CN1103494C - 半导体器件的制造方法 - Google Patents
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Abstract
一种半导体器件的制造方法，利用淀积在源/漏区上的中温CVD氧化层，把杂质离子注入其中。中温CVD氧化层使硅衬底表面承受拉伸应力。在约760-820℃温度下，在硅衬底上形成中温CVD氧化层，使衬底内的缺陷移到硅衬底的表面。结果硅衬底内的缺陷浓度下降，使得小尺寸延伸缺陷在硅衬底的表面。通过进行下一步的工艺，例如，金属化或附加的热处理工艺，从硅衬底的表面上自然去除延伸缺陷。
Description
技术领域
本发明涉及一种制造半导体器件的方法，特别涉及一种使器件的源/漏结中产生的漏电流和它们的结深减小的方法。
技术背景
通常，随着集成电路的发展，源/漏的结深在提高器件的电特性方面充当着重要角色。
图1是表示按照已有技术形成半导体器件的方法的剖面图，图中示出了一种形成于N阱中的MOS晶体管。如图1所示，用形成MOSFET的常规方法，在硅衬底1中的N阱2上，依次形成场氧化层3、栅氧化层4、栅极5和间隔6。
此时，在源/漏区上形成氧化层11，例如热氧化缓冲层，以防止硅衬底1在形成栅极5的腐蚀工艺中受损伤。另外，在用各向异性腐蚀工艺腐蚀形成间隔6的绝缘层时，通过在所述硅衬底上保留部分绝缘层，可以产生氧化层11。然后，间隔6形成在所述栅极的侧壁上，在硅衬底1的表面上形成氧化层11，防止硅衬底1在各向异性腐蚀中受损伤。而且，在进行离子注入工艺形成作源/漏的重掺杂区7时，氧化层11用作保护层，以防止后续的离子注入期间金属杂质掺入衬底。
接着，在所得结构上形成第一绝缘层8，例如，正硅酸乙酯(TEOS)层。在第一绝缘层上形成有高流动性的第二绝缘层9，例如，硼磷硅酸盐玻璃层(此后称之为BPSG层)。最后，在约850℃的温度下，进行炉退火工艺(FA)。
然而，该方法很难形成很浅的p+n结。在形成浅p+n结过程中，应以低能量把BF2离子注入到硅衬底中。虽然一般用于半导体制造领域中的离子注入机能用10KeV的加速能量注入离子，但由于很低的离子束流，使得在实际工艺中很难用这种低能量。而且，在离子注入后的热处理中，低温工艺对浅结来说变得有效，但BPSG层平面化的临界条件限制了其温度。在低温热处理中，由于掺杂剂的活化和去除缺陷能力的减弱，很难防止方阻(Rs)和结漏电流的增加。
特别是，由于BF2离子中的氟(F)会使硅衬底非晶化，所以，在硅衬底的非晶结构和结晶结构的界面的底部产生和分布有缺陷，例如，硅填隙。在热处理后，这些缺陷位于耗尽区，因此结的漏电流增大。
发明概述
因此，本发明的目的是提供一种形成半导体器件的方法，通过控制在硅衬底上形成氧化层的淀积温度，可提高器件的电特性和可靠性。
本发明的另一个目的是提供一种通过防止热氧化工艺期间掺杂剂扩散到硅衬底中来形成浅结的方法。
本发明还有一个目的是提供一种形成有小方阻(sheet resistance)的结的方法。
按照本发明的一个方案，提供一种形成半导体器件的方法，包括下列步骤：在硅衬底上形成缓冲氧化层；把杂质离子注入到所述硅衬底中，形成有源区；除去所述缓冲氧化层；以及在所得结构上在760-820℃温度下形成中温CVD氧化层，使所述中温CVD氧化层与所述有源区接触，从而使离子注入产生的缺陷移到硅衬底的表面。
按照本发明的另一方案，提供一种形成半导体器件的方法，包括下列步骤：在硅衬底上形成缓冲氧化层；把杂质离子注入到所述硅衬底中，形成有源区；除去所述缓冲氧化层；在所得结构上在760-820℃温度下形成中温CVD氧化层，使所述中温CVD氧化层与所述有源区接触；在所述中温CVD氧化层上形成离子掺杂的SiO2层；进行使所述离子掺杂的SiO2层平面化的热处理工艺；以及进行快速热退火工艺。
