TW201641170A - 清潔裝置 - Google Patents

Abstract

本發明是一種受到搬送的薄膜狀或板狀對象物表面的清潔裝置，其特徵在於包括：清潔輥，以與對象物的搬送方向大致垂直且與對象物表面大致平行的旋轉軸為中心而旋轉自如地配設，使表面在帶電的狀態下與對象物表面接觸；以及輥狀的清潔刷，與清潔輥大致平行地配設，受到旋轉驅動並與對象物表面接觸，清潔輥中的與對象物表面的接觸點部分的旋轉方向相對於對象物的搬送方向為順向，清潔刷中的與對象物表面的接觸點部分的旋轉方向相對於對象物的搬送方向為逆向。清潔刷也可在帶電的狀態下與對象物表面接觸。

Description

清潔裝置

本發明是有關於一種清潔（cleaning）裝置。

近年來，正在開發一種清潔裝置，用於將附著在平板顯示器（Flat Panel Display，FPD）的玻璃（glass）基板、搭載電子零件的印刷（print）基板、樹脂薄板、薄膜（film）材料等對象物表面上的塵埃等異物予以除去。

作為此種清潔裝置，提出下述清潔裝置，其利用帶電的輥（roller）狀的清潔刷（cleaning brush）來去除對象物表面的異物，並利用電場的力來搬送及回收該去除的異物（參照日本專利特開2011-92846號公報）。

然而，所述公報提出的清潔裝置儘管能夠去除相對較大的毫米尺寸的異物，但由於會產生清潔刷接觸不到對象物表面的部分，因此無法去除存在於該部分的微細的異物。而且，所述公報中，清潔刷的旋轉方向相對於對象物的搬送方向而設為順向及逆向中的任一種皆可，但經發明人等確認，結果在使清潔刷朝所述順向旋轉的情況下，無法充分去除相對較大的毫米尺寸的異物。 [現有技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2011-92846號公報

[發明所要解決的問題] 本發明是基於如上所述的情況而完成，其目的在於提供一種能夠將微細的異物與毫米尺寸的相對較大的異物一同予以去除的清潔裝置。 [解決問題的技術手段]

為了解決所述問題而完成的發明是一種受到搬送的薄膜狀或板狀對象物表面的清潔裝置，所述清潔裝置的特徵在於包括：清潔輥，以與所述對象物的搬送方向大致垂直且與對象物表面大致平行的旋轉軸為中心而旋轉自如地配設，使表面在帶電的狀態下與所述對象物表面接觸；以及輥狀的清潔刷，與所述清潔輥大致平行地配設，受到旋轉驅動並與所述對象物表面接觸，所述清潔輥中的與對象物表面的接觸點部分的旋轉方向相對於所述對象物的搬送方向為順向，所述清潔刷中的與對象物表面的接觸點部分的旋轉方向相對於所述對象物的搬送方向為逆向。

該清潔裝置中，清潔刷是以在與對象物表面的接觸點部分相對於對象物的搬送方向成為逆向的方式受到旋轉驅動並與對象物表面接觸，因此能夠拂起附著於對象物表面的異物，從而能夠有效地去除毫米尺寸的相對較大的異物。而且，該清潔裝置中，表面為帶電狀態的清潔輥與對象物表面接觸，因此也能夠通過借助電場的力對清潔輥表面的吸附來有效地去除微細的異物。另外，所謂「大致平行」，是指所成的角度為±10°以內。所謂「大致垂直」，是指所成的角度為90°±10°以內。

所述清潔刷也可在帶電的狀態下與所述對象物表面接觸。這樣，清潔刷也在帶電的狀態下與對象物表面接觸，由此，借助電場的力，異物更容易被吸附至清潔刷，因此能夠更有效地去除對象物表面的異物。

所述清潔刷可與清潔輥表面接觸。這樣，使清潔刷與清潔輥表面接觸，由此，能夠使被吸附在清潔輥表面的異物移動到清潔刷。由此，能夠抑制清潔輥的吸附效果的下降。

可更包括：集塵輥，與所述清潔刷大致平行地配設，使表面在帶電的狀態下與所述清潔刷的外周側接觸。這樣，與清潔刷大致平行地配設使表面在帶電的狀態下與清潔刷外周側接觸的集塵輥，由此，例如通過使集塵輥表面以高於清潔刷的電壓而帶電，從而能夠使已移動到清潔刷的異物進一步移動到集塵輥，因此能夠省去或減輕附著於清潔刷的異物的去除作業。

可更包括：刷輥，與所述清潔輥大致平行地配設，帶電且受到旋轉驅動並與所述清潔輥表面接觸。這樣，與清潔輥大致平行地配設帶電且受到旋轉驅動並與清潔輥表面接觸的刷輥，由此，能夠使被吸附在清潔輥表面的異物移動到刷輥，因此能夠抑制清潔輥的吸附效果的下降。

可更包括：一或兩個集塵輥，與所述清潔刷及刷輥大致平行地配設，使表面在帶電的狀態下與所述清潔刷及刷輥的外周側接觸。這樣，與清潔刷及刷輥大致平行地配設使表面在帶電的狀態下與清潔刷及刷輥這兩者的外周側接觸的一個集塵輥，由此，例如通過使該集塵輥表面以高於清潔刷及刷輥的電壓而帶電，從而能夠使已移動到清潔刷及刷輥的異物進一步移動到集塵輥，因此能夠省去或減輕附著於清潔刷及刷輥的異物的去除作業。而且，通過與清潔刷大致平行地配設使表面在帶電的狀態下與清潔刷接觸的一個集塵輥，並且與刷輥大致平行地配設使表面在帶電的狀態下與刷輥接觸的另一個集塵輥，也能夠使已移動到清潔刷及刷輥的異物進一步移動到這些集塵輥，因此能夠省去或減輕附著於清潔刷及刷輥的異物的去除作業。

