TW201708509A - 液晶面板的製造裝置 - Google Patents

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Atsushi Fujioka
Takeo Kato
Akihiko Tauchi
Koki Hino
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Toshiba Lighting & Technology
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Abstract

本發明提供一種液晶面板的製造方法,可抑制針對被處理面板的紫外線照射時間的冗長化。實施方式的液晶面板的製造裝置包括:照射部,對被處理面板照射紫外線;載台,具有載置被處理面板的載置面,且使對載置面的溫度進行調節的調溫介質流經內部;以及控制部,對照射部進行控制,以使得在以第1照度來對被處理面板照射紫外線之後,以比第1照度大的第2照度來對被處理面板照射紫外線。

Description

液晶面板的製造裝置
本發明的實施方式涉及一種液晶面板(panel)的製造裝置。
作為液晶面板中所用的液晶材料,已知的是,作為光學各向同性液晶層的聚合物穩定藍相(Polymer Stabilized Blue Phase,PSBP)在施加有電壓時,與被稱作向列相(nematic phase)的液晶材料相比,能夠實現更高速的響應性。此種聚合物穩定藍相是通過在對具有液晶層的被處理面板照射紫外線時,適當控制被處理面板的溫度與紫外線的照射時間而生成。
[現有技術文獻]
[專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開2007-277531號公報
[專利文獻2]日本專利特開2008-303381號公報
[發明所要解決的問題]
圖7是用於對聚合物穩定藍相的呈現進行說明的相圖。在圖7中,縱軸表示相變化溫度(K),橫軸表示紫外線的照射時間(秒)。在圖7中,曲線L1表示各向同性液體(Iso)與藍相(BP)的邊界線,曲線L2表示手性向列相(chiral nematic phase)(N )與藍相的邊界線。如圖7所示,通過一邊將被處理面板保持為規定溫度,一邊以規定的照射時間來照射紫外線,不生成各向同性液體及手性向列相,而生成聚合物穩定藍相。
並且,在具有聚合物穩定藍相的液晶面板的製造工序中,將紫外線照射至被處理面板的照射工序中所產生的、被處理面板的照射面的面內方向上的溫度不均或被處理面板的溫度的經時變化對液晶面板的顯示特性造成不均的影響大,因此理想的是使溫度均勻化。
另一方面,在照射工序中,為了提高具有聚合物穩定藍相的液晶面板的生產性,理想的是縮短對被處理面板照射紫外線的照射時間。
因此,本發明的目的在於提供一種抑制針對被處理面板的紫外線照射時間的冗長化的液晶面板的製造裝置。
[解決問題的技術手段]
實施方式的液晶面板的製造裝置包括:照射部,對被處理面板照射紫外線;載台,具有載置被處理面板的載置面,且使對該載置面的溫度進行調節的調溫介質流經內部;以及控制部,對所述照射部進行控制,以使得在以第1照度來對所述被處理面板照射紫外線之後,以比所述第1照度大的第2照度來對所述被處理面板照射紫外線。
[發明的效果]
根據本發明,能夠抑制針對被處理面板的紫外線照射時間的冗長化。
以下說明的實施方式的液晶面板的製造裝置1具備照射部10、載台30及控制部60。照射部10對被處理面板6照射紫外線。載台30具有載置被處理面板6的載置面31。載台30使對載置面31的溫度進行調節的調溫介質流經內部。控制部60對照射部10進行控制,以使得在以第1照度來對被處理面板6照射紫外線之後,以比第1照度大的第2照度來對被處理面板6照射紫外線。
而且,在以下說明的實施方式的液晶面板的製造裝置1中,第2照度的照射時間長於第1照度的照射時間。
而且,在以下說明的實施方式的液晶面板的製造裝置1中,被處理面板6具有作為第1基板的彩色濾光片(color filter)基板7、作為第2基板的相向基板8以及液晶層9。彩色濾光片基板7具有彩色濾光片。相向基板8與彩色濾光片基板7相向。液晶層9被設於彩色濾光片基板7與相向基板8之間。被處理面板6的彩色濾光片基板7及相向基板8中的其中一側被載置於載台30上。照射部10從彩色濾光片基板7及相向基板8中的另一側將紫外線照射至液晶層9。
