TWI734908B - 玻璃卷的製造方法 - Google Patents

Abstract

玻璃卷的製造方法具備:將帶狀的第一玻璃膜2A朝規定方向送出的玻璃膜供給步驟；於第一玻璃膜2A的一面2a上將透明導電膜3加熱成膜而形成第二玻璃膜2B的成膜步驟；將具有黏著面的帶狀的保護膜4重疊於第二玻璃膜2B的另一面2b而形成第三玻璃膜2C的保護膜供給步驟；以及將第三玻璃膜2C捲繞成卷狀的捲繞步驟。

Description

玻璃卷的製造方法

本發明是有關於一種包含表面形成有透明導電膜的玻璃膜的玻璃卷及其製造方法。

如眾所周知般，對液晶顯示器或有機電致發光(electroluminescence，EL)顯示器等薄型顯示機器、進而對近年來迅速普及的智慧型手機或輸入板型個人電腦(personal computer，PC)等行動機器要求輕量。因此，作為該些機器中所採用的玻璃基板，正使用被薄板化為膜狀的玻璃膜。該玻璃膜被視為於最終製品的階段成為大致矩形狀等的形態，但於其以前的製造步驟或各種處理步驟等階段中成為帶狀的形態者。

此種玻璃膜具有適當的可撓性，因此，通常考慮到保管時或輸送時等的便利性而設為於捲芯等的周圍捲繞成卷狀的玻璃卷的形態。若將玻璃膜預先設為玻璃卷的形態，則不僅保管性等優異，而且亦能夠容易地跨及多片而切出大致矩形狀等的玻璃膜。

為了具備各種機器中的各種各樣的功能而於玻璃卷的表面形成有功能性膜。為了將功能性膜設為高性能，存在將玻璃膜一面加熱一面成膜的情況。例如，專利文獻1中揭示有一種如下方法：使用加熱至300℃以上的罐(can)對自基板輥供給的玻璃膜（玻璃片）進行加熱，並藉由濺鍍法於該玻璃膜的表面形成透明導電膜（例如氧化銦錫）。 [現有技術文獻] [專利文獻]

專利文獻1：日本專利特開2007-119322號公報

[發明所欲解決之課題] 玻璃膜與樹脂膜相比，耐熱性優異，因此特別適於如所述般進行加熱成膜的情況。另一方面，玻璃膜的機械強度低，因此，於自所述構成的玻璃卷抽出帶膜玻璃膜並進行各種機器的製造步驟的情況下有損傷之虞。

本發明是鑒於所述狀況而成者，技術課題在於防止包含形成有透明導電膜的玻璃膜的玻璃卷的損傷。 [解決課題之手段]

本發明是用於解決所述課題者，且為一種將帶狀的玻璃膜捲繞成卷狀而成的玻璃卷的製造方法，所述玻璃卷的製造方法的特徵在於具備：將帶狀的第一玻璃膜朝規定方向送出的玻璃膜供給步驟；於所述第一玻璃膜的一面上將透明導電膜加熱成膜而形成第二玻璃膜的成膜步驟；將具有黏著面的帶狀的保護膜重疊於所述第二玻璃膜的另一面而形成第三玻璃膜的保護膜供給步驟；以及將所述第三玻璃膜捲繞成卷狀的捲繞步驟。

如所述般，將保護膜重疊於第二玻璃膜的另一面而製成第三玻璃膜，藉此，可藉由保護膜來保護玻璃膜。包含所述第三玻璃膜的玻璃卷可於藉由保護膜保護玻璃膜的狀態下實施各種機器的製造相關處理。藉此，可防止處理中的玻璃膜的損傷。

本發明的玻璃卷的製造方法中亦可具備：將所述成膜步驟後的所述第二玻璃膜捲繞成卷狀的暫時捲繞步驟；自藉由所述暫時捲繞步驟而構成的暫時玻璃卷抽出所述第二玻璃膜並朝規定方向送出的第二玻璃膜供給步驟；以及於所述第二玻璃膜供給步驟後形成所述第三玻璃膜的所述保護膜供給步驟。

