TWI608271B - 液晶面板的製造裝置及液晶面板的製造方法 - Google Patents
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Description
本發明的實施方式是有關於一種液晶面板的製造裝置及液晶面板的製造方法。
在液晶面板的製造中,有進行稱作光配向的工序的方法,該工序中使用紫外線燈等光源,對包括具有光反應性的高分子體的被處理面板照射規定波長的光,由此使高分子體發生化學反應而具有配向功能。
尤其為了呈現出利用高分子使藍相液晶穩定化的狀態,即高分子穩定化藍相(聚合物穩定藍相(Polymer Stabilized Blue Phase:PSBP))而進行光照射時,被處理面板的溫度不均及溫度的經時變化對顯示特性的不均所造成的影響大。因此,在對被處理面板照射規定波長的光的液晶面板的製造方法中,強烈期望抑制紫外線照射時的被處理面板的溫度不均勻且抑制被處理面板的表面的溫度變化。
因此,提出有紫外線照射裝置,該紫外線照射裝置被用於包含光反應性物質的液晶面板的製造工序中(例如參照專利文獻1)。專利文獻1所示的紫外線照射裝置記載了如下構成:包括冷卻機構,該冷卻機構對各個光源元件的外套管的內部供給冷卻風。
[專利文獻1]日本專利特開2011-215463號公報
然而,專利文獻1所示的紫外線照射裝置中,難以抑制用於呈現高分子穩定化藍相的被處理面板的溫度的不均勻,或難以抑制被處理面板的溫度的變化。
本發明的目的在於提供一種抑制被處理面板的溫度的不均勻、且抑制被處理面板的溫度的變化的液晶面板的製造裝置,及液晶面板的製造方法。
本發明一實施方式的液晶面板的製造裝置包括光照射部、照射箱、平台、腔室、以及循環型空冷裝置。光照射部射出光。照射箱具有透過來自光照射部的光的窗口材料(window
material)。平台具有載置面,所述載置面以面對窗口材料的方式而設置且載置被處理面板。在平台的內部使液體流通,所述液體對載置面的被照射光的區域(area)進行溫度控制。腔室覆蓋照射箱與平台。循環型空冷裝置包括設置於腔室的導入口及排出口,且將從導入口導入的氣體從排出口排出並對腔室內的溫度進行控制。
此外,所述窗口材料具備如下功能,即,對預先規定的波長的紫外線或紅外線的透過進行控制,或者抑制預先規定的波長的紫外線及紅外線雙方的透過。
此外,所述被處理面板包括:彩色濾光片基板,與所述彩色濾光片基板對向的對向基板,以及設置於所述彩色濾光片基板與所述對向基板之間的液晶層,所述被處理面板以所述彩色濾光片基板側與所述載置面接觸的方式而配置於所述平台,所述光照射部從所述對向基板的一側對所述被處理面板照射所述光。
此外,所述液晶層至少包含向列液晶組成物、呈現藍相的液晶組成物及聚合性單體,利用所述光的照射而呈現高分子穩定化藍相。
此外,所述光照射部包括光源,所述光源以300nm~400nm為主波長,且所述載置面上的波長為365nm的光的照度為15mW/cm2以下。
此外,以如下方式對所述平台及所述循環型空冷裝置進行控制,即,對所述被處理面板照射所述光時的所述被處理面板
的溫度相對於10℃~70℃間的設定溫度而為±0.5℃以內。
本發明一實施方式的液晶面板的製造方法包括:光照射部,射出光;照射箱,具有透過來自所述光照射部的光的窗口材料;平台,具有載置面,所述載置面以面對所述窗口材料的方式而設置且載置被處理面板,在所述平台的內部使液體流通,所述液體對所述載置面的被照射所述光的區域進行溫度控制;腔室,覆蓋所述照射箱與所述平台;以及循環型空冷裝置,包括設置於所述腔室的導入口與排出口,將從所述導入口導入的氣體從所述排出口排出,並對所述腔室內的溫度進行控制;且所述液晶面板的製造方法包括下述步驟:在所述平台的所述載置面載置所述被處理面板;一邊使所述液體於所述平台內流通,並且將所述氣體從所述導入口導入至所述腔室內且從所述排出口排出並循環,一邊從所述光照射部通過所述窗口材料而對配置於所述載置面的所述被處理面板照射光。
