CN112410724B - 张网装置及张网方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种张网装置及张网方法，包括张网模块、预对准模块和传送模块，张网模块包括用于承载支撑框架的承载台及用于完成第一方向和第二方向的金属掩模条的张网的夹持单元，预对准模块包括为第一方向和第二方向的金属掩模条提供承载空间的预对准台和检测金属掩模条上的对准标记的检测单元，根据检测单元的检测结果可以校正金属掩模条相对所述预对准台的位置，完成对准后，传送模块拾取金属掩模条并将金属掩模条传送至所述支撑框架上进行张网，提高了张网精度，并且，只在一个张网装置中即可完成第一方向和第二方向的金属掩模条的张网，提高了张网效率，降低了金属掩模板的制作成本。

Description

张网装置及张网方法
技术领域
本发明涉及半导体制备技术领域，尤其是一种张网装置及张网方法。
背景技术
OLED显示技术已经发展成当今主流显示技术之一，而其制作的关键工艺之一就是金属掩模板的制作，现在制作金属掩模板时间长、精度低、涉及设备多。比如对于张网部分，一个金属掩模板完成至少需要两个张网装置，分别为精细金属掩模(Fine Metal Mask，FMM)张网装置和支撑掩模(Common Metal Mask，CMM)张网装置，FMM张网设备主要负责对精细金属掩模条(FMM金属掩模条)和对准标记金属掩模条(side stick金属掩模条)进行张网，张网方向为X方向，支撑掩模张网装置主要负责对横向支撑金属掩模条(cover金属掩模条)和纵向支撑金属掩模条(support金属掩模条)进行张网，其中cover金属掩模条的张网方向为X方向，但是support金属掩模条的张网方向为Y方向，采用多种张网装置制作一个金属掩模板，导致金属掩模板制作成本相对较高，也降低了制作效率。
发明内容
本发明的目的在于提供一种张网装置及张网方法，以解决制备金属掩模板需要用到多个张网装置，张网效率不高的问题。
为了达到上述目的，本发明提供了一种张网装置，包括：
张网模块，包括承载台及夹持单元，所述承载台用于承载支撑框架，所述夹持单元用于完成第一方向和第二方向的金属掩模条的张网；
预对准模块，包括预对准台和检测单元，所述预对准台为第一方向和第二方向的金属掩模条提供承载空间，所述检测单元检测所述金属掩模条上的对准标记以用于校正所述金属掩模条相对所述预对准台的位置；
传送模块，用于拾取所述金属掩模条并将所述金属掩模条传送至所述支撑框架上。
可选的，所述夹持单元包括若干对第一夹爪和若干对第二夹爪，每对第一夹爪沿第一方向分布于所述承载台相对的两侧，每对第二夹爪沿第二方向分布于所述承载台相对的另外两侧。
可选的，所述预对准台呈十字形且位于所述张网模块的一侧。
可选的，所述预对准台具有两个，两个所述预对准台位于所述张网模块相对的两侧，其中一个所述预对准台沿第一方向延伸，另一个所述预对准台沿第二方向延伸。
可选的，所述预对准模块还包括第一龙门架，所述第一龙门架沿第一方向延伸且能够沿第二方向移动，所述检测单元设置于所述第一龙门架上且能够在所述第一龙门架上沿第一方向移动。
可选的，所述第一龙门架为一个或两个。
可选的，所述检测单元包括若干CCD镜头。
可选的，所述传送模块包括第二龙门架及设置于所述第二龙门架上的吸附单元，所述第二龙门架沿第一方向延伸且能够沿第二方向移动。
可选的，所述吸附单元包括若干真空吸嘴，所述真空吸嘴真空吸附并拾取所述金属掩模条。
本发明还提供了一种利用所述的张网装置的张网方法，包括：
将金属掩模条沿其张网方向放置于预对准台上；
通过检测所述金属掩模条上的对准标记以校正所述金属掩模条相对所述预对准台的位置；
将所述金属掩模条传送至支撑框架上并进行张网。
在本发明提供的张网装置及张网方法中，包括张网模块、预对准模块和传送模块，张网模块包括用于承载支撑框架的承载台及用于完成第一方向和第二方向的金属掩模条的张网的夹持单元，预对准模块包括为第一方向和第二方向的金属掩模条提供承载空间的预对准台和检测金属掩模条上的对准标记的检测单元，根据检测单元的检测结果可以校正金属掩模条相对所述预对准台的位置，完成对准后，传送模块拾取金属掩模条并将金属掩模条传送至所述支撑框架上进行张网，提高了张网精度，并且，只在一个张网装置中即可完成第一方向和第二方向的金属掩模条的张网，提高了张网效率，降低了金属掩模板的制作成本。
