CN102133807A - 印刷装置以及印刷方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种印刷装置以及印刷方法。本发明采用所谓的双轨结构，即对一个印刷台(20)设置有互不相同的两条搬送轨道(即，传送带(31A、21A、32A)的搬送路和传送带(31B、21B、32B)的搬送路)，可在该印刷台(20)固定两张基板(1A、1B)。当相对于基板(1A)的被印刷图案的位置偏移和相对于基板(1B)的被印刷图案的位置偏移的相对差(相对精度差)在容许范围以内时，通过刮板的一次移动，一并对基板(1A、1B)印刷糊剂。据此，以简单的结构，能够高精度且有效率地对多个基板印刷糊剂。

Description

印刷装置以及印刷方法

技术领域

本发明涉及一种设置多个搬送基板的基板搬送装置，并对通过各个基板搬送装置搬送过来的基板印刷焊料糊剂、导电性糊剂等糊剂的技术。

背景技术

以往，为了提高对基板印刷糊剂的工作效率，提出了设置多个搬送基板的基板搬送装置的印刷装置。例如，在专利文献1(日本专利公开公报特开2009-70867号，图6)所记载的丝网印刷装置中，设置有两台具备基板搬入部、印刷执行部、基板搬出部以及基板移动台来执行糊剂的印刷的丝网印刷机。而且，在各个丝网印刷机中，通过基板搬入部搬入的基板在基板移动台被夹持，并定位于掩模板正下方的规定位置，然后对该基板进行糊剂印刷。如此，对两张基板能够独立进行定位以及糊剂的印刷，因此，上述装置在印刷精度以及轮次时间方面具有优势。

该专利文献1所记载的丝网印刷装置在一个基座上设置两台丝网印刷机，与将作为装置整体而独立工作的两台丝网印刷装置并列设置时相比结构紧凑。然而，必须设置两套构成丝网印刷机的机构(基板搬入部、印刷执行部、基板搬出部以及基板移动台)，因此装置结构复杂，且成本也会变高。

发明内容

本发明鉴于上述问题，其目的在于提供一种以简单的结构对多个基板高精度且有效率地印刷糊剂的印刷装置以及印刷方法。

为了达到上述目的，本发明提供一种印刷装置，包括：第1基板搬送装置，将具有第1被印刷图案的第1基板沿第1方向搬送；第2基板搬送装置，将具有第2被印刷图案的第2基板沿所述第1方向搬送；印刷台，用于保持通过所述第1基板搬送装置搬入的所述第1基板和通过所述第2基板搬送装置搬入的所述第2基板；掩模保持装置，在保持于所述印刷台的所述第1基板及所述第2基板的上方，保持具有与所述第1被印刷图案相对应的第1开口图案和与所述第2被印刷图案相对应的第2开口图案的掩模；印刷装置，通过所述第1开口图案将糊剂印刷到所述第1基板的所述第1被印刷图案上，通过所述第2开口图案将糊剂印刷到所述第2基板的所述第2被印刷图案上；控制装置，当相对于所述第1基板的所述第1被印刷图案的位置偏移和相对于所述第2基板的所述第2被印刷图案的位置偏移之间的相对差在第1容许范围以内时，使所述印刷装置对所述第1基板及所述第2基板一并印刷糊剂，另一方面，当所述相对差超过所述第1容许范围时，使所述印刷装置先对所述第1基板印刷糊剂，然后再对所述第2基板印刷糊剂。

而且，为了达到上述目的，本发明还提供一种印刷方法，包括以下工序：通过第1基板搬送装置将具有第1被印刷图案的第1基板搬送到印刷台，通过第2基板搬送装置将具有第2被印刷图案的第2基板搬送到印刷台，并在所述印刷台保持所述第1基板及所述第2基板的工序；将具有与所述第1被印刷图案相对应的第1开口图案和与所述第2被印刷图案相对应的第2开口图案的掩模设置在所述印刷台的上方的工序；求出相对于所述第1基板的所述第1被印刷图案的位置偏移和相对于所述第2基板的所述第2被印刷图案的位置偏移的相对差的工序；当所述相对差在第1容许范围以内时，一并进行通过所述第1开口图案对所述第1被印刷图案进行的糊剂印刷和通过所述第2开口图案对所述第2被印刷图案进行的糊剂印刷，另一方面，当所述相对差超过所述第1容许范围时，先通过所述第1开口图案对所述第1被印刷图案印刷糊剂之后，再通过所述第2开口图案对所述第2被印刷图案印刷糊剂的工序。

在上述结构的发明(印刷装置以及印刷方法)中，采用了双轨结构，即设置有第1基板搬送装置以及第2基板搬送装置，能够独立进行基板的搬送。而且，基板通过各个基板搬送装置被搬入到印刷台并进行糊剂的印刷。在此，当相对于第1基板的第1被印刷图案的位置偏移与相对于第2基板的第2被印刷图案的位置偏移之间的相对差(相对精度差)在第1容许范围以内时，对多个基板一并进行糊剂的印刷。即，在印刷台保持第1基板以及第2基板，一并同时执行对第1基板的第1被印刷图案的糊剂印刷和对第2基板的第2被印刷图案的糊剂印刷。如上所述，在一个印刷台上能够对多个基板进行一并印刷，因此，与专利文献1所记载的装置相比，以简单的结构，能够高精度且有效率地进行印刷。另外，当相对差超过第1容许范围时，依次进行对第1基板的第1被印刷图案的糊剂印刷和对第2基板的第2被印刷图案的糊剂印刷，因此能够保证高精度的印刷。

在此，如果将表示上述位置偏移的偏移信息图像附在各个基板，就能够按照各基板从偏移信息图像求出相对于基板的被印刷图案的位置偏移。对此，较为理想的是，本发明的印刷装置还包括：第1拍摄装置，用于拍摄分别附在所述第1基板及所述第2基板上的、表示所述位置偏移的偏移信息图像，其中，所述控制装置从所述第1拍摄装置所拍摄的所述偏移信息图像获取所述第1被印刷图案的位置偏移和所述第2被印刷图案的位置偏移，求出所述相对差(相对精度差)。

