JP7238903B2 - 透明導電層の支持用の積層フィルム - Google Patents

Description

本発明は、例えばタッチセンサーパネルの製造に用いられる、透明導電層の支持用の積層フィルムに関する。

モバイルディスプレイの多くにタッチパネルが搭載されている。このタッチパネルには、透明導電層を基材フィルムで支持した透明導電性フィルムがよく使用されている。この透明導電性フィルムは、透明導電層を支持した基材フィルムと保護フィルムとを粘着剤層を介して積層した透明導電層付き積層体から、上記保護フィルムを粘着剤層とともに剥離することによって得られる。

ここで、上記透明導電層付き積層体の例が特許文献１に開示されている。特許文献１では、基材フィルムおよび保護フィルムにＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）樹脂を用い、基材フィルムと保護フィルムとで熱収縮率の差の絶対値を小さくすることにより、カールの発生を抑えるようにしている。

ところが、ＰＥＴ樹脂は複屈折が非常に大きいため、ＰＥＴ樹脂を含む基材フィルムをディスプレイに組み込んだ場合には虹ムラが発生する。また、ＰＥＴ樹脂を含む保護フィルムを使用した場合は、検査工程にて異物検知感度が低下する。そのため、基材フィルムおよび保護フィルムにシクロオレフィン樹脂（ＣＯＰ樹脂）を用いることが検討されている。例えば特許文献２では、基材フィルムおよび保護フィルムにＣＯＰ樹脂を用い、基材フィルムおよび保護フィルムの熱収縮による寸法変動を抑えることにより、カールの発生量および向きを制御するようにしている。

特許第５５０６０１１号公報（請求項１、段落〔００３２〕、〔００７６〕、図１、図２等参照） 特開２０１６－１０７５０３号公報（請求項１、段落〔００９５〕、〔０１０５〕、〔０１０６〕、図１等参照）

ところで、近年では、ディスプレイにフレキシブル性が求められており、タッチパネルにおいても同様にフレキシブル性が求められている。このフレキシブル性への対応のため、より一層の薄膜化した透明導電性フィルムが求められている。また、生産性の向上のため、ロール・トゥ・ロールでの透明導電性フィルムの製造も求められている。

そこで、熱収縮による寸法変動を抑えた、ＣＯＰ樹脂を含む保護フィルムと、ＣＯＰ樹脂を含む薄型の基材フィルムとを用い、保護フィルムと基材フィルムとを粘着剤層を介して積層し、基材フィルム上に透明導電層を形成した後、基材フィルムから保護フィルムを粘着剤層とともに剥離して、薄型化した透明導電性フィルムを作製しようとしたところ、基材フィルムから保護フィルムを剥離する過程で、透明導電性フィルムに変形が起こることが判明した。これは、基材フィルムが薄いと、保護フィルムを剥離する際に、基材フィルムが粘着剤層を介して保護フィルム側に引っ張られて、基材フィルムにシワが入ることが原因であると考えられる。透明導電性フィルムが変形すると、透明導電性フィルムをロール状に巻き取るときに透明導電層が損傷（例えば破断）するおそれがある。

特に、特許文献２では、保護フィルムの熱収縮率が小さいため、加熱加工時に発生する収縮応力が小さく、さらに保護フィルムのガラス転移温度Ｔｇが低いため、加熱加工中に発生した応力が緩和されてしまう。そのため、十分な残留応力が得られず、高い剥離力で保護フィルムを剥離することが必要となる。このため、基材フィルムを薄くした場合には、剥離工程において、基材フィルムが保護フィルム側に引っ張られやすくなり、透明導電性フィルムがより変形しやすくなると考えられる。

本発明は、上記の問題を解決するためになされたものであって、その目的は、基材フィルムが薄型であっても、透明導電層形成後の保護フィルムの剥離時における透明導電性フィルムの変形を抑えることができ、これによって、薄型の透明導電性フィルムを高い生産性で製造することを可能にする透明導電層の支持用の積層フィルムを提供することにある。

本発明の一側面の積層フィルムは、透明導電性フィルムの透明導電層の支持用の積層フィルムであって、
前記透明導電層を支持するための基材フィルムと、
前記基材フィルムを粘着剤層を介して支持する保護フィルムとを有し、
前記基材フィルムおよび前記保護フィルムは、シクロオレフィン樹脂をそれぞれ含み、
前記基材フィルムの膜厚は、５μｍ以上４０μｍ以下であり、
前記基材フィルムの、１４０℃９０分加熱時の幅手方向の熱収縮率Ａ（％）が、０．０１％以上０．２０％以下であり、
前記保護フィルムの、１４０℃９０分加熱時の幅手方向の熱収縮率をＢ（％）としたときに、
０．０２≦Ａ／Ｂ≦０．５０
である。

上記積層フィルムの構成によれば、基材フィルムが薄型であっても、基材フィルム上に透明導電層を形成した後の保護フィルムの剥離時において、基材フィルムおよび透明導電層（透明導電性フィルム）の変形を抑えることができる。これにより、薄型の透明導電性フィルムをロール・トゥ・ロールで高い生産性で製造することが可能となる。

本発明の実施の形態に係るタッチパネル表示装置の概略の構成を示す断面図である。 上記タッチパネル表示装置の他の構成を示す断面図である。 図１または図２のタッチパネル表示装置のタッチセンサーパネルに用いられる透明導電性フィルムの製造方法の流れを示すフローチャートである。 上記透明導電性フィルムの製造工程を示す断面図である。 上記透明導電性フィルムの製造に用いる積層フィルムに含まれる光学フィルムを製造する製造装置の概略の構成を示す説明図である。 上記光学フィルムの製造方法の流れを示すフローチャートである。

本発明の実施の一形態について、図面に基づいて説明すれば以下の通りである。なお、本明細書において、数値範囲をＡ～Ｂと表記した場合、その数値範囲に下限Ａおよび上限Ｂの値は含まれるものとする。

〔タッチパネル表示装置〕
図１は、本実施形態のタッチパネル表示装置１の概略の構成を示す断面図である。タッチパネル表示装置１は、表示部２上にタッチセンサーパネル３を有して構成されている。表示部２は、例えば液晶表示装置で構成されているが、ＯＬＥＤ（Organic light-Emitting Diode）とも呼ばれる有機ＥＬ（Electro-Luminescence）表示装置など、他の表示装置で構成されていてもよい。

タッチセンサーパネル３は、透明基板としてのガラス基板１１上に、接着層１３、透明導電性フィルム１２、接着層１３、透明導電性フィルム１２、接着層１３をこの順で積層して構成されている。各透明導電性フィルム１２は、基材フィルム１６および透明導電層１７をこの順で積層して構成されている。２つの透明導電性フィルム１２のうち、ガラス基板１１により近い側の透明導電性フィルム１２は、基材フィルム１６が透明導電層１７よりもガラス基板１１側となるように位置している。他方の透明導電性フィルム１２（表示部２により近い側の透明導電性フィルム１２）は、基材フィルム１６が透明電極層１７よりも表示部２側となるように位置している。

図２は、上記タッチパネル表示装置１の他の構成を示す断面図である。同図に示すように、タッチパネル表示装置１のタッチセンサーパネル３は、ガラス基板１１上に、接着層１３、透明導電性フィルム１２、接着層１３をこの順で積層して構成されていてもよい。この構成では、透明導電性フィルム１２は、基材フィルム１６が透明導電層１７よりも表示部２側となるように位置している。

図１または図２の構成において、透明導電層１７は、例えば酸化スズを含有する酸化インジウム（ＩＴＯ）や、金属ナノワイヤーを含む導電性膜で構成することができる。フレキシブル性を考慮して屈曲を繰り返したときでも透明導電層１７が破断せず、良好な屈曲耐久性を発現する観点では、透明導電層１７は、金属ナノワイヤーを含む導電性膜で構成することが望ましい。接着層１３は、例えば光学粘着フィルムで構成されている。透明導電性フィルム１２は、例えば以下のようにして製造することができる。

〔透明導電性フィルムの製造方法〕
図３は、透明導電性フィルム１２の製造方法の流れを示すフローチャートである。また、図４は、透明導電性フィルム１２の製造工程を示す断面図である。上記の透明導電性フィルム１２は、積層フィルム準備工程（Ｓ１）と、透明導電層形成工程（Ｓ２）と、保護フィルム剥離工程（Ｓ３）とを含む。