另外，較佳為於所述捲繞步驟中，以所述保護膜成為外側的方式將所述第三玻璃膜捲繞成卷狀。藉此，可適宜地防止玻璃卷狀態的玻璃膜斷裂。

另外，所述保護膜供給步驟理想的是藉由供捲繞所述第三玻璃膜的捲芯與引導所述保護膜的導輥夾持所述第二玻璃膜及所述保護膜，藉此形成所述第三玻璃膜。如此一來，藉由第三玻璃膜的捲芯與導輥來夾持第二玻璃膜與所述保護膜，藉此可將保護膜確實且準確地重疊於第二玻璃膜。另外，藉由於第三玻璃膜的形成中利用捲芯，可簡化導輥的構成。

本發明的玻璃卷的製造方法中，理想的是所述成膜步驟於真空腔室內藉由濺鍍法將所述透明導電膜形成於所述第一玻璃膜。藉由濺鍍法於第一玻璃膜上將透明導電膜加熱成膜，藉此，可形成不易自第一玻璃膜剝離的牢固的透明導電膜，並且實現該透明導電膜的低電阻化。即，所述透明導電膜於包含單層的情況下能夠將片電阻設為20 Ω/□以下的低電阻。

本發明是為了解決所述課題而成者，特徵在於，於將帶狀的玻璃膜捲繞成卷狀而成的玻璃卷中具備：形成於所述玻璃膜的一面上的透明導電膜、及重疊於所述玻璃膜的另一面且具有黏著面的保護膜，所述透明導電膜為單層且片電阻為20 Ω/□以下。

根據所述構成，藉由將保護膜重疊於玻璃膜的另一面，可保護該玻璃膜。因此，本發明的玻璃卷可一面防止玻璃膜的損傷一面對玻璃膜的透明導電膜進行規定的製造相關處理。另外，透明導電膜於包含單層的情況下的片電阻被設為20 Ω/□以下，因此能夠適宜地用於各種機器的電極等中。

較佳為於所述構成的玻璃卷中，以所述保護膜成為外側的方式捲繞有所述玻璃膜。藉此，可防止玻璃卷狀態的玻璃膜斷裂。 [發明的效果]

根據本發明，可防止包含形成有透明導電膜的玻璃膜的玻璃卷的損傷。

以下，一面參照圖式一面對用以實施本發明的形態進行說明。圖1至圖3表示本發明的玻璃卷及其製造方法的第一實施形態。

如圖1所示，玻璃卷1是於將透明導電膜3成膜於帶狀的玻璃膜2的一面（以下稱作「第一面」）2a、並將保護膜4重疊於另一面（以下稱作「第二面」）2b的狀態下，於捲芯5的周圍捲繞成卷狀所得者。於本實施形態的玻璃卷1中是以玻璃膜2的第一面2a成為內周面、第二面2b成為外周面的方式構成。即，於玻璃膜2的內側（第一面2a）形成有透明導電膜3，於外側（第二面2b）重疊有保護膜4。

玻璃膜2的厚度設為500 μm以下，較佳為設為10 μm以上且300 μm以下，最佳為設為30 μm以上且200 μm以下。

作為玻璃膜2的材質，可使用矽酸鹽玻璃、二氧化矽玻璃，較佳為使用硼矽酸玻璃、鈉鈣玻璃、鋁矽酸鹽玻璃、化學強化玻璃，最佳為使用無鹼玻璃。作為玻璃膜2，藉由使用無鹼玻璃，可製成化學穩定的玻璃。此處，所謂無鹼玻璃，是指實質上不含鹼成分（鹼金屬氧化物）的玻璃，具體而言，是指鹼成分的重量比為3000 ppm以下的玻璃。本發明中的鹼成分的重量比較佳為1000 ppm以下，更佳為500 ppm以下，最佳為300 ppm以下。

