CN107310249A - 丝网印刷装置以及丝网印刷方法 - Google Patents

Abstract

本发明的目的在于，提供一种丝网印刷装置以及丝网印刷方法，即便在印刷对象物的伸缩变形的程度较大的情况下，也难以产生印刷不合格。在向一个基板或者排列的多个基板(2)即印刷对象物(3)的被印刷图案印刷料浆的丝网印刷装置中，具备设有尺寸不同的多个开口图案的掩模。对构成印刷对象物的一个基板或者排列的多个基板(2)中的一个基板进行拍摄，基于该拍摄结果而计算印刷对象物的伸缩变形的程度。然后，基于该计算出的印刷对象物(3)的伸缩变形的程度，从多个开口图案之中选择一个开口图案，使印刷对象物与掩模接触，以使该选择出的开口图案与被印刷图案重合，从而使料浆堆积于被印刷图案。

Description

丝网印刷装置以及丝网印刷方法

技术领域

本发明涉及丝网印刷装置以及丝网印刷方法。

背景技术

作为对一个基板或者排列的多个基板即印刷对象物具有的被印刷图案(各个基板具有的电极图案的组合)印刷焊锡等料浆的装置，以往大多使用丝网印刷装置。在利用丝网印刷装置对印刷对象物的被印刷图案印刷料浆的情况下，预先制作具有与被印刷图案对应的开口图案的掩模。然后，使搬运来的印刷对象物与掩模的下表面接触，并向开口图案压入料浆，在此基础上，使印刷对象物与掩模分离(分版)。由此与开口图案对应地在被印刷图案上堆积料浆。

在上述那样的丝网印刷装置中，印刷对象物和掩模需要使被印刷图案与开口图案以上下重合的方式高精度地接触。因此，预先在掩模设置标记(掩模侧标记)，并且在构成印刷对象物的基板也设置标记(基板侧标记)，在使掩模侧标记与基板侧标记进行了对位的基础上，使印刷对象物与掩模接触。在此，在基板为膜状基板等而在印刷对象物产生面内的伸缩变形的情况下，被印刷图案与开口图案不完全重合，但被印刷图案和开口图案整体(平均的含义)以允许两者的偏差的允许范围内的精度而重合。在下述的专利文献1中公开有如下技术：通过分别拍摄在基板设置的三个以上的标记，能够高精度地识别被印刷图案与开口图案之间的偏差。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2006-86515号公报

然而，在上述现有的丝网印刷装置中，在印刷对象物的伸缩变形的程度较大的情况下，即便高精度地识别出被印刷图案与开口图案之间的偏差，也无法使被印刷图案和开口图案以允许范围内的精度重合。因此，存在有时产生料浆相对于印刷对象物的印刷不合格这样的问题点。

发明内容

对此，本发明的目的在于，提供一种丝网印刷装置以及丝网印刷方法，即便在印刷对象物的伸缩变形的程度较大的情况下，也难以产生印刷不合格。

本发明的丝网印刷装置向一个基板或者排列的多个基板即印刷对象物的被印刷图案印刷料浆，其特征在于，丝网印刷装置具备：掩模、搬运部、拍摄部、变形度计算部、选择部、以及接触机构。在掩模上设有尺寸不同的多个开口图案。搬运部向掩模的下方搬运印刷对象物。拍摄部对构成印刷对象物的一个基板或者排列的多个基板中的一个基板进行拍摄。变形度计算部基于拍摄部的拍摄结果而计算印刷对象物的伸缩变形的程度。选择部基于由变形度计算部计算出的印刷对象物的伸缩变形的程度而从多个开口图案之中选择一个开口图案。接触机构使由搬运部搬运至掩模的下方的印刷对象物与掩模接触。而且，利用接触机构使掩模与基板相对移动，以使由选择部选择出的开口图案与被印刷图案重合。