而且,以下說明的實施方式的液晶面板的製造裝置1中的被處理面板6的液晶層9包含向列液晶組合物、呈現藍相的液晶組合物、與聚合性單體。液晶層9通過照射紫外線來呈現聚合物穩定藍相。
而且,以下說明的實施方式的液晶面板的製造裝置中的控制部60以下述方式來進行控制,即,僅使照射部10的照射區域的一部分點燈,從而以第1照度來進行照射,使照射區域的整體點燈,從而以第2照度來進行照射。
而且,以下說明的實施方式的液晶面板的製造裝置2中的照射部82具有作為第1光源的第1發光元件87a、以及作為第2光源的第2發光元件87b。第1發光元件87a以第1照度來照射紫外線。第2發光元件87b以第2照度來照射紫外線。
而且,以下說明的實施方式的液晶面板的製造裝置4還包括:移動機構90,使作為第1光源的第1發光二極體(Light Emitting Diode,LED)模組(module)89a及作為第2光源的第2 LED模組89b或者使被處理面板6移動。控制部60通過控制移動機構90,來切換被處理面板6與第1 LED模組89a及第2 LED模組89b的相對位置。
而且,以下說明的實施方式的液晶面板的製造裝置3中的照射部83具有LED模組88。LED模組88具有第1照射區域88a與第2照射區域88b。第1照射區域88a以第1照度來照射紫外線。第2照射區域88b以第2照度來照射紫外線。液晶面板的製造裝置3還包括使LED模組88或被處理面板6移動的移動機構90。控制部60通過控制移動機構90,來切換被處理面板6與第1照射區域88a及第2照射區域88b的相對位置。
(第1實施方式)
以下,對於實施方式的液晶面板的製造裝置,參照附圖來進行說明。圖1是表示第1實施方式的液晶面板的製造裝置的示意圖。圖2是示意性地表示使用第1實施方式的液晶面板的製造裝置來照射紫外線的液晶面板的剖面圖。
(液晶面板的製造裝置的結構)
如圖1所示,第1實施方式的液晶面板的製造裝置1是通過一邊將被處理面板6保持為固定溫度,一邊對被處理面板6照射紫外線,從而使液晶面板的液晶層呈現聚合物穩定藍相。使用液晶面板的製造裝置1來照射紫外線的被處理面板6如圖2所示,具有作為第1基板的彩色濾光片基板7、與彩色濾光片基板7相向的作為第2基板的相向基板8、以及設於彩色濾光片基板7與相向基板8之間的液晶層9。
彩色濾光片基板7例如是將使紅色、綠色、藍色的光透射的彩色濾光片配置於基板上,並用保護膜來覆蓋彩色濾光片而形成。相向基板8是呈陣列狀地配置有多個電極的基板。液晶層9至少包含向列液晶組合物、呈現藍相的液晶組合物、及聚合性單體。液晶層9通過由液晶面板的製造裝置1來照射紫外線而呈現聚合物穩定藍相。
構成液晶層9的向列液晶組合物是由具有介電各向異性的材料所形成。
所謂呈現藍相的液晶組合物,是指如下所述的材料,即,通過一邊將能夠穩定存在的溫度範圍擴大至例如室溫、具體而言為0℃以上,一邊照射紫外線,從而能夠實現比向列液晶組合物高速的響應性的材料。所謂呈現藍相的液晶組合物,例如是指如下者,即,相對於10℃~70℃之間的規定的設定溫度,在溫度保持在±0.5℃以內的狀態下照射紫外線,由此均勻地呈現聚合物穩定藍相。例如,在設定溫度為55℃的情況下,所謂呈現藍相的液晶組合物,是指如下所述者,即,在溫度保持在54.5℃~55.5℃的範圍內的狀態下照射紫外線,由此均勻地呈現聚合物穩定藍相。而且,在設定溫度為60℃的情況下,所謂呈現藍相的液晶組合物,是指如下所述者,即,在溫度保持在59.5℃~60.5℃的範圍內的狀態下照射紫外線,由此均勻地呈現聚合物穩定藍相。
所謂聚合性單體,是指用於使向列液晶組合物或呈現聚合物穩定藍相的液晶組合物的組合穩定化的材料。
液晶面板的製造裝置1如圖1所示,具備照射紫外線的照射部10、照射箱(box)20、載台30、腔室(chamber)40、循環型空調裝置50以及控制部60。
照射部10將紫外線照射至照射箱20內。在照射箱20內,設有使從照射部10照射的紫外線透射的窗材21。照射部10構成為,對於載置在與窗材21相向的載台30的載置面31上的被處理面板6,可穿過窗材21來照射紫外線。而且,照射部10具有:作為光源的多個紫外線燈11;以及將紫外線燈11所照射的紫外線朝向載台30的載置面31反射的反射板12。
