JP2013022904A - ガラスフィルム積層体及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ガラスフィルムの端部から支持フィルムがはみ出した場合であっても、ゴミ付着の問題やハンドリング時の貼り付きの問題を低減でき、露光マスクに接触したり現像液が溜まったりする段差部分がなく、搬送直進性とパターン形成時等の位置精度を向上させることができるガラスフィルム積層体を提供する。
【解決手段】ガラスフィルム３と、粘着層２と、ガラスフィルム３の幅Ａよりも大きい幅Ｂのフィルムであって前記したガラスフィルム３の両側端部３ａ，３ｂからはみ出すように、粘着層２を介してガラスフィルム３に設けられている支持フィルム１とを有し、支持フィルム１の幅方向Ｘの各端部１ａ，１ｂからその各端部１ａ，１ｂ側におけるガラスフィルム３の幅方向Ｘの各端部３ａ，３ｂまでの距離ａ，ｂを、支持フィルム１の幅方向Ｘの端部１ａ，１ｂから内方に向かって０．５ｍｍ以上１ｍｍ以下にして、上記課題を解決した。
【選択図】図１

Description

本発明は、ガラスフィルム積層体に関し、さらに詳しくは、例えば有機ＥＬディスプレイ、液晶ディスプレイ等のディスプレイ、カラーフィルタ、太陽電池等に用いられる薄ガラス（「ガラスフィルム」ともいう。）に支持フィルムを貼付してなるガラスフィルム積層体及びその製造方法に関する。

近年、ガラスの製造技術の進歩により、厚さが１００μｍ程度又はそれ以下の薄ガラス（ガラスフィルム）が製造されている。例えば、特許文献１には厚さが２００μｍ以下のガラスフィルムが提案され、特許文献２には厚さが０．１〜１００μｍのガラスフィルムが提案されている。こうしたガラスフィルムは可撓性を有することから、そのガラスフィルム上への膜形成等にロールｔｏロールプロセスが適用できるため、従来のシート（枚葉）プロセスと比較して高い生産性を得ることができる。しかし、薄いガラスフィルムは耐衝撃性に劣り、工程上の取り扱いが困難になる。

工程上の取り扱いを向上させるため、特許文献３には、粘着層を間に介してガラスフィルムと支持シートとを積層したガラスフィルム積層体が提案されている。このガラスフィルム積層体では、ガラスフィルムよりも幅広の支持シートを積層すると、ガラスフィルムの端部から支持シートがはみ出すことになる。そのため、そのはみ出した支持シート部がガラスフィルムの端部を保護するように作用するので、耐衝撃性に劣るガラスフィルムの保護効果をさらに高めることができるとされている。

しかし、ガラスフィルムの端部からはみ出した支持シートの表面には粘着層が露出しているので、その粘着層にゴミが付着したりハンドリング時の貼り付き不具合が生じたりする。この問題に対しては、特許文献３では、ガラスフィルムの上面を覆うように剥離可能な保護シートを貼り合わせた態様や、ガラスフィルムの上面端部を覆うように剥離可能な帯状の保護シートを貼り合わせた態様のガラスフィルム積層体を提案している。

特開２００８−１３３１７４号公報 特開２００１−９７７３３号公報 特開２０１０−２２８１６６号公報

しかしながら、特許文献３に記載のガラスフィルム積層体では、ガラスフィルムの上面に貼り合わされた保護シートは剥離が予定されているので、剥離して粘着層が露出し易く、また、保護シートが剥離された後には再び支持シート上に設けられている粘着層が露出し、露出した粘着層がゴミ付着の問題やハンドリング時の貼り付き不具合の問題を引き起こすおそれがある。

また、特許文献３には、ガラスフィルムの上面端部周縁を覆うように剥離可能な保護シートを貼り合わせた態様も提案されている。しかしながら、この保護シートを剥離せずに残したままで例えば露光工程に投入すると、保護シートの端部の段差が露光マスクに接触したり、その段差部分に現像液が溜まったりする等の問題が発生する。

また、製造されたガラスフィルム積層体を搬送する際には、ガラスフィルム積層体の幅方向の両端部を検出して搬送し、ガラスフィルム積層体の搬送直進性を確保している。そのため、特許文献３に記載のガラスフィルム積層体のように、ガラスフィルムの端部から支持シートがはみ出している態様では、幅広の支持シートに対してガラスフィルムが曲がって貼り付いている可能性がある。こうしたガラスフィルム積層体が例えばフォトリソグラフィ工程に搬送されてガラスフィルム上に成膜された膜をパターニングする際に、ガラスフィルム積層体に対しては例えば露光マスクが正しく配置されるものの、曲がって貼り付いているガラスフィルムに対しては例えば露光マスクは斜めに配置されることになり、ガラスフィルムに対して斜めのパターンが形成されるという問題があった。

本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その目的は、ガラスフィルムの端部から支持シート（以下、本発明では「支持フィルム」という。）がはみ出したガラスフィルム積層体であっても、ゴミ付着の問題やハンドリング時の貼り付き不具合の問題を低減でき、さらに、露光マスクに接触したり現像液が溜まったりする段差部分がなく、さらに、搬送直進性とパターン形成時等の位置精度を向上させることができる、ガラスフィルム積層体及びその製造方法を提供することにある。

上記課題を解決するための本発明に係るガラスフィルム積層体は、ガラスフィルムと、粘着層と、前記ガラスフィルムの幅よりも大きい幅のフィルムであって前記ガラスフィルムの両側端部からはみ出すように前記粘着層を介して前記ガラスフィルムに設けられている支持フィルムと、を有し、前記支持フィルムの幅方向の各端部から該各端部側における前記ガラスフィルムの幅方向の各端部までの距離が、前記支持フィルムの幅方向端部から内方に向かって０．５ｍｍ以上１ｍｍ以下であることを特徴とする。