本发明的丝网印刷方法向一个基板或者排列的多个基板即印刷对象物的被印刷图案印刷料浆，其特征在于，丝网印刷方法包括：搬运工序、拍摄工序、变形度计算工序、选择工序、以及接触工序。在搬运工序中，向设有尺寸不同的多个开口图案的掩模的下方搬运印刷对象物。在拍摄工序中，对构成印刷对象物的一个基板或者排列的多个基板中的一个基板进行拍摄。在变形度计算工序中，基于拍摄工序中的拍摄结果而计算印刷对象物的伸缩变形的程度。在选择工序中，基于在变形度计算工序中计算出的印刷对象物的伸缩变形的程度而从多个开口图案之中选择一个开口图案。在接触工序中，使在搬运工序中搬运至掩模的下方的印刷对象物与掩模接触。而且，在接触工序中使掩模与基板相对移动，以使在选择工序中选择出的开口图案与被印刷图案重合。

发明效果

根据本发明，即便在印刷对象物的伸缩变形的程度较大的情况下，也难以产生印刷不合格。

附图说明

图1是本发明的一实施方式中的丝网印刷装置的俯视图。

图2是在本发明的一实施方式的丝网印刷装置中投入的作业对象的俯视图。

图3A是本发明的一实施方式中的丝网印刷装置的俯视图。

图3B是本发明的一实施方式中的丝网印刷装置的主视图。

图4是本发明的一实施方式中的丝网印刷装置的侧视图。

图5是本发明的一实施方式中的丝网印刷装置所具备的掩模的俯视图。

图6A是本发明的一实施方式中的丝网印刷装置的一部分的侧视图。

图6B是本发明的一实施方式中的丝网印刷装置的一部分的侧视图。

图6C是本发明的一实施方式中的丝网印刷装置的一部分的侧视图。

图7是示出本发明的一实施方式中的丝网印刷装置的控制系统的框图。

图8A是本发明的一实施方式中的丝网印刷装置的动作说明图。

图8B是本发明的一实施方式中的丝网印刷装置的动作说明图。

图9A是本发明的一实施方式中的丝网印刷装置的动作说明图。

图9B是本发明的一实施方式中的丝网印刷装置的动作说明图。

附图标记说明：

1 丝网印刷装置；

2 基板；

3 印刷对象物；

3P 被印刷图案；

16 掩模；

18 拍摄部；

22 移动机构部(接触机构)；

31 搬运部；

40 开口图案；

80a 变形度计算部；

80b 选择部；

Pst 料浆。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。图1示出本发明的一实施方式中的丝网印刷装置1。丝网印刷装置1是向一个基板或者排列的多个基板2即印刷对象物3的被印刷图案3P(图2)丝网印刷焊锡等料浆的装置。在此，“排列的多个基板2”是指，多个基板2由一张基底基板制作并在丝网印刷的阶段相互连结的基板、独立制作出的多个基板2排列安装于载体上的预先确定的位置的基板等。在本实施方式中，如图2所示，将排列安装于载体4的两个基板2称为印刷对象物3、将包括两个基板2和载体4在内的整体称为作业对象5而进行说明。另外，“印刷对象物3的被印刷图案3P”是指，构成印刷对象物3的各个基板2具有的电极图案2P的组合(图2)。另外，基板2为膜状基板。

在图1、图3A、图3B以及图4中，丝网印刷装置1在基台11具备搬入部12、对象保持移动机构13以及搬出部14。在从作业者OP观察到的基台11的左右方向(设为X轴方向)的两端部设有沿从作业者OP观察到的前后方向(设为Y轴方向)延伸的一对梁构件15。在这一对梁构件15之间，掩模16以水平姿态设置。在一对梁构件15上设有在掩模16的上方进行移动的刮刀单元17和在掩模16的下方进行移动的拍摄部18。

搬入部12、对象保持移动机构13以及搬出部14从作业者OP观察到的左方依次并排设置。搬入部12由一对输送机构成，并搬入从外部供给来的作业对象5(即印刷对象物3)。对象保持移动机构13从搬入部12接受作业对象5并保持该作业对象5，在对印刷对象物3的丝网印刷结束之后，将作业对象5交接于搬出部14。搬出部14由一对输送机构成，并将从对象保持移动机构13接受的作业对象5向外部搬出。

在图4中，对象保持移动机构13包括对象保持部21、和使对象保持部21沿水平面内方向以及上下方向移动的移动机构部22。对象保持部21具备搬运部31、下承接构件32、以及一对夹持器33(也参照图3A以及图3B)。

