CN109270906B - 工件处理装置、工件输送系统 - Google Patents

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Abstract

本发明课题在于现有技术尚未能适当地进行工件缺陷的检测。本发明解决手段是本发明的工件处理装置具备：第一旋转距离资讯储存部101，供储存多个第一旋转距离资讯，所述第一旋转距离资讯为具有使圆形工件旋转时的旋转角度与第一距离资讯形成对应的资讯，而该第一距离资讯为关于从对应旋转角度的工件旋转中心至边缘的距离的资讯；取得部103，使用储存于第一旋转距离资讯储存部101的多个第一旋转距离资讯，取得用以使工件对准位置的资讯、用以特定工件朝向的资讯、及关于工件边缘缺陷部分的资讯；及输出部104，用来输出取得部103所取得的工件对准位置用的资讯、用以特定工件朝向的资讯、及关于缺陷部分的资讯。藉此工件处理装置，可适当进行工件缺陷的检测。

Description

工件处理装置、工件输送系统
本申请是申请日为2014年11月21日、申请号为201410669762.0、发明名称为“工件处理装置、工件输送系统”的申请的分案申请。
技术领域
本发明关于执行工件的定位的工件处理装置等。
背景技术
现有技术中，使晶圆旋转，并使其边缘位置对应旋转角度加以检测记忆，依据检测讯号的最大值、最小值来计算晶圆位置的偏心量及方向，以依照该偏心数据进行晶圆的中心对正。在设于晶圆的平坦部等的开始点及结束点上，由于边缘位置的变化较其他部分急剧，故藉由将边缘位置数据的变化率达一定程度以上的部分加以计算，并在相同装置上进行使该平坦部等对输送装置等其他作业台而言位于特定位置的作法已为公知技术(例如，参照专利文献1)。
【先前技术文献】
〔专利文献〕
(专利文献1)日本专利第2729297号公报(第1页图1等)
发明内容
〔发明所欲解决的课题〕
透过利用工件输送装置，将使用例如上述现有装置实施定位的工件输送到进行CVD(化学汽相沉积，Chemical Vapor Deposition)或CMP(化学机械抛光，ChemicalMechanical Polishing)等的装置，可对工件适当地进行所需的处理。
对边缘存在有毛边或崩缺(chipping)等的晶圆等工件进行CVD、研磨等处理时，由于加诸于工件的热或压力等，工件会有破损之虞。因此，对工件进行处理之前，较佳为进行检查，以检测有无毛边或崩缺等缺陷部分。为了此一目的，乃期望首先能在使用上述现有技术进行工件定位之前，进行工件缺陷部分的检查。
然而，进行工件缺陷部分的检查时，先用工件输送装置将工件输送到缺陷部分检查用装置以进行缺陷部分的检查，检查后，还须用工件输送装置将工件输送到执行工件定位的装置进行定位，故有工件检查及工件输送到检查装置要耗费时间的问题。
此外，除了进行定位的装置外，也需要设置执行检查的装置，故在使成本升高的同时，也必须在工件输送路径上确保执行检查装置的设置场所，而有要达到节省空间是极为困难的问题。
结果，现有技术中，乃有无法适当地进行工件缺陷检测的课题。
本发明为了解决上述的课题而研发者，其目的在提供能够适当地进行工件缺陷检测的工件处理装置等。
〔解决课题所使用的手段〕
本发明的工件处理装置具备：第一旋转距离资讯储存部，供储存多个第一旋转距离资讯，所述第一旋转距离资讯为具有使圆形工件旋转时的旋转角度与第一距离资讯形成对应的资讯，而该第一距离资讯为关于从对应旋转角度的工件旋转中心至边缘的距离资讯；取得部，使用储存于第一旋转距离资讯储存部的多个第一旋转距离资讯，来取得工件对准位置用的资讯、特定工件的朝向用的资讯、及关于工件边缘缺陷部分的资讯；以及输出部，用以输出取得部所取得的工件对准位置用的资讯、特定工件的朝向用的资讯、及关于缺陷部分的资讯。
藉由此种构成，在结合对准工件的位置与朝向时，可进行工件边缘缺陷的检测，而可适当地进行工件缺陷的检测。
再者，本发明的工件处理装置在前述工件处理装置中进一步具备：移动部，使用输出部输出的有关工件边缘缺陷部分的资讯，令工件移动，俾使工件边缘的缺陷部分配置在预先指定区域的拍摄区域内；拍摄部，用以拍摄配置于拍摄区域内的工件边缘缺陷部分；以及影像输出部，用以输出拍摄部所拍摄的影像。
藉由此种构成，可容易确认工件边缘的缺陷部分。
再者，本发明的工件输送系统具备：前述工件处理装置；以及对工件处理装置进行工件交接的工件输送装置。
藉由此种构成，可于输送中在工件处理装置一并进行结合工件位置与朝向的处理及检测缺陷部分的处理，故可以缩短结合工件位置与朝向的处理及缺陷部分的检测处理所需要的时间。而且，输送时的工件移动可抑制到最小限度。
〔发明的功效〕
若依本发明的工件处理装置等，可适当地进行工件缺陷的检测。
附图说明
图1为实施形态1的工件处理装置的方块图；
图2(a)为用以说明工件处理装置中所使用的圆形工件的一例的示意图；
图2(b)为用以说明工件处理装置的修正资讯取得处理的示意图；
图3为工件处理装置的边缘位置检测器的一例的示意图；
图4为具备工件处理装置的工件输送系统的一例的俯视图；
图5为工件处理装置所利用的关系式的说明用图示；
图6为有关工件处理装置的动作的说明用流程图；
图7为有关具备工件处理装置的工件输送系统的动作的说明流程图；
图8为工件处理装置的第一旋转距离资讯管理表的图示；
图9为用以说明工件处理装置的第一旋转距离资讯的曲线图；
图10(a)为工件处理装置的第一旋转距离资讯在旋转角度为0度以上未达90度范围的曲线图；
图10(b)为工件处理装置的第一旋转距离资讯在旋转角度为90度以上未达180度范围的曲线图；
图10(c)为工件处理装置的第一旋转距离资讯在旋转角度为180度以上未达270度范围的曲线图；
图10(d)为工件处理装置的第一旋转距离资讯在旋转角度为270度以上未达360度范围的曲线图；
图10(e)为工件处理装置的第一旋转距离资讯的合成曲线图；
图10(f)为工件处理装置的第一旋转距离资讯的变化较小部分的曲线图；
图11为工件处理装置的合成距离资讯管理表的图示；
图12为工件处理装置的第二旋转距离资讯管理表的图示；
图13为工件处理装置的多个第二旋转距离资讯的图示；
图14为工件处理装置的距离差资讯管理表的图示；
图15(a)为表示工件处理装置所取得的距离差资讯与旋转角度的关系的曲线图；
图15(b)为用以说明工件处理装置的缺口检测装置所执行的处理的曲线图；
图15(c)为用以说明工件处理装置的缺陷检测装置所执行的处理的曲线图；
图16为工件处理装置的输出例的图示；
图17为实施形态2的工件处理装置的方块图；
图18(a)、(b)分别为工件处理装置的一例的示意图(图18(a))、及工件处理装置的边缘位置检测器的一例的示意图(图18(b))；
图19(a)、(b)分别为用以说明使该工件处理装置的缺陷部分移动到拍摄区域内的处理的图示，其中，图19(a)为旋转前图示、图19(b)为旋转后图示；
图20为有关工件处理装置的动作的说明用流程图；
图21为工件处理装置的影像管理表的一例的图示；
图22为工件处理装置的显示例的图示；
图23为工件处理装置的影像情况资讯管理表的一例的图示；
图24为工件处理装置的显示例图；以及
图25为实施形态1的工件处理装置的其他例子的方块图。
具体实施方式
〔发明的实施形态〕
以下，参照图式就工件处理装置等的实施形态加以说明。此外，实施形态中，由于附注相同符号的构成要素执行同样的动作，故有省略再次说明的情形。
(实施形态1)
图1为本实施形态的工件处理装置1的方块图。
工件处理装置1具备：第一旋转距离资讯储存部101、边缘位置检测器102、取得部103、输出部104、评估相关资讯受理部105、以及设定部106。
取得部103具备例如：合成装置1031、合成处理装置1032、修正资讯取得装置1033、第二距离资讯取得装置1034、计算装置1035、缺口检测装置1036、以及缺陷检测装置1037。
图2为用以说明本实施形态中作为第一旋转距离资讯的取得对象的圆形工件的一例的示意图(图2(a))、及用以说明取得工件修正资讯的处理的示意图(图2(b))。
图3为本实施形态的边缘位置检测器102的一例的示意图。
图4为具备本实施形态的工件处理装置1的工件输送系统1000的一例的俯视图。
工件处理装置1为例如对圆形工件(以下亦简称为工件)10进行工件10的位置与朝向结合用资讯的取得处理、及边缘缺陷部分的检测处理的装置。所谓工件10的位置与朝向的结合用资讯，是指例如为了能将工件10朝预先指定方向配置于预先指定位置所使用的资讯。
圆形工件10为例如圆形半导体晶圆(以下称为晶圆)、贴设于补强用圆形晶圆座等的晶圆、圆形玻璃基板等基板。圆形工件的材质(例如晶圆的材质)则不拘。此外，圆形工件10也可为非完整的圆形，例如，也可在边缘11的一部具有定向扁平部(orientation flat)17、V形槽(notch)部(未图示)等缺口部。工件10也可具有两个以上缺口部。所谓工件10的边缘11指例如工件10的周缘部分。
第一旋转距离资讯储存部101是供储存多个第一旋转距离资讯。所述第一旋转距离资讯是指具有在使圆形工件10以例如工件10上的一点为旋转中心O进行旋转时，旋转角度与对应该旋转角度的第一距离资讯形成对应的资讯。其为关于从工件10的旋转中心至边缘的距离的资讯。工件10的旋转中心O不必一定要与工件10的中心Q一致。
第一距离资讯为关于从工件10的旋转中心O至工件10的边缘11的距离的资讯。第一距离资讯为关于例如以工件10的旋转中心O作为一端的预先指定线段至与工件10的边缘11重叠的位置为止的距离资讯。第一距离资讯为例如从工件10的旋转中心O至边缘11的距离。例如图2所示，第一距离资讯为在以工件10的旋转中心O作为一端的预先指定线段14上，使用沿着该线段配置的线感测器等感测器15所取得的有关边缘11的位置的测定值、或使用该测定值取得的值。
以下，在本实施形态中，第一距离资讯以从工件10的旋转中心O至边缘11的距离r的情形为例来说明，而该距离r则从藉感测器15取得的表示工件10的边缘11的位置资讯来取得。
此外，第一距离资讯只要是实质上表示与从工件10的旋转中心O至工件10的边缘11的距离对应的值的资讯即可。第一距离资讯也可为例如表示从作为感测器15的基准的位置(例如，0点)等至边缘11的距离的资讯。而且，也可为表示感测器15检测到边缘11的部分，例如检测到边缘11的元件或其排列位置等的资讯。
所谓旋转角度，例如在旋转前、或以开始取得第一距离资讯的状态等预先指定状态的值当作0度等初期值时，使工件10旋转的角度值。储存于第一旋转距离资讯储存部101的多个第一旋转距离资讯，为具有例如使工件10逐次以预先指定角度依序旋转时所得的第一距离资讯、及其旋转角度的资讯。多个第一旋转距离资讯具有例如以预先指定的角度间隔相连续的旋转角度。所谓预先指定角度，是指一定的角度，例如，使工件10旋转以取得第一距离资讯时的旋转角度的最小单位。预先指定角度较佳为例如以4的倍数分割360度所得的值。预先指定角度指例如将360度分割为1000、或10000等所得的值，例如，0.36度、或0.036度等。此外，旋转角度的单位等则不拘。
第一旋转距离资讯储存部101是供储存例如针对一个或两个以上工件10分别取得的多个第一旋转距离资讯。例如，储存形成对应的对应于各工件10的多个第一旋转距离资讯与工件10的识别符的工件识别符。
第一旋转距离资讯储存部101中储存多个第一旋转距离资讯，所述第一旋转距离资讯对应于例如至少一次旋转量的多个旋转角度，具体而言，一次旋转量的多个旋转角度为由0至360度范围的多个旋转角度。但，也可储存与未达一次旋转的多个旋转角度对应的多个第一旋转距离资讯。也可储存例如多个第一旋转距离资讯，所述旋转距离资讯对应于比一次旋转(0至360度)还小的旋转量，而该旋转量的角度又比旋转角度的最小单位还小。此外，也可储存多于一次旋转(0至360度)的旋转量的多个旋转角度，例如，与1.5次旋转量或2次旋转量的多个旋转角度对应的多个第一旋转距离资讯。
本实施形态中，是就在第一旋转距离资讯储存部101中储存边缘位置检测器102所取得的多个第一旋转距离资讯时的情形作为一例加以说明。但，多个第一旋转距离资讯以何种方式储存于第一旋转距离资讯储存部101则不拘。例如，也可使未图示的受理部等经由记忆媒体或通讯线路等所受理的多个第一旋转距离资讯储存于第一旋转距离资讯储存部101。
此外，此处的储存也包含暂时记忆的概念。例如，将边缘位置检测器102针对工件所取得的多个第一旋转距离资讯暂时记忆的情况，在此亦视作为储存。
第一旋转距离资讯储存部101以非挥发性记录媒体较合适，但也可以挥发性记录媒体来实现。这种情形对于其他储存部也是一样。
边缘位置检测器102针对工件10取得多个第一旋转距离资讯。具体而言，边缘位置检测器102检测工件10的边缘位置，并针对工件取得多个第一旋转距离资讯。边缘位置检测器102将所取得的多个第一旋转距离资讯储存于第一旋转距离资讯储存部101。
边缘位置检测器102具备有例如线感测器等感测器15、及使所载置的工件10旋转的转盘52等，其使用使工件10每旋转预先指定的旋转角度就加以测定的边缘位置的测定值，例如，使用从工件10的旋转中心至边缘的距离的测定值等，依序取得第一距离资讯及旋转角度。工件10的旋转中心为例如使旋转工件10旋转的转盘的旋转中心。
边缘位置检测器102也可具备移动装置(未图示)，并使用后述输出部104输出的工件10对准位置资讯，例如修正资讯，令转盘52等的位置移动，俾使工件10的中心位于预先指定位置。再者，边缘位置检测器102也可具备控制装置(未图示)等，并使用后述输出部104输出的工件10的朝向特定资讯(例如，表示缺口部的资讯)，令转盘52旋转，俾使工件10朝向预先的指定方向。
边缘位置检测器102使例如针对各工件取得的多个第一旋转距离资讯与各工件的工件识别符形成对应，并储存于第一旋转距离资讯储存部101。
取得部103使用与储存于第一旋转距离资讯储存部101的一个工件对应的多个第一旋转距离资讯，以取得用以使工件10对准位置的资讯、用以特定工件10的朝向的资讯、及关于工件10的边缘11的缺陷部分的资讯。
所谓用以使工件10对准位置的资讯，是指为了使例如工件10配置于预先指定位置而使用的资讯。所谓用以使工件10对准位置的资讯，是指例如工件10原来配置的位置与工件10实际上配置的位置的偏移的资讯、或修正资讯。修正资讯为例如修正资讯取得装置1033所取得的修正资讯。取得部103以何种方式取得用以使工件10对准位置的资讯均可。例如，取得部103也可使用上述现有技术取得对准位置用资讯。此外，本实施形态中，将于后陈述修正资讯取得装置1033取得对准位置用资讯的处理作为具体例。
所谓工件10的朝向特定用资讯，是指例如为了将工件向着预先指定的朝向配置而使用的资讯，例如表示用以特定工件的朝向的定向扁平部或V形槽部等缺口部的资讯。表示缺口部的资讯为例如表示缺口部的位置的资讯。此外，也可再具有缺口部的规格等的资讯。表示该缺口部的资讯可藉例如缺口检测装置1036来取得。取得部103以何种方式取得工件10的朝向特定用资讯均可。例如，取得部103也可使用上述现有技术来取得工件的朝向特定用资讯。
例如，取得部103可使用关于缺口部的大小的一个或两个以上临界值来进行缺口部的检测，经检测后，取得表示缺口部的资讯。所谓关于缺口部的大小的一个或两个以上临界值，指例如有关缺口部的宽度及自边缘起算的距离中的至少一个以上临界值。例如，所谓关于缺口部的大小的临界值，指表示有关自缺口部边缘起算的距离的下限值的临界值、或分别表示缺口部宽度的下限值及上限值的临界值。有关自缺口部边缘起算距离的下限值，指例如缺口部自边缘起算的距离较大的部分，例如距离最大的部分，没有缺口部时自原来的边缘位置起算的距离的下限值。
例如，取得部103可使用多个第一旋转距离资讯，对工件10的边缘11处的朝向工件10内侧呈凹状的连续区域进行检测，并判断该凹状区域内自边缘起算的深度(即，自边缘起算的距离)有无临界值以上的部分，即，自边缘起算的距离有无自缺口部边缘起算距离的下限值的临界值以上的部分，若有临界值以上的部分，则将该凹状区域判断为缺口部，并取得表示该区域的位置的资讯，例如，以旋转角度范围的资讯作为表示缺口部的资讯。
另外，所谓连续区域，是指例如第一距离资讯的取得顺序相连续的部分、或第一距离资讯的对应旋转角度相连续的部分。例如，取得部103可从第一旋转距离资讯、和工件10的半径或者自工件10的旋转中心至边缘的距离的差值来检测连续凹部或连续凸部。此外，也可藉由例如对连续的第一距离资讯进行2阶微分来检测存在于工件10的边缘11的凹状部分或凸状部分的两端。因此，从夹介于依此方式检测的部分的区域内的第一旋转距离资讯的值、或与上述相同工件10的半径等的差值，即可判断该所检测的区域为凹状或凸状。所以，透过以上述方式使用临界值来判断依此方式判定为凹状的工件10的边缘11的区域是否为缺口部，取得部103也可检测缺口部。此外，由于依此方式进行2阶微分等来检测边缘11的缺口部或缺陷部分的处理属公知技术，其详细说明容予省略。
此外，所谓使用多个第一旋转距离资讯，也包含可使用多个第一旋转距离资讯所获得的资讯(例如，使用后述的距离差资讯)等的概念。
再者，取得部103也可例如使用多个第一旋转距离资讯，对工件10的边缘11处向工件10内侧呈凹状的连续区域进行检测，并判断该凹状区域的宽度是否在分别表示缺口部宽度的下限值与上限值的临界值范围，若在范围，则将该凹状区域判断为缺口部，并取得表示该区域位置的资讯(例如，旋转角度范围的资讯)，作为表示缺口部的资讯。
或者，也可将藉由自上述的边缘起算的距离进行的判断及藉由宽度进行的判断加以组合，在自边缘起算的距离为临界值以上，且宽度在临界值所示范围时，即将连续区域判断为缺口部。
此外，本实施形态中，将于后陈述缺口检测装置1036取得表示缺口部资讯的处理，作为取得部103取得朝向特定用资讯的处理具体例。
所谓关于缺陷部分的资讯，为例如表示工件10的缺陷部分的存在位置的资讯，具体而言为表示旋转角度、或缺陷部分存在区域范围的资讯(例如，表示旋转角度范围的资讯)。而且，关于缺陷部分的资讯为表示缺陷部分大小，例如自边缘起算的距离、具体而言为表示缺陷部分的深度或高度、缺陷部分宽度的资讯。关于缺陷部分的资讯也可再具有辨别缺陷部分的识别符、或工件10的识别符。所谓缺陷部分，是指例如工件10的边缘11的毛边、崩缺、尘屑等。此外，关于缺陷部分的资讯也可为表示有无缺陷部分的资讯。再者，关于缺陷部分的资讯也可为表示缺陷部分是工件10的边缘11的凹部或凸部的资讯。例如，关于缺陷部分的资讯为关于缺陷检测装置1037要取得的缺陷部分的资讯。
取得部103使用例如关于缺陷部分大小的一个或两个以上临界值来进行缺陷部分的检测，经检测后，取得关于缺陷部分的资讯。所谓关于缺陷部分大小的一个或两个以上临界值，是指例如有关于缺陷部分的宽度及自边缘起算的距离中至少一个以上的一个或两个以上临界值。
取得部103会例如针对多个第一旋转距离资讯方面，计算出表示边缘11没有缺陷部分时自工件10的旋转中心至边缘的距离(或是工件10的半径)的差的距离，并检测该距离在缺陷部分距离在下限值以上的第一旋转距离资讯，经检测后，取得关于缺陷部分的资讯。例如，取得部103会取得该第一旋转距离资讯所具有的旋转角度资讯等，作为关于缺陷部分的资讯。另外，上述的检测第一旋转距离资讯也包含检测第一旋转距离资讯所具有的第一距离资讯、或检测旋转角度的概念。
此外，取得部103也可例如使用多个第一旋转距离资讯，对工件10的边缘11处向工件10的内侧呈凹状的连续区域、或向工件10的外侧呈凸状的连续区域进行检测，并判断该凹状区域或凸状区域内是否有自边缘起算的距离在缺陷部分自边缘起算距离的下限值的临界值以上的部分，若有临界值以上的部分，即将该凹状区域或凸状区域判断为缺陷部分，并取得关于该缺陷部分的资讯，例如旋转角度范围的资讯。
还有，此处所谓自边缘起算的距离，是指例如未有缺陷或缺口部时的自边缘起算距离、或未有缺陷或缺口部的理想工件以边缘为基准的距离。此处所谓自边缘起算的距离，是指例如工件10自边缘朝工件10的旋转中心的方向的距离、或自边缘朝与工件10的旋转中心相反方向的距离。例如，此处的自边缘起算的距离，是指在工件未有缺口部或缺陷部分时自边缘至缺口部的距离、或自边缘至缺陷部分的距离。此处的自边缘起算的距离也可以为边缘的凹状区域的深度、或凸状区域的高度。此处的自边缘起算的距离也可以为自边缘起算距离的大小、或缺口部或是缺陷部分的深度或高度的大小或绝对值。这种情况在下文中亦属相同。
存在于工件10的边缘11的凹状部分或凸状部分的两端，如上所述，也可利用例如对连续的第一距离资讯施行2阶微分来进行检测。而且，取得部103也可使用上述的临界值来判断夹介于依此方式检测的部分的工件10的边缘11的区域是否为缺陷部分，以检测缺陷部分。
