CN106166553A - 清洁装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种清洁装置，能够将微细的异物与毫米尺寸的相对较大的异物一同予以去除。本发明是一种受到搬送的薄膜状或板状对象物表面的清洁装置，包括：清洁辊，以与所述对象物的搬送方向大致垂直且与对象物表面大致平行的旋转轴为中心而旋转自如地配设，使表面在带电的状态下与所述对象物表面接触；以及辊状的清洁刷，与所述清洁辊大致平行地配设，受到旋转驱动并与所述对象物表面接触，所述清洁辊中的与对象物表面的接触点部分的旋转方向相对于所述对象物的搬送方向为顺向，所述清洁刷中的与对象物表面的接触点部分的旋转方向相对于所述对象物的搬送方向为逆向。所述清洁刷也可在带电的状态下与所述对象物表面接触。

Description

清洁装置

技术领域

本发明涉及一种清洁(cleaning)装置。

背景技术

近年来，正在开发一种清洁装置，用于将附着在平板显示器(Flat PanelDisplay，FPD)的玻璃(glass)基板、搭载电子零件的印刷(priｎｔ)基板、树脂薄板、薄膜(film)材料等对象物表面上的尘埃等异物予以除去。

作为此种清洁装置，提出下述清洁装置，其利用带电的辊(roller)状的清洁刷(cleaning brush)来去除对象物表面的异物，并利用电场的力来搬送及回收该去除的异物(参照日本专利特开2011-92846号公报)。

然而，所述公报提出的清洁装置尽管能够去除相对较大的毫米尺寸的异物，但由于会产生清洁刷接触不到对象物表面的部分，因此无法去除存在于该部分的微细的异物。而且，所述公报中，清洁刷的旋转方向相对于对象物的搬送方向而设为顺向及逆向中的任一种皆可，但经发明人等确认，结果在使清洁刷朝所述顺向旋转的情况下，无法充分去除相对较大的毫米尺寸的异物。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2011-92846号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

本发明是基于如上所述的情况而完成，其目的在于提供一种能够将微细的异物与毫米尺寸的相对较大的异物一同予以去除的清洁装置。

[解决问题的技术手段]

为了解决所述问题而完成的发明是一种受到搬送的薄膜状或板状对象物表面的清洁装置，所述清洁装置的特征在于包括：清洁辊，以与所述对象物的搬送方向大致垂直且与对象物表面大致平行的旋转轴为中心而旋转自如地配设，使表面在带电的状态下与所述对象物表面接触；以及辊状的清洁刷，与所述清洁辊大致平行地配设，受到旋转驱动并与所述对象物表面接触，所述清洁辊中的与对象物表面的接触点部分的旋转方向相对于所述对象物的搬送方向为顺向，所述清洁刷中的与对象物表面的接触点部分的旋转方向相对于所述对象物的搬送方向为逆向。

该清洁装置中，清洁刷是以在与对象物表面的接触点部分相对于对象物的搬送方向成为逆向的方式受到旋转驱动并与对象物表面接触，因此能够拂起附着于对象物表面的异物，从而能够有效地去除毫米尺寸的相对较大的异物。而且，该清洁装置中，表面为带电状态的清洁辊与对象物表面接触，因此也能够通过借助电场的力对清洁辊表面的吸附来有效地去除微细的异物。另外，所谓“大致平行”，是指所成的角度为±10°以内。所谓“大致垂直”，是指所成的角度为90°±10°以内。

所述清洁刷也可在带电的状态下与所述对象物表面接触。这样，清洁刷也在带电的状态下与对象物表面接触，由此，借助电场的力，异物更容易被吸附至清洁刷，因此能够更有效地去除对象物表面的异物。

所述清洁刷可与清洁辊表面接触。这样，使清洁刷与清洁辊表面接触，由此，能够使被吸附在清洁辊表面的异物移动到清洁刷。由此，能够抑制清洁辊的吸附效果的下降。

可还包括：集尘辊，与所述清洁刷大致平行地配设，使表面在带电的状态下与所述清洁刷的外周侧接触。这样，与清洁刷大致平行地配设使表面在带电的状态下与清洁刷外周侧接触的集尘辊，由此，例如通过使集尘辊表面以高于清洁刷的电压而带电，从而能够使已移动到清洁刷的异物进一步移动到集尘辊，因此能够省去或减轻附着于清洁刷的异物的去除作业。

可还包括：刷辊，与所述清洁辊大致平行地配设，带电且受到旋转驱动并与所述清洁辊表面接触。这样，与清洁辊大致平行地配设带电且受到旋转驱动并与清洁辊表面接触的刷辊，由此，能够使被吸附在清洁辊表面的异物移动到刷辊，因此能够抑制清洁辊的吸附效果的下降。

可还包括：一个或两个集尘辊，与所述清洁刷及刷辊大致平行地配设，使表面在带电的状态下与所述清洁刷及刷辊的外周侧接触。这样，与清洁刷及刷辊大致平行地配设使表面在带电的状态下与清洁刷及刷辊这两者的外周侧接触的一个集尘辊，由此，例如通过使该集尘辊表面以高于清洁刷及刷辊的电压而带电，从而能够使已移动到清洁刷及刷辊的异物进一步移动到集尘辊，因此能够省去或减轻附着于清洁刷及刷辊的异物的去除作业。而且，通过与清洁刷大致平行地配设使表面在带电的状态下与清洁刷接触的一个集尘辊，并且与刷辊大致平行地配设使表面在带电的状态下与刷辊接触的另一个集尘辊，也能够使已移动到清洁刷及刷辊的异物进一步移动到这些集尘辊，因此能够省去或减轻附着于清洁刷及刷辊的异物的去除作业。

