KR20170026150A

KR20170026150A - 액정패널의 제조장치

Info

Publication number: KR20170026150A
Application number: KR1020160105324A
Authority: KR
Inventors: 아츠시 후지오카; 다케오 가토; 아키히코 다우치; 고키 히노
Original assignee: 도시바 라이텍쿠 가부시키가이샤
Priority date: 2015-08-28
Filing date: 2016-08-19
Publication date: 2017-03-08
Also published as: CN106483687B; CN106483687A; TW201708509A; KR102586659B1; JP2017044967A; JP6488950B2

Abstract

본 발명의 액정패널의 제조장치에 따르면, 피처리 패널에 대한 자외선의 조사시간의 장대화를 억제한다.
실시형태의 액정패널의 제조장치는 피처리 패널에 자외선을 조사하는 조사부와, 피처리 패널이 배치되는 배치면을 갖고, 배치면의 온도를 조절하는 온도조절매체가 내부를 흐르는 스테이지와, 피처리 패널에 제1 조도로 자외선을 조사한 후, 제1 조도보다 큰 제2 조도로 피처리 패널에 자외선을 조사하도록 조사부를 제어하는 제어부를 구비한다.

Description

액정패널의 제조장치{APPARATUS FOR MANUFACTURING LIQUID CRYSTAL PANEL}

본 발명의 실시형태는 액정패널의 제조장치에 관한 것이다.

액정패널에서 사용되는 액정재료로서 광학적 등방성 액정층인 고분자 안정화 블루상(PSBP:Polymer Stabilized Blue Phase)은 전압을 가했을 때, 마그네틱상이라고 불리는 액정재료에 비하여 고속인 응답성을 실현 가능한 것이 알려져 있다. 이와 같은 고분자 안정화 블루상은 액정층을 갖는 피처리 패널에 대해서 자외선을 조사할 때, 피처리 패널의 온도와, 자외선의 조사시간을 적정하게 제어함으로써 생성된다.

일본 공개특허공보 제2007-277531호 일본 공개특허공보 제2008-303381호

도 8은 고분자 안정화 블루상의 발현에 대해서 설명하기 위한 상도(相圖)를 도시한 도면이다. 도 8에서 종축이 상(相)변화 온도(K)를 나타내고, 횡축이 자외선의 조사시간(초)을 나타낸다. 도 8에서 축선(L1)이 등방성 액체(Iso)와 블루상(BP)의 경계선을 나타내고, 곡선(L2)이 키랄네마틱상(N^*)과 블루상의 경계선을 나타내고 있다. 도 8에 도시한 바와 같이, 피처리 패널을 소정의 온도로 유지하면서, 자외선을 소정의 조사시간 만큼 조사함으로써, 등방성 액체 및 키랄네마틱상을 생성하지 않고, 고분자 안정화 블루상이 생성된다.

그리고, 고분자 안정화 블루상을 갖는 액정패널의 제조공정에서는, 자외선을 피처리 패널에 조사하는 조사공정에서 발생하는, 피처리 패널의 조사면의 면내 방향에서의 온도 불균일이나 피처리 패널의 온도의 경시변화가 액정패널의 표시특성에 불균일을 초래하는 영향이 크므로, 온도를 균일화하는 것이 바람직하다.

한편, 조사공정에서는 고분자 안정화 블루상을 갖는 액정패널의 생산성을 높이기 위해 피처리 패널에 자외선을 조사하는 조사시간을 단축하는 것이 바람직하다.

그래서, 본 발명은 피처리 패널에 대한 자외선의 조사시간의 장대화를 억제하는 액정패널의 제조장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

실시형태에 관한 액정패널의 제조장치는 피처리 패널에 자외선을 조사하는 조사부와, 피처리 패널이 배치되는 배치면을 갖고, 상기 배치면의 온도를 조절하는 온도매체가 내부를 흐르는 스테이지와, 상기 피처리 패널에 제1 조도로 자외선을 조사한 후, 상기 제1 조도보다 큰 제2 조도로 상기 피처리 패널에 자외선을 조사하도록 상기 조사부를 제어하는 제어부를 구비한다.

본 발명에 따르면, 피처리 패널에 대한 자외선 조사시간의 장대화(長大化)를 억제할 수 있다.

도 1은 제1 실시형태에 관한 액정패널의 제조장치를 도시한 모식도이다.
도 2는 제1 실시형태에 관한 액정패널의 제조장치를 사용하여 자외선이 조사되는 액정패널을 모식적으로 도시한 단면도이다.
도 3은 제1 실시형태에 관한 액정패널의 제조장치에서의 조도와 조사시간의 관계를 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 제1 실시형태에 있어서, 자외선의 조도에 대한 피처리 패널의 온도변화의 측정결과에 대해서 설명하기 위하 도면이다.
도 5는 제2 실시형태에 관한 액정패널의 제조장치를 도시한 모식도이다.
도 6은 제3 실시형태에 관한 액정패널의 제조장치를 도시한 모식도이다.
도 7은 제4 실시형태에 관한 액정패널의 제조장치를 도시한 모식도이다.
도 8은 고분자 안정화 블루상의 발현에 대해서 설명하기 위한 상도이다.

이하에서 설명하는 실시형태에 관한 액정패널의 제조장치(1)는 조사부(10)와, 스테이지(30)와, 제어부(60)를 구비한다. 조사부(10)는 피처리 패널(6)에 자외선을 조사한다. 스테이지(30)는 피처리 패널(6)이 배치되는 배치면(31)을 갖는다. 스테이지(30)는 배치면(31)의 온도를 조절하는 온도 매체가 내부를 흐른다. 제어부(60)는 피처리 패널(6)에 제1 조도로 자외선을 조사한 후, 제1 조도보다 큰 제2 조도로 피처리 패널(6)에 자외선을 조사하도록 조사부(10)를 제어한다.

또한, 이하에서 설명하는 실시형태에 관한 액정패널의 제조장치(1)에서 제2 조도의 조사시간은 제1 조도의 조사시간보다 길다.

또한, 이하에서 설명하는 실시형태에 관한 액정패널의 제조장치(1)에서 피처리 패널(6)은 제1 기판으로서의 컬러 필터 기판(7)과, 제2 기판으로서의 대향기판(8)과, 액정층(9)을 갖는다. 컬러 필터 기판(7)은 컬러 필터를 갖는다. 대향기판(8)은 컬러 필터 기판(7)에 대향한다. 액정층(9)은 컬러 필터 기판(7)과 대향 기판(8) 사이에 설치된다. 피처리 패널(6)은 컬러 필터 기판(7) 및 대향기판(8)의 일방측이 스테이지(30)상에 배치된다. 조사부(10)는 컬러 필터 기판(7) 및 대향기판(8)의 타방측으로부터 자외선을 액정층(9)에 조사한다.

