐接近轨道1的斜坡，而斜坡60B是倾斜以逐渐离开轨道1的斜坡。
着陆输送轨道6在斜坡60A与斜坡60B之间的下表面是平行于X轴方向的平坦表面62。平坦表面62在Z轴方向上比着陆输送轨道6在斜坡60A和60B之外的下表面高。平坦表面62在Z轴方向上的高度是着陆在平坦表面62上的输送车100的悬浮基准表面21进入悬浮输送路径22的高度。即，平坦表面62位于输送车100可以通过作用在轨道1和线圈阵列2之间的磁力悬浮起来的位置处。斜坡60A和60B被设置成朝平坦表面62侧倾斜，即朝输送车100可以被悬浮起来的位置的那侧倾斜。
作为相对于X轴方向的倾斜角，斜坡60A和60B分别具有这样的角度，在该角度下，在输送车100已经着陆在着陆输送轨道6的下表面上的着陆状态下沿X轴方向行进的输送车100可以上下爬行。斜坡60A和60B的倾斜角可以彼此相同或不同。
着陆输送轨道6的上表面被布置于在Z轴方向上高于平坦表面62的位置处，以面对着陆输送轨道6的包括斜坡60A和60B以及平坦表面62的下表面。由于着陆输送轨道6的上表面被布置于在Z轴方向上高于平坦表面62的位置处，因此不会阻止输送车100的离陆。
在根据本实施例的输送系统110中，输送车100在着陆状态下在着陆输送轨道6的各个均包括斜坡60A和60B的下表面上行进，由此改变悬浮基准表面21的高度以使输送车100离陆。将参照图4A至图4D描述通过斜坡60使输送车100离陆的操作。
首先，如图4A所示，在输送车100已经着陆在着陆输送路径20上的着陆状态下输送车100被放置在紧靠斜坡60A前方的位置处。作为将输送车100放置在紧靠斜坡60A前方的位置处的方法，例如可以使用通过包括在输送系统110中的控制装置14或其他控制装置的程序自动行进并放置处于着陆状态的输送车100的方法。类似地，作为放置方法，例如可以使用手动输送和放置输送车100的方法。
接下来，如图4B所示，控制装置14使电流流向定子7的线圈以控制作用在输送车100上的推力，由此使处于着陆状态的输送车100在X轴方向上朝斜坡60A行进。结果，输送车100沿着斜坡60A行进并逐渐接近轨道1，并且在离开着陆输送路径20的同时向上移动悬浮基准表面21。
接下来，如图4C所示，输送车100在斜坡60A上行进以到达平坦表面62并被引导至升高的位置。当输送车100被引导到升高的位置时，输送车100的悬浮基准表面21进入悬浮输送路径22。当悬浮基准表面21已经进入悬浮输送路径22时，输送车100变为能够通过悬浮力离陆的状态。因此，输送车100在斜坡60A上行进并移动到输送车100可以通过作用在轨道1与线圈阵列2之间的磁力悬浮起来的位置。当输送车100准备离陆时，控制装置12使电流流向线圈阵列2以控制作用在输送车100上的悬浮力，从而使输送车100处于磁浮状态。然后，输送车100接收悬浮力而离陆，并且进入磁浮状态。
接下来，如图4D所示，控制装置14使电流流向定子7的线圈以控制作用在输送车100上的推力，由此使处于磁浮状态的输送车100沿着悬浮输送路径22行进以输送输送车100。尽管斜坡60B朝着陆输送路径20布置，但由于输送车100以磁浮状态离陆，所以输送车100不在斜坡60B上行进，也不移动至着陆输送路径20。
注意，只要求斜坡60布置成使得处于着陆状态的输送车100能够行进并且悬浮基准表面21能够进入悬浮输送路径22，并且斜坡60不限于如上所述地布置的斜坡。例如，当输送车100如上所述在一个方向上行进时，只要设置斜坡60A就足够，而不一定要设置斜坡60B。当输送车100沿与上述相反的方向行进时，斜坡60B可以按与斜坡60A相同的方式用作用于使输送车100离陆的斜坡。此外，例如，斜坡60可以具有其中组合有倾斜表面和平坦表面的阶梯形状。
通过上述操作，输送车100从着陆输送路径20移动到悬浮输送路径22，并且可以实现输送车100的离陆。
如上所述，根据本实施例，输送车100通过设置在输送路径装置102的着陆输送轨道6上的具有简单结构的斜坡60离陆。因此，根据本实施例，可以实现待被悬浮的输送车100的离陆，同时保持装置的成本较低。
[第四实施例]
将参照图5A至图5D描述根据第四实施例的输送系统110。注意，与上述第一至第三实施例中的部件相同的部件用相同的参考数字标记并且将省略或简化其描述。
根据本实施例的输送系统110的基本构造与根据第一实施例的基本相同。代替上下机构30的是，根据本实施例的输送系统110包括升降机构70，作为用于使输送车100离陆的移动器件。输送系统110除了第一至第三实施例的构造中的任一种外可以包括升降机构70。输送系统110除了第一至第三实施例的构造中的至少两种的任意组合外还可以包括升降机构70。