玻璃膜2可藉由公知的浮式（float）法、滾壓（roll out）法、流孔下引（slot down draw）法、再拉（redraw）法等成形，但較佳為藉由溢流下拉（overflow down draw）法而成形。溢流下拉法是使熔融玻璃流入設置於剖面大致呈楔形的成形體上部的溢流槽，使自該溢流槽向兩側溢出的熔融玻璃一面沿成形體的兩側的側壁部流下，一面於成形體的下端部融合而一體化，連續成形為一塊玻璃膜2。

藉由溢流下拉法，可大量且廉價地製作厚度300 μm以下的玻璃膜2。藉此而製作的玻璃膜2無需藉由研磨或研削、化學蝕刻等來進行玻璃膜2的厚度的調整。另外，溢流下拉法是成形時玻璃膜2的兩面不與成形體接觸的成形法，所獲得的玻璃膜2的兩面（透光面）成為鍛造面，即便不進行研磨亦可獲得高的表面品質。

透明導電膜3的厚度較佳為10 nm以上且1000 nm以下，更佳為50 nm以上且500 nm以下，最佳為100 nm以上且300 nm以下。另外，形成於玻璃膜2上的透明導電膜3的片電阻較佳為20 Ω/□以下，更佳為15 Ω/□以下。

作為透明導電膜3的材質，若為具有透光性及導電性者則無特別限定。透明導電膜3例如包含氧化銦錫（indium tin oxide，ITO）、氟摻雜氧化錫（fluorine-doped tin oxide，FTO）、氧化銦鋅（indium zinc oxide，IZO）、鋁摻雜氧化鋅（aluminum-doped zinc oxide，AZO）等。

保護膜4的一面4a被設為黏著面。黏著面與玻璃膜2的第二面2b接觸。黏著面的黏著力理想的是以對玻璃卷1進行各種機器的製造相關處理之後可自玻璃膜2剝離的程度進行設定。所述黏著力較佳為設為0.001 N/25 mm以上且1.5 N/25 mm以下，但不限定於該範圍。另外，保護膜4的厚度較佳為10 μm以上且1000 μm以下，更佳為20 μm以上且500 μm以下。

作為保護膜4的材質，例如可使用離子聚合物膜、聚乙烯膜、聚丙烯膜、聚氯乙烯膜、聚偏二氯乙烯膜、聚乙烯醇膜、聚酯膜、聚碳酸酯膜、聚苯乙烯膜、聚丙烯腈膜、乙烯乙酸乙烯酯共聚物膜、乙烯-乙烯醇共聚物膜、乙烯-甲基丙烯酸共聚物膜、尼龍（註冊商標）膜（聚醯胺膜）、聚醯亞胺膜、賽璐玢（cellophane）等有機樹脂膜（合成樹脂膜）等，較佳為使用聚對苯二甲酸乙二酯膜（PET（polyethylene terephthalate）膜）。

捲芯5於該實施形態中呈中空的圓筒狀，但亦可為實心的圓柱狀。捲芯5的材質並無特別限定，例如可使用鋁合金、不鏽鋼、錳鋼、碳鋼等金屬；苯酚樹脂、脲樹脂、三聚氰胺樹脂、不飽和聚酯樹脂、環氧樹脂、聚胺基甲酸酯、對苯二甲酸二烯丙酯樹脂等熱硬化性樹脂；聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯、丙烯腈-苯乙烯（acrylonitrile-styrene，AS）樹脂、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯（acrylonitrile-butadiene-styrene，ABS）樹脂、甲基丙烯酸樹脂、氯乙烯等熱塑性樹脂；或者於該些熱硬化性樹脂或熱塑性樹脂中混合有玻璃纖維或碳纖維等強化纖維而成的強化塑膠、紙管等。

再者，以下說明中，將成為母材的玻璃膜稱作第一玻璃膜2A，將於第一玻璃膜2A上形成有透明導電膜3者稱作第二玻璃膜2B。另外，將於第二玻璃膜2B上重疊有保護膜4的積層體（包含玻璃膜2、透明導電膜3及保護膜4的積層體）稱作第三玻璃膜2C。

