CN109952168A - 金属粉末的在制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明的目的在于提供一种制造方法,用以在喷雾热分解法中,不受金属种类约束,容易得到玻璃质薄膜不会仅偏向地被覆金属粉末的表面的一部分而是在整个表面具有均匀且均质的玻璃质薄膜的金属粉末。本发明的金属粉末的制造方法为如下的金属粉末的制造方法:由包含热分解性的金属化合物和玻璃前体的溶液(该玻璃前体生成不与热分解而由该金属化合物生成的金属发生固溶的玻璃质),通过喷雾热分解法在该金属粉末的表面附近生成玻璃质,从而制造在表面具备玻璃质薄膜的金属粉末,其中,以上述金属的熔点TmM和上述玻璃质的混合氧化物的液相温度TmG满足下式(1)的方式制备上述玻璃前体:‑100[℃]≤(TmM‑TmG)≤500[℃]…(1)。

Description

金属粉末的在制造方法
技术领域
本发明涉及被玻璃质薄膜被覆的金属粉末的制造方法。
背景技术
近年来,笔记本电脑、智能手机这样的移动设备显著地小型化·高性能化·轻量化。为了这些移动设备的小型化和高性能化,开关电源的高频化必不可缺,与之相伴,内藏于移动设备的扼流圈和感应线圈等各种磁性元件的驱动频率也要求应对高频化。不过,在磁性元件的驱动频率高频化的情况下,在各磁性元件具备的磁芯中,发生由涡电流引起的损耗增大这样的问题。
因此,在软磁性粉末的粒子表面被覆绝缘性材料而使绝缘性材料被覆层存在于各粒子间,将产生于磁芯的涡电流在该粒子间分断,由此减少在高频下使用时的涡电流损耗。
例如,在专利文献1中公开了一种对预先准备的软磁性粉末,使用机械融合等粉末涂覆法、化学镀或溶胶凝胶等湿式法或溅射等干式法,在软磁性粉末表面形成由低熔点玻璃构成的无机绝缘层,其后再将形成有无机绝缘层的软磁性粉末和树脂粉末混合,由此用无机绝缘层和树脂粒子层进行了表面被覆的软磁性粉末。
专利文献2中公开了一种复合被覆软磁性粉末的制造方法,其中,在铁系的软磁性粉末的表面,使用低价的材料形成以氮化硼为主体的被覆层。具体地,使用混合器等将预先准备的氧化铁粉末、碳化硅粉末、碳粉末、硼硅酸玻璃粉末混合后,对得到的混合粉末在含氮的非氧化性气氛中在1000~1600℃下进行热处理,由此在Fe-Si合金粉末的表面形成因硼硅酸玻璃的分解而生成的氮化硼层和金属氧化物层。
但是,在专利文献1和专利文献2的被覆软磁性粉末的制造方法中,由于预先准备软磁性粉末,因此视情况,需要将预先准备的软磁性粉末的粒径、粒度分布调整至适当范围。而且,在用于将绝缘层形成于表面的被覆工序中,被覆的绝缘物的组成和被覆量的控制变得必不可缺。因此,极难在软磁性粉末的表面形成均匀且均质的绝缘层。
如专利文献3和专利文献4所记载的那样,软磁性粉末自身通常通过以往已知的气体雾化法、机械粉碎法、气相还原法来制造。
另一方面,作为主要用于导体糊膏的金属粉末的制造方法,已知有喷雾热分解法。