再者，取得部103也可例如使用多个第一旋转距离资讯，对工件10的边缘11处朝工件10的内侧呈凹状的连续区域、或朝工件10的外侧呈凸状的连续区域进行检测，并判断该凹状区域或凸状区域的宽度是否在缺陷部分宽度下限值的临界值以上，若为下限值以上，则将该凹状区域或凸状区域判断为缺陷部，并取得关于该缺陷部分的资讯。此外，作为下限值的临界值，连续区域为凹状时及为凸状时，可使用不同的临界值，也可使用相同的临界值。
或者，也可将藉上述的自边缘起算距离进行的判断与藉宽度进行的判断加以组合，自边缘起算的距离为临界值以上，且宽度为临界值以上时，即将连续区域判断为缺陷部分。
此外，取得部103也可将使用多个第一旋转距离资讯检测的工件朝向特定用缺口部的数量与原来设在工件10的缺口部的数量加以比较，两者数量相异时，即取得表示边缘有缺陷的关于缺陷部分的资讯。
再者，在检测缺陷部分时，取得部103也可以将配置有工件的朝向特定用缺口部的区域除外的方式进行检测，或者，经检测的缺陷部分位在配置有缺口部的区域内时，也可以不取得关于该经检测的缺陷部分的资讯。
还有，于本实施形态中，特别举出取得部103具有：合成装置1031、合成处理装置1032、修正资讯取得装置1033、第二距离资讯取得装置1034、计算装置1035、缺口检测装置1036、缺陷检测装置1037的情况为例来说明。
合成装置1031是用来将包含于多个第一旋转距离资讯的第一距离资讯中其对应的旋转角度逐次相异90度的多个第一距离资讯合成。此处的多个第一旋转距离资讯，是指例如储存于第一旋转距离资讯储存部101的有关作为处理对象的一的工件10的多个第一旋转距离资讯。
所谓将旋转角度逐次相异90度的多个第一距离资讯合成，也可以为例如将对应的旋转角度的差为90度的整数倍的多个第一距离资讯的组对分别加以合成。所谓90度的整数倍为例如90度、180度、270度等。
合成装置1031将例如包含于多个第一旋转距离资讯的第一距离资讯中对应旋转角度逐次相异90度的4个第一距离资讯分别合成，以取得多个合成距离资讯的方式，也可以为例如将对应的旋转角度的差为90度的n倍(n为1至3的整数)的多个第一距离资讯的组对分别合成的情形。
合成有多个第一距离资讯的第一距离资讯，在此是称为合成距离资讯。合成装置1031一般是取得多个合成距离资讯。此处所谓的合成是指例如将一组的多个第一距离资讯合而为一。此处的合成也可为例如取得多个第一距离资讯的平均值，也可为将多个第一距离资讯进行加算的情形。此外，也可为计算多个第一距离资讯的差的平均。例如，合成装置1031会将包含于多个第一旋转距离资讯的第一距离资讯中对应的旋转角度为θ0、θ0+90度、θ0+180度、及θ0+270度的多个第一距离资讯的组对进行合成，并取得合成距离资讯。
合成装置1031也可以任何一种方式将对应的旋转角度逐次相异90度的多个第一距离资讯彼此分别合成。例如，合成装置1031也可藉由将对应的旋转角度值相连续的多个第一旋转距离资讯持续分割为多个组，使旋转角度值的范围成为90度，且将经分割的各组排列顺序相同的第一旋转距离资讯具有的第一距离资讯彼此间进行合成，以进行上述的合成。
旋转角度的值相连续是意指例如按毎次取得第一距离资讯使工件10旋转时的毎个旋转角度单位的旋转角度值相连续的情形。旋转角度值相连续的情形在此权称为旋转角度相连续。
在此所谓排列顺序是指例如将经分割的各组第一旋转距离资讯沿着第一旋转距离资讯各自具有的旋转角度的上升次序或下降次序排列时的排列顺序。
例如，在藉由使工件作一个旋转等而取得、且具有0度以上未达360度的旋转角度的多个第一旋转距离资讯储存于第一旋转距离资讯储存部101时，合成装置1031首先会将第一旋转距离资讯分割为4部份，使对应的旋转角度范围成为：0度以上未达90、90度以上未达180度、180度以上未达270度、270度以上未达360度。接着，合成装置1031会将经分割的各范围的第一旋转距离资讯所具有的第一距离资讯值按照旋转角度的每个排列顺序(例如，旋转角度的上升次序或下降次序)进行合成，并取得连续的多个合成距离资讯。藉此方式，即可将对应的旋转角度形成逐次相异90度的4个第一距离资讯彼此间分别合成。此外，分割时的旋转角度范围不必从0度开始，也可例如从15度等按毎90度设定旋转角度范围。
再者，也可从旋转角度范围在90度范围的连续多个第一旋转距离资讯，逐一依序取得第一旋转距离资讯，并按所取得的每个第一旋转距离资讯，将具有对该旋转角度分别加算90度、180度、及270度的旋转角度的第一旋转距离资讯进行检测，且将所取得的第一旋转距离资讯与经检测的第一旋转距离资讯分别具有的第一距离资讯加以合成。藉此方式，就可将上述的对应旋转角度逐次相异90度的4个第一距离资讯彼此间依序合成。
透过依此方式将旋转角度逐次相异90度的多个，较佳为4个第一距离资讯的组对依序合成，例如因工件10的旋转中心O从工件10的中心Q偏移所发生的第一距离资讯増减的情形就可消除。
而且，在合成所得的各合成距离资讯中，将例如对应合成前的多个第一距离资讯的多个旋转角度的组对对应储存。或者，也可对应储存该旋转角度的组对中的一部分，例如将对应的多个旋转角度中最小值的旋转角度对应储存。
合成处理装置1032会在(合成装置1031合成第一距离资讯而取得的资讯的)多个合成距离资讯中，将对应旋转角度相连续的多个合成距离资讯，且其值的大小变化较小的多个合成距离资讯加以检测。然后，合成处理装置1032会取得与经检测的多个合成距离资讯中的一个以上对应的合成前多个第一距离资讯、及与合成前的多个第一距离资讯中的一个以上第一距离资讯对应的旋转角度。
所谓合成距离资讯值的大小是指例如合成距离资讯的绝对值。所谓值的大小变化较小的多个合成距离资讯，是指例如值的大小变化量的最大值等较其他相连续的多个合成距离资讯为小的连续多个合成距离资讯。所谓连续多个合成距离资讯，是指预先指定的两个以上数目以上相连续的合成距离资讯。此处所谓的连续，意指对应于合成距离资讯的一个以上旋转角度的一个以上相连续的情形。如上所述，合成距离资讯中，因工件10的旋转中心O从工件10的中心Q偏移而发生的第一距离资讯的増减业已消除，故大小变化较大部分的合成距离资讯即为例如工件10的边缘11有凹凸的部分。所谓边缘11的凹凸，是指定向扁平部17或V形槽部等缺口部、工件10的毛边或崩缺、尘屑等。所谓崩缺，是指例如工件10边缘的破裂或缺缝等缺损部分。大小变化较小的部分的合成距离资讯是指例如无凹凸或凹凸较小的部分，而该部分的大小变化是因例如测定时的误差等所致者。
合成处理装置1032将例如值的大小变化量较大的合成距离资讯除外，并取得其余合成距离资讯中对应的旋转角度呈连续的多个合成距离资讯，作为值的大小变化较小的多个合成距离资讯。
合成处理装置1032会在例如合成装置1031所合成的多个合成距离资讯中，将从值较大者依序检测一个以上合成距离资讯的第一处理、及从值较小者依序检测一个以上合成距离资讯的第二处理的至少一个执行1次以上。此外，未经第一处理及第二处理检测的其余合成距离资讯相当于合成处理装置1032所检测的值的大小变化较小的多个合成距离资讯。另外，此处的合成距离资讯检测也可以为除外对象的合成距离资讯检测。
第一处理是针对例如合成装置1031所合成的多个合成距离资讯检测其最大值的合成距离资讯的处理。具体而言，是为从未检测的合成距离资讯中检测其最大值的合成距离资讯的处理。再者，第二处理是针对例如合成装置1031所合成的多个合成距离资讯检测其最小值的合成距离资讯的处理。具体而言，是为从未经检测的合成距离资讯中检测其最小值的合成距离资讯的处理。
合成处理装置1032较佳为将第一处理与第二处理分别实施多次。也可将多次的第一处理与多次的第二处理以任一种次序实施多次。例如，也可将第一处理与第二处理交替逐次实施。又，也可在多次的第一处理结束后，实施多次的第二处理。此外，第一处理与第二处理的任一处理最先实施均可。
还有，反复实施第一处理时，业已在刚刚处理中检测过的合成距离资讯排除于检测对象之外。例如，对于已检测的合成距离资讯，是使其与表示完成检测的旗标等资讯对应，该旗标等资讯所对应的合成距离资讯，就不再于之后的检测处理中进行检测。这种方式在反复实施第二处理时也是相同。
再者，合成处理装置1032会将第一处理或第二处理等中已检测的合成距离资讯依序删除，或者也可对已检测者附注表示已删除的旗标等资讯。此时，例如合成处理装置1032也可以从未在第一处理中删除的合成距离资讯检测其最大值的合成距离资讯。其次，例如合成处理装置1032也可以从未在第二处理中删除的合成距离资讯检测其最小值的合成距离资讯。
再者，反复实施第一处理时，合成处理装置1032会例如反复实施第一处理，直到符合预先指定条件。例如，所谓检测合成距离资讯直到符合预先指定条件，是指对合成距离资讯进行检测直到到达预先指定数。此外，预先指定条件也可为未经检测的其余合成距离资讯的最大值与最小值之差达到预先指定临界值以下等情况。这种方式在第二处理中也是相同。
有关反复第一处理及反复第二处理的上述预先指定条件为次数时，第一处理条件的次数与第二处理条件的次数也可设为不同的次数。例如，合成距离资讯为表示将自工件10的旋转中心至边缘的距离的第一距离资讯加以合成所得资讯时，一般，包含将以定向扁平部或V形槽部等缺口部取得的第一距离资讯的多个第一距离资讯加以合成所得的合成距离资讯，相较于以其他部分取得的合成距离资讯，其值较小，甚至由于这种缺口部所存在的旋转角度范围很广，为了将与这种缺口部对应的合成距离资讯当作变化较大部位进行检测，较佳为将合成距离资讯值较小者的检测数设定成多于值较大者的检测数。因此，在这种情况中，较佳为将针对第二处理的预先指定条件的反复次数值设定成较针对第一处理的预先指定条件的反复次数值为大的值。
合成处理装置1032会例如在未于第一处理及第二处理检测的其余合成距离资讯中，取得与预先指定数以上相连续的多个合成距离资讯中的一个以上对应的合成前多个第一距离资讯、及与该多个第一距离资讯中的一个以上对应的旋转角度。预先指定数为2以上的数目。
或者，合成处理装置1032会例如在未于第一处理及第二处理中检测的其余合成距离资讯中，取得与相连续数最多的多个合成距离资讯中的一个以上对应的合成前多个第一距离资讯、及与该多个第一距离资讯中的一个以上对应的旋转角度。
合成处理装置1032会对例如对应的旋转角度相连续的多个合成距离资讯，且为值的大小变化较小的多个合成距离资讯进行检测，并取得与经检测的多个合成距离资讯中的一个对应的合成前4个第一距离资讯、及与合成前的多个第一距离资讯中的一个的第一距离资讯对应的旋转角度。合成前的4个第一距离资讯是指对应的旋转角度逐次相异90度的4个第一距离资讯。该4个第一距离资讯是表示通过旋转中心且成正交的2条直线与工件10的边缘相交的4个点、和工件旋转中心的距离。
作为与合成前的多个第一距离资讯中的一个以上第一距离资讯对应的旋转角度，要取得与一个或两个以上的那一个第一距离资讯对应的旋转角度，是按照例如后述的修正资讯取得装置1033取得修正资讯时要使用那种旋转角度来决定。例如，一个合成距离资讯为旋转角度逐次相异90度的4个第一距离资讯所合成者时，合成处理装置1032会就值的大小变化较小的多个合成距离资讯进行检测，并取得一旋转角度，该旋转角度是与已检测的多个合成距离资讯中的一个对应且与合成前4个第一距离资讯对应，而实质上角度值最小者。或者，也可取得与已检测的多个合成距离资讯中的一个对应的合成前4个第一距离资讯对应，且为自0度至90度范围之一的旋转角度。另外，例如，360度+D度(D为正值)的旋转角度也可实质上为D度。而且，－D度也可实质上为360度－D度。
此外，为了检测与上述的定向扁平部17对应的合成距离资讯，合成处理装置1032也可将较合成距离资讯的平均值为小的多个合成距离资讯一并检测。
再者，上述中，合成处理装置1032藉由检测例如值较大的合成距离资讯或值较小的合成距离资讯，并将其除外，以检测值的大小变化较小的连续多个合成距离资讯。但，本发明中，合成处理装置1032以那一种方式来检测值的大小变化较小的连续的多个合成距离资讯均可。
例如，合成处理装置1032也可透过使用对连续合成距离资讯进行微分或2阶微分等所得的值，对值的大小变化较大的连续合成距离资讯进行检测并将其除外，对值的大小变化较小的连续多个合成距离资讯加以检测。例如，合成处理装置1032也可在透过相连续的合成距离资讯进行2阶微分等所得的值中，检测预先指定临界值以上的值，对从检测到临界值以上的值的旋转角度到下一个检测到临界值以上的值的旋转角度之间的合成距离资讯进行检测，作为值的大小变化较大的合成距离资讯，并将检测到的合成距离资讯除外所得的合成距离资讯中的连续合成距离资讯进行检测，作为值的大小变化较小的连续多个合成距离资讯。
修正资讯取得装置1033使用合成处理装置1032所取得的多个第一距离资讯及旋转角度，来取得用以使工件10的旋转中心对准工件10的中心的修正资讯，作为工件10对准位置用资讯。修正资讯也可以为用以使工件10的旋转中心移动到工件10的中心的资讯、或表示位置偏移方向或大小的资讯。修正资讯为例如表示旋转中心移动方向的资讯(例如，相对于预先指定方向的角度)与移动距离的组合。此外，修正资讯也可为表示工件10的中心的移动方向及移动距离的向量等。此外，修正资讯也可为将工件10的中心及工件10的旋转中心配置于正交座标系时用以使工件10的旋转中心移动到工件10的中心上表示顺沿各座标轴的移动量的资讯。
修正资讯取得装置1033使用例如合成处理装置1032所取得的对应旋转角度逐次相异90度的4个第一距离资讯、及与其中的一个对应的旋转角度，以取得用以使工件10的旋转中心移动到工件10的中心的修正资讯。
以下，使用图2(b)就修正资讯的一个取得处理例加以说明。此外，图2(b)中，第一距离资讯ra、rb、rc、rd为合成处理装置1032针对一个合成距离资讯所取得的对应旋转角度逐次相异90度的4个第一距离资讯，且分别对应的旋转角度设为θ、θ+90、θ+180、θ+270。但，θ设为任意值。此处，θ设为例如从0度至90度范围的角度。点Pa、Pb、Pc、及Pd为工件10的边缘11上对应于第一距离资讯ra、rb、rc、及rd的点，旋转中心O分别与点Pa、Pb、Pc及Pd的连结线段的距离为第一距离资讯ra、rb、rc及rd。点Pa与点Pc的连结线段与点Pb与点Pd的连结线段在旋转中心O上成正交。此处，为了方便说明，将工件10的旋转中心O配置在xy座标的原点。此处，工件10的旋转方向设为顺时针方向。与第一距离资讯ra对应的线段和x轴所构成的角度为旋转角度θ，反时针方向设为正值。工件10的旋转中心O与工件10的中心Q的连结线段和x轴构成的角度α为修正资讯中表示移动方向的资讯；反时针方向在此设为正值。此外，工件10的旋转中心O与工件10的中心Q的连结线段的长度h为表示修正资讯中的移动量(移动距离)的资讯。用以取得第一距离资讯的感测器(未图示)例如在y轴上沿y轴配置。
图2(b)中，与点Pa和点Pc的连结线段、及点Pb和点Pd的连结线段对称的线段拉到工件10的中心Q时，表示作为修正资讯的移动方向的资讯α及表示移动量的长度h从以下方程式求得。
【式1】
α＝tan-1((rb-rd)/(ra-rc))+θ····(1)
Figure BDA0001836789620000171
再者，上式中，由于ra－rc及rb－rd为距离的差，故可知即使在第一距离资讯为感测器等的读取值、或自感测器的基准点等起算的距离时，上式也能成立。
此外，上述所示的修正资讯的取得处理仅为一个例子，本发明以何种方式从合成处理装置1032取得的第一距离资讯与旋转角度的组对以何种方式取得修正资讯，则不拘。
又，上述中，修正资讯取得装置1033使用针对合成处理装置1032取得的一个合成距离资讯所取得的4个第一距离资讯及一个旋转角度来取得修正资讯，但合成处理装置1032也可针对多个合成距离资讯分别取得的多个第一距离资讯与旋转角度的组对，与上述同样地分别来取得修正资讯，且取得针对各组对所取得的修正资讯的平均值作为最终的修正资讯。
第二距离资讯取得装置1034使用修正资讯取得装置1033所取得的修正资讯，来取得工件10为边缘11无凹凸的圆形时表示旋转角度与相应于旋转角度的第二距离资讯的关系的关系式。第二距离资讯指关于边缘11无凹凸的工件10自旋转中心至边缘11的距离资讯。接着，将与储存于第一旋转距离资讯储存部101的多个第一旋转距离资讯对应的多个旋转角度分别代入所取得的关系式，以取得第二距离资讯。
第二距离资讯为例如与第一距离资讯同样的资讯。第二距离资讯为相当于例如将边缘11无凹凸的圆形工件取代工件10时可取得的第一距离资讯距离的资讯。
所谓边缘11无凹凸的圆形工件，指边缘没有例如定向扁平部、或V形槽部、或毛边、或崩缺、或尘屑的圆形工件，也可以为与工件10相同规格的理想形状型工件。
关系式为例如表示使边缘11无凹凸的圆形工件10旋转时的旋转角度与对应旋转角度的第二距离资讯的关系的式子。此处的关系式也可以为表示工件10的旋转角度与从对应旋转角度的旋转中心至边缘的距离的关系的理想曲线的式子。再者，第二距离资讯也可以为从理想型工件10的旋转中心至边缘的距离。另外，关系式也可为近似于使边缘11无凹凸的圆形工件10旋转时的旋转角度和对应旋转角度的第二距离资讯的关系的近似式。
此处所谓关系式的取得，也包含读取预先储存于未图示记忆媒体等的关系式、或决定读取的关系式的系数值等、或代入系数值等情况的概念。
第二距离资讯取得装置1034也可例如除了表示修正资讯的移动方向的角度及表示移动量的长度外，再使用工件10的半径来取得关系式。工件10的半径只要预先储存在未图示的储存部等，再适当读取即可。
以下，就关系式的一个例子进行说明。
图5是为用以说明要取得第二距离资讯时所利用的关系式的示意图。图中，与图2(b)相同的符号是表示相同或相当的部分。但，图5中，与图2(b)不同的是，工件10设为边缘无凹凸且半径为a的工件。同时，为了说明的方便，图5中事表示工件10的旋转中心位在工件以外位置的例子。但，旋转中心也可位在工件上。
用极座标来表示如图5所示的旋转中心O从中心Q偏移的圆形工件10的边缘时，即形成如下式的形态。
【式2】
ri 2-2hricos(θ-α)＝a2-h2
针对ri将该式子展开时，即形成下式的形态。
【式3】
Figure BDA0001836789620000191
该式(3)为表示使边缘11无凹凸的圆形工件10旋转时的旋转角度与对应旋转角度的第二距离资讯的关系的式子。例如，预先将式(3)储存于未图示的储存部，第二距离资讯取得装置1034将该式读出，透过使用上述式(1)及式(2)取得的修正资讯，具体而言，即表示移动方向的资讯的角度α值、表示移动量的资讯的长度h值、及工件10的半径a，代入该式(3)，就可取得工件10为边缘11无凹凸的圆形工件时表示旋转角度θ与对应旋转角度的第二距离资讯ri的关系的关系式。以下，代入了该α及长度h的值的关系式称为理想曲线式。
此外，取得此处所示的理想曲线式虽属最佳，但以关系式而言，也可取得其他的近似式，例如，使用正弦曲线等制作的近似式等。
另外，上述中，修正资讯取得装置1033使用合成处理装置1032所取得的多个第一距离资讯与旋转角度的一个以上组对从式(1)及式(2)来取得修正资讯。然而，本发明中，修正资讯取得装置1033也可将合成处理装置1032针对一个以上合成距离资讯所取得的多个第一距离资讯、及与各该多个第一距离资讯对应的旋转角度的多个组对分别代入上述式(3)而作成联立方程式，并透过解开该联立方程式，而取得修正资讯。而且，也可适当地将工件10的半径酌情代入对该联立方程式。这种方式在使用其他近似式的情况中亦属相同。
第二距离资讯取得装置1034将与储存于第一旋转距离资讯储存部101的多个第一旋转距离资讯对应的多个旋转角度分别代入所取得的关系式，例如理想曲线式，以取得第二距离资讯。还有，与多个第一旋转距离资讯对应的多个旋转角度不必一定须是从第一旋转距离资讯储存部101读取者，只要是与多个第一旋转距离资讯所具有的多个旋转角度实质上相同的多个旋转角度即可。例如，也可取得实质上相同的多个旋转角度来使用。例如，使用每次从工件10取得一个第一距离资讯令工件10旋转的角度值等，藉由例如将该角度值依序加算等方法，来取得与多个第一旋转距离资讯所具有的多个旋转角度实质上相同的多个旋转角度。
第二距离资讯取得装置1034使将多个旋转角度依序代入关系式而取得的第二距离资讯(例如，第二距离资讯ri)与旋转角度形成对应，并储存于未图示的储存部等。此处的储存也可为暂时记忆。第二距离资讯取得装置1034所取得并储存的第二距离资讯与旋转角度的各个组对，在此称为第二旋转距离资讯。此外，也可以为第二距离资讯取得装置1034取得第二旋转距离资讯。
计算装置1035使用储存于第一旋转距离资讯储存部101的多个第一旋转距离资讯、及第二距离资讯取得装置1034所取得的多个第二距离资讯，来取得与相同旋转角度形成对应的第一距离资讯与第二距离资讯的差。例如，计算装置1035依序取得与相同旋转角度形成对应的第一距离资讯及第二距离资讯的差。此处的差可为从第一距离资讯值减去第二距离资讯值所得的值，也可为其相反的值。此外，只要是仅单纯检测边缘有缺陷的部位，此处的差也可为差的大小，例如为差的绝对值。此外，第一距离资讯与第二距离资讯的差，在此称为距离差资讯。