紫外線燈11是金屬鹵化物燈(metal halide lamp)等沿直線狀延伸的管型放電燈,所述金屬鹵化物燈封入有汞、鐵或碘等金屬鹵化物或氬等稀有氣體,主要照射紫外線。紫外線燈11例如以300 nm~400 nm左右為主波長,且峰值(peak)波長為365 nm的紫外線的照度為15 mW/cm2 以下。另外,所謂“紫外線的照度”,是指使用UV-M02(奧克(ORC)製作所股份有限公司製造)來作為照度計,使用UV-SN35(奧克(ORC)製作所股份有限公司製造)來作為光接收器的測定值。
而且,實施方式中所說的“紫外線”,是指450 nm以下的波長的光,具體而言是封入發光管內的汞的輝線即254 nm、365 nm的光,但也允許其他波長的光。而且,紫外線燈11並不限定於放射450 nm以下的光的紫外線燈,例如也可為不僅放射波長450 nm以下的光、而且放射比波長450 nm長的波長側的光的紫外線燈。總之,只要是放射波長450 nm以下的光的紫外線燈,則其發光方式不受限定。
本實施方式中,四個紫外線燈11被配置在照射箱20及載台30、載置於載置面31上的被處理面板6的上方。而且,紫外線燈11由使紫外線燈11所放射的紫外線通過的水冷套(jacket)(未圖示)所覆蓋。水冷套在內部填充有冷卻水,通過使該冷卻水循環來將紫外線燈11保持為所需的動作溫度。
在照射部10中,在紫外線燈11與照射箱20之間,可開閉地設有遮擋紫外線的擋閘(shutter)13。擋閘13通過進行開閉動作,從而切換為:將紫外線燈11放射的紫外線照射至載置於載台30的載置面31上的被處理面板6的狀態、與遮擋紫外線燈11放射的紫外線而不對被處理面板6照射紫外線的狀態。
照射箱20是形成為箱狀,以將載置於載台30的載置面31上的被處理面板6收容至內部的方式而配置於載台30上。
窗材21具有對規定波長的紫外線的透射進行限制的功能。窗材21使適合於用以使液晶層9呈現聚合物穩定藍相的波長的紫外線透射,而對其他波長的紫外線的透射進行限制。
載台30具有載置被處理面板6的載置面31,通過使作為固定溫度的調溫介質的液體即水在內部循環,從而對載置於載置面31上的被處理面板6的溫度進行控制。載台30為了對載置面31上的被照射紫外線的區域(area)進行溫度控制,在內部使固定溫度的液體流動。在載台30上,以與窗材21相向的方式設有載置面31,載置面31與照射部10相向。另外,理想的是,對載置於載置面31上的被處理面板6進行保溫的溫度為盡可能固定,若載置於載置面31的被處理面板6的溫度被保持為固定,則在載台30內循環的調溫介質的溫度也可為比載置於載置面31的被處理面板6的溫度稍低的溫度或稍高的溫度。另外,作為調溫介質,並不限定於水等液體,也可使包含各種氣體的流體循環。
在載台30上,以彩色濾光片基板7側與載置面31接觸的方式來載置被處理面板6。因此,照射部10從相向基板8側對被處理面板6照射紫外線。另外,對被處理面板6照射紫外線的方向並無限定,也可根據需要而從彩色濾光片基板7側照射紫外線。
載台30例如是由鋁合金等形成為平板狀,在內部設有使用於將被處理面板6調節為規定溫度的液體循環的循環路徑(未圖示)。在載台30的循環路徑上,連接有使液體在循環路徑內循環的液體保溫循環裝置32,通過液體保溫循環裝置32,經由載台30來將被處理面板6的溫度保持為固定。液體保溫循環裝置32例如具有連結於循環路徑的配管33(參照圖1)、用於將液體保持為固定溫度的加熱器(heater)及冷卻裝置、及將配管33內的液體送出的泵(pump)等而構成。
腔室40形成為覆蓋照射箱20與載台30整體的箱狀,在上部配置有照射部10。
循環型空調裝置50如圖1所示,設在腔室40的側壁,具有向腔室40內導入調溫用氣體的導入口51、以及從腔室40內導出調溫用氣體的排出口52。導入口51及排出口52是在腔室40的側壁上開設,且配置於照射箱20的上方。循環型空調裝置50經由導入口51及排出口52來使調溫用氣體相對於腔室40的內部而循環,由此,將腔室40內控制為規定溫度。通過如此般控制腔室40內的溫度,從而循環型空調裝置50將照射箱20內的被處理面板6的溫度保持為固定溫度。
而且,循環型空調裝置50具有分別連結於導入口51及排出口52的送風管53、用於將氣體保持為固定溫度的加熱器及冷卻裝置、以及將送風管53內的氣體送出的送風機等,依照導入口51、腔室40內、排出口52的順序來使氣體循環。
另外,理想的是,依照導入口51、腔室40內、排出口52的順序循環的氣體的溫度與對載置於載置面31的被處理面板6進行保持的溫度盡可能相等。而且,若載置於載置面31的被處理面板6保持為固定溫度,則循環氣體的溫度也可為比載置於載置面31的被處理面板6的溫度稍低的溫度或稍高的溫度。另外,氣體的溫度終究只是作為目標的溫度,有時也不同於實際溫度。