（Ｓ１；積層フィルム準備工程）
Ｓ１では、積層フィルム２０を準備する。この積層フィルム２０は、保護フィルム１４と基材フィルム１６とを粘着剤層１５を介して積層して構成されている。基材フィルム１６は、後述するように５μｍ以上４０μｍ以下の厚みを有する薄型のフィルムで構成されている。ここでは、積層フィルム２０を、予めロール状に巻き取っておく。なお、基材フィルム１６の少なくとも一方の面には、硬化樹脂層（ハードコート層）が形成されていてもよい。このような積層フィルム２０の詳細については後述する。

（Ｓ２；透明導電層形成工程）
Ｓ２では、ロール状に巻き取られた積層フィルム２０を繰り出し、繰り出した積層フィルム２０の基材フィルム１６上に透明導電層１７を形成して透明導電層付き積層体１０を得る。例えば、真空装置内で積層フィルム２０を搬送し、スパッタリングや蒸着などの真空プロセスによって基材フィルム１６上に透明導電層１７を成膜することにより、透明導電層付き積層体１０が得られる。なお、透明導電層１７は、エッチングによって所望の形状にパターニングされてもよい。また、透明導電層１７を構成する組成物を基材フィルム１６の表面に塗布して乾燥させることにより、透明導電層１７を形成して透明導電層付き積層体１０を得るようにしてもよい。いずれにしても、得られた透明導電層付き積層体１０は、ロール状に巻き取られる。

（Ｓ３；保護フィルム剥離工程）
Ｓ３では、ロール状に巻き取られた透明導電層付き積層体１０を繰り出し、透明導電層付き積層体１０から保護フィルム１４を粘着剤層１５とともに剥離する。これにより、薄型の基材フィルム１６上に透明導電層１７を有する薄型の透明導電性フィルム１２が得られる。得られた透明導電性フィルム１２は、ロール状に巻き取られる。

このように、上述の透明導電性フィルム１２の製造方法によれば、薄型の基材フィルム１６を有する積層フィルム２０を用いることにより、ロール・トゥ・ロールで薄型の透明導電性フィルム１２を製造することができる。これにより、薄型の透明導電性フィルム１２を高い生産性で製造することが可能となる。

〔積層フィルムの詳細〕
次に、上述した積層フィルム２０の詳細について説明する。積層フィルム２０は、透明導電性フィルム１２に含まれる透明導電層１７の支持用の積層フィルムである。この積層フィルム２０は、透明導電層１７を支持するための基材フィルム１６と、基材フィルム１６を粘着剤層１５を介して支持する保護フィルム１４とを有している。

基材フィルム１６および保護フィルム１４は、シクロオレフィン樹脂（ＣＯＰ樹脂）をそれぞれ含む。これにより、フィルム材料として例えばＰＥＴ樹脂を用いた場合に生じる不都合を解消することができる。すなわち、ディスプレイでの虹ムラの発生や検査工程での異物検知感度の低下を回避することができる。

基材フィルム１６の膜厚は、５μｍ以上４０μｍ以下である。基材フィルム１６の膜厚が上記範囲内では、透明導電性フィルム１２の屈曲搬送の際に、基材フィルム１６に割れが生じて透明導電層１７が損傷（例えば破断）することを低減できる。したがって、薄型の透明導電性フィルム１２をロール・トゥ・ロールによって高い生産性で製造することができる。つまり、薄型の透明導電性フィルム１２を高い生産性で製造するのに適した積層フィルム２０を実現することができる。

ちなみに、基材フィルム１６の膜厚が５μｍ未満であると、基材フィルム１６が薄すぎるため、透明導電性フィルム１２を搬送用のロールで屈曲させながら搬送する際に、基材フィルム１６が割れやすくなり、その結果、基材フィルム１６上の透明導電層１７が破断して通電不良が生じやすくなる。逆に、基材フィルム１６の膜厚が４０μｍを超えると、透明導電性フィルム１２の搬送時におけるロールでの屈曲の際に、基材フィルム１６上の透明導電層１７がロールの周方向に引き伸ばされて破断しやすくなり、やはり通電不良が発生しやすくなる。

また、基材フィルム１６の、１４０℃９０分加熱時の幅手方向の熱収縮率Ａ（％）は、０．０１％以上０．２０％以下である。これにより、透明導電層１７の加熱加工時（乾燥時も含む）および保護フィルム１４の剥離時において、透明導電層１７の損傷を抑えることができ、透明導電性フィルム１２の製造に適した積層フィルム２０を実現することができる。

ちなみに、熱収縮率Ａが０．２０％を超えると、透明導電層１７の加熱加工時の基材フィルム１６の熱収縮量が大きすぎるため、基材フィルム１６上の透明導電層１７が基材フィルム１６の収縮に追従できず破断しやすくなり、通電不良が発生しやすくなると考えられる。逆に、熱収縮率Ａが０．０１％未満であると、透明導電層１７の加熱加工時に基材フィルム１６に発生する収縮応力が小さく、十分な残留応力が得られない。このため、基材フィルム１６から保護フィルム１４を均一に剥離することが困難となり、基材フィルム１６が保護フィルム１４側に部分的に引っ張られる箇所が生じる。このような箇所では、基材フィルム１６上の透明導電層１７が部分的に破断し、通電不良が発生しやすくなると考えられる。

また、保護フィルム１４の、１４０℃９０分加熱時の幅手方向の熱収縮率をＢ（％）としたとき、
０．０２≦Ａ／Ｂ≦０．５０
である。この条件式を満足することにより、基材フィルム１６と保護フィルム１４との熱収縮率の差を利用して保護フィルム１４を基材フィルム１６から剥離することが可能となる。したがって、粘着剤層１５の粘着力を弱めなくても、保護フィルム１４を容易に剥離することが可能となる。

この作用効果の発現機構について推定すると、以下の通りである。つまり、透明導電層１７の形成過程で積層フィルム２０が加熱される際に、保護フィルム１４と基材フィルム１６とで加熱時の収縮力が異なることで、その後、冷却されたときに（常温に戻ったときに）、粘着剤層１５と保護フィルム１４とに残留応力が発生する。ロール状の積層フィルム２０から、保護フィルム１４を剥離する際に、剥離ロールによる長手方向の張力だけでなく、上記残留応力による幅手方向の収縮が発生するため、剥離をきっかけとして保護フィルム１４をより少ない力で剥離することが可能となる。

このように保護フィルム１４の剥離が容易になることで、保護フィルムの１４の剥離時に、基材フィルム１６が保護フィルム１４側に引っ張られにくくなり、基材フィルム１６で支持された透明導電層１７が保護フィルム１４側に引っ張られにくくなる。その結果、保護フィルム１４の剥離時の透明導電性フィルム１２の変形（シワや折れ込みの発生）を低減することができる。

ちなみに、Ａ／Ｂが０．５０を超えると、基材フィルム１６と保護フィルム１４とで熱収縮率の差が小さいため（Ａ／Ｂが１に近づくため）、熱収縮量の差を利用して保護フィルム１４を基材フィルム１６から剥離することが困難となる。その結果、保護フィルム１４を高い剥離力で剥離することが必要となる。保護フィルム１４の剥離力が高いと、剥離時に、透明導電性フィルム１２が保護フィルム１４側に引っ張られて変形しやすくなる。一方、Ａ／Ｂが０．０２未満であると、基材フィルム１６の熱収縮率Ａに対して保護フィルム１４の熱収縮率Ｂが大きくなりすぎる。この場合、透明導電層１７の加熱加工時に保護フィルム１４が大きく熱収縮して保護フィルム１４の端部が剥がれやすくなり、剥離時に保護フィルム１４を基材フィルム１６から幅手方向で均一に剥離することが困難となる。その結果、保護フィルム１４の剥離時に基材フィルム１６にシワが入りやすくなり、透明導電性フィルム１２が変形しやすくなる。

また、粘着剤層１５の粘着力を弱めなくても、保護フィルム１４を容易に剥離できるため、粘着剤層１５の粘着力により、剥離前の搬送中に保護フィルム１４が基材フィルム１６から剥離されてしまう事態を回避することができる。よって、剥離された保護フィルム１４が搬送用のロールに巻き込まれ、透明導電層付き積層体１０が破断することもなくなる。