所述清潔輥及清潔刷可被裝入單個單元。這樣，將清潔輥及清潔刷裝入單個單元，由此能夠使該清潔裝置小型化。

可獨立地具備裝入有所述清潔輥的單元與裝入有所述清潔刷的單元。這樣，將裝入有清潔輥的單元與裝入有清潔刷的單元設為獨立的單元，由此，每個單元的更換成為可能，從而能夠根據清潔輥及清潔刷各自的壽命來進行個別更換。 （發明的效果）

如以上所說明般，本發明的清潔裝置能夠將微細的異物與毫米尺寸的相對較大的異物一同予以去除。

以下，參照適當的附圖來詳述本發明的實施方式。

[第一實施方式] 圖1所示的該清潔裝置1是受到搬送的薄膜狀或板狀對象物S表面的清潔裝置。該清潔裝置1主要具備：清潔輥2，以與對象物S的搬送方向C大致垂直且與對象物S表面大致平行的旋轉軸為中心而旋轉自如地配設，使表面在帶電的狀態下與對象物S表面接觸；以及輥狀的清潔刷3，與清潔輥2大致平行地配設，受到旋轉驅動並與對象物S表面接觸。而且，該清潔裝置1更具備：刷輥4，與清潔輥2大致平行地配設，帶電且受到旋轉驅動並與清潔輥2表面接觸；以及一個集塵輥5，與清潔刷3及刷輥4大致平行地配設，使表面在帶電的狀態下與清潔刷3及刷輥4的外周側接觸。另外，圖1中的箭頭表示對象物S的搬送方向C及各輥的旋轉方向。清潔輥2中的與對象物S表面的接觸點部分的旋轉方向相對於對象物S的搬送方向C為順向，清潔刷3中的與對象物S表面的接觸點部分的旋轉方向相對於對象物S的搬送方向C為逆向。

而且，該清潔裝置1具備：刮板（scraper）6，拂去附著於集塵輥5表面的異物；以及框架（frame）7，在內部收容清潔輥2、清潔刷3、刷輥4、集塵輥5及刮板6。這樣，該清潔裝置1中，清潔輥2及清潔刷3被裝入單個單元中。

而且，該清潔裝置1具備：第1相向電極輥9，以與清潔刷3大致平行地相向的方式而配設；第2相向電極輥10，以與清潔輥2大致平行地相向的方式而配設；以及一對導輥（guide roller）11，以與對象物S的搬送方向C大致垂直且與對象物S表面大致平行的旋轉軸為中心而旋轉自如地配設，限制對象物S受到搬送的方向。

（對象物） 由該清潔裝置1去除異物的對象物S只要為薄膜狀或板狀，則為任何對象物皆可。例如作為對象物S，可使用FPD的玻璃基板、搭載電子零件的印刷基板、樹脂薄板、薄膜材料等。

對象物S的平均厚度並無特別限定，但作為對象物S的平均厚度的下限，例如優選為30 μm，更優選為50 μm。若對象物S的平均厚度未滿所述下限，則有可能難以搬送對象物S。

對象物S的搬送速度的下限並無特別限定，例如優選為5 m/min，更優選為10 m/min。另一方面，作為對象物S的搬送速度的上限，優選為30 m/min，更優選為20 m/min。若對象物S的搬送速度未滿所述下限，則有可能異物去除所需的時間變長，從而異物的去除效率下降。相反，若對象物S的搬送速度超過所述上限，則有可能無法通過清潔輥2來充分吸附對象物S表面的異物。

＜清潔輥＞ 清潔輥2是以與對象物S的搬送方向C大致垂直且與對象物S表面大致平行的旋轉軸為中心而旋轉自如地配設。該清潔輥2使表面在帶電的狀態下與對象物S表面接觸，伴隨著對象物S的搬送而擺動並通過電場的力來吸附對象物S表面所附著的異物。即，對象物S表面所附著的異物通過靜電被吸附至清潔輥2表面。

清潔輥2具有圓柱狀的芯棒2a、覆蓋該芯棒2a周面的圓筒狀的內層部2b、以及覆蓋該內層部2b外周面的薄膜圓筒狀的外層部2c。

作為所述內層部2b的材質，使用具有導電性的彈性構件。作為此種彈性構件，例如可列舉包含碳（carbon）的聚酯（polyester）系胺基甲酸酯（urethane）等。

作為所述外層部2c的材質，只要是能夠帶有通過電場的力來吸附對象物S表面所附著的異物的電荷的材質即可，例如可列舉丙烯酸混合聚胺基甲酸酯或氟混合聚胺基甲酸酯等聚胺基甲酸酯。通過由聚胺基甲酸酯形成所述外層部2c，與由矽酮（silicone）樹脂或丁基橡膠（butyl rubber）等形成的情況相比，耐摩耗性優異，從而能夠降低因塑化劑或低分子量物引起的污染。

所謂所述丙烯酸混合聚胺基甲酸酯，是指如下所述的混合物，所述混合物是以聚酯聚胺基甲酸酯或聚醚（polyether）聚胺基甲酸酯為主成分，進而包含（1）熱塑性聚胺基甲酸酯及矽-丙烯酸共聚樹脂、（2）丙烯酸樹脂（例如在包含甲基丙烯酸-甲基丙烯酸甲酯共聚物的主鏈上接枝（graft）有胺乙基（aminoethyl）而成的接枝化合物）及熱塑性聚胺基甲酸酯、或（3）丙烯酸樹脂、聚胺基甲酸酯及氟系表面塗布劑。通過使用丙烯酸混合聚胺基甲酸酯來作為外層部2c的材質，從而可從對象物S表面輕易去除易帶負（minus）電的異物。另外，所謂「主成分」，是指含量最多的成分，例如為含有50質量%以上的成分。

而且，所謂所述氟混合聚胺基甲酸酯，是指以聚胺基甲酸酯為主成分，且包含熱塑性聚胺基甲酸酯及胺基甲酸酯-氟共聚物的混合物。通過使用氟混合聚胺基甲酸酯來作為外層部2c的材質，從而可從對象物S輕易去除易帶正（plus）電的異物。

作為外層部2c的平均厚度的下限，優選為2 μm，更優選為5 μm。另一方面，作為外層部2c的平均厚度的上限，優選為500 μm，更優選為50 μm。若外層部2c的平均厚度未滿所述下限，則有可能無法使清潔輥2表面充分帶電，從而無法充分獲得異物的吸附效果。相反，若外層部2c的平均厚度超過所述上限，則有可能無法獲得用於吸附異物的良好的帶電特性。

清潔輥2利用表面與受到搬送的對象物S接觸而擺動。因而，清潔輥2以在與對象物S表面的接觸點部分跟對象物S的搬送方向C成順向的方式而旋轉。由於清潔輥2帶電，因此當受到搬送的對象物S表面與清潔輥2表面接近時，借助電場的力，對象物S表面的異物被吸附至清潔輥2。

＜清潔刷＞ 輥狀的清潔刷3是在較清潔輥2而在對象物S的搬送方向C上游側，與清潔輥2大致平行地配設。該清潔刷3是以外周側不與清潔輥2表面相接觸的方式，而與清潔輥2隔開地配設。該清潔刷3一邊與對象物S表面接觸，一邊以與對象物S表面的接觸點部分的旋轉方向相對於對象物S的搬送方向C成為逆向的方式而受到旋轉驅動。

清潔刷3具有圓柱狀的芯棒3a、以及通過在該芯棒3a周面植設多根毛而形成的刷部3b。

作為形成刷部3b的毛，優選為在物理上使異物容易附著的材質，例如可列舉合成樹脂製的纖維。而且，作為形成刷部3b的毛，優選為能夠帶有通過電場的力來吸附對象物S表面所附著的異物的電荷的材質，例如能夠較佳地使用含有碳黑（carbon black）、碳纖維、金屬粉、金屬鬚（whisker）等導電性材料的合成樹脂製的纖維。

刷部3b的毛的剖面形狀並無特別限定，作為刷部3b，例如能夠使用毛的剖面形狀為圓形狀、橢圓形狀、星型形狀等者。而且，刷部3b的外形也無特別限定，作為刷部3b，例如能夠使用外形為直線狀、波曲線形狀、曲線與直線組合構成的形狀等者。另外，刷部3b的表面積越大，則越容易吸附異物，因此作為形成刷部3b的毛，例如能夠較佳地使用剖面形狀為星型形狀者。

清潔刷3以在與對象物S表面的接觸點部分跟對象物S的搬送方向C成為逆向的方式而受到旋轉驅動，由此，拂起附著於對象物S表面的異物，該拂起的異物附著於刷部3b。另外，清潔刷3也與清潔輥2同樣帶電。由此，由電場的力產生的吸附力也發揮作用，因此能夠更有效地使對象物S表面的異物吸附及移動至刷部3b。另外，即使電場的力不發揮作用，所述異物也會附著於刷部3b，因此清潔刷3也可未必需要帶電。

作為清潔刷3朝向對象物S的平均壓接量的下限，優選為0.03 mm，更優選為0.05 mm。另一方面，作為所述平均壓接量的上限，優選為1.5 mm，更優選為1 mm。若所述平均壓接量小於所述下限，則有可能無法充分拂起對象物S表面的異物。相反，若所述平均壓接量超過所述上限，則刷部3b及對象物S表面間的摩擦力將變大，因此對象物S的搬送速度有可能下降。另外，所謂「壓接量」，是指清潔刷3與對象物S的接觸點部分的芯棒3a表面及對象物S間的距離與刷部3b的毛的長度之差。

作為清潔刷3的周速度的下限，優選為1 m/min，更優選為3 m/min。另一方面，作為清潔刷3的周速度的上限，優選為30 m/min，更優選為15 m/min。若清潔刷3的周速度未滿所述下限，則有可能無法充分拂起對象物S表面的異物。相反，若清潔刷3的周速度超過所述上限，則刷部3b及對象物S表面間的摩擦力將變大，因此對象物S的搬送速度有可能下降。

＜刷輥＞ 刷輥4帶電且受到旋轉驅動，並以外周側與清潔輥2表面接觸的方式而與清潔輥2大致平行地配設。

刷輥4具有圓柱狀的芯棒4a、以及通過在該芯棒4a的周面植設多根毛而形成的刷部4b。

作為芯棒4a及刷部4b，例如能夠使用與所述的清潔刷3的芯棒3a及刷部3b同樣的材質。

對於刷輥4，施加比對清潔輥2的施加電壓高的電壓。由此，刷輥4外周側的電位高於清潔輥2表面，因此附著於清潔輥2表面的異物被吸附至刷輥4，清潔輥2表面的異物移動至刷輥4。

另外，受到旋轉驅動的刷輥4的旋轉方向為任一方向皆可，但若在清潔輥2與刷輥4的接觸點部分彼此的周面上的移動方向為逆向，則可輕易拂起附著於清潔輥2表面的異物，因此異物容易移動至刷輥4。因而，優選刷輥4朝與清潔輥2相同的旋轉方向旋轉驅動。

＜集塵輥＞ 集塵輥5帶電且受到旋轉驅動，並且以表面與清潔刷3的外周側及刷輥4的外周側接觸的方式，而與清潔刷3及刷輥4大致平行地配設。

作為集塵輥5的材質，使用導電性材料。作為此種導電性材料，例如可列舉不銹鋼、銅、鋁等金屬材料。在使用銅或鋁等易氧化的導電性材料來作為集塵輥5的情況下，優選對集塵輥5的表面進行鍍鎳或鍍金等耐蝕性的鍍敷處理。

對於集塵輥5，施加比對清潔刷3及刷輥4的施加電壓高的電壓。由此，集塵輥5表面的電位高於清潔刷3及刷輥4的外周側，因此附著於清潔刷3及刷輥4的異物會被吸附至集塵輥5表面，附著於清潔刷3及刷輥4的異物移動至集塵輥5。由此，能夠省去或減輕聚集在清潔刷3及刷輥4上的異物的去除作業。

集塵輥5的旋轉方向為任一方向皆可。集塵輥5可在容易通過後述的刮板6來回收從集塵輥5表面拂去的異物的旋轉方向上進行驅動。該清潔裝置1中，集塵輥5被配設在所述清潔刷3的上方，在集塵輥5的搬送方向C上游側，刮板6以朝搬送方向C下游側且下方傾斜的方式而配設。因此，集塵輥5在與清潔刷3相同的旋轉方向上受到驅動，由此，容易回收所述被拂去的異物。

＜刮板＞ 刮板6例如為矩形狀的板，且具有能夠遍及軸方向而與集塵輥5表面接觸的部分。該刮板6以朝搬送方向C下游側且下方傾斜，且所述矩形的長邊遍及旋轉軸方向而與集塵輥5表面接觸的方式，配設在集塵輥5的搬送方向C上游側。此處，將刮板6的與集塵輥5表面接觸的長邊稱作前端部。

刮板6由熱固性聚胺基甲酸酯等合成樹脂製的彈性體等所形成。伴隨集塵輥5的旋轉，通過與集塵輥5表面接觸的刮板6的前端部，將附著於集塵輥5表面的異物予以拂去。由此，集塵輥5表面成為異物已被去除的潔淨狀態。另外，在刮板6的前端部下方配設有托盤（tray）狀的異物回收部8，所述被拂去的異物掉落並被回收至該異物回收部8內。

＜框架＞ 框架7具有：前板及後板，與對象物S的搬送方向C大致正交，且配設在搬送方向C的前後；一對側板，與搬送方向C大致平行且相對於對象物S表面大致垂直地配設；以及頂板，與對象物S表面大致平行地配設。所述頂板連接於所述一對側板、前板及後板的各上端。清潔輥2、清潔刷3、刷輥4、集塵輥5及刮板6被收容在具有此種形狀的框架7的內側。

而且，所述後板的下部以與對象物S表面成大致平行的方式而朝搬送方向C的下游側彎曲，該彎曲的端部側以不與清潔刷3接觸的方式而進一步朝上方彎曲。通過該後板下部的彎曲形狀，形成托盤狀的異物回收部8。

框架7是由具有絕緣性的材料所形成。作為此種絕緣性材料，例如可列舉聚縮醛（polyacetal）等樹脂。

所述異物回收部8是形成在刮板6的前端部與集塵輥5表面接觸的位置的下方。通過與刮板6的前端部的接觸，從集塵輥5表面拂去的異物掉落並被回收至該異物回收部8內。

＜相向電極輥＞ 第1相向電極輥9以使表面在帶電的狀態下，跟對象物S的與清潔刷3接觸的面為相反側的面接觸的方式，而旋轉自如地配設在與清潔刷3大致平行且相向的位置。該第1相向電極輥9伴隨對象物S的搬送而擺動。

第1相向電極輥9的一部分或全部由導電性材料所形成。作為此種導電性材料，例如可列舉不銹鋼、銅、鋁等金屬材料。第1相向電極輥9既可僅由此種導電性材料形成，也可採用由合成樹脂等絕緣層來覆蓋由此種導電性材料所形成的芯棒外周面的結構。

對於第1相向電極輥9，施加比對清潔刷3施加的電壓低的電壓或正負相反的電壓。或者，第1相向電極輥9接地。由此，清潔刷3的通過電場的力帶來的吸附效果得到促進，對象物S的在清潔刷3側的面上附著的異物容易被吸附至清潔刷3。

第2相向電極輥10以使表面在帶電的狀態下，跟對象物S的與清潔輥2接觸的面為相反側的面接觸的方式，而旋轉自如地配設在與清潔輥2大致平行且相向的位置。該第2相向電極輥10伴隨對象物S的搬送而擺動。

第2相向電極輥10是由導電性材料所形成，例如可由與第1相向電極輥9同樣的材料所形成。通過對由導電材料形成的第2相向電極輥10施加電壓或者使第2相向電極輥10接地，從而清潔輥2的通過電場的力帶來的吸附效果得到促進。

＜導輥＞ 一對導輥11較清潔刷3及第1相向電極輥9而在對象物S的搬送方向C上游側，以與對象物S的搬送方向C大致垂直且與對象物S表面大致平行的旋轉軸為中心而旋轉自如地配設。一對導輥11以在這些導輥11間受到搬送的對象物S的兩面具有與各導輥11的周面接觸的程度的間隙的方式而配設。這一對導輥11伴隨對象物S的搬送而擺動。

該清潔裝置1中，通過將對象物S插入至一對導輥11間，從而對象物S前端朝向該清潔裝置1內的行進方向受到限制。例如在對象物S為薄的薄膜狀等的情況下，前端容易彎曲，但即使在此種情況下，通過插入至一對導輥11間，也能抑制所述前端的彎曲，從而能夠使對象物S前端進入清潔刷3及第1相向電極輥9間。另外，對象物S例如為前端難以彎折的板狀者，在容易使前端進入清潔刷3及第1相向電極輥9間的情況下，也可省去一對導輥11。

導輥11的材質優選為與對象物S之間的摩擦力小的材質，作為形成導輥11的材料，能夠使用金屬或樹脂等。

另外，一對導輥11也可採用受到旋轉驅動的結構。例如以相對於對象物S的搬送方向C而為順向的方式來旋轉驅動一對導輥11，由此，能夠使該清潔裝置1內的對象物S的搬送速度為固定。

[清潔方法] 對使用圖1的清潔裝置1來去除附著在薄膜狀或板狀對象物表面的異物的清潔方法進行說明。該清潔方法主要具備：搬送薄膜狀或板狀對象物S的步驟（搬送步驟）；第1異物吸附步驟，通過清潔刷3來吸附對象物S表面所附著的異物，所述清潔刷3與對象物S表面接觸，且以與對象物S表面的接觸點部分的旋轉方向相對於對象物S的搬送方向C為逆向的方式而受到旋轉驅動；以及第2異物吸附步驟，通過清潔輥2來吸附所述異物，所述清潔輥2是旋轉自如地配設，且使表面在帶電的狀態下與對象物S表面接觸。而且，該清潔方法更具備：第1異物移動步驟，使吸附至清潔輥2的異物移動至刷輥4，所述刷輥4帶電且受到旋轉驅動並與清潔輥2表面接觸；第2異物移動步驟，使附著於清潔刷3及刷輥4的異物移動至集塵輥5，所述集塵輥5的表面在帶電的狀態下與清潔刷3及刷輥4的外周側接觸；以及通過利用刮板6拂去附著於集塵輥5表面的異物來回收所述異物的步驟（異物回收步驟）。

＜搬送步驟＞ 所述搬送步驟中，將薄膜狀或板狀對象物S的前端插入至一對導輥11間。例如以在搬送所述對象物S的帶式輸送機（belt conveyor）等搬送機構的端部配置所述一對導輥11的方式來配設清潔裝置1，從而能夠以所述搬送機構的搬送速度來將對象物S插入至清潔裝置1。而且，例如也可通過人手來將對象物S的前端插入至一對導輥11間。當對象物S的前端被插入至導輥11間時，使對象物S的兩面一邊接觸一邊通過清潔輥2及第2相向電極輥10間，由此，清潔輥2及第2相向電極輥10擺動，利用通過該擺動所產生的清潔輥2及第2相向電極輥10的旋轉慣性而在清潔裝置1內搬送對象物S。

＜第1異物吸附步驟＞ 所述第1異物吸附步驟中，使對象物S的附著於清潔刷3側的面的異物吸附至清潔刷3。具體而言，清潔刷3以與對象物S表面的接觸點部分的旋轉方向相對於對象物S的搬送方向C為逆向的方式而受到旋轉驅動，因此當清潔刷3與對象物S表面接觸時，附著於對象物S表面的異物被拂起。而且，由於使清潔刷3帶電，因此通過電場的力，對象物S表面的異物被吸附至清潔刷3。另外，通過所述拂起，相對較大的毫米尺寸的異物被拂起，因此在第1異物吸附步驟中，借助清潔刷3，相對較大的毫米尺寸的異物從對象物S表面被有效地予以去除。

＜第2異物吸附步驟＞ 所述第2異物吸附步驟中，使對象物S的附著於清潔輥2側的面的異物吸附至清潔輥2表面。具體而言，清潔輥2在帶電的狀態下一邊與對象物S表面接觸一邊擺動，因此當清潔輥2與對象物S表面接觸時，借助電場的力，對象物S表面的異物被吸附至清潔輥2。此處，清潔輥2容易遍及軸方向而與對象物S表面接觸，因此也能夠吸附微米尺寸（micron size）的微細的異物。因而，通過進行所述第1異物吸附步驟及第2異物吸附步驟，從而能夠將微細的異物與附著於對象物S表面的相對較大的異物一同予以去除。

＜第1異物移動步驟＞ 所述第1異物移動步驟中，使在第2異物吸附步驟中被吸附至清潔輥2的異物移動至刷輥4。具體而言，將比對清潔輥2施加的電壓高的電壓施加至刷輥4，使該刷輥4與清潔輥2表面接觸並旋轉驅動，由此，被吸附至清潔輥2的異物移動至刷輥4。由此，與對象物S表面接觸之前的清潔輥2的周面成為無異物的潔淨狀態。

＜第2異物移動步驟＞ 所述第2異物移動步驟中，使在第1異物吸附步驟中附著於清潔刷3的異物及在第1異物移動步驟中附著於刷輥4的異物移動至集塵輥5。具體而言，將比對清潔刷3及刷輥4施加的電壓高的電壓施加至集塵輥5，使該集塵輥5與清潔刷3及刷輥4的外周側接觸並旋轉驅動，由此，附著於清潔刷3及刷輥4的異物被吸附至集塵輥5。

＜異物回收步驟＞ 所述異物回收步驟中，將在第2異物移動步驟中被吸附至集塵輥5表面的異物予以回收。具體而言，通過對所述表面與刮板6前端部接觸的集塵輥5進行旋轉驅動，從而通過刮板6將被吸附至集塵輥5表面的異物予以拂去。該拂去的異物掉落及被回收至異物回收部8內。

[優點] 該清潔裝置使清潔輥的表面在帶電的狀態下與對象物表面接觸，所述清潔輥以與對象物的搬送方向C大致垂直且與對象物表面大致平行的旋轉軸為中心而旋轉自如地配設，因此能夠通過由電場的力帶來的對清潔輥表面的吸附來有效地去除微細的異物。而且，該清潔裝置使與清潔輥大致平行地配設的輥狀的清潔刷在帶電的狀態下受到旋轉驅動並與對象物表面接觸，因此能夠拂起附著於對象物表面的異物，從而能夠有效地去除毫米尺寸的相對較大的異物。

而且，該清潔裝置中，與清潔刷及刷輥大致平行地配設的集塵輥使表面在帶電的狀態下與清潔刷及刷輥的外周側接觸，因此能夠使移動至清潔刷及刷輥的異物進一步移動至集塵輥。其結果，能夠省去或減輕附著於清潔刷及刷輥的異物的去除作業。

而且，該清潔裝置中，清潔輥及清潔刷被裝入單個單元中，因此容易實現小型化。

[第二實施方式] 圖2所示的該清潔裝置21主要具備：清潔輥22，以與對象物S的搬送方向C大致垂直且與對象物S表面大致平行的旋轉軸為中心而旋轉自如地配設，使表面在帶電的狀態下與對象物S表面接觸；以及輥狀的清潔刷23，與清潔輥22大致平行地配設，受到旋轉驅動並與對象物S表面接觸。該清潔刷23與清潔輥22表面接觸。而且，該清潔裝置21具備集塵輥25，該集塵輥25是與清潔刷23大致平行地配設，且表面在帶電的狀態下與清潔刷23的外周側接觸。所述清潔輥22中的與對象物S表面的接觸點部分的旋轉方向相對於對象物S的搬送方向C為順向，清潔刷23中的與對象物S表面的接觸點部分的旋轉方向相對於對象物S的搬送方向C為逆向。

而且，該清潔裝置21具備：刮板26，拂去附著於集塵輥25表面的異物；第1相向電極輥9，以與清潔刷23大致平行地相向的方式而配設；第2相向電極輥10，以與清潔輥22大致平行地相向的方式而配設；以及一對導輥11，以與對象物S的搬送方向C大致垂直且與對象物S表面大致平行的旋轉軸為中心而旋轉自如地配設，限制對象物S的前端行進的方向。另外，該清潔裝置21中，清潔輥22、清潔刷23、集塵輥25及刮板26被收容在框架內，且與第一實施方式的清潔裝置1同樣地被裝入單個單元中，但圖2中省略了框架的圖示。

而且，該清潔裝置21不具備刷輥，且清潔輥22與清潔刷23的相對配置不同，除此以外，與第1實施方式的清潔裝置1為同樣的結構，因此，對於清潔輥22、清潔刷23、集塵輥25及刮板26以外，標注相同符號並省略說明。

＜清潔輥＞ 清潔輥22使表面在帶電的狀態下與對象物S表面接觸，伴隨著對象物S的搬送而擺動並通過電場的力來吸附對象物S表面所附著的異物。該清潔輥22例如能夠使用與第一實施方式的清潔輥2為同樣者。

＜清潔刷＞ 輥狀的清潔刷23是與清潔輥22大致平行地配設，且一邊與對象物S表面接觸，一邊以與對象物S表面的接觸點部分的旋轉方向相對於對象物S的搬送方向C為逆向的方式而受到旋轉驅動。清潔刷23例如能夠使用與第一實施方式的清潔刷3為同樣者。

清潔輥22及清潔刷23與第一實施方式的清潔輥2及清潔刷3，相對的位置關係不同。即，第一實施方式的清潔輥2及清潔刷3是隔開地配設，與此相對，清潔刷23是以與清潔輥22表面接觸的方式而配設。

對於清潔刷23，施加比對清潔輥22的施加電壓高的電壓。由此，清潔刷23的外周側的電位高於清潔輥22表面，因此附著於清潔輥22表面的異物將被吸附至清潔刷23，清潔輥22表面的異物移動至清潔刷23。

＜集塵輥＞ 集塵輥25是與清潔刷23大致平行地配設，且以使表面在帶電的狀態下與清潔刷23的外周側接觸的方式而受到旋轉驅動。集塵輥25例如能夠使用與第一實施方式的集塵輥5為同樣者。

對於集塵輥25，施加比對清潔刷23的施加電壓高的電壓。由此，集塵輥25表面的電位高於清潔刷23的外周側，因此附著於清潔刷23的異物將被吸附至集塵輥25表面，附著於清潔刷23的異物移動至集塵輥25。由此，能夠省去或減輕聚集在清潔刷23上的異物的去除作業。

集塵輥25的旋轉方向為任一方向皆可，但可在容易通過刮板26來回收從集塵輥25表面拂去的異物的旋轉方向上進行驅動。該清潔裝置21中，在集塵輥25的搬送方向C上游側，矩形狀的刮板26以朝搬送方向C下游側且下方傾斜的方式而配設，因此集塵輥25在與清潔刷23相同的旋轉方向上受到驅動。

＜刮板＞ 刮板26是以朝搬送方向C下游側且下方傾斜，且前端部成為遍及旋轉軸方向而與集塵輥25表面接觸的狀態的方式而配設。刮板26例如能夠使用與第一實施方式的刮板6為同樣者。

伴隨集塵輥25的旋轉，通過與集塵輥25表面接觸的刮板26的前端部來拂去附著於集塵輥25表面的異物。由此，集塵輥25表面成為無異物的潔淨狀態。由刮板26拂去的異物掉落及被回收至未圖示的異物回收部內。

[優點] 該清潔裝置使被吸附至清潔輥22表面的異物移動至清潔刷23，因此無須配設使清潔輥22表面的異物移動的刷輥。由此，能夠降低設備成本並且容易實現小型化。

[其他實施方式] 本發明並不限定於所述實施方式，除了所述形態以外，能夠以實施了各種變更、改良的形態來實施。

所述實施方式中，對清潔刷較清潔輥而配設在對象物的搬送方向上游側的結構的清潔裝置進行了說明，但也可如圖3的清潔裝置31般，採用將清潔輥32較清潔刷33而配設在對象物S的搬送方向C上游側的結構。圖3的清潔裝置31與第二實施方式的清潔裝置21的不同之處在於清潔輥及清潔刷相對於對象物S的搬送方向C的排列。另外，圖3中，省略了清潔輥32及清潔刷33以外的各部的圖示。該清潔裝置31中，首先通過清潔輥32來吸附對象物S表面所附著的異物之後，通過清潔刷33來吸附去除殘存於對象物S表面的異物。此處，清潔輥32主要吸附微細的異物，清潔刷33拂起對象物S表面的相對較大的異物，主要吸附該拂起的異物。

如圖2的清潔裝置21般，在對象物S的搬送方向C上游側配設清潔刷23的情況下，通過清潔刷23來拂起對象物S表面的異物之後，清潔輥22吸附對象物S表面的異物，因此通過拂起而堆積在對象物S表面的微細的異物也能夠由清潔輥22予以去除，從而能夠有效地去除附著於對象物S的異物。另一方面，如圖3的清潔裝置31般，在對象物S的搬送方向C上游側配設清潔輥32的情況下，通過清潔輥32而去除了對象物S表面的微細的異物之後，通過清潔刷33來拂起對象物S表面的異物。在該拂起時，相對較大的異物也會被拂起，因此通過清潔刷33，相對較大的異物也能夠與微細的異物一同被吸附去除。因而，在此情況下，也能夠將微細的異物與相對較大的異物一同予以去除。

而且，所述實施方式中，對清潔輥及清潔刷被裝入單個單元中的結構進行了說明，但也可採用將它們裝入不同單元的結構。具體而言，作為裝入清潔輥及清潔刷的單元，例如也可如圖4A所示的裝入有清潔輥42的清潔輥單元41、及圖4B所示的裝入有清潔刷53的清潔刷單元51般採用不同的單元。所述清潔輥單元41是以清潔輥42表面與受到搬送的對象物表面接觸並擺動的方式而配設。如此般配設的清潔輥單元41中，清潔輥42吸附對象物表面所附著的異物，被吸附至該清潔輥42的異物移動至刷輥44，移動至該刷輥44的異物進而被吸附至第1集塵輥45，附著於該第1集塵輥45表面的異物被刮板46拂去而由異物回收部48予以回收。另一方面，所述清潔刷單元51是以清潔刷53的外周側與對象物表面接觸的方式而配設。如此般配設的清潔刷單元51中，清潔刷53拂起並且吸附對象物表面所附著的異物，附著於該清潔刷53的異物被吸附至第2集塵輥55，附著於該第2集塵輥55表面的異物被刮板56拂去並由異物回收部58予以回收。另外，該清潔裝置中，如上所述，作為與清潔刷53外周側接觸的集塵輥，具備與第1集塵輥45獨立的第2集塵輥55，所述第1集塵輥45與刷輥44外周側接觸。即，該清潔裝置具備兩個集塵輥。

所述清潔輥單元41及清潔刷單元51例如是沿著對象物的搬送方向C而依序配設，各單元進行對象物表面的異物的吸附及去除。通過採用如此般獨立地具備裝入有清潔輥42的清潔輥單元41與裝入有清潔刷53的清潔刷單元51的結構，從而能夠容易地調換沿著對象物的搬送方向C而配設的順序，而且，也能夠沿著對象物的搬送方向C來配設多個清潔輥單元41或多個清潔刷單元51。而且，在需要更換清潔輥42時，只要僅更換清潔輥單元41即可，在需要更換清潔刷53時，只要僅更換清潔刷單元51即可。因而，能夠使清潔輥42及清潔刷53在各自的可使用期間內繼續使用。

而且，所述實施方式中，對將在受到搬送的對象物的單面附著的異物予以去除的結構進行了說明，但也可採用將所述實施方式的清潔裝置配設在對象物的兩面側，以去除在對象物的兩面附著的異物的結構。例如，如圖5的清潔系統61般，採用具備兩個圖2的清潔裝置21的結構，由此，能夠去除對象物兩面的異物。該清潔系統61中，在對象物S的搬送方向C上游側，配設有將對象物S的其中一個面的異物予以去除的清潔裝置21，在其下游側，配設有將對象物S的另一個面的異物予以去除的另一清潔裝置21。即，上游側的清潔裝置21是以清潔輥及清潔刷與對象物S的其中一個面接觸的方式而配設，下游側的清潔裝置21是以清潔輥及清潔刷與對象物S的另一個面接觸的方式而配設。另外，此處，對將第二實施方式的清潔裝置21配設在對象物兩面側的結構進行了說明，但既可採用將圖1的清潔裝置1或圖3的清潔裝置31配設在對象物兩面側的結構，也可採用在對象物S的其中一面側與另一面側配設結構不同的清潔裝置的結構。

而且，所述第一實施方式中，對具備一個集塵輥的結構的清潔裝置進行了說明，這一個集塵輥與清潔刷及刷輥這兩者的外周側接觸，吸附清潔刷及刷輥上所附著的異物，但也可採用具備分別吸附清潔刷及刷輥上所附著的異物的兩個集塵輥的結構。通過採用如此般具備兩個集塵輥的結構，從而集塵輥在表面始終為潔淨的狀態下與清潔刷及刷輥接觸，因此能夠更切實地使附著於清潔刷及刷輥上的異物移動至集塵輥。 [實施例]

以下，通過實施例來更具體地說明本發明，但本發明並不限定於以下的實施例。

[實施例1] 使用在對象物的搬送方向上游側配設有圖4B的清潔刷單元51並在下游側配設有圖4A的清潔輥單元41的清潔裝置，對散佈於測試用對象物表面的異物的去除效果進行評價。具體而言，作為測試用對象物，使用平均厚度75 μm、平均寬度100 mm、平均長度100 mm的帶狀的聚對苯二甲酸乙二酯（Polyethylene Terephthalate，PET）片材（sheet），在該PET片材表面，作為測試用異物，散佈平均直徑2 mm的圓形狀的PET，將該PET片材以搬送速度12 m/min而插入至所述清潔裝置。作為清潔刷53，使用具有聚酯製的刷部者，該清潔刷53是以對PET片材的壓接量為0.5 mm的方式而配設，且以與PET片材表面的接觸點部分的旋轉方向相對於PET片材的搬送方向而為逆向的方式，以周速度6 m/min受到旋轉驅動。而且，將對清潔刷53的施加電壓設為-800 V，將對集塵輥55的施加電壓設為-1200 V。另外，清潔輥42伴隨著PET片材的搬送而擺動，因此清潔輥42的周速度為12 m/min。而且，將對清潔輥42的施加電壓設為-400 V，將對刷輥44的施加電壓設為-800 V，將對集塵輥45的施加電壓設為-1200 V。

[實施例2] 以對PET片材的壓接量為0.1 mm的方式來配設清潔刷53，除此以外，借助與實施例1同樣的方法，將散佈有測試用異物的PET片材插入至所述清潔裝置。

[比較例1] 以對PET片材的壓接量為0.1 mm的方式來配設清潔刷53，使清潔刷53以與PET片材表面的接觸點部分的旋轉方向相對於PET片材的搬送方向而為順向的方式並以周速度36 m/min而旋轉驅動，除此以外，借助與實施例1同樣的方法，將散佈有測試用異物的PET片材插入至所述清潔裝置。

[比較例2] 使清潔刷53以與PET片材表面的接觸點部分的旋轉方向相對於PET片材的搬送方向而為順向的方式並以周速度24 m/min而旋轉驅動，除此以外，借助與實施例1同樣的方法，將散佈有測試用異物的PET片材插入至所述清潔裝置。

[比較例3] 使清潔刷53以與PET片材表面的接觸點部分的旋轉方向相對於PET片材的搬送方向而為順向的方式並以周速度12 m/min而旋轉驅動，除此以外，借助與實施例1同樣的方法，將散佈有測試用異物的PET片材插入至所述清潔裝置。

[比較例4] 以對PET片材的壓接量為0.1 mm的方式來配設清潔刷53，使清潔刷53以與PET片材表面的接觸點部分的旋轉方向相對於PET片材的搬送方向而為順向的方式並以周速度6 m/min而旋轉驅動，除此以外，借助與實施例1同樣的方法，將散佈有測試用異物的PET片材插入至所述清潔裝置。

[清潔性評價] 在實施例1、實施例2、比較例1～比較例4中，將15個測試用異物散佈於清潔裝置插入前的PET片材表面，通過目測來對通過清潔裝置後的殘存於PET片材表面的異物個數進行計數。根據測試用異物的散佈數及通過清潔裝置後的異物個數，通過下述數式（1）來算出異物的去除率[%]。將實施例1、實施例2、比較例1～比較例4的評價結果示於表1。另外，表1中，「清潔刷的旋轉方向」表示清潔刷與PET片材表面的接觸點部分的相對於PET片材搬送方向的移動方向。   去除率[%]=｛（清潔前的異物的散佈數-清潔後的異物的殘存數）/（清潔前的異物的散佈數）｝×100…（1）

[表1]

根據表1的結果，在實施例1及實施例2中，可確認能夠100%去除異物。考慮這是因為，通過使清潔刷相對於PET片材的搬送方向而逆向地旋轉，從而容易將附著於PET片材表面的異物予以拂起並吸附至帶電的清潔刷。

另一方面，已知的是，比較例1～比較例4中，未特別發現因清潔刷的周速度及壓接量的不同而對異物去除效果的影響，幾乎無法去除異物。根據這些可確認，通過使清潔刷相對於PET片材的搬送方向而逆向地旋轉，從而能夠顯著提高異物的去除效果。 [產業上的可利用性]

本發明的清潔裝置能夠將微細的異物與毫米尺寸的相對較大的異物一同予以去除，因此能夠較佳地用於將附著在平板顯示器的玻璃基板、搭載電子零件的印刷基板、樹脂薄板、薄膜材料等的表面的塵埃等異物予以除去。

1、21、31‧‧‧清潔裝置
2、22、32、42‧‧‧清潔輥
2a‧‧‧芯棒
2b‧‧‧內層部
2c‧‧‧外層部
3、23、33、53‧‧‧清潔刷
3a‧‧‧芯棒
3b‧‧‧刷部
4、44‧‧‧刷輥
4a‧‧‧芯棒
4b‧‧‧刷部
5、25、45、55‧‧‧集塵輥
6、26、46、56‧‧‧刮板
7‧‧‧框架
8、48、58‧‧‧異物回收部
9‧‧‧第1相向電極輥
10‧‧‧第2相向電極輥
11‧‧‧導輥
41‧‧‧清潔輥單元
51‧‧‧清潔刷單元
61‧‧‧清潔系統
C‧‧‧搬送方向
S‧‧‧對象物

圖1是本發明的第一實施方式的清潔裝置的示意圖。 圖2是本發明的第二實施方式的清潔裝置的示意圖。 圖3是與圖1及圖2的實施方式不同的實施方式的清潔裝置的示意圖。 圖4A是與圖1、圖2及圖3的實施方式不同的實施方式的清潔裝置的清潔輥單元的示意圖。 圖4B是與圖1、圖2及圖3的實施方式不同的實施方式的清潔裝置的清潔刷單元的示意圖。 圖5是與圖1、圖2、圖3及圖4A的實施方式不同的實施方式的清潔裝置的示意圖。

1‧‧‧清潔裝置

2‧‧‧清潔輥

2a‧‧‧芯棒

2b‧‧‧內層部

2c‧‧‧外層部

3‧‧‧清潔刷

3a‧‧‧芯棒

3b‧‧‧刷部

4‧‧‧刷輥

4a‧‧‧芯棒

4b‧‧‧刷部

5‧‧‧集塵輥

6‧‧‧刮板

7‧‧‧框架

8‧‧‧異物回收部

9‧‧‧第1相向電極輥

10‧‧‧第2相向電極輥

11‧‧‧導輥

C‧‧‧搬送方向

S‧‧‧對象物

Claims (8)

1. 一種清潔裝置，其是受到搬送的薄膜狀或板狀對象物表面的清潔裝置，所述清潔裝置的特徵在於包括： 清潔輥，以與所述對象物的搬送方向大致垂直且與對象物表面大致平行的旋轉軸為中心而旋轉自如地配設，使表面在帶電的狀態下與所述對象物表面接觸；以及 輥狀的清潔刷，與所述清潔輥大致平行地配設，受到旋轉驅動並與所述對象物表面接觸；並且 所述清潔輥中的與所述對象物表面的接觸點部分的旋轉方向相對於所述對象物的搬送方向為順向， 所述清潔刷中的與所述對象物表面的接觸點部分的旋轉方向相對於所述對象物的搬送方向為逆向。
2. 如申請專利範圍第1項所述的清潔裝置，其中所述清潔刷也在帶電的狀態下與所述對象物表面接觸。
3. 如申請專利範圍第2項所述的清潔裝置，其中所述清潔刷與清潔輥表面接觸。
4. 如申請專利範圍第2項所述的清潔裝置，其更包括： 集塵輥，與所述清潔刷大致平行地配設，使表面在帶電的狀態下與所述清潔刷的外周側接觸。
5. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的清潔裝置，其更包括： 刷輥，與所述清潔輥大致平行地配設，帶電且受到旋轉驅動並與清潔輥表面接觸。
6. 如申請專利範圍第5項所述的清潔裝置，其更包括： 一或兩個集塵輥，與所述清潔刷及所述刷輥大致平行地配設，使表面在帶電的狀態下與所述清潔刷及所述刷輥的外周側接觸。
7. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的清潔裝置，其中所述清潔輥及所述清潔刷被裝入單個單元中。
8. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的清潔裝置，其獨立地具備裝入有所述清潔輥的單元與裝入有所述清潔刷的單元。