또한, 이하에서 설명하는 실시형태에 관한 액정패널의 제조장치(1)에서의 피처리 패널(6)의 액정층(9)은 네마틱 액정조성물과, 블루상을 발현하는 액정조성물과, 중합성 모노머를 포함한다. 액정층(9)은 자외선을 조사함으로써 고분자 안정화 블루상을 발현한다.

또한, 이하에서 설명하는 실시형태에 관한 액정패널의 제조장치에서의 제어부(60)는 조사부(10)의 조사영역의 일부만을 점등시켜 제1 조도로 조사하고, 조사영역의 전체를 점등시켜 제2 조도로 조사하도록 제어한다.

또한, 이하에서 설명하는 실시형태에 관한 액정패널의 제조장치(2)에서의 조사부(82)는 제1 광원으로서의 제1 발광소자(87a)와, 제2 광원으로서의 제2 발광소자(87b)를 갖는다. 제1 발광소자(87a)는 제1 조도로 자외선을 조사한다. 제2 발광소자(87b)는 제2 조도로 자외선을 조사한다.

또한, 이하에서 설명하는 실시형태에 관한 액정패널의 제조장치(4)는 제1 광원으로서의 제1 LED모듈(89a) 및 제2 광원으로서의 제2 LED모듈(89b), 또는 피처리 패널(6)을 이동하는 이동기구(90)를 추가로 구비한다. 제어부(60)는 이동기구(90)를 제어함으로써, 피처리 패널(6)과, 제1 LED모듈(89a) 및 제2 LED모듈(89b)과의 상대위치를 전환한다.

또한, 이하에서 설명하는 실시형태에 관한 액정패널의 제조장치(3)에서의 조사부(83)는 LED모듈(88)을 갖는다. LED모듈(88)은 제1 조사영역(88a)과, 제2 조사영역(88b)을 갖는다. 제1 조사영역(88a)은 제1 조도로 자외선을 조사한다. 제2 조사영역(88b)은 제2 조도로 자외선을 조사한다. 액정패널의 제조장치(3)는 LED모듈(88) 또는 피처리 패널(6)을 이동하는 이동기구(90)를 더 구비한다. 제어부(60)는 이동기구(90)를 제어함으로써 피처리 패널(6)과, 제1 조사영역(88a) 및 제2 조사영역(88b)과의 상대위치를 전환한다.

(제1 실시형태)

이하, 실시형태에 관한 액정패널의 제조장치에 대해서, 도면을 참조하여 설명한다. 도 1은 제1 실시형태에 관한 액정패널의 제조장치를 도시한 모식도이다. 도 2는 제1 실시형태에 관한 액정패널의 제조장치를 사용하여 자외선이 조사되는 액정패널을 모식적으로 도시한 단면도이다.

(액정패널의 제조장치의 구성)

도 1에 도시한 바와 같이, 제1 실시형태의 액정패널의 제조장치(1)는 피처리 패널(6)을 일정한 온도로 유지하면서 피처리 패널(6)에 자외선을 조사함으로써, 액정패널의 액정층에 고분자 안정화 블루상을 발현시키는 것이다. 액정패널의 제조장치(1)를 사용하여 자외선이 조사되는 피처리 패널(6)은 도 2에 도시한 바와 같이, 제1 기판으로서의 컬러 필터 기판(7)과, 컬러 필터 기판(7)에 대향하는 제2 기판으로서의 대향기판(8)과, 컬러 필터 기판(7)과 대향 기판(8) 사이에 설치된 액정층(9)을 갖는다.

컬러 필터 기판(7)은 예를 들어 적색, 녹색, 청색의 광을 투과하는 컬러 필터가 기판상에 배치되고, 보호막으로 컬러 필터가 덮여 형성되어 있다. 대향 기판(8)은 복수의 전극이 어레이 형상으로 배치된 기판이다. 액정층(9)은 적어도 네마틱 액정조성물, 블루상을 발현하는 액정조성물, 및 중합성 모노머를 포함한다. 액정층(9)은 액정패널의 제조장치(1)에 의해 자외선이 조사됨으로써, 고분자 안정화 블루상을 발현한다.

액정층(9)을 구성하는 네마틱 액정조성물이라는 것은 유전이방성을 갖는 재료에 의해 형성되어 있다.

블루상을 발현하는 액정조성물이라는 것은 안정적으로 존재할 수 있는 온도범위를 예를 들어, 실온, 구체적으로는 0℃ 이상으로 확대하면서도, 자외선이 조사됨으로써, 네마틱 액정조성물보다 고속인 응답성을 실현 가능한 재료이다. 블루상을 발현하는 액정조성물이라는 것은 예를 들어 10℃~70℃ 사이의 소정의 설정온도에 대해서 온도가 ±0.5℃ 이내로 유지된 상태에서 자외선이 조사됨으로써, 불균일 없이 고분자 안정화 블루상을 발현하는 것이다. 예를 들어, 설정온도가 55℃인 경우에는 블루상을 발현하는 액정조성물이라는 것은, 온도가 54.5℃~55.5℃의 범위내로 유지된 상태에서 자외선이 조사됨으로써, 불균일없이 고분자 안정화 블루상을 발현하는 것이다. 또한, 설정온도가 60℃인 경우에는 블루상을 발현하는 액정조성물이라는 것은 온도가 59.5℃~60.5℃의 범위내로 유지된 상태에서, 자외선이 조사됨으로써 불균일 없이 고분자 안정화 블루상을 발현하는 것이다.

중합성 모노머라는 것은 네마틱 액정조성물이나 고분자 안정화 블루상을 발현하는 액정조성물의 조성을 안정화시키기 위한 재료이다.

액정패널의 제조장치(1)는 도 1에 도시한 바와 같이, 자외선을 조사하는 조사부(10), 조사박스(20), 스테이지(30), 채임버(40), 순환형 공조장치(50) 및 제어부(60)를 구비한다.

