JP2009181969A - 基板処置装置 - Google Patents
基板処置装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009181969A JP2009181969A JP2008016989A JP2008016989A JP2009181969A JP 2009181969 A JP2009181969 A JP 2009181969A JP 2008016989 A JP2008016989 A JP 2008016989A JP 2008016989 A JP2008016989 A JP 2008016989A JP 2009181969 A JP2009181969 A JP 2009181969A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tunnel
- heat treatment
- substrate
- type heat
- treatment chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
【解決手段】基板処理装置1はボックス状フレーム10の上面に、トンネル型加熱処理チャンバー11、トンネル型加熱処理チャンバー11の入口に接続されるの第1の処理室12、トンネル型加熱処理チャンバー11の出口に接続されるの第2の処理室13を配置し、更にトンネル型加熱処理チャンバー11の天井部に形成した凹所14に紫外線照射装置15を配置し、入口側の第1の処理室12とトンネル型加熱処理チャンバー11の間には両者を気密に隔離する扉17が取り付けられ、第1の処理室12の底面には真空ポンプにつながる配管18が接続され、また、出口側の第2の処理室13とトンネル型加熱処理チャンバー11の間には両者を気密に隔離する扉19が取り付けられ、第2の処理室13の底面には真空ポンプにつながる配管20が接続されている。
【選択図】図3
Description
このような第1および第2の処理室としては、例えば処理室内を減圧し、真空あるいはそれに近い状態にすることができる、いわゆる減圧チャンバーであっても良いし、処理室内にドライの不活性ガス(例えば窒素ガス)を供給する供給管を備え、処理室内をドライの不活性雰囲気下にすることができる機構を有する処理室であっても良く、特に限定されることはない。
Claims (3)
- レールに沿って移動可能とされたホットプレートが内部に配置されたトンネル型加熱処理チャンバーと、このトンネル型加熱処理チャンバーの入口に接続される第1の処理室と、前記トンネル型加熱処理チャンバーに形成した窓を介してトンネル型加熱処理チャンバー内をホットプレートとともに移動する基板に紫外線を照射する紫外線照射装置と、前記トンネル型加熱処理チャンバーの出口に接続される第2の処理室とを備え、前記第1および第2の処理室は、処理室内を脱酸素雰囲気にするための機構を備えていることを特徴とする基板処置装置。
- 請求項1に記載の基板処置装置において、前記トンネル型加熱処理チャンバーの天井面の一部は一段下がった凹部とされ、この凹部内に前記紫外線照射装置が配置されていることを特徴とする基板処置装置。
- 請求項1に記載の基板処置装置において、前記トンネル型加熱処理チャンバーの外側に基板の受渡しを行うロボットがトンネル型加熱処理チャンバーに沿って走行可能に配置され、また前記ロボットの走行エリアを挟んでトンネル型加熱処理チャンバーと反対側に基板をストックするカセットを配置したことを特徴とする基板処置装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008016989A JP5186224B2 (ja) | 2008-01-29 | 2008-01-29 | 基板処置装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008016989A JP5186224B2 (ja) | 2008-01-29 | 2008-01-29 | 基板処置装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009181969A true JP2009181969A (ja) | 2009-08-13 |
JP5186224B2 JP5186224B2 (ja) | 2013-04-17 |
Family
ID=41035745
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008016989A Active JP5186224B2 (ja) | 2008-01-29 | 2008-01-29 | 基板処置装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5186224B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101085191B1 (ko) | 2009-11-16 | 2011-11-18 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 및 방법 |
JP2016183991A (ja) * | 2015-03-25 | 2016-10-20 | 株式会社Screenホールディングス | 露光装置および基板処理装置 |
JP2016213438A (ja) * | 2015-04-30 | 2016-12-15 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法、基板処理装置及び基板処理システム |
JP2017034118A (ja) * | 2015-08-03 | 2017-02-09 | 東京応化工業株式会社 | 紫外線照射装置及び紫外線照射方法 |
KR20170018787A (ko) * | 2015-08-10 | 2017-02-20 | 도오꾜오까고오교 가부시끼가이샤 | 자외선 조사 장치, 레지스트 패턴 형성 장치, 자외선 조사 방법 및 레지스트 패턴 형성 방법 |
TWI671791B (zh) * | 2016-12-28 | 2019-09-11 | 日商斯庫林集團股份有限公司 | 基板處理裝置、基板處理系統以及基板處理方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6015927A (ja) * | 1983-07-08 | 1985-01-26 | Hitachi Tokyo Electronics Co Ltd | パタ−ン形成装置 |
JPS63255920A (ja) * | 1987-04-14 | 1988-10-24 | Toshiba Corp | レジスト硬化装置 |
JPH06104169A (ja) * | 1992-09-21 | 1994-04-15 | Fujitsu Ltd | 半導体製造装置 |
JP2000200822A (ja) * | 1998-10-30 | 2000-07-18 | Tokyo Electron Ltd | 処理システム |
JP2003318249A (ja) * | 2002-04-23 | 2003-11-07 | Tokyo Electron Ltd | アライナーの精度測定装置およびその方法 |
JP2007157882A (ja) * | 2005-12-02 | 2007-06-21 | Ushio Inc | レジスト硬化装置 |
-
2008