圖2表示本實施形態中的玻璃卷1的製造裝置6。製造裝置6具備成膜裝置7與保護膜供給裝置8。成膜裝置7具有真空腔室9。真空腔室9具有：玻璃膜供給室9a；成膜室9b；及玻璃膜回收室9c。

於玻璃膜供給室9a配置有藉由捲芯5A將第一玻璃膜2A捲繞成卷狀而成的母材玻璃卷1A。藉由捲芯5A的旋轉，自母材玻璃卷1A抽出的第一玻璃膜2A自玻璃膜供給室9a被供給至成膜室9b。

於成膜室9b內配置有於第一玻璃膜2A的第一面2a形成透明導電膜3的成膜部10。成膜部10可藉由濺鍍法、蒸鍍法、化學氣相沈積（chemical vapor deposition，CVD）法等各種成膜法於第一玻璃膜2A上形成透明導電膜3。本實施形態中，對藉由濺鍍法形成作為透明導電膜3的ITO膜的情況進行說明。

成膜部10包括離子束濺鍍裝置或磁控濺鍍裝置等。作為濺鍍裝置的成膜部10主要具備：包含靶材的濺鍍源11；及支撐第一玻璃膜2A的加熱輥12。

濺鍍源11是以使自靶材飛散的濺鍍粒子（ITO粒子）附著於第一玻璃膜2A的第一面2a的方式自加熱輥12起空開一定間隔地配置。

加熱輥12具備：支撐第一玻璃膜2A的圓筒狀的輥本體13；及對該輥本體13進行加熱的加熱器14。輥本體13包含玻璃或陶瓷。輥本體13藉由軸部15而旋轉自如地受到支撐。

為了對輥本體13進行加熱而將加熱器14配置於該輥本體13的內側。加熱器14例如包括紅外線加熱器或近紅外線加熱器，但並不限定於該些。

藉由成膜部10而將透明導電膜3形成於第一玻璃膜2A，藉此構成第二玻璃膜2B。第二玻璃膜2B被搬送至玻璃膜回收室9c，其後，將保護膜4重疊而成為第三玻璃膜2C。

於真空腔室9的玻璃膜回收室9c配置有捲繞第三玻璃膜2C的捲芯5、及保護膜供給裝置8。捲芯5藉由將第三玻璃膜2C捲繞而形成作為最終形態的玻璃卷1。母材玻璃卷1A及玻璃卷1被構成為藉由捲對捲（Roll to Roll）方式連續地搬送各玻璃膜2A～玻璃膜2C。

保護膜供給裝置8具備：保護膜卷16；導輥17；及導輥17的支撐機構18。

保護膜卷16配置於玻璃卷1的上方，但不限定於該構成。保護膜卷16亦可設置於玻璃卷1的下游側的位置或下方位置。

導輥17包括一個輥。導輥17被構成為與玻璃卷1的捲芯5一併夾持第三玻璃膜2C與保護膜4。導輥17較玻璃卷1的捲芯5而配置於上方，但不限定於該位置。導輥17的輥面17a包括緩衝材。緩衝材理想的是包含橡膠以外的彈性體。

支撐機構18具備：將導輥17旋轉自如地加以支撐的支撐構件19、及將該支撐構件19轉動自如地加以支撐的支撐軸20。導輥17藉由經由支撐構件19而作用於支撐軸20周圍的力矩（moment）並以適度的按壓力接觸玻璃卷1的一部分。另外，導輥17藉由所述支撐機構18而被支撐為追隨製造途中的玻璃卷1的外徑的擴大而移動。

以下，對本實施形態的玻璃卷1的製造方法進行說明。如圖3所示，本方法具備：玻璃膜供給步驟；成膜步驟；保護膜供給步驟；及捲繞步驟。

於玻璃膜供給步驟中，將第一玻璃膜2A自配置於玻璃膜供給室9a的母材玻璃卷1A抽出，並送至下游側的成膜室9b內的成膜部10。

於成膜步驟中，藉由成膜部10將透明導電膜3形成於自玻璃膜供給室9a所供給的第一玻璃膜2A的第一面2a。於成膜室9b中，藉由未圖示的真空泵設定為規定的真空度，並且供給氬氣等惰性氣體。成膜室10使濺鍍粒子（例如ITO粒子）自濺鍍源11飛散並依次附著於第一玻璃膜2A的第一面2a。