例如，计算装置1035使所取得的距离差资讯与旋转角度形成对应，并储存于未图示的储存部等。此处的储存也可为暂时记忆。
缺口检测装置1036使用计算装置1035所计算的距离差资讯来取得表示工件10的缺口部的资讯，作为工件10的朝向特定资讯。缺口部是指如上述方式设在工件10的边缘11且用以特定工件10的朝向的定向扁平部或V形槽部等部分。表示缺口部的资讯是指例如表示工件10设有缺口部的部分的旋转角度范围的资讯、或表示针对缺口部所取得的多个第一距离资讯的资讯。
缺口检测装置1036使用例如计算装置1035所计算的距离差资讯及关于缺口部大小的一个以上临界值，来检测设于工件10的边缘11的缺口部，并取得表示经检测的缺口部的资讯。
所谓关于缺口部大小的一个以上临界值，是指关于上述的缺口部自边缘起算距离的临界值、或关于缺口部宽度的临界值。
缺口检测装置1036使用例如计算装置1035所计算的距离差资讯，来检测边缘11朝工件10的内侧呈凹状的连续区域，而该区域为具有表示预先指定缺口部自边缘起算的距离的下限值的临界值以上的距离差资讯，且其宽度在分别表示预先指定缺口部的宽度下限值与上限值的临界值范围的区域。接着，取得表示与经检测的区域对应的位置的资讯，例如表示针对旋转角度或经检测的区域所取得的多个第一距离资讯的资讯，作为表示设在工件10的边缘11的缺口部的资讯。
边缘11为朝工件10的内侧呈凹状的连续区域，透过例如将与表示第一距离资讯所示位置较第二距离资讯所示位置更靠工件内侧的距离差资讯形成对应的连续区域进行检测，即可测出。例如，第一距离资讯为自工件10的旋转中心至边缘11的距离，距离差资讯为自第二距离资讯减去第一距离资讯所得值时，即可将边缘11的距离差资讯为正值的连续区域当作凹状连续区域检测出来。还有，也可对距离差资讯的大小相较于经考量测定误差的值而预先设定的临界值为大的连续区域进行检测作为凹状连续区域。此时的临界值设定在例如0的前后值。这种方式在检测边缘11的缺陷部分时亦是同样。此外，这种方式在检测连续的凸状区域时也是同样。
另外，也可使用分别表示自边缘起算的距离的下限值与上限值的临界值，来取代表示上述自缺口部边缘起算的距离下限值的临界值，以判断连续区域的距离差资讯的最大值或其前后值等是否为该临界值所示范围的值，并使用范围的值的情况，来取代表示具有自缺口部边缘起算距离下限值的临界值以上的距离差资讯的区域的判断结果。同样地，也可使用表示宽度下限值的临界值，来取代分别表示宽度下限值与上限值的临界值，且使用连续区域的宽度在宽度下限值以上的情况，来取代分别表示缺口部宽度在下限值与上限值的临界值范围时的判断结果。又，在判断连续区域是否为缺口部时，也可只判断自边缘起算的距离或宽度，来取代判断自边缘起算的距离与宽度。另外，这些组合可予以适当变更。这种方式在检测边缘11的缺陷部分时亦属相同。
此外，缺口检测装置1036也可在计算装置1035所计算的第一距离资讯与第二距离资讯的差(即，距离差资讯)中，检测其值的大小较预先指定第一临界值为大的部分，并取得表示与经检测的部分对应的旋转角度资讯，作为表示工件10的缺口部的资讯。在工件10为无凹凸的圆形时的自缺口部边缘起算的距离，一般是比存在于工件10的边缘的崩缺等的距离更深。而且，缺口部的深度(自边缘起算的距离)为已知的值。因此，透过将第一临界值设定为较崩缺等的深度(自边缘起算的距离)为大，且较已知的缺口部深度(自边缘起算的距离)为小的值，就可检测与缺口部对应的一个以上距离差资讯，并可取得表示缺口部的资讯。
第一临界值也可为例如值的大小的临界值。所谓值的大小较第一临界值为大的距离差资讯的检测，也可为例如绝对值的值较第一临界值为大的距离差资讯的检测。这种情形对后述的第二临界值亦属相同样。
还有，与缺口部对应的距离差资讯的值是否成为正值或负值，依从第一距离资讯减去第二距离资讯以取得距离差资讯、或从第二距离资讯减去第一距离资讯以取得距离差资讯而有不同。
缺口检测装置1036对数值的大小较第一临界值为大的多个距离差资讯、且对应的旋转角度相连续的多个距离差资讯进行检测时，也可将该多个旋转角度群组化。而且，缺口检测装置1036也可取得再具有表示该群组的资讯的表示缺口部的资讯。表示群组的资讯为例如表示对应旋转角度的范围的资讯、或对应旋转角度的集合、或赋予对应旋转角度的群组识别符等。这种情形对后述的表示缺陷部分群组的资讯亦属相同。此外，此时的旋转角度的一个群组也可以为例如与一个缺口部上的多个位置对应的多个旋转角度、或表示缺口部范围的资讯。
还有，缺口检测装置1036也可将检测值的大小较第一临界值为大、且对应的旋转角度具有预先指定超过二个以上数值的相连续多个距离差资讯的区域，作为缺口部。一般，由于缺口部在工件10的边缘上设定于宽广范围，故依此方式进行检测，可更确实地检测缺口部。
缺口检测装置1036也可对一个工件10检测多个缺口部。
缺陷检测装置1037使用计算装置1035所计算的第一距离资讯与第二距离资讯的差(即，距离差资讯)来取得关于工件10的边缘11的缺陷部分的资讯。
例如，缺陷检测装置1037会使用计算装置1035计算所得的第一距离资讯与第二距离资讯的差、及关于缺陷部分大小的一个以上临界值，以检测工件10的边缘11的缺陷部分，并取得关于经检测的缺陷部分的资讯。
例如，缺陷检测装置1037会例如在计算装置1035计算所得的距离差资讯中，检测出值的大小在表示缺陷部分自边缘起算距离下限值的临界值以上的距离差资讯，检测后，即取得关于缺陷部分的资讯。还有，也可使用表示缺陷部分深度下限值的临界值、及表示缺陷部分高度下限值的临界值，来取代使用有关缺陷部分自边缘起算距离的下限值作为临界值，以检测其值非为表示缺陷部分深度下限值的临界值与表示缺陷部分高度下限值的临界值间的值的距离差资讯。
再者，缺陷检测装置1037也可例如使用计算装置1035计算所得的距离差资讯，对工件10的边缘11处朝工件10的内侧呈凹状的连续区域、或朝工件10的外侧呈凸状的连续区域进行检测，并判断该凹状区域或凸状区域内有无距离差资讯值的大小在表示缺陷部分自边缘起算距离下限值的临界值以上的部分，若有临界值以上的部分，即将该凹状区域或凸状区域判断为缺陷部分，并取得关于该缺陷部分的资讯，例如旋转角度范围的资讯。
此外，缺陷检测装置1037也可例如使用计算装置1035计算所得的距离差资讯，对工件10的边缘11处朝工件10的内侧呈凹状的连续区域、或朝工件10的外侧呈凸状的连续区域进行检测，就该凹状区域或凸状区域的宽度是否在缺陷部分宽度下限值的临界值以上加以判断，若在下限值以上，则将该凹状区域或凸状区域判断为缺陷部，并取得关于该缺陷部分的资讯。
还有，在连续区域为凹状时及为凸状时，可使用不同的临界值，也可使用相同的临界值，作为用以检测上述的连续区域是否为缺陷部分所使用的一个以上临界值。
或者，也可将上述依深度进行的判断与依宽度进行的判断加以组合，在自边缘起算的距离为临界值以上，且宽度为临界值以上时，将连续区域判断为缺陷部分。
再者，缺陷检测装置1037也可在例如计算装置1035计算所得的第一距离资讯和第二距离资讯的差(即，距离差资讯)中，将值的大小较预先指定第二临界值为大的部分进行检测，然后，可取得关于经检测的部分的资讯，作为关于工件10的边缘11的缺陷部分资讯。
第二临界值为用以判别工件10的边缘11的缺陷不存在部分、及工件10的边缘11的缺陷部分的临界值。例如，工件10的边缘11不存在缺陷的部分中，第一距离资讯与第二距离资讯的值的差，即为取得第一距离资讯时的测定误差程度的差。另一方面，在缺陷存在的部分，该差会即为充分大于测定误差的差。因此，透过将第二临界值设定在例如较测定误差为大的值，就可检测工件10的边缘11的缺陷部分。
关于经检测部分的资讯(即，关于经检测的距离差资讯)，是指例如表示与经检测的距离差资讯对应的旋转角度的资讯、或经检测的距离差资讯与表示对应的旋转角度的资讯的组对。例如，经检测的距离差资讯可以为表示缺陷部分的深度或高度的资讯。
还有，缺陷部分是否像毛边那样凸出工件10的外侧、或像崩缺那样朝工件10的内侧凹入的部分，由于可藉例如第一距离资讯的基准点等及距离差资讯码来判断，故缺陷检测装置1037也可藉距离差资讯码来判断缺陷部分是否为向外侧凸出的形状。而且，缺陷检测装置1037也可取得关于再具有该检测结果的缺陷部分的资讯。
此外，缺陷检测装置1037对数值的大小较第二临界值为大、且对应的旋转角度为相连续的多个距离差资讯进行检测后，也可将该多个距离差资讯或多个旋转角度群组化。而且，缺陷检测装置1037也可取得关于再具有表示该群组的资讯的缺陷部分资讯。此种情况的距离差资讯的一个群组也可以为例如针对一个缺陷部分上的多个位置的距离差资讯。此外，此时的旋转角度的一个群组也可以为例如表示一个缺陷部分上的多个位置的多个旋转角度、或表示缺陷部分范围的资讯。
另外，在上述的处理的情形中，工件10的定向扁平部等缺口部也会被当作缺陷部分而受到检测。在缺口部被当作缺陷部分来检测也没有问题的情形中，用上述的处理即可，但缺口部部当作缺陷部分检测时，就不要将缺口部当缺陷部分检测，或者，必须把缺口部从缺陷部分排除。
因此，例如缺陷检测装置1037在使用第二临界值检测所得的距离差资讯中就对应的旋转角度为超过二个以上预定数相连续的多个距离差资讯加以检测。该预定数设定为与例如设在工件10的缺口部的长度(即，旋转角度)相应的数目。而且，透过将依此方式检测所得的多个距离差资讯从缺陷部分排除，就可将缺口部除开，而以优异精确度检测缺陷部分。
或者，缺口检测装置1036也可将所取得的表示缺口部的旋转角度除外，仅针对对应的旋转角度的距离差资讯，使用与上述同样的第二临界值进行缺陷部分的检测处理。
或者，缺陷检测装置1037也可在计算装置1035计算所得的第一距离资讯与第二距离资讯的差(即，距离差资讯)中，就值的大小较预先指定的第一临界值为小、且较第二临界值(其值的大小亦较该第一临界值为小)为大的部分进行检测。然后，取得关于检测部分的资讯，作为有关工件10的边缘11的缺陷部分资讯。又，缺陷检测装置1037也可对值的大小和第一临界值相同的距离差资讯也加以检测。第一临界值为例如上述那种用以检测工件10的缺口部的临界值。第二临界值与上述同样。透过此种方式，即可不检测较第一临界值为大的距离差资讯，而依不包含缺口部的方式以优异精确度检测缺陷部分。
输出部104将取得部103所取得用以使工件对准位置的资讯进行输出。再者，输出部104将取得部103所取得用以特定工件的的朝向的资讯进行输出。此外，输出部104将取得部103所取得关于缺陷部分的资讯进行输出。例如，输出部104将取得部103所取得用以使工件对准位置的资讯的修正资讯予以输出。再者，输出部104将取得部103所取得特定工件朝向用资讯的缺口部表示资讯予以输出。这些输出也可具有工件10的识别符。
此处所谓的输出，是包含对显示器的显示、使用投影机的投影、声音输出、警示灯的亮灯、以印表机印刷、对外部装置传送、对记录媒体储存、处理结果朝其他处理装置或其他程式等递交等概念。输出部104可藉由例如输出装置、或输出装置的驱动器等来实现。这种情形在后述的距离差相关输出装置1039等亦属相同。
例如，输出部104也可将用以使工件10对准位置的资讯、及用以特定工件10的朝向的资讯输出到后述的工件输送装置2。而且，工件输送装置2也可在使用这些资讯从边缘位置检测器102取出工件10、或输送工件10、或将工件10载置于预定场所时，透过修正工件10的朝向或位置将工件10朝向适当方向载置于适当位置。
此外，例如，输出部104也可将工件10的对准位置用资讯、及工件10的朝向特定用资讯传送到边缘位置检测器102等。透过使用这些资讯，例如使边缘位置检测器102将工件10位置或方向变更到适当位置或方向，并将工件10送到工件输送装置2，工件输送装置2即可将工件10朝向适当方向载置于适当位置。
例如，输出部104透过输出修正资讯，受理该修正资讯的工件输送装置2等就可在利用工件10时适当修正工件10的位置，使工件10的旋转中心成为工件10的中心。例如，也可透过将修正资讯输出到输送工件10的工件输送装置2等，让工件输送装置2等使工件10的旋转中心修正为工件10的中心，并输送工件10。再者，也可透过将修正资讯输出到具有用以修正工件10位置的移动装置(未图示)等的边缘位置检测器102等，藉由边缘位置检测器102等使转盘52移动或旋转，而在将工件10递交给工件输送装置2时，使工件10的位置移动，俾使旋转中心成为工件10的中心。
此外，透过由输出部104将表示工件缺口部的资讯输出，受理该修正资讯的工件输送装置2或边缘位置检测器102等就可将工件10的朝向适当修正，使工件10的朝向成为预先指定的朝向。
输出部104也可按照取得部103所取得关于缺陷部分的资讯再进行异常输出。所谓的异常输出，是指工件10的边缘11有异常时的输出。异常输出可为表示工件10的边缘11有异常情形的输出，也可为对外部装置等指示执行对应异常动作的输出。
所谓异常输出，是指例如表示发生异常情形的警告等的输出。所谓警告的输出，是指例如警告声音的输出、监视器等的警告表示、警示灯的点亮等。警告的输出也可具有经检测缺陷部分的工件10的识别符等。
再者，异常输出也可为指示停止对工件10进行操作的输出。所谓对工件10进行操作，是指以工件输送装置2输送工件10、边缘位置检测器102等对工件10进行定位等、工件输送装置2的输送对象对工件10执行预先指定处理等。输出部104将例如停止操作的指示对工件输送装置2、边缘位置检测器102、或对工件10执行处理的处理装置(未图示)等输出。藉此方式，就可对边缘有异常的工件10停止操作。
此外，异常输出也可为例如检测到有异常的工件10的回收指示的输出。此处的回收，例如，使之移动到预先指定的回收用场所、将工件10从一般的处理途径除外、使之避开、从输送路径除开等。例如，输出部104会将检测到有异常的工件10的回收指示输出到工件输送装置2等。透过工件输送装置2依照该指示将工件10输送到预先指定的回收用场所等，即可不对检测到有异常的工件进行后续的操作或处理等。此外，也可对所回收的工件进行缺陷检查等。
输出部104也可在例如取得部103取得关于一个缺陷部分的资讯时进行异常输出。再者，输出部104也可在取得部103所取得关于缺陷部分的资讯符合预先指定条件时，进行异常输出。例如，也可从取得部103所取得关于缺陷部分的资讯，来判断取得部103是否检测到预先指定的k个(k为2以上的整数)以上缺陷部分，在判断为检测到有k个以上缺陷部分时，就进行异常输出。此外，取得部103所取得关于缺陷部分的资讯中，包含了表示自边缘起算距离的最大值为预先指定值以上的缺陷部分资讯时，就进行异常输出。
评估相关资讯受理部105受理评估相关资讯，该评估相关资讯为针对一个或两个以上工件10的边缘11的缺陷部分进行评估的相关资讯。评估相关资讯受理部105较佳为受理有关多个工件10的评估相关资讯。
所谓评估相关资讯，是指例如评估用于缺陷部分检测处理的一个以上临界值所使用的资讯。用于缺陷部分检测处理的一个以上临界值，是为例如关于缺陷部分大小的一个以上临界值。
评估相关资讯是指一种资讯，其中具有表示例如在工件处理装置1判断为无缺陷部分的工件10(例如，取得部103未能取得关于缺陷部分资讯的工件10)中实际上有无缺陷的资讯。再者，评估相关资讯是指一种资讯，其中具有表示例如在工件处理装置1判断为有缺陷部分的工件10(例如，取得部103已取得关于缺陷部分资讯的工件10)中实际有无缺陷、或有否评估为有缺陷的资讯。例如，表示实际有无缺陷的资讯，也可为表示工件10在经工件处理装置1处理后的处理工程中可否正常利用的资讯(例如，表示是否未破损的资讯)、或表示对检测到有缺陷部分的工件10执行缺陷部分检测的再检查(亦包含目视等)结果的资讯。检测到有缺陷部分的工件10，也可为经由异常输出而回收的工件10。
又，评估相关资讯也可为一种资讯，其中包含例如表示缺陷部分检测正确或错误的正误资讯。正误资讯是为表示工件处理装置1的缺陷部分检测结果是否正确的资讯。例如，对取得部103未取得关于缺陷部分的资讯的工件10评估实际有无缺陷，若无缺陷，则在评估相关资讯中储存表示取得部103的缺陷部分检测正确的正误资讯，若有缺陷，则储存表示缺陷部分的检测不正确的正误资讯。此外，例如，对取得部103取得关于缺陷部分资讯的工件10评估实际有无缺陷，若无缺陷，则在评估相关资讯储存表示取得部103的缺陷部分检测不正确的正误资讯，若有缺陷，就储存表示缺陷部分检测正确的正误资讯。缺陷部分检测的正误可从例如上述的工件10的再检查结果、或表示工件10在后续的处理中可否正常利用的资讯来判断。
此外，评估相关资讯也可再具有关于工件处理装置1的后续程序处理的资讯。例如，也可为表示一个或两个以上后续程序处理的种类(例如，热处理、CVD、CMP、蚀刻等)的资讯、用于处理的装置的识别符、该处理的处理时间或压力、温度等参数、用于处理的气体种类或浓度、用于处理的液体种类或浓度等。
又，评估相关资讯也可包含工件10的规格、工件材料种类或组成等关于工件10的资讯。
再者，评估相关资讯也可具有取得部103所取得关于缺陷部分的资讯，例如关于缺陷部分大小的资讯、或以工件10的再检查等所取得关于相同缺陷部分的资讯等。
还有，评估相关资讯也可具有用于检测缺陷部分处理关于缺陷部分大小的一个以上临界值。但，对现在取得部103利用中的一个以上临界值进行评估的情况，且为在使用藉由该现在的临界值针对已进行缺陷部分检测处理的工件10评估相关资讯的情况下，评估相关资讯也可不具有临界值。
所谓的受理是包含从键盘或滑鼠、触控板等输入装置输入资讯的受理、经由有线或无线通讯线路传送的资讯接收、从光碟或磁碟、半导体记忆体等记录媒体读取的资讯受理等概念。
评估相关资讯受理部105所受理的评估相关资讯是储存于例如未图示的储存部等。
评估相关资讯受理部105得以输入装置的驱动器、选单画面的控制软体、或接收装置等来实现。
设定部106使用评估相关资讯，来取得取得部103用于缺陷部分检测关于大小的一个或两个以上临界值。然后，使用所取得的临界值，设定取得部103用于缺陷部分检测的关于大小的临界值。此处的设定亦包含例如藉由内定(预设default)等或使用者等所设定的取得部103用于缺陷部分检测的一个或两个以上临界值的更新(例如覆写(overwrite)等概念。
例如，在取得部103已使用有关缺陷部分自边缘11起算距离的一个临界值，对工件10进行缺陷部分检测时，判断为未检测到缺陷部分的一个或两个以上的预定数以上的工件10中，具有表示经判断为实际有缺陷部分的工件10的资讯的评估相关资讯已为评估相关资讯受理部105所受理时，设定部106即取得较由取得部103所使用有关缺陷部分自边缘11起算的距离的一个临界值的值更容易检测缺陷部分的临界值(例如，较小值的临界值)，并以该临界值来更新取得部103所利用有关自边缘11起算距离的临界值。藉此方式，自边缘11起算距离的变化更小的部分也可作为缺陷部分加以检测，而可减少缺陷部分的检测遗漏。另外，在此情况中，也可将尚有以再检查等取得的表示缺陷部分自边缘11起算距离的资讯的评估相关资讯加以受理，使用虽未检测到缺陷部分但实际上有缺陷部分的工件10的表示缺陷部分自边缘11起算距离的资讯，而取得可检测到该缺陷部分的临界值。
此外，例如，在检测到缺陷部分的一个或两个以上的预定数工件10中，在再检查等时，包含有表示实际上未检测到缺陷部分的资讯的评估相关资讯已为评估相关资讯受理部105受理时，设定部106也可取得较取得部103所使用有关缺陷部分自边缘11起算距离的一个临界值的值更难检测缺陷的临界值(例如，取得较大值的临界值)，并以该临界值来更新取得部103正在进行利用中自边缘11起算距离的临界值，作为有关自边缘起算距离的临界值。
再者，设定部106也可使用具有正误资讯及临界值的评估相关资讯进行机器学习，而取得有关缺陷部分大小的一个以上临界值。例如，设定部106会使用评估相关资讯受理部105所受理的针对多个工件评估相关资讯的正误资讯、关于缺陷部分大小的一个以上临界值、及关于上述的工件处理装置1的后续程序处理的资讯或关于工件10的资讯(例如，工件的种类等资讯)、或关于缺陷部分的资讯等中的一个以上资讯的组合使用作为学习数据进行学习。并且，例如，工件处理装置1针对一个以上工件10进行处理等时，在设定缺陷检测用临界值时，就工件10与上述学习同样地，针对关于工件处理装置1的后续程序处理的资讯、或关于工件10的资讯、或关于缺陷部分的资讯等其中一个以上资讯、及关于缺陷部分大小的一个以上临界值(例如，有关自边缘起算距离的临界值或宽度的临界值)而预先准备的多个临界值的各个的组对，透过经由上述评估相关资讯受理部105等进行输入，并使用学习结果评估各个组对。然后，获得具有表示可针对缺陷部分正确判断的正误资讯的评估结果时，也可取得包含于上述组对的临界值之中的一个(例如，最大临界值等)，作为有关缺陷部分大小的一个以上临界值。而且，也可将该临界值设定作为缺陷部分检测用临界值。