在专利文献5、专利文献6和专利文献7中,公开了如下技术:将包含1种或2种以上的热分解性金属化合物的溶液进行喷雾而形成细微的液滴,将该液滴在比该金属化合物的分解温度高的温度下、优选在该金属的熔点附近或其以上的高温下进行加热,将金属化合物热分解而生成金属粒子。采用这些喷雾热分解法,可得到结晶性良好、高密度且高分散性的金属粉末,粒径的控制也容易。而且,在喷雾热分解法中,具有以下优异的优点:在作为目标的金属粉末的原料的金属化合物溶液中添加不易固溶于该金属粉末的金属或半金属、或者这些氧化物等的前体,从而在与金属粉末的生成同时,能在其表面形成被覆层。认为这是由于,由喷雾热分解法得到的金属粉末的结晶性良好,而且在粒子内部缺陷少,几乎不含晶界,因此因热分解而生成的被覆物不易在金属粉末的内部生成,被弹出至粒子表面,高浓度地生成于表面附近。另外,生成物的组成基本上与溶液中的金属化合物的组成一致,因此不仅金属粉末而且被覆层的组成控制也容易。
基于上述那样的原因,利用喷雾热分解法,能够得到在表面具有被覆层的金属粒子而不需要新的被覆工序,例如在本申请人的专利文献8中,记载了如下发明:利用喷雾热分解法,制造表面的至少一部分被玻璃质薄膜被覆的金属粉末,而没有设置新的被覆工序。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:国际公开WO2005/015581公报(日本特许第4452240号)
专利文献2:日本特开2014-192454号公报
专利文献3:日本特开平9-256005号公报
专利文献4:日本特开2003-49203号公报
专利文献5:日本特公昭63-31522号公报
专利文献6:日本特开平6-172802号公报
专利文献7:日本特开平6-279816号公报
专利文献8:日本特开平10-330802号公报(日本特许第3206496号)
发明内容
发明所要解决的课题
上述专利文献8中记载的金属粉末主要在用于形成层叠陶瓷电子部件的导体层的导体糊膏中使用,特别是以导体糊膏的烧成中的金属粉末的抗氧化性为目的而用玻璃质薄膜被覆粉末表面,因此,认为只要为了该目的而附着有效量,则玻璃质薄膜不需要覆盖金属粉末整个表面,被覆金属粉末表面的至少一部分即可。
根据本发明人的研究,通过专利文献8中记载的制造方法,在众多的玻璃组成和金属种类的组合中,能生成多种被玻璃质薄膜被覆的金属粉末。另一方面,有时未必容易通过该方法得到表面被玻璃质薄膜均匀被覆的金属粉末,在至少一部分的金属种类中,无法进行金属粒子的生成、玻璃质薄膜向金属粒子表面的均匀被覆,看到了如下倾向:玻璃质薄膜仅偏向(局部)地被覆金属粉末的表面的一部分。在该情况下,通过严格管控炉的加热温度和气氛、冷却条件这样的各种控制因素,可得到某种程度的改善,但如果待控制的因素变得越多,则越难以严格控管控制因素。
根据本发明人的研究,特别是在金属粉末为包含铁(Fe)的软磁性粉末的情况下,明显看到上述的倾向。
因此,本发明的目的在于提供一种制造方法,用以在喷雾热分解法中,不受金属种类约束,容易得到玻璃质薄膜不会仅偏向地被覆金属粉末的表面一部分而在整个表面具有膜厚均匀且玻璃组成等均质的玻璃质薄膜的金属粉末。
用于解决课题的手段
达成上述课题的本发明为金属粉末的制造方法,其是使包含热分解性的金属化合物和玻璃前体的溶液成为细微的液滴,该玻璃前体生成不与热分解而由该金属化合物生成的金属发生固溶的玻璃质,在使该液滴分散在载气中的状态下,在比上述金属化合物的分解温度和上述玻璃前体的分解温度高并且比由上述金属化合物生成的金属的熔点高的温度下进行加热,从而生成包含该金属的金属粉末,同时在该金属粉末的表面附近生成玻璃质,由此制造表面具备玻璃质薄膜的金属粉末的方法,其中,以上述金属的熔点TmM和上述玻璃质的混合氧化物的液相温度TmG满足下式(1)的方式制备上述玻璃前体:
