JP2019164309A - 液晶パネルの製造装置 - Google Patents

Abstract

【課題】液晶パネルを効率よく製造することができる液晶パネルの製造装置を提供すること。【解決手段】実施形態に係る液晶パネルの製造装置は、ＬＥＤ光源と、ステージ部とを具備する。ＬＥＤ光源は、光反応物質を含有する液晶体を封入した被処理基板に対して紫外線を照射する。ステージ部は、被処理基板に対して電圧を印加する電圧印加部を有し、被処理基板が載置される。【選択図】図６

Description

本発明の実施形態は、液晶パネルの製造装置に関する。

近年、光反応性物質を含有する液晶体を封入した被処理基板に対して電圧を印加することで、液晶体に含まれるモノマーの配向状態を制御する液晶パネルの製造装置がある(例えば、特許文献１参照)。

特開２０１１‐１４６３６３号公報

ところで、近年の液晶パネルの需要の増加に伴い、液晶パネルの製造の効率化が求められる。

本発明が解決しようとする課題は、液晶パネルを効率よく製造することができる液晶パネルの製造装置を提供することを目的とする。

実施形態に係る液晶パネルの製造装置は、ＬＥＤ光源と、ステージ部とを具備する。前記ＬＥＤ光源は、光反応物質を含有する液晶体を封入した被処理基板に対して紫外線を照射する。前記ステージ部は、前記被処理基板に対して電圧を印加する電圧印加部を有し、前記被処理基板が載置される。

本発明によれば、液晶パネルを効率よく製造することができる。

図１は、実施形態に係る液晶パネルの製造装置の概略図である。 図２は、実施形態に係る被処理基板の断面模式図である。 図３は、実施形態に係る液晶パネルの製造装置の構成例を示すブロック図である。 図４は、実施形態に係るステージ部の上面図である。 図５は、実施形態に係るステージ部の側面図である。 図６は、実施形態に係る液晶パネルの製造装置のシーケンス図である。

以下で説明する実施形態に係る液晶パネルの製造装置１は、ＬＥＤ光源２１と、ステージ部３０とを具備する。ＬＥＤ光源２１は、光反応物質を含有する液晶体６ｂを封入した被処理基板６に対して紫外線を照射する。ステージ部３０は、被処理基板６に対して電圧を印加する電圧印加部３１を有し、被処理基板６が載置される。

また、以下で説明する液晶パネルの製造装置１は、紫外線センサ３２と、フィードバック制御部１１とを具備する。紫外線センサ３２は、ＬＥＤ光源２１から放射される紫外線量を計測する。フィードバック制御部１１は、紫外線センサ３２の計測結果に基づいてＬＥＤ光源２１をフィードバック制御する。

また、以下で説明する液晶パネルの製造装置１は、搬送ロボット３４(基板搬送部の一例)と、点灯制御部１２とを具備する。搬送ロボット３４は、被処理基板６をステージ部３０へ搬送する。点灯制御部１２は、搬送ロボット３４によってステージ部３０へ被処理基板６の搬入時にＬＥＤ光源２１を点灯させ、ステージ部３０から被処理基板６の搬出時にＬＥＤ光源２１を消灯させる。

また、以下で説明する点灯制御部１２は、電圧印加部３１によって被処理基板６に対する電圧の印加後に、ＬＥＤ光源２１を点灯させる。

また、以下で説明するステージ部３０は、第１ステージ部３０−１と、第２ステージ部３０−２とを有し、第１ステージ部３０−１から第２ステージ部３０−２へＬＥＤ光源を移動させる光源移動部２２を具備し、第２ステージ部３０−２の電圧印加部３１−２は、第１ステージ部３０−１に載置された被処理基板６へＬＥＤ光源２１が紫外線を照射している期間に、第２ステージ部３０−２に載置された被処理基板６に対して電圧の印加を開始し、光源移動部２２は、第１ステージ部３０−１においてＬＥＤ光源２１が紫外線の照射を終えた後に、第２ステージ部３０−２へＬＥＤ光源２１を移動させる。

また、以下で説明する液晶パネルの製造装置１は、冷却部２３と、調整部４０とを具備する。冷却部２３は、ＬＥＤ光源２１を冷却する。調整部４０は、ステージ部３０の温度を調整する。