按照本发明的另一方案，提供一种形成半导体器件的方法，包括下列步骤：在硅衬底上形成栅绝缘层；在所述栅绝缘层上形成栅极；把低浓度离子注入到所述硅衬底中，形成轻掺杂区；在所得结构上形成绝缘层；对所述绝缘层进行各向异性腐蚀工艺，在所述硅衬底上留下部分所述绝缘层，以便在所述栅极的侧壁上形成绝缘间隔，并在所述硅衬底的表面上形成缓冲氧化层；通过所述缓冲氧化层，把高浓度的离子注入到所述硅衬底中，形成高掺杂区；除去所述缓冲氧化层；以及在所得结构上在760-820℃温度下形成中温CVD氧化层，使所述中温CVD氧化层与所述有源区接触；从而使离子注入产生的缺陷移到硅衬底表面。
按照本发明的又一方案，提供一种形成半导体器件的方法，包括下列步骤：在硅衬底上形成栅绝缘层；在所述栅绝缘层上形成栅极；把低浓度离子注入到所述硅衬底中，形成轻掺杂区；在所得结构上形成绝缘层；对所述绝缘层进行各向异性腐蚀工艺，在所述硅衬底上留下部分所述绝缘层，以便在所述栅极的侧壁上形成绝缘间隔，并在所述硅衬底的表面上形成缓冲氧化层；通过所述缓冲氧化层，把高浓度的离子注入到所述硅衬底中，形成重掺杂区；除去所述缓冲氧化层；在所得结构上在760-820℃温度下形成中温CVD氧化层，使所述中温CVD氧化层与所述有源区接触；在所述中温CVD氧化层上形成离子掺杂的SiO2层；进行使所述离子掺杂的SiO2层平面化的热处理工艺；以及进行快速热退火工艺。
按照本发明的再一方案，提供一种形成半导体器件的方法，包括下列步骤：提供有一个表面的半导体衬底；形成氧化层，覆盖所述半导体衬底的所述表面；借助离子注入，通过所述氧化层，把杂质引入所述半导体衬底中，形成有源区，所述有源区在所述表面之下的第一位置有一结区，所述引入步骤使所述表面之下的第二位置处的所述半导体中产生多个缺陷，所述第一位置与所述第二位置相邻；从所述表面上除去所述氧化层；以及在所述表面上在760-820℃温度下与其接触地形成中温层间介质层，所述形成中温层间介质层的步骤，使大多数所述缺陷从所述第一位置向所述表面迁移。
附图的简要说明
下面结合附图对本发明实施例的说明，会使本发明的其它目的和方案更清楚，其中：
图1是表示按照已有技术形成半导体器件的方法的剖面图；
图2是表示按照本发明形成半导体器件的方法的剖面图；
图3A是表示已注入As的及在去除了衬垫(屏蔽）氧化层后，用TEOS氧化物和MTO淀积的样品的硼深度分布曲线图；
图3B是表示在炉退火后和用于覆盖硅表面的各种氧化层的RTA后硼深度分布曲线图；以及
图4是表示按照已有技术和本发明的结漏电流与反向偏置的变化关系曲线图。
优选实施方式的详细描述
下面参照图2说明本发明的实施例。
图2是表示按照本发明形成半导体器件的方法的剖面图。首先，利用常规方法，在硅衬底21上，依次形成N阱22、场氧化层23、栅氧化层24、栅极25和绝缘间隔26。间隔26用于形成LDD(轻掺杂漏)结构，这已为本领域的技术人员所知。此时，为了与上述一样的目的，在硅衬底21上形成厚约20-150的热氧化层(未示出)，例如，图1所示的缓冲氧化层。然后，通过热氧化层，把BF2离子注入到硅衬底21中，形成作源/漏的重掺杂区。
在离子注入后，应注意，用HF溶液腐蚀热氧化层，暴露源/漏区。接着，在约760-820℃的温度下和SiH4与N2O的流量比为1∶50-1∶100的条件下，在所得结构上，形成厚约300-800埃的中温CVD氧化层28，使之与暴露的源/漏区接触。在优选实施例中，在约780℃下，中温CVD氧化层28的厚度约为500埃。
另一方面，在用LPCVD(低压化学汽相沉积)TEOS作为如图1所示的第一层间绝缘层的情况下，在非晶结构和晶体结构的界面的底部产生了延伸的缺陷，没有出现延伸缺陷的部分在界面以下。即，由于因LPCVD TEOS层有2×107Pa(2×108达因/cm2)的拉伸应力使硅衬底承受压应力，这些缺陷用710℃的低温工艺无法移到硅衬底的表面，这些缺陷存在于非晶结构和晶体结构的界面的底部。