-100[℃]≤(TmM-TmG)≤500[℃]…(1)。
发明效果
根据本发明,能比较容易地得到具有膜厚均匀且玻璃组成等均质的玻璃质薄膜的金属粉末,而无需严格地控制众多复杂的控制因素。
附图说明
图1是示出本发明涉及的、表面具备玻璃质薄膜的金属粉末的粒子整体图像的透射电子显微镜(TEM)图像。
图2是示出图1的粒子的一部分的TEM图像。
图3是图2的粒子的线分析结果。
图4是示出图1的粒子的一部分的TEM图像。
图5是用镍对图4进行元素映射的结果。
图6是用铁对图4进行元素映射的结果。
图7是用钡对图4进行元素映射的结果。
图8是用硅对图4进行元素映射的结果。
图9是用氧对图4进行元素映射的结果。
图10是示出实验例17所形成的粒子表面的TEM图像。
图11是作为平衡相图的一例的、BaO-CaO-SiO2玻璃的平衡相图(质量%换算)。
具体实施方式
在专利文献8中记载的喷雾热分解法中,在一部分的玻璃组成和金属种类的组合中看到玻璃质薄膜容易仅偏向地被覆金属粉末的表面的一部分的倾向的原因尚不明确。但是,在金属粉末特别地为包含铁(Fe)的软磁性粉末的情况下,明显看到上述倾向。本发明人进行了各种追加试验,推定其原因可能是:一般包含铁的金属大多为高熔点;作为原料使用的含铁化合物大多为不易还原的化合物;再者,含铁的金属大多与玻璃的润湿性较不好;等,基于该推定而进行了专心研究,结果完成了本发明。
[关于金属粉末]
在本发明中,作为金属粉末没有特别限定,除了单一金属的粉末外还包含合金的粉末,在制造具有比较高的熔点的金属粉末的情况下,能进一步获得本发明的作用效果。因此,作为上述金属的熔点(TmM),优选为900℃以上,特别优选为1100℃以上。
上述金属中优选包含铁,特别优选为包含镍和铁的镍-铁合金。镍和铁的含量没有特别限定,优选镍和铁的质量比在镍:铁=40:60~85:15的范围内,其中,强磁性铁镍合金(镍含量为78.5质量%附近的镍-铁合金)可得到高的导磁率,因此适合本发明。
予以说明,在本说明书中,若无特别说明,使用符号“~”表示的数值范围表示包含“~”的前后所记载的数值的范围。另外,“主成分”是指含量超过50质量%的成分。
镍-铁合金中也可以进一步包含钼、铜、铬等金属。
金属粉末的粒径没有限定,优选平均粒径为0.2~20μm左右。
[关于玻璃质薄膜]
作为构成玻璃质薄膜的玻璃质(有时也简称为玻璃),可以为非晶质,也可以在非晶质膜中包含结晶,但金属的熔点(TmM)与将该玻璃的成分理解为氧化物的混合物(在此,称为“混合氧化物”)时的液相温度(TmG)之差(=TmM–TmG)优选在-100℃以上、500℃以下的范围内。即,本发明优选满足下式(1)。
-100[℃]≤(TmM-TmG)≤500[℃]…(1)
在金属的熔点TmM与液相温度TmG满足上述条件的情况下,变得容易用玻璃质薄膜被覆金属粉末整个表面。
(TmM-TmG)的值低于-100℃时,变得不易引起自玻璃原料(玻璃前体)的玻璃化,另外,超过500℃时,生成的玻璃的流动性过高,因此容易发生玻璃在金属粉末表面上的偏析、该表面的部分露出等,不管哪种情况,都变得难以用玻璃质薄膜被覆金属粉末整个表面。
更优选地,(TmM-TmG)在-80~400℃的范围内,特别优选在-50~300℃的范围内。即,本发明特别优选满足下式(2)。