조사부(10)는 자외선을 조사박스(20) 내로 조사한다. 조사박스(20)에는 조사부(10)로부터 조사된 자외선을 투과하는 창재(21)가 설치되어 있다. 조사부(10)는 창재(21)와 대향하는 스테이지(30)의 배치면(31)상에 배치되는 피처리 패널(6)에 대해서 창재(21)를 통하여 자외선을 조사 가능하게 구성되어 있다. 또한, 조사부(10)는 광원으로서의 복수의 자외선 램프(11)와, 자외선 램프(11)가 조사하는 자외선을 스테이지(30)의 배치면(31)을 향하여 반사하는 반사판(12)을 구비한다.

자외선 램프(11)는 수은, 철이나 요오드 등의 메탈할라이드, 아르곤 등의 희가스가 봉입되고, 주로 자외선을 조사하는 메탈할라이드 램프 등의 직선형상으로 연장된 관형의 방전 램프이다. 자외선 램프(11)는 예를 들어 300㎚~400㎚ 정도를 주파장으로 하고, 또한 피크 파장이 365㎚인 자외선의 조도가 15mW/㎠ 이하이다. 또한, 「자외선의 조도」라는 것은 조도계로서 UV-M02(가부시키가이샤 오크세이사쿠쇼제)를 사용하고, 수광기로서 UV-SN35(가부시키가이샤 오크세이사쿠쇼제)를 사용한 측정값이다.

또한, 실시형태에서 말하는 「자외선」이라는 것은 450㎚ 이하의 파장의 광이고, 구체적으로는 발광관내에 봉입된 수은의 휘선인 254㎚, 365㎚의 광이지만, 그 밖의 파장의 광도 허용된다. 또한, 자외선 램프(11)는 450㎚ 이하의 광을 방사하는 자외선 램프에 한정되는 것은 아니고, 예를 들어 450㎚ 이하의 광을 방사할 뿐만 아니라, 450㎚ 보다 장파장측의 광을 방사하는 자외선 램프이어도 좋다. 요컨대, 450㎚ 이하의 광을 방사하는 자외선 램프이면, 그 발광양식은 한정되지 않는다.

본 실시형태에서는 4개의 자외선 램프(11)가 조사박스(20) 및 스테이지(30), 배치면(31) 상에 배치된 피처리 패널(6)의 상방에 배치되어 있다. 또한, 자외선 램프(11)는 자외선 램프(11)가 방사하는 자외선을 통과하는 수냉 재킷(도시하지 않음)에 의해 덮여 있다. 수냉 재킷은 내부에 냉각수가 충전되어 있고, 이 냉각수를 순환시킴으로써 자외선 램프(11)가 원하는 동작 온도로 유지되어 있다.

조사부(10)에는 자외선 램프(11)와 조사 박스(20) 사이에, 자외선을 차단하는 셔터(13)가 개폐 가능하게 설치되어 있다. 셔터(13)는 개폐 동작함으로써 자외선 램프(11)가 방사하는 자외선을 스테이지(30)의 배치면(31)상에 배치된 피처리 패널(6)에 조사하는 상태와, 자외선 램프(11)가 방사하는 자외선을 차단하여 피처리 패널(6)에 자외선이 조사되지 않는 상태로 전환한다.

조사 박스(20)는 상자 형상으로 형성되어 있고, 스테이지(30)의 배치면(31)에 배치되는 피처리 패널(6)을 내부에 수용하도록, 스테이지(30)상에 배치된다.

창재(21)는 소정 파장의 자외선의 투과를 제한하는 기능을 갖는다. 창재(21)는 액정층(9)이 고분자 안정화 블루상을 발현하기 위해 적합한 파장의 자외선을 투과시키고, 다른 파장의 자외선의 투과를 제한한다.

스테이지(30)는 피처리 패널(6)이 배치되는 배치면(31)을 갖고 있고, 내부에 일정 온도의 온도 조절 매체로서의 액체인 물을 순환시킴으로써, 배치면(31)에 배치된 피처리 패널(6)의 온도를 제어한다. 스테이지(30)는 배치면(31)에서의 자외선이 조사되는 영역을 온도 제어하기 위해, 내부에 일정 온도의 액체가 흐른다. 스테이지(30)에는 배치면(31)이 창재(21)와 대향하도록 설치되어 있고, 배치면(31)이 조사부(10)와 대향하고 있다. 또한, 배치면(31)에 배치되는 피처리 패널(6)을 보온하는 온도는 가능한 일정한 것이 바람직하고, 배치면(31)에 배치되는 피처리 패널(6)의 온도가 일정하게 유지되는 것이면, 스테이지(30)내를 순환시키는 온도조절매체의 온도가, 배치면(31)에 배치되는 피처리 패널(6)의 온도보다 약간 낮은 온도 또는 약간 높은 온도이어도 좋다. 또한, 온도조절매체로서는 물 등의 액체에 한정되는 것은 아니고, 여러가지 기체를 포함하는 유체를 순환시켜도 좋다.

스테이지(3) 상에는 컬러 필터 기판(7)측이 배치면(31)과 접촉되도록, 피처리 패널(6)이 배치된다. 이 때문에, 조사부(10)는 대향기판(8)측으로부터 피처리 패널(6)에 자외선을 조사한다. 또한, 피처리 패널(6)로 자외선을 조사하는 방향을 한정하는 것은 아니고, 필요에 따라서 컬러 필터 기판(7)측으로부터 자외선이 조사되어도 좋다.

스테이지(30)는 예를 들어 알루미늄 합금 등에 의해 평판형상으로 형성되어 있고, 피처리 패널(6)을 소정의 온도로 조절하기 위한 액체를 순환시키는 순환로(도시하지 않음)가 내부에 설치되어 있다. 스테이지(30)의 순환로에는 순환로 내에서 액체를 순환시키는 액체보온 순환장치(32)가 접속되어 있고, 액체보온 순환장치(32)에 의해 스테이지(30)를 통하여 피처리 패널(6)의 온도가 일정하게 유지된다. 액체보온 순환장치(32)는 예를 들어 순환로에 연결된 배관(33)(도 1 참조)이나, 액체를 일정한 온도로 유지하기 위한 히터 및 냉각장치나, 배관(33) 내의 액체를 송출하는 펌프 등을 구비하여 구성된다.

채임버(40)는 조사박스(20)와 스테이지(30)의 전체를 덮는 상자 형상으로 형성되어 있고, 상부에 조사부(10)가 배치되어 있다.