然而，在本发明中，在淀积中温CVD氧化层28作为第一层间绝缘层时，由离子注入产生的点缺陷(填隙)移到硅衬底21的表面。压应力为1.53×108Pa(1.53×109达因/cm2)的中温CVD氧化层(MTO)28使硅衬底21的表面承受拉伸应力，在约780℃温度下，进行其淀积，以便产生致使缺陷移到表面的外扩散。结果，硅衬底21内的缺陷浓度下降，小尺寸的延伸缺陷在硅衬底21的表面上。通过进行快速热退火，可以从硅衬底21的表面上自然除去这些缺陷。
本发明中，尽管延伸缺陷移到了硅衬底的表面，但其方阻没有增加，这是因为大量俘获了硅衬底内的硼离子的延伸缺陷大大地减少的缘故。
图3A是表示已As-注入的硼深度分布曲线图，及在去除了衬垫(屏)氧化层后，用TEOS氧化物和MTO淀积的样品的硼深度分布曲线图，其中示出了本发明的结深小于用TEOS层的已有技术的结深。
下面将说明本发明的另一实施例。
在中温CVD氧化层28上，形成用于平面化的绝缘层。这种情况下，需要高温热处理来改善绝缘层的平面化。通常，用于平面化的绝缘层由BPSG层或PSG(磷硅玻璃)层构成。也就是说，在形成中温CVD氧化层28后，在约850℃温度下，在所得结构上形成BPSG层29，然后，进行用于平面化的热处理。
为了去除表面上的缺陷，必须进行另外的热处理，不考虑BPSG层的平面化的热处理。因此，本发明的另一实施例提供合适的热处理工艺。
虽然在热处理BPSG层29的步骤中，需要高温处理来把缺陷移到硅表面，但为了不增加结深，必须控制温度。特别是，高温热处理存在使BPSG层29劣化的问题，有可能在硅衬底21内部，从由注入引起的点缺陷生长出大的延伸缺陷，这取决于后续的高温热处理。而且，高浓度注入后的高温退火，会引起高密度堆垛层错。
结果，平面化BPSG层29的临界温度必须限制在能形成浅结且不在硅衬底内形成延伸缺陷的特定温度。
在优选实施例中，可以采用快速热退火工艺(此后称之为RTA工艺)。为了进行RTA工艺，必须在BPSG层29上形成低温氧化层30，防止其中的硼离子扩散到进行RTA工艺的处理室中。因此，在利用PECVD(等离子增强化学汽相沉积)法形成厚约100-500埃(1埃()＝1×10-10m)的氧化层30后，在950-1050℃温度下和氮气气氛中，RTA处理2-10秒。
图3B是表示在炉退火和用于覆盖硅表面的各种氧化层的RTA后硼深度分布曲线图。如图3B所示，已进行了平面化BPSG层29的常规热处理，然后，在1000℃的温度下，进行了10秒的RTA处理；所以，本发明的结深小于已有技术的结深。
表1示出RTA工艺对减小薄层电阻的效果。
| 工艺 | 方阻 |
| Si/TEOS+FA(850℃，30分钟) | 270Ω/cm2 |
| Si/MTO+FA | 259Ω/cm2 |
| Si/MTO+FA+RTA(1000℃，10秒) | 195Ω/cm2 |
图4是表示按照已有技术和本发明的结漏电流与反向偏置的变化关系曲线图，其中显示出结漏电流大为减小。
从上述的说明可知，本发明提供一种浅结器件，利用了中温CVD氧化层和炉退火工艺。而且，本发明有效地去除了离子注入产生的缺陷，从而极大地改善了有助于器件电流驱动性的电活性。
因此，应该明白，本发明不限于这里所公开的、欲作为实施本发明的最好模式的特殊实施例，除所附权利要求书所作限定之外，本发明不限于上述的特定实施例。
Claims (18)
1、一种形成半导体器件的方法，包括下列步骤：
在硅衬底上形成缓冲氧化层；
把杂质离子注入到所述硅衬底中，形成有源区；
除去所述缓冲氧化层；以及
在所得结构上在760-820℃温度下形成中温CVD氧化层，使所述中温CVD氧化层与所述有源区接触，从而使离子注入产生的缺陷移到硅衬底表面。
2、根据权利要求1所述的方法，其中，形成厚300-8000埃的所述中温CVD氧化层。