-50[℃]≤(TmM-TmG)≤300[℃]…(2)
液相温度TmG受玻璃质的组成影响。因此,在本发明中,对于目标的金属的熔点TmM以满足上述条件的方式决定玻璃组成,进行玻璃原料(玻璃前体)的制备。
根据本发明人的研究,在金属粉末包含铁的情况下,通过使用硅酸盐系的玻璃,TmM和TmG变得容易满足上述条件。在本发明的情况下,特别地可以使用玻璃质薄膜中的SiO2含量按氧化物基准计包含40质量%以上的硅酸盐系玻璃。虽然也因金属的熔点TmM而异,但TmG优选为900℃以上,特别优选为1100℃以上。
硅酸盐系玻璃中优选包含碱土金属,具体地,优选按氧化物基准计包含MgO、CaO、SrO、BaO中的至少一种,特别优选碱土金属按氧化物基准计包含20质量%以上。
在本发明中,液相温度TmG可从图11所示的平衡相图求出作为一例,另外,也可根据需要从差示热分析(DTA)或差示扫描量热测定(DSC)中的吸热行为来求出。
予以说明,如后述那样,在本发明的制造方法中在金属粉末包含铁的情况下,在该金属粉末表面的玻璃质薄膜中也能确认铁成分的存在。由于没有将铁系的氧化物用于玻璃原料(前体),因此认为该玻璃中的铁成分来自于作为金属粉末的原料使用的金属化合物中包含的铁化合物,在加热时扩散至玻璃中。而且,本发明人推测,通过在玻璃中包含铁成分,金属粉末中的铁成分与玻璃的润湿性改善,作为其结果,对于含铁的金属粉末也可形成牢固的玻璃被膜。
[关于喷雾热分解法]
本发明的金属粉末通过喷雾热分解法来制造。具体地,使包含热分解性的金属化合物和玻璃前体的溶液成为细微的液滴,该玻璃前体生成不与热分解而由该金属化合物生成的金属发生固溶的玻璃质,在使该液滴分散在载气中的状态下,在比上述金属化合物的分解温度和上述玻璃前体的分解温度高并且比由上述金属化合物生成的金属的熔点高的温度下进行加热,从而生成包含该金属的金属粉末,同时在该金属粉末的表面附近生成玻璃质,由此制造表面具备玻璃质薄膜的金属粉末。
在本发明中,作为金属粒子的起始化合物的热分解性的金属化合物,可使用金属的硝酸盐、硫酸盐、氯化物、铵盐、磷酸盐、羧酸盐、金属醇盐、树脂酸盐等热分解性盐中的1种或2种以上、或复盐或络盐。若混合使用2种以上的金属的盐,可得到2种以上的金属的合金粒子或混合粒子。在将该主成分金属化合物溶解在水、丙酮、醚等有机溶剂或它们的混合溶剂中而成的溶液中添加形成玻璃的玻璃前体的1种或2种以上。
玻璃前体只要是热分解后生成的氧化物(玻璃)在利用本方法的金属粒子生成条件下在金属粒子中不固溶而进行玻璃化那样的玻璃前体,就没有限制。作为玻璃前体,例如可从硼酸、硅酸和磷酸、各种硼酸盐、硅酸盐、磷酸盐或各种金属的硝酸盐、硫酸盐、氯化物、铵盐、磷酸盐、羧酸盐、醇盐、树脂酸盐等热分解性盐、复盐和络盐等中适当选择来使用。
在本发明中,金属化合物和玻璃前体的混合溶液利用超声波式、双流体喷嘴式等的喷雾器来形成细微的液滴,接着在比金属化合物的分解温度和玻璃前体的分解温度高的温度下进行加热,由此进行热分解。在混合2种以上的化合物作为金属化合物的情况下,在比分解温度最高的金属化合物的分解温度高的温度下进行加热。
在本发明中,加热处理在主成分金属的熔点或其以上的高温下进行。予以说明,虽然即使在比熔点低的加热温度下也可得到玻璃成分弹出的效果,但在该情况下,得不到结晶性好的金属粉末,其形状也变得不均匀,因此会变得高密度化和分散性不充分。