搬运部31由一对输送机构成，且将从搬入部12接受的作业对象5沿X轴方向搬运并将该作业对象5定位于掩模16的下方的规定的夹持位置。下承接构件32对由搬运部31定位于夹持位置的作业对象5的下表面进行支承。一对夹持器33从Y轴方向夹持并保持下承接构件32所支承的作业对象5。在本实施方式中，将一对夹持器33中的、位于作业者OP的一侧(前方)的夹持器33称作前方夹持器33F，将位于与作业者OP相反的一侧(后方)的夹持器33称作后方夹持器33R(图3A以及图4)。

在图5中，掩模16具有沿XY平面扩展延伸的矩形平板形状。掩模16的外周被框构件16w支承。在掩模16设有与被印刷图案3P对应的三个(三种)开口图案40。三个开口图案40彼此相似且尺寸不同，在Y轴方向上并排设置。

在图5中，三个开口图案40包括中央开口图案41、前方开口图案42以及后方开口图案43。中央开口图案41形成于掩模16的Y轴方向的中央部。前方开口图案42形成于掩模16的前方，后方开口图案43形成于掩模16的后方。

中央开口图案41设为，与在印刷对象物3不产生面内的伸缩变形的情况下的被印刷图案3P对应的尺寸。前方开口图案42设为，与在印刷对象物3产生面内的伸长变形的情况下的被印刷图案3P对应的尺寸。后方开口图案43设为，与在印刷对象物3产生面内的缩小变形的情况下的印刷图案3P对应的尺寸。当将中央开口图案41尺寸的扩大比率(将附图标记设为H)设为H＝1时，前方开口图案42的扩大比率H为H＞1，后方开口图案43的扩大比率H为H＜1。在本实施方式中，前方开口图案42的扩大比率为H＝1.1，后方开口图案43的扩大比率H为H＝0.9。需要说明的是，扩大比率并不局限于上述数值，由基板2的材质、作业者的数值选择等来决定。

移动机构部22使对象保持部21选择性地位于中央开口图案41的下方的位置(称作第一位置)、前方开口图案42的下方的位置(称作第二位置)、后方开口图案43的下方的位置(称作第三位置)中的任一位置。搬入部12以及搬出部14在与位于第一位置的对象保持部21的搬运部31之间形成沿X方向连续的作业对象5的搬运路(图3A)。

在图2中，在两个基板2的各个基板设有一对(两个)基板侧标记2m。另一方面，在掩模16的各开口图案40的附近位置设有与两个基板2(即印刷对象物5)所具备的四个基板侧标记2m对应的四个掩模侧标记16m(图5)。

移动机构部22在使对象保持部21移动至第一位置、第二位置以及第三位置中的任一位置之后，使对象保持部21(即作业对象5)上升，由此能够使印刷对象物3的上表面与掩模16的下表面抵接。在使印刷对象物3的上表面与掩模16的下表面抵接的状态下，夹持印刷对象物3的一对夹持器33各自的上表面也与掩模16的下表面抵接。

图6A示出移动机构部22使对象保持部21从第一位置上升而使印刷对象物3的上表面与掩模16的下表面抵接的状态。在该状态下，被印刷图案3P与中央开口图案41重合，前方夹持器33F与掩模16的下表面的中央开口图案41的前方区域(前方开口图案42的后方区域)抵接，后方夹持器33R与掩模16的下表面的中央开口图案41的后方区域抵接。

图6B示出移动机构部22使对象保持部21从第二位置上升而使印刷对象物3的上表面与掩模16的下表面抵接的状态。在该状态下，被印刷图案3P与前方开口图案42重合，前方夹持器33F与掩模16的下表面的前方开口图案42的前方区域抵接，后方夹持器33R与掩模16的下表面的前方开口图案42的后方区域(中央开口图案41的前方区域)抵接。

图6C示出移动机构部22使对象保持部21从第三位置上升而使印刷对象物3的上表面与掩模16的下表面抵接的状态。在该状态下，被印刷图案3P与后方开口图案43重合，前方夹持器33F与掩模16的下表面的后方开口图案43的前方区域(中央开口图案41的后方区域)抵接，后方夹持器33R与掩模16的下表面的后方开口图案43的后方区域抵接。

