CN107337180A - 一种纯化氟气的填料及其制备方法和应用 - Google Patents

一种纯化氟气的填料及其制备方法和应用 Download PDF

Info

Publication number
CN107337180A
CN107337180A CN201710557429.4A CN201710557429A CN107337180A CN 107337180 A CN107337180 A CN 107337180A CN 201710557429 A CN201710557429 A CN 201710557429A CN 107337180 A CN107337180 A CN 107337180A
Authority
CN
China
Prior art keywords
filler
fluorine gas
fluoride
salt
preparation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201710557429.4A
Other languages
English (en)
Other versions
CN107337180B (zh
Inventor
韩保国
阎晓冬
杨茂永
崔武孝
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
LUOYANG SUNLAND CHEMICAL MATERIALS TECHNOLOGY Co Ltd
Original Assignee
LUOYANG SUNLAND CHEMICAL MATERIALS TECHNOLOGY Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by LUOYANG SUNLAND CHEMICAL MATERIALS TECHNOLOGY Co Ltd filed Critical LUOYANG SUNLAND CHEMICAL MATERIALS TECHNOLOGY Co Ltd
Priority to CN201710557429.4A priority Critical patent/CN107337180B/zh
Publication of CN107337180A publication Critical patent/CN107337180A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN107337180B publication Critical patent/CN107337180B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B7/00—Halogens; Halogen acids
    • C01B7/19—Fluorine; Hydrogen fluoride
    • C01B7/20—Fluorine
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
    • B01D53/46—Removing components of defined structure
    • B01D53/68—Halogens or halogen compounds
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
    • B01D53/74—General processes for purification of waste gases; Apparatus or devices specially adapted therefor
    • B01D53/81—Solid phase processes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2251/00—Reactants
    • B01D2251/60—Inorganic bases or salts
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2257/00—Components to be removed
    • B01D2257/20—Halogens or halogen compounds
    • B01D2257/204—Inorganic halogen compounds
    • B01D2257/2047—Hydrofluoric acid
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B2210/00—Purification or separation of specific gases
    • C01B2210/0001—Separation or purification processing
    • C01B2210/0009—Physical processing
    • C01B2210/0014—Physical processing by adsorption in solids
    • C01B2210/0015—Physical processing by adsorption in solids characterised by the adsorbent
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02C—CAPTURE, STORAGE, SEQUESTRATION OR DISPOSAL OF GREENHOUSE GASES [GHG]
    • Y02C20/00—Capture or disposal of greenhouse gases
    • Y02C20/30—Capture or disposal of greenhouse gases of perfluorocarbons [PFC], hydrofluorocarbons [HFC] or sulfur hexafluoride [SF6]

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
  • Compounds Of Alkaline-Earth Elements, Aluminum Or Rare-Earth Metals (AREA)
  • Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)

Abstract

本发明有关于一种纯化氟气的填料及其制备方法和应用，该填料为氟化盐填料，所述的氟化盐为氟化钠、氟化钾、氟化钙、氟化镁、氟化锂中一种或多种的混合物。该填料由氟化盐和浓度不小于5％的氢氟酸经混合、反应、熟化、成型、晾晒最后焙烧而成，该填料的内部孔隙率为40％‑60％，具有孔隙率大，骨架坚固的特点，将其用于纯化氟气，具有吸附力强，纯化效果好的特点，且本发明纯化氟气的填料制备方法简单，易于实现。