下面，将参照图5A至图5D描述升降机构70的具体结构和离陆操作，该升降机构70是根据本实施例的输送系统110中用于使输送车100离陆的移动器件。图5A至图5D是分别示出了升降机构70的具体结构和离陆操作的图。图5A至图5D分别是包括升降机构70的输送系统110在沿在Y轴方向观察时的侧视图。
如图5A至图5D所示，根据本实施例的输送系统110包括升降机构70。在输送路径装置102中，升降机构70可以设置在一个特定的位置处，或者多个升降机构70可以设置在X轴方向上的多个不同的位置处。
升降机构70在X轴方向上的预定区段中设置在输送路径壳体9的顶板的一部分上、并设置在布置于顶板上的轨道1的部分上。输送路径壳体9的顶板的所述部分和轨道1的所述部分被构造成可分别与顶板的其他部分和轨道1的其他部分分离。
升降机构70具有用于通过在Z轴方向上驱动而使输送路径壳体9的顶板的所述部分和轨道1的所述部分在Z轴方向上移动的扭矩。当升降机构70在Z轴方向下降时，轨道1的该部分也在Z轴方向上下降，从而使悬浮输送路径22也在Z轴方向上下降。
在升降机构70中，升降范围被调整，以使得在处于着陆状态的输送车100被放置在升降机构70的升降位置处时，升降机构70可以下降到悬浮基准表面21进入悬浮输送路径22的位置。
升降机构70与控制装置14连接。控制装置14控制升降机构70在Z轴方向的驱动。控制装置14可以从升降机构70获取升降机构70的当前位置，并使升降机构70移动到Z轴方向上的预定位置。升降机构70可以连接到独立于控制装置14的控制装置，并且升降机构70的驱动可以通过独立于控制装置14的控制装置来控制。
将参照图5A至图5D描述通过升降机构70使输送车100离陆的操作。用于执行图5A至图5D中所示的一系列操作的升降机构70的控制由控制装置14执行，但是可以替代地由单独且独立的控制装置执行。
首先，如图5A所示，在输送车100已经着陆在着陆输送路径20上的着陆状态下输送车100被放置在升降机构70的升降位置处。此时，升降机构70处于下降前的初始状态。作为将输送车100放置在升降机构70的升降位置处的方法，例如可以使用通过包括在输送系统110中的控制装置14或其他控制装置的程序自动行进并放置处于着陆状态的输送车100的方法。类似地，作为放置方法，例如可以使用手动输送和放置输送车100的方法。
接下来，如图5B所示，升降机构70在Z轴方向上下降到预定的下降位置。因此，悬浮输送路径22在Z轴方向上移动，并与轨道1上的设置有升降机构70的部分一起下降。当悬浮输送路径22下降到预定位置时，输送车100的悬浮基准表面21进入悬浮输送路径22。当悬浮基准表面21已经进入悬浮输送路径22时，输送车100变为能够通过悬浮力离陆的状态。因此，升降机构70使输送车100相对地移动到输送车100可以通过作用在轨道1和线圈阵列2之间的磁力悬浮起来的位置。
接下来，控制装置12使电流流向线圈阵列2以控制作用在输送车100上的悬浮力，从而使悬浮基准表面21已经进入悬浮输送路径22的输送车100进入磁浮状态。然后，如图5C所示，输送车100通过接收悬浮力而离陆，并且进入磁浮状态。
接下来，如图5D所示，在输送车100离陆后，升降机构70在Z轴方向上上升到图5A所示的初始位置。当升降机构70上升时，悬浮输送路径22上升，输送车100也跟随上升的悬浮输送路径22而上升并与着陆输送路径20分离。这样，升降机构70返回至初始状态，使得输送车100可以从轨道1的一部分移动到其他部分并行进。此后，控制装置14开始向定子7的线圈流入电流以控制作用在输送车100上的推力，由此使处于磁浮状态的输送车100在X轴方向上沿着悬浮输送路径22行进以输送输送车100。
通过上述操作，输送车100从着陆输送路径20移动到悬浮输送路径22，从而可以实现输送车100的离陆。
如上所述，根据本实施例，输送车100通过设置在输送路径装置102中的具有简单结构的升降机构70来离陆。因此，根据本实施例，可以实现待被悬浮的输送车100的离陆，同时保持装置的成本较低。
[第五实施例]
将参照图6至图7F描述根据第五实施例的输送系统110。注意，与上述第一至第四实施例中的部件相同的部件用相同的参考数字标记并且将省略或简化其描述。
首先，将参照图6描述根据本实施例的输送系统110的示意性构造。图6是示出了根据本实施例的输送系统110的侧视图。图6是从X轴方向观察的输送系统110的侧视图。