保護フィルム１４の膜厚は、４０μｍ以上１００μｍ以下であり、かつ、基材フィルム１６の膜厚よりも厚いことが望ましい。この構成では、基材フィルム１６の厚みに対して、保護フィルム１４の熱による収縮力を適切に発生させることができる。これにより、透明導電層１７の加熱加工時の搬送中に、保護フィルム１４の熱収縮の影響を受けて基材フィルム１６にシワが入るのを低減することができる。したがって、透明導電層付き積層体１０を巻き取ったときに、基材フィルム１７上の透明導電層１７が損傷するのを低減することができる。また、保護フィルム１４の機械的強度も十分に確保され、搬送中の保護フィルム１４の損傷（例えば割れ）も十分に低減される。

また、上述したように、良好な屈曲耐久性を発現する観点では、透明導電層１７は、金属ナノワイヤーを含む導電性膜で構成されることが望ましい。このことから、基材フィルム１６は、透明導電層１７としての、金属ナノワイヤーを含む導電性膜の支持用として積層フィルム２０を構成することが望ましいと言える。

〔各層の材料等について〕
次に、上述した透明導電性層付き積層体１０を構成する各層の材料等について説明する。

＜透明導電性フィルム＞
（基材フィルム）
基材フィルムは、光学特性の制御が容易な点で、シクロオレフィン樹脂を含むことが好ましい。

シクロオレフィン樹脂としては、環状オレフィン（シクロオレフィン）からなるモノマーのユニットを有する樹脂であれば特に限定されるものではない。基材フィルムに用いられるシクロオレフィン樹脂としては、シクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ）またはシクロオレフィンコポリマー（ＣＯＣ）のいずれであってもよい。シクロオレフィンコポリマーとは、環状オレフィンとエチレン等のオレフィンとの共重合体である非結晶性の環状オレフィン系樹脂のことをいう。

上記環状オレフィンとしては、多環式の環状オレフィンと単環式の環状オレフィンとが存在している。かかる多環式の環状オレフィンとしては、ノルボルネン、メチルノルボルネン、ジメチルノルボルネン、エチルノルボルネン、エチリデンノルボルネン、ブチルノルボルネン、ジシクロペンタジエン、ジヒドロジシクロペンタジエン、メチルジシクロペンタジエン、ジメチルジシクロペンタジエン、テトラシクロドデセン、メチルテトラシクロドデセン、ジメチルシクロテトラドデセン、トリシクロペンタジエン、テトラシクロペンタジエンなどが挙げられる。また、単環式の環状オレフィンとしては、シクロブテン、シクロペンテン、シクロオクテン、シクロオクタジエン、シクロオクタトリエン、シクロドデカトリエンなどが挙げられる。

シクロオレフィン樹脂は、市販品としても入手可能であり、例えば、日本ゼオン社製「ＺＥＯＮＯＲ」、ＪＳＲ社製「ＡＲＴＯＮ」、ポリプラスチック社製「ＴＯＰＡＳ」、三井化学社製「ＡＰＥＬ」などが挙げられる。

基材フィルムには、表面に予めスパッタリング、コロナ放電、火炎、紫外線照射、電子線照射、化成、酸化などのエッチング処理や下塗り処理を施して、基材フィルム上に形成される透明導電層との密着性を向上させるようにしてもよい。また、透明導電層を形成する前に、必要に応じて溶剤洗浄や超音波洗浄などにより、基材フィルム表面を除塵、清浄化してもよい。

基材フィルムを形成するシクロオレフィン樹脂のガラス転移温度は、１３０℃以上であることが好ましく、１４０℃以上であることがより好ましい。これにより、熱処理工程後のカールの発生を抑制し、寸法安定性を向上させ、その後の工程歩留りを確保することができる。

（透明導電層）
透明導電層の構成材料は、無機物を含む限り特に限定されず、インジウム、スズ、亜鉛、ガリウム、アンチモン、チタン、珪素、ジルコニウム、マグネシウム、アルミニウム、金、銀、銅、パラジウム、タングステンからなる群より選択される少なくとも１種の金属の金属酸化物が好適に用いられる。当該金属酸化物には、必要に応じて、さらに上記群に示された金属原子を含んでいてもよい。例えば酸化スズを含有する酸化インジウム（ＩＴＯ）、アンチモンを含有する酸化スズ（ＡＴＯ）などが好ましく用いられる。

透明導電層の厚みは、特に制限されないが、その表面抵抗を１×１０³Ω／□以下の良好な導電性を有する連続被膜とするには、厚みを１０ｎｍ以上とするのが好ましい。膜厚は、厚くなりすぎると透明性の低下などをきたすため、１５～３５ｎｍであることが好ましく、より好ましくは２０～３０ｎｍの範囲内である。透明導電層の厚みが、１０ｎｍ未満であると、膜表面の電気抵抗が高くなり、かつ連続被膜になり難くなる。また、透明導電層の厚みが、３５ｎｍを超えると透明性の低下などをきたす場合がある。

透明導電層の形成方法は、特に限定されず、従来公知の方法を採用することができる。具体的には、例えば真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等のドライプロセスを例示できる。また、必要とする膜厚に応じて適宜の方法を採用することもできる。

透明導電層は、必要に応じて加熱アニール処理（例えば、大気雰囲気下、８０～１５０℃で３０～９０分間程度）を施して結晶化することができる。透明導電層を結晶化することで、透明導電層が低抵抗化されることに加えて、透明性および耐久性が向上する。非晶質の透明導電層を結晶質に転化させる手段は、特に限定されないが、空気循環式オーブンやＩＲヒーターなどが用いられる。

「結晶質」の定義については、基材フィルム上に透明導電層が形成された透明導電性フィルムを、２０℃、濃度５重量％の塩酸に１５分間浸漬した後、水洗・乾燥し、１５ｍｍ間の端子間抵抗をテスタにて測定を行い、端子間抵抗が１０ｋΩを超えない場合、ＩＴＯ膜の結晶質への転化が完了したものとする。なお、表面抵抗値の測定は、ＪＩＳ Ｋ７１９４に準じて、４端子法により測定できる。

また、透明導電層は、エッチング等によりパターン化されてもよい。透明導電層のパターン化に関しては、従来公知のフォトリソグラフィの技術を用いて行うことができる。エッチング液としては、酸が好適に用いられる。酸としては、例えば、塩化水素、臭化水素、硫酸、硝酸、リン酸等の無機酸、酢酸等の有機酸、およびこれらの混合物、ならびにそれらの水溶液があげられる。例えば、静電容量方式のタッチパネルやマトリックス式の抵抗膜方式のタッチパネルに用いられる透明導電性フィルムにおいては、透明導電層がストライプ状にパターン化されることが好ましい。なお、エッチングにより透明導電層をパターン化する場合、先に透明導電層の結晶化を行うと、エッチングによるパターン化が困難となる場合がある。そのため、透明導電層のアニール処理は、透明導電層をパターン化した後に行うことが好ましい。

透明導電層がスパッタリング法等のドライプロセスによって形成される場合、基材フィルムを保護フィルム上に粘着剤層を介して積層した状態で搬送し、基材フィルム上に透明導電層を形成し、ロール・トゥ・ロールによって、長尺状の透明導電層付き積層体として連続的に処理することが好ましい。透明導電層付き積層体とすることで、ロール・トゥ・ロール製法において、透明導電層付き積層体の破断を防止することができ、その後の工程歩留りを確保できる。

《金属ナノワイヤー》
透明導電層を構成する材料として、金属ナノワイヤーを用いることもできる。金属ナノワイヤーとは、材質が金属であり、形状が針状または糸状であり、径がナノメートルサイズの導電物質をいう。金属ナノワイヤーは直線状であってもよく、曲線状であってもよい。金属ナノワイヤーで構成された透明導電層を用いれば、金属ナノワイヤーが網の目状となることにより、少量の金属ナノワイヤーであっても良好な電気伝導経路を形成することができ、電気抵抗の小さい透明導電性フィルムを得ることができる。さらに、金属ナノワイヤーが網の目状となることにより、網の目の隙間に開口部を形成して、光透過率の高い透明導電性フィルムを得ることができる。

上記金属ナノワイヤーの太さｄと長さＬとの比（アスペクト比：Ｌ／ｄ）は、好ましくは１０～１０００００の範囲内であり、より好ましくは５０～１０００００の範囲内であり、特に好ましくは１００～１００００の範囲内である。このようにアスペクト比の大きい金属ナノワイヤーを用いれば、金属ナノワイヤーが良好に交差して、少量の金属ナノワイヤーにより高い導電性を発現させることができる。その結果、光透過率の高い透明導電性フィルムを得ることができる。

なお、本明細書において、「金属ナノワイヤーの太さ」とは、金属ナノワイヤーの断面が円状である場合はその直径を意味し、楕円状である場合はその短径を意味し、多角形である場合は最も長い対角線を意味する。金属ナノワイヤーの太さおよび長さは、走査型電子顕微鏡または透過型電子顕微鏡によって確認することができる。

上記金属ナノワイヤーの太さは、好ましくは５００ｎｍ未満であり、より好ましくは２００ｎｍ未満であり、特に好ましくは１０～１００ｎｍの範囲内であり、最も好ましくは１０～５０ｎｍの範囲内である。このような範囲であれば、光透過率の高い透明導電層を形成することができる。

上記金属ナノワイヤーの長さは、好ましくは２．５～１０００μｍの範囲内であり、より好ましくは１０～５００μｍの範囲内であり、特に好ましくは２０～１００μｍの範囲内である。このような範囲であれば、導電性の高い透明導電性フィルムを得ることができる。

上記金属ナノワイヤーを構成する金属としては、導電性の高い金属である限り、任意の適切な金属が用いられ得る。上記金属ナノワイヤーを構成する金属としては、例えば、銀、金、銅、ニッケル等が挙げられる。また、これらの金属にメッキ処理（例えば、金メッキ処理）を行った材料を用いてもよい。中でも好ましくは、導電性の観点から、銀または銅である。

上記金属ナノワイヤーの製造方法としては、任意の適切な方法が採用され得る。例えば溶液中で硝酸銀を還元する方法、前駆体表面にプローブの先端部から印加電圧または電流を作用させ、プローブ先端部で金属ナノワイヤーを引き出し、前記金属ナノワイヤーを連続的に形成する方法等が挙げられる。溶液中で硝酸銀を還元する方法においては、エチレングリコール等のポリオール、およびポリビニルピロリドンの存在下で、硝酸銀等の銀塩の液相還元することによりにより、銀ナノワイヤーが合成され得る。

均一サイズの銀ナノワイヤーは、例えば、Ｘｉａ，Ｙ．ｅｔａｌ．，Ｃｈｅｍ．Ｍａｔｅｒ．（２００２）、１４、４７３６－４７４５ 、Ｘｉａ， Ｙ．ｅｔａｌ．， Ｎａｎｏ ｌｅｔｔｅｒｓ（２００３）３（７）、９５５－９６０ に記載される方法に準じて、大量生産が可能である。

上記透明導電層は、上記透明基材上に、上記金属ナノワイヤーを含む透明導電層形成用組成物を塗工することにより形成することができる。より具体的には、溶媒中に上記金属ナノワイヤーを分散させた分散液（透明導電層形成用組成物）を、上記透明基材上に塗布した後、塗布層を乾燥させて、透明導電層を形成することができる。

上記溶媒としては、水、アルコール系溶媒、ケトン系溶媒、エーテル系溶媒、炭化水素系溶媒、芳香族系溶媒等が挙げられる。環境負荷低減の観点から、水を用いることが好ましい。

上記金属ナノワイヤーを含む透明導電層形成用組成物中の金属ナノワイヤーの分散濃度は、好ましくは０．１～１質量％の範囲内である。このような範囲であれば、導電性および光透過性に優れる透明導電層を形成することができる。

上記金属ナノワイヤーを含む透明導電層形成用組成物は、目的に応じて任意の適切な添加剤をさらに含有し得る。上記添加剤としては、例えば、金属ナノワイヤーの腐食を防止する腐食防止材、金属ナノワイヤーの凝集を防止する界面活性剤等が挙げられる。使用される添加剤の種類、数および量は、目的に応じて適切に設定され得る。また、前記透明導電層形成用組成物は、本発明の効果が得られる限り、必要に応じて、任意の適切なバインダー樹脂を含み得る。

上記金属ナノワイヤーを含む透明導電層形成用組成物の塗布方法としては、任意の適切な方法が採用され得る。塗布方法としては、例えば、スプレーコート、バーコート、ロールコート、ダイコート、インクジェットコート、スクリーンコート、ディップコート、凸版印刷法、凹版印刷法、グラビア印刷法等が挙げられる。

塗布層の乾燥方法としては、任意の適切な乾燥方法（例えば、自然乾燥、送風乾燥、加熱乾燥）が採用され得る。例えば、加熱乾燥の場合には、乾燥温度は代表的には１００～２００℃の範囲内であり、乾燥時間は代表的には１～１０分の範囲内である。

上記透明導電層が金属ナノワイヤーを含む場合、前記透明導電層の厚さは、好ましくは０．０１～１０μｍの範囲内であり、より好ましくは０．０５～３μｍの範囲内であり、特に好ましくは０．１～１μｍの範囲内である。このような範囲であれば、導電性および光透過性に優れる透明導電性フィルムを得ることができる。

上記透明導電層が金属ナノワイヤーを含む場合、前記透明導電層の全光線透過率は、好ましくは８５％以上であり、より好ましくは９０％以上であり、さらに好ましくは９５％以上である。

（粘着剤層）
粘着剤層としては、透明性を有するものであれば特に制限なく使用できる。具体的には、例えば、アクリル系ポリマー、シリコーン系ポリマー、ポリエステル、ポリウレタン、ポリアミド、ポリビニルエーテル、酢酸ビニル／塩化ビニルコポリマー、変性ポリオレフィン、エポキシ系、フッ素系、天然ゴム、合成ゴム等のゴム系などのポリマーをベースポリマーとするものを適宜に選択して用いることができる。特に、光学的透明性に優れ、適度な濡れ性、凝集性および接着性等の粘着特性を示し、耐候性や耐熱性等にも優れるという点からは、アクリル系粘着剤が好ましく用いられる。

粘着剤層の形成方法は特に制限されず、剥離ライナーに粘着剤組成物を塗布し、乾燥後、保護フィルムに転写する方法（転写法）、保護フィルムに、直接、粘着剤組成物を塗布、乾燥する方法（直写法）や共押出しによる方法等があげられる。なお、粘着剤には、必要に応じて粘着付与剤、可塑剤、充填剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、シランカップリング剤等を適宜に使用することもできる。

粘着剤層の好ましい厚みは、５μｍ～１００μｍであり、より好ましくは１０μｍ～５０μｍであり、より好ましくは１５μｍから３５μｍである。

（保護フィルム）
保護フィルムは、ロールによる巻き取りなどの取り扱い性等を考慮して、非晶性樹脂で形成されることが好ましい。非晶性樹脂としては、透明性、機械的強度、熱安定性、水分遮断性、等方性などに優れるシクロオレフィン樹脂を用いることが好ましい。シクロオレフィン樹脂は、熱処理工程後のカール発生を抑制し、寸法安定性を向上させる観点でも好ましい。

保護フィルムを形成する非晶性樹脂のガラス転移温度は、１３０℃以上であることが好ましく、１４０℃以上であることがより好ましい。これにより、熱処理工程後のカール発生を抑制し、寸法安定性を向上させ、その後の工程歩留りを確保可能である。

保護フィルムは、基材フィルムと同様に、表面に予めスパッタリング、コロナ放電、火炎、紫外線照射、電子線照射、化成、酸化などのエッチング処理や下塗り処理を施して、保護フィルム上の粘着剤層等との密着性を向上させるようにしてもよい。また、粘着剤層を形成する前に、必要に応じて溶剤洗浄や超音波洗浄などにより、保護フィルム表面を除塵、清浄化してもよい。

保護フィルムの厚みは、１０～１５０μｍであることが好ましく、３０～１１０μｍであることがより好ましく、４０～１００μｍであることが更に好ましい。この厚み範囲では、保護フィルムの機械的強度を確保しつつ、透明導電層の加熱加工時の積層体の搬送中に、保護フィルムの熱収縮の影響を受けて基材フィルムにシワが入るのを低減できる。

〔フィルムの製造方法〕
上記した基材フィルムおよび保護フィルム（以下、まとめて「光学フィルム」とも記載する）は、例えば溶液流延製膜法によって製造することができる。図５は、本実施形態の光学フィルムの製造装置３１の概略の構成を示す説明図であり、図６は、上記光学フィルムの製造方法の流れを示すフローチャートである。本実施形態の光学フィルムの製造方法は、溶液流延製膜法によって光学フィルムを製造する方法であり、攪拌調製工程（Ｓ３１）、流延工程（Ｓ３２）、剥離工程（Ｓ３３）、第１乾燥工程（Ｓ３４）、延伸工程（Ｓ３５）、第２乾燥工程（Ｓ３６）、切断工程（Ｓ３７）、エンボス加工工程（Ｓ３８）、巻取工程（Ｓ３９）を含む。以下、各工程について説明する。

＜攪拌調製工程＞
攪拌調製工程では、攪拌装置５０の攪拌槽５１にて、少なくとも樹脂および溶媒を攪拌し、支持体３３（エンドレスベルト）上に流延するドープを調製する。上記樹脂として、例えばシクロオレフィン樹脂を用いることができる。溶媒としては、良溶媒および貧溶媒の混合溶媒を用いることができる。なお、良溶媒とは、樹脂を溶解させる性質（溶解性）を有する有機溶媒を言い、１，３－ジオキソラン、ＴＨＦ（テトラヒドロフラン）、メチルエチルケトン、アセトン、酢酸メチル、塩化メチレン（ジクロロメタン）などがこれに相当する。一方、貧溶媒とは、単独では樹脂を溶解させる性質を有していない溶媒を言い、メタノールやエタノールなどがこれに相当する。

＜流延工程＞
流延工程では、攪拌調製工程で調製されたドープを、加圧型定量ギヤポンプ等を通して、導管によって流延ダイ３２に送液し、無限に移送する回転駆動ステンレス鋼製エンドレスベルトよりなる支持体３３上の流延位置に流延ダイ３２からドープを流延する。そして、流延したドープを支持体３３上で乾燥させて、流延膜３５（ウェブ）を形成する。流延ダイ３２の傾き、すなわち、流延ダイ３２から支持体３３へのドープの吐出方向は、支持体３３の面（ドープが流延される面）の法線に対する角度で０°～９０°の範囲内となるように適宜設定されればよい。

支持体３３は、一対のロール３３ａ・３３ｂおよびこれらの間に位置する複数のロール（不図示）によって保持されている。ロール３３ａ・３３ｂの一方または両方には、支持体３３に張力を付与する駆動装置（不図示）が設けられており、これによって支持体３３は張力が掛けられて張った状態で使用される。

流延工程では、支持体３３上に流延されたドープにより形成された流延膜３５を、支持体３３上で加熱し、支持体３３から剥離ロール３４によって流延膜３５が剥離可能になるまで溶媒を蒸発させる。溶媒を蒸発させるには、ウェブ側から風を吹かせる方法や、支持体３３の裏面から液体により伝熱させる方法、輻射熱により表裏から伝熱する方法等があり、適宜、単独であるいは組み合わせて用いればよい。

＜剥離工程＞
上記の流延工程にて、支持体３３上で流延膜３５が剥離可能な膜強度となるまで乾燥固化あるいは冷却凝固させた後、剥離工程では、流延膜３５を、自己支持性を持たせたまま剥離ロール３４によって剥離する。

なお、剥離時点での支持体３３上での流延膜３５の残留溶媒量は、乾燥の条件の強弱、支持体３３の長さ等により、５０～１２０質量％の範囲であることが望ましい。残留溶媒量がより多い時点で剥離する場合、流延膜３５が柔らか過ぎると剥離時平面性を損ね、剥離張力によるシワや縦スジが発生しやすいため、経済速度と品質との兼ね合いで剥離時の残留溶媒量が決められる。なお、残留溶媒量は、下記式で定義される。

残留溶媒量（質量％）＝（ウェブの加熱処理前質量－ウェブの加熱処理後質量）／（ウェブの加熱処理後質量）×１００
ここで、残留溶媒量を測定する際の加熱処理とは、１１５℃で１時間の加熱処理を行うことを表す。

＜第１乾燥工程＞
支持体３３から剥離された流延膜３５は、乾燥装置３６にて乾燥される。乾燥装置３６内では、側面から見て千鳥状に配置された複数の搬送ロールによって流延膜３５が搬送され、その間に流延膜３５が乾燥される。乾燥装置３６での乾燥方法は、特に制限はなく、一般的に熱風、赤外線、加熱ロール、マイクロ波等を用いて流延膜３５を乾燥させる。簡便さの点から、熱風で流延膜３５を乾燥させる方法が好ましい。なお、第１乾燥工程は、必要に応じて行われればよい。

＜延伸工程＞
延伸工程では、乾燥装置３６にて乾燥された流延膜３５を、テンター３７によって延伸する。このときの延伸方向としては、フィルム搬送方向（ＭＤ方向；Machine Direction）、フィルム面内で上記搬送方向に垂直な幅手方向（ＴＤ方向；Transverse Direction）、これらの両方向、のいずれかである。延伸工程では、流延膜３５の両側縁部をクリップ等で固定して延伸するテンター方式が、フィルムの平面性や寸法安定性を向上させるために好ましい。なお、テンター３７内では、延伸に加えて乾燥を行ってもよい。

＜第２乾燥工程＞
テンター３７にて延伸された流延膜３５は、乾燥装置３８にて乾燥される。乾燥装置３８内では、側面から見て千鳥状に配置された複数の搬送ロールによって流延膜３５が搬送され、その間に流延膜３５が乾燥される。乾燥装置３８での乾燥方法は、特に制限はなく、一般的に熱風、赤外線、加熱ロール、マイクロ波等を用いて流延膜３５を乾燥させる。簡便さの点から、熱風で流延膜３５を乾燥させる方法が好ましい。

流延膜３５は、乾燥装置３８にて乾燥された後、光学フィルムＦとして巻取装置４１に向かって搬送される。

＜切断工程、エンボス加工工程＞
乾燥装置３８と巻取装置４１との間には、切断部３９およびエンボス加工部４０がこの順で配置されている。切断部３９では、製膜された光学フィルムＦを搬送しながら、その幅手方向の両端部を、スリッターによって切断する切断工程が行われる。光学フィルムＦにおいて、両端部の切断後に残った部分は、フィルム製品となる製品部を構成する。一方、光学フィルムＦから切断された部分は、シュータにて回収され、再び原材料の一部としてフィルムの製膜に再利用される。

切断工程の後、光学フィルムＦの幅手方向の両端部には、エンボス加工部４０により、エンボス加工（ナーリング加工）が施される。エンボス加工は、加熱されたエンボスローラーを光学フィルムＦの両端部に押し当てることにより行われる。エンボスローラーの表面には細かな凹凸が形成されており、エンボスローラーを光学フィルムＦの両端部に押し当てることで、上記両端部に凹凸が形成される。このようなエンボス加工により、次の巻取工程での巻きズレやブロッキング（フィルム同士の貼り付き）を極力抑えることができる。

＜巻取工程＞
最後に、エンボス加工が終了した光学フィルムＦを、巻取装置４１によって巻き取り、光学フィルムＦの元巻（フィルムロール）を得る。すなわち、巻取工程では、光学フィルムＦを搬送しながら巻芯に巻き取ることにより、フィルムロールが製造される。光学フィルムＦの巻き取り方法は、一般に使用されているワインダーを用いればよく、定トルク法、定テンション法、テーパーテンション法、内部応力一定のプログラムテンションコントロール法等の張力をコントロールする方法があり、それらを使い分ければよい。光学フィルムＦの巻長は、１０００～７２００ｍであることが好ましい。また、その際の幅は１０００～３２００ｍｍ幅であることが好ましく、膜厚は１０～１５０μｍの範囲で適宜調整されればよい。

〔実施例〕
以下、本発明の具体的な実施例について説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるわけではない。

≪実施例１≫
＜保護フィルムＰ－１の作製＞
（ドープの調製）
下記組成物をミキシングタンクに投入し、攪拌して各成分を溶解した後、平均孔径３４μｍの濾紙および平均孔径１０μｍの焼結金属フィルターで濾過してシクロオレフィン重合体溶液を調製した。
〈ドープ組成〉
シクロオレフィン重合体（ＪＳＲ社製「アートン」（登録商標））
１５０質量部
ジクロロメタン ３８０質量部

次に、上記で調整したシクロオレフィン重合体溶液を含む下記組成物を分散機に投入し、微粒子分散液を調製した。
〈微粒子分散液〉
微粒子（アエロジルＲ８１２：日本アエロジル社製、一次平均粒子径：７ｎｍ、見掛け比重５０ｇ／Ｌ）
４質量部
ジクロロメタン ７６質量部
シクロオレフィン重合体溶液 １０質量部

そして、上記シクロオレフィン重合体溶液１００質量部と、上記微粒子分散液０．７５質量部とを混合し、製膜用ドープを調製した。

（保護フィルムの作製）
次いで、無端ベルト流延装置を用い、上記で調製した製膜用ドープを、温度３１℃、１８００ｍｍ幅でステンレスベルト支持体上に均一に流延した。ステンレスベルト支持体の温度は、２８℃に制御した。

ステンレスベルト支持体上で、流延（キャスト）したフィルム中の残留溶媒量が３０質量％になるまで溶媒を蒸発させた。次いで、剥離張力１２８Ｎ／ｍで、ステンレスベルト支持体上から流延膜（ウェブ）を剥離した。剥離したウェブを乾燥させながら、搬送張力によって長手方向に延伸倍率２０％（１．２０倍）で延伸した後、テンター延伸装置に搬送し、幅手方向に延伸倍率４０％（１．４０倍）でテンター中を搬送した。このとき、延伸時の残留溶媒量が５質量％となるように、剥離からテンターまでの乾燥条件を調整した。また、テンター延伸装置の温度は１３５℃に設定し、延伸速度は２００％／ｍｉｎに設定した。

次いで、延伸後のウェブ（フィルム）を乾燥装置に導入し、乾燥装置内を多数のローラーで搬送させながら乾燥を終了させた。その後、得られたフィルムの幅手方向の両端部をスリットした後、エンボス加工を施し、乾燥膜厚が６０μｍの保護フィルムＰ－１を作製した。

＜基材フィルムＦ－１の作製＞
上記した保護フィルムＰ－１の作製で用いたドープをステンレスベルト支持体上に流延した。そして、ステンレスベルト支持体上で、流延（キャスト）したフィルム中の残留溶媒量が３０質量％になるまで溶媒を蒸発させた。次いで、剥離張力１２８Ｎ／ｍで、ステンレスベルト支持体上から流延膜（ウェブ）を剥離した。剥離したウェブを乾燥ゾーンに導入し、多数のローラーで搬送させながら乾燥を終了させた。そして、ウェブに１６０℃の熱を付与しながら、テンターを用いて幅手方向に５％延伸し、得られたフィルムの幅手方向の両端部をスリットした後、エンボス加工を施し、乾燥膜厚が１８μｍの基材フィルムＦ－１を作製した。

＜積層フィルムＬ－１の作製＞
（粘着剤Ｓ－１の調製）
通常の溶液重合により、ブチルアクリレート／アクリル酸＝１００／６（重量比）にて重量平均分子量６０万のアクリル系ポリマーを得た。このアクリル系ポリマー１００重量部に対し、エポキシ系架橋剤（三菱瓦斯化学製 商品名「テトラッドＣ（登録商標）」）６重量部を加えて、アクリル系粘着剤を準備した。

（積層フィルムの作製）
離型処理されたＰＥＴフィルムの離型処理面上に前記のようにして得た粘着剤Ｓ－１を塗布し、１２０℃で６０秒加熱して、厚み２０μｍの粘着剤層を形成した。次いで、前記で作製した保護フィルムＰ－１に、粘着剤層を介してＰＥＴフィルムを貼り合わせた。その後、ＰＥＴフィルムを剥がし、保護フィルムＰ－１の一方の面に粘着剤層が形成された粘着剤層付きの保護フィルムＰ－１を作製した。

次に、粘着剤層付きの保護フィルムＰ－１と、上記で作製した基材フィルムＦ－１とを、上記粘着剤層を介して貼り合わせて、積層フィルムＬ－１を作製した。

＜透明導電性フィルムＭ－１の作製＞
（透明導電層Ａの形成）
Ｙ．Ｓｕｎ、Ｂ．Ｇａｔｅｓ、Ｂ．Ｍａｙｅｒｓ、＆Ｙ．Ｘｉａ，“Ｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ ｓｉｌｖｅｒ ｎａｎｏｗｉｒｅｓ ｂｙ ｓｏｆｔ ｓｏｌｕｔｉｏｎ ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ”、Ｎａｎｏ ｌｅｔｔｅｒｓ、（２００２）、２（２） １６５～１６８に記載されるポリオールを用いた方法の後、ポリビニルピロリドン（ＰＶＰ）の存在下で、エチレングリコールに硫酸銀を溶解し、これを還元することによって銀ナノワイヤーを得た。すなわち、本実施例では、米国仮出願第６０／８１５，６２７号（Ｃａｍｂｒｉｏｓ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ）に記載される修正されたポリオール方法によって合成された銀ナノワイヤーを用いた。

（透明導電層付き積層体の作製）
上記方法で合成された銀ナノワイヤー（短軸径約７０ｎｍ～８０ｎｍ、アスペクト比１００以上）を水性媒体中に０．５％ｗ／ｖ含有する銀ナノワイヤー水分散体組成物（Ｃａｍｂｒｉｏｓ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ社製 ＣｌｅａｒＯｈｍＴＭ，Ｉｎｋ－Ａ ＡＱ）を、スロットダイ塗工機を使用して、積層フィルムＬ－１の基材フィルムＦ－１面上に、乾燥後膜厚が１．５μｍになるように塗布し、乾燥させた。その後、圧力２０００ｋＮ／ｍ²で加圧処理を行い、基材フィルムＦ－１上に透明導電層Ａを形成し、透明導電層付き積層体を得た。その後、透明導電層付き積層体をロール状に巻き取った。

（保護フィルムの剥離）
上記で作成したロール状の透明導電層付き積層体を繰り出して搬送しながら、保護フィルムＰ－１を粘着剤Ｓ－１とともに剥離した。これにより、透明導電層Ａを基材フィルムＦ－１で支持した透明導電性フィルムＭ－１を得た。最後に、得られた透明導電性フィルムＭ－１をロール状に巻き取った。

≪実施例２～７、比較例１～８≫
基材フィルムの熱収縮率Ａおよび保護フィルムの熱収縮率Ｂが、表１に記載の値となるように、基材フィルムおよび保護フィルムの作製時に、支持体からウェブを剥離する際の残留溶媒量、膜厚、テンターでの長手方向および幅手方向の延伸倍率および延伸温度を調整した以外は、実施例１と同様の方法で、基材フィルムＦ－２～Ｆ－１０および保護フィルムＰ－２～Ｐ－８をそれぞれ作製した。そして、表１に記載の組み合わせとなるように、基材フィルムＦ－１～Ｆ－１０および保護フィルムＰ－１～Ｐ－８を適宜選択して粘着剤Ｓ－１または粘着剤Ｓ－２を介して積層し、積層フィルムＬ－２～Ｌ－１５を得た。なお、粘着剤Ｓ－２の調製方法については後述する。

その後、実施例１と同様にして、基材フィルム上に透明導電層Ａを形成してロール状の透明導電層付き積層体を作製した。そして、ロール状の透明導電層付き積層体を繰り出して保護フィルムを粘着剤とともに剥離することにより、透明導電性フィルムＭ－２～Ｍ１５を得た。最後に、得られた透明導電性フィルムＭ－２～Ｍ－１５をロール状に巻き取った。

（粘着剤Ｓ－２の調製）
エポキシ系架橋剤（三菱瓦斯化学製 商品名「テトラッドＣ（登録商標）」）を４重量部に変更した以外は、粘着剤Ｓ－１の調製と同様にして、粘着剤Ｓ－２を調製した。

≪評価≫
（１）厚みの測定
保護フィルムおよび基材フィルムの厚みの測定は、マイクロゲージ式厚み計（ミツトヨ社製）を用いて行った。

（２）幅手方向の熱収縮率
基材フィルムおよび保護フィルムの幅手方向の熱収縮率を以下のように測定した。具体的には、基材フィルムおよび保護フィルムを、幅手方向１００ｍｍ、長手方向１００ｍｍに切り取り（切り取ったフィルムを「試験片」と呼ぶ）、幅手方向の両端２点にクロスキズ（×印）を付け、クロスキズの中央部２点間の加熱前の長さ（ｍｍ）を、ＣＮＣ三次元測定機（株式会社ミツトヨ社製 ＬＥＧＥＸ７７４）によって測定した。その後、試験片をオーブンに投入し、加熱処理（１４０℃、９０分間）を行った。室温で１時間放冷後に再度、２点間の加熱後の長さ（ｍｍ）をＣＮＣ三次元測定機によって測定し、その測定値を下記式に代入することにより、幅手方向の熱収縮率を求めた。
熱収縮率（％）＝［｛加熱前の長さ（ｍｍ）－加熱後の長さ（ｍｍ）｝／加熱前の長さ（ｍｍ）］×１００

（３）剥離時の変形
粘着剤層付きの保護フィルムを剥離する際の透明導電性フィルムの変形を下記評価基準に基づいて評価した。
《評価基準》
○：保護フィルムの剥離時に、透明導電性フィルムに変形が全く発生せず、巻き取り後も変形が発生しなかった。
△：保護フィルムの剥離時に、透明導電性フィルムに変形が発生したが、巻き取り後は変形が発生しなかった。
×：保護フィルムの剥離時に、透明導電性フィルムに変形が発生し、巻き取り後も変形が残留していた。

（４）通電試験
作製した透明導電性フィルムを、幅手方向１００ｍｍ、長手方向１００ｍｍに切り取り（切り取ったフィルムを「試験片」と呼ぶ）、熱風循環式オーブンにより、試験片に対して１２０℃で４０分間の加熱処理を実施した。その後、試験片の表面抵抗を９か所でＪＩＳ Ｋ７１９４に準じて四端子法にて測定し、下記の評価基準に基づいて評価した。
《評価基準》
○：表面抵抗が１１０Ω／□以上である箇所が、９か所中０か所であった。
△：表面抵抗が１１０Ω／□以上である箇所が、９か所中１か所であった。
×：表面抵抗が１１０Ω／□以上である箇所が、９か所中２か所以上であった。

（５）屈曲通電耐久性
作製した透明導電性フィルムを、幅手方向２００ｍｍ、長手方向１００ｍｍに切り取り（切り取ったフィルムを「試験片」と呼ぶ）、熱風循環式オーブンにより、試験片に対して１２０℃で４０分間の加熱処理を実施した。その後、屈曲径３ｍｍΦとなるように２枚のガラス板の間で試験片を幅手方向に（長手方向を折り曲げ軸として）１８０度折り曲げて固定し、６０℃９０％ＲＨの環境下で５００時間放置した。その後、試験片の折り曲げた部分の表面抵抗をＪＩＳ Ｋ７１９４に準じて四端子法にて測定し、下記の評価基準に基づいて評価した。
《評価基準》
○：表面抵抗が１１０Ω／□以下であった。
△：表面抵抗が１１０Ω／□よりも大きく、２００Ω／□以下であった。
×：表面抵抗が２００Ω／□よりも大きかった。

実施例１～７、比較例１～８についての評価の結果を表１に示す。

表１より、比較例５および６では、屈曲通電耐久性が不良（×）である。比較例６では、基材フィルムの膜厚が３μｍであり、基材フィルムが薄すぎるため、基材フィルム上に透明導電層を形成した透明導電性フィルムを、ロールで屈曲搬送する際に、基材フィルムが割れやすく、その結果、透明導電層が破断し、通電不良が生じていると考えられる。また、比較例５では、基材フィルムの膜厚が５０μｍであり、基材フィルムが厚すぎるため、透明導電性フィルムのロールでの屈曲搬送の際に、基材フィルム上の透明導電層がロールの周方向に引き伸ばされて破断し、通電不良が生じていると考えられる。

これに対して、実施例１～７では、基材フィルムの膜厚が５μｍ以上４０μｍ以下であり、透明導電性フィルムの屈曲通電耐久性が良好（○または△）である。このことから、実施例１～７では、透明導電性フィルムのロールでの屈曲搬送の際の透明電極層の破断を抑えることができ、薄型の透明導電性フィルムをロール・トゥ・ロールによって高い生産性で製造することができると言える。

また、比較例３および４では、通電不良が発生している。比較例３では、基材フィルムの熱収縮率Ａが０．２５％と大きく、透明導電層の加熱加工時の基材フィルムの熱収縮量が大きすぎるため、基材フィルム上の透明導電層が基材フィルムの収縮に追従できずに破断して通電不良が発生していると考えられる。また、比較例４では、基材フィルムの熱収縮率Ａが０．００１％と小さいため、透明導電層の加熱加工時に基材フィルムに発生する収縮応力が小さく、十分な残留応力が得られない。このため、基材フィルムから保護フィルムを均一に剥離することが困難となり、剥離時に基材フィルムが保護フィルム側に部分的に引っ張られて透明導電層１７が破断し、通電不良が発生していると考えられる。

これに対して、実施例１～７では、基材フィルムの幅手方向の熱収縮率Ａが０．０１％以上０．２０％以下であり、通電試験において良好な結果（○または△）が得られている。このことから、実施例１～７では、透明導電層の加熱加工時および保護フィルムの剥離時において、透明導電層の破断を抑えて透明導電性フィルムを製造することができると言える。

また、比較例１および２では、保護フィルムの剥離時に透明導電性フィルムに変形が生じている。比較例１では、Ａ／Ｂが０．６０と大きく、基材フィルムと保護フィルムとで熱収縮率の差が小さいため、熱収縮量の差を利用して保護フィルムを基材フィルムから剥離することが困難となる。このため、保護フィルムを高い剥離力で剥離した結果、透明導電性フィルムが保護フィルム側に引っ張られて変形したと考えられる。また、比較例２では、Ａ／Ｂが０．０１と小さく、基材フィルムの熱収縮率Ａに対して保護フィルムの熱収縮率Ｂが大きい。このため、透明導電層の加熱加工時に保護フィルムが大きく熱収縮して保護フィルムの端部が剥がれ、剥離時に保護フィルムを基材フィルムから幅手方向で均一に剥離することが困難となる。その結果、保護フィルムの剥離時に基材フィルムにシワが入り、透明導電性フィルムが変形したと考えられる。

なお、比較例７では、保護フィルムの剥離を容易にすべく、粘着剤Ｓ－１よりも粘着力の弱い粘着剤Ｓ－２を介して保護フィルムと基材フィルムとを積層して、透明導電層付き積層体を作製している。この構成では、粘着剤Ｓ－２の粘着力が弱いため、透明導電層付き積層体の搬送中に保護フィルムが自然剥離し、剥離した保護フィルムが搬送ロールに巻き込まれて残りのフィルムが破断したため、各種の評価を行うことができなかった。

比較例８では、基材フィルムの熱収縮率Ａおよび保護フィルムの熱収縮率Ｂを、前述の特許文献２の実施例３と同等に設定している。この構成では、Ａ／Ｂの値が大きすぎるため（Ａ／Ｂの値が１に近いため）、熱収縮量の差を利用して基材フィルムから保護フィルムを剥離することができず、保護フィルムを高い剥離力で剥離した結果、透明導電性フィルムが変形したと考えられる。

≪実施例８～１１≫
保護フィルムの膜厚が表２に記載の値となるように、保護フィルムの作製時に、支持体からウェブを剥離する際の残留溶媒量、膜厚、テンターでの長手方向および幅手方向の延伸倍率および延伸温度を調整した以外は、実施例１と同様の方法で、保護フィルムＰ－９～Ｐ－１２をそれぞれ作製した。そして、各保護フィルムＰ－９～Ｐ－１２上に粘着剤Ｓ－１を介して基材フィルムＦ－１を積層して積層フィルムＬ－１６～Ｌ－１９を作製し、積層フィルムＬ－１６～Ｌ－１９上に透明導電層Ａを形成した後、保護フィルムＰ－９～Ｐ－１２を剥離して、透明導電性フィルムＭ－１６～Ｍ－１９を作製した。

≪評価≫
（６）積層フィルム搬送中のシワ
透明導電膜を形成する工程において、積層フィルムの搬送状態を観察し、下記の評価基準に基づいて評価した。
《評価基準》
◎：積層フィルムの搬送中にシワが発生しない。
○：積層フィルムの搬送中に弱いしわが発生するが、積層フィルムを巻き取ったときにはシワが消失している。
×：積層フィルム搬送中に弱いしわが発生し、積層フィルムを巻き取った後もシワが残る。

実施例８～１１についての評価の結果を表２に示す。参考のため、実施例１についても同様の評価基準で積層フィルム搬送中のシワについて評価した結果を、表２に併せて示す。

表２より、保護フィルムの膜厚が４０μｍ以上１００μｍ以下であり、かつ、基材フィルムの膜厚よりも厚いと、積層フィルムの搬送中にシワが発生することを効果的に低減できると言える。これは、保護フィルムの上記膜厚範囲では、保護フィルムの熱による収縮力を適切に発生させることができるため、透明導電層の加熱加工時の搬送中に、保護フィルムの熱収縮の影響を受けて基材フィルムにシワが入るのをより低減できるためと考えられる。

≪実施例１２≫
透明導電層Ａを透明導電層Ｂに置き換えた以外は、実施例１と同様にして、透明導電性フィルムＭ－２０を作製した。より詳しくは、以下の通りである。

＜透明導電性フィルムＭ－２０の作製＞
（硬化樹脂層形成用の樹脂組成物の調製）
紫外線硬化性樹脂組成物（ＤＩＣ社製 商品名「ＵＮＩＤＩＣ（登録商標）ＲＳ２９－１２０」）を１００重量部と、最頻粒子径が１．９μｍであるアクリル系球状粒子（綜研化学社製 商品名「ＭＸ－１８０ＴＡ」）を０．２重量部とを含む、球状粒子入り硬化性樹脂組成物を準備した。

（硬化樹脂層の形成）
準備した球状粒子入り硬化性樹脂組成物を、積層フィルムＬ－１の基材フィルムＦ－１の表面に塗布し、塗布層を形成した。次いで、塗布層が形成された側から塗布層に紫外線を照射して、厚みが１．０μｍとなるように硬化樹脂層を形成した。

（透明導電層Ｂの形成）
硬化樹脂層のついた積層フィルムＬ－１を巻き取り式スパッタ装置に投入し、硬化樹脂層の表面に、厚みが２７ｎｍの非晶質のインジウム・スズ酸化物層（組成：ＳｎＯ₂ １０ｗｔ％；以下、ＩＴＯとも称する）を成膜して、透明導電層付き積層体を作製した。より詳しくは、硬化樹脂層の表面をグロー放電して前処理した後、マグネトロン式スパッタ装置の真空槽内に、硬化樹脂層のついた積層フィルムＬ－１をＩＴＯターゲットに対峙して配置し、空気をアルゴンに完全置換して得た真空度２×１０^-3トールの環境下、印加電圧ＤＣ９ｋＷで１ｍ／ｍｉｎでスパッタ蒸着を行った。次いで、特開平１１－２４３２９６号公報の段落〔００４６〕～〔００５０〕を参照して、基材フィルムＦ－１上に形成した硬化樹脂層の表面にＩＴＯの導電膜を透明導電層Ｂとして形成して、透明導電層付き積層体を得た後、搬送しながら粘着剤Ｓ－１のついた保護フィルムＰ－１を剥離し、透明導電性フィルムＭ－２０を作製した。そして、作製した透明導電性フィルムＭ－２０をロール状に巻き取った。

≪評価≫
（７）繰り返し屈曲耐久性
作製した透明導電性フィルムＭ－２０を熱風循環式オーブンに投入し、１２０℃で４０分間加熱処理を実施した。その後、耐久試験機（ユアサシステム機器社製、製品名「面状体無負荷Ｕ字伸縮試験機」）を用いて、最少屈曲径：３ｍｍφ、速度：３０回／分、屈曲回数：５万回、試験温度：２３℃の条件で、透明導電層を内側にして繰り返し屈曲させた。その後、サンプルの表面抵抗をＪＩＳ Ｋ７１９４に準じて四端子法によって測定し、下記の評価基準に基づいて評価した。なお、表面抵抗値の変化率は、下記の計算式から算出した。
表面抵抗値の変化率（％）＝｛（５万回折り曲げ後の表面抵抗値－折り曲げ前の表面抵抗値）／（折り曲げ前の表面抵抗値）｝×１００
《評価基準》
◎：表面抵抗値の変化率が、１０％以上２０％未満であった。
○：表面抵抗値の変化率が、２０％以上３０％未満であった。
×：表面抵抗値の変化率が、３０％以上であった。

実施例１２についての評価の結果を表３に示す。比較のため、実施例１についても同様の評価基準で繰り返し屈曲耐久性について評価した結果を、表３に併せて示す。

実施例１では、透明導電層Ａとして銀ナノワイヤーを含む導電性膜を用いているのに対して、実施例１２では、透明導電層ＢとしてＩＴＯ導電性膜を用いている。銀ナノワイヤーを含む導電性膜は、ＩＴＯ導電性膜に対して繰り返し屈曲耐久性に優れており、破断しにくいことがわかる。この点で、透明導電層として、銀ナノワイヤーを含む導電性膜を用いることが望ましいと言える。

〔補足〕
以上のことから、本実施形態で説明した積層フィルムは、以下のように表現することができる。

１．透明導電性フィルムの透明導電層の支持用の積層フィルムであって、
前記透明導電層を支持するための基材フィルムと、
前記基材フィルムを粘着剤層を介して支持する保護フィルムとを有し、
前記基材フィルムおよび前記保護フィルムは、シクロオレフィン樹脂をそれぞれ含み、
前記基材フィルムの膜厚は、５μｍ以上４０μｍ以下であり、
前記基材フィルムの、１４０℃９０分加熱時の幅手方向の熱収縮率Ａ（％）が、０．０１％以上０．２０％以下であり、
前記保護フィルムの、１４０℃９０分加熱時の幅手方向の熱収縮率をＢ（％）としたときに、
０．０２≦Ａ／Ｂ≦０．５０
であることを特徴とする積層フィルム。

２．前記保護フィルムの膜厚は、４０μｍ以上１００μｍ以下であり、かつ、前記基材フィルムの膜厚よりも厚いことを特徴とする前記１に記載の積層フィルム。

３．前記透明導電層としての、金属ナノワイヤーを含む導電性膜の支持用であることを特徴とする前記１または２に記載の積層フィルム。

また、本実施形態で説明した透明導電層付き積層体は、以下のように表現することができる。

４．前記１から３のいずれかに記載の積層フィルムの前記基材フィルム上に位置する透明導電層を含むことを特徴とする透明導電層付き積層体。

また、本実施形態で説明した透明導電性フィルムの製造方法は、以下のように表現することができる。

５．前記１から３のいずれかに記載の積層フィルムの前記基材フィルム上に前記透明導電層を形成して透明導電層付き積層体とし、前記透明導電層付き積層体をロール状に巻き取る工程と、
前記透明導電層付き積層体を繰り出して、前記透明導電層付き積層体から前記保護フィルムを剥離し、前記基材フィルム上に前記透明導電層を有する透明導電性フィルムをロール状に巻き取る工程とを有することを特徴とする透明導電性フィルムの製造方法。

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明の範囲はこれに限定されるものではなく、発明の主旨を逸脱しない範囲で拡張または変更して実施することができる。

本発明の透明導電層の支持用の積層フィルムは、例えばタッチパネル表示装置のタッチセンサーパネルに用いられる透明導電性フィルムの製造に利用可能である。

１０ 透明導電層付き積層体
１２ 透明導電性フィルム
１４ 保護フィルム
１５ 粘着剤層
１６ 基材フィルム
１７ 透明導電層
２０ 積層フィルム

Claims (3)

1. 透明導電性フィルムの透明導電層の支持用の積層フィルムであって、
   前記透明導電層を支持するための基材フィルムと、
   前記基材フィルムを粘着剤層を介して支持する保護フィルムとを有し、
   前記基材フィルムおよび前記保護フィルムは、シクロオレフィン樹脂をそれぞれ含み、
   前記基材フィルムの膜厚は、５μｍ以上４０μｍ以下であり、
   前記基材フィルムの、１４０℃９０分加熱時の幅手方向の熱収縮率Ａ（％）が、０．０１％以上０．２０％以下であり、
   前記保護フィルムの、１４０℃９０分加熱時の幅手方向の熱収縮率をＢ（％）としたときに、
   ０．０２≦Ａ／Ｂ≦０．５０
   である、積層フィルム。
2. 前記保護フィルムの膜厚は、４０μｍ以上１００μｍ以下であり、かつ、前記基材フィルムの膜厚よりも厚い、請求項１に記載の積層フィルム。
3. 前記透明導電層としての、金属ナノワイヤーを含む導電性膜の支持用である、請求項１または２に記載の積層フィルム。

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