藉由未圖示的驅動源來驅動軸部15，藉此，加熱輥12的輥本體13以沿著第一玻璃膜2A的搬送方向的方式朝規定方向（圖2中的箭頭R的方向）旋轉。輥本體13的一部分接觸第一玻璃膜2A的第二面2b。輥本體13藉由其旋轉而將第一玻璃膜2A朝下游側（玻璃膜回收室9c側）引導。

輥本體13藉由加熱器14而被加熱為規定的溫度。輥本體13的溫度例如設定為200℃以上且500℃以下，但不限定於該範圍。藉此，輥本體13將第一玻璃膜2A一面加熱一面朝下游側引導。第一玻璃膜2A藉由輥本體13而被加熱為150℃以上。於濺鍍粒子為ITO的情況下，第一玻璃膜2A理想的是被加熱為200℃以上，進而理想的是被加熱為250℃，最理想的是被加熱為300℃以上。藉由第一玻璃膜2A而被加熱，藉此，附著於該第一玻璃膜2A的ITO粒子發生結晶化，從而形成低電阻（20Ω/□以下）的透明導電膜3。藉由以上而形成第二玻璃膜2B。

於保護膜供給步驟中，隨著保護膜供給裝置8中的保護膜卷16的捲芯21的旋轉而將保護膜4抽出。保護膜4及第二玻璃膜2B由導輥17與玻璃卷1的捲芯5夾持。藉此，保護膜4的一面4a（黏著面）與第二玻璃膜2B的作為外周面的第二面2b接著。藉此開始形成第三玻璃膜2C。

於捲繞步驟中，藉由捲芯5的旋轉而將經過保護膜供給步驟所形成的第三玻璃膜2C立即捲繞。藉此，於捲芯5的周圍形成玻璃卷1。玻璃卷1根據捲芯5的旋轉來擴大其外徑。

此時，保護膜供給裝置8的導輥17追隨玻璃卷1的外徑的擴大而向外側移動。支撐機構18的支撐構件19為了使導輥17移動而於支撐軸20的周圍（順時針地）轉動。即，導輥17根據玻璃卷1的外徑的擴大而自圖2中以實線表示的位置朝以雙點劃線表示的位置移動。藉此，導輥17不對玻璃卷1施加過度的按壓力便可使保護膜4確實地接觸第二玻璃膜2B。

捲芯5捲繞規定長度的第三玻璃膜2C，藉此，捲繞步驟結束，本實施形態的玻璃卷1完成。

再者，於其後的步驟中，自玻璃卷1抽出第三玻璃膜2C，並藉由光微影等手段於透明導電膜3上形成規定的電路圖案（例如電極圖案）。若執行規定的製造相關處理，則將保護膜4自玻璃膜2去除（剝離）。

根據以上所說明的本實施形態的玻璃卷1的製造方法，藉由將保護膜4重疊於玻璃膜2，可保護該玻璃膜2。藉此，可防止各種機器的製造相關步驟中的玻璃膜2的損傷。另外，於捲繞步驟中，當藉由以保護膜4成為外側的方式捲繞第三玻璃膜2C而構成有玻璃卷1時，拉伸應力作用於玻璃膜2的第二面2b，但可藉由保護膜4適當地保護玻璃膜2的第二面2b。藉此，可有效地防止玻璃卷1狀態的玻璃膜2斷裂。進而，形成於玻璃膜2的第一面2a的透明導電膜3被加熱成膜，因此可實現20 Ω/□以下的低電阻，從而能夠適宜地用於各種機器的電極等中。

另外，藉由於真空腔室9內進行保護膜供給步驟，可提升玻璃卷1的製造效率。進而，藉由將保護膜供給裝置8配置於成膜裝置7的真空腔室9內，可將製造裝置6小型化。

圖4至圖6表示玻璃卷及其製造方法的第二實施形態。

玻璃卷1的製造裝置6單獨地具備成膜裝置7與保護膜供給裝置8。如圖4所示，與第一實施形態同樣地，成膜裝置7的真空腔室9具備：玻璃膜供給室9a、成膜室9b及玻璃膜回收室9c。與第一實施形態同樣地，於玻璃膜供給室9a配置有母材玻璃卷1A，於成膜室9b設置有成膜部10。

於玻璃膜回收室9c未設置保護膜供給裝置8。於玻璃膜回收室9c配設有捲繞第二玻璃膜2B的捲芯5B。捲芯5B捲繞第二玻璃膜2B，藉此，於其周圍形成暫時玻璃卷1B。成膜裝置7中的其他構成與第一實施形態相同。

保護膜供給裝置8配設於成膜裝置7中的真空腔室9的外側，且為該成膜裝置7的附近位置。如圖5所示，保護膜供給裝置8具備：保護膜卷16、及引導保護膜4的導輥17。保護膜卷16是以藉由捲芯21捲繞保護膜4的方式構成。導輥17包括托運滾子（carrier roller），但不限定於該構成。

如圖5所示，暫時玻璃卷1B及玻璃卷1藉由捲對捲方式而加以連結，保護膜卷16配置於暫時玻璃卷1B與玻璃卷1之間。保護膜供給裝置8經由導輥17而使自保護膜卷16抽出的保護膜4接觸伴隨捲芯5B的旋轉而自暫時玻璃卷1B抽出的第二玻璃膜2B。藉此，於導輥17的下游側連續地形成第三玻璃膜2C。捲芯5藉由捲繞該第三玻璃膜2C而於其周圍構成玻璃卷1。

以下，對藉由所述構成的製造裝置6製造玻璃卷1的方法進行說明。

如圖6所示，本方法具備：供給第一玻璃膜2A的第一玻璃膜供給步驟；於第一玻璃膜2A上形成透明導電膜3的成膜步驟；於成膜步驟後回收第二玻璃膜2B作為暫時玻璃卷1B的第一捲繞步驟；將第二玻璃膜2B自暫時玻璃卷1B抽出並供給的第二玻璃膜供給步驟；將保護膜4重疊於第二玻璃膜2B而構成第三玻璃膜2C的保護膜供給步驟；以及回收第三玻璃膜2C作為玻璃卷1的第二捲繞步驟。

第一玻璃膜供給步驟及成膜步驟與第一實施形態的玻璃膜供給步驟及成膜步驟同樣地，將第一玻璃膜2A自配置於成膜裝置7中的真空腔室9的玻璃膜供給室9a的母材玻璃卷1A抽出並供給至成膜室9b，藉由成膜部10而於第一玻璃膜2A的第一面2a形成透明導電膜3。藉此，形成第二玻璃膜2B。

第一捲繞步驟是藉由捲芯5捲繞第三玻璃膜2C之前，藉由其他捲芯5B暫時捲繞第二玻璃膜2B的步驟（暫時捲繞步驟）。於第一捲繞步驟中，於成膜室9b中通過的第二玻璃膜2B被導入至玻璃膜回收室9c，並藉由捲芯5B捲繞。捲芯5B是以捲繞第二玻璃膜2B的方式藉由未圖示的驅動源而被旋轉驅動。藉此，於捲芯5B的周圍形成暫時玻璃卷1B。暫時玻璃卷1B伴隨捲芯5B的旋轉而漸漸擴大外徑。若捲芯5B捲繞規定長度的第二玻璃膜2B，則第一捲繞步驟結束。其後，暫時玻璃卷1B自玻璃膜回收室9c被取出。

於第二玻璃膜供給步驟中，將第二玻璃膜2B從自玻璃膜回收室9c取出的暫時玻璃卷1B抽出並供給至下游側的保護膜供給裝置8。

於保護膜供給步驟中，自保護膜卷16將保護膜4抽出。保護膜4與第二玻璃膜2B一併由導輥17（托運滾子）夾持。藉此，保護膜4的一面4a（黏著面）與第二玻璃膜2B的第二面2b接著。藉由以上而形成第三玻璃膜2C。

於第二捲繞步驟中，藉由捲芯5捲繞第三玻璃膜2C。捲芯5藉由未圖示的驅動源而被旋轉驅動。藉此，於捲芯5的周圍形成玻璃卷1。玻璃卷1伴隨捲芯5的旋轉而漸漸擴大外徑。若捲芯5捲繞規定長度的第三玻璃膜2C，則第二捲繞步驟結束，玻璃卷1完成。

再者，本發明並不限定於所述實施形態的構成，亦不限定於所述作用效果。本發明於不脫離本發明的主旨的範圍內能夠進行各種變更。

所述實施形態中示出了將母材玻璃卷1A配置於真空腔室9內並藉由捲對捲方式於第一玻璃膜2A上形成透明導電膜3的例子，但不限定於該構成。例如，亦可將藉由溢流下拉法而連續地成形的玻璃膜2（第一玻璃膜2A）導入至真空腔室9內，並於該玻璃膜2上形成透明導電膜3。該情況下，不使用母材玻璃卷1A便可形成第二玻璃膜2B。

所述實施形態中示出了藉由經加熱器14加熱的輥本體13來對第一玻璃膜2A進行加熱的例子，但不限定於該構成。例如，亦可於真空腔室9的成膜室9b內將加熱器14配置於第一玻璃膜2A的附近，並藉由該加熱器14對第一玻璃膜2A進行加熱。

所述實施形態中例示了僅於玻璃膜2的第一面2a形成有透明導電膜3的玻璃卷1，但不限定於此，亦可於玻璃膜2的兩面2a、2b形成有透明導電膜3。

所述實施形態中示出了將保護膜4的一面4a作為黏著面並與第一玻璃膜2A的第二面2b接著的例子，但不限定於該構成。亦可將保護膜4的兩面作為黏著面，並於玻璃卷1中使保護膜4的另一面與透明導電膜3接著。該情況下，理想的是將保護膜4的一面4a的黏著力設定為大於另一面的黏著力。

所述實施形態中例示了於玻璃膜2的內側（第一面2a）形成有透明導電膜3、並於外側（第二面2b）重疊有保護膜4的玻璃卷1，但不限定於該構成。亦可為於玻璃膜2的內側重疊有保護膜4、並於玻璃膜2的外側形成有透明導電膜3的玻璃卷1。

所述實施形態中例示了僅包含第一玻璃膜2A（玻璃膜2）的母材玻璃卷1A，但不限定於該構成。母材玻璃卷1A亦可為將於成為母材的玻璃膜2上重疊有包含PET等樹脂的帶狀的緩衝膜者構成為卷狀而成者。該情況下，理想的是於玻璃膜供給步驟中，於真空腔室9的玻璃膜供給室9a內使自母材玻璃卷1A抽出的第一玻璃膜2A與緩衝膜分離，並於玻璃膜供給室9a內藉由捲芯等捲繞緩衝膜。另外，亦可於製作暫時玻璃卷1B時適當重疊包含PET等樹脂的帶狀的緩衝膜。