而且,例如在排出口52的附近等,設置有溫度傳感器(sensor)(未圖示),該溫度傳感器對沿著載台30內部所設的循環路徑流動的液體、在水冷套中循環的冷卻水、及在腔室40內循環的氣體等的溫度進行探測。而且,例如在導入口51的附近等,設置有對從導入口51導入腔室40的氣體的流量進行探測的流量傳感器。
進而,在腔室40中,設有用於使被處理面板6相對於腔室40內的照射箱20而進出的搬出/搬入口44。在搬出/搬入口44處,可開閉地設有擋閘43。搬出/搬入口44在使被處理面板6相對於腔室40的照射箱20而進出時,擋閘43打開,在照射箱20中收容有被處理面板6時,擋閘43關閉。而且,被處理面板6是通過搬出/搬入口44而使用機械臂(robot arm)(未圖示),來相對於腔室40進出。
控制部60控制液晶面板的製造裝置1的紫外線的照射動作。控制部60連接於液體保溫循環裝置32、循環型空調裝置50、照射部10等。控制部60例如包含控制電路,該控制電路設有未圖示的微處理器(micro processor),該微處理器具有包含中央處理器(Central Processing Unit,CPU)等的運算處理裝置、以及只讀存儲器(Read Only Memory,ROM)、隨機存取存儲器(Random Access Memory,RAM)等半導體存儲器。而且,控制部60是與顯示處理動作的狀態的顯示部、及操作者(operator)用於登記處理內容信息等的操作部相連接。
控制部60在從照射部10對載置於載台30的載置面31上的被處理面板6照射紫外線時,打開擋閘31,並且基於溫度傳感器等的探測結果,對填充於覆蓋紫外線燈11的水冷套中的冷卻水的溫度進行控制,由此,將紫外線燈11保持為所需的動作溫度。而且,控制部60在從照射部10對載置於載台30的載置面31上的被處理面板6照射紫外線時,打開擋閘13,並且基於溫度傳感器等的探測結果,控制液體保溫循環裝置32,以將在載台30中循環的液體的溫度保持為固定。而且,同時,控制部60基於溫度傳感器等的探測結果,控制循環型空調裝置50,以將在腔室40內循環的氣體的溫度保持為固定。由此,控制部60將載置於載台30的載置面31上的被處理面板6的溫度保持為固定。
例如,當從照射部10對被處理面板6照射紫外線時,控制部60以被照射紫外線時的被處理面板6的溫度相對於10℃~70℃之間的規定的設定溫度為±0.5℃以內的方式,來控制載台30及循環型空調裝置50。即,將載置於載台30的載置面31上的被處理面板6的溫度保持為固定,是指相對於10℃~70℃之間的規定的設定溫度而將溫度保持在±0.5℃以內。例如,在設定溫度為55℃的情況下,控制部60以被處理面板6的溫度被保持在54.5℃~55.5℃的範圍內的方式,來控制在液體保溫循環裝置32中循環的液體的溫度及照射箱20內的溫度等。而且,在設定溫度為60℃的情況下,控制部60以被處理面板6的溫度被保持在59.5℃~60.5℃的範圍內的方式,來控制在液體保溫循環裝置32中循環的液體的溫度及被導入照射箱20內的氣體的流量、溫度等。
(在液晶面板的製造裝置中對液晶面板照射紫外線的動作)
接下來,對使用第1實施方式的液晶面板的製造裝置1來對被處理面板6照射紫外線的工序進行說明。首先,在控制部60中,由操作者來登記處理內容信息,在有處理動作的開始指示時,開始處理動作。當處理動作開始時,打開腔室40的擋閘43,通過搬出/搬入口44,使用機械臂等將被處理面板6載置於腔室40的載台30的載置面31上。然後,控制部60關閉擋閘43,經由配管33來使液體在載台30內循環,並且通過導入口51將氣體導入腔室40內並從排出口52排出。
然後,控制部60使紫外線燈11點燈,並且打開擋閘13。控制部60使固定溫度的液體在載台30內流通,並且將固定的氣體從導入口51導入腔室40內並從排出口52排出,從而使氣體循環。並且,控制部60對於載置於載置面31上的被處理面板6,使照射部10放射的紫外線穿過窗材21並以固定的第1照度照射規定時間。在將紫外線以固定的第1照度照射規定時間之後,控制部60將紫外線以固定的第2照度對被處理面板6照射規定時間。
圖3是用於對第1實施方式的液晶面板的製造裝置中的照度與照射時間的關係進行說明的圖。圖3中,縱軸表示紫外線的照度(mW/cm2 ),橫軸表示紫外線的照射時間(秒)。
作為一例,將峰值波長為365 nm的紫外線如圖3所示,以作為第1照度的2 mW/cm2 來照射20秒鐘,由此以通過相對較小的照度生成聚合物穩定藍相的第1照度來進行規定照射時間的照射,直至聚合物穩定藍相相對於液晶層9整體的比率達到70%左右~80%左右為止之後,以作為第2照度的10 mW/cm2 來照射40秒鐘,從而使剩餘的液相層發生反應而生成聚合物穩定藍相,並且去除殘留的聚合性單體。本實施方式中,以第1照度的五倍的第2照度,來進行以第1照度照射的照射時間的兩倍的照射時間的照射。
如此,在照射工序中,僅在最初的數十秒以相對較小的第1照度來進行照射,隨後以相對較大的第2照度來進行照射,由此,例如在第1照度下照射時間耗費近數百秒的照射時間縮短至60秒。而且,在以第1照度進行照射直至聚合物穩定藍相相對於液晶層9整體的比率達到70%左右以上為止之後,以第2照度,進行比第1照射的照射時間長的照射時間的照射,由此,針對被處理面板6的紫外線照射時間得到有效縮短。
如上所述,通過適當切換第1照度與第2照度,從而適當地生成聚合物穩定藍相,但在不以2 mW/cm2 的第1照度來進行照射,而是從最初開始便以10 mW/cm2 的第2照度來進行照射的情況下,伴隨紫外線照射引起的被處理面板6的溫度上升將變得顯著。結果存在下述不良情況,即,會呈現出藍相以外的各向同性液體,產生液晶面板的顯示特性的下降、顯示特性的不均。
另外,並不限定於所述第1照度及第2照度的大小、第1照度及第2照度下的各照射時間,可根據被處理面板6來分別適當設定。而且,也可在以第1照度照射規定時間後,控制部60以將照度從第1照度逐漸變大至第2照度為止的方式來進行控制。而且,也可根據需要,在以第2照度照射規定時間後,以比第2照度更大的第3照度來進行照射。
在將紫外線以第2照度對被處理面板6照射固定時間後,控制部60關閉擋閘13,並打開腔室40的擋閘43。並且,使用機械臂等,從腔室40的照射箱20內的載台30的載置面31上拆卸被處理面板6,並通過搬出/搬入口44而將被處理面板6搬送至液晶面板的製造工序中的下一工序。
表1是用於對第1實施方式中,被處理面板6相對於紫外線照度的溫度變化的測定結果進行說明的表格。 表1
如表1所示,在將被處理面板6的溫度設定為45℃的情況下,以第1照度即2 mW/cm2 照射時的最大溫度與最小溫度之差即變動範圍為0.6℃。而且,以第2照度即10 mW/cm2 照射時的最大溫度與最小溫度之差即變動範圍為2.0℃。繼而,在將被處理面板6的溫度設定為55℃的情況下,以第1照度即2 mW/cm2 照射時的最大溫度與最小溫度之差即變動範圍為0.7℃。而且,以第2照度即10 mW/cm2 照射時的最大溫度與最小溫度之差即變動範圍為2.1℃。
因此,在以第1照度進行照射時,被處理面板6的溫度相對於設定溫度而被抑制在±0.5℃的範圍內。而且,在以第2照度進行照射時,被處理面板6的溫度相對於設定溫度而被抑制在±1.0℃左右的範圍內。
如上所述,第1實施方式中,具有控制部60,該控制部60對照射部10進行控制,以使得在以第1照度來對被處理面板6照射紫外線後,以比第1照度大的第2照度來對被處理面板6照射紫外線。由此,能夠抑制對被處理面板6照射紫外線的照射時間的冗長化。
而且,第1實施方式中,通過使第2照度的照射時間長於第1照度的照射時間,從而能夠抑制針對被處理面板6的紫外線照射時間的冗長化。
而且,第1實施方式的液晶面板的製造裝置1中,具有載台30,該載台30使對載置被處理面板6的載置面31的溫度進行調節的調溫介質流經內部。由此,能夠一邊進行被處理面板6的調溫,一邊對被處理面板6照射紫外線。其結果,能夠適當地保持紫外線照射時的被處理面板6的溫度,從而能夠提高液晶面板的品質。
而且,第1實施方式中的被處理面板6具有液晶層9,該液晶層9包含向列液晶組合物、呈現藍相的液晶組合物、與聚合性單體。由此,被處理面板6能夠通過照射紫外線來呈現聚合物穩定藍相。
另外,第1實施方式中的照射部10是使用多個紫外線燈11來構成,但也可取代紫外線燈11而使用在平面上排列有作為LED的多個發光元件的LED模組(未圖示)來作為光源。通過如此般使用LED模組作為光源來切換照度,從而在由第1照度調光至第2照度時,直至第2照度穩定為止的穩定時間將達到數秒以內,因此能夠提高照射工序的穩定性。
而且,在照射部10使用LED模組的結構的情況下,也可構成為通過改變多個發光元件的點燈狀態,來切換第1照度與第2照度。此時,控制部60通過僅使LED模組所具有的多個發光元件的一部分點燈,從而以第1照度來進行照射。繼而,控制部60通過使LED模組所具有的多個發光元件全部點燈,從而以第2照度來進行照射。根據如此般改變點燈狀態的結構,無須對各個發光元件的照度進行調光,可通過利用簡單的結構來控制發光元件的點燈狀態來切換第1照度與第2照度。而且,也可與該結構同樣地構成為,控制部60僅使多個紫外線燈11的一部分點燈,從而以第1照度來進行照射,並使多個紫外線燈11全部點燈,從而以第2照度來進行照射。
以下,對於其他實施方式的液晶面板的製造裝置,參照附圖來進行說明。另外,其他實施方式中,對於與第1實施方式相同的構成構件,標注與第1實施方式相同的符號並省略說明。
(第2實施方式)
圖4是表示第2實施方式的液晶面板的製造裝置的示意圖。第1實施方式的變形例中構成為,使用LED模組,對照度相等的多個發光元件的點燈狀態進行切換,從而以第1照度與第2照度來進行照射,但第2實施方式與第1實施方式等的不同之處在於,使用具有照度不同的多個發光元件的LED模組。
如圖4所示,第2實施方式的液晶面板的製造裝置2所具有的照射部82包括LED模組87,該LED模組87將紫外線以第1照度及第2照度來分別照射至被處理面板6。
第2實施方式中的LED模組87具有:作為第1光源的多個第1發光元件87a,以第1照度來照射紫外線;以及作為第2光源的多個第2發光元件87b,以比第1照度大的第2照度來照射紫外線。在LED模組87中,配置於平面上的多個第1發光元件87a與多個第2發光元件87b例如是呈格子狀或相對於規定方向而交替地排列。作為第1發光元件87a及第2發光元件87b,使用紫外線LED。
而且,LED模組87例如具有由陶瓷形成有基材的基板。作為基板的基材,在基板要確保反射特性的情況下,理想的是白色並具有高反射率的氧化鋁,在要確保更高的散熱性能的情況下,理想的是導熱率高的氮化鋁。而且,在陶瓷制的基板上,雖未圖示,但形成有用於對第1發光元件87a及第2發光元件87b通電的包含Ag等的導電圖案(pattern)。在導電圖案中,除了安裝部及供電部等以外,為了確保絕緣性與防止腐蝕,包覆有以玻璃等為主成分的無機材料。而且,在基板上設有鋁制的散熱構件,使用水冷結構來進行冷卻,以將散熱構件保持為固定溫度。
(第2實施方式中的照度切換)
控制部60通過僅使LED模組87的第1發光元件87a點燈,從而以第1照度將紫外線照射至被處理面板6。繼而,控制部60通過僅使LED模組87的第2發光元件87b點燈,從而以第2照度將紫外線照射至被處理面板6。
而且,第2實施方式並不限定於在以第2照度進行照射時僅使第2發光元件87b點燈的結構,也可在以第2照度進行照射時,除了使第2發光元件87b點燈以外,還使第1發光元件87a的一部分或全部點燈。
根據第2實施方式,無須對各個發光元件87a、87b進行調光,通過切換第1發光元件87a與第2發光元件87b的點燈狀態,從而能夠切換第1照度與第2照度。
而且,第2實施方式中,也與第1實施方式同樣,能夠抑制對被處理面板6照射紫外線的照射時間的冗長化。
(第3實施方式)
圖5是表示第3實施方式的液晶面板的製造裝置的示意圖。第3實施方式與第1實施方式的不同之處在於,使用具有照度不同的多個照射區域的LED模組。
如圖5所示,第3實施方式的液晶面板的製造裝置3所具有的照射部83具有:LED模組88,將紫外線以第1照度及第2照度分別照射至被處理面板6;以及移動機構90,使LED模組88相對於被處理面板6而移動。
LED模組88具有:第1照射區域88a,以第1照度將紫外線照射至被處理面板6;以及第2照射區域88b,以第2照度將紫外線照射至被處理面板6。第1照射區域88a與第2照射區域88b是在圖5中的A方向上鄰接地設置。而且,在第1照射區域88a及第2照射區域88b中,分別排列有多個發光元件。配置於第2照射區域88b中的發光元件的照度比配置於第1照射區域88a中的發光元件的照度大,第2照射區域88b能夠以第2照度來照射紫外線。
而且,LED模組88通過移動機構90,沿A方向可移動地設置。雖未圖示,但移動機構90例如具有:導軌(guide rail),沿著A方向而設;以及驅動機構,沿著導軌而在A方向上驅動LED模組88。控制部60通過控制移動機構90來使第1照射區域88a及第2照射區域88b相對於被處理面板6而移動,從而切換被處理面板6與第1照射區域88a及第2照射區域88b的相對位置。另外,控制部60也可以下述方式進行控制,即,聯動於使第1照射區域88a及第2照射區域88b向與被處理面板6相向的位置移動的動作,僅使與被處理面板6相向的第1照射區域88a及第2照射區域88b中的其中一者點燈。
(第3實施方式中的照度切換)
第3實施方式中,通過控制部60控制移動機構90,從而使LED模組88的第1照射區域88a移動至與載台30上的被處理面板6相向的位置,通過第1照射區域88a來以第1照度進行照射。繼而,通過控制部60控制移動機構90,從而使第2照射區域88b移動至與被處理面板6相向的位置,通過第2照射區域88b來以第2照度進行照射。
根據第3實施方式,無須對各個發光元件進行調光,通過使第1照射區域88a與第2照射區域88b的位置移動以與被處理面板6相向,從而能夠切換第1照度與第2照度。
而且,第3實施方式中,也與第1實施方式及第2實施方式同樣地,能夠抑制對被處理面板6照射紫外線的照射時間的冗長化。
(第4實施方式)
圖6是表示第4實施方式的液晶面板的製造裝置的示意圖。第4實施方式與第1實施方式的不同之處在於,使用照度不同的多個LED模組,以及對載置於多個載臺上的被處理面板6進行照射。
如圖6所示,第4實施方式的液晶面板的製造裝置4所具有的照射部84具有:作為第1光源的第1 LED模組89a、作為第2光源的第2 LED模組89b、以及使第1 LED模組89a及第2 LED模組89b相對於被處理面板6而移動的移動機構90。
而且,如圖6所示,第4實施方式的液晶面板的製造裝置4具備兩個腔室40、40。而且,照射部84是遍及兩個腔室40、40移動自如地設置,光照射部84對任一個腔室40、40的載台30、30的載置面31、31上的被處理面板6、6照射光。進而,在各腔室40、40中,設有通過機械臂來使被處理面板6、6進出且由擋閘43、43開閉的搬出/搬入口44、44。
第1 LED模組89a是將以第1照度對被處理面板6照射紫外線的多個發光元件排列在平面上而成。第2 LED模組89b是將以第2照度對被處理面板6照射紫外線的多個發光元件排列在平面上而成。第1 LED模組89a與第2 LED模組89b是在圖6中的A方向上鄰接地設置。
而且,第1 LED模組89a及第2 LED模組89b通過移動機構90可沿A方向移動地設置。控制部60通過控制移動機構90來使第1 LED模組89a及第2 LED模組89b相對於被處理面板6而移動,從而切換被處理面板6與第1 LED模組89a及第2 LED模組89b的相對位置。
(第4實施方式中的照度切換)
第4實施方式中,通過控制部60控制移動機構90,從而使第1 LED模組89a移動至與載台30上的被處理面板6相向的位置,通過第1 LED模組89a來以第1照度進行照射。繼而,通過控制部60控制移動機構90,從而使第2 LED模組89b移動至與被處理面板6相向的位置,通過第2 LED模組89b來以第2照度進行照射。
根據第4實施方式,無須對各個發光元件進行調光,通過使第1 LED模組89a與第2 LED模組89b的位置移動以與被處理面板6相向,從而能夠切換第1照度與第2照度。
而且,第4實施方式中,也與第1實施方式至第3實施方式同樣地,能夠抑制對被處理面板6照射紫外線的照射時間的冗長化。
而且,第4實施方式中,能夠對多個被處理面板6進行照射。進而,第4實施方式中,例如在照射部84對其中一個被處理面板6進行照射時,另一個被處理面板6使用機械臂(未圖示)而相對於腔室40進出。此時,另一個被處理面板6也可載置於載台30的載置面31上,在另一個被處理面板6載置於載台30的載置面31後,也可控制載台30及循環型空調裝置50,以使另一個被處理面板6的溫度相對於10℃~70℃的範圍的規定的設定溫度而為±0.5℃以內。即,在照射部84對其中一個被處理面板6進行照射時,另一個被處理面板6能夠在進行了針對其中一個被處理面板6的照射之後立即快速地進行照射,因此能夠進一步抑制對被處理面板6照射紫外線的照射時間的冗長化。除此以外,在第1 LED模組89a以第1照度對其中一個被處理面板6照射紫外線時,也可由第2 LED模組89b以第2照度對另一個被處理面板6照射紫外線。借此,能夠進一步抑制對被處理面板6照射紫外線的照射時間的冗長化。
而且,作為第3實施方式及第4實施方式的變形例,也可構成為,被處理面板6側相對於照射部83、84而移動。在此情況下,例如也可構成為,配置有被處理面板6的腔室40通過移動機構相對於照射部83、84而移動。