根据本实施例的输送系统110的基本构造与根据第一实施例的基本相同。代替由软磁材料形成的轨道1A和1B的是，根据本实施例的输送系统110包括由硬磁材料(即，永磁体)形成的轨道1a和1b。注意，像本实施例那样，根据第一至第四实施例的输送系统110也可以具有轨道1a和1b来代替轨道1A和1B。
在根据本实施例的输送系统110中，如图6所示，由永磁体形成并在X轴方向上延伸的条形轨道1a和1b被附接至输送路径壳体9的顶板的内表面，以替代由软磁材料形成的轨道1A和1B。这对轨道1a和1b以预定的间隔相互平行地安装。轨道1a和1b包括在X轴方向上彼此成行地布置的永磁体。在每个轨道1a和1b中，多个永磁体被布置成使得具有不同极性的永磁体的磁极在Y轴方向上对齐，在X轴方向彼此相邻的永磁体的磁极彼此不同。因此，在本实施例中，轨道1a和1b是由永磁体(其为硬磁材料的磁性材料)形成的。
如上所述，根据本实施例的输送系统110具有移动线圈(MC)型构造，其中永磁体作为定子设置在轨道1上，而线圈阵列2作为动子设置在输送车100上。根据本实施例的输送系统110可以通过作用在由永磁体形成的轨道1a和1b与输送车100的线圈阵列2之间的力(作为悬浮力和推力)在沿Z轴方向将输送车100悬浮起来的同时使输送车100在X轴方向上行进，以输送该输送车100。控制装置12使电流流向线圈阵列2，以便能够控制作用于输送车100的悬浮力和推力。在本实施例中，与第一实施例一样，作用在定子7和次级导体板8之间的力也可以用作推力。注意，代替MC型结构的是，输送系统110可以采用其中线圈阵列2设置在定子上而永磁体设置在动子上的移动磁体(MM)型结构，在这种情况下也可以获得相同的效果。
在由永磁体形成的轨道1a和1b中，分别对线圈阵列2a和2b的铁芯产生吸引力。轨道1a和1b的吸引力随着到线圈阵列2A和2B的距离变小而变大。此外，控制装置12可以向线圈阵列2A和2B流入电流，以在线圈阵列2A和2B中产生在增加或减少由轨道1a和1b产生的磁场的方向上的磁场。即，控制装置12可以通过控制流经线圈阵列2A和2B的电流来增加或减少线圈阵列2A和2B与轨道1a和1b之间的吸引力。
悬浮输送路径22是在悬浮基准表面21被用作基准时输送车100可以被悬浮起来的区域。在本实施例中，悬浮输送路径22的下限位置是这样的位置，其中：输送车100的重力与在使能够流向线圈阵列2A和2B的最大电流流动以加强由轨道1a和1b产生的磁场时轨道1a和1b和线圈阵列2A和2B之间的吸引力平衡。悬浮输送路径22的上限位置是这样的位置，其中：输送车100的重力与在使能够流向线圈阵列2A和2B的最大电流流动以削弱由轨道1a和1b产生的磁场时轨道1a和1b和线圈阵列2A和2B之间的吸引力平衡。
如图6所示，在输送车100处于磁浮状态的情况下，悬浮基准表面21被定位成进入悬浮输送路径22的下限位置上方。即，如果悬浮基准表面21没有被定位在悬浮输送路径22的下限位置或没有高于下限位置，则由于输送系统110不能对输送车100产生足够的吸引力，因此输送系统110不能使输送车100悬浮起来。当悬浮基准表面21的位置超出悬浮输送路径22的上限位置时，由于轨道1a和1b与线圈阵列2A和2B之间的吸引力，输送车100的行进辊3着陆于着陆输送轨道6的上表面。着陆输送轨道6的上表面在Z轴方向上的位置可以被调整以使得在行进辊3着陆于着陆输送轨道6的上表面时线圈阵列2A和2B不接触轨道1a和1b，或者可以被调整以使得线圈阵列2A和2B接触轨道1a和1b。
对应于由永磁体形成的轨道1a和1b，根据本实施例的输送系统110还包括上下机构33，作为用于使输送车100离陆的移动器件。下面，将参照图7A至图7F描述上下机构33的具体结构和离陆操作，该上下机构是根据本实施例的输送系统110中用于移动输送车100的移动器件。图7A至图7F是分别示出了上下机构33的具体结构和离陆操作的图。图7A至图7F分别是包括上下机构33的输送系统110在沿Y轴方向观察时的侧视图。
如图7A至图7D中所示，输送系统110包括上下机构33。在输送路径装置102中，可以在特定的位置处设置一个上下机构，或者可以在X轴方向上的不同位置处设置多个上下机构33。