加热时的气氛根据金属化合物、玻璃前体的种类、加热温度等适当选择氧化性、还原性、非活性气氛,但在制造金属是以贱金属为主成分的金属成分的情况下,特别优选采用还原性气氛。在该情况下,优选在溶液中添加可溶于溶液且在不加热时(例如喷雾溶液的制备时)不呈现还原性、仅在加热时呈现还原性的还原剂。作为还原剂的例子,可使用选自甲醇、乙醇、丙醇、乙二醇、丙二醇、二乙二醇、四乙二醇中的至少1种。予以说明,贱金属没有特别限定,优选铁、钴、镍、铜等,本发明特别优选为铁、镍和包含它们的合金。
添加至溶液中的还原剂虽然也依赖于使用的金属化合物的种类,但优选以在溶液整体中的含量按质量%计为5~30质量%的方式添加。
还原剂量多,有利于金属化合物的还原,但在喷雾热分解法的情况下,招致溶液的浓度上升,喷雾变得困难。若添加至溶液中的还原剂量在上述范围内,则即使在使用不易还原的金属化合物的情况下,也能将其大部分还原,并且也不会妨碍溶液的喷雾。
另外,在本发明中,优选除了使用上述还原剂以外,根据需要进一步在运送细微液滴的载气中以1~20体积%的范围含有还原性气体。作为还原性气体的例子,可使用选自氢、一氧化碳、甲烷、氨气中的至少1种。通过在溶液中含有还原剂、同时在载气中含有还原性气体,即使在特别使用了不易还原的金属化合物的情况下,也不增加溶液中的还原剂量,而可在不阻碍溶液的喷雾的情况下一边容易地管控还原一边进行喷雾热分解。
本发明由于利用喷雾热分解法由原料混合溶液生成金属粉末,因此可通过选择热分解性金属化合物和玻璃前体的各成分的组成、玻璃前体相对于金属化合物的添加量,得到在目标的表面上具有玻璃质薄膜的金属粉末。关于热分解性金属化合物和玻璃前体在混合溶液中的合计含量,以换算成通过热分解由该金属化合物生成的金属成分量、和通过热分解由该玻璃前体生成的按氧化物基准计的玻璃成分量的在混合溶液中的两成分的合计浓度计为小于500g/L,从控制的容易性等的观点出发,优选为20~100g/L。在使用包含2种以上的金属的金属化合物或2种以上的金属化合物来生成包含2种以上的金属的金属粉末粒子的情况下,上述金属成分量为通过热分解由这些金属化合物生成的合计金属成分量。混合溶液中的金属化合物和玻璃前体的混合比,可由按氧化物基准计的玻璃成分量相对于欲通过喷雾热分解而得到的金属成分量的质量比来决定。若相对于由金属化合物生成的金属成分量,由玻璃前体生成的按氧化物基准计的玻璃成分量少于0.1质量%,则没有效果。另一方面,若玻璃前体的添加量变得过剩,则由玻璃前体生成的玻璃仅偏向地生成于金属粒子表面的一部分,难以用玻璃质薄膜均匀地被覆粒子整个表面。因此,虽然也取决于生成的玻璃的密度,但玻璃前体以按上述氧化物基准计的玻璃成分量计相对于上述金属成分量成为0.1~20质量%的方式添加是实用的,特别优选以成为0.5~15质量%的方式添加。本发明的制造方法使得能够容易地得到整个表面被均质的玻璃质薄膜均匀地被覆的金属粉末粒子,但有时也会制造仅极少一部分具备实用上没问题的程度的稍微不均匀的玻璃质薄膜的金属粉末粒子。通过本发明的制造方法得到的金属粉末不排除实用上没有问题的这种粉末。
以下,通过实施例具体地说明本发明,但本发明不限于此。
实施例
[实验例1]