透过依此种方式，即可按照后续程序的处理、或工件种类等，使用适当的临界值，以优异精确度检测工件10的边缘11的缺陷部分。
有关使用学习数据的学习，SVR等学习模型为可利用的公知技术。此时，学习数据也可以为教师数据。
此外，设定部106也可从评估相关资讯具有的一个关于工件10的缺陷部分资讯、及表示实际上工件10的边缘11有无缺陷部分的资讯适当取得正误资讯。
再者，上述中，也可学习工件10的处理结果(例如，工件10是否破损等)以取代正误资讯，学习工件10的缺陷部分自边缘11起算的距离以取代临界值。此时，透过将具有关于工件处理装置1的后续程序处理的资讯、或关于工件10的资讯、或关于缺陷部分的资讯等中的一个以上资讯、及缺陷部分自边缘起算的各个多个距离的多个组对输入学习结果，可以取得在后续程序未发生破损等的缺陷部分自边缘起算的距离，例如，可透过将该距离当作临界值使用，而适当的检测缺陷部分。另外，也可透过进行这些以外的机器学习来设定关于用在缺陷检测时的规格的临界值，应无庸置疑。
又，设定部106也可从包含于评估相关资讯的过去所利用的临界值、及后续程序的处理、或工件种类等所得参数等的组合，使用多元回归分析等来制作临界值的预测式，藉该预测式来计算和后续程序处理、或工件种类等相应的适当临界值，以设定计算所得的临界值。
接着，使用图3，就边缘位置检测器102的一例加以说明。
边缘位置检测器102具备有用以使供载置工件10的转盘52旋转的转盘旋转机构53，转盘旋转机构53藉电动马达54予以驱动。检测工件10的边缘位置的边缘检测部55具有投光器55a及感测器55b。感测器55b为例如光感测器。感测器55b是一边使输出对应受光量保持特定关系，一边连续性变化的装置，可使用所谓CCD(电荷耦合元件)、PSD(位敏感测器，Position Sensitive Detector，商品名)等输出对入射光量呈直线性变化的装置。感测器55b相当于例如图2(a)的感测器15。边缘检测部55的感测器55b由投光器55a射出光线，藉正下方的工件10减少光量，来产生与到达光量对应的输出。该输出即成为表示工件10的边缘位置的指标。编码器56会检测电动马达54的旋转量并输出数位讯号，而电动马达54的旋转量则与转盘52的旋转角度相当。储存部57将感测器55b的输出及编码器56的输出设为1对数据，并依照转盘52的毎一定旋转角度来进行储存。此外，储存部57也可将感测器55b的输出换算成工件10自旋转中心至边缘11的距离再输出。在此具体例中，储存部57将旋转角度、与感测器55b的输出换算成工件10自旋转中心至边缘11的距离所得的第一距离资讯的组对作为第一旋转距离资讯，并储存于第一旋转距离资讯储存部101。还有，感测器55b的输出为类比讯号时，只要在储存部57与感测器55b之间设置A/D(类比/数位)转换器等即可。
另外，此处所举出的边缘位置检测器102仅为一例，本发明中，只要是能取得与边缘位置检测器102同样的有关工件10的多个第一旋转距离资讯的装置，其他边缘位置检测器102也可使用。
而且，此处的边缘位置检测器102是就工件处理装置1的一部分的情形来表示，但也可将边缘位置检测器102设为例如与工件处理装置1不同的装置。
其次，使用图4，就本实施形态的工件输送系统的一例加以说明。
工件输送系统1000具备工件处理装置1、及工件输送装置2。工件输送系统1000的输送路径1001是以例如未图示的罩盖(cover)等予以覆盖。
工件输送装置2为进行工件10的输送的装置。例如，工件输送装置2具备可使工件朝水平方向或垂直方向移动的输送臂等。在载置有工件10的状态下，藉由使该输送臂移动，即可将工件10输送。工件输送装置2本身也可具有可朝水平方向、或垂直方向移动的构造。但，工件输送装置2的构造等并不拘。
工件输送装置2会对工件处理装置1进行工件10的交接。所谓对工件处理装置1进行工件10的交接，是指例如在工件10的输送中，将工件10输送至工件处理装置1，将工件交递给工件处理装置1，之后，从工件处理装置1接受工件10，输送到其他地点的动作。
工件输送装置2为例如进行从第一地点至工件处理装置1的输送、及从工件处理装置1至第二地点的输送的装置。第一地点为配置有作为输送对象的工件10的地点。第二地点为作为输送对象的工件10的输送目的地的地点。另外，工件输送装置2也可再进行从工件处理装置1至第三地点的输送，该第三地点则作为供载置回收用工件10的地点。例如，工件输送装置2也可按照自外部等输入的指示等，将工件10输送至第二地点或第三地点的任一地点。
此处，作为一个例子，举出工件输送装置2将作为第一地点的容器4所收容的工件10输送至工件处理装置1的转盘52上，并将载置于工件处理装置1的转盘52上的工件10输送至作为第二地点的预先指定处理执行装置(未图示)的载置台6、或作为第三地点的回收用容器5内的情形加以说明。在此情况中，例如，工件输送装置2会经由未图示的接收部等接收工件处理装置1的输出部104所输出的异常输出，接收到异常输出时，即将载置于工件处理装置1的转盘52上的工件10输送到作为第三地点的回收用容器5内，将工件10回收；未接收到异常输出时，就将载置于工件处理装置1的转盘52上的工件10输送至作为第二地点的预先指定处理执行装置(未图示)的载置台6。
此外，工件输送装置2也可具备：接收工件处理装置1的输出部104所输出的修正资讯等工件对准位置用的资讯，并修正工件10的位置的装置；或接收工件处理装置1的输出部104所输出的缺口部表示资讯等工件朝向特定资讯，并修正工件10的朝向的装置。
又，工件输送装置2也可具备用以接收工件处理装置1的输出部104所输出的异常输出，并因应接收到的异常输出而停止工件10的输送的装置等。
此外，有关工件输送装置2的构成，是属公知技术，故在此处省略其详细说明。
载置台6为在对工件10执行预先指定处理的装置(未图示)上用以载置作为处理对象的工件10的平台。载置台6相当于上述的第二地点。执行预先指定处理的装置也可为CVD装置、或表面研磨装置等任何装置。例如，对载置于该载置台6的工件10进行预先指定的处理的装置。
容器4为用以收容并输送一个或两个以上工件10的容器。容器4相当于上述的第一地点。容器4供收容作为上述未图示装置的处理对象的工件10。藉工件输送装置2输送并载置于载置台6的工件10收容于容器4。容器4为例如收容并输送一个或两个以上工件10的匣盒。容器4为例如所谓FOUP(Front Open Unified Pod，前开式晶圆运送盒)。容器4可安装于输送路径1001的未图示罩盖(cover)或自其中卸下。输送路1001的罩盖设有例如供安装容器4用的门扉(未图示)等。
容器5为用以收容并输送一个或两个以上工件10的容器。容器5相当于上述的第三地点。容器5为供收容对应输出部104所输出的异常输出而回收的工件10的容器。容器5供收容对应异常输出而藉工件输送装置2输送的工件10。有关容器5的其他构成等，与容器4相同。
另外，此处针对第一地点为容器4、第二地点为载置台6、第三地点为容器5的情况来说明，但各个地点也可为作为任何目的的地点。例如，第一地点也可为对工件进行预定处理的执行用装置的载置台等。而且，第二地点也可为与容器4同样的容器。此外，第三地点也可为进行工件检查用检查装置(未图示)的载置台等。
接着，使用图6的流程图，就工件处理装置1的一个动作例加以说明。另外，由于有关边缘位置检测器102取得第一旋转距离资讯的处理是属公知，故其说明在此容予省略。又，将边缘位置检测器102针对工件10取得的多个第一旋转距离资讯储存于第一旋转距离资讯储存部101的处理，其说明在此亦容予省略。同时，在此就设定部106不利用机器学习而取得关于缺陷部分规格的临界值的情形为例加以说明。
(步骤S100)工件处理装置1判断是否为输出修正资讯、表示缺口部的资讯及关于缺陷部分的资讯的时机。例如，工件处理装置1会判断针对一个工件10所取得的相当于工件10一周的多个第一旋转距离资讯是否已储存第一旋转距离资讯储存部101，若已储存时，则判断为输出上述资讯的时机；若未储存时，即判断为非输出时机。或者，也可在藉边缘位置检测器102所执行的有关一个工件10的多个第一旋转距离资讯的取得处理已结束时，判断为输出时机。输出时，进到步骤S101；不输出时，进到步骤S120。
(步骤S101)合成装置1031将与一个工件10对应的多个第一旋转距离资讯所包含的多个第一距离资讯中的对应旋转角度的差以逐次相异90度的4个第一距离资讯分别合成，并取得多个合成距离资讯。例如，合成装置1031会将旋转角度值相连续的多个第一旋转距离资讯以旋转角度值的范围为90度的方式持续分割成多个组，且将分割所得的各组的排列顺序相同的第一旋转距离资讯所具有的第一距离资讯彼此间进行合成。此处的合成是指例如平均值的计算。合成装置1031则将取得的合成距离资讯、与分别与已合成的4个第一距离资讯对应的4个旋转角度形成对应，并储存于未图示的储存部。
(步骤S102)合成处理装置1032将1代入作为计数器p的值。
(步骤S103)合成处理装置1032对步骤S102所合成的合成距离资讯中从值较小者算起第p个合成距离资讯进行检测。合成处理装置1032对例如已检测的合成距离资讯赋予表示已检测的旗标或表示要删除的旗标等资讯。也可将表示最小值的合成距离资讯进行检测、删除，以取代检测第p个合成距离资讯。要删除时，下次则从未删除的其余合成距离资讯中再次将表示最小值的合成距离资讯进行检测、删除。
(步骤S104)合成处理装置1032将计数器p的值递增1。
(步骤S105)合成处理装置1032判断计数器p的值是否在预先指定的预定数以上。若为预定数以上，即进到步骤S106；如非在预定数以上，则返回步骤S103。
(步骤S106)合成处理装置1032将1代入作为计数器q的值。
(步骤S107)合成处理装置1032在步骤S102所合成的合成距离资讯中，对从值较大者算起的第q个合成距离资讯进行检测。合成处理装置1032会例如对已检测的合成距离资讯赋予表示已检测的旗标或表示已删除的旗标等资讯。另外，也可检测、删除表示最大值的合成距离资讯，以取代检测第q个合成距离资讯。若删除时，下次则从未删除的其余合成距离资讯再次将表示最大值的合成距离资讯进行检测、删除。
(步骤S108)合成处理装置1032将计数器q的值递增1。
(步骤S109)合成处理装置1032判断计数器q的值是否在预定数以上。如在预定数以上，即进到步骤S110；若非预定数以上，则返回步骤S107。
(步骤S110)合成处理装置1032对在步骤S103及步骤S107未检测(或未删除)且预先指定数以上相连续的合成距离资讯进行检测。
(步骤S111)合成处理装置1032从已在步骤S110检测的相连续合成距离资讯中对一个合成距离资讯(例如顺序在中央的合成距离资讯)进行检测，并取得已检测合成距离资讯作为合成源的4个第一距离资讯、及与该第一距离资讯中的一个对应的旋转角度。例如，在与4个第一距离资讯对应的旋转角度中取得值最小者作为一个旋转角度。
(步骤S112)修正资讯取得装置1033使用步骤S111取得的4个第一距离资讯、及一个旋转角度，取得用以使工件10的旋转中心移动至工件10的中心的修正资讯。例如，使用上述式(1)及式(2)取得修正资讯。并且，将取得的修正资讯暂时记忆在未图示的储存部。
(步骤S113)第二距离资讯取得装置1034使用在步骤S112所取得的修正资讯，取得表示工件10在边缘11无凹凸的圆形时的旋转角度及与旋转角度相应的第二距离资讯的关系的关系式。例如，将修正资讯代入上述式(3)的系数而取得理想曲线式。
(步骤S114)第二距离资讯取得装置1034将与上述的一个工件10对应的多个第一旋转距离资讯所对应的多个旋转角度分别代入步骤S113取得的关系式，并按毎个旋转角度取得第二距离资讯。接着，将具有旋转角度及第二距离资讯的多个第二旋转距离资讯储存于未图示的储存部。
(步骤S115)计算装置1035取得表示与相同旋转角度形成对应的第一距离资讯与第二距离资讯的差的多个距离差资讯。
(步骤S116)缺口检测装置1036使用多个距离差资讯及第一临界值取得表示缺口部的资讯。
(步骤S117)缺陷检测装置1037使用多个距离差资讯及第二临界值并进行关于缺陷部分资讯的取得处理。
(步骤S118)输出部104按照关于缺陷部分的资讯进行异常输出。另外，所谓按照关于缺陷部分的资讯进行异常输出，亦包含不藉关于缺陷部分的资讯进行异常输出，或在未取得关于缺陷部分的资讯时，不进行异常输出的概念。
(步骤S119)输出部104将修正资讯、表示缺口部的资讯及关于缺陷部分的资讯输出。然后，返回步骤S100。还有，已在步骤S118进行异常输出时，输出部104也可不输出表示修正资讯或缺口部的资讯。而且，输出部10在缺陷检测装置1037未取得关于缺陷部分的资讯时，可不输出关于缺陷部分的资讯。
(步骤S120)评估相关资讯受理部105判断是否已受理评估相关资讯。已受理时，进到步骤S121；未受理时，进到步骤S122。
(步骤S121)评估相关资讯受理部105将步骤S120所受理的评估相关资讯储存于未图示的储存部。然后，返回步骤S100。
(步骤S122)设定部106判断是否为设定关于缺陷部分的规格的一个以上临界值的时机。例如，经由未图示的受理部等从使用者受理了临界值设定指示时，即判断为设定时机；未受理时，则判断为非时机。再者，已在步骤S120受理了评估相关资讯时，或在步骤S121中受理了预先指定数的评估相关资讯时，也可判断为设定时机。是设定时机时，进到步骤S123；非设定时机时，返回步骤S100。
(步骤S123)设定部106使用在步骤S121储存的评估相关资讯，取得关于缺陷部分的规格的一个以上临界值。
(步骤S124)设定部106将步骤S123取得的临界值设定为取得部103检测缺陷部分时要利用的临界值。例如，将临界值储存于未图示的储存部。另外，与已在步骤S123取得的临界值对应的临界值(例如，用于相同处理的临界值)为既已设定时(例如，已设定有内定(default)的临界值时)，设定部106则将该临界值更新。该更新可以为设定。接着，返回步骤S100。
还有，图6中，是说明设定部106不利用机器学习就取得临界值的情况，但设定部106利用机器学习来取得临界值时，例如，在设定部106使用步骤S121所储存的评估相关资讯进行学习，并在步骤S123取得临界值之前，只要将与其所学习的评估相关资讯同样的关于工件处理装置1的后续程序处理的资讯、或关于工件10的资讯、或关于缺陷部分的资讯等其中一个以上资讯、与针对关于缺陷部分的大小的一个以上临界值(例如，有关自边缘起算距离的临界值、或有关宽度的临界值)而预先准备的各多个临界值的组对，经由上述评估相关资讯受理部105进行受理，且在步骤S123中，设定部106会从所受理的这些资讯及学习结果取得临界值。此外，预先准备的多个临界值也可利用内定等预先储存于未图示的储存部等。
另，图6的流程图中，藉由电源关断或处理结束的插入，处理即告结束。
接着，使用图7的流程图，就工件输送系统1000的一个动作例加以说明。而且，此处，就工件10载置于工件处理装置1的边缘位置检测器102的转盘52上时，边缘位置检测器102针对工件10取得多个第一旋转距离资讯，并将所取得的旋转距离资讯储存于第一旋转距离资讯储存部的情况101作为一例子加以说明。
(步骤S201)工件输送装置2取出第一地点的工件10，例如收容于容器4的一个工件10，并输送至工件处理装置1。具体而言，是将工件载置于边缘位置检测器102的转盘52上。
(步骤S202)边缘位置检测器102针对已载置于转盘52的工件取得多个第一旋转距离资讯，并将所取得的第一旋转距离资讯储存于第一旋转距离资讯储存部101。
(步骤S203)工件处理装置1进行有关工件10取得修正资讯、表示缺口部的资讯、关于缺陷部分的资讯并输出的处理、或异常输出的处理。另外，该处理相当于例如图6的流程图中从步骤S100到步骤S119所示的工件处理装置1的处理。
(步骤S204)工件输送装置2判断是否已从工件处理装置1的输出部104接收异常输出。已接收时，进到步骤S207；尚未接收时，进到步骤S205。
(步骤S205)工件输送装置2使用输出部104输出的修正资讯及表示缺口部的资讯，将载置于边缘位置检测器102的转盘52上的工件进行修正并拾起，使位置及方向符合预定的位置及方向。该项修正也可在工件输送装置2拾起工件10时，变更工件支持位置或方向。也可藉由变更边缘位置检测器102的转盘位置或方向来进行。
(步骤S206)工件输送装置2将工件10输送并载置于第二地点(例如，载置台6)。然后，将输送处理结束。
(步骤S207)工件输送装置2将工件10从边缘位置检测器102的转盘拾取，并输送至回收用第三地点，此处为回收用容器5，且将工件收容于容器5内。然后，将输送处理结束。
以下，就本实施形态的工件输送系统1000的一个具体动作例加以说明。此处，是针对边缘位置检测器102具有按照输出部104输出的修正资讯或表示缺口部的资讯使转盘52的位置或方向变更的装置等的情况来说明。此外，此处就工件10为晶圆10的情况为例来说明。
工件输送装置2会将储存于容器4的一片晶圆10取出，输送至工件处理装置1，并载置于如图3所示的边缘位置检测器102的转盘52上。
晶圆10载置于转盘52上时，边缘位置检测器102即一边使晶圆10旋转，一边取得旋转角度与第一距离资讯，储存部57则将具有旋转角度与第一距离资讯的组对的多个第一旋转距离资讯储存于第一旋转距离资讯储存部101。
图8为对储存于第一旋转距离资讯储存部101的第一旋转距离资讯执行管理的第一旋转距离资讯管理表的图示。该第一旋转距离资讯以如上述方式使用如图3所示的边缘位置检测器102所取得者。此处，为方便说明，就储存有使晶圆10作旋转时依序按毎0.036度取得的第一旋转距离资讯(即，针对一片晶圆储存有10000个纪录的第一旋转距离资讯)的情况为例来说明。
第一旋转距离资讯管理表具有所谓“晶圆ID”、“旋转角度”、及“第一距离资讯”等属性。“晶圆ID”为晶圆的识别资讯。“旋转角度”为晶圆的旋转角度。“第一距离资讯”为从晶圆的旋转中心至晶圆边缘的距离。另外，“第一距离资讯”的rm(m为从1至10000的整数)是对应的旋转角度为0.036×m(度)的第一距离资讯。rm的值设为任意值。在第一旋转距离资讯管理表中，各列(纪录)分别表示第一旋转距离资讯。
图9为用以说明第一旋转距离资讯的旋转角度与第一距离资讯的关系的曲线图。该曲线图是有关“晶圆ID”为“W001”的晶圆(以下，称为晶圆W001)的第一旋转距离资讯的曲线图，其中表示了旋转角度与第一距离资讯的关系。在晶圆的旋转中心自晶圆的中心偏移时，如图9所示，曲线图整体描绘了例如以360度为一周期的曲线状波形。图中，凹部20为与晶圆10的定向扁平部对应的部分。此外，凹部21及22为与晶圆10的崩缺对应的部分。同时，凸部23是与晶圆10的毛边对应的部分。
首先，使用者等已进行例如指定以晶圆W001为修正资讯等的取得对象的操作。
图10为用以说明合成装置1031针对第一旋转距离资讯进行的处理中表示第一旋转距离资讯的旋转角度与第一距离资讯的关系的曲线图，图10(a)为旋转角度在0度以上未达90度范围的曲线图、图10(b)为旋转角度在90度以上未达180度范围的曲线图、图10(c)为旋转角度在180度以上未达270度范围的曲线图，图10(d)为旋转角度在270度以上未达360度范围的曲线图、图10(e)是将自图10(a)至图10(d)的曲线图按照旋转角度的排列顺序进行合成的曲线图。图10(f)是表示从图10(e)的曲线图删除值的变化较大部分的状态的曲线图。
合成装置1031从图8所示的第一旋转距离资讯管理表取得“晶圆ID”为“W001”的纪录，并将所取得的纪录按毎90度“旋转角度”分割为4个。具体而言，分割为：“旋转角度”在0度以上未达90度的纪录的组、“旋转角度”在90度以上未达180度的纪录的组、“旋转角度”在180度以上未达270度的纪录的组、“旋转角度”在270度以上未达360度的纪录的组。表示各组的纪录的曲线图即为图10(a)至图10(d)所示的曲线图。
然后，合成装置1031将分割所得的各组的排列顺序相同的第一旋转距离资讯所具有的第一距离资讯彼此间进行合成。此处的合成是指平均值的计算。例如，合成装置1031取得各个组的纪录从旋转角度值较小者依序排列时的第一个纪录(即“旋转角度”为“0”、“90”、“180”、及“270”的纪录的“第一距离资讯”值“r1”、“r2501”、“r5001”、及“r7501”的平均值R1)作为第一个合成距离资讯，并与这些旋转角度形成对应，储存于未图示的储存部。此外，R1等于(r1+r2501+r5001+r7501)/4。