保持在印刷台的第1基板以及第2基板会出现位置偏移，而两者之间的相对位置偏移量(相对偏移量)较大，则难以进行一并印刷。对此，较为理想的是，本发明的印刷装置还包括：第2拍摄装置，用于拍摄附在保持于所述印刷台的所述第1基板上的标记和附在保持于所述印刷台的所述第2基板上的标记，其中，所述控制装置，在所述相对差在第1容许范围以内的情况下，进一步根据所述第2拍摄装置所拍摄的所述标记的位置信息求出所述第1基板的位置偏移及所述第2基板的位置偏移，并且，当所述第1基板的位置偏移和所述第2基板的位置偏移之间的相对位置偏移量超过第2容许范围时，使所述印刷装置先对所述第1基板印刷糊剂，然后再对所述第2基板印刷糊剂。更具体地说，在本发明的印刷装置中，所述控制装置在所述相对差在第1容许范围以内的情况下，进一步根据所述第2拍摄装置所拍摄的所述标记的位置信息求出所述第1基板的位置偏移及所述第2基板的位置偏移，并且，当所述相对精度差在第1容许范围以内、且所述第1基板的位置偏移和所述第2基板的位置偏移之间的相对位置偏移量在第2容许范围以内时，使所述印刷装置对多个基板一并进行糊剂的印刷，另一方面，当所述第1基板的位置偏移和所述第2基板的位置偏移之间的相对位置偏移量超过第2容许范围时，使所述印刷装置先对所述第1基板印刷糊剂，然后再对所述第2基板印刷糊剂。采用该结构，能够保证高精度的印刷。

在本发明中，印刷台也可以包括可动部；第1搬送部，在所述可动部上，将通过所述第1基板搬送装置搬入的所述第1基板沿所述第1方向搬送；第2搬送部，在所述可动部上，将通过所述第2基板搬送装置搬入的所述第2基板沿所述第1方向搬送；定位机构部，驱动所述可动部，将所述第1基板及所述第2基板相对于所述掩模进行定位。采用上述结构，与专利文献1所记载的对各个搬送部设置定位机构部的装置相比，其结构简单，能够实现装置的低成本化以及小型化。

在本发明中，所述印刷装置也可以采用如下结构，即所述第1基板定位并固定在第1搬送夹具，所述第2基板定位并固定在第2搬送夹具，其中，所述第1基板搬送装置将所述第1基板搬送夹具搬送到所述印刷台，所述第2基板搬送装置将所述第2基板搬送夹具搬送到所述印刷台，所述控制装置，使所述印刷台保持所述第1基板搬送夹具及所述第2基板搬送夹具，并且使所述印刷装置对所述第1基板及所述第2基板印刷所述糊剂。如此，通过搬送夹具定位固定各个基板，则即使基板的外形形状、尺寸出现偏差，也能够以搬送夹具的精度进行基板搬送、基板保持，从而能够实现高精度的印刷。

如上所述，本发明在一个印刷台保持并固定第1基板以及第2基板。而且，当相对于第1基板的第1被印刷图案的位置偏移与相对于第2基板的第2被印刷图案的位置偏移之间的相对差在第1容许范围以内时，对这些基板进行一并印刷。因此，与专利文献1所记载的装置相比，能够以简单的结构进行高精度且高效率的印刷。

附图说明

图1是表示本发明所涉及的印刷装置的一实施方式的俯视图。

图2是表示设置掩模的状态下的印刷装置的概略结构的侧视图。

图3是模式地表示基板、掩模以及刮板的位置关系的立体图。

图4是表示印刷装置的主要电气结构的框图。

图5是表示图1的印刷装置的动作的流程图。

图6是表示第1轮流印刷处理动作的流程图。

图7是表示第2轮流印刷处理动作的流程图。

图8是表示一并印刷处理动作的流程图。

图9是模式地表示第1轮流印刷处理的图。

图10是模式地表示第2轮流印刷处理的图。

图11是模式地表示第2轮流印刷处理的图。

图12是模式地表示一并印刷处理的图。

图13是表示作为印刷对象的基板的制造方式和被印刷图案的位置偏移形式之间的关系的模式图。

图14是表示本发明所涉及的印刷装置在其它实施方式中使用的搬送夹具的立体图。

具体实施方式

图1是表示本发明所涉及的印刷装置的一实施方式的俯视图，其表示未设置掩模的状态下的印刷装置的概略结构。而且，图2是表示设置掩模的状态下的印刷装置的概略结构的侧视图。图3是模式地表示基板、掩模以及刮板的位置关系的立体图。图4是表示印刷装置的主要电气结构的框图。在该印刷装置中，在基座10上设置有印刷台20。该印刷台20具有在基座10上将基板1A从图1的右下侧向左下侧搬送的一对搬送部21A、21A。而且，根据来自控制组件40的印刷台控制部43的驱动指令，使搬送部21A进行工作，将基板1A从X轴方向(第1方向)的右侧向左侧搬送，并且通过挡块(省略图示)使基板1A停止在Y轴方向的前侧固定位置(图1中的下方中央侧基板1A的位置)并进行定位。而且，在印刷台20中，在Y轴方向上的搬送部21A的后侧(-Y侧)并列设置有一对搬送部21B、21B。而且，当搬送部21B根据来自控制组件40的印刷台控制部43的驱动指令进行运作时，基板1B在基座10上从图1的右上侧向左上侧被搬送，并且通过挡块(省略图示)停止在Y轴方向的后侧固定位置(图1中的上方中央侧基板1B的位置)并被进行定位。另外，在各个固定位置，通过印刷台20的保持机构部(省略图示)分别固定并保持基板1A、1B。