上下机构33包括设置在输送路径壳体9的底板上并在Z轴方向上驱动的驱动单元32、以及保持输送车100的保持部件34A和34B。上下机构33具有能够在通过保持部件34保持处于着陆于着陆输送轨道6的上表面上的着陆状态下的输送车100的同时在Z轴方向上沿负方向向下拉的扭矩。通过驱动单元32，上下机构33可以在Z轴方向上移动，并在通过保持部件34保持输送车100的同时向下拉输送车100。在上下机构33中，调整驱动单元32在Z轴方向上的驱动范围、Z轴方向上的高度等，以便在输送车100被向下拉时使悬浮基准表面21在Z轴方向上的位置移动到悬浮输送路径22的区域。
升降机构33与控制装置14连接。控制装置14通过驱动单元32控制上下机构33在Z轴方向上的驱动。控制装置14通过保持部件34控制输送车100的保持操作。上下机构可以连接到独立于该控制装置的控制装置，并且上下机构33的驱动可以通过独立于控制装置14的控制装置来控制。
将参照图7A至图7F描述通过上下机构33使输送车100离陆的操作。用于执行图7A至图7F中所示的一系列操作的上下机构33的控制通过控制装置14执行，但是也可以替代地由单独且独立的控制装置执行。
首先，如图7A所示，处于其中输送车100已经着陆在着陆输送路径20上的着陆状态下的输送车100被放置在处于向上移动之前的状态下的上下机构33上方的位置处。注意，与第一实施例不同，本实施例中的着陆输送路径20是行进辊3的上部地平面的轨道，其由着陆输送轨道6的上表面形成。输送车100通过作用在线圈阵列2A和2B与轨道1a和1b之间的吸引力着陆于着陆输送轨道6的上表面。控制装置12可以控制流向线圈阵列2A和2B的电流，以调整作用在线圈阵列2A和2B与轨道1a和1b之间的吸引力。作为将输送车100放置在上下机构33上方的位置处的方法，例如可以使用通过包括在输送系统110中的控制装置14或其他控制装置的程序自动行进并放置处于着陆状态的输送车100的方法。类似地，作为放置方法，例如可以使用手动输送和放置输送车100的方法。
接下来，如图7B所示，上下机构33通过驱动单元32在Z轴方向上向上移动，并移动到输送车100可以被保持部件34保持的位置。
接下来，如图7C所示，保持部件34保持输送车100。
接下来，如图7D所示，上下机构33通过驱动单元32沿Z轴方向向下移动。因此，由保持部件34保持的输送车100也向下移动。随着上下机构33以这种方式向下移动，输送车100的悬浮基准表面21进入悬浮输送路径22。当悬浮基准表面21已经进入悬浮输送路径22时，输送车100变为能够通过悬浮力离陆的状态。因此，上下机构33使输送车100相对地移动到输送车100能够通过作用在轨道1和线圈阵列2之间的磁力悬浮起来的位置。
接下来，如图7E所示，保持部件34释放悬浮基准表面21进入悬浮输送路径22的输送车100。
由于悬浮基准表面21已经进入悬浮输送路径22，因此输送车100通过接收悬浮力而离陆，并进入磁浮状态。控制装置12可以通过控制在线圈阵列2中流动的电流来控制悬浮力。
接下来，如图7F所示，上下机构33通过驱动单元32进一步向下移动。然后，输送车100可以在悬浮输送路径22上行进而不接触上下机构33。控制装置12使电流流向线圈阵列2以控制作用在输送车100上的悬浮力和推力，从而使处于磁浮状态的输送车100可以沿着悬浮输送路径22在X轴方向上行进并被转移。
通过上述操作，输送车100从着陆输送路径20移动到悬浮输送路径22，并且可以实现输送车100的离陆。
如上所述，根据本实施例，输送车100通过设置在输送路径装置102中的具有简单结构的上下行机构33离陆。因此，根据本实施例，可以实现待被悬浮的输送车100的离陆，同时保持装置的成本较低。
[第六实施例]
将参照图8A至图8D描述根据第六实施例的输送系统110。注意，与上述第一至第五实施例中的部件相同的部件用相同的参考数字标记并且将省略或简化其描述。
根据本实施例的输送系统110的基本构造与根据第一实施例的基本相同。根据本实施例的输送系统110包括代替上下机构30的斜坡61A和61B，作为用于使输送车100离陆的移动器件。输送系统110除了第一至第五实施例的构造中的任一种外还可以具有斜坡61A和61B。输送系统110除第一至第五实施例的构造中的至少两种的任意组合之外还可以包括斜坡61A和61B。
下面，将参照图8A至图8D描述斜坡61A和61B的具体结构和离陆操作，这些斜坡是根据本实施例的输送系统110中用于使输送车100离陆的移动器件。图8A至图8D是分别示出了斜坡61A和61B的具体结构和离陆操作的图。图8A至图8D是包括斜坡61A和61B的输送系统110在沿Y轴方向观察时的侧视图。