其次，同样地，取得各个组的第二个纪录，即“旋转角度”为“0.036”、“90.036”、“180.036”、及“270.036”的纪录的“第一距离资讯”值“r2”、“r2502”、“r5002”、及“r7502”的平均值R2，作为第二个合成距离资讯，并与这些旋转角度形成对应，储存于未图示的储存部。针对第三个的后纪录，也进行同样的处理。
图11为管理合成装置1031所取得的合成距离资讯的合成距离资讯管理表。合成距离资讯管理表具有所谓“旋转角度”、“合成距离”的属性。“旋转角度”是指分别与所合成的4个第一距离资讯对应的旋转角度。“合成距离”是指合成距离资讯。此外，Rm设为等于(rm+rm+2500+rm+5000+rm+7500)/4。
图10(e)是以曲线图表示合成装置1031所取得的合成距离资讯。另外，此处，各“旋转角度”中值最小的角度表示在横轴。如图10(e)所示，透过将旋转角度逐次相异90度的第一距离资讯进行合成，因为如图9所示的旋转中心从晶圆中心偏移所生的波形即得以消除，使曲线图整体成为直线状。但，与存在于合成前连续多个第一距离资讯的崩缺或毛边等缺陷部分、定向扁平部等缺口部对应的凹部20、21及22或凸部23，虽因合成而使其值产生变化，但因未被消除，所以还保留下来。
接着，合成处理装置1032会在图11所示的合成装置1031进行合成所得的多个合成距离资讯中反复对最小值的合成距离资讯进行检测并删除的处理，直到达预先指定次数为止。该删除也可为将表示已删除的旗标资讯赋予到合成距离资讯。藉此方式，例如，图10(e)中，与值的大小变化相对于其他部分较大的定向扁平部对应的凹部20的多个合成距离资讯就被依序删除。而且，继定向扁平部之后，与值的大小变化相对于其他部分的较大的崩缺对应的凹部21、22的合成距离资讯就被依序删除。
其次，合成处理装置1032会在仅删除预先指定次数的最小值所剩余的多个合成距离资讯中，与上述同样的反复进行检测并删除最大值的合成距离资讯的处理，直到达预先指定次数为止。藉此方式，例如，图10(e)中，与值的大小变化比其他部分大的毛边对应的凸部23的合成距离资讯就被依序删除。此外，上述的各个删除的次数较佳为透过反复进行实验等来决定。此外，例如定向扁平部等缺口部存在侧的检测及删除次数(此处为最小值的检测及删除次数)较佳为设成多于定向扁平部等缺口部不存在侧的检测及删除次数(此处为最大值的检测及删除次数)。
藉此方式，即可从图11所示的合成距离资讯检测并删除值的大小变化较大的部分。未经检测的其余合成距离资讯(即，未被删除的剩余合成距离资讯)就形成图10(f)的样态。该未经检测的其余合成距离资讯中的二个以上相连续的合成距离资讯为变化较小的多个合成距离资讯。
其次，合成处理装置1032会从未经检测的(此处为未经删除)的其余相连续的合成距离资讯对一个合成距离资讯进行检测。此处，是按相连续的毎多个合成距离资讯检测相连续的合成距离资讯数，并检测相连续的数最多的部分中其排列顺序位在中央的一个合成距离资讯。此处，例如，旋转角度θ从θ600到θ1200范围的合成距离资讯，具体而言，图10(f)的区域25的合成距离资讯相连续，同时其连续数较其他相连续的部分为多时，合成处理装置1032会检测位于该范围的中央的合成距离资讯，具体而言，是检测对应的旋转角度为θ900的合成距离资讯。另外，θm(m为1至10000的整数)表示例如使晶圆W001逐次以0.036度旋转移动600次的旋转角度，即，旋转角度0.036×m(度)。θ600即为例如使晶圆W001旋转0.036×600(度)时的旋转角度。
再者，合成处理装置1032会从图11所示的合成距离资讯管理表取得与经检测的合成距离资讯的合成前的4个第一距离资讯对应的4个旋转角度。例如，图11所示的合成距离资讯管理表中，检测包含与上述经检测的合成距离资讯对应的旋转角度θ度的纪录，作为“旋转角度”的值，并取得包含于该纪录的全部“旋转角度”的值。或者，将90度、180度、270度依序加算到旋转角度θ900，并取得4个合成前旋转角度。此处，是设为已取得θ900、θ900+90度、θ900+180度、θ900+270度作为旋转角度。接着，合成处理装置1032会从图8所示的第一旋转距离资讯管理表取得分别与所取得的4个旋转角度对应的4个第一距离资讯r900、r3400、r5900、及r8400。
由于依此方式取得的4个第一距离资讯是针对晶圆的不存在缺口部、毛边、崩缺等的边缘所取得的第一距离资讯，所以是从影响较少的缺口部或缺陷部分的晶圆旋转中心到边缘的距离。
修正资讯取得装置1033会从例如未图示的储存部等读取上述式(1)及式(2)，并将合成处理装置1032所取得的4个第一距离资讯及与该第一距离资讯对应的旋转角度之一(此处为上述取得的最小值的旋转角度θ900)代入式(1)及式(2)，以计算用于使晶圆W001的旋转中心移动到晶圆W001的中心的修正资讯(即，表示移动方向的资讯的角度、及移动量的长度)。此处，是设为已取得角度α1及长度h1作为修正资讯。修正资讯取得装置1033则将所取得的修正资讯暂时记忆在例如未图示的储存部等。
已接收修正资讯的第二距离资讯取得装置1034会从未图示的储存部读取上述式(3)，将作为修正资讯的角度α1及长度h1代入该式(3)，而取得理想曲线式。
第二距离资讯取得装置1034则将与多个第一旋转距离资讯对应的多个旋转角度依序代入所取得的理想曲线式，依序取得第二距离资讯。具体而言，将从0度开始逐次以0.036度依序増加其值直到即将到达360度之前时的各个旋转角度代入理想曲线式，以依序计算第二距离资讯。然后，将具有所代入的旋转角度与所取得的第二距离资讯的第二旋转距离资讯储存于未图示的储存部。
图12是为用以管理第二距离资讯取得装置1034所取得并储存的第二旋转距离资讯的第二旋转距离资讯管理表的图示。第二旋转距离资讯管理表具有“旋转角度”及“第二距离资讯”。“第二距离资讯”是指例如晶圆W001为边缘无凹凸的理想型圆形晶圆时，与旋转角度相应从晶圆W001的旋转中心至边缘的距离。此外，“第二距离资讯”rim(m为从1至10000的整)设为对应的旋转角度0.036×m(度)的第二距离资讯。
图13是为表示第二距离资讯取得装置1034所取得的多个第二旋转距离资讯的旋转角度与第二距离资讯的关系的曲线图。横轴表示旋转角度θ，纵轴表示第二距离资讯ri。
计算装置1035会依序取得储存于第一旋转距离资讯的多个第一距离资讯、及第二距离资讯取得装置1034所取得的多个第二距离资讯中与相同旋转角度形成对应的第一距离资讯与第二距离资讯的差。此处，计算装置1035是取得自第二距离资讯减去第一距离资讯所得的值作为上述差值的一例。例如，从与旋转角度“0度”对应的第二距离资讯“ri1”减去与旋转角度“0”对应的第一距离资讯“r1”，而取得与旋转角度“0度”对应的距离差资讯“ri1－r1”。此外，例如，从与旋转角度“0.036度”对应的第二距离资讯“ri2”减去与旋转角度“0.036”对应的第一距离资讯“r2”，并取得与旋转角度“0.036度”对应的距离差资讯“ri2－r2”。针对其他的旋转角度也进行同样的处理。计算装置1035会将所取得的值作为距离差资讯，并与旋转角度形成对应储存于未图示的储存部。
图14是为用以管理计算装置1035所取得的距离差资讯的距离差资讯管理表。距离差资讯管理表具有所谓“旋转角度”与“距离差”的属性。“距离差”是指距离差资讯。
图15包含：表示计算装置1035所取得的距离差资讯与旋转角度的关系的曲线图(图15(a))、用以说明缺口检测装置1036所执行的处理的曲线图(图15(b))、及用以说明缺陷检测装置1037所执行的处理的曲线图(图15(c))。图中，横轴表示旋转角度，纵轴表示距离差资讯的值。另外，此处用以说明例如图15的曲线图的纵轴标度，是使用较图9或图13等的纵轴标度经放大的标度。
将计算装置1035所取得的距离差资讯以曲线图表示时，即成为如图15(a)的曲线图。该曲线图为从具有例如图9所示的定向扁平部或毛边或崩缺等的实测值等的第一距离资讯的曲线图纵轴方向值减去使图13所示的边缘无凹凸的晶圆旋转时的理想型曲线图的纵轴方向值的曲线图。因此，针对在晶圆W001的边缘无凹凸的部分所取得的距离差资讯，其值会成为大致近于0的一定值，只有在凹凸的部分会呈与其他部分不同大小的正或负值显现于曲线图。例如，图15所示的曲线图中，与定向扁平部对应的凸部20a、与崩缺对应的凸部21a、22a、与毛边对应的凹部23a会以值的大小有变化的部分显现出来，其他部分，则呈大致平行于x轴的近乎直线形状。
缺口检测装置1036会在计算装置1035所取得的距离差资讯中对值的大小较预先指定的第一临界值TH1为大的距离差资讯进行检测。第一临界值TH1是为较一般发生于晶圆边缘的崩缺深度为大的长度，且预先设定成正值，该正值是表示其长度充分短于定向扁平部的深度。该第一临界值TH1为例如有关大小的临界值。此处，为了检测值的大小较第一临界值TH1为大的正或负的距离差资讯，而检测较TH1为大的距离差资讯，或者，检测其值较－TH1为小的距离差资讯。
将第一临界值TH1表示于表示距离差资讯与旋转角度的关系的曲线图时，即形成如图15(b)的样态。
另外，在已知距离差资讯为从第二距离资讯减去第一距离资讯的值的情况中，由于与定向扁平部对应的距离差资讯值为正值，故检测其值较－TH1为小的距离差资讯的处理可以省略。
缺口检测装置1036检测其大小较第一临界值TH1为大的距离差资讯，并取得与所检测的距离差资讯对应的旋转角度。例如，缺口检测装置1036会检测与图15(b)的定向扁平部对应的凸部20a较TH1为大的值的距离差资讯。然后，缺口检测装置1036会取得与已检测的距离差资讯对应的旋转角度的最小值及最大值，作为晶圆W001的缺口部的定向扁平部的位置表示资讯。例如，设缺口检测手装置036所取得的最小值为θ3800，最大值为θ4400。缺口检测装置1036会将所取得的最小值θ3800与最大值θ4400储存于未图示的储存部。
缺陷检测装置1037在计算装置1035所取得的距离差资讯中，对其大小较预先指定的第二临界值TH2为大的距离差资讯进行检测。但在此处，大小较上述的第一临界值TH1为大的距离差资讯是为不予检测。第二临界值TH2是大小较第一临界值TH1为小的值，并设定为大于0的值。此外，距离差资讯由于会因第一距离资讯的测定误差等而取得0以外的值，故将第二临界值TH2设定为经考量测定该误差分后的值。该第二临界值TH2是为例如用以检测边缘缺陷部分有关大小的临界值。此处，为了检测其大小较第二临界值TH2为大的正或负的距离差资讯，而将较TH2为大的距离差资讯、或者其值较－TH2为小的距离差资讯加以检测。
若将第二临界值TH2表示于表示距离差资讯与旋转角度的关系的曲线图时，即如图15(c)所示。
而且，此处，也可与上述同样地，将较－TH2小值的距离差资讯的检测处理予以省略。
缺陷检测装置1037会检测值较第二临界值TH2大的距离差资讯，并取得与检测所得的距离差资讯对应的旋转角度。例如，缺陷检测装置1037会检测其值较(与图15(c)的缺陷部分对应的)凸部21a、22a的TH2为大的部分、及其值较(与缺陷部分对应的)凹部23a的－TH2为小的部分。然后，缺陷检测装置1037会在所检测的距离差资讯中，对对应的旋转角度相连续的距离差资讯进行检测，并取得与相连续的距离差资讯对应的旋转角度的最小值及最大值，分别作为表示晶圆W001的缺陷部分位置的资讯。例如，有关凸部21a，为取得了旋转角度的最小值θ550与最大值θ558。此外，例如，有关凸部22a，为取得了旋转角度的最小值θ7446与最大值θ7450。又，例如，有关凹部23a，为取得了旋转角度的最小值θ8738与最大值θ8743。
再者，关于作为较TH2为大的部分所检测到的距离差资讯，即，分别与凸部21a、22a对应的旋转角度的最小值与最大值，还取得表示崩缺的资讯作为表示缺陷部分种类的资讯。而且，与作为较－TH2为小的部分所检测的距离差资讯对应的旋转角度，即，关于与凹部23a对应的最小值与最大值，还取得表示毛边的资讯作为表示缺陷部分种类的资讯。
此外，缺陷检测装置1037会取得旋转角度相连续的距离差资讯的绝对值的最大值，作为表示缺陷部分大小，例如表示毛边高度、或崩缺深度的资讯。例如，旋转角度从θ8738到θ8743范围的距离差资讯的绝对值的最大值为ri8741－r8741时，缺陷检测装置1037即取得该最大值作为表示缺陷部分大小的资讯。
接着，缺陷检测装置1037会将所取得的关于缺陷部分的资讯，即，表示缺陷部分范围的旋转角度、表示缺陷部分种类的资讯、及表示缺陷部分大小的资讯储存于未图示的储存部。
输出部104会按照缺陷检测装置1037所取得关于缺陷部分的资讯进行异常输出。在此处，由于缺陷检测装置1037检测了一个以上缺陷部分，故输出部104会进行异常输出。此外，在输出表示缺陷检测装置1037已检测缺陷部分关于缺陷部分的资讯的情况中，输出部104也可进行异常输出。具体而言，输出部104将表示检测到有异常的资讯传送到工件输送装置2作为异常输出。
再者，输出部104将缺陷检测装置1037检测到的缺陷部分的相关资讯输出。例如，输出部104会在缺陷检测装置1037所检测的缺陷部分的相关资讯中，将表示旋转角度范围的资讯当作表示有缺陷的部位资讯进行输出。而且，输出部104会将表示缺陷部分种类的资讯输出作为表示该缺陷部分种类的资讯。又，输出部104会输出表示缺陷部分大小的资讯。例如，将表示旋转角度从θ8738到θ8743的范围中存在有高度为ri8741－r8741的毛边的资讯予以输出。例如，输出部104会将关于缺陷部分的资讯与晶圆10的识别符形成对应并储存于预先指定的储存部等。该所储存的关于缺陷部分的资讯也可为例如表示工件处理装置1的处理的纪录(log)资讯。
另外，图9所示的第一距离资讯与旋转角度的曲线图中，与关于缺陷部分的资讯所表示的旋转角度范围对应的范围的背景也可设成与其他部分不同背景色的曲线图，并显示于监视器等，但此处省略了说明。而且，此时，有关于崩缺与毛边，亦以设成不同的背景色为佳。此外，各旋转角度的范围也可显示成表示缺陷部分大小的值等。
工件输送装置2从工件处理装置1的输出部104接收了表示有异常的资讯时，就将载置于边缘位置检测器102的转盘52的晶圆10拾起，使其移动到回收用容器5的地点，将晶圆10收容于容器5内。藉此操作，即可将判断为有异常的晶圆10以容器5进行回收，而不输送到其后的处理步骤。
此处，是例如缺陷检测装置1037未检测一个以上缺陷部分，未取得关于缺陷部分的资讯。
输出部104判断为缺陷检测装置1037尚未检测一个以上缺陷部分时，则不进行异常输出。
然后，输出部104会将修正资讯取得装置1033所取得的修正资讯输出到边缘位置检测器102。
此外，输出部104将表示缺口检测装置1036所检测的缺口部资讯输出到边缘位置检测器102。例如，输出部104会将缺口检测装置1036所检测的旋转角度范围从θ3800至θ4400予以输出，作为表示设有定向扁平部的位置资讯。
边缘位置检测器102从输出部104受理修正资讯时，即按照修正资讯使转盘52朝水平方向移动，令晶圆10移动，使晶圆10的中心位于移动前转盘52(移动前的晶圆10)的旋转中心。
再者，边缘位置检测器102受理表示缺口部的资讯时，就使转盘52朝水平方向移动或旋转移动，使该缺口部朝向预先指定的方向。
工件输送装置2会将藉转盘52的移动而将使配置或朝向改变的晶圆10从转盘52拾起，输送并载置于下一个载置目的地的载置台6上。
透过将依此方式藉表示修正资讯及缺口部的资讯而修正其位置及朝向的晶圆10交给工件输送装置2，工件输送装置2就可使晶圆10在适当位置朝向适当方向载置于作为下一个输送目的地的载置台6。于是，即可以针对无缺陷部分的晶圆进行晶圆10的定位。
另外，此处，由边缘位置检测器102将晶圆10的位置或朝向改变，但输出部104也可将表示修正资讯及缺口部的资讯传送到工件输送装置2，而由工件输送装置2改变晶圆10的位置或朝向。
又，输出部104将表示缺口部的资讯及缺陷检测装置1037检测到关于缺陷部分的资讯输出到未图示的监视器等。
图16是为表示藉输出部104将表示缺口部的资讯及关于缺陷部分的资讯输出的例子。
藉由这种输出部104的输出，使用者可容易知道例如是否为晶圆W001的边缘的何处有定向扁平部、或者在何处有那种缺陷。而且，此种表示定向扁平部的位置、或表示缺陷部的位置或种类的资讯输出到其他装置(未图示)时，在其他装置中，可进行例如将定向扁平部缺陷部的位置考量在内的处理。
此处，是例如对藉工件输送系统1000输送到载置台6的一片晶圆10进行处理的结果，而在晶圆10发生源自边缘11的崩缺的破裂。这种情况可以为在工件处理装置1的缺陷检测处理中有无法检测到的缺陷部分。因此，例如，使用者会将具有相关资讯的评估相关资讯输入到评估相关资讯受理部105，而该相关资讯则表示以现在的缺陷检测处理有无法检测的缺陷部分。
评估相关资讯受理部105受理具有表示无法检测到的缺陷部分的资讯的评估相关资讯时，设定部106会取得可比用于缺陷检测的临界值更能检测到更小缺陷部分的临界值。具体而言，是取得一临界值，该临界值由上述用于缺陷部分检测的第二临界值TH2的值变更为比现在值(变更前的该第二临界值TH2)恰少以预先指定值来演算如减算等所得的值。例如，取得从现在的第二临界值TH2的值减去预先指定值所得的值，作为新的第二临界值。此处的减算值以微小值为佳。而且，减算后的第二临界值的大小较佳为不在0以下。
接着，设定部106会以所取得的新第二临界值来更新缺陷检测装置1037利用的第二临界值。
藉此方式，将缺陷部分的检测结果回授，即可较使用更新前的临界值时检测到更细小的缺陷部分，而能减少缺陷检测的遗漏。
(变形例1)
以下，就上述的具体例中，设定部106使用机器学习取得检测缺陷部分时的临界值的一个状况例加以说明。
此处，例如工件输送系统1000的输送目的地为CVD装置(未图示)，载置台6为CVD装置的载置台。
评估相关资讯受理部105会接收有多个评估相关资讯并储存于未图示的储存部，该多个评估相关资讯为将以下所述三者与表示藉工件处理装置1执行的缺陷部分检测结果是否正确的正误资讯对应的资讯：对晶圆10进行缺陷部分检测时使用的第二临界值、在该晶圆10的输送目的地(CVD装置)施行处理的处理温度以及处理时间。
设定部106将包含于所接收的多个评估相关资讯的第二临界值、处理温度、处理时间、及正误资讯，作为教师数据依序学习。
其次，在使用者使用相同的CVD装置对一片晶圆10以一个处理条件进行处理的情况中，为了取得能够检测处理中发生破裂等问题的缺陷部分的临界值，而使该一个处理条件的处理温度与处理时间、作为第二临界值的候补的多个值分别形成对应而组成多个组，并将该多个组分别输入学习结果，而取得以包含于各个组的第二临界值检测缺陷部分时的检测结果正确与否的判断结果。藉此方式，即可对所输入的处理温度、处理时间、第二临界值的组合，判断使用该第二临界值进行缺陷检测是否适当。作为第二临界值候补的多个值为例如相隔预先指定值的多个值。作为第二临界值候补的多个值为例如使用于内定的第二临界值的周边的多个值。
其次，取得与经判断为正确的判断结果对应的第二临界值中的一个，例如最大值者。然后，将该第二临界值设定为缺陷检测装置1037要利用在缺陷检测的第二临界值。
藉此方式，对于具有后续程序的CVD处理中会造成问题的缺陷部分的晶圆10，就可利用学习结果适当地进行检测，同时在边缘具有后续程序中不会造成问题的凹凸的晶圆10，也可取得不用检测的第二临界值。结果，就得以例如以优异精确度进行晶圆10的选别。
以上，若依本实施形态，在工件输送时，于对准工件的位置与朝向时，可进行工件边缘缺陷部分的检测，使工件缺陷的检测适当的进行。
再者，若依本实施形态，将由旋转角度逐次相异90度的多个第一距离资讯加以合成所得的合成距离资讯中，对变化较小的连续多个合成距离资讯进行检测，藉由使用与所检测的多个合成距离资讯中的一个合成距离资讯对应的合成源的多个第一距离资讯，取得用以使工件旋转中心移动到工件中心的修正资讯，就可使用从工件边缘的凹凸较少的部分取得的第一距离资讯，适当地取得高精确度的修正资讯。
又，若依本实施形态，透过使用上述的修正资讯取得工件为无凹凸的圆形时表示旋转角度与至边缘的距离的关系的关系式，并使用从所取得的关系式取得的第二距离资讯与第一距离资讯的差，来取得表示工件缺口部的资讯、或关于工件缺陷部分的资讯，即可适当表示工件边缘的凹凸。例如，可适当表示工件缺口部的位置。而且，可适当表示工件边缘的缺陷部分位置或其种类。
另外，在本案中，如图25所示的工件处理装置5在上述实施形态所说明的工件处理装置中，可依状况将第一旋转距离资讯储存部101、合成装置1031、合成处理装置1032、修正资讯取得装置1033、第二距离资讯取得装置1034、计算装置1035、缺口检测装置1036、及缺陷检测装置1037以外的构成作适当省略，又设置：修正资讯输出装置1038，将修正资讯取得装置1033所取得的修正资讯进行输出；及距离差相关输出装置1039，将计算装置1035所取得关于第一距离资讯与第二距离资讯的差的相关资讯、及缺陷检测装置1037所检测关于缺陷部分的资讯予以输出，而第二距离资讯取得装置1034也可使用修正资讯输出装置1038所输出的修正资讯，以取得第二距离资讯。
