CN104507839B

CN104507839B - 玻璃薄膜输送装置

Info

Publication number: CN104507839B
Application number: CN201380041892.3A
Authority: CN
Inventors: 玉垣浩
Original assignee: Kobe Steel Ltd
Current assignee: Kobe Steel Ltd
Priority date: 2012-08-07
Filing date: 2013-07-22
Publication date: 2017-02-22
Anticipated expiration: 2033-07-22
Also published as: EP2883822A1; JP2014051429A; TW201410565A; EP2883822A4; WO2014024398A1; KR20150029013A; JP6016723B2; KR101605296B1; CN104507839A; US20150165749A1; TWI579213B

Abstract

提供一种在重叠在保护片上而卷取时将玻璃薄膜适当地冷却来抑制损坏的玻璃薄膜输送装置。将长尺寸的玻璃薄膜连续地输送的玻璃薄膜输送装置（100）包括：开卷部（2），从卷将玻璃薄膜开卷；玻璃薄膜输送部（3），将从开卷部（2）开卷后的玻璃薄膜输送；卷取部（4），一边在由玻璃薄膜输送部（3）输送来的玻璃薄膜上层叠保护片一边卷取为卷状；和层叠辊（12），设在卷取部（4）之前。层叠辊（12）的表面温度比保护片的温度高，使保护片升温，促进保护片含有的气化成分的蒸发。蒸发的气化成分积存在层叠辊（12）与保护片之间及保护片与玻璃薄膜之间，作为热传递介质发挥功能，将玻璃薄膜的温度适当地降低。

Description

玻璃薄膜输送装置

技术领域

本发明涉及柔性且能够卷为卷状的薄膜玻璃（玻璃薄膜）的真空/减压下的输送装置。特别是，本发明涉及与含有水分等气化成分的保护片一起将玻璃薄膜卷取为卷状的输送装置。

背景技术

近年来，作为显示影像等的显示设备用的基板材料，使用气体隔绝性及透光性等良好的薄膜玻璃即玻璃薄膜。目前，通常的玻璃薄膜的厚度是200μm左右，但最近开发了比200μm薄的厚度30μm～150μm左右的很薄的玻璃薄膜。

这样的很薄的玻璃薄膜因其较薄而具有挠性，所以能够作为将玻璃薄膜卷取为卷状的玻璃卷处置。在玻璃卷中，以防止卷为卷状的玻璃薄膜与在内周侧及外周侧相邻的玻璃薄膜接触而损坏的目的，有在相邻的玻璃薄膜间夹入树脂制的保护片（例如保护薄膜或衬纸）的结构。

专利文献1公开了在相邻的玻璃薄膜间夹入了保护片的玻璃卷的制造方法。

专利文献1所公开的玻璃卷的制造方法是通过下拉法成形玻璃薄膜并将该成形的玻璃薄膜重叠在保护片上而卷取为卷状的玻璃卷的制造方法。该制造方法的特征在于，一边对上述保护片赋予比上述玻璃薄膜大的输送方向的张力一边将上述玻璃薄膜和上述保护片卷取。

作为对这样的具有挠性的玻璃薄膜有效率地实施各种处理的方法，提出了各种各样从玻璃卷将玻璃薄膜开卷并以卷到卷方式输送、同时在其表面上实施涂层等的各种处理的技术，所述玻璃卷是将长尺寸的玻璃薄膜卷为卷状而成的。

作为对于该玻璃薄膜的表面的各种处理，例如有真空蒸镀或溅射等、在被减压到真空压附近的真空容器内进行的处理。在被减压到真空压附近的容器内各种各样地产生因压力变化带来的影响。因此，提出了考虑产生的影响而一边将玻璃薄膜输送一边实施真空蒸镀或溅射等的处理（表面处理）的各种各样的技术。

专利文献2公开了在真空压附近下输送薄膜玻璃的薄膜玻璃的输送装置。

专利文献2所公开的薄膜玻璃的输送装置是具备能够控制真空容器内的压力的压力控制机构、在被减压到真空压附近的上述真空容器内输送长尺寸的薄膜玻璃的装置。在该装置中，上述压力控制机构在卷状的上述薄膜玻璃配置在上述真空容器内的状态下，花费3分钟以上的时间使上述真空容器内的压力减压到10000Pa后，减压到真空压附近。

在该薄膜玻璃的输送装置中，在上述条件下减压后，将夹在玻璃卷的薄膜玻璃间的保护薄膜在开卷时从薄膜玻璃拆下，此外，在被实施了表面处理的薄膜玻璃的卷取时，在薄膜玻璃间夹入保护薄膜，将薄膜玻璃卷取为卷状。

但是，在真空中或减压下，如在上述专利文献1及专利文献2所公开那样，当将树脂制的保护片与玻璃薄膜重叠而卷在一起时，在单纯重叠卷绕时，产生以下这样的问题。即，在玻璃薄膜通过成膜处理等成为高温（例如200℃以上）的情况下，如果保护片接触在高温的玻璃薄膜上，则保护片有可能受到损坏及/或断裂等的损伤。在该状态下，如果将保护片和玻璃薄膜重叠卷取，则有可能以此为触发事件而通过保护片的起伏等使玻璃薄膜损坏。即，在将高温的玻璃薄膜卷取时需要适当地冷却。特别是，在将玻璃薄膜在真空腔室中处理、在该腔室内将保护片和玻璃薄膜重叠卷取的情况下，由于腔室内是真空，所以没有被充分冷却，在高温的状态下将玻璃薄膜卷取。在这样的情况下，需要在防止保护片的损伤的同时，将玻璃薄膜适当地冷却。