如图8A至图8D所示，根据本实施例的输送系统110包括设置在输送路径壳体9的侧板上的着陆输送导轨6的上表面中所设置的斜坡61A和61B。斜坡61A和61B分别类似地设置在着陆输送轨道6A和6B中。相对于沿X轴方向的一侧在着陆输送轨道6的上表面上行进的输送车100，斜坡60A倾斜以逐渐离开轨道1，斜坡60B倾斜以逐渐接近轨道1。
着陆输送轨道6在斜坡61A和斜坡61B之间的上表面是平行于X轴方向的平坦表面63。平坦表面63在Z轴方向上低于着陆输送轨道6在斜坡61A和61B之外的上表面。平坦表面63在Z轴方向上的高度是着陆在平坦表面63上的输送车100的悬浮基准表面21进入悬浮输送路径22的高度。即，平坦表面63位于输送车100可以通过作用在轨道1和线圈阵列2之间的磁力悬浮起来的位置处。斜坡61A和61B被设置成朝平坦表面63侧倾斜，即朝输送车100可以被悬浮起来的位置的那侧倾斜。
作为相对于X轴方向的倾斜角，斜坡61A和61B分别具有这样的角度，在该角度下，在输送车100已经着陆于着陆输送轨道6的上表面的着陆状态下沿X轴方向行进的输送车100可以上下爬行。斜坡61A和61B的倾斜角可以彼此相同或不同。
着陆输送轨道6的下表面布置于在Z轴方向上低于平坦表面63的位置处，以便面对着陆输送轨道6的包括斜坡61A和61B以及平坦表面63的上表面。由于着陆输送轨道6的下表面布置于在Z轴方向上比平坦表面63低的位置处，因此不会阻止输送车100的离陆。
在根据本实施例的输送系统110中，输送车100以着陆状态在着陆输送轨道6的各个均包括斜坡61A和61B的上表面上行进，由此改变悬浮基准表面21的高度以使输送车100离陆。将参照图8A至图8D描述通过斜坡61使输送车100离陆的操作。
首先，如图8A所示，在输送车100已经着陆于着陆输送路径20的着陆状态下输送车100被放置在紧靠斜坡61A前方的位置处。注意，与第一实施例不同，本实施例中的着陆输送路径20是行进辊3的上部地平面的轨道，其由着陆输送轨道6的上表面形成。输送车100通过作用在线圈阵列2A和2B与轨道1A和1B之间的吸引力着陆于着陆输送轨道6的上表面。控制装置12可以控制流向线圈阵列2a和2B的电流，以调整作用在线圈阵列2A和2B与轨道1A和1B之间的吸引力。作为将输送车100放置在紧靠斜坡61A前方的位置处的方法，例如可以使用通过包括在输送系统110中的控制装置14或其他控制装置的程序来自动行进并放置处于着陆状态的输送车100的方法。类似地，作为放置方法，例如可以使用手动输送和放置输送车100的方法。
接下来，如图8B所示，控制装置14使电流流向定子7的线圈以控制作用在输送车100上的推力，由此使处于着陆状态的输送车100沿X轴方向朝斜坡61A行进。结果，输送车100沿着斜坡61A行进并逐渐离开轨道1，从而使输送车100在离开着陆输送路径20的同时向下移动悬浮基准表面21。
接下来，如图8C所示，输送车100在斜坡61A上行进以到达平坦表面63并被引导到降低的位置。当输送车100被引导到降低的位置时，输送车100的悬浮基准表面21进入悬浮输送路径22。当悬浮基准表面21已经进入悬浮输送路径22时，输送车100变为能够通过悬浮力离陆的状态。因此，输送车100在斜坡61A上行进，并移动到其中输送车100可以通过作用在轨道1和线圈阵列2之间的磁力悬浮起来的位置。当输送车100准备离陆时，控制装置12使电流流向线圈阵列2以控制作用在输送车100上的悬浮力，从而使输送车100处于磁浮状态。然后，输送车100接收悬浮力以离陆，并进入磁浮状态。
接下来，如图8D所示，控制装置14使电流流向定子7的线圈以控制作用在输送车100上的推力，由此使处于磁浮状态的输送车100沿着悬浮输送路径22行进以输送输送车100。尽管斜坡61B朝着陆输送路径20布置，但由于输送车100在磁浮状态下离陆，因此输送车100不在斜坡61B上行进，也不移动到着陆输送路径20。
注意，只要求斜坡61布置成使得处于着陆状态的输送车100能够行进并且悬浮基准表面21能够进入悬浮输送路径22，并且斜坡61不限于如上所述地布置的斜坡。例如，当输送车100如上所述在一个方向上行进时，只要设置斜坡61A便足够，而不一定要设置斜坡61B。当输送车100沿与上述相反的方向行进时，斜坡61B可以按与斜坡61A相同的方式用作用于使输送车100离陆的斜坡。进一步地，例如斜坡61可以具有其中组合有倾斜表面和平坦表面的阶梯形状。
通过上述操作，输送车100从着陆输送路径20移动到悬浮输送路径22，并且可以实现输送车100的离陆。