對本發明的實施方式進行了說明,但實施方式僅為例示,並不意圖限定本發明的範圍。實施方式能夠以其他的各種形態來實施,在不脫離發明的主旨的範圍內,能夠進行各種省略、置換、變更。實施方式及其變形包含在本發明的範圍或主旨內,同樣包含在權利要求書所記載的發明及其均等的範圍內。
1、2、3、4‧‧‧液晶面板的製造裝置
6‧‧‧被處理面板
7‧‧‧彩色濾光片基板
8‧‧‧相向基板
9‧‧‧液晶層
10、82、83、84‧‧‧照射部
11‧‧‧紫外線燈
12‧‧‧反射板
13、43‧‧‧擋閘
20‧‧‧照射箱
21‧‧‧窗材
30‧‧‧載台
31‧‧‧載置面
32‧‧‧液體保溫循環裝置
33‧‧‧配管
40‧‧‧腔室
44‧‧‧搬出/搬入口
50‧‧‧循環型空調裝置
51‧‧‧導入口
52‧‧‧排出口
53‧‧‧送風管
60‧‧‧控制部
87、88‧‧‧LED模組
87a‧‧‧第1發光元件
87b‧‧‧第2發光元件
88a‧‧‧第1照射區域
88b‧‧‧第2照射區域
89a‧‧‧第1LED模組
89b‧‧‧第2LED模組
90‧‧‧移動機構
圖1是表示第1實施方式的液晶面板的製造裝置的示意圖。 圖2是示意性地表示使用第1實施方式的液晶面板的製造裝置來照射紫外線的液晶面板的剖面圖。 圖3是用於對第1實施方式的液晶面板的製造裝置中的照度與照射時間的關係進行說明的圖。 圖4是表示第2實施方式的液晶面板的製造裝置的示意圖。 圖5是表示第3實施方式的液晶面板的製造裝置的示意圖。 圖6是表示第4實施方式的液晶面板的製造裝置的示意圖。 圖7是用於對聚合物穩定藍相的呈現進行說明的相圖。

Claims (8)

  1. 一種液晶面板的製造裝置,其特徵在於包括: 照射部,對被處理面板照射紫外線; 載台,具有載置所述被處理面板的載置面,且使對所述載置面的溫度進行調節的調溫介質流經內部;以及 控制部,對所述照射部進行控制,以使得在以第1照度來對所述被處理面板照射紫外線之後,以比所述第1照度大的第2照度來對所述被處理面板照射紫外線。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的液晶面板的製造裝置,其中, 所述第2照度的照射時間長於所述第1照度的照射時間。
  3. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的液晶面板的製造裝置,其中, 所述被處理面板包含具有彩色濾光片的第1基板、與所述第1基板相向的第2基板、以及設於所述第1基板與所述第2基板之間的液晶層, 所述被處理面板的所述第1基板及所述第2基板中的其中一側被載置於所述載臺上, 所述照射部從所述第1基板及所述第2基板中的另一側將紫外線照射至所述液晶層。
  4. 如申請專利範圍第3項所述的液晶面板的製造裝置,其中, 所述液晶層包含向列液晶組合物、呈現藍相的液晶組合物、及聚合性單體,通過照射紫外線來呈現聚合物穩定藍相。
  5. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的液晶面板的製造裝置,其中, 所述控制部以下述方式進行控制,即,僅使所述照射部的照射區域的一部分點燈,從而以所述第1照度來進行照射,並使所述照射區域的整體點燈,從而以所述第2照度來進行照射。
  6. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的液晶面板的製造裝置,其中, 所述照射部具有以所述第1照度來照射紫外線的第1光源、及以所述第2照度來照射紫外線的第2光源。
  7. 如申請專利範圍第6項所述的液晶面板的製造裝置,還包括: 移動機構,使所述第1光源及所述第2光源或者使所述被處理面板移動, 所述控制部通過控制所述移動機構,來切換所述被處理面板與所述第1光源及所述第2光源的相對位置。
  8. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的液晶面板的製造裝置,其中, 所述照射部具備一光源,所述光源具有以所述第1照度來照射紫外線的第1照射區域與以所述第2照度來照射紫外線的第2照射區域, 所述液晶面板的製造裝置還包括使所述光源或所述被處理面板移動的移動機構, 所述控制部通過控制所述移動機構,來切換所述被處理面板與所述第1照射區域及所述第2照射區域的相對位置。
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