专利文献1：特开2011－201765号公报

专利文献2：特开2012－1405号公报。

发明内容

本发明的目的是提供一种能够在抑制玻璃薄膜的损坏的同时、将玻璃薄膜和保护片重叠卷取的玻璃薄膜输送装置。

有关本发明的玻璃薄膜输送装置在真空中或减压下将长尺寸的玻璃薄膜连续地输送。该装置具备：开卷部，从卷绕有上述玻璃薄膜的卷将该玻璃薄膜开卷；玻璃薄膜输送部，将由上述开卷部开卷后的上述玻璃薄膜输送；和卷取部，在由上述玻璃薄膜输送部输送的上述玻璃薄膜上层叠保护片并卷取为卷状，所述保护片具有与上述玻璃薄膜大致同宽且长尺寸的形状，并含有气化成分。上述卷取部将上述保护片升温，由此使上述气化成分气化。

附图说明

图1是表示有关本发明的第1实施方式的玻璃薄膜输送装置的结构的概略图。

图2（A）是表示图1的A部的详细情况的图，图2（B）是表示B部的详细情况的图。

图3是表示有关本发明的第2实施方式的玻璃薄膜输送装置的结构的概略图。

图4是表示有关本发明的第3实施方式的玻璃薄膜输送装置的结构的概略图。

具体实施方式

以下，一边参照附图，一边说明有关本发明的实施方式的玻璃薄膜输送装置。另外，在以下说明的各实施方式及图中，对于玻璃薄膜输送装置的相同的构成部件，赋予相同的附图标记及相同的名称。因而，对于被赋予相同的附图标记及相同的名称的构成部件不重复相同的说明。

［第1实施方式］

一边参照图1及图2，一边对有关本发明的第1实施方式的玻璃薄膜输送装置100进行说明。图1是表示有关第1实施方式的玻璃薄膜输送装置100的结构的概略图。图2（A）是表示图1的A部的详细情况的图，图2（B）是表示图1的B部的详细情况的图。在该玻璃薄膜输送装置100中，将和保护片一起卷取为卷状的处理前的玻璃薄膜与保护片分离而输送，然后与别的保护片一起卷取为卷状。

玻璃薄膜输送装置100具有：开卷部2，从玻璃卷R1将玻璃薄膜开卷，所述玻璃卷R1是将长尺寸且带状的玻璃薄膜、例如宽度1米左右、厚度30μm～200μm左右的很薄的玻璃薄膜卷为卷状而成的；玻璃薄膜输送部3，将开卷了的玻璃薄膜向表面处理工序输送，在所述表面处理工序中实施溅射、等离子CVD、蒸镀、离子镀、AIP法、等离子照射处理、离子注入等的减压下或真空下的表面处理；卷取部4，将被实施了表面处理的玻璃薄膜再次卷取为卷状的玻璃卷R2。玻璃薄膜输送装置100例如是从以卷状卷绕了延续100m以上的长尺寸的玻璃薄膜的玻璃卷R1将该玻璃薄膜开卷、以所谓卷到卷方式输送的装置。

具体而言，在玻璃卷R1中，在玻璃薄膜GF的单面上，重合层叠有成形为与玻璃薄膜GF大致同宽的树脂制的保护片PF。保护片PF的厚度为与玻璃薄膜GF相同程度，但只要有能够将玻璃薄膜GF从损坏或损伤保护的厚度，也可以不是与玻璃薄膜GF相同程度。

将这样玻璃薄膜GF与保护片PF重合而成为2层的层叠薄膜LF卷绕到后述的开卷部2的开卷芯2a上，成为玻璃卷R1。开卷芯2a例如由不锈钢材料等形成。玻璃卷R1优选的是以在卷绕起始处层叠薄膜LF的保护片PF侧接触在开卷芯2a的卷绕芯的方式被卷绕。并且，成为从开卷芯2a的卷绕芯朝向外周侧、保护片PF和玻璃薄膜GF交替地重合的卷。

当从开卷部2将玻璃薄膜GF开卷时，有首先将层叠薄膜LF开卷、将开卷的层叠薄膜LF分离为玻璃薄膜GF和保护片P的方法、和将层叠薄膜LF中的外周侧的玻璃薄膜GF先开卷后将保护片PF开卷的、将玻璃薄膜GF和保护片PF交替地开卷的方法。

一边参照图1，一边说明第1实施方式的玻璃薄膜输送装置100的结构。

在以下的说明中，将朝向图1的纸面的上下方向作为玻璃薄膜GF输送装置100的上下方向，将同样朝向纸面的左右方向作为玻璃薄膜输送装置100的左右方向。

玻璃薄膜输送装置100如上述那样，具备从玻璃卷R1将玻璃薄膜GF开卷的开卷部2、将开卷的玻璃薄膜GF向表面处理工序输送的玻璃薄膜输送部3、和将被实施了表面处理的玻璃薄膜GF再次卷取为卷状的卷取部4。