この発明によれば、ガラスフィルムとそのガラスフィルムよりも僅かに広い幅の支持フィルムとを粘着層を介して貼り合わせ、ガラスフィルムの端部から０．５ｍｍ以上１ｍｍ以下の僅かの幅だけ支持フィルムがはみ出すように構成したので、（ア）はみ出した支持フィルムがガラスフィルムの端部を保護するように作用し、破損や傷の発生を防ぐことができる。また、（イ）はみ出した支持フィルムに粘着層が存在していたとしても、そのはみ出し量が僅かであるので、ゴミ付着の問題やハンドリング時の貼り付き不具合の問題を低減できる。また、（ウ）はみ出した部分が僅かであり、他のフィルムで覆う等の必要もないので、露光マスクに接触したり現像液が溜まったりする段差部分がなく、ガラスフィルム積層体を例えば露光工程等に投入した場合であっても、露光マスクがそうした段差部分に接触したり、現像液が溜まったりする等の問題が生じない。さらに、（エ）ガラスフィルム積層体の搬送時にはガラスフィルム積層体の幅方向の両端部を検出するが、その両端部では、支持フィルムが僅かにはみ出しているものの、支持フィルムの端部位置とガラスフィルムの端部位置とが実質的に同位置になっているので、例えば露光マスク等がガラスフィルムに対して斜めに配置されることがなく、パターン形成等の加工不具合を防ぐことができ、加工時の位置精度を低下させない。

本発明に係るガラスフィルム積層体において、前記ガラスフィルム上には、パターニングされた膜が少なくとも設けられている。

この発明によれば、ガラスフィルム上に、透明電極膜、金属膜、半導体膜、有機化合物膜、無機化合物膜等から選ばれるいずれか１種又は２種以上の膜がパターニングされた態様で設けられているので、そうしたガラスフィルム積層体は、例えば有機ＥＬディスプレイ用素子基板、液晶ディスプレイ用素子基板、カラーフィルタ用素子基板、太陽電池用素子基板等に応用される。本発明に係るガラスフィルム積層体は、上記のように、ガラスフィルムの端部での破損や傷の発生を防ぐことができ、ゴミ付着の問題やハンドリング時の貼り付き不具合の問題を低減でき、さらに、例えば露光マスク等がガラスフィルムに対して斜めに配置されることがないのでパターン形成等の加工不具合を防ぐことができ且つ加工時の位置精度が低下しない、という効果を奏する。それ故、そうした効果を奏するガラスフィルム積層体にパターニングされた膜が設けられることによって、そのガラスフィルム積層体を例えば有機ＥＬディスプレイ用素子基板等として用いて有機ＥＬディスプレイ等を製造した場合に、素子や画素での欠陥等の不具合を少なくすることができ、且つ多種のパターンを位置精度よく形成できるという効果を奏する。

上記課題を解決するため本発明に係るガラスフィルム積層体の製造方法は、粘着層が設けられた支持フィルムを準備する工程と、前記支持フィルムの幅よりも狭い幅のガラスフィルムを準備する工程と、前記支持フィルムの幅方向の各端部から該各端部側における前記ガラスフィルムルムの幅方向の各端部までの距離が、前記支持フィルムの幅方向端部から内方に向かって０．５ｍｍ以上１ｍｍ以下であるように、前記粘着層を介して前記支持フィルムと前記ガラスフィルムとを貼り合わせる工程と、を有することを特徴とする。

この発明によれば、ガラスフィルムの端部から０．５ｍｍ以上１ｍｍ以下の僅かの幅だけ支持フィルムをはみ出すように貼り合わせるので、上記した本発明に係るガラスフィルム積層体と同様の作用効果、（ア）ガラスフィルムの端部での破損や傷の発生を防ぐことができ、（イ）ゴミ付着の問題やハンドリング時の貼り付き不具合の問題を低減でき、（ウ）露光マスクが段差部分に接触したり、現像液が溜まったりする等の問題がなく、（エ）例えば露光マスク等がガラスフィルムに対して斜めに配置されることがなく、パターン形成等の加工不具合を防ぐことができ、加工時の位置精度が低下しない。

本発明に係るガラスフィルム積層体及びその製造方法によれば、ガラスフィルムの端部から支持フィルムが僅かにはみ出すように構成したので、ゴミ付着の問題やハンドリング時の貼り付き不具合の問題を低減でき、さらに、露光マスクに接触したり現像液が溜まったりする段差部分がなく、さらに、搬送直進性とパターン形成時等の位置精度を向上させることができる。

本発明に係るガラスフィルム積層体の一例を示す模式的な断面図である。 ガラスフィルム積層体の模式的な平面図である。 パターニングされた膜が設けられたガラスフィルム積層体の一例を示す模式的な断面図である。 ガラスフィルム積層体の製造装置の一例を示す模式図である。

本発明に係るガラスフィルム積層体及びその製造方法について、図面を参照して詳しく説明する。なお、本発明は、その技術的特徴を有すれば種々の変形が可能であり、以下に具体的に示す実施形態に限定されるものではない。