将以得到表1所示的金属的方式称量的硝酸镍六水合物、硝酸铁,以成为该表1所示的溶液中的金属成分浓度的方式溶解在水中,在其中添加混合表1所示的玻璃成分[表中的玻璃组成的数值以质量%表示相对于换算成氧化物时的合计质量数的含有比例。另外,表中的玻璃成分添加量是相对于金属成分量的按氧化物基准计的玻璃成分量(质量%),表2、3中也同样。]的方式称量的正硅酸乙酯(TEOS)和硝酸钡、及作为还原剂的乙二醇(MEG),制作了原料溶液。予以说明,表1和表2、3中所示的溶液中的金属成分浓度(g/L)是换算成通过热分解由金属化合物生成的金属成分的、每1L溶液的金属化合物含量。另外,表1和表2、3中所示的溶液中的还原剂量是相对于溶液整体的还原剂的含量(质量%)。
使用超声波喷雾器使该原料溶液成为细微的液滴,将表1所示的流量的氮气作为载气,供给至在电炉中加热至1550℃的陶瓷管中。液滴通过加热区域而被加热分解,以粉末的状态捕集。
进行了X射线衍射,结果,捕集的粉末为包含镍-铁合金的粉末,没有检测出其以外的衍射线。另外,以5%稀盐酸清洗该粉末,结果,虽然镍或铁几乎没有溶解,但清洗后的粉末中的添加物量大幅减少。
图1是示出捕集后不久的该粉末的粒子整体图像的TEM图像,对该粉末利用能量分散型X射线分析(EDX)在图2中的箭头方向进行线分析,将结果示于图3。予以说明,图1中看到小粒径的粉末,但将它们根据需要进行分级处理,由此可得到粒径更一致的粉末。
另外,图5~9是由图4所示的该粉末的TEM图像分别用镍、铁、钡、硅、氧各元素进行了映射的结果。由以上的分析显示:该粉末中,在镍-铁合金粉末的表面高浓度地生成硅和钡,在X射线下为非晶质,以均质的BaO-SiO2玻璃的状态存在。另外,如图6所示那样,可确认在镍-铁合金粉末的表面的玻璃质薄膜中存在铁。
表1中一并记载该合金的熔点(TmM)和关于该玻璃成分的混合氧化物由平衡相图求得的液相温度(TmG)、由利用元素映射的面积求得的相对于粒子表面的玻璃被覆率[%]、和由TEM图像求得的玻璃质薄膜厚[nm]。
表1
[实验例2]
除了将玻璃成分设为表1所示的那样以外,与实验例1同样地得到了用BaO-SiO2玻璃质薄膜被覆的镍-铁合金粉末。表1中一并记载与实验例1同样地进行的分析结果。
[实验例3~17]
在各实验例中,将金属组成、玻璃成分、玻璃成分的添加量以及添加至溶液的还原剂量[相对于溶液整体的还原剂的含量(质量%)]设为表1所示的那样,除此以外,与实验例1、2同样地得到了用玻璃质薄膜被覆的镍-铁合金粉末。予以说明,作为玻璃成分的钙源,使用硝酸钙,另外作为锰源,使用硝酸锰,还有作为铋源,使用柠檬酸铋。表1中一并记载与实验例1同样地进行的分析结果。
予以说明,如图10所示那样,实验例17观察到玻璃质薄膜仅偏向地生成于金属粉末的表面的一部分的状态,因此没有进行玻璃质薄膜厚的测定。推测在实验例17中,熔点TmM与液相温度TmG之差大,因此成为这样的结果。
[实验例18~21]
在各实验例中,使用硝酸铁作为金属成分,将溶液中的金属成分浓度、玻璃成分设为表2所示的那样,在载气中添加了表2所示的还原剂,除此以外,与实验例1同样地得到了用玻璃质薄膜被覆的铁粉末。溶液中的还原剂量与上述同样,为相对于溶液整体的还原剂的含量(质量%)。另外,在这些实验例中,对于作为载气的氮气,添加了表2中记载的量(体积%)的氢气和一氧化碳。表2中一并记载与实验例1同样地进行的分析结果。
在实验例19的铁粉末的表面发现仅极少的玻璃质薄膜厚不均匀的区域,但在实用上可使用。