在本实施方式中，在使被印刷图案3P与中央开口图案41重合的情况下前方夹持器33F的上表面与掩模16的下表面接触的区域、和在使被印刷图案3P与前方开口图案42重合的情况下后方夹持器33R的上表面与掩模16的下表面接触的区域是相同的(图6A以及图6B)。另外，在使被印刷图案3P与中央开口图案41重合的情况下后方夹持器33R的上表面与掩模16的下表面接触的区域、和在使被印刷图案3P与后方开口图案43重合的情况下前方夹持器33F的上表面与掩模16的下表面接触的区域是相同的(图6A以及图6C)。

在图5以及图6A中，掩模16的上表面的区域中的、中央开口图案41的前方的恒定区域(前方开口图案42的后方的恒定区域)成为前方料浆供给区域E1，后方开口图案43的后方的恒定区域成为后方料浆供给区域E2。料浆Pst被预先供给至前方料浆供给区域E1和后方料浆供给区域E2这两者。

在图3A、图3B以及图4中，刮刀单元17具备沿X轴方向延伸且两端被支承于一对梁构件15的上表面侧的刮刀基座51。在刮刀基座51的上表面侧的X轴方向的中央部，两个刮刀升降工作缸52在Y轴方向上并排配置，在两个刮刀升降工作缸52的下方配置有两个刮刀53。两个刮刀53分别与刮刀升降工作缸52连结，当两个刮刀升降工作缸52单独进行工作时，与此对应地，两个刮刀53独立地在刮刀基座51的下方进行升降。

两个刮刀53分别沿X轴方向延伸，在Y轴方向上对置的两个面分别成为料浆Pst的聚拢面。在本实施方式中，将在Y轴方向上并排设置的两个刮刀53中的、位于前方(图4的纸面右侧)的刮刀53称作前方刮刀53F、将位于后方(图4的纸面左侧)的刮刀53称作后方刮刀53R。刮刀基座51被设于一对梁构件15的刮刀基座驱动机构15A(图3A)驱动而沿Y轴方向移动，由此两个刮刀53在掩模16的上方沿Y轴方向进行移动。

在图3A、图3B以及图4中，在一对梁构件15的下表面侧安装有沿X轴方向延伸的X轴梁61的两端。在X轴梁61设有移动板62，拍摄部18安装于移动板62。拍摄部18具备拍摄视野朝向下方的下方拍摄相机71和拍摄视野朝向上方的上方拍摄相机72(图4)。

X轴梁61被设于一对梁构件15的X轴梁驱动机构15B(图3A)驱动而沿Y轴方向移动。移动板62被设于X轴梁61的移动板驱动机构61M(图3A)驱动而沿X轴方向移动。因此，拍摄部18根据基于X轴梁驱动机构15B实现的X轴梁61相对于一对梁构件15的沿Y轴方向的移动、和基于移动板驱动机构61M实现的移动板62相对于X轴梁61的沿X轴方向的移动，在掩模16的下方沿水平方向移动。

在图7中，丝网印刷装置1所具备的控制装置80进行如下各动作的控制：基于搬入部12实现的作业对象5的搬入、基于对象保持部21的搬运部31实现的作业对象5的搬运以及基于夹持器33实现的作业对象5的保持、基于移动机构部22实现的对象保持部21的移动、基于搬出部14实现的作业对象5的搬出。另外，控制装置80还进行如下各控制：基于刮刀基座驱动机构15A实现的刮刀基座51的移动、基于刮刀升降工作缸52实现的刮刀53的升降、基于X轴梁驱动机构15B和移动板驱动机构61M实现的拍摄部18的移动。

另外，在图7中，控制装置80进行下方拍摄相机71的拍摄、上方拍摄相机72的拍摄的各控制。通过下方拍摄相机71的拍摄而得到的图像信息和通过上方拍摄相机72的拍摄而得到的图像信息分别输入至控制装置80。另外，在控制装置80连接有触摸面板等输入输出装置81。作业者OP通过输入输出装置81而向丝网印刷装置1进行所需要的输入，并且通过输入输出装置81而得到关于丝网印刷装置1的各种信息。