순환형 공조장치(50)는 도 1에 도시한 바와 같이, 채임버(40)의 측벽에 설치되어 있고, 채임버(40)내로 온도 조절용 기체를 도입하는 도입구(51)와, 채임버(40)내로부터 온도 조절용 기체를 도출하는 배출구(52)를 갖는다. 도입구(51) 및 배출구(52)는 채임버(40)의 측벽에 개구하고 있고, 조사박스(20)의 상방에 배치되어 있다. 순환형 공조장치(50)는 도입구(51) 및 배출구(52)를 통하여 채임버(40)의 내부에 대하여 온도 조절용 기체를 순환시킴으로써, 채임버(40) 내를 소정의 온도로 제어한다. 이와 같이 채임버(40)내의 온도를 제어함으로써, 순환형 공조장치(50)는 조사박스(20)내의 피처리 패널(6)의 온도를 일정한 온도로 유지한다.

또한, 순환형 공조장치(50)는 도입구(51) 및 배출구(52)에 각각 연결된 송풍관(53)과, 기체를 일정한 온도로 유지하기 위한 히터 및 냉각장치나, 송풍관(53) 내의 기체를 송출하는 송풍기 등을 구비하고 있고, 도입구(51), 채임버(40) 내, 배출구(52)의 순으로 기체를 순환시킨다.

또한, 도입구(51), 채임버(40) 내, 배출구(52) 순으로 순환시키는 기체의 온도와, 배치면(31)에 배치되는 피처리 패널(6)을 유지하는 온도는, 가능한 동등하게 하는 것이 바람직하다. 또한, 배치면(31)에 배치되는 피처리 패널(6)이 일정한 온도로 유지되는 것이면, 순환시키는 기체의 온도가, 배치면(31)에 배치되는 피처리 패널(6)의 온도보다 약간 낮은 온도 또는 약간 높은 온도이어도 좋다. 또한, 기체의 온도는 어디까지나 목표로 하는 온도로, 실제 온도와 다른 경우도 있다.

또한, 예를 들어 배출구(52)의 근방 등에는 스테이지(30)의 내부에 설치된 순환로를 따라서 흐르는 액체, 수냉 재킷을 순환시키는 냉각수나, 채임버(40) 내를 순환시키는 기체 등의 온도를 검지하는 온도센서(도시하지 않음)가 설치되어 있다. 또한, 예를 들어 도입구(51)의 근방 등에는 도입구(51)로부터 채임버(40)로 도입되는 기체의 유량을 검지하는 유량센서가 설치되어 있다.

또한, 채임버(40)에는 채임버(40) 내의 조사박스(20)에 대해서 피처리 패널(6)을 출입하기 위한 반출입구(44)가 설치되어 있다. 반출입구(44)에는 셔터(43)가 개폐 가능하게 설치되어 있다. 반출입구(44)는 채임버(40)의 조사 박스(20)에 대하여 피처리 패널(6)을 출입할 때 셔터(43)가 열리고, 조사박스(20)에 피처리 패널(6)이 수용되었을 때 셔터(43)가 닫힌다. 또한, 피처리 패널(6)은 반출입구(44)를 통하여 로봇 아암(도시하지 않음)을 사용하여 채임버(40)에 대하여 출입된다.

제어부(60)는 액정패널의 제조장치(1)에 의한 자외선의 조사동작을 제어한다. 제어부(60)는 액체보온 순환장치(32), 순환형 공조장치(50), 조사부(10) 등에 접속되어 있다. 제어부(60)는 예를 들어 CPU 등으로 구성된 연산처리장치나, ROM, RAM 등의 반도체 메모리를 갖는 도시하지 않은 마이크로프로세서가 설치된 제어회로에 의해 구성되어 있다. 또한, 제어부(60)는 처리동작의 상태를 표시하는 표시부나, 오퍼레이터가 처리 내용 정보 등을 등록하기 위해 사용하는 조작부와 접속되어 있다.

제어부(60)는 스테이지(30)의 배치면(31)에 배치된 피처리 패널(6)에 조사부(10)로부터 자외선을 조사할 때, 셔터(13)를 열고, 또한 온도 센서 등의 검지결과에 기초하여 자외선 램프(11)를 덮는 수냉 재킷에 충전된 냉각수의 온도를 제어하는 것으로, 자외선 램프(11)를 원하는 동작온도로 유지한다. 또한, 제어부(60)는 스테이지(30)의 배치면(31)에 배치된 피처리 패널(6)에 조사부(10)로부터 자외선을 조사할 때, 셔터(13)를 열고, 또한 온도센서 등의 검지결과에 기초하여 액체보온 순환장치(32)를 제어하여 스테이지(30)를 순환시키는 액체의 온도를 일정하게 유지한다. 또한, 동시에 제어부(60)는 온도센서 등의 검지결과에 기초하여 순환형 공조장치(50)를 제어하여 채임버(40)내를 순환시키는 기체의 온도를 일정하게 유지한다. 이에 의해, 제어부(60)는 스테이지(30)의 배치면(31)에 배치된 피처리 패널(6)의 온도를 일정하게 유지한다.

예를 들어, 피처리 패널(6)에 조사부(10)로부터 조사선을 조사할 때, 제어부(60)는 자외선이 조사될 때의 피처리 패널(6)의 온도가 10℃~70℃간의 소정의 설정온도에 대해서 ±0.5℃ 이내가 되도록, 스테이지(30) 및 순환형 공조장치(50)를 제어한다. 즉, 스테이지(30)의 배치면(31)에 배치된 피처리 패널(6)의 온도를 일정하게 유지하는 것은 10℃~70℃ 사이의 소정의 설정온도에 대해서 온도를 ±0.5℃ 이내로 유지하는 것을 가르키고 있다. 예를 들어, 설정온도가 55℃인 경우에는 제어부(60)는 피처리 패널(6)의 온도가 54.5℃~55.5℃의 범위내로 유지되도록, 액체보온 순환장치(32)를 순환시키는 액체의 온도 및 조사박스(20) 내의 온도 등을 제어한다. 또한, 설정온도가 60℃인 경우에는 제어부(60)는 피처리 패널(6)의 온도가 59.5℃~60.5℃의 범위내로 유지되도록, 액체보온 순환장치(32)로 순환시키는 액체의 온도 및 조사박스(20) 내에 도입되는 기체의 유량, 온도 등을 제어한다.