这样的结构的玻璃薄膜输送装置100例如设在框体形的真空腔室6内。

真空腔室6形成为内部为空洞的箱状，将内部相对于外部气密地保持。虽然没有图示，但在真空腔室6的下侧设有真空泵，通过该真空泵将真空腔室6的内部减压到真空状态或低压状态。

开卷部2具备开卷芯2a、连结在该开卷芯2a上的旋转轴2b、从由玻璃卷R1开卷的层叠薄膜LF将保护片PF分离的保护片分离辊9、和将分离后的保护片PF卷取的保护片卷取卷11。

在图1所示的真空腔室6内的上下方向上的中央部的左侧上方，配置有开卷部2的开卷芯2a。开卷芯2a具备全长比层叠薄膜LF的宽度稍长的圆筒状或圆柱状的卷绕芯。此外，也可以为在该卷绕芯的两端上同轴地固定着圆板状的凸缘的一个面的结构。在具有这样的结构的开卷芯2a中，通过在开卷芯2a的卷绕芯上卷绕层叠了玻璃薄膜GF和保护片PF的层叠薄膜LF，形成玻璃卷R1。

开卷部2的旋转轴2b以朝向图1的纸面为垂直方向的方式配置在真空腔室6内。旋转轴2b连结在开卷芯2a上。在该开卷部2中，通过使旋转轴2b及连结在其上的开卷芯2a旋转，能够从玻璃卷R1将层叠薄膜LF（即，玻璃薄膜GF及保护片PF）开卷。

在图1所示的真空腔室6内的比上下方向的中央靠下侧且开卷部2的下方，具备成膜装置，所述成膜装置对从开卷部2开卷并从保护片PF分离的玻璃薄膜GF的表面，实施例如溅射或等离子CVD等的表面处理工序。在第1实施方式中，作为一例而具备溅射成膜部7。

玻璃薄膜输送部3包括实施该表面处理工序的溅射成膜部7的玻璃薄膜GF的输送部件而构成。图1表示作为通常的溅射成膜部7的结构的一部分的成膜卷8及靶T。

图1所示的溅射成膜部7的成膜卷8由不锈钢材料等形成为圆筒状或圆柱状，是在形成曲面的外周面上卷绕玻璃薄膜GF而输送的输送部件。成膜卷8以作为旋转中心的成膜卷8的轴心（旋转轴）与作为开卷部2的旋转中心的轴心（即，开卷芯的卷绕芯的轴心）大致平行的方式配置。

溅射蒸发源T以与由成膜卷8输送的玻璃薄膜GF对置的方式，配置在成膜卷8的左右侧。溅射蒸发源T是由堆积到玻璃薄膜GF的表面上的成分构成的蒸发源，如周知那样，通过辉光放电溅射的（蒸发的）成分被向玻璃薄膜GF的表面引导而堆积。

如上述那样，成膜卷8为将为了实施表面处理工序而从开卷部2开卷的玻璃薄膜GF输送的部件，构成玻璃薄膜输送部3。另外，成膜卷8的温度例如是200℃～400℃的高温。

此外，在第1实施方式中，如图1所示，开卷部2的保护片分离辊9配置在开卷芯2a与成膜卷8之间。保护片分离辊9与成膜卷8同样是由不锈钢材料等形成为圆筒状或圆柱状的部件，但具有比成膜卷8的外径小的外径的圆筒或圆柱形状。

保护片分离辊9的旋转轴与开卷芯2a及成膜卷8的旋转轴平行，并且在真空腔室6的左右方向上，配置在比成膜卷8的左端靠真空腔室6的中央附近即成膜卷8的旋转轴附近。保护片分离辊9的该配置能够对成膜卷8从总为一定的角度及方向输送玻璃薄膜GF。

该保护片分离辊9使构成层叠薄膜LF的玻璃薄膜GF和保护片PF相互分离。在分离后，保护片PF被保护片卷取卷11卷取，玻璃薄膜GF被向成膜卷8输送。

由于开卷部2具备保护片分离辊9及保护片卷取卷11，所以能够将从玻璃卷R1开卷的层叠薄膜LF中的保护片PF从玻璃薄膜GF分离并回收。

在图1所示的真空腔室6内中，朝向图1的纸面在开卷部2的右侧配置有卷取部4。卷取部4将经过玻璃薄膜输送部3被实施了表面处理的玻璃薄膜GF再次卷取为卷状的玻璃卷R2。

卷取部4具备卷取芯4a、与该卷取芯4a连结的旋转轴4b、使玻璃薄膜GF与保护片PF层叠的层叠辊12、将新的保护片PF向层叠辊12供给的保护片卷13、和将层叠卷12加热的加热机构14。层叠辊12设在比卷取芯4a靠玻璃薄膜GF的输送方向的上游侧。

卷取部4的卷取芯4a具有与上述开卷芯2a相同的结构，具有全长比层叠薄膜LF的宽度稍长的圆筒状或圆柱状的卷绕芯。卷取部4的旋转轴4b以朝向图1的纸面为垂直方向、与上述开卷部2及成膜卷8等的旋转轴平行的方式，配置在真空腔室6内。

在该卷取部4中，通过由致动器等使旋转轴4b及连结在其上的卷取芯4a旋转，将从保护片卷13供给的新的保护片PF卷取，与其一起将从玻璃薄膜输送部3输送来的玻璃薄膜GF卷取。

