JP6743731B2 - 透明導電性フィルム積層体、透明導電性フィルムの製造方法およびタッチセンサーパネルの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、例えばタッチセンサーパネルの製造に用いられる透明導電性フィルム積層体と、その透明導電性フィルム積層体を用いた透明導電性フィルムの製造方法と、上記タッチセンサーパネルの製造方法とに関するものである。

タッチセンサーパネル等に用いられる透明導電性フィルムは、例えば真空装置において、図１１に示すように、ロールから繰り出されるフィルム基材１０１を冷却ドラム１０２で冷却しながら、スパッタリング等により、フィルム基材１０１上に透明導電膜を成膜することによって製造される。

このようにして製造される透明導電性フィルムにおいて、近年では、フィルム基材１０１の薄膜化が進んでいる。フィルム基材１０１が薄くなると、フィルム基材１０１が搬送中に破断しやすくなり、そのフィルム基材１０１を含む透明導電性フィルムも搬送中に破断しやすくなる。

この点、例えば特許文献１では、保護フィルム上に透明導電性フィルムを積層した積層体が提案されている。保護フィルムを用いることにより、積層体全体にコシ（剛性）を付与することができるため、透明導電性フィルムの搬送中の破断を抑えることができると考えられる。また、特許文献１では、上記の保護フィルムにおいて、透明導電性フィルムとは反対側の面に、表面凹凸を形成している。上記の表面凹凸は、アンチブロッキング性（積層体を巻き取ったときのフィルム同士の貼り付きを防止する機能）を発揮するため、破断の起点となりやすいアンチブロッキング層（例えば任意の粒子を添加した樹脂層）を保護フィルムに設けることなく、巻き取り時のブロッキングを抑えるようにしている。つまり、アンチブロッキング層を設けることによる破断も抑えられる。

一方、透明導電膜が成膜されるフィルム基材と保護フィルムとを積層した積層体において、フィルム基材として例えばシクロオレフィン系樹脂を用い、保護フィルムとしてＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）樹脂を用いると、透明導電膜の加熱加工後に、両者の熱収縮率や線膨張係数の違いにより、積層体にカールが生じ、その後の搬送に支障をきたす。そこで、特許文献２では、保護フィルム上に、粘着剤層、フィルム基材および透明導電膜をこの順で有する構成において、フィルム基材としてシクロオレフィン系樹脂を用い、保護フィルムとしてポリカーボネート系樹脂を用いることで、過剰な熱収縮を抑制し、積層体にカールが生じるのを抑えるよう試みている。

特開２０１６−１０７５０４号公報（請求項１、２、段落〔０００４〕、〔０００８〕〜〔００１１〕、図１等参照） 特開２０１６−１０７５０３号公報（請求項１、５、段落〔０００６〕、〔０００８〕〜〔００１３〕、図１等参照）

ところで、透明導電膜を成膜するまでのフィルム基材の搬送中の破断防止については、特許文献１では一切検討されていないが、例えば、保護フィルム上に粘着剤層を介して薄型のフィルム基材を積層し、真空プロセスによって上記フィルム基材上に透明導電膜を成膜することにより、フィルム基材が保護フィルムによって補強されるため、フィルム基材の搬送中の破断を防止できるとも考えられる。そして、この方法において、特許文献２のように、フィルム基材としてシクロオレフィン系樹脂を用い、保護フィルムとしてポリカーボネート系樹脂を用いることで、真空プロセスでのフィルム基材および保護フィルムの過剰な熱収縮を抑えて、積層体のカールを抑えることができるとも考えられる。

しかし、真空プロセスでは、積層体において透明導電膜の成膜側が高温となり、冷却ドラム側が低温となって温度差が大きく、透明導電膜側のフィルム基材と冷却ドラム側の保護フィルムとで熱収縮の度合いに大きな差が生じる。このため、フィルム基材および保護フィルムを構成する各樹脂として、熱収縮率の近い樹脂を選択しただけでは、積層体のカールの抑制が不十分である。したがって、例えば、熱収縮しようとしても物理的に収縮できない、あるいはその収縮を物理的に抑えることができるような構造を積層体が有していることが望ましいが、このような構造はこれまで全く提案されていない。

本発明は、上記の問題を解決するためになされたものであって、その目的は、熱収縮を物理的に抑えることができるような構造を採用することにより、カールを十分に抑えることができる透明導電性フィルム積層体、透明導電性フィルムの製造方法、およびタッチセンサーパネルの製造方法を提供することにある。

本発明の上記目的は、以下の製造方法によって達成される。

１．保護フィルム上に、粘着剤層、フィルム基材および透明導電膜をこの順で有する透明導電性フィルム積層体であって、
前記フィルム基材および前記保護フィルムの少なくとも一方は、幅手方向の一方の最端部および他方の最端部からそれぞれ前記幅手方向の内側１００ｍｍまでの各端部領域における前記粘着剤層側の面に、凹凸部を有しており、
前記各端部領域における前記凹凸部の表面の実効粗さＲｘは、０．１〜２０μｍであり、
前記粘着剤層は、前記幅手方向において、一方の端部領域の凹凸部と、他方の端部領域の凹凸部との間で、前記一方の端部領域の凹凸部との離間距離が０〜１０ｍｍとなる位置から、前記他方の端部領域の凹凸部との離間距離が０〜１０ｍｍとなる位置にわたって設けられていることを特徴とする透明導電性フィルム積層体。

２．前記フィルム基材が、前記粘着剤層側の面に前記凹凸部を有していることを特徴とする前記１に記載の透明導電性フィルム積層体。

３．前記フィルム基材および前記保護フィルムは、同種の樹脂で構成されていることを特徴とする前記１または２に記載の透明導電性フィルム積層体。

４．前記１から３のいずれかに記載の透明導電性フィルム積層体の前記透明導電膜を加工する加工工程と、
前記透明導電性フィルム積層体から前記保護フィルムを剥離して透明導電性フィルムを取得する工程とを含むことを特徴とする透明導電性フィルムの製造方法。

５．前記４に記載の製造方法によって製造された透明導電性フィルムを２枚用い、各透明導電性フィルムの透明導電膜が接着層側となるように、透明基板上に、一方の透明導電性フィルム、前記接着層、他方の透明導電性フィルムをこの順で積層する工程を含むことを特徴とするタッチセンサーパネルの製造方法。

上記の透明導電性フィルム積層体の構成によれば、フィルム基材および保護フィルムの少なくとも一方は、幅手方向の各端部領域における粘着剤層側の面に、凹凸部を有している。そして、粘着剤層は、幅手方向において、一方の端部領域の凹凸部と、他方の端部領域の凹凸部との間で、一方の端部領域の凹凸部との離間距離が０〜１０ｍｍとなる位置から、他方の端部領域の凹凸部との離間距離が０〜１０ｍｍとなる位置にわたって設けられている。これにより、該積層体が熱収縮するような環境に置かれても、凹凸部が粘着剤層の端部に衝突し、収縮を物理的に抑えることが可能となる。その結果、積層体の熱収縮によるカールを十分に抑えることが可能となる。

本発明の実施の形態に係るタッチパネル表示装置の概略の構成を示す断面図である。 上記タッチパネル表示装置のタッチセンサーパネルの製造に用いられる透明導電性フィルム積層体の一構成例を示す断面図である。 上記透明導電性フィルム積層体を用いて上記タッチセンサーパネルを製造する製造工程の流れを示すフローチャートである。 上記透明導電性フィルム積層体の他の構成を示す断面図である。 上記透明導電性フィルム積層体のさらに他の構成を示す断面図である。 上記透明導電性フィルム積層体のさらに他の構成を示す断面図である。 上記透明導電性フィルム積層体のさらに他の構成を示す断面図である。 上記透明導電性フィルム積層体のさらに他の構成を示す断面図である。 光学フィルムの製造装置の概略の構成を示す説明図である。 上記光学フィルムの製造工程の流れを示すフローチャートである。 真空プロセスによってフィルム基材上に透明導電膜を成膜する様子を模式的に示す説明図である。

本発明の実施の一形態について、図面に基づいて説明すれば以下の通りである。なお、本明細書において、数値範囲をＡ〜Ｂと表記した場合、その数値範囲に下限Ａおよび上限Ｂの値は含まれるものとする。

〔タッチパネル表示装置〕
図１は、本実施形態のタッチパネル表示装置１の概略の構成を示す断面図である。タッチパネル表示装置１は、表示部２上にタッチセンサーパネル３を有して構成されている。表示部２は、例えば液晶表示装置で構成されているが、ＯＬＥＤ（Organic light-Emitting Diode）とも呼ばれる有機ＥＬ（Electro-Luminescence）表示装置など、他の表示装置で構成されていてもよい。

タッチセンサーパネル３は、透明基板としてのガラス基板１１上に、透明導電性フィルム１２、接着層としての光学粘着フィルム１３、透明導電性フィルム１２をこの順で積層して構成されている。各透明導電性フィルム１２は、粘着剤層１５、フィルム基材１６および透明導電膜１７をこの順で積層して構成されている。一方の透明導電性フィルム１２は、粘着剤層１５がガラス基板１１側となり、透明導電膜１７が光学粘着フィルム１３側となるように位置している。他方の透明導電性フィルム１２は、粘着剤層１５が表示部２側となり、透明導電膜１７が光学粘着フィルム１３側となるように位置している。

各透明導電性フィルム１２は、図２に示す透明導電性フィルム積層体１０から、保護フィルム１４を剥離することによって得られる。

〔透明導電性フィルム積層体の概要〕
図２は、透明導電性フィルム積層体１０の一構成例を示す断面図である。透明導電性フィルム積層体１０は、保護フィルム１４上に透明導電性フィルム１２を有している。透明導電性フィルム１２は、保護フィルム１４側から、粘着剤層１５、フィルム基材１６および透明導電膜１７をこの順で有している。なお、透明導電性フィルム１２は、フィルム基材１６の少なくとも一方の面に硬化樹脂層を有する構成であってもよい。

上記の透明導電性フィルム積層体１０は、真空装置内で、フィルム基材１６を、粘着剤層１５を介して保護フィルム１４上に積層した状態で搬送し、フィルム基材１６上に、スパッタリングや蒸着などの真空プロセスによって透明導電膜１７を成膜することによって得られる。

〔透明導電性フィルム積層体を用いたタッチセンサーパネルの製造方法〕
図３は、透明導電性フィルム積層体１０を用いてタッチセンサーパネル３を製造する製造工程の流れを示すフローチャートである。タッチセンサーパネル３の製造方法は、透明導電性フィルム製造工程（Ｓ１）と、積層工程（Ｓ２）とを含む。

Ｓ１の透明導電性フィルム製造工程は、さらに、加工工程（Ｓ１１）と、剥離工程（Ｓ１２）とを含む。Ｓ１１の加工工程では、透明導電性フィルム積層体１０の透明導電膜１７を加工する。この加工工程は、加熱によって透明導電膜１７の導電材料を結晶化させる結晶化工程を含む。なお、上記加工工程は、上記結晶化工程の後、透明導電膜１７をエッチングして所望の形状にパターニングするパターニング工程を含んでいてもよい。

Ｓ１２の剥離工程では、透明導電性フィルム積層体１０から保護フィルム１４を剥離する。これにより、フィルム基材１６の一方の面に加工された透明導電膜１７を有し、他方の面に粘着剤層１５を有する透明導電性フィルム１２を取得することができる。なお、透明導電性フィルム積層体１０から保護フィルム１４を粘着剤層１５とともに剥離して透明導電性フィルム１２を得るようにしてもよい。この場合は、フィルム基材１６上に透明導電膜１７を有する透明導電性フィルム１２を得ることができる。

Ｓ２の積層工程では、Ｓ１の工程によって製造される透明導電性フィルム１２を２枚用い、図１で示したように、各透明導電性フィルム１２の透明導電膜１７が光学粘着フィルム１３側となるように、ガラス基板１１上に、一方の透明導電性フィルム１２、光学粘着フィルム１３、他方の透明導電性フィルム１２をこの順で積層する。これにより、タッチセンサーパネル３が得られる。

〔透明導電性フィルム積層体の詳細な構成〕
以下、上記した透明導電性フィルム積層体１０の詳細な構成について、図２に基づいて説明する。なお、本実施形態の透明導電性フィルム積層体１０は長尺状であり、フィルム面内で長手方向に垂直な方向を幅手方向とする。また、透明導電性フィルム積層体１０を構成する各フィルム（透明導電性フィルム１２、保護フィルム１４、フィルム基材１６）についても同様に、フィルム面内で長手方向に垂直な方向を幅手方向とする。なお、長尺状の透明導電性フィルム積層体１０は、巻芯に巻き取られた状態で保管または搬送されるため、各フィルムの幅手方向は、透明導電性フィルム積層体１０を巻き取ったときの巻芯方向に沿う方向であるとも言える。

保護フィルム１４およびフィルム基材１６は、両方とも、粘着剤層１５側の面に凹凸部を有している。より詳しくは、保護フィルム１４は、幅手方向の一方の最端部から幅手方向の内側１００ｍｍまでの第１の端部領域Ｒ１における粘着剤層１５側の面１４ａに、第１の凹凸部１４Ｐ_１を有しているとともに、幅手方向の他方の最端部から幅手方向の内側１００ｍｍまでの第２の端部領域Ｒ２における粘着剤層１５側の面１４ａに、第２の凹凸部１４Ｐ_２を有している。また、フィルム基材１６は、第１の端部領域Ｒ１における粘着剤層１５側の面１６ａに、第１の凹凸部１６Ｐ_１を有しているとともに、第２の端部領域Ｒ２における粘着剤層１５側の面１６ａに、第２の凹凸部１６Ｐ_２を有している。第１の凹凸部１４Ｐ_１・１６Ｐ_１および第２の凹凸部１４Ｐ_２・１６Ｐ_２は、同図の例では、第１の端部領域Ｒ１および第２の端部領域Ｒ２の一部（例えば幅手方向の最端部を除く部位）に形成されている。なお、第１の端部領域Ｒ１および第２の端部領域Ｒ２の幅は、フィルムの幅手最端部から１００ｍｍ以下の範囲で適宜設定されればよい。

なお、以下では、第１の凹凸部１４Ｐ_１および／または第２の凹凸部１４Ｐ_２のことを、単に凹凸部１４Ｐとも称し、第１の凹凸部１６Ｐ_１および／または第２の凹凸部１６Ｐ_２のことを、単に凹凸部１６Ｐとも称する。

凹凸部１４Ｐ・１６Ｐの表面の実効粗さＲｘは、０．１〜２０μｍである。上記の実効粗さＲｘは、例えば接触式膜厚計（ミツトヨ社製）を用いて、押し込み圧４ｋＰａにて、保護フィルム１４の凹凸部１４Ｐを有した部分を測定した値（膜厚ｄ１）と保護フィルム１４の面１４ａを有した部分を測定した値（膜厚ｄ２）との差により、また、フィルム基材１６の凹凸部１６Ｐを有した部分を測定した値（膜厚ｄ３）とフィルム基材の面１６ａを有した部分を測定した値（膜厚ｄ４）との差により、求めることができる。すなわち、Ｒｘ（μｍ）＝ｄ１（μｍ）−ｄ２（μｍ）、または、Ｒｘ（μｍ）＝ｄ３（μｍ）−ｄ４（μｍ）である。

このような凹凸部１４Ｐ・１６Ｐは、保護フィルム１４およびフィルム基材１６の製膜工程（例えば後述する溶液流延製膜法による製膜工程）において、製膜されたフィルムの幅手方向の端部にエンボスローラーを押し付けて形成されてもよいし、インクジェット法によって硬化材料の液滴を上記端部に吐出し、これを硬化（例えば紫外線硬化）させることによって形成されてもよい。

保護フィルム１４とフィルム基材１６との間に位置する粘着剤層１５は、幅手方向において、一方の第１の端部領域Ｒ１の第１の凹凸部１４Ｐ_１・１６Ｐ_１と、他方の第２の端部領域Ｒ２の第２の凹凸部１４Ｐ_２・１６Ｐ_２との間に位置している。より詳しくは、粘着剤層１５は、幅手方向において、第１の凹凸部１４Ｐ_１・１６Ｐ_１との離間距離が０ｍｍとなる位置Ａ_１から、第２の凹凸部１４Ｐ_２・１６Ｐ_２との離間距離が０ｍｍとなる位置Ａ_２にわたって連続して（分離されずに）設けられている。したがって、粘着剤層１５は、凹凸部１４Ｐ・１６Ｐとは重なっていない。

上記の離間距離は、後述する本実施形態の作用効果を発現する観点から、０〜１０ｍｍの間で適宜設定可能である。図４は、上記の離間距離をＤ（ｍｍ）として、Ｄ≠０ｍｍのときの、凹凸部１４Ｐ・１６Ｐと粘着剤層１５との位置関係を示している。したがって、以上のことをまとめると、粘着剤層１５は、幅手方向において、一方の第１の端部領域Ｒ１の第１の凹凸部１４Ｐ_１・１６Ｐ_１と、他方の第２の端部領域Ｒ２の第２の凹凸部１４Ｐ_２・１６Ｐ_２との間で、第１の凹凸部１４Ｐ_１・１６Ｐ_１との離間距離Ｄが０〜１０ｍｍとなる位置Ａ_１から、第２の凹凸部１４Ｐ_２・１６Ｐ_２との離間距離Ｄが０〜１０ｍｍとなる位置Ａ_２にわたって連続して設けられていると言うことができる。

上記のように、粘着剤層１５が保護フィルム１４とフィルム基材１６との間で、位置Ａ_１から位置Ａ_２にわたって設けられていることにより、真空プロセスでの透明導電膜１７の成膜時や、その後の透明導電膜１７の加工工程（Ｓ１１等）のように、透明導電性フィルム積層体１０が熱収縮するような環境にあり、保護フィルム１４およびフィルム基材１６が幅手方向に熱収縮しようとしても、凹凸部１４Ｐ・１６Ｐがそれよりも幅手方向の内側に位置する粘着剤層１５の端部に衝突する。これにより、保護フィルム１４およびフィルム基材１６の熱収縮を物理的に抑えることが可能となり、保護フィルム１４およびフィルム基材１６の熱収縮の差（寸法変動の差）に起因する透明導電性フィルム積層体１０のカールを十分に抑えることが可能となる。したがって、その後の透明導電性フィルム積層体１０のカールによる搬送不良を低減することが可能となり、透明導電性フィルム積層体１０を安定かつ連続して生産することが可能となる。

特に、幅手方向において、凹凸部１４Ｐ・１６Ｐと粘着剤層１５との離間距離Ｄが０〜１０ｍｍであるため、粘着剤層１５の端部への凹凸部１４Ｐ・１６Ｐの衝突によって、保護フィルム１４およびフィルム基材１６の熱収縮を抑える効果を確実に発現させることができる。なお、上記の作用効果を確実に発現する観点から、離間距離Ｄは小さいほうが好ましい。より具体的には、Ｄ＝０〜５ｍｍであることが好ましく、Ｄ＝０ｍｍであることがより好ましい（図２参照）。

また、凹凸部１４Ｐ・１６Ｐの表面の実効粗さＲｘが、０．１μｍ未満であると、凹凸部１４Ｐ・１６Ｐの表面が平面に近づくため、凹凸部１４Ｐ・１６Ｐを粘着剤層１５の端部に衝突させることによって得られる効果（熱収縮を抑える効果）の発現が不十分になるおそれがある。一方、凹凸部１４Ｐ・１６Ｐの表面の実効粗さＲｘが、２０μｍを超えると、保護フィルム１４上に粘着剤層１５を介してフィルム基材１６を保持するために、粘着剤層１５の厚さを増大させることが必要となる。これは図１で示したタッチセンサーパネル３の厚さの増大を招くため、好ましくはない。以上のことを考慮して、本実施形態では、凹凸部１４Ｐ・１６Ｐの表面の実効粗さＲｘを、０．１〜２０μｍの範囲に設定している。なお、上記実効粗さＲｘの好ましい範囲は、０．５〜１０μｍであり、より好ましい範囲は、１〜５μｍである。

また、本実施形態の透明導電性フィルム１２の製造方法は、図３で示したように、透明導電性フィルム積層体１０の透明導電膜１７を加工する加工工程（Ｓ１１）と、透明導電性フィルム積層体１０から保護フィルム１４を剥離して透明導電性フィルム１２を取得する剥離工程（Ｓ１２）とを含む。上記した透明導電性フィルム積層体１０の構成によれば、保護フィルム１４およびフィルム基材１６の熱収縮による透明導電性フィルム積層体１０のカールを抑えて搬送不良を低減できるため、上記各工程を経て、透明導電性フィルム１２を安定して取得することができる。

また、本実施形態のタッチセンサーパネル３の製造方法は、上記加工工程および上記剥離工程を含む製造方法によって取得される透明導電性フィルム１２を２枚用い、各透明導電性フィルム１２の透明導電膜１７が光学粘着フィルム１３側となるように、ガラス基板１１上に、一方の透明導電性フィルム１２、光学粘着フィルム１３、他方の透明導電性フィルム１２をこの順で積層する積層工程（Ｓ２）を含む。上記した透明導電性フィルム１２の製造方法によれば、透明導電性フィルム１２を安定して取得できるため、その透明導電性フィルム１２を用いてタッチセンサーパネル３を安定して製造でき、その生産性を向上させることができる。

ところで、保護フィルム１４およびフィルム基材１６が異種材料で構成されていると、熱収縮率や線膨張係数などの特性の違いにより、透明導電膜１７の成膜時の真空プロセスにおいて、フィルム基材１６よりも冷却ドラム側の保護フィルム１４の収縮が、同種材料の場合よりもさらに大きくなり、透明導電性フィルム積層体１０のカールが生じやすくなる。このため、透明導電性フィルム積層体１０のカールを確実に抑える観点からは、保護フィルム１４およびフィルム基材１６は、同種の樹脂で構成されていることが好ましい。例えば、保護フィルム１４およびフィルム基材１６は両方とも、シクロオレフィン系樹脂で構成されていることが好ましい。

〔透明導電性フィルム積層体の他の構成〕
図５は、透明導電性フィルム積層体１０の他の構成を示す断面図である。透明導電性フィルム積層体１０において、保護フィルム１４およびフィルム基材１６のうち、フィルム基材１６のみが、凹凸部１６Ｐを有していてもよい。つまり、フィルム基材１６は、第１の端部領域Ｒ１における粘着剤層１５側の面１６ａに、第１の凹凸部１６Ｐ_１を有し、第２の端部領域Ｒ２における粘着剤層１５側の面１６ａに、第２の凹凸部１６Ｐ_２を有していてもよい。この場合、フィルム基材１６が幅手方向に熱収縮しようとしても、第１の凹凸部１６Ｐ_１および第２の凹凸部１６Ｐ_２が粘着剤層１５の端部に衝突してフィルム基材１６の熱収縮を物理的に抑えることができるため、フィルム基材１６の熱収縮による透明導電性フィルム積層体１０のカールを抑えることができる。

図６は、透明導電性フィルム積層体１０のさらに他の構成を示す断面図である。透明導電性フィルム積層体１０において、保護フィルム１４およびフィルム基材１６のうち、保護フィルム１４のみが、凹凸部１４Ｐを有していてもよい。つまり、保護フィルム１４は、第１の端部領域Ｒ１における粘着剤層１５側の面１４ａに、第１の凹凸部１４Ｐ_１を有し、第２の端部領域Ｒ２における粘着剤層１５側の面１４ａに、第２の凹凸部１４Ｐ_２を有していてもよい。この場合、保護フィルム１４が幅手方向に熱収縮しようとしても、第１の凹凸部１４Ｐ_１および第２の凹凸部１４Ｐ_２が粘着剤層１５の端部に衝突して保護フィルム１４の熱収縮を物理的に抑えることができるため、保護フィルム１４の熱収縮による透明導電性フィルム積層体１０のカールを抑えることができる。

図７は、透明導電性フィルム積層体１０のさらに他の構成を示す断面図である。保護フィルム１４およびフィルム基材１６の粘着剤層１５側の面１４ａ・１６ａに形成される凹凸部１４Ｐ・１６Ｐは、第１の端部領域Ｒ１および第２の端部領域Ｒ２の幅手方向の全体にわたって形成されていてもよい。

図８は、透明導電性フィルム積層体１０のさらに他の構成を示す断面図である。透明導電性フィルム積層体１０において、保護フィルム１４は、粘着剤層１５側の面１４ａに凹凸部１４Ｐを有する一方、フィルム基材１６は、粘着剤層１５とは反対側の面１６ｂに凹凸部１６Ｐ’を有していてもよい。つまり、フィルム基材１６は、第１の端部領域Ｒ１における面１６ｂに、第１の凹凸部１６Ｐ’_１を有し、第２の端部領域Ｒ２における面１６ｂに、第２の凹凸部１６Ｐ’_２を有していてもよい。この構成であっても、第１の凹凸部１４Ｐ_１および第２の凹凸部１４Ｐ_２の間に粘着剤層１５が位置するため、図６の構成の場合と同様に、保護フィルム１４が幅手方向に熱収縮しようとしても、第１の凹凸部１４Ｐ_１および第２の凹凸部１４Ｐ_２が粘着剤層１５の端部に衝突して保護フィルム１４の熱収縮を物理的に抑えることができる。これにより、保護フィルム１４の熱収縮による透明導電性フィルム積層体１０のカールを抑えることができる。

〔各層の材料等について〕
次に、透明導電性フィルム積層体を構成する各層の材料等について説明する。

＜透明導電性フィルム＞
（フィルム基材）
フィルム基材は、特に制限されないが、透明性を有する各種のプラスチックフィルムが用いられる。当該プラスチックフィルムは、例えば、その材料として、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等のポリエステル系樹脂、アセテート系樹脂、ポリエーテルスルホン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂（ＰＣ）、ポリアミド系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）、（メタ）アクリル系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、ポリ塩化ビニリデン系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポリビニルアルコール系樹脂、ポリアリレート系樹脂、ポリフェニレンサルファイド系樹脂、シクロオレフィン系樹脂等が挙げられる。中でも、フィルム基材は、シクロオレフィン系樹脂またはポリカーボネート系樹脂で形成されることが、光学特性の制御が容易な点で好ましい。

シクロオレフィン系樹脂としては、環状オレフィン（シクロオレフィン）からなるモノマーのユニットを有する樹脂であれば特に限定されるものではない。フィルム基材に用いられるシクロオレフィン系樹脂としては、シクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ）またはシクロオレフィンコポリマー（ＣＯＣ）のいずれであってもよい。シクロオレフィンコポリマーとは、環状オレフィンとエチレン等のオレフィンとの共重合体である非結晶性の環状オレフィン系樹脂のことをいう。

上記環状オレフィンとしては、多環式の環状オレフィンと単環式の環状オレフィンとが存在している。かかる多環式の環状オレフィンとしては、ノルボルネン、メチルノルボルネン、ジメチルノルボルネン、エチルノルボルネン、エチリデンノルボルネン、ブチルノルボルネン、ジシクロペンタジエン、ジヒドロジシクロペンタジエン、メチルジシクロペンタジエン、ジメチルジシクロペンタジエン、テトラシクロドデセン、メチルテトラシクロドデセン、ジメチルシクロテトラドデセン、トリシクロペンタジエン、テトラシクロペンタジエンなどが挙げられる。また、単環式の環状オレフィンとしては、シクロブテン、シクロペンテン、シクロオクテン、シクロオクタジエン、シクロオクタトリエン、シクロドデカトリエンなどが挙げられる。

シクロオレフィン系樹脂は、市販品としても入手可能であり、例えば、日本ゼオン社製「ＺＥＯＮＯＲ」、ＪＳＲ社製「ＡＲＴＯＮ」、ポリプラスチック社製「ＴＯＰＡＳ」、三井化学社製「ＡＰＥＬ」などが挙げられる。

ポリカーボネート系樹脂は、特に限定されないが、例えば、脂肪族ポリカーボネート、芳香族ポリカーボネート、脂肪族−芳香族ポリカーボネートなどが挙げられる。具体的には、例えば、ビスフェノール類を用いたポリカーボネート（ＰＣ）としてビスフェノールＡポリカーボネート、分岐ビスフェノールＡポリカーボネート、発砲ポリカーボネート、コポリカーボネート、ブロックコポリカーボネート、ポリエステルカーボネート、ポリホスホネートカーボネート、ジエチレングリコールビスアリルカーボネート（ＣＲ−３９）などが挙げられる。ポリカーボネート系樹脂には、ビスフェノールＡポリカーボネートブレンド、ポリエステルブレンド、ＡＢＳブレンド、ポリオレフィンブレンド、スチレン−無水マレイン酸共重合体ブレンドのような他成分とブレンドしたものも含まれる。ポリカーボネート樹脂の市販品としては、恵和社製「オプコン」、帝人社製「パンライト」、三菱ガス化学製「ユーピロン（紫外線吸収剤含有ポリカーボネート）」等が挙げられる。

フィルム基材には、表面に予めスパッタリング、コロナ放電、火炎、紫外線照射、電子線照射、化成、酸化などのエッチング処理や下塗り処理を施して、フィルム基材上に形成される透明導電膜との密着性を向上させるようにしてもよい。また、透明導電膜を形成する前に、必要に応じて溶剤洗浄や超音波洗浄などにより、フィルム基材表面を除塵、清浄化してもよい。

フィルム基材の厚みは、１０〜１５０μｍの範囲内であることが好ましく、１５〜１００μｍの範囲内であることがより好ましく、１５〜４０μｍの範囲内であることが更に好ましい。フィルム基材の厚みが上記範囲の下限未満であると、機械的強度が不足して破断が生じやすくなり、厚みが上記範囲の上限を超えると、透明導電膜の耐擦傷性やタッチパネル用としての打点特性の向上が図れない場合がある。

フィルム基材を形成するシクロオレフィン系樹脂またはポリカーボネート系樹脂のガラス転移温度は、１３０℃以上であることが好ましく、１４０℃以上であることがより好ましい。これにより、熱処理工程後のカール発生を抑制し、寸法安定性を向上させ、その後の工程歩留りを確保することができる。

（透明導電膜）
透明導電膜の構成材料は、無機物を含む限り特に限定されず、インジウム、スズ、亜鉛、ガリウム、アンチモン、チタン、珪素、ジルコニウム、マグネシウム、アルミニウム、金、銀、銅、パラジウム、タングステンからなる群より選択される少なくとも１種の金属の金属酸化物が好適に用いられる。当該金属酸化物には、必要に応じて、さらに上記群に示された金属原子を含んでいてもよい。例えば酸化スズを含有する酸化インジウム（ＩＴＯ）、アンチモンを含有する酸化スズ（ＡＴＯ）などが好ましく用いられる。

透明導電膜の厚みは、特に制限されないが、その表面抵抗を１×１０^３Ω／□以下の良好な導電性を有する連続被膜とするには、厚みを１０ｎｍ以上とするのが好ましい。膜厚は、厚くなりすぎると透明性の低下などをきたすため、１５〜３５ｎｍであることが好ましく、より好ましくは２０〜３０ｎｍの範囲内である。透明導電膜の厚みが、１０ｎｍ未満であると、膜表面の電気抵抗が高くなり、かつ連続被膜になり難くなる。また、透明導電膜の厚みが、３５ｎｍを超えると透明性の低下などをきたす場合がある。

透明導電膜の形成方法は、特に限定されず、従来公知の方法を採用することができる。具体的には、例えば真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等のドライプロセスを例示できる。また、必要とする膜厚に応じて適宜の方法を採用することもできる。

透明導電膜は、必要に応じて加熱アニール処理（例えば、大気雰囲気下、８０〜１５０℃で３０〜９０分間程度）を施して結晶化することができる。透明導電膜を結晶化することで、透明導電膜が低抵抗化されることに加えて、透明性および耐久性が向上する。非晶質の透明導電膜を結晶質に転化させる手段は、特に限定されないが、空気循環式オーブンやＩＲヒーターなどが用いられる。

「結晶質」の定義については、フィルム基材上に透明導電膜が形成された透明導電性フィルムを、２０℃、濃度５重量％の塩酸に１５分間浸漬した後、水洗・乾燥し、１５ｍｍ間の端子間抵抗をテスタにて測定を行い、端子間抵抗が１０ｋΩを超えない場合、ＩＴＯ膜の結晶質への転化が完了したものとする。なお、表面抵抗値の測定は、ＪＩＳ Ｋ７１９４に準じて、４端子法により測定できる。

また、透明導電膜は、エッチング等によりパターン化されてもよい。透明導電膜のパターン化に関しては、従来公知のフォトリソグラフィの技術を用いて行うことができる。エッチング液としては、酸が好適に用いられる。酸としては、例えば、塩化水素、臭化水素、硫酸、硝酸、リン酸等の無機酸、酢酸等の有機酸、およびこれらの混合物、ならびにそれらの水溶液があげられる。例えば、静電容量方式のタッチパネルやマトリックス式の抵抗膜方式のタッチパネルに用いられる透明導電性フィルムにおいては、透明導電膜がストライプ状にパターン化されることが好ましい。なお、エッチングにより透明導電膜をパターン化する場合、先に透明導電膜の結晶化を行うと、エッチングによるパターン化が困難となる場合がある。そのため、透明導電膜のアニール処理は、透明導電膜をパターン化した後に行うことが好ましい。

透明導電膜がスパッタリング法等のドライプロセスによって形成される場合、フィルム基材を保護フィルム上に粘着層を介して積層した状態で搬送し、フィルム基材上に透明導電膜を形成し、ロール・トゥ・ロールによって、長尺状の透明導電性フィルム積層体として連続的に処理することが好ましい。透明導電性フィルム積層体とすることで、ロール・トゥ・ロール製法において、透明導電性フィルム積層体の破断を防止することができ、その後の工程歩留りを確保できる。

（粘着剤層）
粘着剤層としては、透明性を有するものであれば特に制限なく使用できる。具体的には、例えば、アクリル系ポリマー、シリコーン系ポリマー、ポリエステル、ポリウレタン、ポリアミド、ポリビニルエーテル、酢酸ビニル／塩化ビニルコポリマー、変性ポリオレフィン、エポキシ系、フッ素系、天然ゴム、合成ゴム等のゴム系などのポリマーをベースポリマーとするものを適宜に選択して用いることができる。特に、光学的透明性に優れ、適度な濡れ性、凝集性および接着性等の粘着特性を示し、耐候性や耐熱性等にも優れるという点からは、アクリル系粘着剤が好ましく用いられる。

粘着剤層の形成方法は特に制限されず、剥離ライナーに粘着剤組成物を塗布し、乾燥後、保護フィルムに転写する方法（転写法）、保護フィルムに、直接、粘着剤組成物を塗布、乾燥する方法（直写法）や共押出しによる方法等があげられる。なお、粘着剤には、必要に応じて粘着付与剤、可塑剤、充填剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、シランカップリング剤等を適宜に使用することもできる。

粘着剤層の好ましい厚みは、５μｍ〜１００μｍであり、より好ましくは１０μｍ〜５０μｍであり、より好ましくは１５μｍから３５μｍである。

＜保護フィルム＞
保護フィルムは、ロールによる巻き取りなどの取り扱い性等を考慮して、非晶性樹脂で形成されることが好ましい。非晶性樹脂としては、特に限定されないが、透明性、機械的強度、熱安定性、水分遮断性、等方性などに優れるものが好ましく、ポリカーボネート、シクロオレフィン、ポリ塩化ビニル、ポリメチルメタクリレートなどのアクリル系樹脂、ポリスチレン、ポリメチルメタクリレートスチレン共重合体、ポリアクリロニトリル、ポリアクリロニトリルスチレン共重合体、ハイインパクトポリスチレン（ＨＩＰＳ）、アクリロニトルブタジエンスチレン共重合体（ＡＢＳ樹脂）、ポリアリレート、ポリサルフォン、ポリエーテルサルフォン、ポリフェニレンエーテル等が挙げられる。熱処理工程後のカール発生を抑制し、寸法安定性を向上させる観点から、前述したフィルム基材のようなシクロオレフィン系樹脂やポリカーボネート系樹脂などが好ましい。

保護フィルムを形成する非晶性樹脂のガラス転移温度は、１３０℃以上であることが好ましく、１４０℃以上であることがより好ましい。これにより、熱処理工程後のカール発生を抑制し、寸法安定性を向上させ、その後の工程歩留りを確保可能である。

保護フィルムは、フィルム基材と同様に、表面に予めスパッタリング、コロナ放電、火炎、紫外線照射、電子線照射、化成、酸化などのエッチング処理や下塗り処理を施して、保護フィルム上の粘着剤層等との密着性を向上させるようにしてもよい。また、粘着剤層を形成する前に、必要に応じて溶剤洗浄や超音波洗浄などにより、保護フィルム表面を除塵、清浄化してもよい。

保護フィルムの厚みは、１０〜１５０μｍが好ましく、１５〜１００μｍがより好ましく、１５〜４０μｍが更に好ましい。保護フィルムの厚みが上記範囲の下限未満であると、機械的強度が不足して破断が生じやすくなり、厚みが上記範囲の上限を超えると、透明導電膜の耐擦傷性やタッチパネル用としての打点特性の向上が図れない場合がある。

〔フィルムの製造方法〕
上記したフィルム基材および保護フィルム（以下、まとめて「光学フィルム」とも記載する）は、例えば溶液流延製膜法によって製造することができる。図９は、本実施形態の光学フィルムの製造装置３１の概略の構成を示す説明図であり、図１０は、上記光学フィルムの製造工程の流れを示すフローチャートである。本実施形態の光学フィルムの製造方法は、溶液流延製膜法によって光学フィルムを製造する方法であり、攪拌調製工程（Ｓ３１）、流延工程（Ｓ３２）、剥離工程（Ｓ３３）、第１乾燥工程（Ｓ３４）、延伸工程（Ｓ３５）、第２乾燥工程（Ｓ３６）、切断工程（Ｓ３７）、エンボス加工工程（Ｓ３８）、巻取工程（Ｓ３９）を含む。以下、各工程について説明する。

＜攪拌調製工程＞
攪拌調製工程では、攪拌装置５０の攪拌槽５１にて、少なくとも樹脂および溶媒を攪拌し、支持体３３（エンドレスベルト）上に流延するドープを調製する。上記樹脂として、例えばシクロオレフィン系樹脂やポリカーボネート系樹脂を用いることができる。溶媒としては、良溶媒および貧溶媒の混合溶媒を用いることができる。なお、良溶媒とは、樹脂を溶解させる性質（溶解性）を有する有機溶媒を言い、１，３−ジオキソラン、ＴＨＦ（テトラヒドロフラン）、メチルエチルケトン、アセトン、酢酸メチル、塩化メチレン（ジクロロメタン）などがこれに相当する。一方、貧溶媒とは、単独では樹脂を溶解させる性質を有していない溶媒を言い、メタノールやエタノールなどがこれに相当する。

＜流延工程＞
流延工程では、攪拌調製工程で調製されたドープを、加圧型定量ギヤポンプ等を通して、導管によって流延ダイ３２に送液し、無限に移送する回転駆動ステンレス鋼製エンドレスベルトよりなる支持体３３上の流延位置に流延ダイ３２からドープを流延する。そして、流延したドープを支持体３３上で乾燥させて、流延膜３５（ウェブ）を形成する。流延ダイ３２の傾き、すなわち、流延ダイ３２から支持体３３へのドープの吐出方向は、支持体３３の面（ドープが流延される面）の法線に対する角度で０°〜９０°の範囲内となるように適宜設定されればよい。

支持体３３は、一対のロール３３ａ・３３ｂおよびこれらの間に位置する複数のロール（不図示）によって保持されている。ロール３３ａ・３３ｂの一方または両方には、支持体３３に張力を付与する駆動装置（不図示）が設けられており、これによって支持体３３は張力が掛けられて張った状態で使用される。

流延工程では、支持体３３上に流延されたドープにより形成された流延膜３５を、支持体３３上で加熱し、支持体３３から剥離ロール３４によって流延膜３５が剥離可能になるまで溶媒を蒸発させる。溶媒を蒸発させるには、ウェブ側から風を吹かせる方法や、支持体３３の裏面から液体により伝熱させる方法、輻射熱により表裏から伝熱する方法等があり、適宜、単独であるいは組み合わせて用いればよい。

＜剥離工程＞
上記の流延工程にて、支持体３３上で流延膜３５が剥離可能な膜強度となるまで乾燥固化あるいは冷却凝固させた後、剥離工程では、流延膜３５を、自己支持性を持たせたまま剥離ロール３４によって剥離する。

なお、剥離時点での支持体３３上での流延膜３５の残留溶媒量は、乾燥の条件の強弱、支持体３３の長さ等により、５０〜１２０質量％の範囲であることが望ましい。残留溶媒量がより多い時点で剥離する場合、流延膜３５が柔らか過ぎると剥離時平面性を損ね、剥離張力によるシワや縦スジが発生しやすいため、経済速度と品質との兼ね合いで剥離時の残留溶媒量が決められる。なお、残留溶媒量は、下記式で定義される。

残留溶媒量（質量％）＝（ウェブの加熱処理前質量−ウェブの加熱処理後質量）／
（ウェブの加熱処理後質量）×１００
ここで、残留溶媒量を測定する際の加熱処理とは、１１５℃で１時間の加熱処理を行うことを表す。

＜第１乾燥工程＞
支持体３３から剥離された流延膜３５は、乾燥装置３６にて乾燥される。乾燥装置３６内では、側面から見て千鳥状に配置された複数の搬送ロールによって流延膜３５が搬送され、その間に流延膜３５が乾燥される。乾燥装置３６での乾燥方法は、特に制限はなく、一般的に熱風、赤外線、加熱ロール、マイクロ波等を用いて流延膜３５を乾燥させる。簡便さの点から、熱風で流延膜３５を乾燥させる方法が好ましい。なお、第１乾燥工程は、必要に応じて行われればよい。

＜延伸工程＞
延伸工程では、乾燥装置３６にて乾燥された流延膜３５を、テンター３７によって延伸する。このときの延伸方向としては、フィルム搬送方向（ＭＤ方向；Machine Direction）、フィルム面内で上記搬送方向に垂直な幅手方向（ＴＤ方向；Transverse Direction）、これらの両方向、のいずれかである。延伸工程では、流延膜３５の両側縁部をクリップ等で固定して延伸するテンター方式が、フィルムの平面性や寸法安定性を向上させるために好ましい。なお、テンター３７内では、延伸に加えて乾燥を行ってもよい。延伸工程において、流延膜３５をＭＤ方向およびＴＤ方向の両方向に延伸することにより、流延膜３５をＭＤ方向およびＴＤ方向に対して斜めに交差する方向に延伸（斜め延伸）することもできる。

＜第２乾燥工程＞
テンター３７にて延伸された流延膜３５は、乾燥装置３８にて乾燥される。乾燥装置３８内では、側面から見て千鳥状に配置された複数の搬送ロールによって流延膜３５が搬送され、その間に流延膜３５が乾燥される。乾燥装置３８での乾燥方法は、特に制限はなく、一般的に熱風、赤外線、加熱ロール、マイクロ波等を用いて流延膜３５を乾燥させる。簡便さの点から、熱風で流延膜３５を乾燥させる方法が好ましい。

流延膜３５は、乾燥装置３８にて乾燥された後、光学フィルムＦとして巻取装置４１に向かって搬送される。

＜切断工程、エンボス加工工程＞
乾燥装置３８と巻取装置４１との間には、切断部３９およびエンボス加工部４０がこの順で配置されている。切断部３９では、製膜された光学フィルムＦを搬送しながら、その幅手方向の両端部を、スリッターによって切断する切断工程が行われる。光学フィルムＦにおいて、両端部の切断後に残った部分は、フィルム製品となる製品部を構成する。一方、光学フィルムＦから切断された部分は、シュータにて回収され、再び原材料の一部としてフィルムの製膜に再利用される。

切断工程の後、光学フィルムＦの幅手方向の両端部には、エンボス加工部４０により、エンボス加工（ナーリング加工）が施される。エンボス加工は、加熱されたエンボスローラーを光学フィルムＦの両端部に押し当てることにより行われる。エンボスローラーの表面には細かな凹凸が形成されており、エンボスローラーを光学フィルムＦの両端部に押し当てることで、上記両端部に凹凸が形成される。このようなエンボス加工により、次の巻取工程での巻きズレやブロッキング（フィルム同士の貼り付き）を極力抑えることができる。

＜巻取工程＞
最後に、エンボス加工が終了した光学フィルムＦを、巻取装置４１によって巻き取り、光学フィルムＦの元巻（フィルムロール）を得る。すなわち、巻取工程では、光学フィルムＦを搬送しながら巻芯に巻き取ることにより、フィルムロールが製造される。光学フィルムＦの巻き取り方法は、一般に使用されているワインダーを用いればよく、定トルク法、定テンション法、テーパーテンション法、内部応力一定のプログラムテンションコントロール法等の張力をコントロールする方法があり、それらを使い分ければよい。光学フィルムＦの巻長は、１０００〜７２００ｍであることが好ましい。また、その際の幅は１０００〜３２００ｍｍ幅であることが好ましく、膜厚は１０〜１５０μｍであることが好ましい。

〔実施例〕
以下、本発明の具体的な実施例について説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるわけではない。

なお、以下での説明において、透明導電性フィルム積層体のフィルム基材および／または保護フィルムの粘着剤層側の面において、フィルム幅手方向の一方の端部および他方の端部のそれぞれに凹凸部が形成されるとき、フィルム幅手方向において、粘着剤層と一方の凹凸部との離間距離、および、粘着剤層と他方の凹凸部との離間距離を、それぞれＤ（ｍｍ）とする。

≪実施例１≫
＜保護フィルムＰ−１の作製＞
（ドープの調製）
下記組成物をミキシングタンクに投入し、攪拌して各成分を溶解した後、平均孔径３４μｍの濾紙および平均孔径１０μｍの焼結金属フィルターで濾過してシクロオレフィン重合体溶液を調製した。
〈ドープ組成〉
シクロオレフィン重合体（ＪＳＲ社製「アートン」（登録商標）） １５０質量部
ジクロロメタン ３８０質量部

次に、上記で調整したシクロオレフィン重合体溶液を含む下記組成物を分散機に投入し、微粒子分散液を調製した。
〈微粒子分散液〉
微粒子（アエロジルＲ８１２：日本アエロジル社製、一次平均粒子径：７ｎｍ、見掛け比重５０ｇ／Ｌ） ４質量部
ジクロロメタン ７６質量部
シクロオレフィン重合体溶液 １０質量部

そして、上記シクロオレフィン重合体溶液１００質量部と、上記微粒子分散液０．７５質量部とを混合し、製膜用ドープを調製した。

（保護フィルムの作製）
上記で調製した製膜用ドープを、次いで、無端ベルト流延装置を用い、ドープを温度３１℃、１８００ｍｍ幅でステンレスベルト支持体上に均一に流延した。ステンレスベルト支持体の温度は、２８℃に制御した。

ステンレスベルト支持体上で、流延（キャスト）したフィルム中の残留溶剤量が３０質量％になるまで溶剤を蒸発させた。次いで、剥離張力１２８Ｎ／ｍで、ステンレスベルト支持体上から流延膜（ウェブ）を剥離した。剥離したウェブを乾燥ゾーンに導入し、多数のローラーで搬送させながら乾燥を終了させた。そして、ウェブに１６０℃の熱を付与しながら、テンターを用いて幅方向に５％延伸した後、テンタークリップで挟んだ部分を含んだ１００ｍｍの端部をレーザーカッターでスリットし、その後、エンボスロールを通過させて、幅方向の各端部において、フィルム最端部より５〜２０ｍｍの領域に、表面の実効粗さＲｘ＝５μｍの凹凸部を有する、厚さ３０μｍの保護フィルムＰ−１を作製した。

＜フィルム基材Ｆ−１の作製＞
上記した保護フィルムＰ−１の作製と同様の方法で、フィルム基材Ｆ−１を作製した。

＜積層フィルムＬ−１の作製＞
通常の溶液重合法により、ノルマルブチルアクリレート／アクリル酸＝１００／６（重量比）にて、重量平均分子量５０万のアクリルポリマーを合成した。このアクリルポリマー１００重量部に対し、エポキシ系架橋剤（三菱瓦斯化学社製 商品名「テトラッドＣ（登録商標）」）６重量部を添加して、アクリル粘着剤を作製した。

そして、離型処理されたＰＥＴフィルムの離型処理面上に前記のようにして得たアクリル粘着剤を塗布し、厚み２０μｍの粘着剤層を形成した。

その後、上記で作製した保護フィルムＰ−１の凹凸（エンボス）のある面に、一方の凹凸部の幅手方向の最も内側の位置（フィルム最端部から内側に２０ｍｍの位置）から他方の凹凸部の幅手方向の最も内側の端部（フィルム最端部から内側に２０ｍｍの位置）にかけて粘着剤層が位置するように、ＰＥＴフィルムを貼合した。その後、離型処理されたＰＥＴフィルムを剥離して保護フィルムＰ−１上に粘着剤層を転写させた。

次に、保護フィルムＰ−１と、上記で作製したフィルム基材Ｆ−１とを粘着剤層を介して貼り合わせて、積層フィルムＬ−１を作製した。このとき、フィルム基材Ｆ−１における一方の凹凸部の幅手方向の最も内側の位置（フィルム最端部から幅手内側に２０ｍｍの位置）から他方の凹凸部の幅手方向の最も内側の位置（フィルム最端部から幅手内側に２０ｍｍの位置）にかけて粘着剤層が位置するように、保護フィルムＰ−１およびフィルム基材Ｆ−１を位置合わせして、積層フィルムＬ−１を作製した。

＜透明導電性フィルム積層体Ｂ−１の作製＞
その後、積層フィルムＬ−１を巻き取り式スパッタ装置に投入し、フィルム基材Ｆ−１の表面に、厚みが２７ｎｍの非晶質のインジウム・スズ酸化物層（組成：ＳｎＯ_２ １０ｗｔ％；以下、ＩＴＯとも称する）を成膜して、透明導電性フィルム積層体Ｂ−１を作製した。より詳しくは、積層フィルムＬ−１をグロー放電して前処理した後、マグネトロン式スパッタ装置の真空槽内に、ＩＴＯターゲットに対峙して配置し、空気をアルゴンに完全置換して得た真空度２×１０^−３トールの環境下、印加電圧ＤＣ９ｋＷで１ｍ／ｍｉｎでスパッタ蒸着を行った。次いで、特開平１１-２４３２９６号公報の段落〔００４６〕〜〔００５０〕を参照して、フィルム基材Ｆ−１上にＩＴＯの導電層を形成し、透明導電性フィルム積層体Ｂ−１を得た。なお、透明導電性フィルム積層体Ｂ−１において、Ｄ＝０ｍｍである。

≪実施例２≫
製膜時のエンボスロールを変更して、形成する凹凸の表面の実効粗さＲｘを０．５μｍに変更した以外は、保護フィルムＰ−１の作製と同様にして、保護フィルムＰ−２およびフィルム基材Ｆ−２を作製した。そして、保護フィルムＰ−１およびフィルム基材Ｆ−１を、保護フィルムＰ−２およびフィルム基材Ｆ−２にそれぞれ変更した以外は、積層フィルムＬ−１の作製と同様にして、積層フィルムＬ−２を作製した。また、積層フィルムＬ−１を積層フィルムＬ−２に変更した以外は、透明導電性フィルム積層体Ｂ−１の作製と同様にして、透明導電性フィルム積層体Ｂ−２を作製した。なお、透明導電性フィルム積層体Ｂ−２において、Ｄ＝０ｍｍである。

≪実施例３≫
製膜時のエンボスロールを変更して、形成する凹凸の表面の実効粗さＲｘを１０μｍに変更した以外は、保護フィルムＰ−１の作製と同様にして、保護フィルムＰ−３およびフィルム基材Ｆ−３を作製した。そして、保護フィルムＰ−１およびフィルム基材Ｆ−１を、保護フィルムＰ−３およびフィルム基材Ｆ−３にそれぞれ変更した以外は、積層フィルムＬ−１の作製と同様にして、積層フィルムＬ−３を作製した。また、積層フィルムＬ−１を積層フィルムＬ−３に変更した以外は、透明導電性フィルム積層体Ｂ−１の作製と同様にして、透明導電性フィルム積層体Ｂ−３を作製した。なお、透明導電性フィルム積層体Ｂ−３において、Ｄ＝０ｍｍである。

≪実施例４≫
製膜時のエンボスロールを変更して、形成する凹凸の表面の実効粗さＲｘを２０μｍに変更した以外は、保護フィルムＰ−１の作製と同様にして、保護フィルムＰ−４およびフィルム基材Ｆ−４を作製した。そして、保護フィルムＰ−１およびフィルム基材Ｆ−１を、保護フィルムＰ−４およびフィルム基材Ｆ−４にそれぞれ変更した以外は、積層フィルムＬ−１の作製と同様にして、積層フィルムＬ−４を作製した。また、積層フィルムＬ−１を積層フィルムＬ−４に変更した以外は、透明導電性フィルム積層体Ｂ−１の作製と同様にして、透明導電性フィルム積層体Ｂ−４を作製した。なお、透明導電性フィルム積層体Ｂ−４において、Ｄ＝０ｍｍである。

≪実施例５≫
製膜時のエンボスロールを変更して、凹凸部の形成領域を、フィルム最端部より幅手方向の内側に５〜１０ｍｍの領域に変更した以外は、保護フィルムＰ−１の作製と同様にして、保護フィルムＰ−５およびフィルム基材Ｆ−５を作製した。そして、保護フィルムＰ−１およびフィルム基材Ｆ−１を、保護フィルムＰ−５およびフィルム基材Ｆ−５にそれぞれ変更した以外は、積層フィルムＬ−１の作製と同様にして、積層フィルムＬ−５を作製した。また、積層フィルムＬ−１を積層フィルムＬ−５に変更した以外は、透明導電性フィルム積層体Ｂ−１の作製と同様にして、透明導電性フィルム積層体Ｂ−５を作製した。なお、透明導電性フィルム積層体Ｂ−５において、Ｄ＝０ｍｍである。

≪実施例６≫
保護フィルムＰ−１およびフィルム基材Ｆ−１の各凹凸部に対する粘着剤層の幅手方向の離間距離Ｄが、それぞれ１０ｍｍとなるように、保護フィルムＰ−１およびフィルム基材Ｆ−１を粘着剤層を介して貼り合わせた以外は、積層フィルムＬ−１の作製と同様にして、積層フィルムＬ−６を作製した。そして、積層フィルムＬ−１を積層フィルムＬ−６に変更した以外は、透明導電性フィルム積層体Ｂ−１の作製と同様にして、透明導電性フィルム積層体Ｂ−６を作製した。

≪実施例７≫
製膜時のエンボスロールを変更して、凹凸部の形成領域を、フィルム最端部より幅手方向の内側に５〜１００ｍｍの領域に変更した以外は、保護フィルムＰ−１の作製と同様にして、保護フィルムＰ−７およびフィルム基材Ｆ−７を作製した。そして、保護フィルムＰ−１およびフィルム基材Ｆ−１を、保護フィルムＰ−７およびフィルム基材Ｆ−７にそれぞれ変更した以外は、積層フィルムＬ−１の作製と同様にして、積層フィルムＬ−７を作製した。また、積層フィルムＬ−１を積層フィルムＬ−７に変更した以外は、透明導電性フィルム積層体Ｂ−１の作製と同様にして、透明導電性フィルム積層体Ｂ−７を作製した。なお、透明導電性フィルム積層体Ｂ−７において、Ｄ＝０ｍｍである。

≪実施例８≫
シクロオレフィン重合体をポリカーボネート系樹脂に変更してドープを調製し、製膜を行った以外は、保護フィルムＰ−１の作製と同様にして、保護フィルムＰ−８を作製した。そして、保護フィルムＰ−１を保護フィルムＰ−８に変更した以外は、積層フィルムＬ−１の作製と同様にして、積層フィルムＬ−８を作製した。また、積層フィルムＬ−１を積層フィルムＬ−８に変更した以外は、透明導電性フィルム積層体Ｂ−１の作製と同様にして、透明導電性フィルム積層体Ｂ−８を作製した。なお、透明導電性フィルム積層体Ｂ−８において、Ｄ＝０ｍｍである。

≪実施例９≫
エンボスロールによるエンボス加工を省略した以外は、保護フィルムＰ−１の作製と同様にして、フィルム幅手方向の両端に凹凸を有さないフィルム基材Ｆ−９を作製した。そして、フィルム基材Ｆ−１をフィルム基材Ｆ−９に変更した以外は、積層フィルムＬ−１の作製と同様にして、積層フィルムＬ−９を作製した。また、積層フィルムＬ−１を積層フィルムＬ−９に変更した以外は、透明導電性フィルム積層体Ｂ−１の作製と同様にして、透明導電性フィルム積層体Ｂ−９を作製した。なお、透明導電性フィルム積層体Ｂ−９において、Ｄ＝０ｍｍである。ただし、上記Ｄの値は、保護フィルムＰ−１側に形成された凹凸部と粘着剤層との距離である。

≪実施例１０≫
実施例２のフィルム基材Ｆ−２を実施例９のフィルム基材Ｆ−９（凹凸部なし）に変更した以外は、積層フィルムＬ−２の作製と同様にして、積層フィルムＬ−１０を作製した。そして、積層フィルムＬ−２を積層フィルムＬ−１０に変更した以外は、透明導電性フィルム積層体Ｂ−２の作製と同様にして、透明導電性フィルム積層体Ｂ−１０を作製した。なお、透明導電性フィルム積層体Ｂ−１０において、Ｄ＝０ｍｍである。ただし、上記Ｄの値は、保護フィルムＰ−２側に形成された凹凸部と粘着剤層との距離である。

≪実施例１１≫
実施例３のフィルム基材Ｆ−３を実施例９のフィルム基材Ｆ−９（凹凸部なし）に変更した以外は、積層フィルムＬ−３の作製と同様にして、積層フィルムＬ−１１を作製した。そして、積層フィルムＬ−３を積層フィルムＬ−１１に変更した以外は、透明導電性フィルム積層体Ｂ−３の作製と同様にして、透明導電性フィルム積層体Ｂ−１１を作製した。なお、透明導電性フィルム積層体Ｂ−１１において、Ｄ＝０ｍｍである。ただし、上記Ｄの値は、保護フィルムＰ−３側に形成された凹凸部と粘着剤層との距離である。

≪実施例１２≫
実施例５のフィルム基材Ｆ−５を実施例９のフィルム基材Ｆ−９（凹凸部なし）に変更した以外は、積層フィルムＬ−５の作製と同様にして、積層フィルムＬ−１２を作製した。そして、積層フィルムＬ−５を積層フィルムＬ−１２に変更した以外は、透明導電性フィルム積層体Ｂ−５の作製と同様にして、透明導電性フィルム積層体Ｂ−１２を作製した。なお、透明導電性フィルム積層体Ｂ−１２において、Ｄ＝０ｍｍである。

≪実施例１３≫
実施例１のフィルム基材Ｆ−１の表裏を逆にし、このフィルム基材Ｆ−１を、凹凸部とは反対側の面が保護フィルムＰ−１側となるように、粘着剤層を介して保護フィルムＰ−１と貼り合わせた以外は、積層フィルムＬ−１の作製と同様にして、積層フィルムＬ−１３を作製した。そして、積層フィルムＬ−１を積層フィルムＬ−１３に変更した以外は、透明導電性フィルム積層体Ｂ−１の作製と同様にして、透明導電性フィルム積層体Ｂ−１３を作製した。すなわち、透明導電性フィルム積層体Ｂ−１３は、図８の構成に対応するものである。なお、透明導電性フィルム積層体Ｂ−１３において、Ｄ＝０ｍｍである。ただし、上記Ｄの値は、保護フィルムＰ−１側に形成された凹凸部と粘着剤層との距離である。

≪比較例１≫
製膜時のエンボスロールを変更して、形成する凹凸の表面の実効粗さＲｘを０．０５μｍに変更した以外は、保護フィルムＰ−１の作製と同様にして、保護フィルムＰ−２１およびフィルム基材Ｆ−２１を作製した。そして、保護フィルムＰ−１およびフィルム基材Ｆ−１を、保護フィルムＰ−２１およびフィルム基材Ｆ−２１にそれぞれ変更した以外は、積層フィルムＬ−１の作製と同様にして、積層フィルムＬ−２１を作製した。また、積層フィルムＬ−１を積層フィルムＬ−２１に変更した以外は、透明導電性フィルム積層体Ｂ−１の作製と同様にして、透明導電性フィルム積層体Ｂ−２１を作製した。なお、透明導電性フィルム積層体Ｂ−２１において、Ｄ＝０ｍｍである。

≪比較例２≫
製膜時のエンボスロールを変更して、形成する凹凸の表面の実効粗さＲｘを５０μｍに変更した以外は、保護フィルムＰ−１の作製と同様にして、保護フィルムＰ−２２およびフィルム基材Ｆ−２２を作製した。そして、保護フィルムＰ−１およびフィルム基材Ｆ−１を、保護フィルムＰ−２２およびフィルム基材Ｆ−２２にそれぞれ変更した以外は、積層フィルムＬ−１の作製と同様にして、積層フィルムＬ−２２を作製した。また、積層フィルムＬ−１を積層フィルムＬ−２２に変更した以外は、透明導電性フィルム積層体Ｂ−１の作製と同様にして、透明導電性フィルム積層体Ｂ−２２を作製した。なお、透明導電性フィルム積層体Ｂ−２２において、Ｄ＝０ｍｍである。

≪比較例３≫
保護フィルムＰ−１およびフィルム基材Ｆ−１の各凹凸部に対する粘着剤層の幅手方向の離間距離Ｄが、それぞれ５０ｍｍとなるように、保護フィルムＰ−１およびフィルム基材Ｆ−１を粘着剤層を介して貼り合わせた以外は、積層フィルムＬ−１の作製と同様にして、積層フィルムＬ−２３を作製した。そして、積層フィルムＬ−１を積層フィルムＬ−２３変更した以外は、透明導電性フィルム積層体Ｂ−１の作製と同様にして、透明導電性フィルム積層体Ｂ−２３を作製した。

≪比較例４≫
製膜時のエンボスロールを変更して、凹凸部の形成領域を、フィルム最端部より幅手方向の内側に５〜２００ｍｍの領域に変更した以外は、保護フィルムＰ−１の作製と同様にして、保護フィルムＰ−２４およびフィルム基材Ｆ−２４を作製した。そして、保護フィルムＰ−１およびフィルム基材Ｆ−１を、保護フィルムＰ−２４およびフィルム基材Ｆ−２４にそれぞれ変更した以外は、積層フィルムＬ−１の作製と同様にして、積層フィルムＬ−２４を作製した。また、積層フィルムＬ−１を積層フィルムＬ−２４に変更した以外は、透明導電性フィルム積層体Ｂ−１の作製と同様にして、透明導電性フィルム積層体Ｂ−２４を作製した。なお、透明導電性フィルム積層体Ｂ−２４において、Ｄ＝０ｍｍである。

≪比較例５≫
エンボスロールによるエンボス加工を省略した以外は、保護フィルムＰ−１の作製と同様にして、フィルム幅手方向の両端に凹凸を有さない保護フィルムＰ−２５およびフィルム基材Ｆ−９を作製した。そして、保護フィルムＰ−１およびフィルム基材Ｆ−１を、保護フィルムＰ−２５およびフィルム基材Ｆ−９に変更した以外は、積層フィルムＬ−１の作製と同様にして、積層フィルムＬ−２５を作製した。また、積層フィルムＬ−１を積層フィルムＬ−２５に変更した以外は、透明導電性フィルム積層体Ｂ−１の作製と同様にして、透明導電性フィルム積層体Ｂ−２５を作製した。

ここで、上記で作製した透明導電性フィルム積層体と、その透明導電性フィルム積層体を構成する保護フィルム、フィルム基材、積層フィルムとの対応関係を表１に示す。

≪評価≫
［カール性］
上記で作製した各透明導電性フィルム積層体において、タッチセンサーパネルに組み込むときに実用上の問題が生じる程度の曲がり（カール）が発生しているかどうかを調べた。具体的には、各透明導電性フィルム積層体において、粘着剤層のない部分を切り落とした後、温度２５℃、湿度６０％ＲＨの環境で、水平の台に対して透明導電性フィルム積層体の四隅がせり上がった高さを測定してこれらの平均値を算出し、以下の評価基準に基づいて、カールの度合いを評価した。
≪評価基準≫
３：水平の台に対して、透明導電性フィルム積層体のせり上がった高さが、２ｍｍ未満である。
２：水平の台に対して、透明導電性フィルム積層体のせり上がった高さが、２ｍｍ以上５ｍｍ未満である。
１：水平の台に対して、透明導電性フィルム積層体のせり上がった高さが、５ｍｍ以上である（許容範囲外である）。

［タッチセンサーパネル評価］
（タッチパネル表示装置の作製）
上記の手法で、透明導電性フィルム積層体を各実施例および各比較例ごとに２つずつ作製し、各透明導電性フィルム積層体から保護フィルムを剥離して、２枚の透明導電性フィルムを作製した。そして、図１で示すように、ガラス基板上に、透明導電性フィルム、光学粘着フィルム、透明導電性フィルムの順に積層して、タッチセンサーパネルを作製した。

次に、ＳＯＮＹ製２１．５インチＶＡＩＯＴａｐ２１（ＳＶＴ２１２１９ＤＪＢ）の予め貼合されていたタッチセンサーパネルを剥がして、上記作製したタッチセンサーパネルを貼合し、タッチパネル表示装置を作製した。

（抵抗値変化率評価）
得られたタッチパネル表示装置に対し、打鍵試験機２０２型−９５０−２（株式会社タッチパネル研究所製）を用いて打鍵試験を行った。この打鍵試験は、打鍵速度を２Ｈｚ、荷重１５０ｇの条件で、カバーガラス（ガラス基板）側の上方から入力ペンを１万５０００回押し当てて行った。なお、入力ペンのペン先材料はポリアセタールで、Ｒは０．８ｍｍであった。そして、打鍵試験前後のタッチパネル表示装置の端子間抵抗値を測定し、抵抗値の変化率を下記評価基準に基づいて評価した。
≪評価基準≫
５：打鍵試験前後の表面抵抗値の上昇率が、０．１％未満である。
４：打鍵試験前後の表面抵抗値の上昇率が、０．１％以上０．５％未満である。
３：打鍵試験前後の表面抵抗値の上昇率が、０．５％以上１％未満である。
２：打鍵試験前後の表面抵抗値の上昇率が、１％以上であり、許容範囲外である。
１：打鍵後の表面抵抗値が断線のため測定できない。

（タッチパネル応答性評価）
打鍵試験後のタッチパネル表示装置を表示にした状態において、評価者がタッチパネル画面の左端から右端へ指でなぞり、ポインターが下記評価基準に基づいて動作したかを、以下の評価基準に基づいて評価した。
≪評価基準≫
３：５人の評価者が、１人２０回ずつ上記作業を行った時、ポインターが１００回中１００回応答した。
２：５人の評価者が、１人２０回ずつ上記作業を行った時、ポインターが１００回中９９回応答した。
１：５人の評価者が、１人２０回ずつ上記作業を行った時、ポインターが１００回中９８回以下応答した（許容範囲外である）。

（有効幅収率）
上記で作製した各透明導電性フィルム積層体において、タッチセンサーパネルに組み込む時点で得られる使用可能な領域の収率を調べた。具体的には、各透明導電性フィルム積層体において、粘着剤層のない部分および凹凸のある部分を切り落とす前と後のフィルム幅より収率を算出し、以下の評価基準に基づき評価した。すなわち、収率（％）＝（切り落とし後のフィルム幅）／（切り落とし前のフィルム幅））×１００である。
≪評価基準≫
○：収率が９０％以上である。
△：収率が８５％以上９０％未満である。
×：収率が８５％未満である。

各実施例および各比較例の透明導電性フィルム積層体の構成および評価の結果を表２に示す。なお、表２中、ＣＯＰは、シクロオレフィン系樹脂を示し、ＰＣはポリカーボネート系樹脂を示す。

表２より、実施例１〜１３では、透明導電性フィルム積層体のカールが抑えられており、透明導電性フィルム積層体から保護フィルムを剥離して得られる透明導電性フィルムをタッチセンサーパネルに適用した場合でも、打鍵試験前後での表面抵抗値の変化が少なく、応答性も良好であることがわかる。実施例１〜１３では、粘着剤層が、フィルム基材と保護フィルムとの間で、幅手方向の一方の凹凸部と他方の凹凸部との間に設けられており、凹凸部と重なっていない。このため、保護フィルムおよびフィルム基材が幅手方向に熱収縮するような環境にあっても、各凹凸部がそれよりも幅手方向の内側に位置する粘着剤層の端部に衝突し、保護フィルムおよびフィルム基材の熱収縮を物理的に抑えることができるため、透明導電性フィルム積層体のカールが抑えられているものと考えられる。また、透明導電性フィルム積層体のカールが抑えられることで、タッチセンサーパネルの製造時に透明導電性フィルム積層体の良好な搬送性を確保できる。これにより、タッチセンサーパネルを精度よく製造できるため、タッチセンサーパネルにおいて良好な抵抗値変化率および応答性を示すと考えられる。

これに対して、比較例１では、保護フィルムおよびフィルム基材の幅手端部の凹凸部の表面の実効粗さＲｘが小さすぎるため、保護フィルムおよびフィルム基材が幅手方向に熱収縮するような環境にあるときに、凹凸部を粘着剤層に衝突させて熱収縮を物理的に抑える効果が十分得られず、その結果、透明導電性フィルム積層体にカールが生じているものと考えられる。

また、比較例２では、凹凸部の表面の実効粗さＲｘが大きすぎるため、保護フィルムおよびフィルム基材の凹凸同士が粘着剤層厚より厚くなって接触してしまい、端部の十分な接着性が得られなくなる。したがって、比較例１と同様に、熱収縮を物理的に抑える効果が十分得られず、その結果、透明導電性フィルム積層体にカールが生じているものと考えられる。十分な接着性を得るには粘着剤層の増大が必要となる。

また、比較例３では、凹凸部と粘着剤層との離間距離が５０ｍｍと大きすぎるため、熱収縮時に凹凸部を粘着剤層に衝突させることができず、熱収縮を物理的に抑えることができないため、透明導電性フィルム積層体にカールが生じているものと考えられる。比較例４では、凹凸部幅が大きすぎるため、カール性は遜色ないレベルではあるが、得られる有効幅収率に劣り、経済性に見劣りする。

さらに、比較例５では、保護フィルムおよびフィルム基材の幅手端部に凹凸部が設けられておらず、保護フィルムおよびフィルム基材の熱収縮を物理的に抑える構造を透明導電性フィルム積層体が有していないため、透明導電性フィルム積層体にカールが生じているものと考えられる。また、比較例１〜３、５では、透明導電性フィルム積層体のカールを抑えることができない結果、タッチセンサーパネルにおいても抵抗値変化率および応答性が不良になっていると考えられる。

なお、凹凸部の表面の実効粗さＲｘが、比較例１の「０．０５μｍ」では、透明導電性フィルム積層体にカールが発生し、実施例２・１０の「０．５μｍ」では、カールを抑えることができている。このことから、これらの間の「０．１μｍ」にカールを抑えることができる臨界値があると考えられる。つまり、凹凸部の表面の実効粗さＲｘが少なくとも０．１μｍあれば、透明導電性フィルム積層体のカールを抑える効果が得られると言える。

本発明の透明導電性フィルム積層体は、例えばタッチパネル表示装置のタッチセンサーパネルに利用可能である。

３ タッチセンサーパネル
１０ 透明導電性フィルム積層体
１２ 透明導電性フィルム
１３ 光学粘着フィルム（接着層）
１４ 保護フィルム
１４ａ 面
１４Ｐ 凹凸部
１４Ｐ_１ 第１の凹凸部
１４Ｐ_２ 第２の凹凸部
１５ 粘着剤層
１６ フィルム基材
１６ａ 面
１６Ｐ 凹凸部
１６Ｐ_１ 第１の凹凸部
１６Ｐ_２ 第２の凹凸部
１７ 透明導電膜
Ｒ１ 第１の端部領域
Ｒ２ 第２の端部領域

Claims (5)

1. 保護フィルム上に、粘着剤層、フィルム基材および透明導電膜をこの順で有する透明導電性フィルム積層体であって、
   前記フィルム基材および前記保護フィルムの少なくとも一方は、幅手方向の一方の最端部および他方の最端部からそれぞれ前記幅手方向の内側１００ｍｍまでの各端部領域における前記粘着剤層側の面に、凹凸部を有しており、
   前記各端部領域における前記凹凸部の表面の実効粗さＲｘは、０．１〜２０μｍであり、
   前記粘着剤層は、前記幅手方向において、一方の端部領域の凹凸部と、他方の端部領域の凹凸部との間で、前記一方の端部領域の凹凸部との離間距離が０〜１０ｍｍとなる位置から、前記他方の端部領域の凹凸部との離間距離が０〜１０ｍｍとなる位置にわたって設けられていることを特徴とする透明導電性フィルム積層体。
2. 前記フィルム基材が、前記粘着剤層側の面に前記凹凸部を有していることを特徴とする請求項１に記載の透明導電性フィルム積層体。
3. 前記フィルム基材および前記保護フィルムは、同種の樹脂で構成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の透明導電性フィルム積層体。
4. 請求項１から３のいずれかに記載の透明導電性フィルム積層体の前記透明導電膜を加工する加工工程と、
   前記透明導電性フィルム積層体から前記保護フィルムを剥離して透明導電性フィルムを取得する工程とを含むことを特徴とする透明導電性フィルムの製造方法。
5. 請求項４に記載の製造方法によって製造された透明導電性フィルムを２枚用い、各透明導電性フィルムの透明導電膜が接着層側となるように、透明基板上に、一方の透明導電性フィルム、前記接着層、他方の透明導電性フィルムをこの順で積層する工程を含むことを特徴とするタッチセンサーパネルの製造方法。

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