如上所述，根据本实施例，输送车100通过设置在输送路径装置102的着陆输送轨道6上的具有简单结构的斜坡61来离陆。因此，根据本实施例，可以实现待被悬浮的输送车100的离陆，同时保持装置的成本较低。
[改型实施例]
一些实施例并不限于上述实施例，各种修改都是可能的。
例如，虽然在上述实施例中作用于线圈阵列2和轨道1之间的力被用作用于使输送车100悬浮的悬浮力，而作用于次级导体板8的力被用作用于使输送车100行进的推力，但输送系统不限于此。输送车100可以被构造成通过作用于作为轨道1设置在输送路径壳体9中的第一磁力单元与设置在输送车100中的第二磁力单元之间的磁力而在被悬浮起来的同时行进。
在这种情况下，线圈阵列可以用作第一磁力单元和第二磁力单元中的一者，并且软磁材料或硬磁材料可以用作第一磁力单元和第二磁力单元中的另一者。磁浮式输送系统110可以构造为MC型或MM型。
在上述实施例中，作为示例描述了设置两行轨道1的情况，但输送系统不限于此。可以设置一行轨道1或两行以上的多行轨道1，并且可以在输送车100中设置与轨道1的行数相对应的线圈阵列2。
根据一些实施例的输送系统可以用作将工件与动子一起输送到各个加工装置(例如，在制造物品(例如电子设备)的制造系统中对作为物品的工件执行各个操作处理的机床)的操作区的输送系统。执行操作处理的加工装置可以是任何装置，例如执行将部件组装至工件的装置、执行喷涂的装置或类似装置。此外，待制造的物品不限于特定物品，而是可以是任何部件。
这样，根据一些实施例的输送系统可以用于将工件输送到操作区、对输送到操作区的工件执行操作处理、并制造物品。
如上所述，根据一些实施例，可以在保持装置的成本较低的情况下实现待被悬浮的输送车的离陆。
[其他实施例]
一些实施例还可以通过系统或装置的计算机来实现，该计算机读取并执行记录在存储介质(该存储介质还可以被更完整地称为“非暂时性的计算机可读存储介质”)上的计算机可执行指令(例如，一个或多个程序)以执行一个或多个上述实施例的功能、和/或该计算机包括用于执行一个或多个上述实施例的功能的一个或多个电路(例如，专用集成电路(ASIC))，并且这些实施例还可以借助该系统或装置的计算机通过例如从存储介质读取并执行计算机可执行指令以执行一个或多个上述实施例的功能和/或通过控制所述一个或多个电路以执行一个或多个上述实施例的功能而执行的方法来实现。计算机可以包括一个或多个处理器(例如，中央处理单元(CPU)、微处理单元(MPU))并且可以包括独立计算机或独立处理器的网络，以读取并执行计算机可执行指令。计算机可执行指令可以例如从网络或存储介质提供至计算机。存储介质可以包括例如硬盘、随机存取存储器(RAM)、只读存储器(ROM)、分布式计算系统的存储器、光盘(例如光碟(CD)、数字化通用碟(DVD)、或蓝光光碟(BD)TM)、闪存装置、存储卡等中的一个或多个。
本发明的实施例还可以通过如下的方法来实现，即，通过网络或者各种存储介质将执行上述实施例的功能的软件(程序)提供给系统或装置，该系统或装置的计算机或是中央处理单元(CPU)、微处理单元(MPU)读出并执行程序的方法。
尽管已经参考示例性实施例描述了本公开，但是应当理解，一些实施例不限于所公开的示例性实施例。所附权利要求的范围应被赋予最宽泛的解释，以涵盖所有这样的修改以及等同的结构和功能。

Claims (12)

1.一种输送系统，包括：
输送路径壳体；
第一磁力单元，其设置在输送路径壳体内；
输送车，其包括被设置成能够面对第一磁力单元的第二磁力单元、并且能够通过作用于第一磁力单元和第二磁力单元之间的磁力在被悬浮的同时沿着输送路径壳体行进；
轨道，输送车着陆于所述轨道上以便能够行进，轨道设置在输送路径壳体内；和
至少一个移动器件，其用于使处于输送车着陆在轨道上的着陆状态下的输送车移动到输送车能够通过磁力悬浮起来的位置。
2.根据权利要求1所述的输送系统，
其中，移动器件包括沿着竖直方向移动输送车以将输送车移动到输送车能够被悬浮起来的位置的上下机构。
3.根据权利要求1或2所述的输送系统，
其中，移动器件包括沿着水平方向移动输送车以将输送车移动到输送车能够被悬浮起来的位置的滑动机构。
4.根据权利要求1或2所述的输送系统，
其中，移动器件包括斜坡，处于着陆状态的输送车在斜坡上行进以移动到输送车能够被悬浮起来的位置。
5.根据权利要求4所述的输送系统，
其中，轨道包括输送车能借助重力着陆于其上的下表面，并且
其中，所述斜坡以向输送车能够被悬浮起来的位置的那侧倾斜的方式设置在下表面中。
6.根据权利要求4所述的输送系统，