表2
[实验例22~26]
在实验例1中将金属组成、溶液中的金属成分浓度、玻璃成分以及添加至溶液的还原剂[还原剂的含量为相对于溶液整体的含量(质量%)]设为表3所示的那样,除此以外,与实验例1同样地得到了用玻璃质薄膜被覆的金属粉末。予以说明,在实验例22中使用四乙二醇(TEG)作为还原剂,在实验例23~25中,使用与实验例1同样的MEG。在实验例26中没有使用还原剂。表3中一并记载与实验例1同样地进行的分析结果。
表3

Claims (14)

1.金属粉末的制造方法,其是使包含热分解性的金属化合物和玻璃前体的溶液成为细微的液滴,该玻璃前体生成不与热分解而由该金属化合物生成的金属发生固溶的玻璃质,在使该液滴分散在载气中的状态下,在比上述金属化合物的分解温度和上述玻璃前体的分解温度高并且比由上述金属化合物生成的金属的熔点高的温度下进行加热,从而生成包含该金属的金属粉末,同时在该金属粉末的表面附近生成玻璃质,由此制造表面具备玻璃质薄膜的金属粉末的方法,其中,
以上述金属的熔点TmM和上述玻璃质的混合氧化物的液相温度TmG满足下式(1)的方式制备上述玻璃前体:
-100[℃]≤(TmM-TmG)≤500[℃]…(1)。
2.权利要求1所述的金属粉末的制造方法,其中,上述熔点TmM和上述液相温度TmG满足下式(2),
-50[℃]≤(TmM-TmG)≤300[℃]…(2)。
3.权利要求1或2所述的金属粉末的制造方法,其中,上述熔点TmM和上述液相温度TmG均为1100℃以上。
4.权利要求1至3的任一项所述的金属粉末的制造方法,其中,上述金属以贱金属为主成分,
在上述溶液中,以相对于该溶液整体的质量%计含有5~30质量%的可溶于该溶液且在上述加热时呈现还原性的还原剂。
5.权利要求4所述的金属粉末的制造方法,其中,上述还原剂包含选自甲醇、乙醇、丙醇、乙二醇、丙二醇、二乙二醇、四乙二醇中的至少1种。
6.权利要求1至5的任一项所述的金属粉末的制造方法,其中,上述热分解性金属化合物和玻璃前体在上述溶液中的合计含量,以换算成通过热分解由上述金属化合物生成的金属成分量、和通过热分解由上述玻璃前体生成的按氧化物基准计的玻璃成分量的两成分的合计浓度计为20~100g/L。
7.权利要求1至6的任一项所述的金属粉末的制造方法,其中,上述金属包含铁。
8.权利要求1至7的任一项所述的金属粉末的制造方法,其中,上述金属包含镍和铁。
9.权利要求8所述的金属粉末的制造方法,其中,上述镍与铁的质量比为镍:铁=40:60~85:15。
10.权利要求7至9的任一项所述的金属粉末的制造方法,其中,上述热分解性的金属化合物包含铁化合物,上述玻璃质薄膜中包含来自上述铁化合物的铁成分。
11.权利要求1至10的任一项所述的金属粉末的制造方法,其中,上述玻璃质按氧化物基准计包含40质量%以上的SiO2
12.权利要求11所述的金属粉末的制造方法,其中,上述玻璃质按氧化物基准计包含选自MgO、CaO、SrO、BaO中的至少1种。
13.权利要求1至12的任一项所述的金属粉末的制造方法,其中,上述载气中包含1~20体积%的还原性气体。
14.权利要求13所述的金属粉末的制造方法,其中,上述还原性气体为选自氢、一氧化碳、甲烷、氨气中的至少1种。
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