另外，亦可於帶狀的玻璃膜2的始端部及終端部安裝有用以將捲芯5、捲芯5A、捲芯5B與玻璃膜2（2A～2C）連結的先導部（leader）（例如帶狀的樹脂膜）。

1‧‧‧玻璃卷1A‧‧‧母材玻璃卷1B‧‧‧暫時玻璃卷2‧‧‧玻璃膜2a‧‧‧玻璃膜的一面（玻璃膜的第一面、玻璃膜的內側、第一玻璃膜的第一面）2b‧‧‧玻璃膜的另一面（玻璃膜的第二面、玻璃膜的外側、第一玻璃膜的第二面、第二玻璃膜的第二面）2A‧‧‧第一玻璃膜2B‧‧‧第二玻璃膜2C‧‧‧第三玻璃膜3‧‧‧透明導電膜4‧‧‧保護膜4a‧‧‧黏著面（保護膜的一面）5‧‧‧第三玻璃膜的捲芯（玻璃卷的捲芯）5A、5B、21‧‧‧捲芯6‧‧‧製造裝置7‧‧‧成膜裝置8‧‧‧保護膜供給裝置9‧‧‧真空腔室9a‧‧‧玻璃膜供給室9b‧‧‧成膜室9c‧‧‧玻璃膜回收室10‧‧‧成膜部11‧‧‧濺鍍源12‧‧‧加熱輥13‧‧‧輥本體14‧‧‧加熱器15‧‧‧軸部16‧‧‧保護膜卷17‧‧‧導輥（托運滾子）17a‧‧‧輥面18‧‧‧支撐機構19‧‧‧支撐構件20‧‧‧支撐軸R‧‧‧箭頭

圖1是玻璃卷的側面圖。 圖2是表示玻璃卷的製造裝置的側面剖面圖。 圖3是表示玻璃卷的製造方法的流程圖。 圖4是表示其他形態的玻璃卷的製造裝置的一部分的側面剖面圖。 圖5是表示玻璃卷的製造裝置的一部分的側面圖。 圖6是表示玻璃卷的製造方法的流程圖。

1:玻璃卷

2:玻璃膜

2a:玻璃膜的一面(玻璃膜的第一面、玻璃膜的內側、第一玻璃膜的第一面)

2b:玻璃膜的另一面(玻璃膜的第二面、玻璃膜的外側、第一玻璃膜的第二面、第二玻璃膜的第二面)

3:透明導電膜

4:保護膜

4a:黏著面(保護膜的一面)

5:第三玻璃膜的捲芯(玻璃卷的捲芯)

Claims (7)

1. 一種玻璃卷的製造方法，其為將帶狀的玻璃膜捲繞成卷狀而成的玻璃卷的製造方法，所述玻璃卷的製造方法的特徵在於具備：將帶狀的第一玻璃膜朝規定方向送出的玻璃膜供給步驟；於所述第一玻璃膜的一面上將透明導電膜加熱成膜而形成第二玻璃膜的成膜步驟；在所述成膜步驟後，將具有黏著面的帶狀的保護膜重疊於所述第二玻璃膜的另一面而形成第三玻璃膜的保護膜供給步驟；以及將所述第三玻璃膜捲繞成卷狀的捲繞步驟。
2. 如申請專利範圍第1項所述的玻璃卷的製造方法，其中，於所述捲繞步驟中，以所述保護膜成為外側的方式將所述第三玻璃膜捲繞成卷狀。
3. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的玻璃卷的製造方法，其中，所述保護膜供給步驟是藉由捲繞所述第三玻璃膜的捲芯與引導所述保護膜的導輥夾持所述第二玻璃膜及所述保護膜，藉此形成所述第三玻璃膜。
4. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的玻璃卷的製造方法，其中，所述成膜步驟是於真空腔室內藉由濺鍍法將所述透明導電膜形成於所述第一玻璃膜。
5. 如申請專利範圍第4項所述的玻璃卷的製造方法，其 中於所述真空腔室內進行所述保護膜供給步驟與所述捲繞步驟。
6. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的玻璃卷的製造方法，其具備：將所述成膜步驟後的所述第二玻璃膜捲繞成卷狀的暫時捲繞步驟；自藉由所述暫時捲繞步驟而構成的暫時玻璃卷抽出所述第二玻璃膜並朝規定方向送出的第二玻璃膜供給步驟；以及於所述第二玻璃膜供給步驟後形成所述第三玻璃膜的所述保護膜供給步驟。
7. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的玻璃卷的製造方法，其中，所述透明導電膜為單層且片電阻為20Ω/□以下。

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