修正资讯输出装置1038将修正资讯取得装置1033所取得的修正资讯输出。此处的输出是包含例如工件的对准器(未图示)等对外部装置的讯息传送、对内部处理装置等的交递、对记录媒体的储存、在监视器(未图示)的显示、处理结果等向其他处理装置或其他程式等的交递等概念。
例如，修正资讯输出装置1038是为用以将修正资讯取得装置1033所取得的修正资讯输出到第二距离资讯取得装置1034等的介面、用以将修正资讯暂时记忆到可存取第二距离资讯取得装置1034的记忆体(未图示)等记忆媒体的装置。例如，第二距离资讯取得装置1034受理修正资讯输出装置1038输出的修正资讯，并使用所受理的修正资讯来取得第二距离资讯。此外，第二距离资讯取得装置1034为例如由第二距离资讯取得装置1034将储存在记忆媒体的修正资讯读取，并使用所读取的修正资讯来取得第二距离资讯。
距离差相关输出装置1039将与计算装置1035所计算的相同旋转角度形成对应关于距离差资讯的资讯输出。关于差的资讯可为例如具有距离差资讯本身的资讯、也可为与一个或两个以上距离差资讯对应的旋转角度、也可为距离差资讯与旋转角度的组合。例如，输出部104可将由距离差资讯与旋转角度形成对应而具有的资讯储存于未图示的储存部。也可将表示距离差资讯与旋转角度的关系的曲线图输出，例如将其显示出来。
所谓关于距离差资讯的资讯，亦包含使用距离差资讯取得的资讯的概念。例如，距离差相关输出装置1039也可将缺口检测装置1036使用距离差资讯取得的表示工件10的缺口部的资讯输出作为计算装置1035所计算的关于差的资讯。透过输出表示缺口部的资讯，让使用者或其他装置等可以辨识缺口部存在于工件10的那个部分。距离差相关输出装置1039也可在例如在表示距离差资讯与旋转角度的关系的曲线图上，将与表示缺口部的旋转角度对应的部分，用与其他不同的颜色或图样来表示其他不同的态样(例如，曲线图上与表示缺口部的旋转角度对应范围的背景)，作为表示缺口部的资讯的输出。
此外，距离差相关输出装置1039也可使用计算装置1035计算所得关于距离差资讯的资讯，将缺陷检测装置1037所取得关于缺陷部分的资讯输出，作为计算装置1035计算所得关于距离差资讯的资讯。由于表示缺陷部分的资讯为具有缺陷部分位置(例如、旋转角度)及其位置的距离差资讯的资讯，故使用者或其他装置等可辨识在工件10的那个部分具有何种大小的缺陷部分。表示缺陷部分的资讯又具有表示缺陷部分是否为朝晶圆10的外侧呈凸状的资讯时，也可辨识缺陷部分是毛边或崩缺。距离差相关输出装置1039也可在例如表示距离差资讯与旋转角度的关系的曲线图上，与缺口部的情形同样，将与表示缺陷部分的旋转角度对应的部分，用与其他不同的态样显示，作为表示缺陷部分的资讯的输出。
工件处理装置5中，例如可以针对工件取得并输出具有理想的边缘时从旋转中心至边缘的距离、及实际上至边缘的距离的差，以优异精确度表示工件(例如、晶圆)边缘的凹凸。藉此方式，藉由例如距离差相关输出装置1039的输出，即可适当表示工件缺口部的位置。再者，透过取得并输出缺陷资讯，可表示关于工件边缘缺陷部分的适当资讯。例如，可适当表示缺陷部分的位置或其种类。
此外，上述的工件处理装置5是为例如下述形态的工件处理装置。即，该工件处理装置5具备：第一旋转距离资讯储存部，供储存工件旋转时的多个第一旋转距离资讯，所述第一旋转距离资讯为具有使旋转角度与第一距离资讯形成对应的资讯，而该第一距离资讯则为关于该旋转角度对应的工件的旋转中心至边缘的距离的资讯；合成装置，在包含于前述多个第一旋转距离资讯的第一距离资讯中，将对应的旋转角度逐次相异90度的多个第一距离资讯加以合成；合成处理装置，在前述合成装置将第一距离资讯合成并取得的资讯的多个合成距离资讯中，将对应的旋转角度相连续的多个合成距离资讯、且值的大小变化较小的多个合成距离资讯加以检测，并取得与检测所得的多个合成距离资讯中的一个以上对应的合成前多个第一距离资讯、及与合成前的一个以上第一距离资讯对应的旋转角度；修正资讯取得装置，使用前述合成处理装置所取得的多个第一距离资讯及旋转角度，来取得用以使前述工件的旋转中心对准前述工件的中心的修正资讯；修正资讯输出装置，将前述修正资讯取得装置所取得的修正资讯输出；第二距离资讯取得装置，使用前述修正资讯输出装置输出的修正资讯，来取得前述工件为边缘无凹凸的圆形时表示旋转角度与第二距离资讯的关系的关系式，该第二距离资讯为关于与旋转角度相应的工件至边缘的距离的资讯，将与前述多个第一旋转距离资讯对应的多个旋转角度分别代入该取得的关系式，并取得第二距离资讯；计算装置，使用前述多个第一旋转距离资讯、及前述第二距离资讯取得装置所取得的多个第二距离资讯，来取得与相同旋转角度形成对应的前述第一距离资讯与第二距离资讯的差；以及距离差相关输出装置，将前述计算装置所计算关于差的资讯输出。
其次，上述的工件处理装置中，前述缺陷检测装置使用前述计算装置所计算的前述第一距离资讯与第二距离资讯的差、及关于缺陷部分大小的一个以上临界值，来检测前述工件边缘的缺陷部分，并取得关于该经检测的缺陷部分的资讯。
而且，上述的工件处理装置5中，可再省略第二距离资讯取得装置1034、计算装置1035、缺口检测装置1036、缺陷检测装置1037、及距离差相关输出装置1039。藉此方式所获得的工件处理装置为例如用以取得工件修正资讯等的装置。
藉由此种构成，透过将关于旋转角度逐次相异90度的边缘距离的资讯加以合成，并从因旋转中心与晶圆中心相异所发生关于边缘距离的资讯变动除去后的资讯，以取得关于边缘无凹凸部分的距离的资讯，可以取得用以使工件旋转中心对准工件中心的修正资讯，故具有可取得高精确度的修正资讯的效果。
藉此方式，例如，使用修正资讯，执行工件位置对准的装置(未图示)就可将工件的位置适当修正，使工件的旋转中心成为工件的中心。
此外，该工件处理装置为例如下述的工件处理装置。即，该工件处理装置具备：第一旋转距离资讯储存部，供储存多个第一旋转距离资讯，所述第一旋转距离资讯为具有使工件旋转时的旋转角度与第一距离资讯形成对应的资讯，而该第一距离资讯则为关于与该旋转角度对应的工件从旋转中心至边缘的距离的资讯；合成装置，在包含于前述多个第一旋转距离资讯的第一距离资讯中，将对应的旋转角度逐次相异90度的多个第一距离资讯加以合成；合成处理装置，在前述合成装置将第一距离资讯合成而取得的资讯的多个合成距离资讯中，对对应的旋转角度为相连续的多个合成距离资讯、且值的大小变化较小的多个合成距离资讯加以检测，并取得与检测所得的多个合成距离资讯中一个以上对应的合成前多个第一距离资讯、及与合成前的一个以上第一距离资讯对应的旋转角度；修正资讯取得装置，使用前述合成处理装置所取得的多个第一距离资讯及旋转角度，来取得用以使前述工件的旋转中心对准前述工件的中心的修正资讯；以及修正资讯输出装置，将前述修正资讯取得装置所取得的修正资讯输出。
(实施形态2)
本发明的实施形态2是为在上述实施形态1中，将拍摄工件边缘的缺陷部分所得的影像输出。
图17为本实施形态的工件处理装置3的方块图。
工件处理装置3具备：第一旋转距离资讯储存部101、取得部103、输出部104、评估相关资讯受理部105、设定部106、边缘位置检测器301、拍摄部303、修正缺陷位置取得部304、影像输出部305、检测部306、评估部307、评估结果输出部308、情况受理部309、影像情况资讯储存部310、以及影像情况资讯累积储存部311。边缘位置检测器301具备移动部302。
取得部103具备例如：合成装置1031、合成处理装置1032、修正资讯取得装置1033、第二距离资讯取得装置1034、计算装置1035、缺口检测装置1036、以及缺陷检测装置1037。
关于第一旋转距离资讯储存部101、取得部103、输出部104、评估相关资讯受理部105、及设定部106、以及构成取得部103的合成装置1031、合成处理装置1032、修正资讯取得装置1033、第二距离资讯取得装置1034、计算装置1035、缺口检测装置1036、以及缺陷检测装置1037等的构成及动作等，是相同于上述实施形态1，详细说明在此容予省略。
图18包含：表示工件处理装置3一实施形态例的立体图(图18(a))、及表示本实施形态的边缘位置检测器301的一例的示意图(图18(b))。工件处理装置3具备：工件10的载置用台座的载置台3021、以及用以拍摄载置台3021上所载置的工件10的边缘缺陷部分的拍摄部303。罩盖3025的内部设有边缘检测部55。
边缘位置检测器301针对工件10取得多个第一旋转距离资讯。具体而言，边缘位置检测器301会检测工件10的边缘位置，并针对工件10取得多个第一旋转距离资讯，且储存于第一旋转距离资讯储存部101。
边缘位置检测器301具备有例如检测工件10的边缘位置的边缘检测部55、移动部302、编码器56、及储存部57。边缘检测部55具有投光器55a及感测器55b。有关边缘检测部55、编码器56、及储存部57的构成或处理等，由于与图3所示的边缘位置检测器102相同，故其说明省略。
移动部302使工件10移动。移动部302使例如载置于载置台3021的工件10移动。工件10藉由移动部302的移动是指例如使工件10旋转的移动、或使工件10平行移动的移动。所谓使工件10平行移动，是指例如使工件10在包含工件10的表面的平面内移动的情形。
移动部302使工件10旋转。移动部302具有例如载置台3021、及使载置台3021以中心轴为旋转轴旋转的旋转机构3022。而且，透过例如藉由旋转机构3022使载置台3021以其载置面位在同一平面内的方式旋转，而使载置于载置台3021上的工件10旋转。旋转机构3022具有将旋转(动力)传递到载置台3021的电动马达(未图示)等。供载置工件10的载置台3021的上面，设置有例如具有吸附面的所谓吸附座(未图示)等，该吸附面用以吸附所载置的工件10。编码器56会例如检测旋转机构3022所具有的电动马达(未图示)的旋转量，并输出数位讯号，而该电动马达的旋转量相当于工件10的旋转角度。
边缘位置检测器301会例如取得移动部302使工件10每旋转预先指定的旋转角度时的表示边缘位置的测定值。然后，使用该旋转角度及测定值依序取得第一距离资讯及旋转角度。表示边缘位置的测定值为例如从工件10的旋转中心至边缘的距离的测定值等。边缘位置检测器301在例如针对不同工件取得第一旋转距离资讯时，会使针对各工件所取得的多个第一旋转距离资讯与各工件的工件识别符形成对应，并储存于第一旋转距离资讯储存部101。
移动部302还具有使载置于载置台3021的工件10朝着对工件10的表面平行的方向移动的构造。此处的平行亦包含大致平行的概念。与工件10的表面平行的方向，也可以为对供载置工件10的载置台3021的载置面呈平行的方向。移动部302例如使工件10朝水平方向移动。例如，移动部302具有使工件10朝对工件10的表面成平行的正交的二轴方向分别移动的构成。移动部302会例如藉由该二轴的各个方向移动的组合，使工件10平行地移动。此处，为方便说明将该二轴称为x轴方向、y轴方向。具体而言，移动部302设有：使旋转机构3022朝x轴方向移动的x轴移动机构3023、及使x轴移动机构3023朝y轴方向移动的y轴移动机构3024。例如，x轴移动机构3023及y轴移动机构3024由分别朝x轴方向与y轴方向延伸的方式设置的滚珠螺杆与电动马达等的组合所构成。但，移动部302使载置于载置台3021的工件10朝对工件10的表面成平行的方向移动所用的构成等，并不拘。
移动部302使用例如在上述实施形态1中说明的输出部104输出的工件10的对准位置用修正资讯等资讯，使工件10移动，俾使工件10的中心位于预先指定的位置。移动部302透过例如使载置有工件10的载置台3021朝与载置台3021的载置面成平行的方向移动的移动方式及使载置台3021旋转的移动方式适当组合，以上述方式使工件10移动。
移动部302使用输出部104输出的关于工件10的边缘缺陷部分的资讯，使工件10移动，俾使工件10的边缘缺陷部分配置于拍摄区域内。拍摄区域是为预先指定区域，具体而言，是拍摄部303可拍摄的区域。拍摄区域也可以为拍摄部303可拍摄的范围。移动部302较佳为使工件10移动到工件10的边缘缺陷部分位于拍摄区域内的预先指定位置，例如中央等。
例如，移动部302会使用有关边缘缺陷部分的资讯的表示缺陷部分位置的资讯，例如表示缺陷部分相对于工件10的旋转中心的角度的资讯等，以该缺陷部分的位置位于拍摄区域内的方式使工件10移动。此处的移动，使工件10旋转的移动方式(以下称为旋转移动)与使工件10对工件10的表面成平行地移动的移动方式(以下称为平行移动)的至少1种以上组合。
以下，举例说明有关移动部302使缺陷部分的位置移动到拍摄区域内的处理。
(1)移动工件藉以使工件的中心配置于预先指定位置的情况
移动部302会例如使工件10移动，使工件10的中心配置于预先指定位置，且使工件10的边缘缺陷部分配置于拍摄区域内。所谓预先指定位置，是指例如工件10的中心应该配置的位置、或使工件10对准位置时作为基准的位置，以具体例而言，为将工件10送交到上述实施形态1中说明的工件输送装置2等时供配置工件10的中心的位置。工件10在例如移动部302的载置台3021的旋转中心配置于该预先指定位置的状态下，利用工件输送装置2等载置于该载置台3021上。移动部302透过例如将旋转移动与平行移动适当组合使工件10移动到上述的位置。
移动部302使用例如用以使输出部104输出的工件10对准位置的资讯、及关于缺陷部分的资讯，进行上述的移动。例如，移动部302会使用用以使输出部104输出的工件10的旋转中心对准工件10的中心的修正资讯、及表示工件10的边缘缺陷部分的旋转角度的资讯(例如，表示缺陷部分的范围的角度资讯)，以使工件10的中心配置于预先指定位置且工件10的边缘缺陷部分配置于拍摄区域内的方式，令工件10移动。
图19是为用以说明使工件10的缺陷部分移动到拍摄区域内的一个处理例的图示，其中包含了：表示工件10旋转前的状态的图示(图19(a))、及旋转后的状态的图示(图19(b))。图中，与图2相同的符号是表示相同或相当的部分。
图中，xy座标为预先设定于工件处理装置3的边缘位置检测器301的座标系，原点O是设为工件10中心应配置的位置。供载置工件10的载置台3021的旋转中心在例如载置工件10时是设为位于与该原点O一致的位置。在经载置工件10后的时间点，工件10的中心Q并非位于原点O，工件10以该原点O的位置作为旋转中心进行旋转。工件10的中心设为从原点O朝角度α的方向位于离开距离h的位置。
点P1是为拍摄区域AP1内的1点，例如为拍摄区域的中心点，相对于原点O，是设定在预先指定的旋转角度，且离开相同于工件10的半径的位置。藉此方式，工件10的中心载置于原点O上时，点P1就位在工件10的边缘上。
此外，图19中，在x轴的正范围中，工件10的边缘与x轴相交的位置与作为原点的工件10的旋转中心O连结线段的位置即为旋转角度0°的位置，旋转角度则设为朝反时计方向増加其值。
以下，使用图19说明具体例。在图19(a)所示状态中，移动部302取得上述实施形态1中所说明的修正资讯所示的角度θt，该角度θt由：与使工件10的旋转中心对准工件10的中心的角度α用的基准线(此处为x轴)成正交的线(此处为y轴)、与作为向拍摄区域内移动的对象的一个缺陷部分1901的两端连结线所形成。该角度θt也可以为偏位角度。例如，由于透过使用预先储存于未图示的储存部等的工件10的半径等资讯、及缺陷部分1901两端A、B的旋转角度，即可计算缺陷部分1901两端A、B的座标等，故可使用该两端A、B的座标等来计算角度θt。该角度θt相当于缺陷部分1901两端A、B连结线上的中点M与工件10的中心的连结线QM对上述基准线(例如、x轴)所形成的角度。
其次，缺陷部分1901的两端连结线上的中点M和工件10中心的连结线QM，只要与线段OP1成平行，则以后透过使工件10朝水平方向(例如x轴方向或y轴方向)移动，就可使缺陷部分1901两端连结线上的中点M与工件10中心的连结线QM与线段OP1重叠。因此，计算用以使工件10以旋转中心的原点O为中心旋转的旋转角度γ，使缺陷部分1901两端连结线上的中点M与工件10中心的连结线QM与线段OP1形成平行。例如，拍摄区域中心点P1和原点O的连结直线OP1与上述基准线(例如，x轴)所成的角设为β时，该旋转角度γ即为β－θt。
藉由该旋转角度γ，透过使工件10以原点O为中心旋转，即如图19(b)所示，缺陷部分1901两端连结线上的中点M和工件10中心的连结线QM就会与线段OP1形成平行。
此时，藉由工件10作γ旋转，工件10的中心Q就相对于原点O朝角度α+γ的方向处在离开距离h的位置。因此，令工件10移动，使该工件10的中心Q与原点O重叠。即，藉由令工件10朝角度α+γ的相反方向移动距离h，线段QM就会以中心Q与原点O重叠的方式平行移动，而与线段OP1重叠，缺陷部分1901的中点M就被配置在拍摄区域AP1内。而且，此处，缺陷部分1901的中点M就会位于连结拍摄区域AP1的中心点P1与工件10的中心的应配置位置的原点O的直线上。
从而，如上所述，针对作为拍摄对象的各缺陷部分，使用表示缺陷部分的资讯及表示拍摄区域AP1的位置的资讯(例如，表示中心点P1的资讯等)，计算缺陷部分两端连结线段的中点对于与角度基准线成正交的线所形成的角度θt，并使用该角度θt来计算工件10以旋转中心为中心旋转的旋转角度γ，再使用以使修正资讯所示的工件10的旋转中心为中心进行移动为目的的表示移动方向的角度α，来计算用以使经旋转角度γ的工件10的中心移动到预先指定位置的表示移动方向的角度α+γ。然后，要拍摄各缺陷部分时，将工件10从载置于载置台3021的初期状态，使各缺陷部分以旋转角度γ旋转，并朝着角度α+γ所示方向的反方向往水平方向移动修正资讯所示的移动量h。
藉此方式，工件10的中心就可配置于预先指定位置，且缺陷部分1901得以配置于拍摄区域AP1内。
此外，由于在工件10的中心配置于预先指定位置的状态下，可以进行缺陷部分的拍摄，因此，例如工件10的形状为圆形等时，可将拍摄所得影像中的工件10的边缘位置对齐于大致相同位置，在比较多个影像时，容易观看，可提供高便利性的影像。
另外，上述的旋转移动与水平方向移动的顺序等，并不拘。
再者，上述中所利用的计算式等仅为一例，本发明中，只要是可获得实质上相同值者，也可使用其他计算式等。又，上述中所利用的角度等，只要是可获得实质上相同值者，可藉由工件10的旋转方向、作为0°的位置或基准线的设定等，而适当的变更使用。
而且，预先指定x轴等的直线或线段也可不必为表示使为了工件10的旋转中心移动到工件10中心的方向的旋转角度α的基准直线或线段，在此情形中，只要例如依据作为该旋转角度α的基准直线与预先指定x轴等的直线或线段的倾斜等的差异程度，在使工件10移动时，将取得的移动方向、移动距离、或旋转角度加以适当修正即可。此外，工件10的中心应配置的预先指定位置也可非为工件10载置于移动部302时的工件旋转中心所在位置。此时，只要按照载置时的旋转中心所在位置与载置工件10的预先指定位置的位置关系，将移动工件10时取得的移动方向、移动距离、或旋转角度适当修正即可。
还有，上述的处理，主要是利用角度等来表示移动方向，但也可使用从角度或移动量等取得的座标等来取代角度。
再者，上述的处理仅为一例，只要可取得实质上同样的旋转角度γ、或旋转中心的移动方向等，本发明也可使用其他方法。
(2)不使工件在水平方向上移动的情况
例如，为了取得第一旋转距离资讯，移动部302也可透过对处在载置于载置台3021状态的工件10仅进行旋转移动，使缺陷部分移动到拍摄区域。具体而言，移动部302可透过按照表示输出部104输出的缺陷部分位置的旋转角度使工件10旋转，而将缺陷部分适当配置在拍摄区域内。例如，可计算表示缺陷部分两端位置的角度的平均角度，透过令工件10旋转，使该角度与以旋转中心及预先指定基准线为基准的拍摄区域中心点的方向角度一致，且令工件10移动，使缺陷部分的中心大致位于拍摄区域中心。
(3)使工件中心与工件旋转用载置台的旋转轴对准的情况
例如，移动部302设有将工件10从载置台3021拾起后，朝水平方向移动，再次将工件10载置于载置台3021上的升降装置(未图示)等，并利用输出部104输出的修正资讯，藉该升降装置将工件10从载置台3021拾起，且利用输出部104输出的修正资讯，使工件10的中心移动，俾与使工件10旋转的载置台3021的旋转中心重叠，将工件10载置于载置台3021上。更且，如上所述，也可利用从缺陷部分取得的表示缺陷部分位置的角度θt，使缺陷部分旋转一旋转角度γ，将缺陷部分移动到拍摄区域内。
此外，在载置台3021上，只要可使工件10的位置移动，也可使用上述升降装置以外的装置。
再者，以下举例说明本实施形态中移动部302藉由上述(1)的处理使工件10移动的情况。
在一个工件10的边缘存在有多个缺陷部分时，移动部302也可使各缺陷部分依序移动到拍摄区域。例如，拍摄部303毎次针对移动到拍摄区域的缺陷部分的拍摄结束时，移动部302就使下一个缺陷部分移动到拍摄区域。
而且，移动部302也可就存在于一个工件10边缘的多个缺陷部分中，使位置接近的多个缺陷部分统一移动到相同的拍摄区域。所谓位置接近的缺陷部分，是指例如位于预先指定范围的缺陷部分，举具体例而言，表示缺陷部分位置的旋转角度是为位在预先指定范围的缺陷部分。预先指定范围是指例如工件10边缘可一次落在拍摄区域内的范围以下的范围。例如，移动部302也可将工件10移动，使接近且位于边缘的多个缺陷部分中将两端缺陷部分位置作二等分的位置位于拍摄区域的中央。在此情况中，只要将接近的多个缺陷部分视为一个缺陷部分，使用表示其两端位置的旋转角度等，令接近的多个缺陷部分移动到拍摄区域内即可。该处理也可以为使接近的缺陷部分群组化移动的处理。
移动部302也可在工件10的边缘缺陷部分中，仅使检测部306检测到的一个以上缺陷部分移动到拍摄区域。所谓检测部306检测到的缺陷部分，是指工件10边缘相对于其他缺陷部分其大小为较大的一个以上缺陷部分。关于检测部306的处理等，容于后述。
还有，针对一个工件10的一个以上缺陷部分的拍摄结束时，移动部302也可使用例如为了要将对准位置状态的工件10递交给后段的工件输送装置2等，而使用输出部104输出的工件10的对准位置用资讯、或工件10的朝向特定用资讯等，将工件10移动，俾使工件10的中心配置于如上述的预先指定位置，且工件10的朝向形成为预先指定的朝向。
而且，一个工件10没有缺陷部分时，移动部302也可不进行使上述的缺陷部分移动到拍摄区域的处理。例如，输出部104输出关于缺陷部分的资讯表示工件10无缺陷时，也可不进行使上述的缺陷部分移动到拍摄区域的处理。
另外，除上述说明外，移动部302也可适当进行与上述实施形态1中说明的转盘52、转盘旋转机构53、电动马达54等同样的动作等。
移动部302也可设有用以计算移动距离或旋转角度等资讯的MPU或记忆体等构成。用以计算移动距离或旋转角度等的处理程序等，一般是以软体来实现，而该软体则记录于ROM等记录媒体。但，也可用硬体(专用电路)来实现。
另外，此处是以移动部302构成边缘位置检测器301的一部分的情况为例来说明，但移动部302也可以为非属边缘位置检测器301的一部分。
拍摄部303拍摄配置于拍摄区域内的工件的边缘缺陷部分。所谓拍摄缺陷部分，是指例如拍摄配置有缺陷部分的拍摄区域内。拍摄部303是指备有CCD(感光耦合元件)或CMOS(互补金氧半导体)等影像感测器的照相机。拍摄部303可配置成例如其拍摄区域包含中心配置于预先指定位置的配置状态的工件10的一部分边缘及其周边的区域。拍摄部303一般设置成其光轴对工件10的表面成垂直。拍摄部303的设置位置较佳为可朝水平方向移动，使拍摄区域可按照工件10的规格而变更。拍摄部303以例如治具等安装于工件处理装置3。在此情况中，移动部302即使令工件10移动，拍摄部303的位置也不移动。
拍摄部303一般具有用以使来自拍摄对象的光成像于影像感测器的受光面的光学系。而且，拍摄部303也可具备用以对拍摄区域或其周边实施照明的照明器具，例如环状照明等。以拍摄部303而言，较佳为使用高解析度的可拍摄缺陷部分的影像者。以拍摄部303的一个例子而言，可使用例如视角为3mm四方、像素数35万像素的CCD照相机等。还有，作为拍摄部303，也可用例如民生用数位照相机。拍摄部303拍摄的影像可为彩色影像、也可为灰阶影像。影像的颜色深度等并不拘。拍摄部303拍摄的影像一般为静止影像，但也可为动态影像。拍摄部303可以固定焦点进行拍摄，也可以自动对焦进行拍摄。拍摄部303取得的影像的数据形式等并不拘。另外，也可使用以线感测器扫描进行拍摄的所谓扫描器等，作为拍摄部303。
在例如移动部302将一个缺陷部分或者一个接近的缺陷部分的组移动到拍摄区域时，拍摄部303就进行缺陷部分的拍摄。但，也可按照未图示的受理部等受理的使用者的指示来进行拍摄。
拍摄部303也可在工件10的边缘缺陷部分中仅拍摄后述的检测部306所检测的缺陷部分。藉此方式，工件10的边缘的多个缺陷部分中，就可选择性地仅拍摄其大小相对于其他缺陷部分为较大的一个以上缺陷部分。
还有，工件处理装置3也可具备多个拍摄部303。例如，也可具备不同拍摄区域、或者部分重叠的拍摄区域的多个拍摄部303。多个拍摄部303为例如分别具有沿着中心为配置于预先指定位置的工件的边缘的配置区域的多个拍摄部。该多个拍摄部303也可例如实质上与一个拍摄部同样地同时进行拍摄等。透过采用此方式，就可同时拍摄同时存在于广阔范围的多个缺陷部分的组，拍摄或以拍摄为目的的移动所费的时间就可缩短。
修正缺陷位置取得部304使用输出部104所输出的使工件10对准位置用的资讯、工件10的朝向特定用资讯、及工件10的关于边缘缺陷部分的资讯，以工件10的中心及针对该工件的特定朝向作为基准，而取得修正缺陷位置资讯，该修正缺陷位置资讯为表示前述工件的缺陷部分位置的资讯。修正缺陷位置资讯为例如以工件10的中心及有关该工件的特定朝向作为基准而修正的缺陷的位置资讯。工件10的朝向特定用资讯为例如表示定向扁平部面等工件10缺口部的位置资讯。表示缺口部位置的资讯为例如表示缺口部的两端连结线段的中点位置的资讯。表示缺口部位置的资讯为例如缺口部的两端连结线段的中点与工件10中心的连结线段的旋转角度。修正缺陷位置资讯为例如以藉工件10的中心及针对缺口部的位置所特定的位置为基准来表示工件10的边缘缺陷位置的资讯。具体而言，修正缺陷位置资讯为表示缺口部位置的点与工件10的中心的连结线段、及表示工件10的边缘缺陷部分的点与工件10的中心的连结线所形成的角度。表示缺口部位置的点为例如连结缺口部两端的线段的中点。表示缺陷部分位置的点为例如连结缺陷部分两端的线段的中点。
所谓以工件10的中心及针对该工件所特定的朝向为基准，虽将该特定的朝向设定为旋转角度的基准，例如设定在相当于0°的位置，但也可为设定在0°以外的期望旋转角度，而且，也可将按照该朝向而特定的朝向设定为旋转角度的基准等。
如在上文中使用图19作说明，缺陷部分两端的中点与工件10的中心的连结线段与正交于预先指定直线的直线(例如，图19的y轴等)所形成的角度，是与连结缺陷部分两端的直线与预先指定直线(例如，图19的x轴)所形成的角度相同，该角度可从表示缺陷部分两端位置的资讯取得。因此，透过针对各缺陷部分取得该角度，就可计算缺陷部分两端的中点以工件10的中心作为旋转中心时的旋转角度。透过使用输出部104等输出的缺口部两端位置的资讯，也可针对缺口部计算出同样的旋转角度。然后，透过从依此方式计算所得的各缺陷部分的旋转角度减去缺口部的旋转角度，就可取得修正缺陷位置资讯，该修正缺陷位置资讯为以缺口部与工件10的中心的连结线作为基准的各缺陷部分的旋转角度。
此外，修正缺陷位置取得部304也可在取得修正缺陷位置资讯时适当利用移动部302使工件10移动时计算所得的缺陷部分中点与工件10的中心的连结直线的旋转角度资讯等。依此方式可以为直接使用输出部104输出的工件10对准位置用资讯、工件10的朝向特定用资讯、工件10关于边缘缺陷部分的资讯而取得修正缺陷位置资讯的动作、移动部302等使用这些资讯所得到的资讯以取得修正缺陷位置资讯的动作，同时在此也可以为使用输出部104输出的工件10的对准位置用资讯、工件10的朝向特定用资讯、及工件10关于边缘缺陷部分的资讯来取得修正缺陷位置资讯的动作。
影像输出部305将拍摄部303拍摄的影像输出。此处所谓的输出包含例如显示于监视器画面、使用投影机进行投影、用印表机列印、往外部装置传送、储存到记录媒体、处理结果向其他处理装置或其他程式等交递的概念。
影像输出部305例如使拍摄部303拍摄的影像、与对应该影像的工件10的识别符或缺陷部分识别符的至少一个形成对应并输出。工件10的识别符可为各别分配给工件10的代码等，也可为包含作为拍摄对象的工件的多个工件所构成的工件群的表示批次的识别符(例如，代码等)与表示该批次内作为拍摄对象的工件的顺序的资讯(例如，第几片等资讯)的组合。缺陷部分的识别符为分配给缺陷部分的编号等代码。所谓与影像对应的工件10的识别符，是指作为影像拍摄对象的工件10的识别符。再者，所谓与影像对应的缺陷部分的识别符，是指作为影像拍摄对象的一个以上缺陷部分的识别符。影像输出部305也可再使修正缺陷位置取得部304针对作为影像拍摄对象的缺陷部分所取得的修正缺陷位置资讯与影像形成对应并输出。
影像输出部305较佳为在显示影像时能按照经由未图示的受理部等受理的使用者等的指示进行显示影像的放大、缩小、显示范围的移动等。依此方式，由于可以放大，只要拍摄部303拍摄的影像是高解析者，就可将边缘的缺陷部分放大显示，使难用肉眼确认的边缘缺陷部分的形状等容易确认。
再者，显示影像时，也可将表示影像比例尺的资讯，例如标度或刻度等，与影像重叠显示。透过此种方式，缺陷部分的规格就容易掌握。而且，表示影像比例尺的资讯的显示位置等，也可按照使用者的指示而变更。另外，标度或刻度等只要按照拍摄部303的解析度、或从拍摄部303至工件10的距离等适当计算，或按照解析度或距离从未图示的储存部等取得预先指定标度或刻度等即可。从拍摄部303至工件10的距离等也可使用例如测距用感测器(未图示)等来取得。
影像输出部305也可以为包含或不包含显示器、印表机、通讯装置或储存装置等的输出装置。影像输出部305得由输出装置的驱动软体、或输出装置的驱动软体与输出装置等来实现。
检测部306使用输出部104输出关于工件10的边缘缺陷部分的资讯，在工件10的边缘缺陷部分中检测出其缺陷大小较大的一个以上缺陷部分。所谓大小较大的一个以上缺陷部分，可以为越符合有关大小的预先指定条件就是为越大的缺陷部分。
检测部306使用例如输出部104输出关于缺陷部分的资讯的表示缺陷部分旋转角度范围的资讯来检测一个以上缺陷部分。检测部306例如将旋转角度范围在预先指定关于旋转角度范围的临界值以上的缺陷部分进行检测，当作缺陷部分的大小较大的一个以上缺陷部分。此外，也可在一个工件10的缺陷部分中自旋转角度范围较大者依序检测预先指定数的缺陷部分，当作缺陷部分的大小较大的一个以上缺陷部分。
又，检测部306使用例如输出部104输出关于缺陷部分的资讯的表示距离差资讯的资讯来检测一个以上缺陷部分。检测部306例如将与预先缺陷部分形成对应的距离差资讯的最大值在临界值以上的缺陷部分当作缺陷部分的大小较大的一个以上缺陷部分来检测。此外，也可在一个工件10的缺陷部分中从形成对应的距离差资讯的值较大者依序检测预先指定数的缺陷部分，当作缺陷部分的大小较大的一个以上缺陷部分。与缺陷部分形成对应的距离差资讯也可以为表示缺陷部分的深度或高度的资讯。
而且，检测部306也可按照上述表示旋转角度范围的资讯与关于距离差资讯的资讯的组合，当作缺陷部分的大小较大的一个以上缺陷部分来检测。例如，也可检测旋转角度范围在临界值以上且距离差资讯的值在临界值以上的缺陷部分。又，也可检测旋转角度范围的大小顺位及距离差资讯的大小顺位均在预定顺位以内的缺陷部分。
另外，检测部306也可将符合上述以外条件的缺陷部分当作缺陷部分的大小较大的一个以上缺陷部分来检测。
评估部307使用影像输出部305输出的影像，来评估该影像所表示的缺陷部分。所谓评估缺陷部分，是指例如缺陷部分对工件10的影响的评估。例如，对检测到有缺陷部分的工件10使用于后续程序时，该缺陷部分对工件10是否造成影响、造成何种影响等进行评估。所谓评估缺陷部分，也可为例如发生缺陷部分时，具有该缺陷部分的工件10在后续程序等中发生破裂等破损的可能性高低进行评估。缺陷部分的评估也可为工件10是否有异常的评估。
例如，评估部307藉由图形比对(pattern matching)进行影像所示缺陷部分的评估。例如，预先将使影像的图形与对缺陷部分的评估结果形成对应而组成的资讯的一个以上评估图形管理资讯储存于未图示的储存部等。接着，判断影像输出部305输出的影像是否与各评估图形管理资讯具有的影像图形匹配，有匹配时，就取得与该影像图形形成对应的评估结果。所谓影像图形，是指例如影像特征点的资讯。所谓影像特征点则指例如缺陷部分的凸角数、凸角的位置、表示缺陷部分的宽度或深度等的资讯。具有可判断为与影像图形所示的特征点一致的特征点的影像即判断为与影像图形匹配的影像。评估部307也可在进行图形匹配之前对影像输出部305输出的影像施行二值化等影像处理。
另外，有关针对影像进行图形匹配的处理是属公知技术，其详细说明在此容予省略。
再者，评估部307也可透过例如进行影像类似搜寻以执行影像所示缺陷部分的评估。例如，预先将由评估用影像与对缺陷部分的评估结果形成对应而组成的资讯的一个以上评估影像管理资讯储存于未图示的储存部等。然后，取得影像输出部305输出的影像和各评估用影像的类似度，该类似度在预先指定的临界值以上时，评估部307就取得与该评估用影像形成对应的评估结果。评估用影像为例如拍摄部303所拍摄的一个以上影像。评估用影像为彩色影像、或灰阶影像、二值化影像均可。影像间的类似度可为例如构成影像的像素值平均的比较、像素值的柱形图(histogram)、从影像计算所得的每个频率的振幅宽度的比较等，也可为二值化影像彼此间一致像素的比率等。
再者，评估部307也可使用运用均方误差的类似影像搜寻等其他公知的类似影像搜寻作为影像的类似搜寻。
另外，针对影像执行的类似搜寻、取得影像间类似度等的处理等，由于是属公知技术，其详细说明在此容予省略。
评估结果只要是表示与缺陷部分相关的评估结果的资讯，任何资讯均可。例如，可为表示是否与工件10的破损关连可能性高的缺陷部分的资讯、或表示破损发生率范围(例如，50％以上)等的资讯。此外，也可为表示发生何种异常的资讯。又，也可为表示工件10产生破损的资讯。而且，也可为这些资讯的2种以上组合。
另外，评估部307也可使用储存于后述影像情况资讯储存部310的影像情况资讯，来评估影像输出部305输出的影像所显示的缺陷部分。例如，也可使用影像情况资讯内具有的关于拍摄部303所拍摄的缺陷部分影像的资讯、影像情况资讯所具有的影像所显示的有关工件10的工件情况资讯，来评估缺陷部分。有关工件情况资讯，容后述。所谓影像情况资讯具有的关于缺陷部分影像的资讯，可为缺陷部分的影像本身，也可为自缺陷部分影像取得的特征点资讯。
例如，关于缺陷部分影像的资讯是指缺陷部分的影像时，评估部307即使用影像情况资讯具有的影像，对影像输出部305输出的影像进行与上述同样的类似搜寻，从影像情况资讯取得与经判断为类似的影像形成对应的工件情况资讯作为评估结果。这种情况的影像情况资讯也可以为上述的评估影像管理资讯。
再者，例如关于缺陷部分影像的资讯为缺陷部分影像的特征点的资讯时，评估部307会对影像输出部305输出的影像，使用影像情况资讯具有的影像特征点资讯，进行与上述同样的图形匹配，从影像情况资讯取得与经判断为匹配的特征点资讯形成对应的工件情况资讯，作为评估结果。此时的影像情况，可以为上述的评估图形管理资讯。
此外，评估部307也可使用储存于后述影像情况资讯储存部310的影像情况资讯，进行机器学习，并使用其机器学习的结果，执行影像输出部305输出的影像的评估。例如，可对影像情况资讯具有的影像特征点与对于该影像所示的缺陷部分的工件情况资讯的一个或两个以上的组加以学习，使用其学习结果，取得与从影像输出部305输出的影像取得的特征点对应的工件情况资讯，作为评估结果。另外，有关机器学习的构成与处理，因与上述实施形态1相同，其详细说明在此容予省略。
评估结果输出部308会将评估部307所取得的评估结果输出。评估结果输出部308也可例如将评估结果与作为该评估结果的评估对象的影像所对应的工件识别符、或缺陷部分的识别符、或修正缺陷位置资讯形成对应并输出。
此处所谓的输出，包含例如显示到监视器画面、使用投影机进行投影、在印表机列印、往外部装置传送、储存到记录媒体、处理结果对其他处理装置或其他程式等的交递等概念。
评估结果输出部308也可以为包含或不包含显示器、印表机、通讯装置、储存装置等输出装置。影像输出部305得由输出装置的驱动软体、或输出装置的驱动软体与输出装置等来实现。
情况受理部309受理工件情况资讯，该工件情况资讯是指表示有关经拍摄部303拍摄缺陷部分的工件10的缺陷部分拍摄后情况、且为对该工件10执行预先指定的一个或两个以上处理后的情况的资讯。例如，情况受理部309会从使用者等受理工件情况资讯。
所谓预先指定处理，是指例如对工件10执行的处理。若工件10为半导体晶圆，预先指定处理是指例如构成半导体制造程序的一个以上处理。
所谓工件10的情况，可视为工件10的状态，例如，工件10是否发生破损等异常、该异常是何种异常等。所谓何种异常，例如，异常为破损时，是指产生破裂或裂纹等如何破损的情形。工件10的情况也可为因存在于工件10的一个缺陷部分而起的工件情况。所谓因存在于工件10的一个缺陷部分而起的工件情况，是指例如在对应工件10的一个缺陷部分的位置开始从该缺陷部分产生裂纹的情形。
工件情况资讯是指表示上述工件10的情况的资讯。工件情况资讯是指例如表示即使工件10在拍摄后的处理中是否正常的资讯。或者，也可为表示在拍摄后的处理中工件10发生了何种异常的资讯。此外，工件情况资讯也可为拍摄后的处理已结束的工件10的评估值或指标等。
例如，情况受理部309会受理工件10的识别符、或与缺陷部分识别符形成对应的工件情况资讯。例如，对一个工件10在拍摄后的后续程序中检测到有异常时，即同时将工件10的识别符与工件情况资讯受理。
此处所谓的受理是指例如从输入装置的受理、或传送自其他机器等的输入讯号的接收、或自记录媒体等的资讯读取等。用以受理工件情况资讯的输入装置可为经由数字键、键盘、滑鼠或选单画面等任何一种。情况受理部309得以数字键、键盘等输入装置的装置驱动器、选单画面的控制软体等来实现。
影像情况资讯储存部310是供储存影像情况资讯，该影像情况资讯内的资讯具有关于影像输出部305输出的缺陷部分影像的资讯、及工件情况资讯。关于缺陷部分影像的资讯是指例如利用在图形匹配或影像类似搜寻的影像所取得的资讯。关于缺陷部分影像的资讯可为例如缺陷部分的影像本身、对缺陷部分影像进行二值化等影像处理所得的影像、也可为从缺陷部分影像取得的特征点的资讯、也可为对缺陷部分影像施行过滤处理等预先指定处理所得的资讯。而且，关于缺陷部分影像的资讯可为具有这些资讯中的2种以上的资讯。储存于影像情况资讯储存部310的工件情况资讯为例如情况受理部309所受理的情况资讯。
影像情况资讯累积储存部311将影像情况资讯储存于影像情况资讯储存部310，该影像情况资讯具有影像输出部305输出关于缺陷部分影像的资讯、及情况受理部309所受理有关该缺陷部分的工件情况资讯。例如，影像情况资讯累积储存部311会将影像情况资讯累积储存，而该影像情况资讯则具有影像输出部305输出的缺陷部分影像、及有关该缺陷部分的工件情况资讯。此外，例如影像情况资讯累积储存部311也可从影像输出部305输出的缺陷部分影像取得上述关于该影像的资讯，并将具有所取得关于该影像的资讯、及有关该缺陷部分的工件情况资讯的影像情况资讯加以储存。
所谓有关缺陷部分的工件情况资讯，可为有关一个缺陷部分的工件情况资讯，也可为有关具有一个缺陷部分的工件的工件情况资讯。影像情况资讯累积储存部311在受理例如指定一个以上缺陷部分影像的资讯、及这些影像表示的有关缺陷部分的一个工件情况资讯时，将关于该缺陷部分影像的资讯与所受理的工件情况资讯形成对应，并储存于影像情况资讯储存部310。
例如，情况受理部309受理了由工件的识别符与该该工件的缺陷部分识别符形成对应的工件情况资讯时，影像情况资讯累积储存部311可将影像情况资讯储存于影像情况资讯储存部310，而该影像情况资讯以形成对应方式具有：影像输出部305输出的缺陷部分影像中与该工件识别符一致的工件识别符形成对应且与该缺陷部分识别符一致的缺陷部分识别符形成对应的一个以上缺陷部分影像、及所受理的工件情况资讯。
例如，情况受理部309受理了与工件的识别符形成对应的工件情况资讯时，影像情况资讯累积储存部311可将影像情况资讯储存于影像情况资讯储存部310，而该影像情况资讯以形成对应方式而具有：影像输出部305输出的缺陷部分影像中与该工件识别符一致的工件识别符形成对应的一个以上缺陷部分影像、及所受理的工件情况资讯。
另外，也可藉由本实施形态的工件处理装置3、及上述实施形态1中说明的工件输送装置2来构成工件输送系统。例如，该工件输送系统为在图4等所示的上述实施形态1的工件输送系统1000中设置工件处理装置3，以取代工件处理装置，而获得的工件输送系统。
接着，使用图20的流程图就本实施形态的工件处理装置3的动作加以说明。本实施形态的工件处理装置3进行的处理与图6所示的上述实施形态1的工件处理装置1相同，同时，图6所示的处理进行以下图20所示的处理，作为从步骤S119至返回步骤S100间的处理。具体而言，在图6的步骤S119之后就开始图20处理，图20的处理结束时，返回图6的步骤S100。另外，有关图6所示的处理的说明，在此容予省略。
(步骤S301)移动部302从输出部104输出关于缺陷部分的资讯来判断工件10的边缘有无一个以上缺陷部分。若有，则进到步骤S302；若无，则进到步骤S314。
(步骤S302)检测部306从缺陷部分中检测大小较大的一个以上缺陷部分。还有，缺陷部分只有一个时，可省略该处理。此外，无法检测到大小较大的缺陷部分时，可进到步骤S314。
(步骤S303)移动部302将1代入计数器k。
(步骤S304)移动部302使用第k个缺陷部分的旋转角度等表示位置的资讯，使工件10的中心移动到预先指定位置，且取得令第k个缺陷部分移动到拍摄区域时所需要的工件10的旋转角度。
(步骤S305)移动部302取得使工件10及第k个缺陷部分移动到与上述同样的位置时所需要的工件10的水平方向移动量。所谓的水平方向移动量，是指用以使工件10朝水平方向移动的距离、角度、移动方向、x轴方向的移动距离、y轴方向的移动距离等资讯。
(步骤S306)移动部302依照步骤S304及步骤S305所取得的旋转角度资讯及水平方向移动量，令工件10移动，使第k个缺陷部分移动到拍摄区域。
(步骤S307)拍摄部303对工件10的第k个缺陷部分进行拍摄。
(步骤S308)修正缺陷位置取得部304针对第k个缺陷部分取得修正缺陷位置资讯。例如，针对第k个缺陷部分及缺口部分，分别取得以工件10的中心为旋转中心时的旋转角度，并取得其差值作为修正缺陷位置资讯。
(步骤S309)影像输出部305将拍摄部303拍摄的影像输出。例如，影像输出部305会使影像与工件10的识别符或第k个缺陷部分的识别符、或步骤308取得有关第k个缺陷部分的修正缺陷位置资讯等形成对应，并输出。例如，影像输出部305会将影像储存于未图示的储存部。而且，影像输出部305也可将影像显示于监视器等。
(步骤S310)评估部307使用步骤S309储存的影像，进行显示于该影像的第k个的缺陷部分的评估。例如，从储存于影像情况资讯储存部310的影像情况资讯所具有的影像图形中，藉由图形匹配而检测出与第k个缺陷部分的影像匹配的影像图形，并取得与检测所得的图形形成对应的工件情况资讯，作为评估结果。
(步骤S311)评估结果输出部308将评估结果输出。例如，显示于监视器等。
(步骤S312)移动部302将计数器k的值递增1。
(步骤S313)移动部302判断有无第k个缺陷部分。若有，则返回步骤S304；若无，则进到步骤S314。
(步骤S314)移动部302使缺口部朝预先指定方向移动，且取得工件10的中心移动到预先指定位置时所必须的工件10的旋转角度。
(步骤S315)移动部302使缺口部朝预先指定方向移动，且取得使工件10的中心移动到预先指定位置时所必须的工件10的水平方向移动量。
(步骤S316)移动部302依照步骤S314取得的旋转角度及步骤S315取得的移动量，使工件10移动。该移动为例如用以使工件10与工件输送装置2等对准位置并递交的移动。然后，结束处理。该处理结束时，返回图6的步骤S100。
此外，本实施形态的工件处理装置3中，在图6所示流程图的步骤S122，判断为非设定临界值的时机后，再进行判断情况受理部309是否已受理工件情况资讯的处理；已受理工件情况资讯时，影像情况资讯累积储存部311可将具有所受理的工件情况资讯、及与该工件情况资讯对应的关于缺陷部分影像的资讯的影像情况资讯储存于影像情况资讯储存部310，并返回步骤S100；若未受理时，返回步骤S100。
再者，图20所示的流程图中，在步骤S316，移动部302移动工件10后，工件10例如藉由工件输送装置2等从工件处理装置3往其他装置等输送。此外，此处省略说明，惟工件输送装置2将工件安置于移动部302的载置台3021等时，工件处理装置3可与一般所谓对准器等同样，使工件10旋转，且针对工件10取得第一旋转距离资讯，并储存于第一旋转距离资讯储存部101。
此外，图20中，步骤S310与步骤S311等的处理、或影像输出部305将缺陷部分的影像输出的例如显示的处理，可按照使用者等的指示适当进行。
又，图20所示的流程图中，可将步骤S314及步骤S315的处理在步骤S301的瞬前进行；在步骤S301判断为无缺陷部分时，进到步骤S316；在步骤S313判断为无第k个缺陷部分时，也可进到步骤S316，并使用步骤S314及步骤S315取得的资讯，使工件10移动。
其次，就本实施形态的工件处理装置3的具体例加以说明。此外，此处是就由工件处理装置3与工件输送装置2构成工件输送系统的情况为例作说明。而且，该工件处理装置3等虽可执行例如与上述实施形态1中说明的具体例同样的处理，但此处，有关该处理等的详细说明予以省略。
与上述实施形态1的具体例同样，工件处理装置3针对一个工件10取得作为工件对准位置用的资讯的修正资讯、关于缺陷部分的资讯、及特定工件朝向用资讯，并设输出部104已输出这些资讯。输出部104所输出的修正资讯设为表示移动方向的旋转角度α1及移动长度h1。而且，输出部104所输出关于缺陷部分的资讯，是与例如图16所示者同样，设为有关多个缺陷部分的表示缺陷部分范围的旋转角度范围与缺陷部分大小的最大值的组、或具有从工件10的旋转中心至各缺陷部分两端的长度等的资讯。此外，输出部104所输出的特定工件朝向用资讯，为表示与图16所示者同样的定向扁平部范围的旋转角度范围。
移动部302从输出部104受理上述的资讯时，首先，判断工件10中有无缺陷部分。此处，因关于缺陷部分的资讯表示具有缺陷部分，故判断为有缺陷部分。
由于藉移动部302判断工件10中有缺陷部分，故检测部306会从该缺陷部分中检测大小较大的缺陷部分。此处，是对缺陷部分大小的绝对值为临界值以上的缺陷部分进行检测。此处，是例如全部缺陷部分的大小均判断为临界值以上。
移动部302针对检测部306所检测的缺陷部分中的第一缺陷部分，使该缺陷部分的两端连结线段的中点位于拍摄部303的拍摄范围，且以下述方式取得用以使工件10移动的旋转移动的旋转角度与水平移动的移动量的组合，俾在将预先指定工件10交递于工件输送装置2时，使工件10的中心位于其应配置的位置。
具体而言，使用表示第一缺陷部分范围的表示旋转角度范围的资讯、或从工件10的旋转中心至缺陷部分两端的长度等，取得缺陷部分两端的座标等，并取得通过该缺陷部分两端的线段对旋转角度为90°的线段所形成的角度。此处，旋转角度为90°的线段，系为对取得上述旋转角度α1时表示0°的直线所形成的角度为90度的线段，该角度相当于图19的θt。
接着，移动部302会将预先储存于未图示的储存部等的表示拍摄区域内的中心位置的旋转角度读取，并从该角度减去上文中取得的通过缺陷部分两端的线段对旋转角度为90°的线段所形成的角度。藉此方式所得的角度即为使工件10旋转时所利用的旋转角度，相当于图19的角度γ。
而且，移动部302会取得上文中取得的通过缺陷部分两端的线段对旋转角度为90°的线段所形成的角度加入修正资讯具有的旋转角度α1所得的值，作为使工件10移动时的旋转角度，且取得修正资讯具有的长度h1，作为工件10的移动距离。但，由于此处所取得的旋转角度是为用以使工件10的旋转中心重叠于工件10的中心的表示移动方向的角度，所以，使工件10移动时，朝该取得的旋转角度的相反方向(即旋转180°的方向)移动。
移动部302会使工件10以工件10的旋转中心为中心旋转上文中取得的旋转角度所示的角度，并使工件10朝上文中取得的旋转角度所示方向的相反方向移动一长度h1。
拍摄部303藉由这种移动对已位于拍摄区域的工件10的第一缺陷部分进行拍摄。
再者，修正缺陷位置取得部304会使用输出部104输出的修正资讯所具有的表示定向扁平部范围的旋转角度等，进行与上述移动部302同样的处理，取得连结定向扁平部两端的直线对旋转角度为90°的线段所形成的角度，并从上文中移动部302取得的通过第一缺陷部分两端的线段对旋转角度为90°的线段所形成的角度减去，而取得藉该减算所得的值，作为有关第一缺陷部分的修正缺陷位置资讯。该修正缺陷位置资讯为以工件10的中心当作旋转中心时，以定向扁平部的旋转角度为基准(即，0°)时的第一缺陷部分的旋转角度。
影像输出部305使对拍摄部303拍摄的第一缺陷部分进行拍摄所得的影像，与工件10的识别符(例如，分配给工件10的代码)、缺陷部分的ID(例如，缺陷部分的号码等)、修正缺陷位置资讯、拍摄日期、输出部104输出的缺陷部分深度(高度)、及输出部104输出的缺陷部分范围换算成长度所得的值的缺陷部分宽度形成对应，并储存于未图示的储存部，同时使拍摄的影像与这些资讯形成对应，显示于未图示的监视器等。
图21是用来管理影像输出部305所储存的缺陷部分影像的影像管理表。影像管理表具有：“影像”、“工件ID”、“缺陷ID”、“修正缺陷位置”、“日期”、“高度”、及“宽度”。“影像”为缺陷部分的影像，此处，是表示影像的档案名。“工件ID”为工件的识别符。“缺陷ID”为工件10内的缺陷部分的识别符，此处，是设为以从旋转角度较小者依序呈上升次序的方式分配给检测部306检测的缺陷部分的号码。“修正缺陷位置”为修正缺陷位置取得部304取得的修正缺陷位置资讯。“日期”是从未图示的时钟等取得的影像拍摄日期。“高度”为缺陷部分的高度或深度，“宽度”指缺陷部分的宽度。
图22为影像输出部305输出的缺陷部分的影像显示例图。图中，缺陷部分的影像是显示在区域211。在区域212显示的影像中，影像输出部305在显示预先准备的无缺陷部分的工件10的影像中，在修正缺陷位置资讯所示的旋转角度所示方向的边缘上的位置，配置有表示有缺陷部分的标记。在区域213中，显示有与缺陷部分影像对应的工件的识别符。在区域214中，显示有与缺陷部分影像对应的修正缺陷位置资讯表示的旋转角度、缺陷部分的宽度及深度。在区域215中，显示有拍摄日期。此外，显示于区域211的影像可按照使用者等的指示，进行放大、缩小、显示范围的移动等。
图23为用以管理储存于影像情况资讯储存部310的影像情况资讯的影像情况资讯管理表的图示。影像情况资讯管理表具有所谓“图形”、“情况”等属性。“图形”是指从缺陷部分影像取得的缺陷部分特征量的图形。“情况”是指具有关于与“图形”对应的缺陷部分的工件的工件情况资讯。
评估部307针对影像输出部305输出的第一缺陷部分影像，使用图23所示的影像情况资讯进行评估。具体而言，评估部307会从图23的影像情况资讯管理表的各纪录(列)依序取得“图形”的属性值，并依序判断所取得的属性值表示的影像图形是否与第一缺陷部分的影像匹配。有匹配时，取得有匹配的属性值对应的“情况”的属性值，作为评估结果。此外，在一个纪录的图形有匹配的时间点，可将处理结束，也可针对全部纪录进行处理。此时，可取得多个“情况”的属性值作为评估结果。又，没有匹配的图形时，评估部307会取得以内定等指定的评估结果，例如，“无异常”等评估结果。此处，例如，拍摄第一缺陷部分的影像，由于与“图形”中的“图形2”匹配，故取得“工件破裂大”的评估结果。
然后，评估结果输出部308将评估部307取得的评估结果与影像形成对应并加以储存，再显示于未图示的监视器等。
图24是表示藉评估结果输出部308所得的评估结果的输出例图。
藉由该输出，使用者即可辨识该缺陷部分为后续程序中有发生大工件破裂的可能性的缺陷部分。
还有，针对检测部306检测的其他缺陷部分，也反复进行上述的处理。
然后，有关检测部306检测的全部缺陷部分的处理结束时，移动部302即与使缺陷部分移动到拍摄区域时同样的，将工件10的定向扁平部朝预先指定方向配置，且取得用以使工件10的中心配置于预先指定位置的工件10旋转角度及水平方向移动量，并使用所取得的旋转角度及水平方向的移动量使工件10移动。藉此方式，就可将工件10朝预定的方向配置于预定的位置。
工件输送装置2会将以此方式对准位置及方向的工件10拾起并输送。藉由工件输送装置2的输送等，由于与上述实施形态1的具体例相同样，故在此省略其说明。
此外，影像输出部305在例如从使用者经由未图示的受理部等受理了显示一个缺陷部分的影像的指示等时，也可以图21所示方式将所指定的缺陷部分影像加以显示。
此处，例如使用者在后续程序中，会在一个工件10上，设为检测到识别符“W001”的工件已发生破裂等异常。然后，使用者利用未图示的输入介面等输入该已发生破裂的工件10的识别符及关于该破裂的工件情况资讯时，情况受理部309就受理这些资讯。例如，设为已受理工件10的识别符的“W001”、及工件情况资讯的“工件破裂”。
然后，影像情况资讯累积储存部311会从图21所示的影像管理表读取与已受理的工件10的识别符“W001”形成对应的全部影像，具体而言为“img1001”至“img1005”，从各个影像取得特征点，并针对各影像取得缺陷部分特征点的图形资讯。接着，使各图形资讯与情况受理部309所受理的工件情况资讯形成对应，且储存于影像情况资讯储存部310。藉此方式，图23所示的影像情况资讯管理表中即可追加5个纪录(列)。藉此方式，就可使关于缺陷部分影像的资讯及缺陷部分对工件10造成的影响等形成对应并储存，且利用缺陷部分影像进行缺陷部分评估时的精确度可获得提升。
还有，工件破裂原因的缺陷部分可以特定时，也可藉由例如工件识别符与缺陷部分识别符的组合等来指定工件10的缺陷部分，以取代指定发生异常的工件10并将工件情况资讯输入。或者，从图22所示的显示画面的区域212所示的影像来受理缺陷部分的指定。
此外，可使用未图示的异常检测装置等将有关工件10的后续程序异常检测及表示其异常情况的工件情况资讯的取得予以自动化。此时，该装置会将该装置等输出的发生破裂的工件10的识别符及工件情况资讯输入情况受理部309。
综上所述，若依本实施形态，透过使工件的边缘缺陷部分移动到拍摄区域内，以拍摄该缺陷部分，即可容易藉影像确认工件的边缘。
再者，藉由以拍摄影像来输出边缘的缺陷部分，可容易将边缘的缺陷部分放大显示，难用肉眼确认的缺陷部分形状等可容易进行确认。
又，若依本发明，藉由移动部302令工件10移动，使工件10的中心得以配置于预先指定位置(例如，将工件10递交至工件输送装置2时，工件10的中心应配置的位置)，而且，透过以使缺陷部分配置在拍摄部303的拍摄范围的方式进行缺陷部分的拍摄，针对相同规格的工件10的不同缺陷部分拍摄的影像之间，影像内的工件10的缺陷部分位置、或缺陷部分以外的边缘位置可保持在相同位置。藉此方式，影像间的比较容易进行，而且，从影像取得特征点、或判断影像的类似度时，可作精确度优异的处理。
另外，上述各实施形态中，各处理(各功能)可透过单一的装置(系统)实施集中处理来实现，或者，也可藉由多个装置实施分散处理来实现。
再者，上述各实施形态中，各构成要素也可藉专用的硬体来构成，或者，关于可藉软体实现的构成要素，也可利用执行程式来实现。例如，透过CPU等程式执行部将记录在硬碟或半导体记忆体等记录媒体的软体–程式读取并执行，各构成要素即得以实现。在执行软体–程式时，程式执行部也可一边进出储存部(例如，硬碟或记忆体等记录媒体)一边执行程式。此外，上述实施形态的工件处理装置也可藉由软体来实现。
本发明并不限定于以上的实施形态，而是可作各种变化，这些变化也应包含于本发明的范围，实无庸赘言。
〔产业上的可利用性〕
如以上所述，本发明的工件处理装置适于作为处理工件的装置，特别是作为执行工件的定位等的装置，非常有用。

Claims (15)

1.一种工件处理装置，其特征在于，具备：
第一旋转距离资讯储存部，供储存多个第一旋转距离资讯，所述第一旋转距离资讯为具有使圆形工件旋转时的旋转角度与第一距离资讯形成对应的资讯，而该第一距离资讯则为关于从对应该旋转角度的工件旋转中心至边缘为止的距离资讯；
合成装置，将包含于前述多个第一旋转距离资讯的第一距离资讯中对应旋转角度逐次相异90度的多个第一距离资讯合成；
合成处理装置，在前述合成装置将第一距离资讯合成并取得的资讯的多个合成距离资讯中，将对应的旋转角度相连续且值的大小变化较小的多个合成距离资讯进行检测，并取得检测所得的多个合成距离资讯中的一个以上对应的合成前多个第一距离资讯及与合成前的一个以上第一距离资讯对应的旋转角度；
修正资讯取得装置，使用前述合成处理装置所取得的多个第一距离资讯及旋转角度，取得用以使前述工件的旋转中心与前述工件的中心对准的修正资讯；以及
修正资讯输出装置，输出前述修正资讯取得装置所取得的修正资讯。
2.根据权利要求1所述的工件处理装置，其特征在于，具备：
第二距离资讯取得装置，使用前述修正资讯输出装置所输出的修正资讯，取得表示前述工件为边缘无凹凸的圆形时的旋转角度与第二距离资讯的关系的关系式，而该第二距离资讯则为关于与旋转角度相应的工件至边缘的距离的资讯，将与前述多个第一旋转距离资讯对应的多个旋转角度分别代入该取得的关系式，并取得第二距离资讯；
计算装置，使用前述多个第一旋转距离资讯及前述第二距离资讯取得装置所取得的多个第二距离资讯，来取得与相同的旋转角度形成对应的前述第一距离资讯与第二距离资讯的差；以及
距离差相关输出装置，输出关于前述计算装置所计算的差的资讯。
3.根据权利要求1所述的工件处理装置，其特征在于，前述合成处理装置在前述多个合成距离资讯中，将从值较大者依序检测一个以上合成距离资讯的第一处理及从值较小者依序检测一个以上合成距离资讯的第二处理的至少一个执行1次以上，并在该第一处理及第二处理未受检测的其余合成距离资讯中，取得与对应的旋转角度在预先指定数以上的相连续合成距离资讯的一个以上合成距离资讯对应的合成前多个第一距离资讯、与对应合成前的一个以上第一距离资讯的旋转角度的组对。
4.根据权利要求2所述的工件处理装置，其特征在于，前述合成处理装置在前述多个合成距离资讯中，将从值较大者依序检测一个以上合成距离资讯的第一处理及从值较小者依序检测一个以上合成距离资讯的第二处理的至少一个执行1次以上，并在该第一处理及第二处理未受检测的其余合成距离资讯中，取得与对应的旋转角度在预先指定数以上的相连续合成距离资讯的一个以上合成距离资讯对应的合成前多个第一距离资讯、与对应合成前的一个以上第一距离资讯的旋转角度的组对。
5.根据权利要求3所述的工件处理装置，其特征在于，前述合成处理装置将前述第一处理及前述第二处理分别执行1次以上。
6.根据权利要求4所述的工件处理装置，其特征在于，前述合成处理装置将前述第一处理及前述第二处理分别执行1次以上。
7.根据权利要求2所述的工件处理装置，其特征在于，进一步具备：
缺口检测装置，使用前述计算装置计算所得的前述第一距离资讯与第二距离资讯的差，作为前述工件的朝向特定资讯，来取得表示该工件的朝向特定用缺口部的资讯；
前述距离差相关输出装置将表示该缺口检测装置所取得的缺口部的资讯，输出作为关于前述计算装置所计算的差的资讯。
8.根据权利要求7所述的工件处理装置，其特征在于，前述缺口检测装置使用前述计算装置所计算的前述第一距离资讯与第二距离资讯的差及关于缺口部大小的一个以上临界值，检测设在前述工件边缘的缺口部，并取得表示该缺口部的资讯。
9.根据权利要求2、4、6至8中任一项所述的工件处理装置，其特征在于，进一步具备：缺陷检测装置，使用前述计算装置所计算的前述第一距离资讯与第二距离资讯的差，取得前述工件关于边缘缺陷部分的资讯；
前述距离差相关输出装置将关于该缺陷检测装置所取得的缺陷部分的资讯，输出作为关于前述计算装置所计算的差的资讯。
10.根据权利要求9所述的工件处理装置，其特征在于，前述缺陷检测装置使用前述计算装置所计算的前述第一距离资讯与第二距离资讯的差及关于缺陷部分大小的一个以上临界值，检测前述工件边缘的缺陷部分，并取得关于该经检测的缺陷部分的资讯。
11.根据权利要求1所述的工件处理装置，其特征在于，前述合成装置在包含于前述多个第一旋转距离资讯的第一距离资讯中，将对应的旋转角度逐次相异90度的4个第一距离资讯分别合成，并取得多个合成距离资讯。
12.根据权利要求2所述的工件处理装置，其特征在于，前述合成装置在包含于前述多个第一旋转距离资讯的第一距离资讯中，将对应的旋转角度逐次相异90度的4个第一距离资讯分别合成，并取得多个合成距离资讯。
13.一种工件输送系统，其特征在于，具备：
根据权利要求1至8、11、及12中任一项所述的工件处理装置；以及
对该工件处理装置进行工件的交接的工件输送装置。
14.一种工件输送系统，其特征在于，具备：
根据权利要求9所述的工件处理装置；以及
对该工件处理装置进行工件的交接的工件输送装置。
15.一种工件输送系统，其特征在于，具备：
根据权利要求10所述的工件处理装置；以及
对该工件处理装置进行工件的交接的工件输送装置。
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