接下来，对基于丝网印刷装置1实现的丝网印刷作业的执行步骤进行说明。当向丝网印刷装置1的搬入部12供给作业对象5时，搬入部12搬入作业对象5，并将作业对象5交接于预先位于第一位置的对象保持部21的搬运部31。搬运部31将作业对象5搬运至掩模16的下方的夹持位置(搬运工序)。搬运部31在将作业对象5搬运至掩模16的下方之后，下承接构件32上升而支承位于夹持位置的作业对象5的下表面，并且一对夹持器33夹持并保持作业对象5(图8A中所示的箭头A)。

在一对夹持器33保持作业对象5之后，X轴梁驱动机构15B和移动板驱动机构61M联动地工作而使拍摄部18移动，使下方拍摄相机71拍摄基板侧标记2m(拍摄工序)。此时，下方拍摄相机71对与构成印刷对象物3的两个基板2中的、预先确定的一个基板2对应的基板侧标记2m进行拍摄。下方拍摄相机71所拍摄的基板侧标记2m的图像信息被输送至控制装置80。

控制装置80在从下方拍摄相机71输送来基板侧标记2m的图像信息之后，在变形度计算部80a(图7)中，基于从下方拍摄相机71输送来的一个基板2的基板侧标记2m的拍摄结果(即拍摄部18的拍摄结果)而计算印刷对象物3的变形度(变形度计算工序)。在此，“印刷对象物3的变形度”是指，针对印刷对象物3的安装面的设计值与实测值的偏差情况，是印刷对象物3的表面积比设计值伸长或者缩小的变形程度。需要说明的是，针对印刷对象物3的安装面的设计值与实测值的偏差情况根据特定的边、对角线、表面积等来判断。另外，变形的程度也包括印刷对象物3扭曲而在拍摄图像上的表面积缩小的情况。

在印刷对象物3的变形度的计算中，控制装置80首先基于从下方拍摄相机71输送来的一个基板2具有的基板侧标记2m的图像识别结果而计算该基板2中的一对基板侧标记2m之间的距离(设为实测值M)。然后，将该计算出的实测值M与一对基板侧标记2m之间的距离的设计值L的比率设为印刷对象物3的变形度P(＝M/L)。

这样，在本实施方式中，拍摄部18拍摄一个基板2具有的一对基板侧标记2m，变形度计算部80a基于通过拍摄部18的拍摄而得到的一对基板侧标记2m的距离来计算印刷对象物3的伸缩变形的程度。需要说明的是，在此所示的变形度P的计算方法只不过是一例，也可以使用其他计算方法。

在拍摄部18拍摄一个基板2的基板侧标记2m的时刻，在针对该基板2的实测值M与设计值L相等的情况下，变形度P为P＝1，但在基板2伸长而实测值M超过设计值L的情况下，变形度P为P＞1。另外，在各基板2缩小而实测值M低于设计值L的情况下，变形度P为P＜1。

在变形度计算部80a计算出印刷对象物3的变形度P之后，控制装置80的选择部80b(图7)基于变形度计算部80a所计算出的变形度P而从设于掩模16的三个开口图案40(中央开口图案41、前方开口图案42以及后方开口图案43)之中选择一个开口图案40(选择工序)。选择部80b进行选择的基准为，在使印刷对象物3的被印刷图案3P与掩模16所具备的三个开口图案40中的任一者接触的情况下，印刷偏差是否为最小。

选择部80b选择开口图案40的选择基准能够预先确定。在本实施方式中，确定以中央开口图案41的扩大比率(H＝1.0)为基准的变形度的区域(第一变形度区域。例如0.95≤P≤1.05)、以前方开口图案42的扩大比率(H＝1.1)为基准的变形度的区域(第二变形度区域。例如1.05＜P＜1.15)以及以后方开口图案43的扩大比率(H＝0.9)为基准的变形度的区域(第三变形度区域。例如0.85＜P＜0.95)。然后，选择部80b根据变形度计算部80a所计算出的变形度P的值属于这三个变形度区域中的哪一个而选择开口图案40。