这里，如图1所示，层叠辊12配置在卷取芯4a与成膜卷8之间且保护片分离辊9的右侧。

该层叠辊12是与保护片分离辊9同样的结构，与成膜卷8同样是通过不锈钢材料等形成为圆筒状或圆柱状的部件。层叠辊12的旋转轴与卷取部4及成膜卷8的旋转轴平行，并且在真空腔室6的左右方向上，配置在比成膜卷8的右端靠真空腔室6的中央附近即成膜卷8的旋转轴附近。层叠辊12的该配置能够从成膜卷8沿着总为一定的角度及方向将玻璃薄膜GF运出。

以下，对该层叠辊12详细地说明。

该层叠辊12的直径是φ100mm～φ300mm，优选的是φ125mm～φ200mm。

当将保护片PF向层叠辊12上供给时，优选的是以50N/m～200N/m的范围的张力供给。另一方面，优选的是将玻璃薄膜GF以比该保护片PF的张力弱的张力供给。保护片PF的张力Tf优选的是玻璃薄膜GF的张力Tg的2倍左右以上。换言之，在层叠辊12处，优选的是将对保护片PF赋予的输送方向的张力设定得比对玻璃薄膜GF赋予的输送方向的张力大，以便能够提高保护片PF对于层叠辊12的紧贴度、促进保护片PF中含有的水分的蒸发。

优选的是在角度α=45°以上的范围使保护片PF紧贴在层叠辊12上，再将玻璃薄膜GF重合到该保护片PF之上。进而，与该角度α的范围连续，在层叠辊12上，以角度β=30°～90°（只要不较大而超过90°就可以）且50mm以上的长度的范围使玻璃薄膜GF接触在保护片PF上之后，使玻璃薄膜GF及保护片PF在相互接触的状态下从层叠辊12脱离，然后将层叠了玻璃薄膜GF和保护片PF的层叠薄膜LF通过卷取部4的卷取芯4a卷取为卷状。当用卷取芯4a将层叠了玻璃薄膜GF和保护片PF的层叠薄膜LF卷取为卷状时，优选的是以保护片PF为内侧进行卷取。

层叠辊12的温度是比保护片PF高的温度，优选的是设定为40～80℃。该层叠辊12被加热机构14加热，以使层叠辊12的表面温度变得比保护片PF的温度高。由此，能够使保护片PF升温，能够促进保护片PF中含有的水分的蒸发。加热机构14例如是将温水等循环到层叠辊12的内部而将该层叠辊12加热的机构。另外，加热机构14在图中被示意地表示。

这里，所谓升温，表示通过外部性的加热成为比恒常状态的保护片PF的温度高的温度。处于真空/低压环境下的保护片PF在恒常状态下也使保护片PF中含有的水分蒸发。在本发明中，通过使保护片PF升温，相比没有外部性的加热的恒常状态促进水分的蒸发是重要的。在上述中，作为外部性的温度而例示了40～80℃，但并不限定于此，根据保护片PF的材质或真空度而变化，能够由本领域的技术人员适当设定。

这里，对保护片PF的材质进行说明。保护片PF优选的是如PET、PC（聚碳酸酯）、PES、PI（聚酰亚胺）等的那样、相比COP等吸水率较少不到0.01%且水蒸气释放较少的薄膜吸水率较高为0.2%以上且适度释放水蒸气的材料。特别是，因为将水蒸气从表面迅速地释放的需要，优选的是以100μm厚度的换算具有超过10g/m²/天的水蒸气透过系数的材料。此外，作为保护片PF也可以使用纸。此外，假设水分包含在保护片PF中，但也包括吸附在表面上的水分。此外，在本实施例中例示了水分，但在水分以外，只要是保护片PF中含有、通过真空中或减压下的加温而蒸发、真空腔室内的污染较少的气化成分就可以，并不限定于此。

在这样的结构中，参照图2，对用层叠辊12将玻璃薄膜GF重合在保护片PF上而用卷取部4的卷取芯4a卷取时的层叠辊12的表面附近的状态进行说明。

如图1的A部及图2（A）所示，向层叠辊12首先卷取保护片PF。该保护片PF是从保护片卷13供给的新的保护片PF，是常温程度的温度。相对于此，层叠辊12的表面温度是比该保护片PF的温度高温且为40℃～80℃，并且保护片PF的卷取方向的张力比玻璃薄膜GF的张力大。因此，保护片PF紧贴在层叠辊12上，被从作为比保护片PF的温度高温的层叠辊12的表面供给热。

这样，如果向保护片PF供给热，则从是树脂制且含有水分的保护片PF促进水分的释放。这样释放出的水蒸气在层叠辊12与保护片PF的间隙及保护片PF的外周侧构成热传递层。

设定上述角度α（仅保护片PF接触在层叠辊12上的角度）及角度β（保护片PF及玻璃薄膜GF接触在层叠辊12上的角度），以成为充分形成这样的状态的路径长。

这里，如图1所示，角度α及角度β是层叠辊12的旋转中心的周围的角度。角度α是在层叠辊12上、由连结开始卷取保护片PF的位置和层叠辊12的旋转中心的线段和连结开始卷取玻璃薄膜GF的位置与层叠辊12的旋转中心的线段形成的角度。角度β是在层叠辊12上、由连结开始卷取玻璃薄膜GF的位置与层叠辊12的旋转中心的线段和连结作为玻璃薄膜GF及保护片PF的层叠体的层叠薄膜LF从层叠辊12脱离的位置与层叠辊12的旋转中心的线段形成的角度。

接着，如图1的B部及图2（B）所示，在层叠辊12上重叠卷绕玻璃薄膜GF。在此状态下，在层叠辊12旋转角度α的期间中，从层叠辊12向保护片PF充分地供给热，层叠辊12的表面温度和保护片PF的温度大致成为相等。另一方面，在该状态下，大致成为相等的层叠辊12的表面温度及保护片PF的温度比玻璃薄膜GF温度低。

这里，当高温的玻璃薄膜GF接触在保护片PF上时，通过释放出的气体（水蒸气）（相当于与真空腔室6内的真空状态比较）促进玻璃薄膜GF与保护片PF之间的热传递及保护片PF与层叠辊12之间的热传递。因此，高温的玻璃薄膜GF的温度被适当地冷却。即，在从保护片PF释放出的气体积存在玻璃薄膜GF与保护片PF之间及保护片PF与层叠辊12之间的状态下，玻璃薄膜GF接触在保护片PF上，所以从玻璃薄膜GF经由保护片PF向层叠辊12的热传递被活化，将玻璃薄膜GF适当地冷却。

这样，如果将玻璃薄膜GF重叠在保护片PF上，则释放到保护片PF的外侧的气体积存到玻璃薄膜GF与保护片PF之间，促进从这些玻璃薄膜GF与保护片PF之间的热传递。

玻璃薄膜GF具有的热被向保护片PF传递，但在保护片PF与层叠辊12之间也积存气体，促进两者之间的热传递。

此时，积存在玻璃薄膜GF与保护片PF之间的气体（压力P2）由于下方被开放，所以气体散逸，但积存在保护片PF与层叠辊12之间的气体（压力P1）由于没有被开放，所以气体不散逸，成为P1>P2。这样，作为热传递介质的气压P不同，所以从保护片PF向层叠辊12的热传递系数变得比从玻璃薄膜GF向保护片PF的热传递系数高。因此，保护片PF不会成为高温，并且玻璃薄膜GF被适当地冷却，所以保护片PF不会接触到高温，将保护片PF保护以免受损伤。

另外，在因为保护片PF的表背面的涂层等的差异而从保护片PF的层叠辊12侧的气体的释放相对较多的情况下，在能够稳定地进行温度控制这一点上是优选的。

接着，参照图1说明玻璃薄膜输送装置100的动作。以下，向玻璃薄膜输送装置100运入玻璃卷R1而向各辊卷绕保护片PF及玻璃薄膜GF这样的用来使玻璃薄膜输送装置100动作的准备操作的说明省略。

首先，从安装在开卷部2的旋转轴2b上的玻璃卷R1将作为层叠薄膜LF的一方的薄膜的玻璃薄膜GF开卷，向玻璃薄膜输送部3输送。此时，通过卷取部2的保护片分离辊9，从玻璃薄膜GF与保护片PF重合的状态，从玻璃薄膜GF分离保护片PF，将保护片PF向保护片卷取卷11卷取。与此同时，将玻璃薄膜GF向成膜卷8输送。

将向成膜卷8输送的玻璃薄膜GF通过在卷绕在成膜卷8上的状态下实施溅射处理等而进行表面处理。

将被实施了表面处理的玻璃薄膜GF从成膜卷8向卷取部4的层叠辊12输送，从层叠辊12向卷取芯4a输送。通过该层叠辊12，将新的保护片PF和处理后的玻璃薄膜GF重合。此时，层叠辊12的表面温度被设定为40℃～80℃，保护片PF的卷取张力被设定得比玻璃薄膜GF的卷取张力强。较强地紧贴在层叠辊12上的保护片PF被从层叠辊12供给热，促进从保护片PF的含有水分的释放（含有水分的水蒸气化、气体化）。

从保护片PF释放出的气体积存在玻璃薄膜GF与保护片PF之间，促进这些玻璃薄膜GF与保护片PF之间的热传递，玻璃薄膜GF具有的热被向保护片PF传递。进而，在保护片PF与层叠辊12之间也积存气体，更大地促进这些保护片PF与层叠辊12之间的热传递，从玻璃薄膜GF传递给保护片PF的热被从保护片PF向层叠辊12充分地热传递。结果，保护片PF不会成为高温，并且玻璃薄膜GF被适当地冷却。结果，保护片PF不会接触到高温，将保护片PF保护以免受损伤。

在此情况下，在层叠辊12的直径为100mm以下时，玻璃薄膜GF的弯曲变得过于严重，损坏的可能性变高。此外，为了在层叠辊12处设置加热机构14，需要φ100mm左右。即使层叠辊12的直径无用地变大，该玻璃薄膜输送装置100也不会无用地变得过大，层叠辊12的直径超过φ300mm并不现实。最优选的层叠辊12的直径的范围是φ125～200mm。在层叠辊12的直径为φ125mm以上的条件下，当将保护片PF卷绕在45°的范围中时，保护片PF与层叠辊12的接触面的长度成为约50mm以上，在充分热稳定的状态下与玻璃薄膜GF接触。在层叠辊12的直径为φ200mm以下的条件下，在玻璃薄膜输送装置100的小型化的观点是有利的。进而，层叠辊12的直径较小者在保护片PF与层叠辊12的紧贴状态更稳定化的观点也是有利的。

在将保护片PF卷绕到层叠辊12上而立即重叠玻璃薄膜GF的情况下，成为在保护片PF的起伏没有充分平息的状态下重叠玻璃薄膜GF，玻璃薄膜GF损坏的可能性变高。根据本申请的发明者的认识，在满足层叠辊12的直径的必要条件的层叠辊12上，保护片PF的起伏及褶皱通过45°以上的范围的卷绕而完全消失。

特别是，为了防止保护片PF的损伤，保护片PF与层叠辊12的紧贴优选的是比玻璃薄膜GF与保护片PF的紧贴强。保护片PF的供给优选的是以50N/m以上的卷取张力进行。相反，玻璃薄膜GF的张力优选的是相比保护片PF的张力足够弱。为此，保护片PF的张力优选的是比玻璃薄膜GF的张力强。更优选的是，保护片PF的张力是玻璃薄膜GF的张力的2倍左右以上。

在层叠辊12上成为平坦的保护片PF上卷绕玻璃薄膜GF。为了玻璃薄膜GF在与保护片PF稳定重叠的状态下运出，需要以使角度β为30°以上的卷绕角度进行重叠卷绕。另一方面，如果使角度β为较大超过90°的卷绕角度，则损坏的可能性变高。

保护片PF和玻璃薄膜GF重合的层叠薄膜LF优选的是以保护片PF侧为内侧卷取为卷状。

特别是，由于层叠辊12的温度被设定得比保护片PF的温度高，所以从保护片PF接触在层叠辊12上的时点起从保护片PF开始水蒸气等气体释放，促进保护片PF和层叠辊12的热交换，并且释放出的气体使保护片PF与层叠辊12之间的滑动变容易，也促进紧贴。

如以上这样，在有关第1实施方式的玻璃薄膜输送装置中，通过促进树脂制的保护片PF含有的水分的释放、作为热传递介质发挥功能，保护片PF不会成为高温，能够将高温的玻璃薄膜GF适当地冷却。如果玻璃薄膜GF不为高温，则能够避免保护片PF受到损坏及/或断裂等的损伤。因此，即使将保护片PF和玻璃薄膜GF重叠卷取，也不会使玻璃薄膜GF损坏。因此，有关第1实施方式的玻璃薄膜输送装置能够在抑制玻璃薄膜GF的损坏的同时、将玻璃薄膜GF和保护片PF重叠卷取。

上述玻璃薄膜GF的温度控制的方法在玻璃薄膜GF在真空中的处理下被冷却到显著的低温那样的情况下也能够使用。即，如果玻璃薄膜GF在被冷却到例如－100℃那样的极低温的状态下接触在保护片PF上，则将保护片PF冷却，使保护片PF的柔性失去，结果产生保护片PF的断裂等的损伤，还有可能引起玻璃薄膜GF的损坏。在这样的情况下，也通过采用上述第1实施方式的结构，如果接触在层叠卷上而接触在被加热的保护片PF上，则玻璃薄膜GF能够经由水蒸气同样被加热而成为适合于卷取的温度，能够在抑制保护片PF和玻璃薄膜的损坏的同时重叠卷取。

［第2实施方式］

以下，对有关本发明的第2实施方式的玻璃薄膜输送装置200进行说明。另外，在有关第2实施方式的玻璃薄膜输送装置200中，对于与有关上述第1实施方式的玻璃薄膜输送装置100相同的结构赋予相同的附图标记。它们的功能也相同。因此，在这里不重复关于它们的详细的说明。

在上述玻璃薄膜输送装置100中，由于使用玻璃卷R1，所述玻璃卷R1是用开卷部2的开卷芯2a将玻璃薄膜GF和保护片PF一起卷取为卷状而成的，所以卷取部2具备保护片分离辊9及保护片卷取卷11。

在图3中表示有关第2实施方式的玻璃薄膜输送装置200的结构的概略图。在该玻璃薄膜输送装置200中，玻璃卷R3安装在开卷部2的旋转轴2b上，所述玻璃卷R3是仅将没有被卷取保护片PF的玻璃薄膜GF卷取为卷状而成的。因此，如图3所示，玻璃薄膜输送装置200不具备保护片分离辊9及保护片卷取卷11。但是，为了确保成膜卷8上的玻璃薄膜GF的接触角度，在保护片分离辊9的位置设有与保护片分离辊9同样的辊29。

该玻璃薄膜输送装置200的其以外的结构与玻璃薄膜输送装置100的结构相同。

在有关第2实施方式的玻璃薄膜输送装置200中，与有关第1实施方式的玻璃薄膜输送装置100同样，即使安装在开卷部2的旋转轴2b上的玻璃卷R3是仅有玻璃薄膜GF的卷，也能够在抑制玻璃薄膜GF的损坏的同时、将玻璃薄膜GF和保护片PF重叠卷取。

特别是，第2实施方式优选的是应用到下述结构中：玻璃薄膜GF以在其宽度方向的两端部（即，在图2的纸面垂直方向上离开间隔的两端部）上带有保护带材（称作所谓的边缘片）的形式成为玻璃卷R3。在此情况下，从玻璃薄膜GF的温度控制及卷取的观点，优选的是保护片PF的宽度是与玻璃薄膜GF的保护带材之间的区域的宽度相同或稍窄的程度，并且保护片PF的厚度比保护带材的厚度厚。

［第3实施方式］

以下，对有关本发明的第3实施方式的玻璃薄膜输送装置300进行说明。另外，在有关第3实施方式的玻璃薄膜输送装置300中，对与有关上述第1实施方式的玻璃薄膜输送装置100相同的结构赋予相同的附图标记。它们的功能也相同。因此，在这里不重复关于它们的详细的说明。

在图4中表示有关第3实施方式的玻璃薄膜输送装置300的结构的概略图。在该玻璃薄膜输送装置300中，将由开卷部2的开卷芯2a从玻璃薄膜GF脱离的保护片PF用卷取部4再利用。因此，如图4所示，在该玻璃薄膜输送装置300中具备保护片输送部34。此外，在该玻璃薄膜输送装置300中，为了确保成膜卷8上的玻璃薄膜GF的接触角度而设有第1导引辊35。进而，为了层叠辊12满足上述角度α及角度β，第2导引辊37设在希望的位置并且设定了卷取部4的卷取芯4a及层叠辊12的位置。

该玻璃薄膜输送装置300中的卷取部4的卷取芯4a、旋转轴4b及层叠辊12分别具备与上述玻璃薄膜输送装置100中的卷取部4的卷取芯4a、旋转轴4b及层叠辊12相同的结构。因此，该玻璃薄膜输送装置300中的层叠辊12满足玻璃薄膜输送装置100中的层叠辊12的温度条件、角度条件及辊径条件的全部。特别是，为了保护片输送部34与包括卷取部4的卷取芯4a的玻璃卷R2不干涉且满足角度α≥45°，设有第2导引辊37。

玻璃薄膜输送装置300具备保护片输送部34，所述保护片输送部34将从由开卷部2开卷的玻璃薄膜GF分离的保护片PF运出并朝向卷取部4的卷取芯4a将保护片PF运入。

如图4所示，保护片输送部34具有配置在开卷部2的上方的第1保护片辊31及配置在卷取部4的上方的第2保护片辊32。

第1保护片辊31及第2保护片辊32是具有与第1导引辊35大致同样的结构的圆筒状或圆柱状的辊，在第3实施方式中，第1保护片辊31及第2保护片辊32的外径比第1导引辊35的外径稍小。这样的第1保护片辊31及第2保护片辊32分别以这些辊31、32的旋转轴与开卷芯2a及卷取芯4a的旋转轴2b、4b大致平行的方式，配置在开卷部2的开卷芯2a或卷取部4的卷取芯4a的正上方附近。

在溅射成膜部7中被实施了表面处理的玻璃薄膜GF被向卷取部4输送。具体而言，将玻璃薄膜GF从成膜卷8经由层叠辊12向卷取芯4a输送。

与该玻璃薄膜GF的输送同时，将保护片PF向保护片输送部34输送，从第1保护片辊31经过第2保护片辊32经由第2导引辊37向层叠辊12输送。

如图4所示，将经过了第2保护片辊32的保护片PF向层叠辊12卷绕。在层叠辊12处，在卷绕保护片PF后与第1实施方式同样旋转45°以上的角度α后，将从成膜卷8输送的玻璃薄膜GF向先卷绕的保护片PF上卷取。并且，将玻璃薄膜GF和保护片PF重合的层叠薄膜LF旋转角度β（30°≤β≤90°）。然后，将层叠薄膜LF向卷取芯4a输送，通过卷绕到卷取芯4a上而形成玻璃卷R2。

这样，在该玻璃薄膜输送装置300中，也除了上述玻璃薄膜输送装置100和将保护片PF再利用的点以外，通过由层叠辊12将保护片PF升温，促进保护片PF中含有的水分的释放（含有水分的水蒸气化、气化）。

另外，在该玻璃薄膜输送装置300中，由于将保护片PF再利用，所以有保护片PF中含有的水分难以作为水蒸气（气体）释放的情况。在此情况下，只要调整第2导引辊37等的位置而将角度α及/或角度β在上述角度范围内变更、促进希望的水分从保护片PF作为水蒸气（气体）释放就可以。此外，可以将层叠辊12的温度设定得更高，促进从保护片PF的水分的释放。

如以上这样，根据有关第3实施方式的玻璃薄膜GF输送装置，能够在抑制玻璃薄膜GF的损坏的同时、将玻璃薄膜GF和保护片PF重叠卷取。

［变形例］

以下，对有关本发明的变形例的玻璃薄膜输送装置进行说明。该变形例能够应用到上述第1实施方式～第3实施方式中。

在本变形例中，使保护片升温而促进含有水分的蒸发、将蒸发的气体作为热传递介质这一点与上述实施方式相同。在上述实施方式中，为了使保护片升温而控制层叠辊的温度，设定为比保护片的温度高的40℃～80℃，但本发明并不限定于此。在本变形例中，不是用温度调整后的层叠辊使保护片升温而是用玻璃薄膜自身使其升温这一点不同。因此，层叠辊的温度不需要积极地升温，也可以是比室温（或常温）低温20℃左右。

即，在与保护片接触时的玻璃薄膜的温度是高温的情况下，不是用层叠辊使保护片升温，而是来自高温的玻璃薄膜的热被施加给保护片，保护片的温度上升。由此，促进保护片中含有的水分作为水蒸气（气体）释放的状况，积存在玻璃薄膜与保护片之间及保护片与层叠辊之间，能够促进它们之间的热传递。另外，层叠辊的温度也可以为比保护片低的温度，只要满足温度条件以外的角度条件及层叠辊径条件就可以。

如以上这样，根据有关本发明的变形例的玻璃薄膜输送装置，由于不是用层叠辊使保护片升温，而是用高温的玻璃薄膜使其升温，所以能够不控制层叠辊的温度，而在抑制玻璃薄膜的损坏的同时、将玻璃薄膜和保护片重叠卷取。

另外，在上述具体的实施方式中，主要包括具有以下的结构的发明。

优选的是可以构成为，上述卷取部具备：层叠辊，使上述玻璃薄膜和上述保护片层叠；和加热机构，将上述层叠辊加热，以使上述层叠辊的表面温度成为比上述保护片的温度高的温度。

更优选的是可以构成为，上述卷取部具备层叠辊，所述层叠辊使上述玻璃薄膜和上述保护片层叠；上述卷取部通过在上述层叠辊处使比上述保护片高温的上述玻璃薄膜抵接在上述保护片上，将上述保护片升温。

更优选的是可以构成为，上述卷取部具备层叠辊，所述层叠辊使上述玻璃薄膜和上述保护片层叠；在上述层叠辊处，对上述保护片赋予的输送方向的张力比对上述玻璃薄膜赋予的输送方向的张力大。

更优选的是可以构成为，上述卷取部具备层叠辊，所述层叠辊使上述玻璃薄膜和上述保护片层叠；在上述层叠辊上的从开始卷取上述保护片的位置起为45度以上的旋转范围中，将上述玻璃薄膜层叠在上述保护片上。

更优选的是，上述开卷部可以构成为，从上述卷将上述保护片分离而将上述玻璃薄膜开卷，所述卷是将上述玻璃薄膜以与保护片层叠的状态卷绕而成的，所述保护片为与该玻璃薄膜大致同宽且长尺寸。

更优选的是可以为，上述玻璃薄膜输送部将从上述开卷部开卷并从上述保护片分离的上述玻璃薄膜输送；上述卷取部构成为，在由上述玻璃薄膜输送部输送来的上述玻璃薄膜上层叠上述保护片并卷取为卷状，所述保护片在上述开卷部处被从上述玻璃薄膜分离并输送到上述卷取部。

更优选的是，上述气化成分也可以含有水分。

附图标记说明

100、200、300 玻璃薄膜输送装置

2 卷取部

3 玻璃薄膜输送部

4 卷取部

6 真空腔室

7 溅射成膜部

8 成膜卷

9 保护片分离辊

11 保护片卷取卷

12 层叠辊

13 保护片卷

14 加热机构

GF 玻璃薄膜

LF 层叠薄膜

PF 保护片

R1、R2、R3 玻璃卷

T 靶。

Claims

1.一种玻璃薄膜输送装置，在真空中或减压下将长尺寸的玻璃薄膜连续地输送，其特征在于，

具备：

开卷部，从卷绕有上述玻璃薄膜的卷将该玻璃薄膜开卷；

玻璃薄膜输送部，将由上述开卷部开卷后的上述玻璃薄膜输送；

层叠辊，在保护片上层叠由上述玻璃薄膜输送部输送的上述玻璃薄膜，所述保护片具有与上述玻璃薄膜大致同宽且长尺寸的形状，并含有气化成分；和

卷取部，将上述层叠了的玻璃薄膜和保护片卷取为卷状；

上述层叠辊被温度控制，在上述层叠辊上将上述保护片升温，由此使上述气化成分气化。

2.如权利要求1所述的玻璃薄膜输送装置，其特征在于，

上述层叠辊具备加热机构，所述加热机构将上述层叠辊加热，以使上述层叠辊的表面温度成为比上述保护片的温度高的温度。

3.如权利要求1所述的玻璃薄膜输送装置，其特征在于，

在上述层叠辊处，对上述保护片赋予的输送方向的张力比对上述玻璃薄膜赋予的输送方向的张力大。

4.如权利要求1所述的玻璃薄膜输送装置，其特征在于，

在上述层叠辊上的从开始卷取上述保护片的位置起为45度以上的旋转范围中，将上述玻璃薄膜层叠在上述保护片上。

5.如权利要求1所述的玻璃薄膜输送装置，其特征在于，

上述开卷部构成为，从上述卷将上述保护片分离而将上述玻璃薄膜开卷，所述卷是将上述玻璃薄膜以与保护片层叠的状态卷绕而成的，所述保护片为与该玻璃薄膜大致同宽且长尺寸。

6.如权利要求5所述的玻璃薄膜输送装置，其特征在于，

上述玻璃薄膜输送部将从上述开卷部开卷并从上述保护片分离的上述玻璃薄膜输送；

上述卷取部构成为，在上述保护片上层叠由上述玻璃薄膜输送部输送来的上述玻璃薄膜并卷取为卷状，所述保护片在上述开卷部处被从上述玻璃薄膜分离并输送到上述卷取部。

7.如权利要求1所述的玻璃薄膜输送装置，其特征在于，

上述气化成分含有水分。