［ガラスフィルム積層体］
本発明に係るガラスフィルム積層体１０は、図１及び図２に示すように、ガラスフィルム３と、粘着層２と、ガラスフィルム３の幅Ａよりも大きい幅Ｂのフィルムであって前記したガラスフィルム３の両側端部３ａ，３ｂからはみ出すように、粘着層２を介してガラスフィルム３に設けられている支持フィルム１とを有している。そして、支持フィルム１の幅方向Ｘの各端部１ａ，１ｂからその各端部１ａ，１ｂ側におけるガラスフィルム３の幅方向Ｘの各端部３ａ，３ｂまでの距離ａ，ｂが、支持フィルム１の幅方向Ｘの端部１ａ，１ｂから内方に向かって０．５ｍｍ以上１ｍｍ以下であることに特徴がある。すなわち、このガラスフィルム積層体１０は、ガラスフィルム３とそのガラスフィルム３の幅Ａよりも僅かに広い幅Ｂの支持フィルム１とを粘着層２を介して貼り合わせ、ガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂから０．５ｍｍ以上１ｍｍ以下の僅かの幅（距離ａ，ｂ）だけ支持フィルム１がはみ出すように構成されている。

以下、各構成について詳しく説明する。

（支持フィルム）
支持フィルム１は、図１に示すように、ガラスフィルム３を支持するためのフィルムであり、粘着層２を介してガラスフィルム３に貼り合わされている。支持フィルム１としては、可撓性のある樹脂フィルムが用いられる。支持フィルム１を構成する樹脂材料としては、例えば、ポリエチレン、ポリ塩化ビニル、ポリエチレンテレフタレート、ポリ塩化ビニリデン、ポリプロピレン、ポリビニルアルコール、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスチレン、ポリアミド、ポリアクリロニトリル、エチレン酢酸ビニル共重合体、エチレン−ビニルアルコール共重合体、エチレン−メタクリル酸共重合体、ナイロン、セロファン、シリコーン樹脂等を挙げることができる。中でも、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン、ポリ塩化ビニリデン等を好ましく挙げることができる。

支持フィルム１は、上記した樹脂材料で形成された単層フィルムであってもよいし、多層化されたフィルムであってもよい。また、発泡性の樹脂材料で作製された支持フィルム１であってもよいし、安定剤、可塑剤、衝撃改良剤、着色剤、強化剤等を加えた樹脂材料で作製された支持フィルム１であってもよい。支持フィルム１の着色の有無や透光性（透明、半透明、不透明等）も特に限定されない。

支持フィルム１の厚さは、１μｍ〜２００μｍであることが好ましく、１０μｍ〜５０μｍであることがより好ましい。この厚さ範囲の支持フィルム１は、ガラスフィルム３を支持できるとともに、得られたガラスフィルム積層体１０をロール巻きした際の不具合が生じない。支持フィルム１の厚さが１μｍ未満の場合には、薄すぎてガラスフィルム３を支持する効果を実質的に奏さない。一方、支持フィルム１の厚さが２００μｍを超えると、得られたガラスフィルム積層体１０をロール巻きする際に、支持フィルム内の残留応力が大きくなり、支持フィルム１とガラスフィルム３との間で剥離が起こったり、ガラスフィルム３が破壊したりすることがある。

支持フィルム１の幅Ｂは、ガラスフィルム３の幅Ａよりも大きい。こうした支持フィルム１は、その幅方向Ｘの両側端部１ａ，１ｂがガラスフィルム３の両側端部３ａ，３ｂからはみ出すように粘着層２を介してガラスフィルム３に設けられている。

支持フィルム１は、枚葉態様の支持フィルムであってもよいが、ロール巻きできる長尺態様の支持フィルム（図２参照）が好ましく用いられる。枚葉態様の支持フィルム１を用いた場合には、その支持フィルム１の各辺、例えば四辺形の場合には４辺の端部が、ガラスフィルム３の端部からはみ出すように貼り合わされている。また、ロール巻き等される長尺態様の支持フィルム１を用いた場合にも、図２に示すように、支持フィルム１の幅方向Ｘの両端１ａ，１ｂが、同じく長尺態様のガラスフィルム３の幅方向Ｘの両辺の端部３ａ，３ｂからはみ出すように貼り合わされている。

こうした支持フィルム１は、一般的に知られている製造方法によりフィルム化することができ、押出法、カレンダー法、溶液・エマルジョンキャスト法等での製造が可能である。

（粘着層）
粘着層２は、支持フィルム１とガラスフィルム３とを積層させるために、支持フィルム１とガラスフィルム３との間に設けられている。粘着層２は、最終的にガラスフィルム３から剥離できる層に限られず、ガラスフィルム３から剥離せずにガラスフィルム３に永久的又は半永久的に接着する層、すなわち接着層も包含する。

粘着層２を構成する材料としては、天然ゴムや合成ゴムに粘着付与剤、軟化剤、老化防止剤等を混合したゴム系粘着剤、アクリル酸エステルと他種官能性単量体とを共重合したアクリル系粘着剤、シリコーンゴムと樹脂からなるシリコーン系粘着剤、ポリエーテルやポリウレタン系粘着剤等を挙げることができる。また、形態としては、溶剤型粘着剤、非水エマルジョン型粘着剤、水系エマルジョン型粘着剤、水溶性型粘着剤、無溶剤型粘着剤、液状硬化型粘着剤等を挙げることができる。なお、粘着層２がガラスフィルム３に永久的又は半永久的に接着する接着層として設けられる場合には、各種の熱可塑性樹脂接着剤や熱硬化性樹脂接着剤を適用してもよい。

粘着層２は、上記した材料で形成された単層構造であってもよいし、多層化された層であってもよい。また、粘着層２には、必要に応じて各種の添加剤を加えた粘着剤で形成された粘着層２であってもよい。粘着層２の着色の有無や透光性（透明、半透明、不透明等）も特に限定されない。