(액정패널의 제조장치에서 액정패널에 자외선을 조사하는 동작)

다음에, 제1 실시형태의 액정패널의 제조장치(1)를 사용하여 피처리 패널(6)에 자외선을 조사하는 공정을 설명한다. 우선, 제어부(60)에는 오퍼레이터에 의해 처리내용정보가 등록되고, 처리동작의 개시지시가 있었던 경우에, 처리동작을 개시한다. 처리동작이 개시되면, 채임버(40)의 셔터(43)를 열어, 반출입구(44)를 통하여 로봇아암 등을 사용하여 피처리 패널(6)을 채임버(40)의 스테이지(30)의 배치면(31)상에 배치한다. 그리고, 제어부(60)는 셔터(43)를 닫고, 배관(33)을 통하여 스테이지(30)내에 액체를 순환시키고, 또한 도입구(51)를 통하여 기체를 채임버(40) 내에 도입하여 배출구(52)로부터 배출시킨다.

계속해서, 제어부(60)는 자외선 램프(11)를 점등시키고, 또한 셔터(13)를 연다. 제어부(60)는 스테이지(30)내에 일정 온도의 액체를 유통시키고, 또한 일정한 기체를 도입구(51)로부터 채임버(40) 내에 도입하여 배출구(52)로부터 배출함으로써 기체를 순환시킨다. 그리고, 제어부(60)는 배치면(31)에 배치된 피처리 패널(6)에 대해서 조사부(10)가 방사하는 자외선을, 창재(21)를 통하여 일정한 제1 조도로 소정 시간만큼 조사한다. 자외선을 일정한 제1 조도로 소정 시간만큼 조사한 후, 제어부(60)는 자외선을 일정한 제2 조도로 소정 시간만큼 피처리 패널(6)에 조사한다.

도 3은 제1 실시형태에 관한 액정패널의 제조장치에서의 조도와 조사시간의 관계를 설명하기 위한 도면이다. 도 3에서 종축이 자외선의 조도(mW/㎠)를 도시하고, 횡축이 자외선의 조사시간(초)을 나타낸다.

일례로서 피크 파장이 365㎚인 자외선을, 도 3에 도시한 바와 같이, 제1 조도로서 2mW/㎠에서 20초간 조사함으로써, 액정층(9) 전체에 대한 고분자 안정화 블루상의 비율이 70% 정도~80% 정도가 될 때까지, 상대적으로 작은 조도에 의해 고분자 안정화 블루상을 생성하는 제1 조도로 소정의 조사시간만큼 조사를 실시한 후, 제2 조도로서 10mW/㎠에서 40초간 조사함으로써, 액상층의 나머지를 반응시켜 고분자 안정화 블루상을 생성시키고, 또한 잔류하는 중합성 모노머를 제거한다. 본 실시형태에서는 제1 조도의 5배인 제2 조도로, 제1 조도로 조사하는 조사시간의 2배의 조사시간만큼 조사를 실시했다.

이와 같이 조사공정에서 최초의 수십초만큼, 상대적으로 작은 제1 조도로 조사를 실시하고, 그 후 상대적으로 큰 제2 조도로 조사를 실시함으로써, 예를 들어 제1 조도로 조사시간이 수백초 가까이 걸리고 있었던 조사시간이 60초로 단축되었다. 또한, 액정층(9) 전체에 대한 고분자 안정화 블루상의 비율이 70% 정도 이상이 될 때가지 제1 조도로 조사를 실시한 후, 제2 조도로 제1 조사의 조사시간보다 긴 조사시간의 조사를 실시함으로써, 피처리 패널(6)에 대한 자외선의 조사시간이 효과적으로 단축된다.

상술한 바와 같이 제1 조도와 제2 조도를 적정하게 전환함으로써, 고분자 안정화 블루상이 적정하게 생성되었지만, 2mW/㎠의 제1 조도로 조사를 실시하지 않고, 최초부터 10mW/㎠의 제2 조도로 조사를 실시한 경우에는, 자외선의 조사에 따른 피처리 패널(6)의 온도의 상승이 현저해진다. 그 결과, 블루상 이외의 등방성 액체를 발현하고, 액정패널의 표시특성의 저하, 표시특성의 불균일을 발생시키는 문제가 있다.

또한, 상술한 제1 및 제2 조도의 크기, 제1 및 제2 조도에서의 각 조사시간에 한정되는 것은 아니고, 피처리 패널(6)에 따라서 각각 적절하게 설정되어도 좋다. 또한, 제1 조도로 소정 시간만큼 조사한 후, 제어부(60)는 제1 조도로부터 제2 조도까지 조도가 서서히 커지도록 제어를 실시해도 좋다. 또한, 필요에 따라서, 제2 조도로 소정시간만큼 조사한 후, 제2 조도보다 더욱 큰 제3 조도로 조사를 실시해도 좋다.

자외선을 제2 조도로 일정시간만큼 피처리 패널(6)에 조사한 후, 제어부(60)는 셔터(13)를 닫고, 채임버(40)의 셔터(43)를 연다. 그리고, 로봇 아암 등을 사용하여 채임버(40)의 조사 박스(20) 내의 스테이지(30)의 배치면(31)으로부터 피처리 패널(6)을 분리하고, 반출입구(44)를 통하여 피처리 패널(6)을, 액정패널의 제조공정에서의 다음 공정으로 반송한다.

도 4는 제1 실시형태에서 자외선의 조도에 대한 피처리 패널(6)의 온도변화의 측정결과에 대해서 설명하기 위한 도면이다.

도 4에 도시한 바와 같이, 피처리 패널(6)의 온도를 45℃로 설정한 경우, 제1 조도인 2mW/㎠로 조사했을 때의, 최대온도와 최소온도의 차인 변동범위가 0.6℃였다. 또한, 제2 조도인 10mW/㎠로 조사했을 때의, 최대온도와 최소온도의 차인 변동범위가 2.0℃였다. 다음에, 피처리 패널(6)의 온도를 55℃로 설정한 경우, 제1 조도인 2mW/㎠로 조사했을 때의, 최대온도와 최소온도의 차인 변동범위가 0.7℃였다. 또한, 제2 조도인 10mW/㎠로 조사했을 때의, 최대온도와 최소온도의 차이인 변동범위가 2.1℃였다.

따라서, 제1 조도로 조사를 실시했을 때, 피처리패널(6)의 온도가, 설정온도에 대하여 ±0.5℃의 범위내로 억제되었다. 또한, 제2 조도로 조사를 실시했을 때, 피처리 패널(6)의 온도가 설정온도에 대해서 ±1.0℃정도의 범위내로 억제되었다.

상술한 바와 같이, 제1 실시형태는 피처리 패널(6)에 제1 조도로 자외선을 조사한 후, 제1 조도보다 큰 제2 조도로 피처리 패널(6)에 자외선을 조사하도록 조사부(10)를 제어하는 제어부(60)를 갖는다. 이에 의해, 피처리 패널(6)에 자외선을 조사하는 조사시간의 장대화를 억제할 수 있다.