所述清洁辊及清洁刷可被装入单个单元。这样，将清洁辊及清洁刷装入单个单元，由此能够使该清洁装置小型化。

可独立地具备装入有所述清洁辊的单元与装入有所述清洁刷的单元。这样，将装入有清洁辊的单元与装入有清洁刷的单元设为独立的单元，由此，每个单元的更换成为可能，从而能够根据清洁辊及清洁刷各自的寿命来进行个别更换。

(发明的效果)

如以上所述，本发明的清洁装置能够将微细的异物与毫米尺寸的相对较大的异物一同予以去除。

附图说明

图1是本发明的第一实施方式的清洁装置的示意图。

图2是本发明的第二实施方式的清洁装置的示意图。

图3是与图1及图2的实施方式不同的实施方式的清洁装置的示意图。

图4A是与图1、图2及图3的实施方式不同的实施方式的清洁装置的清洁辊单元的示意图。

图4B是与图1、图2及图3的实施方式不同的实施方式的清洁装置的清洁刷单元的示意图。

图5是与图1、图2、图3及图4A的实施方式不同的实施方式的清洁装置的示意图。

附图标记：

1、21、31：清洁装置

2、22、32、42：清洁辊

2a：芯棒

2b：内层部

2c：外层部

3、23、33、53：清洁刷

3a：芯棒

3b：刷部

4、44：刷辊

4a：芯棒

4b：刷部

5、25、45、55：集尘辊

6、26、46、56：刮板

7：框架

8、48、58：异物回收部

9：第一相向电极辊

10：第二相向电极辊

11：导辊

41：清洁辊单元

51：清洁刷单元

61：清洁系统

C：搬送方向

S：对象物

具体实施方式

以下，参照适当的附图来详述本发明的实施方式。

[第一实施方式]

图1所示的该清洁装置1是受到搬送的薄膜状或板状对象物S表面的清洁装置。该清洁装置1主要具备：清洁辊2，以与对象物S的搬送方向C大致垂直且与对象物S表面大致平行的旋转轴为中心而旋转自如地配设，使表面在带电的状态下与对象物S表面接触；以及辊状的清洁刷3，与清洁辊2大致平行地配设，受到旋转驱动并与对象物S表面接触。而且，该清洁装置1还具备：刷辊4，与清洁辊2大致平行地配设，带电且受到旋转驱动并与清洁辊2表面接触；以及一个集尘辊5，与清洁刷3及刷辊4大致平行地配设，使表面在带电的状态下与清洁刷3及刷辊4的外周侧接触。另外，图1中的箭头表示对象物S的搬送方向C及各辊的旋转方向。清洁辊2中的与对象物S表面的接触点部分的旋转方向相对于对象物S的搬送方向C为顺向，清洁刷3中的与对象物S表面的接触点部分的旋转方向相对于对象物S的搬送方向C为逆向。

而且，该清洁装置1具备：刮板(scraper)6，拂去附着于集尘辊5表面的异物；以及框架(frame)7，在内部收容清洁辊2、清洁刷3、刷辊4、集尘辊5及刮板6。这样，该清洁装置1中，清洁辊2及清洁刷3被装入单个单元中。

而且，该清洁装置1具备：第一相向电极辊9，以与清洁刷3大致平行地相向的方式而配设；第二相向电极辊10，以与清洁辊2大致平行地相向的方式而配设；以及一对导辊(guide roller)11，以与对象物S的搬送方向C大致垂直且与对象物S表面大致平行的旋转轴为中心而旋转自如地配设，限制对象物S受到搬送的方向。

(对象物)

由该清洁装置1去除异物的对象物S只要为薄膜状或板状，则为任何对象物皆可。例如作为对象物S，可使用FPD的玻璃基板、搭载电子零件的印刷基板、树脂薄板、薄膜材料等。

对象物S的平均厚度并无特别限定，但作为对象物S的平均厚度的下限，例如优选为30μm，更优选为50μm。若对象物S的平均厚度未满所述下限，则有可能难以搬送对象物S。

对象物S的搬送速度的下限并无特别限定，例如优选为5m/min，更优选为10m/min。另一方面，作为对象物S的搬送速度的上限，优选为30m/min，更优选为20m/min。若对象物S的搬送速度未满所述下限，则有可能异物去除所需的时间变长，从而异物的去除效率下降。相反，若对象物S的搬送速度超过所述上限，则有可能无法通过清洁辊2来充分吸附对象物S表面的异物。

<清洁辊>

清洁辊2是以与对象物S的搬送方向C大致垂直且与对象物S表面大致平行的旋转轴为中心而旋转自如地配设。该清洁辊2使表面在带电的状态下与对象物S表面接触，伴随着对象物S的搬送而摆动并通过电场的力来吸附对象物S表面所附着的异物。即，对象物S表面所附着的异物通过静电被吸附至清洁辊2表面。

清洁辊2具有圆柱状的芯棒2a、覆盖该芯棒2a周面的圆筒状的内层部2b、以及覆盖该内层部2b外周面的薄膜圆筒状的外层部2c。

作为所述内层部2b的材质，使用具有导电性的弹性构件。作为此种弹性构件，例如可列举包含碳(carbon)的聚酯(polyester)系氨基甲酸酯(urethane)等。

作为所述外层部2c的材质，只要是能够带有通过电场的力来吸附对象物S表面所附着的异物的电荷的材质即可，例如可列举丙烯酸混合聚氨基甲酸酯或氟混合聚氨基甲酸酯等聚氨基甲酸酯。通过由聚氨基甲酸酯形成所述外层部2c，与由硅酮(silicone)树脂或丁基橡胶(butyl rubber)等形成的情况相比，耐摩耗性优异，从而能够降低因塑化剂或低分子量物引起的污染。

所谓所述丙烯酸混合聚氨基甲酸酯，是指如下所述的混合物，所述混合物是以聚酯聚氨基甲酸酯或聚醚(polyether)聚氨基甲酸酯为主成分，进而包含(1)热塑性聚氨基甲酸酯及硅-丙烯酸共聚树脂、(2)丙烯酸树脂(例如在包含甲基丙烯酸-甲基丙烯酸甲酯共聚物的主链上接枝(graft)有氨乙基(aminoethyl)而成的接枝化合物)及热塑性聚氨基甲酸酯、或(3)丙烯酸树脂、聚氨基甲酸酯及氟系表面涂布剂。通过使用丙烯酸混合聚氨基甲酸酯来作为外层部2c的材质，从而可从对象物S表面轻易去除易带负(minus)电的异物。另外，所谓“主成分”，是指含量最多的成分，例如为含有50质量％以上的成分。

而且，所谓所述氟混合聚氨基甲酸酯，是指以聚氨基甲酸酯为主成分，且包含热塑性聚氨基甲酸酯及氨基甲酸酯-氟共聚物的混合物。通过使用氟混合聚氨基甲酸酯来作为外层部2c的材质，从而可从对象物S轻易去除易带正(plus)电的异物。

作为外层部2c的平均厚度的下限，优选为2μm，更优选为5μm。另一方面，作为外层部2c的平均厚度的上限，优选为500μm，更优选为50μm。若外层部2c的平均厚度未满所述下限，则有可能无法使清洁辊2表面充分带电，从而无法充分获得异物的吸附效果。相反，若外层部2c的平均厚度超过所述上限，则有可能无法获得用于吸附异物的良好的带电特性。

清洁辊2利用表面与受到搬送的对象物S接触而摆动。因而，清洁辊2以在与对象物S表面的接触点部分跟对象物S的搬送方向C成顺向的方式而旋转。由于清洁辊2带电，因此当受到搬送的对象物S表面与清洁辊2表面接近时，借助电场的力，对象物S表面的异物被吸附至清洁辊2。

<清洁刷>

辊状的清洁刷3是在较清洁辊2而在对象物S的搬送方向C上游侧，与清洁辊2大致平行地配设。该清洁刷3是以外周侧不与清洁辊2表面相接触的方式，而与清洁辊2隔开地配设。该清洁刷3一边与对象物S表面接触，一边以与对象物S表面的接触点部分的旋转方向相对于对象物S的搬送方向C成为逆向的方式而受到旋转驱动。

清洁刷3具有圆柱状的芯棒3a、以及通过在该芯棒3a周面植设多根毛而形成的刷部3b。

作为形成刷部3b的毛，优选为在物理上使异物容易附着的材质，例如可列举合成树脂制的纤维。而且，作为形成刷部3b的毛，优选为能够带有通过电场的力来吸附对象物S表面所附着的异物的电荷的材质，例如能够较佳地使用含有碳黑(carbon black)、碳纤维、金属粉、金属须(whisker)等导电性材料的合成树脂制的纤维。

刷部3b的毛的剖面形状并无特别限定，作为刷部3b，例如能够使用毛的剖面形状为圆形状、椭圆形状、星型形状等。而且，刷部3b的外形也无特别限定，作为刷部3b，例如能够使用外形为直线状、波曲线形状、曲线与直线组合构成的形状等。另外，刷部3b的表面积越大，则越容易吸附异物，因此作为形成刷部3b的毛，例如能够较佳地使用剖面形状为星型形状。

清洁刷3以在与对象物S表面的接触点部分跟对象物S的搬送方向C成为逆向的方式而受到旋转驱动，由此，拂起附着于对象物S表面的异物，该拂起的异物附着于刷部3b。另外，清洁刷3也与清洁辊2同样带电。由此，由电场的力产生的吸附力也发挥作用，因此能够更有效地使对象物S表面的异物吸附及移动至刷部3b。另外，即使电场的力不发挥作用，所述异物也会附着于刷部3b，因此清洁刷3也可未必需要带电。

作为清洁刷3朝向对象物S的平均压接量的下限，优选为0.03mm，更优选为0.05mm。另一方面，作为所述平均压接量的上限，优选为1.5mm，更优选为1mm。若所述平均压接量小于所述下限，则有可能无法充分拂起对象物S表面的异物。相反，若所述平均压接量超过所述上限，则刷部3b及对象物S表面间的摩擦力将变大，因此对象物S的搬送速度有可能下降。另外，所谓“压接量”，是指清洁刷3与对象物S的接触点部分的芯棒3a表面及对象物S间的距离与刷部3b的毛的长度之差。

作为清洁刷3的周速度的下限，优选为1m/min，更优选为3m/mｉｎ。另一方面，作为清洁刷3的周速度的上限，优选为30m/min，更优选为15m/min。若清洁刷3的周速度未满所述下限，则有可能无法充分拂起对象物S表面的异物。相反，若清洁刷3的周速度超过所述上限，则刷部3b及对象物S表面间的摩擦力将变大，因此对象物S的搬送速度有可能下降。

<刷辊>

刷辊4带电且受到旋转驱动，并以外周侧与清洁辊2表面接触的方式而与清洁辊2大致平行地配设。

刷辊4具有圆柱状的芯棒4a、以及通过在该芯棒4a的周面植设多根毛而形成的刷部4b。

作为芯棒4a及刷部4b，例如能够使用与所述的清洁刷3的芯棒3a及刷部3b同样的材质。

对于刷辊4，施加比对清洁辊2的施加电压高的电压。由此，刷辊4外周侧的电位高于清洁辊2表面，因此附着于清洁辊2表面的异物被吸附至刷辊4，清洁辊2表面的异物移动至刷辊4。

另外，受到旋转驱动的刷辊4的旋转方向为任一方向皆可，但若在清洁辊2与刷辊4的接触点部分彼此的周面上的移动方向为逆向，则可轻易拂起附着于清洁辊2表面的异物，因此异物容易移动至刷辊4。因而，优选刷辊4朝与清洁辊2相同的旋转方向旋转驱动。

<集尘辊>

集尘辊5带电且受到旋转驱动，并且以表面与清洁刷3的外周侧及刷辊4的外周侧接触的方式，而与清洁刷3及刷辊4大致平行地配设。

作为集尘辊5的材质，使用导电性材料。作为此种导电性材料，例如可列举不锈钢、铜、铝等金属材料。在使用铜或铝等易氧化的导电性材料来作为集尘辊5的情况下，优选对集尘辊5的表面进行镀镍或镀金等耐蚀性的镀敷处理。

对于集尘辊5，施加比对清洁刷3及刷辊4的施加电压高的电压。由此，集尘辊5表面的电位高于清洁刷3及刷辊4的外周侧，因此附着于清洁刷3及刷辊4的异物会被吸附至集尘辊5表面，附着于清洁刷3及刷辊4的异物移动至集尘辊5。由此，能够省去或减轻聚集在清洁刷3及刷辊4上的异物的去除作业。

集尘辊5的旋转方向为任一方向皆可。集尘辊5可在容易通过后述的刮板6来回收从集尘辊5表面拂去的异物的旋转方向上进行驱动。该清洁装置1中，集尘辊5被配设在所述清洁刷3的上方，在集尘辊5的搬送方向C上游侧，刮板6以朝搬送方向C下游侧且下方倾斜的方式而配设。因此，集尘辊5在与清洁刷3相同的旋转方向上受到驱动，由此，容易回收所述被拂去的异物。

<刮板>

刮板6例如为矩形状的板，且具有能够遍及轴方向而与集尘辊5表面接触的部分。该刮板6以朝搬送方向C下游侧且下方倾斜，且所述矩形的长边遍及旋转轴方向而与集尘辊5表面接触的方式，配设在集尘辊5的搬送方向C上游侧。此处，将刮板6的与集尘辊5表面接触的长边称作前端部。

刮板6由热固性聚氨基甲酸酯等合成树脂制的弹性体等所形成。伴随集尘辊5的旋转，通过与集尘辊5表面接触的刮板6的前端部，将附着于集尘辊5表面的异物予以拂去。由此，集尘辊5表面成为异物已被去除的洁净状态。另外，在刮板6的前端部下方配设有托盘(tray)状的异物回收部8，所述被拂去的异物掉落并被回收至该异物回收部8内。

<框架>

框架7具有：前板及后板，与对象物S的搬送方向C大致正交，且配设在搬送方向C的前后；一对侧板，与搬送方向C大致平行且相对于对象物S表面大致垂直地配设；以及顶板，与对象物S表面大致平行地配设。所述顶板连接于所述一对侧板、前板及后板的各上端。清洁辊2、清洁刷3、刷辊4、集尘辊5及刮板6被收容在具有此种形状的框架7的内侧。

而且，所述后板的下部以与对象物S表面成大致平行的方式而朝搬送方向C的下游侧弯曲，该弯曲的端部侧以不与清洁刷3接触的方式而进一步朝上方弯曲。通过该后板下部的弯曲形状，形成托盘状的异物回收部8。

框架7是由具有绝缘性的材料所形成。作为此种绝缘性材料，例如可列举聚缩醛(polyacetal)等树脂。

所述异物回收部8是形成在刮板6的前端部与集尘辊5表面接触的位置的下方。通过与刮板6的前端部的接触，从集尘辊5表面拂去的异物掉落并被回收至该异物回收部8内。

<相向电极辊>

第一相向电极辊9以使表面在带电的状态下，跟对象物S的与清洁刷3接触的面为相反侧的面接触的方式，而旋转自如地配设在与清洁刷3大致平行且相向的位置。该第一相向电极辊9伴随对象物S的搬送而摆动。

第一相向电极辊9的一部分或全部由导电性材料所形成。作为此种导电性材料，例如可列举不锈钢、铜、铝等金属材料。第一相向电极辊9既可仅由此种导电性材料形成，也可采用由合成树脂等绝缘层来覆盖由此种导电性材料所形成的芯棒外周面的结构。

对于第一相向电极辊9，施加比对清洁刷3施加的电压低的电压或正负相反的电压。或者，第一相向电极辊9接地。由此，清洁刷3的通过电场的力带来的吸附效果得到促进，对象物S的在清洁刷3侧的面上附着的异物容易被吸附至清洁刷3。

第二相向电极辊10以使表面在带电的状态下，跟对象物S的与清洁辊2接触的面为相反侧的面接触的方式，而旋转自如地配设在与清洁辊2大致平行且相向的位置。该第二相向电极辊10伴随对象物S的搬送而摆动。

第二相向电极辊10是由导电性材料所形成，例如可由与第一相向电极辊9同样的材料所形成。通过对由导电材料形成的第二相向电极辊10施加电压或者使第二相向电极辊10接地，从而清洁辊2的通过电场的力带来的吸附效果得到促进。

<导辊>

一对导辊11较清洁刷3及第一相向电极辊9而在对象物S的搬送方向C上游侧，以与对象物S的搬送方向C大致垂直且与对象物S表面大致平行的旋转轴为中心而旋转自如地配设。一对导辊11以在这些导辊11间受到搬送的对象物S的两面具有与各导辊11的周面接触的程度的间隙的方式而配设。这一对导辊11伴随对象物S的搬送而摆动。

该清洁装置1中，通过将对象物S插入至一对导辊11间，从而对象物S前端朝向该清洁装置1内的行进方向受到限制。例如在对象物S为薄的薄膜状等的情况下，前端容易弯曲，但即使在此种情况下，通过插入至一对导辊11间，也能抑制所述前端的弯曲，从而能够使对象物S前端进入清洁刷3及第一相向电极辊9间。另外，对象物S例如为前端难以弯折的板状，在容易使前端进入清洁刷3及第一相向电极辊9间的情况下，也可省去一对导辊11。

导辊11的材质优选为与对象物S之间的摩擦力小的材质，作为形成导辊11的材料，能够使用金属或树脂等。

另外，一对导辊11也可采用受到旋转驱动的结构。例如以相对于对象物S的搬送方向C而为顺向的方式来旋转驱动一对导辊11，由此，能够使该清洁装置1内的对象物S的搬送速度为固定。

[清洁方法]

对使用图1的清洁装置1来去除附着在薄膜状或板状对象物表面的异物的清洁方法进行说明。该清洁方法主要具备：搬送薄膜状或板状对象物S的工序(搬送工序)；第一异物吸附工序，通过清洁刷3来吸附对象物S表面所附着的异物，所述清洁刷3与对象物S表面接触，且以与对象物S表面的接触点部分的旋转方向相对于对象物S的搬送方向C为逆向的方式而受到旋转驱动；以及第二异物吸附工序，通过清洁辊2来吸附所述异物，所述清洁辊2是旋转自如地配设，且使表面在带电的状态下与对象物S表面接触。而且，该清洁方法还具备：第一异物移动工序，使吸附至清洁辊2的异物移动至刷辊4，所述刷辊4带电且受到旋转驱动并与清洁辊2表面接触；第二异物移动工序，使附着于清洁刷3及刷辊4的异物移动至集尘辊5，所述集尘辊5的表面在带电的状态下与清洁刷3及刷辊4的外周侧接触；以及通过利用刮板6拂去附着于集尘辊5表面的异物来回收所述异物的工序(异物回收工序)。

<搬送工序>

所述搬送工序中，将薄膜状或板状对象物S的前端插入至一对导辊11间。例如以在搬送所述对象物S的带式输送机(belt conveyor)等搬送机构的端部配置所述一对导辊11的方式来配设清洁装置1，从而能够以所述搬送机构的搬送速度来将对象物S插入至清洁装置1。而且，例如也可通过人手来将对象物S的前端插入至一对导辊11间。当对象物S的前端被插入至导辊11间时，使对象物S的两面一边接触一边通过清洁辊2及第二相向电极辊10间，由此，清洁辊2及第二相向电极辊10摆动，利用通过该摆动所产生的清洁辊2及第二相向电极辊10的旋转惯性而在清洁装置1内搬送对象物S。

<第一异物吸附工序>

所述第一异物吸附工序中，使对象物S的附着于清洁刷3侧的面的异物吸附至清洁刷3。具体而言，清洁刷3以与对象物S表面的接触点部分的旋转方向相对于对象物S的搬送方向C为逆向的方式而受到旋转驱动，因此当清洁刷3与对象物S表面接触时，附着于对象物S表面的异物被拂起。而且，由于使清洁刷3带电，因此通过电场的力，对象物S表面的异物被吸附至清洁刷3。另外，通过所述拂起，相对较大的毫米尺寸的异物被拂起，因此在第一异物吸附工序中，借助清洁刷3，相对较大的毫米尺寸的异物从对象物S表面被有效地予以去除。

<第二异物吸附工序>

所述第二异物吸附工序中，使对象物S的附着于清洁辊2侧的面的异物吸附至清洁辊2表面。具体而言，清洁辊2在带电的状态下一边与对象物S表面接触一边摆动，因此当清洁辊2与对象物S表面接触时，借助电场的力，对象物S表面的异物被吸附至清洁辊2。此处，清洁辊2容易遍及轴方向而与对象物S表面接触，因此也能够吸附微米尺寸(micron size)的微细的异物。因而，通过进行所述第一异物吸附工序及第二异物吸附工序，从而能够将微细的异物与附着于对象物S表面的相对较大的异物一同予以去除。

<第一异物移动工序>

所述第一异物移动工序中，使在第二异物吸附工序中被吸附至清洁辊2的异物移动至刷辊4。具体而言，将比对清洁辊2施加的电压高的电压施加至刷辊4，使该刷辊4与清洁辊2表面接触并旋转驱动，由此，被吸附至清洁辊2的异物移动至刷辊4。由此，与对象物S表面接触之前的清洁辊2的周面成为无异物的洁净状态。

<第二异物移动工序>

所述第二异物移动工序中，使在第一异物吸附工序中附着于清洁刷3的异物及在第一异物移动工序中附着于刷辊4的异物移动至集尘辊5。具体而言，将比对清洁刷3及刷辊4施加的电压高的电压施加至集尘辊5，使该集尘辊5与清洁刷3及刷辊4的外周侧接触并旋转驱动，由此，附着于清洁刷3及刷辊4的异物被吸附至集尘辊5。

<异物回收工序>

所述异物回收工序中，将在第二异物移动工序中被吸附至集尘辊5表面的异物予以回收。具体而言，通过对所述表面与刮板6前端部接触的集尘辊5进行旋转驱动，从而通过刮板6将被吸附至集尘辊5表面的异物予以拂去。该拂去的异物掉落及被回收至异物回收部8内。

[优点]

该清洁装置使清洁辊的表面在带电的状态下与对象物表面接触，所述清洁辊以与对象物的搬送方向C大致垂直且与对象物表面大致平行的旋转轴为中心而旋转自如地配设，因此能够通过由电场的力带来的对清洁辊表面的吸附来有效地去除微细的异物。而且，该清洁装置使与清洁辊大致平行地配设的辊状的清洁刷在带电的状态下受到旋转驱动并与对象物表面接触，因此能够拂起附着于对象物表面的异物，从而能够有效地去除毫米尺寸的相对较大的异物。

而且，该清洁装置中，与清洁刷及刷辊大致平行地配设的集尘辊使表面在带电的状态下与清洁刷及刷辊的外周侧接触，因此能够使移动至清洁刷及刷辊的异物进一步移动至集尘辊。其结果，能够省去或减轻附着于清洁刷及刷辊的异物的去除作业。

而且，该清洁装置中，清洁辊及清洁刷被装入单个单元中，因此容易实现小型化。

[第二实施方式]

图2所示的该清洁装置21主要具备：清洁辊22，以与对象物S的搬送方向C大致垂直且与对象物S表面大致平行的旋转轴为中心而旋转自如地配设，使表面在带电的状态下与对象物S表面接触；以及辊状的清洁刷23，与清洁辊22大致平行地配设，受到旋转驱动并与对象物S表面接触。该清洁刷23与清洁辊22表面接触。而且，该清洁装置21具备集尘辊25，该集尘辊25是与清洁刷23大致平行地配设，且表面在带电的状态下与清洁刷23的外周侧接触。所述清洁辊22中的与对象物S表面的接触点部分的旋转方向相对于对象物S的搬送方向C为顺向，清洁刷23中的与对象物S表面的接触点部分的旋转方向相对于对象物S的搬送方向C为逆向。

而且，该清洁装置21具备：刮板26，拂去附着于集尘辊25表面的异物；第一相向电极辊9，以与清洁刷23大致平行地相向的方式而配设；第二相向电极辊10，以与清洁辊22大致平行地相向的方式而配设；以及一对导辊11，以与对象物S的搬送方向C大致垂直且与对象物S表面大致平行的旋转轴为中心而旋转自如地配设，限制对象物S的前端行进的方向。另外，该清洁装置21中，清洁辊22、清洁刷23、集尘辊25及刮板26被收容在框架内，且与第一实施方式的清洁装置1同样地被装入单个单元中，但图2中省略了框架的图示。

而且，该清洁装置21不具备刷辊，且清洁辊22与清洁刷23的相对配置不同，除此以外，与第1实施方式的清洁装置1为同样的结构，因此，对于清洁辊22、清洁刷23、集尘辊25及刮板26以外，标注相同符号并省略说明。

<清洁辊>

清洁辊22使表面在带电的状态下与对象物S表面接触，伴随着对象物S的搬送而摆动并通过电场的力来吸附对象物S表面所附着的异物。该清洁辊22例如能够使用与第一实施方式的清洁辊2同样的。

<清洁刷>

辊状的清洁刷23是与清洁辊22大致平行地配设，且一边与对象物S表面接触，一边以与对象物S表面的接触点部分的旋转方向相对于对象物S的搬送方向C为逆向的方式而受到旋转驱动。清洁刷23例如能够使用与第一实施方式的清洁刷3同样的。

清洁辊22及清洁刷23与第一实施方式的清洁辊2及清洁刷3，相对的位置关系不同。即，第一实施方式的清洁辊2及清洁刷3是隔开地配设，与此相对，清洁刷23是以与清洁辊22表面接触的方式而配设。

对于清洁刷23，施加比对清洁辊22的施加电压高的电压。由此，清洁刷23的外周侧的电位高于清洁辊22表面，因此附着于清洁辊22表面的异物将被吸附至清洁刷23，清洁辊22表面的异物移动至清洁刷23。

<集尘辊>

集尘辊25是与清洁刷23大致平行地配设，且以使表面在带电的状态下与清洁刷23的外周侧接触的方式而受到旋转驱动。集尘辊25例如能够使用与第一实施方式的集尘辊5同样的。

对于集尘辊25，施加比对清洁刷23的施加电压高的电压。由此，集尘辊25表面的电位高于清洁刷23的外周侧，因此附着于清洁刷23的异物将被吸附至集尘辊25表面，附着于清洁刷23的异物移动至集尘辊25。由此，能够省去或减轻聚集在清洁刷23上的异物的去除作业。

集尘辊25的旋转方向为任一方向皆可，但可在容易通过刮板26来回收从集尘辊25表面拂去的异物的旋转方向上进行驱动。该清洁装置21中，在集尘辊25的搬送方向C上游侧，矩形状的刮板26以朝搬送方向C下游侧且下方倾斜的方式而配设，因此集尘辊25在与清洁刷23相同的旋转方向上受到驱动。

<刮板>

刮板26是以朝搬送方向C下游侧且下方倾斜，且前端部成为遍及旋转轴方向而与集尘辊25表面接触的状态的方式而配设。刮板26例如能够使用与第一实施方式的刮板6同样的。

伴随集尘辊25的旋转，通过与集尘辊25表面接触的刮板26的前端部来拂去附着于集尘辊25表面的异物。由此，集尘辊25表面成为无异物的洁净状态。由刮板26拂去的异物掉落及被回收至未图示的异物回收部内。

[优点]

该清洁装置使被吸附至清洁辊22表面的异物移动至清洁刷23，因此无须配设使清洁辊22表面的异物移动的刷辊。由此，能够降低设备成本并且容易实现小型化。

[其他实施方式]

本发明并不限定于所述实施方式，除了所述形态以外，能够以实施了各种变更、改良的形态来实施。

所述实施方式中，对清洁刷较清洁辊而配设在对象物的搬送方向上游侧的结构的清洁装置进行了说明，但也可如图3的清洁装置31般，采用将清洁辊32较清洁刷33而配设在对象物S的搬送方向C上游侧的结构。图3的清洁装置31与第二实施方式的清洁装置21的不同之处在于清洁辊及清洁刷相对于对象物S的搬送方向C的排列。另外，图3中，省略了清洁辊32及清洁刷33以外的各部的图示。该清洁装置31中，首先通过清洁辊32来吸附对象物S表面所附着的异物之后，通过清洁刷33来吸附去除残存于对象物S表面的异物。此处，清洁辊32主要吸附微细的异物，清洁刷33拂起对象物S表面的相对较大的异物，主要吸附该拂起的异物。

如图2的清洁装置21般，在对象物S的搬送方向C上游侧配设清洁刷23的情况下，通过清洁刷23来拂起对象物S表面的异物之后，清洁辊22吸附对象物S表面的异物，因此通过拂起而堆积在对象物S表面的微细的异物也能够由清洁辊22予以去除，从而能够有效地去除附着于对象物S的异物。另一方面，如图3的清洁装置31般，在对象物S的搬送方向C上游侧配设清洁辊32的情况下，通过清洁辊32而去除了对象物S表面的微细的异物之后，通过清洁刷33来拂起对象物S表面的异物。在该拂起时，相对较大的异物也会被拂起，因此通过清洁刷33，相对较大的异物也能够与微细的异物一同被吸附去除。因而，在此情况下，也能够将微细的异物与相对较大的异物一同予以去除。

而且，所述实施方式中，对清洁辊及清洁刷被装入单个单元中的结构进行了说明，但也可采用将它们装入不同单元的结构。具体而言，作为装入清洁辊及清洁刷的单元，例如也可如图4A所示的装入有清洁辊42的清洁辊单元41、及图4B所示的装入有清洁刷53的清洁刷单元51般采用不同的单元。所述清洁辊单元41是以清洁辊42表面与受到搬送的对象物表面接触并摆动的方式而配设。如此般配设的清洁辊单元41中，清洁辊42吸附对象物表面所附着的异物，被吸附至该清洁辊42的异物移动至刷辊44，移动至该刷辊44的异物进而被吸附至第一集尘辊45，附着于该第一集尘辊45表面的异物被刮板46拂去而由异物回收部48予以回收。另一方面，所述清洁刷单元51是以清洁刷53的外周侧与对象物表面接触的方式而配设。如此般配设的清洁刷单元51中，清洁刷53拂起并且吸附对象物表面所附着的异物，附着于该清洁刷53的异物被吸附至第二集尘辊55，附着于该第二集尘辊55表面的异物被刮板56拂去并由异物回收部58予以回收。另外，该清洁装置中，如上所述，作为与清洁刷53外周侧接触的集尘辊，具备与第一集尘辊45独立的第二集尘辊55，所述第一集尘辊45与刷辊44外周侧接触。即，该清洁装置具备两个集尘辊。

所述清洁辊单元41及清洁刷单元51例如是沿着对象物的搬送方向C而依序配设，各单元进行对象物表面的异物的吸附及去除。通过采用如此般独立地具备装入有清洁辊42的清洁辊单元41与装入有清洁刷53的清洁刷单元51的结构，从而能够容易地调换沿着对象物的搬送方向C而配设的顺序，而且，也能够沿着对象物的搬送方向C来配设多个清洁辊单元41或多个清洁刷单元51。而且，在需要更换清洁辊42时，只要仅更换清洁辊单元41即可，在需要更换清洁刷53时，只要仅更换清洁刷单元51即可。因而，能够使清洁辊42及清洁刷53在各自的可使用期间内继续使用。

而且，所述实施方式中，对将在受到搬送的对象物的单面附着的异物予以去除的结构进行了说明，但也可采用将所述实施方式的清洁装置配设在对象物的两面侧，以去除在对象物的两面附着的异物的结构。例如，如图5的清洁系统61，采用具备两个图2的清洁装置21的结构，由此，能够去除对象物两面的异物。该清洁系统61中，在对象物S的搬送方向C上游侧，配设有将对象物S的其中一个面的异物予以去除的清洁装置21，在其下游侧，配设有将对象物S的另一个面的异物予以去除的另一清洁装置21。即，上游侧的清洁装置21是以清洁辊及清洁刷与对象物S的其中一个面接触的方式而配设，下游侧的清洁装置21是以清洁辊及清洁刷与对象物S的另一个面接触的方式而配设。另外，此处，对将第二实施方式的清洁装置21配设在对象物两面侧的结构进行了说明，但既可采用将图1的清洁装置1或图3的清洁装置31配设在对象物两面侧的结构，也可采用在对象物S的其中一面侧与另一面侧配设结构不同的清洁装置的结构。

而且，所述第一实施方式中，对具备一个集尘辊的结构的清洁装置进行了说明，这一个集尘辊与清洁刷及刷辊这两者的外周侧接触，吸附清洁刷及刷辊上所附着的异物，但也可采用具备分别吸附清洁刷及刷辊上所附着的异物的两个集尘辊的结构。通过采用如此般具备两个集尘辊的结构，从而集尘辊在表面始终为洁净的状态下与清洁刷及刷辊接触，因此能够更切实地使附着于清洁刷及刷辊上的异物移动至集尘辊。

[实施例]

以下，通过实施例来更具体地说明本发明，但本发明并不限定于以下的实施例。

[实施例1]

使用在对象物的搬送方向上游侧配设有图4B的清洁刷单元51并在下游侧配设有图4A的清洁辊单元41的清洁装置，对散布于测试用对象物表面的异物的去除效果进行评价。具体而言，作为测试用对象物，使用平均厚度75μm、平均宽度100mm、平均长度100mm的带状的聚对苯二甲酸乙二酯(Polyethylene Terephthalate，PET)片材(sheet)，在该PET片材表面，作为测试用异物，散布平均直径2mm的圆形状的PET，将该PET片材以搬送速度12m/min而插入至所述清洁装置。作为清洁刷53，使用具有聚酯制的刷部，该清洁刷53是以对PET片材的压接量为0.5mm的方式而配设，且以与PET片材表面的接触点部分的旋转方向相对于PET片材的搬送方向而为逆向的方式，以周速度6m/min受到旋转驱动。而且，将对清洁刷53的施加电压设为-800V，将对集尘辊55的施加电压设为-1200V。另外，清洁辊42伴随着PET片材的搬送而摆动，因此清洁辊42的周速度为12m/min。而且，将对清洁辊42的施加电压设为-400V，将对刷辊44的施加电压设为-800V，将对集尘辊45的施加电压设为-1200V。

[实施例2]

以对PET片材的压接量为0.1mm的方式来配设清洁刷53，除此以外，借助与实施例1同样的方法，将散布有测试用异物的PET片材插入至所述清洁装置。

[比较例1]

以对PET片材的压接量为0.1mm的方式来配设清洁刷53，使清洁刷53以与PET片材表面的接触点部分的旋转方向相对于PET片材的搬送方向而为顺向的方式并以周速度36m/min而旋转驱动，除此以外，借助与实施例1同样的方法，将散布有测试用异物的PET片材插入至所述清洁装置。

[比较例2]

使清洁刷53以与PET片材表面的接触点部分的旋转方向相对于PET片材的搬送方向而为顺向的方式并以周速度24m/min而旋转驱动，除此以外，借助与实施例1同样的方法，将散布有测试用异物的PET片材插入至所述清洁装置。

[比较例3]

使清洁刷53以与PET片材表面的接触点部分的旋转方向相对于PET片材的搬送方向而为顺向的方式并以周速度12m/min而旋转驱动，除此以外，借助与实施例1同样的方法，将散布有测试用异物的PET片材插入至所述清洁装置。

[比较例4]

以对PET片材的压接量为0.1mm的方式来配设清洁刷53，使清洁刷53以与PET片材表面的接触点部分的旋转方向相对于PET片材的搬送方向而为顺向的方式并以周速度6m/min而旋转驱动，除此以外，借助与实施例1同样的方法，将散布有测试用异物的PET片材插入至所述清洁装置。

[清洁性评价]

在实施例1、实施例2、比较例1～比较例4中，将15个测试用异物散布于清洁装置插入前的PET片材表面，通过目测来对通过清洁装置后的残存于PET片材表面的异物个数进行计数。根据测试用异物的散布数及通过清洁装置后的异物个数，通过下述数式(1)来算出异物的去除率[％]。将实施例1、实施例2、比较例1～比较例4的评价结果示于表1。另外，表1中，“清洁刷的旋转方向”表示清洁刷与PET片材表面的接触点部分的相对于PET片材搬送方向的移动方向。

去除率[％]＝{(清洁前的异物的散布数-清洁后的异物的残存数)/(清洁前的异物的散布数)}×100...(1)

[表1]

根据表1的结果，在实施例1及实施例2中，可确认能够100％去除异物。考虑这是因为，通过使清洁刷相对于PET片材的搬送方向而逆向地旋转，从而容易将附着于PET片材表面的异物予以拂起并吸附至带电的清洁刷。

另一方面，已知的是，比较例1～比较例4中，未特别发现因清洁刷的周速度及压接量的不同而对异物去除效果的影响，几乎无法去除异物。根据这些可确认，通过使清洁刷相对于PET片材的搬送方向而逆向地旋转，从而能够显著提高异物的去除效果。

[产业上的可利用性]

本发明的清洁装置能够将微细的异物与毫米尺寸的相对较大的异物一同予以去除，因此能够较佳地用于将附着在平板显示器的玻璃基板、搭载电子零件的印刷基板、树脂薄板、薄膜材料等的表面的尘埃等异物予以除去。

Claims (8)

1.一种清洁装置，为受到搬送的薄膜状或板状对象物表面的清洁装置，其特征在于包括：

清洁辊，以与所述对象物的搬送方向大致垂直且与对象物表面大致平行的旋转轴为中心而旋转自如地配设，使表面在带电的状态下与所述对象物表面接触；以及

辊状的清洁刷，与所述清洁辊大致平行地配设，受到旋转驱动并与所述对象物表面接触；并且

所述清洁辊中的与所述对象物表面的接触点部分的旋转方向相对于所述对象物的搬送方向为顺向，

所述清洁刷中的与所述对象物表面的接触点部分的旋转方向相对于所述对象物的搬送方向为逆向。

2.根据权利要求1所述的清洁装置，其中

所述清洁刷也在带电的状态下与所述对象物表面接触。

3.根据权利要求2所述的清洁装置，其中

所述清洁刷与清洁辊表面接触。

4.根据权利要求2所述的清洁装置，其还包括：

集尘辊，与所述清洁刷大致平行地配设，使表面在带电的状态下与所述清洁刷的外周侧接触。

5.根据权利要求1或2所述的清洁装置，其还包括：

刷辊，与所述清洁辊大致平行地配设，带电且受到旋转驱动并与清洁辊表面接触。

6.根据权利要求5所述的清洁装置，其还包括：

一个或两个集尘辊，与所述清洁刷及所述刷辊大致平行地配设，使表面在带电的状态下与所述清洁刷及所述刷辊的外周侧接触。

7.根据权利要求1或2所述的清洁装置，其中

所述清洁辊及所述清洁刷被装入单个单元中。

8.根据权利要求1或2所述的清洁装置，其独立地具备装入有所述清洁辊的单元与装入有所述清洁刷的单元。