附图说明
图1为本发明实施例一提供的张网装置的一种结构示意图；
图2为本发明实施例一提供的张网装置的另一种结构示意图；
图3为本发明实施例二提供的张网装置的一种结构示意图；
图4为本发明实施例三提供的张网方法的一种流程图；
图5为本发明实施例三提供的张网方法的另一种流程图；
其中，附图标记为：
11-承载台；12-夹持单元；121-第一夹爪；122-第二夹爪；21-预对准台；22-检测单元；23-第一龙门架；31-第二龙门架；32-吸附单元；321-真空吸嘴。
具体实施方式
下面将结合示意图对本发明的具体实施方式进行更详细的描述。根据下列描述，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。
为了便于描述，本实施例以水平向右为X向，竖直向上为Y向，垂直于纸面向外为Z向，建立XYZ三维坐标系。本文将以X向为第一方向，Y向为第二方向为例进行说明。
实施例一
如图1所示，本实施例提供了一种张网装置，包括：
张网模块，包括承载台11及夹持单元12，所述承载台11用于承载支撑框架，所述夹持单元12用于完成X向和Y向的金属掩模条的张网；
预对准模块，包括预对准台21和检测单元22，所述预对准台21为X向和Y向的金属掩模条提供承载空间，所述检测单元22检测所述金属掩模条上的对准标记以用于校正所述金属掩模条相对所述预对准台21的位置；
传送模块，用于拾取所述金属掩模条并将所述金属掩模条传送至所述支撑框架上。
具体的，请参阅图1和图2，所述支撑框架设置于所述承载台11上，当所述传送模块将所述金属掩模条传送至所述支撑框架上之后，所述夹持单元12将所述金属掩模条张网并固定到所述支撑框架上。具体的，所述夹持单元12包括若干对第一夹爪121和若干对第二夹爪122，每对第一夹爪121沿X向分布于所述承载台11的两侧，用于X向的金属掩模条(张网方向为X向)的张网，每对第二夹爪122沿Y向分布于所述承载台11的另外两侧，用于Y向的金属掩模条(张网方向为X向)的张网。X向或Y向均可以具有多对夹爪，以同时对多个金属掩模条进行张网，从而提高了张网的效率。
可选的，所述张网模块还可以包括焊接单元，用于将张网后的金属掩模条焊接在所述支撑框架上。
进一步，所述预对准台21为一个，设置于所述承载台11的一侧。所述预对准台21可以为X向和Y向的金属掩模条提供承载空间，也就是说，X向的金属掩模条和Y向的金属掩模条均能够放置于所述预对准台21上。本实施例中，所述预对准台21呈十字形，占用面积较小，也能够放置X向和Y向的金属掩模条，使得所述金属掩模条保持平整。可选的，所述预对准台21可以同时放置多个X向的金属掩模条或同时放置多个Y向的金属掩模条，使得多个金属掩模条可以同时进行预对准，节约了预对准的时间，提高了张网的效率。
本发明中，所述预对准台21也不限于呈十字形，还可以呈T型或工字型，甚至在对面积要求不高的场合中，所述预对准台21也可以是圆形或方形等，只要能够为X向和Y向的金属掩模条提供承载空间即可，本发明不作限制。
请参阅图1，所述预对准模块还包括第一龙门架23，所述第一龙门架23沿X向延伸并横跨于所述预对准台21的上方，所述检测单元22设置于所述第一龙门架23上并位于所述预对准台21的上方，用于检测所述预对准台21上承载的金属掩模条上的对准标记。所述检测单元22能够在所述第一龙门架23沿着X向移动，所述第一龙门架23能够沿着Y向移动，通过移动所述检测单元22及所述第一龙门架23能够使得所述检测单元22的检测区域覆盖整个所述预对准台21，以使所述检测单元22能够获取所述预对准台21上任何位置的金属掩模条与所述预对准台21的相对位置。根据所述检测单元22的检测结果能够判断出所述金属掩模条是否在需要的位置处，若是，则所述传送单元可以直接将所述金属掩模条传送走；若否，则需要调整所述金属掩模条与所述预对准台21的相对位置，直到所述金属掩模条在需要的位置处。
可选的，可以直接采用所述传送单元调整所述金属掩模条与所述预对准台21的相对位置，也即所述传送单元将所述金属掩模条拾起，并重新放置在所述预对准台21上；或者也可以采用另外的调整结构去调整所述金属掩模条在所述预对准台21上的位置，本发明不作限制。
本实施例中，所述检测单元22具有两个CCD镜头，可以同时测量所述金属掩模条的位置信息和线宽，当然，所述检测单元22不限于具有两个CCD镜头，还可以具有一个、三个或四个CCD镜头等。
请参阅图1和图2，所述传送模块包括第二龙门架31(图2中无31、21)及吸附单元32，所述第二龙门架31沿X向延伸并横跨于所述承载台11上，所述吸附单元32设置于所述第二龙门架31上并位于所述承载台11和所述预对准台21的上方，所述吸附单元32能够在第二龙门架31上沿X向移动，所述第二龙门架31也能够沿Y向移动，通过移动所述吸附单元32及所述第二龙门架31能够使得所述吸附单元32能够到达所述预对准台21和所述承载台11的任意位置，以使所述吸附单元32能够从所述预对准台21上的任意位置拾取所述金属掩模条并放置于所述支撑框架的任意位置上。所述吸附单元32包括若干真空吸嘴321，若干真空吸嘴321的外轮廓与一个所述金属掩模条的形状相匹配，通过若干所述真空吸嘴321可以真空吸附并拾取所述金属掩模条，然后通过移动所述第二龙门架31将所述金属掩模条传送至所述支撑框架上。通过所述吸附单元32控制简单，并且相较于夹爪抓取金属掩模条的方式，真空吸附金属掩模条的方式可以避免金属掩模条发生形变。
实施例二
如图3所示，与实施例一的区别在于，本实施例中，所述预对准台21具有两个，两个所述预对准台21分别位于所述张网模块相对的两侧，其中一个所述预对准台21沿X向延伸，另一个所述预对准台21沿Y向延伸。沿X向延伸的预对准台21为X向的金属掩模条提供承载空间，沿Y向延伸的预对准台21为Y向的金属掩模条提供承载空间，也就是说，沿X向延伸的预对准台21用于放置X向的金属掩模条，沿Y向延伸的预对准台21用于放置Y向的金属掩模条。
进一步，所述预对准模块也具有两个第一龙门架23，一个第一龙门架23对应一个所述预对准台21。每个所述第一龙门架23上均设置有检测单元22，用于检测其对应的预对准台21上的金属掩模条的对准标记，以获取所述金属掩模条与所述预对准台21的相对位置。
可选的，本实施例中，所述第二龙门架31位于两个所述第一龙门架23之间，并且相较于实施例一来说，所述第二龙门架31沿Y向移动的范围更大，可以沿Y向移动至两个预对准台21上方拾取所述金属掩模条，使得所述传送模块可以在两个预对准台21和承载台11之间传送所述金属掩模条。
实施例三
如图4所示，本实施例提供了利用如图1-图3所示的张网装置进行张网的方法，包括：
步骤S1：将金属掩模条沿其张网方向放置于预对准台上；
步骤S2：通过检测所述金属掩模条上的对准标记以校正所述金属掩模条相对所述预对准台的位置；
步骤S3：将所述金属掩模条传送至支撑框架上并进行张网。
具体的，制备金属掩模板通常需要对FMM金属掩模条、side stick金属掩模条、cover金属掩模条和support金属掩模条进行张网，其中，FMM金属掩模条、side stick金属掩模条和cover金属掩模条的张网方向为X向，support金属掩模条的张网方向为Y向。
如图5所示，首先，将cover金属掩模条沿X向放置于预对准台上进行预对准，预对准完成后，将所述cover金属掩模条传送至张网位置上，然后，夹持单元中沿X向分布的一对第一夹爪夹住所述cover金属掩模条并张紧，最后，将张紧后的cover金属掩模条焊接在所述支撑框架上。接下来，对support金属掩模条进行张网，与对cover金属掩模条进行张网的区别在于，由于support金属掩模条的张网方向为Y向，所以support金属掩模条是沿Y向放置于所述预对准台上的，当预对准完成后，将所述support金属掩模条传送至张网位置上，然后夹持单元中沿Y向分布的一对第二夹爪夹住所述support金属掩模条并张紧，最后将张紧后的support金属掩模条焊接在所述支撑框架上。
接下来，以与cover金属掩模条同样的张网方式对FMM金属掩模条和side stick金属掩模条进行张网以形成金属掩模板。可见，本实施例在一个张网装置中即完成金属掩模板的制备，提高了张网效率，降低了金属掩模板的制作成本；并且，在张网前预先校正金属掩模条的位置，校正过程简单，提高了张网的精度。
应理解，本发明中的第一方向和第二方向不限于相互垂直的X向和Y向，所述第一方向和第二方向还可以是同一水平面内不垂直的两个方向，可根据所述金属掩模条的张网方向进行调整。所述支撑框架也不限于是矩形的框架，还可以是其他形状，不发明不作限制。
综上，在本发明实施例提供的张网装置及张网方法中，包括张网模块、预对准模块和传送模块，张网模块包括用于承载支撑框架的承载台及用于完成第一方向和第二方向的金属掩模条的张网的夹持单元，预对准模块包括为第一方向和第二方向的金属掩模条提供承载空间的预对准台和检测金属掩模条上的对准标记的检测单元，根据检测单元的检测结果可以校正金属掩模条相对所述预对准台的位置，完成对准后，传送模块拾取金属掩模条并将金属掩模条传送至所述支撑框架上进行张网，提高了张网精度，并且，只在一个张网装置中即可完成第一方向和第二方向的金属掩模条的张网，提高了张网效率，降低了金属掩模板的制作成本。
上述仅为本发明的优选实施例而已，并不对本发明起到任何限制作用。任何所属技术领域的技术人员，在不脱离本发明的技术方案的范围内，对本发明揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本发明的技术方案的内容，仍属于本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种张网装置，其特征在于，包括：
张网模块，包括承载台及夹持单元，所述承载台用于承载支撑框架，所述夹持单元用于完成第一方向和第二方向的金属掩模条的张网；
预对准模块，包括预对准台和检测单元，所述预对准台为第一方向和第二方向的金属掩模条提供承载空间，所述检测单元检测所述金属掩模条上的对准标记以用于校正所述金属掩模条相对所述预对准台的位置；
传送模块，用于拾取所述金属掩模条并将所述金属掩模条传送至所述支撑框架上。
2.如权利要求1所述的张网装置，其特征在于，所述夹持单元包括若干对第一夹爪和若干对第二夹爪，每对第一夹爪沿第一方向分布于所述承载台相对的两侧，每对第二夹爪沿第二方向分布于所述承载台相对的另外两侧。
3.如权利要求1所述的张网装置，其特征在于，所述预对准台呈十字形且位于所述张网模块的一侧。
4.如权利要求1所述的张网装置，其特征在于，所述预对准台具有两个，两个所述预对准台位于所述张网模块相对的两侧，其中一个所述预对准台沿第一方向延伸，另一个所述预对准台沿第二方向延伸。
5.如权利要求3或4所述的张网装置，其特征在于，所述预对准模块还包括第一龙门架，所述第一龙门架沿第一方向延伸且能够沿第二方向移动，所述检测单元设置于所述第一龙门架上且能够在所述第一龙门架上沿第一方向移动。
6.如权利要求5所述的张网装置，其特征在于，所述第一龙门架为一个或两个。
7.如权利要求5所述的张网装置，其特征在于，所述检测单元包括若干CCD镜头。
8.如权利要求3或4所述的张网装置，其特征在于，所述传送模块包括第二龙门架及设置于所述第二龙门架上的吸附单元，所述第二龙门架沿第一方向延伸且能够沿第二方向移动。
9.如权利要求8所述的张网装置，其特征在于，所述吸附单元包括若干真空吸嘴，所述真空吸嘴真空吸附并拾取所述金属掩模条。
10.一种利用如权利要求1-9中任一项所述的张网装置的张网方法，其特征在于，包括：
将金属掩模条沿其张网方向放置于预对准台上；
通过检测所述金属掩模条上的对准标记以校正所述金属掩模条相对所述预对准台的位置；
将所述金属掩模条传送至支撑框架上并进行张网。
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