粘着層２の厚さは、０．５μｍ〜１００μｍであることが好ましく、１μｍ〜５０μｍであることがより好ましい。この厚さ範囲の粘着層２は、その粘着層２を構成する粘着剤の種類にもよるが、支持フィルム１とガラスフィルム３とをその後のハンドリングやロール巻き等する際に問題が生じないように、好ましく貼り合わせることができる。粘着層２の厚さが０．５μｍ未満の場合には、支持フィルム１とガラスフィルム３との間の貼り合わせが不十分となることがある。一方、粘着層２の厚さが１００μｍを超えると、粘着層２が層間剥離したり、貼り合わせの際に粘着層２がガラスフィルム３からはみ出し、ロールに接触したりすることがある。

粘着層２の形成には、上記の材料を溶剤に溶解して粘着層用塗工液とし、この塗工液を支持フィルム１上に直接塗工する方法、又は、この塗工液を剥離性シートに一旦塗工した後に支持フィルム１上に転写する方法（転写方式）を用いることができる。後者の転写方式は、支持フィルム１に耐溶剤性がない場合や、支持フィルム１に溶剤乾燥時の熱に対する耐熱性がない場合等に好ましく用いられる。

塗工方法としては、例えば、ダイコート法、コンマコート法、ナイフコート法、グラビアコート法、ロールコート法等を用いることができる。

なお、粘着層２は、支持フィルム１の外寸を超えない。すなわち、粘着層２は、支持フィルム１の平面視形状と同じ形状又は寸法で設けられている。したがって、支持フィルム１を超えない大きさで支持フィルム１の一方の面に設けられており、通常は同じ大きさで支持フィルム１の全面に設けられている。すなわち、粘着層２の幅は、支持フィルム１の幅Ｂと同じである。なお、ゴミ付着の問題やハンドリング時の貼り付き不具合の問題を低減できるという本発明の作用効果を妨げないのであれば、支持フィルム１よりも若干小さい大きさで設けられていてもよく、例えば１ｍｍだけ小さい寸法で設けられていてもよい。

（ガラスフィルム）
ガラスフィルム３は、粘着層２を介して支持フィルム１に積層される薄ガラスである。ガラスフィルム３を構成するガラス材質としては、ソーダライムガラス、シリカガラス、ホウケイ酸ガラス、無アルカリホウ珪酸ガラス等、ほぼいかなるガラス組成のものも適用できる。ガラスフィルム３にアルカリ成分が含有されていると、表面で陽イオンの置換が発生し、いわゆるソーダ吹き現象が生じ、構造的に粗となることがある。なお、無アルカリホウ珪酸ガラスとは、アルカリ成分が実質的に含まれていないガラスのことであって、具体的には、アルカリ成分が１０００ｐｐｍ以下のガラスのことである。また、強化ガラス、表面処理ガラス等の二次加工を施したガラスフィルム３も、得られるガラスフィルム積層体１０の用途に応じて可能である。

ガラスフィルム３は、原理的にはガラス溶融体の固化する温度より上の温度にてガラス溶融体を引き延ばして作ることができる。ガラス組成、ガラス溶融体の厚さ、温度、引き取り速度によりガラスフィルム３の厚さを制御することができる。

ガラスフィルム３の厚さは、１０μｍ〜２００μｍであることが好ましく、３０μｍ〜１５０μｍであることがより好ましい。この厚さ範囲のガラスフィルム３は、ハンドリング、ロール巻き等に効果的である。ガラスフィルム３の厚さが１０μｍ未満の場合には、そのガラスフィルム３自体のハンドリングが極めて難しくなると共に、僅かな衝撃で破損しやすくなり、長尺のガラスフィルム３の幅方向Ｘに断線が走ることがある。一方、ガラスフィルム３の厚さが２００μｍを超えると、得られたガラスフィルム積層体１０をロール巻きする際に、ガラスフィルム３内の残留応力が大きくなり、ガラスフィルム３と支持フィルム１との間で剥離が起こったり、ガラスフィルム３が破壊したりすることがある。

ガラスフィルム３は、枚葉態様のガラスフィルムであってもよいが、ロール巻きできる長尺態様のガラスフィルムが好ましく用いられる。

（幅の差及び端部間の距離）
上記したように、支持フィルム１の幅Ｂはガラスフィルム３の幅Ａよりも大きい（Ｂ＞Ａ）。そして、その差（Ｂ−Ａ）は１ｍｍ〜２ｍｍであることが好ましい。このような幅の差、すなわち支持フィルム１の幅Ｂがガラスフィルム３の幅Ａよりも大きくすることによって、例えば枚葉態様の支持フィルム１とガラスフィルム３を用い且つ両フィルムの各辺、例えば四辺形の場合には４辺の端部を位置合わせして貼り合わせた場合、支持フィルム１の各辺の端部１ａ，１ｂを、図１に示すように、ガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂから僅かにはみ出すように構成できる。一方、ロール巻き等される長尺態様の支持フィルム１とガラスフィルム３を用い且つ両フィルムの幅方向Ｘの両辺の端部を位置合わせして貼り合わせた場合も同様、支持フィルム１の端部１ａ，１ｂを、図１及び図２に示すように、ガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂから僅かにはみ出すように構成できる。