또한, 제1 실시형태에서는 제2 조도의 조사시간을, 제1 조도의 조사시간보다 길게 함으로써, 피처리 패널(6)에 대한 자외선의 조사시간의 장대화를 억제할 수 있다.

또한, 제1 실시형태의 액정패널의 제조장치(1)는 피처리 패널(6)이 배치되는 배치면(31)의 온도를 조절하는 온도매체가 내부를 흐르는 스테이지(30)를 갖는다. 이에 의해, 피처리 패널(6)의 온도조절을 실시하면서 피처리 패널(6)에 자외선을 조사하는 것이 가능해진다. 그 결과, 자외선 조사시의 피처리 패널(6)의 온도를 적정하게 유지하는 것이 가능해지고, 액정패널의 품질을 높일 수 있다.

또한, 제1 실시형태에서의 피처리 패널(6)은 네마틱 액정조성물과, 블루상을 발현하는 액정조성물과, 중합성 모노머를 포함하는 액정층(9)을 갖는다. 이에 의해, 피처리 패널(6)은 자외선이 조사됨으로써 고분자 안정화 블루상을 발현하는 것이 가능해진다.

또한, 제1 실시형태에서의 조사부(10)는 복수의 자외선 램프(11)를 사용하여 구성되었지만, 자외선 램프(11) 대신, 광원으로서 LED인 복수의 발광소자가 평면상에 배열된 LED모듈(도시하지 않음)이 사용되어도 좋다. 이와 같이 하여 광원으로서 LED 모듈을 사용하여 조도를 전환함으로써, 제1 조도부터 제2 조도로 조광했을 때, 제2 조도가 안정될 때까지의 안정시간이 수 초 이내가 되므로, 조사공정의 안정성을 높일 수 있다.

또한, 조사부(10)가 LED모듈을 사용하는 구성의 경우, 복수의 발광소자의 점등상태를 변화시킴으로써 제1 조도와 제2 조도를 전환하도록 구성되어도 좋다. 이 경우, 제어부(60)는 LED모듈이 갖는 복수의 발광소자의 일부만을 점등시킴으로써, 제1 조도로 조사를 실시한다. 계속해서, 제어부(60)는 LED모듈이 갖는 복수의 발광소자 전체를 점등시킴으로써, 제2 조도로 조사를 실시한다. 이와 같이 점등상태를 변화시키는 구성에 따르면, 개개의 발광소자의 조도를 조광하지 않고, 간소한 구성으로 발광소자의 점등상태를 제어하는 것만으로 제1 조도와 제2 조도를 전환할 수 있다. 또한, 이 구성과 동일하게, 제어부(60)가 복수의 자외선 램프(11)의 일부만을 점등시킴으로써 제1 조도로 조사를 실시하고, 복수의 자외선 램프(11) 전체를 점등시킴으로써 제2 조도로 조사를 실시하도록 구성되어도 좋다.

이하, 다른 실시형태의 액정패널의 제조장치에 대해서 도면을 참조하여 설명한다. 또한, 다른 실시형태에서 제1 실시형태와 동일한 구성부재에는 제1 실시형태와 동일한 부호를 붙여 설명을 생략한다.

(제2 실시형태)

도 5는 제2 실시형태에 관한 액정패널의 제조장치를 도시한 모식도이다. 제 1 실시형태의 변형예에서는 LED모듈을 사용하여 조도가 동등한 복수의 발광소자의 점등상태를 전환함으로써 제1 조도와 제2 조도로 조사를 실시하도록 구성되었지만, 제2 실시형태는 조도가 다른 복수의 발광소자를 갖는 ELD 모듈을 사용하는 점이, 제1 실시형태 등과 다르다.

도 5에 도시한 바와 같이, 제2 실시형태의 액정패널의 제조장치(2)가 갖는 조사부(82)는 자외선을 제1 조도 및 제2 조도로 피처리 패널(6)에 각각 조사하는 LED모듈(87)을 갖는다.

제2 실시형태에서의 LED모듈(87)은 제1 조도로 자외선을 조사하는 제1 광원으로서의 복수의 제1 발광소자(87a)와, 제1 조도보다 큰 제2 조도로 자외선을 조사하는 제2 광원으로서의 복수의 제2 발광소자(87b)를 갖는다. LED모듈(87)에서 평면상에 배치되는 복수의 제1 발광소자(87a)와 복수의 제2 발광소자(87b)는, 예를 들어 격자형상이나 소정의 방향에 대하여 번갈아 배열되어 있다. 제1 및 제2 발광소자(87a, 87b)로서는 자외선 LED가 사용되고 있다.

또한, LED모듈(87)은 예를 들어 세라믹스에 의해 기재가 형성된 기판을 갖는다. 기판의 기재로서 기판에 반사 특성을 확보하는 경우에는, 백색으로 고반사율을 갖는 알루미나가 바람직하고, 보다 높은 방열성능을 확보하는 경우에는 열전도율이 높은 질화알루미늄이 바람직하다. 또한, 세라믹스제의 기판에는 도시하지 않지만, 제1 및 제2 발광소자(87a, 87b)에 통전하기 위한 Ag 등으로 이루어진 도전 패턴이 형성되어 있다. 도전패턴에는 실장부나 급전부 등을 제외하고, 절연성의 확보와, 부식방지를 위해 유리 등을 주성분으로 하는 무기재료가 피복되어 있다. 또한, 기판에는 알루미늄제의 방열부재가 설치되어 있고, 방열부재가 일정한 온도로 유지되도록 수냉구조를 사용하여 냉각된다.

(제2 실시형태에서의 조도의 전환)

제어부(60)는 LED모듈(87)의 제1 발광소자(87a)만을 점등시킴으로써 제1 조도로 자외선을 피처리 패널(6)에 조사한다. 계속해서, 제어부(60)는 LED모듈(87)의 제2 발광소자(87b)만을 점등시킴으로써, 제2 조도로 자외선을 피처리 패널(6)에 조사한다.

또한, 제2 실시형태는 제2 조도로 조사를 실시할 때 제2 발광소자(87b)만을 점등시키는 구성에 한정되는 것은 아니고, 제2 조도로 조사를 실시할 때, 제2 발광소자(87b)를 점등시키는 것에 추가하여 제1 발광소자(87a)의 일부 또는 전부를 점등시켜도 좋다.