根據本發明,可提供抑制被處理面板的溫度的不均勻、且抑制被處理面板的溫度的變化的液晶面板的製造裝置,及液晶面板的製造方法。
1‧‧‧液晶面板的製造裝置
2‧‧‧被處理面板
3‧‧‧彩色濾光片基板
4‧‧‧對向基板
5‧‧‧液晶層
10‧‧‧光照射部
11‧‧‧棒狀燈(光源)
20‧‧‧照射箱
21‧‧‧窗口材料
22‧‧‧第一濾光片
23‧‧‧第二濾光片
30‧‧‧平台
31‧‧‧載置面
32‧‧‧流體保溫循環單元
33‧‧‧配管
40‧‧‧腔室
50‧‧‧循環型空冷裝置
51‧‧‧導入口
52‧‧‧排出口
53‧‧‧送風管
60‧‧‧控制單元
A、B、C、D‧‧‧波長
A~I‧‧‧測定部位
圖1是表示實施方式的液晶面板的製造裝置的概要的構成的圖。
圖2是表示實施方式的液晶面板的製造裝置的概要的構成的剖面圖。
圖3是表示由實施方式的液晶面板的製造裝置而被照射光的被處理面板的構成的剖面圖。
圖4是說明實施方式的液晶面板的製造裝置的窗口材料所透過的光的圖。
圖5是表示實施方式的液晶面板的製造裝置的窗口材料的構成的剖面圖。
圖6是表示比較例與本發明品1、本發明品2的溫度變化的測定部位的平面圖。
圖7是表示實施方式的變形例的液晶面板的製造裝置的概要的構成的剖面圖。
圖8是表示實施方式的另一變形例的液晶面板的製造裝置的概要的構成的剖面圖。
以下說明的實施方式的液晶面板的製造裝置1包括光照射部10、照射箱20、平台30、腔室40、以及循環型空冷裝置50。光照射部10射出光。照射箱20具有透過來自光照射部10的光的窗口材料21。平台30具有載置面31,所述載置面31以面對窗口材料21的方式而設置且載置被處理面板2。在平台30內部使液體流通,所述液體對載置面31的被照射光的區域進行溫度控制。腔
室40覆蓋照射箱20與平台30。循環型空冷裝置50包括設置於腔室40的導入口51及排出口52,將從導入口51導入的氣體從排出口52排出並對腔室40內的溫度進行控制。
而且,以下所說明的實施方式的液晶面板的製造裝置1中,所述窗口材料21具備下述功能,即,抑制預先規定的波長的紫外線或紅外線的透過,或抑制預先規定的波長的紫外線及紅外線雙方的透過。
而且,以下說明的實施方式的液晶面板的製造裝置1中,被處理面板2包括彩色濾光片基板3或對向基板4[彩色濾光片基板3]、對向基板4、及液晶層5。對向基板4與彩色濾光片基板3對向。液晶層5設置於彩色濾光片基板3與對向基板4之間。被處理面板2以彩色濾光片基板3側與載置面31接觸的方式配置於平台30,光照射部10從對向基板4的一側對被處理面板2照射光。
而且,以下說明的實施方式的液晶面板的製造裝置1中,液晶層5至少包含向列液晶組成物、呈現藍相的液晶組成物及聚合性單體。液晶層5利用光的照射而呈現高分子穩定化藍相。
而且,以下說明的實施方式的液晶面板的製造裝置1中,光照射部10包括光源11,該光源11以300nm~400nm為主波長,且載置面上的365nm的波長的光的照度為15mW/cm2以下。
而且,以下說明的實施方式的液晶面板的製造裝置1中,以被照射光時的被處理面板2的溫度相對於10℃~70℃間的設定溫度為±0.5℃以內的方式,對平台30及循環型空冷裝置50進行控
制。
而且,以下說明的實施方式的液晶面板的製造方法包括:光照射部10,射出光;照射箱20,具有透過來自光照射部10的光的窗口材料21;平台30,具有載置面31,所述載置面31以面對窗口材料21的方式而設置且載置被處理面板2,在所述平台30內部使液體流通,所述液體對載置面31的被照射光的區域進行溫度控制;腔室40,覆蓋照射箱20與平台30;以及循環型空冷裝置53,包括設置於腔室40的導入口51及排出口52,將從導入口51導入的氣體從排出口52排出,並對腔室40內的溫度進行控制;且所述液晶面板的製造方法包括下述步驟:將被處理面板2載置於平台30的載置面31;一邊使所述液體於平台30內流通,並且將所述氣體從導入口51導入至腔室40內且從排出口52排出並循環,一邊從光照射部10通過窗口材料21而對配置於載置面31的被處理面板2照射光。
接下來,根據附圖對本發明的實施方式的液晶面板的製造裝置1進行說明。圖1是表示實施方式的液晶面板的製造裝置的概要的構成的圖,圖2是表示實施方式的液晶面板的製造裝置的概要的構成的剖面圖,圖3是表示由實施方式的液晶面板的製造裝置而被照射光的被處理面板的構成的剖面圖,圖4是說明實施方式的液晶面板的製造裝置的窗口材料所透過的光的圖,圖5是表示實
施方式的液晶面板的製造裝置的窗口材料的構成的剖面圖。
圖1所示的實施方式的液晶面板的製造裝置(以下,簡記作製造裝置)1一邊保持為固定的溫度一邊對被處理面板2照射光,使被處理面板2呈現出例如構成液晶顯示器的高分子穩定化藍相等。由製造裝置1而被照射光的被處理面板2如圖3所示包括:彩色濾光片基板3,與彩色濾光片基板3對向的對向基板4,及設置於彩色濾光片基板3與對向基板4之間的液晶層5。
彩色濾光片基板3是例如將透過紅色、綠色、藍色的光的彩色濾光片配置於基板上並由保護膜覆蓋所得。對向基板4為將電極配置成陣列狀而成的基板。液晶層5至少包含向列液晶組成物、呈現藍相的液晶組成物及聚合性單體。液晶層5利用製造裝置1的光的照射而呈現高分子穩定化藍相。
構成液晶層5的向列液晶組成物包含具有介電各向異性(dielectric anisotropy)的材料。
呈現藍相的液晶組成物為如下材料,即,將能夠穩定地存在的溫度範圍例如擴大至室溫,具體來說擴大至0℃以上,但通過被照射光,也可實現比向列液晶組成物高的響應性。呈現藍相的液晶組成物為如下物質,即,如果在例如相對於10℃~70℃間的規定的設定溫度而保持為±0.5℃以內的狀態下被照射光,則可無不均地呈現出高分子穩定化藍相。例如,在設定溫度為55℃的情況下,呈現藍相的液晶組成物如果在溫度保持為54.5℃~55.5℃的範圍內的狀態下被照射光,則可無不均地呈現出高分子穩定化藍
相,在設定溫度為60℃的情況下,呈現藍相的液晶組成物如果在溫度保持為59.5℃~60.5℃的範圍內的狀態下被照射光,則可無不均地呈現出高分子穩定化藍相。
聚合性單體是用以使向列液晶組成物或呈現高分子穩定化藍相的液晶組成物的組成穩定化的材料。
製造裝置1如圖1及圖2所示,包括:射出光的光照射部10,照射箱20,平台30,腔室40,循環型空冷裝置50,及控制單元60等。
光照射部10射出光,在照射箱20內,具體來說,可通過窗口材料21對被處理面板2照射光,所述被處理面板2在照射箱20中,載置於面對透過來自光照射部10的光的窗口材料21的平台30的載置面31上。光照射部10具備多個作為光源的棒狀燈11。棒狀燈11是將水銀、鐵或碘等金屬鹵化物、氬等稀有氣體封入並主要射出紫外線的金屬鹵化物燈等呈直線狀延伸的管型燈。棒狀燈11以300nm~400nm為主波長,且365nm的波長的光(紫外線)的照度為15mW/cm2以下。而且,棒狀燈11的長邊方向與從設置於腔室40的導入口51朝向排出口52的方向、即作為腔室40內的氣體的氣體所流動的方向平行。另外,可使用UV-M02(奧克(Orc)製作所股份有限公司製造)來作為照度計,且使用UV-SN35(Orc製作所股份有限公司製造)作為受光器。
本實施方式中,棒狀燈11設置有三個,且配置在照射箱20及平台30、載置於載置面31上的被處理面板2的上方。而且,
棒狀燈11被供該棒狀燈11照射的光通過的未圖示的水冷套(water-cooling jacket)所覆蓋。水冷套中填充著水,使該填充的水進行循環,由此將棒狀燈11保持為所需的運轉溫度。
照射箱20形成為箱狀,且以內部收容載置於平台30的載置面31的被處理面板2的方式配置於平台30上。而且,照射箱20具有窗口材料21,該窗口材料21設置於光照射部10與載置面31之間,且被照射來自光照射部10的光。
窗口材料21具有抑制預先規定的波長的紫外線及紅外線雙方的透過的功能。窗口材料21使適合於液晶層5呈現高分子穩定化藍相的波長的光透過、且抑制(限制)其他光的透過。本實施方式中,如圖5所示,窗口材料21是將第一濾光片22與第二濾光片23重疊而構成。第一濾光片22如圖4中實線所示,使波長[nm]為A~B的紫外線透過,且抑制(限制)其他光(波長[nm]比A短的紫外線、波長[nm]比B長的紫外線、可見光線、紅外線)的透過。第二濾光片23如圖4中雙點劃線所示,使波長[nm]為C~D的紫外線、可見光線、紅外線透過,且抑制(限制)其他光(尤其波長[nm]比C短的紫外線、波長[nm]比D長的紅外線)的透過。另外,C比A長且比B短,B比D短。因此,本實施方式中,窗口材料21如圖4中平行斜線所示,使波長[nm]為C~B的紫外線透過,且抑制(限制)其他光的透過。而且,本發明中,也可將使波長[nm]為A~B的紫外線透過且抑制(限制)其他光的透過的濾光片蒸鍍在所述第二濾光片23上,由此構成窗口材料
21。
而且,本發明中,窗口材料21只要能夠使適合於液晶層5呈現高分子穩定化藍相的波長的光透過,則也可包含抑制(限制)預先規定的波長的紫外線的透過的濾光片,還可包含抑制(限制)預先規定的波長的紅外線的透過的濾光片。如此,本發明中,窗口材料21只要具備如下功能即可,即,根據適合於液晶層5呈現高分子穩定化藍相的波長來抑制(限制)預先規定的波長的紫外線或紅外線的透過。
平台30具備載置被處理面板2的載置面31,並使作為固定溫度的液體的水在內部循環,由此來對載置於載置面31的被處理面板2的溫度進行控制。載置面31以面對窗口材料21的方式而設置,且與光照射部10對向。另外,本發明中,理想的是載置於載置面31的被處理面板2所保持的溫度盡可能地為固定溫度,只要載置於載置面31的被處理面板2的溫度保持為固定,則在平台30內循環的作為流體的液體的溫度比載置於載置面31的被處理面板2的溫度稍低或稍高均可。另外,本發明中,除水以外,還可使各種液體在平台30中循環。
平台30上,以彩色濾光片基板3側與載置面31接觸的方式載置被處理面板2。即,被處理面板2以彩色濾光片基板3與載置面31接觸的方式而載置於平台30的載置面31上。因此,光照射部10從對向基板4的一側對被處理面板2照射光。
平台30包含鋁合金等且形成為厚的平板狀,內部設置著
循環路徑(未圖示),該循環路徑供具有使被處理面板2成為所需溫度的溫度的液體循環。平台30上連接著流體保溫循環單元32,該流體保溫循環單元32將被處理面板2的溫度保持為固定,且,使作為流體的液體在平台30的循環路徑內循環。流體保溫循環單元32例如包含:與用以使液體循環的循環路徑連結的配管(圖2中表示一部分)33,周知的加熱器,將冷卻裝置或配管33內的液體送出的泵等。
腔室40形成為箱狀,覆蓋照射箱20與平台30的整體,且上部設置光照射部10。
循環型空冷裝置50如圖2所示,包括設置於腔室40的導入口51與排出口52,將從導入口51導入的氣體從排出口52排出,並控制腔室40內的溫度。循環型空冷裝置50將從導入口51導入的氣體從排出口52排出,並控制腔室40內的溫度,由此將腔室40內的溫度即照射箱20內的被處理面板2的溫度保持為固定的溫度。
本實施方式中,在腔室40的長邊方向的一端部的下部開設導入口51,在腔室40的另一端部的上部開設排出口52。循環型空冷裝置50使從導入口51導入的氣體流向腔室40內,並從排出口52排出。循環型空冷裝置50除例如包括導入口51與排出口52外,還包括:用以使氣體依次在導入口51、腔室40內、排出口52中循環的送風管(圖2所示)53,將氣體保持為固定溫度的周知的加熱器,將冷卻裝置或送風管53內的氣體送出的送風機等。
另外,本發明中,理想的是依次在導入口51、腔室40內、排出口52中循環的氣體的溫度,與載置於載置面31的被處理面板2所保持的溫度盡可能相等,只要載置於載置面31的被處理面板2保持為固定的溫度,則循環的氣體的溫度比載置於載置面31的被處理面板2的溫度稍低或稍高均可。另外,氣體的溫度始終為目標溫度,也存在與實際溫度不同的情況。
而且,製造裝置1例如在排出口52的附近等適當的部位,設置著溫度傳感器(未圖示),該溫度傳感器對設置於平台30的內部的循環路徑中流通的液體、水冷套中循環的水或在腔室40的內外循環的氣體等的溫度進行檢測。製造裝置1例如在導入口51的附近等適當的部位,設置對從導入口51導入至照射箱20內的氣體的流量進行檢測的流量傳感器。
控制單元60對製造裝置1的光的照射動作進行控制。控制單元60連接於流體保溫循環單元32、循環型空冷裝置50、光照射部10等。控制單元60例如以包含中央處理器(central processing unit,CPU)等的運算處理裝置或未圖示的微處理器作為主體而構成,所述微處理器包含唯讀記憶體(read-only memory,ROM)、隨機存取記憶體(Random Access Memory,RAM)等,所述控制單元60與顯示處理運行的狀態的顯示單元或操作員登記加工內容訊息等時所使用的操作單元連接。
控制單元60在從光照射部10對載置於平台30的載置面31的被處理面板2照射光時,根據溫度傳感器等的檢測結果等,
來對覆蓋棒狀燈11的水冷套進行控制,且將棒狀燈11保持為所需的運轉溫度。而且,控制單元60在從光照射部10對載置於平台30的載置面31的被處理面板2照射光時,根據溫度傳感器等的檢測結果等,來對流體保溫循環單元32進行控制,而將平台30中循環的液體的溫度保持為固定,並對循環型空冷裝置50進行控制,而將在腔室40的內外循環的氣體的溫度保持為固定,從而將載置於平台30的載置面31的被處理面板2的溫度保持為固定。
例如,在從光照射部10對被處理面板2照射光時,利用控制單元60,以被照射光時的被處理面板2的溫度相對於10℃~70℃間的規定的設定溫度為±0.5℃以內的方式,來對平台30及循環型空冷裝置50進行控制。即,本發明中,所謂將載置於平台30的載置面31的被處理面板2的溫度保持為固定,是指保持為相對於10℃~70℃間的規定的設定溫度而為±0.5℃以內的溫度。例如,當設定溫度為55℃時,利用控制單元60,以被處理面板2的溫度保持為54.5℃~55.5℃的範圍內的溫度的方式,來對流體保溫循環單元32中循環的液體的溫度及照射箱20內的溫度等進行控制。當設定溫度為60℃時,利用控制單元60,以被處理面板2的溫度保持為59.5℃~60.5℃的範圍內的溫度的方式,來對流體保溫循環單元32中循環的液體的溫度及導入至照射箱20內的氣體的流量、溫度等進行控制。
接下來,對使用了所述構成的實施方式的製造裝置1的液晶面板的製造方法,即,對被處理面板2照射光的方法進行說
明。首先,操作員將處理內容訊息登記在控制單元60中,當有開始處理運行的指示時,開始進行處理運行。然後,在處理運行中,將被處理面板2載置於平台30的載置面31。接著,控制單元60使液體在平台30內流通,並且通過導入口51而將氣體導入至腔室40內且從排出口52排出,並且使水在水冷套內循環。控制單元60從光照射部10通過窗口材料21而對載置於載置面31的被處理面板2照射固定時間的光。將固定時間內被照射了光的被處理面板2從平台30卸下,且將光照射前的被處理面板2載置於平台30的載置面31。與所述工序同樣地照射光。
根據所述構成的實施方式的製造裝置1及液晶面板的製造方法,使液體在平台30內循環,以將被處理面板2的溫度保持為固定的溫度的方式進行控制,此外,將覆蓋收容被處理面板2的照射箱20的腔室40內的氣體保持為固定。而且,根據製造裝置1及液晶面板的製造方法,可將收容被處理面板2的照射箱20的內部與照射箱20的外部,即,腔室40的內部的溫度保持為大致相同且大致固定,且可抑制溫度從照射箱20向腔室40的散熱,因而可抑制照射箱20內的溫度的變化。因此,根據製造裝置1及液晶面板的製造方法,可抑制照射箱20內的被處理面板2的溫度的變化。而且,根據製造裝置1及液晶面板的製造方法,可利用平台30內的液體而將載置於載置面31的被處理面板2的溫度保持為固定。因此,根據製造裝置1及液晶面板的製造方法,可抑制照射箱20內的被處理面板2的溫度變化。
此外,根據製造裝置1及液晶面板的製造方法,窗口材料21使適合於液晶層5呈現高分子穩定化藍相的波長的光透過,且限制其他光的透過,因而對被處理面板2僅照射對於呈現高分子穩定化藍相而言為最低限度且必需的光。因此,根據製造裝置1及液晶面板的製造方法,即便從光照射部10對載置於載置面31的被處理面板2照射光,也可抑制對被處理面板2照射不需要的光。尤其可抑制對被處理面板2照射會帶來溫度變化的紅外線等所不需要的光。由此,可抑制載置於載置面31的被處理面板2的溫度上升。因此,根據製造裝置1及液晶面板的製造方法,可更確實地抑制照射箱20內的被處理面板2的溫度變化。
而且,根據製造裝置1及液晶面板的製造方法,對覆蓋照射箱20的腔室40內導入氣體。為此,可將腔室40內的氣體的溫度與照射箱20內的溫度保持為大致相同。因此,根據製造裝置1及液晶面板的製造方法,可抑制被處理面板2的溫度的不均勻。
而且,根據製造裝置1及液晶面板的製造方法,對覆蓋照射箱20的腔室40內導入固定溫度的氣體。因此,根據製造裝置1及液晶面板的製造方法,即便被照射光時被處理面板2的溫度與例如為50℃或60℃等的製造裝置1的外部氣體的溫度之間的差大,也可抑制設置於照射箱20內的被處理面板2因與製造裝置1外部的溫度差而散熱所引起的被處理面板2的溫度變化。
因此,根據製造裝置1及液晶面板的製造方法,可抑制載置於載置面31的被處理面板2的溫度不均勻,且可抑制被處理
面板2的溫度的變化。
而且,根據製造裝置1,以彩色濾光片基板3與載置面31接觸的方式,將被處理面板2載置於平台30上,從而光照射部10朝向對向基板4照射光。而且,根據製造裝置1,液晶層5包含呈現高分子穩定化藍相的液晶組成物。此外,光照射部10包括棒狀燈11,該棒狀燈11以300nm~400nm為主波長且波長為365nm的光的照度為15mW/cm2以下。而且,以對被處理面板2照射光時的被處理面板2的溫度相對於10℃~70℃間的設定溫度為±0.5℃以內的方式,對平台30的液體及導入至照射箱20內的氣體進行控制。因此,根據製造裝置1,使光作用於液晶層5,而可使其確實地呈現高分子穩定化藍相。
而且,根據製造裝置1,因將導入口51設置於腔室40的下部,將排出口52設置於腔室40的上部,所以從腔室40的下部導入氣體,因而氣體不易直接接觸照射箱20,從而可抑制照射箱20內的氣體的溫度變化。因此,根據製造裝置1,可進一步抑制照射箱20內的氣體的溫度變化。
然後,對所述實施方式的製造裝置1及液晶面板的製造方法的效果進行確認。將結果表示於表1。表1是表示比較例及本發明品1、本發明品2的溫度變化的結果的圖。
另外,在表1所示的情況下,測定從光照射部10對載置於載置面31的被處理面板2照射光時被處理面板2的圖6所示的測定部位A~測定部位I的溫度變化。
另外,測定部位A~測定部位I表示設置於圖6所示的部位的溫度傳感器的檢測結果。圖6是表示比較例與本發明品1、本發明品2的溫度變化的測定部位的平面圖。顯示A~I的檢測結果的溫度傳感器如圖6所示,在俯視製造裝置1時,設置於被處理面板2即載置面31上。A表示設置於偏靠導入口51的一角部的溫度傳感器的檢測結果,B表示設置於偏靠導入口51的棒狀燈11的一端部的正下方的溫度傳感器的檢測結果,C表示設置於偏靠導入口51的另一角部的溫度傳感器的檢測結果。D表示設置於載置面31的長邊方向的中央部的寬度方向的一端部的溫度傳感器的檢測結果,E表示設置於載置面31的長邊方向的中央部且棒狀燈11的中央部的正下方的溫度傳感器的檢測結果,F表示設置於載置面31的長邊方向的中央部的寬度方向的另一端部的溫度傳感器的檢測結果。G表示設置於偏靠排出口52的一角部的溫度傳感器的檢測結果,H表示設置於偏靠排出口52的棒狀燈11的另一端部的正下方的溫度傳感器的檢測結果,I表示設置於偏靠排出口52的另一角部的溫度傳感器的檢測結果。
表1的本發明品1將平台30的設定溫度設為55℃,將利用循環型空冷裝置50而在腔室40內循環的氣體的溫度設為55℃。表1的本發明品2將平台30的設定溫度設為60℃,將利用循環型空冷裝置50而在腔室40內循環的氣體的溫度設為60℃。而且,表1的比較例將平台30的設定溫度設為60℃,並停止由循環型空冷裝置50進行的氣體的循環。而且,進行測定時,對測定
開始直至1200秒後的測定部位A~測定部位I各自的溫度變化進行測定。表1的○表示可將被處理面板2保持為固定的溫度以穩定地呈現高分子穩定化藍相,×表示無法將被處理面板2保持為固定的溫度以穩定地呈現高分子穩定化藍相。
根據表1的比較例,即便僅使用平台30,測定部位A、測定部位G及測定部位I的溫度有時也會低於59.5℃,且有時測定部位E及測定部位H的溫度會超過60.5℃,所述平台30以將載置於載置面31的被處理面板2保持為固定的溫度的方式而受到控制。而且,比較例中,測定部位A、測定部位G及測定部位I的最低溫度為59.0℃,測定部位E及測定部位H的最高溫度為60.8℃。因此,根據比較例可知,如果被照射光,則載置面31上的被處理面板2的溫度上升,且未使腔室40內的氣體進行循環因而產生溫度不均。由此,根據比較例可知,無法抑制被處理面板2的溫度的不均勻、並且無法抑制被處理面板2的溫度的變化以穩定地呈現高分子穩定化藍相。
根據表1的本發明品1、本發明品2,通過使用平台30
與循環型空冷裝置50,而所有測定部位A~測定部位I的溫度均處於54.5℃~55.5℃或59.5℃~60.5℃的範圍,所述平台30以將載置於載置面31的被處理面板2保持為固定的溫度的方式而受到控制。因此,根據本發明品1、本發明品2,可抑制被處理面板2的溫度的不均勻、且可抑制被處理面板2的溫度的變化,以穩定地呈現高分子穩定化藍相。
圖7是表示實施方式的變形例的液晶面板的製造裝置的概要的構成的剖面圖,對與所述實施方式相同的部分附上相同的符號並省略說明。本發明中,如圖7所示,也可為在腔室40的長邊方向的另一端部的上部開設導入口51,在腔室40的一端部的下部開設排出口52。圖7所示的變形例中,因從腔室40的上部導入氣體,故氣體直接與照射箱20接觸,從而可使照射箱20內的氣體的溫度更快地達到所需的條件。
圖8是表示實施方式的另一變形例的液晶面板的製造裝置的概要的構成的剖面圖,對與所述實施方式相同的部分附上相同的符號並省略說明。如圖8所示,也可為在腔室40的下部開設多個導入口51,在腔室40的上部開設多個排出口52。圖8所示的變形例中,因從多個導入口51將氣體導入至腔室40,所以能夠使照射箱20內的氣體的溫度更快地達到所需的條件。
已對本發明的幾個實施方式進行了說明,但這些實施方
式是作為示例而提示,並不意圖限定發明的範圍。這些實施方式可由其他各種形態來實施,在不脫離發明的主旨的範圍內,可進行各種省略、置換、變更。這些實施方式包含在發明的範圍或主旨內,且同樣地包含在申請專利範圍所記載的發明及其均等的範圍內。
1‧‧‧液晶面板的製造裝置
10‧‧‧光照射部
11‧‧‧棒狀燈(光源)
20‧‧‧照射箱
21‧‧‧窗口材料
30‧‧‧平台
31‧‧‧載置面
32‧‧‧流體保溫循環單元
40‧‧‧腔室
50‧‧‧循環型空冷裝置
51‧‧‧導入口
52‧‧‧排出口
53‧‧‧送風管
60‧‧‧控制單元
Claims (7)
- 一種液晶面板的製造裝置,其特徵在於,包括:光照射部,射出光;照射箱,具有透過來自所述光照射部的光的窗口材料;平台,具有載置面,所述載置面以面對所述窗口材料的方式而設置且載置被處理面板,在所述平台的內部使液體流通,所述液體對所述載置面的被照射所述光的區域進行溫度控制;腔室,覆蓋所述照射箱與所述平台;以及循環型空冷裝置,包括設置於所述腔室的導入口與排出口,將從所述導入口導入的氣體從所述排出口排出,並對所述腔室內的溫度進行控制,而將所述照射箱內的溫度保持為固定的溫度。
- 如申請專利範圍第1項所述的液晶面板的製造裝置,其中所述窗口材料具備如下功能,即,對預先規定的波長的紫外線或紅外線的透過進行控制,或者抑制預先規定的波長的紫外線及紅外線雙方的透過。
- 如申請專利範圍第1項或第2項所述的液晶面板的製造裝置,其中所述被處理面板包括:彩色濾光片基板,與所述彩色濾光片基板對向的對向基板,以及設置於所述彩色濾光片基板與所述對向基板之間的液晶層,所述被處理面板以所述彩色濾光片基板側與所述載置面接觸 的方式而配置於所述平台,所述光照射部從所述對向基板的一側對所述被處理面板照射所述光。
- 如申請專利範圍第3項所述的液晶面板的製造裝置,其中所述液晶層至少包含向列液晶組成物、呈現藍相的液晶組成物及聚合性單體,利用所述光的照射而呈現高分子穩定化藍相。
- 如申請專利範圍第1項或第2項所述的液晶面板的製造裝置,其中所述光照射部包括光源,所述光源以300nm~400nm為主波長,且所述載置面上的波長為365nm的光的照度為15mW/cm2以下。
- 如申請專利範圍第1項或第2項所述的液晶面板的製造裝置,其中以如下方式對所述平台及所述循環型空冷裝置進行控制,即,對所述被處理面板照射所述光時的所述被處理面板的溫度相對於10℃~70℃間的設定溫度而為±0.5℃以內。
- 一種液晶面板的製造方法,其特徵在於,使用液晶面板的製造裝置,所述液晶面板的製造裝置包括:光照射部,射出光;照射箱,具有透過來自所述光照射部的光的窗口材料;平台,具有載置面,所述載置面以面對所述窗口材料的方式而設置且載置被處理面板,在所述平台的內部使液體流通,所述液體對所述載置面的被照射所述光的區域進行溫度控制;腔室,覆蓋所述照射箱與所述平台;以及循環型空冷裝置,包括設置於所述腔室的導入口與排出口, 將從所述導入口導入的氣體從所述排出口排出,並對所述腔室內的溫度進行控制,而將所述照射箱內的溫度保持為固定的溫度;且所述液晶面板的製造方法包括下述步驟:在所述平台的所述載置面載置所述被處理面板;一邊使所述液體於所述平台內流通,並且將所述氣體從所述導入口導入至所述腔室內且從所述排出口排出並循環,一邊從所述光照射部通過所述窗口材料而對配置於所述載置面的所述被處理面板照射光。
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