在本实施方式中，在装置的右侧面部设置有搬入传送带31A、31B，在装置的左侧面部设置有搬出传送带32A、32B。这些传送带中的搬入传送带31A、31A是为了支撑需要印刷糊剂的未处理基板1A并沿X轴方向搬送从而将其搬入到印刷台20而设置的，搬出传送带32A、32A是为了支撑印刷完毕的基板1A并沿X轴方向搬送而设置的。而且，在Y轴方向上，在传送带31A的后侧(-Y侧)并列设置有一对搬入传送带31B、31B，并且在传送带32A的后侧(-Y侧)并列设置有一对搬出传送带32B、32B。而且，搬入传送带31B支撑未处理基板1B并沿X轴方向搬送从而将其搬入到印刷台20，搬出传送带32B支撑印刷完毕的基板1B并沿X轴方向搬送。如上所述，在本实施方式中，搬入传送带31A、31B分别作为本发明的“第1基板搬送装置”、“第2基板搬送装置”而发挥作用。

当印刷台20移动到后述的搬送位置时，印刷台20上的搬送部21A定位于搬入传送带31A和搬出传送带32A之间，搬送部21B定位于搬入传送带31B和搬出传送带32B之间。在印刷台20定位于搬送位置的状态下驱动搬入传送带31A时，印刷处理之前的基板1A就会被送入设置在印刷台20的搬送部21A上。而且，在相同的状态下驱动搬入传送带31B时，印刷处理之前的基板1B就会被送入设置在印刷台20的搬送部21B上。在本实施方式中，印刷台20的X轴方向的右侧(基板搬入侧)采用了具有两条搬送路的所谓双轨(dual-lane)结构，据此，在Y轴方向的前侧和后侧可独立地将基板搬入到印刷台20。另外，在本实施方式中，在印刷台20的X轴方向的左侧(基板搬出侧)也如后所述采用了双轨结构，据此，在Y轴方向的前侧和后侧也可独立地将基板从印刷台20搬出。

该印刷台20具有俯视时呈矩形形状的可动板22，该可动板22通过驱动组件群23可在水平面(XY平面)上进行二维移动，且沿上下方向(Z轴方向)进行升降移动，并且绕Z轴进行转动(沿R方向的移动)。而且，在可动板22上设置有上述的搬送部21A、21B、挡块、保持机构部、支撑组件24。另外，驱动组件群23是如上所述使可动板22沿X轴方向、Y轴方向、Z轴方向以及R方向进行移动以进行定位的定位机构部。在本实施方式中，该驱动组件群23使用以往多用的一般的机构。此外，挡块以及保持机构部也相同。因此，对上述驱动组件群(定位机构部)23、挡块以及保持机构部的具体结构，省略其说明。

支撑组件24设置在可动板22上。该支撑组件24具备支撑板241、多个支撑销242、设置在支撑板241与可动板22之间并用于升降驱动支撑板241的升降机构部(省略图示)。支撑销242从支撑板241向上方竖立设置，能够通过支撑销242的前端部从下方支撑基板1A、1B的下面。而且，通过印刷台控制部43使升降机构部进行工作，从而使支撑板241向上方移动，并且使基板1A、1B从搬送部21A、21B上升并定位。另一方面，通过使支撑板241下降，从而使基板1A、1B从支撑销242返回到搬送部21A、21B，而且支撑销242退避到基板1A、1B的下方。

在上述印刷台20中，通过控制组件40的印刷台控制部43，可动板22沿X轴方向、Y轴方向、R方向(绕Z轴转动的方向)进行移动，据此用支撑销242支撑并用保持机构部保持的基板1A、1B移动到印刷位置，并相对于掩模51进行定位。该掩模51是在掩模框(掩模框架)52的下面侧贴上薄板状的模板(stencil)而成的部件，并且预先设置有对应于基板1A的被印刷图案的开口图案53a(图3)和对应于基板1B的被印刷图案的开口图案53b(图3)。而且，上述结构的掩模51，通过掩模夹紧组件50保持掩模框52而固定设置在印刷台20的上方。而且，从焊料供给组件(省略图示)供给到掩模51上的焊料糊剂，通过使刮板组件70的刮板71沿Y轴方向进行往复移动，从而在掩模51上扩展。此时，焊料糊剂通过设置在掩模51的开口图案53A、53B分别印刷在基板1A、1B的上表面。因此，如后所述，通过控制刮板71的移动范围，可将焊料糊剂一并印刷在基板1A、1B上，或者轮流对基板1A、1B进行印刷。在本实施方式中，掩模夹紧组件50作为本发明的“掩模保持装置”而发挥作用，刮板组件70作为本发明的“印刷装置”而发挥作用。

如上所述，对基板1A、1B的糊剂印刷结束之后，在印刷台20，根据来自印刷台控制部43的驱动指令，驱动组件群23将可动板22定位于搬送位置。在该搬送位置，搬送部21A定位在搬入传送带31A和搬出传送带32A之间、且与传送带31A、32A相同的高度上，搬送部21B定位在搬入传送带31B和搬出传送带32B之间、且与传送带31B、32B相同的高度上。在该定位状态下，当驱动搬出传送带32A，并驱动搬送部21A时，如后所述，搬送部21A将经过印刷处理的已处理基板1A搬送到搬出传送带32A。同样，在该定位状态下，当驱动搬出传送带32B，并驱动搬送部21B时，如后所述，搬送部21B将经过印刷处理的已处理基板1B搬送到搬出传送带32B。如此，能够同时或者以不同时间从印刷台20搬出基板1A、1B。

在本实施方式中，如图3以及图4所示，设置有基准照相机60，而该基准照相机60通过基准照相机驱动机构63可在印刷台20和掩模51之间沿X轴方向和Y轴方向进行移动。该基准照相机60具有拍摄附在保持于印刷台20的基板1A、1B的上表面的基准标记FM1、FM2的基板照相机部61和拍摄附在掩模51下表面的基准标记(省略图示)的掩模照相机部62。而且，根据来自控制组件40的照相机控制部44的驱动指令，基准照相机驱动机构63使基准照相机60沿X轴方向以及Y轴方向进行移动。在该移动过程中，基板照相机部61拍摄保持在印刷台20的基板1A、1B的基准标记FM1、FM2，掩模照相机部62拍摄掩模51的基准标记，并且所拍摄的图像数据被输出到照相机控制部44。如上所述，在本实施方式中，基板照相机部61相当于本发明的“第2拍摄装置”。

照相机控制部44对上述图像数据进行各种图像处理，并将其输出至运算处理部41。运算处理部41由CPU、存储器等构成，根据来自照相机控制部44的图像信息，求出基板1A、1B的固定位置、相对位置偏移量、掩模51的固定位置等，并且执行后述的印刷处理。

在该实施方式中，前侧待机位置照相机64A设置在搬入传送带31A的上方位置，能够拍摄通过设置在搬入传送带31A的挡块(省略图示)停止移动而处于待机状态的未处理基板1A。而且，在搬入传送带31B侧，与搬入传送带31A侧相同，在搬入传送带31B的上方设置有后侧待机位置照相机64B，能够拍摄处于待机状态的未处理基板1B。这些待机位置照相机64A、64B用于拍摄表示相对于基板的被印刷图案的偏移信息的图像(下面，称为“偏移信息图像”)MI，并将所拍摄的偏移信息图像MI输出至照相机控制部44。如上所述，待机位置照相机64A、64B相当于本发明的“第1拍摄装置”，但也可以利用一台照相机拍摄基板1A、1B上的被印刷图案的偏移信息图像MI。另外，该“基板上的被印刷图案的偏移信息”是表示形成在基板上表面的被印刷图案、即需要印刷焊料糊剂的图案从预先设定的图案位置偏离多少的信息，在本实施方式中，通过如下方法针对每个基板预先进行测量，并将其结果通过QR码(株式会社DENSO WAVE的注册商标)等二维码进行图像化。

基板1A、1B上的被印刷图案根据CAD(Computer Aided Design)数据进行制作，但是形成在基板上的被印刷图案的位置有时会偏离CAD数据上的被印刷图案的位置。对此，在本实施方式中，测量基板1A的被印刷图案的形成位置，以XY平面内的X偏移量XA、Y偏移量YA、转动量θA求出相对于基板1A的轮廓(外形)的被印刷图案的整体位置偏移。另外，为了提高位置偏移的测量精度，较为理想的是，对整个基板1A的多个点测量各个偏移量，并将其平均值分别设定为X偏移量XA、Y偏移量YA、转动量θA。而且，对于基板1B，也与基板1A相同地求出相对于基板1B外形的被印刷图案的整体位置偏移量(XB、YB、θB)。因此，通过拍摄表示上述的偏移量的偏移信息图像MI并对该偏移信息图像MI进行解析，能够正确地读取各个基板1A、1B上的被印刷图案的偏移信息。即，在本实施方式中，待机位置照相机64A、64B所拍摄的偏移信息图像MI输出到照相机控制部44，在照相机控制部44进行适当的图像处理，然后输出到运算处理部41。接着，运算处理部41根据基板1A上的被印刷图案的位置偏移量(XA、YA、θA)和基板1B上的被印刷图案的位置偏移量(XB、YB、θB)，并通过下式运算出基板1A、1B上的被印刷图案的相对偏移信息dX、dY、dθ。

dX＝XA-XB

dY＝YA-YB

dθ＝θA-θB

另外，由于运算结果正确地表示形成在基板1A、1B上的被印刷图案的相对偏移，因此，如后所述，能够利用于一并印刷与否的判断基准。

在此，当被印刷图案内存在特别要求印刷精度的局部区域时，可以取代被印刷图案的整体位置偏移量，对于各个基板1A、1B求出局部区域图案的位置偏移量(X2A、Y2A、θ2A)、(X2B、Y2B、θ2B)，并将其作为各个基板1A、1B上的被印刷图案的位置偏移量(XA、YA、θA)、(XB、YB、θB)。此时，较为理想的是，同样对局部区域中的多个点测量各个偏移量，并将其平均值分别设定为X偏移量X2A、X2B、Y偏移量Y2A、Y2B、转动量θ2A、θ2B。而且，也可以组合被印刷图案的整体位置偏移量和局部区域的位置偏移量作为各个基板1A、1B上的被印刷图案的位置偏移量(XA、YA、θA)、(XB、YB、θB)。例如，当设各个基板1A、1B上的被印刷图案的整体位置偏移量为(X1A、Y1A、θ1A)、(X1B、Y1B、θ1B)时，可通过下式设定各个基板1A、1B上的被印刷图案的位置偏移量(XA、YA、θA)、(XB、YB、θB)。

XA＝X1A+X2A

YA＝Y1A+Y2A

θA＝θ1A+θ2A

XB＝X1B+X2B

YB＝Y1B+Y2B

θB＝θ1B+θ2B

在上述结构的印刷装置中，如图4所示，设置有用于控制整个印刷装置的控制组件40。该控制组件40具有运算处理部41、程序存储部42、印刷台控制部43、照相机控制部44。该运算处理部41，按照预先存储在程序存储部42的印刷程序控制印刷装置各部，反复进行印刷处理(第1轮流印刷处理、第2轮流印刷处理以及一并印刷处理)。而且，印刷台控制部43对组装在印刷台20的各种电动机或者气缸等致动器进行控制，使搬送部21A、21B进行基板1A、1B的搬入和搬出、以及相对于掩模51的基板1A、1B的定位。而且，照相机控制部44对上述的待机位置照相机64A、64B、基板照相机61、掩模照相机部62所拍摄的图像数据进行指定的图像处理，从而获取偏移信息、关于基板1A、1B的位置信息、关于掩模51的位置信息。另外，图4中的显示/操作组件45用于显示印刷程序或者错误信息等、以及工作人员对控制组件40输入的各种数据和指令等信息。

接着，参照图5至图12说明上述结构的印刷装置的动作。图5至图8是表示印刷装置的动作的流程图。图9是模式地表示第1轮流印刷处理的图，图10以及图11是模式地表示第2轮流印刷处理的图，图12是模式地表示一并印刷处理的图。在该印刷装置设置有2台搬入传送带31A、31B，在搬入传送带31A、31B上，印刷之前的未处理基板1A、1B的前端部(图1中为左端部)抵接在挡块(省略图示)而处于待机状态。接着，控制组件40按照印刷程序对印刷装置各部进行控制，如下所述地进行未处理基板的搬入、印刷以及搬出。

在未处理基板1A、1B处于待机状态时，前侧待机位置照相机64A拍摄在搬入传送带31A上待机的未处理基板1A的偏移信息图像MI，而且后侧待机位置照相机64B拍摄在搬入传送带31B上待机的未处理基板1B的偏移信息图像MI(步骤S1)。运算处理部41根据所拍摄的基板1A、1B的偏移信息图像MI分别求出基板1A、1B的偏移信息，并算出基板1A、1B之间的相对精度差(相对差)(步骤S2)。更加具体而言，运算处理部41如上所述地运算出基板1A、1B上的被印刷图案的相对偏移信息dX(＝XA-XB)、dY(＝YA-YB)、dθ(＝θA-θB)，并将这些偏移信息dX、dY、dθ作为相对精度差存储在存储器中。当该相对精度差较大时，如后所述，在印刷台20保持基板1A、1B时，基板1A、1B上的被印刷图案较大地偏离。因此，例如将基板1A的被印刷图案相对于掩模51的开口图案53a进行定位，则基板1B的被印刷图案与掩模51的开口图案53b之间就会出现较大的偏离。对此，在本实施方式中，在印刷台20上进行焊料糊剂的印刷之前，先判断相对精度差dX、dY、dθ是否在容许值X0、Y0、θ0以下(步骤S3)。接着，当该判断结果为“否”时，即相对精度差dX、dY、dθ超过容许范围(第1容许范围)时，执行后述的第1轮流印刷处理(步骤S4)，轮流对基板1A、1B进行焊料糊剂的印刷。

另一方面，当在步骤S3判断为相对精度差dX、dY、dθ在容许范围以内时，基板1A、1B分别从搬入传送带31A、31B搬送到印刷台20的搬送部21A、21B。此时，印刷台20定位于上述搬送位置，设置在搬送部21A、21B的挡块被定位成从基板的搬送路径向上方突出。接着，通过搬送部21A、21B搬送来的基板1A、1B分别被挡块卡止从而在固定位置停止移动，之后通过印刷台20的保持机构而被固定(步骤S5)。

在下一个步骤S6，通过基准照相机驱动机构63使基准照相机60沿X轴方向以及Y轴方向进行移动，并在该移动过程中，基板照相机部61拍摄基板1A、1B的基准标记FM1、FM2。运算处理部41根据所拍摄的基准标记FM1、FM2求出基板1A、1B的固定位置，并且求出在水平面内的距预先设定的固定位置的位置偏移量(固定位置偏移量)，以此算出基板1A、1B之间的相对的位置偏移量(相对位置偏移量)(步骤S7)。例如，从基准标记FM1、FM2求出基板1A的固定位置偏移量XSA、YSA、θSA和基板1B的固定位置偏移量XSB、YSB、θSB后，根据下式运算出相对位置偏移量。

dXS＝XSA-XSB

dYS＝YSA-YSB

dθS＝θSA-θSB

在此，当保持并固定在印刷台20的基板1A、1B之间存在较大的位置偏移时，例如当将基板1A对掩模51进行定位时，基板1B相对于掩模51较大地偏离。对此，在本实施方式中，在印刷台20上进行焊料糊剂的印刷之前，先判断相对位置偏移量dXS(＝XSA-XSB)、dYS(＝YSA-YSB)、dθS(＝θSA-θSB)是否在容许值XS0、YS0、θS0以下(步骤S8)。接着，当该判断结果为“否”时，即相对位置偏移量超过容许值(第2容许范围)时，执行后述的第2轮流印刷处理(步骤S9)，在印刷台20上搭载基板1A、1B的状态下，对基板1A、1B轮流进行焊料糊剂的印刷。

另一方面，当在步骤S8判断为相对位置偏移量在容许值以内时，则对保持并固定在印刷台20的基板1A、1B一并进行焊料糊剂的印刷(步骤S 10：一并印刷处理)。

下面，对上述“第1轮流印刷处理”、“第2轮流印刷处理”以及“一并印刷处理”进行详细说明。

(第1轮流印刷处理)

图6是表示第1轮流印刷处理动作的流程图。在该第1轮流印刷处理中，如图6以及图9所示，使设置在搬入传送带31A、31B的挡块中的搬入传送带31A的挡块退避到搬入传送带31A的基板1A搬送路的下方，仅将基板1A搬送到印刷台20的搬送部21A。在印刷台20，通过搬送部21A搬送来的基板1A被挡块卡止从而在固定位置停止移动，之后，如图9(a)的下段所示，通过印刷台20的保持机构部被固定(步骤S401)。

然后，通过基准照相机驱动机构63使基准照相机60沿X轴方向以及Y轴方向进行移动，并在该移动过程中，由基板照相机部61拍摄基板1A的基准标记FM1、FM2，由掩模照相机部62拍摄掩模51的基准标记(省略图示)(步骤S402)。运算处理部41根据所拍摄的基准标记FM1、FM2算出水平面内的基板1A和掩模51的相对位置关系。接着，根据计算结果使印刷台20沿X轴方向、Y轴方向以及R方向进行移动，修正在水平面内的相对于掩模51的基板1A的位置，以使掩模51下表面的基准标记和基板1A的基准标记FM1、FM2一致。而且，当开始相对于掩模51的基板1A的定位时，同时使可动板22上升，使基板1A朝向印刷位置上升，并在相对于掩模51的基板1A的定位结束的状态下，使基板1A紧贴于掩模51的下表面(步骤S403)。然后，对掩模51的上表面供给糊状焊料等糊剂P，一边控制印刷负载、移动速度，一边使刮板71开始向Y轴方向的后侧进行移动(步骤S404)。接着，如图9(b)所示，当刮板71通过掩模51的开口图案53a将糊剂P印刷在基板1A上表面的被印刷图案上(步骤S405)时，停止刮板71的移动(步骤S406)。此时，刮板71以及掩模51上表面的糊剂P位于开口图案53a和53b之间。

如上所述地对基板1A印刷完糊剂之后，通过印刷台控制部43使可动板22下降，并且使可动板22返回为了将基板1A相对于掩模51进行定位而使可动板22移动的距离以使其返回到原来的位置。接着，印刷台20移动到搬送位置(步骤S407)。然后，如图9(c)下段所示，解除保持机构部对基板1A的保持，接着使支撑板241下降，将基板1A从支撑销242移载到搬送部21A，而且让支撑销242退避到基板1A的下方。由此，通过搬送部21A将返回到搬送部21A上的印刷完毕基板1A搬送到搬出传送带32A(步骤S408)。

当基板1A从印刷台20搬出时，与上述基板1A同样地将基板1B搬入印刷台20进行糊剂的印刷，然后搬出到搬出传送带32B(步骤S409至S416)。另外，基板1B的搬入、糊剂的印刷以及搬出处理，除了基板搬送路不同之外与基板1A的一系列处理相同，因而在此省略对其动作的说明。

如上所述，根据第1轮流印刷处理(步骤S4)，即使在相对精度差dX、dY、dθ超过容许范围而基板1A、1B上的被印刷图案之间存在较大的偏离的情况下，也能够对各个基板1A、1B高精度地将糊剂P印刷到被印刷图案上。

(第2轮流印刷处理)

图7是表示第2轮流印刷处理动作的流程图。开始第2轮流印刷处理(步骤S9)时，如图10(a)所示，在印刷台20上有两张基板1A、1B分别固定在固定位置，然而，如上所述，在基板1A、1B之间存在较大的位置偏移。对此，按照图7所示工作流程，控制装置各部。首先，解除保持机构部对基板1B的固定(步骤S901)，然后根据在步骤S6、S7已获取的关于掩模51下表面的基准标记和基板1A的基准标记FM1、FM2相关的位置信息，使印刷台20沿X轴方向、Y轴方向以及R方向进行移动并修正在水平面内的相对于掩模51的基板1A的位置，以使掩模51下表面的基准标记和基板1A的基准标记FM1、FM2一致。而且，当开始基板1A相对于掩模51的定位时，同时使可动板22上升，以使基板1A朝向印刷位置上升，并在相对于掩模51的基板1A的定位结束的状态下，使基板1A紧贴于掩模51的下表面(步骤S902)。然后，与第1轮流印刷处理的步骤S404至S408同样地进行对基板1A的糊剂的印刷、基板1A的搬出(步骤S903至S907；图10(b)、(c))。

当基板1A从印刷台20搬出时，如图11(a)所示，通过印刷台20的保持机构部再次固定留在印刷台20的未处理基板1B(步骤S908)。由于对基板1B进行再次固定，因此基板1B的位置可能会移动。对此，在本实施方式中，通过基准照相机驱动机构63使基准照相机60沿X轴方向以及Y轴方向进行移动，并在该移动过程中，由基板照相机部61拍摄基板1B的基准标记FM1、FM2(步骤S909)。运算处理部41根据所拍摄的基准标记FM1、FM2算出在水平面内的基板1B和掩模51的相对位置关系。接着，根据计算结果使印刷台20沿X轴方向、Y轴方向以及R方向进行移动，并修正在水平面内的相对于掩模51的基板1B的位置，以使掩模51下表面的基准标记和基板1B的基准标记FM1、FM2一致。而且，当开始基板1B相对于掩模51的定位时，同时使可动板22上升，以使基板1B朝向印刷位置上升，并在相对于掩模51的基板1B的定位结束的状态下，使基板1B紧贴于掩模51的下表面(步骤S910)。然后，再次驱动停止在开口图案53a和53b之间的刮板71。即，使刮板71开始向Y轴方向的后侧进行移动(步骤S911)。接着，如图11(b)所示，当刮板71通过掩模51的开口图案53b将糊剂P印刷在基板1B上表面的被印刷图案上(步骤S912)时，停止刮板71的移动(步骤S913)。此时，刮板71以及掩模51上表面的糊剂P位于开口图案53b的Y轴方向后侧。

对基板1B印刷完糊剂之后，与上述基板1A同样地将基板1B搬出到搬出传送带32B(步骤S914、S915)。

如上所述，根据上述的第2轮流印刷处理(步骤S9)，即使在印刷台20上搭载有2张基板1A、1B且基板1A、1B存在较大的位置偏移的情况下，也能够将糊剂P高精度地印刷到基板1A、1B的被印刷图案上。

(一并印刷处理)

图8是表示一并印刷处理动作的流程图。当开始该一并印刷处理(步骤S10)时，相对位置偏移量在容许值以下，2张基板1A、1B之间不存在较大的位置偏移且固定在印刷台20。而且，相对精度差dX、dY、dθ分别在容许值X0、Y0、θ0以下。因此，相对于掩模51能够容易且高精度地将基板1A、1B进行定位。更加具体而言，根据已算出的各种信息(关于掩模51下表面的基准标记和基板1A、1B的基准标记FM1、FM2的位置信息、相对位置偏移量，偏移信息等)使印刷台20沿X轴方向、Y轴方向以及R方向进行移动，并修正在水平面内的相对于掩模51的基板1A、1B的位置，以使掩模51下表面的基准标记和基板1A、1B的基准标记FM1、FM2相一致。

而且，当开始基板1A、1B相对于掩模51的定位时，同时使可动板22上升，以使基板1A、1B朝向印刷位置上升，并进行相对于掩模51的基板1A的定位，换言之，在开口图案53a、53b分别与基板1A、1B的被印刷图案重叠的状态下，使基板1A、1B紧贴于掩模51的下表面(步骤S101)。