支持フィルム１とガラスフィルム３とを位置合わせして貼り合わせたガラスフィルム積層体１０は、上記のように、支持フィルム１の端部１ａ，１ｂがガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂから僅かにはみ出すように構成される。そして、支持フィルム１の幅方向Ｘの各端部１ａ，１ｂから、該各端部側におけるガラスフィルム３の幅方向Ｘの各端部３ａ，３ｂまでの距離ａ，ｂは、支持フィルム１の幅方向Ｘの端部１ａ，１ｂから内方に向かって、０．５ｍｍ以上１ｍｍ以下であることが望ましい。詳しくは、支持フィルム１の幅方向Ｘの端部１ａからその端部１ａ側におけるガラスフィルム３の幅方向Ｘの端部３ａまでの距離ａが、支持フィルム１の幅方向Ｘの端部１ａから内方に向かって０．５ｍｍ以上１ｍｍ以下であること、及び、支持フィルム１の幅方向Ｘの端部１ｂからその端部１ｂ側におけるガラスフィルム３の幅方向Ｘの端部３ｂまでの距離ｂが、支持フィルム１の幅方向Ｘの端部１ｂから内方に向かって０．５ｍｍ以上１ｍｍ以下であることが望ましい。

こうした関係を満たすためには、上記した幅の差（Ｂ−Ａ）は上記のように１ｍｍ〜２ｍｍの範囲内である必要がある。すなわち、０．５ｍｍ以上１ｍｍ以下の距離ａ，ｂを満たすためには、幅の差（Ｂ−Ａ）が１ｍｍ〜２ｍｍとなる支持フィルム１とガラスフィルム３を用いなければならないことになる。

距離ａ，ｂを支持フィルム１の幅方向Ｘの端部１ａ，１ｂから内方に向かって０．５ｍｍ以上１ｍｍ以下とすることによって、支持フィルム１と同じ幅Ｂで設けられている粘着層２は、ガラスフィルム積層体１０の端部（「周縁部」と同義。）で僅かに露出している。しかし、その露出の程度は実質的に露出しないと評価できる程度である。

「粘着層２が実質的に露出しないと評価できる程度」の理由は、ガラスフィルム積層体１０をロール巻きした際であっても、重なり合ったガラスフィルム積層体同士が貼り付くことがなく、また、ガラスフィルム積層体１０をロール搬送した際であっても、そのロール等の搬送部材にガラスフィルム積層体１０が貼り付いてしまうことがなかったためである。さらに、「粘着層２が実質的に露出しないと評価できる程度」の理由として、ガラスフィルム積層体１０の搬送時にはガラスフィルム積層体１０の幅方向Ｘの両端部を検出するが、その両端部では、ガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂの位置と実質的に同じ位置（０．５ｍｍ以上１ｍｍ以下）と言えるので、例えば露光マスク等がガラスフィルム３に対し、悪影響が生じる程度に斜めに配置されることがなく、パターン形成等の加工不具合を防ぐことができ、加工時の位置精度を低下させなかったためである。

一方、支持フィルム１の端部１ａ，１ｂは、０．５ｍｍ以上１ｍｍ以下の距離ａ，ｂでガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂからはみ出していることも事実であり、その結果、はみ出した支持フィルム１がガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂを保護するように作用し、破損や傷の発生を防ぐことができるという効果がある。また、はみ出してはいるが、その程度が僅かであり、他のフィルムで覆う等の必要もないので、露光マスクに接触したり現像液が溜まったりする段差部分を生じさせない。そのため、ガラスフィルム積層体１０を例えば露光工程等に投入した場合であっても、露光マスクがそうした段差部分に接触したり、現像液が溜まったりする等の問題を生じさせない。

距離ａ，ｂが１ｍｍを超える場合とは、ガラスフィルム積層体１０の両側端部での距離ａ及び距離ｂのいずれか一方又は両方が１ｍｍを超える場合である。すなわち、支持フィルム１の端部１ａ，１ｂが１ｍｍを超えてガラスフィルム３の外方向にはみ出している態様であり、支持フィルム１と同じ幅Ｂで設けられている粘着層２が、その限度でガラスフィルム積層体１０の端部からはみ出す。その結果、ガラスフィルム積層体１０をロール巻きする際に、重なり合ったガラスフィルム積層体同士が貼り付くおそれがあり、また、ガラスフィルム積層体１０をロール搬送する際に、そのロール等の搬送部材にガラスフィルム積層体１０が貼り付いてしまうおそれがある。さらに、ガラスフィルム積層体１０の搬送時にはガラスフィルム積層体１０の幅方向Ｘの両端部を検出するが、両端部のうち支持フィルム１がはみ出した側の端部では、支持フィルム１の端部１ａ，１ｂが検出される。その結果、例えば露光マスク等がガラスフィルム３に対して斜めに配置されるおそれがあり、パターン形成等の加工不具合が生じて加工時の位置精度が低下するおそれがある。

距離ａ，ｂが０．５ｍｍ未満の場合とは、ガラスフィルム積層体１０の両側端部での距離ａ及び距離ｂのいずれか一方又は両方が０．５ｍｍ未満の場合である。すなわち、支持フィルム１の端部１ａ，１ｂが０．５ｍｍ未満でガラスフィルム３の外方向にはみ出している態様、及び、支持フィルム１の端部１ａ，１ｂがガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂよりも内方向に位置する態様のいずれかの態様である。こうした態様では、支持フィルム１の端部１ａ，１ｂとガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂとがほぼ一致することになるので、支持フィルム１がガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂを確実に保護できると言うことはできず、製造工程中やその後の工程中で他の部材等当たって、ガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂに破損や傷が発生するおそれがある。

なお、ガラスフィルム３の幅Ａ、支持フィルム１の幅Ｂ、ガラスフィルム３の幅方向Ｘの各端部３ａ，３ｂと支持フィルム１の各端部１ａ，１ｂとの距離ａ，ｂは、種々の方法で測定できる。本発明及び後述する各実施例では、測定対象であるガラスフィルム３、支持フィルム１及びガラスフィルム積層体１０を平面視した際の拡大画像と、基準スケールの拡大画像とを比較して測定した。

（その他の構成）
ガラスフィルム３上には、図３に示すように、膜４を設けてもよい。膜４は特に限定されないが、例えば、透明電極膜、金属膜、半導体膜、レジスト膜、有機化合物膜、無機化合物膜等から選ばれるいずれか１種又は２種以上の膜を挙げることができる。特にこうした膜４が、その用途に応じてパターニングされていることが好ましい。

パターニング方法は、従来公知の各種の方法を適用でき、特に限定されない。例えば、レジストを用いたフォトリソグラフィを適用してパターニングしてもよいし、ドライエッチングやウエットエッチングでパターニングしてもよい。

ガラスフィルム３上にパターニングされた膜４を設けてなるガラスフィルム積層体１０の例としては、例えば、有機ＥＬディスプレイ用素子基板、液晶ディスプレイ用素子基板、カラーフィルタ用素子基板、太陽電池用素子基板等を挙げることができる。有機ＥＬディスプレイ用素子基板では、ガラスフィルム積層体１０のガラスフィルム３上に、パターニングされたＩＴＯ等の透明電極膜等を設けることができる。液晶ディスプレイ用素子基板では、同様のパターニングされたＩＴＯ等の透明電極膜や、パターニングされた配向膜を設けることができる。カラーフィルタ用素子基板では、同様のパターニングされたＩＴＯ等の透明電極膜や、着色層区画用隔壁、及び着色層等を設けることができる。また、太陽電池用素子基板では、同様のパターニングされたＩＴＯ等の透明電極膜等を設けることができる。また、これらの各素子基板に各種の機能膜パターンを形成するために、ガラスフィルム３上にレジスト膜を成膜し、そのレジスト膜を例えばフォトリソグラフィでパターニングしてなる膜４であってもよい。

本発明に係るガラスフィルム積層体１０は、上記のように、ガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂでの破損や傷の発生を防ぐことができ、ゴミ付着の問題やハンドリング時の貼り付き不具合の問題を低減でき、さらに、例えば露光マスク等がガラスフィルム３に対して斜めに配置されることがないのでパターン形成等の加工不具合を防ぐことができ且つ加工時の位置精度が低下しない、という効果を奏する。それ故、そうした効果を奏するガラスフィルム積層体１０にパターニングされた膜４が設けられることによって、そのガラスフィルム積層体１０を例えば有機ＥＬディスプレイ用素子基板、液晶ディスプレイ用素子基板、カラーフィルタ用素子基板、太陽電池用素子基板等として用いて有機ＥＬディスプレイ、液晶ディスプレイ、カラーフィルタ、太陽電池等を製造する場合に、素子や画素での欠陥等の不具合を少なくすることができ、且つ多種のパターンを位置精度よく形成できるという効果を奏する。

［ガラスフィルム積層体の製造方法］
本発明に係るガラスフィルム積層体１０の製造方法は、粘着層２が設けられた支持フィルム１を準備する工程と、支持フィルム１の幅Ｂよりも狭い幅Ａのガラスフィルム３を準備する工程と、支持フィルム１の幅方向Ｘの各端部１ａ，１ｂからその各端部１ａ，１ｂ側におけるガラスフィルムルム３の幅方向Ｘの各端部３ａ，３ｂまでの距離ａ，ｂが、支持フィルム１の幅方向Ｘの端部１ａ，１ｂから内方に向かって０．５ｍｍ以上１ｍｍ以下であるように、粘着層２を介して支持フィルム１とガラスフィルム３とを貼り合わせる工程と、を有する。

この製造方法は、上記した本発明に係るガラスフィルム積層体１０を製造するための一態様である。上記した本発明に係るガラスフィルム積層体１０は他の方法で製造したものであってもよい。なお、ガラスフィルム積層体１０を製造し、さらに図３に示すように、パターニングされた膜４等を設けて、有機ＥＬディスプレイ用素子基板、液晶ディスプレイ用素子基板、カラーフィルタ用素子基板、太陽電池用素子基板等を製造した後又は製造途中で、粘着層２付きの支持フィルム１を剥離してもよい。

図４は、この製造方法を実施することができるガラスフィルム積層体１０の製造装置２０の一例を示す模式図である。図４に示すように、ロール巻き状の支持フィルムロール２３は支持フィルム供給部２２に装着され、ロール巻き状のガラスフィルムロール２５はガラスフィルム供給部２４に装着されている。支持フィルムロール２３は、粘着層２が片面に設けられた支持フィルム１がカバーシートを介してロール巻きされており、そのカバーシートを剥離しながら支持フィルムロール２３から繰り出された支持フィルム１と、ガラスフィルムロール２５から繰り出されたガラスフィルム３とが貼り合わせ部２６で貼り合わされる。なお、支持フィルム１とガラスフィルム３とは、必要に応じて配置されたガイドローラ２８で貼り合わせ部２６まで案内される。

貼り合わせ部２６では、ニップローラ３０によって、支持フィルム１とガラスフィルム３とを粘着層２を介して貼り合わせる。貼り合わせた後のガラスフィルム積層体１０は、搬送路３２を通って巻取部３４に送られ、ロール巻き状のガラスフィルム積層体ロール３６となる。

この製造方法で製造されたガラスフィルム積層体１０は、上記した本発明に係るガラスフィルム積層体１０と同様、ガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂから０．５ｍｍ以上１ｍｍ以下の僅かの幅（距離ａ，ｂ）だけ支持フィルム１をはみ出すように貼り合わせるので、上記した本発明に係るガラスフィルム積層体と同様の作用効果、（ア）ガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂでの破損や傷の発生を防ぐことができ、（イ）ゴミ付着の問題やハンドリング時の貼り付き不具合の問題を低減でき、（ウ）露光マスクが段差部分に接触したり、現像液が溜まったりする等の問題がなく、（エ）例えば露光マスク等がガラスフィルム３に対して斜めに配置されることがなく、パターン形成等の加工不具合を防ぐことができ、加工時の位置精度が低下しない、という作用効果を奏する。

以下、実施例により本発明をさらに詳しく説明する。なお、本発明は以下の実施例の内容のみには限定されない。以下の実施例では、ガラスフィルム積層体１０を製造し、さらにフォトリソグラフィ工程に供してガラスフィルム積層体１０上に設けた膜４をパターニングした場合に、その一連の工程で、ロール巻き時の貼り付き、パターンの位置精度、端部の割れについて評価した。

［実施例１］
支持フィルム１として、厚さ５９μｍ、幅３０２ｍｍ、長さ１０ｍの粘着層付きＰＥＴフィルム（日東電工株式会社製、ＲＰ２０７）が３インチのコアに巻かれた支持フィルムロール２３を準備した。この支持フィルム１に設けられた粘着層２上には、カバーシートが剥離自在に貼り付けられている。ガラスフィルム３として、厚さ７０μｍ、幅３００ｍｍ、長さ１０ｍの薄板ガラス（日本電気硝子株式会社製、ＯＡ−１０Ｇ）が６インチのコアに巻かれたガラスフィルムロール２５を準備した。

続いて、図４に示したラミネート装置を用い、支持フィルム供給部２２に支持フィルムロール２３を設置し、ガラスフィルム供給部２４にガラスフィルムロール２５を設置した。続いて、支持フィルムロール２３から繰り出した支持フィルム１と、ガラスフィルムロール２５から繰り出したガラスフィルム３とを、各々のフィルムの中心合わせ制御を行って、貼り合わせ部２６のニップローラ３０でラミネートした。その後、搬送路３２を搬送させて、直径が６インチのコアに巻き取り、ガラスフィルム積層体ロール３６を作製した。

次に、ガラスフィルム積層体ロール３６を塗工装置（図示しない）の巻出部にセットし、ガラスフィルム積層体１０を繰り出した。続いて、繰り出されたガラスフィルム積層体１０のガラスフィルム３上に、マイクログラビア印刷によってフォトレジストを塗布し、その後に巻き取った。続いて、フォトレジストを形成した後のガラスフィルム積層体ロールを露光装置の巻出部にセットし、ガラスフィルム積層体ロールを繰り出した。なお、露光装置への繰り出しはガラスフィルム積層体１０の端部１ａ，１ｂを超音波センサで検出し、ガラスフィルム積層体１０の端部１ａ，１ｂが一定の位置となるようにして露光ステージに搬送し、５回の露光動作を実施した。続いて、現像装置を用いて現像を行い、５箇所にパターンが形成されたパターン付ガラスフィルム積層体１０を得た。

得られたガラスフィルム積層体１０において、支持フィルム１の端部１ａからガラスフィルム３の端部３ａまでの距離ａは＋１ｍｍであり、支持フィルム１の端部１ｂからガラスフィルム３の端部３ｂまでの距離ｂも＋１ｍｍであった。なお、距離ａ，ｂの「＋」は、図１に示すように、支持フィルム１の端部１ａ，１ｂから内方向にガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂが存在している場合であり、「−」は、支持フィルム１の端部１ａ，１ｂから外方向にガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂがはみ出している場合である。

［実施例２］
実施例１において、粘着層付きＰＥＴフィルム（日東電工株式会社製、ＲＰ２０７）の幅を３０１ｍｍとし、貼り合わせ部２６でのガラスフィルム３と支持フィルム１との貼り合わせ位置を制御して、支持フィルム１の端部１ａからガラスフィルム３の端部３ａまでの距離ａを＋０．５ｍｍとし、支持フィルム１の端部１ｂからガラスフィルム３の端部３ｂまでの距離ｂも＋０．５ｍｍとした。それ以外は、実施例１と同様にして、パターン付ガラスフィルム積層体を得た。

［比較例１］
実施例１において、粘着層付きＰＥＴフィルム（日東電工株式会社製、ＲＰ２０７）の幅を２９８ｍｍとし、貼り合わせ部２６での支持フィルム１とガラスフィルム３との貼り合わせ位置を制御して、支持フィルムの端部１ａからガラスフィルム３の端部３ａまでの距離ａを−１ｍｍとし、支持フィルム１の端部１ｂからガラスフィルム３の端部３ｂまでの距離ｂも−１ｍｍとした。それ以外、実施例１と同様にして、パターン付ガラスフィルム積層体を得た。

［比較例２］
実施例１において、粘着層付きＰＥＴフィルム（日東電工株式会社製、ＲＰ２０７）の幅を２９９ｍｍとし、貼り合わせ部２６での支持フィルム１とガラスフィルム３との貼り合わせ位置を制御して、支持フィルムの端部１ａからガラスフィルム３の端部３ａまでの距離ａを−０．５ｍｍとし、支持フィルム１の端部１ｂからガラスフィルム３の端部３ｂまでの距離ｂも−０．５ｍｍとした。それ以外、実施例１と同様にして、パターン付ガラスフィルム積層体を得た。

［比較例３］
実施例２において、貼り合わせ部２６での支持フィルム１とガラスフィルム３との貼り合わせ位置を制御して、支持フィルム１の端部１ａからガラスフィルム３の端部３ａまでの距離ａを＋１ｍｍとし、支持フィルムの端部１ｂからガラスフィルム３の端部３ｂまでの距離ｂを±０ｍｍとした。それ以外は、実施例２と同様にして、パターン付ガラスフィルム積層体を得た。

［比較例４］
実施例１において、貼り合わせ部２６での支持フィルム１とガラスフィルム３との貼り合わせ位置を制御して、支持フィルム１の端部１ａからガラスフィルム３の端部３ａまでの距離ａを＋１．５ｍｍとし、支持フィルムの端部１ｂからガラスフィルム３の端部３ｂまでの距離ｂを＋０．５ｍｍとした。それ以外は、実施例１と同様にして、パターン付ガラスフィルム積層体を得た。

［測定と結果］
実施例１，２及び比較例１〜４により得られたパターン付ガラスフィルム積層体について、上記したように、支持フィルム１の幅Ｂとガラスフィルム３の幅Ａとの差（Ｂ−Ａ）、及び、支持フィルム１の端部１ａ，１ｂとガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂとの距離ａ，ｂを表１示した。

表１中の搬送テストの評価項目である「ロール巻き時の貼り付き」、「パターンの位置精度」及び「端部の割れ」は、作製したガラスフィルム積層体１０を用いてフォトリソグラフィ工程を経た後に評価したものである。ここで、「ロール巻き時の貼り付き」とは、作製したガラスフィルム積層体１０をロール巻きした場合に、ガラスフィルム積層体１０同士が貼り付くか否かを評価した結果であり、「１」は全く貼り付かなかった場合とし、「２」は僅かに貼り付きがあったと思われる程度に良好な場合とし、「３」は貼り付きが生じていた場合とした。また、「パターン位置精度」とは、５つのパターン各々において、ガラスフィルム積層体１０に形成された膜パターン４（図３参照）が、ガラスフィルム積層体１０を構成するガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂに対する形成位置として所定の位置に形成されているか否かを評価した結果であり、「１」は膜パターンの形成位置が良好な場合とし、「２」は膜パターンの形成位置が厳密には僅かにずれているがあまり問題にならない場合とし、「３」は支持フィルムの端部１ａ，１ｂに対しては精度よく設けられていたが、ガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂに対する精度としてはやや不十分な場合とした。また、「端部の割れ」とは、ガラスフィルム積層体１０の製造工程後及び膜パターンの形成工程後に、作製したガラスフィルム積層体１０を構成するガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂに割れや傷が生じていたか否かの評価であり、「１」は割れや傷が全く生じていなかった場合とし、「２」は僅かに傷があったが実用上あまり問題ない場合とし、「３」は傷又は割れが生じていた場合とした。

なお、総合評価として、「○」は使用可能なもので、「△」は「３」の評価が少なくとも１つあるもの又は全部が「２」であるもので、使用にはやや問題があるものとした。

表１の結果から分かるように、ガラスフィルム３の幅Ａよりも大きい幅Ｂの支持フィルム１を、ガラスフィルム３の両側端部３ａ，３ｂからはみ出すように粘着層２を介してガラスフィルム３に貼り合わせ、且つ支持フィルム１の幅方向Ｘの各端部１ａ，１ｂからその各端部１ａ，１ｂ側におけるガラスフィルム３の幅方向Ｘの各端部３ａ，３ｂまでの距離ａ，ｂが、支持フィルム１の幅方向Ｘの端部１ａ，１ｂから内方に向かって０．５ｍｍ以上１ｍｍ以下の条件を満たした実施例１，２は、良好な結果が得られた。こうした条件を満たさない比較例１〜４の場合は、十分な結果が得られなかった。

１ 支持フィルム
１ａ，１ｂ 支持フィルムの端部
２ 粘着層
３ ガラスフィルム
３ａ，３ｂ ガラスフィルムの端部
１０，１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ ガラスフィルム積層体
２０ ガラスフィルム積層体の製造装置
２２ 支持フィルム供給部
２３ 支持フィルムロール
２４ ガラスフィルム供給部
２５ ガラスフィルムロール
２６ 貼り合わせ部
２８ ガイドローラ
３０ ニップローラ
３２ 搬送路
３４ 巻取部
３６ ガラスフィルム積層体ロール
Ａ ガラスフィルムの幅
Ｂ 支持フィルムの幅
ａ ガラスフィルムの一方の端部から支持フィルムの端部までの距離
ｂ ガラスフィルムの他方の端部から支持フィルムの端部までの距離

Claims (3)

1. ガラスフィルムと、粘着層と、前記ガラスフィルムの幅よりも大きい幅のフィルムであって前記ガラスフィルムの両側端部からはみ出すように前記粘着層を介して前記ガラスフィルムに設けられている支持フィルムと、を有し、
   前記支持フィルムの幅方向の各端部から該各端部側における前記ガラスフィルムの幅方向の各端部までの距離が、前記支持フィルムの幅方向端部から内方に向かって０．５ｍｍ以上１ｍｍ以下であることを特徴とするガラスフィルム積層体。
2. 前記ガラスフィルム上には、パターニングされた膜が少なくとも設けられている、請求項１に記載のガラスフィルム積層体。
3. 粘着層が設けられた支持フィルムを準備する工程と、
   前記支持フィルムの幅よりも狭い幅のガラスフィルムを準備する工程と、
   前記支持フィルムの幅方向の各端部から該各端部側における前記ガラスフィルムの幅方向の各端部までの距離が、前記支持フィルムの幅方向端部から内方に向かって０．５ｍｍ以上１ｍｍ以下であるように、前記粘着層を介して前記支持フィルムと前記ガラスフィルムとを貼り合わせる工程と、を有することを特徴とするガラスフィルム積層体の製造方法。

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