また、以下で説明する液晶パネルの製造装置１は、ＬＥＤ光源２１と、ステージ部３０と、光源移動部２２とを具備する。ＬＥＤ光源２１は、光反応物質を含有する液晶体６ｂを封入した被処理基板６に対して紫外線を照射する。被処理基板６に対して電圧を印加する電圧印加部３１−１、３１−２を有するとともに、被処理基板６がそれぞれ載置される第１ステージ部３０−１と、第２ステージ部３０−２とを有する。光源移動部２２は、ＬＥＤ光源２１を第１ステージ部３０−１から第２ステージ部３０−２へ移動させる。第２ステージ部３０−２の電圧印加部３１−２は、第１ステージ部３０−１で被処理基板６へＬＥＤ光源２１が紫外線を照射している期間に、第２ステージ部３０−２に載置された被処理基板６に対して電圧の印加を開始し、光源移動部２２は、第１ステージ部３０−１においてＬＥＤ光源２１による紫外線の照射を終えた後に、第２ステージ部３０−２へＬＥＤ光源２１を移動させる。

以下に、本発明に係る実施形態を図面に基づき説明する。各図においてリード線等による配線接続関係は省略して示している場合がある。なお、以下に示す実施形態は、本発明が開示する技術を限定するものではない。また、実施形態において同一の部位には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。

（実施形態）
まず、図１を用いて実施形態に係る液晶パネルの製造装置１の概要について説明する。図１は、液晶パネルの製造装置１の概略図である。本実施形態に係る液晶パネルの製造装置１は、被処理基板６に対して電圧を印加することで、液晶体６ｂ(図２参照)の配向状態を制御するＰＳＡ(Polymer Sustained Alignment)技術を用いて液晶パネルを製造するものである。

また、実施形態に係る液晶パネルの製造装置１では、第１ステージ部３０−１と、第２ステージ部３０−２とを有するが、第１ステージ部３０−１と、第２ステージ部３０−２とを区別する必要がない場合、第１ステージ部３０−１と第２ステージ部３０−２とを総称してステージ部３０と記載する。なお、このことは、各ステージ部３０の各構成についても同様である。

図１に示すように、実施形態に係る液晶パネルの製造装置１は、制御コントローラ１０と、光源部２０と、ステージ部３０と、調整部４０と、遮光壁５０とを備える。

制御コントローラ１０は、液晶パネルの製造装置１の全体を制御するコントローラである。なお、制御コントローラ１０の詳細については、図３を用いて後述する。光源部２０は、ＬＥＤ光源２１と、光源移動部２２と、冷却部２３とを備える。

ＬＥＤ光源２１は、ステージ部３０に載置された被処理基板６に対して紫外線を照射する。ＬＥＤ光源２１は、被処理基板６の液晶体６ｂに含まれる光反応物質のモノマーの吸収波長である３００ｎｍ〜３６０ｎｍにピーク波長を有するＬＥＤが用いられる。これにより、光反応を選択的に発生させることが可能となる。

また、ＬＥＤ光源２１は、メタルハライドランプに比べて分光分布が少ない。すなわち、ＬＥＤ光源２１は、メタルハライドランプに比べて紫外線を選択的に照射することが可能である。したがって、液晶パネルの製造装置１では、ＬＥＤ光源２１を用いることで効率よく液晶パネルを製造することができる。また、液晶パネルの製造装置１は、光源をＬＥＤ光源２１とすることで、光源がメタルハライドランプである場合に必要であったＵＶカットフィルタ等の部材を削減することが可能となる。

光源移動部２２は、第１ステージ部３０−１および第２ステージ部３０−２間で光源部２０を移動させる。すなわち、実施形態に係る液晶パネルの製造装置１では、複数のステージ部３０でＬＥＤ光源２１を共有して用いる。これにより、ＬＥＤ光源２１をステージ部３０毎に設ける場合に比べて液晶パネルの製造装置１のコストを削減することができる。

冷却部２３は、ＬＥＤ光源２１を冷却する機能を有し、例えば、アルミニウムで構成される。冷却部２３の内部には、水冷により内部温度が常に一定になるように保たれる。これにより、ＬＥＤ光源２１を常に一定の温度に保つことが可能となる。

ステージ部３０は、被処理基板６に対して電圧を印加する電圧印加部３１を有し、被処理基板６が載置される。例えば、ステージ部３０は、放熱性の高いアルミニウムで構成される。また、ステージ部３０は、電圧印加部３１が印加した電圧を除電するため、アルミニウムの表面にはフッ素コーティングが施される。

ステージ部３０の内部には、調整部４０によって温度が調整された水または温水が流れる。このため、ステージ部３０は、被処理基板６の表面温度を一定の温度に保つことが可能となる。

遮光壁５０は、第１ステージ部３０−１と、第２ステージ部３０−２とを遮光する壁である。上述のように、光源部２０は、第１ステージ部３０−１および第２ステージ部３０−２間で移動する。このため、遮光壁５０は、第１ステージ部３０−１でＬＥＤ光源２１から出射された紫外線が第２ステージ部３０−２へ行かないように遮断する役割を担う。

次に、図２を用いて被処理基板６について説明する。図２は、実施形態に係る被処理基板６の断面模式図である。図２に示すように、被処理基板６は、ＴＦＴ(Tin Film Transistor)基板６ａと、液晶体６ｂと、カラーフィルタ基板６ｃとを有する。

ＴＦＴ基板６ａは、複数の電極がアレイ状に配置された基板である。液晶体６ｂは、モノマーを含む。液晶体６ｂは、液晶パネルの製造装置１によって紫外線が照射されることで、上記モノマーの光反応が進行する。カラーフィルタ基板６ｃは、例えば、赤色、緑色、青色の光を透過するカラーフィルタが基板上に配置され、保護膜でカラーフィルタが覆われて形成されている。

本実施形態において、カラーフィルタ基板６ｃがステージ部３０に載置され、ＴＦＴ基板６ａ側から液晶体６ｂに紫外線が照射される。なお、ＴＦＴ基板６ａがステージ部３０に載置され、カラーフィルタ基板６ｃ側から紫外線が照射されることにしてもよい。

次に、図３を用いて実施形態に係る液晶パネルの製造装置１の構成について説明する。図３は、実施形態に係る液晶パネルの製造装置１の構成例を示すブロック図である。図３に示すように、液晶パネルの製造装置１は、制御コントローラ１０と、光源部２０と、第１ステージ部３０−１と、第２ステージ部３０−２とを具備する。なお、以下では、第１ステージ部３０−１の構成と第２ステージ部３０−２の構成が同一であるので、第１ステージ部３０−１について内部構成を示し、第２ステージ部３０−２については内部構成の説明を省略する。

上述のように、制御コントローラ１０は、液晶パネルの製造装置１の各部を制御するコントローラである。制御コントローラ１０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＭＰＵ（Micro Processing Unit）等のプロセッサであってもよいし、ＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）等の集積回路であってもよい。

また、制御コントローラ１０は、１つの素子で構成されていてもよいし、複数の素子で構成されていてもよい。制御コントローラ１０が複数の素子で構成される場合、これら複数の素子は、液晶パネルの製造装置１内の離れた場所に配置されていてもよい。例えば、複数の素子が別々の基板に実装されていてもよい。

また、制御コントローラ１０は、フィードバック制御部１１と、点灯制御部１２と、動作制御部１３とを備える。フィードバック制御部１１は、各ステージ部３０の紫外線センサ３２によって計測されるＬＥＤ光源２１から放射される紫外線量に基づいてＬＥＤ光源２１をフィードバック制御する。

すなわち、フィードバック制御部１１は、ＬＥＤ光源２１から照射される紫外線の強度や波長分布が所定の範囲内に収まるように、ＬＥＤ光源２１をフィードバック制御する。これにより、液晶体６ｂに対して適切に光反応を促すことが可能となる。

点灯制御部１２は、ＬＥＤ光源２１の点灯および消灯を制御する。点灯制御部１２は、搬送ロボット３４によってステージ部３０に被処理基板６の搬入時に、ＬＥＤ光源２１を点灯させ、各ステージ部３０から被処理基板６の搬出時にＬＥＤ光源２１を消灯させる。

ここで、搬入時とは、ステージ部３０内へ被処理基板６の搬入が開始されてから搬入の完了後までの期間を指す。すなわち、点灯制御部１２は、被処理基板６の搬入開始から搬入完了後のいずれかのタイミングでＬＥＤ光源２１を点灯させることとなる。

また、搬出時とは、ステージ部３０から被処理基板６の搬出の開始前から搬出の完了後までの期間を指す。すなわち、点灯制御部１２は、被処理基板６の搬出開始前から搬出完了するまでのいずれかのタイミングでＬＥＤ光源２１を消灯させることとなる。

例えば、点灯制御部１２は、被処理基板６の搬入が完了した後に、ＬＥＤ光源２１を点灯させ、その後、搬出が開始する前にＬＥＤ光源２１を消灯させる場合、すなわち、被処理基板６がステージ部３０に載置されている状態でのみＬＥＤ光源２１を点灯させる場合、被処理基板６に対して均一に紫外線を照射することが可能となる。

また、点灯制御部１２は、被処理基板６の搬入中にＬＥＤ光源２１を点灯させ、搬出中にＬＥＤ光源２１を消灯させることも可能である。かかる場合に、被処理基板６の搬送および搬出と並行して、被処理基板６に対して紫外線を照射することができるので、液晶パネルの製造工程における時間効率を高めることが可能である。

また、点灯制御部１２は、被処理基板６をステージ部３０に搬送完了した後に、さらに、電圧印加部３１による電圧の印加後に、ＬＥＤ光源２１を点灯させる。言い換えれば、点灯制御部１２は、液晶体６ｂの配向状態が制御された状態で、被処理基板６に対して紫外線を照射させる。

ここで、電圧の印加後とは、被処理基板６に対する電圧の印加が開始された後の任意のタイミングを示す。言い換えれば、点灯制御部１２は、液晶体６ｂの配向状態が制御された状態であれば、任意のタイミングでＬＥＤ光源２１から被処理基板６に対して紫外線を照射させることが可能である。かかる場合に、点灯制御部１２は、被処理基板６に対する紫外線の照射と、電圧の印加とを並列して進行させることも可能である。

動作制御部１３は、液晶パネルを製造するための各シーケンスを制御する。なお、動作制御部１３による処理の具体例については、図６を用いて後述する。

第１ステージ部３０−１は、電圧印加部３１−１、紫外線センサ３２−２、リフト部３３−１、搬送ロボット３４−１、ブロワー３５−１、シャッター３６−１、調節部３７−１を具備する。

電圧印加部３１−１は、第１ステージ部３０−１に載置された被処理基板６に対して電圧を印加する。これにより、被処理基板６の液晶体６ｂの配向状態を制御することが可能となる。

紫外線センサ３２−１は、第１ステージ部３０−１に設置された照度センサであり、ＬＥＤ光源２１から放射される紫外線量を計測し、計測結果を制御コントローラ１０へ出力する。かかる計測結果に基づいてＬＥＤ光源２１がフィードバック制御されることとなる。なお、紫外線センサ３２−１を光源部２０に設けることにしてもよい。

リフト部３３−１は、搬送ロボット３４−１によって第１ステージ部３０−１へ搬送される被処理基板６を受け取り、かかる被処理基板６を第１ステージ部３０−１上に載置させるリフトである。また、リフト部３３−１は、被処理基板６を第１ステージ部３０−１からリフトアップし、被処理基板６を搬送ロボット３４−１へ受け渡す。搬送ロボット３４−１は、被処理基板６の搬入および搬出を行う。

ブロワー３５−１は、第１ステージ部３０−１内部から被処理基板６に対して送風および吸引を行う。なお、ブロワー３５−１の動作タイミングについては、後述する。

シャッター３６−１は、被処理基板６の出入口の開閉を行う電動式のシャッターである。調節部３７−１は、被処理基板６を第１ステージ部３０−１上で位置合わせを行うポールである。なお、シャッター３６−１や調節部３７−１については、図４および図５を用いて後述する。

次に、図４および図５を用いてステージ部３０の構成について説明する。図４は、実施形態に係るステージ部３０の上面図である。図５は、実施形態に係るステージ部３０の側面図である。

図４に示すシャッター３６は、例えば、ステージ部３０の被処理基板６の出入口に設けられ、シャッター３６が開くと、被処理基板６が、ステージ部３０の外部から搬送ロボット３４(不図示)によってステージ部３０から搬入される。

また、図４に示すように、調節部３７は、被処理基板６の４隅に配置されたポールであり、被処理基板６の位置を調節する。具体的には、図５に示すように、例えば、リフト部３３によって被処理基板６がステージ部３０に載置された後に、調節部３７がステージ部３０に内部から突出する。このとき、被処理基板６の載置位置にズレがあると、調節部３７と被処理基板６とが当接し、被処理基板６の位置が適切な位置へ調節される。

これにより、毎回、ステージ部３０上の決まった位置に被処理基板６を載置することが可能となる。また、被処理基板６をステージ部３０から搬出する場合、リフト部３３がステージ部３０内部から突出し、被処理基板６を任意の高さに保持する。その後、上記のシャッター３６が開き、搬送ロボット３４が、リフト部３３によって保持された被処理基板６をステージ部３０から搬出する。

次に、図６を用いて実施形態に係る液晶パネルの製造装置１が実行する処理について説明する。図６は、実施形態に係る液晶パネルの製造装置１のシーケンス図である。

図６では、制御コントローラ１０の動作制御部１３によって指示される各シーケンスに対するタイミングチャートを示す。また、以下では、第１ステージ部３０−１のシーケンスと第２ステージ部３０−２のシーケンスとを異なるハッチングを施して示す。また、以下では、動作制御部１３によって動作制御される一連の処理について説明するが、図６では、これら一連の動作制御のうち、ＬＥＤ光源２１と、電圧印加部３１とに対する動作制御のみを図示して示す。

まず、第１ステージ部３０−１において、搬送ロボット３４−１が被処理基板６の搬送を行い、シャッター３６−１を閉じる。その後、リフト部３３−１によって被処理基板６が第１ステージ部３０−１上に載置され、ブロワー３５−１により被処理基板６に対して送風が行われるとともに、調節部３７−１が第１ステージ部３０−１から突出し、被処理基板６の位置合わせを行う。

このとき、ブロワー３５−１によって吸引を行う。これにより、被処理基板６が厚み方向に湾曲している場合であっても、被処理基板６全体を第１ステージ部３０−１に接触させることが可能となる。上述したように、第１ステージ部３０−１は、調整部４０−１によって光反応に最適な温度に保たれている。

したがって、被処理基板６全体を第１ステージ部３０−１に接触させることで、被処理基板６全体の温度を均一にすることが可能となる。これにより、被処理基板６全体でムラなく光反応を行うことが可能となる。

続いて、調節部３７−１が第１ステージ部３０−１内部に収容されると、図６（ａ）に示すように、電圧印加部３１−１によって被処理基板６に対して電圧の印加が開始される。これにより、液晶体６ｂ(図２参照)の配向状態を垂直配光型に制御することが可能となる。

そして、電圧印加部３１−１による電圧の印加が終了すると、ＬＥＤ光源２１によって配光状態が制御された被処理基板６に対して紫外線の照射が行われる。これにより、液晶体６ｂの光反応が進行する。

ここで、実施形態に係る液晶パネルの製造装置１では、第１ステージ部３０−１で紫外線が照射されている期間に、第２ステージ部３０−２では、上述した被処理基板６の搬入から電圧印加までの一連のシーケンスが実行される。

すなわち、第１ステージ部３０−１と第２ステージ部３０−２とで並列してシーケンスが実行され、第１ステージ部３０−１で紫外線が照射されている期間に第２ステージ部３０−２では、被処理基板６に対して電圧の印加が開始される。

その後、第１ステージ部３０−１において紫外線の照射が終わると、ＬＥＤ光源２１を消灯させ、ブロワー３５−１が被処理基板６に対して送風を行う。かかる送風は、被処理基板６を第１ステージ部３０−１から剥がすために行われる。すなわち、被処理基板６が十分に大きく、重量が有る場合、被処理基板６が第１ステージ部３０−１に粘着するおそれがある。かかる状態でリフト部３３−１が被処理基板６を持ちあげると、被処理基板６が厚み方向に湾曲する等の変形を招くおそれがある。このため、被処理基板６に対して一旦送風し、被処理基板６を第１ステージ部３０−１から離間させることで、上述の変形を防ぐことが可能となる。

ブロワー３５−１による送風が終わると、リフト部３３−１が被処理基板６を持ち上げるとともに、シャッター３６−１が開き、搬送ロボット３４−１が第１ステージ部３０−１から被処理基板６を搬出する。

そして、かかるタイミングで、光源移動部２２(図１参照)によってＬＥＤ光源２１が第１ステージ部３０−１から第２ステージ部３０−２へ移動される。このとき、第２ステージ部３０−２では、既に電圧印加まで完了した状態であり、第２ステージ部３０−２へ移動した後に、ＬＥＤ光源２１は、紫外線の照射を開始する。

このように、実施形態に係る液晶パネルの製造装置１では、第１ステージ部３０−１で紫外線を照射している期間に第２ステージ部３０−２の電圧印加部３１−２による電圧の印加が開始される。

したがって、光源部２０は、第１ステージ部３０−１で紫外線の照射を終えると、第２ステージ部３０−２に移動後、直ちに第２ステージ部３０−２で紫外線の照射を開始することが可能となる。

つまり、第１ステージ部３０−１で紫外線を照射する期間と、第２ステージ部３０−２で電圧を印加する期間とが重複する重複時間Ｔ１だけ、液晶パネルの製造時間を短縮することが可能となる。

また、第２ステージ部３０−２において紫外線を照射している期間に、第１ステージ部３０−１で被処理基板６に対して電圧の印加が開始される。すなわち、液晶パネルの製造装置１では、上述のシーケンスを繰り返し実行することとなる。

このように、実施形態に係る液晶パネルの製造装置１では、ＬＥＤ光源２１を複数のステージ部３０で共有し、一方のステージ部３０で紫外線を照射している期間に、他方のステージ部３０で被処理基板６に対して電圧の印加を開始する。

これにより、液晶パネルの製造時間を短縮することができるので、液晶パネルを効率よく製造することが可能となる。

ところで、上述したように、液晶パネルの製造装置１は、被処理基板６に対する電圧の印加と、紫外線の照射とを並列して行うことも可能である。

具体的には、図６（ｂ）に示すように、第１ステージ部３０−１において電圧印加部３１−１が被処理基板６に対し電圧を印加する期間と、ＬＥＤ光源２１が被処理基板６に対して紫外線を照射している期間とを一部重複させてシーケンスを実行することも可能である。

同様に、第２ステージ部３０−２において電圧印加部３１−２が被処理基板６に対し電圧を印加する期間と、ＬＥＤ光源２１が被処理基板６に対して紫外線を照射している期間とを一部重複させてシーケンスを実行することも可能である。

かかる場合に、図６（ｂ）に示す重複時間Ｔ２だけ、さらに液晶パネルの製造時間を短縮することができるので、より効率よく液晶パネルを製造することが可能となる。なお、図６（ｂ）では、被処理基板６に対して電圧を印加の印加を開始後、所定時間経過したのちに、紫外線の照射を開始する場合について示したが、電圧の印加と、紫外線の照射とを同時に開始することとしてもよい。

上述したように、実施形態に係る液晶パネルの製造装置１は、ＬＥＤ光源２１とステージ部３０とを具備する。ＬＥＤ光源２１は、光反応物質を含有する液晶体６ｂを封入した被処理基板６に対して紫外線を照射する。ステージ部３０は、被処理基板６に対して電圧を印加する電圧印加部３１を有し、被処理基板６が載置される。したがって、実施形態に係る液晶パネルの製造装置１によれば、液晶パネルを効率よく製造することができる。

ところで、上述した実施形態では、第１ステージ部３０−１において被処理基板６に対して紫外線を照射している期間に、第２ステージ部３０−２で被処理基板６に対する電圧の印加を開始する場合について説明したが、これに限定されるものではない。

すなわち、第１ステージ部３０−１で紫外線の照射を終えたときに、第２ステージ部３０−２で電圧の印加が終了されていれば、第２ステージ部３０−２で電圧の印加を開始するタイミングは任意に変更することが可能である。例えば、かかる場合に、第１ステージ部３０−１で電圧を印加している期間に第２ステージ部３０−２で電圧の印加を開始してもよい。また、第１ステージ部３０−１で紫外線の照射を終えたあと、ＬＥＤ光源２１を消灯してもよいし、ＬＥＤ光源２１を点灯させたままＬＥＤ光源２１を第２ステージ部３０−２に移動させることで第１ステージ部３０−１の紫外線の照射を終える構成としてもよい。

また、上述した実施形態では、ステージ部３０が第１ステージ部３０−１と、第２ステージ部３０−２との２つである場合について説明したが、ステージ部３０は、３つ以上のステージ部３０を具備することにしてもよい。

本発明の実施形態を説明したが、この実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。この実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。この実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。

１ 液晶パネルの製造装置
６ 被処理基板
６ａ ＴＦＴ基板
６ｂ 液晶体
６ｃ カラーフィルタ基板
１０ 制御コントローラ
１１ フィードバック制御部
１２ 点灯制御部
１３ 動作制御部
２０ 光源部
２１ ＬＥＤ光源
２２ 光源移動部
２３ 冷却部
３０ ステージ部
３０−１ 第１ステージ部
３０−２ 第２ステージ部
３１ 電圧印加部
３２ 紫外線センサ
３３ リフト部
３４ 搬送ロボット(基板搬送部の一例)
３５ ブロワー
３６ シャッター
３７ 調節部
４０ 調整部

Claims (7)

1. 光反応性物質を含有する液晶体を封入した被処理基板に対して紫外線を照射するＬＥＤ光源と；
   前記被処理基板に対して電圧を印加する電圧印加部を有し、前記被処理基板が載置されるステージ部と；
   を具備することを特徴とする液晶パネルの製造装置。
2. 前記ＬＥＤ光源から放射される紫外線量を計測する紫外線センサと；
   前記紫外線センサの計測結果に基づいて前記ＬＥＤ光源をフィードバック制御するフィードバック制御部と；
   を具備することを特徴とする請求項１に記載の液晶パネルの製造装置。
3. 前記被処理基板を前記ステージ部へ搬送する基板搬送部と；
   前記基板搬送部によって前記ステージ部へ前記被処理基板の搬入時に前記ＬＥＤ光源を点灯させ、前記ステージ部から前記被処理基板の搬出時に前記ＬＥＤ光源を消灯させる点灯制御部と；
   を具備することを特徴とする請求項１または２に記載の液晶パネルの製造装置。
4. 前記点灯制御部は、
   前記電圧印加部によって前記被処理基板に対する電圧の印加開始後に、前記ＬＥＤ光源を点灯させること
   を特徴とする請求項３に記載の液晶パネルの製造装置。
5. 前記ステージ部は、
   第１ステージ部と第２ステージ部とを有し、
   前記第１ステージ部から前記第２ステージ部へ前記ＬＥＤ光源を移動させる光源移動部；
   を具備し、
   前記第２ステージ部の前記電圧印加部は、
   前記第１ステージ部において前記被処理基板へ前記ＬＥＤ光源が紫外線を照射している期間に、前記第２ステージ部において前記被処理基板に対して前記電圧の印加を開始し、
   前記光源移動部は、
   前記第１ステージ部において前記ＬＥＤ光源が紫外線の照射を終えた後に、前記第２ステージ部へ前記ＬＥＤ光源を移動させること
   を特徴とする請求項１〜４のいずれか一つに記載の液晶パネルの製造装置。
6. 前記ＬＥＤ光源を冷却する冷却部と；
   前記ステージ部の温度を調整する調整部と；
   を具備すること
   を特徴とする請求項１〜５のいずれか一つに記載の液晶パネルの製造装置。
7. 光反応性物質を含有する液晶体を封入した被処理基板に対して紫外線を照射するＬＥＤ光源と；
   前記被処理基板に対して電圧を印加する電圧印加部を有するとともに、前記被処理基板がそれぞれ載置される第１ステージ部と第２ステージ部とを有するステージ部と；
   前記ＬＥＤ光源を前記第１ステージ部から前記第２ステージ部へ移動させる光源移動部と；
   を具備し、
   前記第２ステージ部の前記電圧印加部は、
   前記第１ステージ部で前記被処理基板へ前記ＬＥＤ光源が紫外線を照射している期間に、前記第２ステージ部に載置された前記被処理基板に対して前記電圧の印加を開始し、
   前記光源移動部は、
   前記第１ステージ部において前記ＬＥＤ光源による紫外線の照射を終えた後に、前記第２ステージ部へ前記ＬＥＤ光源を移動させること
   を特徴とする液晶パネルの製造装置。

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