在上述的例子中，选择部80b在所计算出的印刷对象物3的变形度P为例如P＝1.02的情况下，判断该变形度P的值属于第一变形度区域，因此选择扩大比率H为H＝1.0的开口图案40，即中央开口图案41。另外，选择部80b在所计算出的印刷对象物3的变形度P为例如P＝1.12的情况下，判断该变形度P属于第二变形度区域，因此选择扩大比率H为H＝1.1的开口图案40，即前方开口图案42。另外，选择部80b在所计算出的印刷对象物3的变形度P为例如P＝0.92的情况下，判断该变形度P属于第三变形度区域，因此选择扩大比率H为H＝0.9的开口图案40，即后方开口图案43。需要说明的是，在所计算出的印刷对象物3的变形度P不属于第一变形度区域～第三变形度区域中的任一者的情况下，选择部80b判断印刷对象物3产生异常的变形而进行错误判断。

控制装置80在如上述那样选择开口图案40之后，使移动机构部22移动对象保持部21，以使得作业对象5位于该选择出的开口图案40的下方。具体地说，在选择了中央开口图案41的情况下使对象保持部21位于第一位置，在选择了前方开口图案42的情况下使对象保持部21位于第二位置，在选择了后方开口图案43的情况下使对象保持部21位于第三位置。

在对象保持部21位于所选择的开口图案40的下方之后，X轴梁驱动机构15B和移动板驱动机构61M联动地工作而使拍摄部18移动，并使上方拍摄相机72拍摄掩模侧标记16m。在此，上方拍摄相机72拍摄的掩模侧标记16m为与所选择的开口图案40对应的多个掩模侧标记16m(图5)。具体地说，在选择了中央开口图案41的情况下拍摄与中央开口图案41对应的四个掩模侧标记16m，在选择了前方开口图案42的情况下拍摄与前方开口图案42对应的四个掩模侧标记16m，在选择了后方开口图案43的情况下拍摄与后方开口图案43对应的四个掩模侧标记16m。上方拍摄相机72所拍摄的掩模侧标记16m的图像信息被输送至控制装置80。

在上方拍摄相机72拍摄了掩模侧标记16m之后，X轴梁驱动机构15B和移动板驱动机构61M联动地工作而使拍摄部18移动，并使下方拍摄相机71拍摄基板侧标记2m。此时，下方拍摄相机71拍摄的基板侧标记2m为构成印刷对象物3的各基板2的基板侧标记2m。

在下方拍摄相机71拍摄了构成印刷对象物3的各基板2的基板侧标记2m之后，控制装置80基于该拍摄结果而识别各掩模侧标记16m的位置和各基板侧标记2m的位置，在此基础上，利用移动机构部22使对象保持部21沿水平面内方向移动，以使得多个掩模侧标记16m和多个基板侧标记2m在俯视观察下一致。此时，除被印刷图案3P的尺寸与三个开口图案40中的任一者的尺寸对应时以外，多个掩模侧标记16m和多个基板侧标记2m在俯视观察下不完全一致，但多个掩模侧标记16m和多个基板侧标记2m整体(平均的含义)一致即可。

控制装置80在如上述那样使多个掩模侧标记16m和多个基板侧标记2m在俯视观察下一致之后，使移动机构部22工作而使对象保持部21上升(图8(b)中所示的箭头B)，使印刷对象物3与掩模16的下表面接触(图8B。接触工序)。由此所选择的开口图案40和被印刷图案3P成为重合的状态。在该接触工序中，移动机构部22作为使印刷对象物3与掩模16接触的接触机构而发挥功能。

在本实施方式的丝网印刷装置1中，具有设置了彼此相似且尺寸不同的多个开口图案40的掩模16，基于所计算出的印刷对象物3的变形的程度(变形度P)而使从多个开口图案40之中选择的一个开口图案40与被印刷图案3P重合。因此，即便在印刷对象物3的伸缩变形的程度较大的情况下，在上述接触工序中，能够使被印刷图案3P与多个开口图案40中的一个以允许范围内的精度重合的概率也变高。

控制装置80在使印刷对象物3与掩模16接触之后，经由与印刷对象物3接触的掩模16而在被印刷图案3P上堆积料浆Pst(印刷工序)。在该印刷工序中，首先，刮刀升降工作缸52进行工作而使刮刀单元17所具备的两个刮刀53中的一方相对于刮刀基座51下降，并使该刮刀53的下端与掩模16抵接。然后，刮刀基座驱动机构15A使刮刀基座51沿Y轴方向移动，使刮刀53在与印刷对象物3接触的掩模16的开口图案40(所选择的开口图案40)上滑动。由此，刮刀53使向前方料浆供给区域E1或者后方料浆供给区域E2供给的料浆Pst在掩模16上聚拢，使料浆Pst填充于开口图案40。

在料浆Pst向中央开口图案41的填充中，首先，前方刮刀53F从前方料浆供给区域E1向后方移动而在中央开口图案41上滑动(图9A中所示的箭头C1)，使前方料浆供给区域E1上的料浆Pst聚拢至中央开口图案41的后方区域。然后，这次是后方刮刀53R从中央开口图案41的后方区域向前方移动而在中央开口图案41上滑动(图9B中所示的箭头C2)，使料浆Pst聚拢至前方料浆供给区域E1。

在料浆Pst向前方开口图案42的填充中，首先，后方刮刀53R从前方料浆供给区域E1向前方移动而在前方开口图案42上滑动(图9B中所示的箭头C2)，使前方料浆供给区域E1上的料浆Pst聚拢至前方开口图案42的前方区域。然后，这次是前方刮刀53F从前方开口图案42的前方区域向后方移动而在前方开口图案42上滑动(图9A中所示的箭头C1)，使料浆Pst聚拢至前方料浆供给区域E1。

在料浆Pst向后方开口图案43的填充中，首先，前方刮刀53F从后方料浆供给区域E2向后方移动而在后方开口图案43上滑动(图9A中所示的箭头C1)，使后方料浆供给区域E2上的料浆Pst聚拢至后方开口图案43的后方区域。然后，这次是后方刮刀53R从后方开口图案43的后方区域向前方移动而在后方开口图案43上滑动(图9B中所示的箭头C2)，使料浆Pst聚拢至后方料浆供给区域E2。

如上述那样，在向开口图案40填充料浆Pst之后，成为在被印刷图案3P堆积有料浆Pst的状态，印刷工序结束。在该印刷工序中，刮刀单元17作为经由与印刷对象物3接触的掩模16而使料浆Pst堆积于被印刷图案3P的印刷部发挥功能。

在印刷工序结束之后，移动机构部22工作而使对象保持部21下降，使作业对象5(即印刷对象物3)从掩模16分离(分版)。然后，在一对夹持器33打开而解除了作业对象5的保持之后，搬运部31和搬出部14联动地工作，将作业对象5向下游工序侧搬出。

如以上说明那样，在本实施方式的丝网印刷装置1(丝网印刷方法)中，具有设置有彼此相似且尺寸不同的多个开口图案40的掩模16，基于所计算出的印刷对象物3的变形的程度(变形度P)而使从多个开口图案40之中选择的一个开口图案40与被印刷图案3P重合。因此，即便在印刷对象物3的伸缩变形的程度较大的情况下，能够将被印刷图案3P与多个开口图案40之中的一个以允许范围内的精度重合的概率也较高，难以产生印刷不合格。

至此，虽然对本发明的实施方式进行了说明，但本发明并不局限于上述的实施方式。例如，在上述的实施方式中，安装于载体4的基板2的数量为两个，但这仅是一例，也可以是包含一个在内的任何数量。另外，在上述的实施方式中，彼此相似且尺寸不同的多个开口图案40为三个(中央开口图案41、前方开口图案42以及后方开口图案43)，但这仅是一例，设于掩模16的开口图案40的数量只要是多个即可，可以是任何数量。

另外，在上述的实施方式中，多个开口图案40是如下组合：一个设置为与在印刷对象物3不产生面内的伸缩变形的情况下的被印刷图案3P对应的尺寸的(扩大比率为H＝1的)开口图案、一个设置为与在印刷对象物3产生面内的伸长变形的情况下的被印刷图案3P对应的尺寸的(扩大比率为H＞0的)开口图案、一个设置为与在印刷对象物3产生面内的缩小变形的情况下的被印刷图案3P对应的尺寸的(扩大比率为H＜0)开口图案，但这只不过是一例，多个开口图案40可以是各种尺寸的组合。

另外，在上述的实施方式中，在使印刷对象物3与掩模16接触的接触机构(或者接触工序)中，使印刷对象物3相对于掩模16移动而使印刷对象物3与掩模16接触，但也可以使掩模16相对于印刷对象物3移动而使印刷对象物3与掩模16接触。即，在上述的实施方式中，以使印刷对象物3位于所选择的开口图案40的下方的方式，使移动机构部22移动对象保持部21，但也可以还具备使掩模16沿水平方向移动的掩模移动机构部，以使印刷对象物3位于所选择的开口图案40的下方的方式使掩模16移动。另外，在作业者OP预先根据变形度而选出印刷对象物3的情况下，也可以向输入输出装置81输入变形度或者选择的开口图案40而省略上述的拍摄工序。

另外，在上述的实施方式中，对与构成印刷对象物3的两个基板2中的、预先确定的一个基板2对应的基板侧标记2m进行拍摄而选择了开口图案40，但在由多个基板2构成的情况下，也可以拍摄基板2各自的基板侧标记2m而选择开口图案40。在该情况下，印刷对象物3的伸缩变形的程度通过计算各个基板2的基板变形度PO(＝M/L)而得出。然后，通过求出多个基板变形度PO的平均值，将所得出的值设为印刷对象物3的变形度P，由此能够与上述实施方式同样地选择开口图案40。

工业实用性

本发明提供一种丝网印刷装置以及丝网印刷方法，即便在印刷对象物的伸缩变形的程度较大的情况下，也难以产生印刷不合格。

Claims (5)

1.一种丝网印刷装置，该丝网印刷装置向一个基板或者排列的多个基板即印刷对象物的被印刷图案印刷料浆，

其特征在于，

所述丝网印刷装置具备：

掩模，其设有尺寸不同的多个开口图案；

搬运部，其向所述掩模的下方搬运所述印刷对象物；

拍摄部，其对构成所述印刷对象物的所述一个基板或者排列的多个基板中的一个基板进行拍摄；

变形度计算部，其基于所述拍摄部的拍摄结果而计算所述印刷对象物的伸缩变形的程度；

选择部，其基于由所述变形度计算部计算出的所述印刷对象物的伸缩变形的程度而从所述多个开口图案之中选择一个开口图案；以及

接触机构，其使由所述搬运部搬运至所述掩模的下方的所述印刷对象物与所述掩模接触，

利用所述接触机构使所述掩模与所述基板相对移动，以使由所述选择部选择出的所述开口图案与所述被印刷图案重合。

2.根据权利要求1所述的丝网印刷装置，其特征在于，

所述拍摄部对所述一个基板或者所述多个基板中的一个基板具有的一对基板侧标记进行拍摄，所述变形度计算部基于通过所述拍摄部的所述拍摄而得到的所述一对基板侧标记的距离来计算所述印刷对象物的伸缩变形的程度。

3.根据权利要求1所述的丝网印刷装置，其特征在于，

所述基板为膜状基板。

4.根据权利要求1所述的丝网印刷装置，其特征在于，

所述尺寸不同的多个开口图案彼此相似。

5.一种丝网印刷方法，该丝网印刷方法向一个基板或者排列的多个基板即印刷对象物的被印刷图案印刷料浆，

其特征在于，

所述丝网印刷方法包括：

搬运工序，在该搬运工序中，向设有尺寸不同的多个开口图案的掩模的下方搬运所述印刷对象物；

拍摄工序，在该拍摄工序中，对构成所述印刷对象物的所述一个基板或者排列的多个基板中的一个基板进行拍摄；

变形度计算工序，在该变形度计算工序中，基于所述拍摄工序中的拍摄结果而计算所述印刷对象物的伸缩变形的程度；

选择工序，在该选择工序中，基于在所述变形度计算工序中计算出的所述印刷对象物的伸缩变形的程度而从所述多个开口图案之中选择一个开口图案；以及

接触工序，在该接触工序中，使在所述搬运工序中搬运至所述掩模的下方的所述印刷对象物与所述掩模接触，

在所述接触工序中使所述掩模与所述基板相对移动，以使在所述选择工序中选择出的所述开口图案与所述被印刷图案重合。