- 2008-01-29 JP JP2008016989A patent/JP5186224B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6015927A (ja) * | 1983-07-08 | 1985-01-26 | Hitachi Tokyo Electronics Co Ltd | パタ−ン形成装置 |
JPS63255920A (ja) * | 1987-04-14 | 1988-10-24 | Toshiba Corp | レジスト硬化装置 |
JPH06104169A (ja) * | 1992-09-21 | 1994-04-15 | Fujitsu Ltd | 半導体製造装置 |
JP2000200822A (ja) * | 1998-10-30 | 2000-07-18 | Tokyo Electron Ltd | 処理システム |
JP2003318249A (ja) * | 2002-04-23 | 2003-11-07 | Tokyo Electron Ltd | アライナーの精度測定装置およびその方法 |
JP2007157882A (ja) * | 2005-12-02 | 2007-06-21 | Ushio Inc | レジスト硬化装置 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101085191B1 (ko) | 2009-11-16 | 2011-11-18 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 및 방법 |
JP2016183991A (ja) * | 2015-03-25 | 2016-10-20 | 株式会社Screenホールディングス | 露光装置および基板処理装置 |
US10236200B2 (en) | 2015-03-25 | 2019-03-19 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Exposure device and substrate processing apparatus |
JP2016213438A (ja) * | 2015-04-30 | 2016-12-15 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法、基板処理装置及び基板処理システム |
JP2017034118A (ja) * | 2015-08-03 | 2017-02-09 | 東京応化工業株式会社 | 紫外線照射装置及び紫外線照射方法 |
KR20170018787A (ko) * | 2015-08-10 | 2017-02-20 | 도오꾜오까고오교 가부시끼가이샤 | 자외선 조사 장치, 레지스트 패턴 형성 장치, 자외선 조사 방법 및 레지스트 패턴 형성 방법 |
KR102540945B1 (ko) | 2015-08-10 | 2023-06-07 | 아이메카테크 가부시키가이샤 | 자외선 조사 장치, 레지스트 패턴 형성 장치, 자외선 조사 방법 및 레지스트 패턴 형성 방법 |
TWI671791B (zh) * | 2016-12-28 | 2019-09-11 | 日商斯庫林集團股份有限公司 | 基板處理裝置、基板處理系統以及基板處理方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5186224B2 (ja) | 2013-04-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4438008B2 (ja) | 基板処理装置 | |
KR101959108B1 (ko) | 성막 방법, 컴퓨터 기억 매체 및 성막 시스템 | |
TWI613702B (zh) | 基板處理裝置及基板處理方法 | |
JP5186224B2 (ja) | 基板処置装置 | |
TWI608871B (zh) | Substrate processing method, substrate processing apparatus, substrate processing system, and memory medium | |
JP4859660B2 (ja) | 基板処置装置 | |
KR20150016887A (ko) | 자외선 조사 장치 및 기판 처리 방법 | |
KR101996678B1 (ko) | 자외선 조사 장치 및 기판 처리 장치 | |
JP5503057B2 (ja) | 減圧乾燥装置及び減圧乾燥方法 | |
WO2008096835A1 (ja) | 基板処理方法及び塗布現像処理装置 | |
KR20160023562A (ko) | 소수화 처리 방법, 소수화 처리 장치 및 소수화 처리용 기록 매체 | |
JP2014027228A (ja) | 基板処理方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体及び基板処理システム | |
JP4342974B2 (ja) | 硬化処理装置及びその方法、並びに塗布膜形成装置 | |
JP2009076869A (ja) | 基板の処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | |
WO2018190273A1 (ja) | 露光装置、基板処理装置、基板の露光方法および基板処理方法 | |
JP5415881B2 (ja) | 疎水化処理装置、疎水化処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | |
KR100935401B1 (ko) | 자외선을 이용하는 기판세정장치 및 이의 구동방법 | |
WO2002058128A1 (fr) | Procede et dispositif pour le traitement d'un substrat | |
JP2019057640A (ja) | 露光装置、基板処理装置、露光方法および基板処理方法 | |
JP5025546B2 (ja) | 基板処理方法及び基板処理装置 | |
KR102214962B1 (ko) | 기판 처리 장치 | |
JP4015015B2 (ja) | 熱処理装置 | |
JP2009176862A (ja) | 基板処理装置 | |
JP3808710B2 (ja) | 基板の処理装置 | |
JP6320956B2 (ja) | 基板処理装置及び基板処理方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20101021 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20120725 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20120727 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121214 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121221 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130121 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5186224 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160125 Year of fee payment: 3 |