Description

一种纯化氟气的填料及其制备方法和应用
技术领域
本发明属于氟化工领域，具体涉及一种纯化氟气的填料及其制备方法和应用。
背景技术
氟气是现代氟化工或氟化学领域中重要的材料之一，在新能源、新材料等领域应用越来越广泛。随着氟气的应用领域不断扩大，对氟气的纯度要求也越来越高。氟化盐是常见的氟气纯化剂之一，主要用于去除氟气中的氟化氢杂质。它最大的特色是不带入其它杂质，与氟气不发生反应，再加上它原料易得，成本低廉，所以在氟气纯化过程中最为常见。
市售的氟化盐通常为粉末，是不能直接用来纯化氟气的，其主要原因是由于粉末颗粒很细，堆放时没有孔隙率，氟气通过的阻力很大，对氟气通过产生较大的影响。使用压片机等动力机械可以把粉状氟化盐压制成片状类似小药片的形状，对提高氟化盐床层的孔隙率有所帮助，气体的通过性问题可以得到解决。但这种方法使得压制后的填料内部孔隙率降低很多,气体只能与填料表面的氟化盐反应,不能深入到填料内部,反倒减少了接触面积,吸收效果非常有限，纯化效果不理想。
发明内容
本发明的目的是克服已有技术中纯化氟气的填料孔隙率低，吸收效果不好的缺陷，提供了一种新的纯化氟气的填料及其制造方法及其应用，使该填料具有孔隙率大，吸收效果好的特点，制造方法具有简单易于实现的特点，其在纯化氟气方面的应用具有纯化率高，纯化效果好的特点。
本发明的目的及解决其技术问题另外再采用以下技术方案来实现。依据本发明提出的一种纯化氟气的填料，该填料为氟化盐填料，其中所述的氟化盐为氟化钠、氟化钾、氟化钙、氟化镁、氟化锂中一种或多种的混合物。
本发明的目的及解决其技术问题还采用以下技术方案来实现。依据本发明提出的一种纯化氟气的填料的制备方法，包含以下步骤：1)混合：将氟化盐粉末与氢氟酸混合，其中所述氢氟酸浓度不小于5％，氟化盐粉末与氢氟酸的摩尔比为(0.2-4)：1；2)反应：搅拌上述混合物，使氟化盐与氢氟酸充分混合；3)熟化：将上述混合物放置1～24小时，熟化以提高成 型效果；4)成型：将上述熟化产物通过不同的成型方法制成不同形状的成品；5)晾晒：将上述成品中的水分通过晾晒的方法自然挥发，形成氟化盐骨架；6)焙烧：在200～800℃温度下对晾晒后的产品进行焙烧，焙烧时间2～24hr，使产品内部的水分和氟化氢逸出，内部形成孔洞和通道。
本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。
前述的纯化氟气的填料的制备方法，其中其中步骤1中所述的氟化盐粉末与氢氟酸的摩尔比为(0.5-2)：1。
前述的纯化氟气的填料的制备方法，其中步骤1所述的氟化氢的浓度为30％-60％。
前述的纯化氟气的填料的制备方法，其中步骤4所述的成型方法为模具压制、挤压、等静压、造粒或滚丸。
前述的纯化氟气的填料的制备方法，其中步骤4所述的产品形状为球/丸状、柱状、条状或无定形状。
前述的纯化氟气的填料的制备方法，其中步骤6所述的焙烧后的产品的孔隙率为40％-60％。
本发明的目的及解决其技术问题另外还采用以下技术方案来实现。依据本发明提出的一种填料的应用，该填料用于纯化氟气，其工艺为：将所述纯化氟气的填料置于不锈钢填料管中，含有氟化氢杂质的氟气或氟氮混合气体，流经该填料床层，其中流速低于1m/s，温度室温至100℃；氟化盐与氟化氢杂质反应生成酸式盐，留在填料表面或孔洞中，从而使氟气或氟氮气得到纯化。
本发明与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。借由上述技术方案，本发明纯化氟气的填料及其制备方法和应用可达到相当的技术进步性及实用性，并具有产业上的广泛利用价值，其至少具有下列优点：本发明纯化氟气的填料具有孔隙率大，骨架坚固的特点；本发明纯化氟气的填料的制备方法操作简单、易于实现；本发明纯化氟气的填料用于纯化氟具有吸附力强，纯化效果好的特点，且氟气中氟化盐与氟化氢杂质反应生成酸式盐，留在填料表面或孔洞中，不易被气体带走，使氟气或氟氮气得到更深程度的纯化；经过本发明纯化氟气的填料纯化后，氟气纯度可以达到99％以上。与现有纯化氟气的填料相比较，本发明纯化后纯度更高，杂质含量更低，吸附容量更高。同等条件下现有压片式氟化盐填料的吸附容量只有本发明产品的20～30％，即同等条件下，单位重量的本发明填料吸附氟化氢的重量达到压片式氟化盐填料的3～5倍。以氟化钠填料为例，压片式填料的吸附容量大约是0.08～0.1g/g(氟化氢/填料)，而使用本发明的填料纯化，其吸附容量最高达到0.4g/g(氟化氢/填料)。另外的显著作用是，使用压 片式填料进行氟气或氟氮气的纯化，酸式氟化盐存在于光滑的填料表面，极易在气体的作用下重新分解并被带走，因此纯化后的含量会很短时间内下降至99％以下。而本发明的填料在纯化过程中，内部通道中的酸式盐不容易被气体带走，因此纯化后的气体长期保持在99％以上的水平。
具体实施方式
为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效，以下结合较佳实施例，对依据本发明提出的一种纯化氟气的填料及其制备方法和应用其具体实施方式、步骤、特征及其功效，详细说明如后。
实施例1：
取氟化钠粉末900g与浓度40％的氢氟酸溶液1100g混合在一起，搅拌均匀后放置4小时进行熟化，通过滚丸的方式制成Ф20的球。在阳光下晾晒24小时，置入高温炉中，于400℃温度下焙烧6hr。冷却后测定最终产品，水分含量0.25％，酸含量0.48％，内部孔隙率49.8％。将本产品置入金属容器中，并加热到80℃，通入95％的氟气，氟气的流速为0.75m/s。检测出口气体成分，氟气浓度达到99.5％，氟化氢含量0.5％。
实施例2：
取氟化钠粉末900g与浓度45％的氢氟酸溶液1000g混合在一起，搅拌均匀后放置4小时进行熟化，通过滚丸的方式制成Ф10的球。在阳光下晾晒24小时，置入高温炉中，于300℃温度下焙烧12hr。冷却后测定最终产品，水分含量0.35％，酸含量0.65％，内部孔隙率49.2％。将本产品置入金属容器中，并加热到80℃，通入95％的氟气，氟气的流速为0.75m/s。检测出口气体成分，氟气浓度达到99.3％，氟化氢含量0.7％。
实施例3：
取氟化钙粉末1000g与浓度50％的氢氟酸溶液900g混合在一起，搅拌均匀后放置4小时进行熟化，通过挤出的方式制成Ф5的条状颗粒。在阳光下晾晒24小时，置入高温炉中，于200℃温度下焙烧24hr。冷却后测定最终产品，水分含量0.43％，酸含量1.55％，内部孔隙率42.7％。将本产品置入金属容器中，常温下通入95％的氟气，氟气的流速为0.75m/s。检测出口气体成分，氟气浓度达到99％，氟化氢含量1.0％。
实施例4：
取氟化镁粉末200g、氟化钙粉末800g与浓度50％的氢氟酸溶液1200g混合在一起，搅拌均匀后放置16小时进行熟化，通过滚丸的方式制成Ф20的球。在阳光下晾晒12小时，置入高温炉中，于600℃温度下焙烧4hr。冷却后测定最终产品，水分含量0.15％，酸含量0.40％，内部孔隙率51.5％。将本产品置入金属容器中，并加热到60℃，通入95％的氟气，氟气的流速 为0.75m/s。检测出口气体成分，氟气浓度达到99.2％，氟化氢含量0.8％。
以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明做任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容做出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。

Claims (8)

1.一种纯化氟气的填料，其特征在于：该填料为氟化盐填料，其中所述的氟化盐为氟化钠、氟化钾、氟化钙、氟化镁、氟化锂中一种或多种的混合物。
2.一种权利要求1所述的纯化氟气的填料的制备方法，其特征在于包含以下步骤：
1)混合：将氟化盐粉末与氢氟酸混合，其中所述氢氟酸浓度不小于5％，氟化盐粉末与氢氟酸的摩尔比为(0.2-4)：1；
2)反应：搅拌上述混合物，使氟化盐与氢氟酸充分混合；
3)熟化：将上述混合物放置1～24小时，熟化以提高成型效果；
4)成型：将上述熟化产物通过不同的成型方法制成不同形状的成品；
5)晾晒：将上述成品中的水分通过晾晒的方法自然挥发，形成氟化盐骨架；
6)焙烧：在200～800℃温度下对晾晒后的产品进行焙烧，焙烧时间2～24hr，使产品内部的水分和氟化氢逸出，内部形成孔洞和通道。
3.根据权利要求2所述的纯化氟气的填料的制备方法，其特征在于，其中其中步骤1中所述的氟化盐粉末与氢氟酸的摩尔比为(0.5-2)：1。
4.根据权利要求2所述的纯化氟气的填料的制备方法，其特征在于，其中步骤1所述的氟化氢的浓度为30％-60％。
5.根据权利要求2所述的纯化氟气的填料的制备方法，其特征在于，其中步骤4所述的成型方法为模具压制、挤压、等静压、造粒或滚丸。
6.根据权利要求2所述的纯化氟气的填料的制备方法，其特征在于，其中步骤4所述的产品形状为球/丸状、柱状、条状或无定形状。
7.根据权利要求2所述的纯化氟气的填料的制备方法，其特征在于，其中步骤6所述的焙烧后的产品的孔隙率为40％-60％。
8.一种权利要求2所述的填料的应用，其特征在于，该填料用于纯化氟气，其工艺为：将所述纯化氟气的填料置于不锈钢填料管中，使含有氟化氢杂质的氟气或氟氮混合气体流经该填料床层，流速低于1m/s，温度为室温至100℃，氟化盐与氟化氢杂质反应生成酸式盐，留在填料表面或孔洞中，从而使氟气或氟氮混合气得到纯化。
CN201710557429.4A 2017-07-10 2017-07-10 一种纯化氟气的填料及其制备方法和应用 Active CN107337180B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710557429.4A CN107337180B (zh) 2017-07-10 2017-07-10 一种纯化氟气的填料及其制备方法和应用

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710557429.4A CN107337180B (zh) 2017-07-10 2017-07-10 一种纯化氟气的填料及其制备方法和应用

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN107337180A true CN107337180A (zh) 2017-11-10
CN107337180B CN107337180B (zh) 2019-08-23

Family

ID=60218547

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201710557429.4A Active CN107337180B (zh) 2017-07-10 2017-07-10 一种纯化氟气的填料及其制备方法和应用

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN107337180B (zh)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108193221A (zh) * 2018-01-18 2018-06-22 洛阳森蓝化工材料科技有限公司 一种含氟混合气的制备方法
CN111087005A (zh) * 2019-12-25 2020-05-01 洛阳森蓝化工材料科技有限公司 一种防止氟气纯化剂烧结变色的方法
CN111420535A (zh) * 2020-04-02 2020-07-17 浙江博瑞中硝科技有限公司 一种气体氟化物纯化用高效多孔氟化盐纯化剂组合物制备方法
CN114054007A (zh) * 2021-11-26 2022-02-18 天津海嘉斯迪新材料合伙企业(有限合伙) 一种氟气纯化用吸附剂的制备方法
CN115501866A (zh) * 2022-10-29 2022-12-23 中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司 一种氟化氢吸附剂及其制备应用方法
CN115650174A (zh) * 2022-11-01 2023-01-31 福建德尔科技股份有限公司 高纯氟气的纯化装置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1639058A (zh) * 2001-06-29 2005-07-13 昭和电工株式会社 高纯氟气体、其生产方法和用途和分析高纯氟气体中的痕量不纯物的方法
CN102803568A (zh) * 2010-03-09 2012-11-28 中央硝子株式会社 氟气生成装置
CN102963870A (zh) * 2012-12-11 2013-03-13 中昊晨光化工研究院有限公司 一种氟气的提纯方法
CN103140607A (zh) * 2010-09-15 2013-06-05 索尔维公司 用于氟生产的设备
CN203477887U (zh) * 2010-09-16 2014-03-12 索尔维公司 氟气体设备

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1639058A (zh) * 2001-06-29 2005-07-13 昭和电工株式会社 高纯氟气体、其生产方法和用途和分析高纯氟气体中的痕量不纯物的方法
CN102803568A (zh) * 2010-03-09 2012-11-28 中央硝子株式会社 氟气生成装置
CN103140607A (zh) * 2010-09-15 2013-06-05 索尔维公司 用于氟生产的设备
CN203477887U (zh) * 2010-09-16 2014-03-12 索尔维公司 氟气体设备
CN102963870A (zh) * 2012-12-11 2013-03-13 中昊晨光化工研究院有限公司 一种氟气的提纯方法

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108193221A (zh) * 2018-01-18 2018-06-22 洛阳森蓝化工材料科技有限公司 一种含氟混合气的制备方法
CN111087005A (zh) * 2019-12-25 2020-05-01 洛阳森蓝化工材料科技有限公司 一种防止氟气纯化剂烧结变色的方法
CN111420535A (zh) * 2020-04-02 2020-07-17 浙江博瑞中硝科技有限公司 一种气体氟化物纯化用高效多孔氟化盐纯化剂组合物制备方法
CN111420535B (zh) * 2020-04-02 2022-02-22 浙江博瑞中硝科技有限公司 一种气体氟化物纯化用高效多孔氟化盐纯化剂组合物制备方法
CN114054007A (zh) * 2021-11-26 2022-02-18 天津海嘉斯迪新材料合伙企业(有限合伙) 一种氟气纯化用吸附剂的制备方法
CN114054007B (zh) * 2021-11-26 2024-04-19 天津海嘉斯迪新材料合伙企业(有限合伙) 一种氟气纯化用吸附剂的制备方法
CN115501866A (zh) * 2022-10-29 2022-12-23 中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司 一种氟化氢吸附剂及其制备应用方法
CN115650174A (zh) * 2022-11-01 2023-01-31 福建德尔科技股份有限公司 高纯氟气的纯化装置
CN115650174B (zh) * 2022-11-01 2023-08-25 福建德尔科技股份有限公司 高纯氟气的纯化装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN107337180B (zh) 2019-08-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107337180A (zh) 一种纯化氟气的填料及其制备方法和应用
CN105314599B (zh) 一种利用氟硅酸生产无水氟化氢和白炭黑的方法
CN105944663B (zh) 用于气体深度脱水的分子筛整体式吸附剂的制备方法
CN113877535B (zh) 一种氟化氢吸附剂及其制备方法和应用
CN109126847B (zh) 氧化铁二氧化钛复合型硫磺回收催化剂的制备方法
CN105502451B (zh) 一种生产氟化铝联产高分子比冰晶石的方法
CN107282056B (zh) 丙烯氧化合成丙烯醛和丙烯酸的催化剂
CN106495125A (zh) 一种石油焦基介孔碳的制备方法及应用
CN104529533A (zh) 一种热交换器用石墨管的制备方法
CN107243351A (zh) 用于五氟一氯乙烷氟化转化六氟乙烷的催化剂、制备方法及在纯化五氟乙烷中的应用
WO2017128563A1 (zh) 吸音材料颗粒的制备方法和吸音材料颗粒
CN112142106B (zh) 从三氯氧钒粗品中分离四氯化钛的方法
US10246336B2 (en) Method of making alkali activated carbon
CN105749859B (zh) 用于甲基丙烯酸甲酯脱酸吸附剂的制备方法
CN107745132A (zh) 一种铁红制备高纯铁粉的方法
CN104986749A (zh) My(CXN1-X)粉体的推动式动态连续制备方法及烧结装置
CN105039772A (zh) 连续高效生产高含氮量钒氮合金的方法
CN101450808A (zh) 一种氯化氰的制备方法
JPH08206443A (ja) 酸性ガス吸収剤及びその製造方法
CN1142464A (zh) 一种碎磷矿粘结团块的制备方法
CN104445316B (zh) 一种纳米氧化铝材料的制备方法、制品及应用
CN108190858A (zh) 一种氟化石墨的制备方法
CN205907339U (zh) 制备氮钒合金的系统
JP4961132B2 (ja) メタクリル酸製造用触媒の製造方法、およびメタクリル酸の製造方法
CN102211784A (zh) 利用高硅萤石粉生产低硅干法氟化铝的生产方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant