CN106483687B - 液晶面板的制造装置 - Google Patents

液晶面板的制造装置 Download PDF

Info

Publication number
CN106483687B
CN106483687B CN201610725790.9A CN201610725790A CN106483687B CN 106483687 B CN106483687 B CN 106483687B CN 201610725790 A CN201610725790 A CN 201610725790A CN 106483687 B CN106483687 B CN 106483687B
Authority
CN
China
Prior art keywords
liquid crystal
panel
illuminance
irradiation
processed
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201610725790.9A
Other languages
English (en)
Other versions
CN106483687A (zh
Inventor
藤冈纯
加藤刚雄
田内亮彦
日野弘喜
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Lighting and Technology Corp
Original Assignee
Toshiba Lighting and Technology Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Lighting and Technology Corp filed Critical Toshiba Lighting and Technology Corp
Publication of CN106483687A publication Critical patent/CN106483687A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN106483687B publication Critical patent/CN106483687B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/137—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells characterised by the electro-optical or magneto-optical effect, e.g. field-induced phase transition, orientation effect, guest-host interaction or dynamic scattering
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/137—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells characterised by the electro-optical or magneto-optical effect, e.g. field-induced phase transition, orientation effect, guest-host interaction or dynamic scattering
    • G02F1/13793—Blue phases
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F2201/00—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00
    • G02F2201/08—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00 light absorbing layer
    • G02F2201/086—UV absorbing

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

本发明提供一种液晶面板的制造装置，该装置可抑制针对被处理面板的紫外线照射时间的冗长化。本发明的液晶面板的制造装置包括：照射部，对被处理面板照射紫外线；载台，具有载置被处理面板的载置面，且使对载置面的温度进行调节的调温介质流经内部；以及控制部，对照射部进行控制，以使得在以第1照度来对被处理面板照射紫外线之后，以比第1照度大的第2照度来对被处理面板照射紫外线。本发明能够抑制针对被处理面板的紫外线照射时间的冗长化。

Description

液晶面板的制造装置
技术领域
本发明涉及一种液晶面板(panel)的制造装置。
背景技术
作为液晶面板中所用的液晶材料，已知的是，作为光学各向同性液晶层的聚合物稳定蓝相(Polymer Stabilized Blue Phase，简称：PSBP)在施加有电压时，与被称作向列相(nematic phase)的液晶材料相比，能够实现更高速的响应性。此种聚合物稳定蓝相是通过在对具有液晶层的被处理面板照射紫外线时，适当控制被处理面板的温度与紫外线的照射时间而生成。
[现有技术文献]
[专利文献]
[专利文献1]日本专利特开2007-277531号公报
[专利文献2]日本专利特开2008-303381号公报
发明内容
[发明所要解决的问题]
图7是用于对聚合物稳定蓝相的呈现进行说明的相图。在图7中，纵轴表示相变化温度(K)，横轴表示紫外线的照射时间(秒)。在图7中，曲线L1表示各向同性液体(Iso)与蓝相(BP)的边界线，曲线L2表示手性向列相(chiral nematic phase)(N*)与蓝相的边界线。如图7所示，通过一边将被处理面板保持为规定温度，一边以规定的照射时间来照射紫外线，不生成各向同性液体及手性向列相，而生成聚合物稳定蓝相。
并且，在具有聚合物稳定蓝相的液晶面板的制造工序中，将紫外线照射至被处理面板的照射工序中所产生的、被处理面板的照射面的面内方向上的温度不均或被处理面板的温度的经时变化对液晶面板的显示特性造成不均的影响大，因此理想的是使温度均匀化。
另一方面，在照射工序中，为了提高具有聚合物稳定蓝相的液晶面板的生产性，理想的是缩短对被处理面板照射紫外线的照射时间。
因此，本发明的目的在于提供一种抑制针对被处理面板的紫外线照射时间的冗长化的液晶面板的制造装置。
[解决问题的技术手段]
本发明的液晶面板的制造装置包括：照射部，对被处理面板照射紫外线；载台，具有载置被处理面板的载置面，且使对该载置面的温度进行调节的调温介质流经内部；以及控制部，对所述照射部进行控制，以使得在以第1照度来对所述被处理面板照射紫外线之后，以比所述第1照度大的第2照度来对所述被处理面板照射紫外线。
[发明的效果]
根据本发明，能够抑制针对被处理面板的紫外线照射时间的冗长化。
附图说明
图1是表示第1实施方式的液晶面板的制造装置的示意图。
图2是示意性地表示使用第1实施方式的液晶面板的制造装置来照射紫外线的液晶面板的剖面图。
图3是用于对第1实施方式的液晶面板的制造装置中的照度与照射时间的关系进行说明的图。
图4是表示第2实施方式的液晶面板的制造装置的示意图。
图5是表示第3实施方式的液晶面板的制造装置的示意图。
图6是表示第4实施方式的液晶面板的制造装置的示意图。
图7是用于对聚合物稳定蓝相的呈现进行说明的相图。
[符号的说明]
1、2、3、4：液晶面板的制造装置
6：被处理面板
7：彩色滤光片基板
8：相向基板
9：液晶层
10、82、83、84：照射部
11：紫外线灯
12：反射板
13、43：挡闸
20：照射箱
21：窗材
30：载台
31：载置面
32：液体保温循环装置
33：配管
40：腔室
44：搬出/搬入口
50：循环型空调装置
51：导入口
52：排出口
53：送风管
60：控制部
87、88：LED模块
87a：第1发光元件
87b：第2发光元件
88a：第1照射区域
88b：第2照射区域
89a：第1LED模块
89b：第2LED模块
90：移动机构
具体实施方式
以下说明的实施方式的液晶面板的制造装置1具备照射部10、载台30及控制部60。照射部10对被处理面板6照射紫外线。载台30具有载置被处理面板6的载置面31。载台30使对载置面31的温度进行调节的调温介质流经内部。控制部60对照射部10进行控制，以使得在以第1照度来对被处理面板6照射紫外线之后，以比第1照度大的第2照度来对被处理面板6照射紫外线。
而且，在以下说明的实施方式的液晶面板的制造装置1中，第2照度的照射时间长于第1照度的照射时间。
而且，在以下说明的实施方式的液晶面板的制造装置1中，被处理面板6具有作为第1基板的彩色滤光片(color filter)基板7、作为第2基板的相向基板8以及液晶层9。彩色滤光片基板7具有彩色滤光片。相向基板8与彩色滤光片基板7相向。液晶层9被设于彩色滤光片基板7与相向基板8之间。被处理面板6的彩色滤光片基板7及相向基板8中的其中一侧被载置于载台30上。照射部10从彩色滤光片基板7及相向基板8中的另一侧将紫外线照射至液晶层9。
而且，以下说明的实施方式的液晶面板的制造装置1中的被处理面板6的液晶层9包含向列液晶组合物、呈现蓝相的液晶组合物、与聚合性单体。液晶层9通过照射紫外线来呈现聚合物稳定蓝相。
而且，以下说明的实施方式的液晶面板的制造装置中的控制部60以下述方式来进行控制，即，仅使照射部10的照射区域的一部分点灯，从而以第1照度来进行照射，使照射区域的整体点灯，从而以第2照度来进行照射。
而且，以下说明的实施方式的液晶面板的制造装置2中的照射部82具有作为第1光源的第1发光元件87a、以及作为第2光源的第2发光元件87b。第1发光元件87a以第1照度来照射紫外线。第2发光元件87b以第2照度来照射紫外线。
而且，以下说明的实施方式的液晶面板的制造装置4还包括：移动机构90，使作为第1光源的第1发光二极管(Light Emitting Diode，简称：LED)模块(module)89a及作为第2光源的第2LED模块89b或者使被处理面板6移动。控制部60通过控制移动机构90，来切换被处理面板6与第1LED模块89a及第2LED模块89b的相对位置。
而且，以下说明的实施方式的液晶面板的制造装置3中的照射部83具有LED模块88。LED模块88具有第1照射区域88a与第2照射区域88b。第1照射区域88a以第1照度来照射紫外线。第2照射区域88b以第2照度来照射紫外线。液晶面板的制造装置3还包括使LED模块88或被处理面板6移动的移动机构90。控制部60通过控制移动机构90，来切换被处理面板6与第1照射区域88a及第2照射区域88b的相对位置。
(第1实施方式)
以下，对于实施方式的液晶面板的制造装置，参照附图来进行说明。图1是表示第1实施方式的液晶面板的制造装置的示意图。图2是示意性地表示使用第1实施方式的液晶面板的制造装置来照射紫外线的液晶面板的剖面图。
(液晶面板的制造装置的结构)
如图1所示，第1实施方式的液晶面板的制造装置1是通过一边将被处理面板6保持为固定温度，一边对被处理面板6照射紫外线，从而使液晶面板的液晶层呈现聚合物稳定蓝相。使用液晶面板的制造装置1来照射紫外线的被处理面板6如图2所示，具有作为第1基板的彩色滤光片基板7、与彩色滤光片基板7相向的作为第2基板的相向基板8、以及设于彩色滤光片基板7与相向基板8之间的液晶层9。
彩色滤光片基板7例如是将使红色、绿色、蓝色的光透射的彩色滤光片配置于基板上，并用保护膜来覆盖彩色滤光片而形成。相向基板8是呈阵列状地配置有多个电极的基板。液晶层9至少包含向列液晶组合物、呈现蓝相的液晶组合物、及聚合性单体。液晶层9通过由液晶面板的制造装置1来照射紫外线而呈现聚合物稳定蓝相。
构成液晶层9的向列液晶组合物是由具有介电各向异性的材料所形成。
所谓呈现蓝相的液晶组合物，是指如下所述的材料，即，通过一边将能够稳定存在的温度范围扩大至例如室温、具体而言为0℃以上，一边照射紫外线，从而能够实现比向列液晶组合物高速的响应性的材料。所谓呈现蓝相的液晶组合物，例如是指如下的，即，相对于10℃～70℃之间的规定的设定温度，在温度保持在±0.5℃以内的状态下照射紫外线，由此均匀地呈现聚合物稳定蓝相。例如，在设定温度为55℃的情况下，所谓呈现蓝相的液晶组合物，是指如下所述的，即，在温度保持在54.5℃～55.5℃的范围内的状态下照射紫外线，由此均匀地呈现聚合物稳定蓝相。而且，在设定温度为60℃的情况下，所谓呈现蓝相的液晶组合物，是指如下所述的，即，在温度保持在59.5℃～60.5℃的范围内的状态下照射紫外线，由此均匀地呈现聚合物稳定蓝相。
所谓聚合性单体，是指用于使向列液晶组合物或呈现聚合物稳定蓝相的液晶组合物的组合稳定化的材料。
液晶面板的制造装置1如图1所示，具备照射紫外线的照射部10、照射箱(box)20、载台30、腔室(chamber)40、循环型空调装置50以及控制部60。
照射部10将紫外线照射至照射箱20内。在照射箱20内，设有使从照射部10照射的紫外线透射的窗材21。照射部10构成为，对于载置在与窗材21相向的载台30的载置面31上的被处理面板6，可穿过窗材21来照射紫外线。而且，照射部10具有：作为光源的多个紫外线灯11；以及将紫外线灯11所照射的紫外线朝向载台30的载置面31反射的反射板12。
紫外线灯11是金属卤化物灯(metal halide lamp)等沿直线状延伸的管型放电灯，所述金属卤化物灯封入有汞、铁或碘等金属卤化物或氩等稀有气体，主要照射紫外线。紫外线灯11例如以300nm～400nm左右为主波长，且峰值(peak)波长为365nm的紫外线的照度为15mW/cm2以下。另外，所谓“紫外线的照度”，是指使用UV-M02(奥克(ORC)制作所股份有限公司制造)来作为照度计，使用UV-SN35(奥克(ORC)制作所股份有限公司制造)来作为光接收器的测定值。
而且，实施方式中所说的“紫外线”，是指450nm以下的波长的光，具体而言是封入发光管内的汞的辉线即254nm、365nm的光，但也允许其他波长的光。而且，紫外线灯11并不限定于放射450nm以下的光的紫外线灯，例如也可为不仅放射波长450nm以下的光、而且放射比波长450nm长的波长侧的光的紫外线灯。总之，只要是放射波长450nm以下的光的紫外线灯，则其发光方式不受限定。
本实施方式中，四个紫外线灯11被配置在照射箱20及载台30、载置于载置面31上的被处理面板6的上方。而且，紫外线灯11由使紫外线灯11所放射的紫外线通过的水冷套(iacket)(未图示)所覆盖。水冷套在内部填充有冷却水，通过使该冷却水循环来将紫外线灯11保持为所需的动作温度。
在照射部10中，在紫外线灯11与照射箱20之间，可开闭地设有遮挡紫外线的挡闸(shutter)13。挡闸13通过进行开闭动作，从而切换为：将紫外线灯11放射的紫外线照射至载置于载台30的载置面31上的被处理面板6的状态、与遮挡紫外线灯11放射的紫外线而不对被处理面板6照射紫外线的状态。
照射箱20是形成为箱状，以将载置于载台30的载置面31上的被处理面板6收容至内部的方式而配置于载台30上。
窗材21具有对规定波长的紫外线的透射进行限制的功能。窗材21使适合于用以使液晶层9呈现聚合物稳定蓝相的波长的紫外线透射，而对其他波长的紫外线的透射进行限制。
载台30具有载置被处理面板6的载置面31，通过使作为固定温度的调温介质的液体即水在内部循环，从而对载置于载置面31上的被处理面板6的温度进行控制。载台30为了对载置面31上的被照射紫外线的区域(area)进行温度控制，在内部使固定温度的液体流动。在载台30上，以与窗材21相向的方式设有载置面31，载置面31与照射部10相向。另外，理想的是，对载置于载置面31上的被处理面板6进行保温的温度为尽可能固定，若载置于载置面31的被处理面板6的温度被保持为固定，则在载台30内循环的调温介质的温度也可为比载置于载置面31的被处理面板6的温度稍低的温度或稍高的温度。另外，作为调温介质，并不限定于水等液体，也可使包含各种气体的流体循环。
在载台30上，以彩色滤光片基板7侧与载置面31接触的方式来载置被处理面板6。因此，照射部10从相向基板8侧对被处理面板6照射紫外线。另外，对被处理面板6照射紫外线的方向并无限定，也可根据需要而从彩色滤光片基板7侧照射紫外线。
载台30例如是由铝合金等形成为平板状，在内部设有使用于将被处理面板6调节为规定温度的液体循环的循环路径(未图示)。在载台30的循环路径上，连接有使液体在循环路径内循环的液体保温循环装置32，通过液体保温循环装置32，经由载台30来将被处理面板6的温度保持为固定。液体保温循环装置32例如具有连结于循环路径的配管33(参照图1)、用于将液体保持为固定温度的加热器(heater)及冷却装置、及将配管33内的液体送出的泵(pump)等而构成。
腔室40形成为覆盖照射箱20与载台30整体的箱状，在上部配置有照射部10。
循环型空调装置50如图1所示，设在腔室40的侧壁，具有向腔室40内导入调温用气体的导入口51、以及从腔室40内导出调温用气体的排出口52。导入口51及排出口52是在腔室40的侧壁上开设，且配置于照射箱20的上方。循环型空调装置50经由导入口51及排出口52来使调温用气体相对于腔室40的内部而循环，由此，将腔室40内控制为规定温度。通过如此那样控制腔室40内的温度，从而循环型空调装置50将照射箱20内的被处理面板6的温度保持为固定温度。
而且，循环型空调装置50具有分别连结于导入口51及排出口52的送风管53、用于将气体保持为固定温度的加热器及冷却装置、以及将送风管53内的气体送出的送风机等，依照导入口51、腔室40内、排出口52的顺序来使气体循环。
另外，理想的是，依照导入口51、腔室40内、排出口52的顺序循环的气体的温度与对载置于载置面31的被处理面板6进行保持的温度尽可能相等。而且，若载置于载置面31的被处理面板6保持为固定温度，则循环气体的温度也可为比载置于载置面31的被处理面板6的温度稍低的温度或稍高的温度。另外，气体的温度终究只是作为目标的温度，有时也不同于实际温度。
而且，例如在排出口52的附近等，设置有温度传感器(sensor)(未图示)，该温度传感器对沿着载台30内部所设的循环路径流动的液体、在水冷套中循环的冷却水、及在腔室40内循环的气体等的温度进行探测。而且，例如在导入口51的附近等，设置有对从导入口51导入腔室40的气体的流量进行探测的流量传感器。
进而，在腔室40中，设有用于使被处理面板6相对于腔室40内的照射箱20而进出的搬出/搬入口44。在搬出/搬入口44处，可开闭地设有挡闸43。搬出/搬入口44在使被处理面板6相对于腔室40的照射箱20而进出时，挡闸43打开，在照射箱20中收容有被处理面板6时，挡闸43关闭。而且，被处理面板6是通过搬出/搬入口44而使用机械臂(robot arm)(未图示)，来相对于腔室40进出。
控制部60控制液晶面板的制造装置1的紫外线的照射动作。控制部60连接于液体保温循环装置32、循环型空调装置50、照射部10等。控制部60例如包含控制电路，该控制电路设有未图示的微处理器(micro processor)，该微处理器具有包含中央处理器(CentralProcessing Unit，简称：CPU)等的运算处理装置、以及只读存储器(Read Only Memory，简称：ROM)、随机存取存储器(Random Access Memory，简称：RAM)等半导体存储器。而且，控制部60是与显示处理动作的状态的显示部、及操作者(operator)用于登记处理内容信息等的操作部相连接。
控制部60在从照射部10对载置于载台30的载置面31上的被处理面板6照射紫外线时，打开挡闸31，并且基于温度传感器等的探测结果，对填充于覆盖紫外线灯11的水冷套中的冷却水的温度进行控制，由此，将紫外线灯11保持为所需的动作温度。而且，控制部60在从照射部10对载置于载台30的载置面31上的被处理面板6照射紫外线时，打开挡闸13，并且基于温度传感器等的探测结果，控制液体保温循环装置32，以将在载台30中循环的液体的温度保持为固定。而且，同时，控制部60基于温度传感器等的探测结果，控制循环型空调装置50，以将在腔室40内循环的气体的温度保持为固定。由此，控制部60将载置于载台30的载置面31上的被处理面板6的温度保持为固定。
例如，当从照射部10对被处理面板6照射紫外线时，控制部60以被照射紫外线时的被处理面板6的温度相对于10℃～70℃之间的规定的设定温度为±0.5℃以内的方式，来控制载台30及循环型空调装置50。即，将载置于载台30的载置面31上的被处理面板6的温度保持为固定，是指相对于10℃～70℃之间的规定的设定温度而将温度保持在±0.5℃以内。例如，在设定温度为55℃的情况下，控制部60以被处理面板6的温度被保持在54.5℃～55.5℃的范围内的方式，来控制在液体保温循环装置32中循环的液体的温度及照射箱20内的温度等。而且，在设定温度为60℃的情况下，控制部60以被处理面板6的温度被保持在59.5℃～60.5℃的范围内的方式，来控制在液体保温循环装置32中循环的液体的温度及被导入照射箱20内的气体的流量、温度等。
(在液晶面板的制造装置中对液晶面板照射紫外线的动作)
接下来，对使用第1实施方式的液晶面板的制造装置1来对被处理面板6照射紫外线的工序进行说明。首先，在控制部60中，由操作者来登记处理内容信息，在有处理动作的开始指示时，开始处理动作。当处理动作开始时，打开腔室40的挡闸43，通过搬出/搬入口44，使用机械臂等将被处理面板6载置于腔室40的载台30的载置面31上。然后，控制部60关闭挡闸43，经由配管33来使液体在载台30内循环，并且通过导入口51将气体导入腔室40内并从排出口52排出。
然后，控制部60使紫外线灯11点灯，并且打开挡闸13。控制部60使固定温度的液体在载台30内流通，并且将固定的气体从导入口51导入腔室40内并从排出口52排出，从而使气体循环。并且，控制部60对于载置于载置面31上的被处理面板6，使照射部10放射的紫外线穿过窗材21并以固定的第1照度照射规定时间。在将紫外线以固定的第1照度照射规定时间之后，控制部60将紫外线以固定的第2照度对被处理面板6照射规定时间。
图3是用于对第1实施方式的液晶面板的制造装置中的照度与照射时间的关系进行说明的图。图3中，纵轴表示紫外线的照度(mW/cm2)，横轴表示紫外线的照射时间(秒)。
作为一例，将峰值波长为365nm的紫外线如图3所示，以作为第1照度的2mW/cm2来照射20秒钟，由此以通过相对较小的照度生成聚合物稳定蓝相的第1照度来进行规定照射时间的照射，直至聚合物稳定蓝相相对于液晶层9整体的比率达到70％左右～80％左右为止之后，以作为第2照度的10mW/cm2来照射40秒钟，从而使剩余的液相层发生反应而生成聚合物稳定蓝相，并且去除残留的聚合性单体。本实施方式中，以第1照度的五倍的第2照度，来进行以第1照度照射的照射时间的两倍的照射时间的照射。
如此，在照射工序中，仅在最初的数十秒以相对较小的第1照度来进行照射，随后以相对较大的第2照度来进行照射，由此，例如在第1照度下照射时间耗费近数百秒的照射时间缩短至60秒。而且，在以第1照度进行照射直至聚合物稳定蓝相相对于液晶层9整体的比率达到70％左右以上为止之后，以第2照度，进行比第1照射的照射时间长的照射时间的照射，由此，针对被处理面板6的紫外线照射时间得到有效缩短。
如上所述，通过适当切换第1照度与第2照度，从而适当地生成聚合物稳定蓝相，但在不以2mW/cm2的第1照度来进行照射，而是从最初开始便以10mW/cm2的第2照度来进行照射的情况下，伴随紫外线照射引起的被处理面板6的温度上升将变得显著。结果存在下述不良情况，即，会呈现出蓝相以外的各向同性液体，产生液晶面板的显示特性的下降、显示特性的不均。
另外，并不限定于所述第1照度及第2照度的大小、第1照度及第2照度下的各照射时间，可根据被处理面板6来分别适当设定。而且，也可在以第1照度照射规定时间后，控制部60以将照度从第1照度逐渐变大至第2照度为止的方式来进行控制。而且，也可根据需要，在以第2照度照射规定时间后，以比第2照度更大的第3照度来进行照射。
在将紫外线以第2照度对被处理面板6照射固定时间后，控制部60关闭挡闸13，并打开腔室40的挡闸43。并且，使用机械臂等，从腔室40的照射箱20内的载台30的载置面31上拆卸被处理面板6，并通过搬出/搬入口44而将被处理面板6搬送至液晶面板的制造工序中的下一工序。
表1是用于对第1实施方式中，被处理面板6相对于紫外线照度的温度变化的测定结果进行说明的表格。
表1
Figure BDA0001090797350000111
如表1所示，在将被处理面板6的温度设定为45℃的情况下，以第1照度即2mW/cm2照射时的最大温度与最小温度之差即变动范围为0.6℃。而且，以第2照度即10mW/cm2照射时的最大温度与最小温度之差即变动范围为2.0℃。继而，在将被处理面板6的温度设定为55℃的情况下，以第1照度即2mW/cm2照射时的最大温度与最小温度之差即变动范围为0.7℃。而且，以第2照度即10mW/cm2照射时的最大温度与最小温度之差即变动范围为2.1℃。
因此，在以第1照度进行照射时，被处理面板6的温度相对于设定温度而被抑制在±0.5℃的范围内。而且，在以第2照度进行照射时，被处理面板6的温度相对于设定温度而被抑制在±1.0℃左右的范围内。
如上所述，第1实施方式中，具有控制部60，该控制部60对照射部10进行控制，以使得在以第1照度来对被处理面板6照射紫外线后，以比第1照度大的第2照度来对被处理面板6照射紫外线。由此，能够抑制对被处理面板6照射紫外线的照射时间的冗长化。
而且，第1实施方式中，通过使第2照度的照射时间长于第1照度的照射时间，从而能够抑制针对被处理面板6的紫外线照射时间的冗长化。
而且，第1实施方式的液晶面板的制造装置1中，具有载台30，该载台30使对载置被处理面板6的载置面31的温度进行调节的调温介质流经内部。由此，能够一边进行被处理面板6的调温，一边对被处理面板6照射紫外线。其结果，能够适当地保持紫外线照射时的被处理面板6的温度，从而能够提高液晶面板的品质。
而且，第1实施方式中的被处理面板6具有液晶层9，该液晶层9包含向列液晶组合物、呈现蓝相的液晶组合物、与聚合性单体。由此，被处理面板6能够通过照射紫外线来呈现聚合物稳定蓝相。
另外，第1实施方式中的照射部10是使用多个紫外线灯11来构成，但也可取代紫外线灯11而使用在平面上排列有作为LED的多个发光元件的LED模块(未图示)来作为光源。通过如此那样使用LED模块作为光源来切换照度，从而在由第1照度调光至第2照度时，直至第2照度稳定为止的稳定时间将达到数秒以内，因此能够提高照射工序的稳定性。
而且，在照射部10使用LED模块的结构的情况下，也可构成为通过改变多个发光元件的点灯状态，来切换第1照度与第2照度。此时，控制部60通过仅使LED模块所具有的多个发光元件的一部分点灯，从而以第1照度来进行照射。继而，控制部60通过使LED模块所具有的多个发光元件全部点灯，从而以第2照度来进行照射。根据如此那样改变点灯状态的结构，无须对各个发光元件的照度进行调光，可通过利用简单的结构来控制发光元件的点灯状态来切换第1照度与第2照度。而且，也可与该结构同样地构成为，控制部60仅使多个紫外线灯11的一部分点灯，从而以第1照度来进行照射，并使多个紫外线灯11全部点灯，从而以第2照度来进行照射。
以下，对于其他实施方式的液晶面板的制造装置，参照附图来进行说明。另外，其他实施方式中，对于与第1实施方式相同的构成构件，标注与第1实施方式相同的符号并省略说明。
(第2实施方式)
图4是表示第2实施方式的液晶面板的制造装置的示意图。第1实施方式的变形例中构成为，使用LED模块，对照度相等的多个发光元件的点灯状态进行切换，从而以第1照度与第2照度来进行照射，但第2实施方式与第1实施方式等的不同之处在于，使用具有照度不同的多个发光元件的LED模块。
如图4所示，第2实施方式的液晶面板的制造装置2所具有的照射部82包括LED模块87，该LED模块87将紫外线以第1照度及第2照度来分别照射至被处理面板6。
第2实施方式中的LED模块87具有：作为第1光源的多个第1发光元件87a，以第1照度来照射紫外线；以及作为第2光源的多个第2发光元件87b，以比第1照度大的第2照度来照射紫外线。在LED模块87中，配置于平面上的多个第1发光元件87a与多个第2发光元件87b例如是呈格子状或相对于规定方向而交替地排列。作为第1发光元件87a及第2发光元件87b，使用紫外线LED。
而且，LED模块87例如具有由陶瓷形成有基材的基板。作为基板的基材，在基板要确保反射特性的情况下，理想的是白色并具有高反射率的氧化铝，在要确保更高的散热性能的情况下，理想的是导热率高的氮化铝。而且，在陶瓷制的基板上，虽未图示，但形成有用于对第1发光元件87a及第2发光元件87b通电的包含Ag等的导电图案(pattern)。在导电图案中，除了安装部及供电部等以外，为了确保绝缘性与防止腐蚀，包覆有以玻璃等为主成分的无机材料。而且，在基板上设有铝制的散热构件，使用水冷结构来进行冷却，以将散热构件保持为固定温度。
(第2实施方式中的照度切换)
控制部60通过仅使LED模块87的第1发光元件87a点灯，从而以第1照度将紫外线照射至被处理面板6。继而，控制部60通过仅使LED模块87的第2发光元件87b点灯，从而以第2照度将紫外线照射至被处理面板6。
而且，第2实施方式并不限定于在以第2照度进行照射时仅使第2发光元件87b点灯的结构，也可在以第2照度进行照射时，除了使第2发光元件87b点灯以外，还使第1发光元件87a的一部分或全部点灯。
根据第2实施方式，无须对各个发光元件87a、87b进行调光，通过切换第1发光元件87a与第2发光元件87b的点灯状态，从而能够切换第1照度与第2照度。
而且，第2实施方式中，也与第1实施方式同样，能够抑制对被处理面板6照射紫外线的照射时间的冗长化。
(第3实施方式)
图5是表示第3实施方式的液晶面板的制造装置的示意图。第3实施方式与第1实施方式的不同之处在于，使用具有照度不同的多个照射区域的LED模块。
如图5所示，第3实施方式的液晶面板的制造装置3所具有的照射部83具有：LED模块88，将紫外线以第1照度及第2照度分别照射至被处理面板6；以及移动机构90，使LED模块88相对于被处理面板6而移动。
LED模块88具有：第1照射区域88a，以第1照度将紫外线照射至被处理面板6；以及第2照射区域88b，以第2照度将紫外线照射至被处理面板6。第1照射区域88a与第2照射区域88b是在图5中的A方向上邻接地设置。而且，在第1照射区域88a及第2照射区域88b中，分别排列有多个发光元件。配置于第2照射区域88b中的发光元件的照度比配置于第1照射区域88a中的发光元件的照度大，第2照射区域88b能够以第2照度来照射紫外线。
而且，LED模块88通过移动机构90，沿A方向可移动地设置。虽未图示，但移动机构90例如具有：导轨(guide rail)，沿着A方向而设；以及驱动机构，沿着导轨而在A方向上驱动LED模块88。控制部60通过控制移动机构90来使第1照射区域88a及第2照射区域88b相对于被处理面板6而移动，从而切换被处理面板6与第1照射区域88a及第2照射区域88b的相对位置。另外，控制部60也可以下述方式进行控制，即，联动于使第1照射区域88a及第2照射区域88b向与被处理面板6相向的位置移动的动作，仅使与被处理面板6相向的第1照射区域88a及第2照射区域88b中的其中一个点灯。
(第3实施方式中的照度切换)
第3实施方式中，通过控制部60控制移动机构90，从而使LED模块88的第1照射区域88a移动至与载台30上的被处理面板6相向的位置，通过第1照射区域88a来以第1照度进行照射。继而，通过控制部60控制移动机构90，从而使第2照射区域88b移动至与被处理面板6相向的位置，通过第2照射区域88b来以第2照度进行照射。
根据第3实施方式，无须对各个发光元件进行调光，通过使第1照射区域88a与第2照射区域88b的位置移动以与被处理面板6相向，从而能够切换第1照度与第2照度。
而且，第3实施方式中，也与第1实施方式及第2实施方式同样地，能够抑制对被处理面板6照射紫外线的照射时间的冗长化。
(第4实施方式)
图6是表示第4实施方式的液晶面板的制造装置的示意图。第4实施方式与第1实施方式的不同之处在于，使用照度不同的多个LED模块，以及对载置于多个载台上的被处理面板6进行照射。
如图6所示，第4实施方式的液晶面板的制造装置4所具有的照射部84具有：作为第1光源的第1LED模块89a、作为第2光源的第2LED模块89b、以及使第1LED模块89a及第2LED模块89b相对于被处理面板6而移动的移动机构90。
而且，如图6所示，第4实施方式的液晶面板的制造装置4具备两个腔室40、40。而且，照射部84是遍及两个腔室40、40移动自如地设置，光照射部84对任一个腔室40、40的载台30、30的载置面31、31上的被处理面板6、6照射光。进而，在各腔室40、40中，设有通过机械臂来使被处理面板6、6进出且由挡闸43、43开闭的搬出/搬入口44、44。
第1LED模块89a是将以第1照度对被处理面板6照射紫外线的多个发光元件排列在平面上而成。第2LED模块89b是将以第2照度对被处理面板6照射紫外线的多个发光元件排列在平面上而成。第1LED模块89a与第2LED模块89b是在图6中的A方向上邻接地设置。
而且，第1LED模块89a及第2LED模块89b通过移动机构90可沿A方向移动地设置。控制部60通过控制移动机构90来使第1LED模块89a及第2LED模块89b相对于被处理面板6而移动，从而切换被处理面板6与第1LED模块89a及第2LED模块89b的相对位置。
(第4实施方式中的照度切换)
第4实施方式中，通过控制部60控制移动机构90，从而使第1LED模块89a移动至与载台30上的被处理面板6相向的位置，通过第1LED模块89a来以第1照度进行照射。继而，通过控制部60控制移动机构90，从而使第2LED模块89b移动至与被处理面板6相向的位置，通过第2LED模块89b来以第2照度进行照射。
根据第4实施方式，无须对各个发光元件进行调光，通过使第1LED模块89a与第2LED模块89b的位置移动以与被处理面板6相向，从而能够切换第1照度与第2照度。
而且，第4实施方式中，也与第1实施方式至第3实施方式同样地，能够抑制对被处理面板6照射紫外线的照射时间的冗长化。
而且，第4实施方式中，能够对多个被处理面板6进行照射。进而，第4实施方式中，例如在照射部84对其中一个被处理面板6进行照射时，另一个被处理面板6使用机械臂(未图示)而相对于腔室40进出。此时，另一个被处理面板6也可载置于载台30的载置面31上，在另一个被处理面板6载置于载台30的载置面31后，也可控制载台30及循环型空调装置50，以使另一个被处理面板6的温度相对于10℃～70℃的范围的规定的设定温度而为±0.5℃以内。即，在照射部84对其中一个被处理面板6进行照射时，另一个被处理面板6能够在进行了针对其中一个被处理面板6的照射之后立即快速地进行照射，因此能够进一步抑制对被处理面板6照射紫外线的照射时间的冗长化。除此以外，在第1LED模块89a以第1照度对其中一个被处理面板6照射紫外线时，也可由第2LED模块89b以第2照度对另一个被处理面板6照射紫外线。借此，能够进一步抑制对被处理面板6照射紫外线的照射时间的冗长化。
而且，作为第3实施方式及第4实施方式的变形例，也可构成为，被处理面板6侧相对于照射部83、84而移动。在此情况下，例如也可构成为，配置有被处理面板6的腔室40通过移动机构相对于照射部83、84而移动。
对本发明的实施方式进行了说明，但实施方式仅为例示，并不意图限定本发明的范围。实施方式能够以其他的各种形态来实施，在不脱离发明的主旨的范围内，能够进行各种省略、置换、变更。实施方式及其变形包含在本发明的范围或主旨内，同样包含在权利要求书所记载的发明及其均等的范围内。

Claims (8)

1.一种液晶面板的制造装置，其中液晶面板是通过照射紫外线来呈现聚合物稳定蓝相，其特征在于包括：
照射部，对被处理面板照射所述紫外线；
载台，具有载置所述被处理面板的载置面，且使对所述载置面的温度进行调节的调温介质流经内部；以及
控制部，对所述照射部进行控制，以使得在以第1照度来对所述被处理面板照射紫外线之后，以比所述第1照度大的第2照度来对所述被处理面板照射紫外线。
2.根据权利要求1所述的液晶面板的制造装置，其特征在于，
所述第2照度的照射时间长于所述第1照度的照射时间。
3.根据权利要求1或2所述的液晶面板的制造装置，其特征在于，
所述被处理面板包含具有彩色滤光片的第1基板、与所述第1基板相向的第2基板以及设于所述第1基板与所述第2基板之间的液晶层，
所述被处理面板的所述第1基板及所述第2基板中的其中一侧被载置于所述载台上，
所述照射部从所述第1基板及所述第2基板中的另一侧将紫外线照射至所述液晶层。
4.根据权利要求3所述的液晶面板的制造装置，其特征在于，
所述液晶层包含向列液晶组合物、呈现蓝相的液晶组合物及聚合性单体。
5.根据权利要求1或2所述的液晶面板的制造装置，其特征在于，
所述控制部的控制方式为仅使所述照射部的照射区域的一部分点灯，从而以所述第1照度来进行照射，并使所述照射区域的整体点灯，从而以所述第2照度来进行照射。
6.根据权利要求1或2所述的液晶面板的制造装置，其特征在于，
所述照射部具有以所述第1照度来照射紫外线的第1光源及以所述第2照度来照射紫外线的第2光源。
7.根据权利要求6所述的液晶面板的制造装置，其特征在于还包括：
移动机构，使所述第1光源及所述第2光源或者使所述被处理面板移动，
所述控制部通过控制所述移动机构，来切换所述被处理面板与所述第1光源及所述第2光源的相对位置。
8.根据权利要求1或2所述的液晶面板的制造装置，其特征在于，
所述照射部具备一光源，所述光源具有以所述第1照度来照射紫外线的第1照射区域与以所述第2照度来照射紫外线的第2照射区域，
所述液晶面板的制造装置还包括使所述光源或所述被处理面板移动的移动机构，
所述控制部通过控制所述移动机构，来切换所述被处理面板与所述第1照射区域及所述第2照射区域的相对位置。
CN201610725790.9A 2015-08-28 2016-08-25 液晶面板的制造装置 Active CN106483687B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015-169158 2015-08-28
JP2015169158A JP6488950B2 (ja) 2015-08-28 2015-08-28 液晶パネルの製造装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN106483687A CN106483687A (zh) 2017-03-08
CN106483687B true CN106483687B (zh) 2021-01-01

Family

ID=58211255

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201610725790.9A Active CN106483687B (zh) 2015-08-28 2016-08-25 液晶面板的制造装置

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP6488950B2 (zh)
KR (1) KR102586659B1 (zh)
CN (1) CN106483687B (zh)
TW (1) TW201708509A (zh)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2019164309A (ja) * 2018-03-20 2019-09-26 東芝ライテック株式会社 液晶パネルの製造装置
CN108873488B (zh) * 2018-06-29 2021-04-20 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 紫外线照射机及制作配向膜的设备
JP7188221B2 (ja) * 2019-03-25 2022-12-13 東芝ライテック株式会社 液晶パネル製造装置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102004358A (zh) * 2009-09-01 2011-04-06 优志旺电机株式会社 液晶面板的制造方法及制造装置
CN103018963A (zh) * 2011-09-22 2013-04-03 哈利盛东芝照明株式会社 紫外线照射装置
CN104062780A (zh) * 2013-03-22 2014-09-24 株式会社东芝 显示装置的制造装置以及显示装置的制造方法
CN104662469A (zh) * 2012-09-24 2015-05-27 夏普株式会社 液晶显示装置及其制造方法
CN104698655A (zh) * 2013-12-06 2015-06-10 东芝照明技术株式会社 液晶面板的制造装置及液晶面板的制造方法

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3425584A1 (de) * 1984-07-11 1986-01-16 Merck Patent Gmbh, 6100 Darmstadt Optisches system mit einer fluessigkristallzelle, verfahren zu seinem betrieb und seine verwendung
JP4640864B2 (ja) * 2001-10-02 2011-03-02 シャープ株式会社 液晶表示装置の製造方法
JP2005173439A (ja) * 2003-12-15 2005-06-30 Fujitsu Display Technologies Corp 液晶表示装置およびその製造方法
JP2006323060A (ja) * 2005-05-18 2006-11-30 Ushio Inc 偏光光照射装置
JP5871445B2 (ja) 2006-03-13 2016-03-01 国立大学法人九州大学 液晶組成物および液晶素子
JP5875032B2 (ja) 2007-05-08 2016-03-02 国立大学法人九州大学 高分子／液晶複合材料および液晶素子
JP2011090278A (ja) * 2009-09-25 2011-05-06 Hitachi Displays Ltd 液晶表示装置
JP5379053B2 (ja) * 2010-03-26 2013-12-25 スタンレー電気株式会社 光偏向装置
CN101840097B (zh) * 2010-04-30 2013-03-13 友达光电股份有限公司 蓝相液晶显示装置及其制作方法
JP2012108311A (ja) * 2010-11-17 2012-06-07 Toshiba Mobile Display Co Ltd 液晶表示装置
CN201853034U (zh) * 2010-11-25 2011-06-01 河北工业大学 双面ips蓝相液晶显示器
JP5857863B2 (ja) * 2011-09-22 2016-02-10 東芝ライテック株式会社 紫外線照射装置
KR20130079052A (ko) * 2012-01-02 2013-07-10 동국대학교 산학협력단 액정 표시 장치의 제조 방법
JP2014032325A (ja) * 2012-08-03 2014-02-20 Toshiba Lighting & Technology Corp 液晶パネルの製造装置及び液晶パネルの製造方法
CN103792754B (zh) * 2013-04-03 2016-08-17 东南大学 基于紫外光扫描光电导材料形成透镜像素的液晶透镜阵列
JP6171632B2 (ja) * 2013-07-01 2017-08-02 東芝ライテック株式会社 液晶パネルの製造装置及び液晶パネルの製造方法
TW201518819A (zh) * 2013-11-06 2015-05-16 Innolux Corp 曝光系統與曝光製程
CN104317128A (zh) * 2014-11-19 2015-01-28 友达光电股份有限公司 一种液晶显示面板及其制造方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102004358A (zh) * 2009-09-01 2011-04-06 优志旺电机株式会社 液晶面板的制造方法及制造装置
CN103018963A (zh) * 2011-09-22 2013-04-03 哈利盛东芝照明株式会社 紫外线照射装置
CN104662469A (zh) * 2012-09-24 2015-05-27 夏普株式会社 液晶显示装置及其制造方法
CN104062780A (zh) * 2013-03-22 2014-09-24 株式会社东芝 显示装置的制造装置以及显示装置的制造方法
CN104698655A (zh) * 2013-12-06 2015-06-10 东芝照明技术株式会社 液晶面板的制造装置及液晶面板的制造方法

Also Published As

Publication number Publication date
KR102586659B1 (ko) 2023-10-10
KR20170026150A (ko) 2017-03-08
CN106483687A (zh) 2017-03-08
JP6488950B2 (ja) 2019-03-27
TW201708509A (zh) 2017-03-01
JP2017044967A (ja) 2017-03-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI744268B (zh) 毫秒退火系統之預熱方法
CN106483687B (zh) 液晶面板的制造装置
KR20080040598A (ko) 액정 패널 제조 장치 및 액정 패널의 제조 방법
JP2008116672A (ja) 液晶パネル製造装置及び液晶パネルの製造方法
TWI487973B (zh) 液晶面板製造設備及用於製造液晶面板之方法
KR20140018118A (ko) 액정 패널의 제조 장치 및 액정 패널의 제조 방법
TWI652866B (zh) 光源裝置以及光照射方法
TWI608271B (zh) 液晶面板的製造裝置及液晶面板的製造方法
WO2022046641A1 (en) Far uv c power supply
CN104950519B (zh) 液晶面板的制造装置及液晶面板的制造方法
JP2008116676A (ja) 液晶パネル製造装置及び液晶パネルの製造方法
TWI683160B (zh) 液晶面板的製造裝置以及液晶面板的製造方法
JP6171632B2 (ja) 液晶パネルの製造装置及び液晶パネルの製造方法
KR101172840B1 (ko) 현미경용 조광장치
TW201142916A (en) Light source apparatus and light irradiation apparatus
US20030096196A1 (en) Process for curing of a resist which has been applied to a large substrate, and device for carrying out of the process
WO2011117946A1 (ja) 紫外線照射装置
KR102497669B1 (ko) 액정패널의 제조장치
WO2022241329A1 (en) Shock-free far uv c bulb assembly
KR20200115050A (ko) 램프 모듈 및 액정 패널 제조 장치
JP2008116673A (ja) 液晶パネル製造装置及び液晶パネルの製造方法
JP2011150791A (ja) 誘電体バリア放電ランプの駆動方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant