JP5849492B2 - ガラスフィルム積層体の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、ガラスフィルム積層体に関し、さらに詳しくは、例えば有機ＥＬディスプレイ、液晶ディスプレイ等のディスプレイ、カラーフィルタ、太陽電池等に用いられる薄ガラス（「ガラスフィルム」ともいう。）に支持フィルムを貼付してなるガラスフィルム積層体及びその製造方法に関する。

近年、ガラスの製造技術の進歩により、厚さが１００μｍ程度又はそれ以下の薄ガラス（ガラスフィルム）が製造されている。例えば、特許文献１には厚さが２００μｍ以下のガラスフィルムが提案され、特許文献２には厚さが０．１〜１００μｍのガラスフィルムが提案されている。こうしたガラスフィルムは可撓性を有することから、そのガラスフィルム上への膜形成等にロールｔｏロールプロセスが適用できるため、従来のシート（枚葉）プロセスと比較して高い生産性を得ることができる。しかし、薄いガラスフィルムは耐衝撃性に劣り、工程上の取り扱いが困難になる。

工程上の取り扱いを向上させるため、特許文献３には、粘着層を間に介してガラスフィルムと支持シートとを積層したガラスフィルム積層体が提案されている。このガラスフィルム積層体では、ガラスフィルムよりも幅広の支持シートを積層すると、ガラスフィルムの端部から支持シートがはみ出すことになる。そのため、そのはみ出した支持シート部がガラスフィルムの端部を保護するように作用するので、耐衝撃性に劣るガラスフィルムの保護効果をさらに高めることができるとされている。

特開２００８−１３３１７４号公報 特開２００１−９７７３３号公報 特開２０１０−２２８１６６号公報

上記したガラスフィルム積層体の製造においては、支持シートの全面に粘着層を設けた後にガラスフィルムと貼り合わせている。そのため、製造されたガラスフィルム積層体では、ガラスフィルムの端部からはみ出した支持シート部に粘着層が存在することになり、製造されたガラスフィルム積層体をロール巻きする際に、重なり合ったガラスフィルム積層体同士が貼り付いてしまうという問題があった。また、製造されたガラスフィルム積層体をロール搬送する際に、そのロール等の搬送部材にガラスフィルム積層体が貼り付いてしまうという問題もあった。

また、製造されたガラスフィルム積層体を搬送する際には、ガラスフィルム積層体の幅方向の両端部を検出して搬送し、ガラスフィルム積層体の搬送直進性を確保している。そのため、幅広の支持シート（以下、本発明では「支持フィルム」という。）に対してガラスフィルムが曲がって貼り付いているガラスフィルム積層体の場合では、例えばフォトリソグラフィ工程に搬送されてガラスフィルム上に成膜された膜をパターニングする際に、ガラスフィルム積層体に対しては例えば露光マスクが正しく配置されるものの、曲がって貼り付いているガラスフィルムに対しては例えば露光マスクは斜めに配置されることになり、ガラスフィルムに対して斜めのパターンが形成されるという問題があった。

本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その目的は、製造されたガラスフィルム積層体をロール巻き等する際に、重なり合ったガラスフィルム積層体同士が貼り付いてしまうこと等がなく、また、ガラスフィルム積層体を搬送して各工程に供した際に、ガラスフィルムに対して斜めのパターン形成等の加工不具合を防いで加工時の位置精度を向上させることができるガラスフィルム積層体及びその製造方法を提供することにある。

上記課題を解決するための本発明に係るガラスフィルム積層体は、支持フィルムと、粘着層と、該粘着層を介して前記支持フィルムに積層されたガラスフィルムとを備え、前記支持フィルムの幅Ｂと前記ガラスフィルムの幅Ａとの差（｜Ａ−Ｂ｜）が１ｍｍ以内であり、前記ガラスフィルムの幅方向の各端部から該各端部側における前記支持フィルムの幅方向の各端部までの距離が、前記ガラスフィルムの幅方向端部から内方に向かって±０．５ｍｍ以内であることを特徴とする。

この発明によれば、支持フィルムの幅Ｂとガラスフィルムの幅Ａとの差が絶対値の差｜Ａ−Ｂ｜として１ｍｍ以内であり、ガラスフィルムの幅方向の各端部からその各端部側における支持フィルムの幅方向の各端部までの距離が、前記ガラスフィルムの幅方向端部から内方に向かって±０．５ｍｍ以内であるので、支持フィルムの端部とガラスフィルムの端部とが同位置又は実質的に同位置に配置され、支持フィルムに設けられている粘着層が露出しない又は実質的に露出しない。その結果、ガラスフィルム積層体をロール巻きする際に、重なり合ったガラスフィルム積層体同士が貼り付くことがなく、また、ガラスフィルム積層体をロール搬送する際に、そのロール等の搬送部材にガラスフィルム積層体が貼り付いてしまうこともない。さらに、ガラスフィルム積層体の搬送時にはガラスフィルム積層体の幅方向の両端部を検出するが、その両端部では、支持フィルムの端部位置とガラスフィルムの端部位置とが同位置又は実質的に同位置であるので、例えば露光マスク等がガラスフィルムに対して斜めに配置されることがなく、パターン形成等の加工不具合を防ぐことができ、加工時の位置精度を低下させない。

本発明に係るガラスフィルム積層体において、前記ガラスフィルム上には、パターニングされた膜が少なくとも設けられている。

この発明によれば、ガラスフィルム上に、透明電極膜、金属膜、半導体膜、有機化合物膜、無機化合物膜等から選ばれるいずれか１種又は２種以上の膜がパターニングされた態様で設けられているので、そうしたガラスフィルム積層体は、例えば有機ＥＬディスプレイ用素子基板、液晶ディスプレイ用素子基板、カラーフィルタ用素子基板、太陽電池用素子基板等に応用される。本発明に係るガラスフィルム積層体は、上記のように、ロール巻き時等の貼り付き防止及び加工時の位置精度向上という効果を奏するので、そうした効果を奏するガラスフィルム積層体にパターニングされた膜が設けられることによって、そのガラスフィルム積層体を例えば有機ＥＬディスプレイ用素子基板等として用いて有機ＥＬディスプレイ等を製造した場合に、工程不具合を少なくすることができ、且つ多種のパターンを位置精度よく形成できるという効果を奏する。

上記課題を解決するため本発明に係るガラスフィルム積層体の製造方法は、粘着層が設けられた支持フィルムを準備する工程と、前記支持フィルムの幅Ｂとの差（｜Ａ−Ｂ｜）が１ｍｍ以内の幅Ａのガラスフィルムを準備する工程と、前記ガラスフィルムの幅方向の各端部から該各端部側における前記支持フィルムの幅方向の各端部までの距離が、前記ガラスフィルムの幅方向端部から内方に向かって±０．５ｍｍ以内であるように、前記粘着層を介して前記ガラスフィルムと前記支持フィルムとを貼り合わせる工程と、を有することを特徴とする。

この発明によれば、支持フィルムと、支持フィルムの幅Ｂと同じ又は実質的に同じ幅Ａのガラスフィルムとを準備し、そのガラスフィルムの幅方向の各端部からその各端部側における支持フィルムの幅方向の各端部までの距離が、ガラスフィルムの幅方向端部から内方に向かって±０．５ｍｍ以内であるように、粘着層を介してガラスフィルムと支持フィルムとを貼り合わせるので、製造されたガラスフィルム積層体は、支持フィルムの端部とガラスフィルムの端部とが同位置又は実質的に同位置に配置され、支持フィルムに設けられている粘着層が露出しない又は実質的に露出しない。その結果、上記同様の作用効果（ロール巻き時等の貼り付き防止及び加工時の位置精度向上）を奏するものとなる。

本発明に係るガラスフィルム積層体及びその製造方法によれば、支持フィルムの端部とガラスフィルムの端部とが同位置又は実質的に同位置に配置され、支持フィルムに設けられている粘着層が露出しない又は実質的に露出しないので、ガラスフィルム積層体をロール巻きする際に、重なり合ったガラスフィルム積層体同士が貼り付くことがなく、また、ガラスフィルム積層体をロール搬送する際に、そのロール等の搬送部材にガラスフィルム積層体が貼り付いてしまうこともない。さらに、ガラスフィルム積層体の搬送時にはガラスフィルム積層体の幅方向の両端部を検出するが、その両端部では、支持フィルムの端部位置とガラスフィルムの端部位置とが同位置又は実質的に同位置であるので、例えば露光マスク等がガラスフィルムに対して斜めに配置されることがなく、パターン形成等の加工不具合を防ぐことができ、加工時の位置精度を低下させない。

本発明に係るガラスフィルム積層体の一例を示す模式的な断面図である。 本発明に係るガラスフィルム積層体の例を示す模式的な断面図である。 長尺形態のガラスフィルムの端部から支持フィルムの端部までの距離を示す模式的な平面図である。 膜が設けられたガラスフィルム積層体の一例を示す模式的な断面図である。 ガラスフィルム積層体の製造装置の一例を示す模式図である。

本発明に係るガラスフィルム積層体及びその製造方法について、図面を参照して詳しく説明する。なお、本発明は、その技術的特徴を有すれば種々の変形が可能であり、以下に具体的に示す実施形態に限定されるものではない。

［ガラスフィルム積層体］
本発明に係るガラスフィルム積層体１０は、図１及び図２に示すように、支持フィルム１と、粘着層２と、粘着層２を介して支持フィルム１に積層されたガラスフィルム３とを備えている。そして、支持フィルム１の幅Ｂと、ガラスフィルム３の幅Ａとの差が絶対値の差｜Ａ−Ｂ｜として１ｍｍ以内であり、さらに、ガラスフィルム３の幅方向Ｘの各端部３ａ，３ｂからその各端部側における支持フィルム１の幅方向の各端部１ａ，１ｂまでの距離ａ，ｂが、ガラスフィルム３の幅方向端部３ａ，３ｂから内方に向かって±０．５ｍｍ以内であることに特徴がある。

以下、各構成について詳しく説明する。

（支持フィルム）
支持フィルム１は、図１に示すように、ガラスフィルム３を支持するためのフィルムであり、粘着層２を介してガラスフィルム３に貼り合わされている。支持フィルム１としては、可撓性のある樹脂フィルムが用いられる。支持フィルム１を構成する樹脂材料としては、例えば、ポリエチレン、ポリ塩化ビニル、ポリエチレンテレフタレート、ポリ塩化ビニリデン、ポリプロピレン、ポリビニルアルコール、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスチレン、ポリアミド、ポリアクリロニトリル、エチレン酢酸ビニル共重合体、エチレン−ビニルアルコール共重合体、エチレン−メタクリル酸共重合体、ナイロン、セロファン、シリコーン樹脂等を挙げることができる。中でも、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン、ポリ塩化ビニリデン等を好ましく挙げることができる。

支持フィルム１は、上記した樹脂材料で形成された単層フィルムであってもよいし、多層化されたフィルムであってもよい。また、発泡性の樹脂材料で作製された支持フィルム１であってもよいし、安定剤、可塑剤、衝撃改良剤、着色剤、強化剤等を加えた樹脂材料で作製された支持フィルム１であってもよい。支持フィルム１の着色の有無や透光性（透明、半透明、不透明等）も特に限定されない。

支持フィルム１の厚さは、１μｍ〜２００μｍであることが好ましく、１０μｍ〜５０μｍであることがより好ましい。この厚さ範囲の支持フィルム１は、ガラスフィルム３を支持できるとともに、得られたガラスフィルム積層体１０をロール巻きした際の不具合が生じない。支持フィルム１の厚さが１μｍ未満の場合には、薄すぎてガラスフィルム３を支持する効果を実質的に奏さない。一方、支持フィルム１の厚さが２００μｍを超えると、得られたガラスフィルム積層体１０をロール巻きする際に、支持フィルム内の残留応力が大きくなり、支持フィルム１とガラスフィルム３との間で剥離が起こったり、ガラスフィルム３が破壊したりすることがある。

支持フィルム１は、枚葉態様の支持フィルムであってもよいが、ロール巻きできる長尺態様の支持フィルム（図３参照）が好ましく用いられる。本発明では、後述するように、支持フィルム１の幅Ｂとガラスフィルム３の幅Ａとの差（絶対値の差｜Ａ−Ｂ｜）が１ｍｍ以内であり、両者の幅Ａ，Ｂは同じ幅又は実質的に同じ幅と評価できる。そのため、枚葉態様の支持フィルム１とガラスフィルム３を用いた場合には、その支持フィルム１の各辺、例えば四辺形の場合には４辺の端部が、ガラスフィルム３の端部と一致又は実質的に一致するように貼り合わせることができる。また、ロール巻き等される長尺態様の支持フィルム１とガラスフィルム３を用いた場合にも、図３に示すように、支持フィルム１の幅方向Ｘの両端１ａ，１ｂが、同じく長尺態様のガラスフィルム３の幅方向Ｘの両辺の端部３ａ，３ｂと一致又は実質的に一致するように貼り合わせることができる。

こうした支持フィルム１は、一般的に知られている製造方法によりフィルム化することができ、押出法、カレンダー法、溶液・エマルジョンキャスト法等での製造が可能である。

（粘着層）
粘着層２は、支持フィルム１とガラスフィルム３とを積層させるために、支持フィルム１とガラスフィルム３との間に設けられている。粘着層２は、最終的にガラスフィルム３から剥離できる層に限られず、ガラスフィルム３から剥離せずにガラスフィルム３に永久的又は半永久的に接着する層、すなわち接着層も包含する。

粘着層２を構成する材料としては、天然ゴムや合成ゴムに粘着付与剤、軟化剤、老化防止剤等を混合したゴム系粘着剤、アクリル酸エステルと他種官能性単量体とを共重合したアクリル系粘着剤、シリコーンゴムと樹脂からなるシリコーン系粘着剤、ポリエーテルやポリウレタン系粘着剤等を挙げることができる。また、形態としては、溶剤型粘着剤、非水エマルジョン型粘着剤、水系エマルジョン型粘着剤、水溶性型粘着剤、無溶剤型粘着剤、液状硬化型粘着剤等を挙げることができる。なお、粘着層２がガラスフィルム３に永久的又は半永久的に接着する接着層として設けられる場合には、各種の熱可塑性樹脂接着剤や熱硬化性樹脂接着剤を適用してもよい。

粘着層２は、上記した材料で形成された単層構造であってもよいし、多層化された層であってもよい。また、粘着層２には、必要に応じて各種の添加剤を加えた粘着剤で形成された粘着層２であってもよい。粘着層２の着色の有無や透光性（透明、半透明、不透明等）も特に限定されない。

粘着層２の厚さは、０．５μｍ〜１００μｍであることが好ましく、１μｍ〜５０μｍであることがより好ましい。この厚さ範囲の粘着層２は、その粘着層２を構成する粘着剤の種類にもよるが、支持フィルム１とガラスフィルム３とをその後のハンドリングやロール巻き等する際に問題が生じないように、好ましく貼り合わせることができる。粘着層２の厚さが０．５μｍ未満の場合には、支持フィルム１とガラスフィルム３との間の貼り合わせが不十分となることがある。一方、粘着層２の厚さが１００μｍを超えると、粘着層２が層間剥離したり、貼り合わせの際に粘着層２がガラスフィルム３からはみ出し、ロールに接触したりすることがある。

粘着層２の形成には、上記の材料を溶剤に溶解して粘着層用塗工液とし、この塗工液を支持フィルム１上に直接塗工する方法、又は、この塗工液を剥離性シートに一旦塗工した後に支持フィルム１上に転写する方法（転写方式）を用いることができる。後者の転写方式は、支持フィルム１に耐溶剤性がない場合や、支持フィルム１に溶剤乾燥時の熱に対する耐熱性がない場合等に好ましく用いられる。

塗工方法としては、例えば、ダイコート法、コンマコート法、ナイフコート法、グラビアコート法、ロールコート法等を用いることができる。

なお、粘着層２は、支持フィルム１の外寸を超えない。すなわち、粘着層２は、支持フィルム１の平面視形状と同じ形状又は寸法で設けられている。したがって、支持フィルム１を超えない大きさで支持フィルム１の一方の面に設けられており、通常は同じ大きさで支持フィルム１の全面に設けられている。すなわち、粘着層２の幅は、支持フィルム１の幅Ｂと同じである。なお、本発明の作用効果（ロール巻き等時の貼り付き防止及び加工時の位置精度向上）を妨げないのであれば、支持フィルム１よりも若干小さい大きさで設けられていてもよく、例えば１ｍｍだけ小さい寸法で設けられていてもよい。

（ガラスフィルム）
ガラスフィルム３は、粘着層２を介して支持フィルム１に積層される薄ガラスである。ガラスフィルム３を構成するガラス材質としては、ソーダライムガラス、シリカガラス、ホウケイ酸ガラス、無アルカリホウ珪酸ガラス等、ほぼいかなるガラス組成のものも適用できる。ガラスフィルム３にアルカリ成分が含有されていると、表面で陽イオンの置換が発生し、いわゆるソーダ吹き現象が生じ、構造的に粗となることがある。なお、無アルカリホウ珪酸ガラスとは、アルカリ成分が実質的に含まれていないガラスのことであって、具体的には、アルカリ成分が１０００ｐｐｍ以下のガラスのことである。また、強化ガラス、表面処理ガラス等の二次加工を施したガラスフィルム３も、得られるガラスフィルム積層体１０の用途に応じて可能である。

ガラスフィルム３は、原理的にはガラス溶融体の固化する温度より上の温度にてガラス溶融体を引き延ばして作ることができる。ガラス組成、ガラス溶融体の厚さ、温度、引き取り速度によりガラスフィルム３の厚さを制御することができる。

ガラスフィルム３の厚さは、１０μｍ〜２００μｍであることが好ましく、３０μｍ〜１５０μｍであることがより好ましい。この厚さ範囲のガラスフィルム３は、ハンドリング、ロール巻き等に効果的である。ガラスフィルム３の厚さが１０μｍ未満の場合には、そのガラスフィルム３自体のハンドリングが極めて難しくなると共に、僅かな衝撃で破損しやすくなり、長尺のガラスフィルム３の幅方向Ｘに断線が走ることがある。一方、ガラスフィルム３の厚さが２００μｍを超えると、得られたガラスフィルム積層体１０をロール巻きする際に、ガラスフィルム３内の残留応力が大きくなり、ガラスフィルム３と支持フィルム１との間で剥離が起こったり、ガラスフィルム３が破壊したりすることがある。

ガラスフィルム３は、枚葉態様のガラスフィルムであってもよいが、ロール巻きできる長尺態様のガラスフィルムが好ましく用いられる。

（ガラスフィルムの幅と支持フィルムの幅との差）
ガラスフィルム３の幅Ａは、支持フィルム１の幅Ｂに対する差が絶対値の差｜Ａ−Ｂ｜として１ｍｍ以内になっている。「幅の差（｜Ａ−Ｂ｜）が１ｍｍ以内」とは、両者の幅が同じ幅又は実質的に同じ幅であると評価できる。なお、幅の差（Ａ−Ｂ）がプラスの場合は、ガラスフィルム３の幅Ａが支持フィルム１の幅Ｂよりも大きい（広い）場合であり、その差（Ａ−Ｂ）がマイナスの場合は、ガラスフィルム３の幅Ａが支持フィルム１の幅Ｂよりも小さい（狭い）場合である。

幅の差（絶対値の差｜Ａ−Ｂ｜）をこの範囲とすることによって、例えば枚葉態様のガラスフィルム３と支持フィルム１を用いた場合には、ガラスフィルム３の各辺、例えば四辺形の場合には４辺の端部と、同じく枚葉態様の支持フィルム１の端部との位置を一致又は実質的に一致するように貼り合わせることができる。一方、ロール巻き等される長尺態様のガラスフィルム３と支持フィルム１を用いた場合にも、図３に示すように、ガラスフィルム３の幅方向Ｘの両辺の端部３ａ，３ｂと、同じく長尺態様の支持フィルム１の幅方向Ｘの両端１ａ，１ｂとの位置を一致又は実質的に一致するように貼り合わせることができる。

こうして貼り合わされたガラスフィルム積層体１０は、支持フィルム１に設けられている粘着層２が、ガラスフィルム積層体１０の端部（「周縁部」と同義。）で露出しない、又は実質的に露出しない。その結果、ガラスフィルム積層体１０をロール巻きする際に、重なり合ったガラスフィルム積層体同士が貼り付くことがなく、また、ガラスフィルム積層体１０をロール搬送する際に、そのロール等の搬送部材にガラスフィルム積層体１０が貼り付いてしまうこともない。さらに、ガラスフィルム積層体１０の搬送時にはガラスフィルム積層体１０の幅方向Ｘの両端部を検出するが、その両端部では、支持フィルム１の端部１ａ，１ｂの位置とガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂの位置とが同位置又は実質的に同位置となる。その結果、例えば露光マスク等がガラスフィルム３に対して斜めに配置されることがなく、パターン形成等の加工不具合を防ぐことができ、加工時の位置精度を低下させない。

幅の差（Ａ−Ｂ）が−１ｍｍを超えた場合、すなわちガラスフィルム３の幅Ａよりも支持フィルム１の幅Ｂの方が１ｍｍを超えて広い場合は、支持フィルム１に設けられている粘着層２が、その限度でガラスフィルム積層体１０の端部からはみ出す。その結果、ガラスフィルム積層体１０をロール巻きする際に、重なり合ったガラスフィルム積層体同士が露出した粘着層２によって貼り付くおそれがあり、また、ガラスフィルム積層体１０をロール搬送する際に、そのロール等の搬送部材にガラスフィルム積層体１０が貼り付いてしまうおそれがある。さらに、ガラスフィルム積層体１０の搬送時にはガラスフィルム積層体１０の幅方向の両端部を検出するが、その両端部では、はみ出した支持フィルム１の端部１ａ，１ｂが検出されるおそれがある。その結果、例えば露光マスク等がガラスフィルム３に対して斜めに配置されるおそれがあり、パターン形成等の加工不具合が生じて加工時の位置精度が低下するおそれがある。

幅の差（Ａ−Ｂ）が＋１ｍｍを超えた場合、すなわちガラスフィルム３の幅Ａが支持フィルム１の幅Ｂよりも１ｍｍを超えて広い場合は、ガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂが支持フィルム１の端部１ａ，１ｂからはみ出す。その結果、ガラスフィルム積層体１０の製造工程中、又は、得られたガラスフィルム積層体１０をハンドリングする際に、支持フィルムの端部１ａ，１ｂからはみ出たガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂに、キズや亀裂が生じるおそれがある。

（ガラスフィルムと支持フィルムの端部間距離）
ガラスフィルム３の幅方向Ｘの各端部３ａ，３ｂからその各端部３ａ，３ｂ側における支持フィルム１の幅方向Ｘの各端部１ａ，１ｂまでの距離ａ，ｂが、ガラスフィルム１の幅方向Ｘの端部３ａ，３ｂから内方に向かって±０．５ｍｍ以内であることが望ましい。詳しくは、ガラスフィルム３の幅方向Ｘの端部３ａからその端部３ａ側における支持フィルム１の幅方向Ｘの端部１ａまでの距離ａが、ガラスフィルム３の幅方向Ｘの端部３ａから内方に向かって±０．５ｍｍ以内であること、及び、ガラスフィルム３の幅方向Ｘの端部３ｂからその端部３ｂ側における支持フィルム１の幅方向Ｘの端部１ｂまでの距離ｂが、ガラスフィルム３の幅方向Ｘの端部３ｂから内方に向かって±０．５ｍｍ以内であることが望ましい。

ガラスフィルム３と支持フィルム１とは、両者の端部（３ａ，３ｂと１ａ，１ｂ）が一致又は実質的に一致するように貼り合わされているが、上記した±０．５ｍｍ以内の距離ａ，ｂは、その際の一致の程度を示すものである。端部間の距離ａ，ｂが０．５ｍｍ以内になるということは、上記した幅の差（｜Ａ−Ｂ｜）が１ｍｍ以内のガラスフィルム３と支持フィルム１とが同位置又は実質的に同位置に貼り合わされているということである。したがって、幅の差（｜Ａ−Ｂ｜）が１ｍｍ以内のガラスフィルム３と支持フィルム１とが同位置に貼り合わされることによって、端部間の距離ａ，ｂが±０．５ｍｍ以内になる。なお、「＋」は、ガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂから内方向に支持フィルム１の端部１ａ，１ｂが存在している場合であり、「−」は、ガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂから外方向に支持フィルム１の端部１ａ，１ｂがはみ出している場合である。

こうした距離ａ，ｂで貼り合わされたガラスフィルム積層体１０は、幅方向Ｘの端部で、ガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂ及び支持フィルムの端部１ａ，１ｂのいずれもがはみ出していない又は実質的にはみ出していない。その結果、粘着層２が露出しない又は実質的に露出しないので、ガラスフィルム積層体１０をロール巻きする際に、重なり合ったガラスフィルム積層体同士が貼り付くことがなく、また、ガラスフィルム積層体１０をロール搬送する際に、そのロール等の搬送部材にガラスフィルム積層体１０が貼り付いてしまうこともない。さらに、支持フィルム１がはみ出さない又は実質的にはみ出さないので、ガラスフィルム積層体１０の搬送時にガラスフィルム積層体１０の幅方向Ｘの両端部を検出する。その結果、例えば露光マスク等がガラスフィルム３に対して斜めに配置されることがなく、パターン形成等の加工不具合を防ぐことができ、加工時の位置精度を低下させない。また、ガラスフィルム３がはみ出さない又は実質的にはみ出さないので、ガラスフィルム積層体１０の製造工程中、又は得られたガラスフィルム積層体１０をハンドリングする際に、ガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂにキズや亀裂が生じるおそれがない。

距離ａ，ｂが±０．５ｍｍを超える場合とは、上記したガラスフィルム３の幅Ａと支持フィルム１の幅Ｂの差（｜Ａ−Ｂ｜）が１ｍｍ以内であるという前提を考慮すれば、ガラスフィルム３と支持フィルム１とを同位置に貼り合わることができず、左右にずれて不均衡になった場合である。

距離ａ，ｂが−０．５ｍｍを超えた場合、すなわち支持フィルム１の端部１ａ，１ｂが０．５ｍｍを超えてガラスフィルム３の外方向にはみ出している場合は、支持フィルム１に設けられている粘着層２が、その限度でガラスフィルム積層体１０の端部からはみ出す。その結果、ガラスフィルム積層体１０をロール巻きする際に、重なり合ったガラスフィルム積層体同士が貼り付くおそれがあり、また、ガラスフィルム積層体１０をロール搬送する際に、そのロール等の搬送部材にガラスフィルム積層体１０が貼り付いてしまうおそれがある。さらに、ガラスフィルム積層体１０の搬送時にはガラスフィルム積層体１０の幅方向Ｘの両端部を検出するが、両端部のうち支持フィルム１がはみ出した側の端部では、支持フィルム１の端部１ａ，１ｂが検出されるおそれがある。その結果、例えば露光マスク等がガラスフィルム３に対して斜めに配置されるおそれがあり、パターン形成等の加工不具合が生じて加工時の位置精度が低下するおそれがある。

距離ａ，ｂが＋０．５ｍｍを超えた場合、すなわちガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂが０．５ｍｍを超えて支持フィルム１の外方向にはみ出している場合は、ガラスフィルム積層体１０の製造工程中、又は、得られたガラスフィルム積層体１０をハンドリングする際に、はみ出したガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂに、キズや亀裂が生じるおそれがある。

なお、ガラスフィルム３の幅Ａ、支持フィルム１の幅Ｂ、ガラスフィルム３の幅方向Ｘの各端部３ａ，３ｂと支持フィルム１の各端部１ａ，１ｂとの距離ａ，ｂは、種々の方法で測定できる。本発明及び後述する各実施例では、測定対象であるガラスフィルム３、支持フィルム１及びガラスフィルム積層体１０を平面視した際の拡大画像と、基準スケールの拡大画像とを比較して測定した。

（その他の構成）
ガラスフィルム３上には、図４に示すように、膜４を設けてもよい。膜４は特に限定されないが、例えば、透明電極膜、金属膜、半導体膜、レジスト膜、有機化合物膜、無機化合物膜等から選ばれるいずれか１種又は２種以上の膜を挙げることができる。特にこうした膜４が、その用途に応じてパターニングされていることが好ましい。

パターニング方法は、従来公知の各種の方法を適用でき、特に限定されない。例えば、レジストを用いたフォトリソグラフィを適用してパターニングしてもよいし、ドライエッチングやウエットエッチングでパターニングしてもよい。

ガラスフィルム３上にパターニングされた膜４を設けてなるガラスフィルム積層体１０の例としては、例えば、有機ＥＬディスプレイ用素子基板、液晶ディスプレイ用素子基板、カラーフィルタ用素子基板、太陽電池用素子基板等を挙げることができる。有機ＥＬディスプレイ用素子基板では、ガラスフィルム積層体１０のガラスフィルム３上に、パターニングされたＩＴＯ等の透明電極膜等を設けることができる。液晶ディスプレイ用素子基板では、同様のパターニングされたＩＴＯ等の透明電極膜や、パターニングされた配向膜を設けることができる。カラーフィルタ用素子基板では、同様のパターニングされたＩＴＯ等の透明電極膜や、着色層区画用隔壁、及び着色層等を設けることができる。また、太陽電池用素子基板では、同様のパターニングされたＩＴＯ等の透明電極膜等を設けることができる。また、これらの各素子基板に各種の機能膜パターンを形成するために、ガラスフィルム３上にレジスト膜を成膜し、そのレジスト膜を例えばフォトリソグラフィでパターニングしてなる膜４であってもよい。

本発明に係るガラスフィルム積層体１０は、上記のように、ロール巻き時等の貼り付き防止及び加工時の位置精度向上という効果を奏するので、そうした効果を奏するガラスフィルム積層体１０にパターニングされた膜４が設けられることによって、そのガラスフィルム積層体１０を例えば有機ＥＬディスプレイ用素子基板、液晶ディスプレイ用素子基板、カラーフィルタ用素子基板、太陽電池用素子基板等として用いて有機ＥＬディスプレイ、液晶ディスプレイ、カラーフィルタ、太陽電池等を製造した場合に、工程不具合を少なくすることができ、且つ多種のパターンを位置精度よく形成できるという効果を奏する。

［ガラスフィルム積層体の製造方法］
本発明に係るガラスフィルム積層体１０の製造方法は、粘着層２が設けられた支持フィルム１を準備する工程と、支持フィルム１の幅Ｂとの差（｜Ａ−Ｂ｜）が１ｍｍ以内の幅Ａのガラスフィルム３を準備する工程と、ガラスフィルム３の幅方向Ｘの各端部３ａ，３ｂから該各端部３ａ，３ｂ側における支持フィルム１の幅方向Ｘの各端部１ａ，１ｂまでの距離ａ，ｂが、ガラスフィルム３の幅方向Ｘの端部３ａ，３ｂから内方に向かって±０．５ｍｍ以内であるように、粘着層２を介してガラスフィルム３と支持フィルム１とを貼り合わせる工程と、を有する。

この製造方法は、上記した本発明に係るガラスフィルム積層体１０を製造するための一態様である。上記した本発明に係るガラスフィルム積層体１０は他の方法で製造したものであってもよい。なお、ガラスフィルム積層体１０を製造し、さらに図４に示すように、パターニングされた膜４等を設けて、有機ＥＬディスプレイ用素子基板、液晶ディスプレイ用素子基板、カラーフィルタ用素子基板、太陽電池用素子基板等を製造した後又は製造途中で、粘着層２付きの支持フィルム１を剥離してもよい。

図５は、この製造方法を実施することができるガラスフィルム積層体１０の製造装置２０の一例を示す模式図である。図５に示すように、ロール巻き状の支持フィルムロール２３は支持フィルム供給部２２に装着され、ロール巻き状のガラスフィルムロール２５はガラスフィルム供給部２４に装着されている。支持フィルムロール２３は、粘着層２が片面に設けられた支持フィルム１がカバーシートを介してロール巻きされており、そのカバーシートを剥離しながら支持フィルムロール２３から繰り出された支持フィルム１と、ガラスフィルムロール２５から繰り出されたガラスフィルム３とが貼り合わせ部２６で貼り合わされる。なお、支持フィルム１とガラスフィルム３とは、必要に応じて配置されたガイドローラ２８で貼り合わせ部２６まで案内される。

貼り合わせ部２６では、ニップローラ３０によって、支持フィルム１とガラスフィルム３とを粘着層２を介して貼り合わせる。貼り合わせた後のガラスフィルム積層体１０は、搬送路３２を通って巻取部３４に送られ、ロール巻き状のガラスフィルム積層体ロール３６となる。

この製造方法で製造されたガラスフィルム積層体１０は、上記した本発明に係るガラスフィルム積層体１０と同様、支持フィルム１の端部１ａ，１ｂとガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂとが同位置又は実質的に同位置に配置され、支持フィルム１に設けられている粘着層２が露出しない又は実質的に露出しない。その結果、ガラスフィルム積層体１０をロール巻きする際に、重なり合ったガラスフィルム積層体同士が貼り付くことがなく、また、ガラスフィルム積層体１０をロール搬送する際に、そのロール等の搬送部材にガラスフィルム積層体１０が貼り付いてしまうこともない。さらに、ガラスフィルム積層体１０の搬送時にはガラスフィルム積層体１０の幅方向の両端部を検出するが、その両端部では、支持フィルム１の端部位置とガラスフィルム３の端部位置とが同位置又は実質的に同位置であるので、例えば露光マスク等がガラスフィルムに対して斜めに配置されることがなく、パターン形成等の加工不具合を防ぐことができ、加工時の位置精度を低下させない。

以下、実施例により本発明をさらに詳しく説明する。なお、本発明は以下の実施例の内容のみには限定されない。以下の実施例では、ガラスフィルム積層体１０を製造し、さらにフォトリソグラフィ工程に供してガラスフィルム積層体１０上に設けた膜４をパターニングした場合に、その一連の工程で、ロール巻き時の貼り付き、パターンの位置精度、端部の割れについて評価した。

［実施例１］
支持フィルム１として、厚さ５９μｍ、幅３００ｍｍ、長さ１０ｍの粘着層付きＰＥＴフィルム（日東電工株式会社製、ＲＰ２０７）が３インチのコアに巻かれた支持フィルムロール２３を準備した。この支持フィルム１に設けられた粘着層２上には、カバーシートが剥離自在に貼り付けられている。ガラスフィルム３として、厚さ７０μｍ、幅３００ｍｍ、長さ１０ｍの薄板ガラス（日本電気硝子株式会社製、ＯＡ−１０Ｇ）が６インチのコアに巻かれたガラスフィルムロール２５を準備した。

続いて、図５に示したラミネート装置を用い、支持フィルム供給部２２に支持フィルムロール２３を設置し、ガラスフィルム供給部２４にガラスフィルムロール２５を設置した。続いて、ガラスフィルムロール２５から繰り出したガラスフィルム３と、支持フィルムロール２３から繰り出した支持フィルム１とを、各々のフィルムの中心合わせを行って貼り合わせ部２６のニップローラ３０でラミネートした。その後、搬送路３２を搬送させて、直径が６インチのコアに巻き取り、ガラスフィルム積層体ロール３６を作製した。

次に、ガラスフィルム積層体ロール３６を塗工装置（図示しない）の巻出部にセットし、ガラスフィルム積層体１０を繰り出した。続いて、繰り出されたガラスフィルム積層体１０のガラスフィルム３上に、マイクログラビア印刷によってフォトレジストを塗布し、その後に巻き取った。続いて、フォトレジストを形成した後のガラスフィルム積層体ロールを露光装置の巻出部にセットし、ガラスフィルム積層体ロールを繰り出した。なお、露光装置への繰り出しはガラスフィルム積層体１０の端部３ａ，３ｂを超音波センサで検出し、ガラスフィルム積層体１０の端部３ａ，３ｂが一定の位置となるようにして露光ステージに搬送し、５回の露光動作を実施した。続いて、現像装置を用いて現像を行い、５箇所にパターンが形成されたパターン付ガラスフィルム積層体１０を得た。

得られたガラスフィルム積層体１０において、ガラスフィルム３の端部３ａから支持フィルムの端部１ａまでの距離ａは±０ｍｍであり、ガラスフィルム３の端部３ｂから支持フィルムの端部１ｂまでの距離ｂも±０ｍｍであった。

［実施例２］
実施例１において、貼り合わせ部２６でのガラスフィルム３と支持フィルム１との貼り合わせ位置を制御して、ガラスフィルム３の端部３ａから支持フィルムの端部１ａまでの距離ａを＋０．５ｍｍとし、ガラスフィルム３の端部３ｂから支持フィルムの端部１ｂまでの距離ｂを−０．５ｍｍとした他は、実施例１と同様にして、パターン付ガラスフィルム積層体を得た。

［実施例３］
実施例１において、粘着層付きＰＥＴフィルム（日東電工株式会社製、ＲＰ２０７）の幅を２９９ｍｍとし、貼り合わせ部２６でのガラスフィルム３と支持フィルム１との貼り合わせ位置を制御して、ガラスフィルム３の端部３ａから支持フィルムの端部１ａまでの距離ａを＋０．５ｍｍとし、ガラスフィルム３の端部３ｂから支持フィルムの端部１ｂまでの距離ｂも＋０．５ｍｍとした他は、実施例１と同様にして、パターン付ガラスフィルム積層体を得た。

［実施例４］
実施例１において、粘着層付きＰＥＴフィルム（日東電工株式会社製、ＲＰ２０７）の幅を３０１ｍｍとし、貼り合わせ部２６でのガラスフィルム３と支持フィルム１との貼り合わせ位置を制御して、ガラスフィルム３の端部３ａから支持フィルムの端部１ａまでの距離ａを−０．５ｍｍとし、ガラスフィルム３の端部３ｂから支持フィルムの端部１ｂまでの距離ｂも−０．５ｍｍとした他は、実施例１と同様にして、パターン付ガラスフィルム積層体を得た。

［比較例１］
実施例１において、粘着層付きＰＥＴフィルム（日東電工株式会社製、ＲＰ２０７）の幅を２９８ｍｍとし、貼り合わせ部２６でのガラスフィルム３と支持フィルム１との貼り合わせ位置を制御して、ガラスフィルム３の端部３ａから支持フィルムの端部１ａまでの距離ａを＋１ｍｍとし、ガラスフィルム３の端部３ｂから支持フィルムの端部１ｂまでの距離ｂも＋１ｍｍとした他は、実施例１と同様にして、パターン付ガラスフィルム積層体を得た。

［比較例２］
実施例３において、貼り合わせ部２６でのガラスフィルム３と支持フィルム１との貼り合わせ位置を制御して、ガラスフィルム３の端部３ａから支持フィルムの端部１ａまでの距離ａを＋１ｍｍとし、ガラスフィルム３の端部３ｂから支持フィルムの端部１ｂまでの距離ｂを±０ｍｍとした他は、実施例３と同様にして、パターン付ガラスフィルム積層体を得た。

［比較例３］
実施例４において、貼り合わせ部２６でのガラスフィルム３と支持フィルム１との貼り合わせ位置を制御して、ガラスフィルム３の端部３ａから支持フィルムの端部１ａまでの距離ａを−１ｍｍとし、ガラスフィルム３の端部３ｂから支持フィルムの端部１ｂまでの距離ｂを±０ｍｍとした他は、実施例４と同様にして、パターン付ガラスフィルム積層体を得た。

［測定と結果］
実施例１〜４及び比較例１〜３により得られたパターン付ガラスフィルム積層体について、上記したように、ガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂと支持フィルム１の端部１ａ，１ｂとの距離ａ，ｂを表１示した。距離ａ，ｂの「＋」の数値は、支持フィルム１の端部１ａ，１ｂがガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂの内方に存在する場合であり、「−」の数値は、支持フィルム１の端部１ａ，１ｂがガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂよりも外側にはみ出た場合である。

表１中の搬送テストの評価項目である「ロール巻き時の貼り付き」、「パターンの位置精度」及び「端部の割れ」は、作製したガラスフィルム積層体１０を用いてフォトリソグラフィ工程を経た後に評価したものである。ここで、「ロール巻き時の貼り付き」とは、作製したガラスフィルム積層体１０をロール巻きした場合に、ガラスフィルム積層体１０同士が貼り付くか否かを評価した結果であり、「１」は全く貼り付かなかった場合とし、「２」は僅かに貼り付きがあったと思われる程度に良好な場合とし、「３」は貼り付きが生じていた場合とした。また、「パターンの位置精度」とは、５つのパターン各々において、ガラスフィルム積層体１０に形成された膜パターン４（図４参照）が、ガラスフィルム積層体１０を構成するガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂに対する形成位置として所定の位置に形成されているか否かを評価した結果であり、「１」は膜パターンの形成位置が良好な場合とし、「２」は膜パターンの形成位置が厳密には僅かにずれているがあまり問題にならない場合とし、「３」は支持フィルムの端部１ａ，１ｂに対しては精度よく設けられていたが、ガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂに対する精度としてはやや不十分な場合とした。また、「端部の割れ」とは、ガラスフィルム積層体１０の製造工程後及び膜パターンの形成工程後に、作製したガラスフィルム積層体１０を構成するガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂに割れや傷が生じていたか否かの評価であり、「１」は割れや傷が全く生じていなかった場合とし、「２」は僅かに傷があったが実用上あまり問題ない場合とし、「３」は傷又は割れが生じていた場合とした。

なお、総合評価として、「○」は使用可能なもので、「△」は「３」の評価が少なくとも１つあるもの又は全部が「２」であるもので、使用にはやや問題があるものとした。

表１の結果から分かるように、幅の差（｜Ａ−Ｂ｜）が１ｍｍ以内であり、距離ａ，ｂが±０．５ｍｍ以内の場合（実施例１〜４）には、ガラスフィルム積層体１０のロール巻き時の貼り付きが起こらず、パターニング工程でのパターン位置精度も低下せず、ガラスフィルム３の端部の割れも生じなかった。

１ 支持フィルム
１ａ，１ｂ 支持フィルムの端部
２ 粘着層
３ ガラスフィルム
３ａ，３ｂ ガラスフィルムの端部
１０，１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ ガラスフィルム積層体
２０ ガラスフィルム積層体の製造装置
２２ 支持フィルム供給部
２３ 支持フィルムロール
２４ ガラスフィルム供給部
２５ ガラスフィルムロール
２６ 貼り合わせ部
２８ ガイドローラ
３０ ニップローラ
３２ 搬送路
３４ 巻取部
３６ ガラスフィルム積層体ロール
Ａ ガラスフィルムの幅
Ｂ 支持フィルムの幅
ａ ガラスフィルムの一方の端部から支持フィルムの端部までの距離
ｂ ガラスフィルムの他方の端部から支持フィルムの端部までの距離

Claims (1)

1. 粘着層が片面に設けられた長尺態様の支持フィルムを準備する工程と、
   前記支持フィルムの幅Ｂとの差（｜Ａ−Ｂ｜）が１ｍｍ以内の幅Ａの長尺態様のガラスフィルムを準備する工程と、
   前記ガラスフィルムの幅方向の各端部から該各端部側における前記支持フィルムの幅方向の各端部までの距離が、前記ガラスフィルムの幅方向端部から内方に向かって±０．５ｍｍ以内であるように、前記粘着層を介して前記ガラスフィルムと前記支持フィルムとを貼り合わせる工程と、を有することを特徴とするガラスフィルム積層体の製造方法。

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