其中，轨道包括输送车能借助磁力着陆于其上的上表面，并且
其中，所述斜坡以向输送车能够被悬浮起来的位置的那侧倾斜的方式设置在上表面中。
7.根据权利要求1或2所述的输送系统，
其中，移动器件包括使第一磁力单元向下移动以使输送车相对地移动到输送车能够被悬浮起来的位置的升降机构。
8.根据权利要求1或2所述的输送系统，包括使处于着陆状态的输送车行进以将输送车移动到移动器件使输送车移动的位置的控制装置。
9.根据权利要求1或2所述的输送系统，
其中，移动器件设置在输送路径壳体内。
10.根据权利要求1或2所述的输送系统，
其中，第一磁力单元由软磁材料或硬磁材料的磁性材料形成，并且
其中，第二磁力单元由包括多个线圈的线圈阵列形成。
11.一种加工系统，包括：
根据权利要求1至10中任一项所述的输送系统；和
加工装置，其对由输送车输送的工件进行加工。
12.一种通过使用根据权利要求11所述的加工系统制造物品的方法，所述方法包括：
通过使用输送车输送工件；和
通过使用加工装置对由输送车输送的工件进行加工。
CN202111114118.3A 2020-09-25 2021-09-23 输送系统、加工系统和物品的制造方法 Pending CN114249129A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020161489A JP2022054343A (ja) 2020-09-25 2020-09-25 搬送システム
JP2020-161489 2020-09-25

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN114249129A true CN114249129A (zh) 2022-03-29

Family

ID=80792030

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202111114118.3A Pending CN114249129A (zh) 2020-09-25 2021-09-23 输送系统、加工系统和物品的制造方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US20220097984A1 (zh)
JP (1) JP2022054343A (zh)
CN (1) CN114249129A (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11945665B1 (en) * 2022-08-03 2024-04-02 Amazon Technologies, Inc. Automated lateral transfer and elevation of sortation shuttles

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS627305A (ja) * 1985-06-29 1987-01-14 Toshiba Corp 浮上式搬送装置
JPH038467A (ja) * 1989-06-05 1991-01-16 Hirose & Co Ltd 山留部品の連続再生装置
CA2065098A1 (en) * 1991-04-17 1992-10-18 Alfred Reimer Parking system
JPH0640542A (ja) * 1992-07-22 1994-02-15 Shintoshi Kaihatsu Kenkyu Jimusho:Kk 傾斜落下式搬送装置
JPH07177612A (ja) * 1993-12-22 1995-07-14 Tsudakoma Corp 給糸体搬送装置
JPH1095533A (ja) * 1996-09-25 1998-04-14 Toshiba Mechatronics Kk 磁気浮上式搬送装置
JPH10291625A (ja) * 1997-04-22 1998-11-04 Okamura Corp 吊り下げ搬送装置
KR20120128478A (ko) * 2011-05-17 2012-11-27 주식회사 에스에프에이 기판 이송장치
CN108946032A (zh) * 2017-05-17 2018-12-07 佳能株式会社 传输系统、加工系统、以及传输系统的控制方法