3、根据权利要求1所述的方法，其中，在SiH4与N2O的流量比为1∶50-1∶100的条件下形成所述中温CVD氧化层。
4、根据权利要求1所述的方法，其中，所述缓冲氧化层是自然氧化层、人工热生长氧化层和残余氧化层中的任何一种。
5、一种形成半导体器件的方法，包括下列步骤：
在硅衬底上形成缓冲氧化层；
把杂质离子注入到所述硅衬底中，形成有源区；
除去所述缓冲氧化层；
在所得结构上在760-820℃温度下形成中温CVD氧化层，使所述中温CVD氧化层与所述有源区接触；
在所述中温CVD氧化层上形成离子掺杂的SiO2层；
进行使所述离子掺杂的SiO2层平面化的热处理工艺；以及
进行快速热退火工艺。
6、根据权利要求5所述的方法，其中，进行所述快速热退火工艺的步骤还包括在所述离子掺杂的SiO2层上形成氧化层的步骤。
7、根据权利要求5所述的方法，其中，形成厚300-800埃的所述中温CVD氧化层。
8、根据权利要求5所述的方法，其中，在SiH4与N2O的流量比为1∶50-1∶100的条件下形成所述中温CVD氧化层。
9、根据权利要求5所述的方法，其中，所述缓冲氧化层是自然氧化层、人工热生长氧化层和残余氧化层中的任何一种。
10、根据权利要求5所述的方法，其中，所述热退火工艺进行2-10秒。
11、根据权利要求10所述的方法，其中，在氮气气氛中进行所述快速热退火工艺。
12、根据权利要求5所述的方法，其中，所述离子掺杂的SiO2层是BPSG层。
13、根据权利要求5所述的方法，其中，所述离子掺杂的SiO2层是PSG层。
14、根据权利要求5所述的方法，其中，形成厚100-500埃的作为覆盖层的所述氧化层。
15、一种形成半导体器件的方法，包括下列步骤：
在硅衬底上形成栅绝缘层；
在所述栅绝缘层上形成栅极；
把低浓度离子注入到所述硅衬底中，形成轻掺杂区；
在所得结构上形成绝缘层；
对所述绝缘进行各向异性腐蚀工艺，在所述硅衬底上留下部分所述绝缘层，以便在所述栅极的侧壁上形成绝缘间隔，在所述硅衬底的表面上形成缓冲氧化层；
通过所述缓冲氧化层，把高浓度的离子注入到所述硅衬底中，形成重掺杂区；
除去所述缓冲氧化层；以及
在所得结构上在760-820℃温度下形成中温CVD氧化层，使所述中温CVD氧化层与所述有源区接触，从而使离子注入产生的缺陷移到硅衬底的表面。
16、一种形成半导体器件的方法，包括下列步骤：
在硅衬底上形成栅绝缘层；
在所述栅绝缘层上形成栅极；
把低浓度离子注入到所述硅衬底中，形成轻掺杂区；
在所得结构上形成绝缘层；
对所述绝缘层进行各向异性腐蚀工艺，在所述硅衬底上留下部分所述绝缘层，以便在所述栅极的侧壁上形成绝缘间隔，在所述硅衬底的表面上形成缓冲氧化层；
通过所述缓冲氧化层，把高浓度的离子注入到所述硅衬底中，形成重掺杂区；
除去所述缓冲氧化层；
在所得结构上在760-820℃温度下形成中温CVD氧化层，使所述中温CVD氧化层与所述有源区接触；
在所述中温CVD氧化层上形成离子掺杂的SiO2层；
进行使所述离子掺杂的SiO2层平面化的热处理工艺；以及
进行快速热退火工艺。
17、根据权利要求16所述的方法，其中，进行所述快速热退火工艺的步骤还包括在所述离子掺杂的SiO2层上形成氧化层的步骤。
18、一种形成半导体器件的方法，包括下列步骤：
提供有一个表面的半导体衬底；
形成氧化层，覆盖所述半导体衬底的所述表面；
借助离子注入，通过所述氧化层，把杂质引入半导体衬底中，形成有源区，所述有源区在所述表面之下的第一位置有一结区，所述引入步骤使所述表面之下的第二位置处的所述半导体中产生多个缺陷，所述第一位置与所述第二位置相邻；
从所述表面上除去所述氧化层；以及
在所述表面上在760-820℃温度下与其接触地形成中温CVD层间氧化层，所述形成中温层间氧化层的步骤，使大多数所述缺陷从所述第一位置向所述表面迁移。
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