제2 실시형태에 따르면, 개개의 발광소자(87a, 87b)를 조광하지 않고 제1 발광소자(87a)와 제2 발광소자(87b)의 점등상태를 전환함으로써, 제1 조도와 제2 조도를 전환할 수 있다.

또한, 제2 실시형태에서도 제1 실시형태와 동일하게 피처리 패널(6)에 자외선을 조사하는 조사시간의 장대화를 억제할 수 있다.

(제3 실시형태)

도 6은 제3 실시형태에 관한 액정패널의 제조장치를 도시한 모식도이다. 제3 실시형태는 조도가 다른 복수의 조사영역을 갖는 LED 모듈을 사용하는 점이, 제1 실시형태와 다르다.

도 6에 도시한 바와 같이, 제3 실시형태의 액정패널의 제조장치(3)가 갖는 조사부(83)는 자외선을 제1 조도 및 제2 조도로 피처리 패널(6)에 각각 조사하는 LED모듈(88)과, LED모듈(88)을 피처리 패널(6)에 대해서 이동하는 이동기구(90)를 갖는다.

LED모듈(88)은 제1 조도로 자외선을 피처리 패널(6)에 조사하는 제1 조사영역(88a)과, 제2 조도로 자외선을 피처리 패널(6)에 조사하는 제2 조사영역(88b)을 갖는다. 제1 조사영역(88a)과 제2 조사영역(88b)은 도 6 중의 A방향에서 인접하여 설치되어 있다. 또한, 제1 및 제2 조사영역(88a, 88b)에는 복수의 발광소자가 각각 배열되어 있다. 제2 조사영역(88b)에 배치된 발광소자는 제1 조사영역(88a)에 배치된 발광소자보다 조도가 크고, 제2 조사영역(88b)이 제2 조도로 자외선을 조사하는 것이 가능하게 되어 있다.

또한, LED 모듈(88)은 이동기구(90)에 의해, A방향을 따라서 이동 가능하게 설치되어 있다. 이동기구(90)는 도시하지 않지만, 예를 들어 A방향을 따라서 설치된 가이드레일과, 가이드레일을 따라서 LED 모듈(88)을 A방향으로 구동하는 구동기구를 갖는다. 제어부(60)는 이동기구(90)를 제어함으로써, 피처리 패널(6)에 대해서 제1 및 제2 조사영역(88a, 88b)을 이동시키고, 피처리 패널(6)과, 제1 및 제2 조사영역(88a, 88b)의 상대위치를 전환한다. 또한, 제어부(60)는 제1 및 제2 조사영역(88a, 88b)을 피처리 패널(6)에 대향하는 위치에 이동시키는 동작에 연동하여 피처리 패널(6)에 대향하는 제1 및 제2 조사영역(88a, 88b)의 한쪽만을 점등시키도록 제어를 실시해도 좋다.

(제3 실시형태에서의 조도의 전환)

제3 실시형태에서는 제어부(60)가 이동기구(90)를 제어함으로써, LED 모듈(88)의 제1 조사영역(88a)을, 스테이지(30)상의 피처리 패널(6)에 대향하는 위치에 이동시키고 제1 조사영역(88a)에 의해 제1 조도로 조사를 실시한다. 계속해서, 제어부(60)가 이동기구(90)를 제어함으로써, 제2 조사영역(88b)을 피처리 패널(6)에 대향하는 위치에 이동시키고, 제2 조사영역(88b)에 의해 제2 조도로 조사를 실시한다.

제3 실시형태에 따르면, 개개의 발광소자를 조광하지 않고, 피처리 패널(6)에 대향하도록 제1 조사영역(88a)과 제2 조사영역(88b)의 위치를 이동시킴으로써, 제1 조도와 제2 조도를 전환할 수 있다.

또한, 제3 실시형태에서도 제1 및 제2 실시형태와 동일하게, 피처리 패널(6)에 자외선을 조사하는 조사시간의 장대화를 억제할 수 있다.

(제4 실시형태)

도 7은 제4 실시형태에 관한 액정패널의 제조장치를 도시한 모식도이다. 제4 실시형태는 조도가 다른 복수의 LED 모듈을 사용하는 점 및 복수의 스테이지에 배치된 피처리 패널(6)에 대해서 조사를 실시하는 점이, 제1 실시형태와 다르다.

도 7에 도시한 바와 같이 제4 실시형태의 액정패널의 제조장치(4)가 갖는 조사부(84)는 제1 광원으로서의 제1 LED 모듈(89a)과, 제2 광원으로서의 제2 LED모듈(89b)과, 제1 LED 모듈(89a) 및 제2 LED모듈(89b)을 피처리 패널(6)에 대해서 이동하는 이동기구(90)를 갖는다.

또한, 도 7에 도시한 바와 같이, 제4 실시형태의 액정패널의 제조장치(4)는 2개의 채임버(40, 40)를 구비하고 있다. 또한, 조사부(84)는 2개의 채임버(40, 40)에 걸쳐 이동 자유롭게 설치되고, 광조사부(84)가 어느 한쪽의 채임버(40, 40)의 스테이지(30, 30)의 배치면(31, 31)상의 피처리 패널(6, 6)에 광을 조사한다. 또한, 각 채임버(40, 40)에는 로봇 아암에 의해 피처리 패널(6, 6)이 출입되고, 또한 셔터(43, 43)에 의해 개폐되는 반출입구(44, 44)가 설치되어 있다.

제1 LED 모듈(89a)은 자외선을 제1 조도로 피처리 패널(6)에 조사하는 복수의 발광소자가 평면상에 배열되어 있다. 제2 LED 모듈(89b)은 자외선을 제2 조도로 피처리 패널(6)에 조사하는 복수의 발광소자가 평면상에 배열되어 있다. 제1 LED모듈(89a)과 제2 LED모듈(89b)은 도 7 중의 A방향에서 인접하여 설치되어 있다.

또한, 제1 및 제2 LED 모듈(89a, 89b)은 이동기구(90)에 의해 A방향을 따라서 이동 가능하게 설치되어 있다. 제어부(60)는 이동기구(90)를 제어함으로써 피처리 패널(6)에 대해서 제1 및 제2 LED 모듈(89a, 89b)을 이동시켜 피처리 패널(6)과, 제1 및 제2 LED모듈(89a, 89b)와의 상대위치를 전환한다.

(제4 실시형태에서의 조도의 전환)

제4 실시형태에서는 제어부(60)가 이동기구(90)를 제어함으로써, 제1 LED 모듈(89a)을, 스테이지(30)상의 피처리 패널(6)에 대향하는 위치에 이동시키고, 제1 LED모듈(89a)에 의해 제1 조도로 조사를 실시한다. 계속해서, 제어부(60)가 이동 기구(90)를 제어함으로써, 제2 LED모듈(89b)을 피처리 패널(6)에 대향하는 위치에 이동시키고, 제2 LED 모듈(89b)에 의해 제2 조도로 조사를 실시한다.

제4 실시형태에 따르면, 개개의 발광소자를 조광하지 않고, 피처리 패널(6)에 대향하도록 제1 LED 모듈(89a)과 제2 LED모듈(89b)의 위치를 이동시킴으로써, 제1 조도와 제2 조도를 전환할 수 있다.

또한, 제4 실시형태에서도 제1 내지 제3 실시형태와 동일하게, 피처리 패널(6)에 자외선을 조사하는 조사시간의 장대화를 억제할 수 있다.

또한, 제4 실시형태에서는 복수의 피처리 패널(6)에 대해서 조사를 실시할 수 있다. 또한, 제4 실시형태에서는 예를 들어 한쪽의 피처리 패널(6)에 대하여 조사부(84)가 조사를 실시하고 있을 때, 다른쪽의 피처리 패널(6)이 로봇 아암(도시하지 않음)을 이용하여, 채임버(40)에 대하여 출입된다. 이 때, 다른쪽 피처리 패널(6)은 스테이지(30)의 배치면(31)에 배치되어도 좋고, 다른쪽 피처리 패널(6)이 스테이지(30)의 배치면(31)에 배치 후, 다른쪽 피처리 패널(6)의 온도가 10℃~70℃ 범위의 소정의 설정온도에 대해서 ±0.5℃ 이내가 되도록, 스테이지(30) 및 순환형 공조장치(50)를 제어해도 좋다. 즉, 한쪽의 피처리 패널(6)에 대하여 조사부(84)가 조사를 실시하고 있을 때, 다른쪽 피처리 패널(6)은 한쪽의 피처리 패널(6)에 대한 조사를 실시한 직후에 빠르게 조사를 실시할 수 있으므로, 피처리 패널(6)에 자외선을 조사하는 조사시간의 장대화를 더욱 억제할 수 있다. 또한, 한쪽의 피처리 패널(6)에 제1 LED 모듈(89a)이 자외선을 제1 조도로 조사하고 있을 때, 다른쪽 피처리 패널(6)에 제2 LED 모듈(89b)이 자외선을 제2 조도로 조사해도 좋다. 이와 같이 함으로써, 피처리 패널(6)에 자외선을 조사하는 조사시간의 장대화를 억제할 수 있다.

또한, 제3 및 제4 실시형태의 변형예로서, 조사부(83, 84)에 대해서 피처리 패널(6)측이 이동되도록 구성해도 좋다. 이 경우에는, 예를 들어 피처리 패널(6)이 배치된 채임버(40)가, 이동기구에 의해 조사부(83, 84)에 대하여 이동되도록 구성되어도 좋다.

본 발명의 실시형태를 설명했지만, 실시형태는 예로서 제시한 것이고, 본 발명의 범위를 한정하려는 의도는 없다. 실시형태는 그 밖의 여러가지 형태로 실시하는 것이 가능하고, 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위에서 여러가지 생략, 치환, 변경을 실시할 수 있다. 실시형태나 그 변형은, 본 발명의 범위나 요지에 포함되고, 동일하게 특허청구범위에 기재된 발명과 그 균등한 범위에 포함되는 것이다.

1: 액정패널의 제조장치 6: 피처리 패널
7: 컬러 필터 기판 8: 대향기판
9: 액정층 10: 조사부
11: 자외선 램프 30: 스테이지
31: 배치면 60: 제어부
87: LED모듈 90: 이동기구

Claims

피처리 패널에 자외선을 조사하는 조사부;
상기 피처리 패널이 배치되는 배치면을 갖고, 상기 배치면의 온도를 조절하는 온도조절매체가 내부를 흐르는 스테이지; 및
상기 피처리 패널에 제1 조도로 자외선을 조사한 후, 상기 제1 조도보다 큰 제2 조도로 상기 피처리 패널에 자외선을 조사하도록 상기 조사부를 제어하는 제어부;
를 구비하는, 액정패널의 제조장치.
제 1 항에 있어서,
상기 제2 조도의 조사시간은 상기 제1 조도의 조사시간보다 긴, 액정패널의 제조장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 피처리 패널은 컬러 필터를 갖는 제1 기판, 상기 제1 기판에 대향하는 제2 기판, 및 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 설치된 액정층을 구비하고,
상기 피처리 패널은 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판의 일방측이 상기 스테이지상에 배치되고,
상기 조사부는 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판의 타방측으로부터 자외선을 상기 액정층에 조사하는, 액정패널의 제조장치.
제 3 항에 있어서,
상기 액정층은 네마틱 액정조성물과, 블루상을 발현하는 액정조성물과, 중합성 모노머를 포함하고, 자외선을 조사함으로써 고분자 안정화 블루상을 발현하는, 액정패널의 제조장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 제어부는 상기 조사부의 조사영역의 일부만을 점등시키고 상기 제1 조도로 조사하여, 상기 조사영역의 전체를 점등시키고 상기 제2 조도로 조사하도록 제어하는, 액정패널의 제조장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 조사부는 상기 제1 조도로 자외선을 조사하는 제1 광원, 및 상기 제2 조도로 자외선을 조사하는 제2 광원을 구비하는, 액정패널의 조제장치.
제 6 항에 있어서,
상기 제1 광원 및 상기 제2 광원, 또는 상기 피처리 패널을 이동하는 이동기구를 추가로 구비하고,
상기 제어부는 상기 이동기구를 제어함으로써, 상기 피처리 패널과, 상기 제1 광원 및 상기 제2 광원의 상대위치를 전환하는, 액정패널의 제조장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 조사부는 상기 제1 조도로 자외선을 조사하는 제1 조사영역과, 상기 제2 조도로 자외선을 조사하는 제2 조사영역을 갖는 광원을 구비하고,
상기 광원 또는 상기 피처리 패널을 이동하는 이동기구를 추가로 구비하고,
상기 제어부는 상기 이동기구를 제어함으로써 상기 피처리 패널과, 상기 제1 조사영역 및 상기 제2 조사영역과의 상대위치를 전환하는, 액정패널의 제조장치.