接着，对掩模51的上表面供给糊剂P，一边控制印刷负载、移动速度，一边使刮板71开始向Y轴方向的后侧进行移动(步骤S102)。接着，如图12(b)所示，当刮板71通过掩模51的开口图案53a、53b将糊剂P印刷在基板1A、1B上表面的被印刷图案上(步骤S103)时，停止刮板71的移动(步骤S104)。此时，刮板71以及掩模51上表面的糊剂P位于开口图案53b的Y轴方向后侧。

对基板1A、1B一并印刷完糊剂之后，通过印刷台控制部43使可动板22下降移动，且使可动板22返回为了将基板1A、1B相对于掩模51进行定位而移动的距离以使其返回到原来的位置。接着，印刷台20移动到搬送位置(步骤S105)。然后，如图12(c)下段所示，解除保持机构部对基板1A、1B的保持，接着使支撑板241下降，将基板1A、1B从支撑销242分别移载到搬送部21A、21B，且让支撑销242退避到基板1A、1B的下方。接着，通过搬送部21A将如上所述地返回到搬送部21A的印刷完毕基板1A搬送至搬出传送带32A，通过搬送部21B将返回到搬送部21B的印刷完毕基板1B搬送至搬出传送带32B(步骤S106)。

如上所述，采用本实施方式，由于采用了对一个印刷台20设置互不相同的两条搬送路(即，传送带31A、21A、32A的搬送路径和传送带31B、21B、32B的搬送路径)的所谓的双轨结构，因而在该印刷台20能够固定两张基板1A、1B。而且，当同时满足下面2个条件(1)、(2)时，通过刮板的一次移动，一并对基板1A、1B进行糊剂的印刷。

条件(1)：相对于基板1A的被印刷图案的位置偏移和相对于基板1B的被印刷图案的位置偏移的相对差(相对精度差)在容许范围以内。

条件(2)：固定在印刷台20的基板1A、1B的相对的位置偏移量(相对位置偏移量)在容许值以下。

因此，与日本专利文献1所记载的装置相比，能够以简单的结构，高精度且有效率地进行印刷。

而且，在本实施方式中，当不满足上述条件(1)时，执行第1轮流印刷处理(步骤S4)，当不满足上述条件(2)时，执行第2轮流印刷处理(步骤S9)，从而依次对基板1A的被印刷图案的糊剂印刷和对基板1B的被印刷图案的糊剂印刷，因此，即使出现不满足上述条件(1)或者条件(2)的情况，也能够在不降低印刷精度的情况下对基板印刷糊剂。

另外，本发明并不限定于上述实施方式，可在不脱离本发明宗旨的范围内适当进行除上述实施方式以外的各种变更。例如，在上述实施方式中，通过测量形成在基板上的被印刷图案的位置偏移量生成偏移信息，但偏移信息不只限于此，例如，也可以根据如下作成偏移信息来进行条件(1)的判断(步骤S3)。

在制造基板1A、1B时，与从一张晶片(wafer)制造出多个半导体芯片时相同，例如，如图13所示，通常对1张大型基板100一并制造出小型基板(相当于基板1A、1B)之后，从大型基板100切割出各个小型基板1A、1B。当如上所述地形成基板1A、1B时，根据基板形成时的各个小型基板1A、1B的位置，被印刷图案的位置偏移通常有如下倾向。例如，从大型基板100的前侧(图13的下侧)向后侧(图13的上侧)形成被印刷图案时，位于大型基板100前侧的小型基板，其歪扭量较小。与此相反，随着形成方向歪扭量逐渐变大，而且歪扭方向在图13的左右方向上也不同。因此，根据基板形成时的各个基板1A、1B的位置，将偏移量划分为以下的A、BR、BC、BL、CR、CL的等级，当制造基板1A、1B时，将上述等级信息作为“基板上的被印刷图案的偏移信息”反映于偏移信息图像MI。

A：歪扭量小的等级

BR：歪扭量为中，相对于形成方向偏向右后侧的等级

BC：歪扭量为中，偏向形成方向后侧的等级

BL：歪扭量为中，相对于形成方向偏向左后侧的等级

CR：歪扭量为大，相对于形成方向偏向右后侧的等级

CL：歪扭量为大，相对于形成方向偏向左后侧的等级

此时，通过拍摄偏移信息图像MI并对该偏移信息图像MI进行解析，能够正确地读取各个基板1A、1B的等级，并且通过等级的组合(基板1A的等级、基板1B的等级)能够正确地求出形成在基板1A、1B的被印刷图案的相对偏移。例如，组合为(A、A)、(BC、BC)、(BR、BR)、(CR、CR)等时，相对于基板1A的被印刷图案的位置偏移和相对于基板1B的被印刷图案的位置偏移的相对差(相对精度差)较小，可判断为在容许范围以内。另一方面，当组合为(CR、CL)等时，相对精度差较大，可判断为超过了容许范围。

而且，在上述实施方式中，在同时满足条件(1)和条件(2)时才进行一并印刷处理，然而，当基板1A、1B的个体差引起的基板外形的形状、尺寸的偏差较小且固定位置上的基板1A、1B的位置偏移较小时，只要满足条件(1)，即可进行一并印刷处理。

另一方面，由于基板1A、1B的个体差会引起基板外形的形状、尺寸出现偏差，因而保持机构部对基板进行固定时无法得到足够的反复精度，有时难以进行稳定的一并印刷。对此，如图14所示，可以使用与基板1A、1B相对应的搬送夹具90。该搬送夹具90外形的形状、尺寸的精度是能够保证的。而且，搬送夹具90的上表面中央部形成有与基板1A、1B相同或者稍大的凹部91，基板1A、1B正好嵌入于该凹部91中。而且，在凹部91内底面的与设置在基板1A、1B的既定位置上的定位孔10a、10b相对应的位置上，分别竖立设置有定位销92a、92b。另外，销92a、92b的自凹部91的内底面的高度在基板1A、1B的厚度以下。因此，当将定位销92a、92b分别插入基板1A、1B的定位孔10a、10b从而使基板1A、1B插入到凹部91时，基板1A、1B相对于搬送夹具90正确地进行定位并且与之成为一体。因此，只要连同搬送夹具90一起将基板1A、1B搬送到印刷台20，并且通过保持机构部进行固定，即使基板1A、1B外形的形状、尺寸出现偏差，也能够以足够的反复精度将基板1A、1B固定于印刷台20上。其结果，能够稳定地对基板1A、1B进行糊剂印刷。

而且，在上述实施方式中，将本发明适用于利用一个刮板71进行移动而执行糊剂印刷的印刷装置，然而，本发明也可以适用于利用两根以上刮板进行移动而执行糊剂印刷的印刷装置。

此外，在上述实施方式中，将本发明适用于具有两条搬送路的双轨方式的印刷装置，然而，本发明也可以适用于设置有三条以上搬送路的印刷装置，而且能够获得与上述实施方式相同的作用效果。即，在设置有三条以上搬送路的印刷装置中，与上述实施方式同样地对所有搬送路的基板一并进行印刷，由此能够进行高精度且有效率的印刷。而且，不仅可对所有搬送路的基板一并进行印刷，而且也可以对所有搬送路中的一部分的多个搬送路(两条或者三条以上搬送路)的基板一并进行印刷。

Claims (6)

1.一种印刷装置，其特征在于包括：

第1基板搬送装置，将具有第1被印刷图案的第1基板沿第1方向搬送；

第2基板搬送装置，将具有第2被印刷图案的第2基板沿所述第1方向搬送；

印刷台，用于保持通过所述第1基板搬送装置搬入的所述第1基板和通过所述第2基板搬送装置搬入的所述第2基板；

掩模保持装置，在保持于所述印刷台的所述第1基板及所述第2基板的上方，保持具有与所述第1被印刷图案相对应的第1开口图案和与所述第2被印刷图案相对应的第2开口图案的掩模；

印刷装置，通过所述第1开口图案将糊剂印刷到所述第1基板的所述第1被印刷图案上，通过所述第2开口图案将糊剂印刷到所述第2基板的所述第2被印刷图案上；

控制装置，当相对于所述第1基板的所述第1被印刷图案的位置偏移和相对于所述第2基板的所述第2被印刷图案的位置偏移之间的相对差在第1容许范围以内时，使所述印刷装置对所述第1基板及所述第2基板一并印刷糊剂，另一方面，当所述相对差超过所述第1容许范围时，使所述印刷装置先对所述第1基板印刷糊剂，然后再对所述第2基板印刷糊剂。

2.根据权利要求1所述的印刷装置，其特征在于还包括：

第1拍摄装置，用于拍摄分别附在所述第1基板及所述第2基板上的、表示所述位置偏移的偏移信息图像，其中，

所述控制装置，从所述第1拍摄装置所拍摄的所述偏移信息图像获取所述第1被印刷图案的位置偏移和所述第2被印刷图案的位置偏移，求出所述相对差。

3.根据权利要求1或2所述的印刷装置，其特征在于还包括：

第2拍摄装置，用于拍摄附在保持于所述印刷台的所述第1基板上的标记和附在保持于所述印刷台的所述第2基板上的标记，其中，

所述控制装置，在所述相对差在第1容许范围以内的情况下，进一步根据所述第2拍摄装置所拍摄的所述标记的位置信息求出所述第1基板的位置偏移及所述第2基板的位置偏移，并且，当所述第1基板的位置偏移和所述第2基板的位置偏移之间的相对位置偏移量超过第2容许范围时，使所述印刷装置先对所述第1基板印刷糊剂，然后再对所述第2基板印刷糊剂。

4.根据权利要求1或2所述的印刷装置，其特征在于，所述印刷台包括：

可动部；

第1搬送部，在所述可动部上，将通过所述第1基板搬送装置搬入的所述第1基板沿所述第1方向搬送；

第2搬送部，在所述可动部上，将通过所述第2基板搬送装置搬入的所述第2基板沿所述第1方向搬送；

定位机构部，驱动所述可动部，将所述第1基板及所述第2基板相对于所述掩模进行定位。

5.根据权利要求1或2所述的印刷装置，其特征在于：

所述第1基板定位并固定在第1搬送夹具，所述第2基板定位并固定在第2搬送夹具，其中，

所述第1基板搬送装置将所述第1基板搬送夹具搬送到所述印刷台，所述第2基板搬送装置将所述第2基板搬送夹具搬送到所述印刷台，

所述控制装置，使所述印刷台保持所述第1基板搬送夹具及所述第2基板搬送夹具，并且使所述印刷装置对所述第1基板及所述第2基板印刷所述糊剂。

6.一种印刷方法，其特征在于包括以下工序：

通过第1基板搬送装置将具有第1被印刷图案的第1基板搬送到印刷台，通过第2基板搬送装置将具有第2被印刷图案的第2基板搬送到印刷台，并在所述印刷台保持所述第1基板及所述第2基板的工序；

将具有与所述第1被印刷图案相对应的第1开口图案和与所述第2被印刷图案相对应的第2开口图案的掩模设置在所述印刷台的上方的工序；

求出相对于所述第1基板的所述第1被印刷图案的位置偏移和相对于所述第2基板的所述第2被印刷图案的位置偏移的相对差的工序；

当所述相对差在第1容许范围以内时，一并进行通过所述第1开口图案对所述第1被印刷图案进行的糊剂印刷和通过所述第2开口图案对所述第2被印刷图案进行的糊剂印刷，另一方面，当所述相对差超过所述第1容许范围时，先通过所述第1开口图案对所述第1被印刷图案印刷糊剂之后，再通过所述第2开口图案对所述第2被印刷图案印刷糊剂的工序。

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