CN110466849A (zh) * 2018-05-11 2019-11-19 利乐拉瓦尔集团及财务有限公司 用于包装组件的出料设备和包括出料设备的包装组件
JP6617249B1 (ja) * 2019-03-19 2019-12-11 久米機電工業株式会社 搬送機

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS627305A (ja) * 1985-06-29 1987-01-14 Toshiba Corp 浮上式搬送装置
JPH038467A (ja) * 1989-06-05 1991-01-16 Hirose & Co Ltd 山留部品の連続再生装置
CA2065098A1 (en) * 1991-04-17 1992-10-18 Alfred Reimer Parking system
JPH0640542A (ja) * 1992-07-22 1994-02-15 Shintoshi Kaihatsu Kenkyu Jimusho:Kk 傾斜落下式搬送装置
JPH07177612A (ja) * 1993-12-22 1995-07-14 Tsudakoma Corp 給糸体搬送装置
JPH1095533A (ja) * 1996-09-25 1998-04-14 Toshiba Mechatronics Kk 磁気浮上式搬送装置
JPH10291625A (ja) * 1997-04-22 1998-11-04 Okamura Corp 吊り下げ搬送装置
KR20120128478A (ko) * 2011-05-17 2012-11-27 주식회사 에스에프에이 기판 이송장치
CN108946032A (zh) * 2017-05-17 2018-12-07 佳能株式会社 传输系统、加工系统、以及传输系统的控制方法
CN110466849A (zh) * 2018-05-11 2019-11-19 利乐拉瓦尔集团及财务有限公司 用于包装组件的出料设备和包括出料设备的包装组件
JP6617249B1 (ja) * 2019-03-19 2019-12-11 久米機電工業株式会社 搬送機

Also Published As

Publication number Publication date
US20220097984A1 (en) 2022-03-31
JP2022054343A (ja) 2022-04-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105905497B (zh) 自动化仓库
CA2355183A1 (en) Integrated load port-conveyor transfer system
JP2008100835A (ja) 搬送システム
CN114249129A (zh) 输送系统、加工系统和物品的制造方法
JPS60261302A (ja) 高真空中の物品搬送装置
JP2882501B2 (ja) 磁気浮上式搬送設備
JP2893276B2 (ja) 搬送装置に於ける搬送路の分岐装置
JPS62121134A (ja) 磁気浮上式搬送装置
JP2745075B2 (ja) 磁気浮上式搬送設備
KR20210017168A (ko) 캐리어 반송 장치 및 이를 구비하는 반송체 제어 시스템
KR20230035953A (ko) 천장 이송 장치
JPS6181105A (ja) 搬送装置
CN212062456U (zh) 运输设备
JP2976504B2 (ja) 磁気浮上式搬送装置
JPS61257828A (ja) 磁気浮上式非接触昇降装置
JPH04117111A (ja) 磁気浮上式搬送装置
JP2003087910A (ja) 磁気浮上搬送装置及びその制御方法
JP3393660B2 (ja) 搬送装置
JPH08133462A (ja) 台車使用の搬送設備
JPH03276866A (ja) 磁気吸引式浮上搬送装置
JPS62173907A (ja) リニアモ−タ利用の磁気浮上式搬送設備
JPH04169415A (ja) 磁気浮上式搬送装置
JPH01132457A (ja) 搬送装置
CN112388377A (zh) 用于加工工件的加工设施中的输送设备
JPH08172706A (ja) ガス浮上搬送装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination